JP5671353B2 - Encoder, motor unit, and actuator system - Google Patents

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Description

本発明は、エンコーダ、モータユニット、及びアクチュエータシステムに関する。   The present invention relates to an encoder, a motor unit, and an actuator system.

自動化の進んだ工場などでは、多くの電動アクチュエータが使用されている。これらの電動アクチュエータのモータユニットは、回転数や回転角度(絶対位置)を検出するエンコーダを有している。そして、このようなエンコーダにおいては、工場設備等の稼働率を上げるために、電源投入後に原点復帰動作が不要なアブソリュートエンコーダが多く用いられている。   Many electric actuators are used in highly automated factories and the like. The motor units of these electric actuators have an encoder that detects the number of rotations and the rotation angle (absolute position). And in such an encoder, in order to raise the operation rate of factory facilities etc., the absolute encoder which does not require an origin return operation after power-on is used in many cases.

アブソリュートエンコーダは、一般に、バッテリー及びメモリを備えており、電源をオフにした時にバッテリーバックアップによって、モータのシャフトの回転数をメモリに保存する。そして、電源をオンにした場合、回転数をメモリから読み出して、この回転数に対して、新たに回転数を加算していく。しかしながら、定期的にバッテリーを交換しなければならず、バッテリーの電圧降下で正常に作動できない不具合を生じるおそれもある。また、電源オフ時にシャフトが回転してしまった場合には、回転数に誤差が生じるおそれもある。そのため、バッテリーを用いないアブソリュートエンコーダが要望されている。   The absolute encoder generally includes a battery and a memory, and stores the number of rotations of the motor shaft in the memory by battery backup when the power is turned off. When the power is turned on, the rotational speed is read from the memory, and the rotational speed is newly added to the rotational speed. However, the battery must be periodically replaced, and there is a possibility that a malfunction that cannot be normally performed due to a voltage drop of the battery may occur. In addition, if the shaft rotates when the power is turned off, an error may occur in the rotational speed. Therefore, there is a demand for an absolute encoder that does not use a battery.

これに対し、下記特許文献には、バッテリーを使用せずに、複数の歯車を有し、これらの歯車の回転角度の組み合わせに基づいて、回転数を検出するエンコーダが開示されている。   On the other hand, the following patent document discloses an encoder that has a plurality of gears without using a battery and detects the number of rotations based on a combination of rotation angles of these gears.

特公平5−38243号公報Japanese Patent Publication No. 5-38243 特開2010−44055号公報JP 2010-44055 A

しかしながら、上記特許文献1、2に記載のエンコーダにおいては、複数の従動歯車は、回転軸と一体に回転する主動歯車の回転力が直列的に伝達されるように接続されている。このため、歯車のバックラッシュの累積を防ぐために高精度で高コストの歯車を用いる必要がある。また、多くの従動歯車を用いているため、エンコーダが大型化してしまう。   However, in the encoders described in Patent Documents 1 and 2, the plurality of driven gears are connected so that the rotational force of the main driving gear that rotates integrally with the rotating shaft is transmitted in series. For this reason, in order to prevent the accumulation | aggregation | set of the backlash of a gearwheel, it is necessary to use a highly accurate and costly gearwheel. Moreover, since many driven gears are used, the encoder becomes large.

本発明は、上述の事情の下になされたもので、小型で、低コスト、高信頼性のエンコーダ等を提供することを目的とする。   The present invention has been made under the circumstances described above, and an object thereof is to provide a small-sized, low-cost, high-reliability encoder or the like.

上述の目的を達成するために、本発明の第1の観点に係るエンコーダは、
回転体とともに回転し、回転角度を示すパターンからなる第1光学トラックが形成された主動歯車と、
前記主動歯車と噛み合うように配置され、前記回転体の回転が前記主動歯車を介して伝達されることによって回転し、回転角度を示すパターンからなる第2光学トラックが形成された第1従動歯車と、
前記主動歯車と噛み合うように配置され、前記回転体の回転が前記主動歯車を介して伝達されることによって回転し、回転角度を示すパターンからなる第3光学トラックが形成された第2従動歯車と、
を少なくとも備え、
前記主動歯車、前記第1従動歯車、及び前記第2従動歯車の歯には、当該歯それぞれを識別するための歯数番号が付与され、
前記第1光学トラック、前記第2光学トラック、及び前記第3光学トラックに光を照射して、前記第1光学トラック、前記第2光学トラック、及び前記第3光学トラックで反射された反射光を受光し、反射光の強度に応じた信号を出力することで、少なくとも前記第1光学トラック、前記第2光学トラック、及び前記第3光学トラックからの光を検出する光検出手段と、
前記第1光学トラックで反射された反射光の強度に応じた信号に基づいて、前記回転体及び前記主動歯車の回転角度を演算する第1演算手段と、
前記第2光学トラックで反射された反射光の強度に応じた信号に基づいて、前記第1従動歯車の回転角度を演算する第2演算手段と、
前記第3光学トラックで反射された反射光の強度に応じた信号に基づいて、前記第2従動歯車の回転角度を演算する第3演算手段と、
前記主動歯車、前記第1従動歯車、及び前記第2従動歯車の回転角度それぞれに基づいて、所定の位置にある前記歯の前記歯数番号を演算するとともに、前記歯数番号の組み合わせに基づいて、前記回転体の回転数を演算する第4演算手段と、
を備え
前記第4演算手段は、前記主動歯車の前記歯数番号が、次の歯数番号に切り替わるタイミングを判別し、前記タイミングに合わせて、前記第1従動歯車及び前記第2従動歯車それぞれの前記歯数番号を切り替えることを特徴とする。
In order to achieve the above object, an encoder according to the first aspect of the present invention provides:
A main driving gear formed with a first optical track having a pattern that rotates together with a rotating body and indicates a rotation angle;
A first driven gear which is arranged so as to mesh with the main driving gear, rotates by transmitting the rotation of the rotating body via the main driving gear, and has a second optical track formed of a pattern indicating a rotation angle; ,
A second driven gear disposed so as to mesh with the main driving gear, and rotated by transmitting the rotation of the rotating body via the main driving gear, and formed with a third optical track having a pattern indicating a rotation angle; ,
Comprising at least
To the teeth of the main driving gear, the first driven gear, and the second driven gear, tooth number numbers for identifying the respective teeth are given,
The first optical track, the second optical track, and the third optical track are irradiated with light, and the reflected light reflected by the first optical track, the second optical track, and the third optical track is reflected. received light, by outputting a signal corresponding to the intensity of the reflected light, and a light detecting means for detecting at least said first optical track, said second optical track, and light from the third optical track,
First calculating means for calculating a rotation angle of the rotating body and the main driving gear based on a signal corresponding to the intensity of the reflected light reflected by the first optical track;
Second computing means for computing a rotation angle of the first driven gear based on a signal corresponding to the intensity of the reflected light reflected by the second optical track;
Third computing means for computing a rotation angle of the second driven gear based on a signal corresponding to the intensity of the reflected light reflected by the third optical track;
Based on the rotation angle of each of the main driving gear, the first driven gear, and the second driven gear, the number of teeth of the tooth at a predetermined position is calculated, and based on the combination of the number of teeth Fourth calculation means for calculating the number of rotations of the rotating body;
Equipped with a,
The fourth calculating means determines the timing at which the number of teeth of the main gear changes to the next number of teeth, and adjusts the teeth of the first driven gear and the second driven gear according to the timing. It is characterized by switching several numbers .

前記主動歯車の歯数は、前記第1従動歯車及び前記第2従動歯車の歯数よりも多くてもよい。   The number of teeth of the main driving gear may be larger than the number of teeth of the first driven gear and the second driven gear.

前記第1光学トラック、前記第2光学トラック、及び前記第3光学トラックは、高反射率領域と低反射率領域とが、PN(Pseudo Noise、Pseudo Random Noise)符号系列に基づいて配置されることにより構成されていてもよい。 Said first optical track, said second optical track, and the third optical track, that the high reflectance region and the low reflectance region, PN (Pseudo Noise, Pseudo Random Noise) are arranged on the basis of the code sequence It may be constituted by.

前記主動歯車には、高反射率領域と低反射率領域とが交互に等間隔に配置されることにより構成される第4光学トラックが形成され、
前記光検出手段は、回転する前記主動歯車の前記第4光学トラックに光を照射して、前記第4光学トラックによって反射される反射光を受光し、前記反射光の強度に応じ、周期の1/4だけ位相が相互に異なる2つの信号を出力してもよい。
The main gear is formed with a fourth optical track configured by alternately arranging high reflectance regions and low reflectance regions at equal intervals,
The light detecting means irradiates the fourth optical track of the rotating main driving gear with light, receives reflected light reflected by the fourth optical track, and has a period of 1 according to the intensity of the reflected light. Two signals whose phases are different from each other by / 4 may be output.

前記光検出手段は、前記第1光学トラックからの光を検出する複数のセンサ素子を有し、
前記第1演算手段は、周期の1/4だけ位相が相互に異なる前記2つの信号に基づいて、前記第1光学トラックの前記高反射率領域と前記低反射率領域との間の境界近傍での反射光を検出した前記センサ素子の出力以外の、前記センサ素子の出力を選択して、選択された前記センサ素子から出力された信号に基づいて、前記回転体及び前記主動歯車の回転角度を演算してもよい。
The light detection means has a plurality of sensor elements for detecting light from the first optical track,
The first computing means is in the vicinity of the boundary between the high reflectance region and the low reflectance region of the first optical track based on the two signals whose phases are different from each other by ¼ of the period. The output of the sensor element other than the output of the sensor element that has detected the reflected light is selected, and the rotation angle of the rotating body and the main driving gear is determined based on the signal output from the selected sensor element. You may calculate.

本発明の第2の観点に係るモータユニットは、
シャフトと、
前記シャフトに設けられたロータと、
前記ロータとの間の電磁相互作用により、前記ロータとともに前記シャフトを回転するステータと、
前記シャフトの回転を検出する本発明の第1の観点に係るエンコーダと、
を備えることを特徴とする。
The motor unit according to the second aspect of the present invention is:
A shaft,
A rotor provided on the shaft;
A stator that rotates the shaft together with the rotor by electromagnetic interaction with the rotor;
An encoder according to a first aspect of the present invention for detecting rotation of the shaft;
It is characterized by providing.

本発明の第3の観点に係るアクチュエータシステムは、
本発明の第2の観点に係るモータユニットと、
前記エンコーダの検出結果に基づいて、前記モータユニットを制御する制御手段と、
を備えることを特徴とする。
An actuator system according to a third aspect of the present invention is:
A motor unit according to a second aspect of the present invention;
Control means for controlling the motor unit based on the detection result of the encoder;
It is characterized by providing.

本発明のエンコーダは、主動歯車と、この主動歯車に噛み合っている第1従動歯車及び第2従動歯車とに形成された光学トラックそれぞれからの光を検出しており、これにより、回転体の回転角度や回転数を判別することが可能になる。したがって、いずれの従動歯車も主動歯車に直接噛み合っていることから、歯車のバックラッシュの累積等による検出の不具合を防ぐことができるとともに、装置を小型にできる。   The encoder of the present invention detects light from each of the optical tracks formed on the main driving gear and the first driven gear and the second driven gear meshing with the main driving gear, thereby rotating the rotating body. It becomes possible to determine the angle and the number of rotations. Therefore, since any driven gear directly meshes with the main driving gear, it is possible to prevent detection problems due to accumulation of gear backlash and the like, and to reduce the size of the apparatus.

