JP5512861B2

JP5512861B2 - Linear motor

Info

Publication number: JP5512861B2
Application number: JP2013101522A
Authority: JP
Inventors: 良加茂川; 隆海江田; 克幸高木
Original assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Current assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Priority date: 2013-05-13
Filing date: 2013-05-13
Publication date: 2014-06-04
Anticipated expiration: 2028-06-27
Also published as: JP2013153650A

Description

本発明は、可動部を所定の移動方向に移動させるリニアモータに関するものである。 The present invention relates to a linear motor that moves a movable part in a predetermined movement direction.

電子部品などの部品をハンドリングする部品移載装置、半導体装置や液晶表示装置などを製造するための製造装置などを中心として、リニアモータの用途が年々拡大している。その理由はリニアモータが次の特徴を有しているからである。リニアモータでは、電子部品をハンドリングするノズル、半導体ウエハやガラス基板などの被移動物を可動部に載置した状態で当該可動部を所定の移動方向に移動させることが可能となっているが、その移動の際に、ほこり等の発生が少なくクリーンであり、また静粛性にも優れるという特徴を有している。また、可動部の位置決め精度も高く、被移動物を所望位置に正確に位置決めすることができる。さらに、１つの軌道上に複数の可動部を配置することが可能であるという特徴や、摩耗部分が少なく耐久性に優れるという特徴も、リニアモータは有している。 The applications of linear motors are increasing year by year, mainly in parts transfer equipment for handling parts such as electronic parts, manufacturing equipment for manufacturing semiconductor devices, liquid crystal display devices, and the like. The reason is that the linear motor has the following characteristics. In the linear motor, it is possible to move the movable part in a predetermined movement direction in a state where a moving object such as a nozzle for handling an electronic component, a semiconductor wafer or a glass substrate is placed on the movable part. During the movement, it is characterized by being free from dust and being clean and excellent in quietness. Moreover, the positioning accuracy of the movable part is high, and the object to be moved can be accurately positioned at a desired position. Further, the linear motor also has a feature that a plurality of movable parts can be arranged on one track and a feature that there are few wear parts and excellent durability.

このような特徴を有するリニアモータとして、例えば特許文献１に記載されたものがある。このリニアモータは、移動方向に沿って延在するほぼ平板状の軌道レール構造体の上面に２本のリニアガイドが互いに平行に、しかも軌道レール構造体の幅方向に離間して設けられている。また、各リニアガイドに対してガイド係合部が摺動自在に設けられるとともに、それら２つのガイド係合部を上方側より連結するように本体部がガイド係合部に固定されており、ガイド係合部および本体部が軌道レール構造体の上方側で一体的にリニアガイドに沿って移動方向に往復動自在となっている。このように、特許文献１に記載のリニアモータでは、ガイド係合部および本体部が移動体（可動部）として機能している。また、この移動体に対して推力を付与するために、２本のリニアガイドの間で二次側コア（二次側磁界発生部材）が軌道レール構造体の上面から垂直方向に立設される一方、二次側コアを幅方向から所定距離だけ離間しながら挟み込むように一次側コア（一次側磁界発生部材）が本体部の下面側に設けられるとともに当該一次側コアにコイルが巻回されている。 As a linear motor having such characteristics, there is one described in Patent Document 1, for example. In this linear motor, two linear guides are provided in parallel to each other on the upper surface of a substantially flat track rail structure extending in the moving direction and spaced apart in the width direction of the track rail structure. . A guide engaging portion is slidably provided for each linear guide, and a main body portion is fixed to the guide engaging portion so as to connect the two guide engaging portions from above. The engaging portion and the main body portion can reciprocate in the moving direction along the linear guide integrally on the upper side of the track rail structure. Thus, in the linear motor described in Patent Document 1, the guide engaging portion and the main body portion function as a movable body (movable portion). Further, in order to apply thrust to the moving body, a secondary side core (secondary side magnetic field generating member) is erected vertically from the upper surface of the track rail structure between the two linear guides. On the other hand, a primary side core (primary side magnetic field generating member) is provided on the lower surface side of the main body so as to sandwich the secondary side core with a predetermined distance from the width direction, and a coil is wound around the primary side core. Yes.

特開２００２−３１５２９７号公報（図３）Japanese Patent Laying-Open No. 2002-315297 (FIG. 3)

ところで、上記リニアモータでは、軌道レール構造体の幅方向にリニアガイド、一次側磁界発生部材および二次側磁界発生部材が配列されるため、リニアモータの幅方向サイズの大型化は避けられない。したがって、リニアモータを設置するために要する面積も必然的に広くなっていた。このため、電子部品をハンドリングするノズルをリニアモータにより駆動する部品移載装置では、上記リニアモータをノズル駆動源として用いることは困難であった。また、半導体装置や液晶表示装置などの製造装置に対してはフットプリントの低減が要求されており、この要求を満足させるために製造装置に用いるリニアモータに対して設備スペースを抑える工夫が望まれているが、かかる要望を上記リニアモータが満足するには至っていなかった。 By the way, in the linear motor, since the linear guide, the primary side magnetic field generating member, and the secondary side magnetic field generating member are arranged in the width direction of the track rail structure, it is inevitable to increase the size of the linear motor in the width direction. Therefore, the area required for installing the linear motor has inevitably increased. For this reason, it is difficult to use the linear motor as a nozzle drive source in a component transfer apparatus that drives a nozzle for handling electronic components by a linear motor. In addition, a reduction in footprint is required for manufacturing devices such as semiconductor devices and liquid crystal display devices, and in order to satisfy this requirement, a device that reduces the installation space for a linear motor used in the manufacturing device is desired. However, the linear motor has not yet satisfied such a demand.

また、上記リニアモータでは、コイルに給電するために配線構造体が設けられており、定期的に、あるいはリニアモータの故障時に配線構造体にアクセスして修理・点検作業を行う必要がある。そのため、メンテナンス性を高めて配線構造体の修理・点検作業を容易なものとすることが望まれるが、従来のリニアモータではこれらの点について十分な検討がなされて来なかった。 Further, the linear motor is provided with a wiring structure for supplying power to the coil, and it is necessary to perform repair / inspection work by accessing the wiring structure periodically or when the linear motor fails. Therefore, it is desired to improve the maintainability and facilitate the repair / inspection work of the wiring structure. However, the conventional linear motor has not been sufficiently studied.

