JP5672680B2 - Window material for solid-state image pickup device package and image pickup apparatus - Google Patents
Window material for solid-state image pickup device package and image pickup apparatus Download PDFInfo
- Publication number
- JP5672680B2 JP5672680B2 JP2009195270A JP2009195270A JP5672680B2 JP 5672680 B2 JP5672680 B2 JP 5672680B2 JP 2009195270 A JP2009195270 A JP 2009195270A JP 2009195270 A JP2009195270 A JP 2009195270A JP 5672680 B2 JP5672680 B2 JP 5672680B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- window material
- solid
- glass
- package
- state image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 96
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 47
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 44
- 230000005260 alpha ray Effects 0.000 claims description 12
- 239000005365 phosphate glass Substances 0.000 claims description 12
- 229910018068 Li 2 O Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 21
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 18
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 18
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 17
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 16
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 16
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 7
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 6
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 5
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004017 vitrification Methods 0.000 description 3
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 2
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 2
- 238000001444 catalytic combustion detection Methods 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000004031 devitrification Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- ZSLUVFAKFWKJRC-IGMARMGPSA-N 232Th Chemical compound [232Th] ZSLUVFAKFWKJRC-IGMARMGPSA-N 0.000 description 1
- 229910021193 La 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 1
- 206010040925 Skin striae Diseases 0.000 description 1
- 229910052776 Thorium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052770 Uranium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005262 alpha decay Effects 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- QHIWVLPBUQWDMQ-UHFFFAOYSA-N butyl prop-2-enoate;methyl 2-methylprop-2-enoate;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.COC(=O)C(C)=C.CCCCOC(=O)C=C QHIWVLPBUQWDMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005352 clarification Methods 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000010485 coping Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 229920006332 epoxy adhesive Polymers 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 239000005303 fluorophosphate glass Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003949 imides Chemical class 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000002285 radioactive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052705 radium Inorganic materials 0.000 description 1
- HCWPIIXVSYCSAN-UHFFFAOYSA-N radium atom Chemical compound [Ra] HCWPIIXVSYCSAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 229920006337 unsaturated polyester resin Polymers 0.000 description 1
- JFALSRSLKYAFGM-UHFFFAOYSA-N uranium(0) Chemical compound [U] JFALSRSLKYAFGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Description
本発明は、固体撮像素子を収納するパッケージの受光側開口部に取り付けられ、固体撮像素子を保護すると共に透光窓として使用され、かつ収差補正機能を備える固体撮像素子パッケージ用窓材、並びに該固体撮像素子パッケージ用窓材を用いた撮像装置に関するものである。 The present invention is attached to a light-receiving side opening of a package that houses a solid-state image pickup device, protects the solid-state image pickup device, is used as a light-transmitting window, and has an aberration correction function. The present invention relates to an imaging device using a window material for a solid-state imaging device package.
近年、CCDやCMOS等の固体撮像素子を搭載するデジタルスチルカメラやビデオカメラの小型化が進展し、これに伴って搭載される撮像装置や光学機能部品も小型化が要求されている。 In recent years, miniaturization of digital still cameras and video cameras equipped with solid-state imaging devices such as CCDs and CMOSs has progressed, and along with this, imaging devices and optical functional parts mounted have been required to be miniaturized.
撮像装置を小型化する方法として、色補正フィルタと光学的ローパスフィルタの各フィルタリング機能を1枚のガラス板で実現することが提案されている(特許文献1)。これによれば、部品点数が削減でき、構造・形状が簡素になり、これを撮像装置に組み込むことで、撮像装置の小型化が達成できるとされている。 As a method for reducing the size of an imaging apparatus, it has been proposed to implement each filtering function of a color correction filter and an optical low-pass filter with a single glass plate (Patent Document 1). According to this, the number of parts can be reduced, the structure and shape are simplified, and it is said that the downsizing of the imaging device can be achieved by incorporating this into the imaging device.
一方、固体撮像素子の高画素化が年々進んでおり、レンズに起因する色ズレや歪みといった収差を補正するため、レンズの枚数が増加しレンズ群の全長が長くなる傾向がある。しかし、これら傾向はサイズの観点からみると上記デジタルスチルカメラ等の小型化とは相反するものである。また、特許文献1に記載の光学フィルタは、色補正フィルタと光学的ローパスフィルタの各フィルタリング機能を兼用することで光学機能部品の部品点数を削減するものであるが、レンズ機能とは無関係であり、高画素対応のレンズ群の小型化には寄与しない。このような背景により、カメラの小型化及び高画素化に対応できる光学機能部品及び撮像装置が求められている。
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は撮像装置を搭載するカメラの小型化及び高画質化に対応するための光学機能部品及び撮像装置を提供することを目的とする。
On the other hand, the number of pixels in a solid-state imaging device has been increasing year by year, and in order to correct aberrations such as color shift and distortion caused by the lens, the number of lenses tends to increase and the total length of the lens group tends to increase. However, these trends are contrary to the downsizing of the digital still camera and the like from the viewpoint of size. In addition, the optical filter described in
The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide an optical functional component and an imaging apparatus for coping with downsizing and high image quality of a camera equipped with an imaging apparatus. .
