JP5532796B2 - Glass substrate storage tray - Google Patents
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Description
本発明は、ガラス基板を水平に積載して収納する基板搬送用トレイに関するものであり、特に、ガラス基板収納用トレイが上下に積重された状態で、各ガラス基板収納用トレイにガラス基板が収納されているか否かを、外部から容易に判定できるガラス基板収納用トレイに関する。 The present invention relates to a substrate transport tray for horizontally loading and storing glass substrates, and in particular, in a state where glass substrate storage trays are stacked up and down, a glass substrate is placed on each glass substrate storage tray. It is related with the glass substrate storage tray which can determine easily whether it is accommodated from the outside.
カラー液晶表示装置やカラープラズマディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）の生産においては、ガラス基板を収納、工程搬送、輸送、保管するために、ガラス基板収納用トレイが用いられている。このガラス基板収納用トレイは、工程途中のガラス基板にも適用されるなど多岐にわたる使われ方がされている。 In the production of flat panel displays (FPD) such as color liquid crystal display devices and color plasma displays, glass substrate storage trays are used for storing, transporting, transporting and storing glass substrates. This glass substrate storage tray is used in various ways such as being applied to a glass substrate in the middle of a process.
近年、ディスプレイサイズの大型化に伴い、用いられるガラス基板の大型化が進んでいる。この大型ガラス基板を限られたスペースで、各ガラス基板が相互に接触することなく、安定して効率よく収納、工程搬送、輸送、保管することが可能なガラス基板収納用トレイが、例えば、特許文献１、特許文献２、特許文献３などに提案されている。
In recent years, with the increase in display size, the size of glass substrates used has been increasing. A glass substrate storage tray capable of stably storing, transporting, transporting and storing the large glass substrate in a limited space without causing the glass substrates to contact each other is, for example, a patent It is proposed in
図１は、ガラス基板収納用トレイの一例の概略を示す平面図である。また、図２（ａ）は、図１のＸ−Ｘ線での断面図、図２（ｂ）は、図１のＹ−Ｙ線での断面図である。図１は、ガラス基板（２０）が載置されていない状態が、また、図２は、ガラス基板（２０）が載置されている状態が示されている。 FIG. 1 is a plan view showing an outline of an example of a glass substrate storage tray. 2A is a cross-sectional view taken along line XX in FIG. 1, and FIG. 2B is a cross-sectional view taken along line YY in FIG. FIG. 1 shows a state where the glass substrate (20) is not placed, and FIG. 2 shows a state where the glass substrate (20) is placed.
図１、図２に示すように、ガラス基板収納用トレイ（１０）は、平面視で矩形状のフレーム部（１）と、フレーム部（１）内側の下部に梁状に設けられた支持部（２）と、支持部（２）上に平面視で市松模様の板状に設けられた基板サポート部（３）と、ガラス基板収納用トレイを上下に積重する際に、ガラス基板収納用トレイの着脱に用いる縁部（４）と、支持部（２）の下面端部に設けられた止め部（５）とで構成されている。 As shown in FIGS. 1 and 2, the glass substrate storage tray (10) includes a rectangular frame portion (1) in plan view and a support portion provided in a beam shape at a lower portion inside the frame portion (1). (2) When the substrate support part (3) provided in a checkered pattern in plan view on the support part (2) and the glass substrate storage tray are stacked up and down, It is comprised by the edge part (4) used for attachment or detachment of a tray, and the stop part (5) provided in the lower surface edge part of the support part (2).
この止め部（５）は、ガラス基板収納用トレイ（１０）を上下に積重した際に、フレーム部（１）上部と止め部（５）が係わり合って、ガラス基板収納用トレイ（１０）が横ズレしないように係止する部位である。フレーム部（１）及び支持部（２）には、例えば、ＳＵＳ材などが用いられ、また、基板サポート部（３）には、例えば、メフ材などが用いられる。基板サポート部（３）は、凹部（３Ａ）とその周囲の凸部（３Ｂ）とで構成されている。 When the glass substrate storage tray (10) is stacked up and down, the stopper portion (5) is engaged with the upper portion of the frame portion (1) and the stopper portion (5), and the glass substrate storage tray (10). It is a site | part which latches so that it may not shift | deviate laterally. For the frame part (1) and the support part (2), for example, a SUS material or the like is used, and for the substrate support part (3), for example, a mef material or the like is used. The substrate support part (3) is composed of a concave part (3A) and a peripheral convex part (3B).
フレーム部（１）内側には、基板サポート部（３）上にガラス基板（２０）を水平に載置できる空間を有しており、基板サポート部（３）の凹部（３Ａ）上にガラス基板（２０）が載置されるようになっている。
図２は、基板サポート部（３）の凹部（３Ａ）上にガラス基板（２０）を載置し、収納している状態である。
Inside the frame part (1), there is a space in which the glass substrate (20) can be horizontally placed on the substrate support part (3), and the glass substrate is placed on the concave part (3A) of the substrate support part (3). (20) is placed.
FIG. 2 shows a state in which the glass substrate (20) is placed and stored on the concave portion (3A) of the substrate support portion (3).
ガラス基板収納用トレイ（１０）にガラス基板（２０）を載置し収納した状態で、或いは、ガラス基板収納用トレイ（１０）を空の状態で、工程搬送、輸送、保管を行う際は、複数のガラス基板収納用トレイ（１０）を上下に積重する。図３は、複数のガラス基板収納用トレイ（１０）を上下に積重した状態の一例の概略を示す側面図である。 In the state where the glass substrate (20) is placed and stored in the glass substrate storage tray (10), or when the glass substrate storage tray (10) is empty, when carrying out the process transportation, transportation and storage, A plurality of glass substrate storage trays (10) are stacked one above the other. FIG. 3 is a side view showing an outline of an example of a state in which a plurality of glass substrate storage trays (10) are stacked up and down.
図３に示すように、パレット（１１）上に、複数のガラス基板収納用トレイ（１０）が
積重され、最上部のガラス基板収納用トレイ（１０）上に防塵用蓋（１２）が設けられた状態となる。積重するガラス基板収納用トレイ（１０）の段数は、例えば、３０個程度である。パレット（１１）の側面部には、ＲＦＩＤなどのデータキャリア（１４）が取付けられており、ガラス基板収納用トレイ（１０）に収納されたガラス基板の枚数やＩＤデータなどが保存される。
As shown in FIG. 3, a plurality of glass substrate storage trays (10) are stacked on a pallet (11), and a dustproof lid (12) is provided on the uppermost glass substrate storage tray (10). It will be in the state. The number of stacked glass substrate storage trays (10) is, for example, about 30. A data carrier (14) such as RFID is attached to the side surface of the pallet (11), and the number of glass substrates stored in the glass substrate storage tray (10), ID data, and the like are stored.
この保存されたデータは、主にガラス基板収納用トレイ（１０）へガラス基板（２０）を収納する際、或いは、ガラス基板収納用トレイ（１０）からガラス基板（２０）を取り出す際のトレイ移載装置で更新され、また、トレイ移載装置や自動倉庫などで参照される。
ガラス基板収納用トレイ（１０）に収納されたガラス基板の枚数や段数などの情報は、パレット（１１）に取付けられたデータキャリア（１４）に保存されるが、例えば、トレイ移載装置のトラブルなどの何らかの原因で、実際に収納されているガラス基板（２０）の枚数と、データキャリア（１４）に保存されているデータとが一致しないことがある。
This stored data is mainly used when the glass substrate (20) is stored in the glass substrate storage tray (10) or when the glass substrate (20) is taken out from the glass substrate storage tray (10). It is updated by the loading device, and is also referred to by a tray transfer device or an automatic warehouse.
