JP5569196B2 - Method for producing metal porous thin plate and metal porous thin plate obtained by the production method - Google Patents

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Description

本発明は、金属多孔質薄板の製造方法およびその製造方法で得られた金属多孔質薄板に関する。さらに詳しくは、燃料電池やリチウムイオン電池等の各種電池の電極等に好適な金属粉末を素材とし、かつ非常に薄い多孔質薄板の製造方法と、それにより得られた金属多孔質薄板に関する。   The present invention relates to a method for producing a metal porous thin plate and a metal porous thin plate obtained by the production method. More specifically, the present invention relates to a method for producing a very thin porous thin plate made of metal powder suitable for electrodes of various batteries such as a fuel cell and a lithium ion battery, and a metal porous thin plate obtained thereby.

金属多孔質部材は、触媒の担体や燃料電池の電極に必須の部材である。
これらの用途に使われる金属多孔質部材の製法として、特許文献1,2の従来技術がある。
The metal porous member is an essential member for the catalyst carrier and the fuel cell electrode.
As a method for producing a metal porous member used for these applications, there are conventional techniques of Patent Documents 1 and 2.

特許文献1,2のチタン粉末焼結体は、球状ガスアトマイズチタン粉末を焼結容器内に収容し、その後、無加圧で真空焼結することにより形成されたものであり、特許文献1の実施例には空隙率が37〜44%のフィルタが記載されており、特許文献2の実施例には気孔45〜67%の焼結体が記載されている。   The titanium powder sintered bodies of Patent Documents 1 and 2 are formed by storing spherical gas atomized titanium powder in a sintering container and then vacuum-sintering without applying pressure. In the example, a filter having a porosity of 37 to 44% is described, and in the example of Patent Document 2, a sintered body having 45 to 67% pores is described.

しかるに、上記従来技術は、非常に薄い多孔質体を得ることを全く考慮していなかった。したがって、相当の厚さのある多孔質体しか存在していなかった。
ところで、多孔質体が、たとえば0.5mm以下の極薄であると、電池等に使ったとき、電池の厚さが薄くなるとか、内部抵抗が小さくなる等の利点が生ずる。
However, the above prior art has not considered at all obtaining a very thin porous body. Therefore, only a porous body having a considerable thickness was present.
By the way, when the porous body is extremely thin, for example, 0.5 mm or less, there are advantages such as a reduction in the thickness of the battery or a reduction in internal resistance when used in a battery or the like.

そこで、多孔質体を薄くして薄膜化する方法が種々検討された。
たとえば、第1の方法では、ある程度の薄さの多孔質シート体を作り、圧力をかけて薄く延ばすことが検討された。しかし、この方法では、孔が押しつぶされるため、気孔率が犠牲となって高い気孔率を実現することができない。
Therefore, various methods for thinning the porous body into thin films have been studied.
For example, in the first method, it has been studied to make a porous sheet having a certain degree of thinness and to apply a thin layer by applying pressure. However, in this method, since the pores are crushed, a high porosity cannot be realized at the expense of the porosity.

また、第2の方法では、発泡樹脂に金属粉を含んだスラリーを塗布し、焼結して発泡金属を得てから薄くカットする方法が検討された。しかし、この方法では焼結後の金属多孔体をスライスすることが、それを可能とするに適切な刃物が存在しないことから難しく、とりわけ0.5mm以下のような極薄にカットすることはできなかった。   In the second method, a method of applying a slurry containing metal powder to a foamed resin and sintering it to obtain a foamed metal and then cutting it thinly was studied. However, in this method, it is difficult to slice the sintered metal porous body because there is no suitable blade to make it possible, and it is not possible to cut it to an extremely thin thickness of 0.5 mm or less. It was.

特開2002−662993号公報JP 2002-66993 A 特開2002−317207号公報JP 2002-317207 A

本発明は上記事情に鑑み、空隙率が極めて高い多孔質体でありながら、厚みが0.1〜0.5mmの非常に薄い金属多孔質薄板の製造方法およびその製造方法で得られた金属多孔質薄板を提供することを目的とする。   In view of the above circumstances, the present invention provides a method for producing a very thin metal porous thin plate having a thickness of 0.1 to 0.5 mm and a metal porous thin plate obtained by the production method while being a porous body having an extremely high porosity. The purpose is to provide.

第1発明の金属多孔質薄板の製造方法は、厚さが0.1〜0.5mmの薄板である金属多孔質薄板を製造する方法であって、発泡樹脂材に硬化助剤を充填する硬化助剤充填工程、硬化助剤が充填された発泡樹脂材を硬化させる硬化工程、硬化した発泡樹脂材を薄膜にスライスするスライス工程、スライスされた発泡樹脂薄膜から硬化助剤を除する硬化助剤除去工程、発泡樹脂薄膜に金属粉末スラリーを付着させる付着工程、金属粉末スラリーが塗布された発泡樹脂薄膜を乾燥させる乾燥工程、乾燥した発泡樹脂薄膜から発泡樹脂部分を除去し金属粉末のみ残す樹脂除去工程、残された金属粉末を互いに結合させる金属粉末結合工程を順に実行することを特徴とする。
第2発明の金属多孔質薄板の製造方法は、第1発明において、前記金属粉末がチタンであることを特徴とする。
第3発明の金属多孔質薄板の製造方法は、第1発明において、前記金属粉末が銅であることを特徴とする。
第4発明の金属多孔質薄板の製造方法は、第1発明において、前記金属粉末がアルミニウムであることを特徴とする。
第5発明の金属多孔質薄板は、第1発明の製法によって製造されたものであり、金属粉末によって形成された多孔質薄板であって、金属粉末同士が結合して形成された網目構造の骨格を有し、かつ該骨格の内部が空洞になっており、厚さが0.1〜0.5mmの薄板であることを特徴とする
The method for producing a metal porous thin plate according to the first invention is a method for producing a metal porous thin plate having a thickness of 0.1 to 0.5 mm, and filling a foaming resin material with a curing aid filling. A curing step for curing the foamed resin material filled with the curing aid, a slicing step for slicing the cured foamed resin material into a thin film, a curing aid removing step for removing the curing aid from the sliced foamed resin thin film, An adhesion process for attaching metal powder slurry to the foamed resin thin film, a drying process for drying the foamed resin thin film coated with the metal powder slurry, a resin removal process for removing the foamed resin portion from the dried foamed resin thin film and leaving only the metal powder, A metal powder bonding process for bonding the formed metal powders to each other is sequentially performed.
The method for producing a metal porous thin plate according to the second invention is characterized in that, in the first invention, the metal powder is titanium.
The method for producing a metal porous thin plate according to a third invention is characterized in that, in the first invention, the metal powder is copper.
The method for producing a metal porous thin plate according to a fourth invention is characterized in that, in the first invention, the metal powder is aluminum.
The metal porous thin plate of the fifth invention is a porous thin plate produced by the manufacturing method of the first invention, formed of metal powder, and having a network structure formed by bonding metal powders together And is a thin plate having a thickness of 0.1 to 0.5 mm .

第1発明によれば、スライス工程では、発泡樹脂材が硬化しているので、非常に薄い0.1〜0.5mmの厚さにスライスできる。このため、後の工程を順に実行することにより多孔質薄板が網目構造であって骨格自体も内部が空洞となった高多孔率の金属多孔質薄膜を作ることができる。
第2発明によれば、チタン製の多孔質薄膜が得られるので、燃料電池のガス拡散電極や細胞培養における足場(スキャンフィールド材)に利用できる。
第3発明によれば、銅製の多孔質薄膜が得られるので、リチウムイオン電池の負極材に利用できる。
第4発明によれば、アルミニウム製の多孔質薄膜が得られるので、リチウムイオン電池の正極材に利用できる。
第5発明によれば、多孔質薄板が網目構造であり、かつ骨格自体も内部が空洞であって高い多孔率を有する金属粉末により構成されているので、電極材料に適している。しかも、厚さが0.1〜0.5mmという極薄であるので、電池を薄くでき、内部抵抗を小さくでき、ジュール熱発生を小さくでき、寿命を延ばせるという利点が生じる。
According to the first invention, since the foamed resin material is cured in the slicing step, it can be sliced to a very thin thickness of 0.1 to 0.5 mm. For this reason, a porous metal thin film having a high porosity in which the porous thin plate has a network structure and the inside of the skeleton itself is hollow can be made by sequentially executing the subsequent steps.
According to the second invention, a porous thin film made of titanium can be obtained, and can be used as a gas diffusion electrode of a fuel cell or a scaffold (scan field material) in cell culture.
According to the third aspect of the invention, since a copper porous thin film is obtained, it can be used as a negative electrode material for a lithium ion battery.
According to the fourth aspect of the invention, an aluminum porous thin film can be obtained, which can be used as a positive electrode material for a lithium ion battery.
According to the fifth shot bright, porous thin plate is a mesh structure, and so also skeleton itself inside is made of a metal powder having a A by high porosity hollow and is suitable for the electrode material. In addition, since the thickness is 0.1 to 0.5 mm, the battery can be thinned, the internal resistance can be reduced, the generation of Joule heat can be reduced, and the life can be extended.

本発明に係る金属多孔質薄板Mの製造方法の工程図である。It is process drawing of the manufacturing method of the metal porous thin plate M which concerns on this invention. 発泡樹脂材Rのイメージ図と硬化助剤充填工程Iの説明図である。It is an image figure of the foamed resin material R, and explanatory drawing of the hardening auxiliary agent filling process I. スライス工程IIIと硬化助剤除去工程IVの説明図である。It is explanatory drawing of the slice process III and the hardening adjuvant removal process IV. スラリー付着工程Vと乾燥工程VIの説明図である。It is explanatory drawing of the slurry adhesion process V and the drying process VI. 発泡樹脂薄膜除去工程VIIと金属粉末結合工程VIIIの説明図である。It is explanatory drawing of the foamed resin thin film removal process VII and the metal powder coupling | bonding process VIII. 本発明に係る金属多孔質薄板Mの説明図である。It is explanatory drawing of the metal porous thin plate M which concerns on this invention.

まず、図6に基づき、本発明の金属多孔質薄板Mの概略構造を説明する。
同図に示すように、本発明の金属多孔質薄板Mは、金属粉末によって形成された多孔質薄板であって、内部に金属粉末同士が接合して形成された網目構造の骨格bを有しており、かつ骨格内部が空洞hになっているものである。網目構造とは、スポンジ(海綿)状の構造であって、内部に多数の連続する空隙が形成されている構造を意味する。また本発明では、骨格b自体も空洞hを有している。このような本発明の多孔質構造を中空骨格網目構造という。
First, based on FIG. 6, the schematic structure of the metal porous thin plate M of this invention is demonstrated.
As shown in the figure, the metal porous thin plate M of the present invention is a porous thin plate formed of metal powder, and has a network structure skeleton b formed by joining metal powders inside. The inside of the skeleton is a cavity h. The network structure means a sponge (sponge) -like structure in which a large number of continuous voids are formed. In the present invention, the skeleton b itself also has a cavity h. Such a porous structure of the present invention is called a hollow skeleton network structure.

また、本発明の金属多孔質薄板は、0.1〜0.5mmの極薄の板状部材であることが特徴の一つである。このような極薄板に成形できた理由は後述する製法によるが、極薄であることによって、電極板等に用いた場合に、つぎのようなメリットを生ずる。
a)燃料電池の場合
・スタックの厚さが薄くなる。
・内部抵抗が小さくなる。
・拡散抵抗が小さくなる。
b)リチウムイオン電池の場合
・ジュール熱発生が少なくなり、急速充電ができる。
・内部抵抗が小さくなる。
・活物質の剥離が起こり難く、寿命が延びる。
In addition, it is one of the characteristics that the metal porous thin plate of the present invention is an ultrathin plate-like member having a thickness of 0.1 to 0.5 mm. The reason why such an ultra-thin plate can be formed depends on the manufacturing method described later. However, the ultra-thin plate has the following advantages when used for an electrode plate or the like.
a) In the case of a fuel cell • The stack becomes thinner.
・ Lower internal resistance.
・ Diffusion resistance becomes small.
b) Lithium ion battery • Joule heat generation is reduced and rapid charging is possible.
・ Lower internal resistance.
・ Stripping of active material hardly occurs and life is extended.

つぎに、本発明の金属多孔質薄板の製造方法を説明する。
本発明の製法は、図1に示すように、発泡樹脂の薄膜を作る前半工程Aと、発泡樹脂薄膜を骨格として金属多孔質薄板Mを作る後半工程Bとからなる。
以下の工程説明では、全工程につき図1を参照し、図2〜図7は適宜明示して参照することとする。
Below, the manufacturing method of the metal porous thin plate of this invention is demonstrated.
As shown in FIG. 1, the production method of the present invention comprises a first half step A for producing a foamed resin thin film and a second half step B for producing a metal porous thin plate M using the foamed resin thin film as a skeleton.
In the following process description, FIG. 1 is referred to for all processes, and FIGS.

まず、前半工程Aを説明する。
前半工程Aでは、発泡樹脂材料Rを原料とする。図2に示すように、この発泡樹脂材料Rは、多孔質となるように発泡した樹脂材料である。また、用いられる樹脂材料は、加熱等により後で除去できるものであれば、どのような樹脂材料でも用いることができる。
First, the first half process A will be described.
In the first half process A, the foamed resin material R is used as a raw material. As shown in FIG. 2, the foamed resin material R is a resin material foamed to be porous. Further, any resin material can be used as long as it can be removed later by heating or the like.

そのような骨材となる樹脂材料としては、たとえば、ポリエステル系ウレタン樹脂、ポリエーテル系ウレタン樹脂などを用いることができる。
また、形状には、とくに制限がなく、全体形状は立方体や円筒形など任意の形状でもよく、厚さも厚いものでよい。更にまた、長さが長いものであってもよい。
As a resin material that becomes such an aggregate, for example, a polyester-based urethane resin, a polyether-based urethane resin, or the like can be used.
Moreover, there is no restriction | limiting in particular in a shape, The whole shape may be arbitrary shapes, such as a cube and a cylinder shape, and thickness may be thick. Furthermore, the length may be long.

(硬化助剤充填工程I)
図2(I)に示すように、発泡樹脂材料Rには硬化助剤Wを充填する。硬化助剤Wとしては、水やパラフィン、ドライアイスなどの冷却することにより硬化し、加温することにより溶解するものが用いられる。また、骨材としてのウレタン樹脂よりも低融点の熱可塑性樹脂や界面活性剤からなる種々の材料から選ばれた一つであってもよい。つまり、骨材としてのウレタン樹脂の融点よりも低温で硬化し溶融するものであればよい。
硬化助剤Wの充填方法は、とくに制限がなく、容器内に入れた水などの硬化助剤Wに発泡樹脂材料Rを浸漬したり、水を入れた容器を密閉して減圧または加圧したりする方法がとられる。要するに、発泡樹脂材料Rの内部空洞に水などの硬化助剤Wが進入していって保持されればよい。
(Curing aid filling process I)
As shown in FIG. 2I, the foamed resin material R is filled with a curing aid W. As the curing aid W, one that is cured by cooling water, paraffin, dry ice, or the like and dissolved by heating is used. Moreover, it may be one selected from various materials comprising a thermoplastic resin having a lower melting point than the urethane resin as the aggregate and a surfactant. That is, any material that cures and melts at a temperature lower than the melting point of the urethane resin as the aggregate may be used.
The method of filling the curing aid W is not particularly limited, and the foamed resin material R is immersed in the curing aid W such as water contained in the container, or the container filled with water is sealed and depressurized or pressurized. The way to do is taken. In short, it is only necessary that the curing aid W such as water enters the internal cavity of the foamed resin material R and is held there.

(硬化工程II)
水などの硬化助剤Wを充填した発泡樹脂材料Rを硬化させる。硬化させるには硬化助剤Wが凍り始める温度以下に冷却すればよい。硬化助剤Wが水の場合は、凍らせて氷にすればよい。
(Curing process II)
The foamed resin material R filled with a curing aid W such as water is cured. In order to cure, the curing aid W may be cooled below the temperature at which it begins to freeze. If the curing aid W is water, it may be frozen to ice.

(スライス工程III)
硬化助剤Wが凍ったことにより硬くなっている発泡樹脂材料Rをスライスする。この工程での発泡樹脂材料Rは硬度が高く剛性も高くなっているので、薄くスライスすることが可能である。このため、0.5mm以下の薄さにスライスすることができる。この薄さは、柔らかいままの発泡樹脂材料Rではスライス不可能な厚さである。
スライスする刃物は任意であり、たとえば、超硬合金やセラミックス、高速度工具鋼などの刃物を利用できる。
この工程により、図3IIIに示す硬化助剤Wで硬化した状態の薄膜状の発泡樹脂材料Rが得られる。
(Slicing process III)
The foamed resin material R that has become hard due to the freezing of the curing aid W is sliced. Since the foamed resin material R in this process has high hardness and high rigidity, it can be sliced thinly. For this reason, it can be sliced to a thickness of 0.5 mm or less. This thinness is a thickness that cannot be sliced with the foamed resin material R that remains soft.
The blade to be sliced is arbitrary, and for example, a blade made of cemented carbide, ceramics, high-speed tool steel or the like can be used.
Through this step, a thin-film foamed resin material R cured with the curing aid W shown in FIG. 3III is obtained.

(硬化助剤除去工程IV)
この工程では硬化助剤Wを除去する。除去する方法は任意であるが、硬化助剤Wを溶融して溶かし去るのが便利である。このためには、硬化助剤Wが溶け始める温度以上に加温すればよい。硬化助剤Wが水の場合は、凍っていた氷を溶かすことでよい。
この工程により、図3IVに示すように、空洞Hに充填されていた硬化助剤Wが無くなり発泡樹脂材料Rのみが残った発泡樹脂薄膜Fが得られる。もちろん空洞Hは空洞のままであり、発泡樹脂薄膜Fの厚さtはスライスされたままの0.5mm以下の極薄である。
(Curing aid removal process IV)
In this step, the curing aid W is removed. The method of removing is arbitrary, but it is convenient to melt and dissolve away the curing aid W. For this purpose, the curing aid W may be heated above the temperature at which it begins to melt. When the hardening aid W is water, it is sufficient to melt frozen ice.
By this step, as shown in FIG. 3IV, there is obtained a foamed resin thin film F in which the curing aid W filled in the cavities H is eliminated and only the foamed resin material R remains. Of course, the cavity H remains a cavity, and the thickness t of the foamed resin thin film F is as thin as 0.5 mm or less as it is sliced.

つぎに、後半工程Bを説明する。
後半工程Bでの付着工程Vの前に、その準備として金属粉末含有スラリーを作っておく必要がある。
まず、アクリル、ウレタン、ポリエチレン、ポリスチレン、ブチラール等の樹脂材料をアセトンやエタノール、トルエン等の常温で蒸発する溶剤によって溶かして液体状のバインダを作り、このバインダに金属粉末mを混ぜて金属粉末含有スラリーを作成する。
Next, the second half process B will be described.
Before the adhesion step V in the second half step B, it is necessary to prepare a metal powder-containing slurry as preparation.
First, resin materials such as acrylic, urethane, polyethylene, polystyrene, butyral, etc. are melted with a solvent that evaporates at room temperature such as acetone, ethanol, toluene, etc. to make a liquid binder, and metal powder m is mixed with this binder to contain metal powder. Create a slurry.

バインダに用いる樹脂材料は、溶剤が蒸発すると固まるが、高温(例えば100℃以上500℃以下)では燃焼、蒸発、分解するものであって、かつ、溶剤に溶けた状態において粘着性を有するものであれば、特に限定はない。なお、水溶性セルローズエーテル(CMC)やメチルセルローズ(MC)等の水溶性の樹脂を用いることもでき、この場合には溶剤として水を使用することができる。   The resin material used for the binder hardens when the solvent evaporates, but it burns, evaporates and decomposes at high temperatures (for example, 100 ° C. or more and 500 ° C. or less) and has adhesiveness when dissolved in the solvent. If there is, there is no limitation in particular. A water-soluble resin such as water-soluble cellulose ether (CMC) or methyl cellulose (MC) can also be used. In this case, water can be used as a solvent.

金属粉末含有スラリーに混ぜる金属粉末としては、とくに制限なく種々の金属粉末を用いることができるが、以下に代表的な金属と、その利用形態を示す。
Ti:PEFC(固体高分子型燃料電池)ガス拡散材(電極材料)
Cu:リチュームイオン電池の負極集電体
Al:リチュウムイオン電池の正極集電体
Ag:ガス拡散電極(ソーダー電解法)、医薬品の電気泳動による治療電極
SUS:純粋製造電極、耐食性フィルター
Ni:ニッケル水素電池集電体、SOFC(リン酸塩型燃料電池)の陽極側ガス拡散材
Various metal powders can be used as the metal powder to be mixed with the metal powder-containing slurry without any particular limitation. Typical metals and their utilization forms are shown below.
Ti: PEFC (solid polymer fuel cell) gas diffusion material (electrode material)
Cu: negative electrode current collector of a lithium ion battery
Al: Positive electrode current collector of lithium ion battery
Ag: Gas diffusion electrode (soda electrolysis method), therapeutic electrode by drug electrophoresis
SUS: Purely manufactured electrode, corrosion resistant filter
Ni: Nickel metal hydride battery current collector, SOFC (phosphate fuel cell) anode side gas diffusion material

(付着工程V)
図4Vに示すように、適当な容器1を入れた金属粉末含有スラリーSに発泡樹脂薄膜Fを浸漬する。既述のごとく、この発泡樹脂薄膜Fは、ウレタンフォームやポリエチレンフォーム、ポリスチレン等の樹脂材料によって形成された網目構造の骨格bを有するものであり、その内部には連続する空隙Hが、空隙率で50%以上有するように形成されたものである。このため、金属粉末含有スラリーSに発泡樹脂薄膜Fを浸漬すると、連続する空隙H内に金属粉末含有スラリーSが侵入し、金属粉末含有スラリーSによって発泡樹脂薄膜Fの骨格bが包囲される。この結果、発泡樹脂薄膜Fの外周面に金属粉末含有スラリーSがまんべんなく付着する。
なお、金属粉末含有スラリーSを発泡樹脂薄膜Fに付着させることができれば、浸漬する方法以外に塗布したり吹き付けたり任意な方法を採用できる。ただし、発泡樹脂薄膜Fの外周にまんべんなく金属粉末含有スラリーSを付着させることができなければならない。
(Adhesion process V)
As shown in FIG. 4V, the foamed resin thin film F is immersed in the metal powder-containing slurry S containing the appropriate container 1. As described above, the foamed resin thin film F has a network structure skeleton b formed of a resin material such as urethane foam, polyethylene foam, or polystyrene, and a continuous void H is formed in the inside thereof. And 50% or more. For this reason, when the foamed resin thin film F is immersed in the metal powder-containing slurry S, the metal powder-containing slurry S enters the continuous void H, and the skeleton b of the foamed resin thin film F is surrounded by the metal powder-containing slurry S. As a result, the metal powder-containing slurry S adheres evenly to the outer peripheral surface of the foamed resin thin film F.
As long as the metal powder-containing slurry S can be attached to the foamed resin thin film F, any method other than the dipping method can be applied or sprayed. However, the metal powder-containing slurry S must be able to adhere to the outer periphery of the foamed resin thin film F evenly.

本工程Vにおいては、非常に薄い発泡樹脂薄膜Fをハンドリングするため、浸漬する間に破れないような対策を用いるのが好ましい。
たとえば、破れ防止としては、発泡樹脂薄膜Fの表裏両面をネットで保護する方法が考えられるが、それ以外の方法でも効果があれば任意な手段を採用してよい。
In this process V, since the very thin foamed resin thin film F is handled, it is preferable to use a measure that does not break during immersion.
For example, a method of protecting both the front and back surfaces of the foamed resin thin film F with a net is conceivable as a prevention of tearing, but any other method may be adopted as long as other methods are effective.

