JP5686578B2 - Geometric error measurement system - Google Patents

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Description

本発明は、多軸工作機械において幾何誤差を計測し補正するための幾何誤差計測システムに関するものである。   The present invention relates to a geometric error measurement system for measuring and correcting a geometric error in a multi-axis machine tool.

工作機械として、能率の高い加工や複雑な形状のワークの加工を行う目的で従来の3軸マシニングセンタに回転軸や旋回軸を付加した5軸マシニングセンタ等の多軸工作機械が知られており、そのような多軸工作機械における加工精度の向上が望まれている。   As machine tools, multi-axis machine tools such as a 5-axis machining center in which a rotary axis and a turning axis are added to a conventional 3-axis machining center for the purpose of performing highly efficient machining and workpieces with complicated shapes are known. Improvement of machining accuracy in such a multi-axis machine tool is desired.

多軸工作機械においては、一般的に、軸数が増えると、組み付けの精度が悪化し、加工精度が悪くなる傾向にあるが、組み付けの精度の向上には限界があるため、隣り合う軸間の傾きや位置誤差といった所謂幾何誤差を計測し、その幾何誤差を補正することによって加工精度を向上させる補正システムが開発されている。   In multi-axis machine tools, as the number of axes increases, the assembly accuracy tends to deteriorate and the machining accuracy tends to deteriorate. However, there is a limit to the improvement in assembly accuracy, so there is a limit between adjacent axes. A correction system has been developed that measures so-called geometric errors such as tilt and position error and corrects the geometric errors to improve machining accuracy.

そして、そのような補正システムにおける幾何誤差の計測(同定)方法として、工作機械の主軸にタッチプローブを付け、テーブルにターゲット(被計測治具)となる球を設置して、自動で旋回軸や回転軸の割出動作を複数回行い、各割出条件でターゲットの位置を計測し、それらの計測結果に基づいて幾何誤差を自動的に求める(同定する)方法が考案されている。   As a geometric error measurement (identification) method in such a correction system, a touch probe is attached to the spindle of the machine tool, a sphere that is a target (a jig to be measured) is installed on the table, and a turning axis or A method has been devised in which the indexing operation of the rotating shaft is performed a plurality of times, the position of the target is measured under each indexing condition, and the geometric error is automatically obtained (identified) based on the measurement results.

特開2004−219132号公報JP 2004-219132 A

しかしながら、上記した計測システムにおいては、ターゲットの位置ずれや機械の損傷等の要因により、計測結果に不測の誤差が入り込む事態も起こり得る。それゆえ、当該計測システムに、幾何誤差補正パラメータを自動更新する機能を搭載すると、不測の計測誤差が含まれている場合でも、そのまま幾何誤差補正パラメータを自動更新し、その自動更新された幾何誤差補正パラメータを用いて主軸や回転軸の補正を行ってしまうため、加工精度を向上させることができないばかりか、却って悪化させてしまう事態も起こり得る。   However, in the measurement system described above, an unexpected error may occur in the measurement result due to factors such as target misalignment and mechanical damage. Therefore, if the measurement system is equipped with a function that automatically updates the geometric error correction parameter, even if an unexpected measurement error is included, the geometric error correction parameter is automatically updated, and the automatically updated geometric error is updated. Since the correction of the main axis and the rotation axis is performed using the correction parameter, not only the machining accuracy cannot be improved, but also a situation where it is deteriorated may occur.

本発明の目的は、上記従来の計測システムが有する問題点を解消し、幾何誤差補正パラメータを自動更新する機能を搭載した場合に、外乱等に基づいて不適切な幾何誤差が計測されても、そのような不適切な幾何誤差に基づく補正の実行により多軸工作機械の加工精度が低下する事態を、きわめて効果的に防止することが可能な幾何誤差計測システムを提供することにある。   The purpose of the present invention is to solve the problems of the conventional measurement system described above, and when equipped with a function for automatically updating the geometric error correction parameter, even if an inappropriate geometric error is measured based on disturbance or the like, An object of the present invention is to provide a geometric error measurement system capable of extremely effectively preventing a situation in which the machining accuracy of a multi-axis machine tool is lowered due to execution of such correction based on an inappropriate geometric error.

本発明の内、請求項1に記載された発明は、複数の直線軸と回転軸とを具備した多軸工作機械において、主軸にセンサを設けるとともにテーブルに測定ターゲットを設置し、複数の位置決め条件にて前記測定ターゲットの座標を前記センサにより計測し、それらの計測値を用いて、隣り合う軸間に存在する幾何誤差を同定する幾何誤差計測システムであって、工作機械の幾何誤差を補正するための幾何誤差補正システムを備えており、幾何誤差を同定した後には、その同定した数値に前回の同定後の幾何誤差を加算した加算値を新たな幾何誤差として更新し、次回の幾何誤差の同定を、その幾何誤差の更新からの変化分として求めるものであり、予め幾何誤差の閾値を設定可能な閾値設定手段と、同定した幾何誤差が閾値設定手段に設定されている閾値を上回っている場合に、その事態を報知する報知手段とを有することを特徴とするものである。 Among the present inventions, the invention described in claim 1 is a multi-axis machine tool comprising a plurality of linear axes and rotating axes, wherein a sensor is provided on the spindle and a measurement target is installed on the table, and a plurality of positioning conditions are provided. A geometric error measurement system for measuring the coordinates of the measurement target by the sensor and identifying a geometric error existing between adjacent axes using the measured values, and correcting the geometric error of the machine tool After the geometric error is identified, the addition value obtained by adding the geometric error after the previous identification to the identified numerical value is updated as a new geometric error, and the next geometric error is corrected . identification, geometric errors are those obtained as change from the update, set in advance geometric error and threshold value setting means capable of setting a threshold, identified geometric error threshold value setting means If exceeds the are threshold, it is characterized in that it has a notification means for notifying the situation.

請求項2に記載された発明は、請求項1に記載された発明において、新たな幾何誤差設定値が、閾値設定手段に設定されている閾値を上回っている場合には、報知手段が、その事態を報知することを特徴とするものである。  In the invention described in claim 2, in the invention described in claim 1, when the new geometric error setting value exceeds the threshold set in the threshold setting means, the notification means It is characterized by notifying the situation.

請求項3に記載された発明は、請求項1、または請求項2に記載された発明において、新たに計測された幾何誤差およびその幾何誤差から算出された新たな幾何誤差設定値がいずれも閾値を下回っている場合には、幾何誤差更新手段において、算出された新たな幾何誤差設定値を新たな幾何誤差設定値として自動更新することを特徴とするものである。  The invention described in claim 3 is the invention described in claim 1 or claim 2, wherein the newly measured geometric error and the new geometric error setting value calculated from the geometric error are both threshold values. The geometric error update means automatically updates the calculated new geometric error setting value as a new geometric error setting value.

請求項4に記載された発明は、請求項1〜3のいずれかに記載された発明において、新たに計測された幾何誤差あるいはその幾何誤差から算出された新たな幾何誤差設定値の内のいずれか一方が閾値を上回っている場合には、幾何誤差更新手段において、算出された新たな幾何誤差設定値を新たな幾何誤差設定値として自動更新せず、手動による新たな幾何誤差設定値の設定を可能とすることを特徴とするものである。
The invention described in claim 4 is the invention described in any one of claims 1 to 3, wherein either a newly measured geometric error or a new geometric error set value calculated from the geometric error is selected. If either of them exceeds the threshold value, the geometric error update means does not automatically update the calculated new geometric error setting value as a new geometric error setting value, but manually sets a new geometric error setting value. It is characterized by making possible.

請求項5に記載された発明は、請求項1〜4のいずれかに記載された発明において、閾値設定手段が、複数の幾何誤差補正パラメータを含む分類毎に(たとえば、XYZ直角度誤差、主軸傾き誤差、回転軸・旋回軸の傾き誤差や位置誤差等の分類毎に)、別々に閾値を設定可能であることを特徴とするものである。   The invention described in claim 5 is the invention described in any one of claims 1 to 4, wherein the threshold value setting means is provided for each class including a plurality of geometric error correction parameters (for example, XYZ squareness error, main axis A threshold value can be set separately for each classification (tilt error, tilt error of rotation axis / swivel axis, position error, etc.).