Information such as the number of glass substrates and the number of steps stored in the glass substrate storage tray (10) is stored in the data carrier (14) attached to the pallet (11). For some reason, the number of glass substrates (20) actually stored may not match the data stored in the data carrier (14).
トレイ移載装置や自動倉庫は、データキャリア（１４）に保存された情報をもとに、ガラス基板の収納／取り出しの枚数決定や、パレットの搬送先決定などの動作制御を行っている。そのため、このデータキャリア（１４）の情報に誤りがあると、製造ラインの停止などのロスを生じることになる。 The tray transfer device and the automatic warehouse perform operation control such as determining the number of glass substrates to be stored / removed and determining the pallet transport destination based on the information stored in the data carrier (14). Therefore, if there is an error in the information on the data carrier (14), a loss such as a stop of the production line occurs.
発生するロスとしては、例えば、データキャリア（１４）に空（収納枚数０枚）と情報が保存されたパレット（１１）をトレイ移載装置内に受け入れ、ガラス基板収納用トレイ（１０）にガラス基板（２０）を収納しようとした際、既に別なガラス基板がガラス基板収納用トレイ内に収納されており、ガラス基板同士が衝突して破損することがある。このような破損が発生した場合には、破損したガラス基板の除去、復旧作業に相応の時間を費やすことになる。 As the loss to be generated, for example, the pallet (11) in which the data carrier (14) is empty (0 sheets stored) and information is stored is received in the tray transfer device, and the glass substrate storage tray (10) is filled with glass. When trying to store the substrate (20), another glass substrate is already stored in the glass substrate storage tray, and the glass substrates may collide and be damaged. When such breakage occurs, it takes time to remove and restore the broken glass substrate.
或いは、例えば、データキャリア（１４）に収納枚数２０枚と情報が保存されたパレット（１１）上のガラス基板収納用トレイ（１０）からガラス基板（２０）を製造ラインへ投入した際、実際には２１枚のガラス基板（２０）が収納されていて、パレット（１１）上にはガラス基板を収納されたガラス基板収納用トレイ（１０）が１個残されてしまうことがある。 Or, for example, when the glass substrate (20) is actually put into the production line from the glass substrate storage tray (10) on the pallet (11) in which the data carrier (14) stores 20 sheets and information is stored, The 21 glass substrates (20) are stored, and one glass substrate storage tray (10) storing the glass substrates may be left on the pallet (11).
このようなトラブルによるロスを防止するためには、トレイ移載装置や自動倉庫へパレット（１１）を搬入する前に、例えば、パレット（１１）上に積重されたガラス基板収納用トレイ（１０）の各々にガラス基板（２０）が実際に収納されているが否かを、データキャリア（１４）に保存された情報と照合することが考えられる。しかし、ガラス基板収納用トレイ（１０）が積重された状態は、防塵のために密閉されているので、ガラス基板収納用トレイ（１０）の各々にガラス基板（２０）が収納されているが否かを外観から目視で判定することは困難である。 In order to prevent the loss due to such trouble, before carrying the pallet (11) into the tray transfer device or the automatic warehouse, for example, the glass substrate storage tray (10) stacked on the pallet (11) is used. It is conceivable to check whether or not the glass substrate (20) is actually stored in each of the data) with the information stored in the data carrier (14). However, when the glass substrate storage trays (10) are stacked, the glass substrates (20) are stored in each of the glass substrate storage trays (10) because they are sealed for dust prevention. It is difficult to visually determine whether or not from the appearance.
或いは、例えば、積重されたガラス基板収納用トレイ（１０）の各々を１枚毎に人手や装置を用いて持ち上げ、ガラス基板（２０）が収納されているが否かを確認しデータキャリア（１４）に保存された情報と照合することが考えられる。しかし、この作業も相応する多大な労力と時間を費やすことになる。また、ガラス基板収納用トレイ（１０）の内部の防塵性が損なわれるので、好ましい方法とは言えない。 Alternatively, for example, each of the stacked glass substrate storage trays (10) is lifted one by one using a hand or a device, and it is confirmed whether the glass substrate (20) is stored or not. It is conceivable to collate with the information stored in 14). However, this work also requires a considerable amount of labor and time. Moreover, since the dustproof property inside the glass substrate storage tray (10) is impaired, it cannot be said to be a preferable method.
本発明は、上記の問題を解決するためになされたものであり、複数のガラス基板収納用トレイが上下に積重された状態であっても、ガラス基板収納用トレイの各々にガラス基板が収納されているか否かを、ガラス基板収納用トレイの外部から容易に判定することができるガラス基板収納用トレイを提供することを課題とするものである。
これにより、この判定と、該ガラス基板収納用トレイを積重しているパレットのデータキャリアに保存された情報との照合を容易に行うことを可能とする。
従って、例えば、トレイ移載装置や自動倉庫へパレットを搬入する前に、各ガラス基板収納用トレイにガラス基板が収納されているか否かの実際の状況と、データキャリアに保存された情報の整合性の確認を容易なものとし、実状と情報の不一致によるトレイ移載装置や自動倉庫でのトラブル、これによるロスを未然に防止する。
The present invention has been made to solve the above-described problem, and a glass substrate is stored in each of the glass substrate storage trays even when a plurality of glass substrate storage trays are stacked one above the other. It is an object of the present invention to provide a glass substrate storage tray that can easily determine whether or not it is performed from the outside of the glass substrate storage tray.
This makes it possible to easily compare this determination with information stored in the data carrier of the pallet on which the glass substrate storage tray is stacked.
Therefore, for example, before carrying a pallet into a tray transfer device or an automatic warehouse, the actual situation of whether or not a glass substrate is stored in each glass substrate storage tray and the information stored in the data carrier are matched. It is easy to check the property, and troubles in the tray transfer device and automatic warehouse due to discrepancy between the actual situation and information, and loss due to this are prevented in advance.
本発明は、ガラス基板を水平に積載したトレイを積重して搬送、保管するガラス基板収納用トレイにおいて、
１）前記ガラス基板収納用トレイは、少なくとも、平面視で矩形状のフレーム部と、該フレーム部内側の下部に設けた梁状の支持部と、該支持部上に設けた、ガラス基板を積載する板状の基板サポート部とで構成され、
２）前記基板サポート部上にガラス基板が積載されているか否かを表示する表示機構として、ａ）前記フレーム部内側の一隅近傍の基板サポート部に設けた、支持部上に備えたバネによって上昇して、その上部が基板サポート部上面より突出し、また、基板サポート部上に積載したガラス基板の重量によって、その上部が基板サポート部上面と同一面まで下降する昇降部材と、
ｂ）該昇降部材の下降時に、昇降部材側面が対向するフレーム部の側面部位に、フレーム部を水平に貫通して設けた確認窓とで構成される表示機構が設けられており、
３）該表示機構は、ａ）基板サポート部上にガラス基板が積載されている際には、確認窓に昇降部材側面を表示し、
ｂ）基板サポート部上にガラス基板が積載されていない際には、確認窓に昇降部材側面を表示しないことからして、
４）上記表示機構の確認窓を観視することによって、複数のガラス基板収納用トレイが上下に積重された状態であっても、ガラス基板収納用トレイの各々にガラス基板が収納されているか否かを、ガラス基板収納用トレイの外部から判定できることを特徴とするガラス基板収納用トレイである。
The present invention is a glass substrate storage tray for stacking, transporting and storing trays in which glass substrates are horizontally stacked.
