JP5501545B2 - 集束イオンビーム系に関するレンズを通じた試料を中和する電子ビーム - Google Patents
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Description
本発明は、荷電粒子ビーム系における試料上の電荷の蓄積を制御することに関し、特に集束イオンビーム(FIB)系における試料上の正電荷の蓄積を中和することに関する。
荷電粒子ビーム系における絶縁試料は、荷電粒子ビームが、電荷を試料に運び試料から帯電した二次粒子を駆出するので、電荷を蓄積する傾向がある。絶縁試料上に蓄積する電荷は、荷電粒子ビームの集束及び位置決めに悪影響を与え得、試料の画像を形成するか又はその構成を解析する為に使用される二次粒子の放出を阻害し得る。典型的な集束イオンビーム系において、正に帯電したガリウムイオンが試料に衝突し、二次電子並びに正及び負の両方の二次イオンを叩き出す。典型的には、電荷の正味の流れは、試料を正に帯電したままにする。
本発明の目的は、荷電粒子ビームが方向付けられる試料上の電荷を中和することである。
好適な実施例において、荷電粒子ビーム系内で、中和粒子を、系の一次ビームを集束する最終レンズを通じて試料に方向付ける。中和粒子源は、好ましくは、荷電粒子ビーム系の光軸から離して位置決めされ、それら中和粒子源を離れた後、それら中和粒子が、原則として試料へ到達する前に、最終一次ビームレンズを通じて光軸に沿って走るように再び方向付けされる。中和粒子は、最終レンズの他に、荷電粒子ビーム系の他の光学素子を通じて走ってもよい。
R=mv/Be (1)
によって記述される、粒子が運動する円の半径によって特徴付けることができ、ここでmは、質量、vは、荷電粒子の速度であり、Bは、磁場の強さであり、及びeは、電子の電荷である。
R=(2Em)1/2/Be (2)
を得る。
試料が上述のように正の電荷を有するとすれば、その電荷を中和する為に、これら電子の多くが試料へ引き寄せられると思われる。中和電子がレンズの軸及び試料の法線に関して小さな角度を有するとすれば、試料の表面は、−100Vに近い電位に維持されると思われる。このように、中和電子の運動エネルギーを制御することによって、試料上の電荷を制御することができる。さらに、試料上に中和電子をより良好に集束させる為に、上側のレンズ素子の電位及びそれに応じて上側のレンズ素子より上の領域における中和電子の運動エネルギーを変化させることによって、試料上への銃の軌跡を最適化することがでさる。
Claims (21)
- 集束させられたイオンビームシステムにおいて試料における電荷を中和するための装置であって、
光軸から離れて位置決めされた中和する電子の源、
光軸を有すると共に最終の一次のイオンビームを集束させるレンズを含むイオン光学カラム、並びに、
前記試料における電荷を中和するために前記光軸へと及び前記最終の一次のイオンビームを集束させるレンズを通じて前記中和する電子を偏向させるための偏向器
を具備する、装置。
- 請求項1の装置において、
前記偏向器は、前記試料に向かって前記光軸に対して実質的に平行に走るように前記中和する電子を偏向させる、装置。
- 請求項2の装置において、
前記偏向器は、前記中和する電子を偏向させるために磁場を使用する、装置。
- 請求項1の装置であって、
前記試料から放出された二次電子を検出するための電子検出器をさらに具備する、装置。
- 請求項4の装置において、
前記電子検出器は、前記最終の一次ビームを集束させるレンズ及び前記試料の間に位置決めされたものである、装置。
- 請求項5の装置であって、
シンチレーター、チャネル電子増倍管、マイクロチャネルプレート、又は集電器プレートを具備する、装置。
- 請求項4の装置において、
前記電子検出器は、前記最終の一次のイオンビームを集束させるレンズを通じて収集された電子を検出する、装置。
- 請求項7の装置において、
前記光軸に対して実質的に平行に走るように中和する電子を偏向させるための前記偏向器は、前記最終の一次のイオンビームを集束させるレンズを通じて収集された二次電子を前記光軸から離れて偏向させる、装置。
- 請求項7の装置であって、
前記試料及び前記電子検出器の間に位置決めされたエネルギーフィルターをさらに具備すると共に、
前記電子検出器が、主として前記試料に衝突するイオンビームによって発生させられた二次電子を検出するように、前記エネルギーフィルターが、前記試料に衝突するイオンビームによって発生させられた二次電子及び前記試料に衝突する中和する電子によって発生させられた二次電子の間で区別をする、装置。
- 請求項1の装置において、
前記イオン光学カラムは、前記試料から放出された二次電子が前記試料から前記最終の一次ビームを集束させるレンズを通じて走ることを引き起こすために、電気的にバイアスがかけられるものである素子を含む、装置。
- 請求項10の装置において、
前記素子は、最終の一次ビームを集束させるレンズの上側の素子及び銃を含むと共に、
前記最終の一次ビームを集束させるレンズの上側の素子、偏向及び操縦する組み立て品、並びに銃は、500Vと比べてより少ない電位に維持されると共に、
前記試料は、500V及び5000Vの間までバイアスがかけられる、
装置。
- 請求項10の装置において、
前記素子は、最終の一次ビームを集束させるレンズの上側の素子を含むと共に、
前記最終の一次ビームを集束させるレンズの上側のレンズ素子、偏向及び操縦する組み立て品、並びに銃は、500V及び5000Vの間の電位までバイアスがかけられると共に、
前記試料は、500Vと比べてより少ない電位に維持される、
装置。
- 請求項1の装置において、
前記試料は、前記光軸に対して垂直なもの又は傾けられたもののいずれかである、装置。
- 請求項1の装置において、
前記偏向器は、磁石又はウィーンフィルターである、装置。
- 集束させられたイオンビームシステムにおいて試料における電荷を中和するための方法であって、
前記試料における電荷を中和するために前記イオンビームシステムの最終の一次のイオンビームを集束させるレンズを通じて電子を通過させることを具備する、方法。
- 請求項15の方法であって、
前記イオンビームシステムの前記最終の一次のイオンビームを集束させるレンズを通じて検出のための二次粒子を収集することをさらに具備する、方法。
- 請求項15の方法において、
前記集束させられたイオンビームシステムは、光軸を含むと共に、
集束させられたイオンビームシステムの前記最終の一次のイオンビームを集束させるレンズを通じて電子を通過させることは、前記光軸から離れた源から前記光軸に対して平行な方向へと前記電子を方向付けることを含む、方法。
- 請求項15の方法であって、
検出のために前記光軸から離れて前記二次電子を偏向させること、及び、前記光軸に対して平行な方向へと中和する電子を偏向させることをさらに具備する、方法。
- 請求項16の方法であって、
前記集束させられたイオンビームによって生じさせられた二次電子を分離するためにフィルターを通じて二次電子を通過させることをさらに具備する、方法。
- 請求項15の方法において、
前記イオンビームシステムは、一次のイオンビームカラムを含むと共に、前記試料から射出された二次電子が前記最終の一次のイオンビームを集束させるレンズを通じて走ることを引き起こすために前記一次のイオンビームカラムの光学カラムにおける素子に電気的にバイアスをかけることをさらに具備する、方法。
- 請求項16の方法であって、
磁気ヘッドを切り取ること、集積回路のヒューズを切断すること、又は前記集束させられたイオンビームを使用する他のナノ製作を行うことをさらに具備する、方法。
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