JP5681022B2 - Laser amplifier - Google Patents

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Description

本発明は、種光を増幅して出力するレーザ増幅装置に関する。   The present invention relates to a laser amplification device that amplifies and outputs seed light.

従来のレーザ増幅装置として、種光を出力する種光源と、励起光を出力する励起光源と、励起光が入力された状態で種光が入力されることにより、種光を増幅して出力するレーザ媒質と、を備えるものが知られている(例えば特許文献1参照)。このようなレーザ増幅装置に対しては、レーザを応用する産業界等から、出力光の高エネルギー化(大出力化)が強く求められている。   As a conventional laser amplifying apparatus, a seed light source that outputs seed light, an excitation light source that outputs excitation light, and seed light that is input in a state where excitation light is input amplify and output the seed light. What is provided with a laser medium is known (for example, refer patent document 1). For such a laser amplifying apparatus, there is a strong demand for higher output light (higher output) from the industry and the like to which lasers are applied.

特開2004−241531号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-241531

しかしながら、出力光の高エネルギー化を実現するために、レーザ媒質を大型化すると共に励起光のエネルギーを高くすると、レーザ媒質において寄生発振が起こりやすくなる。そして、この寄生発振が起こると、レーザ媒質における蓄積エネルギーが減少するため、レーザ媒質に入力した種光を効率良く増幅することができない。なお、寄生発振とは、励起光の入力によりレーザ媒質中で発生した自然放出光が、意図せずに構成された光共振器によって、レーザ媒質中で増幅されて起こる現象である。   However, if the laser medium is increased in size and the energy of the excitation light is increased in order to increase the energy of the output light, parasitic oscillation is likely to occur in the laser medium. When this parasitic oscillation occurs, the energy stored in the laser medium is reduced, so that the seed light input to the laser medium cannot be efficiently amplified. Parasitic oscillation is a phenomenon that occurs when spontaneously emitted light generated in a laser medium by the input of excitation light is amplified in the laser medium by an unintentionally configured optical resonator.

そこで、本発明は、種光を効率良く増幅することができるレーザ増幅装置を提供することを目的とする。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a laser amplifying apparatus capable of efficiently amplifying seed light.

本発明のレーザ増幅装置は、種光を出力する種光源と、励起光を出力する励起光源と、励起光が入力された状態で種光が入力されることにより、種光を増幅して出力する固体レーザ媒質をそれぞれ有する複数のレーザ媒質部と、種光を透過させ、かつ、励起光が固体レーザ媒質に入力されたときに固体レーザ媒質中で発生する自然放出光の一部を吸収する複数の第1の可飽和吸収体と、を備え、複数のレーザ媒質部は、種光の光路に沿って配置されており、複数の第1の可飽和吸収体は、種光の光路に沿って、少なくとも1つのレーザ媒質部と交互に配置されている。 The laser amplifying apparatus of the present invention amplifies and outputs seed light by inputting seed light with a seed light source that outputs seed light, an excitation light source that outputs excitation light, and seed light in a state where excitation light is input A plurality of laser medium portions each having a solid laser medium to transmit, part of the spontaneous emission light generated in the solid laser medium when the seed light is transmitted and excitation light is input to the solid laser medium A plurality of first saturable absorbers, wherein the plurality of laser medium portions are disposed along the optical path of the seed light, and the plurality of first saturable absorbers are disposed along the optical path of the seed light. Thus , they are alternately arranged with at least one laser medium portion.

このレーザ増幅装置では、レーザ媒質部に励起光が入力されると、レーザ媒質部中で自然放出光が発生するものの、第1の可飽和吸収体に自然放出光の一部が吸収されて寄生発振の発生が抑制される。この状態でレーザ媒質部に励起光が入力され続けるので、レーザ媒質部では、自然放出光のエネルギーが蓄積されることになる。このとき、レーザ媒質部に種光が入力されると、第1の可飽和吸収体の光透過率が高くなる(種光が入力されていないときに比べて高くなる)。そのため、種光は、レーザ媒質部において自然放出光からエネルギーを得て増幅されると共に、第1の可飽和吸収体を透過して外部に出力される。このように、レーザ媒質部においては、寄生発振の発生が抑制されて、自然放出光のエネルギーが増加するので、このレーザ増幅装置によれば、種光を効率良く増幅することができる。   In this laser amplifying device, when excitation light is input to the laser medium portion, spontaneous emission light is generated in the laser medium portion, but a part of the spontaneous emission light is absorbed by the first saturable absorber and becomes parasitic. Oscillation is suppressed. In this state, the excitation light continues to be input to the laser medium portion, so that energy of spontaneous emission light is accumulated in the laser medium portion. At this time, when seed light is input to the laser medium portion, the light transmittance of the first saturable absorber increases (compared to when no seed light is input). Therefore, the seed light is amplified by obtaining energy from the spontaneous emission light in the laser medium portion, and is transmitted to the outside through the first saturable absorber. As described above, in the laser medium portion, the occurrence of parasitic oscillation is suppressed and the energy of spontaneous emission light is increased. Therefore, according to this laser amplifier, the seed light can be efficiently amplified.

本発明のレーザ増幅装置においては、レーザ媒質部は、種光の光路に沿って複数配置されており、第1の可飽和吸収体は、少なくとも1つのレーザ媒質部と交互に複数配置されてい。この構成によれば、種光の光路に沿ってレーザ媒質部が複数配置されても、第1の可飽和吸収体によって寄生発振の発生が抑制されるので、種光をレーザ媒質部のそれぞれにおいて効率良く増幅して、出力光の高エネルギー化を図ることができる。 In laser amplifier of the present invention, the laser medium unit is more disposed along the optical path of the seed light, the first saturable absorber that has a plurality of alternately arranged at least one laser medium portion . According to this configuration, even if a plurality of laser medium portions are arranged along the optical path of the seed light, the first saturable absorber suppresses the occurrence of parasitic oscillation. It is possible to efficiently amplify and increase the energy of the output light.