この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、可動部を移動方向に直線的に移動させるリニアモータの薄型化を図ることを第１目的とする。 This invention is made in view of the said subject, and makes it the 1st objective to aim at thickness reduction of the linear motor which moves a movable part linearly to a moving direction.

また、この発明はリニアモータに設けられる配線構造体に対するアクセスの容易性を高めてリニアモータのメンテナンス性を向上させることを第２目的とする。 Another object of the present invention is to improve the ease of maintenance of the linear motor by improving the ease of access to the wiring structure provided in the linear motor.

この発明にかかるリニアモータは、ベース部と、移動方向に延設されたプレート状固定子取付部と有し、固定子取付部の両主面の法線がベース部の一方主面とほぼ平行となるように固定子取付部がベース部の一方主面に設けられて移動方向に直交する断面で逆Ｔ字形状を有するフレームと、固定子取付部の第１主面に対向する第１対向面を有し、第１対向面を固定子取付部の第１主面と対向させた状態のまま移動方向に移動自在となっている第１可動部と、固定子取付部の第１主面に対し、極性が交互に異なる複数の永久磁石を移動方向に設けた第１固定子と、エアギャップを介して第１固定子と対向するように第１可動部の第１対向面に設けられた第１コアと、第１コアの周囲に巻回される第１コイルとを有する第１可動子と、固定子取付部の第２主面に対向する第２対向面を有し、第２対向面を固定子取付部の第２主面と対向させた状態のまま移動方向に移動自在となっている第２可動部と、固定子取付部の第２主面に対し、極性が交互に異なる複数の永久磁石を移動方向に設けた第２固定子と、エアギャップを介して第２固定子に対向するように第２可動部の第２対向面に設けられた第２コアと、第２コアの周囲に巻回される第２コイルとを有する第２可動子とを備えたことを特徴としている。 The linear motor according to the present invention has a base portion and a plate-like stator mounting portion extending in the moving direction, and the normal lines of both main surfaces of the stator mounting portion are substantially parallel to one main surface of the base portion. A stator mounting portion is provided on one main surface of the base portion so that the frame has an inverted T-shape in a cross section perpendicular to the moving direction, and a first opposing surface facing the first main surface of the stator mounting portion And a first movable portion that is movable in the moving direction with the first facing surface facing the first main surface of the stator mounting portion, and the first main surface of the stator mounting portion On the other hand, the first stator provided with a plurality of permanent magnets having different polarities in the moving direction, and provided on the first facing surface of the first movable portion so as to face the first stator via the air gap. A first mover having a first core and a first coil wound around the first core, and a stator attachment A second movable portion having a second opposed surface opposed to the second major surface, wherein the second movable portion is movable in the moving direction while the second opposed surface is opposed to the second main surface of the stator mounting portion. And a second stator provided with a plurality of permanent magnets having different polarities in the moving direction with respect to the second main surface of the stator mounting portion, and a second stator so as to face the second stator via an air gap. A second mover having a second core provided on the second facing surface of the two movable parts and a second coil wound around the second core is provided.

このように構成された発明は、２つの可動部を移動方向に相互に独立して並走移動する、いわゆる２列並走タイプのリニアモータであり、フレームは移動方向に直交する断面で逆Ｔ字形状を有しており、ベース部に対して固定子取付部がほぼ垂直に設けられている。そして、固定子取付部の第１主面側において、当該第１主面に対して第１可動部の第１対向面が対向するように第１可動部が移動自在に設けられている。また、第１主面に対して第１固定子が取り付けられる一方、第１対向面に第１可動子が取り付けられ、第１可動部を移動方向に移動可能となっている。したがって、固定子取付部の第１主面側では、幅方向サイズを抑制しながら第１可動部を移動方向に移動させることが可能となっている。また、固定子取付部の第２主面側においても、第１主面側と同様である。つまり、当該第２主面に対して第２可動部の第２対向面が対向するように第２可動部が移動自在に設けられ、第２主面に対して第２固定子が取り付けられる一方、第２対向面に第２可動子が取り付けられ、第２可動部を移動方向に移動可能となっている。したがって、固定子取付部の第２主面側においても、幅方向サイズを抑制しながら第２可動部を移動方向に移動させることが可能となっている。よって、リニアモータ全体についても、幅方向サイズも小さく、薄型化が図られている。 The invention configured as described above is a so-called two-row parallel type linear motor in which two movable parts move in parallel in the moving direction, and the frame has a cross section orthogonal to the moving direction and is inverted T The stator mounting portion is provided substantially perpendicular to the base portion. Then, on the first main surface side of the stator mounting portion, the first movable portion is movably provided so that the first opposing surface of the first movable portion faces the first main surface. Further, the first stator is attached to the first main surface, while the first mover is attached to the first opposing surface, and the first movable portion can be moved in the movement direction. Therefore, on the first main surface side of the stator attachment portion, the first movable portion can be moved in the movement direction while suppressing the size in the width direction. Further, the second main surface side of the stator mounting portion is the same as the first main surface side. In other words, the second movable portion is movably provided so that the second opposing surface of the second movable portion faces the second main surface, and the second stator is attached to the second main surface. The second movable element is attached to the second facing surface, and the second movable part can be moved in the movement direction. Therefore, also on the second main surface side of the stator attachment portion, the second movable portion can be moved in the moving direction while suppressing the size in the width direction. Therefore, the entire linear motor is also small in size in the width direction and is thinned.

また、第１固定子および第２固定子は単一の固定子取付部に対して背面合わせに取り付けられており、この点は幅方向サイズを低減させる上で有利に作用するのみならず、リニアモータ全体の剛性を高める点においても有利に作用する。また、単一の固定子取付部に対して対称的に可動部を移動自在に設けているため、各移動軸の平行度を合わせやすく、高精度な並走式リニアモータを提供することが可能となる。 In addition, the first stator and the second stator are attached back to back with respect to a single stator attachment portion. This point not only works advantageously in reducing the width size, but also linear. This also has an advantage in increasing the rigidity of the entire motor. In addition, since the movable part is movable symmetrically with respect to the single stator mounting part, it is easy to match the parallelism of each movement axis, and it is possible to provide a highly accurate parallel linear motor It becomes.