本発明の第1実施形態に係るアクチュエータを示す斜視図である。It is a perspective view showing an actuator concerning a 1st embodiment of the present invention. モータユニットを示す斜視図である。It is a perspective view which shows a motor unit. モータユニットを示すXY断面図である。It is XY sectional drawing which shows a motor unit. エンコーダユニットを示す断面図である。It is sectional drawing which shows an encoder unit. エンコーダユニットを示すYZ断面図である。It is YZ sectional drawing which shows an encoder unit. (A)は、主動歯車を示す正面図であり、(B)は、主動歯車の一部を拡大して示す正面図である。(A) is a front view which shows a main drive gear, (B) is a front view which expands and shows a part of main drive gear. (A)は、従動歯車を示す正面図(その1)であり、(B)は、従動歯車を示す正面図(その2)である。(A) is a front view (the 1) which shows a driven gear, (B) is a front view (the 2) which shows a driven gear. (A)は、検出ユニットを示す正面図であり、(B)は、(A)のB−B断面図である。(A) is a front view which shows a detection unit, (B) is BB sectional drawing of (A). エンコーダユニット及びコントローラを示すブロック図である。It is a block diagram which shows an encoder unit and a controller. (A)及び(B)は、絶対位置演算器のセンサ素子の選択方法を説明するための図である。(A) And (B) is a figure for demonstrating the selection method of the sensor element of an absolute position calculator. 歯数番号と回転数と対応関係を示すテーブルの図である。It is a figure of the table which shows correspondence number of teeth number and rotation speed. エンコーダユニットの変形例に係るブロック図である。It is a block diagram concerning the modification of an encoder unit.

以下、本発明の実施形態に係るモータユニット10について説明する。なお、理解を容易にするため、X軸をモータユニット10の正面方向、Y軸を鉛直方向、Z軸を側面方向とするXYZ座標を設定し、適宜参照する。   Hereinafter, a motor unit 10 according to an embodiment of the present invention will be described. For easy understanding, XYZ coordinates with the X axis as the front direction of the motor unit 10, the Y axis as the vertical direction, and the Z axis as the side surface direction are set and referred to as appropriate.

モータユニット10は、図1に示すように、例えば、X軸方向に往復移動するスライダ201を備えたアクチュエータ200の内部に取り付けられている。このアクチュエータ200の内部には、ボールねじと、スライダ201が固定されているボールナットと、が設置されている。ボールねじのリードは、例えば、10mmである。このボールねじは、モータユニット10の回転軸に連結されている。そして、モータユニット10の回転軸の回転力によって、ボールねじは回転軸とともに回転する。また、ボールナットは、ボールねじの回転に伴って、X軸方向に移動する。このボールナットの移動によって、スライダ201はX軸方向に移動する。アクチュエータ200には、ケーブル202が接続されている。ケーブル202の他端には、後述するコントローラが接続される。   As shown in FIG. 1, the motor unit 10 is attached inside an actuator 200 including a slider 201 that reciprocates in the X-axis direction, for example. Inside the actuator 200, a ball screw and a ball nut to which the slider 201 is fixed are installed. The lead of the ball screw is, for example, 10 mm. This ball screw is connected to the rotating shaft of the motor unit 10. The ball screw rotates together with the rotating shaft by the rotating force of the rotating shaft of the motor unit 10. Further, the ball nut moves in the X-axis direction as the ball screw rotates. By this movement of the ball nut, the slider 201 moves in the X-axis direction. A cable 202 is connected to the actuator 200. A controller to be described later is connected to the other end of the cable 202.

モータユニット10は、図2に示すように、サーボモータ20と、このサーボモータ20によってX軸に平行な軸周りに回転するシャフト30と、このシャフト30の回転角度(絶対位置)、回転数を検出するためのエンコーダユニット40とを備えている。   As shown in FIG. 2, the motor unit 10 includes a servo motor 20, a shaft 30 that is rotated around an axis parallel to the X axis by the servo motor 20, a rotation angle (absolute position), and a rotation speed of the shaft 30. And an encoder unit 40 for detection.

サーボモータ20は、中空の直方体形状に形成されたハウジング21を有している。このハウジング21のX軸に平行なコーナー部分には、X軸に沿った切り欠き部21aがそれぞれ形成されている。また、ハウジング21の+X側の端部には、貫通孔が形成された取り付け部21bが形成されている。この取り付け部21bの貫通孔に挿入されたボルトやネジによって、モータユニット10は、アクチュエータ200の内部で固定される。また、ハウジング21の−X側と+X側には、図3に示すように、X軸方向に貫通する円形の開口21c,21dがそれぞれ形成されている。シャフト30は、この開口21c,21dに挿入される。   The servo motor 20 has a housing 21 formed in a hollow rectangular parallelepiped shape. Cutout portions 21a along the X axis are formed at corner portions of the housing 21 parallel to the X axis. Further, an attachment portion 21b in which a through hole is formed is formed at an end portion on the + X side of the housing 21. The motor unit 10 is fixed inside the actuator 200 by bolts and screws inserted into the through holes of the mounting portion 21b. Further, as shown in FIG. 3, circular openings 21c and 21d penetrating in the X-axis direction are formed on the −X side and the + X side of the housing 21, respectively. The shaft 30 is inserted into the openings 21c and 21d.

また、サーボモータ20は、シャフト30の外周面に固定されたロータ22と、ロータ22の外周を包囲するように配置されたステータ23と、シャフト30を支持する一組の軸受け24a,24bとが収納されている。   The servomotor 20 includes a rotor 22 fixed to the outer peripheral surface of the shaft 30, a stator 23 disposed so as to surround the outer periphery of the rotor 22, and a pair of bearings 24 a and 24 b that support the shaft 30. It is stored.

ロータ22は、円筒形状に形成されており、シャフト30が貫通する貫通孔を有する。このロータ22は、シャフト30を中心とする円周に沿って複数のN極とS極とが交互に現れるように着磁されている。   The rotor 22 is formed in a cylindrical shape and has a through hole through which the shaft 30 passes. The rotor 22 is magnetized so that a plurality of N poles and S poles appear alternately along a circumference around the shaft 30.

ステータ23は、円筒形状に形成されている。このステータ23は、シャフト30を中心とする円周に沿って、ロータ22に対向する複数の極を有している。複数の極は、いくつかのグループに区分される。そして、各グループを構成する極のコイルは直列に接続されている。   The stator 23 is formed in a cylindrical shape. The stator 23 has a plurality of poles facing the rotor 22 along a circumference around the shaft 30. The plurality of poles is divided into several groups. And the coil of the pole which comprises each group is connected in series.

軸受け24a、24bは、シャフト30を回転可能に支持し、ハウジング21の開口21c,21dに対して同軸になるように、ハウジング21の内部に配置されている。シャフト30は、この軸受け24a,24bに挿入される。   The bearings 24 a and 24 b support the shaft 30 so as to be rotatable, and are disposed inside the housing 21 so as to be coaxial with the openings 21 c and 21 d of the housing 21. The shaft 30 is inserted into the bearings 24a and 24b.

シャフト30は、X軸方向を長手方向とする円柱形状に形成されている。そして、シャフト30は、ハウジング21の開口21c,21d、軸受け24a,24bに挿入されることにより、X軸方向の両端がハウジング21から外部に突出した状態で回転可能に支持されている。   The shaft 30 is formed in a cylindrical shape whose longitudinal direction is the X-axis direction. The shaft 30 is inserted into the openings 21 c and 21 d and the bearings 24 a and 24 b of the housing 21, so that both ends in the X-axis direction are rotatably supported in a state of projecting from the housing 21 to the outside.

図4及び図5は、エンコーダユニット40を示す断面図であり、図4は、図5のIV−IV断面図である。エンコーダユニット40は、図4及び図5に示すように、シャフト30に固定された主動歯車50と、主動歯車50の回転が伝達される従動歯車60,70と、主動歯車50の−X側に配置されたエンコーダ基板41と、シャフト46,47を介して従動歯車60,70を回転可能に支持するエンコーダベース43と、これらを収容するケーシング42とを有している。また、シャフト46,47は、軸受け44を介することによって、エンコーダベース43に対して回動可能に取り付けられている。   4 and 5 are sectional views showing the encoder unit 40, and FIG. 4 is a sectional view taken along line IV-IV in FIG. As shown in FIGS. 4 and 5, the encoder unit 40 includes a main driving gear 50 fixed to the shaft 30, driven gears 60 and 70 to which the rotation of the main driving gear 50 is transmitted, and the −X side of the main driving gear 50. The encoder base 41 is disposed, the encoder base 43 that rotatably supports the driven gears 60 and 70 via the shafts 46 and 47, and the casing 42 that accommodates them. Further, the shafts 46 and 47 are rotatably attached to the encoder base 43 through the bearings 44.

主動歯車50は、図6(A)に示すように、外周に複数の歯部51が形成された平歯車として構成されている。歯部51の数は、任意であるが、本実施形態の主動歯車50の外周には、41本の歯部51が形成されている。この歯部51それぞれには、順にNo.1からNo.41までの歯数番号が付与されている。また、主動歯車50の中央部には、円形の開口52が形成されている。この開口52に、シャフト30の−X側の端部に形成された小径部31が嵌め込まれることによって、主動歯車50は、シャフト30に固定される。これにより、主動歯車50は、シャフト30とともに回転する。   As shown in FIG. 6A, the main driving gear 50 is configured as a spur gear having a plurality of tooth portions 51 formed on the outer periphery. The number of the tooth portions 51 is arbitrary, but 41 tooth portions 51 are formed on the outer periphery of the main driving gear 50 of the present embodiment. Each tooth 51 has a No. 1 to No. Teeth number numbers up to 41 are given. A circular opening 52 is formed in the central portion of the main driving gear 50. The main gear 50 is fixed to the shaft 30 by fitting the small diameter portion 31 formed at the end portion on the −X side of the shaft 30 into the opening 52. Thereby, the main driving gear 50 rotates together with the shaft 30.

主動歯車50の−X側の面には、主動歯車50の回転軸を中心に、リング状の光学トラック53が形成されている。光学トラック53は、図6(B)に示すように、扇形の高反射率領域53aと低反射率領域53bとが、交互に複数配置されることにより、インクリメンタルスケールとして構成されている。なお、光学トラック53は、ピッチが略80μm(高反射率領域53a=略40μm、低反射率領域53b=略40μm)になるように形成されている。   On the surface of the main driving gear 50 on the −X side, a ring-shaped optical track 53 is formed around the rotation axis of the main driving gear 50. As shown in FIG. 6B, the optical track 53 is configured as an incremental scale by alternately arranging a plurality of sector-shaped high reflectance regions 53a and low reflectance regions 53b. The optical track 53 is formed to have a pitch of approximately 80 μm (high reflectance region 53a = approximately 40 μm, low reflectance region 53b = approximately 40 μm).

