JP5491755B2

JP5491755B2 - Deposition equipment

Info

Publication number: JP5491755B2
Application number: JP2009077681A
Authority: JP
Inventors: 哲司柴田; 孝彦平井
Original assignee: Panasonic Corp; Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Corp; Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2009-03-26
Filing date: 2009-03-26
Publication date: 2014-05-14
Anticipated expiration: 2029-03-26
Also published as: JP2010229478A

Description

本発明は、反射防止フィルムやガスバリアフィルムなどを形成するにあたって、基材の表面に薄膜を形成する際に用いられる成膜装置に関するものである。 The present invention relates to a film forming apparatus used for forming a thin film on the surface of a substrate when forming an antireflection film, a gas barrier film, or the like.

従来より、大気圧及びその近傍の圧力下でプラズマを生成し、このプラズマでフィルムなどの基材を処理することが行われている（例えば、特許文献１参照）。プラズマによる基材への処理としては、クリーニングやエッチングの他に、成膜することも行われている。 2. Description of the Related Art Conventionally, plasma is generated under atmospheric pressure and pressure in the vicinity thereof, and a substrate such as a film is treated with the plasma (see, for example, Patent Document 1). In addition to cleaning and etching, film formation is also performed as a process on the substrate by plasma.

特開２００４−８４０２７号公報JP 2004-84027 A

しかし、大気圧及びその近傍の圧力下で生成したプラズマでは、減圧状態で生成したプラズマに比べて、成膜材料に大きな運動エネルギーを与えることができないので、基材と密着性が低い皮膜しか形成できないという問題があった。 However, plasma generated under atmospheric pressure and the pressure in the vicinity of it can not give large kinetic energy to the film-forming material compared to plasma generated under reduced pressure, so only a film with low adhesion to the substrate is formed. There was a problem that I could not.

本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、基材との密着性の高い皮膜を形成することができる成膜装置を提供することを目的とするものである。 This invention is made | formed in view of said point, and it aims at providing the film-forming apparatus which can form a membrane | film | coat with high adhesiveness with a base material.

本発明の請求項１に係る成膜装置は、大気圧及びその近傍の圧力下でプラズマＰを生成し、このプラズマＰを基材Ｆの表面に供給してその表面に成膜するための成膜部１を備えた成膜装置において、成膜部１でプラズマＰを供給する前の基材Ｆの表面にプライマー層を形成するためのプライマー層形成部２を備え、プライマー層形成部２と成膜部１とが、同じロール電極４１ａの周囲に設けられ、成膜部１がロール電極４１ａと対向する平板電極４１ｂを備え、ロール電極４１ａと平板電極４１ｂとの間の対向領域４２の間隔が、その中央部から両側に向かって徐々に広がるように形成されて成ることを特徴とするものである。
The film forming apparatus according to claim 1 of the present invention generates plasma P under atmospheric pressure and a pressure in the vicinity thereof, supplies the plasma P to the surface of the substrate F, and forms a film on the surface. The film forming apparatus including the film unit 1 includes a primer layer forming unit 2 for forming a primer layer on the surface of the base material F before the plasma P is supplied by the film forming unit 1. The film forming unit 1 is provided around the same roll electrode 41a , the film forming unit 1 includes a flat plate electrode 41b facing the roll electrode 41a, and a distance between the facing regions 42 between the roll electrode 41a and the flat electrode 41b Is formed so as to gradually spread from the central portion toward both sides .

本発明の請求項２に係る成膜装置は、請求項１において、プライマー層形成部２が化学気相蒸着によりプライマー層を形成するものであることを特徴とするものである。 The film forming apparatus according to claim 2 of the present invention is characterized in that, in claim 1, the primer layer forming unit 2 forms a primer layer by chemical vapor deposition.

本発明の請求項３に係る成膜装置は、請求項１において、プライマー層形成部２がプライマーＭを基材Ｆに供給してプライマー層を形成するものであることを特徴とするものである。 The film forming apparatus according to claim 3 of the present invention is characterized in that, in claim 1, the primer layer forming unit 2 supplies the primer M to the substrate F to form a primer layer. .

本発明の請求項４に係る成膜装置は、請求項１乃至３のいずれか一項において、成膜部１とプライマー層形成部２との間にガス吸引部３を備えて成ることを特徴とするものである。 A film forming apparatus according to a fourth aspect of the present invention is characterized in that, in any one of the first to third aspects, the gas suction unit 3 is provided between the film forming unit 1 and the primer layer forming unit 2. It is what.

本発明の請求項５に係る成膜装置は、請求項１乃至４のいずれか一項において、成膜部１とプライマー層形成部２との間に遮蔽板４を備えて成ることを特徴とするものである。 A film forming apparatus according to claim 5 of the present invention is characterized in that, in any one of claims 1 to 4, a shielding plate 4 is provided between the film forming part 1 and the primer layer forming part 2. To do.

本発明の請求項６に係る成膜装置は、請求項１乃至５のいずれか一項において、プライマー層形成部２にプライマー層を加熱硬化させるためのヒータ部５を備えて成ることを特徴とするものである。 A film forming apparatus according to a sixth aspect of the present invention is characterized in that, in any one of the first to fifth aspects, the primer layer forming section 2 includes a heater section 5 for heat-curing the primer layer. To do.

本発明の請求項７に係る成膜装置は、請求項１乃至６のいずれか一項において、基材Ｆの表面に形成されたプライマー層の表面改質をするための表面改質部６を備えて成ることを特徴とするものである。 A film forming apparatus according to a seventh aspect of the present invention is the film forming apparatus according to any one of the first to sixth aspects, wherein the surface modifying portion 6 for modifying the surface of the primer layer formed on the surface of the substrate F is provided. It is characterized by comprising.

本発明の請求項８に係る成膜装置は、請求項１乃至７のいずれか一項において、プライマー層形成部２がシリコン原子と炭素原子とを２個以上含む有機鎖からなるプライマー層を基材Ｆに形成するものであることを特徴とするものである。 According to an eighth aspect of the present invention, there is provided the film forming apparatus according to any one of the first to seventh aspects, wherein the primer layer forming section 2 is based on a primer layer composed of an organic chain containing two or more silicon atoms and carbon atoms. It is characterized by being formed on the material F.

本発明の請求項９に係る成膜装置は、請求項１乃至８のいずれか一項において、プライマー層形成部２が自己組織化膜のプライマー層を形成するものであることを特徴とするものである。 A film forming apparatus according to claim 9 of the present invention is characterized in that, in any one of claims 1 to 8, the primer layer forming unit 2 forms a primer layer of a self-assembled film. It is.

請求項１の発明では、プライマー層形成部２で基材Ｆの表面にプライマー層を形成した後、成膜部１でプライマー層の表面に皮膜をプラズマＰにより成膜することができ、基材Ｆと皮膜との間にプライマー層を介在させて皮膜の密着性を高くすることができるものである。 In the invention of claim 1, after the primer layer is formed on the surface of the base material F by the primer layer forming portion 2, a film can be formed on the surface of the primer layer by the film forming portion 1 by the plasma P. A primer layer can be interposed between F and the film to increase the adhesion of the film.

請求項２の発明では、プライマーの塗布によりプライマー層を形成する場合に比べて、成膜速度を速くすることができ、また処理面積も大きくでき、さらに凹凸のある基材Ｆの表面でも均一に成膜することができ、密着性の高いプライマー層を効率よく形成することができるものである。 In the invention of claim 2, compared with the case where the primer layer is formed by applying the primer, the film forming speed can be increased, the processing area can be increased, and even on the surface of the uneven substrate F, it can be made uniform. It is possible to form a film, and a primer layer with high adhesion can be efficiently formed.

