JP5564354B2 - Microphone array - Google Patents

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Description

本発明は、複数個の単一指向性コンデンサマイクロホンユニットを有するマイクロホンアレイに関し、さらに詳しく言えば、各コンデンサマイクロホンユニットの出力を加算することにより指向性を狭指向性としたマイクロホンアレイに関するものである。   The present invention relates to a microphone array having a plurality of unidirectional condenser microphone units, and more particularly to a microphone array having a narrow directivity by adding the outputs of each condenser microphone unit. .

特許文献1には、指向周波数応答が高域まで優れていて、しかも良好なS/N比を得るため、小口径(口径が20mm以下)である複数個の単一指向性コンデンサマイクロホンユニット(以下、単に「マイクロホンユニット」と言うことがある)を、それらの主軸を互いに平行とし、かつ、各振動板を同一平面上に存在するように配置し、各マイクロホンユニットを一つのインピーダンス変換器に接続することが提案されている。   Patent Document 1 discloses that a plurality of unidirectional condenser microphone units (hereinafter referred to as 20 mm or less) having a small caliber (with a caliber of 20 mm or less) have excellent directional frequency response up to a high frequency range and a good S / N ratio. , Simply referred to as “microphone unit”), their main axes are parallel to each other, and each diaphragm is placed on the same plane, and each microphone unit is connected to one impedance converter It has been proposed to do.

このように、複数個のマイクロホンユニットを同一平面上に並べたマイクロホンアレイにおいて、各マイクロホンユニットから出力される音声信号を加算することにより、その指向性を狭指向性とすることができる。その一例を図5により説明する。   Thus, in a microphone array in which a plurality of microphone units are arranged on the same plane, the directivity can be made narrow by adding the audio signals output from the respective microphone units. One example will be described with reference to FIG.

この例において、マイクロホンアレイは、5個のマイクロホンユニット10a〜10eを備える。各マイクロホンユニット10a〜10eは、ともに単一指向性で同一構成であるため、それらを区別する必要がない場合には、総称としてマイクロホンユニット10とする。   In this example, the microphone array includes five microphone units 10a to 10e. Since the microphone units 10a to 10e are both unidirectional and have the same configuration, the microphone units 10 are collectively referred to when they need not be distinguished.

各マイクロホンユニット10は、マイクロホンカプセル11と、インピーダンス変換器としてのFET(電界効果トランジスタ)素子12とを有する。なお、マイクロホンカプセル11とFET素子12は、図示しない黄銅合金もしくはアルミニウム等からなる金属製のユニットケース内に組み込まれている。   Each microphone unit 10 includes a microphone capsule 11 and an FET (field effect transistor) element 12 as an impedance converter. The microphone capsule 11 and the FET element 12 are incorporated in a metal unit case made of a brass alloy or aluminum (not shown).

詳細な図示は省略するが、マイクロホンカプセル11には、スペーサリングを介して対向的に配置された振動板11aと固定極11bとが含まれている。   Although not shown in detail, the microphone capsule 11 includes a diaphragm 11a and a fixed pole 11b that are arranged to face each other via a spacer ring.

各マイクロホンユニット10は、それらの主軸(振動板11aの中心軸で、指向軸,収音軸とも呼ばれる)を互いに平行とし、かつ、各振動板11aが同一平面上に存在するように配置される。   The microphone units 10 are arranged so that their principal axes (the central axis of the diaphragm 11a, also referred to as the directional axis and the sound collection axis) are parallel to each other, and the diaphragms 11a are on the same plane. .

通常、FET素子12には、そのゲート極Gとソース極Sとの間に、電流が流れる順方向を逆として並列に接続された2つのダイオードD1,D2と、このダイオード群に対して並列に接続された高抵抗素子R1とを含むバイアス内蔵型のFETが用いられる。   Usually, the FET element 12 has two diodes D1 and D2 connected in parallel between the gate electrode G and the source electrode S with the forward direction of current flowing in reverse, and in parallel with the diode group. A bias built-in type FET including the connected high resistance element R1 is used.

各マイクロホンユニット10において、マイクロホンカプセル11の振動板11aは接地され、固定極11bはFET素子12のゲート極Gに接続される。また、FET素子12のドレイン極Dは駆動電源+Vに接続され、ソース極Sは接地される。なお、接地にはマイクロホンカプセル11の図示しない金属材からなるカプセルケースもしくは上記ユニットケースが用いられる。   In each microphone unit 10, the diaphragm 11 a of the microphone capsule 11 is grounded, and the fixed electrode 11 b is connected to the gate electrode G of the FET element 12. Further, the drain pole D of the FET element 12 is connected to the drive power supply + V, and the source pole S is grounded. For the grounding, a capsule case made of a metal material (not shown) of the microphone capsule 11 or the unit case is used.

振動板11aが音源から到来する音波によって振動すると、固定極11bとの間の静電容量が変化し、その変化分に応じた音声信号がFET素子12のソース極Sから出力される。   When the diaphragm 11a is vibrated by a sound wave coming from a sound source, the capacitance between the diaphragm 11a and the fixed pole 11b changes, and an audio signal corresponding to the change is output from the source pole S of the FET element 12.

このマイクロホンアレイでは、狭指向性を得るため、各FET素子12のソース極Sを直流阻止用のコンデンサCを介して加算器13に接続している。この種の信号用加算器13には、通常、反転増幅器が用いられる。   In this microphone array, the source pole S of each FET element 12 is connected to the adder 13 via a DC blocking capacitor C in order to obtain narrow directivity. An inverting amplifier is usually used for this type of signal adder 13.

特開2006−5710号公報JP 2006-5710 A

上記のように、ともに単一指向性で同一構成である複数個のマイクロホンユニットを同一平面上に並べたマイクロホンアレイにおいて、各マイクロホンユニットから出力される音声信号を加算することにより、その指向性を狭指向性とすることができるが、上記従来例では、その加算を反転増幅器からなる加算器で行うようにしているため、その分、部品コストが高くなり、また、回路構成も複雑になる。   As described above, in a microphone array in which a plurality of microphone units having the same configuration with a single directivity are arranged on the same plane, the directivity is increased by adding the audio signals output from the microphone units. Although the directivity can be made narrower, in the above-described conventional example, the addition is performed by an adder composed of an inverting amplifier. Therefore, the component cost is increased correspondingly, and the circuit configuration is also complicated.

したがって、本発明の課題は、加算器を用いることなく、簡単な回路構成で各マイクロホンユニットから出力される音声信号を加算して狭指向性としたマイクロホンアレイを提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a microphone array having a narrow directivity by adding audio signals output from each microphone unit with a simple circuit configuration without using an adder.

上記課題を解決するため、本発明は、振動板と固定極とを所定の間隔で対向的に配置してなるマイクロホンカプセルと、上記振動板と固定極との間の静電容量を音声信号として出力するインピーダンス変換器としてのFET素子とを含む単一指向性のコンデンサマイクロホンユニットを少なくとも3個備え、上記各コンデンサマイクロホンユニットの音声信号を加算して出力するマイクロホンアレイにおいて、
上記各コンデンサマイクロホンユニットが、それらの主軸を互いに平行とし、かつ、上記各振動板が同一平面上に存在する状態で上記主軸と直交する方向に沿って均等間隔で直線的に一列に配置され、上記各FET素子のゲート極に上記固定極がそれぞれ接続され、上記各振動板および上記各FET素子のソース極がそれぞれ接地され、上記各FET素子のドレイン極がそれぞれ所定の駆動電源に接続され、上記コンデンサマイクロホンユニット列の一端側から他端側にかけて、上記FET素子のソース極が隣接する次段の上記コンデンサマイクロホンユニットの振動板側に順次直列に接続され、上記他端側に存在する最終段のコンデンサマイクロホンユニットのソース極から上記各コンデンサマイクロホンユニットの音声信号が加算されて出力されることを特徴としている。
In order to solve the above-described problems, the present invention provides a microphone capsule in which a diaphragm and a fixed pole are arranged opposite to each other at a predetermined interval, and a capacitance between the diaphragm and the fixed pole as an audio signal. In a microphone array that includes at least three unidirectional condenser microphone units including an FET element as an impedance converter to output, and outputs the summed audio signals of the condenser microphone units.
The condenser microphone units are arranged in a straight line at equal intervals along a direction orthogonal to the main axis in a state where the main axes are parallel to each other and the diaphragms are on the same plane, The fixed electrode is connected to the gate electrode of each FET element, the source electrode of each diaphragm and each FET element is grounded, and the drain electrode of each FET element is connected to a predetermined drive power source, respectively. From one end side to the other end side of the condenser microphone unit row, the source electrode of the FET element is sequentially connected in series to the diaphragm side of the adjacent condenser microphone unit of the next stage, and the final stage existing on the other end side The audio signal of each condenser microphone unit is added from the source electrode of the condenser microphone unit. It is characterized by being force.

音声信号のみを加算するため、本発明においても、上記FET素子のソース極と、次段の上記コンデンサマイクロホンユニットの振動板とを接続する配線内に直流阻止用のコンデンサがそれぞれ介装される。   In order to add only the audio signal, also in the present invention, a DC blocking capacitor is interposed in the wiring connecting the source electrode of the FET element and the diaphragm of the capacitor microphone unit in the next stage.

本発明によれば、コンデンサマイクロホンユニット列の一端側から他端側にかけて、FET素子のソース極を隣接する次段のコンデンサマイクロホンユニットの振動板側に順次直列に接続し、前段側のマイクロホンユニットのFET出力で後段側のマイクロホンユニットの接地を駆動するようにしたことにより、加算器を必要とすることなく、各マイクロホンユニットから出力される音声信号を加算することができる。また、主軸と直交する90゜方向からの音波には、音速とマイクロホンユニット間の距離による時間差が発生し相互に干渉することから、狭指向性とすることができる。   According to the present invention, from one end side to the other end side of the capacitor microphone unit row, the source electrode of the FET element is sequentially connected in series to the diaphragm side of the adjacent capacitor microphone unit of the next stage, and the microphone unit of the previous stage side is connected. Since the grounding of the microphone unit on the rear stage side is driven by the FET output, the audio signal output from each microphone unit can be added without the need for an adder. In addition, the sound waves from the 90 ° direction orthogonal to the main axis generate a time difference depending on the sound speed and the distance between the microphone units and interfere with each other.

本発明によるマイクロホンアレイの実施形態を示す模式図。The schematic diagram which shows embodiment of the microphone array by this invention. 上記マイクロホンアレイに含まれる各マイクロホンの配置関係を示す模式図。The schematic diagram which shows the arrangement | positioning relationship of each microphone contained in the said microphone array. 上記マイクロホンアレイの実測ポーラパターンを示すグラフ。The graph which shows the measured polar pattern of the said microphone array. 上記マイクロホンアレイの実測周波数応答を示すグラフ。The graph which shows the measured frequency response of the said microphone array. 狭指向性マイクロホンアレイの従来例を示す模式図。The schematic diagram which shows the prior art example of a narrow directivity microphone array.

次に、図1ないし図4により、本発明の実施形態について説明する。なお、この実施形態の説明において、先の図5で説明した従来例と同一の構成要素には同じ参照符号を付している。   Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In the description of this embodiment, the same components as those in the conventional example described in FIG.

図1を参照して、この実施形態に係るマイクロホンアレイは、先の図5で説明した従来例と同じく、5個のマイクロホンユニット10a〜10eを備える。各マイクロホンユニット10a〜10eは、ともに単一指向性で同一構成であるため、ここでの説明においても、それらを特に区別する必要がない場合には、総称としてマイクロホンユニット10とする。   Referring to FIG. 1, the microphone array according to this embodiment includes five microphone units 10a to 10e as in the conventional example described with reference to FIG. The microphone units 10a to 10e are both unidirectional and have the same configuration. Therefore, in the description here, the microphone units 10 are collectively referred to when there is no need to distinguish them.

各マイクロホンユニット10は、マイクロホンカプセル11と、インピーダンス変換器としてのFET(電界効果トランジスタ)素子12とを有する。なお、マイクロホンカプセル11とFET素子12は、図示しない黄銅合金もしくはアルミニウム等からなる金属製のユニットケース内に組み込まれている。   Each microphone unit 10 includes a microphone capsule 11 and an FET (field effect transistor) element 12 as an impedance converter. The microphone capsule 11 and the FET element 12 are incorporated in a metal unit case made of a brass alloy or aluminum (not shown).

詳細な図示は省略するが、マイクロホンカプセル11には、電気絶縁性のスペーサリングを介して対向的に配置された振動板11aと固定極11bとが含まれている。   Although not shown in detail, the microphone capsule 11 includes a diaphragm 11a and a fixed pole 11b that are arranged to face each other via an electrically insulating spacer ring.

振動板11aには、片面に金属蒸着膜を有する合成樹脂の薄膜が用いられ、図示しない金属性の支持リング(ダイアフラムリング)に張設されている。金属蒸着膜は支持リングと対面しており、支持リングと電気的に導通している。   The diaphragm 11a is made of a synthetic resin thin film having a metal vapor deposition film on one side, and is stretched around a metallic support ring (diaphragm ring) (not shown). The metal vapor deposition film faces the support ring and is electrically connected to the support ring.

固定極11bには、アルミニウム等の多孔の金属板が用いられ、図示しない合成樹脂製の絶縁座に支持されている。固定極11bの振動板11aとの対向面に、エレクトレット誘電体膜が設けられてもよい。   A porous metal plate such as aluminum is used for the fixed electrode 11b, and is supported by an insulating seat made of synthetic resin (not shown). An electret dielectric film may be provided on the surface of the fixed pole 11b facing the diaphragm 11a.

この実施形態においても、FET素子12には、ゲート極Gとソース極Sとの間に、電流が流れる順方向を逆として並列に接続された2つのダイオードD1,D2と、このダイオード群に対して並列に接続された高抵抗素子R1とを含むバイアス内蔵型のFETが用いられる。   Also in this embodiment, the FET element 12 includes two diodes D1 and D2 connected in parallel between the gate electrode G and the source electrode S with the forward direction of current flowing in reverse, and the diode group. And a bias built-in type FET including a high resistance element R1 connected in parallel.

各マイクロホンユニット10において、マイクロホンカプセル11の振動板11aは接地され、固定極11bはFET素子12のゲート極Gに接続される。また、FET素子12のドレイン極Dは駆動電源+Vに接続され、ソース極Sは接地される。なお、接地にはマイクロホンカプセル11の図示しない金属材からなるカプセルケースもしくは上記ユニットケースが用いられる。   In each microphone unit 10, the diaphragm 11 a of the microphone capsule 11 is grounded, and the fixed electrode 11 b is connected to the gate electrode G of the FET element 12. Further, the drain pole D of the FET element 12 is connected to the drive power supply + V, and the source pole S is grounded. For the grounding, a capsule case made of a metal material (not shown) of the microphone capsule 11 or the unit case is used.

振動板11aが音源から到来する音波によって振動すると、固定極11bとの間の静電容量が変化し、その変化分に応じた音声信号がFET素子12のソース極Sから出力されるが、本発明においては、各マイクロホンユニット10から出力される音声信号を加算して狭指向性とするため、次のような配置形態および配線形態が採用される。   When the diaphragm 11a is vibrated by a sound wave coming from a sound source, the capacitance between the diaphragm 11a and the fixed pole 11b changes, and an audio signal corresponding to the change is output from the source pole S of the FET element 12. In the invention, in order to add the audio signals output from the respective microphone units 10 to obtain a narrow directivity, the following arrangement form and wiring form are adopted.

図2を参照して、マイクロホンユニット10a〜10eは、それらの主軸xを互いに平行とし、かつ、各振動板11aが同一平面上に存在する状態で、主軸xと直交する方向に沿って所定の間隔(好ましくは一定間隔)をもって図示しない支持基板上に直線的に一列に配置される。   Referring to FIG. 2, the microphone units 10 a to 10 e have predetermined axes along a direction orthogonal to the main axis x in a state where their main axes x are parallel to each other and the diaphragms 11 a are on the same plane. They are arranged in a straight line on a support substrate (not shown) with an interval (preferably a constant interval).

主軸xは、振動板11aの中心軸で指向軸,収音軸とも呼ばれるが、この実施形態において、マイクロホンアレイ全体としての主軸Xは、中央に配置されているマイクロホンユニット10cの主軸xと一致している。   The main axis x is a central axis of the diaphragm 11a and is also referred to as a directivity axis or a sound collection axis. In this embodiment, the main axis X as the entire microphone array coincides with the main axis x of the microphone unit 10c arranged at the center. ing.

なお、図2において、矢印Yは主軸Xと直交する90゜方向を指しており、マイクロホンユニット10a〜10eは、矢印Y方向に沿って一列並びとされており、このマイクロホンユニット列において、その一端側から他端側にかけて配置されている順番で、マイクロホンユニット10a〜10eを第1〜第5マイクロホンユニットとする。   In FIG. 2, an arrow Y indicates a 90 ° direction orthogonal to the main axis X, and the microphone units 10a to 10e are arranged in a line along the arrow Y direction. The microphone units 10a to 10e are defined as the first to fifth microphone units in the order of arrangement from the side to the other end side.