1) The glass substrate storage tray is loaded with at least a rectangular frame portion in plan view, a beam-like support portion provided at a lower portion inside the frame portion, and a glass substrate provided on the support portion. It consists of a plate-like board support part that
2) As a display mechanism for displaying whether or not a glass substrate is stacked on the substrate support unit, a) Ascending by a spring provided on the support unit provided in the substrate support unit near one corner inside the frame unit The upper part protrudes from the upper surface of the substrate support part, and the lifting member whose upper part descends to the same surface as the upper surface of the substrate support part due to the weight of the glass substrate loaded on the substrate support part,
b) When the elevating member is lowered, a display mechanism including a confirmation window provided horizontally through the frame portion is provided on a side surface portion of the frame portion facing the elevating member side surface;
3) The display mechanism a) When the glass substrate is loaded on the substrate support portion, the side surface of the elevating member is displayed on the confirmation window,
b) When the glass substrate is not stacked on the substrate support part, the side of the lifting member is not displayed on the confirmation window.
4) Whether the glass substrate is stored in each of the glass substrate storage trays even when the plurality of glass substrate storage trays are stacked vertically by observing the confirmation window of the display mechanism. The glass substrate storage tray is characterized in that it can be determined from the outside of the glass substrate storage tray.
また、本発明は、上記発明によるガラス基板収納用トレイにおいて、前記表示機構を構成する昇降部材が、フレーム部内側の一隅近傍の基板サポート部の一部分を切り離した、基板サポート部の厚さより薄い厚さの可動片であり、前記支持部上に備えたバネがコイルバネであり、また、フレーム部を水平に貫通して設けた確認窓には透明樹脂が充填されていることを特徴とするガラス基板収納用トレイである。 Further, according to the present invention, in the glass substrate storage tray according to the above invention, the elevating member constituting the display mechanism has a thickness smaller than the thickness of the substrate support part, in which a part of the substrate support part near one corner inside the frame part is cut off. A glass substrate, wherein the spring provided on the support part is a coil spring, and a confirmation window provided horizontally through the frame part is filled with a transparent resin. This is a storage tray.
また、本発明は、上記発明によるガラス基板収納用トレイにおいて、前記表示機構を構成する昇降部材が可動ピンであり、前記支持部上に備えたバネが板バネであり、該可動ピンと該板バネを設ける、フレーム部内側の一隅近傍の基板サポート部の一部分の厚さは他
の部分の厚さより薄い厚さであり、この一部分には可動ピン用の貫通口を備え、また、フレーム部を水平に貫通して設けた確認窓には透明樹脂が充填されていることを特徴とするガラス基板収納用トレイである。
Further, according to the present invention, in the glass substrate storage tray according to the invention described above, the elevating member constituting the display mechanism is a movable pin, the spring provided on the support portion is a leaf spring, and the movable pin and the leaf spring The thickness of a part of the substrate support part in the vicinity of one corner inside the frame part is thinner than the thickness of the other part, and this part is provided with a through hole for a movable pin, and the frame part is horizontally A glass substrate storing tray is characterized in that a transparent window is filled in a confirmation window provided through the glass substrate.
また、本発明は、上記発明によるガラス基板収納用トレイにおいて、前記表示機構が、平面視で矩形状のフレーム部内側の対向する二隅近傍の基板サポート部の各々に、フレーム部中心をとうる垂線を対称線とする線対称の位置関係を保って設けられていることを特徴とするガラス基板収納用トレイである。 Further, according to the present invention, in the glass substrate storage tray according to the above-described invention, the display mechanism can take the center of the frame portion in each of the substrate support portions in the vicinity of two opposite corners inside the rectangular frame portion in plan view. A tray for storing glass substrates, wherein the tray is provided while maintaining a line-symmetric positional relationship with a perpendicular line as a symmetrical line.
また、本発明は、上記発明によるガラス基板収納用トレイにおいて、前記昇降部材側面の色が、該側面の上半部と下半部とで色が異なることを特徴とするガラス基板収納用トレイである。 Further, the present invention is the glass substrate storage tray according to the above invention, wherein the color of the side surface of the elevating member is different between the upper half and the lower half of the side surface. is there.
本発明は、基板サポート部上にガラス基板が積載されているか否かを表示する表示機構として、昇降部材と確認窓とで構成される表示機構が設けらたガラス基板収納用トレイであり、表示機構は、ａ）基板サポート部上にガラス基板が積載されている際には、確認窓に昇降部材側面を表示し、ｂ）基板サポート部上にガラス基板が積載されていない際には、確認窓に昇降部材側面を表示しないことからして、表示機構の確認窓を観視することによって、複数のガラス基板収納用トレイが上下に積重された状態であっても、ガラス基板収納用トレイの各々にガラス基板が収納されているか否かを、ガラス基板収納用トレイの外部から判定できるガラス基板収納用トレイとなる。 The present invention is a glass substrate storage tray provided with a display mechanism composed of an elevating member and a confirmation window as a display mechanism for displaying whether or not a glass substrate is stacked on the substrate support portion. The mechanism displays a) the side surface of the elevating member in the confirmation window when a glass substrate is loaded on the substrate support unit, and b) confirmation when the glass substrate is not loaded on the substrate support unit. Since the side of the elevating member is not displayed on the window, the glass substrate storage tray can be viewed even when the plurality of glass substrate storage trays are stacked vertically by viewing the confirmation window of the display mechanism. It becomes the glass substrate storage tray which can determine from each outside whether the glass substrate is stored in each of the glass substrate storage trays.
また、本発明は、昇降部材が可動ピンであり、支持部上に備えたバネが板バネであり、また、フレーム部を水平に貫通して設けた確認窓には透明樹脂が充填されているので、例えば、トレイ内部への異物混入などによるガラス基板に汚れ、傷などが発生するリスクを回避したガラス基板収納用トレイとなる。 Further, according to the present invention, the elevating member is a movable pin, the spring provided on the support portion is a leaf spring, and a confirmation window provided horizontally through the frame portion is filled with a transparent resin. Therefore, for example, the glass substrate storage tray avoids the risk of contamination and scratches on the glass substrate due to contamination of the inside of the tray.
また、本発明は、表示機構が、平面視で矩形状のフレーム部内側の対向する二隅近傍の基板サポート部の各々に、フレーム部中心を通る垂線を対称線とする線対称の位置関係を保って設けられているので、仮に、何らかの原因によって、ガラス基板収納用トレイが手前側を逆側に向けて積重されても、常に、手前側と逆側の両側に確認窓が向い、ガラス基板収納用トレイにガラス基板が収納されているか否かを手前側（一方側）から常に判定することが可能となる。 Further, according to the present invention, the display mechanism has a line-symmetric positional relationship in which each of the substrate support portions near two opposite corners inside the rectangular frame portion in plan view has a perpendicular line passing through the center of the frame portion as a symmetry line. Even if the glass substrate storage tray is stacked with the front side facing the opposite side for some reason, the confirmation windows are always facing both sides of the front side and the opposite side. Whether or not the glass substrate is stored in the substrate storage tray can always be determined from the near side (one side).