請求項３の発明では、ＣＶＤ法に比べて、簡単な装置でプライマー層を形成することができ、プライマー層を安価に形成することができるものである。 According to the third aspect of the present invention, the primer layer can be formed with a simple apparatus as compared with the CVD method, and the primer layer can be formed at a low cost.

請求項４の発明では、成膜部１で使用したガスをプライマー層形成部２に流入させないようにガス吸引部３で吸引して除去することができ、成膜部１で使用したガスがプライマー層に混入するなどの悪影響を防止することができるものである。 In the invention of claim 4, the gas used in the film forming unit 1 can be sucked and removed by the gas suction unit 3 so as not to flow into the primer layer forming unit 2, and the gas used in the film forming unit 1 is the primer. It is possible to prevent adverse effects such as mixing into the layer.

請求項５の発明では、成膜部１で使用したガスをプライマー層形成部２に流入しないように遮蔽板４で遮蔽することができ、成膜部１で使用したガスがプライマー層に混入するなどの悪影響を防止することができるものである。 In the invention of claim 5, the gas used in the film forming unit 1 can be shielded by the shielding plate 4 so as not to flow into the primer layer forming unit 2, and the gas used in the film forming unit 1 is mixed into the primer layer. It is possible to prevent adverse effects such as.

請求項６の発明では、プライマー層の硬化を加熱により促進することができ、プライマー層を効率よく形成することができるものである。 In the invention of claim 6, curing of the primer layer can be promoted by heating, and the primer layer can be formed efficiently.

請求項７の発明では、表面改質部６でプライマー層の表面を改質することができ、プライマー層とプラズマＰで成膜される皮膜との密着性を高くすることができるものである。 According to the seventh aspect of the invention, the surface of the primer layer can be modified by the surface modification unit 6 and the adhesion between the primer layer and the film formed by the plasma P can be increased.

請求項８の発明では、プライマーに有機シラン化合物を用いることにより、有機物系の基材と皮膜との密着性を高めることができるものである。 In the invention of claim 8, by using an organosilane compound as a primer, the adhesion between the organic base material and the film can be enhanced.

請求項９の発明では、有機シラン化合物のプライマーに自己組織化膜を用いることにより、分子レベルの非常に薄いプライマー層を形成することができ、成膜後の干渉ムラを抑制しながら密着性を向上できるものである。 In the invention of claim 9, by using a self-assembled film as the primer for the organosilane compound, a very thin primer layer at the molecular level can be formed, and adhesion can be improved while suppressing interference unevenness after film formation. It can be improved.

本発明の実施の形態を示す概略の断面図である。1 is a schematic cross-sectional view showing an embodiment of the present invention. 同上の電極部品の一例を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。An example of an electrode component same as the above is shown, (a) is a plan view and (b) is a cross-sectional view. 同上の他の実施の形態の一例を示す概略の断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows an example of other embodiment same as the above. 同上のさらに他の実施の形態の一例を示す概略の断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows an example of other embodiment same as the above. 同上のさらに他の実施の形態の一例を示す概略の断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows an example of other embodiment same as the above. 同上のさらに他の実施の形態の一例を示す概略の断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows an example of other embodiment same as the above. 同上のさらに他の実施の形態の一例を示す概略の断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows an example of other embodiment same as the above. 同上のさらに他の実施の形態の一例を示す概略の断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows an example of other embodiment same as the above. 同上のさらに他の実施の形態の一例を示す概略の断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows an example of other embodiment same as the above. 同上のさらに他の実施の形態の一例を示す概略の断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows an example of other embodiment same as the above. 同上の比較例を示す概略の断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the comparative example same as the above.

以下、本発明を実施するための形態を説明する。 Hereinafter, modes for carrying out the present invention will be described.

図１に成膜装置の一例を示す。この成膜装置は成膜部１とプライマー層形成部２とを備えて形成されている。成膜部１はプラズマを用いた化学気相蒸着法（プラズマＣＶＤ法）により成膜するものであって、一対の電極４１、４１を上下に対向配置して備えると共に対向する電極４１、４１の間の空間を対向領域４２として形成するものである。また、上側の電極４１は円筒状のロール電極４１ａとして形成されており、下側の電極４１は平板状の平板電極４１ｂとして形成されている。図１のものではロール電極４１ａと平板電極４１ｂは紙面に直交する方向に長尺に形成されている。また、ロール電極４１ａの両端面には軸部４０が突設されており、ロール電極４１ａは略水平の軸部４０を中心として回転駆動自在に形成されている。電極４１（４１ａ、４１ｂ）は銅、アルミニウム、チタニウム合金、真鍮、耐食性の高いステンレス鋼（ＳＵＳ３０４など）などの導電性の金属材料で形成することができる。耐久性を向上させる場合には、その表面にアルミナ等のセラミックス層を溶射により形成することができる。 FIG. 1 shows an example of a film forming apparatus. The film forming apparatus includes a film forming unit 1 and a primer layer forming unit 2. The film forming unit 1 forms a film by a chemical vapor deposition method using plasma (plasma CVD method). The film forming unit 1 includes a pair of electrodes 41, 41 arranged vertically opposite to each other. The space between them is formed as the facing region 42. The upper electrode 41 is formed as a cylindrical roll electrode 41a, and the lower electrode 41 is formed as a flat plate electrode 41b. In FIG. 1, the roll electrode 41a and the flat plate electrode 41b are formed long in a direction perpendicular to the paper surface. Moreover, the shaft part 40 is protrudingly provided in the both end surfaces of the roll electrode 41a, and the roll electrode 41a is rotatably formed centering on the substantially horizontal shaft part 40. As shown in FIG. The electrode 41 (41a, 41b) can be formed of a conductive metal material such as copper, aluminum, titanium alloy, brass, or stainless steel with high corrosion resistance (such as SUS304). In order to improve durability, a ceramic layer such as alumina can be formed on the surface by thermal spraying.

