JP5495077B2 - Wireless tag type sensor - Google Patents

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Description

本発明はセンサ機能を備えた無線タグすなわち無線タグ型センサに関する。この無線タグ型センサには、塵や埃、花粉など粒子状物質を検知する機能を備えた無線タグ、油分を検出する機能を備えた無線タグ、特定のガスを検知する機能を備えた無線タグが含まれる。   The present invention relates to a wireless tag having a sensor function, that is, a wireless tag type sensor. This wireless tag type sensor includes a wireless tag having a function of detecting particulate matter such as dust, dust, and pollen, a wireless tag having a function of detecting oil, and a wireless tag having a function of detecting a specific gas. Is included.

センサ機能を備えた無線タグとして、雨検知用の無線タグが知られている。その一つとして、雨滴を受ける位置に二つの電極を互いに離間させて配置しておき、雨滴によって両電極間が短絡することによりアンテナの回路が形成され、そのアンテナによる受信電力により発信回路を作動させるように構成したものがある(特許文献1)。また、両電極間に雨滴(水滴)が付着したことによる両電極間の静電容量の変化を検知することで降雨を検知する技術も知られている(特許文献2)。さらに、油分を検出する技術も知られている(特許文献3、特許文献4、特許文献5、等)。特定のガスを検出する技術も知られている(特許文献6、特許文献7、特許文献8、特許文献9、等)。   As a wireless tag having a sensor function, a wireless tag for rain detection is known. As one of them, two electrodes are placed apart from each other at a position to receive raindrops, and an antenna circuit is formed by short-circuiting between the two electrodes due to raindrops. There is one configured so as to be made (Patent Document 1). In addition, a technique for detecting rainfall by detecting a change in capacitance between both electrodes due to attachment of raindrops (water droplets) between both electrodes is also known (Patent Document 2). Furthermore, techniques for detecting oil are also known (Patent Document 3, Patent Document 4, Patent Document 5, etc.). Techniques for detecting a specific gas are also known (Patent Document 6, Patent Document 7, Patent Document 8, Patent Document 9, etc.).

特開2005−134132号公報JP 2005-134132 A 特開平9−61394号公報JP-A-9-61394 特開2006−047030号公報JP 2006-047030 A 特表2006−501344号公報JP-T-2006-501344 特表2005−508660号公報Special table 2005-508660 gazette 特開2004−28838号公報JP 2004-28838 A 特開2006−112894号公報JP 2006-112894 A 特開2005−331364号公報JP 2005-331364 A 特開2000−111507号公報JP 2000-111507 A

上述したように、雨滴(水滴)を検知する機能を備えた無線タグは知られている。油分を検出する技術は周知である。   As described above, wireless tags having a function of detecting raindrops (waterdrops) are known. Techniques for detecting oil are well known.

しかし、塵や埃など粒子状物質を検知する機能を備えた無線タグは知られていない。油分を検知する機能を備えた無線タグは知られていない。特定のガスを検出する機能を備えた無線タグは知られていない。   However, there is no known wireless tag having a function of detecting particulate matter such as dust or dust. A wireless tag having a function of detecting oil is not known. A wireless tag having a function of detecting a specific gas is not known.

本発明が解決しようとする課題は、塵や埃など粒子状物質を検知する機能を備えた新規な無線タグ(すなわち無線タグ型粉塵センサ)を提供すること、更には、油分を検出する機能を備えた無線タグ(すなわち無線タグ型油センサ)及び特定のガスを検知する機能を備えた無線タグ(すなわち無線タグ型ガスセンサ)を提供することにある。   The problem to be solved by the present invention is to provide a novel wireless tag (that is, a wireless tag type dust sensor) having a function of detecting particulate matter such as dust and dust, and further to have a function of detecting oil content. An object is to provide a wireless tag (that is, a wireless tag type oil sensor) and a wireless tag (that is, a wireless tag type gas sensor) having a function of detecting a specific gas.

本発明のセンサには、以下のものが含まれる。
[導体微粒子検出用センサ]
構成1−1:アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容したタグ体と、タグ体の表面の一部であって検知対象粒子が付着する粒子検出領域と、粒子検出領域を挟んで対向配置(粒子検出領域を両者の間に介在させて互いに離間させて配置)された一対の電極と、を備え、粒子検出領域に付着(単に接触している状態を含む。以下同様。)した検知対象粒子によって両電極間が短絡(導通、電気的に接続)することによりアンテナの回路又はアンテナと送信回路とを接続する回路が形成されるように構成した無線タグ型粉塵センサ。
構成1−2:アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容したタグ体と、タグ体の表面の一部に形成された凹部の内面又は内部空間であって検知対象粒子が付着又は堆積する粒子検出領域と、粒子検出領域を挟んで対向配置された一対の電極と、を備え、粒子検出領域に付着した検知対象粒子によって両電極間が短絡することによりアンテナの回路が形成されるように構成した無線タグ型粉塵センサ。
構成1−3:構成1−2を前提にして、粒子検出領域を挟んで対向配置された対をなす電極を凹部の深さ方向に離間させて複数対配置するとともにアンテナを複数備え、複数対の電極間が順次短絡することにより複数のアンテナの回路が順次形成されるように構成した無線タグ型粉塵センサ。
構成1−4:構成1−2を前提にして、対をなす電極を凹部の深さ方向に離間させて複数対配置し、短絡した電極対に応じて又は短絡した電極対の数に応じて異なる信号を送信するように構成した無線タグ型粉塵センサ。
構成1−5:構成1−1〜1−4のいずれかを前提にして、両電極相互の間隔が、両電極間に存在する粒子検出領域に検知対象粒子が複数個付着したときに両電極間が短絡する大きさに選定されている無線タグ型粉塵センサ。
The sensor of the present invention includes the following.
[Sensor for detecting conductive fine particles]
Configuration 1-1: An antenna, a transmission circuit that transmits a signal from the antenna, a tag body that collectively accommodates the antenna and the transmission circuit, a particle detection region that is a part of the surface of the tag body and to which particles to be detected are attached A pair of electrodes opposed to each other with the particle detection region sandwiched therebetween (the particle detection region is disposed between and spaced apart from each other), and is attached to the particle detection region (simply in contact) The same applies to the following.) A wireless tag configured to form a circuit for an antenna or a circuit for connecting an antenna and a transmission circuit by short-circuiting (conducting or electrically connecting) both electrodes by the detected particles. Type dust sensor.
Configuration 1-2: an antenna, a transmission circuit that transmits a signal from the antenna, a tag body that collectively accommodates the antenna and the transmission circuit, and an inner surface or an internal space of a recess formed in a part of the surface of the tag body A particle detection region to which detection target particles adhere or deposit and a pair of electrodes arranged opposite to each other with the particle detection region interposed therebetween, and the antenna is formed by short-circuiting between both electrodes by the detection target particles attached to the particle detection region A wireless tag type dust sensor configured to form a circuit.
Configuration 1-3: On the premise of Configuration 1-2, a plurality of pairs of electrodes that are opposed to each other across the particle detection region are spaced apart in the depth direction of the recess, and a plurality of antennas are provided. A wireless tag type dust sensor configured such that a plurality of antenna circuits are sequentially formed by sequentially short-circuiting the electrodes.
Configuration 1-4: On the premise of Configuration 1-2, a plurality of pairs of electrodes that are paired apart from each other in the depth direction of the recesses are arranged, depending on the number of shorted electrode pairs or the number of shorted electrode pairs A wireless tag type dust sensor configured to transmit different signals.
Configuration 1-5: On the premise of any one of Configurations 1-1 to 1-4, when the plurality of detection target particles adhere to a particle detection region where the distance between the electrodes is between the electrodes, both electrodes RFID tag dust sensor that is selected to be short-circuited.

[誘電体粒子検出用センサ]
構成2−1:アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容したタグ体と、タグ体の表面の一部であって検知対象粒子が付着する粒子検出領域と、粒子検出領域に互いの間隙が重なるようにして互いに並行に設けられた一対の電極と、を備え、粒子検出領域に付着した検知対象粒子によって両電極間の静電容量が変化することにより、アンテナから送信される信号が変化(データ内容或いは周波数が変化)するように構成した無線タグ型粉塵センサ。
構成2−2:アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容したタグ体と、タグ体の表面の一部に形成された凹部の内面又は内部空間であって検知対象粒子が付着する粒子検出領域と、粒子検出領域を挟んで対向配置された一対の電極と、を備え、粒子検出領域に付着した検知対象粒子によって両電極間の静電容量が変化することにより、アンテナから送信される信号が変化(データ内容或いは周波数が変化)するように構成した無線タグ型粉塵センサ。
構成2−3:構成2−1又は2−2を前提にして、両電極相互の間隔は、両電極間に存在する粒子検出領域に検知対象粒子が複数個付着し得る大きさに選定されている。
構成2−4:構成2−1〜2−3を前提にして、電極が、タグ体を構成する樹脂で覆われている無線タグ型粉塵センサ。
[Dielectric particle detection sensor]
Configuration 2-1: An antenna, a transmission circuit that transmits a signal from the antenna, a tag body that collectively accommodates the antenna and the transmission circuit, a particle detection region that is a part of the surface of the tag body and to which particles to be detected are attached A pair of electrodes provided in parallel with each other so that the gap between the particle detection regions overlaps, and the capacitance between the two electrodes changes due to the detection target particles attached to the particle detection region, A wireless tag type dust sensor configured such that a signal transmitted from an antenna changes (data content or frequency changes).
Configuration 2-2: an antenna, a transmission circuit that transmits a signal from the antenna, a tag body that collectively accommodates the antenna and the transmission circuit, and an inner surface or an internal space of a recess formed in a part of the surface of the tag body It has a particle detection region to which detection target particles adhere and a pair of electrodes arranged opposite to each other across the particle detection region, and the capacitance between both electrodes varies depending on the detection target particles attached to the particle detection region. The RFID tag dust sensor is configured so that the signal transmitted from the antenna changes (data content or frequency changes).
Configuration 2-3: On the premise of Configuration 2-1 or 2-2, the distance between both electrodes is selected to a size that allows a plurality of particles to be detected to adhere to a particle detection region existing between both electrodes. Yes.
Configuration 2-4: A wireless tag dust sensor in which an electrode is covered with a resin constituting a tag body on the premise of configurations 2-1 to 2-3.

[導体微粒子・誘電体粒子検出用センサ(明所用)]
構成3−1:アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容したタグ体と、タグ体の表面の検知対象粒子が付着する位置に形成された受光窓と、受光窓を通して入射する光を検出する受光素子と、を備え、受光素子の出力に応じてアンテナから送信される信号が変化(内容(値)、強度又は周波数が変化)するように構成した無線タグ型粉塵センサ。
構成3−2:構成3−1を前提にして、受光素子が、フォトダイオード又は太陽電池である無線タグ型粉塵センサ。
[Conductor fine particle / dielectric particle detection sensor (for light)]
Configuration 3-1: an antenna, a transmission circuit that transmits a signal from the antenna, a tag body that collectively accommodates the antenna and the transmission circuit, a light receiving window that is formed at a position where particles to be detected on the surface of the tag body adhere, A wireless tag configured to change a signal (content (value), intensity, or frequency) that is transmitted from an antenna in accordance with an output of the light receiving element. Type dust sensor.
Configuration 3-2: A wireless tag dust sensor in which the light receiving element is a photodiode or a solar cell on the premise of Configuration 3-1.

[導体微粒子・誘電体粒子検出用センサ(暗所用)]
構成4−1:アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容したタグ体と、タグ体の検知対象粒子が付着する位置に固定して設けられ且つ所定の出力で発光する発光素子と、タグ体の検知対象粒子が付着する位置に固定して設けられ且つ発光素子からの光を受光する受光素子と、を備え、受光素子の出力に応じてアンテナから送信される信号の強度又は周波数が変化するように構成した無線タグ型粉塵センサ。
[Sensor for detecting conductor fine particles / dielectric particles (for dark places)]
Configuration 4-1: An antenna, a transmission circuit that transmits a signal from the antenna, a tag body that collectively accommodates the antenna and the transmission circuit, and a predetermined output that is fixedly provided at a position where the detection target particles of the tag body adhere. And a light-receiving element that is fixedly provided at a position where the detection target particles of the tag body adhere and receives light from the light-emitting element, and is transmitted from the antenna according to the output of the light-receiving element. RFID tag dust sensor configured to change the intensity or frequency of the signal.

[無線タグ型油センサ]
構成5−1:アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容したタグ体と、タグ体の表面の一部に形成された凹部の内面又は内部空間であって油分が浸入する油分検出領域と、油分検出領域を挟んで対向配置された電極の対と、を備え、油分検出領域に浸入した油分によって電極間の静電容量が順次変化することにより、アンテナから送信される信号が変化(内容(値)、強度又は周波数が変化)するように構成した無線タグ型油センサ。
構成5−2:構成5−1を前提にして、電極は、タグ体を構成する樹脂で覆われている無線タグ型油センサ。
[Wireless tag type oil sensor]
Configuration 5-1 is an antenna, a transmission circuit that transmits a signal from the antenna, a tag body that collectively accommodates the antenna and the transmission circuit, and an inner surface or an internal space of a recess formed in a part of the surface of the tag body. An oil detection area into which oil enters and a pair of electrodes arranged opposite to each other with the oil detection area interposed therebetween, and the capacitance between the electrodes changes sequentially due to the oil that has entered the oil detection area. A wireless tag type oil sensor configured such that a signal to be transmitted changes (content (value), intensity, or frequency changes).
Configuration 5-2: A wireless tag type oil sensor in which an electrode is covered with a resin constituting a tag body on the assumption of the configuration 5-1.

[無線タグ型ガスセンサ]
構成6−1:アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を気密に一括収容したタグ体と、タグ体から露出した感応部と、を備え、前記感応部を検知対象ガスとの反応によりその電気抵抗率が変化する物質で形成し、前記感応部の電気抵抗率が変化することにより、前記アンテナから送信される信号が変化するように構成した無線タグ型ガスセンサ。
構成6−2:構成6−1を前提にして、前記感応部を外気と非接触状態に維持する封止体を取り外し可能に備えた。
構成6−3:構成6−2を前提にして、前記封止体は、前記タグ体の表面に前記感応部を覆うようにして密着させて貼り付けられた剥離シートである無線タグ型ガスセンサ。
構成6−4:構成6−1〜6−3のいずれかを前提にして、前記感応部の電気抵抗率が増大することにより前記アンテナ又は前記送信回路が機能し得ない状態になるように構成した無線タグ型ガスセンサ。
構成6−5:構成6−1〜6−3のいずれかを前提にして、前記感応部の電気抵抗率が低下することにより前記アンテナ又は前記送信回路が機能し得る状態になるように構成した無線タグ型ガスセンサ。
構成6−6:構成6−4を前提にして、前記感応部をFe(鉄)の薄膜で構成した無線タグ型ガスセンサ。
構成6−7:構成6−5を前提にして、前記感応部が水素を吸蔵することにより電気抵抗率が低下する水素感応膜で構成されている無線タグ型ガスセンサ。水素感応膜として、配位高分子金属錯体を用いた無線タグ型ガスセンサ。水素感応膜として、酸化タングステンを主成分とする結晶微粒子の集合体で構成され、結晶微粒子酸化タングステンの表面に酸化状態の触媒金属を含有する膜を用いた無線タグ型ガスセンサ。
構成6−8:構成6−5を前提にして、前記感応部を酸化スズで構成した無線タグ型ガスセンサ。
[Wireless tag type gas sensor]
Configuration 6-1: An antenna, a transmission circuit that transmits a signal from the antenna, a tag body that accommodates the antenna and the transmission circuit in an airtight manner, and a sensitive portion that is exposed from the tag body, and the sensitive portion is detected A radio tag type gas sensor formed of a substance whose electrical resistivity changes by reaction with gas, and configured to change a signal transmitted from the antenna when the electrical resistivity of the sensitive part changes.
Configuration 6-2: On the premise of the configuration 6-1, the sealing body that maintains the sensitive portion in a non-contact state with the outside air is detachably provided.
Configuration 6-3: A wireless tag type gas sensor in which the sealing body is a release sheet attached in close contact with the surface of the tag body so as to cover the sensitive portion on the premise of the configuration 6-2.
Configuration 6-4: Based on any one of Configurations 6-1 to 6-3, the antenna or the transmission circuit cannot function due to an increase in the electrical resistivity of the sensitive unit. Wireless tag type gas sensor.
Configuration 6-5: Based on the assumption of any of Configurations 6-1 to 6-3, the antenna or the transmission circuit is configured to function by reducing the electrical resistivity of the sensitive unit. Wireless tag type gas sensor.
Configuration 6-6: A wireless tag type gas sensor in which the sensitive portion is formed of a thin film of Fe (iron) on the premise of Configuration 6-4.
Configuration 6-7: A wireless tag type gas sensor configured with a hydrogen sensitive film whose electrical resistivity is reduced by storing hydrogen in the sensitive portion on the premise of the configuration 6-5. Wireless tag type gas sensor using coordination polymer metal complex as hydrogen sensitive film. A wireless tag type gas sensor using a film comprising a collection of crystalline fine particles mainly composed of tungsten oxide as a hydrogen-sensitive film and containing a catalytic metal in an oxidized state on the surface of the crystalline fine particle tungsten oxide.
Configuration 6-8: A wireless tag type gas sensor in which the sensitive portion is made of tin oxide on the premise of Configuration 6-5.

[貼着式センサ]
構成7:構成1〜8のうちのいずれかを前提にして、被貼着物に貼り付けるための粘着剤層と、粘着剤層を覆う剥離シートとを備えた無線タグ型センサ。
[Adhesive sensor]
Configuration 7: A wireless tag type sensor including a pressure-sensitive adhesive layer for attaching to an adherend and a release sheet covering the pressure-sensitive adhesive layer on the premise of any one of configurations 1 to 8.

本発明の無線タグ型粉塵センサによれば、このセンサからの信号に基づいて粒子状物質を検出することができる。   According to the RFID tag type dust sensor of the present invention, particulate matter can be detected based on a signal from this sensor.

本発明の無線タグ型油センサによれば、このセンサからの信号に基づいて油分を検出することができる。   According to the RFID tag type oil sensor of the present invention, oil content can be detected based on a signal from the sensor.

本発明の無線タグ型ガスセンサによれば、このセンサからの信号に基づいて特定のガスを検出することができる。   According to the RFID tag type gas sensor of the present invention, a specific gas can be detected based on a signal from the sensor.

粉塵センサの形態例を示す斜視図The perspective view which shows the example of a form of a dust sensor 図1に示す粉塵センサの平面図Plan view of the dust sensor shown in FIG. 図1に示す粉塵センサの側面図Side view of the dust sensor shown in FIG. 図1に示す粉塵センサの下面図Bottom view of the dust sensor shown in FIG. 図1に示す粉塵センサの要部断面図Cross section of the main part of the dust sensor shown in FIG. 図1に示す粉塵センサの回路図Circuit diagram of the dust sensor shown in FIG. 図1〜図6に示す粉塵センサの両電極が短絡した状態を例示する要部断面図Cross-sectional view of relevant parts illustrating a state where both electrodes of the dust sensor shown in FIGS. 1 to 6 are short-circuited 粉塵センサの別の形態例を示す斜視図Perspective view showing another embodiment of the dust sensor 図8に示す粉塵センサの平面図Plan view of the dust sensor shown in FIG. 図8に示す粉塵センサの側面図Side view of the dust sensor shown in FIG. 図8に示す粉塵センサの下面図Bottom view of the dust sensor shown in FIG. 図8に示す粉塵センサの要部断面図Sectional drawing of the principal part of the dust sensor shown in FIG. 図8に示す粉塵センサの回路図Circuit diagram of the dust sensor shown in FIG. 図8〜図13に示す粉塵センサの両電極が短絡した状態を例示する要部断面図Cross-sectional view of relevant parts illustrating a state in which both electrodes of the dust sensor shown in FIGS. 粉塵センサの更に別の形態例を示す斜視図The perspective view which shows another example of a form of a dust sensor 図15に示す粉塵センサの平面図Plan view of the dust sensor shown in FIG. 図15に示す粉塵センサの側面図Side view of the dust sensor shown in FIG. 図15に示す粉塵センサの下面図The bottom view of the dust sensor shown in FIG. 図15に示す粉塵センサの要部断面図FIG. 15 is a cross-sectional view of the main part of the dust sensor shown in FIG. 図15に示す粉塵センサの回路図Circuit diagram of the dust sensor shown in FIG. 図15〜図20に示す粉塵センサの凹部の低位置に設けられた両電極が短絡した状態を例示する要部断面図Main part sectional drawing which illustrates the state where both the electrodes provided in the low position of the crevice of the dust sensor shown in Drawing 15-Drawing 20 short-circuited 図15〜図20に示す粉塵センサの凹部の高位置に設けられた両電極が短絡した状態を例示する要部断面図Main part sectional drawing which illustrates the state which both the electrodes provided in the high position of the recessed part of the dust sensor shown in FIGS. 15-20 short-circuited 凹部を有する粉塵センサの別の形態例を示す要部断面図Cross-sectional view of the relevant part showing another embodiment of the dust sensor having a recess 図23に示す粉塵センサの凹部の低位置に設けられた両電極が短絡した状態を例示する要部断面図FIG. 23 is an essential part cross-sectional view illustrating a state in which both electrodes provided in the low position of the concave portion of the dust sensor shown in FIG. 23 are short-circuited. 図23に示す粉塵センサの凹部の高位置に設けられた両電極が短絡した状態を例示する要部断面図FIG. 23 is an essential part cross-sectional view illustrating a state in which both electrodes provided at a high position of the concave portion of the dust sensor shown in FIG. 23 are short-circuited. 凹部の更に別の形態例を示す斜視図The perspective view which shows another example of a form of a recessed part 複数対の電極を備えた粉塵センサの別の形態例を示す回路図Circuit diagram showing another example of a dust sensor having a plurality of pairs of electrodes 粉塵センサの更に別の形態例を示す斜視図The perspective view which shows another example of a form of a dust sensor 図28に示す粉塵センサの平面図Plan view of the dust sensor shown in FIG. 図28に示す粉塵センサの側面図Side view of the dust sensor shown in FIG. 図28に示す粉塵センサの下面図The bottom view of the dust sensor shown in FIG. 図28に示す粉塵センサの要部断面図FIG. 28 is a cross-sectional view of the main part of the dust sensor shown in FIG. 図28に示す粉塵センサの回路図Circuit diagram of the dust sensor shown in FIG. 図28に示す粉塵センサの表面に誘電体微粒子が付着した状態を例示する要部断面図FIG. 28 is an essential part cross-sectional view illustrating a state where dielectric fine particles are attached to the surface of the dust sensor shown in FIG. 粉塵センサの更に別の形態例を示す斜視図The perspective view which shows another example of a form of a dust sensor 図35に示す粉塵センサの平面図Plan view of the dust sensor shown in FIG. 図35に示す粉塵センサの側面図Side view of the dust sensor shown in FIG. 図35に示す粉塵センサの下面図Bottom view of the dust sensor shown in FIG. 図35に示す粉塵センサの要部断面図Cross-sectional view of the main part of the dust sensor shown in FIG. 図35に示す粉塵センサの回路図Circuit diagram of the dust sensor shown in FIG. 図35に示す粉塵センサの凹部に誘電体微粒子が浸入し付着又は堆積した状態を例示する要部断面図FIG. 35 is a cross-sectional view of an essential part illustrating a state where dielectric fine particles have entered and adhered to or accumulated in the concave portion of the dust sensor shown in FIG. 粉塵センサの更に別の形態例を示す斜視図The perspective view which shows another example of a form of a dust sensor 図42に示す粉塵センサの平面図Plan view of the dust sensor shown in FIG. 図42に示す粉塵センサの側面図Side view of the dust sensor shown in FIG. 図42に示す粉塵センサの下面図42 is a bottom view of the dust sensor shown in FIG. 図42に示す粉塵センサの要部断面図Main part sectional drawing of the dust sensor shown in FIG. 図42に示す粉塵センサの回路図Circuit diagram of the dust sensor shown in FIG. 図42に示す粉塵センサの表面に検知対象粒子が付着又は堆積した状態を例示する要部断面図42 is an essential part cross-sectional view illustrating a state in which particles to be detected adhere to or accumulate on the surface of the dust sensor shown in FIG. 粉塵センサの更に別の形態例を示す斜視図The perspective view which shows another example of a form of a dust sensor 図49に示す粉塵センサの平面図49 is a plan view of the dust sensor shown in FIG. 図49に示す粉塵センサの側面図49 is a side view of the dust sensor shown in FIG. 図49に示す粉塵センサの下面図49 is a bottom view of the dust sensor shown in FIG. 図49に示す粉塵センサの要部断面図49 is a fragmentary cross-sectional view of the dust sensor shown in FIG. 図49に示す粉塵センサの回路図49 is a circuit diagram of the dust sensor shown in FIG. 図49に示す粉塵センサの発光素子の光が凹部内の検知対象粒子によって遮られている状態を例示する要部断面図49 is an essential part cross-sectional view illustrating a state where light from the light-emitting element of the dust sensor shown in FIG. 49 is blocked by detection target particles in the recess. 発光素子と受光素子を複数対備えた粉塵センサにおいて高位置の発光素子の光が凹部内の検知対象粒子によって遮られている状態を例示する要部断面図Cross-sectional view of relevant parts illustrating a state in which light from a light emitting element at a high position is blocked by particles to be detected in a recess in a dust sensor having a plurality of pairs of light emitting elements and light receiving elements 油センサの形態例を示す斜視図The perspective view which shows the example of a form of an oil sensor 図57に示す油センサの平面図57 is a plan view of the oil sensor shown in FIG. 図57に示す油センサの側面図57 is a side view of the oil sensor shown in FIG. 図57に示す油センサの下面図The bottom view of the oil sensor shown in FIG. 図57に示す油センサの要部断面図57 is a cross-sectional view of the main part of the oil sensor shown in FIG. 図57に示す油センサの回路図57 is a circuit diagram of the oil sensor shown in FIG. 図57に示す油センサの凹部に油分が溜まった状態を例示する要部断面図57 is an essential part cross-sectional view illustrating a state where oil is accumulated in the recess of the oil sensor shown in FIG. ガスセンサの形態例を示す斜視図The perspective view which shows the example of a form of a gas sensor 図64に示すガスセンサの平面図The top view of the gas sensor shown in FIG. 図64に示すガスセンサの側面図Side view of the gas sensor shown in FIG. 図64に示すガスセンサの下面図The bottom view of the gas sensor shown in FIG. 図64に示すガスセンサの要部透視平面図Perspective perspective plan view of the gas sensor shown in FIG. 図68のA−A断面図AA sectional view of FIG. 図68のB−B断面図BB sectional view of FIG. 図64に示すガスセンサの回路図64 is a circuit diagram of the gas sensor shown in FIG. (a)図64に示すガスセンサの未使用状態の側面図、(b)図64に示すガスセンサの未使用状態の平面図(A) Side view of unused state of gas sensor shown in FIG. 64, (b) Plan view of unused state of gas sensor shown in FIG. 図64に示すガスセンサの未使用時と使用時の状態を示した側面図The side view which showed the state at the time of non-use of the gas sensor shown in FIG. 64, and use 図64に示すガスセンサの未使用時又は使用開始直後の状態を示す回路図64 is a circuit diagram showing a state of the gas sensor shown in FIG. 64 when not in use or immediately after the start of use. (a)図64に示すガスセンサの第1のアンテナが機能し得なくなった時の回路図、(b)図64に示すガスセンサの第1及び第2のアンテナが機能し得なくなった状態を示す回路図(A) Circuit diagram when the first antenna of the gas sensor shown in FIG. 64 cannot function, (b) Circuit showing the state where the first and second antennas of the gas sensor shown in FIG. 64 cannot function Figure ガスセンサの別の形態例を示す回路図Circuit diagram showing another example of the gas sensor ガスセンサの更に別の形態例を示す斜視図The perspective view which shows another example of another form of a gas sensor 図77に示すガスセンサの平面図A plan view of the gas sensor shown in FIG. 図77に示すガスセンサの側面図Side view of the gas sensor shown in FIG. 図77に示すガスセンサの下面図The bottom view of the gas sensor shown in FIG. 図77に示すガスセンサの要部断面図77 is a cross-sectional view of the main part of the gas sensor shown in FIG. 図77に示すガスセンサの回路図77 is a circuit diagram of the gas sensor shown in FIG. (a)図77に示すガスセンサの未使用状態の側面図、(b)図77に示すガスセンサの未使用状態の平面図(A) Side view of unused state of gas sensor shown in FIG. 77, (b) Plan view of unused state of gas sensor shown in FIG. 77 (a)図77に示すガスセンサのアンテナが機能し得ない状態の時の回路図、(b)図77に示すガスセンサのアンテナが機能し得る状態を示す回路図(A) Circuit diagram when the antenna of the gas sensor shown in FIG. 77 cannot function, (b) Circuit diagram showing the state where the antenna of the gas sensor shown in FIG. 77 can function ガスセンサの更に別の形態例を示す斜視図The perspective view which shows another example of another form of a gas sensor センサの剥離シートを剥ぎ取る過程を示す側面図Side view showing the process of peeling the sensor release sheet センサを被貼着物に貼り付けて固定した状態を例示する側面図The side view which illustrates the state which affixed and fixed the sensor on the to-be-adhered thing 本発明のセンサを子局に用いた施設内監視システム(エバネセント通信システム)の原理説明図Illustration of the principle of an in-facility monitoring system (evanescent communication system) using the sensor of the present invention as a slave station

以下、本発明の無線タグ型センサの実施形態について説明する。   Hereinafter, embodiments of the wireless tag type sensor of the present invention will be described.