なお、この並走式リニアモータでは、第１コイルに給電するための第１配線構造体と、第２コイルに給電するための第２配線構造体とが設けられるが、移動方向に直交する断面で逆Ｔ字形状を有するフレームを用いていることから、次のように第１配線構造体および第２配線構造体を配置してもよい。すなわち、固定子取付部の第１主面側では第１対向面の反対側が開放空間となっており、第２主面側では第２対向面の反対側が開放空間となっている。そこで、上記第２目的を達成するため、第１配線構造体を第１可動部の第１対向面の反対側の第１空間に配置する一方、第２配線構造体を第２可動部の第２対向面の反対側の第２空間に配置すると、リニアモータの組立に際して配線構造体の取付が容易となり、また開放空間側からリニアモータに組み込まれた配線構造体に対して容易にアクセスすることができ、メンテナンス性を高めて配線構造体の修理・点検作業を容易なものにしている。さらに、ベース部に対してそれぞれ着脱自在な第１モータカバーおよび第２モータカバーをさらに備え、第１モータカバーをベース部に取り付けることで第１空間が覆われ、第１モータカバーをベース部から取り外すことで第１空間が開放され、第２モータカバーをベース部に取り付けることで第２空間が覆われ、第２モータカバーをベース部から取り外すことで第２空間が開放されるように構成してもよい。 In this parallel running linear motor, a first wiring structure for supplying power to the first coil and a second wiring structure for supplying power to the second coil are provided, but a cross section orthogonal to the moving direction. Since the frame having the inverted T shape is used, the first wiring structure and the second wiring structure may be arranged as follows. That is, on the first main surface side of the stator mounting portion, the opposite side of the first opposing surface is an open space, and on the second main surface side, the opposite side of the second opposing surface is an open space. Therefore, in order to achieve the second object, the first wiring structure is disposed in the first space on the opposite side of the first facing surface of the first movable part, while the second wiring structure is disposed on the second movable part. 2 When placed in the second space on the opposite side of the opposing surface, the wiring structure can be easily attached when assembling the linear motor, and the wiring structure incorporated in the linear motor can be easily accessed from the open space side. This improves the maintainability and makes it easier to repair and inspect the wiring structure. In addition, a first motor cover and a second motor cover that are detachably attached to the base portion are further provided, and the first space is covered by attaching the first motor cover to the base portion, and the first motor cover is removed from the base portion. The first space is opened by removing, the second space is covered by attaching the second motor cover to the base portion, and the second space is opened by removing the second motor cover from the base portion. May be.

本発明にかかるリニアモータの第１実施形態を示す図である。It is a figure showing a 1st embodiment of a linear motor concerning the present invention. 本発明にかかるリニアモータの第２実施形態を示す図である。It is a figure which shows 2nd Embodiment of the linear motor concerning this invention. 本発明にかかるリニアモータの第３実施形態を示す図である。It is a figure which shows 3rd Embodiment of the linear motor concerning this invention.

図１は本発明にかかるリニアモータの第１実施形態を示す図であり、このリニアモータ１は１つの可動部２を移動方向Ｘに移動させる、いわゆる単軸リニアモータである。なお、同図（ｂ）は第１実施形態にかかるリニアモータの断面構造を示す図であり、同図（ａ）は同図（ｂ）のＡ−Ａ線断面図である。また、同図および後で説明する図面では、各図の方向関係を明確にするために、ＸＹＺ直角座標軸が示されている。これら３つの方向Ｘ、Ｙ、ＺのうちＸ方向が本発明の「移動方向」に相当し、Ｙ方向が「幅方向」に相当し、Ｚ方向が「移動方向」および「幅方向」の両方向に直交する「垂直方向」に相当している。 FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment of a linear motor according to the present invention. The linear motor 1 is a so-called single-axis linear motor that moves one movable part 2 in a moving direction X. FIG. FIG. 2B is a view showing a cross-sectional structure of the linear motor according to the first embodiment, and FIG. 3A is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. Further, in the drawing and the drawings described later, XYZ rectangular coordinate axes are shown in order to clarify the directional relationship between the drawings. Of these three directions X, Y, and Z, the X direction corresponds to the “movement direction” of the present invention, the Y direction corresponds to the “width direction”, and the Z direction corresponds to both the “movement direction” and the “width direction”. It corresponds to the “vertical direction” orthogonal to.

このリニアモータ１は移動方向Ｘに直交する断面（ＹＺ平面）で略Ｌ字形状を有するフレーム３を有している。このフレーム３は、移動方向Ｘに延設されたプレート状のベース部３１と、同じく移動方向Ｘに延設されたプレート状固定子取付部３２とを有しており、この実施形態では両者が一体的に形成されている。つまり、固定子取付部３２の第１主面３２１の法線がベース部３１の一方主面３１１とほぼ平行となり、固定子取付部３２の第２主面３２２がベース部３１の端面と面一となるように固定子取付部３２がベース部３１の一方主面３１１の左端部から垂直方向Ｚに立設されている。なお、このように構成されたフレーム３は、ベース部３１の他方主面３１２が部品移載装置や半導体製造装置などに設けられたリニアモータ設置位置に配置され、図示を省略する固定部材により位置決め固定される。 This linear motor 1 has a frame 3 having a substantially L-shaped cross section (YZ plane) orthogonal to the moving direction X. This frame 3 has a plate-like base portion 31 extending in the movement direction X and a plate-like stator attachment portion 32 also extending in the movement direction X. In this embodiment, both of them are It is integrally formed. That is, the normal line of the first main surface 321 of the stator mounting portion 32 is substantially parallel to the one main surface 311 of the base portion 31, and the second main surface 322 of the stator mounting portion 32 is flush with the end surface of the base portion 31. The stator attachment portion 32 is erected in the vertical direction Z from the left end portion of the one main surface 311 of the base portion 31. The frame 3 configured in this manner is positioned by a fixing member (not shown), with the other main surface 312 of the base portion 31 being disposed at a linear motor installation position provided in a component transfer device, a semiconductor manufacturing device, or the like. Fixed.

固定子取付部３２の第１主面３２１には、２つのリニアガイド４、４が互いに平行に、しかも垂直方向Ｚに離間して設けられている。すなわち、これらのリニアガイドのうちベース部３１に近接するベース側リニアガイド４では、第１主面３２１に対して直線状のレール４１が移動方向Ｘに延設され、さらに該レール４１に沿ってスライダ４２が移動方向Ｘにスライド自在となっている。また、テーブル側リニアガイド４では、ベース側レール４１と平行に第１主面３２１に対して直線状のレール４１が移動方向Ｘに延設され、さらに該レール４１に沿ってスライダ４２が移動方向Ｘにスライド自在となっている。 Two linear guides 4 and 4 are provided on the first main surface 321 of the stator attachment portion 32 in parallel with each other and spaced apart in the vertical direction Z. That is, in these linear guides, in the base-side linear guide 4 that is close to the base portion 31, the linear rail 41 extends in the movement direction X with respect to the first main surface 321, and further along the rail 41. The slider 42 is slidable in the movement direction X. In the table-side linear guide 4, a linear rail 41 extends in the movement direction X parallel to the base-side rail 41 with respect to the first main surface 321, and the slider 42 moves along the rail 41 in the movement direction. X is slidable.