また、主動歯車50の−X側の面には、光学トラック53の直径よりも小さいリング状の光学トラック54が形成されている。光学トラック54は、扇形の高反射率領域54aと低反射率領域54bとが、PN(Pseudo Noise、Pseudo Random Noise)符号系列に基づいて配置されることにより、アブソリュートスケールとして構成されている。なお、この光学トラック54は、ビット幅が光学トラック53の角度ピッチと一致し、対応するように形成されている。   A ring-shaped optical track 54 smaller than the diameter of the optical track 53 is formed on the surface of the main drive gear 50 on the −X side. The optical track 54 is configured as an absolute scale by arranging fan-shaped high reflectance regions 54a and low reflectance regions 54b based on a PN (Pseudo Noise, Pseudo Random Noise) code sequence. The optical track 54 is formed so that the bit width coincides with the angular pitch of the optical track 53 and corresponds thereto.

従動歯車60は、図7(A)に示すように、主動歯車50の歯部51の数よりも少ない複数本の歯部61が形成され、主動歯車50よりも直径の小さい平歯車として構成されている。歯部61の数は、例えば、24本であり、この歯部61それぞれには、順にNo.1からNo.24までの歯数番号が付与されている。なお、これらの歯数番号は、主動歯車50の歯部51の歯数番号の付与の方向とは、逆回りの方向に付与されている。また、従動歯車60の中央部には、円形の開口62が形成されている。この開口62に、シャフト46の−X側の端部に形成された小径部46aが嵌め込まれることによって、従動歯車60は、シャフト46に固定される。これにより、従動歯車60は、シャフト46とともに回転する。また、従動歯車60の−X側の面には、主動歯車50と同様に、インクリメンタルスケールとして構成された光学トラック63と、アブソリュートスケールとして構成された光学トラック64とが形成されている。   As shown in FIG. 7A, the driven gear 60 is formed as a spur gear having a plurality of tooth portions 61 smaller than the number of tooth portions 51 of the main driving gear 50 and having a smaller diameter than the main driving gear 50. ing. The number of tooth portions 61 is, for example, 24, and each tooth portion 61 has a No. 1 in order. 1 to No. Teeth number numbers up to 24 are given. The number of teeth is assigned in the direction opposite to the direction in which the number of teeth is assigned to the tooth portion 51 of the main gear 50. A circular opening 62 is formed at the center of the driven gear 60. The driven gear 60 is fixed to the shaft 46 by fitting the small diameter portion 46 a formed at the end of the shaft 46 on the −X side into the opening 62. As a result, the driven gear 60 rotates together with the shaft 46. Similarly to the main gear 50, an optical track 63 configured as an incremental scale and an optical track 64 configured as an absolute scale are formed on the surface of the driven gear 60 on the −X side.

従動歯車70は、図7(B)に示すように、主動歯車50の歯部51の数よりも少ない複数本の歯部71が形成され、主動歯車50よりも直径の小さい平歯車として構成されている。歯部71の数は、例えば、23本であり、この歯部71それぞれには、順にNo.1からNo.23までの歯数番号が付与されている。なお、これらの歯数番号は、主動歯車50の歯部51の歯数番号の付与の方向とは、逆回りの方向に付与されている。また、従動歯車70の中央部には、円形の開口72が形成されている。この開口72に、シャフト47の−X側の端部に形成された小径部47aが嵌め込まれることによって、従動歯車70は、シャフト47に固定される。これにより、従動歯車70は、シャフト47とともに回転する。また、従動歯車70の−X側の面には、主動歯車50及び従動歯車60と同様に、インクリメンタルスケールとして構成された光学トラック73と、アブソリュートスケールとして構成された光学トラック74とが形成されている。   As shown in FIG. 7B, the driven gear 70 is formed as a spur gear having a plurality of teeth 71 smaller than the number of teeth 51 of the main gear 50 and having a smaller diameter than the main gear 50. ing. The number of the tooth portions 71 is, for example, 23. 1 to No. Numbers of teeth up to 23 are given. The number of teeth is assigned in the direction opposite to the direction in which the number of teeth is assigned to the tooth portion 51 of the main gear 50. A circular opening 72 is formed at the center of the driven gear 70. The driven gear 70 is fixed to the shaft 47 by fitting the small diameter portion 47 a formed at the end of the shaft 47 on the −X side into the opening 72. As a result, the driven gear 70 rotates together with the shaft 47. Similarly to the main driving gear 50 and the driven gear 60, an optical track 73 configured as an incremental scale and an optical track 74 configured as an absolute scale are formed on the surface of the driven gear 70 on the −X side. Yes.

なお、主動歯車50の歯部51の歯数(41本)、従動歯車60の歯部61の歯数(24本)、従動歯車70の歯部71の歯数(23本)は、互いに素の関係となるように形成されている。   Note that the number of teeth of the tooth portion 51 of the main gear 50 (41), the number of teeth of the tooth portion 61 of the driven gear 60 (24), and the number of teeth of the tooth portion 71 of the driven gear 70 (23) are mutually prime. It is formed so that it may become a relation.

エンコーダ基板41は、図5に示すように、例えば、長方形の部材であり、ケーシング42に固定されている。また、エンコーダ基板41の+X側の面には、シャフト30の絶対位置(回転角度)及び回転数を検出するための検出ユニット80,90,100が実装されている。3つの検出ユニット80,90,100は、それぞれ主動歯車50、従動歯車60,70に対向するように実装されている。   As shown in FIG. 5, the encoder substrate 41 is a rectangular member, for example, and is fixed to the casing 42. Further, detection units 80, 90, 100 for detecting the absolute position (rotation angle) and the rotation speed of the shaft 30 are mounted on the surface of the encoder board 41 on the + X side. The three detection units 80, 90, 100 are mounted so as to face the main driving gear 50 and the driven gears 60, 70, respectively.

検出ユニット80は、図8(A)に示すように、主動歯車50に光を照射するLED発光部82と、主動歯車50の光学トラック53,54で反射した光を検出する光学検出器83,84と、これらの支持する検出ユニット本体81とを有する。   As shown in FIG. 8A, the detection unit 80 includes an LED light emitting unit 82 that irradiates light to the main driving gear 50, and an optical detector 83 that detects light reflected by the optical tracks 53 and 54 of the main driving gear 50. 84 and a detection unit main body 81 that supports them.

LED発光部82は、図8(B)に示すように、検出ユニット本体81の中央部近傍に配置され、主動歯車50の光学トラック53,54それぞれに光を照射する。LED発光部82から照射された光は、高反射率領域53a,54aに入射したときには高反射率で反射され、低反射率領域53b,54bに入射したときには低反射率で反射されたり、散乱或いは吸収されたりする。   As shown in FIG. 8B, the LED light emitting unit 82 is disposed near the center of the detection unit main body 81 and irradiates light to the optical tracks 53 and 54 of the main driving gear 50. The light emitted from the LED light emitting unit 82 is reflected with high reflectivity when entering the high reflectivity regions 53a and 54a, and is reflected or scattered with low reflectivity when entering the low reflectivity regions 53b and 54b. It is absorbed.

光学検出器83は、LED発光部82の−Y側に配置され、主動歯車50の光学トラック53(インクリメンタルスケール)に反射した2系統の光を検出する。これらの2系統の光の位相差は、光学トラック53のピッチを360°とした場合の90°(1/4ピッチ)となっている。そして、光学検出器83は、検出した2系統の反射光の強度に応じた2系統の電圧信号を出力する。光学検出器83は、例えば、2つ又は2組のフォトダイオードから構成される。以下、説明の便宜上、光学検出器83から出力される2系統の電圧信号をそれぞれA相信号、B相信号とする。   The optical detector 83 is disposed on the −Y side of the LED light emitting unit 82 and detects two systems of light reflected on the optical track 53 (incremental scale) of the main driving gear 50. The phase difference between these two systems of light is 90 ° (1/4 pitch) when the pitch of the optical track 53 is 360 °. Then, the optical detector 83 outputs two systems of voltage signals corresponding to the detected intensity of the two systems of reflected light. The optical detector 83 includes, for example, two or two sets of photodiodes. Hereinafter, for convenience of explanation, it is assumed that two voltage signals output from the optical detector 83 are an A-phase signal and a B-phase signal, respectively.

光学検出器84は、LED発光部82の+Y側に配置され、主動歯車50の光学トラック54(アブソリュートスケール)で反射した光を検出する。そして、検出した反射光の強度に応じた電圧信号を出力する。光学検出器84は、512個のCMOSイメージセンサ素子から構成される。   The optical detector 84 is disposed on the + Y side of the LED light emitting unit 82 and detects light reflected by the optical track 54 (absolute scale) of the main driving gear 50. And the voltage signal according to the intensity | strength of the detected reflected light is output. The optical detector 84 is composed of 512 CMOS image sensor elements.

検出ユニット80は、図9に示すように、位相演算器85と、絶対位置演算器86と、補正演算器87と、これらの演算器が演算に使用するテーブル等の情報を記憶する記憶部とをさらに有する。これらの演算器は、例えば、FPGA(Field-Programmable Gate Array)の一部として構成される。   As shown in FIG. 9, the detection unit 80 includes a phase calculator 85, an absolute position calculator 86, a correction calculator 87, and a storage unit that stores information such as tables used by these calculators for calculation. It has further. These arithmetic units are configured as part of an FPGA (Field-Programmable Gate Array), for example.

光学トラック54(アブソリュートスケール)と1:1に位相が対応するように形成された光学トラック53(インクリメンタルスケール)を用いることで、位相演算器85は、光学検出器83から出力されたA相信号、B相信号から、下記の式(1)に基づいて、光学トラック54の1ビット内の位相θを演算する。
θ=arc tan−1(V/V) ……(1)
ここで、Vは、A相信号における正弦波信号の出力値であり、VはB相信号における正弦波信号の出力値である。そして、位相演算器85は、この位相θに対応した信号を出力する。例えば、光学検出器83から出力されたA相信号、B相信号に基づいて、1ビット内の位相θが45°と演算された場合、1ビット=80μmであれば、位相θは、10μm(=80μm×45/360)に相当する。
By using the optical track 53 (incremental scale) formed so that the phase corresponds to the optical track 54 (absolute scale) and 1: 1, the phase calculator 85 allows the phase A signal output from the optical detector 83 to be output. The phase θ in one bit of the optical track 54 is calculated from the B phase signal based on the following equation (1).
θ = arc tan −1 (V A / V B ) (1)
Here, V A is the output value of the sine wave signal in the A phase signal, and V B is the output value of the sine wave signal in the B phase signal. Then, the phase calculator 85 outputs a signal corresponding to this phase θ. For example, when the phase θ in one bit is calculated as 45 ° based on the A phase signal and the B phase signal output from the optical detector 83, if 1 bit = 80 μm, the phase θ is 10 μm ( = 80 μm × 45/360).

絶対位置演算器86は、光学検出器84から出力された信号から、光学トラック54のビット単位の絶対位置Z(ビット単位(略80μm)における主動歯車50の回転角度)を演算するために用いられる。以下、絶対位置演算器86の絶対位置Zの演算について説明する。 The absolute position calculator 86 is used to calculate the absolute position Z 0 in units of bits of the optical track 54 (the rotation angle of the main gear 50 in units of bits (approximately 80 μm)) from the signal output from the optical detector 84. It is done. Hereinafter, the operation of the absolute position Z 0 of the absolute position calculator 86 will be described.