本発明のレーザ増幅装置は、種光を透過させ、かつ、自然放出光の一部を吸収する第2の可飽和吸収体を更に備え、第2の可飽和吸収体は、種光の光路に沿う方向から見た場合にレーザ媒質部を複数に分割するようにレーザ媒質部に設けられていてもよい。この構成によれば、種光の光路に垂直な方向にレーザ媒質部が大型化されても、第2の可飽和吸収体によって寄生発振の発生が抑制されるので、種光をレーザ媒質において効率良く増幅して、出力光の高エネルギー化を図ることができる。 The laser amplifying apparatus of the present invention further includes a second saturable absorber that transmits seed light and absorbs part of spontaneous emission light, and the second saturable absorber is in the optical path of the seed light. The laser medium portion may be provided so as to divide the laser medium portion into a plurality when viewed from the direction along the direction. According to this configuration, even if the laser medium portion is enlarged in the direction perpendicular to the optical path of the seed light, the second saturable absorber suppresses the occurrence of parasitic oscillation. Amplifying well, the energy of the output light can be increased.

本発明のレーザ増幅装置は、種光を透過させ、かつ、自然放出光の一部を吸収する第3の可飽和吸収体を更に備え、第3の可飽和吸収体は、種光の光路に沿う方向から見た場合にレーザ媒質部の外縁を包囲するようにレーザ媒質部に設けられていてもよい。この構成によれば、種光の光路に垂直な方向にレーザ媒質部が大型化されても、第3の可飽和吸収体によって寄生発振の発生が抑制されるので、種光をレーザ媒質において効率良く増幅して、出力光の高エネルギー化を図ることができる。 The laser amplifying apparatus of the present invention further includes a third saturable absorber that transmits seed light and absorbs part of spontaneous emission light, and the third saturable absorber is disposed in the optical path of the seed light. It may be provided in the laser medium part so as to surround the outer edge of the laser medium part when viewed from the direction along. According to this configuration, even if the laser medium portion is enlarged in the direction perpendicular to the optical path of the seed light, the third saturable absorber suppresses the occurrence of parasitic oscillation. Amplifying well, the energy of the output light can be increased.

本発明によれば、種光を効率良く増幅することができる。   According to the present invention, seed light can be efficiently amplified.

本発明の一実施形態のレーザ増幅装置の斜視図である。1 is a perspective view of a laser amplification device according to an embodiment of the present invention. 図1のレーザ増幅装置の光増幅部の断面図である。It is sectional drawing of the optical amplification part of the laser amplification apparatus of FIG. 図1のレーザ増幅装置のレーザ媒質部の斜視図である。It is a perspective view of the laser medium part of the laser amplifier of FIG. 可飽和吸収体における入力エネルギーと相対的光透過率との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the input energy and relative light transmittance in a saturable absorber. 寄生発振の発生の原理、及びその抑制の原理を説明するための概念図である。It is a conceptual diagram for demonstrating the principle of generation | occurrence | production of a parasitic oscillation, and the principle of the suppression. 図1のレーザ増幅装置における入力エネルギーと出力エネルギーとの関係、及び入力エネルギーとエネルギー取出し効率との関係を示すグラフである。2 is a graph showing the relationship between input energy and output energy and the relationship between input energy and energy extraction efficiency in the laser amplification device of FIG. 1. 参考形態としてのレーザ発振装置の光増幅部の断面図である。It is sectional drawing of the optical amplification part of the laser oscillation apparatus as a reference form.

以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In addition, in each figure, the same code | symbol is attached | subjected to the same or an equivalent part, and the overlapping description is abbreviate | omitted.

図1に示されるように、レーザ増幅装置1は、種光源2と、励起光源3と、光増幅部10と、を備えている。種光源2は、例えば固体レーザ発振器であり、パルス波である種光L1を出力する。励起光源3は、例えば半導体レーザスタックであり、連続波、又は疑似連続波(パルス波)である励起光L2を出力する。光増幅部10は、光軸Aに沿って種光L1を増幅し、増幅した種光L1を出力光L3として出力する。ここで、光増幅部10に入力される種光L1のエネルギーは、例えば100J程度であり、光増幅部10から出力される出力光L3のエネルギーは、例えば1kJ程度である。   As shown in FIG. 1, the laser amplification device 1 includes a seed light source 2, an excitation light source 3, and an optical amplification unit 10. The seed light source 2 is a solid laser oscillator, for example, and outputs seed light L1 that is a pulse wave. The pumping light source 3 is a semiconductor laser stack, for example, and outputs pumping light L2 that is a continuous wave or a pseudo continuous wave (pulse wave). The optical amplifying unit 10 amplifies the seed light L1 along the optical axis A, and outputs the amplified seed light L1 as output light L3. Here, the energy of the seed light L1 input to the optical amplification unit 10 is, for example, about 100 J, and the energy of the output light L3 output from the optical amplification unit 10 is, for example, about 1 kJ.