発泡樹脂薄膜Fを形成する樹脂材料については既述しているが、とくに炭素を含有し、かつ、金属粉末含有スラリーSに含まれる溶剤に溶けない物質であって、高温において燃焼または蒸発、分解するものが好ましい。
とくに、発泡樹脂薄膜Fを形成する樹脂材料は、100℃以上600℃以下、好ましくは100℃以上500℃以下、さらに好ましくは、100℃以上400℃以下において燃焼、蒸発、分解するものであることが望ましい。この理由は、金属粉末としてチタンを用いる場合は、400〜600℃程度まではその表面に形成されている不動態被膜の活性が低く他の物質と反応しないからであり、後述する樹脂除去工程VIIにおいて、樹脂材料が分解して炭素や水素、酸素等が発生しても、これらの物質が金属粉末内部に拡散したり、金属粉末と反応して化合物を形成することを防ぐことができるからである。
また、金属粉末としてアルミニウムを用いる場合は、融点が660℃で焼結温度が500〜600℃だから、上記と同様の条件で発泡樹脂薄膜Fを形成する樹脂材料を選択すればよい。
さらに、チタンとアルムニウム以外の金属粉末は反応性が弱いので、上記の条件を満足しない樹脂材料でもよく、満足する樹脂材料でもよい。
The resin material for forming the foamed resin thin film F has already been described. In particular, it is a substance that contains carbon and is insoluble in the solvent contained in the metal powder-containing slurry S, and burns, evaporates or decomposes at high temperatures. Those that do are preferred.
In particular, the resin material forming the foamed resin thin film F is one that burns, evaporates, and decomposes at 100 ° C. to 600 ° C., preferably 100 ° C. to 500 ° C., and more preferably 100 ° C. to 400 ° C. Is desirable. The reason for this is that when titanium is used as the metal powder, the passive film formed on the surface has a low activity up to about 400 to 600 ° C. and does not react with other substances. However, even if the resin material is decomposed to generate carbon, hydrogen, oxygen, etc., these substances can be prevented from diffusing inside the metal powder or reacting with the metal powder to form a compound. is there.
Moreover, when using aluminum as a metal powder, since melting | fusing point is 660 degreeC and sintering temperature is 500-600 degreeC, what is necessary is just to select the resin material which forms the foamed resin thin film F on the conditions similar to the above.
Furthermore, since metal powders other than titanium and aluminium are weakly reactive, they may be resin materials that do not satisfy the above conditions or resin materials that satisfy them.

(乾燥工程VI)
発泡樹脂薄膜Fの空隙H内にも十分に金属粉末含有スラリーSが侵入し付着が充分に行われた後、金属粉末含有スラリーSから発泡樹脂薄膜Fを取り出すと、発泡樹脂薄膜Fの空隙H内に浸入していた金属粉末含有スラリーSの余分なものは、発泡樹脂薄膜Fから排出され、金属粉末含有スラリーSの残りは、発泡樹脂薄膜Fにおける網目構造の骨格bの表面に付着したまま残留する。
そして、発泡樹脂薄膜Fを乾燥させると、図4(VI)に示すように、金属粉末mを含有した層Lが、骨格bの表面に形成される。すると、金属粉末mを含有した層Lも、網目構造に形成される。
(Drying process VI)
After the metal powder-containing slurry S has sufficiently penetrated into and adhered to the void H of the foamed resin thin film F, and the foamed resin thin film F is taken out from the metal powder-containing slurry S, the void H of the foamed resin thin film F is obtained. The excess of the metal powder-containing slurry S that has entered the inside is discharged from the foamed resin thin film F, and the remainder of the metal powder-containing slurry S remains attached to the surface of the skeleton b of the network structure in the foamed resin thin film F. Remains.
When the foamed resin thin film F is dried, a layer L containing the metal powder m is formed on the surface of the skeleton b as shown in FIG. Then, the layer L containing the metal powder m is also formed in a network structure.

(樹脂除去工程VII)
つぎに、乾燥した発泡樹脂薄膜Fを焼結炉内のセッター(焼結用受け台)に置いて加熱し、発泡樹脂薄膜Fの骨格b内部にある樹脂材料を除去する。この結果、図5(VII)に示すように、骨格b自体が内部に空洞hがあり、骨格bと骨格bの間に空隙Hが大きく空いた中空骨格多孔質板が得られる。
(Resin removal step VII)
Next, the dried foamed resin thin film F is placed on a setter (sintering cradle) in a sintering furnace and heated to remove the resin material inside the skeleton b of the foamed resin thin film F. As a result, as shown in FIG. 5 (VII), a hollow skeleton porous plate in which the skeleton b itself has a cavity h and a large gap H is formed between the skeleton b and the skeleton b is obtained.

発泡樹脂薄膜Fのような物質は微細になるほど活性が高まり反応しやすくなる。たとえば、本工程VIにおいて、発泡樹脂薄膜Fが0.2mm程度まで薄くなると、セッターに接着してしまう不都合も生ずる。
そのため、セッターの材質選択が重要であり、たとえば、安定化ジルコニア、マグネシア、石英ガラス、モリブデンなどが高温における反応性が弱いという理由で好ましい。
焼結炉としては、外部電熱加熱の真空炉よりもミリ波焼結による加熱炉が用いやすい。一般的な電子レンジ(2.45GHz)は波長が長く(約12cm)、火花放電が起こり加熱できないが、30GHzの電磁波(波長は約1cm)の内部加熱を使うと、金属を選択的に加熱するので、セッターは高温にならず、発泡樹脂薄膜Fのみ加熱できるからである。
焼結炉内の温度が約100℃以上、つまり、樹脂材料が燃焼、分解、蒸発する温度を超えると、樹脂材料を構成していた有機物は分解し、有機物中に存在していた酸素や水素は気化したり、互いに結合して水蒸気となったりして炉内から排出される。また、有機物中に存在していた炭素も、有機物中に存在していた酸素と結合して二酸化炭素や一酸化炭素となって蒸発した後炉内から排出される。
A substance such as the foamed resin thin film F becomes more active as it becomes finer. For example, in this step VI, if the foamed resin thin film F is thinned to about 0.2 mm, there is a disadvantage that it adheres to the setter.
Therefore, the material selection of the setter is important, and for example, stabilized zirconia, magnesia, quartz glass, molybdenum and the like are preferable because of low reactivity at high temperatures.
As a sintering furnace, a heating furnace using millimeter wave sintering is easier to use than a vacuum furnace with external electric heating. A general microwave oven (2.45GHz) has a long wavelength (about 12cm), and spark discharge occurs and cannot be heated. However, using internal heating of 30GHz electromagnetic waves (wavelength is about 1cm) will heat the metal selectively. This is because the setter does not reach a high temperature and only the foamed resin thin film F can be heated.
When the temperature in the sintering furnace is about 100 ° C or higher, that is, when the temperature exceeds the temperature at which the resin material burns, decomposes, and evaporates, the organic material that made up the resin material decomposes, and oxygen and hydrogen that were present in the organic material Is vaporized or combined with each other to form water vapor and discharged from the furnace. Also, the carbon present in the organic matter is combined with the oxygen present in the organic matter, becomes carbon dioxide and carbon monoxide, and is evaporated from the furnace.

このとき有機物に含まれていた炭素は、全てが酸素と結合して蒸発するのではなく、一部の炭素は遊離炭素となって金属粒子の表面に残留する。すると、この遊離炭素は金属粉末m同士をくっつける結合剤として機能するので、金属粉末mによって金属構造体の骨格bが形成される。すなわち、樹脂材料の層Lに存在していた金属粉末同士がそのままの位置に配置された状態で結合するから、この金属構造体は、樹脂材料の層Lとほぼ同じ構造となる。つまり、金属構造体は網目構造に形成され、しかも、網目構造の骨格bは、その内部が中空になった状態となる。   At this time, the carbon contained in the organic substance is not all bonded to oxygen and evaporated, but a part of the carbon becomes free carbon and remains on the surface of the metal particle. Then, since this free carbon functions as a binder that bonds the metal powder m to each other, a skeleton b of the metal structure is formed by the metal powder m. That is, since the metal powders existing in the layer L of the resin material are bonded in a state where they are arranged as they are, this metal structure has almost the same structure as the layer L of the resin material. That is, the metal structure is formed in a network structure, and the skeleton b of the network structure is in a hollow state.

(金属粉末結合工程VIII)
金属構造体の骨格bが形成された後も加熱を継続すると、焼結炉内の温度はさらに上昇し、金属構造体の骨格bも網目構造を維持したまま昇温される。そして、焼結炉内の温度が高温になると金属粉の表面の活性が高くなり、金属粉末同士が直接接触して互いに結合する。この工程により図5(VIII)に示すような骨格の外皮を構成する金属部が一体となった強度の高い骨格が得られる。なお、外皮自体にも金属粉末m同士の間の隙間が残った小さな空洞が生じ、さらに高い空隙率を得る理由となっている。
(Metal powder bonding process VIII)
If heating is continued after the skeleton b of the metal structure is formed, the temperature in the sintering furnace further increases, and the skeleton b of the metal structure is also heated while maintaining the network structure. And when the temperature in a sintering furnace becomes high temperature, the activity of the surface of metal powder will become high, and metal powder will contact directly and will mutually couple | bond together. By this step, a high strength skeleton in which the metal parts constituting the skeleton outer skin as shown in FIG. 5 (VIII) are integrated is obtained. In addition, a small cavity in which a gap between the metal powders m remains also in the outer skin itself, which is a reason for obtaining a higher porosity.

金属粉末の直接接触による骨格bを形成する詳細な理由は、以下のとおりである。
金属粉末がチタンの場合、炉内温度が600℃以上になると、チタン粉末の表面に形成されている不動態被膜の活性が高くなり、他の物質と反応しやすくなる。すると、チタン酸化物の酸素は、チタン粉末表面に存在している遊離炭素と反応してCOやCOとなってチタン粉末から分離し、分離したCOやCOは真空炉内から除去される。同時に、チタン構造体に水素が残留している場合には、遊離炭素の一部は残留水素と反応してハイドロカーボン(HC)となりガス化してチタン構造体から除去される。また、遊離炭素の一部はチタン粉末に拡散する。
すると、チタン粉末は、その金属チタン同士が直接接触するようになり、接触した金属チタン同士の間で相互拡散が発生し、隣接するチタン粉末m同士が拡散接合する。すると、結合剤として機能していた遊離炭素が消滅しても、チタン粉末mだけで発泡樹脂薄膜Fの層Lとほぼ同じ構造の網目構造が維持される。そして、時間の経過とともに、チタン粉末mの拡散接合が進行し、チタン粉末mによって形成された網目構造の骨格を有する強固な多孔質薄板が形成されるのである。
チタン以外の銅やアルミニウムからなる金属粉末についても高温焼結による骨格bの形成理由は同様である。
The detailed reason for forming the skeleton b by direct contact with the metal powder is as follows.
When the metal powder is titanium, when the furnace temperature is 600 ° C. or higher, the activity of the passive film formed on the surface of the titanium powder becomes high, and it easily reacts with other substances. Then, oxygen in the titanium oxide reacts with free carbon existing on the surface of the titanium powder to become CO and CO 2 to be separated from the titanium powder, and the separated CO and CO 2 are removed from the vacuum furnace. . At the same time, when hydrogen remains in the titanium structure, a part of the free carbon reacts with the residual hydrogen to become hydrocarbon (HC), which is gasified and removed from the titanium structure. A part of free carbon diffuses into titanium powder.
Then, the titanium powder comes into direct contact with the metal titanium, mutual diffusion occurs between the metal titanium in contact with each other, and the adjacent titanium powder m is diffusion-bonded. Then, even if the free carbon that functioned as the binder disappears, the network structure having substantially the same structure as that of the layer L of the foamed resin thin film F is maintained with the titanium powder m alone. Then, with time, diffusion bonding of the titanium powder m proceeds, and a strong porous thin plate having a network structure skeleton formed of the titanium powder m is formed.
The reason for forming the skeleton b by high-temperature sintering is the same for metal powders made of copper or aluminum other than titanium.

上記の高温焼結に際しては、ミリ波加熱焼結装置を用いるのが好ましい。
たとえば、アルミニウムはチタン以上に強固な酸化皮膜を形成しているので、難焼結材である。一般的な高真空(10−3MP程度)の外部加熱炉では酸化皮膜を除去するためには、超高真空(10−4MP程度)を必要とするが、30GHzクラスのミリ波照射をする加熱炉であれば、炉内が還元雰囲気になる(試料から酸素が放出される)ので、超高真空にせずとも焼結が進行する。
また、材料の内部加熱が起こる電磁波加熱は電子レンジに使われている2.45GHzが知られているが、波長が12cmもあり、電界の分布を均一にすることが困難なため、試料を均一に加熱することが出来ない。また導電体である金属は火花放電するので使えない。これに対して1桁周波数の高い28GHz(波長1cm)の電磁波を用いれば、試料を均一に加熱することが容易であるとともに、火花放電も起こらない。したがって、ミリ波照射加熱焼結法でセッターとの融着をなくし、厚さ0.2mmの試料の焼結時破断を防ぐことも可能である。
In the above high-temperature sintering, it is preferable to use a millimeter-wave heat sintering apparatus.
For example, aluminum is a difficult-to-sinter material because it forms a stronger oxide film than titanium. In a general high vacuum (about 10 −3 MP) external heating furnace, an ultra high vacuum (about 10 −4 MP) is required to remove the oxide film, but 30 GHz class millimeter wave irradiation is performed. In the case of a heating furnace, the inside of the furnace becomes a reducing atmosphere (oxygen is released from the sample), so that the sintering proceeds without an ultrahigh vacuum.
In addition, 2.45 GHz, which is used for microwave ovens, is known for electromagnetic heating that causes internal heating of the material, but the wavelength is 12 cm and it is difficult to make the electric field distribution uniform. It cannot be heated. Also, the metal that is a conductor cannot be used because it sparks. On the other hand, if an electromagnetic wave having a single digit frequency of 28 GHz (wavelength 1 cm) is used, it is easy to uniformly heat the sample and no spark discharge occurs. Therefore, the fusion with the setter can be eliminated by the millimeter-wave irradiation heating sintering method, and it is possible to prevent breakage during sintering of a 0.2 mm thick sample.

以上の工程を経て、金属構造体のみによって作られた中空骨格網目構造であり、しかも0.5mm以下の薄さも実現された極薄の金属多孔質薄板Mが得られる。
そして、この金属多孔質薄板Mは極めて薄いので、これを電極等に利用した場合、その小型化が可能となる。
Through the above steps, an ultrathin metal porous thin plate M having a hollow skeleton network structure made only of a metal structure and having a thickness of 0.5 mm or less is obtained.
And since this metal porous thin plate M is very thin, when this is utilized for an electrode etc., the miniaturization becomes possible.

上記製法で得られた金属多孔質薄板Mの特徴をさらに説明する。
本発明の金属多孔質薄板は、上記のごとき中空骨格網目構造を有しているので、ウレタンフォーム等と同程度の空隙率、すなわち、80%〜95%程度の高い空隙率を達成するものである。このため、電池に要求されるガス拡散性能は良好となる。
The characteristics of the metal porous thin plate M obtained by the above production method will be further described.
Since the metal porous thin plate of the present invention has a hollow skeleton network structure as described above, it achieves the same porosity as urethane foam or the like, that is, a high porosity of about 80% to 95%. is there. For this reason, the gas diffusion performance requested | required of a battery becomes favorable.

本発明の金属多孔質薄板では、中空骨格網目構造の骨格が金属粉末が結合して形成されているので、構造的な強度も強く、たとえば0.1〜0.5mmに極薄化しても、それ自体が形状を維持する形状保持性を有する。また、高純度の金属焼結体になっているので、折り曲げ等の塑性変形が可能であり、クリープ特性も良好である。したがって、電池のスタックに組み込んだ後の締め付け力を維持しやすい。   In the porous metal thin plate of the present invention, since the skeleton of the hollow skeleton network structure is formed by bonding metal powder, the structural strength is also strong, for example, even if it is extremely thinned to 0.1 to 0.5 mm, for example. It has shape retention to maintain the shape. Moreover, since it is a high purity metal sintered body, plastic deformation such as bending is possible, and the creep characteristics are also good. Therefore, it is easy to maintain the tightening force after being incorporated into the battery stack.

また、中空骨格網目構造の骨格自体が金属粉末の結合によって形成されたものであるから、導電性も優れている。よって、導電性も要求される燃料電池用の電極としても使用することができる。
とくに、粒径が小さい粉末、例えば、平均粒径50μm以下、好ましくは、平均粒径20μm以下の粉末を使用して骨格を形成すれば、金属多孔質薄板全体の空隙率は高くなっても、骨格自体の空隙率は小さくすることができる。言い換えれば、骨格部分における金属粉末間に形成される隙間が小さくなる。すると、空隙率は高くなっても骨格自体の強度は高く維持することが可能となるから、空隙率を高くしても多孔質薄板の強度低下を防ぐことができる。
Further, since the skeleton itself of the hollow skeleton network structure is formed by bonding of metal powder, the conductivity is also excellent. Therefore, it can be used as an electrode for a fuel cell that also requires electrical conductivity.
In particular, if the skeleton is formed using a powder having a small particle size, for example, a powder having an average particle size of 50 μm or less, preferably an average particle size of 20 μm or less, even if the porosity of the entire metal porous thin plate is increased, The porosity of the skeleton itself can be reduced. In other words, the gap formed between the metal powders in the skeleton portion is reduced. Then, since the strength of the skeleton itself can be maintained high even when the porosity is increased, the strength reduction of the porous thin plate can be prevented even if the porosity is increased.

本発明の金属多孔質薄板は、金属粉末が結合した網目構造の骨格が形成されており、この骨格同士の間に多数の連続する空隙が形成されているから、粉末の大きさ以上の空隙を形成できることはもちろん、粉末の大きさに制限されることなく空隙の幅を自由に調整することができ、空隙率を80%〜95%程度とすることも可能となるのである。しかも、本発明の金属多孔質薄板の場合、金属粉末の平均粒径が小さくなればなるほど網目構造の骨格の形状や配置等の自由度が大きくなるのであるから、粉末の平均粒径を小さくすれば、空隙率をさらに大きくできる可能性があるのである。
そして、金属粉末の粒径が小さくなれば骨格部分の空隙率は小さくなるが、骨格部分の空隙率が小さくなることによって粒子同士の結合が強くなり網目構造の骨格の強度を高めることができるから、高い空隙率を維持しつつ金属多孔質薄板の強度を高めることができる。つまり、金属多孔質薄板の強度向上と空隙率の向上の両方を満たすことが可能となるのである。
In the metal porous thin plate of the present invention, a skeleton having a network structure in which metal powder is bonded is formed, and a large number of continuous voids are formed between the skeletons. Of course, the width of the void can be freely adjusted without being limited by the size of the powder, and the void ratio can be about 80% to 95%. Moreover, in the case of the metal porous thin plate of the present invention, the smaller the average particle size of the metal powder, the greater the degree of freedom of the shape and arrangement of the skeleton of the network structure, so the average particle size of the powder should be reduced. In this case, the porosity can be further increased.
And, if the particle size of the metal powder is reduced, the porosity of the skeleton portion is reduced, but by reducing the porosity of the skeleton portion, the bond between particles is strengthened and the strength of the skeleton of the network structure can be increased. The strength of the metal porous thin plate can be increased while maintaining a high porosity. That is, it is possible to satisfy both the strength improvement and porosity improvement of the metal porous thin plate.

上記の金属多孔質薄板Mの利用可能な用途を例示すると、以下のとおりである。
PEFC(固体高分子型燃料電池)のガス拡散材(電極材料)
リチュームイオン電池の負極集電体
リチュウムイオン電池の正極集電体
ガス拡散電極(ソーダー電解法)
医薬品の電気泳動による治療電極
純粋製造電極、耐食性フィルター
ニッケル水素電池集電体、SOFC(リン酸塩型燃料電池)の陽極側ガス拡散材
Examples of usable applications of the metal porous thin plate M are as follows.
PEFC (solid polymer fuel cell) gas diffusion material (electrode material)
Negative current collector of lithium ion battery
Positive current collector of lithium ion battery
Gas diffusion electrode (soda electrolysis method)
Therapeutic electrodes by electrophoresis of pharmaceuticals
Pure production electrode, corrosion resistant filter
Nickel metal hydride battery current collector, SOFC (phosphate fuel cell) anode side gas diffusion material

また、チタン製の金属多孔質薄板Mについては、上記以外に下記の利用も可能である。再生医療における細胞培養における細胞の足場(scaffold スキャフォールド)
歯周病治療等におけるスペースメイキング材(バリア膜)
In addition to the above, the following utilization is also possible for the metal porous thin plate M made of titanium. Cell scaffold in cell culture in regenerative medicine
Space-making material (barrier film) for periodontal disease treatment

2 基礎材料の網目構造の骨格
m チタン粉末
J 樹脂材料
L 樹脂材料Jの層
H 空隙
2 Mesh structure of base material m Titanium powder J Resin material L Layer of resin material J H

Claims (5)

厚さが0.1〜0.5mmの薄板である金属多孔質薄板を製造する方法であって、
発泡樹脂材に硬化助剤を充填する硬化助剤充填工程、
硬化助剤が充填された発泡樹脂材を硬化させる硬化工程、
硬化した発泡樹脂材を薄膜にスライスするスライス工程、
スライスされた発泡樹脂薄膜から硬化助剤を除する硬化助剤除去工程、
発泡樹脂薄膜に金属粉末スラリーを付着させる付着工程、
金属粉末スラリーが塗布された発泡樹脂薄膜を乾燥させる乾燥工程、
乾燥した発泡樹脂薄膜から発泡樹脂部分を除去し金属粉末のみ残す樹脂除去工程、
残された金属粉末を互いに結合させる金属粉末結合工程を
順に実行する
ことを特徴とする金属多孔質薄板の製造方法。
A method for producing a metal porous thin plate having a thickness of 0.1 to 0.5 mm,
Curing aid filling process for filling the foamed resin material with a curing aid,
A curing step of curing the foamed resin material filled with the curing aid,
A slicing step of slicing the cured foamed resin material into a thin film;
A curing aid removing step for removing the curing aid from the sliced foamed resin thin film;
An adhesion process for attaching metal powder slurry to the foamed resin thin film;
A drying step of drying the foamed resin thin film coated with the metal powder slurry;
A resin removal step of removing the foamed resin portion from the dried foamed resin thin film and leaving only the metal powder;
A method for producing a metal porous thin plate, comprising sequentially performing a metal powder bonding step of bonding the remaining metal powders to each other.
前記金属粉末がチタンである
ことを特徴とする請求項1記載の金属多孔質薄板の製造方法。
The method for producing a metal porous thin plate according to claim 1, wherein the metal powder is titanium.
前記金属粉末が銅である
ことを特徴とする請求項1記載の金属多孔質薄板の製造方法。
The method for producing a metal porous thin plate according to claim 1, wherein the metal powder is copper.
前記金属粉末がアルミニウムである
ことを特徴とする請求項1記載の金属多孔質薄板の製造方法。
The method for producing a metal porous thin plate according to claim 1, wherein the metal powder is aluminum.
請求項1の製法によって製造されたものであり、
金属粉末によって形成された多孔質薄板であって、
金属粉末同士が結合して形成された網目構造の骨格を有し、かつ該骨格の内部が空洞になっており、
厚さが0.1〜0.5mmの薄板である
ことを特徴とする金属多孔質薄板
Manufactured by the manufacturing method of claim 1,
A porous thin plate formed of metal powder,
It has a skeleton with a network structure formed by bonding metal powders, and the inside of the skeleton is hollow,
A metal porous thin plate characterized by being a thin plate having a thickness of 0.1 to 0.5 mm .
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