JP5485208B2 - Inkjet head - Google Patents

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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Description

本発明の実施形態は、インクジェットヘッドに関する。   Embodiments described herein relate generally to an inkjet head.

インクジェットプリンタに用いられるシェアモードシェアウォール式インクジェットヘッドは、セラミック材料で形成された絶縁基板と、この絶縁基板に対向配置されたノズルプレートと、絶縁基板とノズルプレートとの間に積層配置された駆動素子と、この駆動素子を囲むことで、共通液室及び圧力室を形成するセラミックス材製の枠部材とを備えている。   A share mode shear wall type inkjet head used in an inkjet printer is an insulating substrate formed of a ceramic material, a nozzle plate disposed opposite to the insulating substrate, and a drive disposed in a stacked manner between the insulating substrate and the nozzle plate. An element and a frame member made of a ceramic material forming a common liquid chamber and a pressure chamber by surrounding the drive element are provided.

駆動素子は、PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)系圧電セラミックス材料からなる一対の圧電素子を有している。なお、駆動素子は駆動回路により駆動され、絶縁基板上には駆動素子と駆動回路とを同通させる電極パターンが形成されている。また、駆動素子の両方の端面はテーパ面が形成されている。   The drive element has a pair of piezoelectric elements made of a PZT (lead zirconate titanate) piezoelectric ceramic material. The drive element is driven by a drive circuit, and an electrode pattern that allows the drive element and the drive circuit to communicate with each other is formed on an insulating substrate. Further, both end faces of the drive element are tapered.

従来のインクジェットヘッドは、枠材料に段差を設け、枠材料とマスクの嵌合部に接着剤を塗布するのでなく、枠材料の周囲に接着剤を塗布し、枠材料とマスクの嵌合部には貼り合わせた際の毛細管現象を利用して流れ込むように接着していた。   In conventional inkjet heads, the frame material is stepped and adhesive is not applied to the frame material and mask fitting part, but rather, the adhesive is applied around the frame material to form the frame material and mask fitting part. Was bonded so as to flow using the capillary phenomenon when bonded.

このため、枠材料に段差を設ける必要があり、形状を設けるため拡散接合等で部品が作られるため、高価な部品が必要となっていた。   For this reason, it is necessary to provide a step in the frame material, and parts are made by diffusion bonding or the like in order to provide a shape, so that expensive parts are required.

また、マスクプレートが面で接している部分が、枠材料の外周部のみのごく一部で接着されているため、接着強度が弱くなり、衝撃に対して弱くなっていた。   In addition, since the portion where the mask plate is in contact with the surface is bonded with only a part of the outer peripheral portion of the frame material, the bonding strength is weak and weak against impact.

特開2007−190892号公報JP 2007-190892 A

本発明が解決しようとする課題は、安価でありながら、マスクプレートを接着しながら、併せて、露出する電極部を確実に保護し、信頼性の高いインクジェットヘッドを提供することである。   The problem to be solved by the present invention is to provide a highly reliable ink jet head that is inexpensive and adheres to a mask plate and also reliably protects exposed electrode portions.

実施形態のインクジェットヘッドは、複数のノズルを有するノズルプレートと、前記ノズルに対応する複数の圧力室と、この圧力室に隣接して設けられるとともに前記圧力室を加圧して前記ノズルから液を吐出させる圧電素子と、前記圧電素子が接着される基板と、前記圧電素子を囲むように前記基板に載置される枠体と、前記圧電素子を駆動するための電極と、前記ノズルプレートを保護するマスクプレートと、前記電極に接続し、前記圧電素子を駆動する電気部品を載置するタブ部材と、前記タブ部材の一端側表面と前記電極の配線パターンの一部を覆うスペーサと、を具備し、前記枠体と前記スペーサとで形成される領域に接着剤を充填し、前記マスクプレートを前記タブ部材に接着した。   An ink jet head according to an embodiment is provided with a nozzle plate having a plurality of nozzles, a plurality of pressure chambers corresponding to the nozzles, and adjacent to the pressure chambers, and pressurizes the pressure chambers to discharge liquid from the nozzles. A piezoelectric element to be bonded, a substrate to which the piezoelectric element is bonded, a frame placed on the substrate so as to surround the piezoelectric element, an electrode for driving the piezoelectric element, and the nozzle plate A mask plate; a tab member on which an electrical component that is connected to the electrode and drives the piezoelectric element is placed; and a spacer that covers one end surface of the tab member and a part of the wiring pattern of the electrode. The region formed by the frame and the spacer was filled with an adhesive, and the mask plate was adhered to the tab member.