また、これらのスライダ４２、４２に対して略Ｔ字状の断面を有する可動部２が取り付けられ、Ｘ方向にフレーム３に対して移動自在となっている。より詳しくは、可動部２はＺ方向に延在する垂直部位２１と垂直部位２１の（＋Ｚ）方向端部でＹ方向に延在する水平部位２２とを有している。そして、垂直部位２１の側面のうち固定子取付部３２の第１主面３２１に対向する対向面２１１に上記２つのスライダ４２、４２が固定され、これによって可動部２がＸ方向にフレーム３に対して移動自在となっている。また、可動部２の水平部位２２の（＋Ｚ）方向端部、つまり反ベース部側端部には、固定子取付部３２の第１主面３２１の法線と平行な幅方向Ｙにおいてフレーム３と同一またはそれより狭い（好ましくは若干狭い）幅を有するテーブル５が固定されて当該テーブル５を介して被駆動物を可動部２に取付可能となっている。また、この実施形態では、図１に示すようにテーブル５はフレーム３のベース部３１から垂直方向Ｚに延びる領域内に配置されているので、垂直方向Ｚからテーブル５を見た際、テーブル５は常にフレーム３の幅方向Ｙに収まっている。そして、次に説明する固定子および可動子で発生する磁束の相互作用により発生する推力により可動部２およびテーブル５は移動方向Ｘに沿って移動し、テーブル５に取り付けられた被駆動物をＸ方向に移動して位置決め可能となっている。 Further, the movable portion 2 having a substantially T-shaped cross section is attached to the sliders 42 and 42, and is movable with respect to the frame 3 in the X direction. More specifically, the movable part 2 has a vertical part 21 extending in the Z direction and a horizontal part 22 extending in the Y direction at the (+ Z) direction end of the vertical part 21. The two sliders 42 and 42 are fixed to the opposing surface 211 facing the first main surface 321 of the stator mounting portion 32 among the side surfaces of the vertical portion 21, thereby moving the movable portion 2 to the frame 3 in the X direction. On the other hand, it is free to move. Further, the end of the horizontal portion 22 of the movable portion 2 in the (+ Z) direction end, that is, the end on the side opposite to the base portion is the frame 3 in the width direction Y parallel to the normal line of the first main surface 321 of the stator mounting portion 32. A table 5 having a width equal to or narrower than (preferably slightly narrower) is fixed, and the driven object can be attached to the movable portion 2 via the table 5. In this embodiment, as shown in FIG. 1, the table 5 is arranged in a region extending in the vertical direction Z from the base portion 31 of the frame 3. Is always within the width direction Y of the frame 3. Then, the movable portion 2 and the table 5 move along the moving direction X by the thrust generated by the interaction between magnetic fluxes generated by the stator and the mover, which will be described next, and the driven object attached to the table 5 is moved to X. It can be positioned by moving in the direction.

この実施形態では、固定子６はヨーク６１と永久磁石６２とで構成されている。このヨーク６１は強磁性材料より形成された矩形プレートであり、Ｚ方向においてレール４１、４１に挟まれるように、固定子取付部３２の第１主面３２１に対して取り付けられている。また、当該ヨーク６１の表面には、Ｎ極側が該表面に対向する永久磁石６２と、Ｓ極側が該表面に対向する永久磁石６２とが、交互にＸ方向に沿って複数配列されて取り付けられている。 In this embodiment, the stator 6 is composed of a yoke 61 and a permanent magnet 62. The yoke 61 is a rectangular plate made of a ferromagnetic material, and is attached to the first main surface 321 of the stator attachment portion 32 so as to be sandwiched between the rails 41 and 41 in the Z direction. A plurality of permanent magnets 62 whose north pole faces the surface and permanent magnets 62 whose south pole faces the surface are alternately arranged along the X direction on the surface of the yoke 61. ing.

一方、可動子７は、コア７１と、複数の中空形状のボビン７２と、各ボビン７２の外周部に電線を巻きつけてなるコイル７３とで構成されている。このコア７１はＸ方向に延びる矩形プレート部から一定間隔でＹ方向に設けられた歯部を有する櫛型形状の珪素鋼板を複数枚Ｚ方向に積層したものである。このように構成されたコア７１では、複数の歯部がＸ方向に一定間隔で並設されて歯部列を形成している。また、各歯部に対し、予めコイル７３が巻き付けられたボビン７２が装着される。こうして、複数のコア７１の歯部とこの歯部の周りに巻かれたコイル７３がＸ方向に同一間隔で設けられて電機子を構成しており、固定子（ヨーク６１＋永久磁石６２）に対向して可動部２の対向面２１１に取り付けられている。そして、図示を省略するモータ駆動用ケーブルを介してモータコントローラから各コイル７３に通電が行われると、コア７１の歯部の先端面で発生する磁極と、その歯部先端面の対向面となる永久磁石６２の対向面で発生する磁極の相互作用により可動子７にＸ方向の推力が生じて可動部２をＸ方向に駆動する。 On the other hand, the mover 7 includes a core 71, a plurality of hollow bobbins 72, and a coil 73 formed by winding an electric wire around the outer periphery of each bobbin 72. The core 71 is formed by laminating a plurality of comb-shaped silicon steel plates each having a tooth portion provided in the Y direction at regular intervals from a rectangular plate portion extending in the X direction in the Z direction. In the core 71 configured as described above, a plurality of tooth portions are arranged side by side at regular intervals in the X direction to form a tooth portion row. A bobbin 72 around which a coil 73 is wound is attached to each tooth portion. Thus, the tooth portions of the plurality of cores 71 and the coils 73 wound around the tooth portions are provided at the same interval in the X direction to constitute the armature, and face the stator (yoke 61 + permanent magnet 62). Then, it is attached to the facing surface 211 of the movable part 2. Then, when each coil 73 is energized from the motor controller via a motor drive cable (not shown), the magnetic pole generated on the tip surface of the tooth portion of the core 71 and the surface facing the tip surface of the tooth portion. Due to the interaction of the magnetic poles generated on the opposing surface of the permanent magnet 62, thrust in the X direction is generated in the mover 7 to drive the movable part 2 in the X direction.