1.導体微粒子検出用センサ 1. Conductive particle detection sensor

1−1.第1の形態例
図1は無線タグ型粉塵センサ(以下、単に粉塵センサという。)の形態例を示す斜視図である。図2は図1に示す粉塵センサの平面図である。図3は図1に示す粉塵センサの側面図である。図4は図1に示す粉塵センサの下面図である。図5は図1に示す粉塵センサの要部断面図である。図5は図1に示す粉塵センサの回路図である。
1-1. First Embodiment FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of an RFID tag dust sensor (hereinafter simply referred to as a dust sensor). FIG. 2 is a plan view of the dust sensor shown in FIG. FIG. 3 is a side view of the dust sensor shown in FIG. FIG. 4 is a bottom view of the dust sensor shown in FIG. FIG. 5 is a cross-sectional view of the main part of the dust sensor shown in FIG. FIG. 5 is a circuit diagram of the dust sensor shown in FIG.

1−1−1.構成
この粉塵センサ10−1は、アンテナ11と、アンテナ11から識別信号sig.1を送信する送信回路12と、アンテナ11と送信回路12を一括収容した樹脂製のタグ体13と、タグ体13の表面の一部であって検知対象粒子である導体微粒子Pcが付着する粒子検出領域14と、粒子検出領域14を挟んで対向配置された一対の電極15a、15bと、を備えている。
1-1-1. Configuration The dust sensor 10-1 includes an antenna 11 and an identification signal sig. 1, a resin-made tag body 13 that collectively accommodates the antenna 11 and the transmission circuit 12, and particles that are part of the surface of the tag body 13 and to which conductive fine particles Pc that are detection target particles are attached. A detection region 14 and a pair of electrodes 15a and 15b arranged to face each other with the particle detection region 14 interposed therebetween are provided.

両電極15a、15b相互の間隔D0は、両電極15a、15b間に存在する粒子検出
領域14に導体微粒子Pcが複数個付着したときに、それらの導体微粒子Pcによって両電極15a、15b間が短絡する大きさに選定されている。たとえば導体微粒子Pcの平均粒径がDであるとき、間隔D0は、D0>Dで表される関係が成立するように選定される。この例では、D0を約3Dとしている。
The distance D0 between the electrodes 15a and 15b is such that when a plurality of conductive fine particles Pc adhere to the particle detection region 14 existing between the electrodes 15a and 15b, the electrodes 15a and 15b are short-circuited by the conductive fine particles Pc. The size is selected. For example, when the average particle diameter of the conductive fine particles Pc is D, the interval D0 is selected so that the relationship represented by D0> D is established. In this example, D0 is about 3D.

アンテナ1の回路は、粒子検出領域14に付着した導体微粒子Pcによって両電極15a、15b間が短絡(導通、電気的に接続)することにより形成される。アンテナ11の同調周波数f0は、アンテナコイル11AのインダクタンスLとコンデンサ11Bの容量
Cによって定まる。
The circuit of the antenna 1 is formed by short-circuiting (conducting and electrically connecting) the electrodes 15a and 15b with the conductive fine particles Pc attached to the particle detection region 14. The tuning frequency f0 of the antenna 11 is determined by the inductance L of the antenna coil 11A and the capacitance C of the capacitor 11B.

送信回路12は、アンテナ11による受信電力を使用して作動し、識別信号sig.1をアンテナ11から送信する。識別信号sig.1は、粉塵センサ10−1に個別に割り当てられたID情報(ユニーク値)の信号である。   The transmission circuit 12 operates by using the received power by the antenna 11, and the identification signal sig. 1 is transmitted from the antenna 11. Identification signal sig. 1 is a signal of ID information (unique value) individually assigned to the dust sensor 10-1.

タグ体13は、長方形の平板状に成形された密閉構造の硬質樹脂ケーシングであり、ケーシング内への水分や外気の侵入を完全に遮断している。   The tag body 13 is a hard resin casing having a sealed structure formed in a rectangular flat plate shape, and completely blocks moisture and outside air from entering the casing.

両電極15a、15bは、その表面15sを露出させてタグ体13に埋設されている。この例では、両電極15a、15bの表面15sとタグ体13の表面(上面)13aは同一平面をなしている。   Both electrodes 15a and 15b are embedded in the tag body 13 with their surfaces 15s exposed. In this example, the surface 15s of both electrodes 15a and 15b and the surface (upper surface) 13a of the tag body 13 are on the same plane.

タグ体13の下面には、粘着剤層81が形成されている。粘着剤層81は、剥離シート82で覆われている。剥離シート82は簡単に剥がすことができるようになっている(図87参照)。   An adhesive layer 81 is formed on the lower surface of the tag body 13. The pressure-sensitive adhesive layer 81 is covered with a release sheet 82. The release sheet 82 can be easily peeled off (see FIG. 87).

1−1−2.作用・効果
粉塵センサ10−1は、鉄粉などの導体微粒子Pcが発生する空間(被監視空間)における導体微粒子Pcの発生量や堆積量の監視用に使用される。導体微粒子Pcが発生する空間の床面などに粉塵センサ10−1を設置しておくと、空間中に浮遊あるいは飛散した導体微粒子Pcが粉塵センサ10−1の表面に付着する。そして、粉塵センサ10−1の表面の一部をなす粒子検出領域14に付着した導体微粒子Pcによって両電極15a、15b間が短絡すると(図7参照)、アンテナ11の回路が形成される。その結果、図示しないリーダからの電波をアンテナ11が受信し始める。そして、アンテナ11による受信電力で送信回路12が作動する。送信回路12が作動することにより、アンテナ11から識別信号が送信される。
1-1-2. Action / Effect The dust sensor 10-1 is used for monitoring the generation amount and accumulation amount of the conductive fine particles Pc in the space (monitored space) where the conductive fine particles Pc such as iron powder are generated. When the dust sensor 10-1 is installed on the floor surface of the space where the conductive fine particles Pc are generated, the conductive fine particles Pc floating or scattered in the space adhere to the surface of the dust sensor 10-1. When the electrodes 15a and 15b are short-circuited by the conductive fine particles Pc adhering to the particle detection region 14 forming a part of the surface of the dust sensor 10-1, a circuit of the antenna 11 is formed. As a result, the antenna 11 starts to receive radio waves from a reader (not shown). Then, the transmission circuit 12 operates with the received power from the antenna 11. The identification signal is transmitted from the antenna 11 by the operation of the transmission circuit 12.

したがって、粉塵センサ10−1からの識別信号sig.1を図示しないリーダで受信できるようにしておき、その識別信号sig.1の有無を監視することにより、被監視空間における導体微粒子Pcの発生量や堆積量が規定値以上になったか否かを知ることができる。この規定値は、導体微粒子Pcの平均粒径Dと両電極15a、15b相互の間隔D0との関係によって概略定められる。この例では、D0の値を約3Dに選定している。したがって、3乃至5個以上の導体微粒子Pcが連続して並んで堆積或いは付着する程度の導体微粒子Pcの発生量又は堆積量になったことを、粉塵センサ10からの識別信号sig.1を受信することにより検知できる。粉塵センサ10−1上への導体微粒子Pcの堆積量がある程度以上大きくなると、堆積した導体微粒子Pcによってアンテナ11の機能が阻害されるようになるので、上記規定値はこのような機能阻害が発生しない程度の値に選定しておく必要がある。なお、粉塵の粒径は数nm〜数十μmと幅広いので、検出目標粒径によって両電極15a、15b相互の間隔D0も広い範囲から選定されることになる。   Therefore, the identification signal sig. 1 can be received by a reader (not shown), and the identification signal sig. By monitoring the presence / absence of 1, it is possible to know whether or not the generation amount or deposition amount of the conductive fine particles Pc in the monitored space has exceeded a specified value. This specified value is roughly determined by the relationship between the average particle diameter D of the conductive fine particles Pc and the distance D0 between the electrodes 15a and 15b. In this example, the value of D0 is selected to be about 3D. Therefore, it is determined that the generation amount or deposition amount of the conductive fine particles Pc is such that 3 to 5 or more conductive fine particles Pc are continuously deposited or adhered. It can be detected by receiving 1. When the deposited amount of the conductive fine particles Pc on the dust sensor 10-1 is increased to a certain degree or more, the function of the antenna 11 is inhibited by the deposited conductive fine particles Pc. It is necessary to select a value that does not allow it. Since the particle size of the dust is as wide as several nanometers to several tens of micrometers, the distance D0 between the electrodes 15a and 15b is selected from a wide range depending on the detection target particle size.

また、識別信号sig.1を受信することにより、粉塵センサ10−1のID情報(ユニーク値)を知ることができるので、複数の粉塵センサ10が設置されている場合でも、どの粉塵センサ10からの信号であるかを判別することができる。   Further, the identification signal sig. 1 is received, it is possible to know the ID information (unique value) of the dust sensor 10-1, so even if a plurality of dust sensors 10 are installed, which dust sensor 10 the signal is from. Can be determined.

また、この粉塵センサ10−1は、タグ体13の下面に粘着剤層81が形成され、その粘着剤層81が剥離シート82で覆われているので、剥離シート82を剥がせば、図87に示すように、粉塵センサ10−1を被貼着物85に貼り付けて固定することができる。この形態例の場合の被貼着物85の例として、鉄粉などの導体微粒子が発生する工場や作業現場の床面や壁面、作業者の保安帽、防じんマスクなどを挙げることができる。   Further, in the dust sensor 10-1, the adhesive layer 81 is formed on the lower surface of the tag body 13, and the adhesive layer 81 is covered with the release sheet 82. Therefore, if the release sheet 82 is peeled off, FIG. As shown in FIG. 4, the dust sensor 10-1 can be fixed by being attached to the adherend 85. As an example of the adherend 85 in the case of this embodiment, a floor surface or a wall surface of a factory or work site where conductor fine particles such as iron powder are generated, a worker's safety cap, a dust mask, and the like can be given.

1−2.第2の形態例
図8は粉塵センサの別の形態例を示す斜視図である。図9は図8に示す粉塵センサの平面図である。図10は図8に示す粉塵センサの側面図である。図11は図8に示す粉塵センサの下面図である。図12は図8に示す粉塵センサの要部断面図である。図13は図8に示す粉塵センサの回路図である。
1-2. Second Embodiment FIG. 8 is a perspective view showing another embodiment of the dust sensor. FIG. 9 is a plan view of the dust sensor shown in FIG. FIG. 10 is a side view of the dust sensor shown in FIG. FIG. 11 is a bottom view of the dust sensor shown in FIG. 12 is a cross-sectional view of the main part of the dust sensor shown in FIG. FIG. 13 is a circuit diagram of the dust sensor shown in FIG.

1−2−1.構成
この粉塵センサ10−2は、アンテナ11と、アンテナ11から識別信号sig.1を送信する送信回路12と、アンテナ11と送信回路12を一括収容した樹脂製のタグ体13と、タグ体13の表面の一部に形成された凹部16の内面又は内部空間であって検知対象粒子である導体微粒子Pcが付着又は堆積する粒子検出領域17と、粒子検出領域17を挟んで対向配置された一対の電極15a、15bと、を備えている。
1-2-1. Configuration The dust sensor 10-2 includes an antenna 11 and an identification signal sig. 1 is a transmission circuit 12 that transmits 1, a resin tag body 13 that collectively contains the antenna 11 and the transmission circuit 12, and an inner surface or an internal space of a recess 16 that is formed in a part of the surface of the tag body 13. A particle detection region 17 to which the conductive fine particles Pc, which are target particles, are attached or deposited, and a pair of electrodes 15a and 15b arranged to face each other with the particle detection region 17 interposed therebetween.

両電極15a、15b相互の間隔D0は、両電極15a、15b間に存在する粒子検出
領域17に導体微粒子Pcが複数個付着したときに、それらの導体微粒子Pcによって両電極15a、15b間が短絡する大きさに選定されている。たとえば導体微粒子Pcの平均粒径がDであるとき、間隔D0は、D0>Dで表される関係が成立するように選定される。この例では、D0を約2.8Dとしている。
The distance D0 between the electrodes 15a and 15b is such that when a plurality of conductive fine particles Pc adhere to the particle detection region 17 existing between the electrodes 15a and 15b, the electrodes 15a and 15b are short-circuited by the conductive fine particles Pc. The size is selected. For example, when the average particle diameter of the conductive fine particles Pc is D, the interval D0 is selected so that the relationship represented by D0> D is established. In this example, D0 is about 2.8D.

アンテナ11の回路は、粒子検出領域17に付着又は堆積した導体微粒子Pcによって両電極15a、15b間が短絡(導通、電気的に接続)することにより形成される。アンテナ11の同調周波数f0は、アンテナコイル11AのインダクタンスLとコンデンサ1
1Bの容量Cによって定まる。
The circuit of the antenna 11 is formed by short-circuiting (conducting or electrically connecting) between the electrodes 15a and 15b by the conductive fine particles Pc attached or deposited on the particle detection region 17. The tuning frequency f0 of the antenna 11 depends on the inductance L of the antenna coil 11A and the capacitor 1
It is determined by the capacity C of 1B.

送信回路12は、アンテナ11による受信電力を使用して作動し、識別信号sig.1をアンテナ11から送信する。識別信号sig.1は、粉塵センサ10に個別に割り当てられたID情報(ユニーク値)の信号である。   The transmission circuit 12 operates by using the received power by the antenna 11, and the identification signal sig. 1 is transmitted from the antenna 11. Identification signal sig. 1 is a signal of ID information (unique value) individually assigned to the dust sensor 10.

タグ体13は、長方形の平板状に成形された密閉構造の硬質樹脂ケーシングであり、ケーシング内への水分や外気の侵入を完全に遮断している。   The tag body 13 is a hard resin casing having a sealed structure formed in a rectangular flat plate shape, and completely blocks moisture and outside air from entering the casing.

両電極15a、15bは、その表面15sを露出させてタグ体13の凹部16の側面部に埋設されている。この例では、両電極15a、15bの表面15sとタグ体13の凹部16の側面16aは同一平面をなしている。   Both electrodes 15a and 15b are embedded in the side surface of the recess 16 of the tag body 13 with the surface 15s exposed. In this example, the surface 15s of both electrodes 15a and 15b and the side surface 16a of the recess 16 of the tag body 13 are on the same plane.

タグ体13の下面には、粘着剤層81が形成されている。粘着剤層81は、剥離シート82で覆われている。剥離シート82は簡単に剥がすことができるようになっている(図86参照)。   An adhesive layer 81 is formed on the lower surface of the tag body 13. The pressure-sensitive adhesive layer 81 is covered with a release sheet 82. The release sheet 82 can be easily peeled off (see FIG. 86).

1−2−2.作用・効果
粉塵センサ10−2は、鉄粉などの導体微粒子Pcが発生する空間(被監視空間)における導体微粒子Pcの発生量や堆積量の監視用に使用される。導体微粒子Pcが発生する空間の床面などに粉塵センサ10−2を設置しておくと、空間中に浮遊あるいは飛散した導体微粒子Pcが粉塵センサ10−2の凹部16に浸入する。そして、粉塵センサ10−2の内面又は内部空間である粒子検出領域17に付着又は堆積した導体微粒子Pcによって両電極15a、15b間が短絡すると(図14参照)、アンテナ11の回路が形成される。その結果、図示しないリーダからの電波をアンテナ11が受信し始める。そして、アンテナ11による受信電力で送信回路12が作動する。送信回路12が作動することにより、アンテナ11から識別信号が送信される。
1-2-2. Action / Effect The dust sensor 10-2 is used for monitoring the generation amount and accumulation amount of the conductive fine particles Pc in the space (monitored space) where the conductive fine particles Pc such as iron powder are generated. If the dust sensor 10-2 is installed on the floor surface of the space where the conductive fine particles Pc are generated, the conductive fine particles Pc floating or scattered in the space enter the concave portion 16 of the dust sensor 10-2. When the electrodes 15a and 15b are short-circuited by the conductive fine particles Pc attached or deposited on the particle detection region 17 which is the inner surface or the internal space of the dust sensor 10-2 (see FIG. 14), the circuit of the antenna 11 is formed. . As a result, the antenna 11 starts to receive radio waves from a reader (not shown). Then, the transmission circuit 12 operates with the received power from the antenna 11. The identification signal is transmitted from the antenna 11 by the operation of the transmission circuit 12.

したがって、粉塵センサ10からの識別信号sig.1を図示しないリーダで受信できるようにしておき、その識別信号sig.1の有無を監視することにより、被監視空間における導体微粒子Pcの発生量や堆積量が規定値以上になったか否かを知ることができる。この規定値は、導体微粒子Pcの平均粒径Dと両電極15a、15b相互の間隔D0と
の関係によって概略定められる。この例では、D0の値を約2.8Dに選定している。し
たがって、3乃至4個以上の導体微粒子Pcが連続して並んで堆積或いは付着する程度の導体微粒子Pcの発生量又は堆積量になったことを、粉塵センサ10−2からの識別信号sig.1を受信することにより検知できる。粉塵センサ10−2上への導体微粒子Pcの堆積量がある程度以上大きくなると、堆積した導体微粒子Pcによってアンテナ11の機能が阻害されるようになるので、上記規定値はこのような機能阻害が発生しない程度の値に選定しておく必要がある。
Therefore, the identification signal sig. 1 can be received by a reader (not shown), and the identification signal sig. By monitoring the presence / absence of 1, it is possible to know whether or not the generation amount or deposition amount of the conductive fine particles Pc in the monitored space has exceeded a specified value. This specified value is roughly determined by the relationship between the average particle diameter D of the conductive fine particles Pc and the distance D0 between the electrodes 15a and 15b. In this example, the value of D0 is selected to be about 2.8D. Therefore, it is determined that the generation amount or the accumulation amount of the conductive fine particles Pc is such that 3 to 4 or more conductive fine particles Pc are successively deposited or adhered. The identification signal sig. It can be detected by receiving 1. When the deposited amount of the conductive fine particles Pc on the dust sensor 10-2 becomes larger than a certain level, the function of the antenna 11 is inhibited by the deposited conductive fine particles Pc. It is necessary to select a value that does not allow it.

また、識別信号sig.1を受信することにより、粉塵センサ10−2のID情報(ユニーク値)を知ることができるので、複数の粉塵センサ10−2が設置されている場合でも、どの粉塵センサ10−2からの信号であるかを判別することができる。   Further, the identification signal sig. 1 is received, it is possible to know the ID information (unique value) of the dust sensor 10-2, so even if a plurality of dust sensors 10-2 are installed, the signal from which dust sensor 10-2 Can be determined.

また、この粉塵センサ10−2は、タグ体13の下面に粘着剤層81が形成され、その粘着剤層81が剥離シート82で覆われているので、剥離シート82を剥がせば、図87に示すように、粉塵センサ10−2を被貼着物85に貼り付けて固定することができる。この形態例の場合の被貼着物85の例として、鉄粉などの導体微粒子が発生する工場や作業現場の床面や壁面、作業者の保安帽、防じんマスクなどを挙げることができる。   Further, in the dust sensor 10-2, the adhesive layer 81 is formed on the lower surface of the tag body 13, and the adhesive layer 81 is covered with the release sheet 82. Therefore, if the release sheet 82 is peeled off, FIG. As shown in FIG. 4, the dust sensor 10-2 can be fixed by being attached to the adherend 85. As an example of the adherend 85 in the case of this embodiment, a floor surface or a wall surface of a factory or work site where conductor fine particles such as iron powder are generated, a worker's safety cap, a dust mask, and the like can be given.

1−3.第3の形態例
図15は粉塵センサの更に別の形態例を示す斜視図である。図16は図15に示す粉塵センサの平面図である。図17は図15に示す粉塵センサの側面図である。図18は図15に示す粉塵センサの下面図である。図19は図15に示す粉塵センサの要部断面図である。図20は図15に示す粉塵センサの回路図である。
1-3. Third Embodiment FIG. 15 is a perspective view showing still another embodiment of the dust sensor. 16 is a plan view of the dust sensor shown in FIG. FIG. 17 is a side view of the dust sensor shown in FIG. 18 is a bottom view of the dust sensor shown in FIG. 19 is a cross-sectional view of a main part of the dust sensor shown in FIG. 20 is a circuit diagram of the dust sensor shown in FIG.

1−3−1.構成
この粉塵センサ10−3は、二つのアンテナ11−1、11−2と、アンテナ11−1、11−2から識別信号sig.1−1、sig.1−2を送信する送信回路12と、アンテナ11−1、11−2と送信回路12を一括収容した樹脂製のタグ体13と、タグ体13の表面の一部に形成された凹部16の内面又は内部空間であって検知対象粒子である導体微粒子Pcが付着又は堆積する粒子検出領域17と、粒子検出領域17を挟んで対向配置された対をなす電極15a、15bと、を備えている。この例では、電極15a、15bの対が凹部16の深さ方向に離間させて二対配置されている。
1-3-1. Configuration The dust sensor 10-3 includes two antennas 11-1 and 11-2 and identification signals sig. 1-1, sig. A transmission circuit 12 for transmitting 1-2, a resin tag body 13 that collectively accommodates the antennas 11-1, 11-2 and the transmission circuit 12, and a recess 16 formed in a part of the surface of the tag body 13. A particle detection region 17 which is an inner surface or an internal space and to which the conductive fine particles Pc which are detection target particles adhere or deposit, and a pair of electrodes 15a and 15b which are arranged to face each other with the particle detection region 17 interposed therebetween are provided. . In this example, two pairs of the electrodes 15 a and 15 b are arranged so as to be separated from each other in the depth direction of the recess 16.

両電極15a、15b相互の間隔D0は、両電極15a、15b間に存在する粒子検出
領域17に導体微粒子Pcが複数個付着したときに、それらの導体微粒子Pcによって両電極15a、15b間が短絡する大きさに選定されている。たとえば導体微粒子Pcの平均粒径がDであるとき、間隔D0は、D0>Dで表される関係が成立するように選定される。この例では、D0を約2.8Dとしている。
The distance D0 between the electrodes 15a and 15b is such that when a plurality of conductive fine particles Pc adhere to the particle detection region 17 existing between the electrodes 15a and 15b, the electrodes 15a and 15b are short-circuited by the conductive fine particles Pc. The size is selected. For example, when the average particle diameter of the conductive fine particles Pc is D, the interval D0 is selected so that the relationship represented by D0> D is established. In this example, D0 is about 2.8D.

第1のアンテナ11−1の回路は、粒子検出領域17に付着又は堆積した導体微粒子Pcによって下側の電極対15Lを構成する電極15a、15b間が短絡(導通、電気的に接続)することにより形成される。アンテナ11−1の同調周波数f0は、アンテナコイ
ル11A−1のインダクタンスL1とコンデンサ11B−1の容量C1によって定まる。第2のアンテナ11−2の回路は、粒子検出領域17に付着又は堆積した導体微粒子Pcによって上側の電極対15Uを構成する電極15a、15b間が短絡(導通、電気的に接続)することにより形成される。アンテナ11−2の同調周波数f0は、アンテナコイル
11A−2のインダクタンスL2とコンデンサ11B−2の容量C2によって定まる。
In the circuit of the first antenna 11-1, the conductive fine particles Pc attached or deposited on the particle detection region 17 are short-circuited (conducting and electrically connected) between the electrodes 15a and 15b constituting the lower electrode pair 15L. It is formed by. The tuning frequency f0 of the antenna 11-1 is determined by the inductance L1 of the antenna coil 11A-1 and the capacitance C1 of the capacitor 11B-1. The circuit of the second antenna 11-2 is formed by short-circuiting (conducting and electrically connecting) the electrodes 15a and 15b constituting the upper electrode pair 15U by the conductive fine particles Pc attached or deposited on the particle detection region 17. It is formed. The tuning frequency f0 of the antenna 11-2 is determined by the inductance L2 of the antenna coil 11A-2 and the capacitance C2 of the capacitor 11B-2.

送信回路12は、アンテナ11−1、11−2による受信電力を使用して作動する。そして、第1のアンテナ11−1が形成されているときには、識別信号sig.1−1をアンテナ11−1から送信し、第2のアンテナ11−2が形成されているときには、識別信号sig.1−2をアンテナ11−2から送信する。識別信号sig.1−1は、粉塵センサ10−3に個別に割り当てられたID情報(ユニーク値)と検出量が小であることを示す値とを含む信号である。識別信号sig.1−2は、当該ID情報(ユニーク値)と検出量が大であることを示す値とを含む信号である。   The transmission circuit 12 operates using received power from the antennas 11-1 and 11-2. When the first antenna 11-1 is formed, the identification signal sig. 1-1 is transmitted from the antenna 11-1, and when the second antenna 11-2 is formed, the identification signal sig. 1-2 is transmitted from the antenna 11-2. Identification signal sig. 1-1 is a signal including ID information (unique value) individually assigned to the dust sensor 10-3 and a value indicating that the detected amount is small. Identification signal sig. 1-2 is a signal including the ID information (unique value) and a value indicating that the detection amount is large.

タグ体13は、長方形の平板状に成形された密閉構造の硬質樹脂ケーシングであり、ケーシング内への水分や外気の侵入を完全に遮断している。   The tag body 13 is a hard resin casing having a sealed structure formed in a rectangular flat plate shape, and completely blocks moisture and outside air from entering the casing.