インクジェットヘッドの構成を表す図である。It is a figure showing the structure of an inkjet head. 第1の実施形態のインクジェットヘッドの図1におけるAA線断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 1 of the ink jet head according to the first embodiment. 第1の実施形態に係るインクジェットヘッドのマスクプレートを取り除いた状態を示す上面図である。It is a top view which shows the state which removed the mask plate of the inkjet head which concerns on 1st Embodiment. 第2の実施形態のインクジェットヘッドの図1におけるAA線断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 1 of an inkjet head according to a second embodiment. 第2の実施形態に係るインクジェットヘッドのマスクプレートを取り除いた状態を示す上面図である。It is a top view which shows the state which removed the mask plate of the inkjet head which concerns on 2nd Embodiment.

以下、本発明の一実施の形態について、図面を参照して説明する。尚、各図において同一箇所については同一の符号を付すとともに、重複した説明は省略する。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In the drawings, the same portions are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

シェアモードシェアウォール式インクジェットプリントヘッドは、複数のインク室(溝)と側壁を設けて構成され、その上部にノズルプレートを接着し、インクを吐出させるため圧電素子は歪むことによってインクを吐出する。   The share mode share wall type ink jet print head is configured by providing a plurality of ink chambers (grooves) and side walls, and a nozzle plate is bonded to the upper portion of the ink jet print head.

(第1の実施形態)
図1、図2は、実施形態に係るインクジェットヘッド100の構成を表す図である。インクジェットヘッド100は、誘電体により形成される絶縁性の基板11と、この基板11の上に載置され、内部に空間及び導体層を有する圧力室が刻み込まれた圧電素子12と、この圧電素子12を囲むように基板11に載置される枠体13と、圧電素子12の側壁の上端部に接着され、複数のノズル孔15を有するノズルプレート14と、を備える。
(First embodiment)
1 and 2 are diagrams illustrating a configuration of an inkjet head 100 according to the embodiment. The ink jet head 100 includes an insulating substrate 11 formed of a dielectric, a piezoelectric element 12 placed on the substrate 11 and engraved with a pressure chamber having a space and a conductor layer therein, and the piezoelectric element. 12 is provided with a frame 13 placed on the substrate 11 so as to surround 12, and a nozzle plate 14 having a plurality of nozzle holes 15 bonded to the upper end of the side wall of the piezoelectric element 12.

基板11は、例えば、アルミナにより形成される。他の基板11の材料として、ガラスエポキシ樹脂などの絶縁性材料を用いることも可能である。   The substrate 11 is made of alumina, for example. As the material of the other substrate 11, an insulating material such as glass epoxy resin can be used.

インクジェットヘッド100は、圧電素子12を基板11の上に2列有する。圧電素子12は、PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)により形成される。他の圧電素子12材料として、PTO(PbTiO3:チタン酸鉛)、PMNT(Pb(Mg1/3Nb2/3)O3−PbTiO3:マグネシウム酸ニオブ酸鉛)、PZNT(Pb(Zn1/3Nb2/3)O3−PbTiO3)、ZnOなどを用いることも可能である。   The ink jet head 100 has two rows of piezoelectric elements 12 on a substrate 11. The piezoelectric element 12 is formed of PZT (lead zirconate titanate). Other piezoelectric element 12 materials include PTO (PbTiO3: lead titanate), PMNT (Pb (Mg1 / 3Nb2 / 3) O3-PbTiO3: lead magnesium niobate), PZNT (Pb (Zn1 / 3Nb2 / 3) O3- PbTiO3), ZnO or the like can also be used.