このように推力を発生させるためにモータ駆動用ケーブルが各コイル７３に接続されて給電可能となっているが、本実施形態では、可動部２の対向面２１１の反対側の面２１２（図１の右手側）かつベース部３１の（＋Ｚ）方向側に位置する空間ＳＰに屈曲自在なダクト部材８が配置されており、上記モータ駆動用ケーブルは、次に説明するセンサ用ケーブルとともにこのダクト部材８に収容されている。モータ駆動用ケーブルとダクト部材８の一端は可動子２の面２１２に設置された配線用のステイ８１に取り付けられ、他の端はベース部３１の一方主面３１１に取り付けられている。このように本実施形態では、モータ駆動用ケーブルとダクト部材８が本発明の「配線構造体」に相当している。 In order to generate thrust in this way, the motor driving cable is connected to each coil 73 and can feed power. In this embodiment, the surface 212 (FIG. 1) on the opposite side of the facing surface 211 of the movable portion 2. The right-hand side) and a duct member 8 that is freely bendable is disposed in a space SP located on the (+ Z) direction side of the base portion 31. The motor driving cable is connected to the sensor cable described below and the duct member. 8 is housed. One end of the motor driving cable and duct member 8 is attached to a wiring stay 81 installed on the surface 212 of the movable element 2, and the other end is attached to one main surface 311 of the base portion 31. Thus, in this embodiment, the motor driving cable and the duct member 8 correspond to the “wiring structure” of the present invention.

このセンサ用ケーブルは可動部２の位置を検出するセンサをモータコントローラ（図示省略）に電気的に接続するためのケーブルである。この実施形態では、位置検出センサとして磁気センサ９２が用いられている。すなわち、磁気的に目盛りを記録したプレート状の磁気スケール９１がテーブル側レール４１の（＋Ｚ）方向側で該レール４１に沿って固定子取付部３２の第１主面３２１に固定されている。一方、可動部２に固定されたセンサ支持部材９３に、ＭＲセンサやホールセンサ等の磁気センサ９２が磁気スケール９１と対向するように取り付けられており、この磁気センサ９２により磁気スケール９１を読取る。これによりＸ方向における可動部２の位置に関する電気信号が磁気センサ９２から出力され、センサ用ケーブルを介してモータコントローラに与えられて可動部２の位置が検出される。なお、可動部２の位置検出手段は磁気センサに限定されるものではなく、光学センサなど任意の位置検出方式を採用することができる。 This sensor cable is a cable for electrically connecting a sensor for detecting the position of the movable portion 2 to a motor controller (not shown). In this embodiment, a magnetic sensor 92 is used as a position detection sensor. That is, a plate-shaped magnetic scale 91 on which a scale is magnetically recorded is fixed to the first main surface 321 of the stator attachment portion 32 along the rail 41 on the (+ Z) direction side of the table-side rail 41. On the other hand, a magnetic sensor 92 such as an MR sensor or a Hall sensor is attached to a sensor support member 93 fixed to the movable portion 2 so as to face the magnetic scale 91, and the magnetic scale 91 is read by the magnetic sensor 92. As a result, an electric signal related to the position of the movable part 2 in the X direction is output from the magnetic sensor 92 and is provided to the motor controller via the sensor cable to detect the position of the movable part 2. In addition, the position detection means of the movable part 2 is not limited to a magnetic sensor, and any position detection method such as an optical sensor can be employed.

なお、図１中の符号１０はモータカバーであり、ベース部３１の反固定子取付部側（同図の右側）に対して着脱自在となっている。そして、モータカバー１０をベース部３１に取り付けることでモータカバー１０により空間ＳＰが側方より覆われてリニアモータ１の内部に対してゴミや埃などが入り込むのを防止している。一方、ベース部３１からモータカバー１０を取り外すことでリニアモータ１の内部に対して作業者がアクセス可能となる。 In addition, the code | symbol 10 in FIG. 1 is a motor cover, and is detachable with respect to the anti-stator attachment part side (right side of the figure) of the base part 31. FIG. Then, by attaching the motor cover 10 to the base portion 31, the space SP is covered from the side by the motor cover 10, and dust and dust are prevented from entering the interior of the linear motor 1. On the other hand, the operator can access the inside of the linear motor 1 by removing the motor cover 10 from the base portion 31.

以上のように、本実施形態によれば、図１（ｂ）に示すように、フレーム３が移動方向Ｘに直交する断面（ＹＺ平面）でＬ字形状を有しており、ベース部３１に対して固定子取付部３２がほぼ垂直（Ｚ方向）に設けられている。また、この固定子取付部３２の第１主面３２１に対して可動部２の対向面２１１が対向するように可動部２が移動自在に設けられている。そして、第１主面３２１に対して固定子６が取り付けられる一方、対向面２１１に可動子７が取り付けられ、固定子６および可動子７で発生する磁束の相互作用により可動部２が移動方向Ｘに駆動される。このように移動方向Ｘとほぼ直交する方向、つまりリニアモータ１の幅方向Ｙに固定子取付部３２と可動部２（可動子取付部）が対向して設けられるとともに、それぞれに対して固定子６および可動子７が取り付けられているため、リニアモータ１の幅方向サイズが低減されてリニアモータ１の薄型化が可能となっている。 As described above, according to the present embodiment, as shown in FIG. 1B, the frame 3 has an L shape in a cross section (YZ plane) orthogonal to the movement direction X, and the base portion 31 has On the other hand, the stator attachment portion 32 is provided substantially vertically (Z direction). Further, the movable portion 2 is movably provided so that the opposed surface 211 of the movable portion 2 faces the first main surface 321 of the stator attachment portion 32. The stator 6 is attached to the first main surface 321, while the mover 7 is attached to the opposing surface 211, and the movable part 2 moves in the moving direction due to the interaction of magnetic flux generated in the stator 6 and the mover 7. Driven to X. Thus, the stator mounting portion 32 and the movable portion 2 (movable portion mounting portion) are provided opposite to each other in the direction substantially perpendicular to the moving direction X, that is, the width direction Y of the linear motor 1, and the stator is respectively provided to each. 6 and the mover 7 are attached, the size of the linear motor 1 in the width direction is reduced, and the linear motor 1 can be thinned.