ロール電極４１ａの周面は曲面であるため、ロール電極４１ａの下面と平板電極４１ｂの上面との間隔は、軸部４０の真下が最も狭く、平板電極４１ｂの両方の長辺に向かうに従って徐々に広がるように形成されている。すなわち、ロール電極４１ａの下面における周面の接線方向と平行な方向（平板電極４１ｂの短手方向と平行な方向）において、対向領域４２の間隔がその中央部から両側に向かって徐々に広がるように形成されている。このように電極４１、４１の間隔を上下方向で不均一にすることによって、ストリーマ放電形成手段を形成することができる。すなわち、ロール電極４１ａと平板電極４１ｂとの間隔は平板電極４１ｂの短手方向（図面の紙面と平行な水平方向）における対向領域４２の両端になるほど広くなるため、対向領域４２の中央部に比べて電界強度が低くなる。従って、対向領域４２の中央部から両端に向かって電界強度が徐々に小さくなるように不均一な電界強度分布が生じることになる。ここで、対向領域４２の中央部における電界強度は２０ｋＶ／ｍｍ、対向領域４２の両端における電界強度は１８ｋＶ／ｍｍとすることができるが、これに限定されるものではない。上記の対向領域４２は被処理物である基材ＦにプラズマＰにより成膜するための空間として形成されている。 Since the peripheral surface of the roll electrode 41a is a curved surface, the distance between the lower surface of the roll electrode 41a and the upper surface of the flat plate electrode 41b is narrowest immediately below the shaft portion 40 and gradually increases toward both long sides of the flat plate electrode 41b. It is formed to spread. That is, in the direction parallel to the tangential direction of the peripheral surface on the lower surface of the roll electrode 41a (the direction parallel to the short direction of the flat plate electrode 41b), the interval between the opposing regions 42 gradually increases from the central portion toward both sides. Is formed. Thus, the streamer discharge forming means can be formed by making the interval between the electrodes 41 and 41 non-uniform in the vertical direction. That is, the distance between the roll electrode 41a and the flat plate electrode 41b becomes wider at the opposite ends of the opposed region 42 in the short direction of the flat plate electrode 41b (the horizontal direction parallel to the drawing sheet), and therefore, compared with the central portion of the opposed region 42. Electric field strength is reduced. Therefore, a non-uniform electric field strength distribution is generated so that the electric field strength gradually decreases from the central portion of the opposing region 42 toward both ends. Here, the electric field strength at the center of the opposing region 42 can be 20 kV / mm, and the electric field strength at both ends of the opposing region 42 can be 18 kV / mm, but is not limited thereto. The facing region 42 is formed as a space for forming a film with the plasma P on the base material F that is an object to be processed.

また、下側の平板電極４１ｂは電源２１が接続されて高圧電極として形成されていると共に上側のロール電極４１ａは軸部４０において接地されて接地電極として形成されている。また、平板電極４１ｂの上面を含む全面はアーク放電の防止のためにカバー材６０により被覆されている。カバー材６０は、例えば、石英ガラス、アルミナ、チタン酸バリウム、イットリア、ジルコニウムなどのガラス質材料やセラミック材料などの高融点の絶縁材料（誘電体）で形成することができ、比誘電率が５以上であることが好ましい。また、カバー材６０の皮膜の厚みは全体にわたって略一定であり、例えば、０．５〜５ｍｍとすることができる。尚、ロール電極４１ａの周面も上記カバー材６０と同様の誘電体で被覆することができる。そして、平板電極４１ｂには上下に貫通する多数個のガス流通孔３０が形成されている。ガス流通孔３０はカバー材６０も上下に貫通するものであり、カバー材６０の上面と下面の両方に開口して形成されている。また、平板電極４１ｂを複数配設することにより、成膜面積を自在に変化させることができる。 The lower plate electrode 41b is connected to the power source 21 and formed as a high-voltage electrode, and the upper roll electrode 41a is grounded at the shaft portion 40 and formed as a ground electrode. Further, the entire surface including the upper surface of the plate electrode 41b is covered with a cover material 60 to prevent arc discharge. The cover material 60 can be formed of, for example, a glassy material such as quartz glass, alumina, barium titanate, yttria, and zirconium, or a high melting point insulating material (dielectric) such as a ceramic material, and has a relative dielectric constant of 5 The above is preferable. Moreover, the thickness of the film | membrane of the cover material 60 is substantially constant over the whole, for example, can be 0.5-5 mm. The peripheral surface of the roll electrode 41a can also be covered with the same dielectric as the cover material 60. The plate electrode 41b is formed with a large number of gas flow holes 30 penetrating vertically. The gas circulation hole 30 also penetrates the cover material 60 in the vertical direction, and is formed to open on both the upper surface and the lower surface of the cover material 60. Further, by providing a plurality of plate electrodes 41b, the film formation area can be freely changed.

プライマー層形成部２は、基材Ｆと反応結合する官能基と、後述のプラズマＰにより成膜される皮膜と反応結合する官能基を同時に有するプライマー層を形成するための装置であって、成膜部１の側方でロール電極４１ａの回転方向と反対側に配置されるものである。このプライマー層形成部２は化学気相蒸着装置、いわゆるＣＶＤ装置で形成されている。すなわち、作製したい薄膜のプライマー層の構成元素を含む化合物（プライマーＭ）の原料ガスを基材Ｆの表面に供給し、気相または基材Ｆの表面での化学反応により薄膜のプライマー層を作製する方法である。本発明では熱ＣＶＤ、プラズマＣＶＤ、光ＣＶＤなどの方式の装置を用いることができる。図１のものでは、気相状態のプライマーＭを生成して供給するための気相生成部２ａと、気相生成部２ａを覆うカバー部材２ｂとで構成されている。また、プライマーＭとしては有機シラン系材料を用いることができ、特に、ビニル、エポキシ、アミノ基を持つシランカップリング剤を用いるのが好ましい。これにより、シリコン原子と炭素原子とを２個以上含む有機ケイ素化合物の有機鎖からなるプライマー層を形成することができる。また、自己組織化膜のプライマー層を形成することもできる。自己組織化膜は、外部からの細かい制御を加えていない状態で、膜材料そのものがもつ機構によって形成される一定の秩序をもつ組織をもった単分子膜やＬＢ膜などの超薄膜のことである。本発明では、ｎ−オクタデシルトリメトキシシラン、ｐ−アミノフェニルトリメトキシシランなどを用いて自己組織化膜のプライマー層を形成することができる。本発明において、プライマー層の厚みはプライマーＭの成分や、基材Ｆと後述のプラズマＰにより成膜される皮膜との密着性により適宜設定可能であるが、例えば、１ｎｍ〜０．１ｍｍとすることができる。 The primer layer forming unit 2 is an apparatus for forming a primer layer having a functional group reactively bonded to the base material F and a functional group reactively bonded to a film formed by the plasma P described later. It is arrange | positioned on the opposite side to the rotation direction of the roll electrode 41a by the side of the film | membrane part 1. FIG. The primer layer forming unit 2 is formed by a chemical vapor deposition apparatus, a so-called CVD apparatus. That is, a raw material gas of a compound (primer M) containing a constituent element of a thin film primer layer to be produced is supplied to the surface of the base material F, and a thin film primer layer is produced by a chemical reaction on the gas phase or the surface of the base material F It is a method to do. In the present invention, an apparatus of a system such as thermal CVD, plasma CVD, or photo CVD can be used. 1 includes a gas phase generation unit 2a for generating and supplying a gas phase primer M, and a cover member 2b covering the gas phase generation unit 2a. As the primer M, an organic silane-based material can be used, and it is particularly preferable to use a silane coupling agent having a vinyl, epoxy, or amino group. Thereby, the primer layer which consists of an organic chain of the organosilicon compound containing 2 or more of silicon atoms and carbon atoms can be formed. In addition, a primer layer of a self-assembled film can be formed. A self-assembled film is an ultra-thin film such as a monomolecular film or an LB film having a certain ordered structure formed by the mechanism of the film material itself without fine control from the outside. is there. In the present invention, the primer layer of the self-assembled film can be formed using n-octadecyltrimethoxysilane, p-aminophenyltrimethoxysilane, or the like. In the present invention, the thickness of the primer layer can be set as appropriate depending on the components of the primer M and the adhesion between the base material F and a film formed by the plasma P described later. For example, the thickness is set to 1 nm to 0.1 mm. be able to.