ノズルプレート14は、ポリイミドなどの樹脂フィルムにより形成される。ノズルプレート14のインク滴吐出側の表面には、例えばフッ素樹脂などにより撥水膜(図示せず)が形成されている。他のノズルプレート14材料として、ニッケルプレートやシリコンプレートを用いることもできる。   The nozzle plate 14 is formed of a resin film such as polyimide. A water repellent film (not shown) is formed on the surface of the nozzle plate 14 on the ink droplet discharge side, for example, with a fluororesin. As another nozzle plate 14 material, a nickel plate or a silicon plate can also be used.

ノズル孔15は、インク滴の吐出孔として機能するもので、等間隔で形成されている。   The nozzle holes 15 function as ink droplet ejection holes and are formed at equal intervals.

図2は、第1の実施形態に係るインクジェットヘッド100の図1におけるAA線断面図である。図2に示すように、インクジェットヘッド100は、基板11にインク流入口17と、インク排出口16と、を有している。インクは、インク流入口17、圧力室30、インク排出口16を循環する。圧力室30は、内部に空間及び導体層を有する。基板11、枠体13、及びノズルプレート14によって囲まれたインク室8が形成される。   2 is a cross-sectional view of the inkjet head 100 according to the first embodiment taken along line AA in FIG. As shown in FIG. 2, the inkjet head 100 has an ink inlet 17 and an ink outlet 16 in the substrate 11. Ink circulates through the ink inlet 17, the pressure chamber 30, and the ink outlet 16. The pressure chamber 30 has a space and a conductor layer inside. An ink chamber 8 surrounded by the substrate 11, the frame body 13, and the nozzle plate 14 is formed.

基板11の表面には、圧電素子12が接合されている。この場合、基板11/圧電素子12の構成は、アルミナ/PZTとなる。尚、基板11の表面に表面層11Aを形成してもよい。表面層11Aの材料はPZTを使用できるが、他の表面層11Aを製作する材料として、アルミナ、PTO、PMNT、PZNT、ZnOなどを用いることも可能である。   A piezoelectric element 12 is bonded to the surface of the substrate 11. In this case, the configuration of the substrate 11 / piezoelectric element 12 is alumina / PZT. Note that the surface layer 11 </ b> A may be formed on the surface of the substrate 11. PZT can be used as the material of the surface layer 11A, but alumina, PTO, PMNT, PZNT, ZnO, or the like can also be used as a material for manufacturing the other surface layer 11A.

さらに、圧電素子12の圧力室30の側壁は断面が台形を呈している。ノズルプレート14は、圧力室30の上部にノズル孔15を有する。   Further, the side wall of the pressure chamber 30 of the piezoelectric element 12 has a trapezoidal cross section. The nozzle plate 14 has a nozzle hole 15 above the pressure chamber 30.

インクジェットヘッド100は、枠体13の外側に圧電素子12を駆動させるドライバIC18と、ドライバIC18と圧電素子12とを接続する電極19と、を有する。ドライバIC18は、タブ部材20に取り付けられている。図1中、25は、基板である。   The inkjet head 100 includes a driver IC 18 that drives the piezoelectric element 12 outside the frame body 13, and an electrode 19 that connects the driver IC 18 and the piezoelectric element 12. The driver IC 18 is attached to the tab member 20. In FIG. 1, reference numeral 25 denotes a substrate.

電極19は、基板11の表面層11Aの上にパターンが配線される。配線パターンは、ドライバIC18等のインクの吐出制御を行う電子部品と接続される。   The electrode 19 has a pattern wired on the surface layer 11 </ b> A of the substrate 11. The wiring pattern is connected to an electronic component that performs ink ejection control, such as the driver IC 18.

インクジェットヘッド100は、ドライバIC18により駆動される圧力素子12が変形することより、インクを吐出する。すなわち、容積が増えた圧力室30内はインクを内部に導入し、容積が減った圧力室30は加圧されたインクをノズル孔15から吐出する。   The ink jet head 100 ejects ink by the deformation of the pressure element 12 driven by the driver IC 18. That is, ink is introduced into the pressure chamber 30 with the increased volume, and the pressure chamber 30 with the reduced volume discharges the pressurized ink from the nozzle hole 15.