先ず、絶対位置演算器86は、光学検出器84の512個のCMOSイメージセンサ素子の中から、安定した反射光を検出したセンサ素子の出力のみを選択する。具体的には、絶対位置演算器86は、位相演算器85からの位相θに対応した信号に基づいて、高反射率領域54aと低反射率領域54bとの間の境界近傍での不安定な反射光を検出したセンサ素子の出力以外のセンサ素子の出力を選択する。   First, the absolute position calculator 86 selects only the output of the sensor element that detected stable reflected light from the 512 CMOS image sensor elements of the optical detector 84. Specifically, the absolute position calculator 86 is unstable in the vicinity of the boundary between the high reflectivity region 54a and the low reflectivity region 54b based on a signal corresponding to the phase θ from the phase calculator 85. The output of the sensor element other than the output of the sensor element that has detected the reflected light is selected.

図10は、絶対位置演算器86が行うセンサ素子84−1〜84−3の選択方法を説明するための図である。例えば、図10(A)においては、センサ素子84−1は、1ビット内の位相0°近傍を検出するように配置され、センサ素子84−2、84−3は、センサ素子84−1に対して120°、240°の間隔で配置されている。この場合、絶対位置演算器86は、位相演算器85からの位相θに対応した信号に基づいて、高反射率領域54aと低反射率領域54bとの間の境界近傍での反射光を検出するセンサ素子84−1の出力以外の、1ビット内の中央(180°)近傍のセンサ素子84−2、84−3の出力を選択する。また、図10(B)においては、センサ素子84−1、84−2は、1ビット内の中央(180°)近傍を検出するように配置され、センサ素子84−3は、1ビット内の位相360°近傍を検出するように配置されている。この場合、絶対位置演算器86は、高反射率領域54aと低反射率領域54bとの間の境界近傍での反射光を検出するセンサ素子84−3の出力以外の、1ビット内の中央(180°)近傍のセンサ素子84−1、84−2の出力を選択する。以上により、絶対位置演算器86は、高反射率領域54aと低反射率領域54bとの間の境界近傍での反射光を検出するセンサ素子の出力以外の、安定した検出を行うセンサ素子の出力を選択することができる。   FIG. 10 is a diagram for explaining a method of selecting the sensor elements 84-1 to 84-3 performed by the absolute position calculator 86. For example, in FIG. 10A, the sensor element 84-1 is arranged so as to detect the vicinity of the phase 0 ° in one bit, and the sensor elements 84-2 and 84-3 are connected to the sensor element 84-1. On the other hand, they are arranged at intervals of 120 ° and 240 °. In this case, the absolute position calculator 86 detects the reflected light near the boundary between the high reflectance region 54a and the low reflectance region 54b based on the signal corresponding to the phase θ from the phase calculator 85. Other than the output of the sensor element 84-1, the output of the sensor elements 84-2 and 84-3 near the center (180 °) in one bit is selected. In FIG. 10B, the sensor elements 84-1 and 84-2 are arranged so as to detect the vicinity of the center (180 °) within one bit, and the sensor element 84-3 is disposed within one bit. It arrange | positions so that the phase 360 degree vicinity may be detected. In this case, the absolute position calculator 86 is the center in one bit other than the output of the sensor element 84-3 that detects the reflected light in the vicinity of the boundary between the high reflectance region 54a and the low reflectance region 54b. 180 °) The output of the sensor elements 84-1 and 84-2 in the vicinity is selected. As described above, the absolute position calculator 86 outputs the sensor element that performs stable detection other than the output of the sensor element that detects the reflected light near the boundary between the high reflectance region 54a and the low reflectance region 54b. Can be selected.

次に、絶対位置演算器86は、例えば、記憶部に記憶されているセンサ素子の出力信号の組み合わせと絶対位置Zとの対応関係を示すテーブルを参照して、光学検出器84の選択されたセンサ素子の出力信号から絶対位置Zを演算する。そして、絶対位置演算器86は、この絶対位置Zに対応した信号を出力する。 Then, the absolute position calculator 86, for example, by referring to the table showing the correspondence between the combination and the absolute position Z 0 of the output signal of the sensor element stored in the storage unit, the selection of the optical detector 84 and it calculates the absolute position Z 0 from an output signal of the sensor element. Then, the absolute position calculator 86 outputs a signal corresponding to the absolute position Z 0.

図9に戻り、補正演算器87は、絶対位置演算器86から出力された絶対位置Zに、位相演算器85から出力された位相θを加算することによって、絶対位置Zよりも高い分解能の絶対位置Zを演算する。そして、補正演算器87は、この絶対位置Zに対応した信号を出力する。例えば、1ビット内の位相θが45°であれば、1ビット幅が80μmの時、位相θ=10μmと算出されるので、絶対位置Zにこの位相θ=10μmを加算することにより、1ビットよりも分解能が高い絶対位置Zを演算できる。 Returning to FIG. 9, the correction calculator 87 adds the phase θ output from the phase calculator 85 to the absolute position Z 0 output from the absolute position calculator 86, thereby increasing the resolution higher than the absolute position Z 0. The absolute position Z is calculated. Then, the correction calculator 87 outputs a signal corresponding to the absolute position Z. For example, if the phase θ within 1 bit is 45 °, the phase θ = 10 μm is calculated when the 1-bit width is 80 μm. Therefore, by adding this phase θ = 10 μm to the absolute position Z 0 , 1 An absolute position Z with higher resolution than the bit can be calculated.

検出ユニット90は、検出ユニット80と同様に、従動歯車60の光学トラック63,64に光を照射するLED発光部と、光学トラック63,64で反射した光を検出する光学検出器93,94と、位相演算器95と、絶対位置演算器96と、補正演算器97と、テーブル等の情報を記憶する記憶部とを有する。これらの位相演算器95、絶対位置演算器96、補正演算器97は、例えば、FPGAの一部として構成される。   Similarly to the detection unit 80, the detection unit 90 includes an LED light emitting unit that irradiates light to the optical tracks 63 and 64 of the driven gear 60, and optical detectors 93 and 94 that detect light reflected by the optical tracks 63 and 64. , A phase calculator 95, an absolute position calculator 96, a correction calculator 97, and a storage unit for storing information such as a table. These phase calculator 95, absolute position calculator 96, and correction calculator 97 are configured as part of an FPGA, for example.

LED発光部は、従動歯車60の光学トラック63,64それぞれに光を照射する。LED発光部から照射された光は、高反射率領域63a,64aに入射したときには高反射率で反射され、低反射率領域63b,64bに入射したときには低反射率で反射されたり、散乱或いは吸収されたりする。   The LED light emitting unit irradiates the optical tracks 63 and 64 of the driven gear 60 with light. The light emitted from the LED light emitting part is reflected with high reflectivity when entering the high reflectivity regions 63a and 64a, and is reflected or scattered or absorbed with low reflectivity when entering the low reflectivity regions 63b and 64b. Or

光学検出器93は、従動歯車60の光学トラック63(インクリメンタルスケール)に反射した2系統の光を検出する。これらの2系統の光の位相差は、光学トラック63のピッチを360°とした場合の90°(1/4ピッチ)となっている。そして、光学検出器93は、検出した2系統の反射光の強度に応じた2系統のA相信号、B相信号を出力する。光学検出器93は、例えば、2つのフォトダイオードから構成される。   The optical detector 93 detects two systems of light reflected on the optical track 63 (incremental scale) of the driven gear 60. The phase difference between these two systems of light is 90 ° (1/4 pitch) when the pitch of the optical track 63 is 360 °. Then, the optical detector 93 outputs two systems of A-phase signals and B-phase signals according to the detected intensity of the two systems of reflected light. The optical detector 93 is composed of, for example, two photodiodes.

光学検出器94は、従動歯車60の光学トラック64(アブソリュートスケール)で反射した光を検出する。そして、検出した反射光の強度に応じた電圧信号を出力する。光学検出器94は、例えば、512画素のCMOSイメージセンサから構成される。   The optical detector 94 detects light reflected by the optical track 64 (absolute scale) of the driven gear 60. And the voltage signal according to the intensity | strength of the detected reflected light is output. The optical detector 94 is composed of, for example, a 512 pixel CMOS image sensor.

位相演算器95は、光学検出器93から出力されたA相信号、B相信号から、式(1)に基づいて、光学トラック64の1ビット内の位相を演算する。そして、位相演算器95は、この位相に対応した信号を出力する。   The phase calculator 95 calculates the phase in one bit of the optical track 64 from the A-phase signal and B-phase signal output from the optical detector 93 based on the equation (1). Then, the phase calculator 95 outputs a signal corresponding to this phase.

絶対位置演算器96は、光学検出器94から出力された信号から、光学トラック64のビット単位の絶対位置α(ビット単位における従動歯車60の回転角度)を演算する。絶対位置演算器96は、例えば、記憶部に記憶されている光学検出器94からの電圧信号と絶対位置αとの対応関係を示すテーブルを参照して、絶対位置αを演算する。そして、絶対位置演算器96は、この絶対位置αに対応した信号を出力する。 The absolute position calculator 96 calculates the absolute position α 0 in units of bits of the optical track 64 (the rotation angle of the driven gear 60 in units of bits) from the signal output from the optical detector 94. Absolute position calculator 96, for example, by referring to the table showing the correspondence relationship between the voltage signal and the absolute position alpha 0 from the optical detector 94 stored in the storage unit, calculates the absolute position alpha 0. Then, the absolute position calculator 96 outputs a signal corresponding to the absolute position alpha 0.

補正演算器97は、絶対位置演算器96から出力された絶対位置αに、位相演算器95から出力された位相を加算することによって、絶対位置αよりも高い分解能の絶対位置αを演算する。そして、補正演算器97は、この絶対位置αに対応した信号を出力する。 Correction arithmetic unit 97, the absolute position alpha 0 output from the absolute position computing unit 96, by adding the output phase from the phase calculator 95, the absolute position alpha of higher resolution than the absolute position alpha 0 operation To do. Then, the correction calculator 97 outputs a signal corresponding to the absolute position α.

検出ユニット100は、検出ユニット80,90と同様に、従動歯車70の光学トラック73,74に光を照射するLED発光部と、光学トラック73,74で反射した光を検出する光学検出器103,104と、位相演算器105と、絶対位置演算器106と、補正演算器107とを有する。そして、補正演算器107は、絶対位置演算器106から出力された絶対位置βに、位相演算器105から出力された位相を加算することによって、絶対位置βよりも高い分解能の絶対位置βを演算する。そして、補正演算器107は、この絶対位置βに対応した信号を出力する。 Similarly to the detection units 80 and 90, the detection unit 100 includes an LED light emitting unit that irradiates light to the optical tracks 73 and 74 of the driven gear 70, and an optical detector 103 that detects the light reflected by the optical tracks 73 and 74. 104, a phase calculator 105, an absolute position calculator 106, and a correction calculator 107. Then, the correction computing unit 107 adds the phase output from the phase computing unit 105 to the absolute position β 0 output from the absolute position computing unit 106, so that the absolute position β having higher resolution than the absolute position β 0 is obtained. Is calculated. Then, the correction calculator 107 outputs a signal corresponding to the absolute position β.

エンコーダユニット40は、図9に示すように、検出ユニット80,90,100に加えて、回転数演算ユニット110、出力ユニット120を有する。   As shown in FIG. 9, the encoder unit 40 includes a rotation speed calculation unit 110 and an output unit 120 in addition to the detection units 80, 90, and 100.