そして、本発明の成膜装置を用いて以下のように成膜することができる。まず、大気圧又はその近傍の圧力下（９０〜１０７ｋＰａ）において、成膜用ガスＧを平板電極４１ｂのガス流通孔３０を通じて対向領域４２に導入しながら、ロール電極４１ａと平板電極４１ｂの間に電圧を印加することによって対向領域２に多数本のストリーマ放電を発生させてプラズマＰを生成する。ロール電極４１ａと平板電極４１ｂの間に印加される電圧の波形は正弦波などの連続波形とすることができ、その周波数は１ｋＨｚ〜２００ＭＨｚに設定するのが好ましい。連続波形の電圧を用いると、ロール電極４１ａと平板電極４１ｂの間への電力の供給を大きくすることができ、高密度のプラズマを生成することができる。また、ロール電極４１ａと平板電極４１ｂの間に印加される電圧の波形はパルス波形とすることもでき、この場合は、周波数は０．５ｋＨｚ〜２００ＭＨｚに設定するのが好ましい。パルス波形の電圧を用いることにより、対向領域４２の温度上昇を抑制することができ、耐熱性の低い基材Ｆであっても成膜することができる。ロール電極４１ａと平板電極４１ｂの間に印加される電圧は、ロール電極４１ａと平板電極４１ｂの間の距離や成膜用ガスＧの組成等によって異なるが、電界強度が１ｋＶ〜３０ｋＶ／ｍｍの範囲になるように設定するのが好ましい。また、成膜用ガスＧは皮膜の構成成分とキャリアガスとを含有するものである。皮膜の構成成分としてはシラン化合物と酸素ガスとを用いることができ、シラン化合物としては、ヘキサメチルジシロキサン、ヘキサメチルジシラザン、テトラエトキシシラン、テトラメチルシランなどを好適に用いることができる。シラン化合物は気化して用いることができる。キャリアガスとしてはアルゴン、窒素、ヘリウムなどを用いることができる。成膜用ガスＧ中における気化したシラン化合物の含有割合は、例えば、０．０１〜２０ｖｏｌ％とすることができ、成膜用ガスＧ中における酸素ガスの含有割合は、例えば、０．０１〜２ｖｏｌ％とすることができ、残部をキャリアガスとすることができる。また、成膜用ガスＧの供給量は例えば、成膜幅１ｍあたり１０〜５００リットル／分とすることができる。 And it can form as follows using the film-forming apparatus of this invention. First, the film-forming gas G is introduced between the roll electrode 41a and the plate electrode 41b while introducing the film-forming gas G into the opposing region 42 through the gas flow holes 30 of the plate electrode 41b under atmospheric pressure or a pressure in the vicinity thereof (90 to 107 kPa). By applying a voltage, a number of streamer discharges are generated in the facing region 2 to generate plasma P. The waveform of the voltage applied between the roll electrode 41a and the plate electrode 41b can be a continuous waveform such as a sine wave, and the frequency is preferably set to 1 kHz to 200 MHz. When a voltage having a continuous waveform is used, power supply between the roll electrode 41a and the plate electrode 41b can be increased, and high-density plasma can be generated. The waveform of the voltage applied between the roll electrode 41a and the flat plate electrode 41b can be a pulse waveform. In this case, the frequency is preferably set to 0.5 kHz to 200 MHz. By using the voltage of the pulse waveform, the temperature rise in the facing region 42 can be suppressed, and even the base material F having low heat resistance can be formed. The voltage applied between the roll electrode 41a and the plate electrode 41b varies depending on the distance between the roll electrode 41a and the plate electrode 41b, the composition of the film forming gas G, etc., but the electric field strength is in the range of 1 kV to 30 kV / mm. It is preferable to set so that. The film-forming gas G contains a constituent component of the film and a carrier gas. A silane compound and oxygen gas can be used as components of the film, and hexamethyldisiloxane, hexamethyldisilazane, tetraethoxysilane, tetramethylsilane, and the like can be suitably used as the silane compound. The silane compound can be used after being vaporized. Argon, nitrogen, helium, or the like can be used as the carrier gas. The content ratio of the vaporized silane compound in the film forming gas G can be, for example, 0.01 to 20 vol%, and the content ratio of the oxygen gas in the film forming gas G is, for example, 0.01 to 2 vol%, and the balance can be carrier gas. Moreover, the supply amount of the film-forming gas G can be set to 10 to 500 liters / minute per 1 m of film-forming width, for example.

そして、ロール電極４１ａの外周に合成樹脂フィルムなどの可撓性の長尺の基材Ｆを掛架し、軸部４０を中心にロール電極４１ａを回転させることによって、基材Ｆを長尺方向に連続して進行させて搬送する。これにより、基材Ｆがロール電極４１ａとプライマー層形成部２との間を通過した後、ロール電極４１ａと平板電極４１ｂとの間を通過することになる。従って、基材Ｆがロール電極４１ａとプライマー層形成部２との間を通過する際に、基材Ｆの表面にプライマー層が形成され、この後、ロール電極４１ａと平板電極４１ｂとの間を通過する際に、基材Ｆに設けたプライマー層の表面にさらにプラズマＰによる成膜により皮膜が形成されることになり、基材Ｆの搬送方向の全長にわたってプライマー層及び皮膜を形成することができる。尚、基材Ｆの搬送速度は０．０５〜３０ｍ／分とすることができるが、これに限定されるものではない。 A flexible long base material F such as a synthetic resin film is hung on the outer periphery of the roll electrode 41a, and the roll electrode 41a is rotated around the shaft portion 40, whereby the base material F is moved in the longitudinal direction. Continuing and transporting. Thereby, after the base material F passes between the roll electrode 41a and the primer layer formation part 2, it passes between the roll electrode 41a and the flat plate electrode 41b. Therefore, when the base material F passes between the roll electrode 41a and the primer layer forming portion 2, a primer layer is formed on the surface of the base material F, and thereafter, between the roll electrode 41a and the flat plate electrode 41b. When passing, a film is further formed on the surface of the primer layer provided on the base material F by film formation by the plasma P, and the primer layer and the film can be formed over the entire length in the transport direction of the base material F. it can. In addition, although the conveyance speed of the base material F can be 0.05-30 m / min, it is not limited to this.

本発明では、プライマー層形成部２で基材Ｆの表面にプライマー層を形成した後、成膜部１でプライマー層の表面に皮膜をプラズマＰにより成膜することができ、基材Ｆと皮膜との間にプライマー層を介在させて皮膜の密着性を高くすることができるものである。 In the present invention, after the primer layer is formed on the surface of the base material F by the primer layer forming portion 2, a film can be formed on the surface of the primer layer by the film forming portion 1 by the plasma P. A primer layer can be interposed between the two layers to increase the adhesion of the film.

図３に他の実施の形態を示す。この成膜装置では、プライマー層形成部２にヒータ部５を備えたものであり、その他の構成は図１のものと同様である。ヒータ部５は赤外線ヒータなどを用いることができ、カバー部材２ｂの下側（基材Ｆの搬送方向の下流側）に配置されている。 FIG. 3 shows another embodiment. In this film forming apparatus, the primer layer forming section 2 is provided with a heater section 5, and the other configurations are the same as those in FIG. The heater unit 5 can be an infrared heater or the like, and is disposed on the lower side of the cover member 2b (downstream side in the conveyance direction of the base material F).

この成膜装置では、気相生成部２ａで生成したプライマーＭを基材Ｆに供給して堆積した直後に、ヒータ部５で加熱してプライマー層の硬化及び基材Ｆとの結合を加熱により促進することができ、プライマー層を効率よく形成することができるものである。 In this film forming apparatus, immediately after the primer M generated in the vapor phase generation unit 2a is supplied to the substrate F and deposited, the heater unit 5 is heated to cure the primer layer and bond with the substrate F by heating. The primer layer can be formed efficiently.

