JP5611873B2 - Coating equipment - Google Patents

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Description

本発明は、長尺状の基材にグラビア塗工を行う塗工装置に関するものである。   The present invention relates to a coating apparatus that performs gravure coating on a long substrate.

近年、半導体集積回路は微細化、集積化が進み、その微細加工を実現するためのパターン転写技術としてフォトリソグラフィー装置の高精度化が進められてきた。しかし、このリソグラフィー技術も限界に近づき、最近では、プレス装置を用い、基板上に微細構造を形成するナノプリント装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。   In recent years, semiconductor integrated circuits have been miniaturized and integrated, and photolithography apparatuses have been improved in accuracy as a pattern transfer technique for realizing the fine processing. However, this lithography technique is approaching its limit, and recently, a nanoprint apparatus for forming a fine structure on a substrate using a press apparatus has been proposed (for example, see Patent Document 1).

特開２００４−２８８８１１号公報JP 2004-288811 A

しかしながら、特許文献１のナノプリント装置は、板状の基板にナノプリントを行う装置であり、長尺状のフィルムなどの基材に連続してナノプリントを行うことはできないという問題点があった。   However, the nanoprint apparatus of Patent Document 1 is an apparatus that performs nanoprinting on a plate-like substrate, and has a problem that nanoprinting cannot be performed continuously on a base material such as a long film. .

そこで、本発明は上記問題点に鑑み、長尺状の基材にもナノプリントを行うことができる塗工装置を提供する。   Therefore, in view of the above problems, the present invention provides a coating apparatus that can perform nanoprinting on a long substrate.

本発明は、グラビア版を有するグラビアロールと、前記グラビアロールと接触して、前記グラビア版によって転写部が転写されるブランケットロールと、前記転写部が転写される長尺状の基材を搬送するバックアップロールと、前記グラビアロールを回転させるダイレクトドライブモータよりなる第１のモータと、前記グラビアロールの回転中に、前記第１のモータのトルクの３０〜７０％のブレーキトルクをかける第１のブレーキと、前記ブランケットロールを回転させるダイレクトドライブモータよりなる第２のモータと、前記ブランケットロールの回転中に、前記第２のモータのトルクの３０〜７０％のブレーキトルクをかける第２のブレーキと、前記バックアップロールを回転させるダイレクトドライブモータよりなる第３のモータと、前記バックアップロールの回転中に、前記第３のモータのトルクの３０〜７０％のブレーキトルクをかける第３のブレーキと、前記第１のモータ、前記第２のモータ、及び、前記第３のモータを同じ回転速度で回転させる制御部と、を有することを特徴とする塗工装置である。   The present invention conveys a gravure roll having a gravure plate, a blanket roll in which a transfer portion is transferred by the gravure plate in contact with the gravure roll, and a long base material to which the transfer portion is transferred. A first motor comprising a backup roll, a direct drive motor for rotating the gravure roll, and a first brake for applying a brake torque of 30 to 70% of the torque of the first motor during the rotation of the gravure roll A second motor comprising a direct drive motor for rotating the blanket roll, and a second brake for applying a brake torque of 30 to 70% of the torque of the second motor during the rotation of the blanket roll; A third motor comprising a direct drive motor for rotating the backup roll A third brake that applies a brake torque of 30 to 70% of the torque of the third motor during rotation of the backup roll, the first motor, the second motor, and the third motor And a control unit that rotates the motor at the same rotational speed.

グラビア版を有するグラビアロールと、
また、本発明は、長尺状の基材を搬送すると共に、前記基材に前記グラビア版によって塗工が行われるバックアップロールと、前記グラビアロールを回転させるダイレクトドライブモータよりなる第１のモータと、前記グラビアロールの回転中に、前記第１のモータのトルクの３０〜７０％のブレーキトルクをかける第１のブレーキと、前記バックアップロールを回転させるダイレクトドライブモータよりなる第３のモータと、前記バックアップロールの回転中に、前記第３のモータのトルクの３０〜７０％のブレーキトルクをかける第３のブレーキと、前記第１のモータ、及び、前記第３のモータを同じ回転速度で回転させる制御部と、を有することを特徴とする塗工装置である。 A gravure roll having a gravure version;
In addition, the present invention conveys a long base material, and a first motor comprising a backup roll on which the base material is coated with the gravure plate, and a direct drive motor that rotates the gravure roll; A first brake that applies a braking torque of 30 to 70% of the torque of the first motor during the rotation of the gravure roll, a third motor that includes a direct drive motor that rotates the backup roll, While the backup roll is rotating, the third brake that applies 30 to 70% of the torque of the third motor, the first motor, and the third motor are rotated at the same rotational speed. And a control unit.