回転数演算ユニット110は、回転数演算器111と、歯数番号と回転数Rとの対応関係を示すテーブルT等の情報を記憶する記憶部と、を有している。回転数演算器111は、先ず、補正演算器87,97,107からの絶対位置Z、α、βに対応した信号に基づいて、主動歯車50、従動歯車60,70それぞれの−Y側にある歯部51,61,71の歯数番号を判別する。このとき、回転数演算器111は、主動歯車50の歯数よりも細かい分解能の絶対位置Zに基づいて、主動歯車50の歯数番号が、次の歯数番号に切り替わるタイミングを判別し、このタイミングに合わせて、従動歯車60,70それぞれの歯数番号を切り替える。   The rotation speed calculation unit 110 includes a rotation speed calculator 111 and a storage unit that stores information such as a table T indicating the correspondence between the tooth number and the rotation speed R. First, the rotational speed calculator 111 is on the −Y side of each of the main driving gear 50 and the driven gears 60 and 70 based on signals corresponding to the absolute positions Z, α, and β from the correction calculators 87, 97, and 107. The number of teeth of the tooth portions 51, 61, 71 is determined. At this time, the rotational speed calculator 111 determines the timing at which the number of teeth of the main driving gear 50 is switched to the next number of teeth based on the absolute position Z having a resolution finer than the number of teeth of the main driving gear 50. The number of teeth of each of the driven gears 60 and 70 is switched in accordance with the timing.

次に、回転数演算器111は、テーブルTを参照して、これらの歯数番号の組み合わせから、シャフト30の回転数Rを演算する。そして、回転数演算器111は、この回転数Rに対応した信号を出力する。   Next, the rotational speed calculator 111 refers to the table T and calculates the rotational speed R of the shaft 30 from the combination of these tooth number numbers. Then, the rotational speed calculator 111 outputs a signal corresponding to the rotational speed R.

図11にテーブルTの具体例を示す。このテーブルTは、主動歯車50、従動歯車60,70の歯数それぞれを5本、4本、3本に設定した場合の例である。図11に示すテーブルTにおいて、最も左側の第1列は、主動歯車50、従動歯車60,70それぞれの−Y側にある歯部51,61,71の歯数番号の組み合わせ番号を示している。第1列の右側の第2列は、主動歯車50の−Y側にある歯部51の歯数番号を示している。同様に、第3列、第4列は、従動歯車60の−Y側にある歯部61の歯数番号、従動歯車70の−Y側にある歯部71の歯数番号を示している。そして、テーブルTの最も右側の第5列は、シャフト30(主動歯車50)の回転数Rを示している。   FIG. 11 shows a specific example of the table T. This table T is an example in which the number of teeth of the main driving gear 50 and the driven gears 60 and 70 is set to 5, 4, and 3, respectively. In the table T shown in FIG. 11, the leftmost first column indicates a combination number of the number of teeth of the tooth portions 51, 61, 71 on the −Y side of each of the main driving gear 50 and the driven gears 60, 70. . The second column on the right side of the first column indicates the number of teeth of the tooth portion 51 on the −Y side of the main driving gear 50. Similarly, the third row and the fourth row indicate the number of teeth of the tooth portion 61 on the −Y side of the driven gear 60 and the number of teeth of the tooth portion 71 on the −Y side of the driven gear 70. The fifth column on the rightmost side of the table T indicates the rotational speed R of the shaft 30 (main drive gear 50).

図11を参照するとわかるように、主動歯車50、従動歯車60,70それぞれの歯数番号の組み合わせの総数は、60通り(60=5×4×3)である。例えば、それぞれの歯数番号の組み合わせが(No.1、No.2、No.3)であった場合、組み合わせ番号はNo.006となる。そのため、回転数演算器111は、テーブルTを参照することにより、シャフト30の回転数R=1と演算することができる。また、それぞれの歯数番号の組み合わせが(No.1、No.2、No.2)であった場合、組み合わせ番号はNo.026となる。そのため、回転数演算器111は、このテーブルTを参照することにより、シャフト30の回転数R=5と演算できる。   As can be seen from FIG. 11, the total number of combinations of the tooth number numbers of the main driving gear 50 and the driven gears 60 and 70 is 60 (60 = 5 × 4 × 3). For example, when the combination of each tooth number number is (No.1, No.2, No.3), the combination number is No.1. 006. Therefore, the rotational speed calculator 111 can calculate the rotational speed R = 1 of the shaft 30 by referring to the table T. Moreover, when the combination of each tooth number number is (No.1, No.2, No.2), the combination number is No.1. 026. Therefore, the rotational speed calculator 111 can calculate the rotational speed R of the shaft 30 as 5 by referring to this table T.

しかしながら、上記例は、従動歯車70の歯数番号が1つ違う場合でも、回転数演算器111は、大きく異なる回転数Rを出力してしまうことを示している。そこで、本実施形態の回転数演算器111は、主動歯車50、従動歯車60,70それぞれの歯数番号が、切り替わる直前であるか、切り替わった直後であるか、又は切り替わってから次の切り替わりまでの間であるか、を検出し、判定する。そして、これらの噛み合い状態が相互に異なる場合、回転数演算器111は、従動歯車60,70それぞれの噛み合い状態(歯数番号の切り替わるタイミング)を、主動歯車50の噛み合い状態(歯数番号の歯数番号に切り替わるタイミング)に合わせる。例えば、主動歯車50の歯数番号の切り替わるタイミングが切り替わった直後であり、従動歯車60,70の歯数番号の切り替わるタイミングが切り替わる直前であった場合、回転数演算器111は、従動歯車60,70の歯数番号の切り替わるタイミングを、主動歯車50の歯数番号の切り替わるタイミングに合わせて、切り替わった直後にする。すなわち、回転数演算器111は、主動歯車50の歯数番号の切り替わるタイミングに合わせて、従動歯車60,70の歯数番号を切り替える。これにより、回転数演算器111は、主動歯車50、従動歯車60,70それぞれの正しい歯数番号を判別し、その結果、正確な回転数Rを出力することができる。   However, the above example shows that even if the number of teeth of the driven gear 70 is different by one, the rotational speed calculator 111 outputs a significantly different rotational speed R. Therefore, the rotational speed calculator 111 of the present embodiment has the tooth number numbers of the main driving gear 50 and the driven gears 60 and 70 immediately before switching, immediately after switching, or after switching until the next switching. Is detected and determined. When these meshing states are different from each other, the rotation speed calculator 111 changes the meshing state (timing at which the tooth number number is switched) of each of the driven gears 60 and 70 to the meshing state (tooth number number tooth). The timing of switching to several numbers). For example, when the timing for switching the number of teeth of the main gear 50 is just after switching, and when the timing for switching the number of teeth of the driven gears 60 and 70 is just before switching, the rotational speed calculator 111 may change the number of driven gears 60, The timing at which the number of teeth number 70 is switched is set immediately after the timing is switched in accordance with the timing at which the number of teeth number of the main driving gear 50 is switched. That is, the rotation speed calculator 111 switches the number of teeth of the driven gears 60 and 70 in accordance with the switching timing of the number of teeth of the main gear 50. As a result, the rotation speed calculator 111 can determine the correct number of teeth for each of the main driving gear 50 and the driven gears 60 and 70, and as a result, can output an accurate rotation speed R.

このような歯車の歯数番号の調整は、歯車のバックラッシュによって、歯車の噛み合い状態が異なってしまう状態を防止するために行われる。具体的には、本実施形態においては、いずれの従動歯車60,70も主動歯車50に噛み合っているため、本来は、全ての歯車の噛み合い状態(歯数番号の切り替えのタイミング等)が、同じであることが望ましい。しかしながら、歯車のバックラッシュの大きさによっては、歯車の噛み合い状態がそれぞれ異なってしまうおそれがある。これに対して、本実施形態においては、回転数演算器111が、主動歯車50に合わせて、従動歯車60,70の歯数番号を切り替えていることによって、正確な回転数Rを出力している。   Such adjustment of the number of teeth of the gear is performed in order to prevent a state where the meshing state of the gear is changed due to the backlash of the gear. Specifically, in this embodiment, since all the driven gears 60 and 70 are meshed with the main driving gear 50, the meshing state of all the gears (such as the timing of switching the number of teeth) is essentially the same. It is desirable that However, depending on the size of the backlash of the gear, the meshing state of the gear may be different. On the other hand, in the present embodiment, the rotation speed calculator 111 outputs an accurate rotation speed R by switching the number of teeth of the driven gears 60 and 70 according to the main driving gear 50. Yes.

また、上述したように、検出ユニット80,90,100から出力される絶対位置Z、α、βの分解能は、主動歯車50、従動歯車60,70の歯部51,61,71よりも十分細かい。そのため、例えば、回転数演算器111は、1本の歯部51,61,71それぞれに対して、3つのタイミング(切り替わる直前、切り替わった直後、切り替え直後から次の切り替えまでの間)に分割して検出するようにしている。この3つのタイミングに合わせて、回転数演算器111は、従動歯車60,70の歯数番号を切り替えることにより、回転数演算器111は、主動歯車50、従動歯車60,70それぞれの歯数番号を誤って判別することを防いでいる。   Further, as described above, the resolutions of the absolute positions Z, α, β output from the detection units 80, 90, 100 are sufficiently finer than those of the tooth portions 51, 61, 71 of the main driving gear 50 and the driven gears 60, 70. . Therefore, for example, the rotation speed calculator 111 divides each tooth portion 51, 61, 71 into three timings (immediately before switching, immediately after switching, and immediately after switching until the next switching). To detect. In accordance with these three timings, the rotation speed calculator 111 switches the number of teeth of the driven gears 60 and 70, so that the rotation speed calculator 111 can change the number of teeth of the main driving gear 50 and the driven gears 60 and 70, respectively. Is prevented from being mistakenly determined.

なお、回転数演算器111は、テーブルTを参照して、これらの歯数番号の組み合わせから、シャフト30の回転数Rを演算している。しかしながら、演算方法は任意である。例えば、本実施形態においては、歯数番号の組み合わせの番号は一定の整数値であるとともに、各歯車(主動歯車50、従動歯車60,70)の歯数番号が既知の値であり、また、各歯車の回転数が未知の値(変数)である。そのため、3つの変数によって構成される一次方程式が3つできる。これらの方程式に基づいて、回転数演算器111は、回転数Rを演算することもできる。   The rotation speed calculator 111 calculates the rotation speed R of the shaft 30 from the combination of these tooth number numbers with reference to the table T. However, the calculation method is arbitrary. For example, in this embodiment, the number of the combination of the number of teeth is a constant integer value, and the number of teeth of each gear (the main driving gear 50, the driven gear 60, 70) is a known value, The number of rotations of each gear is an unknown value (variable). Therefore, three linear equations composed of three variables can be created. Based on these equations, the rotational speed calculator 111 can also calculate the rotational speed R.

また、本実施形態においては、主動歯車50、従動歯車60,70それぞれの歯数番号の組み合わせの総数は、22,632通り(22,632=41×24×23)であり、エンコーダユニット40は、552回転(552=22,632/41)まで判別することができる。したがって、アクチュエータ200のボールねじのリードは、上述したように10mmであることから、5,520mm(5,520=552×10)のストロークの範囲内におけるスライダ201の位置を判別することができる。   In the present embodiment, the total number of combinations of the tooth number numbers of the main driving gear 50 and the driven gears 60 and 70 is 22,632 (22,632 = 41 × 24 × 23), and the encoder unit 40 is , 552 rotations (552 = 22,632 / 41). Therefore, since the lead of the ball screw of the actuator 200 is 10 mm as described above, the position of the slider 201 can be determined within the stroke range of 5,520 mm (5,520 = 552 × 10).