第1及び第2の電極対15L、15Uを構成する各電極15a、15bは、その表面15sを露出させてタグ体13の凹部16の側面部に埋設されている。この例では、各電極15a、15bの表面15sとタグ体13の凹部16の側面16aは同一平面をなしている。   Each of the electrodes 15a and 15b constituting the first and second electrode pairs 15L and 15U is embedded in a side surface portion of the concave portion 16 of the tag body 13 with its surface 15s exposed. In this example, the surface 15s of each electrode 15a, 15b and the side surface 16a of the recess 16 of the tag body 13 are flush with each other.

タグ体13の下面には、粘着剤層81が形成されている。粘着剤層81は、剥離シート82で覆われている。剥離シート82は簡単に剥がすことができるようになっている(図86参照)。   An adhesive layer 81 is formed on the lower surface of the tag body 13. The pressure-sensitive adhesive layer 81 is covered with a release sheet 82. The release sheet 82 can be easily peeled off (see FIG. 86).

1−3−2.作用・効果
粉塵センサ10−3は、鉄粉などの導体微粒子Pcが発生する空間(被監視空間)における導体微粒子Pcの発生量や堆積量の監視用に使用される。導体微粒子Pcが発生する空間の床面などに粉塵センサ10−3を設置しておくと、空間中に浮遊あるいは飛散した導体微粒子Pcが粉塵センサ10−3の凹部16に浸入する。そして、粉塵センサ10−3の内面又は内部空間である粒子検出領域17に付着又は堆積した導体微粒子Pcによって第1の電極対15Lを構成する両電極15a、15b間が短絡すると(図21参照)、第1のアンテナ11−1の回路が形成される。その結果、図示しないリーダからの電波を第1のアンテナ11−1が受信し始める。そして、第1のアンテナ11−1による受信電力で送信回路12が作動する。送信回路12が作動することにより、第1のアンテナ11−1から識別信号sig.1−1が送信される。
1-3-2. Action / Effect The dust sensor 10-3 is used for monitoring the generation amount and accumulation amount of the conductive fine particles Pc in the space (monitored space) where the conductive fine particles Pc such as iron powder are generated. When the dust sensor 10-3 is installed on the floor surface of the space where the conductive fine particles Pc are generated, the conductive fine particles Pc floating or scattered in the space enter the recess 16 of the dust sensor 10-3. Then, when the two electrodes 15a and 15b constituting the first electrode pair 15L are short-circuited by the conductive fine particles Pc attached or deposited on the particle detection region 17 which is the inner surface or the internal space of the dust sensor 10-3 (see FIG. 21). A circuit of the first antenna 11-1 is formed. As a result, the first antenna 11-1 starts to receive radio waves from a reader (not shown). And the transmission circuit 12 operate | moves with the reception power by the 1st antenna 11-1. As the transmission circuit 12 operates, the identification signal sig. 1-1 is transmitted.

第1の電極対15Lの両電極15a、15b間が短絡した後も粉塵センサ10−3を放置しておくと、導体微粒子Pcが粉塵センサ10−3の凹部16に浸入しさらに堆積する。そして、粒子検出領域17に堆積した導体微粒子Pcによって第2の電極対15Uの両電極15a、15b間が短絡すると(図22参照)、第2のアンテナ11−2の回路が形成される。その結果、図示しないリーダからの電波を第2のアンテナ11−2が受信し始める。そして、両方のアンテナ11−1、11−2による受信電力で送信回路12が作動する。その結果、第1のアンテナ11−1から識別信号sig.1−1が送信されるとともに、第2のアンテナ11−2から識別信号sig.1−2が送信される。   If the dust sensor 10-3 is left after the electrodes 15a and 15b of the first electrode pair 15L are short-circuited, the conductive fine particles Pc enter the recess 16 of the dust sensor 10-3 and further accumulate. When the electrodes 15a and 15b of the second electrode pair 15U are short-circuited by the conductive fine particles Pc deposited in the particle detection region 17 (see FIG. 22), a circuit of the second antenna 11-2 is formed. As a result, the second antenna 11-2 starts to receive radio waves from a reader (not shown). And the transmission circuit 12 operate | moves with the received power by both the antennas 11-1 and 11-2. As a result, the identification signal sig. 1-1 is transmitted and the identification signal sig. 1-2 is transmitted.

したがって、この粉塵センサ10−3からの識別信号sig.1−1、sig.1−2を図示しないリーダで受信できるようにしておき、両識別信号sig.1−1、sig.1−2の有無を監視することにより、被監視空間における導体微粒子Pcの発生量や堆積量が規定値以上になったか否かを段階的(この例では、未発生(或いは発生量極小)、発生量小、発生量大の3段階)に知ることができる。すなわち、識別信号sig.1−1が受信されなければ、導体微粒子Pcが未発生或いは第1の電極対15Lの両電極15a、15b間が短絡しない程の極少量しか発生していないことを知ることができる。そして、識別信号sig.1−1を検知することにより、第1の電極対15Lの両電極15a、15b間が短絡する程度の少量の導体微粒子Pcが粉塵センサ10−3上に堆積したことを知ることができる。また、識別信号sig.1−2を検知することにより、高い位置にある第2の電極対15Uの両電極15a、15b間が短絡する程度の大量の導体微粒子Pcが粉塵センサ10−3上に堆積したことを知ることができる。   Therefore, the identification signal sig. 1-1, sig. 1-2 can be received by a reader (not shown), and both identification signals sig. 1-1, sig. By monitoring the presence or absence of 1-2, it is determined in stages whether or not the generation amount and deposition amount of the conductive fine particles Pc in the monitored space have exceeded a specified value (in this example, no generation (or generation amount minimum), It is possible to know in three stages (small generation amount and large generation amount). That is, the identification signal sig. If 1-1 is not received, it can be known that the conductive fine particles Pc are not generated or are generated in such a small amount that the two electrodes 15a and 15b of the first electrode pair 15L are not short-circuited. Then, the identification signal sig. By detecting 1-1, it is possible to know that a small amount of conductive fine particles Pc that are short-circuited between both electrodes 15a and 15b of the first electrode pair 15L have accumulated on the dust sensor 10-3. Further, the identification signal sig. By detecting 1-2, it is known that a large amount of conductive fine particles Pc that are short-circuited between the electrodes 15a and 15b of the second electrode pair 15U at a high position have accumulated on the dust sensor 10-3. Can do.

また、識別信号sig.1−1、sig.1−2を受信することにより、粉塵センサ10−3のID情報(ユニーク値)を知ることができるので、複数の粉塵センサ10−3が設置されている場合でも、どの粉塵センサ10−3からの信号であるかを判別することができる。   Further, the identification signal sig. 1-1, sig. By receiving 1-2, the ID information (unique value) of the dust sensor 10-3 can be known, so even if a plurality of dust sensors 10-3 are installed, from which dust sensor 10-3 Can be discriminated.

また、この粉塵センサ10−3は、タグ体13の下面に粘着剤層81が形成され、その粘着剤層81が剥離シート82で覆われているので、剥離シート82を剥がせば、図87に示すように、粉塵センサ10−3を被貼着物85に貼り付けて固定することができる。この形態例の場合の被貼着物85の例として、鉄粉などの導体微粒子が発生する工場や作業現場の床面や壁面、作業者の保安帽、防じんマスクなどを挙げることができる。   Further, in this dust sensor 10-3, since the adhesive layer 81 is formed on the lower surface of the tag body 13, and the adhesive layer 81 is covered with the release sheet 82, if the release sheet 82 is peeled off, FIG. As shown in Fig. 5, the dust sensor 10-3 can be fixed by being attached to the adherend 85. As an example of the adherend 85 in the case of this embodiment, a floor surface or a wall surface of a factory or work site where conductor fine particles such as iron powder are generated, a worker's safety cap, a dust mask, and the like can be given.

なお、第1〜第3の実施形態では、粒子検出領域17を画成する凹部16として、矩形状の凹部16を例示したが、凹部16の形状は矩形状である必要はない。図23〜図25に示すように、凹部16の形状を逆台形状に設計しておけば、凹部16に堆積した導体微粒子Pcの除去作業が容易になる。図26に示すように、逆台形状の凹部16の長手方向両端面も含めて四側面全てが傾斜面になっていれば、凹部16に堆積した導体微粒子Pcの除去作業がより容易になる。   In the first to third embodiments, the rectangular recess 16 is illustrated as the recess 16 that defines the particle detection region 17, but the shape of the recess 16 is not necessarily rectangular. As shown in FIGS. 23 to 25, if the shape of the recess 16 is designed to be an inverted trapezoid, the removal work of the conductive fine particles Pc deposited in the recess 16 is facilitated. As shown in FIG. 26, if all four side surfaces including the both end surfaces in the longitudinal direction of the inverted trapezoidal concave portion 16 are inclined surfaces, the work of removing the conductive fine particles Pc deposited in the concave portion 16 becomes easier.

また、第3の実施形態では、凹部16の上下に離間させて二対の電極対15L、15Uを配置するとともに二つのアンテナ11−1、11−2を備え、二対の電極15L、15Uが順次短絡することにより二つのアンテナ11−1、11−2の回路が順次形成され、それに対応して識別信号sig.1−1、sig.1−2を送信するように構成した例について説明したが、図27に示すように、二対の電極対15L、15Uに対してアンテナ11を一つだけ備えた構成としてもよい。この場合、各電極対15L、15Uの短絡を送信回路12が検知し、短絡した電極対15L、15Uに応じた識別信号sig.1−1、sig.1−2を送信する。   In the third embodiment, the two pairs of electrodes 15L and 15U are arranged apart from each other in the vertical direction of the recess 16, and the two antennas 11-1 and 11-2 are provided, and the two pairs of electrodes 15L and 15U are provided. By sequentially short-circuiting, the circuits of the two antennas 11-1 and 11-2 are sequentially formed, and the corresponding identification signal sig. 1-1, sig. Although an example configured to transmit 1-2 is described, as illustrated in FIG. 27, a configuration in which only one antenna 11 is provided for two pairs of electrodes 15L and 15U may be employed. In this case, the transmission circuit 12 detects a short circuit between the electrode pairs 15L and 15U, and the identification signal sig. 1-1, sig. Send 1-2.

また、第3の実施形態の構成において、下側の電極対15Lは、粉塵センサ10−3が正常に機能しているか否かのチェック用として使用することもできる。すなわち、粉塵センサ10−3から識別信号sig.1−1が送信されていることを確認することにより、この粉塵センサ10−3の導体微粒子検出機能が正常に働いていることを知ることができる。そして、粉塵センサ10−3から識別信号sig.1−2が送信されてきたら、導体微粒子Pcの堆積量が相当量に達したと判断することができる。   In the configuration of the third embodiment, the lower electrode pair 15L can also be used for checking whether or not the dust sensor 10-3 is functioning normally. That is, the identification signal sig. By confirming that 1-1 is being transmitted, it can be known that the conductive particle detection function of the dust sensor 10-3 is operating normally. Then, the identification signal sig. If 1-2 is transmitted, it can be determined that the deposited amount of the conductive fine particles Pc has reached a considerable amount.

2.誘電体微粒子検出用センサ 2. Dielectric particle detection sensor

2−1.第4の形態例
図28は粉塵センサの更に別の形態例を示す斜視図である。図29は図28に示す粉塵センサの平面図である。図30は図28に示す粉塵センサの側面図である。図31は図28に示す粉塵センサの下面図である。図32は図28に示す粉塵センサの要部断面図である。図33は図28に示す粉塵センサの回路図である。
2-1. Fourth Embodiment FIG. 28 is a perspective view showing still another embodiment of the dust sensor. FIG. 29 is a plan view of the dust sensor shown in FIG. 30 is a side view of the dust sensor shown in FIG. FIG. 31 is a bottom view of the dust sensor shown in FIG. 32 is a cross-sectional view of the main part of the dust sensor shown in FIG. FIG. 33 is a circuit diagram of the dust sensor shown in FIG.

2−1−1.構成
この粉塵センサ20−1は、アンテナ21と、アンテナ21から識別信号sig.2を送信する送信回路22と、送信回路22を一括収容した樹脂製のタグ体23と、タグ体23の表面の一部であって検知対象粒子である誘電体微粒子Piが付着する粒子検出領域24と、粒子検出領域24に互いの間隙が重なるようにして互いに並行に設けられた一対の電極25a、25bと、を備えている。
2-1-1. Configuration The dust sensor 20-1 includes an antenna 21 and an identification signal sig. 2 is a particle detection region in which a dielectric tag Pi that is a part of the surface of the tag body 23 and is a detection target particle adheres. 24 and a pair of electrodes 25a and 25b provided in parallel with each other such that the gap between the particle detection region 24 and the particle detection region 24 overlaps.

両電極25a、25b相互の間隔は、粒子検出領域24に誘電体微粒子Piが付着したときに、両電極25a、25b間の静電容量Cxが変化する大きさに選定されている。   The distance between the electrodes 25a and 25b is selected such that the capacitance Cx between the electrodes 25a and 25b changes when the dielectric fine particles Pi adhere to the particle detection region 24.

アンテナ21の同調周波数fxは、アンテナコイル21AのインダクタンスLとコンデンサ21Bの容量C1と上記一対の電極25a、25b間の静電容量Cxによって定まる。すなわち、このアンテナ21は、上記一対の電極25a、25bからなる容量可変コンデンサをエレメントとして含んでいる。   The tuning frequency fx of the antenna 21 is determined by the inductance L of the antenna coil 21A, the capacitance C1 of the capacitor 21B, and the capacitance Cx between the pair of electrodes 25a and 25b. That is, the antenna 21 includes a variable capacitance capacitor including the pair of electrodes 25a and 25b as an element.

送信回路22は、アンテナ21が図示しないリーダからの電波に同調したときのアンテナ21による受信電力を使用して作動し、識別信号sig.2をアンテナ21から送信する。識別信号sig.2は、粉塵センサ20−1に個別に割り当てられたID情報(ユニーク値)の信号である。   The transmission circuit 22 operates using the received power by the antenna 21 when the antenna 21 is tuned to a radio wave from a reader (not shown), and the identification signal sig. 2 is transmitted from the antenna 21. Identification signal sig. 2 is a signal of ID information (unique value) individually assigned to the dust sensor 20-1.

タグ体23は、長方形の平板状に成形された密閉構造の硬質樹脂ケーシングであり、ケーシング内への水分や外気の侵入を完全に遮断している。   The tag body 23 is a hard resin casing having a sealed structure formed in a rectangular flat plate shape, and completely blocks moisture and outside air from entering the casing.

両電極25a、25bは、タグ体23の表面近傍に埋設されている。   Both electrodes 25 a and 25 b are embedded in the vicinity of the surface of the tag body 23.

タグ体23の下面には、粘着剤層81が形成されている。粘着剤層81は、剥離シート82で覆われている。剥離シート82は簡単に剥がすことができるようになっている(図86参照)。   An adhesive layer 81 is formed on the lower surface of the tag body 23. The pressure-sensitive adhesive layer 81 is covered with a release sheet 82. The release sheet 82 can be easily peeled off (see FIG. 86).

2−1−2.作用・効果
粉塵センサ20−1は、埃、合成樹脂粉、花粉などの誘電体微粒子Piが発生或いは浸入する空間(被監視空間)における誘電体微粒子Piの発生量や堆積量の監視用に使用される。誘電体微粒子Piが発生する空間の床面などに粉塵センサ20−1を設置しておくと、空間中に浮遊あるいは飛散した誘電体微粒子Piが粉塵センサ20−1の表面に付着する(図34参照)。粉塵センサ20−1の表面の一部をなす粒子検出領域24に付着した導体微粒子Pcの影響により粒子検出領域24近傍の誘電率が変化する。その結果、両電極25a、25b間の静電容量Cxが変化する。アンテナ21の同調周波数fxが図示しないリーダからの電波の周波数と一致すると、当該リーダからの電波をアンテナ21が受信し始める。そして、アンテナ21による受信電力で送信回路22が作動する。送信回路22が作動することにより、アンテナ21から識別信号sig.2が送信される。
2-1-2. Action / Effect The dust sensor 20-1 is used for monitoring the generation amount and accumulation amount of the dielectric fine particles Pi in the space (monitored space) where the dielectric fine particles Pi such as dust, synthetic resin powder, and pollen are generated or enter. Is done. If the dust sensor 20-1 is installed on the floor surface of the space where the dielectric fine particles Pi are generated, the dielectric fine particles Pi floating or scattered in the space adhere to the surface of the dust sensor 20-1 (FIG. 34). reference). The dielectric constant in the vicinity of the particle detection region 24 changes due to the influence of the conductive fine particles Pc attached to the particle detection region 24 that forms part of the surface of the dust sensor 20-1. As a result, the capacitance Cx between the electrodes 25a and 25b changes. When the tuning frequency fx of the antenna 21 matches the frequency of a radio wave from a reader (not shown), the antenna 21 starts to receive the radio wave from the reader. Then, the transmission circuit 22 operates with the received power from the antenna 21. When the transmission circuit 22 is activated, the identification signal sig. 2 is transmitted.

したがって、粉塵センサ20−1からの識別信号sig.2を図示しないリーダで受信できるようにしておき、リーダから所定周波数(アンテナ21の同調周波数)の電波を常時又は定期的に送信し、粉塵センサ20−1からの識別信号sig.2の送信の有無を監視することにより、被監視空間における誘電体微粒子Piの発生量や堆積量が規定値以上になったか否かを知ることができる。この規定値は、誘電体微粒子Piの誘電率、両電極25a、25b相互の間隔、両電極25a、25bの面積などによって概略定められる。   Therefore, the identification signal sig. 2 can be received by a reader (not shown), a radio wave of a predetermined frequency (tuning frequency of the antenna 21) is transmitted from the reader constantly or periodically, and the identification signal sig. By monitoring the presence / absence of transmission 2, it is possible to know whether or not the generation amount or deposition amount of the dielectric fine particles Pi in the monitored space has exceeded a specified value. The specified value is roughly determined by the dielectric constant of the dielectric fine particles Pi, the distance between the electrodes 25a and 25b, the area of the electrodes 25a and 25b, and the like.

また、識別信号sig.2を受信することにより、粉塵センサ20−1のID情報(ユニーク値)を知ることができるので、複数の粉塵センサ20−1が設置されている場合でも、どの粉塵センサ20−1からの信号であるかを判別することができる。   Further, the identification signal sig. 2 is received, the ID information (unique value) of the dust sensor 20-1 can be known, so even if a plurality of dust sensors 20-1 are installed, the signal from any dust sensor 20-1 Can be determined.

また、この粉塵センサ20−1は、タグ体23の下面に粘着剤層81が形成され、その粘着剤層81が剥離シート82で覆われているので、剥離シート82を剥がせば、図87に示すように、粉塵センサ20−1を被貼着物85に貼り付けて固定することができる。この形態例の場合の被貼着物85の例として、合成樹脂粉、コンクリート破砕粉、穀物粉などの誘電体微粒子が発生する工場や作業現場の床面や壁面、作業者の保安帽、防じんマスクなどを挙げることができる。   Further, in this dust sensor 20-1, since the adhesive layer 81 is formed on the lower surface of the tag body 23 and the adhesive layer 81 is covered with the release sheet 82, if the release sheet 82 is peeled off, FIG. As shown in FIG. 4, the dust sensor 20-1 can be fixed to the adherend 85. As an example of the adherend 85 in the case of this embodiment, the floor and wall surface of a factory or work site where dielectric fine particles such as synthetic resin powder, crushed concrete powder, and grain powder are generated, a worker's safety hat, and a dust mask And so on.

2−2.第5の形態例
図35は粉塵センサの更に別の形態例を示す斜視図である。図36は図35に示す粉塵センサの平面図である。図37は図35に示す粉塵センサの側面図である。図38は図35に示す粉塵センサの下面図である。図39は図35に示す粉塵センサの要部断面図である。図40は図35に示す粉塵センサの回路図である。
2-2. Fifth Embodiment FIG. 35 is a perspective view showing still another embodiment of the dust sensor. FIG. 36 is a plan view of the dust sensor shown in FIG. FIG. 37 is a side view of the dust sensor shown in FIG. FIG. 38 is a bottom view of the dust sensor shown in FIG. 39 is a cross-sectional view of the main part of the dust sensor shown in FIG. 40 is a circuit diagram of the dust sensor shown in FIG.

2−2−1.構成
この粉塵センサ20−2は、アンテナ21と、アンテナ21から識別信号sig.2を送信する送信回路22と、送信回路22を一括収容した樹脂製のタグ体23と、タグ体23の表面の一部に形成された凹部26の内面又は内部空間であって検知対象粒子である誘電体微粒子Piが付着又は堆積する粒子検出領域27と、粒子検出領域27を挟んで対向配置された一対の電極25a、25bと、を備えている。凹部26の底部周縁部は断面円弧状の曲面になっている。
2-2-1. Configuration The dust sensor 20-2 includes an antenna 21 and an identification signal sig. 2 is a transmission circuit 22 for transmitting 2, a resin-made tag body 23 that collectively accommodates the transmission circuit 22, and an inner surface or an internal space of a concave portion 26 formed in a part of the surface of the tag body 23, and the detection target particles A particle detection region 27 to which a certain dielectric fine particle Pi adheres or deposits, and a pair of electrodes 25a and 25b arranged to face each other with the particle detection region 27 interposed therebetween. The bottom peripheral edge of the recess 26 is a curved surface having an arcuate cross section.

両電極25a、25b相互の間隔は、粒子検出領域24に誘電体微粒子Piが付着又は堆積したときに、両電極25a、25b間の静電容量Cxが変化する大きさに選定されている。   The distance between the electrodes 25a and 25b is selected such that the capacitance Cx between the electrodes 25a and 25b changes when the dielectric fine particles Pi adhere to or deposit on the particle detection region 24.

アンテナ21の同調周波数fxは、アンテナコイル21AのインダクタンスLとコンデンサ21Bの容量C1と上記一対の電極25a、25b間の静電容量Cxによって定まる。すなわち、このアンテナ21は、上記一対の電極25a、25bからなる容量可変コンデンサをエレメントとして含んでいる。   The tuning frequency fx of the antenna 21 is determined by the inductance L of the antenna coil 21A, the capacitance C1 of the capacitor 21B, and the capacitance Cx between the pair of electrodes 25a and 25b. That is, the antenna 21 includes a variable capacitance capacitor including the pair of electrodes 25a and 25b as an element.

送信回路22は、アンテナ21が図示しないリーダからの電波に同調したときのアンテナ21による受信電力を使用して作動し、識別信号sig.2をアンテナ21から送信する。識別信号sig.2は、粉塵センサ20−1に個別に割り当てられたID情報(ユニーク値)の信号である。   The transmission circuit 22 operates using the received power by the antenna 21 when the antenna 21 is tuned to a radio wave from a reader (not shown), and the identification signal sig. 2 is transmitted from the antenna 21. Identification signal sig. 2 is a signal of ID information (unique value) individually assigned to the dust sensor 20-1.

タグ体23は、長方形の平板状に成形された密閉構造の硬質樹脂ケーシングであり、ケーシング内への水分や外気の侵入を完全に遮断している。   The tag body 23 is a hard resin casing having a sealed structure formed in a rectangular flat plate shape, and completely blocks moisture and outside air from entering the casing.

両電極25a、25bは、タグ体23の凹部26の側面近傍に埋設されている。   Both electrodes 25 a and 25 b are embedded in the vicinity of the side surface of the recess 26 of the tag body 23.

タグ体23の下面には、粘着剤層81が形成されている。粘着剤層81は、剥離シート82で覆われている。剥離シート82は簡単に剥がすことができるようになっている(図86参照)。   An adhesive layer 81 is formed on the lower surface of the tag body 23. The pressure-sensitive adhesive layer 81 is covered with a release sheet 82. The release sheet 82 can be easily peeled off (see FIG. 86).

2−2−2.作用・効果
粉塵センサ20−2は、埃、合成樹脂粉、花粉などの誘電体微粒子Piが発生或いは浸入する空間(被監視空間)における誘電体微粒子Piの発生量や堆積量の監視用に使用される。誘電体微粒子Piが発生する空間の床面などに粉塵センサ20−2を設置しておくと、空間中に浮遊あるいは飛散した誘電体微粒子Piが粉塵センサ20−2の表面に付着するとともに凹部26に浸入する(図41参照)。凹部26に浸入し付着又は堆積した誘電体微粒子Piの影響により粒子検出領域24の誘電率が変化する。その結果、両電極25a、25b間の静電容量Cxが変化する。アンテナ21の同調周波数fxが図示しないリーダからの電波の周波数frと一致すると、当該リーダからの電波をアンテナ21が受
信し始める。そして、アンテナ21による受信電力で送信回路22が作動する。送信回路22が作動することにより、アンテナ21から識別信号sig.2が送信される。
2-2-2. Action / Effect The dust sensor 20-2 is used for monitoring the generation amount and accumulation amount of the dielectric fine particles Pi in the space (monitored space) where the dielectric fine particles Pi such as dust, synthetic resin powder and pollen are generated or infiltrated. Is done. If the dust sensor 20-2 is installed on the floor surface or the like of the space where the dielectric fine particles Pi are generated, the dielectric fine particles Pi floating or scattered in the space adhere to the surface of the dust sensor 20-2 and the recess 26 (See FIG. 41). The dielectric constant of the particle detection region 24 changes due to the influence of the dielectric fine particles Pi that have entered and adhered to or accumulated in the recess 26. As a result, the capacitance Cx between the electrodes 25a and 25b changes. When the tuning frequency fx of the antenna 21 matches the frequency fr of a radio wave from a reader (not shown), the antenna 21 starts to receive the radio wave from the reader. Then, the transmission circuit 22 operates with the received power from the antenna 21. When the transmission circuit 22 is activated, the identification signal sig. 2 is transmitted.

したがって、粉塵センサ20−1からの識別信号sig.2を図示しないリーダで受信できるようにしておき、リーダから所定周波数frの電波を常時又は定期的に送信し、ア
ンテナ21の同調周波数fxがリーダからの送信電波の周波数frと一致したときに粉塵
センサ20−1から送られてくる識別信号sig.2の有無を監視することにより、被監視空間における誘電体微粒子Piの発生量や堆積量が規定値以上になったか否かを知ることができる。この規定値は、誘電体微粒子Piの誘電率、両電極25a、25b相互の間隔、両電極25a、25bの面積などによって概略定められる。
Therefore, the identification signal sig. 2 can be received by a reader (not shown), and a radio wave having a predetermined frequency fr is transmitted from the reader constantly or periodically, and when the tuning frequency fx of the antenna 21 matches the frequency fr of the transmitted radio wave from the reader, The identification signal sig. Sent from the sensor 20-1. By monitoring the presence or absence of 2, it is possible to know whether or not the generation amount and deposition amount of the dielectric fine particles Pi in the monitored space have become equal to or greater than a specified value. The specified value is roughly determined by the dielectric constant of the dielectric fine particles Pi, the distance between the electrodes 25a and 25b, the area of the electrodes 25a and 25b, and the like.

また、識別信号sig.2を受信することにより、粉塵センサ20−1のID情報(ユニーク値)を知ることができるので、複数の粉塵センサ20−1が設置されている場合でも、どの粉塵センサ20からの信号であるかを判別することができる。   Further, the identification signal sig. 2 is received, it is possible to know the ID information (unique value) of the dust sensor 20-1. Therefore, even if a plurality of dust sensors 20-1 are installed, the signal is from any dust sensor 20. Can be determined.

