JP5619183B2 - 熱計測値を供給するように計装されたタービン構成部品 - Google Patents

熱計測値を供給するように計装されたタービン構成部品 Download PDF

Info

Publication number
JP5619183B2
JP5619183B2 JP2012551361A JP2012551361A JP5619183B2 JP 5619183 B2 JP5619183 B2 JP 5619183B2 JP 2012551361 A JP2012551361 A JP 2012551361A JP 2012551361 A JP2012551361 A JP 2012551361A JP 5619183 B2 JP5619183 B2 JP 5619183B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thermocouple
component
gas turbine
leg
legs
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2012551361A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2013518215A (ja
Inventor
サブラマニアン、ラメシュ
エイ クルカルニ、アナンド
エイ クルカルニ、アナンド
ジョナラガダ、ヴィネイ
ジェイ ミッチェル、デイヴィッド
ジェイ ミッチェル、デイヴィッド
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens Energy Inc
Original Assignee
Siemens Westinghouse Power Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens Westinghouse Power Corp filed Critical Siemens Westinghouse Power Corp
Publication of JP2013518215A publication Critical patent/JP2013518215A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5619183B2 publication Critical patent/JP5619183B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F01MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
    • F01DNON-POSITIVE DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, e.g. STEAM TURBINES
    • F01D17/00Regulating or controlling by varying flow
    • F01D17/02Arrangement of sensing elements
    • F01D17/08Arrangement of sensing elements responsive to condition of working-fluid, e.g. pressure
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F01MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
    • F01DNON-POSITIVE DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, e.g. STEAM TURBINES
    • F01D17/00Regulating or controlling by varying flow
    • F01D17/02Arrangement of sensing elements
    • F01D17/08Arrangement of sensing elements responsive to condition of working-fluid, e.g. pressure
    • F01D17/085Arrangement of sensing elements responsive to condition of working-fluid, e.g. pressure to temperature
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F01MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
    • F01DNON-POSITIVE DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, e.g. STEAM TURBINES
    • F01D21/00Shutting-down of machines or engines, e.g. in emergency; Regulating, controlling, or safety means not otherwise provided for
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F01MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
    • F01DNON-POSITIVE DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, e.g. STEAM TURBINES
    • F01D21/00Shutting-down of machines or engines, e.g. in emergency; Regulating, controlling, or safety means not otherwise provided for
    • F01D21/003Arrangements for testing or measuring
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F01MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
    • F01DNON-POSITIVE DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, e.g. STEAM TURBINES
    • F01D25/00Component parts, details, or accessories, not provided for in, or of interest apart from, other groups
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02CGAS-TURBINE PLANTS; AIR INTAKES FOR JET-PROPULSION PLANTS; CONTROLLING FUEL SUPPLY IN AIR-BREATHING JET-PROPULSION PLANTS
    • F02C7/00Features, components parts, details or accessories, not provided for in, or of interest apart form groups F02C1/00 - F02C6/00; Air intakes for jet-propulsion plants
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K17/00Measuring quantity of heat
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K7/00Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
    • G01K7/02Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using thermoelectric elements, e.g. thermocouples
    • G01K7/04Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using thermoelectric elements, e.g. thermocouples the object to be measured not forming one of the thermoelectric materials
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F05INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
    • F05DINDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
    • F05D2270/00Control
    • F05D2270/30Control parameters, e.g. input parameters
    • F05D2270/303Temperature
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F05INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
    • F05DINDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
    • F05D2300/00Materials; Properties thereof
    • F05D2300/10Metals, alloys or intermetallic compounds
    • F05D2300/14Noble metals, i.e. Ag, Au, platinum group metals
    • F05D2300/143Platinum group metals, i.e. Os, Ir, Pt, Ru, Rh, Pd

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)