インク吐出するノズル孔15とドライバIC18やプリント基板が接続される電極19は、近接している。そのため、ドライバIC18やプリント基板を接続後、配線パターン部にパターンの露出があると、インクジェットヘッドの使用時にミスト状のインクが配線パターン部に付着し、あるいはメンテナンス時のワイパによる余剰インクが配線パターン部に付着する可能性がある。このインクの付着により、インクに含有するカーボンの析出や金属物質の付着により電極をショートさせ、不吐出の原因となる。そのため、配線パターンの電極19の露出する部分は被覆させる必要がある。   The nozzle hole 15 for discharging ink and the electrode 19 to which the driver IC 18 and the printed board are connected are close to each other. Therefore, if the pattern is exposed in the wiring pattern part after connecting the driver IC 18 or the printed circuit board, mist-like ink adheres to the wiring pattern part when the ink jet head is used, or surplus ink by the wiper at the time of maintenance may be There is a possibility of adhering to the part. Due to the adhesion of the ink, the electrode is short-circuited due to the deposition of carbon contained in the ink or the adhesion of a metal substance, which causes non-ejection. Therefore, it is necessary to cover the exposed part of the electrode 19 of the wiring pattern.

図2に示すように、タブ部材20はL字形に形成され、その一端側で基板11の上に例えば異方性導電フィルムを介して取り付けられている。タブ部材20及び基板11の上をそれぞれ一部を覆って、タブ部材20上にスペーサ21が取り付けられている。スペーサ21は、絶縁体となっており、例えばPET樹脂製のフィルムで製作される。   As shown in FIG. 2, the tab member 20 is formed in an L shape, and is attached to the substrate 11 on one end side thereof, for example, via an anisotropic conductive film. A spacer 21 is mounted on the tab member 20 so as to partially cover the tab member 20 and the substrate 11. The spacer 21 is an insulator and is made of, for example, a film made of PET resin.

図2に示すように、枠体13の上面は平坦になっており、スペーサ21の端部と枠体13との間には、スペース(空間)が出来ている。このスペース(空間)に、接着剤23を充填し、ノズルプレート14を媒体の接触やメンテナンス時のワイパなどから保護するためのマスクプレート22を接着している。スペース(空間)は、言わば接着剤23の受容槽と成っており、本実施形態では、マスクプレート22を接着しながら同時に、電極19の配線パターン部が露出しないように、接着剤23で覆っている。   As shown in FIG. 2, the upper surface of the frame body 13 is flat, and a space is formed between the end of the spacer 21 and the frame body 13. This space (space) is filled with an adhesive 23, and a mask plate 22 is bonded to protect the nozzle plate 14 from contact with a medium and a wiper during maintenance. In other words, the space is a receiving tank for the adhesive 23, and in this embodiment, the mask plate 22 is bonded, and at the same time, the wiring pattern portion of the electrode 19 is covered with the adhesive 23 so as not to be exposed. Yes.

図3は、第1の実施形態に係るインクジェットヘッド100のマスクプレート22とノズルプレート14を取り除いた状態を示す上面図である。   FIG. 3 is a top view showing a state where the mask plate 22 and the nozzle plate 14 of the inkjet head 100 according to the first embodiment are removed.

接着剤23は、インクに対し耐食性があること、カーボンを含有するインクに対しても絶縁性が要求されることから、エポキシ系接着剤が好適である。尚、ノズルプレート14の端面及び枠体13の上端面とマスクプレート22の端面との間が埋まってしまう程には、接着剤23を充填しすぎないようにする。接着剤23が、ノズルプレート14面やマスクプレート22の表面にはみ出してしまうと、ノズル孔15を塞いでしまったりノズルプレート14やマスクプレート22の平坦度が保たれず、インクジェットヘッド使用時にメンテナンスのワイパでインクが拭き取れなくなるからである。   The adhesive 23 is preferably an epoxy adhesive because it has corrosion resistance to the ink and insulation is required for the ink containing carbon. It should be noted that the adhesive 23 is not excessively filled so that the gap between the end face of the nozzle plate 14 and the upper end face of the frame 13 and the end face of the mask plate 22 is filled. If the adhesive 23 protrudes from the surface of the nozzle plate 14 or the surface of the mask plate 22, the nozzle hole 15 is blocked or the flatness of the nozzle plate 14 or the mask plate 22 is not maintained. This is because the ink cannot be wiped off with the wiper.