また、この粉塵センサ20−1は、タグ体23の下面に粘着剤層81が形成され、その粘着剤層81が剥離シート82で覆われているので、剥離シート82を剥がせば、図87に示すように、粉塵センサ20−1を被貼着物85に貼り付けて固定することができる。この形態例の場合の被貼着物85の例として、合成樹脂粉、コンクリート破砕粉、穀物粉などの誘電体微粒子が発生する工場や作業現場の床面や壁面、作業者の保安帽、防じんマスクなどを挙げることができる。   Further, in this dust sensor 20-1, since the adhesive layer 81 is formed on the lower surface of the tag body 23 and the adhesive layer 81 is covered with the release sheet 82, if the release sheet 82 is peeled off, FIG. As shown in FIG. 4, the dust sensor 20-1 can be fixed to the adherend 85. As an example of the adherend 85 in the case of this embodiment, the floor and wall surface of a factory or work site where dielectric fine particles such as synthetic resin powder, crushed concrete powder, and grain powder are generated, a worker's safety hat, and a dust mask And so on.

また、凹部26の底部周縁部が断面円弧状の曲面になっているので、凹部26内をクリーニングした際に凹部26の底部周縁部に誘電体微粒子Piなど異物が残留し難い。   In addition, since the bottom peripheral edge of the recess 26 is a curved surface having an arcuate cross section, foreign matters such as dielectric fine particles Pi hardly remain on the bottom peripheral edge of the recess 26 when the inside of the recess 26 is cleaned.

なお、第4及び第5の実施形態では、アンテナ21の同調周波数fxがリーダからの送信電波の周波数frと一致したときに粉塵センサ20から送られてくる識別信号sig.
2の有無を監視することにより、被監視空間における誘電体微粒子Piの発生量や堆積量が規定値以上になったか否かを検知する方式を採用しているが、粉塵センサ20との交信状態が保たれるように、アンテナ21の同調周波数fxに追従させて送信電波の周波数frを変化させる機能を備えたリーダを使用すれば、同調周波数fx(=fr)の変化に基づいて、誘電体微粒子Piの発生量や堆積量の変化を検知することもできる。すなわち、粒子検出領域24に付着又は堆積した誘電体微粒子Piによって両電極25a、25b間の静電容量Cxが変化することにより、アンテナ21から送信される信号の周波数が変化するように構成してもよい。また、両電極25a、25b間の静電容量Cxの変化に応じて、すなわちアンテナ21の同調周波数fxの変化に応じて、識別信号sig.2の内容(値)を送信回路22が能動的に変化させるように構成してもよい。
In the fourth and fifth embodiments, the identification signal sig. Sent from the dust sensor 20 when the tuning frequency fx of the antenna 21 matches the frequency fr of the transmission radio wave from the reader.
2 is used to detect whether the generation amount or deposition amount of the dielectric fine particles Pi in the monitored space has exceeded a specified value, but the communication state with the dust sensor 20 If a reader having a function of changing the frequency fr of the transmission radio wave by following the tuning frequency fx of the antenna 21 is used, a dielectric material is generated based on the change of the tuning frequency fx (= fr). It is also possible to detect changes in the generation amount and deposition amount of the fine particles Pi. That is, the frequency of the signal transmitted from the antenna 21 is changed by changing the electrostatic capacitance Cx between the electrodes 25a and 25b due to the dielectric fine particles Pi adhered or deposited on the particle detection region 24. Also good. Further, the identification signal sig. Is changed according to the change in the capacitance Cx between the electrodes 25a and 25b, that is, according to the change in the tuning frequency fx of the antenna 21. The content (value) of 2 may be configured to be actively changed by the transmission circuit 22.

3.導体微粒子・誘電体粒子検出用センサ(明所用) 3. Conductor fine particle / dielectric particle detection sensor (for light)

3−1.第6の形態例
図42は粉塵センサの更に別の形態例を示す斜視図である。図43は図42に示す粉塵センサの平面図である。図44は図42に示す粉塵センサの側面図である。図45は図42に示す粉塵センサの下面図である。図46は図42に示す粉塵センサの要部断面図である。図47は図42に示す粉塵センサの回路図である。
3-1. Sixth Embodiment FIG. 42 is a perspective view showing still another embodiment of the dust sensor. 43 is a plan view of the dust sensor shown in FIG. FIG. 44 is a side view of the dust sensor shown in FIG. 45 is a bottom view of the dust sensor shown in FIG. 46 is a cross-sectional view of a main part of the dust sensor shown in FIG. 47 is a circuit diagram of the dust sensor shown in FIG.

3−1−1.構成
この粉塵センサ30は、アンテナ31と、アンテナ31から識別信号sig.3を送信する送信回路32と、アンテナ31と送信回路32を一括収容した樹脂製のタグ体33と、タグ体33の表面の検知対象粒子Pが付着する位置に形成された受光窓34と、受光窓34を通して入射する光を検出する受光素子35と、を備えている。
3-1-1. Configuration The dust sensor 30 includes an antenna 31 and an identification signal sig. 3, a resin-made tag body 33 that collectively accommodates the antenna 31 and the transmission circuit 32, a light receiving window 34 formed at a position where the detection target particles P on the surface of the tag body 33 adhere, And a light receiving element 35 for detecting light incident through the light receiving window 34.

アンテナ31の同調周波数f0は、アンテナコイル31AのインダクタンスL1とコン
デンサ31Bの容量C1によって定まる。
The tuning frequency f0 of the antenna 31 is determined by the inductance L1 of the antenna coil 31A and the capacitance C1 of the capacitor 31B.

タグ体33は、長方形の平板状に成形された密閉構造の硬質樹脂ケーシングであり、ケーシング内への水分や外気の侵入を完全に遮断している。   The tag body 33 is a hard resin casing having a sealed structure formed into a rectangular flat plate shape, and completely blocks moisture and outside air from entering the casing.

受光窓34は、タグ体33の表面に矩形状に開口している。受光窓34は、光を良好に透過する透明樹脂板36によって気密に閉塞されている。   The light receiving window 34 opens in a rectangular shape on the surface of the tag body 33. The light receiving window 34 is hermetically closed by a transparent resin plate 36 that transmits light well.

受光素子35は、その受光面を受光窓34を通して外部に臨ませた状態でタグ体33内に収容され保持されている。受光素子35の出力は送信回路32に入力される。   The light receiving element 35 is accommodated and held in the tag body 33 with its light receiving surface facing outside through the light receiving window 34. The output of the light receiving element 35 is input to the transmission circuit 32.

送信回路32は、アンテナ31による受信電力を使用して作動する。そして、受光素子35の出力が所定のレベル以上のときに識別信号sig.3をアンテナ31から送信する。識別信号sig.3は、粉塵センサ31に個別に割り当てられたID情報(ユニーク値)を示す信号である。   The transmission circuit 32 operates using the received power from the antenna 31. When the output of the light receiving element 35 is equal to or higher than a predetermined level, the identification signal sig. 3 is transmitted from the antenna 31. Identification signal sig. 3 is a signal indicating ID information (unique value) individually assigned to the dust sensor 31.

タグ体33の下面には、粘着剤層81が形成されている。粘着剤層81は、剥離シート82で覆われている。剥離シート82は簡単に剥がすことができるようになっている(図86参照)。   An adhesive layer 81 is formed on the lower surface of the tag body 33. The pressure-sensitive adhesive layer 81 is covered with a release sheet 82. The release sheet 82 can be easily peeled off (see FIG. 86).

3−3−2.作用・効果
粉塵センサ30は、検知対象粒子(金属微粒子、誘電体微粒子)Pが発生或いは浸入する空間(被監視空間)における検知対象粒子Pの発生量や堆積量の監視用に使用されるものであり、自然光や照明光によって明るく照らされた場所に設置して使用されるものである。自然光や照明光によって明るく照らされた場所に粉塵センサ30を設置すると、受光窓34を通して受光素子35に光が入射する。受光素子35は、その入射光を受光し、その受光量に応じたレベルの電力を出力する。図示しないリーダからの電波をアンテナ31が受信すると、その受信電力により送信回路32が作動する。送信回路32は、受光素子35の出力レベルが所定の値(しきい値)以上であれば、識別信号sig.3をアンテナ31から送信する。すなわち、この粉塵センサ30は、図示しないリーダからの電波をアンテナ31が受信しており且つ受光素子35の出力レベルが所定の値以上である限り、識別信号sig.3を送信し続ける。
3-3-2. Action / Effect The dust sensor 30 is used for monitoring the generation amount and accumulation amount of the detection target particles P in a space (monitored space) where the detection target particles (metal fine particles, dielectric fine particles) P are generated or enter. It is installed and used in a place that is brightly illuminated by natural light or illumination light. When the dust sensor 30 is installed in a place that is brightly illuminated by natural light or illumination light, light enters the light receiving element 35 through the light receiving window 34. The light receiving element 35 receives the incident light, and outputs power at a level corresponding to the amount of received light. When the antenna 31 receives radio waves from a reader (not shown), the transmission circuit 32 is activated by the received power. If the output level of the light receiving element 35 is equal to or higher than a predetermined value (threshold value), the transmission circuit 32 determines the identification signal sig. 3 is transmitted from the antenna 31. That is, as long as the antenna 31 receives radio waves from a reader (not shown) and the output level of the light receiving element 35 is equal to or higher than a predetermined value, the dust sensor 30 has the identification signal sig. Continue to send 3.

この粉塵センサ30を検知対象粒子Pが発生する空間の床面などに粉塵センサ30を設置しておくと、空間中に浮遊あるいは飛散した検知対象粒子Pが粉塵センサ30の表面に付着又は堆積する。検知対象粒子Pは受光窓34の透明樹脂板36の上にも付着又は堆積する(図48)。その結果、受光素子35への入射光量が減少し、それに伴って受光素子35の出力レベルも低下する。そして、受光素子35の出力レベルが所定の値未満になると、送信回路32は識別信号sig.3の送信を停止する。   When the dust sensor 30 is installed on the floor surface of the space where the detection target particles P are generated, the detection target particles P floating or scattered in the space adhere to or accumulate on the surface of the dust sensor 30. . The detection target particles P also adhere or deposit on the transparent resin plate 36 of the light receiving window 34 (FIG. 48). As a result, the amount of light incident on the light receiving element 35 decreases, and the output level of the light receiving element 35 also decreases accordingly. When the output level of the light receiving element 35 becomes less than a predetermined value, the transmission circuit 32 detects the identification signal sig. 3 transmission is stopped.

したがって、この粉塵センサ30によれば、これを自然光や照明光によって明るく照らされた場所に設置し、粉塵センサ30からの識別信号sig.3の有無を監視することにより、被監視空間における検知対象粒子Pの発生量や堆積量が規定値以上になったか否かを知ることができる。すなわち、粉塵センサ30から識別信号sig.3の送信がなされていれば、被監視空間における検知対象粒子Pの発生量や堆積量が規定値未満であると判断できる。一方、リーダから所定周波数f0の電波を送信しているにも拘わらず、粉塵セ
ンサ30から識別信号sig.3が送信されてこなくなったら、被監視空間における検知対象粒子Pの発生量や堆積量が規定値以上になったと判断できる。
Therefore, according to the dust sensor 30, the dust sensor 30 is installed in a place brightly illuminated by natural light or illumination light, and the identification signal sig. By monitoring the presence or absence of 3, it is possible to know whether or not the generation amount and the deposition amount of the detection target particles P in the monitored space are equal to or greater than a specified value. That is, the identification signal sig. If 3 is transmitted, it can be determined that the generation amount and accumulation amount of the detection target particles P in the monitored space are less than the specified value. On the other hand, although the radio wave of the predetermined frequency f0 is transmitted from the reader, the identification signal sig. If 3 is not transmitted, it can be determined that the generation amount and deposition amount of the detection target particles P in the monitored space have become equal to or greater than the specified value.

また、識別信号sig.3を受信することにより、粉塵センサ30のID情報(ユニーク値)を知ることができるので、複数の粉塵センサ30が設置されている場合でも、どの粉塵センサ30からの信号であるかを判別することができる。   Further, the identification signal sig. 3 is received, the ID information (unique value) of the dust sensor 30 can be known, so even if a plurality of dust sensors 30 are installed, it is determined which dust sensor 30 the signal is from. be able to.

また、この粉塵センサ30は、タグ体33の下面に粘着剤層81が形成され、その粘着剤層81が剥離シート82で覆われているので、剥離シート82を剥がせば、図87に示すように、粉塵センサ20−1を被貼着物85に貼り付けて固定することができる。この形態例の場合の被貼着物85の例として、導体微粒子や誘電体微粒子が発生又は浸入する工場や作業現場の床面や壁面などを挙げることができる。   In addition, since the adhesive layer 81 is formed on the lower surface of the tag body 33 and the adhesive layer 81 is covered with the release sheet 82, the dust sensor 30 is shown in FIG. 87 if the release sheet 82 is peeled off. As described above, the dust sensor 20-1 can be attached and fixed to the adherend 85. As an example of the adherend 85 in the case of this embodiment, a floor surface or a wall surface of a factory or work site where conductor fine particles or dielectric fine particles are generated or permeate can be exemplified.

なお、上記実施形態では、受光素子35の出力レベルが所定の値以上のときに識別信号sig.3が送信され、出力レベルが所定の値未満になったら識別信号sig.3の送信が停止される構成としたが、これとは逆に、受光素子35の出力レベルが所定の値以上のときは識別信号sig.3が送信されず、出力レベルが所定の値未満になったら識別信号sig.3が送信される構成としてもよい。後者の構成によれば、粉塵センサ30からの識別信号sig.3を受信することにより検知対象粒子Pの発生量が規定値以上になったことを知ることができる。   In the above embodiment, when the output level of the light receiving element 35 is equal to or higher than a predetermined value, the identification signal sig. 3 is transmitted, and the identification signal sig. 3 is stopped. On the contrary, when the output level of the light receiving element 35 is equal to or higher than a predetermined value, the identification signal sig. 3 is not transmitted, and the identification signal sig. 3 may be transmitted. According to the latter configuration, the identification signal sig. 3 is received, it can be known that the generation amount of the detection target particles P has exceeded the specified value.

また、受光素子35の出力に応じてアンテナ31から送信される識別信号sig.3の周波数や強度を変化させるように構成してもよい。このように構成すれば、粉塵センサ30から送信された識別信号sig.3の周波数や強度に基づいて検知対象粒子Pの発生量を知ることができる。   Further, the identification signal sig. Transmitted from the antenna 31 according to the output of the light receiving element 35. You may comprise so that the frequency and intensity | strength of 3 may be changed. With this configuration, the identification signal sig. The generation amount of the detection target particle P can be known based on the frequency and intensity of No. 3.

また、受光素子35として太陽電池を使用すれば、受光素子35の出力によって送信回路32を駆動することも可能である。この場合、受光素子35に十分な光量の光が入射している間は粉塵センサ30から識別信号sig.3が送信され続ける。そして、受光素子35への入射光量が低下し、受光素子35の出力が不十分になったら送信回路32が作動を停止するため、粉塵センサ30から識別信号sig.3が送信されなくなる。したがって、粉塵センサ30から識別信号sig.3が送信されてこなくなったら、被監視空間における検知対象粒子Pの発生量や堆積量が規定値以上になったと判断できる。   If a solar cell is used as the light receiving element 35, the transmission circuit 32 can be driven by the output of the light receiving element 35. In this case, while a sufficient amount of light is incident on the light receiving element 35, the identification signal sig. 3 continues to be transmitted. Then, when the amount of light incident on the light receiving element 35 decreases and the output of the light receiving element 35 becomes insufficient, the transmission circuit 32 stops operating, so the identification signal sig. 3 is not transmitted. Therefore, the identification signal sig. If 3 is not transmitted, it can be determined that the generation amount and deposition amount of the detection target particles P in the monitored space have become equal to or greater than the specified value.

4.導体微粒子・誘電体粒子検出用センサ(暗所用) 4). Sensor for detecting conductive fine particles and dielectric particles (for dark places)

4−1.第7の形態例
図49は粉塵センサの更に別の形態例を示す斜視図である。図50は図49に示す粉塵センサの平面図である。図51は図49に示す粉塵センサの側面図である。図52は図49に示す粉塵センサの下面図である。図53は図49に示す粉塵センサの要部断面図である。図54は図49に示す粉塵センサの回路図である。
4-1. Seventh Embodiment FIG. 49 is a perspective view showing still another embodiment of the dust sensor. 50 is a plan view of the dust sensor shown in FIG. FIG. 51 is a side view of the dust sensor shown in FIG. FIG. 52 is a bottom view of the dust sensor shown in FIG. 53 is a cross-sectional view of a principal part of the dust sensor shown in FIG. FIG. 54 is a circuit diagram of the dust sensor shown in FIG.

4−1−1.構成
この粉塵センサ40は、アンテナ41と、アンテナ41から識別信号sig.4を送信する送信回路42と、アンテナ41と送信回路42を一括収容した樹脂製のタグ体43と、タグ体43の検知対象粒子Pが付着する位置に固定して設けられ且つ所定の出力で発光する発光素子44と、タグ体43の検知対象粒子Pが付着する位置に固定して設けられ且つ発光素子44からの光を受光する受光素子45と、を備えている。
4-1-1. Configuration The dust sensor 40 includes an antenna 41 and an identification signal sig. 4, a resin-made tag body 43 that collectively accommodates the antenna 41 and the transmission circuit 42, and a position at which the detection target particles P of the tag body 43 are fixed and provided at a predetermined output. A light emitting element 44 that emits light, and a light receiving element 45 that is fixedly provided at a position where the detection target particle P of the tag body 43 adheres and receives light from the light emitting element 44 are provided.

アンテナ41の同調周波数f0は、アンテナコイル41AのインダクタンスL1とコン
デンサ41Bの容量C1によって定まる。
The tuning frequency f0 of the antenna 41 is determined by the inductance L1 of the antenna coil 41A and the capacitance C1 of the capacitor 41B.

タグ体43は、長方形の平板状に成形された密閉構造の硬質樹脂ケーシングであり、ケーシング内への水分や外気の侵入を完全に遮断している。   The tag body 43 is a hard resin casing having a sealed structure formed into a rectangular flat plate shape, and completely blocks moisture and outside air from entering the casing.

タグ体43の表面(上面)部には矩形状の凹部46が形成されている。この凹部46の隙間を隔てて、発光素子44と受光素子45とが互いに対向して配置されている。   A rectangular recess 46 is formed on the surface (upper surface) of the tag body 43. The light emitting element 44 and the light receiving element 45 are arranged to face each other across the gap of the recess 46.

発光素子44は、送信回路42内の図示しない駆動回路によって駆動され、特定の波長の光を発する。受光素子45は、発光素子44からの光を受光し直流電力を出力する。受光素子45の出力は送信回路42に入力される。   The light emitting element 44 is driven by a drive circuit (not shown) in the transmission circuit 42 and emits light of a specific wavelength. The light receiving element 45 receives light from the light emitting element 44 and outputs DC power. The output of the light receiving element 45 is input to the transmission circuit 42.

送信回路42は、図示しないバッテリを内蔵しており、そのバッテリの電力で発光素子44を駆動(発光)させるとともに受光素子45の出力を監視する。そして、受光素子45の出力が所定のレベル未満のときに識別信号sig.4をアンテナ41から送信する。識別信号sig.4は、粉塵センサ41に個別に割り当てられたID情報(ユニーク値)を示す信号である。   The transmission circuit 42 incorporates a battery (not shown), drives the light emitting element 44 (emits light) with the power of the battery, and monitors the output of the light receiving element 45. When the output of the light receiving element 45 is less than a predetermined level, the identification signal sig. 4 is transmitted from the antenna 41. Identification signal sig. 4 is a signal indicating ID information (unique value) individually assigned to the dust sensor 41.

タグ体43の下面には、粘着剤層81が形成されている。粘着剤層81は、剥離シート82で覆われている。剥離シート82は簡単に剥がすことができるようになっている(図86参照)。
4−1−2.作用・効果
粉塵センサ40は、検知対象粒子(金属微粒子、誘電体微粒子)Pが発生或いは浸入する空間(被監視空間)における検知対象粒子Pの発生量や堆積量の監視用に使用されるものであり、主として暗所に設置して使用されるものである。発光素子44の発光波長の光が入射しない場所であれば明るい場所でも使用可能である。受光素子45は、発光素子44からの光を受光し、その受光量に応じたレベルの電力を出力する。送信回路42は、受光素子45の出力レベルが所定の値(しきい値)以上であれば送信動作は行わない。
An adhesive layer 81 is formed on the lower surface of the tag body 43. The pressure-sensitive adhesive layer 81 is covered with a release sheet 82. The release sheet 82 can be easily peeled off (see FIG. 86).
4-1-2. Action / Effect The dust sensor 40 is used for monitoring the generation amount and accumulation amount of the detection target particle P in a space (monitored space) where the detection target particle (metal fine particle, dielectric fine particle) P is generated or enters. It is mainly used in a dark place. The light-emitting element 44 can be used in a bright place as long as the light having the emission wavelength is not incident. The light receiving element 45 receives light from the light emitting element 44 and outputs power at a level corresponding to the amount of light received. The transmission circuit 42 does not perform the transmission operation if the output level of the light receiving element 45 is equal to or higher than a predetermined value (threshold value).

この粉塵センサ40を検知対象粒子Pが発生する空間の床面などに設置しておくと、空間中に浮遊あるいは飛散した検知対象粒子Pが粉塵センサ40の凹部46に浸入する。そして、凹部46内に堆積した或いは凹部46の側面に付着した検知対象粒子Pによって発光素子44の光が遮られはじめると(図55)、それに伴って受光素子45の出力レベルが低下する。送信回路42は、受光素子45の出力レベルが所定の値未満になったら、識別信号sig.4をアンテナ41から送信する。   If the dust sensor 40 is installed on the floor surface of the space where the detection target particles P are generated, the detection target particles P floating or scattered in the space enter the recess 46 of the dust sensor 40. And if the light of the light emitting element 44 begins to be interrupted by the detection target particle P deposited in the concave portion 46 or attached to the side surface of the concave portion 46 (FIG. 55), the output level of the light receiving element 45 decreases accordingly. When the output level of the light receiving element 45 becomes less than a predetermined value, the transmission circuit 42 determines the identification signal sig. 4 is transmitted from the antenna 41.

したがって、この粉塵センサ40によれば、識別信号sig.4の有無を監視することにより、被監視空間における検知対象粒子Pの発生量や堆積量が規定値以上になったか否かを知ることができる。すなわち、粉塵センサ40から識別信号sig.4が送信されてこなければ、被監視空間における検知対象粒子Pの発生量や堆積量が規定値未満であると判断できる。一方、粉塵センサ40から識別信号sig.4が送信されてきたら、被監視空間における検知対象粒子Pの発生量や堆積量が規定値以上になったと判断できる。   Therefore, according to the dust sensor 40, the identification signal sig. By monitoring the presence or absence of 4, it is possible to know whether or not the generation amount and the deposition amount of the detection target particles P in the monitored space are equal to or greater than a specified value. That is, the identification signal sig. If 4 is not transmitted, it can be determined that the generation amount and deposition amount of the detection target particles P in the monitored space are less than the specified value. On the other hand, the identification signal sig. If 4 is transmitted, it can be determined that the generation amount and the accumulation amount of the detection target particles P in the monitored space have become equal to or greater than a specified value.

また、識別信号sig.4を受信することにより、粉塵センサ40のID情報(ユニーク値)を知ることができるので、複数の粉塵センサ40が設置されている場合でも、どの粉塵センサ40からの信号であるかを判別することができる。   Further, the identification signal sig. 4 is received, it is possible to know the ID information (unique value) of the dust sensor 40, so even if a plurality of dust sensors 40 are installed, it is determined which dust sensor 40 is the signal from. be able to.

また、この粉塵センサ40は、タグ体43の下面に粘着剤層81が形成され、その粘着剤層81が剥離シート82で覆われているので、剥離シート82を剥がせば、図87に示すように、粉塵センサ40を被貼着物85に貼り付けて固定することができる。この形態例の場合の被貼着物85の例として、導体微粒子や誘電体微粒子が発生又は浸入する工場や作業現場の床面や壁面などを挙げることができる。   Further, in the dust sensor 40, since the adhesive layer 81 is formed on the lower surface of the tag body 43 and the adhesive layer 81 is covered with the release sheet 82, the release sheet 82 is shown in FIG. As described above, the dust sensor 40 can be attached and fixed to the adherend 85. As an example of the adherend 85 in the case of this embodiment, a floor surface or a wall surface of a factory or work site where conductor fine particles or dielectric fine particles are generated or permeate can be exemplified.

なお、上記実施形態では、受光素子45の出力レベルが所定の値未満のときに識別信号sig.4が送信される構成としたが、これとは逆に、受光素子45の出力レベルが所定の値以上のときに識別信号sig.4が送信され、出力レベルが所定の値未満になったら識別信号sig.4の送信が停止される構成としてもよい。後者の構成によれば、粉塵センサ40からの識別信号sig.4が送られてこなくなることにより、検知対象粒子Pの発生量が規定値以上になったことを知ることができる。   In the above embodiment, when the output level of the light receiving element 45 is less than a predetermined value, the identification signal sig. 4 is transmitted. On the contrary, when the output level of the light receiving element 45 is equal to or higher than a predetermined value, the identification signal sig. 4 is transmitted, and the identification signal sig. The transmission of 4 may be stopped. According to the latter configuration, the identification signal sig. When 4 is not sent, it can be known that the generation amount of the detection target particles P has exceeded the specified value.

また、受光素子45の出力に応じてアンテナ41から送信される識別信号sig.4の周波数や強度を変化させるように構成してもよい。このように構成すれば、粉塵センサ40から送信された識別信号sig.4の周波数や強度に基づいて検知対象粒子Pの発生量を知ることができる。   Further, the identification signal sig. Transmitted from the antenna 41 in accordance with the output of the light receiving element 45. You may comprise so that the frequency and intensity | strength of 4 may be changed. With this configuration, the identification signal sig. The generation amount of the detection target particle P can be known based on the frequency and intensity of No. 4.

また、図56に示すように、発光素子44と受光素子45の対を凹部46の深さ方向に離間させて二対配置し、各対の受光素子45の出力レベルに応じて、第の実施形態と同様に2種類の識別信号(sig.4−1、sig.4−2)がアンテナ41から送信されるように構成しておけば、被監視空間における導体微粒子Pcの発生量や堆積量が規定値以上になったか否かを段階的(この例では、未発生(或いは発生量極小)、発生量小、発生量大の3段階)に知ることができる。   Further, as shown in FIG. 56, two pairs of the light emitting element 44 and the light receiving element 45 are arranged apart from each other in the depth direction of the concave portion 46, and the first implementation is performed according to the output level of each pair of the light receiving elements 45. If the configuration is such that two types of identification signals (sig.4-1, sig.4-2) are transmitted from the antenna 41 as in the embodiment, the generation amount and deposition amount of the conductive fine particles Pc in the monitored space Can be known in a stepwise manner (in this example, three stages of non-occurrence (or generation amount minimum), generation amount small and generation amount large).

5.油センサ 5. Oil sensor

5−1.第8の形態例
図57は本発明の無線タグ型油センサ(以下、単に油センサと記す。)の形態例を示す斜視図である。図58は図57に示す油センサの平面図である。図59は図57に示す油センサの側面図である。図60は図57に示す油センサの下面図である。図61は図57に示す油センサの要部断面図である。図62は図57に示す油センサの回路図である。
5-1. Eighth Embodiment FIG. 57 is a perspective view showing an embodiment of a wireless tag type oil sensor (hereinafter simply referred to as an oil sensor) of the present invention. 58 is a plan view of the oil sensor shown in FIG. 59 is a side view of the oil sensor shown in FIG. 60 is a bottom view of the oil sensor shown in FIG. 61 is a cross-sectional view of a principal part of the oil sensor shown in FIG. 62 is a circuit diagram of the oil sensor shown in FIG.

