JP5475433B2 - Inspection system and ionization probe - Google Patents

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Description

本発明は、コンタミが少なく、ロバスト性が高い運用が可能なイオン化プローブ及び当該イオン化プローブを使用した検査システムに関する。   The present invention relates to an ionization probe that can be operated with low contamination and high robustness, and an inspection system using the ionization probe.

薬物の副作用を抑え、個々の患者に最適な治療計画を行うための手法である治療薬物モニタリング(TDM)などの血液自動分析装置に質量分析技術を応用する場合、スループットが高く、ロバスト性が高く、コストが低い手法が重要となる。   When mass spectrometry technology is applied to automated blood analyzers such as therapeutic drug monitoring (TDM), which is a method for suppressing the side effects of drugs and making optimal treatment plans for individual patients, the throughput is high and the robustness is high. A low cost approach is important.

一般的な液体クロマトグラフ/質量分析計(LC/MS)を利用する場合、複雑な流路系である切り替えバルブに試料溶液が直接導入される。このため、切り替えバルブの洗浄に多量の溶媒を必要とし、洗浄時間も長くなる。また、これらの装置は、切り替えバルブや分離カラムその他の詰まりの原因になる部品が多い。   When a general liquid chromatograph / mass spectrometer (LC / MS) is used, a sample solution is directly introduced into a switching valve that is a complicated flow path system. For this reason, a large amount of solvent is required for cleaning the switching valve, and the cleaning time becomes longer. Also, these devices have many components that cause clogging such as switching valves and separation columns.

そこで、固相抽出法等により分析対象成分を含んだ溶液のみを抽出し、抽出溶液をイオン源に直接導入してイオン化と質量分析を実行する手法が用いられ始めている。この手法は、切り替えバルブや分離カラムをイオン源までの流路から排除することができる。   Therefore, a method of extracting only a solution containing a component to be analyzed by a solid phase extraction method or the like, and introducing the extracted solution directly into an ion source to perform ionization and mass spectrometry has begun to be used. This technique can eliminate the switching valve and the separation column from the flow path to the ion source.

なお、関連技術が特許文献1及び2に開示されている。特許文献1には、LC/MSのような流路を必要とせず、試料溶液をイオン源に直接導入できる装置が開示されている。具体的には、試料溶液搬送用のピペットチップに試料溶液を吸引した状態で、数μmの穴が多数開いたシリコン基板にピペットチップ先端を結合し、試料溶液をシリコン基板の穴から噴出しイオン化する技術が開示されている。特許文献2にも、LC/MSのような流路を必要とせず、試料溶液をイオン源に直接導入できる装置が開示されている。具体的には、試料溶液搬送用のシリンジの針の部分を、エレクトロスプレーイオン化法(ESI)のキャピラリー電極として使用する技術が開示されている。   Related arts are disclosed in Patent Documents 1 and 2. Patent Document 1 discloses an apparatus that can directly introduce a sample solution into an ion source without requiring a flow path like LC / MS. Specifically, with the sample solution sucked into the pipette tip for transporting the sample solution, the tip of the pipette tip is bonded to a silicon substrate with many holes of several μm, and the sample solution is ejected from the hole in the silicon substrate and ionized. Techniques to do this are disclosed. Patent Document 2 also discloses an apparatus that can directly introduce a sample solution into an ion source without requiring a flow path like LC / MS. Specifically, a technique is disclosed in which a needle portion of a syringe for transporting a sample solution is used as a capillary electrode for electrospray ionization (ESI).

米国特許第6245227号明細書US Pat. No. 6,245,227 米国特許第7364913号明細書US Pat. No. 7,364,913

特許文献1に記載された装置構成では、ピペットチップとシリコン基板を使い捨てにすることができる。このため、洗浄の必要が無く、スループットが高い。また、次の分析へのコンタミも少ないためロバスト性も高い。その一方で、この装置構成は、ピペットチップとシリコン基板を使い捨てにするため、消耗品のコストが高い問題がある。特に、数μmの穴を多数有するシリコン基板の形成には微細加工を要するため、部品自体が比較的高価になる。   In the apparatus configuration described in Patent Document 1, the pipette tip and the silicon substrate can be made disposable. For this reason, there is no need for cleaning, and the throughput is high. In addition, robustness is high because there is little contamination to the next analysis. On the other hand, this apparatus configuration has a problem that the cost of consumables is high because the pipette tip and the silicon substrate are made disposable. In particular, the formation of a silicon substrate having a large number of holes of several μm requires fine processing, so that the components themselves are relatively expensive.

一方、特許文献2に記載された装置構成では、シリンジの針で試料溶液を直接イオン化することができる。しかし、この装置構成は、シリンジと針を使い捨てにすることが構造上困難である。また、シリンジ及び針そのものが高コストでもあるので使い捨てには適さない。結果的に、これら部材の溶媒などによる洗浄が必要とされる。   On the other hand, in the apparatus configuration described in Patent Document 2, the sample solution can be directly ionized with a syringe needle. However, this device configuration is structurally difficult to make the syringe and needle disposable. Moreover, since the syringe and the needle itself are expensive, they are not suitable for disposable use. As a result, cleaning of these members with a solvent or the like is required.

また、特許文献2の方式では、イオン化効率を高めるため、シリンジの針と先端径が細いチップとを結合したり、シリンジの針をガス噴霧管に挿入したりすることができる。両者とも、シリンジの針の先端から噴霧される液滴の大きさを小さくすることが可能であり、イオン化効率の向上に非常に有効である。   In the method of Patent Document 2, in order to increase ionization efficiency, a syringe needle and a tip having a small tip diameter can be combined, or a syringe needle can be inserted into a gas spray tube. In both cases, it is possible to reduce the size of the droplet sprayed from the tip of the syringe needle, which is very effective in improving ionization efficiency.

ところが、シリンジの針の先端にチップを結合する方式は、チップを使い捨てにしてシリンジや針を洗浄することでコンタミや消耗品コストを抑制できる一方で、チップの消耗品コストが新たに生じる。一方、シリンジの針をガス噴霧管に挿入する方式は、シリンジや針を洗浄することが可能である。しかし、ガス噴霧管を使い捨てにすることは構造上困難なだけでなく、高コストでもある。従って、ガス噴霧管の汚染を極力防ぐ必要がある。   However, the method of coupling the tip to the tip of the needle of the syringe can reduce the contamination and consumables cost by making the tip disposable and washing the syringe and the needle, while the consumable cost of the tip is newly generated. On the other hand, the method of inserting the syringe needle into the gas spray tube can clean the syringe and needle. However, it is not only difficult to make the gas spray tube disposable, but it is also expensive. Therefore, it is necessary to prevent contamination of the gas spray tube as much as possible.

以下では、ガス噴霧管の汚染が与える影響を説明する。このため、図1に、ガス噴霧管を有する一般的なESIイオン源(イオン化プローブ)1を搭載する検査システムの主要部分を示す。なお、図1は、技術課題の説明のために各部の構造を強調又は拡大して表している。ESIプローブ2は、キャピラリー電極3とガス噴霧管4を主要構成とする。キャピラリー電極3は中空の細管であり、ガス噴霧管4はキャピラリ電極3の先端から吐出される液滴径を小さくする気体を流す筒状の部材である。   Below, the influence which the contamination of a gas spray tube gives is demonstrated. Therefore, FIG. 1 shows a main part of an inspection system equipped with a general ESI ion source (ionization probe) 1 having a gas spray tube. FIG. 1 shows the structure of each part in an emphasized or enlarged manner for explaining the technical problem. The ESI probe 2 includes a capillary electrode 3 and a gas spray tube 4 as main components. The capillary electrode 3 is a hollow thin tube, and the gas spray tube 4 is a cylindrical member through which a gas for reducing the diameter of a droplet discharged from the tip of the capillary electrode 3 flows.

キャピラリー電極3に導入された試料溶液5は、電圧源6から印加された電圧とイオン取込み部10の電圧との電位差によりイオン化され、イオン7が生成される。前述したように、キャピラリー電極3とガス噴霧管4の間に気体8を流すことで、キャピラリー電極3から噴霧される液滴を小さくすることができ、イオン化効率を向上することができる。ガス噴霧管4に導入された気体8は、キャピラリー電極3の先端付近でキャピラリー電極3と同心円上に高速に噴霧されることが理想である。噴霧速度を上げるため、ガス噴霧管4の先端部9の内径は先端ほど小さく絞られているのが一般的である。生成されたイオン7は、イオン取込み部10から質量分析装置等に導入され、その検出装置11で検出される。因みに、特許文献2に記載された装置構成では、キャピラリー電極3をガス噴霧管4から抜き取り、キャピラリー電極3を洗浄する必要がある。   The sample solution 5 introduced into the capillary electrode 3 is ionized by the potential difference between the voltage applied from the voltage source 6 and the voltage of the ion take-in unit 10 to generate ions 7. As described above, by flowing the gas 8 between the capillary electrode 3 and the gas spray tube 4, the droplet sprayed from the capillary electrode 3 can be reduced, and the ionization efficiency can be improved. Ideally, the gas 8 introduced into the gas spray tube 4 is sprayed at high speed near the tip of the capillary electrode 3 and concentrically with the capillary electrode 3. In order to increase the spraying speed, the inner diameter of the distal end portion 9 of the gas spray tube 4 is generally reduced as the distal end is reduced. The generated ions 7 are introduced from the ion take-in unit 10 into a mass spectrometer or the like and detected by the detection device 11. Incidentally, in the apparatus configuration described in Patent Document 2, it is necessary to extract the capillary electrode 3 from the gas spray tube 4 and clean the capillary electrode 3.

図2に、ガス噴霧管4の汚染に起因するコンタミの評価結果を示す。実験では、一回目のイオン化の後にキャピラリー電極3をガス噴霧管4の根元側(先端部9の反対側)から抜き取った後、未使用のキャピラリー電極3をガス噴霧管4に挿入し、二回目のイオン化を行った。   In FIG. 2, the evaluation result of the contamination resulting from the contamination of the gas spray tube 4 is shown. In the experiment, after the first ionization, the capillary electrode 3 was extracted from the base side of the gas spray tube 4 (the side opposite to the tip 9), and then the unused capillary electrode 3 was inserted into the gas spray tube 4 and the second time. Was ionized.