請求項1に記載の幾何誤差計測システムは、同定(計測)した幾何誤差が予め設定されている閾値(許容値)を上回っている場合に、報知手段によってその事態が報知されるので、経時変化に関連した機械の状態を容易に把握することができる。それゆえ、請求項1に記載の幾何誤差計測システムによれば、機械の経時的変化や計測ミスに起因した不適切な同定結果に基づく補正の実行により多軸工作機械の加工精度が低下する事態を、効果的に防止することができる。   In the geometric error measurement system according to claim 1, when the geometric error identified (measured) exceeds a preset threshold value (allowable value), the situation is notified by the notification means. It is possible to easily grasp the state of the machine related to the. Therefore, according to the geometric error measurement system according to claim 1, a situation in which the machining accuracy of the multi-axis machine tool is reduced due to execution of correction based on an inappropriate identification result caused by a change in the machine over time or a measurement error. Can be effectively prevented.

請求項2に記載の幾何誤差計測システムは、同定した幾何誤差に基づいて算出された新たな幾何誤差設定値が、予め設定されている閾値を上回っている場合に、報知手段によってその事態が報知されるので、損傷の蓄積と関連した機械の状態を容易に把握することができる。それゆえ、請求項2に記載の幾何誤差計測システムによれば、機械の損傷の蓄積や計測ミスに起因した不適切な同定結果に基づく補正の実行により多軸工作機械の加工精度が低下する事態を、効果的に防止することができる。   In the geometric error measurement system according to claim 2, when a new geometric error setting value calculated based on the identified geometric error exceeds a preset threshold value, the situation is notified by the notification means. Therefore, it is possible to easily grasp the state of the machine related to the accumulation of damage. Therefore, according to the geometric error measurement system according to claim 2, a situation in which the machining accuracy of the multi-axis machine tool decreases due to execution of correction based on inappropriate identification results due to accumulation of machine damage or measurement errors. Can be effectively prevented.

請求項3に記載の幾何誤差計測システムは、新たに計測された幾何誤差およびその幾何誤差から算出された新たな幾何誤差設定値がいずれも閾値を下回っている場合に、幾何誤差設定値が自動更新されるので、機械のトラブルや計測ミスに起因した不適切な同定に基づいて幾何誤差設定値が真の数値からかけ離れてしまう事態が生じない。それゆえ、請求項3に記載の幾何誤差計測システムによれば、不適切な幾何誤差設定値に基づく補正の実行により多軸工作機械の加工精度が低下する事態を、非常に効果的に防止することができる。   The geometric error measurement system according to claim 3, wherein the geometric error setting value is automatically detected when both the newly measured geometric error and the new geometric error setting value calculated from the geometric error are below a threshold value. As a result, the geometric error setting value does not deviate from the true numerical value based on inappropriate identification due to machine trouble or measurement error. Therefore, according to the geometric error measurement system of claim 3, the situation in which the machining accuracy of the multi-axis machine tool is deteriorated due to the execution of the correction based on the inappropriate geometric error setting value is very effectively prevented. be able to.

請求項4に記載の幾何誤差計測システムは、新たに計測された幾何誤差およびその幾何誤差から算出された新たな幾何誤差設定値の内のいずれか一方が閾値を上回っている場合に、幾何誤差設定値を自動更新せず、手動による幾何誤差設定値の設定を可能とするので、新たに同定された幾何誤差の評価結果をユーザに確実に認識させることができる。   The geometric error measurement system according to claim 4, wherein any one of a newly measured geometric error and a new geometric error setting value calculated from the geometric error exceeds a threshold value. Since the setting value can be manually set without automatically updating the setting value, the newly identified geometric error evaluation result can be surely recognized by the user.

請求項5に記載の幾何誤差計測システムは、複数の幾何誤差補正パラメータを含む分類毎に、別々に閾値を設定可能であるので、短時間の内に容易に適切な閾値の設定をすることができる。たとえば、XYZ直角度誤差や主軸傾き誤差は、機械の組立精度による影響が最も支配的であるため、機械が衝実等しない限り大きく変化することはない。それゆえ、それらの幾何誤差の閾値は、小さくても問題ない。一方、回転軸・旋回軸の傾き誤差や位置誤差は、機械の熱変位等で容易に変化する可能性があり、機種や構造によっても変化するため、比較的に大きな閾値を設定する必要がある場合が多い。請求項5に記載の幾何誤差計測システムによれば、そのような事情を考慮して、幾何誤差の各分類に合った適切な閾値を短時間の内に容易に設定することが可能となる。   The geometric error measurement system according to claim 5 can set a threshold separately for each classification including a plurality of geometric error correction parameters, so that an appropriate threshold can be easily set within a short time. it can. For example, the XYZ squareness error and the spindle tilt error are most influenced by the assembly accuracy of the machine, and therefore do not change greatly unless the machine is impelled. Therefore, there is no problem even if these geometric error threshold values are small. On the other hand, the tilt error and position error of the rotation axis and swivel axis can easily change due to thermal displacement of the machine, etc., and change depending on the model and structure, so it is necessary to set a relatively large threshold value. There are many cases. According to the geometric error measurement system of the fifth aspect, it is possible to easily set an appropriate threshold value suitable for each classification of geometric errors within a short time in consideration of such circumstances.

マシニングセンタを示す説明図(斜視図)である。It is explanatory drawing (perspective view) which shows a machining center. マシニングセンタの制御機構を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the control mechanism of a machining center. 記憶手段の概念図である。It is a conceptual diagram of a memory | storage means. 記憶手段の閾値記憶領域の概念図である。It is a conceptual diagram of the threshold storage area of a memory | storage means. 幾何誤差の計測処理の内容を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the content of the measurement process of geometric error. 主軸頭にタッチプローブを装着し、テーブルにターゲットを装着した状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which mounted | wore the spindle head with the touch probe, and mounted | worn the target with the table. C軸の複数の割出位置でターゲット球を計測する様子を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows a mode that a target sphere is measured in the some index position of C axis | shaft. A軸の複数の割出位置でターゲット球を計測する様子を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows a mode that a target sphere is measured in the some index position of A axis | shaft. 幾何誤差の計測結果の閾値判定処理の内容を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the content of the threshold value determination process of the measurement result of a geometric error.

以下、本発明に係る幾何誤差計測システムの一実施形態について、図面に基づいて詳細に説明する。なお、本実施形態に係る幾何誤差計測システムは、幾何誤差補正システムと連携しており、計測(同定)した結果に基づいて、新しい幾何誤差補正パラメータを算出し、当該幾何誤差補正パラメータを新たな幾何誤差設定値(補正値)として自動更新することができるようになっている。   Hereinafter, an embodiment of a geometric error measurement system according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The geometric error measurement system according to the present embodiment is linked to the geometric error correction system, calculates a new geometric error correction parameter based on the measurement (identification) result, and sets the geometric error correction parameter to a new one. It can be automatically updated as a geometric error setting value (correction value).

<多軸工作機械の構成>
図1は、多軸工作機械の一例である5軸制御マシニングセンタ(テーブル旋回型5軸機)を示したものである(以下、単にマシニングセンタMという)。マシニングセンタMのベッド(基台)1には、正面視略U字状のトラニオン5が、Y軸に沿ってスライド可能に設けられており、当該トラニオン5には、正面視略U字状のクレードル4が、A軸(回転軸)を中心として、回転可能に設けられている。さらに、クレードル4には、円盤状のテーブル3が、A軸と直交するC軸(回転軸)を中心として、回転可能に設けられている。また、ベッド1の上部には、工具を装着可能な主軸頭2が、Y軸と直交するX軸、および、それらのX,Y軸と直交するZ軸に沿ってスライド可能に設けられている。当該主軸頭2は、装着した工具をZ軸を中心として回転させることができるようになっている。
<Configuration of multi-axis machine tool>
FIG. 1 shows a 5-axis control machining center (table turning type 5-axis machine) which is an example of a multi-axis machine tool (hereinafter simply referred to as a machining center M). The bed (base) 1 of the machining center M is provided with a substantially U-shaped trunnion 5 slidable along the Y-axis, and the trunnion 5 has a substantially U-shaped cradle in front view. 4 is provided to be rotatable around the A axis (rotating axis). Further, the cradle 4 is provided with a disk-like table 3 so as to be rotatable about a C axis (rotary axis) orthogonal to the A axis. In addition, a spindle head 2 on which a tool can be mounted is provided on the bed 1 so as to be slidable along an X axis perpendicular to the Y axis and a Z axis perpendicular to the X and Y axes. . The spindle head 2 can rotate the mounted tool about the Z axis.