Description

関連出願
本願は、米国仮特許出願第61/085,645号及び米国仮特許出願第61/085,654号の出願日である2008年8月1日の優先権の利益を主張する2008年12月3日付けで出願された米国特許出願第12/327,058号の一部継続出願である。本願は、米国仮特許出願第61/299,742号の出願日である2010年1月29日の優先権の利益を更に主張する。以上の特許出願は、それぞれ、引用により、本明細書に包含される。
本発明は、一般に、ガスタービンに関し、更に詳しくは、ガスタービンの高温燃焼環境における熱計測値を示す複数の信号を供給するように計装されたガスタービン構成部品に関する。
超高温で作動する最近のガスタービン内の重要な可動構成部品の構造的完全性のリアルタイム計測に対する需要が増大している。更には、将来のガスタービンの要件は、これまで以上に高い動作温度を求めている。しかしながら、長期にわたって実証された検出器機能がないことに加えて、これらのタービンが経験する過酷なタービン環境が、これらの目的を満たすことを困難にしている。高温気体経路に晒される各材料は、その設計マージンに近接した状態において動作しており、従って、動作中のこれらの材料の状態を監視するための正確且つ信頼性の高い検出器の開発が要求されている。多くの寿命予測ツールは研究室で生成されたデータを利用しているが、組込み型検出器による能動的な監視によれば、材料障害の物理的特性、材料劣化に起因した機能の喪失、並びに、被覆のはがれ又は亀裂又は破損について更に十分に理解することができる。タービンは、通常、高温と、回転部材に作用する大きな遠心力と、に対して様々な方式で晒される多様な構成部品材料を含んでおり、且つ、タービンは、多くの場合に、高い伝導性を有する複数の金属材料によって取り囲まれている。
実証済みの信頼性を有する温度検出器の1つが熱電対である。原理的には、異なる金属から製造された2つの導体を両端で接合すると、熱電回路が形成される。この回路の端部の1つを加熱した際に、連続した電流が熱電回路内に流れる。これを1821年に発見したのは、トーマス・ゼーベック(Thomas Seebeck)である。この回路を中央において開路させた場合の、ホット開路電圧(ゼーベック電圧)は、接合部の温度と、2つの金属の組成との関数となる。このような回路は熱電対として知られている。
従来技術による大部分の熱電対は、線材から製造されている。例えば、S型熱電対などの標準的な熱電対は、1つの線材脚部が純粋なプラチナ線材から製造され、第2の線材脚部は、略90%のプラチナと10%のロジウムの合金から製造されている。標準的な従来技術による熱電対の別の例は、R型熱電対であり、これは、95%のプラチナと5%のロジウムとから構成される合金から製造された1つの線材脚部を有し、第2の線材脚部は、87%のプラチナと13%のロジウムとから構成される合金から製造されている。これらの合金の組合せは、線材の長さに沿った各構成成分の割合が一貫性を有する線材から熱電対が製造された際には、良好に機能する。熱電対の脚部を薄膜構造で堆積させた際には、必ずしもそうではない。例えば、合金(例えば、プラチナ−10%ロジウム)を堆積させる際には、熱電対の脚部の長さに沿った組成の変動が発生することになる。即ち、10%のロジウムが、すべての場所で均一には分布せず、これにより、熱電対の性能の偏差が生じることになる。
従って、信頼性が高く、且つ、ガスタービンの過酷な環境にも耐えることができる熱電対が求められている。この熱電対は、温度が1300℃を上回る場合があるタービンの高温気体の通流において機能する必要があり、且つ、この熱電対が構成部品の性能又は寿命に及ぼす影響は、最小限であることが望ましい。
添付図面に鑑み、以下、本発明の各態様について説明する。
熱電対などの検出器がその上に形成されたタービンブレードの斜視図である。 ブレードの遮熱被覆上に形成された本発明の各態様による薄膜式熱電対を示すタービンブレードの一部分の断面図である。 本発明の各態様による薄膜式熱電対の平面図である。 ブレードの遮熱被覆(TBC)上の高温誘電体の上部に形成された本発明の例示用の一実施形態による熱電対を示すタービンブレードの一部分の断面図である。 ブレードの基材上に直接的に堆積された高温誘電体の上部に、且つ、TBC層の下部に形成された本発明の例示用の一実施形態による熱電対を示すタービンブレードの一部分の断面図である。 TBC層内に形成された本発明の例示用の一実施形態による熱電対を示すタービンブレードの一部分の断面図である。 TBC層の上部又は下部に設けられた高温誘電体の上部に堆積された本発明の各態様による薄膜式熱電対の平面図である。 温度の上昇に伴う単一元素熱電対の例示用の性能を示すグラフである。 標準的なS型熱電対との比較において、単一元素熱電対の例示用の性能を示すグラフである。 タービン構成部品の対象領域において複数の熱電対接合部から成る格子からいくつかの熱計測値を取得するのに必要とされる結合リード線の数の有利な低減に有用である1つの共通の熱電対脚部を有する熱電対構成の例示用の一実施形態の平面図である。 図8に示されている1つの共通の熱電対脚部を有する個々の熱電対構成の例示用の1つの実施形態の概略図である。例示用の一用途においては、個々の熱電対構成をサーモグラフと組み合わせて使用し、タービン構成部品の対象領域における熱流束を算出することができる。 図8に示されている1つの共通の熱電対脚部を有する個々の熱電対構成の例示用の異なる実施形態の概略図である。例示用の一用途においては、個々の熱電対構成をサーモグラフと組み合わせて使用し、タービン構成部品の対象領域における熱流束を算出することができる。 図8に示されている1つの共通の熱電対脚部を有する個々の熱電対構成の例示用の異なる実施形態の概略図である。例示用の一用途においては、個々の熱電対構成をサーモグラフと組み合わせて使用し、タービン構成部品の対象領域における熱流束を算出することができる。
本願発明によれば、前記課題は下記によって達成される。即ち、
「ガスタービンの高温燃焼環境における熱計測値を示す複数の信号を供給するように計装された前記ガスタービンの構成部品であって、基材と、前記基材の少なくとも一部分の上部に堆積された遮熱被覆(TBC)と、前記タービン構成部品からの赤外(IR)放射を検知するように構成された視野を有する熱撮像装置であって、マッピング対象である前記構成部品の表面の放射率が前記タービンの前記燃焼環境の変動の影響を受ける熱撮像装置と、前記熱撮像装置の前記視野内にある場合に温度値を導出するために十分に安定し且つ既知である放射率値を有する材料の少なくとも1つの当て板であって、前記TBCの外側表面上に配設された少なくとも1つの当て板と、前記構成部品の厚さ内に配設された第1の熱電対脚部であって、第1の材料を有する第1脚部と、前記第1の材料とは異なる材料を有する少なくとも2つ以上の熱電対脚部であって、前記少なくとも2つ以上の脚部は、それぞれ、個々の熱勾配を個々の電気信号に変換するために、前記第1脚部に電気的に接続されて前記第1脚部に沿って個別の熱電対接合部を形成しており、前記構成部品の前記第1脚部に沿った前記個別の熱電対接合部が全体として前記構成部品の1つの領域に延在している、少なくとも2つ以上の熱電対脚部と、前記少なくとも1つの当て板の温度値に対応する前記複数の熱電対接合部からの前記複数の電気信号を示すデータを処理して前記TBCの前記外側表面と前記構成部品の前記厚さの間の前記構成部品の前記領域における熱流束を算出するように構成されたプロセッサと、を有するものとする。」