また、この実施形態にかかる単軸リニアモータ１では、上記のように幅方向に薄型化することができるため、リニアモータ１の設置面（ベース部３１を載置する面）の幅サイズが比較的狭い場合であっても、大きな推力が得られて比較的重い被駆動物についても容易に移動させることができる。 In addition, since the single-axis linear motor 1 according to this embodiment can be thinned in the width direction as described above, the width size of the installation surface of the linear motor 1 (surface on which the base portion 31 is placed) is compared. Even in a narrow case, a large thrust can be obtained and a relatively heavy driven object can be easily moved.

また、この実施形態では、フレーム３に対して可動部２をＸ方向に移動自在に支持するために２つのリニアガイド４、４を設けているが、それらは次のように配置されている。すなわち、図１（ｂ）に示すように、リニアガイド４、４も固定子６および可動子７と同様に固定子取付部３２と可動部２の対向している空間内に配置されており、しかもこのように配置されたリニアガイド４、４の間に推力を発生するための部品（固定子６と可動子７）が配置されている。したがって、このような配置構造を採用することで幅方向サイズの低減が図られている。もちろん、リニアガイド４の配設位置はこれに限定されるものではなく、例えばベース側リニアガイド４をベース部３１の上面に設けることも可能である。この点に関しては、後の実施形態においても同様である。 In this embodiment, two linear guides 4 and 4 are provided to support the movable portion 2 so as to be movable in the X direction with respect to the frame 3, but they are arranged as follows. That is, as shown in FIG. 1B, the linear guides 4 and 4 are also arranged in the space where the stator mounting portion 32 and the movable portion 2 are opposed, like the stator 6 and the movable member 7, Moreover, parts (stator 6 and mover 7) for generating thrust are arranged between the linear guides 4 and 4 arranged in this way. Therefore, by adopting such an arrangement structure, the size in the width direction is reduced. Of course, the arrangement position of the linear guide 4 is not limited to this, and for example, the base-side linear guide 4 can be provided on the upper surface of the base portion 31. This also applies to later embodiments.

さらに、Ｌ字形状断面を有するフレーム３を用いることはリニアモータ１の剛性を高めるという観点から有利である。また、同形状を有するフレーム３を用いたリニアモータ１においては、ベース部３１からモータカバー１０を取り外すことで可動部２の反対向面側（図１の右側）は開放空間ＳＰとなり、当該空間ＳＰへのケーブルやダクト部材８の取付や修理・点検作業が容易となっている。また、幅方向サイズが狭くなる一方で、大きな推力を得るためには固定子６および可動子７をＺ方向に大きくする必要があるが、Ｚ方向サイズの増大にしたがって各種ケーブルやダクト部材８などの配線構造体の格納スペースが生まれ、配線自由度が高まる。この点に関しては、後の実施形態においても同様である。 Furthermore, using the frame 3 having an L-shaped cross section is advantageous from the viewpoint of increasing the rigidity of the linear motor 1. Further, in the linear motor 1 using the frame 3 having the same shape, the motor cover 10 is removed from the base portion 31 so that the opposite surface side (right side in FIG. 1) of the movable portion 2 becomes an open space SP. Installation, repair, and inspection of the cable and duct member 8 to the SP are facilitated. Further, in order to obtain a large thrust while the width direction size is narrowed, it is necessary to enlarge the stator 6 and the mover 7 in the Z direction. However, as the size in the Z direction increases, various cables, duct members 8, etc. The storage space for the wiring structure is born, and the degree of freedom of wiring increases. This also applies to later embodiments.

なお、本発明にかかるリニアモータは上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば上記第１実施形態にかかるリニアモータ１はいわゆる単軸リニアモータであるが、当該リニアモータ１と同一構成を有する単軸モータを２つ組み合わせることで、２つの可動部を移動方向に相互に独立して並走移動する、いわゆる２列並走タイプの多軸リニアモータを構成することができる。以下、本発明の第２実施形態について、図２を参照しつつ説明する。 The linear motor according to the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications other than those described above can be made without departing from the gist thereof. For example, the linear motor 1 according to the first embodiment is a so-called single-axis linear motor, but by combining two single-axis motors having the same configuration as the linear motor 1, the two movable parts are mutually moved in the moving direction. A so-called two-row parallel type multi-axis linear motor that moves independently in parallel can be configured. Hereinafter, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

図２は本発明にかかるリニアモータの第２実施形態を示す図であり、このリニアモータ２００は２つの可動部２をそれぞれ独立して移動方向Ｘに移動させることが可能な、いわゆる並走式の多軸リニアモータ２００である。なお、同図（ａ）は組立前の多軸リニアモータを示す図であり、同図（ｂ）は組立後の多軸リニアモータを示す図である。この第２実施形態は、第１実施形態にかかるリニアモータ１と基本的に同一構成を有する単軸モータ１Ａ、１Ｂを締結部材２０１によって組み合わせたものである。したがって、以下の説明においては、第２実施形態における特徴部分を中心に説明し、同一構成については同一符号を付して構成説明を省略する。 FIG. 2 is a diagram showing a second embodiment of the linear motor according to the present invention. This linear motor 200 is a so-called parallel running type capable of independently moving two movable parts 2 in the movement direction X. The multi-axis linear motor 200 of FIG. In addition, the figure (a) is a figure which shows the multi-axis linear motor before an assembly, and the figure (b) is a figure which shows the multi-axis linear motor after an assembly. In the second embodiment, single-axis motors 1 </ b> A and 1 </ b> B having basically the same configuration as the linear motor 1 according to the first embodiment are combined by a fastening member 201. Therefore, in the following description, it demonstrates centering around the characteristic part in 2nd Embodiment, attaches | subjects the same code | symbol about the same structure, and abbreviate | omits structure description.