図４に他の実施の形態を示す。この成膜装置では、成膜部１とプライマー層形成部２の間にガス吸引部３を設けたものであり、その他の構成は図３と同様である。ガス吸引部３はポンプなどに接続されたパイプ（ノズル）で形成することができ、ロール電極４１ａの方に向けて開口させている。 FIG. 4 shows another embodiment. In this film forming apparatus, a gas suction unit 3 is provided between the film forming unit 1 and the primer layer forming unit 2, and the other configurations are the same as those in FIG. The gas suction unit 3 can be formed by a pipe (nozzle) connected to a pump or the like, and is opened toward the roll electrode 41a.

この成膜装置では、成膜用ガスＧが対向領域４２から漏れ出してプライマー層形成部２に流入する前に、ガス吸引部３で吸引して除去することができ、成膜用ガスＧがプライマー層に混入するなどの悪影響を防止することができるものである。 In this film forming apparatus, before the film forming gas G leaks out from the facing region 42 and flows into the primer layer forming section 2, it can be sucked and removed by the gas suction section 3, and the film forming gas G is removed. It is possible to prevent adverse effects such as mixing in the primer layer.

図５に他の実施の形態を示す。この成膜装置では、成膜部１とプライマー層形成部２の間に一対のガス吸引部３、３を設け、さらに一対のガス吸引部３、３の間に表面改質部６を設けたものであり、その他の構成は図３と同様である。ガス吸引部３は上記と同様にポンプなどに接続されたパイプで形成することができ、ロール電極４１ａの方に向けて開口させている。一対のガス吸引部３、３はロール電極４１ａの回転方向に並べて設けられている。一方のガス吸引部３はプライマー層形成部２と表面改質部６との間に設けられており、プラズマＰ’がプライマー層形成部２に流入する前に、ガス吸引部３で吸引して除去することができ、プラズマＰ’がプライマー層に混入するなどの悪影響を防止することができるものである。また、他方のガス吸引部３は成膜用ガスＧが対向領域４２から漏れ出して表面改質部６に流入する前に、ガス吸引部３で吸引して除去することができ、成膜用ガスＧが表面改質に混入するなどの悪影響を防止することができるものである。 FIG. 5 shows another embodiment. In this film forming apparatus, a pair of gas suction units 3, 3 are provided between the film forming unit 1 and the primer layer forming unit 2, and a surface modification unit 6 is provided between the pair of gas suction units 3, 3. Other configurations are the same as those in FIG. Similarly to the above, the gas suction part 3 can be formed by a pipe connected to a pump or the like, and is opened toward the roll electrode 41a. The pair of gas suction units 3 and 3 are provided side by side in the rotation direction of the roll electrode 41a. One gas suction unit 3 is provided between the primer layer forming unit 2 and the surface modification unit 6, and is sucked by the gas suction unit 3 before the plasma P ′ flows into the primer layer forming unit 2. It can be removed, and adverse effects such as plasma P ′ being mixed into the primer layer can be prevented. The other gas suction unit 3 can be removed by suction with the gas suction unit 3 before the deposition gas G leaks from the facing region 42 and flows into the surface modification unit 6. It is possible to prevent adverse effects such as the gas G being mixed in the surface modification.

表面改質部６は基材Ｆに形成されたプライマー層の表面にプラズマＰ’を供給し、プライマー層の表面に配向した有機官能基を除去することにより、次工程のプラズマＰによる成膜で得られる皮膜との密着性を高めることができるものである。この表面改質工程には、各種表面改質方法を用いることができるが、特に、改質能力の高い大気圧プラズマ表面改質装置を用いることが好ましい。この成膜装置では、外面が誘電体４４で覆われた誘電体被覆電極４５をロール電極４１ａの外周面と間隙を開けて配置することにより表面改質部６を形成している。プラズマＰ’は、成膜用ガスＧを用いずに、誘電体被覆電極４５とロール電極４１ａとの間に空気を介在させた状態で放電させて生成するものであり、誘電体被覆電極４５とロール電極４１ａとの間隔や印加電圧等のプラズマＰ’の生成条件はプラズマＰの場合と同様である。また、プラズマＰ’の生成時に、窒素、酸素、アルゴンのいずれかを含むガスを誘電体被覆電極４５とロール電極４１ａとの間に適宜投入することもでき、表面改質効果を高めることができる。 The surface modification unit 6 supplies plasma P ′ to the surface of the primer layer formed on the substrate F, and removes organic functional groups oriented on the surface of the primer layer, thereby forming a film by plasma P in the next step. Adhesiveness with the obtained film can be improved. Various surface modification methods can be used for this surface modification step, but it is particularly preferable to use an atmospheric pressure plasma surface modification apparatus having a high modification capability. In this film forming apparatus, the surface modification portion 6 is formed by disposing a dielectric covered electrode 45 whose outer surface is covered with a dielectric 44 with a gap from the outer peripheral surface of the roll electrode 41a. The plasma P ′ is generated by discharging in a state where air is interposed between the dielectric covered electrode 45 and the roll electrode 41a without using the film forming gas G. The conditions for generating the plasma P ′ such as the distance from the roll electrode 41a and the applied voltage are the same as in the case of the plasma P. Further, when the plasma P ′ is generated, a gas containing any of nitrogen, oxygen, and argon can be appropriately introduced between the dielectric covered electrode 45 and the roll electrode 41a, and the surface modification effect can be enhanced. .

図６に他の実施の形態を示す。この成膜装置では、プライマー層形成部２の上側（基材Ｆの搬送方向の上流側）にガス吸引部３と基材プラズマ処理部４６とを設けたものであり、その他の構成は図５に示すものと同様である。尚、図６のものは、図５のものに比べて、平板電極４１ｂ、プライマー層形成部２、表面改質部６及びガス吸引部３を反時計回りに位置をずらして配置したものである。ガス吸引部３は上記と同様にポンプなどに接続されたパイプで形成することができ、ロール電極４１ａの方に向けて開口させている。ガス吸引部３はプライマー層形成部２と基材プラズマ処理部４６との間に設けられており、プラズマＰ”がプライマー層形成部２に流入する前に、ガス吸引部３で吸引して除去することができ、プラズマＰ”がプライマー層に混入するなどの悪影響を防止することができるものである。 FIG. 6 shows another embodiment. In this film forming apparatus, the gas suction unit 3 and the substrate plasma processing unit 46 are provided on the upper side of the primer layer forming unit 2 (upstream in the conveyance direction of the substrate F). It is the same as that shown in. In addition, the thing of FIG. 6 arrange | positions the plate electrode 41b, the primer layer formation part 2, the surface modification part 6, and the gas suction part 3 by shifting the position counterclockwise compared with the thing of FIG. . Similarly to the above, the gas suction part 3 can be formed by a pipe connected to a pump or the like, and is opened toward the roll electrode 41a. The gas suction part 3 is provided between the primer layer forming part 2 and the substrate plasma processing part 46, and is sucked and removed by the gas suction part 3 before the plasma P ″ flows into the primer layer forming part 2. It is possible to prevent adverse effects such as plasma P ″ being mixed into the primer layer.