本発明によれば、長尺状の基材にナノプリントを行うことができる。   According to the present invention, nanoprinting can be performed on a long substrate.

本発明の第１の実施形態を示す塗工装置の側面図である。It is a side view of the coating apparatus which shows the 1st Embodiment of this invention. 同じく塗工装置の平面図である。It is a top view of a coating device similarly. 本発明の第２の実施形態を示す塗工装置の側面図である。It is a side view of the coating apparatus which shows the 2nd Embodiment of this invention.

以下、本発明の一実施形態の塗工装置１０について図面に基づいて説明する。   Hereinafter, the coating apparatus 10 of one Embodiment of this invention is demonstrated based on drawing.

本発明の第１の実施形態の塗工装置１０について、図１と図２に基づいて説明する。   The coating apparatus 10 of the 1st Embodiment of this invention is demonstrated based on FIG. 1 and FIG.

本実施形態の塗工装置１０は、グラビア塗工を用いて長尺状の基材にナノプリントを行う装置である。   The coating apparatus 10 of this embodiment is an apparatus that performs nanoprinting on a long substrate using gravure coating.

なお、本明細書において「ナノプリント」とは、数１００μｍ〜数ｎｍ程度の範囲の転写を行うプリントをいう。   In this specification, “nanoprint” refers to a print that performs transfer in the range of several hundred μm to several nm.

転写の対象となる長尺状の基材１としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリビニルアルコール、ポリ塩化ビニリデン、ポリエチレンテレフタレート、ポリ塩化ビニール、ポリスチレン、ＡＢＳ樹脂、ＡＳ樹脂、アクリル樹脂、ポリアミド、ポリアセタール、ポリブチレンテレフタレート、ガラス強化ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、変性ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルエーテルケトン、液晶性ポリマー、フッ素樹脂、ポリアレート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、熱可塑性ポリイミド等の熱可塑性樹脂や、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ユリア樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、アルキド樹脂、シリコーン樹脂、ジアリルフタレート樹脂、ポリアミドビスマレイミド、ポリビスアミドトリアゾール等の熱硬化性樹脂、及びこれらを２種以上ブレンドした材料を用いたものである。   Examples of the long base material 1 to be transferred include polyethylene, polypropylene, polyvinyl alcohol, polyvinylidene chloride, polyethylene terephthalate, polyvinyl chloride, polystyrene, ABS resin, AS resin, acrylic resin, polyamide, polyacetal, Polybutylene terephthalate, glass reinforced polyethylene terephthalate, polycarbonate, modified polyphenylene ether, polyphenylene sulfide, polyether ether ketone, liquid crystalline polymer, fluororesin, polyarate, polysulfone, polyethersulfone, polyamideimide, polyetherimide, thermoplastic polyimide, etc. Thermoplastic resin, phenol resin, melamine resin, urea resin, epoxy resin, unsaturated polyester resin, alkyd resin, silicon Resin, one using a diallyl phthalate resin, polyamide bismaleimide, poly bisamide thermosetting resin triazole and the like, and two or more of these blended material.

（１）塗工装置１０の構造
塗工装置１０の構造について図１及び図２に基づいて説明する。 (1) Structure of the coating apparatus 10 The structure of the coating apparatus 10 is demonstrated based on FIG.1 and FIG.2.

塗工装置１０は、図１及び図２に示すように、グラビアロール１２、ブランケットロール１４、バックアップロール１６とを有する。   As shown in FIGS. 1 and 2, the coating apparatus 10 includes a gravure roll 12, a blanket roll 14, and a backup roll 16.

水平方向に配されたグラビアロール１２の下方に、ブランケットロール１４が水平方向に配され、このブランケットロール１４の下方にバックアップロール１６が水平方向に配されている。そして、塗工液が塗工されたグラビアロール１２のグラビア版３８がブランケットロール１４の表面に転写されて転写部４０が形成され、この転写部４０がバックアップロール１６によって搬送されている基材１にナノプリントを行う。   A blanket roll 14 is disposed in the horizontal direction below the gravure roll 12 disposed in the horizontal direction, and a backup roll 16 is disposed in the horizontal direction below the blanket roll 14. Then, the gravure plate 38 of the gravure roll 12 coated with the coating liquid is transferred to the surface of the blanket roll 14 to form a transfer unit 40, and the transfer unit 40 is conveyed by the backup roll 16. Perform nanoprinting on

グラビアロール１２は、ＦＲＰ、カーボンファイバー、又は、樹脂などよりなるロールの表面にクロムメッキを施し、その表面にグラビアロール版３８が刻設されているものであって、その直径は１００〜５００ｍｍである。グラビアロール１２の一方の回転軸には、ダイレクトドライブモータ（以下、単に「ＤＤモータ」という）よりなる第１のモータ１８が取り付けられ、この第１のモータ１８によりグラビアロール１２が回転する。第１のモータ１８には、第１のエンコーダ２０が取り付けられている。また、グラビアロール１２の他方の回転軸には、第１のブレーキ２２が取り付けられている。この第１のブレーキ２２は、例えば、パウダーブレーキ、電磁ブレーキ、マグネットブレーキ、又は、ディスクブレーキであって、回転中のグラビアロール１２に対し一定のブレーキトルクを掛ける。   The gravure roll 12 is obtained by applying chromium plating to the surface of a roll made of FRP, carbon fiber, resin, or the like, and a gravure roll plate 38 is engraved on the surface, and its diameter is 100 to 500 mm. is there. A first motor 18 composed of a direct drive motor (hereinafter simply referred to as “DD motor”) is attached to one rotating shaft of the gravure roll 12, and the gravure roll 12 is rotated by the first motor 18. A first encoder 20 is attached to the first motor 18. A first brake 22 is attached to the other rotating shaft of the gravure roll 12. The first brake 22 is, for example, a powder brake, an electromagnetic brake, a magnet brake, or a disc brake, and applies a constant brake torque to the rotating gravure roll 12.

ブランケットロール１４は、ＦＲＰ、カーボンファイバー、又は、樹脂よりなるロールの表面にゴム２４を巻き付けたものであって、その直径はグラビアロール１２と同じ寸法である。ブランケットロール１４の一方の軸には、ＤＤモータよりなる第２のモータ２６が取り付けられ、この第２のモータ１６にも第２のエンコーダ２８が取り付けられている。また、ブランケットロール１４の他方の軸には第２のブレーキ３０が取り付けられている。この第２のブレーキ３０は、第１のブレーキ２２と同じ構成である。   The blanket roll 14 is obtained by winding a rubber 24 around the surface of a roll made of FRP, carbon fiber, or resin, and the diameter thereof is the same as that of the gravure roll 12. A second motor 26 made of a DD motor is attached to one shaft of the blanket roll 14, and a second encoder 28 is also attached to the second motor 16. A second brake 30 is attached to the other shaft of the blanket roll 14. The second brake 30 has the same configuration as the first brake 22.

バックアップロール１６は、ＦＲＰ、カーボンファイバー、又は、樹脂よりなるロールの表面にクロムメッキが施され、その直径はグラビアロール１２と同じ寸法である。バックアップロール１６の一方の軸には、ＤＤモータよりなる第３のモータ３２が取り付けられ、この第３のモータ３２にも第３のエンコーダ３４が取り付けられている。また、バックアップロール１６の他方の軸には第３のブレーキ３６が取り付けられている。この第３のブレーキ３６は、第１のブレーキ２２と同じ構成である。   The backup roll 16 is chrome-plated on the surface of a roll made of FRP, carbon fiber, or resin, and has the same diameter as the gravure roll 12. A third motor 32 made of a DD motor is attached to one shaft of the backup roll 16, and a third encoder 34 is also attached to the third motor 32. A third brake 36 is attached to the other shaft of the backup roll 16. The third brake 36 has the same configuration as the first brake 22.

（２）塗工装置１０の電気的構成
次に、塗工装置１０の電気的構成について図２に基づいて説明する。 (2) Electrical configuration of coating apparatus 10 Next, an electrical configuration of the coating apparatus 10 will be described with reference to FIG.

第１のモータ１８、第１のエンコーダ２０、第２のモータ２６、第２のエンコーダ２８、第３のモータ３２及び第３のエンコーダ３４は、コンピュータよりなる制御部４２に接続されている。   The 1st motor 18, the 1st encoder 20, the 2nd motor 26, the 2nd encoder 28, the 3rd motor 32, and the 3rd encoder 34 are connected to control part 42 which consists of computers.

制御部４２は、第１のモータ１８、第２のモータ２６及び第３のモータ３２を同じ回転速度Ｗで回転させている。この回転速度Ｗは、例えば、基材１の走行速度Ｖが６ｍ／分である場合には、例えば、毎分５〜６回転である。そして、制御部４２は、第１のモータ１８、第２のモータ２６及び第３のモータ３２がＤＤモータであるため、これらのモータ１８，２６，３２が同じ回転速度Ｗで、かつ、一定の回転速度Ｗになるように位置制御を行い、正確に位置制御が行われているかを第１のエンコーダ２０、第２のエンコーダ２８、及び第３のエンコーダ３４からのパルス信号によって監視している。   The control unit 42 rotates the first motor 18, the second motor 26, and the third motor 32 at the same rotational speed W. For example, when the traveling speed V of the base material 1 is 6 m / min, the rotational speed W is, for example, 5 to 6 revolutions per minute. And since the 1st motor 18, the 2nd motor 26, and the 3rd motor 32 are DD motors in the control part 42, these motors 18, 26, and 32 are the same rotational speed W, and are constant. Position control is performed so that the rotational speed becomes W, and whether or not the position control is accurately performed is monitored by pulse signals from the first encoder 20, the second encoder 28, and the third encoder 34.

（３）ナノプリントを行うための対策
塗工装置１０が、数１００μｍ〜数ｎｍ程度（例えば、±０．５μｍ以下）の精度で転写を行うための対策について説明する。 (3) Measures for performing nanoprinting Measures for the coating apparatus 10 to perform transfer with an accuracy of about several hundred μm to several nm (for example, ± 0.5 μm or less) will be described.

まず、第１の対策としては、上記したように第１のモータ１８、第２のモータ２６及び第３のモータ３２が、ＤＤモータであるため、位置制御を行うと正確に同じ回転速度で回転する。しかし、グラビアロール１２、ブランケットロール１４及びバックアップロール１６の慣性力によって回転が揺れて回転精度が落ちてくる可能性がある。特に、ナノプリントにおいては、位置制御で０．３μｍ以下の値に制御しない限り、ナノプリントに必要な±０．５μｍの繰り返し精度が出ない。そのため以下の対策も講じている。   First, as a first countermeasure, as described above, the first motor 18, the second motor 26, and the third motor 32 are DD motors. Therefore, when position control is performed, the first motor 18, the second motor 26, and the third motor 32 rotate at exactly the same rotational speed. To do. However, there is a possibility that the rotation is shaken due to the inertial force of the gravure roll 12, the blanket roll 14, and the backup roll 16 and the rotation accuracy is lowered. In particular, in nanoprinting, the repeatability of ± 0.5 μm necessary for nanoprinting cannot be obtained unless the position is controlled to a value of 0.3 μm or less. Therefore, the following measures are taken.

第２の対策としては、グラビアロール１２、ブランケットロール１４及びバックアップロール１６の慣性力を小さくするため、各ロールの材質を金属ではなく、軽量の材質であるＦＲＰ、カーボンファイバー、又は、樹脂によって形成している。これによって、各ロールの慣性力が小さくなり、回転精度を上げることができる。   As a second countermeasure, in order to reduce the inertial force of the gravure roll 12, the blanket roll 14, and the backup roll 16, the material of each roll is not a metal, but is formed of a lightweight material such as FRP, carbon fiber, or resin. doing. As a result, the inertial force of each roll is reduced, and the rotation accuracy can be increased.

第３の対策としては、グラビアロール１２に第１のブレーキ２２、ブランケットロール１４に第２のブレーキ２８、バックアップロール１６に第３のブレーキ３６を取り付けている点である。そして、グラビアロール１２が第１のモータ１８によって回転中においては、第１のブレーキ２２によって第１のモータ１８の回転トルクの３０〜７０％のブレーキトルクを掛けているので回転の揺れをより少なくできる。ブランケットロール１４、バックアップロール１６も同様に第２のブレーキ３０と第３のブレーキ３６によって、第２のモータ２６と第３のモータ３２の回転トルクの３０〜７０％のブレーキトルクを掛けているので回転の揺れをより少なくできる。このように各ロール１２，１４，１６の回転中に一定のブレーキ力が加わり、ゲイン値を大きくすることができ、また、コギング等の発生を防止できる。そのため、回転精度を上げることができる。   As a third countermeasure, a first brake 22 is attached to the gravure roll 12, a second brake 28 is attached to the blanket roll 14, and a third brake 36 is attached to the backup roll 16. When the gravure roll 12 is rotated by the first motor 18, the first brake 22 applies a brake torque of 30 to 70% of the rotational torque of the first motor 18, so that the rotational fluctuation is less. it can. Similarly, the blanket roll 14 and the backup roll 16 are also applied with a brake torque of 30 to 70% of the rotational torque of the second motor 26 and the third motor 32 by the second brake 30 and the third brake 36. The vibration of rotation can be reduced. In this way, a constant braking force is applied during the rotation of each of the rolls 12, 14, and 16, the gain value can be increased, and the occurrence of cogging and the like can be prevented. Therefore, the rotation accuracy can be increased.

以上の第１〜３の対策により、本実施形態の塗工装置１０は、グラビアロール１２のグラビア版３８がブランケットロール１４に転写部４０を形成し、この転写部４０によって長尺状の基材１に、±０．５μｍ以下の精度のナノプリントを行うことができる。   With the above first to third measures, in the coating apparatus 10 of the present embodiment, the gravure plate 38 of the gravure roll 12 forms the transfer part 40 on the blanket roll 14, and the transfer part 40 forms a long base material. 1, nanoprinting with an accuracy of ± 0.5 μm or less can be performed.

（４）効果
以上により本実施形態によれば、塗工装置１０によって基材１の表面に数１００μｍ〜数ｎｍの精度でナノプリントを行うことができるため、バイオ（免疫）チップ状の流路や、配線基板上の配線にナノプリントすることができる。 (4) Effect According to the present embodiment as described above, since the nanoprint can be performed on the surface of the substrate 1 with an accuracy of several hundreds μm to several nm by the coating apparatus 10, a bio (immune) chip-shaped flow path Alternatively, nanoprinting can be performed on the wiring on the wiring board.

本発明の第２の実施形態の塗工装置１０について、図３に基づいて説明する。   The coating apparatus 10 of the 2nd Embodiment of this invention is demonstrated based on FIG.

本実施形態と第１の実施形態の異なる点は、本実施形態ではブランケットロール１４がなく、塗工装置１０は、図３に示すように、グラビアロール１２、バックアップロール１６のみを有し、水平方向に配されたグラビアロール１２の下方に、バックアップロール１６が水平方向に配されている。そして、塗工液が塗工されたグラビアロール１２のグラビア版が、バックアップロール１６によって搬送されている基材１にナノプリントを行う。   The difference between this embodiment and the first embodiment is that there is no blanket roll 14 in this embodiment, and the coating apparatus 10 has only a gravure roll 12 and a backup roll 16 as shown in FIG. Below the gravure roll 12 arranged in the direction, a backup roll 16 is arranged in the horizontal direction. Then, the gravure plate of the gravure roll 12 coated with the coating liquid performs nanoprinting on the base material 1 being conveyed by the backup roll 16.

この場合に、グラビアロール１２は、ＦＲＰ、カーボンファイバー、又は、樹脂などよりなるロールの表面にクロムメッキを施し、その表面にグラビアロール版３８が刻設されているものであって、その直径は１００〜５００ｍｍである。グラビアロール１２の一方の回転軸には、ＤＤモータよりなる第１のモータ１８が取り付けられ、この第１のモータ１８によりグラビアロール１２が回転する。第１のモータ１８には、第１のエンコーダ２０が取り付けられている。また、グラビアロール１２の他方の回転軸には、第１のブレーキ２２が取り付けられている。この第１のブレーキ２２は、例えば、パウダーブレーキ、電磁ブレーキ、マグネットブレーキ、又は、ディスクブレーキであって、回転中のグラビアロール１２に対し一定のブレーキトルクを掛ける。   In this case, the gravure roll 12 is made by chromium plating on the surface of a roll made of FRP, carbon fiber, resin, etc., and a gravure roll plate 38 is engraved on the surface, and its diameter is 100-500 mm. A first motor 18 made of a DD motor is attached to one rotating shaft of the gravure roll 12, and the gravure roll 12 is rotated by the first motor 18. A first encoder 20 is attached to the first motor 18. A first brake 22 is attached to the other rotating shaft of the gravure roll 12. The first brake 22 is, for example, a powder brake, an electromagnetic brake, a magnet brake, or a disc brake, and applies a constant brake torque to the rotating gravure roll 12.

バックアップロール１６は、ＦＲＰ、カーボンファイバー、又は、樹脂よりなるロールの表面にクロムメッキが施され、その直径はグラビアロール１２と同じ寸法である。バックアップロール１６の一方の軸には、ＤＤモータよりなる第３のモータ３２が取り付けられ、この第３のモータ３２にも第３のエンコーダ３４が取り付けられている。また、バックアップロール１６の他方の軸には第３のブレーキ３６が取り付けられている。この第３のブレーキ３６は、第１のブレーキ２２と同じ構成である。   The backup roll 16 is chrome-plated on the surface of a roll made of FRP, carbon fiber, or resin, and has the same diameter as the gravure roll 12. A third motor 32 made of a DD motor is attached to one shaft of the backup roll 16, and a third encoder 34 is also attached to the third motor 32. A third brake 36 is attached to the other shaft of the backup roll 16. The third brake 36 has the same configuration as the first brake 22.

本実施形態であっても、第１の実施形態と同様に、塗工装置１０によって基材１の表面に数１００μｍ〜数ｎｍの精度でナノプリントを行うことができる。   Even in the present embodiment, similarly to the first embodiment, nano-printing can be performed on the surface of the substrate 1 by the coating apparatus 10 with an accuracy of several hundred μm to several nm.

変更例Example of change

上記では本発明の一実施形態を説明したが、この実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の主旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。   Although one embodiment of the present invention has been described above, this embodiment is presented as an example and is not intended to limit the scope of the invention. These novel embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, and changes can be made without departing from the spirit of the invention. These embodiments and modifications thereof are included in the scope and gist of the invention, and are included in the invention described in the claims and the equivalents thereof.

１０・・・塗工装置、１２・・・グラビアロール、１４・・・ブランケットロール、１６・・・バックアップロール、１８・・・第１のモータ、２０・・・第１のエンコーダ、２２・・・第１のブレーキ、２４・・・ゴム、２６・・・第２のモータ、２８・・・第２のエンコーダ、３０・・・第２のブレーキ、３２・・・第３のモータ、３４・・・第３のエンコーダ、３６・・・第３のブレーキ、 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Coating apparatus, 12 ... Gravure roll, 14 ... Blanket roll, 16 ... Backup roll, 18 ... 1st motor, 20 ... 1st encoder, 22 ... First brake 24 ... rubber 26 ... second motor 28 ... second encoder 30 ... second brake 32 ... third motor 34 ..Third encoder, 36 ... third brake,

Claims (6)

グラビア版を有するグラビアロールと、
前記グラビアロールと接触して、前記グラビア版によって転写部が転写されるブランケットロールと、
前記転写部が転写される長尺状の基材を搬送するバックアップロールと、
前記グラビアロールを回転させるダイレクトドライブモータよりなる第１のモータと、
前記グラビアロールの回転中に、前記第１のモータのトルクの３０〜７０％のブレーキトルクをかける第１のブレーキと、
前記ブランケットロールを回転させるダイレクトドライブモータよりなる第２のモータと、
前記ブランケットロールの回転中に、前記第２のモータのトルクの３０〜７０％のブレーキトルクをかける第２のブレーキと、
前記バックアップロールを回転させるダイレクトドライブモータよりなる第３のモータと、
前記バックアップロールの回転中に、前記第３のモータのトルクの３０〜７０％のブレーキトルクをかける第３のブレーキと、
前記第１のモータ、前記第２のモータ、及び、前記第３のモータを同じ回転速度で回転させる制御部と、
を有することを特徴とする塗工装置。 A gravure roll having a gravure version;
In contact with the gravure roll, a blanket roll on which a transfer part is transferred by the gravure plate
A backup roll for conveying a long base material to which the transfer portion is transferred;
A first motor comprising a direct drive motor for rotating the gravure roll;
A first brake that applies a brake torque of 30 to 70% of the torque of the first motor during rotation of the gravure roll;
A second motor comprising a direct drive motor for rotating the blanket roll;
A second brake that applies a braking torque of 30 to 70% of the torque of the second motor during rotation of the blanket roll;
A third motor comprising a direct drive motor for rotating the backup roll;
A third brake that applies a brake torque of 30 to 70% of the torque of the third motor during rotation of the backup roll;
A controller that rotates the first motor, the second motor, and the third motor at the same rotational speed;
The coating apparatus characterized by having. グラビア版を有するグラビアロールと、
長尺状の基材を搬送すると共に、前記基材に前記グラビア版によって塗工が行われるバックアップロールと、
前記グラビアロールを回転させるダイレクトドライブモータよりなる第１のモータと、
前記グラビアロールの回転中に、前記第１のモータのトルクの３０〜７０％のブレーキトルクをかける第１のブレーキと、
前記バックアップロールを回転させるダイレクトドライブモータよりなる第３のモータと、
前記バックアップロールの回転中に、前記第３のモータのトルクの３０〜７０％のブレーキトルクをかける第３のブレーキと、
前記第１のモータ、及び、前記第３のモータを同じ回転速度で回転させる制御部と、
を有することを特徴とする塗工装置。 A gravure roll having a gravure version;
While conveying a long base material, a backup roll in which the base material is coated with the gravure plate,
A first motor comprising a direct drive motor for rotating the gravure roll;
A first brake that applies a brake torque of 30 to 70% of the torque of the first motor during rotation of the gravure roll;
A third motor comprising a direct drive motor for rotating the backup roll;
A third brake that applies a brake torque of 30 to 70% of the torque of the third motor during rotation of the backup roll;
A controller that rotates the first motor and the third motor at the same rotational speed;
The coating apparatus characterized by having. 前記グラビアロールが、ＦＲＰ、カーボンファイバー、又は、樹脂製であって、その表面にメッキが施されている、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の塗工装置。 The gravure roll is made of FRP, carbon fiber, or resin, and the surface thereof is plated.
The coating apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that: 前記ブランケットロールが、ＦＲＰ、カーボンファイバー、又は、樹脂製であって、その表面にゴムが巻回されている、
ことを特徴とする請求項１に記載の塗工装置。 The blanket roll is made of FRP, carbon fiber, or resin, and rubber is wound on the surface thereof.
The coating apparatus according to claim 1. 前記バックアップロールが、ＦＲＰ、カーボンファイバー、又は、樹脂製であって、その表面にメッキが施されている、
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の塗工装置。 The backup roll is made of FRP, carbon fiber, or resin, and the surface thereof is plated.
The coating apparatus according to any one of claims 1 to 4, wherein the coating apparatus is characterized in that 前記第１のブレーキ、前記第２のブレーキ、又は、前記第３のブレーキが、パウダーブレーキ、電磁ブレーキ、マグネットブレーキ、又は、ディスクブレーキである、
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の塗工装置。 The first brake, the second brake, or the third brake is a powder brake, an electromagnetic brake, a magnet brake, or a disc brake,
The coating apparatus according to any one of claims 1 to 5, wherein:
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