種光源2は、光増幅部10に対向するように光軸A上に配置されている。励起光源3は、光軸A上から外れた状態で、光増幅部10に対して種光L1の入力側(以下、単に「入力側」という)及び種光L1の出力側(以下、単に「出力側」という)のそれぞれに配置されている。光軸A上において光増幅部10の入力側及び出力側のそれぞれには、波長選択ミラー4が配置されている。入力側の波長選択ミラー4は、種光源2と光増幅部10との間に位置している。   The seed light source 2 is disposed on the optical axis A so as to face the optical amplification unit 10. The pumping light source 3 is off the optical axis A, and the input side of the seed light L1 (hereinafter simply referred to as “input side”) and the output side of the seed light L1 (hereinafter simply referred to as “input side”). (Referred to as “output side”). On the optical axis A, the wavelength selection mirror 4 is disposed on each of the input side and the output side of the optical amplification unit 10. The wavelength selective mirror 4 on the input side is located between the seed light source 2 and the optical amplifying unit 10.

種光源2から出力された種光L1は、入力側の波長選択ミラー4を透過して光軸Aに沿って進行し、光増幅部10に入力される。入力側の励起光源3から出力された励起光L2は、入力側の波長選択ミラー4によって反射されて光軸Aに沿って進行し、光増幅部10に入力される。出力側の励起光源3から出力された励起光L2は、出力側の波長選択ミラー4によって反射されて光軸Aに沿って進行し、光増幅部10に入力される。光増幅部10から出力された出力光L3は、出力側の波長選択ミラー4を透過して光軸Aに沿って進行し、外部に出力される。   The seed light L1 output from the seed light source 2 passes through the wavelength selector mirror 4 on the input side, travels along the optical axis A, and is input to the optical amplification unit 10. The excitation light L 2 output from the input-side excitation light source 3 is reflected by the input-side wavelength selection mirror 4, travels along the optical axis A, and is input to the optical amplification unit 10. The excitation light L 2 output from the output-side excitation light source 3 is reflected by the output-side wavelength selection mirror 4, travels along the optical axis A, and is input to the optical amplification unit 10. The output light L3 output from the optical amplifying unit 10 passes through the output-side wavelength selection mirror 4, travels along the optical axis A, and is output to the outside.

図2に示されるように、光増幅部10は、レーザ媒質部5と、可飽和吸収体(第1の可飽和吸収体)6と、を有している。レーザ媒質部5は、励起光L2が入力された状態で種光L1が入力されることにより、種光L1を増幅して出力する。可飽和吸収体6は、種光L1が入力されたときに光透過率が高くなるものである。つまり、可飽和吸収体6においては、種光L1が入力されたときの光透過率が、種光L1が入力されていないときの光透過率よりも高くなる。   As illustrated in FIG. 2, the optical amplification unit 10 includes a laser medium unit 5 and a saturable absorber (first saturable absorber) 6. The laser medium unit 5 amplifies and outputs the seed light L1 when the seed light L1 is input in a state where the excitation light L2 is input. The saturable absorber 6 has a high light transmittance when the seed light L1 is input. That is, in the saturable absorber 6, the light transmittance when the seed light L1 is input is higher than the light transmittance when the seed light L1 is not input.

レーザ媒質部5は、光軸Aに沿って(すなわち、種光L1の光路に沿って)複数(ここでは、10枚)配置されている。同様に、可飽和吸収体6は、光軸Aに沿って複数(ここでは、4枚)配置されている。レーザ媒質部5及び可飽和吸収体6は、矩形板状に形成されており、その中心を光軸Aが通るように配置されている。ここで、1枚の可飽和吸収体6は、所定数(ここでは、2枚)のレーザ媒質部5と交互に配置されている。このように、各可飽和吸収体6は、光軸Aに沿ってレーザ媒質部5に隣接され、並設されている。   A plurality of (here, 10) laser medium portions 5 are arranged along the optical axis A (that is, along the optical path of the seed light L1). Similarly, a plurality (four in this case) of saturable absorbers 6 are arranged along the optical axis A. The laser medium portion 5 and the saturable absorber 6 are formed in a rectangular plate shape, and are arranged so that the optical axis A passes through the center thereof. Here, one saturable absorber 6 is alternately arranged with a predetermined number (here, two) of laser medium portions 5. As described above, the saturable absorbers 6 are adjacent to the laser medium unit 5 along the optical axis A and are arranged in parallel.

各レーザ媒質部5は、ホルダ7によって保持されており、各可飽和吸収体6は、ホルダ8によって保持されている。より具体的には、ホルダ7は、レーザ媒質部5の入力側及び出力側の表面を露出させた状態で、熱伝導率が高くかつ機械的な緩衝効果を有する材料(例えばインジウム等)を介してレーザ媒質部5の外縁を保持している。同様に、ホルダ8は、可飽和吸収体6の入力側及び出力側の表面を露出させた状態で、熱伝導率が高くかつ機械的な緩衝効果を有する材料(例えばインジウム等)を介して可飽和吸収体6の外縁を保持している。なお、光軸A上には、レーザ媒質部5及び可飽和吸収体6を挟むように、種光L1、励起光L2及び出力光L3を透過させる光透過窓11が配置されており、各光透過窓11は、ホルダ12によって保持されている。ホルダ12もまた、光透過窓11の入力側及び出力側の表面を露出させた状態で、熱伝導率が高くかつ機械的な緩衝効果を有する材料(例えばインジウム等)を介して光透過窓11の外縁を保持している。   Each laser medium portion 5 is held by a holder 7, and each saturable absorber 6 is held by a holder 8. More specifically, the holder 7 is made of a material having high thermal conductivity and a mechanical buffering effect (for example, indium or the like) in a state where the input side and output side surfaces of the laser medium unit 5 are exposed. The outer edge of the laser medium portion 5 is held. Similarly, the holder 8 can be passed through a material having high thermal conductivity and a mechanical buffering effect (for example, indium or the like) with the input side and output side surfaces of the saturable absorber 6 exposed. The outer edge of the saturated absorber 6 is held. On the optical axis A, a light transmission window 11 that transmits the seed light L1, the excitation light L2, and the output light L3 is disposed so as to sandwich the laser medium portion 5 and the saturable absorber 6. The transmission window 11 is held by a holder 12. The holder 12 also has a light transmission window 11 through a material (for example, indium or the like) having a high thermal conductivity and a mechanical buffering effect in a state where the input side and output side surfaces of the light transmission window 11 are exposed. Holding the outer edge of.