また、本発明は、表示機構を構成する昇降部材側面の色が、確認し易い色であるので、ガラス基板が収納されているか否かの外部からの判定が、より容易に正確なものとなる。また、本発明は、昇降部材側面の色が、該側面の上半部と下半部とで色が異なるので、ガラス基板が収納されているか否かの外部からの判定が、更により容易に且つ正確なものとなる。 Further, according to the present invention, since the color of the side surface of the elevating / lowering member constituting the display mechanism is a color that can be easily confirmed, the determination from the outside as to whether or not the glass substrate is accommodated becomes easier and more accurate. . Further, according to the present invention, since the color of the side surface of the elevating member is different between the upper half and the lower half of the side surface, it is even easier to determine from the outside whether or not the glass substrate is stored. And it will be accurate.
本発明は、ガラス基板が収納されているか否かの外部からの判定と、ガラス基板収納用トレイを積重しているパレットのデータキャリアに保存された情報との照合を容易に行うことが可能となる。従って、例えば、トレイ移載装置や自動倉庫へパレットを搬入する前に、各ガラス基板収納用トレイにガラス基板が収納されているか否かの実際の状況と、データキャリアに保存された情報の整合性の確認を容易なものとし、実状と情報の不一致によるトレイ移載装置や自動倉庫でのトラブル、これによるロスを未然に防止することができる。 The present invention makes it possible to easily collate external determination of whether or not a glass substrate is stored with information stored in a data carrier of a pallet on which glass substrate storage trays are stacked. It becomes. Therefore, for example, before carrying a pallet into a tray transfer device or an automatic warehouse, the actual situation of whether or not a glass substrate is stored in each glass substrate storage tray and the information stored in the data carrier are matched. Therefore, it is possible to prevent troubles in the tray transfer device and the automatic warehouse due to the discrepancy between the actual state and information, and loss due to this.
以下に、本発明を実施の形態に基づいて説明する。
図４は、本発明によるガラス基板収納用トレイの一例の概略を示す平面図である。図４はガラス基板（２０）が積載されていない状態が示されている。また、図５は、図４のＹ−Ｙ線での断面図である。
Hereinafter, the present invention will be described based on embodiments.
FIG. 4 is a plan view schematically showing an example of the glass substrate storage tray according to the present invention. FIG. 4 shows a state where the glass substrate (20) is not loaded. 5 is a cross-sectional view taken along line YY of FIG.
図４及び図５に示すように、この一例に示すガラス基板収納用トレイ（３０）は、平面視で矩形状のフレーム部（１）と、フレーム部（１）内側の下部に梁状に設けられた支持部（２）と、支持部（２）上に平面視で市松模様の板状に設けられた基板サポート部（３）と、ガラス基板収納用トレイを上下に積重する際に、ガラス基板収納用トレイの着脱に用いる縁部（４）と、支持部（２）の下面端部に設けられた止め部（５）とで構成されている。フレーム部（１）内側には、基板サポート部（３）上にガラス基板（２０）を水平に載置できる空間を有しており、基板サポート部（３）の凹部（３Ａ）上にガラス基板（２０）が積載されるようになっている。 As shown in FIGS. 4 and 5, the glass substrate storage tray (30) shown in this example is provided in a rectangular frame portion (1) in a plan view and a beam shape at the lower part inside the frame portion (1). When stacking the support part (2), the substrate support part (3) provided in a checkered pattern in plan view on the support part (2), and the glass substrate storage tray vertically, It is comprised by the edge part (4) used for attachment or detachment of the glass substrate storage tray, and the stop part (5) provided in the lower surface edge part of the support part (2). Inside the frame part (1), there is a space in which the glass substrate (20) can be horizontally placed on the substrate support part (3), and the glass substrate is placed on the concave part (3A) of the substrate support part (3). (20) is loaded.
本発明によるガラス基板収納用トレイ（３０）は、基板サポート部（３）上にガラス基板（２０）が積載されているか否かを表示する表示機構が設けられていることを特徴としている。この表示機構は、昇降部材と確認窓とで構成されている。
図４及び図５に示すガラス基板収納用トレイ（３０）は、昇降部材がフレーム部（１）内側の一隅近傍の基板サポート部（３）の一部分を切り離した可動片（１３）であり、また、確認窓（７）がフレーム（１）部を水平に貫通して設けた窓である。
The glass substrate storage tray (30) according to the present invention is characterized in that a display mechanism for displaying whether or not the glass substrate (20) is loaded on the substrate support portion (3) is provided. This display mechanism is composed of an elevating member and a confirmation window.
The glass substrate storage tray (30) shown in FIGS. 4 and 5 is a movable piece (13) in which the elevating member separates a part of the substrate support portion (3) in the vicinity of one corner inside the frame portion (1). The confirmation window (7) is a window provided horizontally through the frame (1).
図４は、基板サポート部（３）上にガラス基板（２０）が積載されていない状態であり、また、図５（ａ）は、ガラス基板（２０）が積載されてい図４のＹ−Ｙ線での断面図である。図４及び図５（ａ）に示すように、可動片（１３）は、基板サポート部（３）の構成と同様に、凹部（１３Ａ）と凸部（１３Ｂ）とで構成されており、その可動片の凹部（１３Ａ）の厚さ（Ｔ２）は、基板サポート部（３）の凹部（３Ａ）の厚さ（Ｔ１）より薄い厚さのものである（Ｔ２＜Ｔ１）。 4 shows a state in which the glass substrate (20) is not stacked on the substrate support portion (3), and FIG. 5 (a) shows a state in which the glass substrate (20) is stacked and YY in FIG. It is sectional drawing in a line. As shown in FIGS. 4 and 5A, the movable piece (13) is composed of a concave portion (13A) and a convex portion (13B), similar to the configuration of the substrate support portion (3). The thickness (T2) of the concave portion (13A) of the movable piece is smaller than the thickness (T1) of the concave portion (3A) of the substrate support portion (3) (T2 <T1).
基板サポート部（３）上にガラス基板（２０）が積載されていない状態では、この可動片（１３）は支持部（２）上に備えたコイルバネ（６）によって上昇し、可動片（１３）の凹部（１３Ａ）の上面は基板サポート部（３）上面より突出している（Ｈ２＞Ｈ１）。また、図５（ｂ）に示すように、基板サポート部（３）上にガラス基板（２０）が積載されている状態では、基板サポート部（３）上に積載したガラス基板（２０）の重量によって、可動片（１３）の凹部（１３Ａ）の上面は基板サポート部（３）上面と同一面まで下降する。 In a state where the glass substrate (20) is not stacked on the substrate support portion (3), the movable piece (13) is raised by the coil spring (6) provided on the support portion (2), and the movable piece (13). The upper surface of the recess (13A) protrudes from the upper surface of the substrate support portion (3) (H2> H1). Further, as shown in FIG. 5B, in the state where the glass substrate (20) is loaded on the substrate support portion (3), the weight of the glass substrate (20) loaded on the substrate support portion (3). Thus, the upper surface of the concave portion (13A) of the movable piece (13) is lowered to the same surface as the upper surface of the substrate support portion (3).
つまり、昇降部材としての可動片（１３）は、基板サポート部（３）上にガラス基板（２０）が積載されているか否かによって降昇するようになっている。 That is, the movable piece (13) as the elevating member is raised or lowered depending on whether or not the glass substrate (20) is loaded on the substrate support portion (3).