本発明者は、上記目的を達成するため鋭意検討を重ねた結果、固体撮像素子パッケージ用窓材に収差補正機能を付与することで、固体撮像素子の高画素化に対応しつつ、カメラの小型化に対応する光学機能部品を提供できることを見出した。
すなわち、本発明の固体撮像素子パッケージ用窓材は、少なくとも一方の透光面が、凹凸形状であり、α線放出量が0.005c/cm2・hr以下であることを特徴とする。
また、前記窓材は、屈伏点が580℃以下のガラスからなることを特徴とする。
また、前記窓材は、50〜250℃の平均熱膨張係数が100〜150×10−7K−1であるリン酸塩ガラスからなり、樹脂製の固体撮像素子パッケージに取り付けられることを特徴とする。
また、前記窓材は、モル%で、
P2O5 12〜42%、
Al2O3 13〜32%、
SiO2 0〜17%、
B2O3 0〜22%、
Li2O 0〜17%、
Na2O 0〜27%、
K2O 0〜27%、
ただし、Li2O+Na2O+K2O 18〜42%、
MgO+CaO+SrO+ZnO 1〜37%、
を含有することを特徴とする。
また、前記窓材は、Cuを実質的に含まないことを特徴とする。
また、前記窓材は、透光面の外周が平坦であることを特徴とする。
また、本発明の撮像装置は、前記固体撮像素子パッケージ用窓材と、レンズ群と、該固体撮像素子パッケージ用窓材及び該レンズ群を透過した光を受光する固体撮像素子とを備えることを特徴とする。
As a result of intensive studies to achieve the above object, the present inventor has provided an aberration correction function to the window material for the solid-state image pickup device package, so that the size of the camera can be reduced while supporting the increase in the number of pixels of the solid-state image pickup device. We have found that we can provide optical functional parts that meet the requirements
That is, the window material for a solid-state imaging device package according to the present invention is characterized in that at least one light-transmitting surface has an uneven shape and an α-ray emission amount is 0.005 c / cm 2 · hr or less.
The window material is made of glass having a yield point of 580 ° C. or lower.
The window material is made of phosphate glass having an average coefficient of thermal expansion of 50 to 250 ° C. of 100 to 150 × 10 −7 K −1 , and is attached to a resin-made solid-state imaging device package. To do.
Further, the window material is mol%,
P 2 O 5 12~42%,
Al 2 O 3 13-32%,
B 2 O 3 0-22%,
Li 2 O 0-17%,
Na 2 O 0-27%,
K 2
However, Li 2 O + Na 2 O + K 2 O 18~42%,
MgO + CaO + SrO + ZnO 1-37%,
It is characterized by containing.
Further, the window material is substantially free of Cu.
Further, the window material is characterized in that the outer periphery of the translucent surface is flat.
The imaging device of the present invention includes the solid-state imaging device package window material, a lens group, and the solid-state imaging device package window material and a solid-state imaging device that receives light transmitted through the lens group. Features.
本発明によれば、固体撮像素子パッケージ用窓材に収差補正機能を付与することでレンズの光学設計の自由度があがるため、レンズ群の小型化及び固体撮像素子の高画素化への対応が可能となり、これによりカメラ等の小型化に寄与する撮像装置を提供することが可能となる。 According to the present invention, the aberration correction function is added to the window material for the solid-state image pickup device package to increase the degree of freedom in optical design of the lens. Therefore, it is possible to cope with the downsizing of the lens group and the increase in the number of pixels of the solid-state image pickup device. Accordingly, it is possible to provide an imaging apparatus that contributes to downsizing of a camera or the like.
本発明にかかる固体撮像素子パッケージ用窓材の実施形態について説明する。図1は、本発明の固体撮像素子パッケージ用窓材4及び撮像装置100の実施形態の一例を示す側方断面図である。図1に示すとおり、CCDやCMOSの固体撮像素子3は、基板1及び窓枠材2からなる固体撮像素子パッケージ(以下、パッケージと称する)の凹部底面に設けられ、固体撮像素子パッケージ用窓材4(以下、窓材と称する)は、固体撮像素子3が収められている凹部空間を気密封止するため、パッケージの開口部に接着されている。窓材4の被写体側(固体撮像素子に対向する面の裏面側)には、被写体からの光を屈折する複数枚のレンズ群10が設けられる。また、図示はしていないが、窓材4とレンズ群10との間に色調を補正するための近赤外線カットフィルタや、モアレや偽色を低減するためのローパスフィルタを設置してもよい。