各ホルダ7,8,12は、熱伝導率の高い材料(例えば銅等)からなり、図示しない筐体内において、隣り合うホルダ7,8,12間の間隙には、水、ヘリウムガス、フッ素系不活性液体等である冷媒Cが流通させられる。これにより、レーザ増幅装置1の動作中、レーザ媒質部5及び可飽和吸収体6を冷却することができる。また、各ホルダ7,8,12は、一方の側から他方の側に向かって(図1では、下側から上側に向かって)厚さが漸減する(すなわち、徐々に薄くなる)矩形板の翼型状に形成されており、冷媒Cは、一方の側から他方の側に向かって流通させられる。これにより、冷媒Cをスムーズに流通させることができる。   Each holder 7, 8, 12 is made of a material having high thermal conductivity (for example, copper or the like), and water, helium gas, fluorine-based material is provided in a gap between adjacent holders 7, 8, 12 in a housing (not shown). A refrigerant C, such as an inert liquid, is circulated. Thereby, the laser medium unit 5 and the saturable absorber 6 can be cooled during the operation of the laser amplifying apparatus 1. Each holder 7, 8, 12 is a rectangular plate whose thickness gradually decreases (that is, gradually decreases) from one side to the other side (from the lower side to the upper side in FIG. 1). It is formed in an airfoil shape, and the refrigerant C is circulated from one side to the other side. Thereby, the refrigerant | coolant C can be distribute | circulated smoothly.

図3に示されるように、レーザ媒質部5は、レーザ媒質13と、可飽和吸収体14と、を有している。レーザ媒質13は、Nd:YAG、チタンサファイア等の固定レーザ媒質であり、例えば種光源2の固体レーザ媒質と同種のものが用いられている。可飽和吸収体14は、種光L1が入力されたときに光透過率が高くなるものである。つまり、可飽和吸収体14においては、種光L1が入力されたときの光透過率が、種光L1が入力されていないときの光透過率よりも高くなる。   As shown in FIG. 3, the laser medium unit 5 includes a laser medium 13 and a saturable absorber 14. The laser medium 13 is a fixed laser medium such as Nd: YAG or titanium sapphire. For example, the same type as the solid laser medium of the seed light source 2 is used. The saturable absorber 14 has a high light transmittance when the seed light L1 is input. That is, in the saturable absorber 14, the light transmittance when the seed light L1 is input is higher than the light transmittance when the seed light L1 is not input.

レーザ媒質13は、マトリックス状(ここでは、5行5列)に複数配置されており、各レーザ媒質13は、矩形板状(例えば、外形3cm×3cm、厚さ1cm)に形成されている。可飽和吸収体14は、可飽和吸収体(第2の可飽和吸収体)14a及び可飽和吸収体(第3の可飽和吸収体)14bを含んでいる。可飽和吸収体14aは、隣り合うレーザ媒質13間の間隙に沿って格子状に配置されている。また、可飽和吸収体14bは、全てのレーザ媒質13の集合体の外縁に沿って矩形環状に配置されている。   A plurality of laser media 13 are arranged in a matrix (here, 5 rows and 5 columns), and each laser medium 13 is formed in a rectangular plate shape (for example, an outer shape of 3 cm × 3 cm and a thickness of 1 cm). The saturable absorber 14 includes a saturable absorber (second saturable absorber) 14a and a saturable absorber (third saturable absorber) 14b. The saturable absorber 14 a is arranged in a lattice shape along the gap between the adjacent laser media 13. The saturable absorber 14b is disposed in a rectangular ring shape along the outer edge of the aggregate of all the laser media 13.

つまり、可飽和吸収体14aは、光軸A方向(すなわち、種光L1の光路に沿う方向)から見た場合にレーザ媒質部5を複数に分割するようにレーザ媒質部5に設けられている。また、可飽和吸収体14bは、光軸A方向から見た場合にレーザ媒質部5の外縁を包囲するようにレーザ媒質部5に設けられている。なお、各レーザ媒質部5において、レーザ媒質13及び可飽和吸収体14は、光学接着剤やオプティカルコンタクト等により一体化されている。   That is, the saturable absorber 14a is provided in the laser medium unit 5 so as to divide the laser medium unit 5 into a plurality of parts when viewed from the optical axis A direction (that is, the direction along the optical path of the seed light L1). . The saturable absorber 14b is provided in the laser medium unit 5 so as to surround the outer edge of the laser medium unit 5 when viewed from the optical axis A direction. In each laser medium unit 5, the laser medium 13 and the saturable absorber 14 are integrated by an optical adhesive, an optical contact, or the like.