基材プラズマ処理部４６は、プライマー層の堆積前に基材Ｆの表面を改質することにより、有機汚染物を除去し、さらに、水酸基、カルボキシル基、カルボニル基などの親水性官能基を基材Ｆの表面に付与することができ、プライマー層と基材Ｆとの結合を強化することができる。この基材プラズマ処理工程には、各種表面改質方法を用いることができるが、特に、改質能力の高い大気圧プラズマ表面改質装置を用いることが好ましい。この場合、表面改質部６と同様に、外面が誘電体４４で覆われた誘電体被覆電極４５をロール電極４１ａの外周面と間隙を開けて配置することにより基材プラズマ処理部４６を形成している。プラズマＰ”は、成膜用ガスＧを用いずに、誘電体被覆電極４５とロール電極４１ａとの間に空気を介在させた状態で放電させて生成するものであり、誘電体被覆電極４５とロール電極４１ａとの間隔や印加電圧等のプラズマＰ”の生成条件はプラズマＰの場合と同様である。 The substrate plasma processing unit 46 removes organic contaminants by modifying the surface of the substrate F before depositing the primer layer, and further, based on hydrophilic functional groups such as hydroxyl groups, carboxyl groups, and carbonyl groups. It can be applied to the surface of the material F, and the bond between the primer layer and the substrate F can be strengthened. Various surface modification methods can be used for the substrate plasma treatment step, but it is particularly preferable to use an atmospheric pressure plasma surface modification apparatus having a high modification capability. In this case, similarly to the surface modification unit 6, the substrate plasma processing unit 46 is formed by disposing the dielectric covered electrode 45 whose outer surface is covered with the dielectric 44 with a gap from the outer peripheral surface of the roll electrode 41 a. doing. The plasma P ″ is generated by discharging in a state where air is interposed between the dielectric covered electrode 45 and the roll electrode 41a without using the film forming gas G. The conditions for generating the plasma P ″ such as the distance from the roll electrode 41a and the applied voltage are the same as in the case of the plasma P.

図７に他の実施の形態を示す。この成膜装置では、一対のロール電極４１ａ、４１ａを備えて形成されるものであり、その他の構成は図６のものと同様である。一方のロール電極４１ａの下側には、基材プラズマ処理部４６とガス吸引部３とヒータ部５を具備するプライマー層形成部２とが配設されている。他方のロール電極４１ａは遮蔽ボックス４７で覆われており、このロール電極４１ａの下側に表面改質部６と一対のガス吸引部３、３と平板電極４１ｂとが配設されている。遮蔽ボックス４７には導入口４８と導出口４９とが設けられている。 FIG. 7 shows another embodiment. This film forming apparatus is provided with a pair of roll electrodes 41a and 41a, and the other configuration is the same as that of FIG. Under the one roll electrode 41a, the base material plasma processing unit 46, the gas suction unit 3, and the primer layer forming unit 2 including the heater unit 5 are disposed. The other roll electrode 41a is covered with a shielding box 47, and a surface modification portion 6, a pair of gas suction portions 3, 3 and a plate electrode 41b are disposed below the roll electrode 41a. The shielding box 47 is provided with an inlet 48 and an outlet 49.

そして、基材Ｆは一方のロール電極４１ａと基材プラズマ処理部４６との間、及び一方のロール電極４１ａとプライマー層形成部２との間を通過させた後、中間ロール５０に支持されながら導入口４８から遮蔽ボックス４７に導入され、この後、他方のロール電極４１ａと表面改質部６との間、及び他方のロール電極４１ａと平板電極４１ｂとの間を通過させられ、導出口４９から遮蔽ボックス４７外に導出されるものである。 And while the base material F passes between one roll electrode 41a and the base-material plasma process part 46 and between one roll electrode 41a and the primer layer formation part 2, it is supported by the intermediate roll 50 After being introduced into the shielding box 47 from the introduction port 48, it is allowed to pass between the other roll electrode 41a and the surface modification portion 6 and between the other roll electrode 41a and the flat plate electrode 41b. To the outside of the shielding box 47.

このようにプライマー層形成部２と成膜部１とを分離して遮蔽ボックス４７で遮蔽することにより、プライマー層形成部２と成膜部１とが互いに悪影響を及ぼすのを防止することができるものである。 Thus, by separating the primer layer forming part 2 and the film forming part 1 and shielding them with the shielding box 47, it is possible to prevent the primer layer forming part 2 and the film forming part 1 from adversely affecting each other. Is.

図８に他の実施の形態を示す。この成膜装置では、成膜部１とプライマー層形成部２との間に遮蔽板４を設けたものであり、その他の構成は図３と同様である。遮蔽板４は耐食性の高い金属板等で形成することができ、ロール電極４１ａの周面と僅かに間隙を介して配置されている。 FIG. 8 shows another embodiment. In this film forming apparatus, a shielding plate 4 is provided between the film forming unit 1 and the primer layer forming unit 2, and other configurations are the same as those in FIG. The shielding plate 4 can be formed of a highly corrosion-resistant metal plate or the like, and is disposed with a slight gap from the peripheral surface of the roll electrode 41a.

この成膜装置では、成膜用ガスＧが対向領域４２から漏れ出してプライマー層形成部２に流入するのを遮蔽板４で遮断することができ、成膜用ガスＧがプライマー層に混入するなどの悪影響を防止することができるものである。 In this film forming apparatus, the film forming gas G leaks out from the facing region 42 and flows into the primer layer forming section 2 can be blocked by the shielding plate 4, and the film forming gas G is mixed into the primer layer. It is possible to prevent adverse effects such as.

図９に他の実施の形態を示す。この成膜装置ではプライマー層形成部２をＣＶＤ装置の代わりにプライマーＭの塗布装置で形成したものであり、その他の構成は図１のものと同様である。塗布装置はロールコータ５１で形成されており、容器５２に溜められたプライマーＭを転写して塗布するものである。 FIG. 9 shows another embodiment. In this film forming apparatus, the primer layer forming portion 2 is formed by a primer M coating apparatus instead of the CVD apparatus, and other configurations are the same as those in FIG. The coating device is formed by a roll coater 51, and transfers and applies the primer M stored in the container 52.

この成膜装置では、ＣＶＤ法に比べて、簡単な装置でプライマー層を形成することができ、プライマー層を安価に形成することができる。 In this film forming apparatus, the primer layer can be formed with a simple apparatus as compared with the CVD method, and the primer layer can be formed at a low cost.

プライマー層形成部２は図９のようなロールコーター５１の他に、インクジェット等による塗布や、超音波霧化装置等によるスプレー塗布や、気化装置によるＣＶＤなどで形成することができる。 In addition to the roll coater 51 as shown in FIG. 9, the primer layer forming unit 2 can be formed by coating with an ink jet or the like, spray coating with an ultrasonic atomizer, CVD with a vaporizer, or the like.