また、表示機構を構成する確認窓（７）は、図５（ｂ）に示すように、可動片（１３）の下降時に、可動片の側面（１３Ｃ）が対向するフレーム部（１）の側面部位に、フレーム部（１）を水平に貫通して設けた、可動片の側面（１３Ｃ）を確認するための窓である。この確認窓（７）には、ガラス基板収納用トレイ（３０）内の防塵性が損なわれないように、例えば、透明樹脂が充填されている。 Further, as shown in FIG. 5 (b), the confirmation window (7) constituting the display mechanism has a side surface of the frame portion (1) that faces the side surface (13C) of the movable piece when the movable piece (13) is lowered. This is a window for confirming the side surface (13C) of the movable piece, which is provided at the site through the frame portion (1) horizontally. The confirmation window (7) is filled with, for example, a transparent resin so that the dustproof property in the glass substrate storage tray (30) is not impaired.
この確認窓（７）の支持部（２）上面からの高さ（Ｈ３）、及び大きさ（ａ）×（ｂ）は、可動片（１３）の下降時には、確認窓（７）に可動片の側面（１３Ｃ）が表示され、また、可動片（１３）の上降時には、確認窓（７）に可動片の側面（１３Ｃ）が表示されないように適宜に設定される。 The height (H3) and the size (a) × (b) from the upper surface of the support portion (2) of the confirmation window (7) are such that when the movable piece (13) is lowered, the movable window (7) has a movable piece. The side surface (13C) of the movable piece is displayed, and when the movable piece (13) moves up and down, the side surface (13C) of the movable piece is appropriately set so as not to be displayed on the confirmation window (7).
上記のように、昇降部材としての可動片（１３）と確認窓（７）とで構成される、本発明における表示機構は、基板サポート部（３）上にガラス基板（２０）が積載されている際には、確認窓（７）に可動片の側面（１３Ｃ）を表示し、また、基板サポート部（３）上にガラス基板（２０）が積載されていない際には、確認窓（７）に可動片の側面（１３Ｃ）を表示しない機能を有したものである。 As described above, the display mechanism according to the present invention, which includes the movable piece (13) as the elevating member and the confirmation window (7), has the glass substrate (20) mounted on the substrate support portion (3). The side surface (13C) of the movable piece is displayed in the confirmation window (7), and when the glass substrate (20) is not stacked on the substrate support portion (3), the confirmation window (7 ) Has a function of not displaying the side surface (13C) of the movable piece.
図６は、図４に示すガラス基板収納用トレイ（３０）の外部の白太矢印方向、図５に示すガラス基板収納用トレイ（３０）の外部の矢印方向から確認窓（７）を観視した際の、確認窓（７）に表示される可動片の側面（１３Ｃ）の状態を表したガラス基板収納用トレ
イ（３０）の側面図である。図６（ａ）は図５（ａ）に対応し、図６（ｂ）は図５（ｂ）に対応している。
6 is a view of the confirmation window (7) from the direction of the thick white arrow outside the glass substrate storage tray (30) shown in FIG. 4 and from the direction of the arrow outside the glass substrate storage tray (30) shown in FIG. It is a side view of the tray (30) for glass substrate storage showing the state of the side surface (13C) of the movable piece displayed on the confirmation window (7) at the time. 6A corresponds to FIG. 5A, and FIG. 6B corresponds to FIG. 5B.
図６（ａ）に示すように、基板サポート部（３）上にガラス基板（２０）が積載されていない際には、確認窓（７）に可動片の側面（１３Ｃ）は表示されていない。確認窓（７）内は２重斜線で示すように、薄暗い様相を呈している。
一方、図６（ｂ）に示すように、基板サポート部（３）上にガラス基板（２０）が積載されている際には、確認窓（７）に１重斜線で示すように、可動片の側面（１３Ｃ）は表示される。
As shown in FIG. 6A, when the glass substrate (20) is not stacked on the substrate support portion (3), the side surface (13C) of the movable piece is not displayed on the confirmation window (7). . The interior of the confirmation window (7) has a dim appearance as indicated by double diagonal lines.
On the other hand, as shown in FIG. 6 (b), when the glass substrate (20) is loaded on the substrate support portion (3), the movable piece as shown by a single oblique line in the confirmation window (7). The side surface (13C) is displayed.
このように、本発明によるガラス基板収納用トレイ（３０）によれば、表示機構の確認窓（７）を観視することによって、複数のガラス基板収納用トレイが上下に積重された状態であっても、ガラス基板収納用トレイの各々にガラス基板（２０）が収納されているか否かを、ガラス基板収納用トレイの外部から容易に判定することができる。 As described above, according to the glass substrate storage tray (30) according to the present invention, the plurality of glass substrate storage trays are stacked one above the other by viewing the confirmation window (7) of the display mechanism. Even if it exists, it can be determined easily from the outside of the glass substrate storage tray whether the glass substrate (20) is stored in each of the glass substrate storage tray.
図７は、本発明によるガラス基板収納用トレイ（３０）の複数を上下に積載した状態の一例を示す側面図である。図７に示すように、パレット（１１）上に、複数のガラス基板収納用トレイが積重され、最上部のガラス基板収納用トレイ上に防塵用蓋（１２）が設けられている。図７中、符号（３０ｂ）は、基板サポート部（３）上にガラス基板（２０）が積載されているガラス基板収納用トレイを表し、また、符号（３０ａ）は、基板サポート部（３）上にガラス基板（２０）が積載されていないガラス基板収納用トレイを表している。 FIG. 7 is a side view showing an example of a state in which a plurality of glass substrate storage trays (30) according to the present invention are stacked up and down. As shown in FIG. 7, a plurality of glass substrate storage trays are stacked on the pallet (11), and a dustproof lid (12) is provided on the uppermost glass substrate storage tray. In FIG. 7, reference numeral (30b) denotes a glass substrate storage tray on which the glass substrate (20) is stacked on the substrate support part (3), and reference numeral (30a) denotes the substrate support part (3). The glass substrate storage tray on which the glass substrate (20) is not stacked is shown.
図７に示すように、ガラス基板収納用トレイ（３０ｂ）の確認窓（７）には可動片の側面（１３Ｃ）が表示されており、また、上段に積載されているガラス基板収納用トレイ（３０ａ）の確認窓（７）には可動片の側面（１３Ｃ）が表示されておらず、薄暗い様相を呈している。すなわち、複数のガラス基板収納用トレイが上下に積重された状態であっても、ガラス基板収納用トレイの各々にガラス基板（２０）が収納されているか否かを、ガラス基板収納用トレイの外部から容易に判定することが可能である。 As shown in FIG. 7, the side surface (13C) of the movable piece is displayed in the confirmation window (7) of the glass substrate storage tray (30b), and the glass substrate storage tray ( The side face (13C) of the movable piece is not displayed in the confirmation window (7) of 30a), and it appears dark. That is, whether or not the glass substrate (20) is stored in each of the glass substrate storage trays even if the plurality of glass substrate storage trays are stacked one above the other. It can be easily determined from the outside.
図８は、請求項３に係わる発明によるガラス基板収納用トレイの一例の概略を示す平面図である。図８はガラス基板（２０）が積載されていない状態が示されている。また、図９は、図８のＹ−Ｙ線での断面図である。
FIG. 8 is a plan view showing an outline of an example of a glass substrate storage tray according to the invention of
図８及び図９に示すように、この一例に示すガラス基板収納用トレイ（５０）は、平面視で矩形状のフレーム部（１）と、フレーム部（１）内側の下部に梁状に設けられた支持部（２）と、支持部（２）上に平面視で市松模様の板状に設けられた基板サポート部（３）と、ガラス基板収納用トレイを上下に積重する際に、ガラス基板収納用トレイの着脱に用いる縁部（４）と、支持部（２）の下面端部に設けられた止め部（５）とで構成されている。フレーム部（１）内側には、基板サポート部（３）上にガラス基板（２０）を水平に載置できる空間を有しており、基板サポート部（３）の凹部（３Ａ）上にガラス基板（２０）が積載されるようになっている。 As shown in FIGS. 8 and 9, the glass substrate storage tray (50) shown in this example is provided in a rectangular frame portion (1) in a plan view and a beam shape in the lower part inside the frame portion (1). When stacking the support part (2), the substrate support part (3) provided in a checkered pattern in plan view on the support part (2), and the glass substrate storage tray vertically, It is comprised by the edge part (4) used for attachment or detachment of the glass substrate storage tray, and the stop part (5) provided in the lower surface edge part of the support part (2). Inside the frame part (1), there is a space in which the glass substrate (20) can be horizontally placed on the substrate support part (3), and the glass substrate is placed on the concave part (3A) of the substrate support part (3). (20) is loaded.