上述した可飽和吸収体6,14について、より詳細に説明する。一般的に、可飽和吸収体においては、入力エネルギー(すなわち、入力される光のエネルギー)に対して光透過率が大きく変化する。図4に示される可飽和吸収体では、入力エネルギーが1mJから1μJになると、光透過率が2桁減少する。通常、レーザ増幅装置においては、数J/cmのフルエンスで種光を入力して光増幅を行う。このとき、レーザ媒質中で発生する自然放出光のフラックスは、nJ〜μJレベルであると想定される。 The saturable absorbers 6 and 14 described above will be described in more detail. In general, in a saturable absorber, the light transmittance greatly changes with respect to input energy (that is, energy of input light). In the saturable absorber shown in FIG. 4, when the input energy is changed from 1 mJ to 1 μJ, the light transmittance is reduced by two orders of magnitude. Usually, in a laser amplification apparatus, seed light is input at a fluence of several J / cm 2 to perform optical amplification. At this time, the flux of spontaneous emission light generated in the laser medium is assumed to be nJ to μJ level.

ここで、レーザ媒質中で発生する自然放出光のフラックスは、可飽和吸収体の飽和フルエンスよりも低いため、自然放出光に対する可飽和吸収体の光透過率は、例えば1%と低くなる。一方、レーザ媒質に入力される種光のフルエンスは、可飽和吸収体の飽和フルエンスよりも高いため、種光に対する可飽和吸収体の透過率は、例えば99%と高くなる。   Here, since the flux of spontaneously emitted light generated in the laser medium is lower than the saturated fluence of the saturable absorber, the light transmittance of the saturable absorber with respect to the spontaneously emitted light is as low as 1%, for example. On the other hand, since the fluence of the seed light input to the laser medium is higher than the saturation fluence of the saturable absorber, the transmittance of the saturable absorber with respect to the seed light is as high as 99%, for example.

従って、上述した可飽和吸収体6,14においては、レーザ媒質13中で発生する自然放出光を吸収する一方で、レーザ媒質部5に入力される種光L1を低損失で伝播するようにすることができる。なお、可飽和吸収体6,14の材料としては、ガラスフィルター(BG850、RG1000等)、Cr:YAG、半導体可飽和吸収体、カーボンナノチューブ、非線形光学材料等を用いることができる。そして、可飽和吸収体6,14の光透過率特性は、可飽和吸収体6,14の厚さや不純物の添加濃度等によって調節することができる。   Therefore, the saturable absorbers 6 and 14 described above absorb the spontaneous emission light generated in the laser medium 13 while propagating the seed light L1 input to the laser medium unit 5 with low loss. be able to. In addition, as a material of the saturable absorbers 6 and 14, a glass filter (BG850, RG1000, etc.), Cr: YAG, a semiconductor saturable absorber, a carbon nanotube, a nonlinear optical material, etc. can be used. The light transmittance characteristics of the saturable absorbers 6 and 14 can be adjusted by the thickness of the saturable absorbers 6 and 14 and the concentration of impurities added.

以上説明したように、レーザ増幅装置1においては、レーザ媒質部5が種光L1の光路に沿って複数配置されており、可飽和吸収体6が所定数のレーザ媒質部5と交互に複数配置されている。更に、各レーザ媒質部5には、種光L1の光路に沿う方向から見た場合にレーザ媒質部5を複数に分割するように可飽和吸収体14aが設けられていると共に、当該方向から見た場合にレーザ媒質部5の外縁を包囲するように可飽和吸収体14bが設けられている。これにより、連続波、又は疑似連続波(パルス波)である励起光L2が各レーザ媒質部5に入力されると、各レーザ媒質部5のレーザ媒質13中で自然放出光が発生するものの、可飽和吸収体6,14に自然放出光の一部が吸収されて寄生発振の発生が抑制される。この状態で各レーザ媒質部5に励起光L2が入力され続けるので、各レーザ媒質部5では、自然放出光のエネルギーが増加することになる(すなわち、蓄積されることになる)。このとき、パルス波である種光L1が各レーザ媒質部5に入力されると、可飽和吸収体6,14の光透過率が急激に高くなる。そのため、種光L1は、各レーザ媒質部5において自然放出光からエネルギーを得て増幅されると共に、可飽和吸収体6,14を透過して外部に出力される。このように、レーザ増幅装置1では、種光L1の光路に沿ってレーザ媒質部5を複数配置しても、更には、種光L1の光路に垂直な方向に各レーザ媒質部5を大型化しても、各レーザ媒質部5においては、寄生発振の発生が抑制されて、自然放出光のエネルギーが増加することになる。よって、レーザ増幅装置1によれば、種光L1を各レーザ媒質部5において効率良く増幅して、出力光L3の高エネルギー化を図ることが可能となる。   As described above, in the laser amplifying apparatus 1, a plurality of laser medium parts 5 are arranged along the optical path of the seed light L 1, and a plurality of saturable absorbers 6 are arranged alternately with a predetermined number of laser medium parts 5. Has been. Further, each laser medium portion 5 is provided with a saturable absorber 14a so as to divide the laser medium portion 5 into a plurality of parts when viewed from the direction along the optical path of the seed light L1, and is viewed from the direction. In this case, a saturable absorber 14b is provided so as to surround the outer edge of the laser medium portion 5. Thereby, when the excitation light L2 that is a continuous wave or a pseudo continuous wave (pulse wave) is input to each laser medium unit 5, spontaneous emission light is generated in the laser medium 13 of each laser medium unit 5, Part of spontaneously emitted light is absorbed by the saturable absorbers 6 and 14, and the occurrence of parasitic oscillation is suppressed. In this state, since the excitation light L2 is continuously input to each laser medium unit 5, the energy of spontaneous emission light increases (that is, accumulates) in each laser medium unit 5. At this time, when the seed light L1 which is a pulse wave is input to each laser medium unit 5, the light transmittance of the saturable absorbers 6 and 14 increases rapidly. Therefore, the seed light L1 is amplified by obtaining energy from spontaneously emitted light in each laser medium unit 5, and is transmitted to the outside through the saturable absorbers 6 and 14. As described above, in the laser amplifying apparatus 1, even if a plurality of laser medium portions 5 are arranged along the optical path of the seed light L1, each laser medium portion 5 is further enlarged in a direction perpendicular to the optical path of the seed light L1. However, in each laser medium portion 5, the occurrence of parasitic oscillation is suppressed, and the energy of spontaneous emission light increases. Therefore, according to the laser amplifying apparatus 1, it is possible to efficiently amplify the seed light L1 in each laser medium unit 5 and increase the energy of the output light L3.