図１０に他の実施の形態を示す。この成膜装置では、リモート型の大気圧プラズマを用いたものであり、図１〜９で示したダイレクト型の大気圧プラズマを用いたものとは異なるものである。すなわち、ダイレクト型の大気圧プラズマを用いた成膜装置では、対向配置された電極４１、４１の間に基材Ｆを導入してプラズマＰで成膜したり、誘電体被覆電極４５とロール電極４１ａの間に基材Ｆを導入してプラズマＰ’やプラズマＰ”でプライマー層の表面改質処理や基材Ｆのプラズマ処理をするものであるが、リモート型の大気圧プラズマを用いた成膜装置では、プラズマ生成装置でプラズマを生成した後、このプラズマを基材に吹き付けるようにするものである。図１０のものでは、複数本の搬送ローラ５５を並べて形成される搬送手段で板状の基材Ｆを搬送するものであり、その上方に基材プラズマ処理部４６、プライマー層形成部２、ヒータ部５、表面改質部６、成膜部１を基材Ｆの搬送方向に沿って順に並べて形成されている。そして、基材プラズマ処理部４６からプラズマＰ”を基材Ｆの表面に供給した後、この基材Ｆの表面にプライマー層形成部２から気相状態のプライマーＭを供給してヒータ部５で加熱硬化してプライマー層ＰＳを形成し、さらに表面改質部６からプラズマＰ’を供給して表面改質処理を行い、この後、成膜部１からプラズマＰを供給して皮膜Ｃを形成するものである。 FIG. 10 shows another embodiment. In this film forming apparatus, remote type atmospheric pressure plasma is used, which is different from the direct type atmospheric pressure plasma shown in FIGS. That is, in the film forming apparatus using the direct type atmospheric pressure plasma, the base material F is introduced between the electrodes 41 and 41 arranged opposite to each other to form a film with the plasma P, or the dielectric coated electrode 45 and the roll electrode. The substrate F is introduced between 41a, and the surface modification treatment of the primer layer and the plasma treatment of the substrate F are performed with the plasma P ′ and the plasma P ″. In the film apparatus, after the plasma is generated by the plasma generation apparatus, this plasma is sprayed onto the substrate, and in the case of Fig. 10, a plate is formed by a transfer means formed by arranging a plurality of transfer rollers 55. The base material plasma processing unit 46, the primer layer forming unit 2, the heater unit 5, the surface modification unit 6, and the film forming unit 1 are arranged along the transport direction of the base material F. Are arranged in order Then, after plasma P ″ is supplied from the substrate plasma processing unit 46 to the surface of the substrate F, the primer M in the gas phase state is supplied from the primer layer forming unit 2 to the surface of the substrate F, and the heater unit 5 is heated and cured to form a primer layer PS, and plasma P ′ is supplied from the surface modification unit 6 to perform surface modification treatment. Thereafter, plasma P is supplied from the film forming unit 1 to form a film C Is formed.

このように本発明の成膜装置は、基材の形状や材質に応じてリモート、ダイレクト型を適宜選択することができる。基材Ｆが金属基板や回路パターンが形成された導電性基板では基材Ｆの厚みや可撓性を考慮してリモート型プラズマ装置を用いることができ、基材Ｆが樹脂フィルム等で改質能力の高いダイレクト型プラズマ装置を用いることができる。 As described above, the film forming apparatus of the present invention can appropriately select the remote type and the direct type according to the shape and material of the base material. When the base material F is a metal substrate or a conductive substrate on which a circuit pattern is formed, a remote type plasma apparatus can be used in consideration of the thickness and flexibility of the base material F. The base material F is modified with a resin film or the like. A direct type plasma apparatus with high capability can be used.

以下本発明を実施例によって具体的に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described specifically by way of examples.

（実施例１）
図１に示す成膜装置を形成した。 Example 1
The film forming apparatus shown in FIG. 1 was formed.

高圧電極となる平板電極４１ｂを図２に示す。始めにアルミナ粉末を含む混合材料をシート状に成形することにより、カバー材６０となる第１のシート材（厚み１．０ｍｍ）と第２のシート材（厚み１．４ｍｍ）を形成し、第１及び第２のシート材それぞれについて、隣り合うガス流通孔３０、３０同士の間隔が４．５ｍｍとなるように平面視４５×２２ｍｍの領域内に直径１ｍｍの５５個の貫通孔を形成した。次に、シート材に形成した貫通孔よりも大きい直径３ｍｍの貫通孔がシート材の貫通孔を囲むパターン形状となるように、厚み３０μｍのタングステン層を第１のシート材の一面に印刷成形した。次に、タングステン層の上面に第２のシート材を積層し、積層体を加熱焼成することにより平板電極４１ｂを形成した。 FIG. 2 shows a flat plate electrode 41b serving as a high voltage electrode. First, by forming a mixed material containing alumina powder into a sheet, a first sheet material (thickness 1.0 mm) and a second sheet material (thickness 1.4 mm) to be the cover material 60 are formed. For each of the first and second sheet materials, 55 through-holes having a diameter of 1 mm were formed in a region of 45 × 22 mm in plan view so that the distance between adjacent gas flow holes 30 and 30 was 4.5 mm. Next, a 30 μm-thick tungsten layer was printed on one surface of the first sheet material so that a 3 mm diameter through hole larger than the through hole formed in the sheet material had a pattern shape surrounding the through hole of the sheet material. . Next, the 2nd sheet | seat material was laminated | stacked on the upper surface of the tungsten layer, and the flat plate electrode 41b was formed by heat-baking a laminated body.

上記の平板電極４１ｂを３個用意し、各々タングステン層に電源２１を接続し、図１のように平板電極４１ｂと対向する位置に、接地した直径３００ｍｍの円筒状のロール電極４１ａを配置した。ロール電極４１ａの材質はＳＵＳ３０４である。この時、ロール電極４１ａと平板電極４１ｂの最短部の距離を１ｍｍとした。 Three flat plate electrodes 41b were prepared, the power source 21 was connected to each tungsten layer, and a grounded cylindrical roll electrode 41a having a diameter of 300 mm was disposed at a position facing the flat plate electrode 41b as shown in FIG. The material of the roll electrode 41a is SUS304. At this time, the distance of the shortest part of the roll electrode 41a and the flat plate electrode 41b was 1 mm.

そして、平板電極４１ａのガス流通孔３０から薄膜の皮膜を形成するための成膜用ガスＧを噴出することにより、ロール電極４１ａと平板電極４１ｂとの間に形成される放電空間の対向空間４２に成膜用ガスＧを導入した。 Then, by ejecting a film forming gas G for forming a thin film from the gas flow hole 30 of the flat plate electrode 41a, a facing space 42 of the discharge space formed between the roll electrode 41a and the flat plate electrode 41b. A film-forming gas G was introduced into the film.

プライマー層形成部２はプライマー霧化機構を持つＣＶＤ成膜装置とし、プラズマＰによる成膜前に基材Ｆの表面に塗布されるようにした。 The primer layer forming unit 2 is a CVD film forming apparatus having a primer atomization mechanism, and is applied to the surface of the substrate F before the film formation by the plasma P.

（実施例２）
図３に示すように、実施例１の成膜装置において、プライマー層形成部２のＣＶＤ成膜装置と成膜部１との間に、赤外線ヒータであるヒータ部５を設置した。 (Example 2)
As shown in FIG. 3, in the film forming apparatus of Example 1, a heater unit 5, which is an infrared heater, was installed between the CVD film forming apparatus of the primer layer forming unit 2 and the film forming unit 1.

（実施例３）
図４に示すように、実施例２の成膜装置において、ヒータ部５と成膜部１との間に、ガス吸引部３のノズルを設置し、成膜部１からプライマー層形成部２への成膜用ガスＧの流入を抑制した。 (Example 3)
As shown in FIG. 4, in the film forming apparatus of Example 2, the nozzle of the gas suction unit 3 is installed between the heater unit 5 and the film forming unit 1, and the film forming unit 1 moves to the primer layer forming unit 2. Inflow of the film forming gas G was suppressed.