図2は、一回目と二回目のイオン化の間にガス噴霧管4を洗浄しない場合の結果と、一回目と二回目のイオン化の間にガス噴霧管4を洗浄した場合の結果を比較している。一回目のイオン化では、メタノール溶媒に溶解した、Cyclophosphamide、Quinidine、Daunorubicin、Tacrolimusの四種の薬剤をイオン化し、二回目のイオン化ではメタノール溶媒のみをイオン化した。つまり、二回目のイオン化で検出されたイオン強度が一回目の分析のコンタミ量と考えられる。図2から、100μLのメタノールによるガス噴霧管4の洗浄回数を増やすに従い、コンタミ量が減少する傾向が見られる。この結果から、一回目の分析時にガス噴霧管4の汚染が起きていることが分かる。   FIG. 2 compares the result when the gas spray tube 4 is not cleaned between the first ionization and the second ionization and the result when the gas spray tube 4 is cleaned between the first ionization and the second ionization. Yes. In the first ionization, four drugs, Cyclophosphamide, Quidinidine, Daunorubicin, and Tacrolimus, dissolved in methanol solvent were ionized, and in the second ionization, only the methanol solvent was ionized. That is, the ion intensity detected by the second ionization is considered to be the amount of contamination in the first analysis. FIG. 2 shows that the amount of contamination tends to decrease as the number of times the gas spray tube 4 is cleaned with 100 μL of methanol is increased. From this result, it can be seen that the gas spray tube 4 is contaminated during the first analysis.

発明者は、この汚染の原因について鋭意検討した結果、以下の現象が生じているとの着想に至った。まず、キャピラリー電極3に電圧源6から電圧を印加している間やガス噴霧管4に気体8を流している間については、試料溶液5は噴霧されてイオン化され続けていると考えられる。このため、期間では、キャピラリー電極3の先端に液滴を生じることは無いと考えて良い。しかし、電圧の印加やガスの噴霧が停止されてイオン化動作が停止すると、試料溶液5の表面張力によりキャピラリー電極3の先端に液滴が形成される可能性がある。   As a result of intensive studies on the cause of this contamination, the inventor has come up with the idea that the following phenomenon has occurred. First, while the voltage is applied from the voltage source 6 to the capillary electrode 3 or while the gas 8 is flowing through the gas spray tube 4, the sample solution 5 is considered to be sprayed and ionized. For this reason, it may be considered that no droplet is generated at the tip of the capillary electrode 3 during the period. However, when the application of voltage or gas spraying is stopped and the ionization operation is stopped, droplets may be formed at the tip of the capillary electrode 3 due to the surface tension of the sample solution 5.

図2の実験はメタノール溶媒で行ったが、より粘性の高い水を含んだ溶媒で行うと、更に大きな液滴が形成される可能性がある。先端に液滴が形成された状態でキャピラリー電極3をガス噴霧管4の根元方向に抜き取ると、両者の間隙が非常に狭いために、液滴がガス噴霧管4の先端や内側を汚染するのではないかと考えられる。   Although the experiment of FIG. 2 was performed with a methanol solvent, larger droplets may be formed when performed with a solvent containing water having higher viscosity. If the capillary electrode 3 is extracted in the direction of the root of the gas spray tube 4 with a droplet formed at the tip, the gap between the two is very narrow, and the droplet contaminates the tip and inside of the gas spray tube 4. It is thought that.

仮に試料溶液5のイオン化を停止した時点ではキャピラリー電極3の先端に液滴が形成されていない場合でも、抜き取り時の振動や衝撃でキャピラリー電極3の内部に残留していた試料溶液5が滴下し、ガス噴霧管4の内側を汚染する可能性がある。   Even if no ion droplet is formed at the tip of the capillary electrode 3 when the ionization of the sample solution 5 is stopped, the sample solution 5 remaining inside the capillary electrode 3 is dropped due to vibration or impact during extraction. There is a possibility that the inside of the gas spray tube 4 is contaminated.

以上の現象のために、ガス噴霧管4を有するESIイオン源1の構成においては、キャピラリー電極3をガス噴霧管4から抜き取って洗浄することでキャピラリー電極3自体のコンタミは抑制できるが、その過程でガス噴霧管4等の周辺部分が汚染され、次回以降の検査結果に影響を与えていると考えられる。   Due to the above phenomenon, in the configuration of the ESI ion source 1 having the gas spray tube 4, contamination of the capillary electrode 3 itself can be suppressed by removing the capillary electrode 3 from the gas spray tube 4 and washing it. Therefore, it is considered that the peripheral portion of the gas spray tube 4 and the like is contaminated and affects the inspection results from the next time.

本発明は、キャピラリーを軸方向に可動自在能に管に収容した状態のまま搬送するものとし、少なくとも試料溶液をイオン化した領域から他の領域に搬送する際には、管の先端からキャピラリーの先端が突き出た状態を保持するイオン化プローブの構造や検査システムの搬送技術を提案する。   In the present invention, the capillary is transported while being accommodated in the tube so as to be movable in the axial direction, and at least when the sample solution is transported from the ionized region to another region, the capillary tip is connected to the tip of the capillary. We propose an ionization probe structure that keeps protruding and a transport technology for inspection systems.

本発明により、検査工程における管その他のキャピラリーの周辺部品のコンタミを大幅に抑制することができ、ロバスト性が向上する。また、洗浄効率を高め、消耗品コストを低減できる。   According to the present invention, contamination of pipes and other peripheral parts of the capillary in the inspection process can be significantly suppressed, and robustness is improved. In addition, the cleaning efficiency can be increased and the cost of consumables can be reduced.

検査システムとイオン源の概略構成を説明する図。The figure explaining schematic structure of a test | inspection system and an ion source. 従来方式の技術課題を説明する図。The figure explaining the technical subject of a conventional system. 実施例1に係るイオン源の部分構造例及び使用態様を説明する図。2A and 2B are diagrams illustrating an example of a partial structure and usage of the ion source according to Embodiment 1. FIG. 試料溶液吸引場所での使用態様を説明する図。The figure explaining the use aspect in a sample solution aspiration place. イオン化場所での使用態様を説明する図。The figure explaining the usage condition in an ionization place. 洗浄場所での使用態様を説明する図。The figure explaining the use aspect in a washing place. イオン源の搬送経路を説明する図。The figure explaining the conveyance path | route of an ion source. イオン源の他の搬送経路を説明する図。The figure explaining the other conveyance path | route of an ion source. 実施例3に係るイオン源の構造例と使用態様を説明する図。FIG. 6 is a diagram for explaining a structural example and usage of an ion source according to Embodiment 3. 実施例4で使用するキャピラリー電極の汚染除去方法を説明する図。FIG. 6 is a diagram for explaining a method for removing contamination of a capillary electrode used in Example 4; 実施例5で使用するキャピラリー電極の洗浄方法を説明する図。FIG. 6 is a diagram for explaining a capillary electrode cleaning method used in Example 5; 実施例6に係るイオン源の構造例と使用態様を説明する図。FIG. 10 is a diagram for explaining a structural example and usage of an ion source according to Embodiment 6. 実施例7に係るイオン源の構造例と使用態様を説明する図。FIG. 10 is a diagram for explaining a structural example and usage of an ion source according to Embodiment 7. 実施例8に係るイオン源の構造例と使用態様を説明する図。FIG. 10 is a diagram for explaining a structural example and usage of an ion source according to Embodiment 8. 実施例9に係るイオン源の構造例と使用態様を説明する図。FIG. 10 is a diagram for explaining a structural example and usage of an ion source according to Embodiment 9. 実施例10に係るイオン源の構造例と使用態様を説明する図。FIG. 10 is a diagram for explaining a structural example and usage of an ion source according to Embodiment 10. 実施例11に係るイオン源の構造例と使用態様を説明する図。FIG. 10 is a diagram for explaining a structural example and usage of an ion source according to Embodiment 11. 実施例12に係るイオン源の構造例と使用態様を説明する図。FIG. 14 is a diagram for explaining a structural example and usage of an ion source according to Embodiment 12. 実施例13に係るイオン源の構造例と使用態様を説明する図。FIG. 16 is a diagram illustrating a structural example and usage of an ion source according to Embodiment 13. 実施例14に係るイオン源の構造例と使用態様を説明する図。FIG. 18 is a diagram for explaining a structural example and usage of an ion source according to Embodiment 14; 実施例15に係るイオン源の構造例と使用態様を説明する図。FIG. 16 is a diagram for explaining a structural example and usage of an ion source according to Embodiment 15. 実施例16に係るイオン源の構造例と使用態様を説明する図。FIG. 16 is a diagram for explaining a structural example and usage of an ion source according to Embodiment 16. 実施例17に係るイオン源の構造例と使用態様を説明する図。FIG. 16 is a diagram illustrating a structural example and usage of an ion source according to Embodiment 17. 実施例18に係るイオン化場所の構造例を説明する図。FIG. 18 is a diagram for explaining an example of the structure of an ionization site according to Example 18;

以下、図面に基づいて、本発明の実施の形態を説明する。なお、後述する装置構成や処理動作の内容は発明を説明するための一例であり、本発明は、後述する装置構成や処理動作に既知の技術を組み合わせた発明や後述する装置構成や処理動作の一部を既知の技術と置換した発明も包含する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. It should be noted that the contents of the device configuration and processing operation described below are examples for explaining the invention, and the present invention relates to an invention in which a known technology is combined with the device configuration and processing operation described later, and the device configuration and processing operation described later. It also includes inventions that partially replace known techniques.

なお、以下に説明する各実施例は、ESIイオン源を搭載する検査システムに関するものであり、試料溶液をイオン化する場所(領域)と、試料溶液をキャピラリーに吸引する場所(領域)と、キャピラリー及び又はガス噴霧管等を洗浄する場所(領域)と、発生されたイオンを検査する検査装置と、各領域間でイオン化プローブを搬送する搬送機構を有するものとする。また、実施例の説明に使用する各図は、各実施例に特有な構造や処理動作の説明のために、構造や処理動作の内容を強調して又は簡略化して描画している。   Each example described below relates to an inspection system equipped with an ESI ion source. A place (region) where a sample solution is ionized, a place (region) where the sample solution is sucked into a capillary, a capillary and Alternatively, a place (area) for cleaning the gas spray tube, an inspection apparatus for inspecting the generated ions, and a transport mechanism for transporting the ionization probe between the areas are provided. In addition, the drawings used for describing the embodiments are drawn with emphasis or simplification of the structure and the contents of the processing operations in order to explain the structures and processing operations unique to the embodiments.