5−1−1.構成
この油センサ50は、アンテナ51と、アンテナ51から識別信号sig.5を送信する送信回路52と、送信回路52を一括収容した樹脂製のタグ体53と、タグ体53の表面の一部に形成された凹部56の内面又は内部空間であって検知対象である油分(Oil)が浸入する油分検出領域54と、油分検出領域54を挟んで対向配置された一対の電極55a、55bと、を備えている。凹部56の底部周縁部は断面円弧状の曲面になっている。
5-1-1. Configuration The oil sensor 50 includes an antenna 51 and an identification signal sig. 5 is a transmission circuit 52 for transmitting 5, a resin-made tag body 53 that collectively accommodates the transmission circuit 52, and an inner surface or an internal space of a recess 56 formed in a part of the surface of the tag body 53, and is a detection target. An oil content detection region 54 into which oil (Oil) enters, and a pair of electrodes 55a and 55b disposed to face each other with the oil content detection region 54 interposed therebetween. The bottom peripheral edge of the recess 56 is a curved surface having an arcuate cross section.

両電極55a、55b相互の間隔は、油分検出領域54に油分(Oil)が浸入したときに、両電極55a、55b間の静電容量Cxが変化する大きさに選定されている。   The distance between the electrodes 55a and 55b is selected such that the capacitance Cx between the electrodes 55a and 55b changes when the oil component (Oil) enters the oil component detection region 54.

アンテナ51の同調周波数fxは、アンテナコイル51AのインダクタンスLとコンデンサ51Bの容量C1と上記一対の電極55a、55b間の静電容量Cxによって定まる。すなわち、このアンテナ51は、上記一対の電極55a、55bからなる容量可変コンデンサをエレメントとして含んでいる。   The tuning frequency fx of the antenna 51 is determined by the inductance L of the antenna coil 51A, the capacitance C1 of the capacitor 51B, and the capacitance Cx between the pair of electrodes 55a and 55b. That is, the antenna 51 includes a variable capacitance capacitor including the pair of electrodes 55a and 55b as an element.

送信回路52は、アンテナ51が図示しないリーダからの電波に同調したときのアンテナ51による受信電力を使用して作動し、識別信号sig.5をアンテナ51から送信する。識別信号sig.5は、油センサ50に個別に割り当てられたID情報(ユニーク値)の信号である。   The transmission circuit 52 operates using the received power by the antenna 51 when the antenna 51 is tuned to a radio wave from a reader (not shown), and the identification signal sig. 5 is transmitted from the antenna 51. Identification signal sig. Reference numeral 5 denotes a signal of ID information (unique value) individually assigned to the oil sensor 50.

タグ体53は、長方形の平板状に成形された密閉構造の硬質樹脂ケーシングであり、ケーシング内への水分や外気の侵入を完全に遮断している。   The tag body 53 is a hard resin casing having a sealed structure formed into a rectangular flat plate shape, and completely blocks moisture and outside air from entering the casing.

両電極55a、55bは、タグ体53の凹部56の側面近傍に埋設されている。   Both electrodes 55 a and 55 b are embedded in the vicinity of the side surface of the recess 56 of the tag body 53.

タグ体53の下面には、粘着剤層81が形成されている。粘着剤層81は、剥離シート82で覆われている。剥離シート82は簡単に剥がすことができるようになっている(図86参照)。   An adhesive layer 81 is formed on the lower surface of the tag body 53. The pressure-sensitive adhesive layer 81 is covered with a release sheet 82. The release sheet 82 can be easily peeled off (see FIG. 86).

5−1−2.作用・効果
油センサ50は、油微粒子が発生或いは浸入したり油漏れが発生したりする可能性のある空間(被監視空間)における油分(Oil)の発生量や油分(Oil)による汚染量の監視用に使用される。油微粒子が浮遊あるいは飛散する空間の床面などに油センサ50を設置しておくと、油分(Oil)が油センサ50の表面に付着するとともに凹部56に浸入する(図63参照)。凹部56に浸入した油分(Oil)の影響により油分検出領域54の誘電率が変化する。その結果、両電極55a、55b間の静電容量Cxが変化する。アンテナ51の同調周波数fxが図示しないリーダからの電波の周波数frと一致すると
、当該リーダからの電波をアンテナ51が受信し始める。そして、アンテナ51による受信電力で送信回路52が作動する。送信回路52が作動することにより、アンテナ51から識別信号sig.5が送信される。
5-1-2. Actions / Effects The oil sensor 50 is capable of measuring the amount of oil (Oil) generated and the amount of contamination due to oil (Oil) in the space (monitored space) where oil particulates may be generated or infiltrated or oil leakage may occur. Used for monitoring. If the oil sensor 50 is installed on the floor surface of a space where oil fine particles float or scatter, oil (Oil) adheres to the surface of the oil sensor 50 and enters the recess 56 (see FIG. 63). The dielectric constant of the oil detection region 54 changes due to the influence of oil (Oil) that has entered the recess 56. As a result, the capacitance Cx between the electrodes 55a and 55b changes. When the tuning frequency fx of the antenna 51 matches the frequency fr of a radio wave from a reader (not shown), the antenna 51 starts to receive the radio wave from the reader. Then, the transmission circuit 52 operates with the received power from the antenna 51. When the transmission circuit 52 operates, the identification signal sig. 5 is transmitted.

したがって、油センサ50からの識別信号sig.5を図示しないリーダで受信できるようにしておき、リーダから所定周波数frの電波を常時又は定期的に送信し、アンテナ
51の同調周波数fxがリーダからの送信電波の周波数frと一致したときに油センサ5
0から送られてくる識別信号sig.5の有無を監視することにより、被監視空間における油分(Oil)の発生量や油分(Oil)による汚染量が規定値以上になったか否かを知ることができる。この規定値は、油分(Oil)の誘電率、両電極55a、55b相互の間隔、両電極55a、55bの面積などによって概略定められる。
Therefore, the identification signal sig. 5 is received by a reader (not shown), and a radio wave of a predetermined frequency fr is transmitted from the reader constantly or periodically, and when the tuning frequency fx of the antenna 51 matches the frequency fr of the radio wave transmitted from the reader, Sensor 5
Identification signal sig. By monitoring the presence or absence of 5, it is possible to know whether or not the amount of oil (Oil) generated in the monitored space and the amount of contamination due to oil (Oil) have exceeded a specified value. This specified value is roughly determined by the dielectric constant of oil (Oil), the distance between the electrodes 55a and 55b, the area of the electrodes 55a and 55b, and the like.

また、識別信号sig.5を受信することにより、油センサ50のID情報(ユニーク値)を知ることができるので、複数の油センサ50が設置されている場合でも、どの油センサ50からの信号であるかを判別することができる。   Further, the identification signal sig. 5 is received, it is possible to know the ID information (unique value) of the oil sensor 50, so even if a plurality of oil sensors 50 are installed, it is determined which oil sensor 50 the signal is from. be able to.

また、この油センサ50は、タグ体53の下面に粘着剤層81が形成され、その粘着剤層81が剥離シート82で覆われているので、剥離シート82を剥がせば、図87に示すように、油センサ50を被貼着物85に貼り付けて固定することができる。この形態例の場合の被貼着物85の例として、食品工場や厨房の床面や壁面などを挙げることができる。   Also, in this oil sensor 50, since the adhesive layer 81 is formed on the lower surface of the tag body 53 and the adhesive layer 81 is covered with the release sheet 82, the release sheet 82 is shown in FIG. As described above, the oil sensor 50 can be attached and fixed to the adherend 85. As an example of the adherend 85 in the case of this form example, a floor surface or a wall surface of a food factory or a kitchen can be mentioned.

また、凹部56の底部周縁部が断面円弧状の曲面になっているので、凹部56内をクリーニングした際に凹部56の底部周縁部に油分(Oil)など異物が残留し難い。   Further, since the bottom peripheral edge of the recess 56 has a curved surface with an arcuate cross section, it is difficult for foreign matter such as oil to remain on the bottom peripheral edge of the recess 56 when the inside of the recess 56 is cleaned.

なお、第8の実施形態では、アンテナ51の同調周波数fxがリーダからの送信電波の周波数frと一致したときに油センサ50から送られてくる識別信号sig.5の有無を
監視することにより、被監視空間における油分(Oil)の発生量や油分(Oil)による汚染量が規定値以上になったか否かを検知する方式を採用しているが、油センサ50との交信状態が保たれるように、アンテナ51の同調周波数fxに追従させて送信電波の周波数frを変化させる機能を備えたリーダを使用すれば、同調周波数fx(=fr)の変化に基づいて、油分(Oil)の発生量や油分(Oil)による汚染量の変化を検知することもできる。すなわち、油分検出領域54に付着又は溜まった油分(Oil)によって両電極55a、55b間の静電容量Cxが変化することにより、アンテナ51から送信される信号の周波数が変化するように構成してもよい。また、両電極55a、55b間の静電容量Cxの変化に応じて、すなわちアンテナ51の同調周波数fxの変化に応じて、識別信号sig.5の内容(値)を送信回路52が能動的に変化させるように構成してもよい。
In the eighth embodiment, the identification signal sig. Is sent from the oil sensor 50 when the tuning frequency fx of the antenna 51 matches the frequency fr of the transmission radio wave from the reader. The oil sensor is used to detect whether the amount of oil (Oil) generated in the monitored space and the amount of contamination due to oil (Oil) exceed the specified value by monitoring the presence or absence of 5 If a reader having a function of changing the frequency fr of the transmission radio wave is made to follow the tuning frequency fx of the antenna 51 so that the communication state with 50 is maintained, the tuning frequency fx (= fr) can be changed. Based on this, it is also possible to detect changes in the amount of oil (Oil) generated and the amount of contamination due to oil (Oil). That is, the frequency of the signal transmitted from the antenna 51 is changed by changing the capacitance Cx between the electrodes 55a and 55b due to the oil (Oil) attached or accumulated in the oil detection region 54. Also good. The identification signal sig. Is changed according to the change in the capacitance Cx between the electrodes 55a and 55b, that is, according to the change in the tuning frequency fx of the antenna 51. The transmission circuit 52 may actively change the content (value) of 5.

6.無線タグ型ガスセンサ 6). Wireless tag type gas sensor

6−1.第9の形態例
図64は本発明の無線タグ型ガスセンサ(以下、単にガスセンサと記す。)の形態例を示す斜視図である。図65は図64に示すガスセンサの平面図である。図66は図64に示すガスセンサの側面図である。図67は図64に示すガスセンサの下面図である。図68は図64に示すガスセンサの要部透視平面図である。図69は図68のA−A断面図である。図70は図68のB−B断面図である。図71は図64に示すガスセンサの回路図である。
6-1. Ninth Embodiment FIG. 64 is a perspective view showing an embodiment of a wireless tag type gas sensor (hereinafter simply referred to as a gas sensor) of the present invention. FIG. 65 is a plan view of the gas sensor shown in FIG. 66 is a side view of the gas sensor shown in FIG. FIG. 67 is a bottom view of the gas sensor shown in FIG. FIG. 68 is a perspective plan view of the main part of the gas sensor shown in FIG. 69 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. 70 is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG. 71 is a circuit diagram of the gas sensor shown in FIG.

6−1−1.構成
このガスセンサ60−1は、二つのアンテナ61−1、61−2と、アンテナ61−1、61−2から識別信号sig.1−1、sig.1−2を送信する送信回路62と、アンテナ61−1、61−2と送信回路62を一括収容した樹脂製のタグ体63と、タグ体63から露出した第1感応部68−1と、第1感応部68−1に覆われた第2感応部68−2と、を備えている。第2感応部68−2と外気との接触は第1感応部68−1によって阻止されている。
6-1-1. Configuration The gas sensor 60-1 includes two antennas 61-1 and 61-2 and identification signals sig. 1-1, sig. A transmission circuit 62 for transmitting 1-2, a resin tag body 63 that collectively accommodates the antennas 61-1, 61-2 and the transmission circuit 62, a first sensitive portion 68-1 exposed from the tag body 63, And a second sensitive part 68-2 covered with the first sensitive part 68-1. Contact between the second sensitive portion 68-2 and the outside air is blocked by the first sensitive portion 68-1.

第1感応部68−1は、Fe薄膜66からなる。第1感応部68−1は、第1のアンテナ61−1の回路の途中に設けられた一対の電極65−1a、65−1b間に掛け渡して設けられることにより、第1のアンテナ61−1の回路の一部をなしている。第1感応部68−1の表面とタグ体63の表面は互いに同一平面をなしている。第1感応部68−1の厚さは数nmから数μmの範囲から選定される。第1感応部68−1を構成するFe薄膜66の厚さを5nm以上に選定する場合、Fe薄膜66として貫通孔のないポーラス状のFe薄膜が使用される。   The first sensitive part 68-1 is made of an Fe thin film 66. The first sensitive unit 68-1 is provided across a pair of electrodes 65-1a and 65-1b provided in the middle of the circuit of the first antenna 61-1, so that the first antenna 61- 1 part of the circuit. The surface of the first sensitive part 68-1 and the surface of the tag body 63 are flush with each other. The thickness of the first sensitive part 68-1 is selected from the range of several nm to several μm. When the thickness of the Fe thin film 66 constituting the first sensitive part 68-1 is selected to be 5 nm or more, a porous Fe thin film without through holes is used as the Fe thin film 66.

第2感応部68−2は、第1感応部68−1と交差(この例では直交)させて且つ互いに離間させて並行に設けられた複数本(この例では4本)の帯状のFe薄膜67からなる。第2感応部68−1は、第2のアンテナ61−2の回路の途中に設けられた一対の電極65−2a、65−2b間に掛け渡して設けられることにより、第2のアンテナ61−2の回路の一部をなしている。第2感応部68−2と第1感応部68−1は互いに重なり合った状態で密に接触している。第2感応部68−2を構成するFe薄膜67の厚さは数nmから数mmの範囲から選定される。第2感応部68−2を構成するFe薄膜67の厚さを5nm以上に選定する場合、Fe薄膜67としてポーラス状の薄膜やメッシュ状のFe薄膜が使用される。これらに代えて、Fe繊維からなる不織布の薄膜を使用することも可能である。第2感応部68−1の両端に位置する一対の電極65−2a、65−2bの対向方向と第1感応部68−1の両端に位置する一対の電極65−1a、65−1bの対向方向は互いに直交している。   The second sensitive portion 68-2 intersects with the first sensitive portion 68-1 (in this example, orthogonal) and is spaced apart from each other and provided in parallel (in this example, four) strip-shaped Fe thin films. 67. The second sensing unit 68-1 is provided across a pair of electrodes 65-2a and 65-2b provided in the middle of the circuit of the second antenna 61-2, whereby the second antenna 61-. 2 is part of the circuit. The second sensitive part 68-2 and the first sensitive part 68-1 are in close contact with each other in an overlapping state. The thickness of the Fe thin film 67 constituting the second sensitive part 68-2 is selected from the range of several nm to several mm. When the thickness of the Fe thin film 67 constituting the second sensitive part 68-2 is selected to be 5 nm or more, a porous thin film or a mesh Fe thin film is used as the Fe thin film 67. Instead of these, it is also possible to use a thin film of non-woven fabric made of Fe fibers. The opposing direction of the pair of electrodes 65-2a and 65-2b located at both ends of the second sensitive portion 68-1 and the opposing direction of the pair of electrodes 65-1a and 65-1b located at both ends of the first sensitive portion 68-1. The directions are orthogonal to each other.

第1のアンテナ61−1の回路側の一対の電極65−1a、65−1bは、第1感応部68−1を介して電気的に接続されている。一方、第2のアンテナ61−2の回路側の一対の電極65−2a、65−2bは、第1感応部68−1と第2感応部68−2を介して互いに電気的に接続されている。   The pair of electrodes 65-1a and 65-1b on the circuit side of the first antenna 61-1 are electrically connected via the first sensitive part 68-1. On the other hand, the pair of electrodes 65-2a and 65-2b on the circuit side of the second antenna 61-2 are electrically connected to each other via the first sensitive part 68-1 and the second sensitive part 68-2. Yes.

第1のアンテナ61−1の同調周波数f0-1は、アンテナコイル61A−1のインダク
タンスL1とコンデンサ61B−1の容量C1によって定まる。第2のアンテナ61−2の同調周波数f0-2は、アンテナコイル61A−2のインダクタンスL2とコンデンサ6
1B−2の容量C2によって定まる。この例では、両同調周波数f0-1、f0-2を同じ値f0に選定している。
The tuning frequency f0-1 of the first antenna 61-1 is determined by the inductance L1 of the antenna coil 61A-1 and the capacitance C1 of the capacitor 61B-1. The tuning frequency f0-2 of the second antenna 61-2 is determined by the inductance L2 and the capacitor 6 of the antenna coil 61A-2.
It is determined by the capacity C2 of 1B-2. In this example, both tuning frequencies f0-1 and f0-2 are selected to be the same value f0.

送信回路62は、第1及び第2のアンテナ61−1、61−2による受信電力を使用して作動する。そして、第1のアンテナ61−1から識別信号sig.6−1を送信し、第2のアンテナ61−2から識別信号sig.6−2を送信する。識別信号sig. 6−
1は、ガスセンサ60−1に個別に割り当てられたID情報(ユニーク値)と第1感応部68−1が導通状態にあること、すなわち第1のアンテナ61−1が機能していることを示す値とを含む信号である。識別信号sig. 6−2は、当該ID情報(ユニーク値)
と第2感応部68−2が導通状態にあること、すなわち第2のアンテナ61−2が機能していることを示す値とを含む信号である。
The transmission circuit 62 operates using received power from the first and second antennas 61-1 and 61-2. The identification signal sig. 6-1 and the identification signal sig. 6-2 is transmitted. Identification signal sig. 6-
1 indicates that the ID information (unique value) individually assigned to the gas sensor 60-1 and the first sensitive unit 68-1 are in a conductive state, that is, the first antenna 61-1 is functioning. A signal including a value. Identification signal sig. 6-2 is the ID information (unique value)
And a value indicating that the second sensing unit 68-2 is in a conductive state, that is, a value indicating that the second antenna 61-2 is functioning.

タグ体63は、長方形の平板状に成形された密閉構造の硬質樹脂ケーシングであり、ケーシング内への水分や外気の侵入を完全に遮断している。   The tag body 63 is a hard resin casing having a sealed structure formed into a rectangular flat plate shape, and completely blocks moisture and outside air from entering the casing.

タグ体63の表面(上面)には、第1感応部68−1を外気と非接触状態に維持する封止体69が取り外し可能に装着されている。封止体69は、タグ体63の表面に第1感応部68−1を覆うようにして密着させて貼り付けられた剥離シートである。   On the surface (upper surface) of the tag body 63, a sealing body 69 for maintaining the first sensitive portion 68-1 in a non-contact state with the outside air is detachably mounted. The sealing body 69 is a release sheet that is adhered to the surface of the tag body 63 so as to cover the first sensitive portion 68-1.

タグ体63の裏面(下面)には、粘着剤層81が形成されている。粘着剤層81は、剥離シート82で覆われている。剥離シート82は簡単に剥がすことができるようになっている(図86参照)。   An adhesive layer 81 is formed on the back surface (lower surface) of the tag body 63. The pressure-sensitive adhesive layer 81 is covered with a release sheet 82. The release sheet 82 can be easily peeled off (see FIG. 86).

6−1−2.作用・効果
図73は、ガスセンサ60−1の未使用時の状態及び使用時の状態を示す側面図である。ガスセンサ60−1は、未使用時には、その第1感応部68−1がタグ体63の表面に貼り付けられた封止体69によって気密に封止されており、使用時に封止体69が剥がされることにより、第1感応部68−1がガスに触れる状態になる。また、必要に応じて、剥離シート82を剥がして使用することができる。
6-1-2. Action / Effect FIG. 73 is a side view showing a state when the gas sensor 60-1 is not used and a state when it is used. When the gas sensor 60-1 is not used, the first sensitive portion 68-1 is hermetically sealed by a sealing body 69 attached to the surface of the tag body 63, and the sealing body 69 is peeled off during use. As a result, the first sensitive part 68-1 comes into contact with the gas. Moreover, the peeling sheet 82 can be peeled and used as needed.

図74は、ガスセンサ60−1の未使用時又は使用開始直後すなわち封止体69が剥ぎ取られ第1感応部68−1が空気にさらされた直後における状態を示す等価回路である。この時点では、第1感応部68−1を構成するFe薄膜66も第2感応部68−2を構成するFe薄膜67も未だ酸化されていないので、第1のアンテナ61−1も第2のアンテナ61−2も共に機能し得る状態にある。このとき、図示しないリーダから周波数f0の電波を送信すると、その電波を両アンテナ61−1、61−2が受信する。そして、両アンテナ61−1、61−2による受信電力で送信回路62が作動する。送信回路62が作動することにより、両アンテナ61−1、61−2からそれぞれ識別信号sig. 6−1
、sig. 6−2が送信される。
FIG. 74 is an equivalent circuit showing a state when the gas sensor 60-1 is not used or immediately after the start of use, that is, immediately after the sealing body 69 is peeled off and the first sensitive part 68-1 is exposed to air. At this time, since the Fe thin film 66 constituting the first sensitive part 68-1 and the Fe thin film 67 constituting the second sensitive part 68-2 have not been oxidized yet, the first antenna 61-1 is also in the second state. The antenna 61-2 can also function together. At this time, when a radio wave having a frequency f0 is transmitted from a reader (not shown), both antennas 61-1 and 61-2 receive the radio wave. Then, the transmission circuit 62 operates with the received power from both the antennas 61-1 and 61-2. When the transmission circuit 62 is activated, the identification signals sig. 6-1
, Sig. 6-2 is transmitted.

ガスセンサ60−1は、酸化性ガス(塩素、二酸化窒素、オゾン、酸素、等)が発生又は浸入する空間(被監視空間)における酸化性ガスの発生量や浸入量の監視用に使用される。封止体69を剥ぎ取って、酸化性ガスが発生する空間の壁面などにガスセンサ60−1を設置すると、空間中に存在する酸化性ガスが第1感応部68−1に接触するようになるため、第1感応部68−1を構成しているFe薄膜66の酸化が始まる。Fe薄膜66の酸化の進行に伴い、第1感応部68−1の電気抵抗率が増大していく。すなわち、第1感応部68−1は、当初の導体の状態から半導体の状態を経て、絶縁体の状態に近づいていく。Fe薄膜66が酸化反応によりFe2O3膜に変化していくのである。そして、最後には絶縁体の状態になる。その結果、第1のアンテナ61−1の両電極65−1a、65
−1b間の電気的導通が遮断され、第1のアンテナ61−1は機能し得ない状態になる。
図75(a)はこの時点での状態を示す等価回路であり、第1のアンテナ61−1は機能停止しているが、第2のアンテナ61−2は未だ機能している。この状態では、第1のアンテナ61−1からの識別信号sig.6−1の送信は停止しているが、第2のアンテナ61−2からの識別信号sig. 6−2の送信は継続されている。
The gas sensor 60-1 is used for monitoring the generation amount and the intrusion amount of the oxidizing gas in the space (monitored space) where the oxidizing gas (chlorine, nitrogen dioxide, ozone, oxygen, etc.) is generated or enters. When the sealing body 69 is peeled off and the gas sensor 60-1 is installed on the wall surface of the space where the oxidizing gas is generated, the oxidizing gas existing in the space comes into contact with the first sensitive portion 68-1. Therefore, oxidation of the Fe thin film 66 constituting the first sensitive part 68-1 starts. As the oxidation of the Fe thin film 66 proceeds, the electrical resistivity of the first sensitive portion 68-1 increases. That is, the first sensitive part 68-1 approaches the state of the insulator through the semiconductor state from the initial state of the conductor. The Fe thin film 66 is changed to an Fe2O3 film by an oxidation reaction. And finally, it will be in the state of an insulator. As a result, both electrodes 65-1a and 65-1 of the first antenna 61-1.
-1b is cut off, and the first antenna 61-1 cannot function.
FIG. 75 (a) is an equivalent circuit showing the state at this point. The first antenna 61-1 has stopped functioning, but the second antenna 61-2 is still functioning. In this state, the identification signal sig. 6-1 is stopped, but the identification signal sig. The transmission of 6-2 is continued.

識別信号sig.6−1の送信が停止した後もガスセンサ60−1を放置しておくと、酸化性ガスによる酸化が第1感応部68−1から第2感応部68−2にも拡大していく。そして、第2感応部68−2を構成しているFe薄膜67の酸化の進行に伴い、第2感応部68−2の電気抵抗率が増大していく。すなわち、第2感応部68−2は、当初の導体の状態から半導体の状態を経て、絶縁体の状態に近づいていく。Fe薄膜67が酸化反応によりFe2O3膜に変化していくのである。そして、最後には絶縁体の状態になる。その結果、第2のアンテナ61−2の両電極65−2a、65−2b間の電気的導通が遮断され、第1のアンテナ61−2は機能し得ない状態になる。図75(b)はこの時点での状態を示す等価回路であり、第1のアンテナ61−1も第2のアンテナ61−2も共に機能停止している。この状態ではもはや、第1のアンテナ61−1からの識別信号sig.6−1の送信も第2のアンテナ61−2からの識別信号sig.6−2の送信もなされない。   Identification signal sig. If the gas sensor 60-1 is left after the transmission of 6-1 stops, the oxidation by the oxidizing gas expands from the first sensitive unit 68-1 to the second sensitive unit 68-2. As the Fe thin film 67 constituting the second sensitive portion 68-2 progresses in oxidation, the electrical resistivity of the second sensitive portion 68-2 increases. That is, the second sensitive portion 68-2 approaches the state of the insulator from the initial conductor state through the semiconductor state. The Fe thin film 67 is changed to an Fe2O3 film by an oxidation reaction. And finally, it will be in the state of an insulator. As a result, the electrical continuity between the electrodes 65-2a and 65-2b of the second antenna 61-2 is cut off, and the first antenna 61-2 cannot function. FIG. 75 (b) is an equivalent circuit showing the state at this time point, and the functions of both the first antenna 61-1 and the second antenna 61-2 are stopped. In this state, the identification signal sig. 6-1, the identification signal sig. No transmission of 6-2 is performed.

したがって、このガスセンサ60−1からの識別信号sig.6−1、sig.6−2を図示しないリーダで受信できるようにしておき、両識別信号sig.6−1、sig.6−2の有無を監視することにより、被監視空間における酸化性ガスの発生量や浸入量の累積値を知ることができる。すなわち、両識別信号sig.6−1、sig.6−2を受信できていれば、被監視空間における酸化性ガスの発生量や浸入量の累積値が未だ第1感応部68−1を絶縁状態に変化させる程の量に達していないことを知ることができ、一方の識別信号sig.1−1が受信されなくなったら、被監視空間における酸化性ガスの発生量や浸入量の累積値が第1感応部68−1を絶縁状態に変化させる程の量に達したことを知ることができる。そして、更にもう一方の識別信号sig.6−2も受信できなくなったら、被監視空間における酸化性ガスの発生量や浸入量の累積値が第2感応部68−2まで絶縁状態に変化させる程の量に達したことを知ることができる。   Therefore, the identification signal sig. 6-1, sig. 6-2 can be received by a reader (not shown), and both identification signals sig. 6-1, sig. By monitoring the presence / absence of 6-2, it is possible to know the generation amount of the oxidizing gas and the cumulative value of the intrusion amount in the monitored space. That is, both identification signals sig. 6-1, sig. If 6-2 is received, it is confirmed that the amount of generation of the oxidizing gas and the accumulated value of the intrusion amount in the monitored space have not yet reached an amount enough to change the first sensitive unit 68-1 to the insulated state. One of the identification signals sig. If 1-1 is no longer received, it is known that the amount of generated oxidizing gas or the amount of infiltration in the monitored space has reached an amount enough to change the first sensitive portion 68-1 to the insulated state. it can. Then, the other identification signal sig. If 6-2 cannot be received, it can be known that the accumulated amount of the oxidizing gas generation amount and the infiltration amount in the monitored space has reached an amount enough to change the insulation state to the second sensitive portion 68-2. it can.