An embodiment of a window member for a solid-state imaging device package according to the present invention will be described. FIG. 1 is a side sectional view showing an example of an embodiment of a
パッケージは、アルミナセラミックパッケージや樹脂製パッケージを用いることができるが、撮像装置100の軽量化に寄与でき、生産性が良く安価である点で樹脂製パッケージを用いることが好ましい。樹脂製パッケージは、特に制限なく各種の樹脂材料を用いることができる。具体的には、エポキシ樹脂、イミド樹脂、ポリイミド樹脂、シリコーン樹脂、アクリル樹脂、フェノール樹脂、不飽和ポリエステル樹脂等の熱硬化性樹脂やポリフェニレンサルファイド樹脂やポリスルホン樹脂等の熱可塑性樹脂を用いることができ、これら樹脂に硬化剤や離型剤、充填剤などを適宜配合することも可能である。
窓材4は、パッケージに貼り付けて使用する際に割れや歪みが生じないようパッケージの熱膨張係数と同程度の熱膨張係数の材料を用いる必要がある。アルミナセラミックパッケージを用いる場合、アルミナセラミックの熱膨張係数は通常60〜75×10−7K−1の範囲にあり、窓材4の熱膨張係数は、これと同等か、若干小さな45〜75×10−7K−1の範囲であることが望ましい。また、樹脂製パッケージを用いる場合、樹脂材の熱膨張係数は、110〜180×10−7K−1であり、窓材4の熱膨張係数は、これと同等か、若干小さな100〜170×10−7K−1の範囲であることが望ましい。
また、パッケージは、図1の実施形態の他に、固体撮像素子3を設けた基板1と窓枠材2とが一体で形成されたものであってもよい。
As the package, an alumina ceramic package or a resin package can be used. However, it is preferable to use a resin package because it can contribute to weight reduction of the
The
In addition to the embodiment of FIG. 1, the package may be one in which the
窓材4は、固体撮像素子3を気密封止するため、パッケージの開口部に接着される。固体撮像素子3を気密封止する理由は、パッケージ内に設けられた固体撮像素子3の受光面に大気中のホコリ等が付着し画像ノイズとなることを防ぐためである。従来、窓材4には固体撮像素子3の気密封止機能以外は特段求められていなかったことから、平板状で用いられることがほとんどであった。これに対し、固体撮像素子3の高画素化に伴い、撮像装置100のレンズ群10の全長が長くなる傾向がある一方で、撮像装置100の小型化も要求されていることから、光学機能部品及び撮像装置として高画素化に対応しつつ小型化をする必要が生じた。そこで、本発明者は、従来平板であった窓材の少なくとも一方の透光面に収差補正機能を備えた凹凸形状を形成し、これによりレンズ群10による結像、収差補正機能の一部を窓材4に付与し、これら課題を解決することを見出した。
The
窓材4の透光面に形成する凹凸形状に特に制約はないが、レンズ群10の光軸を中心として、光軸に直交する面内方向の光軸からの距離に一様な形状とし、倍率・球面収差を補正する形状、もしくは非点収差を補正する形状にすることが好ましい。倍率・球面収差を補正する形状にすることにより、レンズ群10による結像機能の一部を窓材4に付加し、レンズ群10の全長を短くすることができるため大変好ましい。特に5次以上の高次の球面収差を補正する形状を窓材4に付加することは、レンズ群10の組み付け時の各レンズ位置調整では取りきれない収差を補正することが可能となり、結像性能を向上させることができ好ましい。また、レンズ群10にプラスチックレンズを使用した場合、特にその成型方法が射出成型であるとレンズ中の屈折率の分布が発生し非点収差を発生しやすくなるが、窓材4にそれを補正する非点収差の形状を設けることで、これら課題を解決することができる。具体的には、窓材4に収差補正機能を付与することで、レンズ群10の組み付け時にレンズ群10を回転して窓材4との位置調整を行い、レンズ群10に起因する収差を低減し結像性能を向上することができる。窓材4の透光面に形成する凹凸形状は、レンズ群10側もしくは固体撮像素子3側のどちらか一方の透光面のみ凹凸形状とし、他方の透光面を平坦面としてもよいし、両方の透光面を凹凸形状としてもよい。なお、図2は、両方の透光面を凹凸形状とした実施形態の窓材4の(a)側方断面図及び(b)平面図である。また、凹凸形状は、光学設計により適宜最適な形状が用いられるが、例えば球面、非球面形状の凹レンズ、凸レンズやフレネルレンズ、シリンドリカルレンズ、フライアイレンズ、凹凸を組み合わせたレンズなど、収差補正機能が得られる形状であれば、どのような凹凸形状であっても適用できる。なお、窓材4の透光面とは、窓材4が板状の場合、板厚方向に相対向する外表面をそれぞれ透光面という。
There is no particular restriction on the uneven shape formed on the light-transmitting surface of the
窓材4は、α線放出性元素を一定量以上含有しα線粒子を放出する場合、固体撮像素子3に一過性の誤動作を引き起こしノイズとなることから、窓材4からのα線放出量は0.005c/cm2・hr以下である必要がある。α線粒子は、天然に存在するウラン(U)、トリウム(Th)、ラジウム(Ra)など放射性同位元素がα崩壊する際に放出される荷電粒子である。α線粒子に起因するノイズをなくすためには、材料中に不純物として含まれるこれら放射性同位元素を除去すればよい。このためにはできるだけ高純度に精製された原料を使用し、また溶融工程における不純物の混入を防止して窓材4を製造する必要がある。例えば、窓材4をガラスにて形成する場合、ガラス中の不純物をUの含有量が10ppb以下、かつThの含有量が20ppb以下に制御することが好ましい。なお、α線放出量が0.005c/cm2・hrを超えると、固体撮像素子3のノイズが多くなることから好ましくない。
When the
窓材4の透光面の凹凸形状を形成する方法は、一例として軟化状態のガラス塊をプレス用金型にてプレス成型する方法が好適に用いられる。ガラスのプレス用金型としては超硬や炭化ケイ素などからなるものが使用できる。また、窒素など不活性ガス中でのプレス成型や、真空に減圧した状態でのプレス成型など雰囲気調整を行った状態下での成型が好適に用いられる。特に成形する凹凸形状が複数の変極点を持つ場合は、プレス時にガスを巻き込む場合があるため、真空に減圧した状態でのプレス成型が好ましい。また、プレス成型後に外周をカットして形状を整えても良い。プレス成型後の窓材の角部や稜線部を曲面状に加工することで、窓材4の破壊強度が向上し、コーナーの欠け等による異物の発生が抑制されるため好ましい。なお、窓材4の透光面に平坦部を形成する場合は、上記プレス成型時に同時に形成するのが好ましいが、別途プレス成型後に研磨加工を行ってもよい。
As a method for forming the uneven shape of the light-transmitting surface of the