接着後のマスクプレート22の高さは、ノズルプレート14に対して、例えば数十ミクロン程度、凸にする。尚、インクジェットプリントヘッドの仕様によっては、マスクプレート22の高さをノズルプレート14と面一にすることでもよいことは言うまでもない。   The height of the mask plate 22 after bonding is made convex with respect to the nozzle plate 14 by, for example, about several tens of microns. It goes without saying that the height of the mask plate 22 may be flush with the nozzle plate 14 depending on the specifications of the ink jet print head.

本実施形態によれば、枠部材に複雑な加工を要せずに、マスクプレート接着時の接着面積を確保しながら、余剰接着剤の逃げ場所を設け、さらに配線パターンを被覆することができる。   According to the present embodiment, it is possible to provide an escape area for the surplus adhesive and further cover the wiring pattern while ensuring a bonding area at the time of bonding the mask plate without requiring complicated processing on the frame member.

(第2の実施形態)
次に、第2の実施形態について説明する。第2の実施形態に係るインクジェットヘッド100の基本的構成は、スペーサを除いて第1の実施形態のそれと大部分が同一である。
(Second Embodiment)
Next, a second embodiment will be described. The basic configuration of the inkjet head 100 according to the second embodiment is largely the same as that of the first embodiment except for the spacer.

図4は、第2の実施形態に係るインクジェットヘッド100の図1におけるAA線断面図である。また、図5は、第2の実施形態に係るインクジェットヘッドのマスクプレートを取り除いた状態を示す上面図である。   4 is a cross-sectional view of the inkjet head 100 according to the second embodiment taken along line AA in FIG. FIG. 5 is a top view showing a state in which the mask plate of the ink jet head according to the second embodiment is removed.

図4、図5に示すように、スペーサ24には、複数の長い溝部24aが形成されている。接着剤の受容部として、第1の実施形態におけるスペース(空間)に比べて、溝部24aは、より多くの接着剤を受け入れることができるので、マスクプレート22表面への接着剤のはみ出しを確実に抑制することができる。溝部24aの個数は、例えば2個であり、溝24aの形状は、例えば長孔が好適である。   As shown in FIGS. 4 and 5, the spacer 24 is formed with a plurality of long grooves 24 a. Compared to the space (space) in the first embodiment, the groove 24a can receive more adhesive as the adhesive receiving portion, so that the adhesive can be reliably prevented from protruding to the mask plate 22 surface. Can be suppressed. The number of the groove portions 24a is two, for example, and the shape of the groove 24a is preferably a long hole, for example.

本実施形態によれば、枠材料には段差構造を設けず、枠外周部に溝を設けるようスペーサ部材を設けることで、マスクプレート接着時の接着面積を確保しながら、余剰接着剤の逃げ場所を設け、さらに配線パターンを被覆する事ができ、安価なインクジェットヘッドが製造できる。   According to the present embodiment, the frame material is not provided with a step structure, and a spacer member is provided so as to provide a groove on the outer periphery of the frame, thereby securing a bonding area when the mask plate is bonded, and a place for escape of excess adhesive. In addition, the wiring pattern can be covered, and an inexpensive inkjet head can be manufactured.

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。   Although several embodiments of the present invention have been described, these embodiments are presented by way of example and are not intended to limit the scope of the invention. These novel embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, and changes can be made without departing from the scope of the invention. These embodiments and modifications thereof are included in the scope and gist of the invention, and are included in the invention described in the claims and the equivalents thereof.