また、識別信号sig.6−1、sig.6−2を受信することにより、ガスセンサ60−1のID情報(ユニーク値)を知ることができるので、複数のガスセンサ60−1が設置されている場合でも、どのガスセンサ60−1からの信号であるかを判別することができる。   Further, the identification signal sig. 6-1, sig. Since the ID information (unique value) of the gas sensor 60-1 can be known by receiving 6-2, even if a plurality of gas sensors 60-1 are installed, the signal from any gas sensor 60-1 It can be determined whether there is.

また、このガスセンサ60−1は、タグ体63の下面に粘着剤層81が形成され、その粘着剤層81が剥離シート82で覆われているので、剥離シート82を剥がせば、図87に示すように、ガスセンサ60−1を被貼着物85に貼り付けて固定することができる。この形態例の場合の被貼着物85の例として、酸化性ガスが発生する工場や作業現場の床面や壁面、作業者の保安帽、更には、自動車などの排気ガスに曝される建物の外壁面などを挙げることができる。   Further, in this gas sensor 60-1, since the adhesive layer 81 is formed on the lower surface of the tag body 63, and the adhesive layer 81 is covered with the release sheet 82, the release sheet 82 is peeled off as shown in FIG. As shown, the gas sensor 60-1 can be stuck and fixed to the adherend 85. As an example of the adherend 85 in the case of this embodiment, the floor surface or wall surface of a factory or work site where an oxidizing gas is generated, a worker's safety cap, or a building exposed to exhaust gas such as an automobile. An outer wall surface etc. can be mentioned.

なお、第9の実施形態では、二つのアンテナ61−1、61−2を備え、両アンテナ61−1、61−2が順次機能停止状態になり、それに対応して識別信号sig.6−1、sig.6−2が順次送信されなくなるように構成した例について説明したが、図76に示すように、第1及び第2の感応部68−1、68−2を送信回路62に接続し、アンテナ61を一つだけ備えた構成としてもよい。この場合、第1及び第2の感応部68−1、68−2の状態を送信回路62が検知し、それぞれの状態に応じた識別信号sig.6−1、sig.6−2を送信する。   In the ninth embodiment, two antennas 61-1 and 61-2 are provided, and both antennas 61-1 and 61-2 are sequentially deactivated, and the identification signal sig. 6-1, sig. The example in which 6-2 is not sequentially transmitted has been described. However, as shown in FIG. 76, the first and second sensitive units 68-1 and 68-2 are connected to the transmission circuit 62, and the antenna 61 is connected. It is good also as a structure provided with one. In this case, the transmission circuit 62 detects the states of the first and second sensitive units 68-1, 68-2, and the identification signal sig. 6-1, sig. 6-2 is transmitted.

また、第9の実施形態の構成において、第1感応部68−1は、封止体69が剥ぎ取られているか否かのチェック用として使用することもできる。すなわち、ガスセンサ60−1から識別信号sig.6−1が送信されてこなくなったことを確認することにより、封止体69が剥ぎ取られた状態でガスセンサ60−1が作動していることを知ることができる。そして、ガスセンサ60−1から識別信号sig.6−2が送信されて来なくなったら、被監視空間における酸化性ガスの発生量や浸入量の累積値が相当量に達したと判断することができる。酸化性ガスの存在する雰囲気中に設置されているにもかかわらず、識別信号sig.6−1の送信が途絶えないということは、ガスセンサ60−1の第1感応部68−1が雰囲気に曝されていないことを意味するので、識別信号sig.6−1を監視することにより、封止体69の剥ぎ取り忘れを検知することができる。これにより目標ガスの検知漏れを防止できる。そして、特に目標ガスが有害ガスである場合におけるガス検知の確実性、信頼性が高められることにより安全性が向上する。   In the configuration of the ninth embodiment, the first sensitive part 68-1 can also be used for checking whether or not the sealing body 69 is peeled off. That is, the identification signal sig. By confirming that 6-1 is not transmitted, it can be known that the gas sensor 60-1 is operating in a state where the sealing body 69 is peeled off. The identification signal sig. If 6-2 is not transmitted, it can be determined that the accumulated amount of the oxidizing gas generation amount and the infiltration amount in the monitored space has reached a considerable amount. In spite of being installed in an atmosphere where an oxidizing gas exists, the identification signal sig. The fact that the transmission of 6-1 is not interrupted means that the first sensitive part 68-1 of the gas sensor 60-1 is not exposed to the atmosphere, so the identification signal sig. By monitoring 6-1, it is possible to detect forgetting to peel off the sealing body 69. Thereby, it is possible to prevent the target gas from being missed. Safety is improved by improving the reliability and reliability of gas detection particularly when the target gas is a harmful gas.

また、第9の実施形態では、両感応部68−1、68−2をFe薄膜で構成したが、いずれか一方又は両方の感応部をNi薄膜、Cr薄膜その他の金属薄膜で構成してもよい。   In the ninth embodiment, both sensitive portions 68-1 and 68-2 are composed of Fe thin films, but one or both sensitive portions may be composed of Ni thin films, Cr thin films, and other metal thin films. Good.

また、第9の実施形態では、感応部を二層備えたガスセンサについて説明したが、感応部を三層以上備えたガスセンサも実現可能である。もちろん感応部を一層のみ備えたガスセンサも有効である。   In the ninth embodiment, a gas sensor having two layers of sensitive parts has been described, but a gas sensor having three or more layers of sensitive parts can also be realized. Of course, a gas sensor having only one sensitive part is also effective.

6−2.第10の形態例
図77は本発明のガスセンサの形態例を示す斜視図である。図78は図77に示すガスセンサの平面図である。図79は図77に示すガスセンサの側面図である。図80は図77に示すガスセンサの下面図である。図81は図77に示すガスセンサの要部断面図である。図82は図77に示すガスセンサの回路図である。
6-2. Tenth Embodiment FIG. 77 is a perspective view showing an embodiment of the gas sensor of the present invention. 78 is a plan view of the gas sensor shown in FIG. 79 is a side view of the gas sensor shown in FIG. 77. 80 is a bottom view of the gas sensor shown in FIG. 77. FIG. 81 is a cross-sectional view of a main part of the gas sensor shown in FIG. FIG. 82 is a circuit diagram of the gas sensor shown in FIG.

6−2−1.構成
このガスセンサ60−2は、アンテナ61と、アンテナ61から識別信号sig.1を送信する送信回路62と、アンテナ61と送信回路62を一括収容した樹脂製のタグ体63と、タグ体63から露出した感応部68と、を備えている。
6-2-1. Configuration The gas sensor 60-2 includes an antenna 61 and an identification signal sig. 1, a resin tag body 63 that collectively accommodates the antenna 61 and the transmission circuit 62, and a sensitive portion 68 exposed from the tag body 63.

水素感応膜70は、R2 dtoa(ジチオオキサミド)の配位高分子金属錯体R2 dtoaM(ここで、Mは金属)からなる膜である。配位高分子金属錯体R2 dtoaMのMは、遷移金属である。遷移金属として、銅(Cu)、ニッケル(Ni)、鉄(Fe)、または、コバルト(Co)の何れか1つを用いることができる。配位高分子金属錯体R2 dtoaMのアルキル基Rは、(C3 H6 OH)、(C2 H4 OH)又はH(水素)である。(特開2004−28838号公報参照)
水素感応膜70は当初絶縁体の状態にある。このため、当初アンテナ61の両電極65a、65b間の電気的導通は遮断されており、アンテナ61は機能し得えない状態になっている。図84(a)はこの時点での状態を示す等価回路である。
The hydrogen-sensitive film 70 is a film made of a coordination polymer metal complex R2 dtoaM (where M is a metal) of R2 dtoa (dithiooxamide). M in the coordination polymer metal complex R2 dtoaM is a transition metal. As the transition metal, any one of copper (Cu), nickel (Ni), iron (Fe), or cobalt (Co) can be used. The alkyl group R of the coordination polymer metal complex R2 dtoaM is (C3 H6 OH), (C2 H4 OH) or H (hydrogen). (See JP 2004-28838 A)
The hydrogen sensitive film 70 is initially in an insulator state. For this reason, the electrical continuity between the electrodes 65a and 65b of the antenna 61 is initially interrupted, and the antenna 61 cannot function. FIG. 84A is an equivalent circuit showing the state at this point.

アンテナ61の同調周波数f0は、アンテナコイル61AのインダクタンスLとコンデ
ンサ61Bの容量Cによって定まる。
The tuning frequency f0 of the antenna 61 is determined by the inductance L of the antenna coil 61A and the capacitance C of the capacitor 61B.

送信回路62は、アンテナ61による受信電力を使用して作動する。そして、アンテナ61から識別信号sig.6を送信する。識別信号sig.6は、ガスセンサ60に個別に割り当てられたID情報(ユニーク値)を示す信号である。   The transmission circuit 62 operates using the received power from the antenna 61. The identification signal sig. 6 is transmitted. Identification signal sig. 6 is a signal indicating ID information (unique value) individually assigned to the gas sensor 60.

タグ体63は、長方形の平板状に成形された密閉構造の硬質樹脂ケーシングであり、ケーシング内への水分や外気の侵入を完全に遮断している。   The tag body 63 is a hard resin casing having a sealed structure formed into a rectangular flat plate shape, and completely blocks moisture and outside air from entering the casing.

図83に示すように、タグ体63の表面(上面)には、感応部70を外気と非接触状態に維持する封止体69が取り外し可能に装着されている。封止体69は、タグ体63の表面に感応部68を覆うようにして密着させて貼り付けられた剥離シートである。   As shown in FIG. 83, on the surface (upper surface) of the tag body 63, a sealing body 69 that keeps the sensitive portion 70 in a non-contact state with the outside air is detachably mounted. The sealing body 69 is a release sheet that is adhered to the surface of the tag body 63 so as to cover the sensitive portion 68.

タグ体63の裏面(下面)には、粘着剤層81が形成されている。粘着剤層81は、剥離シート82で覆われている。剥離シート82は簡単に剥がすことができるようになっている(図86参照)。   An adhesive layer 81 is formed on the back surface (lower surface) of the tag body 63. The pressure-sensitive adhesive layer 81 is covered with a release sheet 82. The release sheet 82 can be easily peeled off (see FIG. 86).

6−2−2.作用・効果
ガスセンサ60−2は、水素が発生、浸入、漏出などする空間(被監視空間)における水素の発生量等の監視用に使用される。封止体69を剥ぎ取って、水素が発生する空間の天井などにガスセンサ60−2を設置すると、空間中に存在する水素が感応部68に接触するようになるため、感応部68を構成している水素感応膜70による水素の吸蔵が始まる。そして、水素の吸蔵に伴い、水素感応膜70の電気抵抗率が減少していく。すなわち、水素感応膜70は、当初の絶縁体の状態から半導体の状態を経て、導体の状態に近づいていく。水素の吸蔵に伴って共役酸化還元系の電子伝導体のエネルギー準位が低下することにより、電子伝導性が高くなるのである。そして、最後には金属と同等の導体の状態になる。その結果、アンテナ61の両電極65a、65b間が短絡(電気的に導通)し、アンテナ61が機能し得る状態になる。図84(b)はこの時点での状態を示す等価回路であり、図示しないリーダから周波数f0の電波が送信されていると、その電波をアンテナ61が受信し、その受信電力で送信回路62が作動する。送信回路62が作動することにより、アンテナ61から識別信号sig.6が送信される。
6-2-2. Action / Effect The gas sensor 60-2 is used for monitoring the amount of hydrogen generated in a space (monitored space) where hydrogen is generated, permeates, or leaks. When the sealing body 69 is peeled off and the gas sensor 60-2 is installed on the ceiling of a space where hydrogen is generated, the hydrogen present in the space comes into contact with the sensitive portion 68. Occlusion of hydrogen by the hydrogen sensitive membrane 70 is started. And the electrical resistivity of the hydrogen sensitive film | membrane 70 reduces with occlusion of hydrogen. That is, the hydrogen sensitive film 70 approaches the state of the conductor from the initial insulator state through the semiconductor state. As the hydrogen is occluded, the energy level of the conjugated redox electron conductor is lowered, so that the electron conductivity is increased. And finally, it will be in the state of a conductor equivalent to a metal. As a result, both electrodes 65a and 65b of the antenna 61 are short-circuited (electrically conductive), and the antenna 61 can function. FIG. 84B is an equivalent circuit showing the state at this point. When a radio wave having a frequency f0 is transmitted from a reader (not shown), the antenna 61 receives the radio wave, and the transmission circuit 62 uses the received power. Operate. When the transmission circuit 62 operates, the identification signal sig. 6 is transmitted.

したがって、ガスセンサ60−2からの識別信号sig.6を図示しないリーダで受信できるようにしておき、その識別信号sig.6の有無を監視することにより、被監視空間における水素の発生量が規定値以上になったか否かを知ることができる。すなわち、識別信号sig.6を受信できたら、被監視空間における水素の発生量や浸入量の累積値が感応部68を構成している水素感応膜70を導体の状態に変化させる程の量に達したことを知ることができる。   Therefore, the identification signal sig. 6 can be received by a reader (not shown), and the identification signal sig. By monitoring the presence or absence of 6, it is possible to know whether or not the amount of hydrogen generated in the monitored space has exceeded a specified value. That is, the identification signal sig. 6 is received, it is known that the accumulated amount of the hydrogen generation amount and the intrusion amount in the monitored space has reached an amount enough to change the hydrogen sensitive film 70 constituting the sensitive portion 68 into a conductor state. Can do.

また、識別信号sig.6を受信することにより、ガスセンサ60−2のID情報(ユニーク値)を知ることができるので、複数のガスセンサ60−2が設置されている場合でも、どのガスセンサ60−2からの信号であるかを判別することができる。   Further, the identification signal sig. 6 is received, it is possible to know the ID information (unique value) of the gas sensor 60-2. Even when a plurality of gas sensors 60-2 are installed, which gas sensor 60-2 is the signal from? Can be determined.

また、このガスセンサ60−2は、タグ体63の下面に粘着剤層81が形成され、その粘着剤層81が剥離シート82で覆われているので、剥離シート82を剥がせば、図87に示すように、ガスセンサ60−2を被貼着物85に貼り付けて固定することができる。この形態例の場合の被貼着物85の例として、水素が発生する工場や作業現場の天井面や壁面などを挙げることができる。   Further, in this gas sensor 60-2, since the adhesive layer 81 is formed on the lower surface of the tag body 63 and the adhesive layer 81 is covered with the release sheet 82, if the release sheet 82 is peeled off, FIG. As shown, the gas sensor 60-2 can be attached and fixed to the adherend 85. As an example of the adherend 85 in the case of this embodiment, a ceiling surface or a wall surface of a factory or work site where hydrogen is generated can be cited.

なお、第10の形態例では、感応部68を構成する水素感応膜70が絶縁体から導体に変化することによってアンテナ61が機能し得る状態になるように構成した例を示したが、水素感応膜70が絶縁体から導体に変化することによって送信回路62が機能し得る状態になるように構成してもよい(図85参照)。   In the tenth embodiment, an example is shown in which the hydrogen sensitive film 70 constituting the sensitive portion 68 is changed from an insulator to a conductor so that the antenna 61 can function. It may be configured such that the transmission circuit 62 can function by changing the film 70 from an insulator to a conductor (see FIG. 85).

また、第10の形態例では、水素感応膜70として、水素を吸蔵することにより電気抵抗率が低下する配位高分子金属錯体膜を用いた例を示したが、水素ガスに感応するその他の膜を用いてもよい。その一例として、酸化タングステンを主成分とする結晶微粒子の集合体で構成され、結晶微粒子酸化タングステンの表面に酸化状態の触媒金属を含有した水素感応膜を挙げることができる。結晶微粒子酸化タングステンは、その平均粒子径が15nmから80nmであることが望ましい。結晶微粒子酸化タングステンは、所定の比率の酸素欠陥を有する。結晶微粒子酸化タングステンの酸素原子数とタングステン原子数との比は2.54から2.63であることが望ましい。結晶微粒子酸化タングステンは、少なくとも三斜晶系(triclinic)と斜方晶系(monoclinic)の結晶構造とを含む。微粒子酸化タングステンに、バナジウム(V)、クロム(Cr)、マンガン(Mn)、鉄(Fe)、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、ニオブ(Nb)、モリブデン(Mo)、レニウム(Re)、チタン(Ti)のいずれかの金属、または、これらの金属のいずれかの混合物が、タングステンに対して、0.25モル%〜5モル%の濃度でドープされていてもよい。上記触媒金属は、微粒子酸化タングステンに含有される全触媒金属量の18%から90%が酸化状態であることが望ましいとされている。上記触媒金属のタングステンに対する割合は、1.8モル%〜11モル%であることが望ましいとされている。上記触媒金属の平均粒子径は2nmから35nmであることが望ましいとされている。上記触媒金属として、白金、(Pt)、イリジウム(Ir)、オスニウム(Os)、パラジウム(Pd)、ロジウム(Rh)、ルテニウム(Ru)のいずれかの金属、または、これらの金属のいずれかの混合物を用いることもできる。(特開2005−331364号公報参照)   In the tenth embodiment, an example in which a coordination polymer metal complex film whose electrical resistivity is reduced by occlusion of hydrogen is used as the hydrogen sensitive film 70 is shown, but other hydrogen sensitive films are sensitive to hydrogen gas. A membrane may be used. As an example, a hydrogen-sensitive film that is composed of an aggregate of crystal fine particles containing tungsten oxide as a main component and contains a catalytic metal in an oxidized state on the surface of the crystal fine particle tungsten oxide can be given. The crystalline fine particle tungsten oxide desirably has an average particle diameter of 15 nm to 80 nm. Crystalline particulate tungsten oxide has a predetermined ratio of oxygen defects. The ratio of the number of oxygen atoms and the number of tungsten atoms in the crystalline fine particle tungsten oxide is preferably 2.54 to 2.63. The crystalline fine particle tungsten oxide includes at least a triclinic crystal system and an orthorhombic crystal structure. Fine tungsten oxide, vanadium (V), chromium (Cr), manganese (Mn), iron (Fe), cobalt (Co), nickel (Ni), copper (Cu), niobium (Nb), molybdenum (Mo), Any metal of rhenium (Re) and titanium (Ti), or a mixture of any of these metals may be doped at a concentration of 0.25 mol% to 5 mol% with respect to tungsten. . It is considered that 18% to 90% of the total amount of catalyst metal contained in the fine particle tungsten oxide is in an oxidized state. The ratio of the catalyst metal to tungsten is desirably 1.8 mol% to 11 mol%. The average particle diameter of the catalyst metal is desirably 2 nm to 35 nm. As the catalytic metal, platinum, (Pt), iridium (Ir), osmium (Os), palladium (Pd), rhodium (Rh), ruthenium (Ru), or any of these metals Mixtures can also be used. (See JP 2005-331364 A)

また、感応部68としてSnO2薄膜を使用すればその他の還元性ガス(一酸化炭素ガ
ス、炭化水素系ガス(LPG、都市ガス、天然ガス、メタンガス、ハロゲン化炭化水素系ガス等)、アルコール系ガス、アルデヒド系ガス、硫化水素ガス、等)用のガスセンサを実現することも可能である。すなわち、正常な空気中では表面の酸素原子(または酸素分子)がSnO2薄膜中の電子をとらえているため電気が流れにくい状態にあるが、還元性
ガス中ではSnO2薄膜の表面の酸素原子が還元ガスと反応して取り去られて、SnO2薄膜中の電子が自由になり、その結果として電気が流れやすくなる。この原理を利用して、感応部68の電気抵抗が低下したらアンテナ61から識別信号sig.6が送信されるように構成するのである。
If a SnO2 thin film is used as the sensitive part 68, other reducing gas (carbon monoxide gas, hydrocarbon gas (LPG, city gas, natural gas, methane gas, halogenated hydrocarbon gas, etc.), alcohol gas, etc. It is also possible to realize a gas sensor for aldehyde gas, hydrogen sulfide gas, etc. That is, in normal air, oxygen atoms (or oxygen molecules) on the surface capture electrons in the SnO2 thin film, so that it is difficult for electricity to flow. However, in reducing gas, oxygen atoms on the surface of the SnO2 thin film are reduced. It is removed by reacting with the gas, and the electrons in the SnO2 thin film become free, and as a result, electricity easily flows. Using this principle, when the electric resistance of the sensitive portion 68 decreases, the identification signal sig. 6 is configured to be transmitted.

[防災用センサ]
本発明の無線タグ型センサは、防災用のセンサとして利用できる。たとえば、無線タグ型センサをコンセントの近くに設置して、綿埃や湿気、油分などを検知することにより、トラッキング現象の発生を未然に防ぐことができる。すなわち、コンセントに電気器具のプラグを長期間差し込んだままにしていると、コンセントとプラグの隙間に綿埃などが溜まり、コンセントとプラグの間で火花が発生する可能性があるが、無線タグ型センサによって綿埃などが溜まったことを検知することにより、そのような危険な状態になる前に掃除をするなど適切に対処できる。更に、本発明の無線タグ型センサは、自動車の排気ガス、煙、花粉など環境有害物質を検出する環境計測用センサとしても利用できる可能性がある。更に、本発明の無線タグ型センサは、粉塵爆発等の危険防止装置の部品として使用することも可能である。
[Disaster prevention sensor]
The RFID tag type sensor of the present invention can be used as a sensor for disaster prevention. For example, it is possible to prevent the occurrence of a tracking phenomenon by installing a wireless tag type sensor near an outlet and detecting cotton dust, moisture, oil, and the like. In other words, if an electrical appliance plug is left plugged into the outlet for a long time, dust may accumulate in the gap between the outlet and the plug, and a spark may occur between the outlet and the plug. By detecting that dust or the like has accumulated by the sensor, it is possible to take appropriate measures such as cleaning before becoming dangerous. Furthermore, the RFID tag sensor of the present invention may be used as an environmental measurement sensor for detecting environmental harmful substances such as automobile exhaust gas, smoke, and pollen. Furthermore, the RFID tag type sensor of the present invention can be used as a part of a danger prevention device such as dust explosion.

[RFIDセンサ付き電源プラグ、RFIDセンサ付きコンセント装置]
また、本発明の無線タグ型センサによれば、これを電気機器の電源プラグ(差込プラグ)と一体化することにより、RFIDセンサ付き電源プラグを実現できる。このRFIDセンサ付き電源プラグは、コンセント(商用電源の電力出力端子)からの電力を利用してセンサ部(粒子検出部、油分検出部、等)、アンテナ及び送信回路を作動させ、識別信号を高出力で送信することができる。
[Power plug with RFID sensor, outlet device with RFID sensor]
Further, according to the RFID tag type sensor of the present invention, a power plug with an RFID sensor can be realized by integrating it with a power plug (plug-in plug) of an electric device. This power plug with an RFID sensor operates the sensor unit (particle detection unit, oil content detection unit, etc.), antenna and transmission circuit using the power from the outlet (commercial power output terminal) to increase the identification signal. Can be sent on output.

また、本発明の無線タグ型センサによれば、これを電源プラグが接続されるコンセント装置と一体化することにより、RFIDセンサ付きコンセント装置を実現できる。このRFIDセンサ付きコンセント装置は、商用電源の電力を利用してセンサ部(粒子検出部、油分検出部、等)、アンテナ及び送信回路を作動させ、識別信号を高出力で送信することができる。   Moreover, according to the RFID tag type sensor of the present invention, an outlet device with an RFID sensor can be realized by integrating it with an outlet device to which a power plug is connected. This outlet device with an RFID sensor can operate a sensor unit (a particle detection unit, an oil content detection unit, etc.), an antenna, and a transmission circuit using electric power of a commercial power source, and can transmit an identification signal with high output.

RFIDセンサ付き電源プラグは、たとえば以下の構成により実現できる。   The power plug with the RFID sensor can be realized by the following configuration, for example.

構成例1:アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容した樹脂体(樹脂製のプラグ本体)と、樹脂体の表面の一部であって検知対象粒子が付着する粒子検出領域と、粒子検出領域を挟んで対向配置された一対の電極と、を備え、粒子検出領域に付着した検知対象粒子によって両電極間が短絡することによりアンテナの回路が形成されるように構成したRFIDセンサ付き電源プラグ。   Configuration Example 1: An antenna, a transmission circuit that transmits a signal from the antenna, a resin body (resin plug body) that collectively accommodates the antenna and the transmission circuit, and a part of the surface of the resin body, and the detection target particles An attached particle detection region and a pair of electrodes arranged opposite to each other with the particle detection region interposed therebetween, and an antenna circuit is formed by short-circuiting between both electrodes by the detection target particles attached to the particle detection region A power plug with an RFID sensor configured as described above.

構成例2:アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容した樹脂体(樹脂製のプラグ本体)と、樹脂体の表面の一部に形成された凹部の内面又は内部空間であって検知対象粒子が付着する粒子検出領域と、粒子検出領域を挟んで対向配置された一対の電極と、を備え、粒子検出領域に付着した検知対象粒子によって両電極間が短絡することによりアンテナの回路が形成されるように構成したことを特徴とするRFIDセンサ付き電源プラグ。   Configuration example 2: an antenna, a transmission circuit that transmits signals from the antenna, a resin body (resin plug body) that collectively accommodates the antenna and the transmission circuit, and an inner surface of a recess formed in a part of the surface of the resin body Alternatively, a particle detection region that is an internal space to which the detection target particles adhere and a pair of electrodes that are arranged to face each other with the particle detection region interposed therebetween, and the electrodes are short-circuited by the detection target particles that are attached to the particle detection region. A power plug with an RFID sensor, characterized in that an antenna circuit is formed.

構成例3:構成例2において、前記電極を前記凹部の深さ方向に離間させて複数対配置するとともに前記アンテナを複数備え、複数対の電極間が順次短絡することにより複数のアンテナの回路が順次形成されるように構成したRFIDセンサ付き電源プラグ。   Configuration Example 3: In Configuration Example 2, a plurality of pairs of the antennas are arranged while being spaced apart in the depth direction of the recesses, and a plurality of the antennas are provided, and a plurality of antenna circuits are sequentially short-circuited. A power plug with an RFID sensor configured to be formed sequentially.

構成例4:構成例2において、前記電極を前記凹部の深さ方向に離間させて複数対配置し、短絡した電極対に応じて又は短絡した電極対の数に応じて異なる信号を送信するように構成したRFIDセンサ付き電源プラグ。   Configuration Example 4: In Configuration Example 2, a plurality of pairs of the electrodes are arranged apart from each other in the depth direction of the recess, and different signals are transmitted according to the shorted electrode pairs or the number of shorted electrode pairs. A power plug with an RFID sensor configured as above.

構成例5:構成例1〜4のいずれかにおいて、前記電極は、前記粒子検出領域に前記検知対象粒子が複数個付着したときに対をなす電極間が短絡するように対をなす両電極相互の間隔が選定されているRFIDセンサ付き電源プラグ。   Configuration Example 5: In any one of Configuration Examples 1 to 4, the electrodes are configured such that the electrodes are paired so that a pair of electrodes is short-circuited when a plurality of detection target particles are attached to the particle detection region. Power supply plug with RFID sensor for which the interval is selected.