本発明によるガラス基板収納用トレイ（５０）は、基板サポート部（３）上にガラス基板（２０）が積載されているか否かを表示する表示機構が設けられていることを特徴としている。この表示機構は、昇降部材と確認窓とで構成されている。
図８及び図９に示すガラス基板収納用トレイ（５０）は、昇降部材が可動ピン（２３）である。また、確認窓（７）がフレーム（１）部を水平に貫通して設けた窓である。
The glass substrate storage tray (50) according to the present invention is characterized in that a display mechanism for displaying whether or not the glass substrate (20) is loaded on the substrate support portion (3) is provided. This display mechanism is composed of an elevating member and a confirmation window.
In the glass substrate storage tray (50) shown in FIGS. 8 and 9, the elevating member is a movable pin (23). Further, the confirmation window (7) is a window provided through the frame (1) portion horizontally.
図８は、基板サポート部（３）上にガラス基板（２０）が積載されていない状態であり
、また、図９（ａ）は、ガラス基板（２０）が積載されてい図８のＹ−Ｙ線での断面図である。図８及び図９（ａ）に示すように、フレーム部（１）内側の一隅近傍の基板サポート部（３）の一部分（３Ｄ）に可動ピン（２３）が設けられている。この一部分（３Ｄ）の厚さ（Ｔ４）は、基板サポート部（３）の凹部（３Ａ）の厚さ（Ｔ３）より薄い厚さのものである（Ｔ４＜Ｔ３）。この厚さの薄い一部分（３Ｄ）に、可動ピン（２３）が昇降するための上下に貫通する貫通口（８）が設けられている。
FIG. 8 shows a state in which the glass substrate (20) is not stacked on the substrate support portion (3), and FIG. 9 (a) shows a state in which the glass substrate (20) is stacked and YY in FIG. It is sectional drawing in a line. As shown in FIGS. 8 and 9A, a movable pin (23) is provided on a part (3D) of the substrate support part (3) in the vicinity of one corner inside the frame part (1). The thickness (T4) of this portion (3D) is thinner than the thickness (T3) of the recess (3A) of the substrate support portion (3) (T4 <T3). A through hole (8) penetrating vertically for moving the movable pin (23) is provided in the thin part (3D).
基板サポート部（３）上にガラス基板（２０）が積載されていない状態では、この可動ピン（２３）は支持部（２）上に備えた板バネ（１６）によって上昇し、可動ピン（２３）の上部は基板サポート部（３）上面より突出している（Ｈ５＞Ｈ４）。
また、図９（ｂ）に示すように、基板サポート部（３）上にガラス基板（２０）が積載されている状態では、基板サポート部（３）上に積載したガラス基板（２０）の重量によって、可動ピン（２３）の上部は基板サポート部（３）上面と同一面まで下降する。
In a state where the glass substrate (20) is not stacked on the substrate support portion (3), the movable pin (23) is raised by the leaf spring (16) provided on the support portion (2), and the movable pin (23 ) Protrudes from the upper surface of the substrate support portion (3) (H5> H4).
Further, as shown in FIG. 9B, when the glass substrate (20) is loaded on the substrate support portion (3), the weight of the glass substrate (20) loaded on the substrate support portion (3). Thus, the upper part of the movable pin (23) is lowered to the same plane as the upper surface of the substrate support part (3).
つまり、昇降部材としての可動ピン（２３）は、基板サポート部（３）上にガラス基板（２０）が積載されているか否かによって降昇するようになっている。 That is, the movable pin (23) as the elevating member descends depending on whether or not the glass substrate (20) is loaded on the substrate support portion (3).
また、表示機構を構成する確認窓（７）は、図９（ｂ）に示すように、可動ピン（２３）の下降時に、可動ピンの側面（２３Ｃ）が対向するフレーム部（１）の側面部位に、フレーム部（１）を水平に貫通して設けた、可動ピンの側面（２３Ｃ）を確認するための窓である。この確認窓（７）には、ガラス基板収納用トレイ（３０）内の防塵性が損なわれないように、例えば、透明樹脂が充填されている。 Further, as shown in FIG. 9B, the confirmation window (7) constituting the display mechanism has a side surface of the frame portion (1) that faces the side surface (23C) of the movable pin when the movable pin (23) is lowered. It is a window for confirming the side surface (23C) of the movable pin, which is provided at the site through the frame portion (1) horizontally. The confirmation window (7) is filled with, for example, a transparent resin so that the dustproof property in the glass substrate storage tray (30) is not impaired.
この確認窓（７）の支持部（２）上面からの高さ（Ｈ６）、及び大きさ（ｃ）×（ｄ）は、可動ピン（２３）の下降時には、確認窓（７）に可動ピンの側面（２３Ｃ）が表示され、また、可動ピン（２３）の上降時には、確認窓（７）に可動ピンの側面（２３Ｃ）が表示されないように適宜に設定される。 The height (H6) and the size (c) × (d) of the confirmation window (7) from the upper surface of the support portion (2) are the movable pin (7) when the movable pin (23) is lowered. The side surface (23C) of the movable pin is displayed, and the movable pin (23) is appropriately set so that the side surface (23C) of the movable pin is not displayed on the confirmation window (7) when it moves up and down.
上記のように、昇降部材としての可動ピン（２３）と確認窓（７）とで構成される、本発明における表示機構は、基板サポート部（３）上にガラス基板（２０）が積載されている際には、確認窓（７）に可動ピンの側面（２３Ｃ）を表示し、また、基板サポート部（３）上にガラス基板（２０）が積載されていない際には、確認窓（７）に可動ピンの側面（２３Ｃ）を表示しない機能を有したものである。 As described above, the display mechanism according to the present invention, which includes the movable pin (23) as the elevating member and the confirmation window (7), has the glass substrate (20) mounted on the substrate support portion (3). The side surface (23C) of the movable pin is displayed on the confirmation window (7), and when the glass substrate (20) is not stacked on the substrate support portion (3), the confirmation window (7 ) Has a function of not displaying the side surface (23C) of the movable pin.
図１０は、図８に示すガラス基板収納用トレイ（５０）の外部の白太矢印方向、図９に示すガラス基板収納用トレイ（５０）の外部の矢印方向から確認窓（７）を観視した際の、確認窓（７）に表示される可動ピンの側面（２３Ｃ）の状態を表したガラス基板収納用トレイ（５０）の側面図である。図１０（ａ）は図９（ａ）に対応し、図１０（ｂ）は図９（ｂ）に対応している。 10 is a view of the confirmation window (7) from the direction of the thick white arrow outside the glass substrate storage tray (50) shown in FIG. 8, and from the direction of the arrow outside the glass substrate storage tray (50) shown in FIG. It is the side view of the tray (50) for glass substrate storage showing the state of the side surface (23C) of the movable pin displayed on the confirmation window (7) at the time of doing. FIG. 10 (a) corresponds to FIG. 9 (a), and FIG. 10 (b) corresponds to FIG. 9 (b).