[実施例1]
(動作シーケンスの概要)
実施例1では、ESIイオン源(イオン化プローブ)1が試料溶液の吸引場所から試料溶液をイオン化する場所に搬送され、さらに洗浄場所に搬送される場合に使用して好適なESIイオン源1の構造と搬送動作について説明する。なお、ESIイオン源1の移動には、ロボット機構であるESIイオン源ホルダが使用される。
[Example 1]
(Overview of operation sequence)
In Example 1, the structure of the ESI ion source 1 suitable for use when the ESI ion source (ionization probe) 1 is transported from the sample solution suction location to the location where the sample solution is ionized and further transported to the cleaning location. The transport operation will be described. For the movement of the ESI ion source 1, an ESI ion source holder which is a robot mechanism is used.

図3は、ESIプローブ2(キャピラリー電極3とガス噴霧管4の構造部分)に着目し、各部におけるESIイオン源(イオン化プローブ)1の使用態様を概略的に示す。図3では、矢印の順番に、試料溶液吸引場所13でのESIプローブ2の使用態様、イオン化場所14でのESIプローブ2の使用態様、洗浄場所15でのESIプローブ2の使用態様を示す。   FIG. 3 focuses on the ESI probe 2 (structure portion of the capillary electrode 3 and the gas spray tube 4), and schematically shows how the ESI ion source (ionization probe) 1 is used in each part. In FIG. 3, the usage mode of the ESI probe 2 at the sample solution suction site 13, the usage mode of the ESI probe 2 at the ionization site 14, and the usage mode of the ESI probe 2 at the cleaning site 15 are shown in the order of the arrows.

試料溶液吸引場所13では、キャピラリー電極3の先端が試料容器16の試料溶液5中に位置決めされ、試料溶液5を吸引する。ここで、キャピラリー電極3は中空形状を有する導電性の細管であり、ガス噴霧管4はキャピラリー電極3の先端から吐出される液滴径を小さくする気体を流す筒状の部材である。後述すように、キャピラリー電極3はガス噴霧管4の根元側(先端部9と反対側)で、直接又は間接的に不図示の連結部を通じて連結されている。また、キャピラリー電極3は、略円筒形状のガス噴霧管4の中心軸方向に可動自在に収容されているものとする。試料溶液5がキャピラリー電極3に吸引されると、ESIイオン源1は、イオン化場所14に搬送される。すなわち、キャピラリー電極3とガス噴霧管4が一体的にイオン化場所14に搬送される。   At the sample solution suction place 13, the tip of the capillary electrode 3 is positioned in the sample solution 5 of the sample container 16 and sucks the sample solution 5. Here, the capillary electrode 3 is a conductive thin tube having a hollow shape, and the gas spray tube 4 is a cylindrical member through which a gas for reducing the diameter of a droplet discharged from the tip of the capillary electrode 3 flows. As will be described later, the capillary electrode 3 is connected directly or indirectly through a connecting portion (not shown) on the base side (the side opposite to the tip portion 9) of the gas spray tube 4. Further, the capillary electrode 3 is accommodated so as to be movable in the direction of the central axis of the substantially cylindrical gas spray tube 4. When the sample solution 5 is sucked into the capillary electrode 3, the ESI ion source 1 is transported to the ionization site 14. That is, the capillary electrode 3 and the gas spray tube 4 are integrally conveyed to the ionization place 14.

この搬送中に又はイオン化場所14において、キャピラリー電極3の先端とガス噴霧管4の先端の相対位置が変更される。具体的には、図3に示すように、キャピラリー電極3の先端部9が、ガス噴霧管4の先端からわずかに突き出た状態に変更される。この相対位置の変更は、キャピラリー電極3を軸方向にガス噴霧管4に移動させることによっても、ガス噴霧管4をキャピラリー電極3の軸方向に移動させることによっても、キャピラリー電極3とガス噴霧管4の両方をそれぞれ軸方向に移動させることによっても行うことができる。相対位置の変更には不図示の移動機構や連結部を使用する。   During this conveyance or at the ionization site 14, the relative position between the tip of the capillary electrode 3 and the tip of the gas spray tube 4 is changed. Specifically, as shown in FIG. 3, the tip 9 of the capillary electrode 3 is changed to a state in which it slightly protrudes from the tip of the gas spray tube 4. The relative position can be changed by moving the capillary electrode 3 in the axial direction to the gas spray tube 4 or by moving the gas spray tube 4 in the axial direction of the capillary electrode 3. This can also be done by moving both 4 in the axial direction. To change the relative position, a moving mechanism or a connecting part (not shown) is used.

イオン化場所14では、キャピラリー電極3の先端から試料溶液5が液滴として吐出された後、ガス噴霧管4に供給された気体8によりイオン7が生成される。発生されたイオンの検出が終了すると、ESIイオン源1は、洗浄場所15に搬送される。やはり、キャピラリー電極3とガス噴霧管4が一体的に洗浄場所15に搬送される。この搬送の際、キャピラリー電極3の先端はガス噴霧管4の先端から突き出した状態のまま搬送される。従って、イオン化の終了時にキャピラリー電極3の先端に液滴が形成されたとしても、搬送中の振動によりキャピラリー電極3に残留した試料溶液5が滴下したとしても、ガス噴霧管4の内側及び先端を汚染することはない。なお、この搬送中に又はイオン化場所14において、キャピラリー電極3の先端とガス噴霧管4の先端の相対位置が変更される。   At the ionization site 14, after the sample solution 5 is discharged as a droplet from the tip of the capillary electrode 3, ions 7 are generated by the gas 8 supplied to the gas spray tube 4. When detection of the generated ions is completed, the ESI ion source 1 is transferred to the cleaning place 15. Again, the capillary electrode 3 and the gas spray tube 4 are integrally conveyed to the cleaning place 15. During this transport, the tip of the capillary electrode 3 is transported while protruding from the tip of the gas spray tube 4. Therefore, even if a droplet is formed at the tip of the capillary electrode 3 at the end of ionization or the sample solution 5 remaining on the capillary electrode 3 is dropped due to vibration during conveyance, the inside and the tip of the gas spray tube 4 are There is no contamination. Note that the relative position between the tip of the capillary electrode 3 and the tip of the gas spray tube 4 is changed during the transfer or at the ionization site 14.

洗浄場所15では、洗浄容器17に入った洗浄液18により、キャピラリー電極3が洗浄される。ただし、洗浄は、キャピラリー電極3をガス噴霧管4に収容した状態のまま、キャピラリー電極3の先端をガス噴霧器4の先端から大きく突き出した状態で行う。ガス噴霧器4の内側の汚染を避けるためである。洗浄液18の吸入と排出を複数回繰り返すことにより、キャピラリー電極3の表面だけでなく、その内側についても洗浄される。なお、キャピラリー電極3に残留している試料溶液5は洗浄場所15において、又は、廃液場所で廃棄される。キャピラリー電極3の洗浄が終了すると、ESIイオン源1は、次に分析する試料溶液5が格納されている試料容器17に搬送される。以後、前述と同様の手順により吸引、イオン化、洗浄が繰り返し実行され、複数の試料溶液5に対する分析が可能となる。   In the cleaning place 15, the capillary electrode 3 is cleaned by the cleaning liquid 18 contained in the cleaning container 17. However, the cleaning is performed in a state where the tip of the capillary electrode 3 protrudes from the tip of the gas sprayer 4 while the capillary electrode 3 is housed in the gas spray tube 4. This is to avoid contamination inside the gas sprayer 4. By repeating suction and discharge of the cleaning liquid 18 a plurality of times, not only the surface of the capillary electrode 3 but also the inside thereof is cleaned. The sample solution 5 remaining on the capillary electrode 3 is discarded at the washing place 15 or at the waste liquid place. When the cleaning of the capillary electrode 3 is completed, the ESI ion source 1 is transported to the sample container 17 in which the sample solution 5 to be analyzed next is stored. Thereafter, aspiration, ionization, and washing are repeatedly executed by the same procedure as described above, and analysis of a plurality of sample solutions 5 becomes possible.

なお、一番目の分析に用いる試料溶液5を吸引する前に、キャピラリー電極3を洗浄することも可能である。この場合、使用前にキャピラリー電極3に付着している汚れを洗浄することができる。   The capillary electrode 3 can be washed before the sample solution 5 used for the first analysis is sucked. In this case, the dirt adhering to the capillary electrode 3 can be washed before use.

図3に示すように、本実施例では、試料溶液吸引場所13で試料溶液5を吸引する際、ガス噴霧管4の先端は試料溶液5に接しない位置に移動させる。このため、ガス噴霧管4に試料溶液5が付着するのを防止できる。また、イオン化場所14でのイオン化の実行時には、ガス噴霧管4の先端をキャピラリー電極3の先端付近の位置に移動させる。また、洗浄場所15でキャピラリー電極3を洗浄する際は、吸引時と同様に、ガス噴霧管4を洗浄液18に接しない位置に移動させる。これにより、ガス噴霧管4に洗浄液18が付着するのを防止できる。以上により、ガス噴霧管4の汚染を抑制することができる。   As shown in FIG. 3, in the present embodiment, when the sample solution 5 is sucked at the sample solution suction place 13, the tip of the gas spray tube 4 is moved to a position not in contact with the sample solution 5. For this reason, it is possible to prevent the sample solution 5 from adhering to the gas spray tube 4. Further, when ionization is performed at the ionization site 14, the tip of the gas spray tube 4 is moved to a position near the tip of the capillary electrode 3. Further, when the capillary electrode 3 is washed at the washing place 15, the gas spray tube 4 is moved to a position where it does not come into contact with the washing liquid 18 as in the suction. Thereby, it is possible to prevent the cleaning liquid 18 from adhering to the gas spray tube 4. As described above, contamination of the gas spray tube 4 can be suppressed.

なお前述したように、キャピラリー電極3とガス噴霧管4の相対位置の変更又は相対移動は、試料溶液吸引場所13、イオン化場所14、洗浄場所15の各間でESIイオン源1を搬送する途中のタイミングで実行することが望ましい。特に、試料溶液吸引場所13や洗浄場所15にESIプローブ2がある状態で、キャピラリー電極3とガス噴霧管4の相対位置を変化させると、ガス噴霧管4を試料溶液5や洗浄液18で汚染する可能性が高くなる。一方、イオン化場所14においては、ガス噴霧管4の汚染のリスクは相対的に高くないので、イオン化場所14でキャピラリー電極3とガス噴霧管4の相対位置を変化させることがより望ましい。   As described above, the relative position change or relative movement between the capillary electrode 3 and the gas spray tube 4 is in the middle of transporting the ESI ion source 1 between the sample solution suction place 13, the ionization place 14, and the washing place 15. It is desirable to execute at the timing. In particular, if the relative position of the capillary electrode 3 and the gas spray tube 4 is changed in a state where the ESI probe 2 is present at the sample solution suction site 13 or the cleaning site 15, the gas spray tube 4 is contaminated with the sample solution 5 or the cleaning liquid 18. The possibility increases. On the other hand, since the risk of contamination of the gas spray tube 4 is not relatively high at the ionization site 14, it is more desirable to change the relative positions of the capillary electrode 3 and the gas spray tube 4 at the ionization site 14.