100・・・インクジェットヘッド、
9・・・ノズル列
11・・・基板、
12・・・圧電素子、
13・・・枠体、
14・・・ノズルプレート、
15・・・ノズル孔、
16・・・インク排出口、
17・・・インク流入口、
18・・・ドライバIC、
19・・・電極、
20・・・タブ部材、
21・・・スペーサ、
22・・・マスクプレート、
23・・・接着剤、
24・・・スペーサ、
24a・・・溝部、
25・・・基板、
30・・・圧力室。
100: inkjet head,
9 ... Nozzle array 11 ... Substrate,
12 ... Piezoelectric element,
13 ... Frame,
14 ... Nozzle plate,
15 ... Nozzle hole,
16: Ink discharge port,
17: Ink inlet,
18 ... Driver IC,
19 ... Electrodes,
20 ... Tab member,
21 ... spacer,
22 ... Mask plate,
23: Adhesive,
24 ... spacer,
24a ... groove,
25 .. substrate
30: Pressure chamber.

Claims (9)

複数のノズルを有するノズルプレートと、
前記ノズルに対応する複数の圧力室と、この圧力室に隣接して設けられるとともに前記圧力室を加圧して前記ノズルから液を吐出させる圧電素子と、
前記圧電素子が接着される基板と、
前記圧電素子を囲むように前記基板に載置される枠体と、
前記圧電素子を駆動するための電極と、
前記ノズルプレートを保護するマスクプレートと、
前記電極に接続し、前記圧電素子を駆動する電気部品を載置するタブ部材と、
前記タブ部材の一端側表面と前記電極の配線パターンの一部を覆うスペーサと、
を具備し、
前記枠体と前記スペーサとで形成される領域に接着剤を充填し、前記マスクプレートを前記タブ部材に接着したインクジェットヘッド。
A nozzle plate having a plurality of nozzles;
A plurality of pressure chambers corresponding to the nozzle, a piezoelectric element provided adjacent to the pressure chamber and pressurizing the pressure chamber to discharge liquid from the nozzle;
A substrate to which the piezoelectric element is bonded;
A frame mounted on the substrate so as to surround the piezoelectric element;
An electrode for driving the piezoelectric element;
A mask plate for protecting the nozzle plate;
A tab member for mounting an electrical component connected to the electrode and driving the piezoelectric element;
A spacer that covers one end side surface of the tab member and a part of the wiring pattern of the electrode;
Comprising
An inkjet head in which an area formed by the frame body and the spacer is filled with an adhesive and the mask plate is bonded to the tab member.
前記タブ部材は、L字形に形成され、前記一端側で前記基板の表面層の上に取り付けられている請求項1記載のインクジェットヘッド。   The inkjet head according to claim 1, wherein the tab member is formed in an L shape and is attached on the surface layer of the substrate at the one end side. 前記タブ部材は、異方性導電フィルムを介して取り付けられている請求項2記載のインクジェットヘッド。   The ink jet head according to claim 2, wherein the tab member is attached via an anisotropic conductive film. 前記スペーサは、前記タブ部材及び前記基板の表面層の上をそれぞれ一部を覆って取り付けられている請求項1乃至請求項のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド。 The inkjet head according to any one of claims 1 to 3 , wherein the spacer is attached so as to partially cover the tab member and the surface layer of the substrate. 前記スペーサは、PET樹脂製のフィルムで製作されている請求項1乃至請求項のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド。 The inkjet head according to any one of claims 1 to 4 , wherein the spacer is made of a film made of PET resin. 前記接着剤は、エポキシ樹脂系の接着剤である請求項1乃至請求項のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド。 The adhesive, ink jet head according to any one of claims 1 to 5 is an epoxy resin adhesive. 前記スペーサには、溝部が形成されている請求項1乃至請求項のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド。 Wherein the spacer, the ink-jet head according to any one of claims 1 to 6 grooves are formed. 前記溝部は、複数である請求項記載のインクジェットヘッド。 The inkjet head according to claim 7 , wherein the groove is plural. 前記溝部の形状は、長孔である請求項又は請求項記載のインクジェットヘッド。 The ink jet head according to claim 7 or 8 , wherein the shape of the groove is a long hole.
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