構成例6:アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容した樹脂体(樹脂製のプラグ本体)と、樹脂体の表面の一部であって検知対象粒子が付着する粒子検出領域と、粒子検出領域に互いの間隙が重なるようにして互いに並行に設けられた一対の電極と、を備え、粒子検出領域に付着した検知対象粒子によって両電極間の静電容量が変化することにより、アンテナから送信される信号が変化するように構成したRFIDセンサ付き電源プラグ。   Configuration Example 6: An antenna, a transmission circuit that transmits a signal from the antenna, a resin body (resin plug body) that collectively accommodates the antenna and the transmission circuit, a part of the surface of the resin body, and detection target particles An electrostatic capacity between the two electrodes by the particle to be detected by the particle to be detected and the pair of electrodes provided in parallel with each other so that the gap between the particle detection area and the particle detection area overlaps each other. A power plug with an RFID sensor configured so that the signal transmitted from the antenna changes when the value changes.

構成例7:アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容した樹脂体(樹脂製のプラグ本体)と、樹脂体の表面の一部に形成された凹部の内面又は内部空間であって検知対象粒子が付着する粒子検出領域と、粒子検出領域を挟んで対向配置された一対の電極と、を備え、粒子検出領域に付着した検知対象粒子によって両電極間の静電容量が変化することにより、アンテナから送信される信号が変化するように構成したRFIDセンサ付き電源プラグ。   Configuration Example 7: Antenna, transmission circuit that transmits signals from the antenna, resin body (resin plug body) that collectively accommodates the antenna and the transmission circuit, and an inner surface of a recess formed in a part of the surface of the resin body Or a particle detection region that is an internal space to which the detection target particle adheres and a pair of electrodes that are arranged to face each other with the particle detection region sandwiched therebetween, and the static detection between the two electrodes is performed by the detection target particle that is attached to the particle detection region. A power supply plug with an RFID sensor configured such that a signal transmitted from an antenna changes when the capacitance changes.

構成例8:構成例6または7において、前記一対の電極は、前記粒子検出領域に前記検知対象粒子が複数個付着し得るように両電極相互の間隔が選定されているRFIDセンサ付き電源プラグ。   Configuration Example 8: The power plug with an RFID sensor according to Configuration Example 6 or 7, wherein the pair of electrodes has a distance between the electrodes selected so that a plurality of detection target particles can adhere to the particle detection region.

構成例9:構成例6〜8のいずれかにおいて、前記電極は、前記樹脂体を構成する樹脂で覆われているRFIDセンサ付き電源プラグ。   Configuration Example 9: In any one of Configuration Examples 6 to 8, the electrode is a power plug with an RFID sensor covered with a resin that constitutes the resin body.

構成例10:アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容した樹脂体(樹脂製のプラグ本体)と、樹脂体の表面の検知対象粒子が付着する位置に形成された受光窓と、受光窓を通して入射する光を検出する受光素子と、を備え、受光素子の出力に応じてアンテナから送信される信号が変化するように構成したRFIDセンサ付き電源プラグ。   Configuration Example 10: An antenna, a transmission circuit that transmits a signal from the antenna, a resin body (resin plug main body) that collectively accommodates the antenna and the transmission circuit, and a position where particles to be detected on the surface of the resin body adhere to each other A power plug with an RFID sensor configured to change a signal transmitted from an antenna in accordance with an output of the light receiving element, and a light receiving element that detects light incident through the light receiving window.

構成例11:構成例10において、前記受光素子は、フォトダイオード又は太陽電池であるRFIDセンサ付き電源プラグ。   Configuration Example 11: In Configuration Example 10, the light receiving element is a power plug with an RFID sensor, which is a photodiode or a solar cell.

構成例12:アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容した樹脂体(樹脂製のプラグ本体)と、樹脂体の検知対象粒子が付着する位置に固定して設けられ且つ所定の出力で発光する発光素子と、樹脂体の検知対象粒子が付着する位置に固定して設けられ且つ発光素子からの光を受光する受光素子と、を備え、受光素子の出力に応じてアンテナから送信される信号が変化するように構成したRFIDセンサ付き電源プラグ。   Configuration Example 12: An antenna, a transmission circuit that transmits a signal from the antenna, a resin body (resin plug body) that collectively accommodates the antenna and the transmission circuit, and a position where the detection target particles of the resin body are attached A light-emitting element that emits light at a predetermined output, and a light-receiving element that is fixedly provided at a position where the detection target particles of the resin body adhere and receives light from the light-emitting element. A power plug with an RFID sensor configured so that a signal transmitted from an antenna changes in response.

構成例13:構成例1〜12のいずれかにおいて、被貼着物に貼り付けるための粘着剤層と、粘着剤層を覆う剥離シートとを備えたRFIDセンサ付き電源プラグ。   Configuration Example 13: A power plug with an RFID sensor provided with a pressure-sensitive adhesive layer for bonding to an adherend and a release sheet covering the pressure-sensitive adhesive layer in any one of the configuration examples 1 to 12.

構成例14:アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容した樹脂体(樹脂製のプラグ本体)と、樹脂体の表面の一部に形成された凹部の内面又は内部空間であって油分が浸入する油分検出領域と、前記油分検出領域を挟んで対向配置された電極の対と、を備え、前記油分検出領域に浸入した油分によって両電極間の静電容量が変化することにより、アンテナから送信される信号が変化するように構成したRFIDセンサ付き電源プラグ。   Configuration Example 14: Antenna, transmission circuit that transmits signals from the antenna, resin body (resin plug body) that collectively accommodates the antenna and the transmission circuit, and an inner surface of a recess formed in part of the surface of the resin body Alternatively, an electrostatic capacity between both electrodes is provided by an oil content detection area in which the oil content enters and a pair of electrodes arranged opposite to each other with the oil content detection area interposed therebetween. A power plug with an RFID sensor configured so that the signal transmitted from the antenna changes when the value changes.

構成例15:構成例14において、前記電極は、前記樹脂体を構成する樹脂で覆われているRFIDセンサ付き電源プラグ。   Configuration Example 15: In the configuration example 14, the electrode is a power plug with an RFID sensor covered with a resin constituting the resin body.

構成例16:構成例14または15において、被貼着物に貼り付けるための粘着剤層と、粘着剤層を覆う剥離シートとを備えたRFIDセンサ付き電源プラグ。   Configuration Example 16: A power supply plug with an RFID sensor, which includes an adhesive layer for attaching to an adherend in the configuration example 14 or 15, and a release sheet covering the adhesive layer.

構成例17:アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を気密に一括収容した樹脂体(樹脂製のプラグ本体)と、樹脂体から露出した感応部と、を備え、前記感応部を検知対象ガスとの反応によりその電気抵抗率が変化する物質で形成し、前記感応部の電気抵抗率が変化することにより、前記アンテナから送信される信号が変化するように構成したRFIDセンサ付き電源プラグ。   Configuration Example 17: An antenna, a transmission circuit that transmits a signal from the antenna, a resin body (resin plug body) that contains the antenna and the transmission circuit in an airtight manner, and a sensitive portion that is exposed from the resin body, The sensitive part is formed of a substance whose electrical resistivity changes due to a reaction with the detection target gas, and the signal transmitted from the antenna is changed by changing the electrical resistivity of the sensitive part. Power plug with RFID sensor.

構成例18:前記感応部を外気と非接触状態に維持する封止体を取り外し可能に備えた請求項17のRFIDセンサ付き電源プラグ。   Configuration Example 18: The power plug with an RFID sensor according to claim 17, wherein the power supply plug with the RFID sensor is detachably provided with a sealing body that maintains the sensitive portion in a non-contact state with outside air.

構成例19:構成例18において、前記封止体は、前記樹脂体の表面に前記感応部を覆うようにして密着させて貼り付けられた剥離シートであるRFIDセンサ付き電源プラグ。   Configuration Example 19: The power plug with an RFID sensor according to Configuration Example 18, wherein the sealing body is a release sheet that is adhered to the surface of the resin body so as to cover the sensitive portion.

構成例20:構成例17〜19のいずれかにおいて、前記感応部の電気抵抗率が増大することにより前記アンテナ又は前記送信回路が機能し得ない状態になるように構成したRFIDセンサ付き電源プラグ。   Configuration example 20: The power plug with an RFID sensor configured in any one of configuration examples 17 to 19 so that the antenna or the transmission circuit cannot function due to an increase in electrical resistivity of the sensitive part.

構成例21:構成例17〜19のいずれかにおいて、前記感応部の電気抵抗率が低下することにより前記アンテナ又は前記送信回路が機能し得る状態になるように構成したRFIDセンサ付き電源プラグ。   Configuration Example 21: The power plug with RFID sensor configured to be in a state in which the antenna or the transmission circuit can function as a result of a decrease in electrical resistivity of the sensitive portion in any of Configuration Examples 17 to 19.

RFIDセンサ付きコンセント装置は、たとえば以下の構成により実現できる。   The outlet device with the RFID sensor can be realized by the following configuration, for example.

構成例1:一つ又は複数の電源プラグを挿抜自在に接続可能なコンセント装置であって、アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容した樹脂体(樹脂製のコンセント本体)と、樹脂体の表面の一部であって検知対象粒子が付着する粒子検出領域と、粒子検出領域を挟んで対向配置された一対の電極と、を備え、粒子検出領域に付着した検知対象粒子によって両電極間が短絡することによりアンテナの回路が形成されるように構成したRFIDセンサ付きコンセント装置。   Configuration Example 1: An outlet device to which one or a plurality of power plugs can be removably connected, and includes an antenna, a transmission circuit that transmits a signal from the antenna, and a resin body (resin-made) that collectively contains the antenna and the transmission circuit The outlet body), a particle detection region that is a part of the surface of the resin body, to which the detection target particles adhere, and a pair of electrodes that are arranged opposite to each other with the particle detection region interposed therebetween, and is attached to the particle detection region An outlet device with an RFID sensor configured such that an antenna circuit is formed by short-circuiting between both electrodes by the detected particles.

構成例2:一つ又は複数の電源プラグを挿抜自在に接続可能なコンセント装置であって、アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容した樹脂体(樹脂製のコンセント本体)と、樹脂体の表面の一部に形成された凹部の内面又は内部空間であって検知対象粒子が付着する粒子検出領域と、粒子検出領域を挟んで対向配置された一対の電極と、を備え、粒子検出領域に付着した検知対象粒子によって両電極間が短絡することによりアンテナの回路が形成されるように構成したことを特徴とするRFIDセンサ付きコンセント装置。   Configuration example 2: An outlet device to which one or a plurality of power plugs can be removably connected, and includes an antenna, a transmission circuit that transmits a signal from the antenna, and a resin body (resin-made) that collectively contains the antenna and the transmission circuit The outlet body), the inner surface of the recess formed in a part of the surface of the resin body or the internal space, the particle detection region to which the detection target particles adhere, and a pair of electrodes arranged opposite to each other with the particle detection region interposed therebetween An outlet device with an RFID sensor, characterized in that an antenna circuit is formed by short-circuiting between both electrodes by a detection target particle adhering to a particle detection region.

構成例3:構成例2において、前記電極を前記凹部の深さ方向に離間させて複数対配置するとともに前記アンテナを複数備え、複数対の電極間が順次短絡することにより複数のアンテナの回路が順次形成されるように構成したRFIDセンサ付きコンセント装置。   Configuration Example 3: In Configuration Example 2, a plurality of pairs of the antennas are arranged while being spaced apart in the depth direction of the recesses, and a plurality of the antennas are provided, and a plurality of antenna circuits are sequentially short-circuited. Outlet device with RFID sensor configured to be formed sequentially.

構成例4:構成例2において、前記電極を前記凹部の深さ方向に離間させて複数対配置し、短絡した電極対に応じて又は短絡した電極対の数に応じて異なる信号を送信するように構成したRFIDセンサ付きコンセント装置。   Configuration Example 4: In Configuration Example 2, a plurality of pairs of the electrodes are arranged apart from each other in the depth direction of the recess, and different signals are transmitted according to the shorted electrode pairs or the number of shorted electrode pairs. An outlet device with an RFID sensor configured as above.

構成例5:構成例1〜4のいずれかにおいて、前記電極は、前記粒子検出領域に前記検知対象粒子が複数個付着したときに対をなす電極間が短絡するように対をなす両電極相互の間隔が選定されているRFIDセンサ付きコンセント装置。   Configuration Example 5: In any one of Configuration Examples 1 to 4, the electrodes are configured such that the electrodes are paired so that a pair of electrodes is short-circuited when a plurality of detection target particles are attached to the particle detection region. An outlet device with an RFID sensor for which the interval is selected.

構成例6:一つ又は複数の電源プラグを挿抜自在に接続可能なコンセント装置であって、アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容した樹脂体(樹脂製のコンセント本体)と、樹脂体の表面の一部であって検知対象粒子が付着する粒子検出領域と、粒子検出領域に互いの間隙が重なるようにして互いに並行に設けられた一対の電極と、を備え、粒子検出領域に付着した検知対象粒子によって両電極間の静電容量が変化することにより、アンテナから送信される信号が変化するように構成したRFIDセンサ付きコンセント装置。   Configuration Example 6: An outlet device to which one or a plurality of power plugs can be removably connected, and includes an antenna, a transmission circuit that transmits a signal from the antenna, and a resin body (resin made of resin) that collectively contains the antenna and the transmission circuit Outlet body), a particle detection region that is a part of the surface of the resin body and to which the detection target particles adhere, and a pair of electrodes provided in parallel with each other such that the gap between the particle detection region overlaps, An outlet device with an RFID sensor configured to change a signal transmitted from an antenna by changing a capacitance between both electrodes by a detection target particle attached to a particle detection region.

構成例7:一つ又は複数の電源プラグを挿抜自在に接続可能なコンセント装置であって、アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容した樹脂体(樹脂製のコンセント本体)と、樹脂体の表面の一部に形成された凹部の内面又は内部空間であって検知対象粒子が付着する粒子検出領域と、粒子検出領域を挟んで対向配置された一対の電極と、を備え、粒子検出領域に付着した検知対象粒子によって両電極間の静電容量が変化することにより、アンテナから送信される信号が変化するように構成したRFIDセンサ付きコンセント装置。   Configuration Example 7: An outlet device to which one or a plurality of power plugs can be removably connected, and includes an antenna, a transmission circuit that transmits a signal from the antenna, and a resin body (resin made of resin) that collectively contains the antenna and the transmission circuit The outlet body), the inner surface of the recess formed in a part of the surface of the resin body or the internal space, the particle detection region to which the detection target particles adhere, and a pair of electrodes arranged opposite to each other with the particle detection region interposed therebetween An outlet device with an RFID sensor configured to change a signal transmitted from an antenna by changing a capacitance between both electrodes by a detection target particle attached to a particle detection region.

構成例8:構成例6または7において、前記一対の電極は、前記粒子検出領域に前記検知対象粒子が複数個付着し得るように両電極相互の間隔が選定されているRFIDセンサ付きコンセント装置。   Configuration Example 8: The RFID sensor outlet device according to Configuration Example 6 or 7, wherein the pair of electrodes has a distance between the electrodes selected so that a plurality of detection target particles can adhere to the particle detection region.

構成例9:構成例6〜8のいずれかにおいて、前記電極は、前記樹脂体を構成する樹脂で覆われているRFIDセンサ付きコンセント装置。   Configuration Example 9: In any one of Configuration Examples 6 to 8, the electrode is an outlet device with an RFID sensor that is covered with a resin that constitutes the resin body.

構成例10:一つ又は複数の電源プラグを挿抜自在に接続可能なコンセント装置であって、アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容した樹脂体(樹脂製のコンセント本体)と、樹脂体の表面の検知対象粒子が付着する位置に形成された受光窓と、受光窓を通して入射する光を検出する受光素子と、を備え、受光素子の出力に応じてアンテナから送信される信号が変化するように構成したRFIDセンサ付きコンセント装置。   Configuration Example 10: An outlet device to which one or a plurality of power plugs can be removably connected, and includes an antenna, a transmission circuit that transmits a signal from the antenna, and a resin body (resin made of resin) that collectively contains the antenna and the transmission circuit An outlet body), a light receiving window formed at a position where particles to be detected on the surface of the resin body adhere, and a light receiving element for detecting light incident through the light receiving window, and an antenna according to the output of the light receiving element An outlet device with an RFID sensor configured so that a signal transmitted from the device changes.

構成例11:構成例10において、前記受光素子は、フォトダイオード又は太陽電池であるRFIDセンサ付きコンセント装置。   Configuration Example 11: In the configuration example 10, the light receiving element is an outlet device with an RFID sensor, which is a photodiode or a solar battery.

構成例12:一つ又は複数の電源プラグを挿抜自在に接続可能なコンセント装置であって、アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容した樹脂体(樹脂製のコンセント本体)と、樹脂体の検知対象粒子が付着する位置に固定して設けられ且つ所定の出力で発光する発光素子と、樹脂体の検知対象粒子が付着する位置に固定して設けられ且つ発光素子からの光を受光する受光素子と、を備え、受光素子の出力に応じてアンテナから送信される信号が変化するように構成したRFIDセンサ付きコンセント装置。   Configuration Example 12: An outlet device to which one or a plurality of power plugs can be inserted and removed freely, including an antenna, a transmission circuit that transmits a signal from the antenna, and a resin body (resin made of resin) that collectively contains the antenna and the transmission circuit And a light emitting element which is fixedly provided at a position where the detection target particles of the resin body are attached and emits light at a predetermined output, and is fixedly provided at a position where the detection target particles of the resin body are attached. An outlet device with an RFID sensor, comprising: a light receiving element that receives light from the light emitting element, and configured to change a signal transmitted from the antenna in accordance with an output of the light receiving element.

構成例13:構成例1〜12のいずれかにおいて、被貼着物に貼り付けるための粘着剤層と、粘着剤層を覆う剥離シートとを備えたRFIDセンサ付きコンセント装置。   Configuration Example 13: An outlet device with an RFID sensor, which includes a pressure-sensitive adhesive layer for bonding to an adherend and a release sheet that covers the pressure-sensitive adhesive layer in any one of the configuration examples 1 to 12.

構成例14:一つ又は複数の電源プラグを挿抜自在に接続可能なコンセント装置であって、アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を一括収容した樹脂体(樹脂製のコンセント本体)と、樹脂体の表面の一部に形成された凹部の内面又は内部空間であって油分が浸入する油分検出領域と、前記油分検出領域を挟んで対向配置された電極の対と、を備え、前記油分検出領域に浸入した油分によって両電極間の静電容量が変化することにより、アンテナから送信される信号が変化するように構成したRFIDセンサ付きコンセント装置。   Configuration Example 14: An outlet device to which one or a plurality of power plugs can be removably connected, and includes an antenna, a transmission circuit that transmits a signal from the antenna, and a resin body (resin made of resin) that collectively contains the antenna and the transmission circuit An outlet body), an oil content detection area that is the inner surface or internal space of a recess formed in a part of the surface of the resin body, and a pair of electrodes that are opposed to each other with the oil content detection area interposed therebetween. , And an outlet device with an RFID sensor configured such that a signal transmitted from the antenna changes when the capacitance between both electrodes changes due to the oil that has entered the oil detection region.

構成例15:構成例14において、前記電極は、前記樹脂体を構成する樹脂で覆われているRFIDセンサ付きコンセント装置。   Configuration Example 15: A socket device with an RFID sensor according to Configuration Example 14, wherein the electrode is covered with a resin constituting the resin body.

構成例16:構成例14または15において、被貼着物に貼り付けるための粘着剤層と、粘着剤層を覆う剥離シートとを備えたRFIDセンサ付きコンセント装置。   Configuration Example 16: An outlet device with an RFID sensor including the pressure-sensitive adhesive layer for bonding to an adherend in the configuration example 14 or 15, and a release sheet covering the pressure-sensitive adhesive layer.

構成例17:一つ又は複数の電源プラグを挿抜自在に接続可能なコンセント装置であって、アンテナと、アンテナから信号を送信する送信回路と、アンテナと送信回路を気密に一括収容した樹脂体(樹脂製のコンセント本体)と、樹脂体から露出した感応部と、を備え、前記感応部を検知対象ガスとの反応によりその電気抵抗率が変化する物質で形成し、前記感応部の電気抵抗率が変化することにより、前記アンテナから送信される信号が変化するように構成したRFIDセンサ付きコンセント装置。   Configuration Example 17: An outlet device to which one or a plurality of power plugs can be removably connected, and includes an antenna, a transmission circuit that transmits a signal from the antenna, and a resin body that hermetically accommodates the antenna and the transmission circuit ( A resin outlet body) and a sensitive part exposed from the resin body, wherein the sensitive part is formed of a substance whose electrical resistivity changes by reaction with the detection target gas, and the electrical resistivity of the sensitive part An outlet device with an RFID sensor configured so that a signal transmitted from the antenna changes as a result of a change.

構成例18:前記感応部を外気と非接触状態に維持する封止体を取り外し可能に備えた請求項17のRFIDセンサ付きコンセント装置。   Configuration Example 18: The outlet device with an RFID sensor according to claim 17, wherein the sealing body that maintains the sensitive portion in a non-contact state with outside air is detachable.

構成例19:構成例18において、前記封止体は、前記樹脂体の表面に前記感応部を覆うようにして密着させて貼り付けられた剥離シートであるRFIDセンサ付きコンセント装置。   Configuration Example 19: In the configuration example 18, the sealing body is an outlet device with an RFID sensor, which is a release sheet that is attached in close contact with the surface of the resin body so as to cover the sensitive portion.

構成例20:構成例17〜19のいずれかにおいて、前記感応部の電気抵抗率が増大することにより前記アンテナ又は前記送信回路が機能し得ない状態になるように構成したRFIDセンサ付きコンセント装置。   Configuration Example 20: The outlet device with an RFID sensor configured to be in a state in which the antenna or the transmission circuit cannot function due to an increase in electrical resistivity of the sensitive unit in any one of Configuration Examples 17 to 19.

構成例21:構成例17〜19のいずれかにおいて、前記感応部の電気抵抗率が低下することにより前記アンテナ又は前記送信回路が機能し得る状態になるように構成したRFIDセンサ付きコンセント装置。   Configuration Example 21: An outlet device with an RFID sensor configured to be in a state in which the antenna or the transmission circuit can function as a result of a decrease in electrical resistivity of the sensitive portion in any of Configuration Examples 17 to 19.

[エバネセントモードを用いた無線通信システム]
本発明の無線タグ型センサは、エバネセントモードを用いた無線通信システムの子局(センサ)として用いることもできる。以下、本発明の無線タグ型センサを用いた無線通信システム(粒子状物質監視システム、油分監視システム、ガス監視システム、等を含む。)について説明する。ここでは、特開2004−32581号公報の記載を利用させていただく。
[Wireless communication system using evanescent mode]
The RFID tag type sensor of the present invention can also be used as a slave station (sensor) of a wireless communication system using an evanescent mode. Hereinafter, a wireless communication system (including a particulate matter monitoring system, an oil content monitoring system, a gas monitoring system, etc.) using the RFID tag type sensor of the present invention will be described. Here, the description of JP 2004-32581 A will be used.

従来の無線LAN、例えばGHz帯を利用する無線LANでは、その使用電波の周波数特性から、以下に示す課題がある。
(1)アクセスポイント(親局)とクライアント(子局)との間に所定の空中線電界強度を得るために、局間の見通しを確保する必要があり、建物内の設備の配置計画時、設備の移設時に局配置に制約を受けやすく、導入・維持管理コストの削減に限界がある。
(2)建屋外に電波の漏れが生じやすい周波数帯であり、隣接した建屋の無線
LAN間で混信が発生しやすく、建物ごとの独立性が確保しにくい。
(3)既設の無線通信(IEEE802.11やPHS、赤外線通信等)で構築されたサービスに加え、新たなサービスを無線通信で構築しようとする場合、混信なく併設可能となる無線通信の選択肢が限定される。
Conventional wireless LANs, for example, wireless LANs using the GHz band, have the following problems due to the frequency characteristics of the radio waves used.
(1) In order to obtain a predetermined antenna electric field strength between the access point (master station) and the client (slave station), it is necessary to secure a line of sight between the stations. The location of stations is subject to restrictions when relocating, and there is a limit to reducing the cost of introduction and maintenance.
(2) A frequency band in which radio waves are likely to leak outside the building, and interference is likely to occur between wireless LANs in adjacent buildings, making it difficult to ensure independence for each building.
(3) In addition to services established by existing wireless communication (IEEE802.11, PHS, infrared communication, etc.), when a new service is to be established by wireless communication, there are wireless communication options that can be installed together without interference. Limited.

セキュリティシステム分野でのデータ伝送には、上記のGHz帯を使用したネットワーク(LAN)や、種々の無線技術が使われてきたことは上記のとおりである。しかるに、大規模で複雑な建物内の設備配置から構成される生産ラインに無線技術を適用するには、上記の課題に対して、何らかの改良が行われることが強く望まれている。   As described above, the network (LAN) using the above-mentioned GHz band and various wireless technologies have been used for data transmission in the security system field. However, in order to apply the wireless technology to a production line composed of equipment arrangements in a large and complex building, it is strongly desired that some improvement is made on the above-described problems.

例えば、大型プラント内における作業者の位置の把握を行う手法を考える。自己申告の不要な所在確認として近年PHS(Personal Handyphone System)を使用したシステムが取り入れられている。各部屋にPHSの基地局(親局)を設置し、部屋の中で端末(子局)を保持する物体の有無を確認、全体を統括するコンピュータで各端末がどの部屋に存在するかを記録、監視する。しかし、この場合親局間距離が近い場合混信が生じる場合があることと子局と親局の間の見通しを確保する必要があるため様々な機械が入り組むプラント内では親局の適正な設置計画を組むことが難しい。さらに、設備・機器の改修が行われた場合には再び親局の設置を見直す必要がある。   For example, consider a technique for grasping the position of an operator in a large plant. In recent years, a system using a PHS (Personal Handyphone System) has been adopted as a location confirmation that does not require self-reporting. A PHS base station (parent station) is installed in each room, the presence or absence of an object holding the terminal (slave station) in the room is checked, and the room in which each terminal exists is recorded by a computer that controls the whole. ,Monitor. However, in this case, there is a possibility that interference may occur when the distance between the master stations is short, and it is necessary to secure a line of sight between the slave station and the master station. Difficult to plan. In addition, when the facilities and equipment are refurbished, it is necessary to review the installation of the master station again.

本発明は、無線タグ(子局)と読取装置(親局)との間の見通しを確保することが困難な建造物(施設)においても、建造物の各所に設置した無線タグ型センサからの信号に基づいて、建造物の各所の状況(粒子状物質の発生或いは浸入状況、油分の発生或いは浸入状況、特定のガスの発生或いは浸入状況)を検知できる施設内監視システムを提供するものである。   In the present invention, even in a building (facility) in which it is difficult to secure a line of sight between the wireless tag (slave station) and the reader (parent station), the wireless tag type sensor installed in each place of the building is used. Provided is an in-facility monitoring system that can detect the status of each part of a building (generation or intrusion status of particulate matter, generation or intrusion status of oil, generation or intrusion status of a specific gas) based on a signal. .