プレス成型方法における成型条件は、成型対象であるガラスの熱的特性(例えば、軟化点や屈伏点)に応じて調整する。この際、成型時の温度が低いほど、プレス用金型の使用可能回数が多く、金型交換頻度が低くなるため、プレス成型の生産性を向上することが可能となる。このようにプレス用金型に配慮したガラス材料として、屈伏点が580℃以下のガラスを用いることが好ましい。これにより、比較的低温でプレス成型が可能となるため、プレス用金型の使用可能回数を多くすることができ、プレス成型の生産性が向上する。なお、ガラス材料の屈伏点は、490℃以下であることがより好ましい。 The molding conditions in the press molding method are adjusted according to the thermal characteristics (for example, softening point and yield point) of the glass to be molded. At this time, as the molding temperature is lower, the press mold can be used more frequently and the mold replacement frequency is lower, so that the productivity of press molding can be improved. As described above, it is preferable to use a glass having a yield point of 580 ° C. or lower as a glass material in consideration of a press mold. Thereby, since press molding is possible at a relatively low temperature, the number of times the press mold can be used can be increased, and the productivity of press molding is improved. The yield point of the glass material is more preferably 490 ° C. or lower.
窓材4に用いられる材料としては、上記のとおりα線放出量が一定値以下となるよう材料中の放射性同位元素の含有量が規制された以外は特に制限なく、被写体からの光を透過する光の透過率が高い材料であればどのようなものでも使用できる。例えば、従来から窓材4に用いられているα線放出量が低くなるよう調整されたホウケイ酸ガラスなどが好適に使用できる。
The material used for the
また、窓材4に用いられる材料としては、パッケージと熱膨張係数が同程度であるガラスを用いることで、窓材4の割れや歪みが発生することなく長期間安定して用いることが可能となる。アルミナセラミックパッケージとの接着に好適なガラスとして、0〜300℃の熱膨脹係数が48〜75×10−7K−1のホウケイ酸ガラスを用いることが好ましい。また、樹脂製パッケージとの接着に好適なガラスとして、50〜250℃の熱膨張係数が100〜150×10−7K−1と樹脂製パッケージと熱膨張係数が同程度であるリン酸塩ガラスを用いることが好ましい。また、樹脂製パッケージと熱膨張係数が同程度のアクリル樹脂などの樹脂材も好適に使用できる。
リン酸塩ガラスは、例えばフツリン酸ガラスと比較し強度が高く、光学研磨を行う際に端部に微小な欠けが生じる割合が少ない。そのため、ガラスに外力が作用した場合に端部を起点として破損に至る可能性が低く強度が高い。また、同じリン酸塩ガラスであってもP2O5成分とAl2O3成分とアルカリ金属成分とを特定範囲とすることで、ガラスの強度をより高くすることができる。
具体的には、モル%で、
P2O5 13〜42%、
Al2O3 13〜32%、
SiO2 0〜17%、
B2O3 0〜22%、
Li2O 0〜17%、
Na2O 0〜27%、
K2O 0〜27%、
ただし、Li2O+Na2O+K2O 18〜42%、
MgO+CaO+SrO+ZnO 1〜37%、
を含有するリン酸塩ガラスを用いることが好ましい。各成分の含有量(モル%表示)の好ましい範囲を上記のとおりに設定している理由を以下に説明する。
Moreover, as a material used for the
Phosphate glass has a higher strength than, for example, fluorophosphate glass, and has a small proportion of occurrence of minute chips at the end when optical polishing is performed. For this reason, when an external force is applied to the glass, the possibility of breakage starting from the end portion is low and the strength is high. Moreover, even with the same phosphate glass by a specific range and P 2 O 5 component and Al 2 O 3 component and an alkali metal component, it is possible to increase the strength of the glass.
Specifically, in mol%,
P 2 O 5 13~42%,
Al 2 O 3 13-32%,
SiO 2 0~17%,
B 2 O 3 0-22%,
Li 2 O 0-17%,
Na 2 O 0-27%,
K 2 O 0~27%,
However, Li 2 O + Na 2 O + K 2 O 18~42%,
MgO + CaO + SrO + ZnO 1-37%,
It is preferable to use phosphate glass containing The reason why the preferable range of the content (in mol%) of each component is set as described above will be described below.
P2O5は、ガラスの網目構造を形成する必須成分であるが、13%未満ではガラスの安定性が悪くなり、42%を超えると強度及び耐候性が低下する。好ましい範囲は25〜35%である。 P 2 O 5 is an essential component for forming a glass network structure, but if it is less than 13%, the stability of the glass deteriorates, and if it exceeds 42%, the strength and weather resistance deteriorate. A preferred range is 25-35%.