出力ユニット120は、図9に示すように、2組の信号({A、B}と{Z、R})を切り替えるマルチプレクサ121と、ラインドライバ122とを有している。   As illustrated in FIG. 9, the output unit 120 includes a multiplexer 121 that switches between two sets of signals ({A, B} and {Z, R}), and a line driver 122.

マルチプレクサ121は、電源投入後またはリセット時に、まず検出ユニット80の補正演算器87から出力された絶対位置Zに対応する電圧信号と、回転数演算ユニット110の回転数演算器111から出力された回転数Rに対応する電圧信号とを出力する。これらの信号に基づいて、後述するコントローラの制御部が、現在位置を確定する。次に、マルチプレクサ121は、検出ユニット80の光学検出器83から出力されたA相信号とB相信号とに切り替え、A相信号とB相信号とを出力する。これらの信号に基づいて、制御部が、アップダウンカウントし、現在位置を更新する(インクリメンタルエンコーダ機能)。   The multiplexer 121 first outputs a voltage signal corresponding to the absolute position Z output from the correction calculator 87 of the detection unit 80 and the rotation output from the rotation speed calculator 111 of the rotation speed calculation unit 110 after power-on or reset. A voltage signal corresponding to the number R is output. Based on these signals, the controller of the controller, which will be described later, determines the current position. Next, the multiplexer 121 switches between the A phase signal and the B phase signal output from the optical detector 83 of the detection unit 80, and outputs the A phase signal and the B phase signal. Based on these signals, the control unit counts up and down and updates the current position (incremental encoder function).

ラインドライバ122は、マルチプレクサ121から出力された信号と、この信号の位相を反転した信号との差に基づいた差動信号を出力する。   The line driver 122 outputs a differential signal based on the difference between the signal output from the multiplexer 121 and a signal obtained by inverting the phase of this signal.

上述したエンコーダユニット40を備えたモータユニット10には、図9に示すように、コントローラ300が接続される。コントローラ300は、ラインレシーバ302と、制御部301とを有する。   As shown in FIG. 9, a controller 300 is connected to the motor unit 10 including the encoder unit 40 described above. The controller 300 includes a line receiver 302 and a control unit 301.

ラインレシーバ302は、ラインドライバ122から出力された差動信号を元の信号に変換する。そして、この信号を制御部301に入力する。   The line receiver 302 converts the differential signal output from the line driver 122 into an original signal. Then, this signal is input to the control unit 301.

制御部301は、CPU(Central Processing Unit)、主記憶部、補助記憶部等から構成され、ラインレシーバ302からの信号に基づいて現在位置を確定、認識し、サーボモータ20を制御する。   The control unit 301 includes a CPU (Central Processing Unit), a main storage unit, an auxiliary storage unit, and the like, and determines and recognizes the current position based on a signal from the line receiver 302 and controls the servo motor 20.

上述のように構成されたモータユニット10の動作について、図9を参照して説明する。   The operation of the motor unit 10 configured as described above will be described with reference to FIG.

モータユニット10、コントローラ300等を含むアクチュエータシステムの電源をオンにすると、エンコーダユニット40の検出ユニット80は、主動歯車50の光学トラック54(アブソリュートスケール)からの反射光に基づいて、主動歯車50の絶対位置Zを演算する。また、光学トラック53(インクリメンタルスケール)からの反射光に基づいて、光学トラック54の1ビット内の位相θを演算する。これらの絶対位置Z及び位相θに基づいて、検出ユニット80は、絶対位置Zよりも高分解能の絶対位置Zを演算する。そして、検出ユニット80は、絶対位置Zに対応した信号を回転数演算ユニット110及び出力ユニット120に出力する。 When the power of the actuator system including the motor unit 10 and the controller 300 is turned on, the detection unit 80 of the encoder unit 40 detects the main driving gear 50 based on the reflected light from the optical track 54 (absolute scale) of the main driving gear 50. It calculates the absolute position Z 0. Further, the phase θ in one bit of the optical track 54 is calculated based on the reflected light from the optical track 53 (incremental scale). Based on the absolute position Z 0 and the phase θ, the detection unit 80 calculates an absolute position Z with higher resolution than the absolute position Z 0 . Then, the detection unit 80 outputs a signal corresponding to the absolute position Z to the rotation speed calculation unit 110 and the output unit 120.

検出ユニット90,100も、検出ユニット80と同様に、従動歯車60,70の光学トラック64,74(アブソリュートスケール)からの反射光に基づいて、従動歯車60,70の絶対位置α、βを出力する。また、光学トラック63,73(インクリメンタルスケール)からの反射光に基づいて、従動歯車60,70の光学トラック64,74の1ビット内の位相を演算する。これらの絶対位置α、β及び位相に基づいて、検出ユニット90,100は、絶対位置α、βよりも高分解能の絶対位置α、βを演算する。そして、検出ユニット90,100は、絶対位置α、βに対応した信号を回転数演算ユニット110に出力する。 Similarly to the detection unit 80, the detection units 90 and 100 also have absolute positions α 0 and β 0 of the driven gears 60 and 70 based on the reflected light from the optical tracks 64 and 74 (absolute scale) of the driven gears 60 and 70. Is output. Further, based on the reflected light from the optical tracks 63 and 73 (incremental scale), the phase within one bit of the optical tracks 64 and 74 of the driven gears 60 and 70 is calculated. Based on these absolute positions α 0 and β 0 and the phase, the detection units 90 and 100 calculate absolute positions α and β with higher resolution than the absolute positions α 0 and β 0 . Then, the detection units 90 and 100 output signals corresponding to the absolute positions α and β to the rotation speed calculation unit 110.

回転数演算ユニット110は、検出ユニット80,90,100からの絶対位置Z、α、β対応した信号に基づいて、主動歯車50、従動歯車60,70それぞれの歯数番号を演算し、それらの組み合わせから、シャフト30の回転数Rを演算する。そして、回転数演算ユニット110は、回転数Rに対応した信号を出力ユニット120に出力する。   The rotation speed calculation unit 110 calculates the number of teeth of each of the main driving gear 50 and the driven gears 60 and 70 based on the signals corresponding to the absolute positions Z, α, and β from the detection units 80, 90, and 100. From the combination, the rotational speed R of the shaft 30 is calculated. Then, the rotation speed calculation unit 110 outputs a signal corresponding to the rotation speed R to the output unit 120.

出力ユニット120は、電源投入後またはリセット時には、絶対位置Zに対応した信号、回転数Rに対応した信号をコントローラ300に出力し、その後は、マルチプレクサ121の切替により、主動歯車50のA相信号、B相信号をコントローラ300に出力し続ける。   The output unit 120 outputs a signal corresponding to the absolute position Z and a signal corresponding to the rotation speed R to the controller 300 after the power is turned on or at the time of resetting, and thereafter, the A phase signal of the main gear 50 is switched by switching the multiplexer 121. The B phase signal continues to be output to the controller 300.

コントローラ300は、エンコーダユニット40からの絶対位置Zに対応した信号、回転数Rに対応した信号に基づいて、主動歯車50の絶対位置Z、回転数Rを、シャフト30の絶対位置Z、回転数Rの初期値として記憶し、主動歯車50のA相信号、B相信号に基づいて、前記初期値にアップダウンカウントし、現在位置を更新していく。   Based on the signal corresponding to the absolute position Z from the encoder unit 40 and the signal corresponding to the rotational speed R, the controller 300 converts the absolute position Z and rotational speed R of the main driving gear 50 into the absolute position Z and rotational speed of the shaft 30. The initial value of R is stored, and based on the A-phase signal and B-phase signal of the main driving gear 50, the current position is updated by counting up and down to the initial value.

絶対位置Z、回転数Rを記憶すると、コントローラ300は、サーボモータ20のステータ23のコイルに電流を流す。そして、電流を流すコイルを切り替えていく。これにより、コイルは励磁され、ステータ23とロータ22との間に反発力や引力が生じ、この結果、ステータ23とともにシャフト30は回転する。   When the absolute position Z and the rotation speed R are stored, the controller 300 causes a current to flow through the coil of the stator 23 of the servo motor 20. And the coil which sends an electric current is switched. As a result, the coil is excited and a repulsive force or attractive force is generated between the stator 23 and the rotor 22, and as a result, the shaft 30 rotates together with the stator 23.

シャフト30が回転すると、シャフト30とともに主動歯車50も回転する。また、主動歯車50との噛み合いにより、従動歯車60及び従動歯車70も、主動歯車50の回転方向とは反対の回転方向に回転する。   When the shaft 30 rotates, the main driving gear 50 rotates with the shaft 30. Further, due to the meshing with the main driving gear 50, the driven gear 60 and the driven gear 70 also rotate in the rotation direction opposite to the rotation direction of the main driving gear 50.

シャフト30の回転速度が等速の場合、検出ユニット80のLED発光部82から照射された光は、光学トラック53(インクリメンタルスケール)によってその反射強度を増減しながら反射する。検出ユニット80は、光学トラック53によって反射された光の強度に応じたA相信号とB相信号とを、コントローラ300に出力する。A相信号の値は、周期Tが経過する毎にハイレベルからローレベルに変化する。また、B相信号は、A相信号に対して、T/4の周期進んで、周期Tが経過するごとにハイレベルからローレベルに変化する。   When the rotation speed of the shaft 30 is constant, the light emitted from the LED light emitting unit 82 of the detection unit 80 is reflected by the optical track 53 (incremental scale) while increasing or decreasing its reflection intensity. The detection unit 80 outputs an A phase signal and a B phase signal corresponding to the intensity of the light reflected by the optical track 53 to the controller 300. The value of the A phase signal changes from the high level to the low level every time the period T elapses. Further, the B phase signal advances by a period of T / 4 with respect to the A phase signal, and changes from a high level to a low level every time the period T elapses.

コントローラ300は、シャフト30の絶対位置Z、回転数Rの初期値に対して、A相信号又はB相信号のパルスをカウントしていく。このカウントにより、回転するシャフト30の絶対位置Z、回転数Rの現在値が求められる。コントローラ300は、これらの絶対位置Z、回転数Rの現在値に基づいて、サーボモータ20を制御する。   The controller 300 counts the pulses of the A phase signal or the B phase signal with respect to the absolute position Z of the shaft 30 and the initial value of the rotation speed R. From this count, the absolute position Z of the rotating shaft 30 and the current value of the rotational speed R are obtained. The controller 300 controls the servo motor 20 based on the absolute position Z and the current value of the rotation speed R.

また、別途、設けられた初期値リセット手段を実行した場合でも、コントローラ300は、シャフト30の絶対位置Z、回転数Rの初期値を記憶する。そして、A相信号及びB相信号のパルスをアップダウンカウントし、このカウントにより、回転するシャフト30の絶対位置Z、回転数Rの現在値を求める。そして、これらの絶対位置Z、回転数Rの現在値に基づいて、コントローラ300は、サーボモータ20を制御する。   Further, even when separately provided initial value resetting means is executed, the controller 300 stores the initial values of the absolute position Z and the rotational speed R of the shaft 30. Then, the pulses of the A-phase signal and the B-phase signal are counted up and down, and the current values of the absolute position Z and the rotation speed R of the rotating shaft 30 are obtained by this count. The controller 300 controls the servo motor 20 based on the absolute position Z and the current value of the rotation speed R.