上記マシニングセンタMは、主軸頭2に装着された工具を回転させた状態で、テーブル3に固定された被加工物(ワーク)に対して、当該主軸頭2を相対的にアプローチさせることによって、被加工物と工具との相対位置および相対姿勢を制御しながら、被加工物に対して種々の加工を施すことができるようになっている。また、マシニングセンタMは、上記の如く構成されているため、被加工物から工具までの軸のつながりが、C軸→A軸→Y軸→X軸→Z軸の順番になっている。   The machining center M causes the spindle head 2 to approach the workpiece (workpiece) fixed to the table 3 in a state in which the tool mounted on the spindle head 2 is rotated. Various processes can be performed on the workpiece while controlling the relative position and the relative posture between the workpiece and the tool. Further, since the machining center M is configured as described above, the connection of the axes from the workpiece to the tool is in the order of C axis → A axis → Y axis → X axis → Z axis.

<マシニングセンタの幾何誤差>
次に、上記したマシニングセンタMの幾何誤差について説明する。ここでは、幾何誤差が、各軸間の相対並進誤差3方向および相対回転誤差3方向の合計6成分(δx,δy,δz,α,β,γ)からなるものであると仮定する。また、各幾何誤差は、挟まれた2つの軸名称を添えて示すものとする。たとえば、C軸とA軸との間のY方向の並進誤差は、δyCA,Y軸とX軸との間のZ軸周りの回転誤差は、γYXと表記する。また、工具を示す記号はTとする。
<Machining center geometric error>
Next, the geometric error of the machining center M will be described. Here, it is assumed that the geometric error is composed of a total of six components (δx, δy, δz, α, β, γ) in the three directions of the relative translation error between the axes and the three directions of the relative rotation error. Each geometric error is indicated with two sandwiched axis names. For example, a translation error in the Y direction between the C axis and the A axis is expressed as δy CA , and a rotation error around the Z axis between the Y axis and the X axis is expressed as γ YX . The symbol indicating the tool is T.

マシニングセンタMにおける被加工物から工具までの軸のつながりは、C軸,A軸,Y軸,X軸,Z軸の順番であるため、Z軸と工具間も考慮すると合計30個の幾何誤差が存在するが、冗長の関係となるものにおいて1つを残し他を除外すると、最終的な幾何誤差は、δxCA,δyCA,αCA,βCA,δyAY,δzAY,βAY,γAY,γYX,αXZ,βXZ,αZT,βZTの合計13個となる。なお、それらの内のγYX,αXZ,βXZ,αZT,βZTの5つは、直進軸に関する幾何誤差であり、それぞれ、X−Y軸間直角度,Y−Z軸間直角度,Z−X軸間直角度,工具−Y軸間直角度,工具−X軸間直角度である。他の8つは、回転軸に関する幾何誤差であり、それぞれ、C軸中心位置X方向誤差,C−A軸間オフセット誤差,A軸角度オフセット誤差,C−A軸間直角度,A軸中心位置Y方向誤差,A軸中心位置Z方向誤差,A−X軸間直角度,A−Y軸間直角度である。それゆえ、マシニングセンタMにおける幾何誤差は、下記の表1の如く、δxCA,δyCA,αCA,βCA,δyAY,δzAY,βAY,γAY,γYX,αXZ,βXZ,αZT,βZTの合計13個のパラメータを求めることによって同定される。 Since the connection of the axis from the workpiece to the tool in the machining center M is the order of the C-axis, A-axis, Y-axis, X-axis, and Z-axis, there are a total of 30 geometric errors when considering the gap between the Z-axis and the tool. If one exists in the redundant relationship but the other is excluded, the final geometric error is δx CA , δy CA , α CA , β CA , δy AY , δz AY , β AY , γ AY. , Γ YX , α XZ , β XZ , α ZT , β ZT in total. Of these, five of γ YX , α XZ , β XZ , α ZT , and β ZT are geometric errors related to the linear axis, and the XY inter-axis perpendicular angle and the Y-Z inter-axis perpendicular angle, respectively. , Z-X axis perpendicularity, tool-Y axis perpendicularity, tool-X axis perpendicularity. The other eight are geometric errors related to the rotation axis, which are the C-axis center position X-direction error, the CA-axis offset error, the A-axis angle offset error, the CA-axis perpendicularity, and the A-axis center position, respectively. The Y-direction error, the A-axis center position Z-direction error, the A-X axis perpendicularity, and the A-Y axis perpendicularity. Hence, geometric errors in the machining center M is as in Table 1 below, δx CA, δy CA, α CA, β CA, δy AY, δz AY, β AY, γ AY, γ YX, α XZ, β XZ, It is identified by obtaining a total of 13 parameters of α ZT and β ZT .

Figure 0005686578
Figure 0005686578

上記した幾何誤差補正パラメータは、下記の表2の如く、基本となる直交3軸におけるXYZ直角度誤差、回転軸・旋回軸に関する傾き誤差、旋回軸・回転軸に関する位置誤差、主軸の傾きに関する主軸傾き誤差の4つに分類することができる。   The above-mentioned geometric error correction parameters are as follows, as shown in Table 2 below: XYZ squareness error in three orthogonal axes, tilt error with respect to the rotation axis / swivel axis, position error with respect to the swing axis / rotation axis, and spindle with respect to the tilt of the spindle There are four types of tilt errors.

Figure 0005686578
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<マシニングセンタの制御機構>
図2は、上記したマシニングセンタMの制御機構を示すブロック図であり、トラニオン5、主軸頭2を並進させるための各サーボモータ、および、クレードル4、テーブル3を回転させるための各サーボモータは、制御装置(数値制御装置)21によって駆動制御されるようになっている。また、制御装置21には、割出位置(割出条件)や幾何誤差の閾値(許容値)等を設定するための入力手段31、後述する閾値判定の結果等を出力する(報知する)ためのモニタやスピーカ等の出力手段32等が接続されている。
<Control mechanism of machining center>
FIG. 2 is a block diagram showing a control mechanism of the machining center M described above. The servo motors for translating the trunnion 5 and the spindle head 2 and the servo motors for rotating the cradle 4 and the table 3 are as follows. Drive control is performed by a control device (numerical control device) 21. In addition, the control device 21 outputs (notifies) an input unit 31 for setting an index position (index condition), a geometric error threshold value (allowable value), and a threshold determination result to be described later. An output means 32 such as a monitor and a speaker is connected.

さらに、制御装置21には、記憶手段22が設けられており、当該記憶手段22内には、図3の如く、各種のプログラムを記憶するためのプログラム記憶領域23、各種の演算に用いる変数等を記憶するための変数記憶領域24、予め設定された各種の閾値を記憶するための閾値記憶領域25、各幾何誤差補正パラメータを記憶するためのパラメータ記憶領域26等が設けられている。   Further, the control device 21 is provided with a storage means 22, and in the storage means 22, as shown in FIG. 3, a program storage area 23 for storing various programs, variables used for various calculations, and the like. Are provided, a variable storage area 24 for storing various threshold values, a threshold storage area 25 for storing various preset threshold values, a parameter storage area 26 for storing each geometric error correction parameter, and the like.

そして、プログラム記憶領域23には、同定された幾何誤差に基づいて当該幾何誤差の補正に用いる幾何誤差補正パラメータを算出するための補正パラメータ算出プログラムや、幾何誤差補正パラメータを算出する毎に、算出後の幾何誤差補正パラメータを新たな幾何誤差補正パラメータとして自動更新するためのパラメータ更新プログラム等が記憶されている。また、閾値記憶領域25には、図4の如く、直交3軸におけるXYZ直角度誤差、回転軸・旋回軸に関する傾き誤差、回転軸・旋回軸に関する位置誤差、主軸の傾きに関する主軸傾き誤差の4つの分類毎に、それぞれ、予め入力された閾値(予めメーカが出荷段階で設定した数値や、ユーザが任意に設定した数値)が記憶されている。さらに、パラメータ記憶領域26には、前回の幾何誤差の計測に基づいて更新された各幾何誤差補正パラメータ(あるいは作業者によってマニュアルで設定された各幾何誤差補正パラメータ)が記憶されている。   The program storage area 23 calculates a correction parameter calculation program for calculating a geometric error correction parameter used for correcting the geometric error based on the identified geometric error, and is calculated every time the geometric error correction parameter is calculated. A parameter update program for automatically updating the subsequent geometric error correction parameter as a new geometric error correction parameter is stored. Further, in the threshold storage area 25, as shown in FIG. 4, there are 4 XYZ squareness errors in three orthogonal axes, tilt errors with respect to the rotation axis / swing axis, position errors with respect to the rotation axis / swing axis, and spindle tilt errors with respect to the tilt of the spindle A threshold value (a numerical value preset by the manufacturer at the shipping stage or a numerical value arbitrarily set by the user) is stored for each classification. Furthermore, the parameter storage area 26 stores each geometric error correction parameter (or each geometric error correction parameter manually set by the operator) updated based on the previous geometric error measurement.