Al2O3は、ガラスの強度及び耐候性を向上させる必須成分であるが、13%未満ではその効果は得られず、32%を超えると失透性が強くなり、ガラス化が困難となる。好ましい範囲は17〜27%であり、より好ましい範囲は、20〜27%である。 Al 2 O 3 is an essential component for improving the strength and weather resistance of glass, but if it is less than 13%, the effect cannot be obtained, and if it exceeds 32%, devitrification becomes strong and vitrification becomes difficult. . A preferable range is 17 to 27%, and a more preferable range is 20 to 27%.
SiO2は、ガラスの網目構造を形成する成分であり、耐候性を向上させる効果がある。その場合、17%を超えるとガラス化が困難となる。好ましい範囲は12%以下である。 SiO 2 is a component that forms a glass network structure, and has an effect of improving weather resistance. In that case, if it exceeds 17%, vitrification becomes difficult. A preferable range is 12% or less.
B2O3は、ガラスの構造を補強し、ガラス化を容易にする成分であるが、22%を超えると耐候性が低下する。好ましい範囲は15%以下である。 B 2 O 3 is a component that reinforces the glass structure and facilitates vitrification, but if it exceeds 22%, the weather resistance decreases. A preferred range is 15% or less.
Li2O、Na2O、K2Oは、溶解性を向上させ、膨張率を主に調整する成分であり、いずれかを含有する必要がある。Li2Oは17%を超えると耐候性が低下する。好ましい範囲は12%以下である。Na2Oは27%を超えると耐候性が低下する。好ましい範囲は20%以下である。K2Oは27%を超えると耐候性が低下する。好ましい範囲は20%以下である。Li2O、Na2O、K2Oの合量は18%未満および42%を超えると所望の膨張率が得られず好ましくない。好ましい範囲は25〜35%である。 Li 2 O, Na 2 O, and K 2 O are components that improve solubility and mainly adjust the expansion coefficient, and need to contain any of them. When Li 2 O exceeds 17%, the weather resistance decreases. A preferable range is 12% or less. When Na 2 O exceeds 27%, the weather resistance decreases. A preferable range is 20% or less. When K 2 O exceeds 27%, the weather resistance decreases. A preferable range is 20% or less. When the total amount of Li 2 O, Na 2 O, and K 2 O is less than 18% and exceeds 42%, a desired expansion coefficient cannot be obtained, which is not preferable. A preferred range is 25-35%.
MgO、CaO、SrO、ZnOは、溶解性を向上させる成分であるが、これらの合量が1%未満ではその効果がなく、37%を超えると失透傾向が強まるため好ましくない。好ましい範囲は10〜25%である。 MgO, CaO, SrO, and ZnO are components that improve the solubility. However, when the total amount of these is less than 1%, the effect is not obtained, and when it exceeds 37%, the tendency of devitrification increases, which is not preferable. A preferred range is 10-25%.
また、その他の成分として、La2O3、Y2O3、Gd2O3、Ta2O5、Yb2O3、TiO2などを含有することもできる。
Further, as other components, La 2 O 3, Y 2 O 3, Gd 2
窓材4を構成する成分としては、Ba及びZrを実質的に含有しないことが好ましい。放射線同位元素は、ガラス原料中に不純物として微量含有するが、特にBa及びZrの化合物原料に多く含まれる。Ba及びZrの化合物原料から放射性同位元素を分離することは不可能ではないものの、原料コストが非常に高くなり実質的には困難である。そのため窓材4として構成する成分として、Ba及びZrは実質的に含有しないことにより、放射性同位元素の混入を未然に防止し、よって、窓材4からのα線放出量を低く抑えることができる。
As a component which comprises the
これら組成範囲のリン酸塩ガラスは、屈伏点が450〜490℃であるため、プレス成型により凹凸形状を成型する際に金型の耐久性を長くすることができ、本発明の窓材4のガラスとして好適である。また、Li2O、Na2O、K2Oのアルカリ金属成分は、ガラスの屈服点を下げるのに有効な成分であり、リン酸塩ガラスにおけるこれら成分の合量の好ましい範囲は、25〜40%である。 Since the phosphate glass having these composition ranges has a yield point of 450 to 490 ° C., the durability of the mold can be increased when the concavo-convex shape is formed by press molding. Suitable as glass. Further, Li 2 O, Na 2 O , an alkali metal component K 2 O is an effective component to lower the deformation point of the glass, the preferred range of the total amount of these components in the phosphate glass is 25 40%.