この施設内監視システムは、導電体の建造物構造体、導電体の流体物供給管或いは導電体の電気供給管に高周波電流を誘起し、これら被誘起体を伝播路として作用させて電磁界を発生させる電磁界発生装置と、建造物の各所(床、天井、壁、等)に設置された無線タグ(子局)と、前記無線タグに記憶されている情報を読み取る読取装置(親局)と、を備え、前記無線タグと前記読取装置との通信を前記電磁界を利用して行うように構成される。そして、無線タグ(子局)として、本発明の粉塵センサ、油センサ又はガスセンサ(すなわち、請求項1〜25のいずれかに記載の無線タグ型センサ)を用いる。   This in-facility monitoring system induces a high-frequency current in a conductive building structure, a conductive fluid supply pipe, or a conductive electric supply pipe, and causes the induced body to act as a propagation path to generate an electromagnetic field. Electromagnetic field generating device to be generated, wireless tag (slave station) installed in each place (floor, ceiling, wall, etc.) of the building, and reading device (master station) for reading information stored in the wireless tag And the communication between the wireless tag and the reader is performed using the electromagnetic field. And the dust sensor of this invention, an oil sensor, or a gas sensor (namely, the wireless tag type | mold sensor in any one of Claims 1-25) is used as a wireless tag (slave station).

上記のように構成されたシステムは、導入・維持が容易で、建物間の独立性を確保し、既設の無線通信方式と併設が可能である。そして、このシステムによれば、大規模で複雑な構造をもつ建物内の各所の状況(粒子状物質の発生或いは浸入状況、油分の発生或いは浸入状況、特定のガスの発生或いは浸入状況)を一括して監視可能な施設内監視システムを実現することができる。   The system configured as described above is easy to install and maintain, ensures independence between buildings, and can be installed together with an existing wireless communication system. According to this system, the situation of various places in a building having a large-scale and complicated structure (occurrence or infiltration of particulate matter, occurrence or infiltration of oil, generation or invasion of specific gas) is collectively displayed. Thus, an in-facility monitoring system that can be monitored can be realized.

エバネセントモードの形成は次のように行われる。
(1)建物に高周波電流を注入する。注入された高周波電流が、壁内の鉄骨、電線管等を誘起する。
(2)高周波電流が、建物内で電気的に接続された鉄骨、電線管等が給電路として作用し、各部屋の壁までエネルギーを伝える。
(3)そして、部屋を取り囲む壁が、次の2つの物理現象によってエバネセントモードを室内に形成する。
(a)導波管の注入面として動作し、壁面に垂直な方向に指数的に減衰するエバネセント波を作り出す。
(b)電導体の表面に誘電体が接触した「2層の表面波線路」を形成し、誘電体の中を壁面に平行な方向に高周波電流が進行波として伝播し、誘電体の表面から室内に向かう壁面に垂直な方向に指数関数的に減衰するエバネセント波を作り出す。
Formation of the evanescent mode is performed as follows.
(1) Inject high-frequency current into the building. The injected high frequency current induces a steel frame, a conduit, etc. in the wall.
(2) A high-frequency current acts as a power feeding path, such as a steel frame and a conduit that are electrically connected in the building, and transmits energy to the walls of each room.
(3) The walls surrounding the room form an evanescent mode in the room by the following two physical phenomena.
(A) The evanescent wave that operates as an injection surface of the waveguide and exponentially attenuates in a direction perpendicular to the wall surface is generated.
(B) A “two-layer surface wave line” in which a dielectric is in contact with the surface of the conductor is formed, and a high-frequency current propagates as a traveling wave through the dielectric in a direction parallel to the wall surface. Produces an evanescent wave that decays exponentially in a direction perpendicular to the wall facing the room.

上記(3)(a)の電磁波挙動は、導波管のカットオフ周波数以下でのエバネセントモードであり、「The Feynman Lectures on Physics Vol. III, Chapter 3 "Wave Guide",Feynman, Leighton and Sands, Addison−Wesley PublishingCompany (1965)」に解説がある。また、上記(3)(b)の電磁波挙動は、電導体と誘電体とを組み合わせた表面波線路からのエバネセン波であり、「稲垣直樹著,"電気・電子学生のための電磁波工学"丸善(1980)」に解説がある。   The electromagnetic wave behavior of (3) (a) above is an evanescent mode below the cutoff frequency of the waveguide, “The Feynman Lectures on Physics Vol. III, Chapter 3“ Wave Guide ”, Feynman, Leighton and Sands, Addison-Wesley Publishing Company (1965) "explains. The electromagnetic wave behavior of (3) and (b) above is an evanescent wave from a surface wave line that combines a conductor and a dielectric. “Naoki Inagaki,“ Electromagnetic wave engineering for electrical and electronic students ”Maruzen (1980) ”explains.

図88を参照して、エバネッセン通信による施設内監視システムを具体的に説明する。   With reference to FIG. 88, the in-facility monitoring system by evanescent communication is demonstrated concretely.

建物100は、鉄骨等の構造物120が機械的に接合されたものであり、構造物120が電気的にも接続されたものとなっている。さらに、建物100の壁内、床・天井間もしくは部屋内には、水道管130、電線管・ケーブル(あるいは「ケーブル」は「ケーブルトレイ」とも称する。以下同様)・ダクト140等金属性のものが配置されている。読取装置(リーダ、親局、アクセスポイント)は、建物構造物120、水道管130、電線管・ケーブル・ダクト140等の電導体に対して高周波電流を注入し建物内の各部屋にエバネセントモードの電場を形成するための電気エネルギー注入器150(以下、エキサイタと称す)と、データ・制御信号を電気エネルギーとの間の相互変換を行うためのハブ160とを備えている。ハブ160は、有線或いは無線によるネットワークシステム170によって、建物100内或いは建物100外の図示しない通信システム或いはサーバと接続されている。導電体に高周波電流を誘起し、伝播路を伝播させ、電磁界を発生させるエバネセント通信では、この発生させた電磁界を利用して、通信をおこなう。   The building 100 is a structure in which a structure 120 such as a steel frame is mechanically joined, and the structure 120 is also electrically connected. Further, in the wall of the building 100, between the floor and the ceiling or in the room, a water pipe 130, a conduit pipe / cable (or “cable” is also referred to as “cable tray”, the same shall apply hereinafter), a duct 140, and the like Is arranged. The reader (reader, master station, access point) injects high-frequency current into the conductors such as the building structure 120, the water pipe 130, the electric conduit / cable / duct 140, and the like in the evanescent mode in each room in the building. An electric energy injector 150 (hereinafter referred to as an exciter) for forming an electric field and a hub 160 for performing mutual conversion between data and control signals and electric energy are provided. The hub 160 is connected to a communication system or server (not shown) inside or outside the building 100 by a wired or wireless network system 170. In evanescent communication in which a high-frequency current is induced in a conductor, propagates through a propagation path, and generates an electromagnetic field, communication is performed using the generated electromagnetic field.

建物100内には、無線タグ型センサ(子局)180が各所に配置されている。無線タグ型センサ(子局)180は、エバネセントモードの空中線電界とエネルギー交換するアンテナ180A(11、21、31、41、51、61)とセンサ本体180B(13、23、33、43、53、63)とを備える。図88では、アンテナ180Aがセンサ本体180Bに接続された形態として描かれているが、アンテナ180Aは、実際には、送信回路(12、32、42、52、62)と共にセンサ本体180B内に一括収容されている。   In the building 100, wireless tag type sensors (slave stations) 180 are arranged in various places. The wireless tag type sensor (slave station) 180 includes an antenna 180A (11, 21, 31, 41, 51, 61) for exchanging energy with an evanescent mode antenna electric field and a sensor body 180B (13, 23, 33, 43, 53, 63). In FIG. 88, the antenna 180A is depicted as being connected to the sensor main body 180B, but the antenna 180A is actually bundled together with the transmission circuit (12, 32, 42, 52, 62) in the sensor main body 180B. Contained.

このエバネセント通信技術では、例えば短波帯近傍の高周波を用いることにより、建物100の内部に空中線電界強度を得られ、見通しの遮られた個々の部屋への通信が可能となる。また、建物固有のカットオフ周波数以下での運用によって、建物100の外部への空中線電界の漏洩がないため、建物100ごとに独立した通信環境を確立することが可能となる。   In this evanescent communication technology, for example, by using a high frequency in the vicinity of the short wave band, an antenna electric field strength can be obtained inside the building 100, and communication to an individual room where the line of sight is blocked becomes possible. In addition, since the antenna electric field does not leak to the outside of the building 100 by operation at or below the cut-off frequency unique to the building, it is possible to establish an independent communication environment for each building 100.

この施設内監視システムは、無線タグ型センサ(子局)180が他の物体(金属部品を多く含む機械器具、鉄板、金網その他の電波遮蔽体)の裏側に設置されている場合でも、他の通信方式に比べて良好な回り込み特性により良好な通信を行うことができるので(すなわち、無線タグ型センサ(子局)180が建物100の床や壁、天井などエバネセントモードの電磁波強度の強い場所に設置されているので)、見通しの遮断によるエラー率の悪化等がない。よって、無線タグ型センサ(子局)180からの信号を確実にキャッチすることができる。人や荷物など無線通信の障害に成り得る物体が無線タグ型センサ(子局)180の見通しを遮断する場合も同様である。つまり、従来無線通信の障害物となっていた物体の存在の有無に拘わらず、エバネセントモードでは良好な通信を行うことができる。   Even if the RFID tag type sensor (slave station) 180 is installed on the back side of other objects (machinery and equipment containing many metal parts, iron plate, wire mesh or other radio wave shield), Good communication can be performed with better wraparound characteristics compared to the communication method (that is, the RFID tag type sensor (slave station) 180 is installed in a place where the electromagnetic wave intensity of the evanescent mode is strong such as the floor, wall, or ceiling of the building 100 Therefore, there is no deterioration in error rate due to outage. Therefore, the signal from the RFID tag type sensor (slave station) 180 can be reliably caught. The same applies to an object that may interfere with wireless communication, such as a person or a baggage, blocking the view of the wireless tag type sensor (slave station) 180. That is, good communication can be performed in the evanescent mode regardless of the presence or absence of an object that has been an obstacle of conventional wireless communication.

この施設内監視システムは、鉄鋼工場、半導体装置製造工場、食品工場、病院、一般住居、等、様々な施設の状況監視システムとして適用可能である。   This in-facility monitoring system can be applied as a situation monitoring system for various facilities such as a steel factory, a semiconductor device manufacturing factory, a food factory, a hospital, and a general residence.

10−1 粉塵センサ
10−2 粉塵センサ
10−3 粉塵センサ
11 アンテナ
11−1 アンテナ
11−2 アンテナ
12 送信回路
13 タグ体(樹脂体、電磁波を透過する物質で形成された気密封止体)
14 粒子検出領域
15a 電極
15b 電極
15L 電極対
15U 電極対
16 凹部
17 粒子検出領域
20−1 粉塵センサ
20−2 粉塵センサ
21 アンテナ
22 送信回路
23 タグ体(樹脂体、電磁波を透過する物質で形成された気密封止体)
24 粒子検出領域
25a 電極
25b 電極
26 凹部
27 粒子検出領域
30 粉塵センサ
31 アンテナ
32 送信回路
33 タグ体(樹脂体、電磁波を透過する物質で形成された気密封止体)
34 受光窓
35 受光素子
36 透明樹脂板
40 粉塵センサ
41 アンテナ
42 送信回路
43 タグ体(樹脂体、電磁波を透過する物質で形成された気密封止体)
44 発光素子
45 受光素子
50 油センサ
51 アンテナ
52 送信回路
53 タグ体(樹脂体、電磁波を透過する物質で形成された気密封止体)
54 油分検出領域
55a 電極
55b 電極
56 凹部
60−1 ガスセンサ
60−2 ガスセンサ
61 アンテナ
61−1 第1のアンテナ
61−2 第2のアンテナ
62 送信回路
63 タグ体(樹脂体、電磁波を透過する物質で形成された気密封止体)
65−1a 電極
65−1b 電極
65−2a 電極
65−2b 電極
66 Fe薄膜
67 Fe薄膜
68−1 第1感応部
68−2 第2感応部
68 感応部
70 水素感応膜
71 絶縁体
81 粘着剤層
82 剥離シート
D0 間隔
P 検知対象粒子
Pc 導体微粒子(検知対象粒子)
Pi 誘電体微粒子(検知対象粒子)
Oil 油分
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10-1 Dust sensor 10-2 Dust sensor 10-3 Dust sensor 11 Antenna 11-1 Antenna 11-2 Antenna 12 Transmission circuit 13 Tag body (resin body, airtight sealing body formed of a substance that transmits electromagnetic waves)
14 Particle detection area 15a Electrode 15b Electrode 15L Electrode pair 15U Electrode pair 16 Recess 17 Particle detection area 20-1 Dust sensor 20-2 Dust sensor 21 Antenna 22 Transmission circuit 23 Tag body (resin body, formed of a substance that transmits electromagnetic waves) Airtight sealed body)
24 Particle detection region 25a Electrode 25b Electrode 26 Recessed portion 27 Particle detection region 30 Dust sensor 31 Antenna 32 Transmission circuit 33 Tag body (resin body, hermetic sealing body formed of a substance that transmits electromagnetic waves)
34 Light Receiving Window 35 Light Receiving Element 36 Transparent Resin Plate 40 Dust Sensor 41 Antenna 42 Transmitting Circuit 43 Tag Body (Resin Body, Hermetic Seal Formed with a Substance that Transmits Electromagnetic Waves)
44 Light-Emitting Element 45 Light-Receiving Element 50 Oil Sensor 51 Antenna 52 Transmission Circuit 53 Tag Body (Resin Body, Hermetic Sealed Body Formed with a Substance that Transmits Electromagnetic Waves)
54 Oil detection area 55a Electrode 55b Electrode 56 Recess 60-1 Gas sensor 60-2 Gas sensor 61 Antenna 61-1 First antenna 61-2 Second antenna 62 Transmission circuit 63 Tag body (resin body, a substance that transmits electromagnetic waves) Formed hermetic seal)
65-1a electrode 65-1b electrode 65-2a electrode 65-2b electrode 66 Fe thin film 67 Fe thin film 68-1 First sensitive part 68-2 Second sensitive part 68 Sensitive part 70 Hydrogen sensitive film 71 Insulator 81 Adhesive layer 82 Peeling sheet D0 Interval P Detection target particle Pc Conductor fine particle (detection target particle)
Pi dielectric fine particles (particles to be detected)
Oil oil

Claims (10)

アンテナと、
アンテナから信号を送信する送信回路と、
アンテナと送信回路を気密に一括収容したタグ体と、
タグ体から露出した第1感応部と、
第1感応部に覆われた第2感応部と、
第1感応部を外気と非接触状態に維持する取り外し可能な封止体と、を備え、
第2感応部と外気との接触は第1感応部によって阻止されており、
第1感応部及び第2感応部を検知対象ガスとの反応によりその電気抵抗率が変化する物質で形成し、
第1感応部及び第2感応部の電気抵抗率の変化に応じた信号がアンテナから送信されるように構成し
封止体は、タグ体の表面に第1感応部を覆うようにして密着させて貼り付けられた剥離シートであり、
第1感応部は、剥離シートがはぎ取られているか否かを判別するために設けられた感応部である、無線タグ型ガスセンサ。
An antenna,
A transmission circuit for transmitting a signal from an antenna;
A tag body that contains an antenna and a transmission circuit in an airtight manner,
A first sensitive part exposed from the tag body;
A second sensitive part covered by the first sensitive part;
A removable sealing body for maintaining the first sensitive part in a non-contact state with the outside air ,
Contact between the second sensitive part and the outside air is blocked by the first sensitive part,
The first sensitive part and the second sensitive part are formed of a substance whose electrical resistivity changes by reaction with the detection target gas,
A signal corresponding to a change in electrical resistivity of the first sensitive part and the second sensitive part is configured to be transmitted from the antenna ,
The sealing body is a release sheet that is adhered and adhered to the surface of the tag body so as to cover the first sensitive part,
The first sensitive part is a wireless tag type gas sensor , which is a sensitive part provided to determine whether or not the release sheet is peeled off .
第1のアンテナと、
第2のアンテナと、
第1及び第2のアンテナから識別信号を送信する送信回路と、
第1及び第2のアンテナと送信回路とを気密に一括収容したタグ体と、
タグ体から露出した第1感応部と、
第1感応部に覆われた第2感応部と、
第1感応部を外気と非接触状態に維持する取り外し可能な封止体と、を備え、
第2感応部と外気との接触は第1感応部によって阻止されており、
第1感応部及び第2感応部を検知対象ガスとの反応によりその電気抵抗率が変化する物質で形成し、
第1感応部の電気抵抗率が変化することにより第1のアンテナから送信される信号が変化し、
第2感応部の電気抵抗率が変化することにより第2のアンテナから送信される信号が変化するように構成し
封止体は、タグ体の表面に第1感応部を覆うようにして密着させて貼り付けられた剥離シートであり、
第1感応部は、剥離シートがはぎ取られているか否かを判別するために設けられた感応部である、無線タグ型ガスセンサ。
A first antenna;
A second antenna;
A transmission circuit for transmitting an identification signal from the first and second antennas;
A tag body that hermetically accommodates the first and second antennas and the transmission circuit;
A first sensitive part exposed from the tag body;
A second sensitive part covered by the first sensitive part;
A removable sealing body for maintaining the first sensitive part in a non-contact state with the outside air ,
Contact between the second sensitive part and the outside air is blocked by the first sensitive part,
The first sensitive part and the second sensitive part are formed of a substance whose electrical resistivity changes by reaction with the detection target gas,
The signal transmitted from the first antenna is changed by changing the electrical resistivity of the first sensitive part,
The signal transmitted from the second antenna is changed by changing the electrical resistivity of the second sensitive part ,
The sealing body is a release sheet that is adhered and adhered to the surface of the tag body so as to cover the first sensitive part,
The first sensitive part is a wireless tag type gas sensor , which is a sensitive part provided to determine whether or not the release sheet is peeled off .
第1感応部は、第1のアンテナの回路の途中に設けられた一対の電極間に掛け渡して設けられることにより、第1のアンテナの回路の一部をなし、
第2感応部は、第2のアンテナの回路の途中に設けられた一対の電極間に掛け渡して設けられることにより、第2のアンテナの回路の一部をなしている請求項2の無線タグ型ガスセンサ。
The first sensing part is provided between a pair of electrodes provided in the middle of the circuit of the first antenna, thereby forming a part of the circuit of the first antenna,
The wireless tag according to claim 2, wherein the second sensing portion is provided between a pair of electrodes provided in the middle of the circuit of the second antenna, thereby forming a part of the circuit of the second antenna. Type gas sensor.
第1及び第2感応部を鉄薄膜で構成した請求項1乃至3の何れかの無線タグ型ガスセンサ。   The wireless tag type gas sensor according to any one of claims 1 to 3, wherein the first and second sensitive portions are made of iron thin films. 第1及び第2感応部を水素を吸蔵することにより電気抵抗率が低下する水素感応膜で構成した請求項1乃至3の何れかの無線タグ型ガスセンサ。   The wireless tag type gas sensor according to any one of claims 1 to 3, wherein the first and second sensitive parts are configured by a hydrogen sensitive film whose electrical resistivity is lowered by occluding hydrogen. 第1及び第2感応部を酸化スズで構成した請求項1乃至3の何れかの無線タグ型ガスセンサ。   4. The wireless tag type gas sensor according to claim 1, wherein the first and second sensitive parts are made of tin oxide. 被貼着物に貼り付けるための粘着剤層と、粘着剤層を覆う剥離シートとを備えた請求項1乃至6の何れかの無線タグ型ガスセンサ。   The wireless tag type gas sensor according to any one of claims 1 to 6, further comprising an adhesive layer for attaching to an adherend and a release sheet covering the adhesive layer. アンテナと、
アンテナから信号を送信する送信回路と、
アンテナと送信回路を気密に一括収容したタグ体と、
タグ体から露出した第1感応部と、
第1感応部に覆われた第2感応部と、
第1感応部を外気と非接触状態に維持する取り外し可能な封止体と、を備え、
第2感応部と外気との接触は第1感応部によって阻止されており、
第1感応部及び第2感応部を検知対象ガスとの反応によりその電気抵抗率が変化する物質で形成し、
第1感応部及び第2感応部の電気抵抗率の変化に応じた信号がアンテナから送信されるように構成し、
封止体は、タグ体の表面に第1感応部を覆うようにして密着させて貼り付けられた剥離シートであり、
第1感応部は、剥離シートがはぎ取られているか否かを判別するために設けられた感応部である、RFIDセンサ付き電源プラグ。
An antenna,
A transmission circuit for transmitting a signal from an antenna;
A tag body that contains an antenna and a transmission circuit in an airtight manner,
A first sensitive part exposed from the tag body;
A second sensitive part covered by the first sensitive part;
A removable sealing body for maintaining the first sensitive part in a non-contact state with the outside air ,
Contact between the second sensitive part and the outside air is blocked by the first sensitive part,
The first sensitive part and the second sensitive part are formed of a substance whose electrical resistivity changes by reaction with the detection target gas,
A signal corresponding to a change in electrical resistivity of the first sensitive part and the second sensitive part is configured to be transmitted from the antenna,
The sealing body is a release sheet that is adhered and adhered to the surface of the tag body so as to cover the first sensitive part,
The first sensitive part is a sensitive part provided to determine whether or not the release sheet is peeled off . The power plug with RFID sensor.
一つ又は複数の電源プラグを挿抜自在に接続可能なコンセント装置であって、
アンテナと、
アンテナから信号を送信する送信回路と、
アンテナと送信回路を気密に一括収容したタグ体と、
タグ体から露出した第1感応部と、
第1感応部に覆われた第2感応部と、
第1感応部を外気と非接触状態に維持する取り外し可能な封止体と、を備え、
第2感応部と外気との接触は第1感応部によって阻止されており、
第1感応部及び第2感応部を検知対象ガスとの反応によりその電気抵抗率が変化する物質で形成し、
第1感応部及び第2感応部の電気抵抗率の変化に応じた信号がアンテナから送信されるように構成し、
封止体は、タグ体の表面に第1感応部を覆うようにして密着させて貼り付けられた剥離シートであり、
第1感応部は、剥離シートがはぎ取られているか否かを判別するために設けられた感応部である、RFIDセンサ付きコンセント装置。
An outlet device to which one or more power plugs can be removably connected,
An antenna,
A transmission circuit for transmitting a signal from an antenna;
A tag body that contains an antenna and a transmission circuit in an airtight manner,
A first sensitive part exposed from the tag body;
A second sensitive part covered by the first sensitive part;
A removable sealing body for maintaining the first sensitive part in a non-contact state with the outside air ,
Contact between the second sensitive part and the outside air is blocked by the first sensitive part,
The first sensitive part and the second sensitive part are formed of a substance whose electrical resistivity changes by reaction with the detection target gas,
A signal corresponding to a change in electrical resistivity of the first sensitive part and the second sensitive part is configured to be transmitted from the antenna,
The sealing body is a release sheet that is adhered and adhered to the surface of the tag body so as to cover the first sensitive part,
The first sensitive part is a sensitive part provided to determine whether or not the release sheet is peeled off . The outlet device with an RFID sensor.
導電体の建造物構造体、導電体の流体物供給管或いは導電体の電気供給管に高周波電流を誘起し、これら被誘起体を伝播路として作用させて電磁界を発生させる電磁界発生装置と、
建造物の各所に設置された無線タグと、
前記無線タグに記憶されている情報を読み取る読取装置と、を備え、
前記無線タグと前記読取装置との通信を前記電磁界を利用して行うように構成した施設内監視システムにおいて、
前記無線タグとして、請求項1乃至7の何れかに記載の無線タグ型ガスセンサを用いたことを特徴とする施設内監視システム。
An electromagnetic field generating device for inducing a high-frequency current in a building structure of a conductor, a fluid supply pipe of a conductor, or an electric supply pipe of a conductor and causing the induced body to act as a propagation path to generate an electromagnetic field; ,
Wireless tags installed at various locations in the building,
A reading device that reads information stored in the wireless tag,
In an in-facility monitoring system configured to perform communication between the wireless tag and the reader using the electromagnetic field,
An in-facility monitoring system using the RFID tag type gas sensor according to any one of claims 1 to 7 as the RFID tag.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017171206A1 (en) * 2016-03-30 2017-10-05 남성원 Gas detecting tag and method of manufacturing same

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3063700B1 (en) * 2013-10-30 2024-04-17 Massachusetts Institute of Technology Chemical and physical sensing with a reader and rfid tags
US10705002B2 (en) 2014-12-23 2020-07-07 Heraeus Nexensos Gmbh Sensor for detecting electrically conductive and/or polarizable particles and method for adjusting such a sensor
EP3382379A4 (en) * 2015-11-25 2019-08-14 Kyocera Corporation Sensor substrate and sensor device
DE102021211114A1 (en) 2021-10-01 2023-04-06 Vitesco Technologies GmbH Transmission unit and device for determining the fill level of an electrically conductive liquid
US20230105338A1 (en) 2021-10-05 2023-04-06 Globalfoundries U.S. Inc. Contact-free biosensor

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59178351A (en) * 1983-03-30 1984-10-09 Hitachi Ltd Structure of gas detecting element
JP2588217B2 (en) * 1987-10-31 1997-03-05 株式会社東芝 Gas sensor manufacturing method
JP2523900B2 (en) * 1989-11-01 1996-08-14 株式会社日立製作所 Sensor, reactor, method of controlling reactor, and method of manufacturing sensor
JPH0727731A (en) * 1993-07-14 1995-01-31 Oki Electric Ind Co Ltd Odor sensor and odor sensor unit
JPH08278273A (en) * 1995-02-07 1996-10-22 Ricoh Co Ltd Gas detector
JP2000314550A (en) * 1999-04-30 2000-11-14 Osaka Gas Co Ltd Outlet unit and automatic control system of ventilation fan
JP2001228044A (en) * 2000-02-17 2001-08-24 Yokohama Rubber Co Ltd:The Method and apparatus for detection of liquid
JP2001296237A (en) * 2000-04-17 2001-10-26 Babcock Hitachi Kk Corrosion sensor, supersensitive corrosion monitor and method
JP2002031616A (en) * 2000-07-17 2002-01-31 Yokohama Rubber Co Ltd:The Transponder for detecting humidity
JP3790813B2 (en) * 2001-10-24 2006-06-28 独立行政法人産業技術総合研究所 Damage sensing sheet
JP2004032581A (en) * 2002-06-28 2004-01-29 Hitachi Ltd In-house communication method and in-house communication system
JP3717068B2 (en) * 2002-08-23 2005-11-16 松下電器産業株式会社 Liquid detection sensor and liquid detection device
JP2004317765A (en) * 2003-04-16 2004-11-11 Toppan Printing Co Ltd Resonance tag with indicator function
JP2005033857A (en) * 2003-07-07 2005-02-03 Seiko Epson Corp Device for notifying short circuit point, plug, breaker, and method for notifying short circuit point
JP2005134132A (en) * 2003-10-28 2005-05-26 Inax Corp Radio tag for rain detection
JP2005158018A (en) * 2003-11-07 2005-06-16 Inax Corp Scale using wireless tag
JP2005210248A (en) * 2004-01-21 2005-08-04 Inax Corp Detection system and charging method therefor
JP2005342134A (en) * 2004-06-02 2005-12-15 Canon Inc Composite sensor and sensor system
JP2006181829A (en) * 2004-12-27 2006-07-13 Brother Ind Ltd Label tape roll and tape end detecting device
JP4500169B2 (en) * 2005-01-21 2010-07-14 トッパン・フォームズ株式会社 Moisture detection member and leak detection method
JP2006214869A (en) * 2005-02-03 2006-08-17 Toshiba Corp Diagnostic apparatus for deterioration of coating film, diagnostic system for deterioration of the coating film and measuring probe

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017171206A1 (en) * 2016-03-30 2017-10-05 남성원 Gas detecting tag and method of manufacturing same

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