図5は、寄生発振の発生の原理、及びその抑制の原理を説明するための概念図である。図5(a)に示されるように、光増幅部がレーザ媒質13のみからなる場合には、出力光の高エネルギー化を実現するために、レーザ媒質13を大型化すると共に励起光L2のエネルギーを高くするほど、寄生発振L10が起こりやすくなる。すなわち、励起光L2の入力によりレーザ媒質13中で発生した自然放出光L0が、意図せずに構成された光共振器によって、レーザ媒質13中で増幅されて、寄生発振L10が起こってしまう。そして、寄生発振L10が起こると、レーザ媒質13における蓄積エネルギーが減少するため、レーザ媒質13に入力した種光を効率良く増幅することができない。   FIG. 5 is a conceptual diagram for explaining the principle of occurrence of parasitic oscillation and the principle of suppression thereof. As shown in FIG. 5A, in the case where the optical amplifying unit is composed only of the laser medium 13, the laser medium 13 is enlarged and the energy of the pumping light L2 is realized in order to realize high output light energy. The higher the is, the easier the parasitic oscillation L10 occurs. That is, the spontaneous emission light L0 generated in the laser medium 13 by the input of the excitation light L2 is amplified in the laser medium 13 by the optical resonator configured unintentionally, and the parasitic oscillation L10 occurs. When the parasitic oscillation L10 occurs, the stored energy in the laser medium 13 decreases, so that the seed light input to the laser medium 13 cannot be amplified efficiently.

これに対し、図5(b)に示されるように、光増幅部10において、種光L1の光路に沿う方向にレーザ媒質13が複数に分割され、隣り合うレーザ媒質13間に可飽和吸収体6が配置されている場合には、励起光L2の入力によりレーザ媒質13中で自然放出光L0が発生するものの、可飽和吸収体6に自然放出光L0の一部が吸収されて寄生発振の発生が抑制される。そして、寄生発振によるエネルギーの損失が抑制されたレーザ媒質13に種光L1が入力されるため、レーザ媒質13に蓄積されたエネルギーを抽出して種光L1を効率良く増幅し、出力光L3として出力することができる。   On the other hand, as shown in FIG. 5B, in the optical amplifying unit 10, the laser medium 13 is divided into a plurality in the direction along the optical path of the seed light L1, and the saturable absorber is interposed between the adjacent laser media 13. 6 is disposed, the spontaneous emission light L0 is generated in the laser medium 13 by the input of the excitation light L2, but a part of the spontaneous emission light L0 is absorbed by the saturable absorber 6 to cause parasitic oscillation. Occurrence is suppressed. Then, since the seed light L1 is input to the laser medium 13 in which energy loss due to parasitic oscillation is suppressed, the energy accumulated in the laser medium 13 is extracted to efficiently amplify the seed light L1 as output light L3. Can be output.

ここで、可飽和吸収体6,14が設けられている場合(すなわち、上記レーザ増幅装置1の場合)と、可飽和吸収体6,14が設けられていない場合とで、レーザの増幅計算を行った。なお、高エネルギーギーレーザの設計では、寄生発振の有無を考慮するときに、g0lというパラメータを用いており、g0lが3以上で寄生発振が起こるとされている。   Here, when the saturable absorbers 6 and 14 are provided (that is, in the case of the laser amplification apparatus 1), and when the saturable absorbers 6 and 14 are not provided, the laser amplification calculation is performed. went. In designing a high energy Ghee laser, when considering the presence or absence of parasitic oscillation, a parameter g01 is used, and parasitic oscillation occurs when g01 is 3 or more.

まず、5行5列に25枚配置された矩形板状(外形3cm×3cm、厚さ1cm)のレーザ媒質13において、可飽和吸収体14が設けられていない場合には、g0lは11.7となり、寄生発振が起こってしまう。これに対し、5行5列に25枚配置された矩形板状(外形3cm×3cm、厚さ1cm)のレーザ媒質13において、可飽和吸収体14が設けられている場合には、g0lは2.8となり、寄生発振の発生を抑制することができる。   First, in the rectangular plate-like (outside 3 cm × 3 cm, thickness 1 cm) laser medium 13 arranged in 25 rows and 5 columns, when the saturable absorber 14 is not provided, g01 is 11.7. As a result, parasitic oscillation occurs. On the other hand, when saturable absorber 14 is provided in a rectangular plate-like (outer shape 3 cm × 3 cm, thickness 1 cm) laser medium 13 arranged in 5 rows and 5 columns, g01 is 2 .8, and the occurrence of parasitic oscillation can be suppressed.