窓材4は、固体撮像素子3が収納されたパッケージに接着剤6により気密封着されるが、その接着剤6の硬化時間短縮を目的として紫外線硬化型接着剤が使用されることがある。紫外線硬化型接着剤には様々な種類があり、一例として250〜350nmの波長の紫外線にて硬化する。他方、ガラスにCuを含有すると、近赤外線波長及び紫外線波長を吸収するため、紫外線が十分に紫外線硬化型接着剤に到達せず、硬化に長時間を要することになり、固体撮像素子パッケージの組立工程における生産性が悪化する。またガラスにCuを含有すると、可視光も若干吸収するため、固体撮像素子3に届く可視光の量が減ることで固体撮像素子3の感度が落ちるという問題もある。これらの理由により、紫外線硬化型接着剤を用いてパッケージに接着される場合は、窓材4にはCuを実質的に含有しないことが好ましい。
また、接着剤6として熱硬化型接着剤を用いる場合は、窓材4の紫外線透過は関係ないため、窓材4に近赤外線カット機能を付与する目的で、Cuを含有させてもよい。これにより、窓材4とは別に用いていた近赤外線カットフィルタが不要となるため、撮像装置100のコストダウンに寄与できる。なお、上記リン酸塩ガラスの組成範囲にCuを含有する場合は、CuO換算で0.1〜15質量%を含有させることが好ましい。
The
Further, when a thermosetting adhesive is used as the adhesive 6, since the ultraviolet ray transmission of the
窓材4の透光面には、誘電体多層膜等からなる反射防止膜や400nm以下の紫外線を反射する紫外線カット膜、700〜1200nmの近赤外線を反射する近赤外線カット膜を形成してもよい。
An antireflection film made of a dielectric multilayer film or the like, an ultraviolet cut film that reflects ultraviolet rays of 400 nm or less, or a near infrared cut film that reflects near infrared rays of 700 to 1200 nm may be formed on the light transmitting surface of the
窓材4は、透光面の外周が平坦であることが好ましい。図3に示したように窓材4の被写体像の光が通過する部分でない透光面の外周(図3中ハッチング部分)を平坦面5とする。パッケージにおける窓材4の接着部分は同じく平坦な形状となっており、接着する際に接着剤6の厚みを均一にすることができる。そのため、接着時のそりや接着後のプロセス、例えば基板実装の際のリフロープロセスなどでのはがれやひずみの発生を抑えることができる。
また、窓材4の透光面の凹凸形状は異なる撮像装置100によって変えることができるが、コスト削減のため部品の共通化を図るため窓枠材2は共通形状にすることがよい。その場合、窓材4の縁の部分は平坦になっていると部品共通化がしやすくなり好ましい。なお、窓材4の平坦面は、図2に示す実施形態のように固体撮像素子3と対向する透光面の外周に形成してもよいし、図6に示す実施形態のようにレンズ群10と対向する透光面の外周に形成してもよい。
図4に図2に記載の実施形態の窓材4とパッケージの窓枠材2との接着部を拡大した拡大断面図を示す。窓枠材2と窓材4とは接着剤6にて接着されており、接着剤6の接合面からのはみ出しが窓材4の平坦面5よりも大きくなり窓材4の凹凸部分にはみ出さないようにし、またはみ出し量をほぼ均一になるようにすることが好ましい。これにより接着時の接着剤6の収縮などによる応力が均一になり、窓材4の凹凸形状にひずみを与え所望の凹凸形状が変化することを低減できる。接着剤6については、特に制約がなくアクリル系やエポキシ系の接着剤や耐熱性のガラスフリットなど使用できる。
また、窓材4は、複数個を同時にプレス成型可能なプレス用金型を用い、複数個を一体でプレス成型した後、切断して小片を取り出すようにしてもよい。このようにすることで、窓材4の製造コストを大幅に削減することが可能である。なお、図5は、窓材4を25個同時にプレス成型したものを、切断ライン20に沿って切り出す製造方法を示す概念図である。
As for
Moreover, although the uneven shape of the light-transmitting surface of the
FIG. 4 shows an enlarged cross-sectional view in which the bonding portion between the
Further, the
本発明の窓材4は、一例として次のようにして作製することができる。まず得られるガラスが上記リン酸塩ガラスの組成範囲となるように原料を秤量、混合する。この原料混合物を白金ルツボに収容し、電気炉内において1100〜1350℃の温度で加熱溶解する。十分に撹拌・清澄した後、プレス成型可能な温度まで冷却する。そして、所定重量の軟化状態のガラス塊をプレス用金型内に供給し、プレス成型する。そして、プレス用金型からガラスを取り出し、徐冷した後、外周の不要部分を切断して、所定形状の窓材4を得る。また、板状のガラスをプレス金型内で再加熱した後、プレス成型してもよい。
The
本発明の実施例1〜12と比較例1〜4を表1、表2に示す。なお、表中のガラス組成はモル%で示す。これらガラスは、表に示す組成となるよう原料を秤量・混合し、内容積約300ccの白金ルツボ内に入れて、1100〜1350℃で1〜3時間溶融、清澄、撹拌後、およそ300〜500℃に予熱した縦50mm×横50mm×高さ20mmの長方形のモールドに鋳込み後、約1℃/分で徐冷してサンプルとした。ガラスは、サンプル作製時に目視で観察し、泡や脈理のないことを確認した。耐候性、α線放出量について以下の方法により評価を行った。 Tables 1 and 2 show Examples 1 to 12 and Comparative Examples 1 to 4 of the present invention. In addition, the glass composition in a table | surface is shown by mol%. These glasses are weighed and mixed so as to have the composition shown in the table, placed in a platinum crucible having an internal volume of about 300 cc, melted at 1100 to 1350 ° C. for 1 to 3 hours, clarified and stirred, and then about 300 to 500 The sample was cast into a rectangular mold having a length of 50 mm, a width of 50 mm and a height of 20 mm preheated to ° C., and then slowly cooled at about 1 ° C./min to prepare a sample. The glass was visually observed at the time of sample preparation, and it was confirmed that there were no bubbles or striae. The weather resistance and α-ray emission amount were evaluated by the following methods.