この実施形態では、単軸モータ１Ａ、１Ｂの固定子取付部３２の第２主面３２２同士が密着され、締結部材２０１により単軸モータ１Ａ、１Ｂは相互に固定されて一体化する。すなわち、各単軸モータ１Ａ、１Ｂでは、締結部材２０１に対応した貫通孔３３、３４が固定子取付部３２に形成されている。これらの貫通孔のうち貫通孔３３には、締結部材２０１の頭部に対応する段差部が設けられており、単軸モータ１Ａにおいてベース部側（図２の左手側）より貫通孔３３に締結部材２０１の先端部を挿通していくと、頭部が上記段差部に係合された時点で締結部材２０１は単軸モータ１Ａに係止される。また、各締結部材２０１の先端部には雄ネジが螺刻されており、貫通孔３４に螺刻された雌ネジと螺合可能となっている。そして、上記のように単軸モータ１Ａの固定子取付部３２に設けられた貫通孔３３に挿通された締結部材２０１の先端部が単軸モータ１Ｂの固定子取付部３２に設けられた貫通孔３４に回転しながら進入してくると、先端部の雄ネジが当該貫通孔３４の内周面に螺刻された雌ネジと螺合して単軸モータ１Ａ、１Ｂ同士がしっかりと固定される。 In this embodiment, the second main surfaces 322 of the stator mounting portions 32 of the single-axis motors 1A and 1B are brought into close contact with each other, and the single-axis motors 1A and 1B are fixed and integrated with each other by the fastening member 201. That is, in each single-axis motor 1 </ b> A, 1 </ b> B, through holes 33, 34 corresponding to the fastening member 201 are formed in the stator attachment portion 32. Among these through-holes, the through-hole 33 is provided with a step portion corresponding to the head of the fastening member 201, and is fastened to the through-hole 33 from the base part side (left hand side in FIG. 2) in the single-axis motor 1A. As the tip of the member 201 is inserted, the fastening member 201 is locked to the single-axis motor 1A when the head is engaged with the stepped portion. In addition, a male screw is threaded at the front end of each fastening member 201 and can be screwed into a female screw threaded in the through hole 34. And as mentioned above, the front-end | tip part of the fastening member 201 inserted in the through-hole 33 provided in the stator attachment part 32 of the single-axis motor 1A is the through-hole provided in the stator attachment part 32 of the single-axis motor 1B. When rotating and entering to 34, the male screw at the tip is screwed with the female screw threaded on the inner peripheral surface of the through hole 34, and the single-axis motors 1A and 1B are firmly fixed. .

以上のように、第２実施形態にかかるリニアモータ２００によれば、固定子取付部３２の第２主面３２２同士を密着させて単軸モータ１Ａ、１Ｂを一体化し、その一方側の単軸モータ１Ａで可動部２が移動方向Ｘに移動可能となるとともに、他方側の単軸モータ１Ｂで可動部２が移動方向Ｘに移動可能となっている。したがって、２つの可動部２、２が移動方向Ｘに相互に独立して並走移動可能な多軸リニアモータ２００を幅方向Ｙに薄型化することができる。 As described above, according to the linear motor 200 according to the second embodiment, the single-axis motors 1A and 1B are integrated by bringing the second main surfaces 322 of the stator mounting portion 32 into close contact with each other, and the single-axis on one side thereof. The movable part 2 can be moved in the movement direction X by the motor 1A, and the movable part 2 can be moved in the movement direction X by the single-axis motor 1B on the other side. Therefore, the multi-axis linear motor 200 in which the two movable parts 2 and 2 can move in parallel in the movement direction X can be reduced in the width direction Y.

図３は本発明にかかるリニアモータの第３実施形態を示す図であり、同図（ｂ）は第３実施形態にかかるリニアモータの断面構造を示す図であり、同図（ａ）は同図（ｂ）のＡ−Ａ線断面図である。このリニアモータ３００は２つの可動部２をそれぞれ独立して移動方向Ｘに移動させることが可能な、いわゆる並走式の多軸リニアモータ３００である。このように第３実施形態は多軸リニアモータであり、第２実施形態のそれと多くの点で共通しているが、フレーム構造が大きく相違する。以下、第２実施形態と相違する点を中心に説明し、同一構成については同一符号を付して構成説明を省略する。 FIG. 3 is a diagram showing a third embodiment of the linear motor according to the present invention, FIG. 3B is a diagram showing a cross-sectional structure of the linear motor according to the third embodiment, and FIG. It is AA sectional view taken on the line of FIG. This linear motor 300 is a so-called parallel-running multi-axis linear motor 300 that can move two movable parts 2 independently in the movement direction X. As described above, the third embodiment is a multi-axis linear motor and is common in many respects to that of the second embodiment, but the frame structure is greatly different. The following description will focus on the differences from the second embodiment, and the same components will be assigned the same reference numerals and the description thereof will be omitted.

第３実施形態にかかるリニアモータ３００では、フレーム３は移動方向Ｘに直交する断面で逆Ｔ字形状を有しており、ベース部３５に対して固定子取付部３６がほぼ垂直に設けられている。そして、固定子取付部３６の第１主面側（同図の左手側）において、当該第１主面３６１に対して第１可動部２Ａの第１対向面２１１が対向するように第１可動部２Ａが移動方向Ｘにフレーム３に対して移動自在に設けられている。また、第１主面３６１に対して第１固定子６Ａが取り付けられる一方、第１対向面２１１に第１可動子７Ａが取り付けられ、第１可動部２Ａを移動方向Ｘに移動可能となっている。したがって、固定子取付部３６の第１主面３６１側では、幅方向サイズを抑制しながら第１可動部２Ａを移動方向Ｘに移動させることが可能となっている。また、固定子取付部３６の第２主面側においても、第１主面３６１側と同様である。つまり、当該第２主面３６２に対して第２可動部２Ｂの第２対向面２１１が対向するように第２可動部２Ｂが移動方向Ｘにフレーム３に対して移動自在に設けられ、第２主面３６２に対して第２固定子６Ｂが取り付けられる一方、第２対向面２１１に第２可動子７Ｂが取り付けられ、第２可動部２Ｂを移動方向Ｘに移動可能となっている。したがって、固定子取付部３６の第２主面３６２側においても、幅方向サイズを抑制しながら第２可動部２Ｂを移動方向Ｘに移動させることが可能となっている。よって、リニアモータ３００全体についても、幅方向サイズも小さく、薄型化されている。 In the linear motor 300 according to the third embodiment, the frame 3 has an inverted T shape with a cross section orthogonal to the moving direction X, and the stator mounting portion 36 is provided substantially perpendicular to the base portion 35. Yes. Then, on the first main surface side (the left-hand side in the figure) of the stator attachment portion 36, the first movable surface 2A of the first movable portion 2A is opposed to the first main surface 361 so as to face the first movable surface. The portion 2A is provided to be movable with respect to the frame 3 in the movement direction X. In addition, the first stator 6A is attached to the first main surface 361, while the first mover 7A is attached to the first facing surface 211 so that the first movable portion 2A can move in the movement direction X. Yes. Therefore, on the first main surface 361 side of the stator attachment portion 36, the first movable portion 2A can be moved in the movement direction X while suppressing the size in the width direction. Further, the second main surface side of the stator attachment portion 36 is the same as the first main surface 361 side. That is, the second movable portion 2B is provided so as to be movable with respect to the frame 3 in the movement direction X so that the second opposing surface 211 of the second movable portion 2B faces the second main surface 362. While the second stator 6B is attached to the main surface 362, the second mover 7B is attached to the second facing surface 211, and the second movable portion 2B can be moved in the movement direction X. Therefore, the second movable portion 2B can be moved in the movement direction X while suppressing the size in the width direction also on the second main surface 362 side of the stator attachment portion 36. Therefore, the linear motor 300 as a whole is also thin and has a small size in the width direction.