(詳細動作)
(試料溶液吸引場所における動作)
ここでは、試料溶液吸引場所13において、試料溶液5をキャピラリー電極3に吸引する際の詳細動作を説明する。図4に、ISEイオン源1の構造例と、試料溶液5を吸引する際の使用態様を示す。図4に示すように、ESIイオン源1は、図3に示したキャピラリー電極3及びガス噴霧管4以外にも、吸引吐出機構19、ガス噴霧管移動機構20、配管21、気密機構22を有している。
(Detailed operation)
(Operation at the sample solution suction location)
Here, a detailed operation when the sample solution 5 is sucked into the capillary electrode 3 at the sample solution suction place 13 will be described. FIG. 4 shows a structural example of the ISE ion source 1 and a usage mode when the sample solution 5 is sucked. As shown in FIG. 4, the ESI ion source 1 includes a suction / discharge mechanism 19, a gas spray pipe moving mechanism 20, a pipe 21, and an airtight mechanism 22 in addition to the capillary electrode 3 and the gas spray pipe 4 shown in FIG. 3. doing.

吸引吐出機構19は、試料溶液5の吸引又は吐出を実現する駆動機構である。吸引吐出機構19は、キャピラリー電極3の管内にある空気層を介して試料溶液5の吸引や吐出を実現する装置であり、周知の装置を使用する。なお、キャピラリー電極3の内径は、詰まり防止などの観点から0.1mm以上であることが望ましい。   The suction / discharge mechanism 19 is a drive mechanism that realizes suction or discharge of the sample solution 5. The suction / discharge mechanism 19 is a device that realizes suction and discharge of the sample solution 5 through the air layer in the tube of the capillary electrode 3, and uses a known device. The inner diameter of the capillary electrode 3 is preferably 0.1 mm or more from the viewpoint of preventing clogging.

ここでのガス噴霧管移動機構20は、ガス噴霧管4を試料溶液5に接しない位置まで相対的に移動させるために使用される。ガス噴霧管移動機構20には、回転運動を直線運動に変換する直動ステージ、油圧駆動機構その他の直線駆動機構を使用する。   Here, the gas spray tube moving mechanism 20 is used to relatively move the gas spray tube 4 to a position where it does not contact the sample solution 5. The gas spray tube moving mechanism 20 uses a linear motion stage that converts rotational motion into linear motion, a hydraulic drive mechanism, and other linear drive mechanisms.

例えばESIイオン源1を全体的に保持する部材にキャピラリー電極3が固定されている場合、ガス噴霧管移動機構20はガス噴霧管4だけを移動させる。これに対し、ESIイオン源1を全体的に保持する部材にガス噴霧管4が固定されている場合、ガス噴霧管移動機構20はキャピラリー電極3だけを移動させる。この場合は、キャピラリー電極移動機構と呼ぶ。いずれの駆動態様を選択するかは自由である。なお、ESIイオン源1を全体的に保持する部材に対して、キャピラリー電極3とガス噴霧管4の両方をそれぞれ対応するガス噴霧管移動機構20で独立に駆動しても良い。このガス噴霧管移動機構20が、特許請求の範囲における移動機構に相当する。   For example, when the capillary electrode 3 is fixed to a member that holds the ESI ion source 1 as a whole, the gas spray tube moving mechanism 20 moves only the gas spray tube 4. On the other hand, when the gas spray tube 4 is fixed to a member that holds the ESI ion source 1 as a whole, the gas spray tube moving mechanism 20 moves only the capillary electrode 3. In this case, it is called a capillary electrode moving mechanism. Which drive mode is selected is free. Note that both the capillary electrode 3 and the gas spray tube 4 may be independently driven by the corresponding gas spray tube moving mechanism 20 with respect to the member that holds the ESI ion source 1 as a whole. The gas spray tube moving mechanism 20 corresponds to the moving mechanism in the claims.

なお、配管21や気密機構22は、イオン化の際に使用する部材である。詳細については、イオン化場所における動作の項で説明する。   The pipe 21 and the airtight mechanism 22 are members used for ionization. Details will be described in the section on operation at the ionization site.

(イオン化場所における動作)
ここでは、イオン化場所14において、試料溶液5をイオン化する際の詳細説明を説明する。図5に、試料溶液5をイオン化する際におけるISEイオン源1と、イオン取り込み口10及び検出装置11との位置関係を示す。この場合、ガス噴霧管4の先端部9は、質量分析装置その他の検出装置11に配置されたイオン取込み部10の開口近傍に配置される。この配置により、イオン取込み部10におけるイオン7の導入効率が向上し、検出装置11における検出効率が向上する。
(Operation at ionization site)
Here, a detailed description of ionizing the sample solution 5 at the ionization site 14 will be described. FIG. 5 shows the positional relationship between the ISE ion source 1, the ion intake port 10, and the detection device 11 when ionizing the sample solution 5. In this case, the distal end portion 9 of the gas spray tube 4 is disposed in the vicinity of the opening of the ion capturing portion 10 disposed in the mass spectrometer or other detection device 11. With this arrangement, the introduction efficiency of the ions 7 in the ion take-in portion 10 is improved, and the detection efficiency in the detection device 11 is improved.

イオン化場所14では、キャピラリー電極3の先端が、ガス噴霧管4の先端からわずかに突き出るように位置決めされる。勿論、キャピラリー電極3とガス噴霧管4の位置関係の変更にはガス噴霧管移動機構20が用いられる。この場合、ガス噴霧管移動機構20は、キャピラリー電極3の先端とガス噴霧管4の先端を近づけるように、ガス噴霧管4を移動させる。図5においては、キャピラリー電極3がESIイオン源1を全体的に保持している部材に固定されており、ガス噴霧管4だけが先端部9の方向に移動された様子を描画している。もっとも、前述の通り、ESIイオン源1を全体的に保持している部材にガス噴霧管4が固定されている場合には、キャピラリー電極3がガス噴霧管4に収容される方向に駆動される。勿論、どちらの駆動方式を採用しても良い。   At the ionization site 14, the tip of the capillary electrode 3 is positioned so as to slightly protrude from the tip of the gas spray tube 4. Of course, the gas spray tube moving mechanism 20 is used to change the positional relationship between the capillary electrode 3 and the gas spray tube 4. In this case, the gas spray tube moving mechanism 20 moves the gas spray tube 4 so that the tip of the capillary electrode 3 and the tip of the gas spray tube 4 are brought close to each other. In FIG. 5, the capillary electrode 3 is fixed to a member that holds the ESI ion source 1 as a whole, and only the gas spray tube 4 is drawn in the direction of the distal end portion 9. However, as described above, when the gas spray tube 4 is fixed to the member that holds the ESI ion source 1 as a whole, the capillary electrode 3 is driven in a direction in which the capillary electrode 3 is accommodated in the gas spray tube 4. . Of course, either driving method may be adopted.

キャピラリー電極3の先端とガス噴霧管4の先端とがイオン化に適した位置に移動すると、キャピラリー電極3の中に吸引されていた試料溶液5が、キャピラリー電極3の先端から吐出される。この際、キャピラリー電極3とイオン取込み部10との間には電位差が印加されている。この電位差により、吐出された試料溶液5はイオン化し、イオン7が生成される。   When the tip of the capillary electrode 3 and the tip of the gas spray tube 4 move to a position suitable for ionization, the sample solution 5 sucked into the capillary electrode 3 is discharged from the tip of the capillary electrode 3. At this time, a potential difference is applied between the capillary electrode 3 and the ion take-in portion 10. Due to this potential difference, the discharged sample solution 5 is ionized and ions 7 are generated.

この際、キャピラリー電極3とガス噴霧管4の間に対し、配管21を介して気体8が供給される。気体8の供給は不図示のポンプを用いて行われる。気体8は、ガス噴霧管4の先端部9に設けられた開口から外部に出力される。この気体8の流れにより、キャピラリー電極3から噴霧される液滴を小さくすることができ、イオン化効率を向上することができる。   At this time, the gas 8 is supplied via the pipe 21 between the capillary electrode 3 and the gas spray pipe 4. The gas 8 is supplied using a pump (not shown). The gas 8 is output to the outside through an opening provided at the distal end portion 9 of the gas spray tube 4. Due to the flow of the gas 8, the droplets sprayed from the capillary electrode 3 can be reduced, and the ionization efficiency can be improved.

ガス噴霧管4から噴霧される気体8は、キャピラリー電極3の先端付近でキャピラリー電極3と同心円上で高速に噴霧されることが理想である。高速度での噴霧のため、ガス噴霧管4の先端部9の内径は先端に近づくほど小さく絞られている。ガス噴霧管4により気体8を噴霧する方式は、キャピラリー電極3の外径が0.2mmを超える程度の大きさの場合に効果的である。また、生成されたイオン7によりガス噴霧管4が汚染されるのを防止するため、キャピラリー電極3の先端はガス噴霧管4の先端に対し、少なくとも0.5mm程度突出している必要がある。   Ideally, the gas 8 sprayed from the gas spray tube 4 is sprayed at high speed on the concentric circle with the capillary electrode 3 in the vicinity of the tip of the capillary electrode 3. For spraying at a high speed, the inner diameter of the tip 9 of the gas spray tube 4 is reduced as it approaches the tip. The method in which the gas 8 is sprayed by the gas spray tube 4 is effective when the outer diameter of the capillary electrode 3 exceeds 0.2 mm. Further, in order to prevent the gas spray tube 4 from being contaminated by the generated ions 7, the tip of the capillary electrode 3 needs to protrude at least about 0.5 mm from the tip of the gas spray tube 4.