耐候性は、厚さが1mmとなるよう両面光学研磨加工した所定形状(25mm×25mm×1mm)のガラスについて、温度60℃、相対湿度90%の条件下に保持し、ガラスの表面に変質が表れるまでの時間を示した。α線放出量は、低レベルα線測定装置(住友化学社製、LACS−4000M)を使用して測定した。 As for weather resistance, glass having a predetermined shape (25 mm × 25 mm × 1 mm) subjected to double-sided optical polishing so as to have a thickness of 1 mm is maintained at a temperature of 60 ° C. and a relative humidity of 90%. Time to appear is shown. The α-ray emission amount was measured using a low-level α-ray measuring device (LACS-4000M, manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.).
表1及び表2から明らかなように比較例のガラスは、実施例のガラスと比べて、耐候性が800時間未満と悪いことがわかる。これは、ガラスのAl2O3成分が少ないことがその理由として考えられる。また、比較例3、4はP2O5成分が多いこともその理由として考えられる。また、比較例のガラスは、ガラスにBaやZrを含有するため、ガラスからのα線放出量が実施例のガラスと比べて多いことがわかる。 As is clear from Tables 1 and 2, it can be seen that the glass of the comparative example has a bad weather resistance of less than 800 hours compared to the glass of the example. The reason for this is considered to be that there are few Al 2 O 3 components in the glass. Also, Comparative Examples 3 and 4 are considered as also reasons that P 2 O 5 component is great. Moreover, since the glass of a comparative example contains Ba and Zr in glass, it turns out that there are many alpha rays discharge | release amounts from glass compared with the glass of an Example.
次に、実施例3に記載のリン酸塩ガラスを用いてプレス成型を行う。実施例3のガラスを縦7mm、横10mm、厚さ0.5mmに形状を整えた上、これをプレス金型を用いて500℃でプレスし、一方の面に深さ280μm、もう一方の面に深さ20μmの同心円状の凹凸形状を形成する。次いで、室温に冷却した後、外周をダイシングにより切断し縦6mm、横8mmの矩形状に整え窓材を作製する。プレス成型後の窓材を確認したところ、プレス用金型の形状は良好に転写されており、ガラス表面に曇り等の不具合は見られない。
次に、この窓材を、エポキシ樹脂を主成分とする樹脂製パッケージに接着する。接着剤として、アクリル系の紫外線硬化型接着剤を用い、パッケージに窓材を載置したのち、紫外線を所定時間照射して接着剤を硬化させる。また、レンズ群をレンズホルダ(図示しない)に挿入固定し、レンズホルダとパッケージとを接着固定することで、光軸方向の厚さが約8mmの撮像装置を得る。
Next, press molding is performed using the phosphate glass described in Example 3. The glass of Example 3 was adjusted to a length of 7 mm, a width of 10 mm, and a thickness of 0.5 mm, and this was pressed at 500 ° C. using a press mold, with a depth of 280 μm on one side and the other side. A concentric concavo-convex shape having a depth of 20 μm is formed. Subsequently, after cooling to room temperature, the outer periphery is cut by dicing to prepare a window material having a rectangular shape of 6 mm in length and 8 mm in width. When the window material after press molding was confirmed, the shape of the press mold was well transferred, and no defects such as cloudiness were observed on the glass surface.
Next, this window material is bonded to a resin package mainly composed of an epoxy resin. An acrylic ultraviolet curable adhesive is used as the adhesive, and after placing the window material on the package, the adhesive is cured by irradiation with ultraviolet rays for a predetermined time. Further, the lens group is inserted and fixed in a lens holder (not shown), and the lens holder and the package are bonded and fixed, thereby obtaining an imaging device having a thickness in the optical axis direction of about 8 mm.
本発明によれば、固体撮像素子パッケージ用窓材4に収差補正機能を付与することでレンズの光学設計の自由度があがるため、レンズ群10の小型化及び固体撮像素子3の高画素化への対応が可能となり、これによりカメラ等の小型化に寄与する撮像装置100を提供することが可能となる。
According to the present invention, the aberration correction function is added to the
1…基板、2…窓枠材、3…固体撮像素子、4…固体撮像素子パッケージ用窓材、5…平坦面、6…接着剤、10…レンズ群、20…切断ライン、100…撮像素子。
DESCRIPTION OF
Claims (5)
モル%で、
P2O5 13〜42%、
Al2O3 17〜32%、
SiO2 0〜17%、
B2O3 0〜22%、
Li2O 0〜17%、
Na2O 0〜27%、
K2O 2.0〜27%、
ただし、Li2O+Na2O+K2O 18〜42%、
MgO+CaO+SrO+ZnO 1〜37%、
を含有し、Ba及びCuを実質的に含有しないリン酸塩ガラスからなることを特徴とする固体撮像素子パッケージ用窓材。 At least one of the light-transmitting surfaces has an uneven shape, and the α-ray emission amount is 0.005 c / cm 2 · hr or less
In mol%
P 2 O 5 13~42%,
Al 2 O 3 17-32%,
SiO 2 0~17%,
B 2 O 3 0-22%,
Li 2 O 0-17%,
Na 2 O 0-27%,
K 2 O 2.0 ~27%,
However, Li 2 O + Na 2 O + K 2 O 18~42%,
MgO + CaO + SrO + ZnO 1-37%,
A window material for a solid-state imaging device package, comprising a phosphate glass containing substantially no Ba and Cu .