以上のように、第３実施形態にかかるリニアモータ３００によれば、フレーム３は移動方向Ｘに直交する断面で逆Ｔ字形状を有しており、ベース部３５に対して固定子取付部３６がほぼ垂直（Ｚ方向）に設けられている。そして、固定子取付部３６の第１主面側（図３の左手側）では第１実施形態と同様に幅方向サイズを抑制しながら第１可動部２Ａを移動方向Ｘに移動させることが可能となっている。また、固定子取付部３６の第２主面側においても、第１実施形態と同様に幅方向サイズを抑制しながら第２可動部２Ｂを移動方向Ｘに移動させることが可能となっている。その結果、リニアモータ３００全体についても、幅方向サイズも小さく、薄型化されている。 As described above, according to the linear motor 300 according to the third embodiment, the frame 3 has an inverted T shape in a cross section orthogonal to the moving direction X, and the stator mounting portion 36 with respect to the base portion 35. Are provided substantially vertically (Z direction). Then, on the first main surface side (left hand side in FIG. 3) of the stator mounting portion 36, it is possible to move the first movable portion 2A in the moving direction X while suppressing the size in the width direction as in the first embodiment. It has become. Further, also on the second main surface side of the stator attachment portion 36, it is possible to move the second movable portion 2B in the moving direction X while suppressing the size in the width direction as in the first embodiment. As a result, the linear motor 300 as a whole is also thin and thin in the width direction.

また、第１固定子６Ａおよび第２固定子６Ｂは単一の固定子取付部３６に対して背面合わせに取り付けられており、この構成は幅方向サイズの低減に寄与している。また、同構成を採用することでリニアモータ３００全体の剛性を高めることができる。また、単一の固定子取付部３６に対して対称的に可動部２Ａ、２Ｂを移動自在に設けているため、各移動軸の平行度を合わせやすく、高精度な並走式リニアモータ３００を提供することが可能となる。 Further, the first stator 6A and the second stator 6B are attached to the single stator attachment portion 36 in a back-to-back manner, and this configuration contributes to the reduction in the width direction size. Moreover, the rigidity of the whole linear motor 300 can be improved by employ | adopting the same structure. In addition, since the movable parts 2A and 2B are provided symmetrically with respect to the single stator attachment part 36, the parallelism of the parallel linear motor 300 with high accuracy can be easily adjusted. It becomes possible to provide.

１…（単軸）リニアモータ
１Ａ、１Ｂ…単軸モータ
２、２Ａ、２Ｂ…可動部
３…フレーム
６、６Ａ、６Ｂ…固定子
７、７Ａ、７Ｂ…可動子
８…ダクト部材（配線構造体）
３２、３６…固定子取付部
６１…ヨーク（固定子）
６２…永久磁石（固定子）
７１…コア（可動子）
７２…ボビン（可動子）
７３…コイル（可動子）
２００、３００…（多軸）リニアモータ
２１１…（可動部の）対向面
３２１…（固定子取付部の）第１主面
３２２…（固定子取付部の）第２主面
Ｘ…移動方向 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... (Single axis) Linear motor 1A, 1B ... Single axis motor 2, 2A, 2B ... Movable part 3 ... Frame 6, 6A, 6B ... Stator 7, 7A, 7B ... Movable element 8 ... Duct member (wiring structure) )
32, 36 ... Stator mounting portion 61 ... Yoke (stator)
62 ... Permanent magnet (stator)
71 ... Core (movable element)
72 ... Bobbin (movable element)
73 ... Coil (mover)
200, 300 ... (multi-axis) linear motor 211 ... opposing surface 321 (of the movable part) 321 ... first main surface of the stator attaching part 322 ... second main surface of the stator attaching part X ... direction of movement

Claims

The base part and a plate-like stator attachment part extending in the moving direction, and the fixing is performed so that the normal lines of both main surfaces of the stator attachment part are substantially parallel to one main surface of the base part. A frame having a reverse T-shaped cross section perpendicular to the moving direction, the child mounting portion being provided on one main surface of the base portion;
The first mounting surface has a first facing surface facing the first main surface of the stator mounting portion, and is movable in the moving direction with the first facing surface facing the first main surface of the stator mounting portion. A first movable part,
A first stator provided with a plurality of permanent magnets having different polarities in the moving direction with respect to the first main surface of the stator mounting portion;
A first core provided on a first facing surface of the first movable portion so as to face the first stator via an air gap; and a first coil wound around the first core. A first mover having
It has a second facing surface that faces the second main surface of the stator mounting portion, and is movable in the moving direction with the second facing surface facing the second main surface of the stator mounting portion. A second movable part,
A second stator provided with a plurality of permanent magnets having different polarities in the moving direction with respect to the second main surface of the stator mounting portion;
A second core provided on a second facing surface of the second movable portion so as to face the second stator via an air gap; and a second coil wound around the second core. A linear motor comprising: a second mover having a linear motor.

A first wiring structure for supplying power to the first coil;
A second wiring structure for supplying power to the second coil;
The first wiring structure is disposed in a first space on the opposite side of the first opposing surface of the first movable portion, while the second wiring structure is on the opposite side of the second opposing surface of the second movable portion. The linear motor according to claim 1, wherein the linear motor is disposed in the second space.

A first motor cover and a second motor cover which are detachable from the base part, respectively;
The first space is covered by attaching the first motor cover to the base portion, and the first space is opened by removing the first motor cover from the base portion,
The linear motor according to claim 2, wherein the second space is covered by attaching the second motor cover to the base portion, and the second space is opened by removing the second motor cover from the base portion.