（実施例４）
図５に示すように、実施例３の成膜装置において、ヒータ部とガス吸引部３との間に、棒状の誘電体被覆電極４５を持つ表面改質部（大気圧プラズマ照射装置）６とガス吸引部３のノズルを設置し、プライマー層の表面の改質を行うようにした。 (Example 4)
As shown in FIG. 5, in the film forming apparatus of Example 3, a surface modification section (atmospheric pressure plasma irradiation apparatus) 6 having a rod-shaped dielectric coating electrode 45 between the heater section and the gas suction section 3; The nozzle of the gas suction unit 3 was installed to modify the surface of the primer layer.

（実施例５）
図６に示すように、実施例４の成膜装置において、ＣＶＤ成膜装置の前（上方）に、棒状の誘電体被覆電極４５を持つ基材プラズマ処理部４６（大気圧プラズマ照射装置）とガス吸引部３のノズルを設置し、基材Ｆの表面の改質を行うようにした。 (Example 5)
As shown in FIG. 6, in the film forming apparatus of Example 4, a substrate plasma processing unit 46 (atmospheric pressure plasma irradiation apparatus) having a rod-shaped dielectric-coated electrode 45 in front (upper) of the CVD film forming apparatus, The nozzle of the gas suction unit 3 was installed to modify the surface of the base material F.

（実施例６）
図７に示すように、基材プラズマ処理部４６とプライマー層形成部２及びヒータ部５と、表面改質部６及び成膜部１とを分離した成膜装置を用いた。いずれも接地した直径３００ｍｍの円筒状のロール電極４１ａを用いた。 (Example 6)
As shown in FIG. 7, a film forming apparatus in which the substrate plasma processing unit 46, the primer layer forming unit 2 and the heater unit 5, the surface modifying unit 6 and the film forming unit 1 were separated was used. In either case, a grounded cylindrical roll electrode 41a having a diameter of 300 mm was used.

（実施例７）
図４に示すように、実施例２の装置のヒータ部５と成膜部１との間に、隔壁を設置し、プラズマ成膜部からプライマー形成部へのガスの流入を抑制した。 (Example 7)
As shown in FIG. 4, a partition wall was installed between the heater unit 5 and the film forming unit 1 of the apparatus of Example 2 to suppress the inflow of gas from the plasma film forming unit to the primer forming unit.

（実施例８）
プライマー層形成部２をロールコータで形成したものあり、成膜部１の前に基材Ｆの表面に塗布されるようにした。 (Example 8)
The primer layer forming part 2 is formed by a roll coater, and is applied to the surface of the substrate F before the film forming part 1.

（比較例）
図１１に示すように、プライマー層形成部２を省略した以外は実施例１と同様にした。 (Comparative example)
As shown in FIG. 11, the same procedure as in Example 1 was performed except that the primer layer forming portion 2 was omitted.

（評価）
上記のような成膜装置を用いて、大気圧下でＰＥＴフィルム（基材Ｆ）の表面に酸化シリコン成膜を行った。プライマーＭにはｎ−オクタデシルトリメトキシシラン（ＯＤＳ）溶液を用いた。ＰＥＴフィルムは幅２００ｍｍのものを用いた。成膜部１の平板電極４１ｂのガス流通孔３０から対向領域４２にアルゴンガスを３０（Ｌ／ｍｉｎ）、ガス化したヘキサメチルジシロキサンを０．２５（Ｌ／ｍｉｎ）およびＯ_２ガスを０．２（Ｌ／ｍｉｎ）供給した。平板電極４１ｂに正弦波状波形を有する５０ｋＨｚ、１０ｋＶの電圧を印加し、電極４１、４１間で放電を発生させた。また、ＰＥＴフィルムを１（ｍ／ｍｉｎ）の速度で搬送した。尚、表面改質部６におけるプラズマＰ’の印加条件及び基材プラズマ処理部４６におけるプラズマＰ”の印加条件も、成膜部１のプラズマＰの印加条件と同様にすることができるが、プラズマＰ’及びＰ”を生成するためのガスとしては空気を用いた。 (Evaluation)
Using the film forming apparatus as described above, silicon oxide film formation was performed on the surface of the PET film (base material F) under atmospheric pressure. As the primer M, an n-octadecyltrimethoxysilane (ODS) solution was used. A PET film having a width of 200 mm was used. Argon gas is 30 (L / min), gasified hexamethyldisiloxane is 0.25 (L / min), and O ₂ gas is 0 from the gas flow hole 30 of the flat plate electrode 41b of the film forming unit 1 to the facing region. .2 (L / min) was supplied. A voltage of 50 kHz and 10 kV having a sinusoidal waveform was applied to the plate electrode 41 b to generate a discharge between the electrodes 41 and 41. Moreover, the PET film was conveyed at a speed of 1 (m / min). The application conditions of plasma P ′ in the surface modification unit 6 and the application conditions of plasma P ″ in the substrate plasma processing unit 46 can be the same as the application conditions of plasma P in the film forming unit 1. Air was used as a gas for generating P ′ and P ″.

実施例１〜８及び比較例について成膜後の密着性を測定した。密着性はＪＩＳＫ５４００に基づき評価した。これらの結果を表１に示す。 The adhesiveness after film-forming was measured about Examples 1-8 and a comparative example. The adhesion was evaluated based on JIS K5400. These results are shown in Table 1.

表１に示すように、プライマー層を形成することにより、密着性が大きく向上することがわかる。よって、プライマー層形成部２を追加した実施例１〜８は、比較例よりも皮膜の密着性向上効果が高いと言える。 As shown in Table 1, it can be seen that the adhesion is greatly improved by forming the primer layer. Therefore, it can be said that Examples 1 to 8 to which the primer layer forming part 2 is added have a higher effect of improving the adhesion of the film than the comparative example.

１成膜部
２プライマー層形成部
３ガス吸引部
４遮蔽板
５ヒータ部
６表面改質部
Ｐプラズマ
Ｆ基材
Ｍプライマー
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Film-forming part 2 Primer layer formation part 3 Gas suction part 4 Shielding plate 5 Heater part 6 Surface modification part P Plasma F Base material M Primer

Claims

In a film forming apparatus having a film forming unit for generating plasma under atmospheric pressure and a pressure in the vicinity thereof, supplying the plasma to the surface of the substrate, and forming a film on the surface, plasma is generated in the film forming unit. A primer layer forming part for forming a primer layer on the surface of the base material before supply is provided, the primer layer forming part and the film forming part are provided around the same roll electrode , and the film forming part is provided with the roll electrode. A film forming apparatus, comprising: opposing plate electrodes, wherein a distance between opposing regions between the roll electrode and the plate electrode is formed so as to gradually widen from the center toward both sides .

The film forming apparatus according to claim 1, wherein the primer layer forming unit forms a primer layer by chemical vapor deposition.

The film forming apparatus according to claim 1, wherein the primer layer forming unit supplies the primer to the substrate to form the primer layer.

The film forming apparatus according to any one of claims 1 to 3, further comprising a gas suction unit between the film forming unit and the primer layer forming unit.

The film forming apparatus according to claim 1, further comprising a shielding plate between the film forming unit and the primer layer forming unit.

The film forming apparatus according to claim 1, wherein the primer layer forming unit includes a heater unit for heat-curing the primer layer.

The film forming apparatus according to claim 1, further comprising a surface modifying unit for modifying the surface of the primer layer formed on the surface of the substrate.

The composition according to any one of claims 1 to 7, wherein the primer layer forming part forms a primer layer comprising an organic chain containing two or more silicon atoms and carbon atoms on a substrate. Membrane device.

The film forming apparatus according to claim 1, wherein the primer layer forming unit forms a primer layer of a self-assembled film.