以上、説明したように、本実施形態に係るエンコーダユニット40は、主動歯車50と、この主動歯車50に噛み合っている第1従動歯車60及び第2従動歯車70とに形成された光学トラック53,54,63,64,73,74それぞれからの光を検出しており、これにより、シャフト30の回転数Rの絶対位置Z(回転角度)を判別する。したがって、いずれの従動歯車60,70も主動歯車50に直接噛み合っていることから、歯車のバックラッシュの累積等による誤検出を防ぐことができるとともに、エンコーダユニット40等を小型にできる。   As described above, the encoder unit 40 according to the present embodiment includes the optical track 53, which is formed on the main driving gear 50 and the first driven gear 60 and the second driven gear 70 that are meshed with the main driving gear 50. Light from each of 54, 63, 64, 73 and 74 is detected, and thereby the absolute position Z (rotation angle) of the rotation speed R of the shaft 30 is determined. Accordingly, since both the driven gears 60 and 70 are directly meshed with the main driving gear 50, it is possible to prevent erroneous detection due to accumulation of gear backlash and the like, and to reduce the size of the encoder unit 40 and the like.

また、従動歯車が直列的に接続されている従来のようなエンコーダユニットと比べて、歯車のバックラッシュの累積がないため、同程度の回転数検出範囲を有する従来のエンコーダユニットの歯車よりも、エンコーダユニット40の歯車は、それほど精密に形成する必要がなく、この結果、製造コストを低減させることができる。   In addition, since there is no accumulation of gear backlash compared to a conventional encoder unit in which the driven gear is connected in series, the gear of the conventional encoder unit having the same rotational speed detection range, The gear of the encoder unit 40 does not need to be formed so precisely, and as a result, the manufacturing cost can be reduced.

また、主動歯車50と2つの従動歯車60,70のみで、回転数Rを検出することができるため、バッテリー及びメモリが不要とすることができる。   Further, since the rotational speed R can be detected only by the main driving gear 50 and the two driven gears 60 and 70, a battery and a memory can be dispensed with.

また、本実施形態においては、回転数演算器111は、主動歯車50の歯数よりも細かい分解能の絶対位置Zに基づいて、主動歯車50の歯数番号が、次の歯数番号に切り替わるタイミングを判別し、このタイミングに合わせて、従動歯車60,70それぞれの歯数番号を切り替えている。これにより、バックラッシュが大きい歯車を用いても歯数番号読み取りエラーが無く、高い信頼性を得ることができる。   Further, in the present embodiment, the rotational speed calculator 111 is a timing at which the number of teeth of the main driving gear 50 is switched to the next number of teeth based on the absolute position Z having a resolution finer than the number of teeth of the main driving gear 50. The number of teeth of each of the driven gears 60 and 70 is switched in accordance with this timing. Thereby, even if a gear with a large backlash is used, there is no error in reading the number of teeth number, and high reliability can be obtained.

また、本実施形態においては、従動歯車60及び従動歯車70は、直接主動歯車50に噛み合っているので、歯車の個数を大変少なくできるとともに、エンコーダユニット40の厚み(X軸方向における寸法)を薄くすることができ、ひいては、モータユニット10の小型化に寄与することができる。   In the present embodiment, the driven gear 60 and the driven gear 70 are directly meshed with the main driving gear 50, so that the number of gears can be greatly reduced, and the thickness (dimension in the X-axis direction) of the encoder unit 40 is reduced. As a result, the motor unit 10 can be reduced in size.

また、本実施形態のエンコーダユニット40は、LED発光部82と、検出ユニット90,100のLED発光部と、光学検出器83,84,93,94,103,104とが同一のエンコーダ基板41上に実装されている反射光学式のエンコーダである。そのため、エンコーダユニット40の厚みを薄くすることができ、ひいては、モータユニット10の小型化及び低コスト化に寄与することができる。   In addition, the encoder unit 40 of the present embodiment includes the LED light emitting unit 82, the LED light emitting units of the detection units 90 and 100, and the optical detectors 83, 84, 93, 94, 103, and 104 on the same encoder substrate 41. Is a reflective optical encoder. Therefore, the thickness of the encoder unit 40 can be reduced, and as a result, the motor unit 10 can be reduced in size and cost.

また、本実施形態においては、A相信号及びB相信号を出力するために用いられる主動歯車50は、その直径が従動歯車60,70よりも大きくなるように形成され、また、単に歯数番号の演算のために用いられる従動歯車60,70は、その直径が主動歯車50よりも小さくなるように形成されている。これにより、高分解能が必要とされる光学トラック53,54を大きな径で形成しつつ、エンコーダユニット40のサイズ(Y軸方向及びZ軸方向における寸法)を小さくすることができる。ひいては、モータユニット10の小型化に寄与することができる。   In the present embodiment, the main driving gear 50 used for outputting the A-phase signal and the B-phase signal is formed so that the diameter thereof is larger than that of the driven gears 60 and 70, and is simply the number of teeth number. The driven gears 60 and 70 used for this calculation are formed so that the diameter thereof is smaller than that of the main driving gear 50. Thereby, the size (dimension in the Y-axis direction and the Z-axis direction) of the encoder unit 40 can be reduced while forming the optical tracks 53 and 54 that require high resolution with a large diameter. As a result, the motor unit 10 can be reduced in size.

また、本実施形態においては、絶対位置演算器86は、光学検出器84の512個のCMOSイメージセンサ素子の中から、安定した反射光を検出したセンサ素子の出力のみを選択している。これにより、高信頼性の絶対位置Zを演算することができる。   Further, in the present embodiment, the absolute position calculator 86 selects only the output of the sensor element that has detected stable reflected light from the 512 CMOS image sensor elements of the optical detector 84. Thereby, the absolute position Z with high reliability can be calculated.

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態等によって限定されるものではない。   As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited by the said embodiment etc.

上記実施形態においては、エンコーダユニット40は、2つの従動歯車60,70を備えているが、3つの従動歯車を備えていてもよい。例えば、歯数が25本の第3の従動歯車を加えた場合、それぞれの歯数番号の組み合わせの総数は、565,800通り(565,800=41×24×23×25)となり、エンコーダユニット40は、13,800回転(13,800=565,800/41)まで判別することができるようになる。したがって、138m(138,000=13,800×10)のストロークの範囲内におけるスライダ201の位置を判別することができる。また、4つ以上の従動歯車を備えることも可能である。   In the above embodiment, the encoder unit 40 includes the two driven gears 60 and 70, but may include three driven gears. For example, when a third driven gear having 25 teeth is added, the total number of combinations of the respective tooth number numbers is 565,800 (565,800 = 41 × 24 × 23 × 25), and the encoder unit 40 can be discriminated up to 13,800 rotations (13,800 = 565, 800/41). Therefore, the position of the slider 201 within the stroke range of 138 m (138,000 = 13,800 × 10) can be determined. It is also possible to provide four or more driven gears.

また、上記実施形態においては、主動歯車50の歯部51の歯数(41本)、従動歯車60の歯部61の歯数(24本)、従動歯車70の歯部61の歯数(23本)は、互いに素の関係となるように形成されている。しかしながら、これに限られず、歯数それぞれは、互いに素の関係ではなくともよい。ただし、素の関係でない場合は、同一回転数における歯数番号の同じ組み合わせが増え、対応する変換テーブルが大きくなるため、互いに素の関係となる方が好ましい。   In the above embodiment, the number of teeth of the tooth portion 51 of the main gear 50 (41), the number of teeth of the tooth portion 61 of the driven gear 60 (24), and the number of teeth of the tooth portion 61 of the driven gear 70 (23). The book) is formed so as to have a prime relationship with each other. However, the present invention is not limited to this, and the number of teeth may not be in a prime relationship. However, when the relationship is not a prime relationship, the same combination of the number of teeth at the same rotation speed increases, and the corresponding conversion table becomes larger.

また、本実施形態においては、アクチュエータシステムの電源をオンにした場合と、初期値リセット手段を実行した場合に、コントローラ300は、シャフト30の絶対位置Z、回転数Rの初期値を記憶している。そして、A相信号又はB相信号のパルスをカウントし、このカウントにより、回転するシャフト30の絶対位置Z、回転数Rの現在値が求めている。しかしながら、これに限らず、一定時間毎に、シャフト30の絶対位置Z、回転数Rの初期値を記憶していってもよい。また、常に、シャフト30の絶対位置Z、回転数Rの初期値を記憶していくことも可能である。   In this embodiment, the controller 300 stores the initial values of the absolute position Z and the rotational speed R of the shaft 30 when the power of the actuator system is turned on and when the initial value resetting means is executed. Yes. Then, the pulses of the A phase signal or the B phase signal are counted, and the current value of the absolute position Z and the rotational speed R of the rotating shaft 30 is obtained by this count. However, the present invention is not limited to this, and the initial value of the absolute position Z and the rotational speed R of the shaft 30 may be stored at regular time intervals. It is also possible to always store the absolute position Z of the shaft 30 and the initial value of the rotational speed R.

また、本実施形態においては、ラインドライバ122から、絶対位置Zに対応する信号及び回転数Rに対応する信号を一つにした信号と、A相信号及びB相信号を一つにした信号とを、パラレル信号として出力している。しかしながら、これに限らず、シリアル信号として出力してもよい。   Further, in the present embodiment, a signal obtained by combining the signal corresponding to the absolute position Z and the signal corresponding to the rotation speed R, and the signal obtained by combining the A phase signal and the B phase signal from the line driver 122. Are output as parallel signals. However, the present invention is not limited to this and may be output as a serial signal.

また、上記実施形態の検出ユニット80は、図9に示すように、光学検出器83からのA相信号、B相信号を出力ユニット120に直接出力している。しかしながら、これに限らず、図12に示すように、分割器88(インターポレータ)を配置し、A相信号、B相信号を、この分割器88を介して出力ユニット120に出力してもよい。この場合、A相信号、B相信号の分解能を向上させることができる。   Further, as shown in FIG. 9, the detection unit 80 of the above embodiment directly outputs the A-phase signal and the B-phase signal from the optical detector 83 to the output unit 120. However, the present invention is not limited to this, and as shown in FIG. 12, a divider 88 (interpolator) may be arranged to output the A phase signal and the B phase signal to the output unit 120 via the divider 88. Good. In this case, the resolution of the A phase signal and the B phase signal can be improved.

また、本実施形態においては、絶対位置演算器86,96,106は、記憶部に記憶されているセンサ素子の出力信号の組み合わせと絶対位置Z、α、βとの対応関係を示すテーブルを参照して、光学検出器84,94,104の選択されたセンサ素子の出力信号から絶対位置Z、α、βを演算する。しかしながら、これに限らず、シフトレジスタ(LFSR)を用いて、絶対位置Z、α、βを演算してもよい。 In the present embodiment, the absolute position calculators 86, 96, and 106 indicate the correspondence relationship between the combination of output signals of the sensor elements stored in the storage unit and the absolute positions Z 0 , α 0 , β 0. With reference to the table, the absolute positions Z 0 , α 0 , β 0 are calculated from the output signals of the selected sensor elements of the optical detectors 84, 94, 104. However, the present invention is not limited to this, and the absolute positions Z 0 , α 0 , β 0 may be calculated using a shift register (LFSR).