また、「ガスタービンの高温燃焼環境における熱計測値を示す複数の信号を供給するように計装された前記ガスタービンの構成部品であって、前記構成部品の厚さ内に配設された第1の薄膜式熱電対の脚部であって、第1の材料を有する第1脚部と、前記第1の材料とは異なる材料を有する少なくとも2つ以上の薄膜式熱電対の脚部であって、前記少なくとも2つ以上の導電性の薄膜脚部は、前記構成部品の前記厚さ内に配設され、前記少なくとも2つ以上の脚部は、それぞれ、個々の熱勾配を個々の電気信号に変換するために、前記第1脚部に電気的に接続されて前記第1脚部に沿って個別の熱電対接合部を形成しており、前記第1脚部に沿った前記個別の熱電対接合部が全体として前記構成部品の1つの領域に延在している、少なくとも2つ以上の薄膜式熱電対脚部と、を有し、さらに、基材と、前記基材の少なくとも一部分の上部に堆積された遮熱被覆(TBC)と、を有し、前記TBCは、外側表面を有し、該外側表面は、熱撮像装置の視野内にある場合に、温度値を導出するために十分に安定し且つ既知である放射率値を有する材料の少なくとも1つの当て板を有し、前記熱電対接合部からの前記複数の電気信号を示すデータは、前記TBCの前記外側表面と前記構成部品の前記厚さの間の前記構成部品の前記領域における熱流束を算出するために、前記当て板の温度値に対応してプロセッサ内において処理されるように構成されたものとする。」
薄膜技法の進展に伴って、固体表面温度を計測するための標準的な線材熱電対との比較における薄膜式熱電対のいくつかの利点の存在が認識されている。薄膜式熱電対の低質量は非常に高速の応答をもたらし、その膜の薄さは線材式検出器と比べて、表面の対流熱伝達特性を妨げることがなく、また、その小さなサイズは、複雑な電子部品製造技法に非常に適合している。更には、薄膜式検出器の低質量により、タービン構成部品に装着された際のタービンの回転によって熱電対に印加される遠心力に伴う問題も発生しない。更には、薄膜式検出器は、タービン構成部品の平坦ではない表面にぴったり合わせることができる。更には、過酷なタービン環境における重要な可動構成部品上に薄膜式検出器を実装することにより、動作中における条件に基づいた監視のための優れたデータ源が得られる。
これらの熱電対は、運転中における当該部品の信頼性監視を可能にするリアルタイムの温度分布を提供する。このような薄膜式検出器の1つの種類が単一元素熱電対である。単一元素熱電対は、異なる単一元素材料(例えば、プラチナ、パラジウム、ロジウム、又はイリジウムのような貴金属)からそれぞれが製造された2つの脚部を有する。換言すれば、単一元素熱電対は、S型及びR型線材式熱電対におけるような合金線材の脚部を使用していない。
この熱電対の2つの脚部用の金属としては純粋なプラチナと純粋なパラジウムを使用することができるが、これは、これらの金属のCTE(熱膨張率)とタービン構成部品(例えば、ブレード)上に堆積され下側に横たわるセラミックの遮熱被覆(TBC)のCTEとの不整合が最小限であることに拠る。また、これらの金属の純度(即ち、これらは単一元素である)に起因し、熱電対の性能変動を引き起こす要因となる堆積された熱電対の線分の長さに沿った化学的な偏差は殆どない。本明細書に使用されている「純度」又は「単一元素」という用語は、少なくとも99重量パーセントの純度レベルを意味している。これらの金属の使用に伴う更なる利点は、それらの優れた酸化特性と、高い融点(例えば、プラチナは1769℃である)と、を含み、この結果、高温燃焼気体流路環境に対して直接的に晒される可能性のあるTBCの最外表面上に熱電対を堆積させることができる。
リアルタイム温度データの収集を可能にする計装された可動タービン構成部品の一例が図1に示されている。ガスタービン11のタービンブレード10の表面に熱電対12と複数の導体14とが取り付けられており、導体14は、回路16まで延在しており、回路16は、熱電対12から得られたデータを処理し、タービン11の外部の受信機回路(図示されてはいない)に送信する。例示用の回路16については、「SMART COMPONENT FOR USE IN AN OPERATING ENVIRONMENT」という名称の米国特許出願公開第2005/0198967A1号明細書に開示されている。
次に、図2を参照すれば、タービンブレード10の一部分の断面図が示されており、タービンブレード10の表面に、本発明の例示用の一実施形態による薄膜式熱電対12が取り付けられており、この薄膜式熱電対12は、金属ブレードを覆ったTBC20の上部に形成されている。ブレード10の基礎をなす基材22は、その上に、接合被覆24を有してもよく、接合被覆24は、基材からTBC20を分離すると共に、これら2つの間における良好な接合を確実にしている。
図3は、例示用の一実施形態による熱電対12の平面図である。第1脚部26は、純粋なプラチナから形成することができ、第2脚部28は、純粋なパラジウムから形成することができる。2つの脚部26及び28の第1端部は、地点30において1つに接合されており、これにより、これら2つの脚部の間にオーム接触が生成され、熱を電気信号(即ち、ゼーベック電圧)に変換するための側温接点が形成される。接合パッド32A及び32Bが、それぞれ、脚部26及び28の他方の端部上に形成されており、これらにより、電気信号(即ち、ゼーベック電圧)を回路16に送信するための導体14との間の電気的接触を実現することができる。
高温タービン環境(例えば、800℃を上回るもの)における別の考慮事項は、TBC材料の誘電的/イオン的な伝導度である。イットリア安定化ジルコニアから製造される標準的なTBCは、800℃超においてその絶縁耐力を喪失するであろう。従って、熱電対12をTBC20から電気的に絶縁するためのセラミック絶縁体被覆34(図4A)が必要となる可能性があり、この絶縁体被覆は、通常、1100℃を上回る温度での絶縁耐力(0.5メガオームを上回る高温抵抗値)を提供することになろう。高温におけるこのような耐力は、様々な酸化物が保持している。興味深い例示用の1つの組成は、イットリウムアルミニウムガーネット(「YAG」)であり、これは、50マイクロメートルから250マイクロメートルの範囲内の厚さで堆積させることができ、且つ、高温(例えば、1100℃超)における熱電対の優れた性能を実証している。