次に、種光L1の光路に沿って10枚配置されたレーザ媒質部5において、可飽和吸収体6が設けられていない場合には、光軸A方向のg0lが7.8となり、寄生発振が起こってしまう。これに対し、種光L1の光路に沿って10枚配置されたレーザ媒質部5において、2枚のレーザ媒質部5と交互に可飽和吸収体6が設けられている場合には、光軸A方向のg0lは1.7となり、寄生発振の発生を抑制することができる。図6は、可飽和吸収体6,14が設けられている場合(すなわち、上記レーザ増幅装置1の場合)における入力エネルギーと出力エネルギーとの関係、及び入力エネルギーとエネルギー取出し効率との関係を示すグラフである。   Next, in the laser medium section 5 arranged along the optical path of the seed light L1, when the saturable absorber 6 is not provided, g01 in the optical axis A direction becomes 7.8, and parasitic oscillation Will happen. On the other hand, when the saturable absorber 6 is provided alternately with the two laser medium portions 5 in the laser medium portions 5 arranged along the optical path of the seed light L1, the optical axis A The direction g01 is 1.7, and the occurrence of parasitic oscillation can be suppressed. FIG. 6 shows the relationship between the input energy and the output energy and the relationship between the input energy and the energy extraction efficiency when the saturable absorbers 6 and 14 are provided (that is, in the case of the laser amplification device 1). It is a graph.

一般的に、種光L1の光路上に光吸収体を配置することは、種光L1のエネルギーを損失することとなるため、実用的ではない。しかしながら、可飽和吸収体を用いることで、同じ波長であってもその強度(エネルギー)によって光透過率が異なるため、上述したような構成を実現することが可能となる。   Generally, it is not practical to dispose a light absorber on the optical path of the seed light L1 because the energy of the seed light L1 is lost. However, by using a saturable absorber, the light transmittance varies depending on the intensity (energy) even at the same wavelength, and thus the above-described configuration can be realized.

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、可飽和吸収体6は、複数のレーザ媒質部5と交互に複数配置されている場合に限定されず、1つのレーザ媒質部5と交互に複数配置されていてもよい。更に、可飽和吸収体6は、複数である場合に限定されず、種光L1の光路に沿ってレーザ媒質部5に並設されていれば、1つであってもよい。   Although one embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above embodiment. For example, the saturable absorber 6 is not limited to a case where a plurality of saturable absorbers 6 are alternately arranged with a plurality of laser medium units 5, and a plurality of saturable absorbers 6 may be alternately arranged with one laser medium unit 5. Further, the number of saturable absorbers 6 is not limited to a plurality, and one saturable absorber 6 may be provided as long as the saturable absorbers 6 are arranged in parallel with the laser medium unit 5 along the optical path of the seed light L1.

また、可飽和吸収体14aは、種光L1の光路に沿う方向から見た場合にレーザ媒質部5を複数に分割していれば、格子状に配置されていなくてもよい。また、可飽和吸収体14bは、種光L1の光路に沿う方向から見た場合にレーザ媒質部5の外縁を包囲していれば、矩形環状に配置されていなくてもよい。更に、可飽和吸収体14に代えて、クラッディング材を適用しても、寄生発振の発生を抑制するのに効果がある。ここで、クラッディング材とは、種光L1と同じ波長のレーザ媒質13内の蓄積光を吸収する特性を有する材料である(ただし、この場合にも、可飽和吸収体6は必須である)。   Further, the saturable absorber 14a may not be arranged in a lattice form as long as the laser medium portion 5 is divided into a plurality of parts when viewed from the direction along the optical path of the seed light L1. In addition, the saturable absorber 14b may not be arranged in a rectangular ring shape as long as it surrounds the outer edge of the laser medium portion 5 when viewed from the direction along the optical path of the seed light L1. Furthermore, even if a cladding material is applied in place of the saturable absorber 14, it is effective in suppressing the occurrence of parasitic oscillation. Here, the cladding material is a material having a characteristic of absorbing the accumulated light in the laser medium 13 having the same wavelength as the seed light L1 (however, the saturable absorber 6 is also essential in this case). .

最後に、参考形態としてのレーザ発振装置について説明する。図7に示されるように、このレーザ発振装置の光増幅部100の構成は、光透過窓11に代えて、波長選択全反射ミラー15及び波長選択出力結合ミラー16が用いられている点で、上述したレーザ増幅装置1の光増幅部10の構成と相違している。すなわち、波長選択全反射ミラー15は、励起光L2を透過させ、発振される光(放出光)を全反射する。また、波長選択出力結合ミラー16は、励起光L2を透過させ、発振される光(放出光)をレーザ発振に適した透過率で透過させる。   Finally, a laser oscillation apparatus as a reference form will be described. As shown in FIG. 7, the configuration of the optical amplification unit 100 of this laser oscillation device is that a wavelength selective total reflection mirror 15 and a wavelength selective output coupling mirror 16 are used instead of the light transmission window 11. This is different from the configuration of the optical amplification unit 10 of the laser amplification device 1 described above. That is, the wavelength selective total reflection mirror 15 transmits the excitation light L2 and totally reflects the oscillated light (emitted light). The wavelength selective output coupling mirror 16 transmits the excitation light L2 and transmits the oscillated light (emitted light) with a transmittance suitable for laser oscillation.