また、本実施形態においては、サーボモータ20を用いているが、これの代わりに、パルスモータを用いてもよいことは言うまでもない。   In the present embodiment, the servo motor 20 is used, but it goes without saying that a pulse motor may be used instead.

また、本実施形態では、光学式の検出方法を用いたが、静電容量式や磁気式などでも同様の機能を構成できることは言うまでもない。   In the present embodiment, the optical detection method is used, but it goes without saying that the same function can be configured by a capacitance type or a magnetic type.

本発明は、本発明の広義の精神と範囲を逸脱することなく、様々な実施形態及び変形が可能とされるものである。上述した実施形態は、本発明を説明するためのものであり、本発明の範囲を限定するものではない。   Various embodiments and modifications can be made to the present invention without departing from the broad spirit and scope of the present invention. The above-described embodiments are for explaining the present invention, and do not limit the scope of the present invention.

10 モータユニット
20 サーボモータ
21 ハウジング
21a 切り欠き部
21b 取り付け部
21c、21d 開口
22 ロータ
23 ステータ
24a、24b 軸受け
30 シャフト(回転体)
31 小径部
40 エンコーダユニット(エンコーダ)
41 エンコーダ基板
42 ケーシング
43 エンコーダベース
44 軸受け
46、47 シャフト
46a、47a 小径部
50 主動歯車
51、61、71 歯部
52、62、72 開口
53 光学トラック(第4光学トラック)
53a、54a 高反射率領域
53b、54b 低反射率領域
54 光学トラック(第1光学トラック)
60 従動歯車(第1従動歯車)
63、73 光学トラック
64 光学トラック(第2光学トラック)
70 従動歯車(第2従動歯車)
74 光学トラック(第3光学トラック)
80、90、100 検出ユニット(光検出手段)
81 検出ユニット本体
82 LED発光部
83 光学検出器(第2検知部)
84 光学検出器(第1検知部)
85 位相演算器
86 絶対位置演算器(第1演算手段)
87 補正演算器(第1演算手段)
88 分割器
93、94、103、104 光学検出器
95 位相演算器
96 絶対位置演算器(第2演算手段)
97 補正演算器(第2演算手段)
105 位相演算器
106 絶対位置演算器(第3演算手段)
107 補正演算器(第3演算手段)
110 回転数演算ユニット
111 回転数演算器(第4演算手段)
120 出力ユニット
121 マルチプレクサ
122 ラインドライバ
200 アクチュエータ
201 スライダ
202 ケーブル
300 コントローラ
301 制御部
302 ラインレシーバ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Motor unit 20 Servo motor 21 Housing 21a Notch part 21b Attachment part 21c, 21d Opening 22 Rotor 23 Stator 24a, 24b Bearing 30 Shaft (rotary body)
31 Small diameter part 40 Encoder unit (encoder)
41 Encoder board 42 Casing 43 Encoder base 44 Bearing 46, 47 Shaft 46a, 47a Small diameter part 50 Driving gear 51, 61, 71 Tooth part 52, 62, 72 Opening 53 Optical track (fourth optical track)
53a, 54a High reflectivity region 53b, 54b Low reflectivity region 54 Optical track (first optical track)
60 driven gear (first driven gear)
63, 73 Optical track 64 Optical track (second optical track)
70 driven gear (second driven gear)
74 Optical track (third optical track)
80, 90, 100 detection unit (light detection means)
81 Detection unit body 82 LED light emitting unit 83 Optical detector (second detection unit)
84 Optical detector (first detector)
85 Phase calculator 86 Absolute position calculator (first calculation means)
87 Correction calculator (first calculation means)
88 Dividers 93, 94, 103, 104 Optical detector 95 Phase calculator 96 Absolute position calculator (second calculation means)
97 Correction calculator (second calculation means)
105 Phase calculator 106 Absolute position calculator (third calculation means)
107 Correction calculator (third calculation means)
110 Rotational speed calculation unit 111 Rotational speed calculator (fourth calculation means)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 120 Output unit 121 Multiplexer 122 Line driver 200 Actuator 201 Slider 202 Cable 300 Controller 301 Control part 302 Line receiver

Claims (7)

回転体とともに回転し、回転角度を示すパターンからなる第1光学トラックが形成された主動歯車と、
前記主動歯車と噛み合うように配置され、前記回転体の回転が前記主動歯車を介して伝達されることによって回転し、回転角度を示すパターンからなる第2光学トラックが形成された第1従動歯車と、
前記主動歯車と噛み合うように配置され、前記回転体の回転が前記主動歯車を介して伝達されることによって回転し、回転角度を示すパターンからなる第3光学トラックが形成された第2従動歯車と、
を少なくとも備え、
前記主動歯車、前記第1従動歯車、及び前記第2従動歯車の歯には、当該歯それぞれを識別するための歯数番号が付与され、
前記第1光学トラック、前記第2光学トラック、及び前記第3光学トラックに光を照射して、前記第1光学トラック、前記第2光学トラック、及び前記第3光学トラックで反射された反射光を受光し、反射光の強度に応じた信号を出力することで、少なくとも前記第1光学トラック、前記第2光学トラック、及び前記第3光学トラックからの光を検出する光検出手段と、
前記第1光学トラックで反射された反射光の強度に応じた信号に基づいて、前記回転体及び前記主動歯車の回転角度を演算する第1演算手段と、
前記第2光学トラックで反射された反射光の強度に応じた信号に基づいて、前記第1従動歯車の回転角度を演算する第2演算手段と、
前記第3光学トラックで反射された反射光の強度に応じた信号に基づいて、前記第2従動歯車の回転角度を演算する第3演算手段と、
前記主動歯車、前記第1従動歯車、及び前記第2従動歯車の回転角度それぞれに基づいて、所定の位置にある前記歯の前記歯数番号を演算するとともに、前記歯数番号の組み合わせに基づいて、前記回転体の回転数を演算する第4演算手段と、
を備え
前記第4演算手段は、前記主動歯車の前記歯数番号が、次の歯数番号に切り替わるタイミングを判別し、前記タイミングに合わせて、前記第1従動歯車及び前記第2従動歯車それぞれの前記歯数番号を切り替えることを特徴とするエンコーダ。
A main driving gear formed with a first optical track having a pattern that rotates together with a rotating body and indicates a rotation angle;
A first driven gear which is arranged so as to mesh with the main driving gear, rotates by transmitting the rotation of the rotating body via the main driving gear, and has a second optical track formed of a pattern indicating a rotation angle; ,
A second driven gear disposed so as to mesh with the main driving gear, and rotated by transmitting the rotation of the rotating body via the main driving gear, and formed with a third optical track having a pattern indicating a rotation angle; ,
Comprising at least
To the teeth of the main driving gear, the first driven gear, and the second driven gear, tooth number numbers for identifying the respective teeth are given,
The first optical track, the second optical track, and the third optical track are irradiated with light, and the reflected light reflected by the first optical track, the second optical track, and the third optical track is reflected. received light, by outputting a signal corresponding to the intensity of the reflected light, and a light detecting means for detecting at least said first optical track, said second optical track, and light from the third optical track,
First calculating means for calculating a rotation angle of the rotating body and the main driving gear based on a signal corresponding to the intensity of the reflected light reflected by the first optical track;
Second computing means for computing a rotation angle of the first driven gear based on a signal corresponding to the intensity of the reflected light reflected by the second optical track;
Third computing means for computing a rotation angle of the second driven gear based on a signal corresponding to the intensity of the reflected light reflected by the third optical track;
Based on the rotation angle of each of the main driving gear, the first driven gear, and the second driven gear, the number of teeth of the tooth at a predetermined position is calculated, and based on the combination of the number of teeth Fourth calculation means for calculating the number of rotations of the rotating body;
Equipped with a,
The fourth calculating means determines the timing at which the number of teeth of the main gear changes to the next number of teeth, and adjusts the teeth of the first driven gear and the second driven gear according to the timing. An encoder characterized by switching several numbers .
前記主動歯車の歯数は、前記第1従動歯車及び前記第2従動歯車の歯数よりも多いことを特徴とする請求項1に記載のエンコーダ。 The main driving teeth of the gear, encoder according to claim 1, characterized in that more than the number of teeth of the first driven gear and the second driven gear. 前記第1光学トラック、前記第2光学トラック、及び前記第3光学トラックは、高反射率領域と低反射率領域とが、PN(Pseudo Noise、Pseudo Random Noise)符号系列に基づいて配置されることにより構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のエンコーダ。 Said first optical track, said second optical track, and the third optical track, that the high reflectance region and the low reflectance region, PN (Pseudo Noise, Pseudo Random Noise) are arranged on the basis of the code sequence the encoder according to claim 1 or 2, characterized in that it is constituted by. 前記主動歯車には、高反射率領域と低反射率領域とが交互に等間隔に配置されることにより構成される第4光学トラックが形成され、
前記光検出手段は、回転する前記主動歯車の前記第4光学トラックに光を照射して、前記第4光学トラックによって反射される反射光を受光し、前記反射光の強度に応じ、周期の1/4だけ位相が相互に異なる2つの信号を出力することを特徴とする請求項に記載のエンコーダ。
The main gear is formed with a fourth optical track configured by alternately arranging high reflectance regions and low reflectance regions at equal intervals,
The light detecting means irradiates the fourth optical track of the rotating main driving gear with light, receives reflected light reflected by the fourth optical track, and has a period of 1 according to the intensity of the reflected light. The encoder according to claim 3 , wherein two signals whose phases are different from each other by / 4 are output.
前記光検出手段は、前記第1光学トラックからの光を検出する複数のセンサ素子を有し、
前記第1演算手段は、周期の1/4だけ位相が相互に異なる前記2つの信号に基づいて、前記第1光学トラックの前記高反射率領域と前記低反射率領域との間の境界近傍での反射光を検出した前記センサ素子の出力以外の、前記センサ素子の出力を選択して、選択された前記センサ素子から出力された信号に基づいて、前記回転体及び前記主動歯車の回転角度を演算することを特徴とする請求項に記載のエンコーダ。
The light detection means has a plurality of sensor elements for detecting light from the first optical track,
The first computing means is in the vicinity of the boundary between the high reflectance region and the low reflectance region of the first optical track based on the two signals whose phases are different from each other by ¼ of the period. The output of the sensor element other than the output of the sensor element that has detected the reflected light is selected, and the rotation angle of the rotating body and the main driving gear is determined based on the signal output from the selected sensor element. The encoder according to claim 4 , wherein the calculation is performed.
シャフトと、
前記シャフトに設けられたロータと、
前記ロータとの間の電磁相互作用により、前記ロータとともに前記シャフトを回転するステータと、
前記シャフトの回転を検出する請求項1乃至いずれか一項に記載のエンコーダと、
を備えることを特徴とするモータユニット。
A shaft,
A rotor provided on the shaft;
A stator that rotates the shaft together with the rotor by electromagnetic interaction with the rotor;
The encoder according to any one of claims 1 to 5, which detects rotation of the shaft;
A motor unit comprising:
請求項に記載のモータユニットと、
前記エンコーダの検出結果に基づいて、前記モータユニットを制御する制御手段と、
を備えることを特徴とするアクチュエータシステム。
A motor unit according to claim 6 ;
Control means for controlling the motor unit based on the detection result of the encoder;
An actuator system comprising:
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