かかる制御装置21、トラニオン5、主軸頭2を並進させるための各サーボモータ、および、クレードル4、テーブル3を回転させるための各サーボモータによって、マシニングセンタMの幾何誤差を補正するための幾何誤差補正システムを備えた幾何誤差計測システムSが構成された状態になっている。   Geometric error correction for correcting the geometric error of the machining center M by the control device 21, the trunnion 5, the servo motors for translating the spindle head 2, and the servo motors for rotating the cradle 4 and the table 3. The geometric error measurement system S including the system is configured.

<幾何誤差の計測処理>
図5は、幾何誤差計測システムSによる幾何誤差の計測処理(同定処理)の内容を示すフローチャートである。幾何誤差を同定する場合には、図6の如く、主軸頭2に、工具の代わりにタッチプローブ11を装着させ、テーブル3にターゲットであるターゲット球12を固定させる(ターゲット球12の土台に組み付けられた磁石等によって固定させる)。なお、タッチプローブ11は、ターゲット球12に接触したことを感知するセンサ(図示せず)を有しており、接触を感知した場合に赤外線や電波等で信号を発することができるようになっている。一方、マシニングセンタMの制御装置21は、接続された受信機によりタッチプローブ11から発せられた信号を受信した瞬間(もしくは遅れ分を考慮した時点)の各軸の現在位置を、測定値として記憶手段22に記憶することができるようになっている。
<Measuring process of geometric error>
FIG. 5 is a flowchart showing the content of the geometric error measurement process (identification process) by the geometric error measurement system S. When identifying the geometric error, as shown in FIG. 6, a touch probe 11 is attached to the spindle head 2 instead of a tool, and a target sphere 12 as a target is fixed to the table 3 (assembled on the base of the target sphere 12). Fixed by a magnet etc.). The touch probe 11 has a sensor (not shown) that senses that the target sphere 12 has been touched, and can emit a signal using infrared rays, radio waves, or the like when the touch is sensed. Yes. On the other hand, the control device 21 of the machining center M stores, as a measurement value, the current position of each axis at the moment of receiving a signal emitted from the touch probe 11 by the connected receiver (or when the delay is taken into consideration). 22 can be stored.

そして、ステップ(以下、単にSで示す)1で、制御装置21からの指令により、回転軸(C軸)と旋回軸(A軸)とを複数の条件で割り出し、それそれの割出条件において、タッチプローブ11によりターゲット球12の中心位置等を計測し、その計測値に基づいて、S2で、以下に述べる算出方法を利用して、幾何誤差の同定(計測)を実行する。   In step (hereinafter simply indicated by S) 1, the rotation axis (C axis) and the turning axis (A axis) are determined under a plurality of conditions in accordance with a command from the control device 21. Then, the center position and the like of the target sphere 12 are measured by the touch probe 11, and the geometric error is identified (measured) by using the calculation method described below in S2 based on the measured value.

[幾何誤差の算出方法]
ここで、ターゲット球12の中心位置の計測値と幾何誤差との関係について説明する。ターゲット球12の中心位置がテーブル座標系(幾何誤差がない理想な状態でA軸とC軸との交点を原点とし、そのX軸がマシニングセンタMのX軸に平行であるテーブル3上の座標系)で(R,0,H)であるとする。幾何誤差がない場合のターゲット球12の中心位置計測値(x,y,z)は、A軸角度をa、C軸角度をcとすると、次に示す[数1]で表すことができる。
[Calculation method of geometric error]
Here, the relationship between the measured value of the center position of the target sphere 12 and the geometric error will be described. The center position of the target sphere 12 is a table coordinate system (the coordinate system on the table 3 in which the intersection of the A axis and the C axis is the origin in an ideal state with no geometric error, and the X axis is parallel to the X axis of the machining center M) ) And (R, 0, H). The center position measurement value (x, y, z) of the target sphere 12 when there is no geometric error can be expressed by the following [Equation 1], where a is the A-axis angle and c is the C-axis angle.

Figure 0005686578
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一方、ターゲット球12の取付位置の誤差(δxWC,δyWC,δzWC)を含めた幾何誤差が存在する場合のターゲット球12の中心位置の計測値(x’,y’,z’)に関する行列関係式は、次の[数2]となる。ただし、幾何誤差が微小であるとして近似している。 On the other hand, the measurement value (x ′, y ′, z ′) of the center position of the target sphere 12 when there is a geometric error including the error (δx WC , δy WC , δz WC ) of the mounting position of the target sphere 12. The matrix relational expression is the following [Equation 2]. However, the approximation is made assuming that the geometric error is minute.

Figure 0005686578
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この[数2]を展開すると次の[数3]となる。ここで、式の簡略化のため、幾何誤差同士の積は微小であるとして0に近似している。   When this [Equation 2] is expanded, the following [Equation 3] is obtained. Here, in order to simplify the equation, the product of geometric errors is assumed to be minute and approximated to zero.

Figure 0005686578
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幾何誤差を同定する際には、初めに、テーブル3の上面が主軸頭2(Z軸)と垂直になる状態(A軸角度a=0°)にA軸を割り出し、C軸角度cを0°から任意の角度ピッチで割り出して1周分nヶ所のターゲット球12の中心位置の計測を行う。たとえば、角度ピッチを30°とすると、図7に示すように0°から330°まで12ヶ所の計測を行う(以下、この計測を割出計測という)。これにより、i=1〜nとするとn個の球中心位置計測値(x’,y’,z’)が得られ、計測値は円軌跡を描くことになる。なお、幾何誤差の同定におけるA軸、C軸の割出位置(割出条件)は、予め、制御装置21の記憶手段22内に記憶されている。 When identifying the geometric error, first, the A axis is determined in a state where the upper surface of the table 3 is perpendicular to the spindle head 2 (Z axis) (A axis angle a = 0 °), and the C axis angle c is set to 0. The center positions of the target spheres 12 at n locations for one round are measured by calculating at an arbitrary angle pitch from °. For example, if the angle pitch is 30 °, 12 measurements from 0 ° to 330 ° are performed as shown in FIG. 7 (hereinafter, this measurement is referred to as index measurement). As a result, when i = 1 to n, n spherical center position measurement values (x i ′, y i ′, z i ′) are obtained, and the measurement values draw a circular locus. The A-axis and C-axis indexing positions (indexing conditions) in geometric error identification are stored in advance in the storage unit 22 of the control device 21.

ここで、計測値のXY平面上での半径、すなわち、C軸の中心位置から各中心位置計測値までの距離は、幾何誤差がない場合はRであり、幾何誤差がある場合には半径誤差ΔRXYが加わる。このΔRXYは[数3]を変形して近似することで、次の[数4]に示すように算出することができる。 Here, the radius of the measurement value on the XY plane, that is, the distance from the center position of the C axis to each center position measurement value is R when there is no geometric error, and the radius error when there is a geometric error. ΔR XY is added. This ΔR XY can be calculated as shown in the following [Equation 4] by modifying and approximating [Equation 3].

Figure 0005686578
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この[数4]に[数3]を代入すると、次の[数5]が得られる。したがって、ΔRXYは0次(半径誤差),1次(中心偏差),2次(楕円形状)の成分を含んだ円軌跡となる。 Substituting [Equation 3] into [Equation 4], the following [Equation 5] is obtained. Therefore, ΔR XY is a circular locus including zero-order (radius error), first-order (center deviation), and second-order (elliptical shape) components.

Figure 0005686578
Figure 0005686578

また、360°を等間隔でn個に分割した角度θ〜θの正弦・余弦関数には次の[数6]のような性質がある。 Also, the sine-cosine function of n to the divided angle theta 1 through? N at regular intervals 360 ° has the following properties: [Expression 6].

Figure 0005686578
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そして、[数5]の2次正弦成分に着目し、この[数6]の性質を利用する。各中心位置計測値に対応するΔRXYiに、それぞれ割り出したときのC軸角度cの2次の正弦値を掛け合わせて平均を取ることで2次正弦成分rb2が得られ、これを変形すると次に示す[数7]となり、X−Y軸間直角度γYXを求めることができる。 Then, paying attention to the secondary sine component of [Equation 5], the property of [Equation 6] is used. The [Delta] R xyi corresponding to each center position measurement values, C axis angle c 2 order sine components r b2 by taking the average by multiplying quadratic sine value of i is obtained when the indexing respectively, deform it Then, the following [Equation 7] is obtained, and the XY inter-axis perpendicular angle γ YX can be obtained.