TBC20上における誘電性絶縁体被覆34の断面図が図4Aに示されている。具体的には、誘電性絶縁体被覆34は、物理的且つ電気的に、TBC20から熱電対12を分離している。タービンブレードの別の部分を示す図4Bには、本発明の代替実施形態が示されており、誘電性絶縁体被覆34を基材22上に直接的に堆積させることができ、また、熱電対12は、この誘電性絶縁体被覆の上部に堆積されている。又、必要に応じて、別の誘電性絶縁体被覆35(同一の材料及び厚さのもの)を熱電対12の上部に堆積させることができる。最後に、TBC層20を誘電性絶縁体被覆35の上部に(又は、熱電対の直接上部に)堆積させることができる。従って、例えば、構成部品の基材22の温度を直接的に検知するために、熱電対12をこの構造内に埋め込むことができる。
図4Cは、タービンブレードの更に別の部分を示す例示用の一実施形態であり、熱電対12は、TBC層20内の温度計測値を供給するためにTBC層20内に埋め込まれており、且つ、電気的に絶縁する材料の層34、35により、TBC材料20との接触から電気的に絶縁されている。これらの構造は、TBC層20を従来の方式によって形成する際に、個々の材料を溶射することによって形成することができる。
図5は、図4Aの熱電対12の平面図であり、例示用の一実施形態によれば、第1脚部26’を純粋なプラチナから形成することができ、第2脚部28’を純粋なパラジウムから形成することができる。2つの脚部26’及び28’は、地点30’において1つに接合され、これにより、2つの脚部の間にオーム接触が生成されている。接合パッド32A’及び32B’が、それぞれ、脚部26’及び28’の他方の端部上に形成されており、これにより、導体14との電気的接触を実現することができる。
図6は、単一元素熱電対の例示用の性能(曲線40)を示すグラフである。温度の上昇に伴って、熱電対電圧(ゼーベック電圧、単位:mV)が実質的に線形で増大している。図7には、これらの熱電対の例示用の性能が、標準的なS型熱電対(曲線43)との比較において、曲線41により示されている。この構成においては、単一元素熱電対の性能は、S型熱電対の3度以内にあり、これは、優れた相関関係を示している。
接合パッド32A及び32B(又は、32A'及び32B')と導体14は、空気プラズマ溶射(APS)、高速フレーム溶射(HVOF)、ミニHVOF、溶液プラズマ溶射、或いは、直接的な又は高度なマスキング又はガンノズル設計による低温溶射などの様々な堆積技法のうちのいずれかのものにより、ブレード10上に堆積させることができる。その他の例示用の堆積技法は、電子ビーム物理蒸着(EBPVD)、化学蒸着(CVD)、パルスレーザー堆積、ミニプラズマ、直接描画、溶液又は気体に基づいた堆積プロセスとすることができる。例示用の一実施形態においては、熱電対12の各脚部は、25マイクロメートルから150マイクロメートルの範囲内の厚さを有することができる。別の例示用の実施形態においては、熱電対12の各脚部は、50マイクロメートルから100マイクロメートルの範囲内の厚さを有することができる。例示用の一実施形態においては、熱電対12の各脚部は、0.25mmから4mmの範囲の幅を有することができる。別の例示用の実施形態においては、熱電対12の各脚部は、0.5mmから2mmの範囲の幅を有することができる。
当業者は、図2、図4A、図4B、及び図4Cに示されている断面図が、平坦な基材を、或いは、大部分のタービン構成部品上に見出される湾曲した又は平坦ではない表面を、示していると見なしてもよいことを理解するであろう。
本発明の例示用の一代替実施形態によれば、第1脚部26又は26’を純粋なプラチナとして維持しつつ、第2脚部28又は28’を透明導電膜(TCO)によって置換することができる。このようなTCOは、主には、それらの優れた導電性により、第1脚部としてのプラチナとの間における良好な熱電応答を提供する。別の利点は、それらの化学的な安定性にある。このような酸化物の例は、CuAlO2、In23−SnO2、ZnOがドーピングされたIn23−SnO2、Ga23、CdIn24、Cd2SnO4、及びZnOである。この代替実施形態は、温度が1550℃を上回る環境に最適であろう。理由は、純粋なパラジウムは、この温度を上回る領域において軟化及び酸化を開始するためである。図6には、純粋なプラチナ−酸化物熱電対の例示用の性能曲線が曲線42によって示されている。
タービン構成部品の平坦ではない表面上に薄膜式熱電対を製造する方法は、次に例示する複数のステップを含むことができる。即ち、第1マスクをレーザーカットして平坦ではない表面に適合するように、第1マスクを成形するステップであって、この第1マスクが熱電対の第1要素を規定するパターン開口部を含むステップと、第1マスクのパターン開口部内に第1導体を堆積させるステップと、第2マスクをレーザーカットして平坦ではない表面に適合するように、第2マスクを成形するステップであって、第2マスクが熱電対の第2要素を規定するパターン開口部を含むステップと、第2マスクのパターン開口部内に第2導体を堆積させるステップと、を含むことができる。
以下の説明は、以上において記述した基本的な構造及び動作上の側面のうちのいくつかのものに基づいたものであり、従って、読者が、既に説明済みである詳細の煩わしく且つ不必要な反復を免れることができるように試みることとする。
図8は、1つの共通の熱電対脚部を有する熱電対構成48の例示用の一実施形態の平面図であり、これは、例えば、タービンブレードや静翼などのタービン構成部品49の対象領域において複数の熱電対接合部から成る格子からいくつかの熱計測値を取得するのに必要とされる結合リード線の数を低減する上で有用である。
例えば、第1熱電対脚部50、即ち、薄膜式熱電対の脚部は、タービン構成部品の厚さ内に配設することができる。第1脚部50は、プラチナなどの第1の材料から製造することができる。例えば、薄膜式熱電対脚部52、53、54、及び55などの少なくとも2つ以上の熱電対脚部は、それぞれ、個々の熱勾配を例えば電圧信号などの個々の電気信号に変換するために、第1脚部50に対して電気的に接続されて第1脚部50に沿って個別の熱電対接合部56、57、58、及び59から成る格子を形成する。従って、この例示用の実施形態においては、第1熱電対脚部50は、複数の熱電対脚部52、53、54、55によって共有される1つの熱電対脚部を構成している。
例示用の一実施形態においては、第1脚部に沿った複数の熱電対接合部から成る格子は、全体として、構成部品の1つの領域に広がっている。熱電対脚部52、53、54、及び55は、第1の材料とは異なる材料から製造することができる。これらの熱電対脚部用の様々な例示用の材料の説明は、前述のとおりであり、ここでは、省略することとする。尚、このような例示用の材料は、限定の意味においてではなく、例示の意味において解釈する必要があることを理解されたい。理由は、熱電対構成48の形態は、それらの材料が適切な起電力(emf)電圧を生成し(ゼーベックの原理)、更には、所与のタービン構成部品の適用可能な温度要件を満足している限り、任意の熱電対脚部材料に適用してもよいためである。
図8に示されている例示用の熱電対構成は、第1脚部50に接続された共通結合パッド62との関係において、結合パッド60、61、63、及び64において4つの別個の電気信号(例えば、4つの別個のemfによって生成された電圧)を供給するが、これらの結合パッドに接続して利用されることになる結合リード線(図示されてはいない)は、5本のみであることを理解されたい。これとは対照的に、1つの共通の熱電対脚部を有しない従来の熱電対構成は、4つの異なる電圧計測値を得るためには、4対の結合リード線を必要とすることになろう。本発明のこの態様は、特定の数の熱電対接合部に限定されるものではなく、従って、図8に示されている熱電対接合部の数は、限定の意味においてではなく、例示を目的としたものであると解釈する必要があることを理解されたい。
図9は、図8を参照して記述したように1つの共通の熱電対脚部50を有する熱電対構成48の例示用の一用途の概略図である。熱電対構成48は、サーモグラフシステム70と組み合わせて使用してもよく、このサーモグラフシステム70は、タービン73のタービン構成部品72の1つの領域における熱流束を算出するように構成することができる。
例示用の一実施形態においては、熱電対接合部56、58、59からの個々の電気信号(例えば、emf電圧)をデータ取得装置86によって取得することができる。このデータ取得装置86は、これらの電気信号に対して適切な信号調節(例えば、適切な増幅及びアナログからデジタルへの変換)を提供するように構成することができる。次いで、調節済みのデータを、当業者には既知のデータ遠隔伝送法を使用することにより、送信機88及びアンテナ90により、タービン環境から遠隔送信することができる。
図9に示されているタービン構成部品72は、タービンの高温環境において使用される遮熱被覆(TBC)の層76などの遮断被覆によって覆われた基材74を示す部分断面図によって示されている。TBC被覆の分野の熟練者には容易に理解されるように、基材74に対する被覆76の接着を改善するために、TBC材料76を付ける前に、MCrAIY材料などの接合被覆78を基材74上に堆積させてもよい。本発明の各態様は、図9に示されている例示用の被覆構成に限定されるものではなく、また、これらの態様は、TBC被覆を有する構成部品に限定されるものでもないことを理解されたい。
この例示用の実施形態においては、タービン構成部品からの赤外(IR)放射を視野(線分82によって概念的に規定されているもの)内において検知すべく、熱撮像装置80を配置することができる。例示用の一実施形態においては、熱撮像装置80は、構成部品からの放射の放射輝度を計測するために、焦点面アレイセンサ(例えば、電荷結合素子(CCD)のアレイ)を有することができる。マッハ1.2の速度で運動するブレードから適切な空間分解能を得るためには、焦点面アレイセンサは、受信したIR信号を3μ秒以内に統合することができる必要がある。
熱被覆のオンライン監視に有効な例示用のサーモグラフシステムと関連する一般的な背景情報を所望する読者は、「Method And Apparatus For Measuring On−Line Failure Of Turbine Thermal Barrier Coatings」という名称の米国特許第7,690,840号明細書を参照されたい。この特許は、相対的に高い空間分解能の画像は得られるが、正確な絶対温度情報は必要とされないTBC欠陥の形成と進展の監視の環境においてガスタービン内のタービン構成部品の放射輝度を非破壊計測するように構成された赤外線(IR)に基づいたシステムについて記述している。
例えば、絶対温度誤差は、様々な要因に起因して混入可能であり、その理由は、例えば、TBCの放射率が、波長、温度、使用年数、汚染などの関数として変化し得るためである。
本発明の各態様によれば、熱撮像装置80の視野82内にある場合には、温度値を得るために、タービンの高温動作範囲にわたって十分に安定し且つ既知である放射率値を有する材料の少なくとも1つの当て板84をTBC76の外側表面上に配設することができる。例示用の一実施形態においては、当て板の放射率(ε)の値は、相対的に高いものとすることができる(例えば、ε≒0.7〜0.9)。更には、このような材料は、タービン内における腐食性の燃焼環境において、実質的に化学的に安定していると共に酸化に対する抵抗力を有する必要がある。即ち、当て板84は、熱撮像装置80の視野内の当て板領域における放射率を示すIR放射輝度の安定し且つ電源を伴わない供給源として機能することができる。このような材料の例は、クロミウム酸化物、コバルトニッケル酸化物、及びプラチナである。
例示用の一実施形態においては、タービン構成部品からのIR放射に基づいて構成部品の放射輝度マップを生成するために、プロセッサ85を熱撮像装置80に結合することができる。本発明の各態様によれば、プロセッサ85は、温度較正モジュール92を含むことができ、この場合には、放射輝度マップを当て板84の温度値に基づいて較正することができる。これにより、プロセッサ85は、絶対温度値を供給するのに有効な構成部品の較正済みの熱マップを生成することができる。
本発明の更に別の態様においては、プロセッサ85は熱流束算出器94を更に含むことができ、この熱流束算出器は、当て板84の温度値に対応する複数の熱電対接合部56、58、59から成る格子からの複数の電気信号(例えば、電圧)を示すデータを処理して、熱電対構成84が配設されているTBCの外側表面と構成部品の厚さを有する場所の間のような構成部品72の対象領域における熱流束を算出するように構成されている。
複数の熱電対接合部から成る格子により、これらの複数の熱電対接合部から成る格子が延在する構成部品の領域における熱流束の変動の判定が可能となっているので、この実施形態は有利である。例えば、熱電対接合部58の地点における熱流束の大きさは、熱電対接合部59及び56における個々の熱流束の大きさとは異なる場合がある。多地点の熱流束算出に有用な複数の電気信号の取得を前述のように少ない数の結合リード線によって実現することができるので有利である。
図9に示されている例示用の実施形態においては、熱電対構成は、接合被覆78と基材74の間の境界に配置されたものとして示されている。図10に示されている例示用の実施形態においては、熱電対構成は、接合被覆78とTBC76の間の境界に配置されたものとして示されている。しかしながら、熱電対構成は、TBC76内などの構成部品の厚さ内の任意の場所に配設されてもよいことを理解されたい。明確に図示するために、図9〜図11は、取り囲んでいる材料から熱電対構成を電気的に絶縁するために必要とされるであろう誘電体被覆を示してはいない。
以上、本発明の様々な実施形態について図示及び記述したが、これらの実施形態は、例示を目的として提供されたものに過ぎないことは明らかである。本明細書に記述されている本発明を逸脱することなしに、多数の変形、変更、及び置換をすることができる。従って、本発明は、添付の請求項の精神及び範囲によってのみ、限定されるものと解釈されたい。
12 熱電対
20、76 遮熱被覆(TBC)
22、74 基材
24、78 接合被覆
32A、32B 接合パッド
49、72 ガスタービン構成部品
50 第1熱電対脚部
52、53、54 熱電対脚部
56、57、58、59 熱電対接合部
70 サーモグラフシステム
80 熱撮像装置
84 当て板
85 プロセッサ
86 データ取得装置
92 温度較正モジュール
94 熱流束算出器

Claims (18)

  1. ガスタービンの高温燃焼環境における熱計測値を示す複数の信号を供給するように計装された前記ガスタービンの構成部品であって、
    基材と、
    前記基材の少なくとも一部分の上部に堆積された遮熱被覆(TBC)と、
    前記タービン構成部品からの赤外(IR)放射を検知するように構成された視野を有する熱撮像装置であって、マッピング対象である前記構成部品の表面の放射率が前記タービンの前記燃焼環境の変動の影響を受ける熱撮像装置と、
    前記熱撮像装置の前記視野内にある場合に温度値を導出するために十分に安定し且つ既知である放射率値を有する材料の少なくとも1つの当て板であって、前記TBCの外側表面上に配設された少なくとも1つの当て板と、
    前記構成部品の厚さ内に配設された第1の熱電対脚部であって、第1の材料を有する第1脚部と、
    前記第1の材料とは異なる材料を有する少なくとも2つ以上の熱電対脚部であって、前記少なくとも2つ以上の脚部は、それぞれ、個々の熱勾配を個々の電気信号に変換するために、前記第1脚部に電気的に接続されて前記第1脚部に沿って個別の熱電対接合部を形成しており、前記構成部品の前記第1脚部に沿った前記個別の熱電対接合部が全体として前記構成部品の1つの領域に延在している、少なくとも2つ以上の熱電対脚部と、
    前記少なくとも1つの当て板の温度値に対応する前記複数の熱電対接合部からの前記複数の電気信号を示すデータを処理して前記TBCの前記外側表面と前記構成部品の前記厚さの間の前記構成部品の前記領域における熱流束を算出するように構成されたプロセッサと、
    を有するガスタービン構成部品。
  2. 前記プロセッサは、前記タービン構成部品からの前記赤外(IR)放射に基づいて前記構成部品の放射輝度マップを生成するように更に構成されており、前記プロセッサは、前記少なくとも1つの当て板の前記温度値に基づいて前記放射輝度マップを較正して前記TBCの前記外側表面における絶対温度を供給する較正された熱マップを生成するように構成された熱較正モジュールを備える請求項1に記載のタービン構成部品。
  3. 前記第1の材料はプラチナから成る請求項1に記載のガスタービン構成部品。
  4. 前記少なくとも2つ以上の脚部のうちの少なくとも1つのものの前記異なる材料は、パラジウム、ロジウム、及びイリジウムから成る群から選択される請求項1に記載のガスタービン構成部品。
  5. 前記2つ以上の脚部のうちの少なくとも1つのものの前記異なる材料は、CuAlO2、In23−SnO2、ZnOがドーピングされたIn23−SnO2、Ga23、CdIn24、Cd2SnO4、及びZnOからなる群から選択される請求項1に記載のガスタービン構成部品。
  6. 前記少なくとも1つの当て板の前記材料は、プラチナ、クロミウム酸化物、及びコバルトニッケル酸化物から成る群から選択される請求項1に記載のガスタービン構成部品。
  7. 各熱電対脚部は薄膜式熱電対の脚部を有し、且つ、25マイクロメートルから150マイクロメートルの範囲内の厚さを有する請求項1に記載のガスタービン構成部品。
  8. 各熱電対脚部は薄膜式熱電対の脚部を有し、且つ、50マイクロメートルから100マイクロメートルの範囲内の厚さを有する請求項1に記載のガスタービン構成部品。
  9. 前記各熱電対脚部は前記基材と接合被覆の間の境界に配置される請求項1に記載のガスタービン構成部品。
  10. 前記各熱電対脚部は、接合被覆と前記TBCの間の境界に配設される請求項1に記載のガスタービン構成部品。
  11. 前記各熱電対脚部は、前記TBC内に配設される請求項1に記載のガスタービン構成部品。
  12. ガスタービンの高温燃焼環境における熱計測値を示す複数の信号を供給するように計装された前記ガスタービンの構成部品であって、
    前記構成部品の厚さ内に配設された第1の薄膜式熱電対の脚部であって、第1の材料を有する第1脚部と、
    前記第1の材料とは異なる材料を有する少なくとも2つ以上の薄膜式熱電対の脚部であって、前記少なくとも2つ以上の導電性の薄膜脚部は、前記構成部品の前記厚さ内に配設され、前記少なくとも2つ以上の脚部は、それぞれ、個々の熱勾配を個々の電気信号に変換するために、前記第1脚部に電気的に接続されて前記第1脚部に沿って個別の熱電対接合部を形成しており、前記第1脚部に沿った前記個別の熱電対接合部が全体として前記構成部品の1つの領域に延在している、少なくとも2つ以上の薄膜式熱電対脚部と、
    を有し、さらに、
    基材と、前記基材の少なくとも一部分の上部に堆積された遮熱被覆(TBC)と、を有し、前記TBCは、外側表面を有し、該外側表面は、熱撮像装置の視野内にある場合に、温度値を導出するために十分に安定し且つ既知である放射率値を有する材料の少なくとも1つの当て板を有し、
    前記熱電対接合部からの前記複数の電気信号を示すデータは、前記TBCの前記外側表面と前記構成部品の前記厚さの間の前記構成部品の前記領域における熱流束を算出するために、前記当て板の温度値に対応してプロセッサ内において処理されるように構成された、
    ガスタービン構成部品。
  13. 前記第1の材料はプラチナから成る請求項12に記載のガスタービン構成部品。
  14. 前記少なくとも2つ以上の脚部のうちの少なくとも1つのものの前記異なる材料は、パラジウム、ロジウム、及びイリジウムから成る群から選択される請求項12に記載のガスタービン構成部品。
  15. 前記少なくとも2つ以上の脚部のうちの少なくとも1つのものの前記異なる材料は、CuAlO2、In23−SnO2、ZnOがドーピングされたIn23−SnO2、Ga23、CdIn24、Cd2SnO4、及びZnOから成る群から選択される請求項12に記載のガスタービン構成部品。
  16. 前記少なくとも1つの当て板の前記材料は、プラチナ、クロミウム酸化物、及びコバルトニッケル酸化物から成る群から選択される請求項12に記載のガスタービン構成部品。
  17. それぞれの熱電対脚部は、25マイクロメートルから150マイクロメートルの範囲内の厚さを有する請求項12に記載のガスタービン構成部品。
  18. それぞれの熱電対脚部は、50マイクロメートルから100マイクロメートルの範囲内の厚さを有する請求項12に記載のガスタービン構成部品。
JP2012551361A 2010-01-29 2011-01-31 熱計測値を供給するように計装されたタービン構成部品 Expired - Fee Related JP5619183B2 (ja)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US29974210P 2010-01-29 2010-01-29
US61/299,742 2010-01-29
US13/015,822 US8662746B2 (en) 2008-08-01 2011-01-28 Turbine component instrumented to provide thermal measurements
US13/015,822 2011-01-28
PCT/US2011/023095 WO2011094658A1 (en) 2010-01-29 2011-01-31 Turbine component instrumented to provide thermal measurements

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013518215A JP2013518215A (ja) 2013-05-20
JP5619183B2 true JP5619183B2 (ja) 2014-11-05

Family

ID=44319841

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012551361A Expired - Fee Related JP5619183B2 (ja) 2010-01-29 2011-01-31 熱計測値を供給するように計装されたタービン構成部品

Country Status (7)

Country Link
US (1) US8662746B2 (ja)
EP (1) EP2529085B1 (ja)
JP (1) JP5619183B2 (ja)
KR (1) KR101467178B1 (ja)
CN (1) CN102782258B (ja)
CA (1) CA2788506C (ja)
WO (1) WO2011094658A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11243124B2 (en) 2017-11-30 2022-02-08 Mitsubishi Heavy Industries, Ltd Heat flux measurement system

Families Citing this family (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8961007B2 (en) 2011-03-15 2015-02-24 Siemens Energy, Inc. Thermocouple and method of forming a thermocouple on a contoured gas turbine engine component
EP2573318A1 (en) * 2011-09-20 2013-03-27 Siemens Aktiengesellschaft A blade for a turbomachine comprising temperature and expansion sensors
US9127597B2 (en) * 2011-09-23 2015-09-08 The Boeing Company Sensor system
EP2669479B1 (en) * 2012-05-31 2015-10-07 Alstom Technology Ltd Axial flow turbine and method of controlling moisture content of the distal region of a last stage blade of said turbine
US9746381B2 (en) 2012-06-22 2017-08-29 United Technologies Corporation Laser instrumentation bracket
DE102012217535A1 (de) * 2012-09-27 2014-03-27 Siemens Aktiengesellschaft Gasturbine mit einem Wärmeflusssensor
DE102012217742A1 (de) * 2012-09-28 2014-04-03 Siemens Aktiengesellschaft Temperatursensor und Verfahren zu dessen Herstellung
DE102013201179A1 (de) * 2013-01-24 2014-08-07 Dekema Dental-Keramiköfen GmbH Thermoelement
US9528880B2 (en) * 2013-08-16 2016-12-27 General Electric Company Method and system for gas temperature measurement
DE102014119593A1 (de) * 2014-12-23 2016-06-23 Endress + Hauser Wetzer Gmbh + Co. Kg Temperaturfühler
EP3106852A1 (en) * 2015-06-18 2016-12-21 ETH Zurich Heat flux sensor and system with a heat flux sensor
US20170191879A1 (en) * 2015-12-30 2017-07-06 Applied Electronic Materials, LLC Temperature sensors with integrated sensing components
US10815817B2 (en) 2016-01-21 2020-10-27 Raytheon Technologies Corporation Heat flux measurement system
WO2017139751A1 (en) 2016-02-12 2017-08-17 Rhode Island Board Of Education Temperature and thermal gradient sensor for ceramic matrix composites and methods of preparation thereof
US10830132B2 (en) 2016-04-29 2020-11-10 General Electric Company Micro thermal imaging system for turbine engines
JP6634658B2 (ja) 2016-12-20 2020-01-22 三菱重工業株式会社 メインノズル、燃焼器及びメインノズルの製造方法
US11193820B2 (en) 2017-01-09 2021-12-07 General Electric Company System and method for disposable infrared imaging system
US11397112B2 (en) 2017-01-09 2022-07-26 General Electric Company System and method for monitoring of gas turbine components with infrared system
US10643821B2 (en) 2017-02-07 2020-05-05 United Technologies Corporation Part temperature measurement device
US10794220B2 (en) * 2017-05-08 2020-10-06 Raytheon Technologies Corporation Temperature sensor array for a gas turbine engine
US10782190B1 (en) 2017-12-14 2020-09-22 University Of Rhode Island Board Of Trustees Resistance temperature detector (RTD) for ceramic matrix composites
GB2571524A (en) * 2018-02-28 2019-09-04 Continental Automotive Gmbh Electric device comprising a printed circuit board and method for determining local temperatures at different measurement points of the printed circuit boar
FR3084762B1 (fr) * 2018-07-31 2020-08-14 Safran Aircraft Engines Systeme de controle de pieces d'un turboreacteur par identification radiofrequence avec antenne integree
US11175187B2 (en) 2018-08-06 2021-11-16 Unison Industries, Llc Air temperature sensor having a bushing
CN110501085A (zh) * 2018-12-11 2019-11-26 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 一种基于薄膜测温的热障涂层隔热性能测量方法
US11703471B1 (en) 2018-12-20 2023-07-18 University Of Rhode Island Board Of Trustees Trace detection of chemical compounds via catalytic decomposition and redox reactions
JP7312626B2 (ja) 2019-07-02 2023-07-21 三菱重工業株式会社 遮熱コーティング部品および遮熱コーティング部品の製造方法
US11513059B2 (en) 2020-04-06 2022-11-29 Solar Turbines Incorporated Contamination sensor for gas turbine engines
KR102673181B1 (ko) * 2022-03-10 2024-06-10 한국기계연구원 액화수소 저장탱크 zbo 시스템
KR20240080532A (ko) * 2022-11-30 2024-06-07 한국기계연구원 패턴이 형성된 열유속 측정용 센서 패드와 이를 이용한 측정방법 및 시스템

Family Cites Families (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3307402A (en) * 1963-12-04 1967-03-07 United Aircraft Corp Compensated tapped thermocouple system
US3327517A (en) * 1964-12-01 1967-06-27 Union Oil Co Precise thermocouple reference for instrument calibration
US3514998A (en) * 1968-07-22 1970-06-02 Teledyne Inc D.c. circuit for operating asymmetric thermopile
US4242907A (en) * 1979-02-12 1981-01-06 Kazmierowicz Casimir W Apparatus for monitoring and controlling a flat zone in a furnace
US4480930A (en) * 1983-04-14 1984-11-06 Westinghouse Electric Corp. Pulse cooled thermocouple system for high temperature measurement especially in combustion turbines
US4595298A (en) * 1985-05-01 1986-06-17 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Temperature detection system for use on film cooled turbine airfoils
US4969956A (en) * 1989-12-19 1990-11-13 The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce Transparent thin film thermocouple
US5188457A (en) * 1992-03-11 1993-02-23 General Electric Company Measurement of the maximum temperature attained by an article
JP3122413B2 (ja) * 1997-10-03 2001-01-09 株式会社リケン ガスセンサ
US6042580A (en) * 1998-05-05 2000-03-28 Cardiac Pacemakers, Inc. Electrode having composition-matched, common-lead thermocouple wire for providing multiple temperature-sensitive junctions
US6312425B1 (en) * 1998-05-05 2001-11-06 Cardiac Pacemakers, Inc. RF ablation catheter tip electrode with multiple thermal sensors
US6190040B1 (en) * 1999-05-10 2001-02-20 Sensarray Corporation Apparatus for sensing temperature on a substrate in an integrated circuit fabrication tool
US7690840B2 (en) * 1999-12-22 2010-04-06 Siemens Energy, Inc. Method and apparatus for measuring on-line failure of turbine thermal barrier coatings
US6742295B2 (en) * 2002-06-20 2004-06-01 James R. Gross System for suspending or mounting priceless planar artwork and the like
JP3828465B2 (ja) * 2002-07-23 2006-10-04 株式会社神戸製鋼所 高融点金属炭化物−炭素系材料熱電対形の温度測定装置及びその装置の製造方法
US20050198967A1 (en) * 2002-09-23 2005-09-15 Siemens Westinghouse Power Corp. Smart component for use in an operating environment
US7004622B2 (en) * 2002-11-22 2006-02-28 General Electric Company Systems and methods for determining conditions of articles and methods of making such systems
US6857776B2 (en) * 2002-12-12 2005-02-22 Ametek, Inc. Connectorized high-temperature thermocouple
US20040114666A1 (en) * 2002-12-17 2004-06-17 Hardwicke Canan Uslu Temperature sensing structure, method of making the structure, gas turbine engine and method of controlling temperature
US8109670B2 (en) * 2003-03-31 2012-02-07 Saudi Arabian Oil Company Measurement of molten sulfur level in receptacles
US7084342B2 (en) * 2003-06-17 2006-08-01 Watlow Electric Manufacturing Co. Semi-compensated pins for cold junction compensation
GB0314788D0 (en) * 2003-06-25 2003-07-30 Rolls Royce Plc Component temperature measuring method
DE10333774B4 (de) * 2003-07-24 2005-06-23 Atlas Material Testing Technology Gmbh Kalibrierung von Temperatursensoren von Bewitterungsgeräten durch kontaktlose Temperaturmessung
WO2005112140A2 (en) 2004-04-12 2005-11-24 The Board Of Governors For Higher Education, State Of Rhode Island And Providence Plantations Thin film ceramic thermocouples
US7044638B2 (en) * 2004-05-24 2006-05-16 Rosemount Aerospace, Inc. Multi-element thermocouple
US8004423B2 (en) * 2004-06-21 2011-08-23 Siemens Energy, Inc. Instrumented component for use in an operating environment
US7632012B2 (en) * 2005-09-01 2009-12-15 Siemens Energy, Inc. Method of measuring in situ differential emissivity and temperature
WO2007115257A2 (en) * 2006-03-31 2007-10-11 Mesoscribe Technologies, Inc. Thermocouples
GB2439389A (en) 2006-06-22 2007-12-27 Southside Thermal Sciences Multi layer coatings
US7368827B2 (en) * 2006-09-06 2008-05-06 Siemens Power Generation, Inc. Electrical assembly for monitoring conditions in a combustion turbine operating environment
US7969323B2 (en) * 2006-09-14 2011-06-28 Siemens Energy, Inc. Instrumented component for combustion turbine engine
US7651261B2 (en) * 2007-07-10 2010-01-26 General Electric Company System and method for thermal inspection of parts
US8033722B2 (en) * 2008-08-01 2011-10-11 Siemens Energy, Inc. Thermocouple for gas turbine environments
US8063372B2 (en) * 2009-03-06 2011-11-22 Siemens Energy, Inc. Apparatus and method for temperature mapping a rotating turbine component in a high temperature combustion environment
US8348504B2 (en) * 2010-05-12 2013-01-08 Wireless Sensor Technologies, Llc Wireless temperature measurement system and methods of making and using same

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11243124B2 (en) 2017-11-30 2022-02-08 Mitsubishi Heavy Industries, Ltd Heat flux measurement system

Also Published As

Publication number Publication date
JP2013518215A (ja) 2013-05-20
WO2011094658A1 (en) 2011-08-04
CA2788506A1 (en) 2011-08-04
CN102782258A (zh) 2012-11-14
KR101467178B1 (ko) 2014-12-10
EP2529085A1 (en) 2012-12-05
US8662746B2 (en) 2014-03-04
EP2529085B1 (en) 2018-03-28
CN102782258B (zh) 2015-01-14
CA2788506C (en) 2015-06-02
KR20120116009A (ko) 2012-10-19
US20110222582A1 (en) 2011-09-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5619183B2 (ja) 熱計測値を供給するように計装されたタービン構成部品
US8033722B2 (en) Thermocouple for gas turbine environments
DK3177900T3 (en) SENSORS AND METHODS FOR MANUFACTURING SENSORS
US8348504B2 (en) Wireless temperature measurement system and methods of making and using same
EP2008068A2 (en) Thermocouples
US7004622B2 (en) Systems and methods for determining conditions of articles and methods of making such systems
JP2014511957A (ja) 曲線をもつガスタービンエンジン部品における熱電対
CN110987215A (zh) 一种检测热障涂层隔热效果的薄膜温度传感器
CN110501085A (zh) 一种基于薄膜测温的热障涂层隔热性能测量方法
JP7231569B2 (ja) 電磁放射の検出器
CN209418465U (zh) 精准测量温度的层结构元件和半导体器件加工设备
EP3333911A1 (en) Radiation heat sensor
JP2937989B2 (ja) 界面測定薄膜温度センサおよび耐熱部品
Ranaweera et al. Cell integrated thin-film multi-junction thermocouple array for in-situ temperature monitoring of solid oxide fuel cells
CN105779924A (zh) 喷涂热障涂层包裹Pt金属丝表面制造高温绝缘线的方法
Hai et al. Three-Dimensional Printed Conformal Thick-Film Conductive Lines for High-Temperature Applications
KR20170118481A (ko) 초소형 온도센서 및 그 제조방법

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20131008

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20140108

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20140116

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20140207

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20140217

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20140307

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20140314

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140403

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140819

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140916

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5619183

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees