JP5551628B2 - Method and apparatus for treating wastewater containing organic chemicals - Google Patents

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Description

本発明は、有機性薬品含有排水の処理方法とその装置、さらに詳しくは、ジメチルスルホキシド(DMSO)のような有機性薬品を含有する排水を、その含有された有機性薬品を再利用することを目的として処理する処理方法と、そのような処理を行う装置に関する。   The present invention relates to a method and apparatus for treating wastewater containing organic chemicals, and more specifically, to reuse wastewater containing organic chemicals such as dimethyl sulfoxide (DMSO). The present invention relates to a processing method for processing as an object, and an apparatus for performing such processing.

近年においては、電子工業分野において剥離、洗浄剤としてDMSOが使用されるようになっている。このため、DMSOの分解処理をすることが要請され、その要請のために、たとえば特許文献1のようなDMSOの生物処理方法が本件特許出願人によって開発されている。   In recent years, DMSO has been used as a peeling and cleaning agent in the electronics industry. For this reason, it is required to decompose DMSO, and for this request, for example, a biological treatment method for DMSO as disclosed in Patent Document 1 has been developed by the present applicant.

特許第2769973号Japanese Patent No. 2776973

このような生物処理方法によれば、DMSOを好適に分解することはできるが、DMSOの濃度が高くなり、或いは排水量が増加すると、その分生物処理槽にかかる負荷が増大することとなる。   According to such a biological treatment method, although DMSO can be decomposed | disassembled suitably, when the density | concentration of DMSO becomes high or the amount of waste_water | drain increases, the load concerning a biological treatment tank will increase correspondingly.

そして、このように生物処理槽にかかる負荷が増大する結果、処理する生物処理槽も大型化し、設置スペースも要することとなり、さらに処理に消費されるエネルギーも増大することとなる。また、余剰汚泥も増加することとなる。   As a result of the increased load on the biological treatment tank as described above, the biological treatment tank to be processed becomes larger and requires an installation space, and the energy consumed for the treatment also increases. Moreover, surplus sludge will also increase.

本発明は、このような問題点を解決するためになされたもので、生物処理槽にかかる負荷を著しく低減することができ、その分、生物処理槽の小型化を図れ、設置スペースも減少させることができ、消費エネルギーや余剰汚泥量を低減させることができ、しかもDMSO等の排水に含有されている有機性薬品を再利用させることを課題とする。   The present invention has been made to solve such problems, and can significantly reduce the load applied to the biological treatment tank, thereby reducing the size of the biological treatment tank and reducing the installation space. It is possible to reduce energy consumption and excess sludge, and to recycle organic chemicals contained in wastewater such as DMSO.

本発明は、このような課題を解決するために、有機性薬品含有排水の処理方法とその装置としてなされたもので、有機性薬品含有排水の処理方法の特徴は、有機性薬品含有排水を第1逆浸透膜装置4に通水し、該第1逆浸透膜装置4で分離された透過液をテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドを含む排水と前記透過液とを含む混合排水を得た後に、該混合排水を生物処理し、生物処理後の処理水をさらに第2逆浸透膜装置14で分離し、前記第1逆浸透膜装置4で分離された濃縮液を回収することである。また、前記有機性薬品がジメチルスルホキシドである。 In order to solve such problems, the present invention has been made as a method and apparatus for treating organic chemical-containing wastewater. The feature of the method for treating organic chemical-containing wastewater is that organic chemical-containing wastewater is treated as follows. 1 water is passed through the reverse osmosis membrane device 4 to obtain a permeate separated by the first reverse osmosis membrane device 4, and after obtaining a waste water containing tetramethylammonium hydroxide and the permeate, The mixed waste water is biologically treated, the treated water after biological treatment is further separated by the second reverse osmosis membrane device 14 and the concentrated liquid separated by the first reverse osmosis membrane device 4 is recovered. The organic chemical is dimethyl sulfoxide.

また、有機性薬品含有排水の処理装置としての特徴は、有機性薬品含有排水を通水して濃縮液と透過液とに分離する第1逆浸透膜装置4と、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドを含む排水と前記第1逆浸透膜装置(4)で分離された透過液とを混合する混合槽(5)と、前記混合によって得られた混合排水を生物処理するための生物処理装置6と、該生物処理装置6で生物処理された処理水を濃縮液と透過液とに分離する第2逆浸透膜装置14とで処理装置を構成したことである。また、前記有機性薬品がジメチルスルホキシドである。 Moreover, the characteristic as a processing apparatus of organic chemical | medical agent containing waste_water | drain contains the 1st reverse osmosis membrane apparatus 4 which lets an organic chemical | medical agent containing waste water flow, and isolate | separates into a concentrate and a permeate, and tetramethylammonium hydroxide. A mixing tank (5) for mixing the wastewater and the permeate separated by the first reverse osmosis membrane device (4), a biological treatment device 6 for biologically treating the mixed wastewater obtained by the mixing, That is, the treatment device is configured by the second reverse osmosis membrane device 14 that separates the treated water biologically treated by the biological treatment device 6 into a concentrate and a permeate. The organic chemical is dimethyl sulfoxide.

かかる場合において、第1逆浸透膜装置4の後段側に蒸発濃縮装置19を設けて、第1逆浸透膜装置4で分離された濃縮液を、さらに蒸発濃縮することも可能である。 In such a case, the evaporative concentration apparatus 19 is provided in the subsequent stage of the first reverse osmosis membrane device 4, the concentrated liquid separated in the first reverse osmosis membrane device 4, can be further concentrated by evaporation.

本発明においては、有機性薬品含有排水を逆浸透膜装置に通水し、該逆浸透膜装置で分離された透過液を生物処理し、前記逆浸透膜装置で分離された濃縮液を回収する方法であるため、DMSO等の有機性薬品を生物処理によって好適に分解でき、濃度の極めて低い状態で系外に排出することができる一方で、DMSO等の有機性薬品を、濃度の高い濃縮液の状態で回収することができるので、DMSO等の有用な有機性薬品を回収して再利用することができるという効果がある。   In the present invention, the organic chemical-containing wastewater is passed through the reverse osmosis membrane device, the permeate separated by the reverse osmosis membrane device is biologically treated, and the concentrated solution separated by the reverse osmosis membrane device is recovered. Since it is a method, organic chemicals such as DMSO can be suitably decomposed by biological treatment and can be discharged out of the system in a very low concentration, while organic chemicals such as DMSO can be concentrated at a high concentration. Thus, there is an effect that useful organic chemicals such as DMSO can be recovered and reused.

従って、洗浄等のために新たに使用されるDMSO等の有用な有機性薬品を無駄に消費させることがなく、その使用量を低減させることができ、結果としてコストの低廉化を図れることとなる。   Therefore, useful organic chemicals such as DMSO that are newly used for cleaning and the like are not wasted, and the amount used can be reduced, resulting in a reduction in cost. .

さらに、有機性薬品含有排水は、直接生物処理されるのではなく、予め逆浸透膜装置で分離され、その分離後の透過液として濃度が希釈された状態で生物処理されるので、生物処理装置にかかる負荷を著しく低減することができ、その分、生物処理装置の小型化を図れ、設置スペースも減少させることができ、消費エネルギーや余剰汚泥量を低減させることができるという効果がある。   Furthermore, organic chemical-containing wastewater is not directly biologically treated, but is separated in advance by a reverse osmosis membrane device and biologically treated in a state where the concentration is diluted as a permeate after the separation. The biological treatment apparatus can be reduced in size, the installation space can be reduced, and the energy consumption and the amount of excess sludge can be reduced.

さらに、逆浸透膜装置で分離された濃縮液を、さらに蒸発濃縮して回収する場合には、回収される濃縮液の濃度をより高めることができ、再利用をより効果的に図れることとなる。   Further, when the concentrated solution separated by the reverse osmosis membrane device is further collected by evaporation, the concentration of the collected concentrated solution can be further increased and reuse can be achieved more effectively. .

一実施形態の有機性薬品含有排水処理装置の概略ブロック図。1 is a schematic block diagram of an organic chemical-containing wastewater treatment apparatus according to an embodiment. 生物処理装置の概略側面図。The schematic side view of a biological treatment apparatus. 一実施形態の流動担体の正面図。The front view of the fluid carrier of one embodiment.

以下、本発明の実施形態について、まず、有機性薬品の一例としてのDMSOを含有する排水の処理装置の構成を図面に従って説明する。   Hereinafter, with regard to an embodiment of the present invention, first, the configuration of a wastewater treatment apparatus containing DMSO as an example of an organic chemical will be described with reference to the drawings.

図1において、1は原水であるDMSO含有排水を貯留するための原水貯留槽、2は該原水貯留槽1から供給される原水を加温するための熱交換器で、スチーム、温水等を熱媒体とするものである。また、3は、加温された原水を濾過するためのカートリッジフィルターを示す。   In FIG. 1, 1 is a raw water storage tank for storing DMSO-containing wastewater, which is raw water, 2 is a heat exchanger for heating raw water supplied from the raw water storage tank 1, and heats steam, hot water, etc. It is a medium. Reference numeral 3 denotes a cartridge filter for filtering the heated raw water.

4は、逆浸透膜装置で、前記カートリッジフィルター3で濾過され固形分等が除去された原水を、濃縮液と透過液とに分離するためのものである。   Reference numeral 4 denotes a reverse osmosis membrane device for separating the raw water filtered by the cartridge filter 3 and from which the solid content and the like are removed into a concentrated solution and a permeated solution.

5は、前記逆浸透膜装置4で分離された透過液と、DMSO以外の他の有機性排水を混合するための混合槽で、他の有機性排水としては、本実施形態では、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド(TMAH)やイソプロピルアルコール(IPA)等を含んだ有機性リンス排水が使用される。また、この混合槽5へは凝縮水貯留槽21からの凝縮水が供給されるように構成されている。   5 is a mixing tank for mixing the permeated liquid separated by the reverse osmosis membrane device 4 and organic wastewater other than DMSO. As other organic wastewater, in this embodiment, tetramethylammonium is used. Organic rinse wastewater containing hydroxide (TMAH), isopropyl alcohol (IPA) or the like is used. The mixing tank 5 is configured to be supplied with condensed water from the condensed water storage tank 21.

6は、前記逆浸透膜装置4で分離されたDMSO含有排水の透過液と前記有機性リンス排水との混合排水を生物処理するための生物処理装置で、本実施形態では固定床と流動床の双方を具備した生物処理装置が用いられる。   6 is a biological treatment apparatus for biologically treating the mixed wastewater of the DMSO-containing wastewater separated by the reverse osmosis membrane device 4 and the organic rinse wastewater, and in this embodiment, a fixed bed and a fluidized bed. A biological treatment apparatus equipped with both is used.

すなわち、この生物処理装置6は、図2に示すように、固定床7の上部に流動床8を設けた構成からなるもので、流動床8の部分には、図示しないが、pH調整ポンプ等が設けられている。また、固定床7の部分には、散気攪拌のためのパイプ23が設けられている。   That is, as shown in FIG. 2, the biological treatment apparatus 6 has a structure in which a fluidized bed 8 is provided on the upper part of the fixed bed 7. The fluidized bed 8 includes a pH adjusting pump or the like (not shown). Is provided. Further, a pipe 23 for agitating and agitating is provided in the fixed bed 7 portion.

そして、固定床7及び流動床8には、それぞれ固定担体及び流動担体が充填されており、固定担体としては、全体が球状の多孔質のセラミック製のものが用いられている。固定担体の粒径は、5〜10mmに形成されている。   The fixed bed 7 and the fluidized bed 8 are filled with a fixed carrier and a fluidized carrier, respectively. As the fixed carrier, an entirely spherical porous ceramic material is used. The particle size of the fixed carrier is 5 to 10 mm.

また、流動担体9は、図3に示すように、正面側は、略十字状の中央部10の周囲に円弧状の周辺部11が連設され、その周辺部11の周囲に複数(本実施形態では8本)のフィン12が等角間隔に突設された形状からなり、側面側は、図示しないが、略長方形状に形成されている。   Further, as shown in FIG. 3, the flow carrier 9 has, on the front side, an arc-shaped peripheral portion 11 connected continuously around a substantially cross-shaped central portion 10, and a plurality of (this embodiment) is provided around the peripheral portion 11. In the form, eight fins 12 are formed so as to protrude at equiangular intervals, and the side surface is formed in a substantially rectangular shape, although not shown.

この流動担体9の比重は0.90〜1.20であり、側面視における長さは約10mmである。流動担体9をこのような中央部10、周辺部11、フィン12からなる形状に形成すると、流動担体9の全体の表面積が大きくなるので、微生物が付着しやすくなる。また、流動担体9の材質としてはポリプロピレン、ポリエチレン等の通常の合成樹脂から任意に選択することができる。   The specific gravity of the fluid carrier 9 is 0.90 to 1.20, and the length in side view is about 10 mm. When the flow carrier 9 is formed in such a shape including the central portion 10, the peripheral portion 11, and the fins 12, the entire surface area of the flow carrier 9 is increased, so that microorganisms are easily attached. The material of the fluid carrier 9 can be arbitrarily selected from ordinary synthetic resins such as polypropylene and polyethylene.

この生物処理装置6の後段には、さらに精密濾過膜装置13、逆浸透膜装置14、紫外線照射装置15が配設されている。   A microfiltration membrane device 13, a reverse osmosis membrane device 14, and an ultraviolet irradiation device 15 are further arranged downstream of the biological treatment device 6.

16は、前記精密濾過膜装置13及び逆浸透膜装置14で分離,透過され、紫外線照射装置15で微量なTOC(全有機炭素)が酸化分解された回収水を回収するための回収水貯留槽で、この回収水貯留槽16に回収された回収水は、後述のように純水プラント等に供給される。   16 is a recovered water storage tank for recovering recovered water which is separated and permeated by the microfiltration membrane device 13 and the reverse osmosis membrane device 14 and in which a small amount of TOC (total organic carbon) is oxidized and decomposed by the ultraviolet irradiation device 15. Thus, the recovered water recovered in the recovered water storage tank 16 is supplied to a pure water plant or the like as will be described later.

17は、前記後段の逆浸透膜装置14で分離された濃縮液を蒸発濃縮するための蒸発装置を示す。   Reference numeral 17 denotes an evaporation apparatus for evaporating and concentrating the concentrated liquid separated by the reverse osmosis membrane apparatus 14 at the latter stage.

18は、前記前段の逆浸透膜装置4で分離された濃縮液を貯留するための濃縮液貯留槽、19は該濃縮液貯留槽18内の濃縮液をさらに加熱蒸発により濃縮するための蒸発濃縮装置で、この濃縮液貯留槽18と蒸発濃縮装置19との間には、熱交換器20が設けられている。   18 is a concentrated liquid storage tank for storing the concentrated liquid separated by the preceding reverse osmosis membrane device 4, and 19 is an evaporative concentration for further concentrating the concentrated liquid in the concentrated liquid storage tank 18 by heating and evaporation. In the apparatus, a heat exchanger 20 is provided between the concentrated liquid storage tank 18 and the evaporative concentration apparatus 19.

熱交換器20の熱媒体としては、前記蒸発濃縮装置19で蒸発した蒸気が用いられる。   As the heat medium of the heat exchanger 20, the vapor evaporated by the evaporative concentration device 19 is used.

21は、前記熱交換器20での熱交換用として用いられた蒸気を凝縮水として貯留するための凝縮水貯留槽を示す。   Reference numeral 21 denotes a condensed water storage tank for storing the steam used for heat exchange in the heat exchanger 20 as condensed water.

22は、前記蒸発濃縮装置19で濃縮された濃縮液を回収するための濃縮液回収槽である。   Reference numeral 22 denotes a concentrated liquid recovery tank for recovering the concentrated liquid concentrated by the evaporative concentration apparatus 19.

そして、このような構成からなる装置を用いたDMSO含有排水の処理方法の実施形態について説明すると、先ず、工場等から排出されたDMSO含有排水を原水貯留槽1内に流入する。   An embodiment of a method for treating DMSO-containing wastewater using an apparatus having such a configuration will be described. First, DMSO-containing wastewater discharged from a factory or the like flows into the raw water storage tank 1.

この原水貯留槽1内の原水であるDMSO含有排水は、先ず熱交換器2へ供給されて加温され、カートリッジフィルター3で濾過される。このカートリッジフィルター3で固形分等が除去されることとなる。   The DMSO-containing waste water that is the raw water in the raw water storage tank 1 is first supplied to the heat exchanger 2 to be heated and filtered by the cartridge filter 3. The solid content and the like are removed by the cartridge filter 3.

次に、カートリッジフィルター3で濾過されたDMSO含有排水は、逆浸透膜装置4へ供給され、濃縮液と透過液とに分離される。濃縮液は、前記原水であるDMSO含有排水がそのまま濃縮されたものであり、透過液は前記原水であるDMSO含有排水がそのまま希釈されたものである。   Next, the DMSO-containing wastewater filtered by the cartridge filter 3 is supplied to the reverse osmosis membrane device 4 and separated into a concentrate and a permeate. The concentrated liquid is obtained by concentrating the DMSO-containing wastewater that is the raw water as it is, and the permeate is obtained by diluting the DMSO-containing wastewater that is the raw water as it is.

逆浸透膜装置4で分離された透過液は混合槽5へ供給される。この混合槽5へは、他の工場廃液である前述のような有機性リンス排水が供給され、この混合槽5内でDMSOを含有する透過液と有機性リンス排水とが混合される。また、この混合槽5へは、凝縮水貯留槽21から凝縮水も供給され、前記DMSO含有透過液や有機性リンス排水と混合されることになる。   The permeate separated by the reverse osmosis membrane device 4 is supplied to the mixing tank 5. The mixing tank 5 is supplied with the organic rinsing waste water as described above, which is another factory effluent, and the permeated liquid containing DMSO and the organic rinsing waste water are mixed in the mixing tank 5. Further, condensed water is also supplied from the condensed water storage tank 21 to the mixing tank 5 and mixed with the DMSO-containing permeate and organic rinse waste water.

混合槽5で混合されたDMSO含有透過液と有機性リンス排水との混合排水は、生物処理装置6へ供給され、生物処理される。   The mixed waste water of the DMSO-containing permeate and the organic rinse waste water mixed in the mixing tank 5 is supplied to the biological treatment device 6 and biologically treated.

より具体的に説明すると、生物処理装置6へ供給されたDMSO含有透過液と有機性リンス排水との混合排水は、流動床8から固定床7に至り、固定床7から生物処理装置6の外部に排出されて、次工程へ供給される。   More specifically, the mixed wastewater of DMSO-containing permeate and organic rinse wastewater supplied to the biological treatment device 6 reaches from the fluidized bed 8 to the fixed bed 7 and from the fixed bed 7 to the outside of the biological treatment device 6. Is discharged to the next process.

この流動床8では、DMSOと他の有機物との分解が行われるとともに、活性の高い菌体が産生される。   In this fluidized bed 8, DMSO and other organic substances are decomposed, and highly active cells are produced.

この活性の高い菌体は、固定床7で捕捉されることとなり、固定床部の生物活性も向上することになる。   This highly active microbial cell will be captured by the fixed bed 7 and the biological activity of the fixed bed will also be improved.

次に、生物処理槽6で生物処理された処理水は、精密濾過膜装置13で濾過され、さらに逆浸透膜装置14で濃縮水と透過水とに分離される。   Next, the treated water biologically treated in the biological treatment tank 6 is filtered by the microfiltration membrane device 13 and further separated into concentrated water and permeated water by the reverse osmosis membrane device 14.

逆浸透膜装置14で分離された透過水は、紫外線照射装置15へ供給されて微量なTOCが酸化分解され、その後に回収水貯留槽16で回収水として回収される。   The permeated water separated by the reverse osmosis membrane device 14 is supplied to the ultraviolet irradiation device 15, and a small amount of TOC is oxidatively decomposed and then recovered as recovered water in the recovered water storage tank 16.

回収水貯留槽16に回収された回収水は、その後、純水プラント等に供給され、純水製造用として用いられる。   The recovered water recovered in the recovered water storage tank 16 is then supplied to a pure water plant or the like and used for producing pure water.

また、逆浸透膜装置14で分離された濃縮液は、蒸発装置17へ供給され、蒸発濃縮される。ここで濃縮された濃縮液は、硫酸イオン等を含むものである。   The concentrated liquid separated by the reverse osmosis membrane device 14 is supplied to the evaporation device 17 and evaporated and concentrated. The concentrated liquid concentrated here contains sulfate ions and the like.

一方、前記前段の逆浸透膜装置4で分離された濃縮液は、濃縮液貯留槽18へ供給され、さらに蒸発濃縮装置19へ供給される。   On the other hand, the concentrate separated by the upstream reverse osmosis membrane device 4 is supplied to the concentrate storage tank 18 and further supplied to the evaporation concentration device 19.

蒸発濃縮装置19へ供給される前に、濃縮液は熱交換器20で加温されるが、その熱交換器20の熱媒体として上述のように蒸発濃縮装置19で蒸発した蒸気が用いられる。   Before being supplied to the evaporative concentrator 19, the concentrated liquid is heated by the heat exchanger 20, and the vapor evaporated by the evaporative concentrator 19 as described above is used as the heat medium of the heat exchanger 20.

ここで生成した凝縮水は、凝縮水貯留槽21へ供給され、その凝縮水貯留槽21から混合槽5へ返送される。   The condensed water produced | generated here is supplied to the condensed water storage tank 21, and is returned to the mixing tank 5 from the condensed water storage tank 21. FIG.

さらに、前記蒸発濃縮装置19で濃縮された濃縮液は、濃縮液貯留槽22へ供給される。この結果、高濃度のDMSOが回収されることとなる。
このようにして回収されたDMSOは、さらに精製することにより薬品として再利用することが可能となる。
Further, the concentrated liquid concentrated by the evaporative concentration device 19 is supplied to the concentrated liquid storage tank 22. As a result, a high concentration of DMSO is recovered.
The recovered DMSO can be reused as a chemical by further purification.

尚、上記実施形態では、逆浸透膜装置4で分離された濃縮液を濃縮する蒸発濃縮装置19として、加熱によって蒸発させる蒸発濃縮装置19を用いたが、蒸発させる手段は該実施形態の加熱による蒸発手段に限らず、たとえば減圧による蒸発手段や真空による蒸発手段であってもよい。   In the above embodiment, the evaporation concentration device 19 that evaporates by heating is used as the evaporation concentration device 19 that concentrates the concentrate separated by the reverse osmosis membrane device 4, but the means for evaporation is based on the heating of the embodiment. Not limited to the evaporation means, for example, an evaporation means using reduced pressure or an evaporation means using vacuum may be used.

さらに、該実施形態では、逆浸透膜装置4で分離された濃縮液をさらに蒸発濃縮装置19で濃縮して濃縮液を回収したため、再利用すべき有機性薬品の濃度の高い濃縮液を回収できるという好ましい効果が得られたが、このような蒸発濃縮装置19を設けることは本発明に必須の条件ではない。   Furthermore, in this embodiment, since the concentrate separated by the reverse osmosis membrane device 4 is further concentrated by the evaporation concentration device 19 and the concentrate is recovered, the concentrate having a high concentration of organic chemicals to be reused can be recovered. However, the provision of such an evaporating and concentrating device 19 is not an essential condition for the present invention.

さらに、上記実施形態では、生物処理後の処理水を精密濾過膜装置13や逆浸透膜装置14で分離,透過したため、処理水中の懸濁物質や塩類をほとんど除去することができるという好ましい効果が得られたが、このような精密濾過膜装置13や逆浸透膜装置14を用いることも本発明に必須の条件ではない。   Furthermore, in the said embodiment, since the treated water after biological treatment was isolate | separated and permeate | transmitted with the microfiltration membrane apparatus 13 or the reverse osmosis membrane apparatus 14, the preferable effect that most suspended substances and salts in treated water can be removed. Although obtained, it is not an essential condition for the present invention to use such a microfiltration membrane device 13 or a reverse osmosis membrane device 14.

さらに、上記実施形態では、流動床8に充填される流動担体8として、略十字状の中央部10の周囲に円弧状の周辺部11が連設され、その周辺部11の周囲に計8本のフィン12が等角間隔に突設された形状のものを用いたが、流動担体9の形状はこれに限定されるものではない。   Further, in the above embodiment, as the fluid carrier 8 filled in the fluidized bed 8, the arc-shaped peripheral part 11 is continuously provided around the central part 10 having a substantially cross shape, and a total of eight parts are provided around the peripheral part 11. However, the shape of the flow carrier 9 is not limited to this.

たとえば、フィン12の本数に関しては、4本、8本、10本、12本、16本、20本等であってもよく、その本数は問わない。また、フィン12を形成することは本発明に必須の条件ではなく、フィン12のない担体を使用することも可能である。   For example, the number of fins 12 may be four, eight, ten, twelve, sixteen, twenty, etc., and the number is not limited. Further, the formation of the fins 12 is not an essential condition for the present invention, and it is possible to use a carrier without the fins 12.

ただし、フィン12を形成することによって、流動担体8が回転し易くなり、その結果、流動担体8の流動性が良好となる利点がある。このような流動性と、成形のし易さ等との双方の観点からは、フィン12の本数は8〜20本程度が好ましい。   However, the formation of the fins 12 has an advantage that the fluid carrier 8 is easily rotated, and as a result, the fluidity of the fluid carrier 8 is improved. From the viewpoint of both such fluidity and ease of molding, the number of fins 12 is preferably about 8 to 20.

一方、中央部10の形状が複雑になりすぎると、目詰まりが生ずるおそれがある。従って、中央部10の形状は、表面積の大きさと、目詰まりの問題点の双方を比較考量した上で選定するのが望ましい。   On the other hand, if the shape of the central portion 10 becomes too complicated, clogging may occur. Therefore, it is desirable to select the shape of the central portion 10 by taking into consideration both the size of the surface area and the problem of clogging.

さらに、周辺部11の形状も上記実施形態の円弧状に形成された正面略円形状のものに限定されず、たとえば略四角形状のものや、略八角形状のものであってもよい。   Further, the shape of the peripheral portion 11 is not limited to the frontal substantially circular shape formed in the arc shape of the above embodiment, and may be, for example, a substantially rectangular shape or a substantially octagonal shape.

ただし、周辺部11の形状を略円形状に形成することにより、流動担体8が回転し易くなり、それによって流動担体8の流動性が良好となる利点がある。   However, by forming the shape of the peripheral portion 11 in a substantially circular shape, there is an advantage that the fluid carrier 8 is easily rotated, and thereby the fluidity of the fluid carrier 8 is improved.

いずれにしても、流動担体8の形状に関しては、上述のような表面積の大きさ、流動担体8の回転のし易さに伴う流動性、目詰まり、金型による成形のし易さ等を総合的に勘案した上で、中央部10や周辺部11の形状、フィン12の本数、形状等を選定するのが望ましい。   In any case, regarding the shape of the fluid carrier 8, the size of the surface area as described above, the fluidity associated with the ease of rotation of the fluid carrier 8, clogging, ease of molding with a mold, etc. are comprehensive. It is desirable to select the shape of the central portion 10 and the peripheral portion 11, the number of fins 12, the shape and the like after taking into account the above.

さらに、流動担体8の大きさは、0.1 〜3.0cm の範囲であることが好ましいが、これに限定されるものではない。   Furthermore, the size of the fluid carrier 8 is preferably in the range of 0.1 to 3.0 cm, but is not limited thereto.

また、材質も合成樹脂に限定されるものではないが、微生物が適度に付着してできるだけ高濃度に維持できるような素材からなることが好ましい。   Further, the material is not limited to the synthetic resin, but it is preferably made of a material that allows microorganisms to adhere appropriately and maintain as high a concentration as possible.

但し、合成樹脂で形成した場合には成形が容易であり、且つ経済的に担体を製造することができ、特に好ましい。   However, it is particularly preferable when it is formed of a synthetic resin because it is easy to mold and the carrier can be produced economically.

さらに固定担体の形状も上記実施形態の略球状に限定されるものではなく、また材質も該実施形態のセラミックに限定されない。ただし、固定担体としては、多孔質のものを用いるのが望ましい。   Further, the shape of the fixed carrier is not limited to the substantially spherical shape of the above embodiment, and the material is not limited to the ceramic of the embodiment. However, it is desirable to use a porous carrier as the fixed carrier.

また、固定担体の粒径も問うものではないが、上記実施形態のように5〜10mmであることが好ましい。   The particle size of the fixed carrier is not questioned, but is preferably 5 to 10 mm as in the above embodiment.

さらに、流動床8や固定床7に担体を充填することで、生物処理槽6内での菌体の量を多くすることができるという好ましい効果が得られるが、このような担体を充填することも本発明に必須の条件ではなく、担体を用いない浮遊汚泥法を採用することも可能である。   Further, by filling the fluidized bed 8 or the fixed bed 7 with the carrier, a preferable effect that the amount of the bacterial cells in the biological treatment tank 6 can be increased is obtained. However, such a carrier is filled. However, this is not an essential condition for the present invention, and it is also possible to employ a floating sludge method without using a carrier.

さらに、上記実施形態では、固定床7の上部に流動床8を配置した生物処理槽6を用いたが、流動床のみ、或いは固定床のみを具備した生物処理槽6を用いることも可能である。ただし、処理効率を好適なものとするためには、固定床7の上部に流動床8を配置し、下向流で通水することが望ましい。   Furthermore, in the said embodiment, although the biological treatment tank 6 which has arrange | positioned the fluidized bed 8 to the upper part of the fixed bed 7 was used, it is also possible to use the biological treatment tank 6 which comprised only the fluidized bed or only the fixed bed. . However, in order to make the processing efficiency suitable, it is desirable to arrange the fluidized bed 8 on the upper part of the fixed bed 7 and pass water in a downward flow.

さらに、上記実施形態では、DMSO含有排水にTMAHとIPA等を含む有機性リンス排水を混合する場合について説明したが、TMAH以外の第4アンモニア化合物や、モノエタノールアミン等のアミン類等を含有する排水を混合することも可能である。   Furthermore, although the said embodiment demonstrated the case where the organic rinse waste water containing TMAH, IPA, etc. was mixed with DMSO containing waste water, it contains 4th ammonia compounds other than TMAH, amines, such as monoethanolamine, etc. It is also possible to mix the waste water.

また、本発明においては、このような第4アンモニア化合物やアミン類等を含有する排水をDMSO含有排水(より具体的にはDMSO含有排水を逆浸透膜で透過した透過液)に混合することで、その第4アンモニア化合物又はアミン類を窒素源としてDMSO含有排水の処理に用いることができ、従ってDMSO含有排水と、それ自体が廃液中に含有されている第4アンモニア化合物又はアミン類の処理とを同時に行うことができるという好ましい効果が得られた In the present invention, waste water containing such a fourth ammonia compound and amines is mixed with DMSO-containing waste water (more specifically, a permeate that has passed through a reverse osmosis membrane). The quaternary ammonia compound or amine can be used as a nitrogen source for the treatment of DMSO-containing wastewater, and therefore the DMSO-containing wastewater and the treatment of the quaternary ammonia compound or amines contained in the waste liquid itself As a result, it was possible to obtain the preferable effect of simultaneously carrying out the steps .

さらに、上記実施形態では、原水を一旦原水貯留槽1に貯留した後に、その原水を熱交換器2やカートリッジフィルター3に供給したが、たとえば工場より排出される排水を原水貯留槽1に貯留せずに直接熱交換器2やカートリッジフィルター3に供給することも可能である。   Furthermore, in the said embodiment, after storing raw | natural water in the raw | natural water storage tank 1, the raw | natural water was supplied to the heat exchanger 2 and the cartridge filter 3, but the waste_water | drain discharged | emitted from a factory is stored in the raw | natural water storage tank 1, for example. It is also possible to supply directly to the heat exchanger 2 or the cartridge filter 3 without using it.

尚、本発明は、上記実施形態のように、DMSO含有排水に適用することを主眼とするものであるが、DMSO以外の有機性薬品を含有する排水やDMSOに他の有機性薬品、たとえばモノエタノールアミン等が混合された排水に本発明を適用することも可能である。   The present invention is mainly applied to DMSO-containing wastewater as in the above embodiment, but wastewater containing organic chemicals other than DMSO and DMSO to other organic chemicals such as mono It is also possible to apply the present invention to wastewater mixed with ethanolamine or the like.

以下、本発明の実施例について説明する。   Examples of the present invention will be described below.

濃度が3100ppm のDMSO含有排水を380m3/day 処理した。処理されたDMSOの量は、1180kg/dayであった。この排水の全有機性炭素(TOC)濃度は960ppmであり、TOC量は365kg/day であった。   DMSO-containing wastewater having a concentration of 3100 ppm was treated at 380 m <3> / day. The amount of DMSO processed was 1180 kg / day. The total organic carbon (TOC) concentration of this waste water was 960 ppm, and the TOC amount was 365 kg / day.

DMSO含有排水を逆浸透膜で透過した透過液に混合する他の有機性リンス排水として、1200m3/dayのTMAH及びIPA含有排水を用いた。TOC量は144kg/day であった。上記380m3/day のDMSO含有排水のうち、逆浸透膜4で分離された透過液の量は358m3/day であり、濃縮液の量は22m3/dayであった。   As another organic rinsing waste water that mixes DMSO-containing waste water with the permeate permeated through a reverse osmosis membrane, 1200 m 3 / day-containing TMAH and IPA-containing waste water was used. The amount of TOC was 144 kg / day. Of the 380 m 3 / day DMSO-containing waste water, the amount of permeate separated by the reverse osmosis membrane 4 was 358 m 3 / day and the amount of the concentrated liquid was 22 m 3 / day.

また、透過液のDMSO濃度は530ppmであり、透過液中のDMSOの量は190kg/day であった。TOC量は60kg/dayである。   The DMSO concentration in the permeate was 530 ppm, and the amount of DMSO in the permeate was 190 kg / day. The amount of TOC is 60 kg / day.

一方、濃縮液のDMSO濃度は4.5 %であり、濃縮液中のDMSOの量は990kg/day であった。この濃縮液をさらに加熱濃縮し、再利用すべく回収した回収液の量は1.6m3/day であり、DMSO濃度は60%であった。   On the other hand, the DMSO concentration in the concentrate was 4.5%, and the amount of DMSO in the concentrate was 990 kg / day. The concentrated solution was further heated and concentrated, and the amount of the recovered solution recovered for reuse was 1.6 m 3 / day, and the DMSO concentration was 60%.

4:逆浸透膜装置、6:生物処理装置、19:蒸発濃縮装置   4: Reverse osmosis membrane device, 6: Biological treatment device, 19: Evaporation concentration device

Claims (4)

有機性薬品含有排水を第1逆浸透膜装置(4)に通水し、該第1逆浸透膜装置(4)で分離された透過液を得、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドを含む排水と前記透過液とを含む混合排水を得た後に、該混合排水を生物処理し、生物処理後の処理水をさらに第2逆浸透膜装置(14)で分離し、前記第1逆浸透膜装置(4)で分離された濃縮液を回収し、前記有機性薬品がジメチルスルホキシドであることを特徴とする有機性薬品含有排水の処理方法。 The organic chemical-containing wastewater is passed through the first reverse osmosis membrane device (4) to obtain a permeate separated by the first reverse osmosis membrane device (4), and the wastewater containing tetramethylammonium hydroxide and the permeation are obtained. After the mixed wastewater containing the liquid is obtained, the mixed wastewater is biologically treated, and the treated water after biological treatment is further separated by the second reverse osmosis membrane device (14), and the first reverse osmosis membrane device (4) A method for treating organic chemical-containing wastewater, wherein the concentrated liquid separated in step (b) is collected, and the organic chemical is dimethyl sulfoxide. 第1逆浸透膜装置(4)で分離された濃縮液を、さらに蒸発濃縮して回収する請求項1記載の有機性薬品含有排水の処理方法。   The method for treating organic chemical-containing wastewater according to claim 1, wherein the concentrated liquid separated by the first reverse osmosis membrane device (4) is further concentrated by evaporation. 有機性薬品含有排水を通水して濃縮液と透過液とに分離する第1逆浸透膜装置(4)と、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドを含む排水と前記第1逆浸透膜装置(4)で分離された透過液とを混合する混合槽(5)と、前記混合によって得られた混合排水を生物処理するための生物処理装置(6)と、該該生物処理装置(6)で生物処理された処理水を濃縮液と透過液とに分離する第2逆浸透膜装置(14)とからなり、前記有機性薬品がジメチルスルホキシドであることを特徴とする有機性薬品含有排水の処理装置。 In the first reverse osmosis membrane device (4) for passing the organic chemical-containing wastewater and separating it into a concentrated solution and a permeate, the wastewater containing tetramethylammonium hydroxide and the first reverse osmosis membrane device (4) A mixing tank (5) for mixing the separated permeate, a biological treatment device (6) for biological treatment of the mixed waste water obtained by the mixing, and a biological treatment in the biological treatment device (6). And a second reverse osmosis membrane device (14) that separates the treated water into a concentrated solution and a permeate, and the organic chemical is dimethyl sulfoxide. 第1逆浸透膜装置(4)で分離された濃縮液を、さらに蒸発濃縮する蒸発濃縮装置(19)が、前記第1逆浸透膜装置(4)の後段側に設けられている請求項3記載の有機性薬品含有排水の処理装置。   The evaporative concentration device (19) for further evaporating and concentrating the concentrated liquid separated by the first reverse osmosis membrane device (4) is provided on the rear stage side of the first reverse osmosis membrane device (4). The wastewater treatment equipment containing organic chemicals as described.
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