Figure 0005686578
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さらに1次成分を抽出する。ΔRXYiにC軸角度cの1次の余弦値もしくは正弦値を掛け合わせることで1次余弦成分ra1および1次正弦成分rb1が得られ、これを変形して次の[数8]が得られる。 Further, the primary component is extracted. By multiplying ΔR XYi by the primary cosine value or sine value of the C-axis angle c i, a primary cosine component r a1 and a primary sine component r b1 are obtained, which are transformed into the following [Equation 8] Is obtained.

Figure 0005686578
Figure 0005686578

なお、[数3]を変形して各中心位置計測値のX座標x’、Y座標y’の平均をそれぞれ求めることで[数9]が得られる。この[数9]は円軌跡の中心、すなわち1次成分を求めるものであり、[数8]の代わりに用いることができる。   [Formula 3] is obtained by transforming [Formula 3] and obtaining the average of the X coordinate x ′ and the Y coordinate y ′ of each center position measurement value. This [Equation 9] is for obtaining the center of the circular locus, that is, the primary component, and can be used instead of [Equation 8].

Figure 0005686578
Figure 0005686578

一方、[数3]の中心位置計測値のZ座標の式からわかるように、Z座標値はC軸角度cに対して0次、1次余弦・正弦成分を持った円である。この円の1次成分を抽出するため、各中心位置計測値のZ座標に、それぞれ割り出したときのC軸角度cの余弦値、正弦値を掛け合わせると、次の[数10]が得られる。βAYは別の方法もしくは後述の測定および式から求めて代入することにより、C軸の傾き誤差に関する幾何誤差であるβCA,αCAを求めることができる。 On the other hand, as can be seen from the equation Z coordinates of the center position measurement values of the number 3], Z coordinate values 0 next to the C-axis angle c i, is a circle having a primary cosine-sine component. In order to extract the primary component of this circle, the following [Equation 10] is obtained by multiplying the Z coordinate of each center position measurement value by the cosine value and sine value of the C-axis angle c i when calculated. It is done. β AY can be obtained from another method or from the measurement and formula described later and substituted to obtain β CA and α CA which are geometrical errors related to the C axis inclination error.

Figure 0005686578
Figure 0005686578

次に、A軸を0°以外の任意の角度aに傾けて、C軸角度cを0°から任意の角度ピッチで割り出して1周分nヶ所でターゲット球12の中心位置の計測を行う(割出計測)。先と同様に、中心位置計測値は円軌跡を描くが、その半径、すなわち、A軸とC軸との交点から各中心位置計測値までの距離は、幾何誤差がない場合はRであり、幾何誤差がある場合は半径誤差ΔRが加わる。ΔRは[数3]を変形して近似することで得られる次の[数11]で示される。 Next, the A-axis is tilted at any angle a t other than 0 °, to measure the center position of the target ball 12 in one round n locations with indexing at any angle pitch C axis angle c from 0 ° (Indexing measurement). As before, the center position measurement value draws a circular locus, but the radius, that is, the distance from the intersection of the A axis and the C axis to each center position measurement value is R when there is no geometric error, When there is a geometric error, a radius error ΔR is added. ΔR is expressed by the following [Equation 11] obtained by modifying and approximating [Equation 3].

Figure 0005686578
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この[数11]に[数3]を代入すると次の[数12]が得られる(なお、ra0,ra1,rb1,ra2の詳細な式については省略する)。 Substituting [Equation 3] into this [Equation 11] yields the following [Equation 12] ( note that detailed equations of r a0 , r a1 , r b1 , and r a2 are omitted).

Figure 0005686578
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この[数12]は[数5]と同様に、0〜2次成分を含んだ円軌跡である。2次正弦成分に着目し、各中心位置計測値に対応するΔRに、それぞれ割り出したときのC軸角度cの2次の正弦値を掛け合わせると、次に示す[数13]が得られる。この[数13]に対し[数7]や別の方法で求めたγYXを代入することで、βXZを求めることができる。 Similar to [Equation 5], [Equation 12] is a circular locus including 0-secondary components. Focusing on the quadratic sine component and multiplying ΔR i corresponding to each center position measurement value by the quadratic sine value of the C-axis angle c i obtained respectively, the following [Equation 13] is obtained. It is done. By substituting [Equation 7] or γ YX obtained by another method for this [Equation 13], β XZ can be obtained.

Figure 0005686578
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ここで、A軸の割り出し角度によっては、主軸頭2とテーブル3等との干渉や、各軸の可動範囲の制限等により、1周分測定できない場合がある。1周分の中心位置計測値がない場合は[数13]を使うことができない。その場合、複数の中心位置計測値を用いて[数12]の係数を最小自乗法等で解くことにより次の[数14]が得られる。   Here, depending on the index angle of the A axis, it may not be possible to measure for one round due to interference between the spindle head 2 and the table 3 or the like, or the limitation of the movable range of each axis. [Equation 13] cannot be used when there is no center position measurement value for one round. In that case, the following [Equation 14] is obtained by solving the coefficient of [Equation 12] by the method of least squares using a plurality of center position measurement values.

Figure 0005686578
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次に、図8に示すように、C軸角度cを90°もしくは−90°に割り出し、A軸を任意の複数の角度に割り出してmヶ所のターゲット球12の中心位置の計測を行う(割出計測)。A軸は機構的に1周回転することができない場合が多く、できたとしてもタッチプローブ11により計測できないため、1周分ではなく、ある角度範囲の間で計測を行う。中心位置計測値のX座標に着目すると、[数3]から次に示す[数15]が得られる。 Next, as shown in FIG. 8, indexing the C-axis angle c t to 90 ° or -90 °, to measure the center position of the target ball 12 m locations by indexing the A-axis to any of a plurality of angles ( Indexing measurement). In many cases, the A-axis cannot mechanically rotate once, and even if it can, it cannot be measured by the touch probe 11, and therefore, measurement is performed within a certain angular range instead of one round. Focusing on the X coordinate of the center position measurement value, the following [Expression 15] is obtained from [Expression 3].

Figure 0005686578
Figure 0005686578

すなわち、[数15]は、0,1次成分を含んだ円弧を示しているといえる。ただし、C軸角度cを90°,−90°と変えて混在させると、cに依存した0次成分も加わる。[数12]の各成分の係数を変数として最小自乗法等で求めることで次の[数16]が得られる。したがって、βXZを上述の方法もしくは別の方法で求めて代入することで、A軸の傾き誤差に関する幾何誤差γAYとβAYとを求めることができる。 That is, it can be said that [Equation 15] indicates an arc including 0th and 1st order components. However, 90 ° C-axis angle c t, Mixing changed and -90 °, also adds zero-order component which is dependent on c t. The following [Equation 16] is obtained by obtaining the coefficient of each component of [Equation 12] by using the least square method or the like as a variable. Therefore, the geometric errors γ AY and β AY related to the tilt error of the A axis can be obtained by obtaining and substituting β XZ by the above method or another method.

Figure 0005686578
Figure 0005686578

次に、中心位置計測値のY,Z座標に着目する。幾何誤差による円軌跡の半径誤差、すなわち、A軸中心から球中心までの距離の誤差ΔRYZは次の[数17]から得られる。 Next, attention is paid to the Y and Z coordinates of the center position measurement value. The radius error of the circular locus due to the geometric error, that is, the error ΔR YZ of the distance from the center of the A axis to the sphere center can be obtained from the following [ Equation 17].

Figure 0005686578
Figure 0005686578

この[数17]に[数3]を代入すると次の[数18]となる。なお、ra0,rc0の詳細な式については省略する。 Substituting [Equation 3] into this [Equation 17] gives the following [Equation 18]. Detailed expressions of r a0 and r c0 are omitted.

Figure 0005686578
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したがって、ΔRYZは0〜2次成分を含んだ円弧軌跡であり、各成分の係数を最小自乗法等で解くことにより、次の[数19]が得られる。 Therefore, ΔR YZ is an arc locus including 0-second order components, and the following [Equation 19] is obtained by solving the coefficient of each component by the least square method or the like.

Figure 0005686578
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ここで、[数18]の係数を求めることは、円弧の半径と中心位置、および円弧に含まれる楕円成分の大きさを求めることと同じである。一般的に、円弧の中心位置や楕円成分を求めることは、円弧角度が小さいほど精度が悪くなる。そこで、図8に示すように、C軸を90°(ターゲット球12の中心位置がep1〜ep4)と−90°(ターゲット球12の中心位置がen1〜en4)の両方に割り出して計測する。これにより円弧角度を広くすることができ、同定精度を上げることができる。なお、αXZを求める必要がない場合は、[数19]において、2次成分であるra2、rb2を0として無視して計算を行っても良い。 Here, obtaining the coefficient of [Equation 18] is the same as obtaining the radius and center position of the arc and the size of the elliptic component included in the arc. In general, the accuracy of obtaining the center position and elliptical component of an arc becomes worse as the arc angle is smaller. Therefore, as shown in FIG. 8, indexed to both the C-axis 90 ° (the center position of the target ball 12 e p1 to e p4) and -90 ° (the center position of the target ball 12 e n1 to e n4) To measure. Thereby, the arc angle can be widened and the identification accuracy can be increased. When it is not necessary to obtain α XZ , the calculation may be performed by ignoring the secondary components r a2 and r b2 as 0 in [Equation 19].

以上から、前述の方法でターゲット球12の中心位置を複数箇所測定し、上述の数式を用いて計算することで、回転軸(A軸、C軸)に関する幾何誤差8個に加えて、直進軸(Y軸、X軸、Z軸)に関する3個も併せて11個の幾何誤差を同定することが可能である。なお、残りの2つは別の方法で同定しておく必要がある。   From the above, by measuring the center position of the target sphere 12 at a plurality of positions by the above-described method and calculating using the above-described mathematical formula, in addition to the eight geometric errors related to the rotation axes (A-axis and C-axis), the linear axis It is possible to identify eleven geometric errors in total with respect to (Y axis, X axis, Z axis). The remaining two need to be identified by another method.

上記した方法で得られる計測結果(同定値)は、パラメータ記憶領域26に記憶されている幾何誤差補正パラメータの数値(設定値)にかかわらず、前回の計測結果に基づく幾何誤差補正パラメータの更新からの変化分となる。当該変化分の評価は、経時変化や、衝突等によりダメージを受けたか(損傷したか否か)否かのチェック等に利用することができる。

The measurement result (identification value) obtained by the above method is obtained from the update of the geometric error correction parameter based on the previous measurement result , regardless of the numerical value (set value) of the geometric error correction parameter stored in the parameter storage area 26. The amount of change. The evaluation of the change can be used for checking whether or not the damage has been received (damaged or not) due to a change with time or a collision.

また、上記の如く、幾何誤差を同定した後には、S3以降のステップにより、設定されている幾何誤差補正パラメータを更新する。すなわち、幾何誤差を同定した後には、まず、S3で、パラメータ記憶領域26に記憶されている各幾何誤差補正パラメータの数値(設定値)を参照する(なお、幾何誤差計測システムの作動開始直後には、幾何誤差補正パラメータの設定値は“0”となっている)。そして、続くS4で、同定した数値に、パラメータ記憶領域26に記憶されている各幾何誤差補正パラメータの設定値を加算することによって、各幾何誤差補正パラメータを算出し直す。このように、計測した結果として得られる同定値に、設定されていた各幾何誤差補正パラメータを加算したものが、新たに設定(更新)される各幾何誤差補正パラメータ(設定値)となる。なお、当該更新後の設定値は、マシニングセンタMの幾何誤差そのものを表す。そして、当該更新後の設定値の評価は、ダメージが蓄積しているか否かのチェック等に利用することができる。   In addition, as described above, after the geometric error is identified, the set geometric error correction parameter is updated in steps after S3. That is, after the geometric error is identified, first, in S3, the numerical value (setting value) of each geometric error correction parameter stored in the parameter storage area 26 is referred to (immediately after the operation of the geometric error measurement system is started). The setting value of the geometric error correction parameter is “0”). In subsequent S4, each geometric error correction parameter is recalculated by adding the set value of each geometric error correction parameter stored in the parameter storage area 26 to the identified numerical value. As described above, a value obtained by adding each set geometric error correction parameter to the identification value obtained as a result of the measurement becomes each newly set (updated) geometric error correction parameter (set value). The updated set value represents the geometric error itself of the machining center M. The evaluation of the set value after the update can be used for checking whether or not damage has accumulated.

上記の如く、幾何誤差補正パラメータを算出した後には、S5で、同定結果(幾何誤差補正パラメータの算出結果)に対して、閾値判定(同定結果の評価)を実施する。図9は、閾値判定処理の内容を示すフローチャートである。なお、閾値判定は、すべての幾何誤差補正パラメータに対して実行する。   As described above, after calculating the geometric error correction parameter, in S5, threshold determination (evaluation of the identification result) is performed on the identification result (calculation result of the geometric error correction parameter). FIG. 9 is a flowchart showing the contents of the threshold determination process. The threshold determination is executed for all geometric error correction parameters.

閾値を判定する場合には、S21以下の手順によって幾何誤差補正パラメータの評価ループを実行する。すなわち、幾何誤差補正パラメータの評価ループにおいては、まず、S22で、幾何誤差の計測によって得られた幾何誤差補正パラメータの同定値を取得する。しかる後、S23で、記憶手段22の閾値記憶領域25の内容を参照して、閾値判定を行う幾何誤差補正パラメータの該当する幾何誤差分類を確認し、S24で、当該幾何誤差分類において設定されている閾値を取得する。   When determining the threshold value, a geometric error correction parameter evaluation loop is executed according to the procedure from S21. That is, in the geometric error correction parameter evaluation loop, first, in S22, the identification value of the geometric error correction parameter obtained by measuring the geometric error is acquired. Thereafter, in S23, the contents of the threshold value storage area 25 of the storage means 22 are referred to confirm the corresponding geometric error classification of the geometric error correction parameter for performing threshold determination. In S24, the geometric error classification is set. Get the threshold value.

そして、S25で、S24において取得した幾何誤差補正パラメータの閾値と、計測によって得られた幾何誤差補正パラメータの同定値とを比較し、同定値が閾値を上回っていると判断した場合(S25で“NO”の場合)には、S26で、該当する幾何誤差補正パラメータに対してアラームフラグを有効にする。しかる後、S27で、幾何誤差補正パラメータの評価ループを終了する。   Then, in S25, when the geometric error correction parameter threshold acquired in S24 is compared with the identification value of the geometric error correction parameter obtained by measurement, and it is determined that the identification value exceeds the threshold (in S25, “ If “NO”, the alarm flag is validated for the corresponding geometric error correction parameter in S26. Thereafter, in S27, the geometric error correction parameter evaluation loop is terminated.

一方、S25で、同定値が閾値を下回っていると判断した場合(S25で“YES”の場合)には、アラームフラグを有効にすることなく、幾何誤差補正パラメータの評価ループを終了する。   On the other hand, if it is determined in S25 that the identification value is below the threshold value (if "YES" in S25), the geometric error correction parameter evaluation loop is terminated without enabling the alarm flag.

閾値判定処理においては、上記の如き閾値判定(幾何誤差補正パラメータの評価ループ)を、すべての幾何誤差補正パラメータに対して実行する。そして、すべての幾何誤差補正パラメータに対して閾値判定を実行した後には、幾何誤差の計測処理(図5)におけるS6で、新たに算出されたすべての幾何誤差補正パラメータ(すなわち、前回の計測結果に基づいて更新された幾何誤差補正パラメータに今回計測された同定値を加算して算出したもの)に対しても、同様な閾値判定を実行し、新たな幾何誤差補正パラメータが設定されている閾値を上回っている場合には、当該幾何誤差補正パラメータに対してアラームフラグを有効にする。   In the threshold determination process, the above threshold determination (geometric error correction parameter evaluation loop) is executed for all geometric error correction parameters. After threshold determination is performed for all geometric error correction parameters, all geometric error correction parameters newly calculated in S6 in the geometric error measurement process (FIG. 5) (that is, previous measurement results). Threshold value for which a new geometric error correction parameter is set by executing the same threshold determination for the geometric error correction parameter updated based on the above (calculated by adding the currently measured identification value) If the value exceeds the value, the alarm flag is enabled for the geometric error correction parameter.

上記したような同定値および新たな幾何誤差補正パラメータの閾値判定が終了した後には、S7で、アラームフラグの確認を行う。すなわち、S7で、アラームフラグが1つも存在しないと判断した場合には、S8で、各幾何誤差補正パラメータを自動更新し(すなわち、今回の計測に基づいて算出された各幾何誤差補正パラメータを新たな幾何誤差補正パラメータとして設定し)、出力手段32であるモニタの画面上に、幾何誤差の補正作業を完了した旨のメッセージを出力して、処理を終了する。   After the threshold value determination of the identification value and the new geometric error correction parameter as described above is completed, an alarm flag is confirmed in S7. That is, if it is determined in S7 that there is no alarm flag, each geometric error correction parameter is automatically updated in S8 (that is, each geometric error correction parameter calculated based on the current measurement is updated). A message indicating that the geometric error correction operation has been completed is output on the monitor screen, which is the output means 32, and the processing is terminated.

一方、S7で、アラームフラグが存在すると判断した場合には、S10で、出力手段32であるモニタの画面上で、閾値を上回った幾何誤差補正パラメータ(同定値あるいは新たに算出された幾何誤差補正パラメータ)の表示を他の幾何誤差補正パラメータの表示と区別することにより(たとえば、異なる色で発光させたり、点滅させたりすることにより)、閾値を上回った幾何誤差補正パラメータが存在する旨を報知する。さらに、モニタの画面上に、閾値を上回った幾何誤差補正パラメータ(同定値あるいは新たに算出された幾何誤差補正パラメータ)が含まれる幾何誤差分類(閾値記憶領域25に記憶されているもの)を表示する。また、この場合には、出力手段32であるスピーカからアラーム音を出力する。かかる場合には、各幾何誤差補正パラメータの自動更新は実行せず、S11で、ユーザがマニュアル(手動)で各幾何誤差補正パラメータを更新できるように制御し、モニタの画面上に、マニュアル更新が可能である旨を表示して、処理を終了する。   On the other hand, if it is determined in S7 that an alarm flag is present, in S10, the geometric error correction parameter (identified value or newly calculated geometric error correction) exceeding the threshold value is displayed on the monitor screen as the output means 32. By distinguishing the display of (parameter) from the display of other geometric error correction parameters (for example, by emitting light or blinking in a different color), it is notified that there is a geometric error correction parameter that exceeds the threshold. To do. Further, the geometric error classification (stored in the threshold storage area 25) including the geometric error correction parameter (identified value or newly calculated geometric error correction parameter) exceeding the threshold is displayed on the monitor screen. To do. In this case, an alarm sound is output from the speaker which is the output means 32. In such a case, automatic update of each geometric error correction parameter is not executed, and in step S11, control is performed so that the user can update each geometric error correction parameter manually (manually), and the manual update is performed on the monitor screen. A message indicating that it is possible is displayed and the process is terminated.

上記の如く、幾何誤差計測システムSは、計測結果(同定値)の重要度を考慮し、当該計測結果に対して閾値判定を行い、判定に問題がない場合に限って幾何誤差補正パラメータを自動更新し、判定に問題があった場合には、自動更新を実行することなく、メッセージ出力やアラーム出力等によって、その旨をユーザに報知する。   As described above, the geometric error measurement system S considers the importance of the measurement result (identification value), performs threshold determination on the measurement result, and automatically sets the geometric error correction parameter only when there is no problem in the determination. If there is a problem in the update and determination, the user is informed by a message output, an alarm output, or the like without executing the automatic update.

<幾何誤差計測システムによる効果>
幾何誤差計測システムSは、上記の如く、予め幾何誤差の閾値を設定可能な閾値設定手段である閾値記憶領域25と、同定した幾何誤差が閾値記憶領域25に設定されている閾値を上回っている場合に、その事態を報知する報知手段である出力手段32とを有しているため、経時変化に関連した機械の状態を容易に把握することができ、機械の経時的変化や計測ミスに起因した不適切な同定結果に基づく補正の実行によりマシニングセンタMの加工精度が低下する事態を、効果的に防止することができる。
<Effects of geometric error measurement system>
As described above, the geometric error measurement system S has a threshold storage area 25 that is a threshold setting means capable of setting a geometric error threshold in advance, and the identified geometric error exceeds the threshold set in the threshold storage area 25. In this case, the output unit 32 is a notification unit that notifies the situation, so that the state of the machine related to the change with time can be easily grasped, which is caused by a change with time of the machine or a measurement error. It is possible to effectively prevent a situation in which the machining accuracy of the machining center M is lowered due to execution of correction based on the inappropriate identification result.

また、幾何誤差計測システムSは、幾何誤差設定値を更新記憶可能な幾何誤差更新手段であるパラメータ記憶領域26を有しており、新たな幾何誤差の計測後(同定後)に、その計測値に、パラメータ記憶領域26に記憶されている幾何誤差設定値を加算することによって、新たな幾何誤差設定値を算出するとともに、その新たな幾何誤差設定値が、閾値記憶領域25に設定されている閾値を上回っている場合には、出力手段32が、その事態を報知するため、損傷の蓄積と関連した機械の状態を容易に把握することができる。それゆえ、幾何誤差計測システムSによれば、機械の損傷の蓄積や計測ミスに起因した不適切な同定結果に基づく補正の実行によりマシニングセンタMの加工精度が低下する事態を、効果的に防止することができる。   Further, the geometric error measurement system S has a parameter storage area 26 which is a geometric error update means capable of updating and storing a geometric error set value, and the measured value after the new geometric error is measured (after identification). In addition, a new geometric error setting value is calculated by adding the geometric error setting value stored in the parameter storage area 26, and the new geometric error setting value is set in the threshold storage area 25. When the threshold value is exceeded, the output means 32 notifies the situation, so that the state of the machine related to the accumulation of damage can be easily grasped. Therefore, according to the geometric error measurement system S, it is possible to effectively prevent a situation in which the machining accuracy of the machining center M is lowered due to execution of correction based on inappropriate identification results due to accumulation of machine damage or measurement errors. be able to.

さらに、幾何誤差計測システムSは、新たな幾何誤差の計測後に、その計測値に、パラメータ記憶領域26に記憶されている幾何誤差設定値を加算することによって、新たな幾何誤差設定値を算出するとともに、新たに計測された幾何誤差およびその幾何誤差から算出された新たな幾何誤差設定値がいずれも閾値を下回っている場合には、パラメータ記憶領域26において、算出された新たな幾何誤差設定値を新たな幾何誤差設定値として自動更新する。したがって、幾何誤差計測システムSによれば、機械のトラブルや計測ミスに起因した不適切な同定に基づいて幾何誤差設定値が真の数値からかけ離れてしまう事態が起こらず、不適切な幾何誤差設定値に基づく補正の実行により多軸工作機械の加工精度が低下する事態を、非常に効果的に防止することができる。   Furthermore, the geometric error measurement system S calculates a new geometric error setting value by adding the geometric error setting value stored in the parameter storage area 26 to the measured value after the measurement of the new geometric error. In addition, when both the newly measured geometric error and the new geometric error setting value calculated from the geometric error are below the threshold value, the calculated new geometric error setting value is stored in the parameter storage area 26. Is automatically updated as a new geometric error setting value. Therefore, according to the geometric error measurement system S, a situation in which the geometric error setting value is far from the true numerical value based on inappropriate identification due to a machine trouble or a measurement error does not occur, and an inappropriate geometric error setting is performed. A situation in which the machining accuracy of the multi-axis machine tool decreases due to the execution of the correction based on the value can be prevented very effectively.

また、幾何誤差計測システムSは、新たな幾何誤差の計測後に、その計測値に、パラメータ記憶領域26に記憶されている幾何誤差設定値を加算することによって、新たな幾何誤差設定値を算出するとともに、新たに計測された幾何誤差あるいはその幾何誤差から算出された新たな幾何誤差設定値の内のいずれか一方が閾値を上回っている場合には、パラメータ記憶領域26において、算出された新たな幾何誤差設定値を新たな幾何誤差設定値として自動更新せず、手動による新たな幾何誤差設定値の設定を可能とする。したがって、幾何誤差計測システムSによれば、新たに同定された幾何誤差の評価結果をユーザに確実に認識させることができる。   The geometric error measurement system S calculates a new geometric error setting value by adding the geometric error setting value stored in the parameter storage area 26 to the measured value after the new geometric error is measured. At the same time, if either one of the newly measured geometric error or a new geometric error setting value calculated from the geometric error exceeds the threshold value, a new calculated value is stored in the parameter storage area 26. It is possible to manually set a new geometric error setting value without automatically updating the geometric error setting value as a new geometric error setting value. Therefore, according to the geometric error measurement system S, the newly identified geometric error evaluation result can be surely recognized by the user.