このように構成された光増幅部100においては、連続波である励起光L2が各レーザ媒質部5に入力されると、各レーザ媒質部5のレーザ媒質13中で自然放出光が発生する。このとき、可飽和吸収体6,14に自然放出光の一部が吸収されて寄生発振の発生が抑制される。この状態で各レーザ媒質部5に励起光L2が入力され続けるので、各レーザ媒質部5では、自然放出光のエネルギーが増加することになる(すなわち、蓄積されることになる)。そして、自然放出光のフラックスが可飽和吸収体6,14の飽和フルエンスを超えたときに、放出光が可飽和吸収体6,14を透過して誘導放出が起こると共に、ミラー15,16を光共振器として往復させられ、その結果、高ピーク強度のパルス波である出力光L3が波長選択出力結合ミラー16から外部に出力される。このような光増幅部100は、電界光学効果や音響光学効果を用いた能動的な光学スイッチを用いた一般的なQスイッチパルス発振器にも応用可能である。   In the optical amplifying unit 100 configured as described above, when the excitation light L <b> 2 that is a continuous wave is input to each laser medium unit 5, spontaneous emission light is generated in the laser medium 13 of each laser medium unit 5. At this time, a part of spontaneous emission light is absorbed by the saturable absorbers 6 and 14, and the occurrence of parasitic oscillation is suppressed. In this state, since the excitation light L2 is continuously input to each laser medium unit 5, the energy of spontaneous emission light increases (that is, accumulates) in each laser medium unit 5. When the flux of spontaneously emitted light exceeds the saturation fluence of the saturable absorbers 6 and 14, the emitted light is transmitted through the saturable absorbers 6 and 14 and stimulated emission occurs, and the mirrors 15 and 16 are irradiated with light. As a result, the output light L3, which is a pulse wave with a high peak intensity, is output from the wavelength selective output coupling mirror 16 to the outside. Such an optical amplifying unit 100 can also be applied to a general Q-switch pulse oscillator using an active optical switch using an electro-optic effect or an acousto-optic effect.

1…レーザ増幅装置、2…種光源、3…励起光源、5…レーザ媒質部、6…可飽和吸収体(第1の可飽和吸収体)、14a…可飽和吸収体(第2の可飽和吸収体)、14b…可飽和吸収体(第3の可飽和吸収体)、L1…種光、L2…励起光。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Laser amplifier, 2 ... Seed light source, 3 ... Excitation light source, 5 ... Laser medium part, 6 ... Saturable absorber (1st saturable absorber), 14a ... Saturable absorber (2nd saturable absorber) Absorber), 14b ... saturable absorber (third saturable absorber), L1 ... seed light, L2 ... excitation light.

Claims (4)

種光を出力する種光源と、
励起光を出力する励起光源と、
前記励起光が入力された状態で前記種光が入力されることにより、前記種光を増幅して出力する固体レーザ媒質をそれぞれ有する複数のレーザ媒質部と、
前記種光を透過させ、かつ、前記励起光が前記固体レーザ媒質に入力されたときに前記固体レーザ媒質中で発生する自然放出光の一部を吸収する複数の第1の可飽和吸収体と、を備え、
複数の前記レーザ媒質部は、前記種光の光路に沿って配置されており、
複数の前記第1の可飽和吸収体は、前記種光の光路に沿って、少なくとも1つの前記レーザ媒質部と交互に配置されていることを特徴とするレーザ増幅装置。
A seed light source that outputs seed light;
An excitation light source that outputs excitation light;
A plurality of laser medium units each having a solid-state laser medium that amplifies and outputs the seed light when the seed light is input in a state where the excitation light is input;
A plurality of first saturable absorbers that transmit the seed light and absorb part of spontaneously emitted light generated in the solid-state laser medium when the excitation light is input to the solid-state laser medium ; With
The plurality of laser medium portions are arranged along the optical path of the seed light,
A plurality of the first saturable absorbers are arranged alternately with at least one of the laser medium portions along the optical path of the seed light.
前記種光を透過させ、かつ、前記自然放出光の一部を吸収する第2の可飽和吸収体を更に備え、
前記第2の可飽和吸収体は、前記種光の光路に沿う方向から見た場合に前記レーザ媒質部を複数に分割するように前記レーザ媒質部に設けられていることを特徴とする請求項1記載のレーザ増幅装置。
A second saturable absorber that transmits the seed light and absorbs part of the spontaneously emitted light ;
The second saturable absorber is provided in the laser medium part so as to divide the laser medium part into a plurality of parts when viewed from a direction along the optical path of the seed light. 1 Symbol placement laser amplifier of the.
前記種光を透過させ、かつ、前記自然放出光の一部を吸収する第3の可飽和吸収体を更に備え、
前記第3の可飽和吸収体は、前記種光の光路に沿う方向から見た場合に前記レーザ媒質部の外縁を包囲するように前記レーザ媒質部に設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載のレーザ増幅装置。
A third saturable absorber that transmits the seed light and absorbs part of the spontaneous emission light ;
The third saturable absorber is provided in the laser medium portion so as to surround an outer edge of the laser medium portion when viewed from a direction along an optical path of the seed light. 3. The laser amplification device according to 1 or 2 .
種光を出力する種光源と、A seed light source that outputs seed light;
励起光を出力する励起光源と、An excitation light source that outputs excitation light;
前記励起光が入力された状態で前記種光が入力されることにより、前記種光を増幅して出力する固体レーザ媒質をそれぞれ有する複数のレーザ媒質部と、A plurality of laser medium units each having a solid-state laser medium that amplifies and outputs the seed light when the seed light is input in a state where the excitation light is input;
前記種光を透過させ、かつ、前記励起光が前記固体レーザ媒質に入力されたときに前記固体レーザ媒質中で発生する自然放出光の一部を吸収する第1の可飽和吸収体と、を備え、A first saturable absorber that transmits the seed light and absorbs part of spontaneously emitted light generated in the solid-state laser medium when the excitation light is input to the solid-state laser medium; Prepared,
複数の前記レーザ媒質部は、前記種光の光路に沿って配置されており、The plurality of laser medium portions are arranged along the optical path of the seed light,
前記第1の可飽和吸収体は、前記種光の光路に沿って、隣り合う前記レーザ媒質部の間に配置されていることを特徴とするレーザ増幅装置。The laser amplifying apparatus, wherein the first saturable absorber is disposed between the adjacent laser medium portions along the optical path of the seed light.
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