図１０（ａ）に示すように、基板サポート部（３）上にガラス基板（２０）が積載されていない際には、確認窓（７）に可動ピンの側面（２３Ｃ）は表示されていない。確認窓（７）内は２重斜線で示すように、薄暗い様相を呈している。
一方、図１０（ｂ）に示すように、基板サポート部（３）上にガラス基板（２０）が積載されている際には、確認窓（７）に１重斜線で示すように、可動ピンの側面（２３Ｃ）は表示される。
As shown in FIG. 10A, when the glass substrate (20) is not stacked on the substrate support portion (3), the side surface (23C) of the movable pin is not displayed on the confirmation window (7). . The interior of the confirmation window (7) has a dim appearance as indicated by double diagonal lines.
On the other hand, as shown in FIG. 10 (b), when the glass substrate (20) is loaded on the substrate support portion (3), the movable pin as shown by a single diagonal line in the confirmation window (7). The side surface (23C) is displayed.
このように、本発明によるガラス基板収納用トレイ（５０）によれば、表示機構の確認窓（７）を観視することによって、複数のガラス基板収納用トレイが上下に積重された状態であっても、ガラス基板収納用トレイの各々にガラス基板（２０）が収納されているか
否かを、ガラス基板収納用トレイの外部から容易に判定することができる。
As described above, according to the glass substrate storage tray (50) according to the present invention, the plurality of glass substrate storage trays are stacked one above the other by viewing the confirmation window (7) of the display mechanism. Even if it exists, it can be determined easily from the outside of the glass substrate storage tray whether the glass substrate (20) is stored in each of the glass substrate storage tray.
なお、図１１は、前記図４、５に示すガラス基板収納用トレイ（３０）を積重した際の部分側面図である。図１１に示すように、ガラス基板収納用トレイ（３０）の可動片（１３）は相応の大きさを有するために、例えば、積重した状態での輸送中に振動などによって、ガラス基板（２０）が浮き上がり、ガラス基板（２０）の上面と、上方のガラス基板収納用トレイ（３０）の下面とが接触（Ｓ）し、ガラス基板（２０）の上面に汚れ、傷などが発生するリスクが考えられる。 FIG. 11 is a partial side view when the glass substrate storage trays (30) shown in FIGS. 4 and 5 are stacked. As shown in FIG. 11, since the movable piece (13) of the glass substrate storage tray (30) has a corresponding size, for example, the glass substrate (20 ) Is lifted, the upper surface of the glass substrate (20) and the lower surface of the upper glass substrate storage tray (30) are in contact (S), and there is a risk that the upper surface of the glass substrate (20) may become dirty or scratched. Conceivable.
図８、９に示す、請求項３に係わるガラス基板収納用トレイ（５０）は、昇降部材として、可動片（１３）よりも軽小な可動ピン（２３）を用いたことにより、このような、例えば、積重した状態での輸送中に振動などによって汚れ、傷などが発生するリスクを回避したガラス基板収納用トレイである。
The glass substrate storage tray (50) according to
上記のように、本発明によるガラス基板収納用トレイ（３０、５０）は、ガラス基板収納用トレイの各々にガラス基板が収納されているか否かを、ガラス基板収納用トレイの外部から容易に判定することができるので、実際の作業において、この判定とガラス基板収納用トレイを積重しているパレットのデータキャリアに保存された情報との照合を容易に行うことが可能となる。従って、本発明のガラス基板収納用トレイ（３０、５０）を用いることにより、例えば、トレイ移載装置や自動倉庫へパレットを搬入する前に、各ガラス基板収納用トレイにガラス基板が収納されているか否かの実際の状況と、データキャリアに保存された情報の整合性の確認を容易なものとし、実状と情報の不一致によるトレイ移載装置や自動倉庫でのトラブル、これによるロスを未然に防止することができる。 As described above, the glass substrate storage trays (30, 50) according to the present invention can easily determine from the outside of the glass substrate storage tray whether each glass substrate storage tray contains a glass substrate. Therefore, in actual work, it is possible to easily compare this determination with information stored in the data carrier of the pallet on which the glass substrate storage trays are stacked. Therefore, by using the glass substrate storage trays (30, 50) of the present invention, for example, before the pallet is loaded into the tray transfer device or the automatic warehouse, the glass substrate is stored in each glass substrate storage tray. This makes it easy to check the consistency of the information stored in the data carrier and the information stored in the data carrier. Can be prevented.
さて、図１２は、本発明によるガラス基板収納用トレイ（５０）の複数を上下に積重した状態の一例を示す側面図である。図１２に示すように、パレット（１１）上に、複数のガラス基板収納用トレイが積重され、最上部のガラス基板収納用トレイ上に防塵用蓋（１２）が設けられている。本来、この積重した状態のガラス基板収納用トレイは、符号（５０ｄ）で表すガラス基板収納用トレイのように、ガラス基板収納用トレイに設けられた確認窓（７）を全て手前側に向けて積重することになっている。 FIG. 12 is a side view showing an example of a state in which a plurality of glass substrate storage trays (50) according to the present invention are stacked one above the other. As shown in FIG. 12, a plurality of glass substrate storage trays are stacked on the pallet (11), and a dustproof lid (12) is provided on the uppermost glass substrate storage tray. Originally, in this stacked glass substrate storage tray, all the confirmation windows (7) provided on the glass substrate storage tray are directed to the front side, like the glass substrate storage tray indicated by reference numeral (50d). Are supposed to pile up.
しかし、図１２に示す一例は、上段の３個、符号（５０ｃ）で表すガラス基板収納用トレイが、何らかの原因によって、確認窓（７）を手前側に向けておらず、逆側に向けて積重されてしまったものである。
確認窓（７）を逆側に向けて積重されたガラス基板収納用トレイ（５０ｃ）の確認窓（７）は、手前側からは観視できず、ガラス基板収納用トレイ（５０ｃ）にガラス基板が収納されているか否かを手前側から判定することはできない。
However, an example shown in FIG. 12 is that the upper three glass substrate storage trays indicated by the reference numeral (50c) are not directed toward the front side for some reason, but directed toward the opposite side. It has been piled up.
The confirmation window (7) of the glass substrate storage tray (50c) stacked with the confirmation window (7) facing in the opposite direction cannot be viewed from the front side, and the glass substrate storage tray (50c) is made of glass. It cannot be determined from the near side whether the substrate is stored.
図１３は、このような問題を解決するためになされたガラス基板収納用トレイ（７０）の一例の概略を示す平面図である。図１３に示すように、可動ピン（２３）と確認窓（７）で構成される表示機構は、フレーム部（１）内側の対向する二隅近傍の基板サポート部（３）の各々に、フレーム部中心（Ｏ）を通る垂線を対称線とする線対称の位置関係を保って設けられている。この２組の表示機構は同一の構造であることが好ましい。 FIG. 13 is a plan view showing an outline of an example of a glass substrate storage tray (70) made to solve such a problem. As shown in FIG. 13, the display mechanism composed of the movable pin (23) and the confirmation window (7) has a frame on each of the substrate support portions (3) near the two opposite corners inside the frame portion (1). They are provided while maintaining a line-symmetric positional relationship with a perpendicular passing through the center (O) as a symmetry line. The two sets of display mechanisms preferably have the same structure.