図1に示すように、各マイクロホンユニット10から出力される音声信号を加算するため、第1マイクロホンユニット10aにおけるFET素子12のソース極Sを直流阻止用のコンデンサCを有する配線14aを介して次段の第2マイクロホンユニット10bの振動板11a側に接続する。   As shown in FIG. 1, in order to add the audio signal output from each microphone unit 10, the source pole S of the FET element 12 in the first microphone unit 10a is next passed through a wiring 14a having a DC blocking capacitor C. The second microphone unit 10b of the stage is connected to the diaphragm 11a side.

以下同様に、第2マイクロホンユニット10bにおけるFET素子12のソース極Sを直流阻止用のコンデンサCを有する配線14bを介して次段の第3マイクロホンユニット10cの振動板11a側に接続する。   Similarly, the source pole S of the FET element 12 in the second microphone unit 10b is connected to the diaphragm 11a side of the third microphone unit 10c in the next stage through a wiring 14b having a DC blocking capacitor C.

第3マイクロホンユニット10cにおけるFET素子12のソース極Sを直流阻止用のコンデンサCを有する配線14cを介して次段の第4マイクロホンユニット10dの振動板11a側に接続する。   The source pole S of the FET element 12 in the third microphone unit 10c is connected to the diaphragm 11a side of the fourth microphone unit 10d at the next stage through a wiring 14c having a DC blocking capacitor C.

第4マイクロホンユニット10dにおけるFET素子12のソース極Sを直流阻止用のコンデンサCを有する配線14dを介して最終段の第5マイクロホンユニット10eの振動板11a側に接続する。   The source pole S of the FET element 12 in the fourth microphone unit 10d is connected to the diaphragm 11a side of the fifth microphone unit 10e in the final stage through a wiring 14d having a DC blocking capacitor C.

すなわち、前段側のマイクロホンユニット10のFET出力(音声信号)で、後段側のマイクロホンユニット10の接地(振動板11a)を駆動し、最終段の第5マイクロホンユニット10eにおけるFET素子12のソース極Sをマイクロホンアレイの出力端子OUTとする。   That is, the FET output (audio signal) of the microphone unit 10 at the front stage drives the ground (the diaphragm 11a) of the microphone unit 10 at the rear stage, and the source pole S of the FET element 12 in the fifth microphone unit 10e at the final stage. Is the output terminal OUT of the microphone array.

これによると、各マイクロホンユニット10の音声出力を例えば「1」とすれば、第2マイクロホンユニット10bからは「1+1=2」が出力され、第3マイクロホンユニット10cからは「1+1+1=3」が出力され、第4マイクロホンユニット10dからは「1+1+1+1=4」が出力され、最終段の第5マイクロホンユニット10eから各マイクロホンユニットの出力が加算された「1+1+1+1+1=5」の出力が得られることになる。   According to this, if the sound output of each microphone unit 10 is “1”, for example, “1 + 1 = 2” is output from the second microphone unit 10 b and “1 + 1 + 1 = 3” is output from the third microphone unit 10 c. Thus, “1 + 1 + 1 + 1 = 4” is output from the fourth microphone unit 10d, and an output of “1 + 1 + 1 + 1 + 1 = 5” obtained by adding the outputs of the respective microphone units is obtained from the fifth microphone unit 10e at the final stage.

また、このマイクロホンアレイにおいて、図2の矢印Yで印す90゜方向からの音波には、各マイクロホンユニット10a〜10dで、音速とマイクロホンユニット間の距離による時間差が発生し相互に干渉することから、狭指向性とすることができる。   Further, in this microphone array, the sound waves from the 90 ° direction indicated by the arrow Y in FIG. 2 cause a time difference depending on the speed of sound and the distance between the microphone units and interfere with each other in each microphone unit 10a to 10d. , Can be narrow directivity.

上記実施形態では、最良の形態としてマイクロホンユニットを5個用いているが、3個以上であればよい。また、このマイクロホンアレイは狭指向性で、90゜方向からの隣接する音源(例えば話者)の音をほとんど拾わないため、会議施設等において、個々の話者に割り当てられて使用されるのに好適である。   In the embodiment described above, five microphone units are used as the best mode, but three or more microphone units may be used. In addition, since this microphone array has a narrow directivity and hardly picks up the sound of an adjacent sound source (for example, a speaker) from the direction of 90 °, it is assigned to each speaker in a conference facility. Is preferred.

各マイクロホンユニット10a〜10eに口径14mmの単一指向性コンデンサマイクロホンユニットを用い、図2に示すように、これら各コンデンサマイクロホンユニットを相互のユニット間距離を70mmとして一例に並べてなるマイクロホンアレイの実測ポーラパターンを図3に示す。   A unidirectional condenser microphone unit having a diameter of 14 mm is used for each of the microphone units 10 a to 10 e, and as shown in FIG. 2, an actually measured polar of a microphone array in which these condenser microphone units are arranged as an example with a distance between units of 70 mm. The pattern is shown in FIG.

また、指向周波数応答の実測グラフを図4に示す。図4のグラフによれば、600Hz付近以上の周波数帯域で、一次音圧傾度型の性質がくずれて、指向性がより狭くなっていることが読み取れる。   Further, an actual measurement graph of the directivity frequency response is shown in FIG. According to the graph of FIG. 4, it can be seen that in the frequency band near 600 Hz or more, the primary sound pressure gradient type property is broken and the directivity is narrower.

10(10a〜10e) マイクロホンユニット
11 マイクロホンカプセル
11a 振動板
11b 固定極
12 FET素子
14a〜14d 接続配線
G ゲート極
D ドレイン極
S ソース極
x マイクロホンユニットの主軸
X マイクロホンアレイの主軸
10 (10a to 10e) Microphone unit 11 Microphone capsule 11a Diaphragm 11b Fixed electrode 12 FET element 14a to 14d Connection wiring G Gate electrode D Drain electrode S Source electrode x Main axis of microphone unit X Main axis of microphone array

Claims (2)

振動板と固定極とを所定の間隔で対向的に配置してなるマイクロホンカプセルと、上記振動板と固定極との間の静電容量を音声信号として出力するインピーダンス変換器としてのFET素子とを含む単一指向性のコンデンサマイクロホンユニットを少なくとも3個備え、上記各コンデンサマイクロホンユニットの音声信号を加算して出力するマイクロホンアレイにおいて、
上記各コンデンサマイクロホンユニットが、それらの主軸を互いに平行とし、かつ、上記各振動板が同一平面上に存在する状態で上記主軸と直交する方向に沿って均等間隔で直線的に一列に配置され、
上記各FET素子のゲート極に上記固定極がそれぞれ接続され、上記各振動板および上記各FET素子のソース極がそれぞれ接地され、上記各FET素子のドレイン極がそれぞれ所定の駆動電源に接続され、
上記コンデンサマイクロホンユニット列の一端側から他端側にかけて、上記FET素子のソース極が隣接する次段の上記コンデンサマイクロホンユニットの振動板側に順次直列に接続され、上記他端側に存在する最終段のコンデンサマイクロホンユニットのソース極から上記各コンデンサマイクロホンユニットの音声信号が加算されて出力されることを特徴とするマイクロホンアレイ。
A microphone capsule in which a diaphragm and a fixed pole are arranged opposite to each other at a predetermined interval, and an FET element as an impedance converter that outputs a capacitance between the diaphragm and the fixed pole as an audio signal. In a microphone array comprising at least three unidirectional condenser microphone units including, and adding and outputting the audio signals of the condenser microphone units,
The condenser microphone units are arranged in a straight line at equal intervals along a direction orthogonal to the main axis in a state where the main axes are parallel to each other and the diaphragms are on the same plane,
The fixed electrode is connected to the gate electrode of each FET element, the source electrode of each diaphragm and each FET element is grounded, and the drain electrode of each FET element is connected to a predetermined drive power source, respectively.
From one end side to the other end side of the condenser microphone unit row, the source electrode of the FET element is sequentially connected in series to the diaphragm side of the adjacent condenser microphone unit of the next stage, and the final stage existing on the other end side A microphone array, wherein the audio signal of each condenser microphone unit is added and output from the source electrode of the condenser microphone unit.
上記FET素子のソース極と、次段の上記コンデンサマイクロホンユニットの振動板とを接続する配線内に直流阻止用のコンデンサがそれぞれ介装されている請求項1に記載のマイクロホンアレイ。   2. The microphone array according to claim 1, wherein a DC blocking capacitor is interposed in a wiring connecting the source electrode of the FET element and the diaphragm of the condenser microphone unit at the next stage.
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