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009195270A JP5672680B2 (en) | 2009-08-26 | 2009-08-26 | Window material for solid-state image pickup device package and image pickup apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009195270A JP5672680B2 (en) | 2009-08-26 | 2009-08-26 | Window material for solid-state image pickup device package and image pickup apparatus |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011049275A JP2011049275A (en) | 2011-03-10 |
JP5672680B2 true JP5672680B2 (en) | 2015-02-18 |
Family
ID=43835347
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009195270A Active JP5672680B2 (en) | 2009-08-26 | 2009-08-26 | Window material for solid-state image pickup device package and image pickup apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5672680B2 (en) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013133225A1 (en) * | 2012-03-07 | 2013-09-12 | 旭硝子株式会社 | Microlens array and imaging element package |
JP6056186B2 (en) * | 2012-05-08 | 2017-01-11 | 株式会社ニコン | Image sensor |
CN106164731B (en) * | 2014-04-04 | 2019-08-20 | 夏普株式会社 | Lens element and photographic device |
JP7431884B2 (en) * | 2022-05-02 | 2024-02-15 | 維沃移動通信有限公司 | Solid-state image sensor and electronic equipment |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07215734A (en) * | 1994-01-28 | 1995-08-15 | Nippon Electric Glass Co Ltd | Cover glass for solid-state image pickup element |
JP3283722B2 (en) * | 1995-04-28 | 2002-05-20 | ホーヤ株式会社 | Window glass for semiconductor package and method of manufacturing the same |
JP3361270B2 (en) * | 1997-04-04 | 2003-01-07 | ホーヤ株式会社 | Manufacturing method and filter for glassware |
JPH1197659A (en) * | 1997-09-22 | 1999-04-09 | Casio Comput Co Ltd | Image-pickup device unit |
JP4433391B2 (en) * | 2003-04-09 | 2010-03-17 | Hoya株式会社 | Glass for semiconductor package window, glass window for semiconductor package and semiconductor package |
EP1555247A1 (en) * | 2004-01-16 | 2005-07-20 | Schott AG | Optical glass in particular for press-moulded optical elements |
JP2006124209A (en) * | 2004-10-27 | 2006-05-18 | Kyocera Corp | Glass sheet for electronic instrument, its manufacturing method, and electronic device |
JP2006182585A (en) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Asahi Techno Glass Corp | Filter glass for cutting near-infrared ray |
JP2007099604A (en) * | 2005-09-06 | 2007-04-19 | Hoya Corp | Near infrared ray absorbing glass, near infrared ray absorbing element provided with the same and imaging device |
JP5016826B2 (en) * | 2006-01-30 | 2012-09-05 | Hoya株式会社 | Manufacturing method of glass material for molding, glass material, and manufacturing method of glass optical element |
JP5601319B2 (en) * | 2009-05-13 | 2014-10-08 | 旭硝子株式会社 | Cover glass for solid-state image sensor package |
-
2009
- 2009-08-26 JP JP2009195270A patent/JP5672680B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011049275A (en) | 2011-03-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10683233B2 (en) | Light selective transmission type glass and laminated substrate | |
CN106990463B (en) | Near infrared cut-off filter | |
JP5659499B2 (en) | Near-infrared cut filter glass | |
JP4459184B2 (en) | Aspherical lens and manufacturing method thereof | |
TWI393687B (en) | Glass cover for solid state image sensor and method for manufacturing the same | |
US8211816B2 (en) | Cover glass for solid-state imaging element package | |
JP5909937B2 (en) | Cover glass for semiconductor package and manufacturing method thereof | |
JP5672680B2 (en) | Window material for solid-state image pickup device package and image pickup apparatus | |
JP5378158B2 (en) | Cover glass for semiconductor packages | |
KR102657651B1 (en) | Infrared absorbing glass plate, manufacturing method thereof, and solid-state imaging device | |
JP4493417B2 (en) | Glass for semiconductor package window, glass window for semiconductor package and semiconductor package | |
JP2011049274A (en) | Window material for solid-state imaging element package, and imaging apparatus | |
KR20190054068A (en) | Glass substrate and laminated substrate | |
JP6354297B2 (en) | Cover glass and manufacturing method thereof | |
WO2019058858A1 (en) | Infrared ray absorbent glass plate and method for producing same, and solid-state imaging element device | |
JP4433391B2 (en) | Glass for semiconductor package window, glass window for semiconductor package and semiconductor package | |
KR101156984B1 (en) | Cover glass for semiconductor package | |
TW201802052A (en) | Infrared absorbing glass sheet, method for manufacturing same, and solid state imaging element device | |
US20040212060A1 (en) | Glass for window of semiconductor package, glass window for semiconductor package, process for production of glass window, and semiconductor package | |
JP2989739B2 (en) | Near-infrared absorbing glass, filter for protecting solid-state imaging device using this glass, and solid-state imaging device using this filter | |
JP2018188336A (en) | Laminate glass, laminate substrate and method for producing laminate substrate | |
TWI388529B (en) | Near-infrared absorbing filter | |
JPWO2015166897A1 (en) | Cover glass and manufacturing method thereof | |
JP7001999B2 (en) | Manufacturing method of optical element | |
JP2024020138A (en) | Optical glass, optical element, glass preform for press molding, and optical device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120307 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130808 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130813 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131015 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140225 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140422 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141202 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141215 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5672680 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |