JP5574868B2 - Article processing method - Google Patents

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Description

本発明は、例えば、複数の容器の内面にバリア膜を成膜する処理部に当該容器を搬送し処理した後に容器を処理部から排出し、さらに搬送する物品の処理方法に関する。   The present invention relates to, for example, a method for processing an article in which a container is transported to a processing unit that forms a barrier film on the inner surfaces of a plurality of containers, the container is discharged from the processing unit, and further transported.

プラスチック容器等の容器、例えばペットボトルは、外部からの酸素の透過、内部(例えば炭酸飲料水)からの二酸化炭素の透過を防止するためにその内面にバリア膜、例えばDLC(Diamond Like Carbon)のような炭素を主成分とするバリア膜やSiを主成分の一つとするシリカ膜などをコーティングすることが行われている。   A container such as a plastic container, such as a plastic bottle, has a barrier film, for example, DLC (Diamond Like Carbon), on its inner surface to prevent permeation of oxygen from the outside and carbon dioxide from the inside (for example, carbonated drinking water). Coating such as a barrier film containing carbon as a main component or a silica film containing Si as a main component has been performed.

このような容器内面に炭素などのバリア膜をコーティングする装置として、例えば特許文献1〜3に開示されたものが知られている。この装置は、1時間あたりに成膜する容器の本数が15,000本を超えるような大量生産用のロータリ型のものである。バリア膜の成膜は、真空排気が可能なチャンバ内に容器を収容した状態で行われる。この処理装置は、図18に示すように、円周上に例えば30個のチャンバ120が設けられたロータリ型の成膜装置1を備え、容器供給部101から容器(ペットボトル)が供給される。そして、チャンバ開閉部102において開放されたチャンバ120内に容器が挿入され、真空排気部103においてチャンバ120内を真空とし、次いで、放電部104において放電することで容器内にバリア膜が形成され、容器排出部105に向けてバリア膜が形成された容器が排出される、という概略工程を辿る。   As an apparatus for coating a barrier film such as carbon on the inner surface of such a container, for example, those disclosed in Patent Documents 1 to 3 are known. This apparatus is of a rotary type for mass production in which the number of containers for film formation per hour exceeds 15,000. The barrier film is formed in a state where the container is housed in a chamber that can be evacuated. As shown in FIG. 18, this processing apparatus includes a rotary film forming apparatus 1 having, for example, 30 chambers 120 provided on the circumference, and a container (pet bottle) is supplied from a container supply unit 101. . Then, a container is inserted into the chamber 120 opened in the chamber opening / closing unit 102, the chamber 120 is evacuated in the vacuum exhaust unit 103, and then discharged in the discharge unit 104, thereby forming a barrier film in the container, A schematic process is followed in which the container in which the barrier film is formed is discharged toward the container discharge unit 105.

ロータリ型の処理装置は大量生産に向いているが、飲料の製造工場において、単位時間当りに成膜できる数(処理量)の少ない装置の要求もある。しかし、ロータリ型の処理装置はそもそも製造コストが高いので、ロータリ型の処理装置の処理速度を低下させて生産量を抑えることは非現実的な選択である。したがって、製造コストを下げることのできるバッチ式の処理装置を採用することが処理量の少ない装置にとって有効であることが容易に予測される。   Although the rotary type processing apparatus is suitable for mass production, there is also a demand for an apparatus with a small number (processing amount) capable of forming a film per unit time in a beverage manufacturing factory. However, since the rotary type processing apparatus is expensive in the first place, it is an unrealistic choice to reduce the processing speed of the rotary type processing apparatus to reduce the production amount. Therefore, it is easily predicted that adopting a batch type processing apparatus capable of reducing the manufacturing cost is effective for an apparatus having a small amount of processing.

特開2003−286571号公報JP 2003-286571 A 特開2004−27271号公報JP 2004-27271 A 特開2007−113049号公報JP 2007-113049 A

そこで本発明は、バッチ式の処理装置を作製する上で、装置の構成要素を小型化することで製造コストを更に低減できる物品の処理方法を提供することを目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide an article processing method that can further reduce the manufacturing cost by downsizing the components of the apparatus when manufacturing a batch type processing apparatus.

上記目的を達成するために、本発明者はバッチ式の処理装置の動作について検討を行った。例えば、図19に示すように、n個のチャンバ120を直線上に配置する。チャンバ120に対応して多数の容器PBから2n本の容器PBを割り出して、チャンバ120に向けて搬送路130を搬送するものとする(図19(a))。なお、ここでは、一例として2n=6としている。処理される各120チャンバに対応する位置まで容器PBを搬送した後(図19(b))に、容器PBを各チャンバ120に供給し、しかる後にチャンバ120内の真空排気、放電を含む一連のバリア膜の成膜処理を行った後(図20(c))、チャンバ120を開放して容器PBを搬送路130に向けて排出する。排出された容器PBは、一列に整列した状態で次工程に向けて搬送される(図20(d))。   In order to achieve the above object, the present inventor has studied the operation of a batch processing apparatus. For example, as shown in FIG. 19, n chambers 120 are arranged on a straight line. It is assumed that 2n containers PB are indexed from a large number of containers PB corresponding to the chamber 120 and are transported through the transport path 130 toward the chamber 120 (FIG. 19A). Here, as an example, 2n = 6. After the container PB is transported to a position corresponding to each 120 chamber to be processed (FIG. 19B), the container PB is supplied to each chamber 120, and then a series of processes including evacuation and discharge in the chamber 120 are performed. After performing the barrier film formation process (FIG. 20C), the chamber 120 is opened and the container PB is discharged toward the transport path 130. The discharged containers PB are conveyed toward the next process in a state of being aligned in a line (FIG. 20D).

各チャンバ120に対応する位置まで容器PBが搬送された状態から、チャンバ120に供給される動作、成膜の動作、チャンバ120から搬送路130に排出される動作が連続的に行われる(図21参照)。   From the state in which the container PB is transported to the position corresponding to each chamber 120, the operation of supplying to the chamber 120, the operation of forming a film, and the operation of discharging from the chamber 120 to the transport path 130 are continuously performed (FIG. 21). reference).

一連の動作の中で図21から明らかなように、搬送装置、移載装置が停止する時間帯がある。特に成膜に要する時間が比較的長いため、搬送装置、移載装置を停止させる時間も長くなり、装置の効率上この待機の時間帯は無駄といえる。
そこで本発明は、割り出される容器PBの本数をn本(例えば、3本)とするが、チャンバ120は2n本(例えば6本)分用意し、n本の容器PBをn個のチャンバ120で交互に処理することを要旨とする。そして、処理により生じる待機の時間を利用して処理がなされていないチャンバ120に対して容器PBの供給、排出を行う。そうすることで、単位時間当たりに処理する数を維持しながら、移載装置はn本分の構成で足りるので、移載装置を含む搬送装置を小型化することができる。
As is apparent from FIG. 21 in the series of operations, there is a time zone in which the transport device and the transfer device are stopped. In particular, since the time required for film formation is relatively long, the time for stopping the transfer device and the transfer device also becomes long, and it can be said that this waiting time zone is wasted in terms of the efficiency of the device.
Therefore, in the present invention, the number of containers PB to be indexed is n (for example, 3), but 2n (for example, 6) chambers 120 are prepared, and n containers PB are prepared for n chambers 120. The gist is to process alternately. Then, the container PB is supplied to and discharged from the chamber 120 that has not been processed using the standby time generated by the processing. By doing so, since the number of transfer apparatuses is sufficient for the number of transfer apparatuses while maintaining the number to be processed per unit time, the transport apparatus including the transfer apparatuses can be reduced in size.

すなわち本発明の処理方法は、予め定められた数n毎に搬送路上を搬送される被処理物を搬送路に沿って設けられる処理部に連続的に供給し、処理部において被処理物に特定の処理を施し、処理が施された被処理物を搬送路に排出し、搬送路に排出された被処理物を次の処理に向けて移載する、という処理手順を備える。
本発明における処理部は、第1処理部と第2処理部とを備える。第1処理部及び第2処理部は、各々、予め定められた数nに対応する数の処理要素を有する。
本発明は、以上の処理手順を前提として、以下に示す第1処理ステップと第2処理ステップとを交互に繰り返す。
第1処理ステップは、第1処理部において被処理物に処理を施している間に、第2処理部において処理が施された被処理物を搬送路に排出し、かつ、後続の被処理物を第2処理部に供給する。
また、第2処理ステップは、第2処理部において被処理物に処理を施している間に、第1処理部において処理が施された被処理物を搬送路に排出し、かつ、後続の被処理物を第1処理部に供給する。
That is, according to the processing method of the present invention, the object to be processed that is conveyed on the conveyance path every predetermined number n is continuously supplied to the processing unit provided along the conveyance path, and the processing unit specifies the object to be processed. The processing procedure of performing this process, discharging the processed object to the transport path, and transferring the processed object discharged to the transport path to the next process is provided.
The processing unit in the present invention includes a first processing unit and a second processing unit. Each of the first processing unit and the second processing unit has a number of processing elements corresponding to a predetermined number n.
In the present invention, on the premise of the above processing procedure, the following first processing step and second processing step are alternately repeated.
In the first processing step, the processing object processed in the second processing unit is discharged to the transport path while the processing object is processed in the first processing unit, and the subsequent processing object is processed. Is supplied to the second processing unit.
In the second processing step, the processing object processed in the first processing unit is discharged to the transport path while the second processing unit is processing the processing object, and the subsequent processing object is discharged. The processed material is supplied to the first processing unit.

本発明の物品の処理方法、第1処理部と第2処理部が、被処理物が搬送される向きに並んで配置されるのに対応するそのために、被処理物が搬送路で搬送が開始される位置を位置S、第1処理部又は第2処理部から排出された被処理物を次の処理に向けて移載する位置を位置E、位置Sから第1処理部に対応する位置P1までに被処理物が搬送される距離をL11、位置Sから第2処理部に対応する位置P2まで被処理物が搬送される距離をL21、位置P1から位置Eまで被処理物が搬送される距離をL12、位置P2から位置Eまで被処理物が搬送される距離をL22、とする。そしてこの場合、L11=L22及びL12=L21を満足することにより、搬送開始位置Sから第1処理部(又は第2処理部)に対応する位置まで被処理物を搬送するのと同期して、第2処理部(又は第1処理部)から排出された被処理物を移載位置Eまで搬送することができる。 Method of processing articles of the present invention, the second processing unit and the first processing unit corresponds to being arranged in a direction the object to be processed is transported. For this purpose, the position at which the object to be processed is started to be conveyed on the conveying path is set as position S, and the position at which the object to be processed discharged from the first processing unit or the second processing unit is transferred to the next process is set as position E. , L11 is the distance to which the workpiece is transported from position S to position P1 corresponding to the first processing section, and L21 is the distance that the workpiece is transported from position S to position P2 corresponding to the second processing section. The distance that the workpiece is transported from position P1 to position E is L12, and the distance that the workpiece is transported from position P2 to position E is L22. In this case, by satisfying L11 = L22 and L12 = L21, the object to be processed is conveyed from the conveyance start position S to the position corresponding to the first processing unit (or the second processing unit), The object to be processed discharged from the second processing unit (or the first processing unit) can be transported to the transfer position E.

また、本発明の好ましい形態として、以下のように処理することを本願は提案する。
第1処理ステップにおいて、第1処理部において被処理物に処理を施している間に、後続の被処理物を第1処理部に対応する位置まで搬送する。同様に、第2処理ステップにおいて、第2処理部において被処理物に処理を施している間に、後続の被処理物を第2処理部に対応する位置まで搬送する。
このように、後続の被処理物を対応する処理部に供給できる位置まで搬送しておくことで、先行する処理が終わると後続の処理対象となる被処理物を迅速に当該処理部に供給することができる。
Further, the present application proposes processing as follows as a preferred embodiment of the present invention.
In the first processing step, while the first processing unit is processing the processing target, the subsequent processing target is transported to a position corresponding to the first processing unit. Similarly, in the second processing step, while the processing object is being processed in the second processing unit, the subsequent processing object is transported to a position corresponding to the second processing unit.
In this way, by transporting the subsequent processing object to a position where it can be supplied to the corresponding processing unit, when the preceding processing is completed, the processing target as the subsequent processing target is quickly supplied to the processing unit. be able to.

以上の場合、第1処理ステップにおいて、処理が施された被処理物を前記搬送路に排出するのと、後続の被処理物を第2処理部に供給するのを同期して行う。同様に、第2処理ステップにおいて、処理が施された被処理物を搬送路に排出するのと、後続の被処理物を第1処理部に供給するのを、同期して行うことが好ましい。
そうすることで、被処理物の供給及び排出に要する時間を短縮することができる。
In the above case, in the first processing step, the processed object to be processed is discharged to the transport path and the subsequent processed object is supplied to the second processing unit in synchronization. Similarly, in the second processing step, it is preferable that the processed object to be processed is discharged to the transport path and the subsequent processed object is supplied to the first processing unit in a synchronized manner.
By doing so, the time required for supply and discharge of the object to be processed can be shortened.

本発明による処理方法を採用することで、第1処理部において被処理物に処理を施している間は、第1処理部について前述した待機の時間帯が生じるので、第2処理部において被処理物の排出及び供給を行う。また、第2処理部において被処理物に処理を施している間は、第2処理部について前述した待機の時間帯が生じるので、第1処理部において被処理物の排出及び供給を行う。このように、本発明は、待機の時間帯を有効に使うことで、処理される数を維持しながらも、移載装置、つまり搬送装置を小型化することができる。   By adopting the processing method according to the present invention, the waiting time zone described above for the first processing unit occurs while the first processing unit is processing the object to be processed. Discharge and supply goods. In addition, while the second processing unit is processing the workpiece, the waiting time zone described above occurs for the second processing unit, and thus the first processing unit discharges and supplies the workpiece. As described above, according to the present invention, by effectively using the standby time zone, it is possible to reduce the size of the transfer device, that is, the transfer device, while maintaining the number to be processed.

本実施の形態におけるDLC成膜装置(物品処理装置)の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the DLC film-forming apparatus (article processing apparatus) in this Embodiment. 第1群のペットボトルが、第1成膜ユニットに対応する位置まで搬送された状態を示す。The state which the 1st group PET bottle was conveyed to the position corresponding to a 1st film-forming unit is shown. 第1群のペットボトルが、第1成膜ユニットに供給された状態を示す。The state which the PET bottle of the 1st group was supplied to the 1st film-forming unit is shown. 第2群のペットボトルが、第2成膜ユニットに対応する位置まで搬送された状態を示す。The state which the PET bottle of the 2nd group was conveyed to the position corresponding to a 2nd film-forming unit is shown. 第2群のペットボトルが第2成膜ユニットに供給された後に、第3群のペットボトルが第1成膜ユニットに対応する位置まで搬送された状態を示す。After the second group of PET bottles is supplied to the second film forming unit, the third group of PET bottles is conveyed to a position corresponding to the first film forming unit. 第1群のペットボトルが第1成膜ユニットから排出されるとともに、第3群のペットボトルが第1成膜ユニットに供給された状態を示す。A state is shown in which the first group of PET bottles is discharged from the first film forming unit and the third group of PET bottles is supplied to the first film forming unit. 第1群のペットボトルがエアクリーナに向けて搬送されるとともに、第4群のペットボトルが第2成膜ユニットに対応する位置まで搬送された状態を示す。A state is shown in which the first group of PET bottles is conveyed toward the air cleaner and the fourth group of PET bottles is conveyed to a position corresponding to the second film forming unit. 第2群のペットボトルが第2成膜ユニットから排出されるとともに、第4群のペットボトルが第2成膜ユニットに供給された状態を示す。The second group of PET bottles is discharged from the second film forming unit, and the fourth group of PET bottles is supplied to the second film forming unit. 第2群のペットボトルがエアクリーナに向けて搬送されるとともに、第5群のペットボトルが第1成膜ユニットに対応する位置まで搬送された状態を示す。The second group of PET bottles is conveyed toward the air cleaner, and the fifth group of PET bottles is conveyed to a position corresponding to the first film forming unit. 第3群のペットボトルが第1成膜ユニットから排出されるとともに、第5群のペットボトルが第1成膜ユニットに供給された状態を示す。The third group of PET bottles is discharged from the first film forming unit, and the fifth group of PET bottles is supplied to the first film forming unit. 第3群のペットボトルがエアクリーナに向けて搬送されるとともに、第6群のペットボトルが第2成膜ユニットに対応する位置まで搬送された状態を示す。A state is shown in which the third group of PET bottles is conveyed toward the air cleaner and the sixth group of PET bottles is conveyed to a position corresponding to the second film forming unit. 第4群のペットボトルが第2成膜ユニットから排出されるとともに、第6群のペットボトルが第2成膜ユニットに供給された状態を示す。The fourth group of PET bottles is discharged from the second film forming unit, and the sixth group of PET bottles is supplied to the second film forming unit. 第4群のペットボトルがエアクリーナに向けて搬送されるとともに、第7群のペットボトルが第1成膜ユニットに対応する位置まで搬送された状態を示す。A state is shown in which the fourth group of PET bottles is conveyed toward the air cleaner and the seventh group of PET bottles is conveyed to a position corresponding to the first film forming unit. 第1成膜ユニット、第2成膜ユニット、搬送機構及びボトル供給・排出装置が各々動作する期間を時系列に対比して示すタイミングチャートである。It is a timing chart which shows the period when each of the 1st film-forming unit, the 2nd film-forming unit, the conveyance mechanism, and the bottle supply / discharge device operates in time series. ペットボトルの搬送開始位置Sから移載位置Eまでの距離の関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship of the distance from the conveyance start position S of a plastic bottle to the transfer position E. 図15とは異なる形態を示すタイミングチャートである。16 is a timing chart showing a form different from FIG. 第1成膜ユニット及び第2成膜ユニットと搬送路の位置関係が相違する形態を示す図である。It is a figure which shows the form from which the positional relationship of a conveyance path differs from a 1st film-forming unit and a 2nd film-forming unit. 従来のロータリ型の成膜装置の構成を示す。The structure of the conventional rotary type | mold film-forming apparatus is shown. バッチ式の成膜装置における、第1成膜ユニット及び第2成膜ユニットに対するペットボトルの供給・成膜・排出の動作を示す図である。It is a figure which shows the operation | movement of supply of a plastic bottle, film-forming, and discharge | emission with respect to the 1st film-forming unit and the 2nd film-forming unit in a batch-type film-forming apparatus. バッチ式の成膜装置における、第1成膜ユニット及び第2成膜ユニットに対するペットボトルの供給・成膜・排出の動作を示す図であり、図19に続く処理を示す。FIG. 20 is a diagram illustrating operations of supplying, film forming, and discharging PET bottles with respect to the first film forming unit and the second film forming unit in the batch type film forming apparatus, and shows processing subsequent to FIG. 19. バッチ式の成膜装置における、第1成膜ユニット及び第2成膜ユニットの動作状態と、搬送装置の動作状態とを対比して示す図である。It is a figure which compares and shows the operation state of the 1st film-forming unit and the 2nd film-forming unit, and the operation state of a conveying apparatus in a batch type film-forming apparatus.

以下、ペットボトルの内面にDLC膜を成膜する装置に本発明を適用した例について説明する。
図1に示される本実施の形態に係るDLC成膜装置10は、以下のように動作することで、ペットボトル(被処理物)PBの内面にDLC膜を成膜する。
供給コンベア20から供給されるペットボトルPBは、拡幅移載装置30により搬送機構(搬送路)40へ移載される。
搬送機構40へ移載されたペットボトルPBは、成膜部(処理部)50に向けて搬送機構40により搬送される。
所定位置まで搬送されたペットボトルPBは、ボトル供給・排出装置60により、搬送機構40から成膜部50に供給される。
成膜部50に供給されたペットボトルPBは、成膜部50に保持されながら内面にDLC膜が形成される。
DLC膜が形成されたペットボトルPBは、ボトル供給・排出装置60により、成膜部50から搬送機構40に排出される。
搬送機構40に排出されたペットボトルPBは、第1反転移載装置70まで、搬送機構40により搬送される。
ペットボトルPBは、第1反転移載装置70により、搬送機構40から排出されるとともに次の処理が行われるエアクリーナ80に供給される。ペットボトルPBは、エアクリーナ80において内部にエアが吹き付けられることで、内部の洗浄が行われる。
内部の洗浄が終わったペットボトルPBは、第2反転移載装置90によりエアクリーナ80から排出されるとともに排出コンベア100に移載され、さらに排出コンベア100により次工程へ搬送される。
DLC成膜装置10は、以上の動作を司る制御部110を備えている。
Hereinafter, an example in which the present invention is applied to an apparatus for forming a DLC film on the inner surface of a PET bottle will be described.
The DLC film forming apparatus 10 according to the present embodiment shown in FIG. 1 operates as follows to form a DLC film on the inner surface of a PET bottle (object to be processed) PB.
The PET bottle PB supplied from the supply conveyor 20 is transferred to the transfer mechanism (transport path) 40 by the widening transfer device 30.
The PET bottle PB transferred to the transport mechanism 40 is transported by the transport mechanism 40 toward the film forming unit (processing unit) 50.
The PET bottle PB transported to a predetermined position is supplied from the transport mechanism 40 to the film forming unit 50 by the bottle supply / discharge device 60.
The PET bottle PB supplied to the film forming unit 50 has a DLC film formed on the inner surface while being held by the film forming unit 50.
The PET bottle PB on which the DLC film is formed is discharged from the film forming unit 50 to the transport mechanism 40 by the bottle supply / discharge device 60.
The plastic bottle PB discharged to the transport mechanism 40 is transported by the transport mechanism 40 to the first reverse transfer device 70.
The PET bottle PB is discharged from the transport mechanism 40 by the first reverse transfer device 70 and supplied to the air cleaner 80 where the next processing is performed. The inside of the PET bottle PB is cleaned by blowing air inside the air cleaner 80.
The PET bottle PB that has been cleaned inside is discharged from the air cleaner 80 by the second reverse transfer device 90, transferred to the discharge conveyor 100, and further conveyed to the next process by the discharge conveyor 100.
The DLC film forming apparatus 10 includes a control unit 110 that performs the above operations.

以下、各要素について説明する。
[供給コンベア20]
供給コンベア20の上流側には多数のペットボトルPBが保持され、供給コンベア20はそこからペットボトルPBを連続的に搬送する。供給コンベア20は、搬送されるペットボトルPBから、一度のバッチ処理の対象となる本数のペットボトルPBを割り出す。本実施形態では、3本を一度のバッチ処理の対象としており、供給コンベア20は、3本のペットボトルPBを割り出すためのストッパ21,22等からなる割り出し機構を備えている。3本のペットボトルPBは、図1に示すように、互いに接触した状態で割り出される。
なお、図1において、ペットボトルPBの中に示される数字(1,2…)は、DLC膜が形成されるバッチ処理の順番を示している。つまり、1が付されたペットボトルPBは成膜部50において一番始めに成膜処理が施され、2が付されたペットボトルPBは成膜部50において二番目に成膜処理がなされる。以下、n番目に成膜処理されるペットボトルPBを、第n群のペットボトルPBと呼ぶことにする。
Hereinafter, each element will be described.
[Supply conveyor 20]
A number of PET bottles PB are held on the upstream side of the supply conveyor 20, and the supply conveyor 20 continuously conveys the PET bottles PB therefrom. The supply conveyor 20 determines the number of PET bottles PB to be batch processed once from the transported PET bottles PB. In the present embodiment, three bottles are targets for batch processing, and the supply conveyor 20 includes an indexing mechanism including stoppers 21 and 22 for indexing three PET bottles PB. As shown in FIG. 1, the three plastic bottles PB are indexed while being in contact with each other.
In FIG. 1, numerals (1, 2,...) Shown in the PET bottle PB indicate the order of batch processing in which a DLC film is formed. That is, the PET bottle PB marked with 1 is first subjected to the film forming process in the film forming unit 50, and the PET bottle PB marked with 2 is subjected to the film forming process second in the film forming unit 50. . Hereinafter, the n-th PET bottle PB subjected to the film forming process is referred to as an n-th group PET bottle PB.

[拡幅移載装置30]
拡幅移載装置30は、供給コンベア20で割り出された(3本の)ペットボトルPBを、搬送機構40に移載する。
拡幅移載装置30は、ペットボトルPBを把持する3つのグリッパ31を備えている。拡幅移載装置30は、グリッパ31を、ペットボトルPBが供給コンベア20又は搬送機構40により搬送される方向に対して直交する方向に往復移動させる機構を備えている。また、拡幅移載装置30は、グリッパ31同士の間隔を広げ又は縮める機構を備えている。なお、これらの機構は図示を省略している。
[Widening transfer device 30]
The widening transfer device 30 transfers (three) PET bottles PB indexed by the supply conveyor 20 to the transport mechanism 40.
The widening transfer device 30 includes three grippers 31 that hold the plastic bottle PB. The widening transfer device 30 includes a mechanism for reciprocating the gripper 31 in a direction orthogonal to the direction in which the PET bottle PB is transported by the supply conveyor 20 or the transport mechanism 40. Further, the widening transfer device 30 includes a mechanism for widening or shrinking the interval between the grippers 31. Note that these mechanisms are not shown.

拡幅移載装置30は、供給コンベア20で割り出された3本のペットボトルPBをグリッパ31で掴む。このとき、3本のペットボトルPBが互いに接触しているのに対応して、グリッパ31は間隔が縮められている。ペットボトルPBを把持しているグリッパ31は、搬送機構40に向けて前進する。3本のペットボトルPBが互いに接触したままでは、成膜チャンバ511、512に挿入することができないので、搬送機構40に向けて前進する過程で、グリッパ31の間隔が広げられる。ペットボトルPBは広げられた間隔で、拡幅移載装置30のグリッパ31から、搬送機構40の第1グリッパユニット41を構成する各グリッパ411に移載される。拡幅移載装置30のグリッパ31は、ペットボトルPBを搬送機構40に渡した後、供給コンベア20で割り出された後続のペットボトルPBを把持する位置に後退する。
拡幅移載装置30は、以上の動作を繰り返すことで、供給コンベア20で割り出された第1群〜第n群のペットボトルPBを、順番に3本ずつ搬送機構40に移載する。
The widening transfer device 30 grips the three PET bottles PB indexed by the supply conveyor 20 with the gripper 31. At this time, the gap of the gripper 31 is reduced in correspondence with the three PET bottles PB being in contact with each other. The gripper 31 holding the plastic bottle PB advances toward the transport mechanism 40. If the three PET bottles PB are kept in contact with each other, they cannot be inserted into the film forming chambers 511 and 512, so that the gap between the grippers 31 is widened in the process of moving forward toward the transport mechanism 40. The PET bottle PB is transferred from the gripper 31 of the widening transfer device 30 to each gripper 411 constituting the first gripper unit 41 of the transport mechanism 40 at an extended interval. The gripper 31 of the widening transfer device 30 moves the PET bottle PB to the transport mechanism 40 and then moves back to a position where the subsequent PET bottle PB indexed by the supply conveyor 20 is gripped.
The widening transfer device 30 repeats the above operation to transfer the first group to the nth group of PET bottles PB determined by the supply conveyor 20 to the transport mechanism 40 in order of three.

[搬送機構40]
搬送機構40は、拡幅移載装置30から移載されたペットボトルPBを成膜部50まで搬送し、また、搬送機構40に排出されたDLC膜が形成されペットボトルPBを第1反転移載装置70まで搬送する。
搬送機構40は、ペットボトルPBを把持する第1グリッパユニット41、第2グリッパユニット42、第3グリッパユニット43及び第4グリッパユニット44を備えている。これらグリッパユニットは、各々独立してペットボトルPBを把持することができる。なお、以下では、第1グリッパユニット41、第2グリッパユニット42、第3グリッパユニット43及び第4グリッパユニット44を総称する場合には、グリッパユニット41〜44と表記する。
グリッパユニット41〜44は、各々、グリッパ411、421、431、441を3つずつ備えている。
[Conveying mechanism 40]
The transport mechanism 40 transports the PET bottle PB transferred from the widening transfer device 30 to the film forming unit 50, and the DLC film discharged to the transport mechanism 40 is formed and the PET bottle PB is transferred to the first reverse transfer. Transport to device 70.
The transport mechanism 40 includes a first gripper unit 41, a second gripper unit 42, a third gripper unit 43, and a fourth gripper unit 44 that hold the PET bottle PB. Each of these gripper units can grip the plastic bottle PB independently. In the following, the first gripper unit 41, the second gripper unit 42, the third gripper unit 43, and the fourth gripper unit 44 are collectively referred to as gripper units 41 to 44.
Each of the gripper units 41 to 44 includes three grippers 411, 421, 431, and 441.

搬送機構40は、グリッパユニット41〜44をペットボトルPBの搬送路に沿って移動させる移動機構を備えている。この移動機構は、所定の間隔を空けて配置される駆動プーリ45及び従動プーリ46と、駆動プーリ45及び従動プーリ46に掛け回されているエンドレスな作動ベルト47と、を備えている。図示を省略するアクチュエータにより駆動プーリ45を回転させることで、ループ状の作動ベルト47を走行させることができる。   The transport mechanism 40 includes a moving mechanism that moves the gripper units 41 to 44 along the transport path of the plastic bottle PB. The moving mechanism includes a driving pulley 45 and a driven pulley 46 that are arranged at a predetermined interval, and an endless operating belt 47 that is wound around the driving pulley 45 and the driven pulley 46. By rotating the driving pulley 45 by an actuator (not shown), the loop-shaped operating belt 47 can be run.

グリッパユニット41〜44は、把持部分が外側を向くように、作動ベルト47に固定されている。したがって、駆動プーリ45を回転させると、グリッパユニット41〜44は、作動ベルト47と同期して移動する。グリッパユニット41〜44が、供給コンベア20と後述する成膜部50に対して平行に走行できるように、駆動プーリ45と従動プーリ46の間隔が空けて配置されている。   The gripper units 41 to 44 are fixed to the operating belt 47 so that the gripping portion faces the outside. Therefore, when the drive pulley 45 is rotated, the gripper units 41 to 44 move in synchronization with the operation belt 47. The driving pulley 45 and the driven pulley 46 are spaced from each other so that the gripper units 41 to 44 can run in parallel to the supply conveyor 20 and a film forming unit 50 described later.

第1グリッパユニット41と第4グリッパユニット44の距離、及び、第2グリッパユニット42と第3グリッパユニット43の距離がL11(=L22)になるように作動ベルト47に固定される。また、第1グリッパユニット41と第2グリッパユニット42の距離、及び、第3グリッパユニット43と第4グリッパユニット44の距離がL12(=L21)になるように作動ベルト47に固定される。このようにグリッパユニット41〜44の間隔を設定している理由については、後述する。   The distance between the first gripper unit 41 and the fourth gripper unit 44 and the distance between the second gripper unit 42 and the third gripper unit 43 are fixed to the operating belt 47 so as to be L11 (= L22). The distance between the first gripper unit 41 and the second gripper unit 42 and the distance between the third gripper unit 43 and the fourth gripper unit 44 are fixed to the operating belt 47 so as to be L12 (= L21). The reason why the distance between the gripper units 41 to 44 is set will be described later.

[成膜部50]
ペットボトルPBにDLC膜を形成する成膜部50は、第1成膜ユニット(第1処理部)51と、第2成膜ユニット(第2処理部)52と、を備えている。
第1成膜ユニット51と第2成膜ユニット52は、基本的には同じ構成を有しており、第1成膜ユニット51は3つの成膜チャンバ(処理要素)511を備え、第2成膜ユニット52は3つの成膜チャンバ(処理要素)521を備えている。ペットボトルPBは、これらチャンバの中に収容された状態でDLC膜が形成される。
また、第1成膜ユニット51と第2成膜ユニット52は、搬送機構40の作動ベルト47の走行方向、つまりペットボトルPBが搬送される方向に平行に並んで配置されている。この配置を、以下、直列に配置されている、と言うことがある。ペットボトルPBは、n群毎に、第1成膜ユニット51と第2成膜ユニット52に交互に供給され、交互にDLC膜が形成される。
[Deposition unit 50]
The film forming unit 50 that forms a DLC film on the PET bottle PB includes a first film forming unit (first processing unit) 51 and a second film forming unit (second processing unit) 52.
The first film forming unit 51 and the second film forming unit 52 basically have the same configuration, and the first film forming unit 51 includes three film forming chambers (processing elements) 511, and the second film forming unit 51 has the second structure. The film unit 52 includes three film forming chambers (processing elements) 521. The DLC film is formed in the PET bottle PB while being accommodated in these chambers.
Further, the first film forming unit 51 and the second film forming unit 52 are arranged in parallel to the traveling direction of the operating belt 47 of the transport mechanism 40, that is, the direction in which the PET bottle PB is transported. Hereinafter, this arrangement may be referred to as being arranged in series. The PET bottles PB are alternately supplied to the first film forming unit 51 and the second film forming unit 52 every n groups, and a DLC film is alternately formed.

成膜部50は、ペットボトルPBが成膜チャンバ511、521に収容された時にペットボトルPBを取り囲む外部電極、外部電極内のペットボトルPBに排気管側から挿入され、接地側に接続される内部電極、内部電極に媒質ガスを供給するためのガス供給手段、外部電極に接続される高周波電源、等を備えているが、これらの構成は特許文献1〜3に記載されているように周知であるため、ここでの説明は省略する。なお、DLC膜の形成は、概略、以下の手順で行われる。
(1)チャンバ(外部電極)内にペットボトルPBを装填する。
(2)チャンバ内を真空引きする。
(3)ペットボトルPB内部に膜の原料となるアセチレンガスを供給する。
(4)高周波のRF(Radio Frequency:13.56MHz)電力にてアセチレンガスをプラズマ化しペットボトルPB内面に10〜30nmの薄膜(DLC膜)を蒸着する。
(5)チャンバを大気開放した後、ペットボトルPBを取り出す。
The film forming unit 50 is inserted from the exhaust pipe side into the external electrode surrounding the PET bottle PB when the PET bottle PB is accommodated in the film forming chambers 511 and 521, and the PET bottle PB in the external electrode, and is connected to the ground side. An internal electrode, gas supply means for supplying a medium gas to the internal electrode, a high-frequency power source connected to the external electrode, and the like are provided. These configurations are well known as described in Patent Documents 1 to 3. Therefore, the description here is omitted. The formation of the DLC film is generally performed by the following procedure.
(1) The plastic bottle PB is loaded into the chamber (external electrode).
(2) The inside of the chamber is evacuated.
(3) Acetylene gas which is a raw material for the film is supplied into the PET bottle PB.
(4) Acetylene gas is turned into plasma with high frequency RF (Radio Frequency: 13.56 MHz) power, and a 10 to 30 nm thin film (DLC film) is deposited on the inner surface of the PET bottle PB.
(5) After opening the chamber to the atmosphere, the plastic bottle PB is taken out.

[ボトル供給・排出装置60]
ボトル供給・排出装置60は、搬送機構40のグリッパユニット41〜44から受け取ったペットボトルPBを成膜部50に供給する。また、ボトル供給・排出装置60は、成膜部50から受け取ったDLC膜が形成されたペットボトルPBを搬送機構40に排出する。
ボトル供給・排出装置60は、ペットボトルPBを把持する第1グリッパユニット61と、第2グリッパユニット62と、を備え、第1グリッパユニット61は3つのグリッパ611を備え、第2グリッパユニット62は3つのグリッパ621を備えている。第1グリッパユニット61と第2グリッパユニット62は、互いに線対称の位置に配置されている。
[Bottle supply / discharge device 60]
The bottle supply / discharge device 60 supplies the plastic bottle PB received from the gripper units 41 to 44 of the transport mechanism 40 to the film forming unit 50. The bottle supply / discharge device 60 discharges the PET bottle PB on which the DLC film received from the film forming unit 50 is formed, to the transport mechanism 40.
The bottle supply / discharge device 60 includes a first gripper unit 61 and a second gripper unit 62 that hold the plastic bottle PB. The first gripper unit 61 includes three grippers 611, and the second gripper unit 62 includes Three grippers 621 are provided. The first gripper unit 61 and the second gripper unit 62 are arranged at positions symmetrical with each other.

ボトル供給・排出装置60は、基部63を備えており、さらに基部63から図中左右に延びる横アーム64と、横アーム64に直交する3本の縦アーム65とを備えている。縦アーム65は、軸方向に伸縮可能とされており、その先端にグリッパ611、621が取付けられている。
基部63は、図中の矢印の向きに180°ずつ間欠的に回転(反転)可能であるとともに、搬送機構40によるペットボトルPBの搬送方向に往復移動が可能とされている。この往復移動は、第1成膜ユニット51に対応する位置(図1の実線)と、第2成膜ユニット52に対応する位置(図1の一点鎖線)との間で行われる。
The bottle supply / discharge device 60 includes a base 63, and further includes a horizontal arm 64 extending from the base 63 to the left and right in the drawing, and three vertical arms 65 orthogonal to the horizontal arm 64. The vertical arm 65 can be expanded and contracted in the axial direction, and grippers 611 and 621 are attached to the tips thereof.
The base 63 can be rotated (reversed) intermittently by 180 ° in the direction of the arrow in the figure, and can be reciprocated in the transport direction of the plastic bottle PB by the transport mechanism 40. This reciprocation is performed between a position corresponding to the first film forming unit 51 (solid line in FIG. 1) and a position corresponding to the second film forming unit 52 (dotted line in FIG. 1).

以上のように構成されたボトル供給・排出装置60は、第2グリッパユニット62が第1成膜ユニット51に対向し、第1グリッパユニット61が搬送機構40に対向している図1の場合、以下のように動作する。
第1成膜ユニット51に対してペットボトルPBを供給し、また、第1成膜ユニット51からペットボトルPBを受け取るときには、グリッパ621が第1成膜ユニット51の成膜チャンバ511に到達するように縦アーム65を伸張させる。また、搬送機構40からペットボトルPBを受け取り、また、成膜処理を終えたペットボトルPBを搬送機構40に渡すときには、グリッパ611が搬送機構40に到達するように縦アーム65を伸張させる。
また、第2グリッパユニット62で成膜処理を終えたペットボトルPBを把持し、第1グリッパユニット61でこれから成膜処理を行うペットボトルPBを把持した場合には、基部63を反転させることにより、第1グリッパユニット61を第1成膜ユニット51に対向させ、第2グリッパユニット62を搬送機構40に対向させる。
第2成膜ユニット52に対してペットボトルPBの授受を行う場合、ボトル供給・排出装置60を第2成膜ユニット52に対応する位置に移動させる。
In the bottle supply / discharge device 60 configured as described above, the second gripper unit 62 faces the first film forming unit 51 and the first gripper unit 61 faces the transport mechanism 40 in the case of FIG. It operates as follows.
When the PET bottle PB is supplied to the first film forming unit 51 and the PET bottle PB is received from the first film forming unit 51, the gripper 621 may reach the film forming chamber 511 of the first film forming unit 51. The vertical arm 65 is extended. In addition, when the plastic bottle PB is received from the transport mechanism 40 and the PET bottle PB after the film forming process is passed to the transport mechanism 40, the vertical arm 65 is extended so that the gripper 611 reaches the transport mechanism 40.
In addition, when the second gripper unit 62 grips the plastic bottle PB that has completed the film forming process, and the first gripper unit 61 grips the plastic bottle PB that will perform the film forming process, the base 63 is reversed. The first gripper unit 61 is opposed to the first film forming unit 51, and the second gripper unit 62 is opposed to the transport mechanism 40.
When transferring the plastic bottle PB to the second film forming unit 52, the bottle supply / discharge device 60 is moved to a position corresponding to the second film forming unit 52.

ボトル供給・排出装置60は、第1グリッパユニット61と第2グリッパユニット62を備え、かつ反転するので、第1成膜ユニット51(又は第2成膜ユニット52)へのペットボトルPBの供給及び搬送機構40へのペットボトルPBの排出を同期して行うことができる。したがって、ペットボトルPBの供給、排出の時間を短縮できる。ただし、このことは本発明を限定する要素ではなく、単一のグリッパユニットを備える形態をも本願発明は包含する。   Since the bottle supply / discharge device 60 includes the first gripper unit 61 and the second gripper unit 62 and is reversed, the bottle supply / discharge device 60 supplies the PET bottle PB to the first film formation unit 51 (or the second film formation unit 52) and The discharge of the plastic bottle PB to the transport mechanism 40 can be performed synchronously. Therefore, the time for supplying and discharging the PET bottle PB can be shortened. However, this is not an element that limits the present invention, and the present invention includes a form having a single gripper unit.

[第1反転移載装置70]
第1反転移載装置70は、DLC膜の成膜処理が終えたペットボトルPBを、搬送機構40から次工程を行うエアクリーナ80に移載する。
第1反転移載装置70は、ペットボトルPBを把持する3つのグリッパ71を備えている。
第1反転移載装置70は、また、基部74と、基部74から延びるアーム75を備えている。アーム75は、軸方向に伸縮可能とされており、その先端にグリッパ71が取付けられている。また、グリッパ71は、相互の間隔が広がり又は縮まるように、アーム75に取付けられている。
[First reverse transfer device 70]
The first reverse transfer device 70 transfers the PET bottle PB after the DLC film forming process is transferred from the transport mechanism 40 to the air cleaner 80 that performs the next process.
The first reverse transfer device 70 includes three grippers 71 that hold the plastic bottle PB.
The first reverse transfer device 70 also includes a base 74 and an arm 75 extending from the base 74. The arm 75 can be expanded and contracted in the axial direction, and a gripper 71 is attached to the tip thereof. The gripper 71 is attached to the arm 75 so that the interval between the grippers 71 increases or decreases.

第1反転移載装置70は、搬送機構40からペットボトルPBを受け取るとき、グリッパ71が搬送機構40のいずれかのグリッパユニット41〜44に届くようにアーム75を伸ばす。このとき、グリッパ71の間隔は広げられている。グリッパ71がペットボトルPBを把持すると、アーム75を縮まる。そして、基部74が時計回りに90°回転することで、グリッパ71をエアクリーナ80に向ける。続いて、アーム75を伸ばしてペットボトルPBをエアクリーナ80に渡せる位置まで移動させる。   When receiving the plastic bottle PB from the transport mechanism 40, the first reverse transfer device 70 extends the arm 75 so that the gripper 71 reaches one of the gripper units 41 to 44 of the transport mechanism 40. At this time, the gap between the grippers 71 is widened. When the gripper 71 grips the plastic bottle PB, the arm 75 is contracted. Then, the gripper 71 is directed to the air cleaner 80 by the base portion 74 being rotated 90 ° clockwise. Subsequently, the arm 75 is extended and moved to a position where the plastic bottle PB can be passed to the air cleaner 80.

[エアクリーナ80]
エアクリーナ80は、DLC膜が形成されたペットボトルPBの内面に空気(エア)を吹き付けることで、付着している異物、主に炭素化合物を除去する。
エアクリーナ80は、ボトル受け入れステージ81と、第1洗浄ステージ82と、第2洗浄ステージ83と、ボトル排出ステージ84と、を備えている。ボトル受け入れステージ81において、第1反転移載装置70からペットボトルPBを受け取る。また、ボトル排出ステージ84において、洗浄が終了したペットボトルPBを排出コンベア100に渡す。
エアクリーナ80は、異物除去の完全性を期すために、洗浄を第1洗浄ステージ82と第2洗浄ステージ83の2段階で行う。各々の洗浄の仕方は任意であって、同内容の洗浄を繰り返してもよいし、異なる内容の洗浄を行ってもよい。もちろん、洗浄を一段階とすることを本発明は許容する。
[Air cleaner 80]
The air cleaner 80 removes adhering foreign matters, mainly carbon compounds, by blowing air (air) onto the inner surface of the PET bottle PB on which the DLC film is formed.
The air cleaner 80 includes a bottle receiving stage 81, a first cleaning stage 82, a second cleaning stage 83, and a bottle discharge stage 84. In the bottle receiving stage 81, the plastic bottle PB is received from the first reverse transfer device 70. Further, at the bottle discharge stage 84, the PET bottle PB that has been cleaned is transferred to the discharge conveyor 100.
The air cleaner 80 performs cleaning in two stages of a first cleaning stage 82 and a second cleaning stage 83 in order to ensure the completeness of removing foreign substances. Each cleaning method is arbitrary, and cleaning with the same content may be repeated or cleaning with different content may be performed. Of course, the present invention allows the cleaning to be one step.