図１４は、このような２組の表示機構が設けられたガラス基板収納用トレイ（７０）の複数を上下に積重した状態の側面図である。ガラス基板収納用トレイ（７０）に設けられている２組の表示機構は、フレーム部中心（Ｏ）をとうる垂線を対称線とする線対称の位置関係を保って設けられているので、仮に、何らかの原因によって、手前側を逆側に向けて積重されても、図１４に示すように、常に、手前側と逆側の両側に確認窓（７）が向いている。 FIG. 14 is a side view of a state in which a plurality of glass substrate storage trays (70) provided with such two sets of display mechanisms are stacked one above the other. The two sets of display mechanisms provided in the glass substrate storage tray (70) are provided in a line-symmetrical positional relationship with a perpendicular line taking the frame center (O) as a symmetry line. Even if they are stacked with the front side facing the reverse side for some reason, as shown in FIG. 14, the confirmation windows (7) always face both sides of the front side and the reverse side.
従って、前記のような不具合は解消され、ガラス基板収納用トレイ（７０）にガラス基板が収納されているか否かを手前側（一方側）から常に判定することが可能となる。 Therefore, the above problems are eliminated, and it is possible to always determine whether or not the glass substrate is stored in the glass substrate storage tray (70) from the front side (one side).
また、表示機構を構成する、可動片（１３）、可動ピン（２３）などの昇降部材の側面の色が、確認し易い色であることを特徴とするガラス基板収納用トレイである、昇降部材の側面の色は、作業者が確認し易い色であることが好ましい。例えば、対比色としてのフレーム部（１）外側の色が白の場合、昇降部材の側面の色は、一般に標識に用いられる赤、黄赤、黄、緑などが好適である。
これにより、ガラス基板が収納されているか否かの外部からの判定が、より容易に正確なものとなる。
Further , the elevating member, which is a glass substrate storage tray, is characterized in that the colors of the side surfaces of the elevating members such as the movable piece (13) and the movable pin (23) constituting the display mechanism are easy to confirm. The side color is preferably a color that can be easily confirmed by the operator. For example, when the color on the outside of the frame portion (1) as the contrast color is white, the color of the side surface of the elevating member is preferably red, yellow red, yellow, green or the like generally used for signs.
Thereby, the determination from the outside of whether the glass substrate is accommodated becomes easier and more accurate.
また、図１５は、請求項５に係わるガラス基板収納用トレイの部分断面図である。このガラス基板収納用トレイ（９０）は、表示機構の可動片の側面（１３Ｃ）の色が、上半部（１３Ｃ−１）と下半部（１３Ｃ−２）とで色が異なることを特徴としている。
図１５（ａ）に示すように、基板サポート部（３）上にガラス基板（２０）が積載されていない状態では、この可動片（１３）は支持部（２）上に備えたコイルバネ（６）によって上昇し、可動片（１３）の凹部（１３Ａ）の上面は基板サポート部（３）上面より突出している。
FIG. 15 is a partial cross-sectional view of the glass substrate storage tray according to
As shown in FIG. 15A, when the glass substrate (20) is not stacked on the substrate support portion (3), the movable piece (13) is provided with a coil spring (6) provided on the support portion (2). ) And the upper surface of the concave portion (13A) of the movable piece (13) protrudes from the upper surface of the substrate support portion (3).
また、図１５（ｂ）に示すように、基板サポート部（３）上にガラス基板（２０）が積載されている状態では、基板サポート部（３）上に積載したガラス基板（２０）の重量によって、可動片（１３）の凹部（１３Ａ）の上面は基板サポート部（３）上面と同一面まで下降する。つまり、昇降部材としての可動片（１３）は、基板サポート部（３）上にガラス基板（２０）が積載されているか否かによって降昇するようになっている。 Further, as shown in FIG. 15B, when the glass substrate (20) is loaded on the substrate support portion (3), the weight of the glass substrate (20) loaded on the substrate support portion (3). Thus, the upper surface of the concave portion (13A) of the movable piece (13) is lowered to the same surface as the upper surface of the substrate support portion (3). That is, the movable piece (13) as the elevating member is raised or lowered depending on whether or not the glass substrate (20) is loaded on the substrate support portion (3).
基板サポート部（３）上にガラス基板（２０）が積載されていない際には、確認窓（７）に可動片の側面の下半部（１３Ｃ−２）を表示し、また、基板サポート部（３）上にガラス基板（２０）が積載されている際には、確認窓（７）に可動片の側面の上半部（１３Ｃ−１）を表示する。
図１６は、図１５に示すガラス基板収納用トレイ（９０）の外部の矢印方向から確認窓（７）を観視した際の、確認窓（７）に表示される可動片の側面の状態を表した側面図である。図１６（ａ）は図１５（ａ）に対応し、図１６（ｂ）は図１５（ｂ）に対応している。
When the glass substrate (20) is not stacked on the substrate support portion (3), the lower half portion (13C-2) of the side surface of the movable piece is displayed on the confirmation window (7), and the substrate support portion (3) When the glass substrate (20) is stacked thereon, the upper half (13C-1) of the side surface of the movable piece is displayed on the confirmation window (7).
16 shows the state of the side surface of the movable piece displayed on the confirmation window (7) when viewing the confirmation window (7) from the direction of the arrow on the outside of the glass substrate storage tray (90) shown in FIG. FIG. FIG. 16A corresponds to FIG. 15A, and FIG. 16B corresponds to FIG.
図１６（ａ）に示すように、基板サポート部（３）上にガラス基板（２０）が積載されていない際には、確認窓（７）に可動片の側面の下半部（１３Ｃ−２）が表示されている。一方、図１６（ｂ）に示すように、基板サポート部（３）上にガラス基板（２０）が積載されている際には、可動片の側面の上半部（１３Ｃ−１）が表示される。
可動片の側面の上半部（１３Ｃ−１）の色と、下半部（１３Ｃ−２）の色の組み合わせは、例えば、対比色としてのフレーム部（１）外側の色が白の場合、黄赤と青緑、或いは、マゼンタと緑、など補色関係にある２色の組み合わせが好適である。
As shown in FIG. 16A, when the glass substrate (20) is not stacked on the substrate support portion (3), the lower half (13C-2) of the side surface of the movable piece is placed on the confirmation window (7). ) Is displayed. On the other hand, as shown in FIG. 16B, when the glass substrate (20) is stacked on the substrate support portion (3), the upper half (13C-1) of the side surface of the movable piece is displayed. The
The combination of the color of the upper half (13C-1) of the side surface of the movable piece and the color of the lower half (13C-2) is, for example, when the color outside the frame (1) as a contrast color is white, A combination of two colors having a complementary color relationship such as yellow-red and blue-green or magenta and green is preferable.
請求項５に係わるガラス基板収納用トレイ（９０）により、ガラス基板が収納されているか否かの外部からの判定が、更により容易に且つ正確なものとなる。
The glass substrate storage tray (90) according to
１・・・フレーム部
２・・・支持部
３・・・基板サポート部
４・・・縁部
５・・・止め部
６・・・コイルバネ
７・・・確認窓
８・・・貫通口
１０・・・ガラス基板収納用トレイ
１１・・・パレット
１２・・・防塵用蓋
１３・・・可動片
１３Ｃ・・・可動片の側面
１４・・・データキャリア
１６・・・板バネ
２０・・・ガラス基板
２３・・・可動ピン
２３Ｃ・・・可動ピンの側面
３０、５０、７０、９０・・・本発明のガラス基板収納用トレイ
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