加えて、幾何誤差計測システムSは、閾値記憶領域25が、複数の幾何誤差補正パラメータを含む分類毎に、別々に閾値を設定可能であるため、幾何誤差の各分類に合った適切な閾値を、短時間の内に容易に設定することができる。   In addition, in the geometric error measurement system S, the threshold value storage area 25 can set a threshold value separately for each classification including a plurality of geometric error correction parameters. Therefore, an appropriate threshold value suitable for each geometric error classification can be set. Can be set easily within a short time.

<幾何誤差計測システムの変更例>
本発明に係る幾何誤差計測システムは、上記実施形態の態様に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、必要に応じて適宜変更することができる。たとえば、幾何誤差の計測システムは、モニタの画面上への表示やスピーカからのアラーム出力により計測値が閾値を上回っている事態を報知するものに限定されず、LEDやランプ等の発光手段を各種の態様で点灯、点滅させることにより当該事態を報知するもの等に変更することも可能である。
<Example of geometric error measurement system change>
The geometric error measurement system according to the present invention is not limited to the aspect of the above embodiment, and can be appropriately changed as necessary without departing from the gist of the present invention. For example, the measurement system for geometric errors is not limited to a system for notifying that a measured value exceeds a threshold value by displaying on a monitor screen or outputting an alarm from a speaker. Various light emitting means such as LEDs and lamps are used. It is also possible to change to the one that notifies the situation by turning on and blinking in the mode.

また、幾何誤差の計測システムは、上記実施形態の如く、閾値設定手段が複数の幾何誤差補正パラメータを含む分類毎に、別々に閾値を設定可能なものに限定されず、幾何誤差補正パラメータ毎に、閾値を設定可能なものに変更することも可能である。   In addition, the geometric error measurement system is not limited to one in which the threshold setting unit can set a threshold separately for each classification including a plurality of geometric error correction parameters, as in the above embodiment, and for each geometric error correction parameter. It is also possible to change the threshold value to one that can be set.

一方、幾何誤差計測システムを用いた幾何誤差の計測方法も、上記実施形態の態様に何ら限定されるものではなく、必要に応じて適宜変更することができる。たとえば、幾何誤差の計測方法は、上記実施形態の如く、球状のターゲット(被計測治具)を用い、その直径や位置を計測することにより幾何誤差を求める方法に限定されず、直方体状等の他の形状のターゲットを用い、その直方体状のターゲットの所定の辺の長さや所定の面同士の間隔を計測することにより幾何誤差を求める方法等に変更することも可能である。   On the other hand, the geometric error measurement method using the geometric error measurement system is not limited to the embodiment described above, and can be appropriately changed as necessary. For example, the geometric error measurement method is not limited to a method of obtaining a geometric error by measuring the diameter and position of a spherical target (a jig to be measured) as in the above-described embodiment. It is also possible to change to a method for obtaining a geometric error by using a target having another shape and measuring a length of a predetermined side of the rectangular parallelepiped target or a distance between predetermined surfaces.

また、ターゲットの設置位置(中心位置)や直径の測定は、上記実施形態の如く、タッチプローブをターゲットに接触させる方法に限定されず、非接触で距離が測定できるレーザ変位計を利用した方法や、3つ以上の変位センサを同時にターゲットに接触させて各変位センサの計測値からターゲットの中心位置や直径を求める方法等に変更することも可能である。   Further, the measurement of the target installation position (center position) and diameter is not limited to the method of bringing the touch probe into contact with the target as in the above embodiment, and a method using a laser displacement meter that can measure the distance in a non-contact manner, It is also possible to change to a method of obtaining the center position and diameter of the target from the measured values of each displacement sensor by bringing three or more displacement sensors into contact with the target at the same time.

本発明に係る幾何誤差計測システムは、上記の如く優れた効果を奏するものであるから、各種の多軸工作機械における幾何誤差計測用(同定用)のシステムとして好適に用いることができる。   Since the geometric error measurement system according to the present invention has excellent effects as described above, it can be suitably used as a geometric error measurement (identification) system in various multi-axis machine tools.

S・・幾何誤差計測システム
M・・マシニングセンタ
1・・ベッド
2・・主軸頭
3・・テーブル
4・・クレードル
5・・トラニオン
11・・タッチプローブ
12・・ターゲット球
21・・制御装置
22・・記憶手段
25・・閾値記憶領域(閾値設定手段)
26・・パラメータ記憶領域(幾何誤差更新手段)
S ·· Geometric error measurement system M · · Machining center 1 · Bed 2 · Spindle head 3 · Table 4 · Cradle 5 · · Trunnion 11 · · Touch probe 12 · · Target ball 21 · · · Control device 22 · · · Storage means 25..Threshold storage area (threshold setting means)
26 .. Parameter storage area (geometric error update means)

Claims (5)

複数の直線軸と回転軸とを具備した多軸工作機械において、主軸にセンサを設けるとともにテーブルに測定ターゲットを設置し、複数の位置決め条件にて前記測定ターゲットの座標を前記センサにより計測し、それらの計測値を用いて、隣り合う軸間に存在する幾何誤差を同定する幾何誤差計測システムであって、
工作機械の幾何誤差を補正するための幾何誤差補正システムを備えており、
幾何誤差設定値を更新記憶可能な幾何誤差更新手段を有しており、幾何誤差を同定した後には、その同定した数値に前回の同定後の幾何誤差を加算した加算値を新たな幾何誤差設定値として更新するとともに、次回の幾何誤差の同定を、その幾何誤差の更新からの変化分として求めるものであり、
予め幾何誤差の閾値を設定可能な閾値設定手段と、
同定した幾何誤差が閾値設定手段に設定されている閾値を上回っている場合に、その事態を報知する報知手段とを有することを特徴とする幾何誤差計測システム。
In a multi-axis machine tool having a plurality of linear axes and rotating axes, a sensor is provided on the spindle and a measurement target is installed on the table, and the coordinates of the measurement target are measured by the sensor under a plurality of positioning conditions. A geometric error measurement system for identifying a geometric error existing between adjacent axes using the measured value of
It is equipped with a geometric error correction system for correcting geometric errors of machine tools,
It has a geometric error update means that can update and store the geometric error setting value. After identifying the geometric error, add the geometric error after the previous identification to the identified numerical value and set the new geometric error setting. Update as a value , and identify the next geometric error as a change from the update of the geometric error ,
Threshold setting means capable of setting a geometric error threshold in advance;
A geometric error measurement system comprising: an informing means for informing the situation when the identified geometric error exceeds a threshold set in the threshold setting means.
新たな幾何誤差設定値が、閾値設定手段に設定されている閾値を上回っている場合には、報知手段が、その事態を報知することを特徴とする請求項1に記載の幾何誤差計測システム。   2. The geometric error measurement system according to claim 1, wherein when the new geometric error setting value exceeds a threshold set in the threshold setting means, the notification means notifies the situation. 新たに計測された幾何誤差およびその幾何誤差から算出された新たな幾何誤差設定値がいずれも閾値を下回っている場合には、
幾何誤差更新手段において、算出された新たな幾何誤差設定値を新たな幾何誤差設定値として自動更新することを特徴とする請求項1、または請求項2に記載の幾何誤差計測システム。
If both the newly measured geometric error and the new geometric error setting value calculated from the geometric error are below the threshold,
The geometric error measurement system according to claim 1 or 2, wherein the geometric error update means automatically updates the calculated new geometric error set value as a new geometric error set value.
新たに計測された幾何誤差あるいはその幾何誤差から算出された新たな幾何誤差設定値の内のいずれか一方が閾値を上回っている場合には、
幾何誤差更新手段において、算出された新たな幾何誤差設定値を新たな幾何誤差設定値として自動更新せず、手動による新たな幾何誤差設定値の設定を可能とすることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の幾何誤差計測システム。
If one of the newly measured geometric error or the new geometric error setting value calculated from the geometric error exceeds the threshold,
2. The geometric error updating means is capable of manually setting a new geometric error setting value without automatically updating the calculated new geometric error setting value as a new geometric error setting value. The geometric error measurement system according to any one of?
閾値設定手段が、複数の幾何誤差補正パラメータを含む分類毎に、別々に閾値を設定可能であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の幾何誤差計測システム。   The geometric error measurement system according to any one of claims 1 to 4, wherein the threshold setting means can set a threshold separately for each classification including a plurality of geometric error correction parameters.
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