以上の洗浄動作を行うエアクリーナ80は、第1グリッパユニット85、第2グリッパユニット86、第3グリッパユニット87及び第4グリッパユニット88を備えている。これらグリッパユニットは、各々独立してペットボトルPBを把持することができる。なお、以下では、第1グリッパユニット85、第2グリッパユニット86、第3グリッパユニット87及び第4グリッパユニット88を総称する場合には、グリッパユニット85〜88と表記する。
グリッパユニット85〜88は、各々、グリッパ851、861、871、881を3つずつ備えている。
The air cleaner 80 that performs the above cleaning operation includes a first gripper unit 85, a second gripper unit 86, a third gripper unit 87, and a fourth gripper unit 88. Each of these gripper units can grip the plastic bottle PB independently. In the following description, the first gripper unit 85, the second gripper unit 86, the third gripper unit 87, and the fourth gripper unit 88 are collectively referred to as gripper units 85 to 88.
Each of the gripper units 85 to 88 includes three grippers 851, 861, 871, and 881.

エアクリーナ80は、基部89を備えている。基部89は、平面視した形状が矩形をなしており、各辺にグリッパユニット85〜88がそれぞれ設けられている。基部89は、図中の矢印の向きに、90°ずつ間欠的に回転可能とされている。この回転が止まる位置に、グリッパユニット85〜88が、ボトル受け取りステージ81、第1洗浄ステージ82、第2洗浄ステージ83及びボトル排出ステージ84が配置されている。したがって、基部89が間欠的に回転するのにともなって、例えば、グリッパユニット85は、ボトル受け取りステージ81、第1洗浄ステージ82、第2洗浄ステージ83及びボトル排出ステージ84の順に訪れることになる。
エアクリーナ80は、ボトル受け取りステージ81、第1洗浄ステージ82、第2洗浄ステージ83及びボトル排出ステージ84を、矩形の各辺に沿って配置している。したがって、これらステージを直線上に配置するのにくらべて、DLC成膜装置10に占めるエアクリーナ80のスペースを小さくできる。
The air cleaner 80 includes a base 89. The base 89 has a rectangular shape in plan view, and is provided with gripper units 85 to 88 on each side. The base 89 can be rotated intermittently by 90 ° in the direction of the arrow in the figure. The gripper units 85 to 88 are arranged with the bottle receiving stage 81, the first cleaning stage 82, the second cleaning stage 83, and the bottle discharge stage 84 at positions where the rotation stops. Therefore, as the base 89 rotates intermittently, for example, the gripper unit 85 comes in the order of the bottle receiving stage 81, the first cleaning stage 82, the second cleaning stage 83, and the bottle discharge stage 84.
In the air cleaner 80, a bottle receiving stage 81, a first cleaning stage 82, a second cleaning stage 83, and a bottle discharge stage 84 are arranged along each side of the rectangle. Therefore, the space of the air cleaner 80 occupying the DLC film forming apparatus 10 can be made smaller than arranging these stages on a straight line.

[第2反転移載装置90]
第2反転移載装置90は、エアクリーナ80により処理が終了したペットボトルPBを、エアクリーナ80から排出コンベア100へ移載する。
第2反転移載装置90は、平行移動をしないことを除くと、ボトル供給・排出装置60と同様の動作をする装置であり、互いに線対称の位置に配置される第1グリッパユニット91と第2グリッパユニット92を備えている。第1グリッパユニット91は3つのグリッパ911を備え、第2グリッパユニット92は3つのグリッパ921を備えている。
第1グリッパユニット91及び第2グリッパユニット92が基部93は、図中の矢印の向きに180°ずつ間欠的に回転可能とされている。第1グリッパユニット91及び第2グリッパユニット92は基部93に対して進退可能に取付けられており、エアクリーナ80からペットボトルPBを受け取るとき、または、排出コンベア100にペットボトルPBを渡すときに、授受が可能な位置まで第1グリッパユニット91及び第2グリッパユニット92が移動する。
[Second reverse transfer device 90]
The second reverse transfer device 90 transfers the plastic bottle PB that has been processed by the air cleaner 80 from the air cleaner 80 to the discharge conveyor 100.
The second reverse transfer device 90 is a device that operates in the same manner as the bottle supply / discharge device 60 except that it does not move in parallel, and the first reverse gripper unit 91 and the first gripper unit 91 that are arranged in line-symmetric positions. A two-gripper unit 92 is provided. The first gripper unit 91 includes three grippers 911, and the second gripper unit 92 includes three grippers 921.
The base 93 of the first gripper unit 91 and the second gripper unit 92 can be rotated intermittently by 180 ° in the direction of the arrow in the figure. The first gripper unit 91 and the second gripper unit 92 are attached to the base 93 so as to be able to advance and retreat. When receiving the plastic bottle PB from the air cleaner 80 or when passing the plastic bottle PB to the discharge conveyor 100, the first gripper unit 91 and the second gripper unit 92 are exchanged. The first gripper unit 91 and the second gripper unit 92 are moved to a position where the movement is possible.

[排出コンベア100]
排出コンベア100は、第2反転移載装置90から受け取ったペットボトルPBを、次工程に向けて搬送する。
[Discharge conveyor 100]
The discharge conveyor 100 conveys the plastic bottle PB received from the second reverse transfer device 90 toward the next process.

[ペットボトルPBの処理手順]
以下、供給コンベア20から供給されるペットボトルPBにDLC膜を形成した後に排出コンベア100に排出されるまでの処理手順を図2〜図13を参照して説明する。この処理手順は、制御部110からの指示にしたがって実行される。なお、成膜部50(第1成膜ユニット51、第2成膜ユニット52を除く)等の一部の記載を図2〜図13では省略している。
図1の状態から搬送が進み、第1成膜ユニット51に対応する位置まで第1群のペットボトルPBが搬送されたものとする(図2参照)。第1群のペットボトルPBは、第1成膜ユニット51に対応する位置に停止している第1グリッパユニット41から、ボトル供給・排出装置60の第1グリッパユニット61に渡される。このとき、第2群のペットボトルPBは、第2グリッパユニット42に把持されており、さらに後続の3本の第3群のペットボトルPBは、供給コンベア20上で割り出されている。
[Plastic bottle PB processing procedure]
Hereinafter, the processing procedure from the formation of the DLC film on the PET bottle PB supplied from the supply conveyor 20 to the discharge to the discharge conveyor 100 will be described with reference to FIGS. This processing procedure is executed in accordance with an instruction from the control unit 110. Note that some descriptions of the film forming unit 50 (excluding the first film forming unit 51 and the second film forming unit 52) are omitted in FIGS.
It is assumed that the conveyance proceeds from the state of FIG. 1 and the first group of PET bottles PB has been conveyed to a position corresponding to the first film forming unit 51 (see FIG. 2). The first group of PET bottles PB is transferred from the first gripper unit 41 stopped at a position corresponding to the first film forming unit 51 to the first gripper unit 61 of the bottle supply / discharge device 60. At this time, the second group of PET bottles PB is held by the second gripper unit 42, and the subsequent three third group of PET bottles PB are indexed on the supply conveyor 20.

第1群のペットボトルPBを第1グリッパユニット61が受け取ると、ボトル供給・排出装置60は時計回りに180°回転して停止する。次いで、ボトル供給・排出装置60は、第1グリッパユニット61を第1成膜ユニット51に向けて移動させてから、第1群のペットボトルPBを第1成膜ユニット51の成膜チャンバ511に供給する(図3参照)。成膜チャンバ511を密閉した後に、DLC膜の成膜処理が開始される。   When the first gripper unit 61 receives the first group of plastic bottles PB, the bottle supply / discharge device 60 rotates 180 ° clockwise and stops. Next, the bottle supply / discharge device 60 moves the first gripper unit 61 toward the first film forming unit 51, and then transfers the first group of PET bottles PB to the film forming chamber 511 of the first film forming unit 51. Supply (see FIG. 3). After the film formation chamber 511 is sealed, the DLC film formation process is started.

第1群のペットボトルPBが第1成膜ユニット51に供給された後、ボトル供給・排出装置60は第2成膜ユニット52に対応する位置まで移動する(図4参照)。この移動と同期して、搬送機構40の駆動プーリ45を回転させることで、第2グリッパユニット42をボトル供給・排出装置60、つまり第2成膜ユニット52に対応する位置まで移動させる。次いで、ボトル供給・排出装置60は、第2グリッパユニット42に把持されている第2群のペットボトルPBを受け取る。この間に、後続の第3群のペットボトルPBは、供給コンベア20から第3グリッパユニット43に渡される。以上の動作は、第1群のペットボトルPBにDLC膜を形成している間に行われる。   After the first group of PET bottles PB is supplied to the first film forming unit 51, the bottle supply / discharge device 60 moves to a position corresponding to the second film forming unit 52 (see FIG. 4). In synchronization with this movement, the drive pulley 45 of the transport mechanism 40 is rotated to move the second gripper unit 42 to a position corresponding to the bottle supply / discharge device 60, that is, the second film forming unit 52. Next, the bottle supply / discharge device 60 receives the second group of PET bottles PB held by the second gripper unit 42. During this time, the subsequent third group of PET bottles PB is delivered from the supply conveyor 20 to the third gripper unit 43. The above operation is performed while the DLC film is formed on the first group of PET bottles PB.

ボトル供給・排出装置60は、第2群のペットボトルPBを受け取ると、時計回りに180°だけ回転して停止する。次いで、ボトル供給・排出装置60は、第2グリッパユニット62を第2成膜ユニット52に向けて移動させてから、第2群のペットボトルPBを第2成膜ユニット52の成膜チャンバ521に供給する(図5参照)。
この間に、搬送機構40を動作させることにより、第3グリッパユニット43に把持されている後続の第3群のペットボトルPBは、第1成膜ユニット51に対応する位置まで搬送される。また、後続の第4群のペットボトルPBは、供給コンベア20から第4グリッパユニット44に渡される。
Upon receiving the second group of plastic bottles PB, the bottle supply / discharge device 60 rotates clockwise by 180 ° and stops. Next, the bottle supply / discharge device 60 moves the second gripper unit 62 toward the second film forming unit 52 and then transfers the second group of PET bottles PB to the film forming chamber 521 of the second film forming unit 52. Supply (see FIG. 5).
During this time, by operating the transport mechanism 40, the subsequent third group of PET bottles PB held by the third gripper unit 43 is transported to a position corresponding to the first film forming unit 51. The subsequent fourth group of PET bottles PB is delivered from the supply conveyor 20 to the fourth gripper unit 44.

第2群のペットボトルPBが第2成膜ユニット52に供給された後、ボトル供給・排出装置60は第1成膜ユニット51に対応する位置まで移動する(図6参照)。
この時点で第1群のペットボトルPBのDLC膜の形成が終了し、成膜チャンバ511は大気に開放される。一方、第2群のペットボトルPBのDLC膜の形成が開始される。
ボトル供給・排出装置60は、成膜チャンバ511から第1群のペットボトルPBを第2グリッパユニット62で受け取ると同時に、第3グリッパユニット43に把持されている第3群のペットボトルPBを第1グリッパユニット61で受け取る。そうすると、ボトル供給・排出装置60は、時計回りに180°だけ回転して停止する。
After the second group of PET bottles PB are supplied to the second film forming unit 52, the bottle supply / discharge device 60 moves to a position corresponding to the first film forming unit 51 (see FIG. 6).
At this point, the formation of the DLC film of the first group of plastic bottles PB is completed, and the film forming chamber 511 is opened to the atmosphere. On the other hand, the formation of the DLC film of the second group of plastic bottles PB is started.
The bottle supply / discharge device 60 receives the first group of PET bottles PB from the film forming chamber 511 by the second gripper unit 62 and simultaneously receives the third group of PET bottles PB held by the third gripper unit 43. It is received by one gripper unit 61. Then, the bottle supply / discharge device 60 rotates by 180 ° clockwise and stops.

次いで、ボトル供給・排出装置60は、第1グリッパユニット61を第1成膜ユニット51に向けて移動させてから、第3群のペットボトルPBを第1成膜ユニット51の成膜チャンバ511に供給する。一方、ボトル供給・排出装置60は、第2グリッパユニット62を搬送機構40の第3グリッパユニット43に向けて移動させてから、第1群のペットボトルPBを第3グリッパユニット43に渡す。この間、第2群のペットボトルPBへの成膜処理が続いている。   Next, the bottle supply / discharge device 60 moves the first gripper unit 61 toward the first film forming unit 51, and then transfers the third group of PET bottles PB to the film forming chamber 511 of the first film forming unit 51. Supply. On the other hand, the bottle supply / discharge device 60 moves the second gripper unit 62 toward the third gripper unit 43 of the transport mechanism 40 and then passes the first group of plastic bottles PB to the third gripper unit 43. During this time, the film forming process on the second group of PET bottles PB continues.

第3群のペットボトルPBを第1成膜ユニット51に供給し、また、第1群のペットボトルPBを第3グリッパユニット43に渡した後に、ボトル供給・排出装置60は第2成膜ユニット52に対応する位置に移動する(図7参照)。同時に、搬送機構40を動作させることにより、第4グリッパユニット44に把持されている後続の第4群のペットボトルPBは、第2成膜ユニット52に対応する位置まで搬送される。そうすると、第2群のペットボトルPBへの成膜処理を終えるとともに、第3群のペットボトルPBの成膜処理を開始する。
以上の動作に対応して、第3グリッパユニット43に把持されている第1群のペットボトルPBは、第1反転移載装置70に対応する位置まで運ばれる。また、後続の第5群のペットボトルPBは、供給コンベア20から第1グリッパユニット41に渡される。
After the third group of PET bottles PB is supplied to the first film forming unit 51 and the first group of PET bottles PB is transferred to the third gripper unit 43, the bottle supply / discharge device 60 is connected to the second film forming unit 51. It moves to a position corresponding to 52 (see FIG. 7). At the same time, by operating the transport mechanism 40, the subsequent fourth group of PET bottles PB held by the fourth gripper unit 44 is transported to a position corresponding to the second film forming unit 52. Then, the film forming process for the second group of PET bottles PB is completed, and the film forming process for the third group of PET bottles PB is started.
Corresponding to the above operation, the first group of PET bottles PB held by the third gripper unit 43 is carried to a position corresponding to the first reverse transfer device 70. Further, the subsequent fifth group of PET bottles PB is delivered from the supply conveyor 20 to the first gripper unit 41.

ボトル供給・排出装置60は、大気に開放された成膜チャンバ521に収容されている第2群のペットボトルPBを第1グリッパユニット61で受け取ると同時に、第4グリッパユニット44に把持されている第4群のペットボトルPBを第2グリッパユニット62で受け取る。その後、ボトル供給・排出装置60は、時計回りに180°だけ回転して停止する(図8参照)。
次いで、ボトル供給・排出装置60は、第2グリッパユニット62を第2成膜ユニット52に向けて移動させてから、第4群のペットボトルPBを第2成膜ユニット52の成膜チャンバ521に供給する。一方、ボトル供給・排出装置60は、第1グリッパユニット61を搬送機構40の第4グリッパユニット44に向けて移動させてから、第2群のペットボトルPBを第4グリッパユニット44に渡す。この間、第3群のペットボトルPBへの成膜処理が続いている。
この間に、第1群のペットボトルPBは、第1反転移載装置70を介して、エアクリーナ80に移載される。
The bottle supply / discharge device 60 receives the second group of PET bottles PB accommodated in the film forming chamber 521 opened to the atmosphere by the first gripper unit 61 and is simultaneously held by the fourth gripper unit 44. The fourth group of plastic bottles PB is received by the second gripper unit 62. Thereafter, the bottle supply / discharge device 60 rotates by 180 ° clockwise and stops (see FIG. 8).
Next, the bottle supply / discharge device 60 moves the second gripper unit 62 toward the second film forming unit 52, and then transfers the fourth group of PET bottles PB to the film forming chamber 521 of the second film forming unit 52. Supply. On the other hand, the bottle supply / discharge device 60 moves the first gripper unit 61 toward the fourth gripper unit 44 of the transport mechanism 40 and then passes the second group of plastic bottles PB to the fourth gripper unit 44. During this time, the film forming process on the third group of plastic bottles PB continues.
During this time, the first group of PET bottles PB is transferred to the air cleaner 80 via the first reverse transfer device 70.

第4群のペットボトルPBが第2成膜ユニット52に供給された後、ボトル供給・排出装置60は第1成膜ユニット51に対応する位置まで移動する(図9参照)。
この時点で第3群のペットボトルPBのDLC膜の形成が終了し、成膜チャンバ511は大気に開放される。一方、第4群のペットボトルPBのDLC膜の形成が開始される。
ボトル供給・排出装置60は、成膜チャンバ511から第3群のペットボトルPBを第2グリッパユニット62で受け取ると同時に、第1グリッパユニット41に把持されている第5群のペットボトルPBを第1グリッパユニット61で受け取る。そうすると、ボトル供給・排出装置60は、時計回りに180°だけ回転して停止する。
After the fourth group of PET bottles PB is supplied to the second film forming unit 52, the bottle supply / discharge device 60 moves to a position corresponding to the first film forming unit 51 (see FIG. 9).
At this point, the formation of the DLC film of the third group of plastic bottles PB is completed, and the film forming chamber 511 is opened to the atmosphere. On the other hand, the formation of the DLC film of the fourth group of plastic bottles PB is started.
The bottle supply / discharge device 60 receives the third group of PET bottles PB from the film formation chamber 511 by the second gripper unit 62 and simultaneously receives the fifth group of PET bottles PB held by the first gripper unit 41. It is received by one gripper unit 61. Then, the bottle supply / discharge device 60 rotates by 180 ° clockwise and stops.

次いで、ボトル供給・排出装置60は、第1グリッパユニット61を第1成膜ユニット51に向けて移動させてから、第5群のペットボトルPBを第1成膜ユニット51の成膜チャンバ511に供給する。一方、ボトル供給・排出装置60は、第2グリッパユニット62を搬送機構40の第1グリッパユニット41に向けて移動させてから、第3群のペットボトルPBを第1グリッパユニット41に渡す(図10参照)。この間、第4群のペットボトルPBへの成膜処理が続いている。
またこの間に、第2群のペットボトルPBは、第1反転移載装置70を介して、エアクリーナ80(ボトル受け入れステージ81)に移載される。第1群のペットボトルPBは、第1洗浄ステージ82に移動し、その内面が洗浄される。
Next, the bottle supply / discharge device 60 moves the first gripper unit 61 toward the first film forming unit 51, and then transfers the fifth group of PET bottles PB to the film forming chamber 511 of the first film forming unit 51. Supply. On the other hand, the bottle supply / discharge device 60 moves the second gripper unit 62 toward the first gripper unit 41 of the transport mechanism 40 and then passes the third group of plastic bottles PB to the first gripper unit 41 (FIG. 10). During this time, the film forming process on the fourth group of PET bottles PB continues.
During this time, the second group of PET bottles PB are transferred to the air cleaner 80 (bottle receiving stage 81) via the first reverse transfer device 70. The first group of PET bottles PB moves to the first cleaning stage 82 and the inner surface thereof is cleaned.

第5群のペットボトルPBを第1成膜ユニット51に供給し、また、第3群のペットボトルPBを第1グリッパユニット41に渡した後に、ボトル供給・排出装置60は第2成膜ユニット52に対応する位置に移動する(図11参照)。同時に、搬送機構40を動作させることにより、第2グリッパユニット42に把持されている後続の第6群のペットボトルPBは、第2成膜ユニット52に対応する位置まで搬送される。そうすると、第4群のペットボトルPBへの成膜処理を終えるとともに、第5群のペットボトルPBの成膜処理を開始する。
第1グリッパユニット41に把持されている第3群のペットボトルPBは、第1反転移載装置70に対応する位置まで運ばれる。また、第2群のペットボトルPBは第1洗浄ステージ82に移動されるとともに内面が洗浄され、第1群のペットボトルPBは第2洗浄ステージ83に移動されるとともに内面が洗浄される。
後続の第7群のペットボトルPBは、供給コンベア20から第3グリッパユニット43に渡される。
After the fifth group of PET bottles PB is supplied to the first film forming unit 51 and the third group of PET bottles PB is transferred to the first gripper unit 41, the bottle supply / discharge device 60 is connected to the second film forming unit 51. It moves to a position corresponding to 52 (see FIG. 11). At the same time, by operating the transport mechanism 40, the subsequent sixth group of PET bottles PB held by the second gripper unit 42 is transported to a position corresponding to the second film forming unit 52. Then, the film forming process for the fourth group of plastic bottles PB is completed, and the film forming process for the fifth group of plastic bottles PB is started.
The third group of plastic bottles PB held by the first gripper unit 41 is carried to a position corresponding to the first reverse transfer device 70. The second group of PET bottles PB is moved to the first cleaning stage 82 and the inner surface is cleaned, and the first group of PET bottles PB is moved to the second cleaning stage 83 and the inner surface is cleaned.
The succeeding seventh group of PET bottles PB is delivered from the supply conveyor 20 to the third gripper unit 43.

ボトル供給・排出装置60は、大気に開放された成膜チャンバ521に収容されている第4群のペットボトルPBを第1グリッパユニット61で受け取ると同時に、第2グリッパユニット42に把持されている第6群のペットボトルPBを第2グリッパユニット62で受け取る。その後、ボトル供給・排出装置60は、時計回りに180°だけ回転して停止する(図12参照)。
次いで、ボトル供給・排出装置60は、第2グリッパユニット62を第2成膜ユニット52に向けて移動させてから、第6群のペットボトルPBを第2成膜ユニット52の成膜チャンバ521に供給する。一方、ボトル供給・排出装置60は、第1グリッパユニット61を搬送機構40の第2グリッパユニット42に向けて移動させてから、第4群のペットボトルPBを第2グリッパユニット42に渡す。この間、第5群のペットボトルPBへの成膜処理が続いている。
この間に、第3群のペットボトルPBは、第1反転移載装置70を介して、エアクリーナ80に移載される。
The bottle supply / discharge device 60 receives the fourth group of PET bottles PB accommodated in the film formation chamber 521 opened to the atmosphere by the first gripper unit 61 and is simultaneously held by the second gripper unit 42. The sixth group of plastic bottles PB is received by the second gripper unit 62. Thereafter, the bottle supply / discharge device 60 rotates by 180 ° clockwise and stops (see FIG. 12).
Next, the bottle supply / discharge device 60 moves the second gripper unit 62 toward the second film forming unit 52, and then transfers the sixth group of PET bottles PB to the film forming chamber 521 of the second film forming unit 52. Supply. On the other hand, the bottle supply / discharge device 60 moves the first gripper unit 61 toward the second gripper unit 42 of the transport mechanism 40 and then passes the fourth group of plastic bottles PB to the second gripper unit 42. During this time, the film forming process on the fifth group of PET bottles PB continues.
During this time, the third group of PET bottles PB is transferred to the air cleaner 80 via the first reverse transfer device 70.

第6群のペットボトルPBが第2成膜ユニット52に供給された後、ボトル供給・排出装置60は第1成膜ユニット51に対応する位置まで移動する(図13参照)。
この時点で第5群のペットボトルPBのDLC膜の形成が終了し、成膜チャンバ511は大気に開放される。一方、第6群のペットボトルPBのDLC膜の形成が開始される。
ボトル供給・排出装置60は、成膜チャンバ511から第5群のペットボトルPBを第2グリッパユニット62で受け取ると同時に、第3グリッパユニット43に把持されている第7群のペットボトルPBを第1グリッパユニット61で受け取る。そうすると、ボトル供給・排出装置60は、時計回りに180°だけ回転して停止する。
また、第3群のペットボトルPBは第1洗浄ステージ82に移動されるとともに内面が洗浄され、また、第2群のペットボトルPBは第2洗浄ステージ83に移動されるとともに内面が洗浄される。第1群のペットボトルPBは、ボトル排出ステージ84に移動された後、第2反転移載装置90により排出コンベア100に排出される。
後続の第8群のペットボトルPBは、供給コンベア20から第4グリッパユニット44に渡される。
After the sixth group of PET bottles PB is supplied to the second film forming unit 52, the bottle supply / discharge device 60 moves to a position corresponding to the first film forming unit 51 (see FIG. 13).
At this time, the formation of the DLC film of the fifth group of plastic bottles PB is completed, and the film forming chamber 511 is opened to the atmosphere. On the other hand, the formation of the DLC film of the sixth group of plastic bottles PB is started.
The bottle supply / discharge device 60 receives the fifth group of PET bottles PB from the film forming chamber 511 by the second gripper unit 62 and at the same time receives the seventh group of PET bottles PB held by the third gripper unit 43. It is received by one gripper unit 61. Then, the bottle supply / discharge device 60 rotates by 180 ° clockwise and stops.
Further, the third group of PET bottles PB is moved to the first cleaning stage 82 and the inner surface is cleaned, and the second group of PET bottles PB is moved to the second cleaning stage 83 and the inner surface is cleaned. . The first group of PET bottles PB is moved to the bottle discharge stage 84 and then discharged to the discharge conveyor 100 by the second reverse transfer device 90.
The succeeding eighth group of PET bottles PB is delivered from the supply conveyor 20 to the fourth gripper unit 44.

[DLC成膜装置10の効果]
DLC成膜装置10は、以上の手順を繰り返すことにより、ペットボトルPBにDLC膜を形成し、エアを吹き付けによるペットボトルPB内面の洗浄を連続的に行う。その中で、ペットボトルPBに成膜処理する一連の動作について、第1成膜ユニット51、第2成膜ユニット52、搬送機構40及びボトル供給・排出装置60の動作の一部を対比して図14に示している。
[Effect of DLC film forming apparatus 10]
The DLC film forming apparatus 10 repeats the above procedure to form a DLC film on the PET bottle PB, and continuously cleans the inner surface of the PET bottle PB by blowing air. Among them, the series of operations for film formation on the PET bottle PB is compared with some of the operations of the first film formation unit 51, the second film formation unit 52, the transport mechanism 40, and the bottle supply / discharge device 60. It is shown in FIG.

図14に示すように、第1成膜ユニット51で第1群のペットボトルPBに成膜処理を施している間に、第2群のペットボトルPBを第2成膜ユニット52に供給し、かつ、第3群のペットボトルPBを第1成膜ユニット51に対応する位置まで搬送する。
第1群のペットボトルPBの成膜処理が終了すると、第2成膜ユニット52において第2群のペットボトルPBの成膜処理が開始される。これと同時に、第1群のペットボトルPBの排出と第3群のペットボトルPBの供給を行う。それが終わると、次に、第4群のペットボトルPBを第2成膜ユニット52に対応する位置まで搬送する。
第2群のペットボトルPBの成膜処理が終了すると、第1成膜ユニット51において第3群のペットボトルPBの成膜処理が開始される。これと同時に、第2群のペットボトルPBの排出と第4群のペットボトルPBの供給を行う。それが終わると、次に、第5群のペットボトルPBを第1成膜ユニット51に対応する位置まで搬送する。
As shown in FIG. 14, while the first film forming unit 51 performs the film forming process on the first group of plastic bottles PB, the second group of plastic bottles PB is supplied to the second film forming unit 52, In addition, the third group of plastic bottles PB is transported to a position corresponding to the first film forming unit 51.
When the film formation process for the first group of PET bottles PB is completed, the film formation process for the second group of PET bottles PB is started in the second film formation unit 52. At the same time, the first group of plastic bottles PB is discharged and the third group of plastic bottles PB is supplied. After that, the fourth group of PET bottles PB is transported to a position corresponding to the second film forming unit 52.
When the film forming process for the second group of plastic bottles PB is completed, the film forming process for the third group of plastic bottles PB is started in the first film forming unit 51. At the same time, the second group of plastic bottles PB is discharged and the fourth group of plastic bottles PB is supplied. After that, the fifth group of PET bottles PB is transported to a position corresponding to the first film forming unit 51.

以後、同様の手順で後続のペットボトルPBに成膜処理が施されるが、図14から明らかなように、
第1成膜ユニット51においてペットボトルPBに成膜処理を施している間に、第2成膜ユニット52においてペットボトルPBの排出及び供給を行う。また、第2成膜ユニット52においてペットボトルPBに成膜処理を施している間に、第1成膜ユニット51においてペットボトルPBの排出及び供給を行う。このように、DLC成膜装置10は、割り出されるペットボトルPBの本数は3本であるが、第1成膜ユニット51及び第2成膜ユニット52で交互に絶え間なく成膜処理を行うことができる。したがって、6本のペットボトルPBを一度に搬送及び成膜処理をする場合と、単位時間当たりの処理数を同等にすることができる。しかも、6本のペットボトルPBを一度に搬送及び成膜処理する装置と比べると、DLC成膜装置10は、グリッパ611、612…の数を半分にできるので、ボトル供給・排出装置60を小型化し、かつ低コストにできる。第1反転移載装置70、エアクリーナ80及び第2反転移載装置90についても同様である。
Thereafter, a film forming process is performed on the subsequent plastic bottle PB in the same procedure, but as is apparent from FIG.
While the first film forming unit 51 performs the film forming process on the PET bottle PB, the second film forming unit 52 discharges and supplies the PET bottle PB. In addition, while the second film forming unit 52 performs the film forming process on the PET bottle PB, the first film forming unit 51 discharges and supplies the PET bottle PB. As described above, the DLC film forming apparatus 10 has three plastic bottles PB to be indexed, but alternately performs the film forming process alternately in the first film forming unit 51 and the second film forming unit 52. Can do. Therefore, the number of processes per unit time can be made equal to the case where the six PET bottles PB are transported and film-formed at a time. In addition, the DLC film forming apparatus 10 can halve the number of grippers 611, 612... Compared with an apparatus that transports and forms a film of six PET bottles PB at a time. And low cost. The same applies to the first reverse transfer device 70, the air cleaner 80, and the second reverse transfer device 90.

DLC成膜装置10は、第1成膜ユニット51と第2成膜ユニット52が、直列に配置されている。したがって、割り出されたペットボトルPBが搬送機構40により搬送が開始される位置から第1成膜ユニット51又は第2成膜ユニット52までの距離が相違する。この位置関係を図15に示すが、ペットボトルPBの搬送を開始する位置Sから第1成膜ユニット51に対応する位置P1までの搬送距離をL11、位置Sから第2成膜ユニット52に対応する位置P2までの搬送距離をL21とする。
次に、第1成膜ユニット51から排出されたペットボトルPB、及び、第2成膜ユニット52から排出されたペットボトルPBは、第1反転移載装置70によりエアクリーナ80に移載されるが、第1反転移載装置70の位置は固定されている。第1成膜ユニット51から排出されたペットボトルPBが第1反転移載装置70まで搬送される距離をL12、第2成膜ユニット52から排出されたペットボトルPBが第1反転移載装置70まで搬送される距離をL22とする。
In the DLC film forming apparatus 10, a first film forming unit 51 and a second film forming unit 52 are arranged in series. Therefore, the distance from the position at which the indexed plastic bottle PB starts to be transported by the transport mechanism 40 to the first film forming unit 51 or the second film forming unit 52 is different. This positional relationship is shown in FIG. 15. The transport distance from the position S at which the transport of the PET bottle PB is started to the position P1 corresponding to the first film forming unit 51 is L11, and the position from the position S to the second film forming unit 52 is corresponded. The conveyance distance to the position P2 to be performed is L21.
Next, the PET bottle PB discharged from the first film forming unit 51 and the PET bottle PB discharged from the second film forming unit 52 are transferred to the air cleaner 80 by the first reverse transfer device 70. The position of the first reverse transfer device 70 is fixed. The distance by which the PET bottle PB discharged from the first film forming unit 51 is conveyed to the first reverse transfer device 70 is L12, and the PET bottle PB discharged from the second film forming unit 52 is the first reverse transfer device 70. The distance transported up to is L22.

そして、搬送機構40のグリッパユニット41〜44は作動ベルト47に固定されており、作動ベルト47に対する相対的な位置は不変である。
以上の前提の下に、DLC成膜装置10は、以下の関係を満足するように距離L11、L12、L21及びL22が設定されている。
L11=L22
L12=L21
そして、第1グリッパユニット41と第4グリッパユニット44の距離、及び、第2グリッパユニット42と第3グリッパユニット43の距離がL12(=L21)になるように作動ベルト47に固定される。また、第1グリッパユニット41と第2グリッパユニット42の距離、及び、第3グリッパユニット43と第4グリッパユニット44の距離がL11(=L22)になるように作動ベルト47に固定される。
このように設定することで、搬送機構40は、搬送開始位置Sから第1成膜ユニット51(又は第2成膜ユニット52)に対応する位置までペットボトルPBを搬送するのと同期して、第2成膜ユニット52(又は第1成膜ユニット51)から排出されたペットボトルPBを第1反転移載装置70まで搬送することができる。
The gripper units 41 to 44 of the transport mechanism 40 are fixed to the operating belt 47, and the relative position with respect to the operating belt 47 is unchanged.
Under the above premise, the distances L11, L12, L21, and L22 are set in the DLC film forming apparatus 10 so as to satisfy the following relationship.
L11 = L22
L12 = L21
The distance between the first gripper unit 41 and the fourth gripper unit 44 and the distance between the second gripper unit 42 and the third gripper unit 43 are fixed to the operating belt 47 so as to be L12 (= L21). The distance between the first gripper unit 41 and the second gripper unit 42 and the distance between the third gripper unit 43 and the fourth gripper unit 44 are fixed to the operating belt 47 so as to be L11 (= L22).
By setting in this way, the transport mechanism 40 is synchronized with the transport of the plastic bottle PB from the transport start position S to the position corresponding to the first film forming unit 51 (or the second film forming unit 52). The plastic bottle PB discharged from the second film forming unit 52 (or the first film forming unit 51) can be transported to the first reverse transfer device 70.

以上、本発明の実施形態としてDLC成膜装置10を説明した。しかし、本発明の主旨を逸脱しない限り、上記実施の形態で挙げた構成を取捨選択し、あるいは他の構成に適宜変更することが可能である。
例えば、DLC成膜装置10は、図14にも示されるように、第2成膜ユニット52で第2群のペットボトルPBに成膜処理を施している間に、第1群のペットボトルPBを第1成膜ユニット51から排出するとともに第3群のペットボトルPBを第1成膜ユニット51に対応する位置まで搬送し、加えて、第4群のペットボトルPBを第2成膜ユニット52に対応する位置まで搬送する。この形態はペットボトルPBの搬送、供給に要する時間を短縮するので好ましいが、本発明はこれに限定されない。
例えば、図16に示すように、第2成膜ユニット52で第2群のペットボトルPBに成膜処理を施している間に、第3群のペットボトルPBを第1成膜ユニット51に対応する位置まで搬送するとともに、第1成膜ユニット51から第1群のペットボトルPBを排出しかつ第3群のペットボトルPBを第1成膜ユニット51に供給する、という手順を採用することができる。
The DLC film forming apparatus 10 has been described above as an embodiment of the present invention. However, as long as the gist of the present invention is not deviated, the configurations described in the above embodiments can be selected or changed to other configurations as appropriate.
For example, as illustrated in FIG. 14, the DLC film forming apparatus 10 performs the film forming process on the second group of plastic bottles PB by the second film forming unit 52 while the first group of plastic bottles PB. Is discharged from the first film forming unit 51 and the third group of PET bottles PB is transported to a position corresponding to the first film forming unit 51. In addition, the fourth group of PET bottles PB is transferred to the second film forming unit 52. Transport to the position corresponding to. Although this form is preferable because it shortens the time required to transport and supply the PET bottle PB, the present invention is not limited to this.
For example, as shown in FIG. 16, while the second film forming unit 52 performs the film forming process on the second group of plastic bottles PB, the third group of plastic bottles PB corresponds to the first film forming unit 51. And a procedure of discharging the first group of plastic bottles PB from the first film forming unit 51 and supplying the third group of plastic bottles PB to the first film forming unit 51. it can.

次に、本発明の参考例として示すが、例えば、図17に示すように、搬送路130を挟んで第1成膜ユニット51と第2成膜ユニット52を対向して配置させることもできる。このように配置すれば、上述した、L11=L22、L12=L21という距離の設定を行う必要がない。もっとも、DLC成膜装置10の場合、成膜ユニット以外の要素が専有する面積が大きく、かつ成膜ユニットとこれら要素を離間することに制約があるために、第1成膜ユニット51と第2成膜ユニット52を直列に配置されている。 Next , as a reference example of the present invention, for example, as shown in FIG. 17, the first film forming unit 51 and the second film forming unit 52 can be arranged to face each other with the conveyance path 130 interposed therebetween. With this arrangement, it is not necessary to set the distances L11 = L22 and L12 = L21 described above. However, in the case of the DLC film forming apparatus 10, since the area occupied by elements other than the film forming unit is large and there is a restriction in separating these elements from the film forming unit, the first film forming unit 51 and the second film forming unit 10 that it is located the deposition unit 52 in series.

また、DLC成膜装置10は第1成膜ユニット51と第2成膜ユニット52を設けているが、本発明はこれに限定されない。3つ以上の成膜ユニット(処理部)を備えることを本発明は許容する。3つ以上の成膜ユニット(処理部)を有する場合、1つの成膜ユニット(処理部)で成膜している間に、他の2つの成膜ユニットの双方又は一方において、ペットボトルPBの供給、排出が行われる。   Further, although the DLC film forming apparatus 10 includes the first film forming unit 51 and the second film forming unit 52, the present invention is not limited to this. The present invention allows to include three or more film forming units (processing units). In the case of having three or more film forming units (processing units), while forming a film in one film forming unit (processing unit), in both or one of the other two film forming units, Supply and discharge are performed.

以上の実施形態はDLC成膜装置10について説明したが、被処理物が処理部まで搬送され、処理部に対して供給、排出がなされる処理装置又は処理方法に本発明は広く適用され、処理の具体的な内容は任意である。   In the above embodiment, the DLC film forming apparatus 10 has been described. However, the present invention is widely applied to a processing apparatus or a processing method in which an object to be processed is transported to a processing unit, and supplied to and discharged from the processing unit. The specific content of is arbitrary.

10…DLC成膜装置(物品処理装置)、
20…供給コンベア、21,22…ストッパ
30…拡幅移載装置、31…グリッパ
40…搬送機構(搬送路)、41…第1グリッパユニット、42…第2グリッパユニット、43…第3グリッパユニット、44…第4グリッパユニット、45…駆動プーリ、46…従動プーリ、47…作動ベルト、
50…成膜部、51…第1成膜ユニット、52…第2成膜ユニット、511、521…成膜チャンバ
60…ボトル供給・排出装置、61…第1グリッパユニット、62…第2グリッパユニット、611、621…グリッパ、63…基部、64…横アーム、65…縦アーム
70…第1反転移載装置、71…グリッパ、74…基部、75…アーム
80…エアクリーナ、81…ボトル受け入れステージ、82…第1洗浄ステージ、83…第2洗浄ステージ、84…ボトル排出ステージ、85…第1グリッパユニット、86…第2グリッパユニット、87…第3グリッパユニット、88…第4グリッパユニット、89…基部
90…第2反転移載装置、91…第1グリッパユニット、92…第2グリッパユニット、93…基部、911、921…グリッパ
100…排出コンベア
110…制御部
10 ... DLC film forming apparatus (article processing apparatus),
DESCRIPTION OF SYMBOLS 20 ... Supply conveyor, 21, 22 ... Stopper 30 ... Widening transfer apparatus, 31 ... Gripper 40 ... Conveyance mechanism (conveyance path), 41 ... 1st gripper unit, 42 ... 2nd gripper unit, 43 ... 3rd gripper unit, 44 ... fourth gripper unit, 45 ... driving pulley, 46 ... driven pulley, 47 ... working belt,
DESCRIPTION OF SYMBOLS 50 ... Film-forming part, 51 ... 1st film-forming unit, 52 ... 2nd film-forming unit, 511, 521 ... Film-forming chamber 60 ... Bottle supply / discharge device, 61 ... 1st gripper unit, 62 ... 2nd gripper unit 611, 621 ... gripper, 63 ... base, 64 ... horizontal arm, 65 ... vertical arm 70 ... first reverse transfer device, 71 ... gripper, 74 ... base, 75 ... arm 80 ... air cleaner, 81 ... bottle receiving stage, 82 ... First cleaning stage, 83 ... Second cleaning stage, 84 ... Bottle discharge stage, 85 ... First gripper unit, 86 ... Second gripper unit, 87 ... Third gripper unit, 88 ... Fourth gripper unit, 89 ... Base 90 ... second reverse transfer device, 91 ... first gripper unit, 92 ... second gripper unit, 93 ... base, 911, 921 ... grip Pup 100 ... Discharge conveyor 110 ... Control unit

Claims (3)

予め定められた数n毎に搬送路上を搬送される被処理物を前記搬送路に沿って設けられる処理部に供給し、
前記処理部において前記被処理物に特定の処理を施し、
前記処理が施された前記被処理物を前記搬送路に排出する、処理手順を備える処理方法であって、
前記処理部は、予め定められた前記数nに対応する数の処理要素を各々が有する、第1処理部と第2処理部とを備え、
前記第1処理部と前記第2処理部が、前記被処理物が搬送される向きに並んで配置されており、
前記被処理物が前記搬送路で搬送が開始される位置を位置S、
前記第1処理部又は前記第2処理部から排出された前記被処理物を次の処理に向けて移載する位置を位置E、
前記位置Sから前記第1処理部に対応する位置P1まで前記被処理物が搬送される距離をL11、
前記位置Sから前記第2処理部に対応する位置P2まで前記被処理物が搬送される距離をL21、
前記位置P1から前記位置Eまで前記被処理物が搬送される距離をL12、
前記位置P2から前記位置Eまで前記被処理物が搬送される距離をL22、とすると、
L11=L22及びL12=L21を満足し、
前記第1処理部において前記被処理物に処理を施している間に、
前記第2処理部において前記処理が施された前記被処理物を前記搬送路に排出し、かつ、後続の前記被処理物を前記第2処理部に供給する第1処理ステップと、
前記第2処理部において前記被処理物に前記処理を施している間に、
前記第1処理部において前記処理が施された前記被処理物を前記搬送路に排出し、かつ、後続の前記被処理物を前記第1処理部に供給する第2処理ステップと、
を交互に繰り返すことを特徴とする物品の処理方法。
Supplying an object to be processed which is conveyed on the conveying path every predetermined number n to a processing unit provided along the conveying path;
A specific process is performed on the workpiece in the processing unit,
A processing method including a processing procedure for discharging the processed object subjected to the processing to the conveyance path,
The processing unit includes a first processing unit and a second processing unit each having a number of processing elements corresponding to the predetermined number n.
The first processing unit and the second processing unit are arranged side by side in a direction in which the workpiece is conveyed,
A position where the workpiece is started to be transported in the transport path is a position S,
A position where the workpiece discharged from the first processing unit or the second processing unit is transferred for the next processing is a position E,
A distance by which the workpiece is conveyed from the position S to a position P1 corresponding to the first processing unit is L11,
A distance by which the workpiece is transported from the position S to a position P2 corresponding to the second processing unit is L21,
The distance that the object to be processed is conveyed from the position P1 to the position E is L12,
When the distance that the object to be processed is conveyed from the position P2 to the position E is L22,
L11 = L22 and L12 = L21 are satisfied,
While performing processing on the workpiece in the first processing unit,
A first processing step of discharging the processing object subjected to the processing in the second processing unit to the transport path and supplying the subsequent processing object to the second processing unit;
While performing the process on the object to be processed in the second processing unit,
A second processing step of discharging the processed object subjected to the processing in the first processing unit to the transport path and supplying the subsequent processed object to the first processing unit;
A method for processing an article characterized by alternately repeating the steps.
前記第1処理ステップにおいて、
前記第1処理部において前記被処理物に処理を施している間に、後続の前記被処理物を前記第1処理部に対応する位置まで搬送し、
前記第2処理ステップにおいて、
前記第2処理部において前記被処理物に処理を施している間に、後続の前記被処理物を前記第2処理部に対応する位置まで搬送する、
請求項1に記載の物品の処理方法。
In the first processing step,
While performing the process on the object to be processed in the first processing unit, transport the subsequent object to be processed to a position corresponding to the first processing unit,
In the second processing step,
While performing the process on the object to be processed in the second processing unit, the subsequent object to be processed is transported to a position corresponding to the second processing unit.
The processing method of the articles | goods of Claim 1 .
前記第1処理ステップにおいて、前記処理が施された前記被処理物を前記搬送路に排出するのと、後続の前記被処理物を前記第2処理部に供給するのを、同期して行い、
前記第2処理ステップにおいて、前記処理が施された前記被処理物を前記搬送路に排出するのと、後続の前記被処理物を前記第1処理部に供給するのを、同期して行う、
請求項に記載の物品の処理方法。
In the first processing step, discharging the processed object subjected to the processing to the transport path and supplying the subsequent processed object to the second processing unit are performed in synchronization.
In the second processing step, discharging the processed object subjected to the processing to the transport path and supplying the subsequent processed object to the first processing unit are performed in synchronization.
The processing method of the articles | goods of Claim 2 .
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