因みに、キャピラリー電極3に印加される電圧が正の場合には正イオン、電圧が負の場合には負イオンが生成される。また、キャピラリー電極3とガス噴霧管4は同電位に設定しても良い。生成されたイオン7は、イオン取込み部10から導入され、質量分析装置等の検出装置11で検出される。なお、キャピラリー電極3とガス噴霧管4の間隙(キャピラリー電極3の外壁とガス噴霧管4の内壁で囲まれた空間)の一端は、配管21から導入された気体8が先端部9の方向にのみ流れるように気密機構22で封止される。気密機構22は、配管21の取り付け位置よりもガス噴霧管4の根元側に配置される。気密機構22は、キャピラリー電極3の軸方向への可動を妨げない材料及び又は構造であることが求められる。   Incidentally, positive ions are generated when the voltage applied to the capillary electrode 3 is positive, and negative ions are generated when the voltage is negative. The capillary electrode 3 and the gas spray tube 4 may be set to the same potential. The generated ions 7 are introduced from the ion take-in unit 10 and detected by a detection device 11 such as a mass spectrometer. Note that one end of the gap between the capillary electrode 3 and the gas spray tube 4 (a space surrounded by the outer wall of the capillary electrode 3 and the inner wall of the gas spray tube 4) has the gas 8 introduced from the pipe 21 in the direction of the tip 9. It is sealed by the airtight mechanism 22 so as to flow only. The airtight mechanism 22 is disposed closer to the base of the gas spray tube 4 than the attachment position of the pipe 21. The airtight mechanism 22 is required to be a material and / or structure that does not prevent the capillary electrode 3 from moving in the axial direction.

(洗浄場所における動作)
ここでは、洗浄場所15において、キャピラリー電極3を洗浄する際の詳細説明を説明する。図6に、キャピラリー電極3を洗浄する際におけるISEイオン源1と、洗浄容器17との位置関係を示す。キャピラリー電極3の洗浄は、吸引吐出機構19により洗浄液18を吸引又は吐出することで実行される。吸引と吐出を複数回繰り返せば、キャピラリー電極3の内側の洗浄効果を一層高めることができる。
(Operation at the washing place)
Here, a detailed description of the case where the capillary electrode 3 is cleaned in the cleaning place 15 will be described. FIG. 6 shows the positional relationship between the ISE ion source 1 and the cleaning container 17 when the capillary electrode 3 is cleaned. The capillary electrode 3 is washed by sucking or discharging the cleaning liquid 18 by the suction / discharge mechanism 19. If the suction and discharge are repeated a plurality of times, the cleaning effect inside the capillary electrode 3 can be further enhanced.

なお、キャピラリー電極3の洗浄時、ガス噴霧管4は、その先端部9が洗浄液18に接しないように位置決めされる。位置決めにはガス噴霧管移動機構20が用いられる。図6では、この位置決め動作を表すため、ガス噴霧管移動機構20の高さ方向の長さを図5の場合よりも短く描いている。   When the capillary electrode 3 is cleaned, the gas spray tube 4 is positioned so that the tip end portion 9 does not contact the cleaning liquid 18. A gas spray tube moving mechanism 20 is used for positioning. In FIG. 6, in order to represent this positioning operation, the length in the height direction of the gas spray tube moving mechanism 20 is drawn shorter than that in the case of FIG. 5.

すなわち、図6は、ESIイオン源1の全体を保持している部材にキャピラリー電極3が固定されている場合について表している。反対に、ESIイオン源1の全体を保持している部材にガス噴霧管4が固定されている場合には、ガス噴霧管移動機構20により、キャピラリー電極3を相対的に移動させる構成を採用する。前述の通り、キャピラリー電極3とガス噴霧管4のどちらを移動させるかは実装時の判断による。   That is, FIG. 6 shows a case where the capillary electrode 3 is fixed to a member that holds the entire ESI ion source 1. Conversely, when the gas spray tube 4 is fixed to a member that holds the entire ESI ion source 1, a configuration is adopted in which the capillary electrode 3 is relatively moved by the gas spray tube moving mechanism 20. . As described above, which of the capillary electrode 3 and the gas spray tube 4 is moved depends on the determination at the time of mounting.

また、キャピラリー電極3による洗浄液18の吸引又は吐出によるキャピラリー電極3の内側の洗浄と同時に、洗浄容器17には開口端側に配置された配管23を介して洗浄液18を導入し、底面側に配置された配管24を介して洗浄液18を廃棄する。このような配管構造を採用することにより、洗浄容器17に貯蔵された洗浄液18を入れ替えることができる。この結果、洗浄容器17に貯蔵される洗浄液18を常に清浄な状態に維持することができ、洗浄性能を向上させることができる。   Simultaneously with cleaning of the inside of the capillary electrode 3 by suction or discharge of the cleaning liquid 18 by the capillary electrode 3, the cleaning liquid 18 is introduced into the cleaning container 17 through the pipe 23 disposed on the opening end side and disposed on the bottom surface side. The cleaning liquid 18 is discarded through the pipe 24. By adopting such a piping structure, the cleaning liquid 18 stored in the cleaning container 17 can be replaced. As a result, the cleaning liquid 18 stored in the cleaning container 17 can always be maintained in a clean state, and the cleaning performance can be improved.

(搬送経路の説明)
続いて、実施例において想定するESIイオン源1の搬送経路を説明する。図7に、ESIイオン源1の搬送経路を上方から見た平面図を示す。前述の通り、ESIイオン源1は不図示のESIイオン源ホルダを用いて、試料溶液吸引場所13、イオン化場所14、洗浄場所15の順番に移動し、この動作を繰り返す。前述の通り、使用前のキャピラリー電極3の洗浄のため、一番目の分析の吸引前に洗浄を行っても良い。
(Description of transport route)
Subsequently, a transport path of the ESI ion source 1 assumed in the embodiment will be described. In FIG. 7, the top view which looked at the conveyance path | route of the ESI ion source 1 from upper direction is shown. As described above, the ESI ion source 1 moves in the order of the sample solution suction place 13, the ionization place 14, and the washing place 15 using an ESI ion source holder (not shown) and repeats this operation. As described above, since the capillary electrode 3 is used before use, the capillary electrode 3 may be cleaned before the first analysis.

まず、試料溶液吸引場所13で試料溶液5の吸引を終えたESIイオン源1は、経路25を通じてイオン化場所14に搬送される。その後、イオン化を終えたESIイオン源1は、経路26を通じて洗浄場所15に搬送される。その後、洗浄を終えたESIイオン源1は、経路27を通じて試料溶液吸引場所13に搬送される。一番目の分析のための試料溶液5の吸引前にキャピラリー電極3を洗浄する場合には、経路27が最初となる。   First, the ESI ion source 1 that has finished sucking the sample solution 5 at the sample solution suction place 13 is transported to the ionization place 14 through the path 25. Thereafter, the ionized ESI ion source 1 is transported to the cleaning place 15 through the path 26. Thereafter, the ESI ion source 1 that has been cleaned is transported to the sample solution suction location 13 through the path 27. When the capillary electrode 3 is washed before the sample solution 5 for the first analysis is sucked, the path 27 is the first.

なお、次回以降の分析対象となる複数個の試料容器16で構成される試料容器群28(図中破線で示す)は、経路25〜27に交差する方向に一列に配置する。この配置の場合、試料容器群28の試料容器16を経路29の方向に順番に搬送することで、異なる試料溶液5に対する分析動作を順次実行することができる。ここで、経路29による搬送を行わない場合には、同じ試料溶液5を繰り返し分析することができる。   Note that the sample container group 28 (shown by broken lines in the figure) composed of a plurality of sample containers 16 to be analyzed after the next time is arranged in a line in a direction intersecting the paths 25 to 27. In the case of this arrangement, the sample containers 16 of the sample container group 28 are sequentially conveyed in the direction of the path 29, so that the analysis operations for different sample solutions 5 can be sequentially executed. Here, when the conveyance by the path 29 is not performed, the same sample solution 5 can be repeatedly analyzed.

図7に示した通り、試料溶液吸引場所13、イオン化場所14、洗浄場所15を一直線上に配置すると、ESIイオン源1の搬送に使用する経路25〜27がX軸方向63のみになる。すなわち、Y軸方向64の駆動は不要となる。このように、搬送経路が一直線であると、単軸制御によるESIイオン源1の駆動で充分となり、低コスト化を実現できる。   As shown in FIG. 7, when the sample solution suction place 13, the ionization place 14, and the washing place 15 are arranged in a straight line, the paths 25 to 27 used for transporting the ESI ion source 1 are only in the X-axis direction 63. That is, driving in the Y-axis direction 64 is not necessary. Thus, when the conveyance path is a straight line, driving of the ESI ion source 1 by single axis control is sufficient, and cost reduction can be realized.

さらに、図7に示すように、吸引後のESIイオン源1が洗浄場所15の上を通らない配置構成の採用により、ESIイオン源1の搬送中における試料溶液5の滴下などによる洗浄液18の汚染を防ぐことができる。   Furthermore, as shown in FIG. 7, by adopting an arrangement configuration in which the ESI ion source 1 after suction does not pass over the cleaning place 15, contamination of the cleaning liquid 18 due to dropping of the sample solution 5 while the ESI ion source 1 is being transported. Can be prevented.

なお、ESIイオン源1の退避場所やESIイオン源1の交換等を行うメンテナンス場所等が必要な場合には、前述したESIイオン源1の経路25〜27の延長上に配置する。全ての搬送場所を直線上に配置することにより、ESIイオン源1の搬送を単軸制御機構のみで実現できる。しかし、試料容器群28を移動することができない場合や、障害物が存在するなどの関係上、Y軸方向64にESIイオン源1を搬送する必要がある場合には、XY方向に可動可能な2軸制御機構を用いれば良い。   When a retreating place for the ESI ion source 1 or a maintenance place for exchanging the ESI ion source 1 or the like is necessary, the ESI ion source 1 is disposed on the extension of the paths 25 to 27 of the ESI ion source 1 described above. By arranging all the transfer places on a straight line, the transfer of the ESI ion source 1 can be realized only by the single axis control mechanism. However, if the sample container group 28 cannot be moved, or if the ESI ion source 1 needs to be transported in the Y-axis direction 64 due to the presence of an obstacle, it can be moved in the XY directions. A two-axis control mechanism may be used.

[実施例2]
実施例2においては、他の搬送経路について説明する。すなわち、実施例2は、検査システムが直線制御を実行する搬送機構を搭載しない場合について説明する。なお、ESIイオン源1の構造や検査に関係する処理動作は、基本的に実施例1と同じである。
[Example 2]
In the second embodiment, another conveyance path will be described. That is, the second embodiment describes a case where the inspection system does not include a transport mechanism that performs linear control. The processing operations related to the structure and inspection of the ESI ion source 1 are basically the same as those in the first embodiment.

図8に、実施例2に係るESIイオン源1の搬送経路を上方からみた平面図を示す。図3でも説明した通り、ESIイオン源1は、試料溶液吸引場所13、イオン化場所14、洗浄場所15を順番に搬送され、この搬送動作を繰り返す。前述の通り、使用前のキャピラリー電極3の洗浄のため、一番目の分析対象である試料溶液5の吸引前にキャピラリー電極3の洗浄を行っても良い。   FIG. 8 is a plan view of the transport path of the ESI ion source 1 according to the second embodiment as viewed from above. As described with reference to FIG. 3, the ESI ion source 1 is sequentially transported through the sample solution suction site 13, the ionization site 14, and the cleaning site 15, and this transport operation is repeated. As described above, in order to clean the capillary electrode 3 before use, the capillary electrode 3 may be cleaned before suction of the sample solution 5 to be analyzed first.

試料溶液吸引場所13で試料溶液5の吸引を終えたESIイオン源1は経路25でイオン化場所14に移動する。その後、イオン化を終えたESIイオン源1は経路26で洗浄場所15に移動する。その後、洗浄を終えたESIイオン源1は経路27で試料溶液吸引場所13に移動する。一番目の分析対象である試料溶液5の吸引前にキャピラリー電極3の洗浄を行う場合は、経路27が最初となる。   The ESI ion source 1 that has finished sucking the sample solution 5 at the sample solution suction place 13 moves to the ionization place 14 through the path 25. Thereafter, the ESI ion source 1 that has been ionized moves to the cleaning place 15 via the path 26. After that, the ESI ion source 1 that has been cleaned moves to the sample solution suction location 13 through the path 27. When the capillary electrode 3 is cleaned before the sample solution 5 as the first analysis target is sucked, the path 27 is first.

この実施例の場合も、次回の分析に使用する試料容器群28は、経路25〜27に交差するように配置する。試料容器群28を構成する試料容器16を順送りに経路29の方向に搬送することで、異なる試料溶液5を順次分析することができる。また、経路29による試料容器16の搬送を行わない場合は、同じ試料溶液5を繰り返し分析することができる。   Also in this embodiment, the sample container group 28 used for the next analysis is arranged so as to cross the paths 25 to 27. By transporting the sample containers 16 constituting the sample container group 28 in the forward direction toward the path 29, different sample solutions 5 can be sequentially analyzed. When the sample container 16 is not transported by the path 29, the same sample solution 5 can be repeatedly analyzed.

図8に示すように、この実施例では、試料溶液吸引場所13、イオン化場所14、洗浄場所15を同一中心の曲線上に配置する。この配置の場合、ESIイオン源1の搬送経路は、1つの軸を中心とした回転制御で実現でき、搬送機構の低コスト化を実現できる。また、単軸の直動機構と曲線状の溝カム等の案内機構を組み合わせることによっても、同様の経路25〜27によるESIイオン源1の搬送を実現できる。因みに、さらに複雑な形状の溝カム等で構成される案内機構を設計することにより、より複雑な経路を一軸制御で実現することも可能である。   As shown in FIG. 8, in this embodiment, the sample solution suction place 13, the ionization place 14, and the washing place 15 are arranged on the same central curve. In this arrangement, the transport path of the ESI ion source 1 can be realized by rotation control about one axis, and the cost of the transport mechanism can be reduced. In addition, the ESI ion source 1 can be transported by the same paths 25 to 27 by combining a single axis linear motion mechanism and a guide mechanism such as a curved groove cam. Incidentally, it is possible to realize a more complicated path by uniaxial control by designing a guide mechanism including a groove cam or the like having a more complicated shape.

なお、この実施例の場合にも、吸引後のESIイオン源1が洗浄場所15の上方を通らない搬送経路を採用することにより、ESIイオン源1の搬送による試料溶液5の滴下等による洗浄液18の汚染を防ぐことができる。また、ESIイオン源1の退避場所やESIイオン源1の交換等を行うメンテナンス場所等が必要な場合も、実施例1の場合と同様に、前述のESIイオン源1の搬送経路の延長上に配置することにより、単軸制御による駆動のみで搬送動作を実現できる。しかし、試料容器群28を移動することができない場合や、障害物が存在する等の場合には、もう1つ別の単軸制御を追加すれば良い。   In the case of this embodiment as well, by adopting a transport path in which the ESI ion source 1 after suction does not pass above the cleaning place 15, the cleaning liquid 18 by dropping the sample solution 5 by transporting the ESI ion source 1 is used. Can prevent pollution. Further, when a retreating place for the ESI ion source 1 or a maintenance place for exchanging the ESI ion source 1 is necessary, as in the case of the first embodiment, the above-described ESI ion source 1 transfer route is extended. By disposing, the conveying operation can be realized only by driving by single axis control. However, if the sample container group 28 cannot be moved or if an obstacle exists, another single axis control may be added.

[実施例3]
この実施例では、ガス噴霧管4の移動に直動ステージその他の直線駆動機構を必要としない駆動方式について説明する。なお、その他のESIイオン源1の構造や検査に関係する処理動作は、基本的に実施例1と同じである。
[Example 3]
In this embodiment, a drive system that does not require a linear motion stage or other linear drive mechanism to move the gas spray tube 4 will be described. The other processing operations related to the structure and inspection of the ESI ion source 1 are basically the same as those in the first embodiment.

図9に、実施例3に係るESIイオン源1の構造例と駆動の前後の様子を示す。この実施例では、キャピラリー電極3とガス噴霧管4の相対位置を移動させる移動機構にバネ30を使用する。バネ30は、特許請求の範囲における移動機構の一例である。もっとも、バネ以外の弾性体を用いることもできる。また、図9は、ESIイオン源1の全体を保持している部材にキャピラリー電極3が固定されている場合について表している。   FIG. 9 shows a structural example of the ESI ion source 1 according to the third embodiment and states before and after driving. In this embodiment, a spring 30 is used as a moving mechanism for moving the relative position between the capillary electrode 3 and the gas spray tube 4. The spring 30 is an example of a moving mechanism in the claims. However, an elastic body other than a spring can also be used. FIG. 9 shows a case where the capillary electrode 3 is fixed to a member that holds the entire ESI ion source 1.

図9は、試料溶液吸引場所13においてキャピラリー電極3に試料溶液5を吸引する際の使用態様を示している。図9の左図は試料溶液5の吸引を開始する前の位置関係を示し、図9の右図は試料溶液5を吸引する際の位置関係を示している。   FIG. 9 shows a usage mode when the sample solution 5 is sucked into the capillary electrode 3 at the sample solution suction place 13. The left diagram of FIG. 9 shows the positional relationship before the suction of the sample solution 5 is started, and the right diagram of FIG. 9 shows the positional relationship when the sample solution 5 is sucked.

この実施例に係るESIイオン源1の場合、バネ30以外の特有の構造として、ガス噴霧管4の外周に段差状のストッパ受け31及び32を配置する。ストッパ受け31はガス噴霧管4の先端側に配置され、ストッパ受け32はガス噴霧管4の根元側に配置される。ストッパ受け31及び32はそれぞれ対応するストッパ33及び34に接触した場合、ガス噴霧管4の移動方向へのそれ以上の移動を停止させる。   In the case of the ESI ion source 1 according to this embodiment, stepped stopper receivers 31 and 32 are arranged on the outer periphery of the gas spray tube 4 as a unique structure other than the spring 30. The stopper receiver 31 is disposed on the distal end side of the gas spray tube 4, and the stopper receiver 32 is disposed on the base side of the gas spray tube 4. When the stopper receivers 31 and 32 come into contact with the corresponding stoppers 33 and 34 respectively, the stopper receivers 31 and 32 stop further movement of the gas spray tube 4 in the moving direction.

試料溶液5の吸引時や洗浄時には、試料容器16や洗浄容器15にキャピラリー電極3の先端が挿入される必要があるが、試料溶液5の吸引の前後やイオン化場所14においては、キャピラリー電極3の先端がガス噴霧管4の先端部9からわずかに突き出す位置に配置する。   When the sample solution 5 is sucked or washed, the tip of the capillary electrode 3 needs to be inserted into the sample container 16 or the washing container 15, but before or after the sample solution 5 is sucked or at the ionization site 14, The tip is disposed at a position slightly protruding from the tip 9 of the gas spray tube 4.

図9の左図は、試料溶液5の吸引の前後やイオン化場所14における位置関係を表している。この場合、バネ30の弾性力により、ガス噴霧管4は下方向に押し付けられる。このとき、ESIイオン源1の全体を保持している部材に固定されているストッパ34にストッパ受け32が押し当てられる。これにより、図5に示したイオン化場所14でのキャピラリー電極3とガス噴霧管4の相対位置関係で保持される。   The left diagram of FIG. 9 shows the positional relationship before and after the sample solution 5 is sucked and at the ionization location 14. In this case, the gas spray tube 4 is pressed downward by the elastic force of the spring 30. At this time, the stopper receiver 32 is pressed against the stopper 34 fixed to the member holding the entire ESI ion source 1. Accordingly, the relative positional relationship between the capillary electrode 3 and the gas spray tube 4 at the ionization site 14 shown in FIG. 5 is maintained.

図9の右図は、ESIイオン源1が全体的に下降された場合における位置関係を表している。このESIイオン源1の降下の過程で、ガス噴霧管4に形成されたストッパ受け31が、試料容器16の下方に配置されたストッパ33に当たる。ガス噴霧管4の先端部9は、ストッパ33より先には下降することができない。さらに、ESIイオン源1の下降が続くと、ストッパ33はストッパ受け31を押し上げる方向に作用する。この外力により、キャピラリー電極3の根元付近に配置されたバネ30は圧縮変形される。結果的に、ガス噴霧管4を試料溶液5から離した状態のまま、ESIイオン源1の降下と共にキャピラリー電極3が突出する。なお、ESIイオン源1の降下はキャピラリー電極3の先端が試料溶液5に挿入されるまで継続する。   The right figure of FIG. 9 represents the positional relationship when the ESI ion source 1 is lowered as a whole. In the process of lowering the ESI ion source 1, the stopper receiver 31 formed in the gas spray tube 4 hits the stopper 33 disposed below the sample container 16. The distal end portion 9 of the gas spray tube 4 cannot descend before the stopper 33. Further, when the ESI ion source 1 continues to descend, the stopper 33 acts in the direction of pushing up the stopper receiver 31. By this external force, the spring 30 disposed near the base of the capillary electrode 3 is compressed and deformed. As a result, the capillary electrode 3 protrudes as the ESI ion source 1 is lowered while the gas spray tube 4 is kept away from the sample solution 5. The descent of the ESI ion source 1 continues until the tip of the capillary electrode 3 is inserted into the sample solution 5.

試料溶液5の吸引後は、ESIイオン源1を上昇させることで、キャピラリー電極3とガス噴霧管4の相対位置を、図9の左図の状態に戻すことができる。従って、図9の左図の状態のままESIイオン源1をイオン化場所14に移動すれば、イオン化を即座に開始することができる。   After the sample solution 5 is aspirated, the relative position between the capillary electrode 3 and the gas spray tube 4 can be returned to the state shown in the left diagram of FIG. 9 by raising the ESI ion source 1. Therefore, if the ESI ion source 1 is moved to the ionization location 14 in the state of the left figure of FIG. 9, ionization can be started immediately.

同様に、洗浄場所15の付近にもストッパ33と同様のストッパを配置する。これにより、洗浄の際にも、洗浄液18とガス噴霧管4が接しない位置まで移動することができる。   Similarly, a stopper similar to the stopper 33 is also arranged near the cleaning place 15. Thereby, also in the case of washing | cleaning, it can move to the position where the washing | cleaning liquid 18 and the gas spray tube 4 do not contact.

前述の通り、この実施例に係るESIイオン源1の場合には、バネ30だけにより、ガス噴霧管4を移動できる。従って、この実施例は、直動ステージその他の直線駆動機構を用いる場合に比して、低コスト化や軽量化を実現できる。なお、図9では省略しているが、ガス噴霧管4の上下移動に際してストッパ34とぶつかる構造物(例えば配管21など)がある場合には、その部分だけにストッパ34との衝突を回避する切り欠き構造等を配置する必要がある。因みに、本実施例は、ESIイオン源1の全体を保持している部材にキャピラリー電極3が固定された構成で、全体に対してガス噴霧管4が移動する構造の場合にのみ有効である。なお、本実施例に係る駆動方式は、実施例1だけでなく実施例2に対しても利用できる。   As described above, in the case of the ESI ion source 1 according to this embodiment, the gas spray tube 4 can be moved only by the spring 30. Therefore, this embodiment can realize a reduction in cost and weight as compared with the case where a linear motion stage or other linear drive mechanism is used. Although omitted in FIG. 9, when there is a structure (for example, the pipe 21) that collides with the stopper 34 when the gas spray pipe 4 moves up and down, the cut is made only at that portion to avoid collision with the stopper 34. It is necessary to arrange a notch structure or the like. Incidentally, the present embodiment is effective only in a structure in which the capillary electrode 3 is fixed to a member that holds the entire ESI ion source 1 and the gas spray tube 4 moves relative to the whole. The driving method according to the present embodiment can be used not only for the first embodiment but also for the second embodiment.

[実施例4]
ここでは、キャピラリー電極3の先端部分の汚染を、ガス噴霧管4の所定位置に収容する前に除去する方法を説明する。なお、その他のESIイオン源1の構造や検査に関係する処理動作は、基本的に実施例1と同じである。
[Example 4]
Here, a method for removing the contamination at the tip of the capillary electrode 3 before accommodating it in a predetermined position of the gas spray tube 4 will be described. The other processing operations related to the structure and inspection of the ESI ion source 1 are basically the same as those in the first embodiment.

試料溶液5を吸引する場合、試料容器16の中の試料溶液5にキャピラリー電極3の先端を挿入する。このため、キャピラリー電極3の先端の外側が汚染される。吸引の信頼性を確保するためには、キャピラリー電極3の先端を最低でも数mm程度は浸すことが理想である。その一方で、イオン化の際には、図5に示したように、キャピラリー電極3の先端をガス噴霧管4の先端から突出させる必要があり、場合によってはこの突出量が0.5mm程度である場合がある。この数値は、吸引時に生じるキャピラリー電極3の先端の汚染範囲よりも小さい。すなわち、吸引後の状態のままキャピラリー電極3と先端をガス噴霧管4の相対位置を図5に示す状態に変化させると、ガス噴霧管4を汚染してしまう可能性がある。   When the sample solution 5 is sucked, the tip of the capillary electrode 3 is inserted into the sample solution 5 in the sample container 16. For this reason, the outside of the tip of the capillary electrode 3 is contaminated. In order to ensure the reliability of suction, it is ideal to immerse the tip of the capillary electrode 3 at least several millimeters. On the other hand, at the time of ionization, as shown in FIG. 5, it is necessary to make the tip of the capillary electrode 3 protrude from the tip of the gas spray tube 4, and in some cases the amount of protrusion is about 0.5 mm. There is. This numerical value is smaller than the contamination range at the tip of the capillary electrode 3 generated during suction. That is, if the relative position between the capillary electrode 3 and the tip of the gas spray tube 4 is changed to the state shown in FIG. 5 in the state after suction, the gas spray tube 4 may be contaminated.

従って、汚染の可能性がある場合には、本実施例で説明する手法を組み合わせることが望ましい。図10に、気体噴霧により、キャピラリー電極3の先端部分の汚染を除去する方法を示す。図10は、試料溶液吸引場所13で試料溶液5を吸引した後の状態を示す。
図10に矢印で示すように、本実施例の場合には、試料溶液5の吸引終了後、キャピラリー電極3とガス噴霧管4の間隙に配管21を介して気体8を導入し、ガス噴霧管4の先端から気体8を噴霧する。噴霧された気体8の一部はキャピラリー電極3の表面に沿って流れるので、吸引時にキャピラリー電極3の先端に付着した汚染箇所35(破線で囲んで示す)の汚染を吹き飛ばすことができる。
Therefore, when there is a possibility of contamination, it is desirable to combine the methods described in this embodiment. FIG. 10 shows a method for removing contamination at the tip of the capillary electrode 3 by gas spraying. FIG. 10 shows a state after the sample solution 5 is sucked at the sample solution suction place 13.
As shown by arrows in FIG. 10, in the case of the present embodiment, after the suction of the sample solution 5 is completed, the gas 8 is introduced into the gap between the capillary electrode 3 and the gas spray tube 4 via the pipe 21 and the gas spray tube The gas 8 is sprayed from the tip of 4. Since a part of the atomized gas 8 flows along the surface of the capillary electrode 3, the contamination of the contaminated portion 35 (enclosed by a broken line) attached to the tip of the capillary electrode 3 at the time of suction can be blown off.

なお、気体8の噴霧は、ガス噴霧管4の先端が汚染箇所35に触れない程度にガス噴霧管4の先端になるべく近づけた位置で実行することが望ましい。また、気体8の噴霧により汚染除去を行う場合、周辺への汚染拡大が懸念される。従って、専用の廃棄場所を設けて、その廃棄場所にて気体8の噴霧を実行することが望ましい。その場合、廃棄場所を図7や図8で示したESIイオン源1を搬送する経路25〜27の延長上に配置することで、単軸制御による駆動が可能となる。   It is desirable that the gas 8 be sprayed at a position as close as possible to the tip of the gas spray tube 4 so that the tip of the gas spray tube 4 does not touch the contaminated portion 35. Moreover, when decontamination is performed by spraying the gas 8, there is a concern about the spread of contamination to the periphery. Therefore, it is desirable to provide a dedicated disposal place and execute the spraying of the gas 8 at the disposal place. In that case, driving by single-axis control becomes possible by disposing the disposal place on the extension of the paths 25 to 27 for transporting the ESI ion source 1 shown in FIGS.

本実施例によるキャピラリー電極3の先端部分の汚染除去方法は、図6に示した洗浄後の洗浄液による汚染に対しても有効であり、同様の手法にてキャピラリー電極3の先端部分の外側に付着した洗浄液18を吹き飛ばすことができる。   The decontamination method for the tip portion of the capillary electrode 3 according to the present embodiment is also effective for the contamination by the cleaning liquid after washing shown in FIG. 6, and adheres to the outside of the tip portion of the capillary electrode 3 by the same method. The cleaned cleaning liquid 18 can be blown off.

[実施例5]
ここでも、キャピラリー電極3の先端の汚染を、ガス噴霧管4の所定位置に収容する前に除去する方法を説明する。なお、その他のESIイオン源1の構造や検査に関係する処理動作は、基本的に実施例1〜4とほぼ同様である。
[Example 5]
Here again, a method for removing the contamination at the tip of the capillary electrode 3 before accommodating it in a predetermined position of the gas spray tube 4 will be described. The other processing operations related to the structure and inspection of the ESI ion source 1 are basically the same as those in the first to fourth embodiments.

実施例4では気体8の噴霧による汚染除去方法について説明したが、キャピラリー電極3の先端に付着した試料溶液5が乾燥してしまうと、気体8の噴霧による汚染除去の効果が低下してしまう。そこで、本実施例では、洗浄液による洗浄を提案する。   In the fourth embodiment, the decontamination method by spraying the gas 8 has been described. However, when the sample solution 5 attached to the tip of the capillary electrode 3 is dried, the effect of decontamination by spraying the gas 8 is reduced. Therefore, in this embodiment, cleaning with a cleaning solution is proposed.

図11に、洗浄液によるキャピラリー電極3の先端部分の洗浄を実現するESIイオン源1の構造と使用態様を示す。図11は、試料溶液吸引場所13で試料溶液5を吸引した後の状態である。本実施例では、図11に示すように、洗浄液37をキャピラリー電極3とガス噴霧管4の間隙に導入するための配管36を追加的に配置する。図11では、気体8の導入に使用する配管21の対向位置に配管36を配置しているが、配管36の配置位置は任意である。   FIG. 11 shows the structure and usage of the ESI ion source 1 that realizes cleaning of the tip of the capillary electrode 3 with a cleaning liquid. FIG. 11 shows a state after the sample solution 5 is sucked at the sample solution suction place 13. In this embodiment, as shown in FIG. 11, a pipe 36 for introducing the cleaning liquid 37 into the gap between the capillary electrode 3 and the gas spray pipe 4 is additionally arranged. In FIG. 11, the pipe 36 is arranged at a position opposite to the pipe 21 used for introducing the gas 8, but the arrangement position of the pipe 36 is arbitrary.

この実施例の場合、試料溶液5の吸引後に、配管36を通じてキャピラリー電極3とガス噴霧管4の間隙に洗浄液37を導入し、吸引によって生じたキャピラリー電極3の先端部分の汚染箇所35を洗浄する。洗浄液37による洗浄方式なので、乾燥した汚染にも効果的である。   In this embodiment, after the sample solution 5 is sucked, the cleaning liquid 37 is introduced into the gap between the capillary electrode 3 and the gas spray tube 4 through the pipe 36 to clean the contaminated portion 35 at the tip of the capillary electrode 3 caused by the suction. . Since it is a cleaning method using the cleaning liquid 37, it is also effective for dry contamination.

この実施例の場合にも、洗浄液37の導入は、実施例4の気体8の導入と同様に、ガス噴霧管4の先端が汚染箇所35に触れない程度でガス噴霧管4の先端になるべく近づけた位置で実行することが望ましい。また、洗浄液37による洗浄を行う場合、周辺への汚染拡大が懸念される。従って、専用の廃棄場所を設けて、その廃棄場所にて洗浄液37を導入することが望ましい。廃棄場所を図7や図8で示したESIイオン源1を搬送する経路25〜27の延長上に配置することで、単軸制御による駆動が可能となる。   Also in this embodiment, the introduction of the cleaning liquid 37 is as close as possible to the tip of the gas spray tube 4 to the extent that the tip of the gas spray tube 4 does not touch the contaminated portion 35, as in the case of the introduction of the gas 8 of the fourth embodiment. It is desirable to run at different positions. In addition, when cleaning with the cleaning liquid 37 is performed, there is a concern about contamination spreading to the periphery. Therefore, it is desirable to provide a dedicated disposal place and introduce the cleaning liquid 37 at the disposal place. By disposing the disposal place on the extension of the paths 25 to 27 for transporting the ESI ion source 1 shown in FIGS. 7 and 8, driving by single axis control becomes possible.

なお、本実施例のように洗浄液37で洗浄すると、キャピラリー電極3の外側やガス噴霧管4の内部が乾燥するまで時間がかかる。しかし、乾燥が不充分なままイオン化を行うと、イオン化に悪影響を与えるおそれがある。このため、分析スループットを向上したい場合には、洗浄液37による洗浄後、配管21を通じてガス噴霧管4に気体8を導入し、キャピラリー電極3の外側やガス噴霧管4の内壁の乾燥時間を早めることが望ましい。乾燥に気体8を用いる場合、ガス噴霧管4の内側に残留した洗浄液37がガス噴霧管4の先端から噴霧される可能性があるので、実施例4の汚染除去方式や洗浄液37による洗浄方式と同様に気体8による乾燥も専用の廃棄場所にて行うことが望ましい。   In addition, when it wash | cleans with the washing | cleaning liquid 37 like a present Example, it takes time until the outer side of the capillary electrode 3 and the inside of the gas spray tube 4 dry. However, if ionization is performed with insufficient drying, ionization may be adversely affected. For this reason, when it is desired to improve the analysis throughput, the gas 8 is introduced into the gas spray tube 4 through the pipe 21 after cleaning with the cleaning liquid 37, and the drying time of the outside of the capillary electrode 3 and the inner wall of the gas spray tube 4 is increased. Is desirable. When the gas 8 is used for drying, the cleaning liquid 37 remaining inside the gas spray pipe 4 may be sprayed from the tip of the gas spray pipe 4. Similarly, it is desirable to perform drying with the gas 8 at a dedicated disposal place.

[実施例6]
ここでは、シリンダとピストンで構成される吸引吐出機構19を有するESIイオン源1について説明する。
[Example 6]
Here, the ESI ion source 1 having the suction / discharge mechanism 19 composed of a cylinder and a piston will be described.

図12に、実施例6に係るESIイオン源1の構造と使用態様例を示す。図12は、シリンジ(シリンダ38とピストン39)で構成された吸引吐出機構19を使用して、試料溶液5をキャピラリー電極3に吸引する状態を示している。勿論、試料溶液5の吐出にも使用できる。   FIG. 12 shows the structure and usage example of the ESI ion source 1 according to the sixth embodiment. FIG. 12 shows a state in which the sample solution 5 is sucked into the capillary electrode 3 by using the suction / discharge mechanism 19 composed of a syringe (cylinder 38 and piston 39). Of course, it can also be used for discharging the sample solution 5.

シリンダ38とピストン39の間が気密された状態でピストン39を引き上げると、シール部40に負圧が作用する。発生した負圧により、キャピラリー電極3の内部に試料溶液5が吸引される。吸引後、ピストン39を押し下げると、シール部40に正圧が作用し、キャピラリー電極3の先端から試料溶液5が吐出される。この吐出により、図5と同様に、試料溶液5のイオン化が可能になる。   If the piston 39 is pulled up in a state where the space between the cylinder 38 and the piston 39 is hermetically sealed, a negative pressure acts on the seal portion 40. The sample solution 5 is sucked into the capillary electrode 3 by the generated negative pressure. When the piston 39 is pushed down after the suction, a positive pressure acts on the seal portion 40 and the sample solution 5 is discharged from the tip of the capillary electrode 3. This discharge enables ionization of the sample solution 5 as in FIG.

また、吸引と吐出を繰り返すことで、図6の場合と同様に、キャピラリー電極3を洗浄することができる。シール部40には、気密性、摺動性、低摩擦性、耐薬品性などを兼ね備えたフッ素樹脂などで作られたものを使用することが望ましい。本実施例に係る吸引吐出機構は、実施例1〜5においても利用できる。   Further, by repeating the suction and discharge, the capillary electrode 3 can be washed as in the case of FIG. It is desirable to use a seal part 40 made of a fluororesin that has airtightness, slidability, low friction, chemical resistance and the like. The suction / discharge mechanism according to the present embodiment can also be used in the first to fifth embodiments.

[実施例7]
ここでは、図12に示した吸引吐出機構19の変形例を示す。図12の場合には、吸引吐出機構19の開口部をキャピラリー電極3の一方の開口端に直接接続した。しかし、この実施例では、吸引吐出機構19の開口部とキャピラリー電極3の一方の開口端とが、配管を通じて相互に接続する場合について説明する。
[Example 7]
Here, a modification of the suction / discharge mechanism 19 shown in FIG. 12 is shown. In the case of FIG. 12, the opening of the suction / discharge mechanism 19 is directly connected to one opening end of the capillary electrode 3. However, in this embodiment, a case will be described in which the opening of the suction / discharge mechanism 19 and one opening end of the capillary electrode 3 are connected to each other through a pipe.

図13に、本実施例に係るESIイオン源1の構造例と使用態様例を示す。図13では、吸引吐出機構19の開口部とキャピラリー電極3とが柔軟な配管41を通じて接続されている使用態様を示す。基本的な吸引の原理は図12の場合と同様である。すなわち、シリンダ38とピストン39の間が気密された状態でピストン39を引き上げると、シール部40に負圧が発生し、キャピラリー電極3の内部に試料溶液5が吸引される。   In FIG. 13, the structural example and usage example of the ESI ion source 1 which concern on a present Example are shown. FIG. 13 shows a usage mode in which the opening of the suction / discharge mechanism 19 and the capillary electrode 3 are connected through a flexible pipe 41. The basic suction principle is the same as in FIG. That is, when the piston 39 is pulled up in a state where the cylinder 38 and the piston 39 are airtight, a negative pressure is generated in the seal portion 40 and the sample solution 5 is sucked into the capillary electrode 3.

なお、図12に示す構造の場合には、デッドボリュームに存在している空気の影響で正確な液量の吸引又は吐出ができない可能性がある。しかし、配管41を通じて吸引吐出機構19の開口部とキャピラリー電極3を接続して配管41の内部を液体42で満たす場合には、配管41の内部に満たされた液体42によりデッドボリュームを小さくすることができる。その分、正確な吸引又は吐出が可能になる。   In the case of the structure shown in FIG. 12, there is a possibility that accurate liquid volume suction or discharge cannot be performed due to the influence of air present in the dead volume. However, when the opening of the suction / discharge mechanism 19 and the capillary electrode 3 are connected through the pipe 41 and the inside of the pipe 41 is filled with the liquid 42, the dead volume is reduced by the liquid 42 filled in the pipe 41. Can do. Accordingly, accurate suction or discharge becomes possible.

液体42には、試料溶液5と反応を起こさないような有機溶媒や水系の溶液を使用することが望ましい。また、配管41の内部への液体42の充填は、試料溶液5の吸引と同じ要領で行うことができる。この場合、液体42を満たす場所を、図7や図8で示したESIイオン源1が搬送される経路25〜27の延長上に配置することで、単軸制御による駆動が可能となる。   As the liquid 42, it is desirable to use an organic solvent or an aqueous solution that does not react with the sample solution 5. Further, the filling of the liquid 42 into the pipe 41 can be performed in the same manner as the suction of the sample solution 5. In this case, the place where the liquid 42 is filled is disposed on the extension of the paths 25 to 27 along which the ESI ion source 1 shown in FIGS.

勿論、試料溶液5の吸引後に、ピストン39を押し下げることでキャピラリー電極3の先端から試料溶液5が吐出される。この吐出により、図5と同様に、試料溶液5のイオン化が可能になる。また、吸引と吐出を繰り返すことで、図6と同様に、キャピラリー電極3を洗浄することができる。洗浄後は、次の分析が開始される前に、配管41の内部に充填された液体42を入れ替えても良い。   Of course, the sample solution 5 is discharged from the tip of the capillary electrode 3 by pushing down the piston 39 after the sample solution 5 is sucked. This discharge enables ionization of the sample solution 5 as in FIG. Further, by repeating suction and discharge, the capillary electrode 3 can be washed as in FIG. After cleaning, the liquid 42 filled in the pipe 41 may be replaced before the next analysis is started.

本実施例の場合には、吸引吐出機構19とピストン39の駆動装置(図示せず)を、柔軟な配管41を通じてESIイオン源1に接続することができる。このため、ESIイオン源1が試料溶液吸引場所13、イオン化場所14、洗浄場所15の間で搬送される際にも、吸引吐出機構19とピストン39の駆動手段を、ESIイオン源1と一緒に移動する必要がない。このため、ESIイオン源1の搬送機構の負荷を小さくできる。このため、ESIイオン源1の搬送機構の小型化、低コスト化が可能となる。   In the case of this embodiment, the suction / discharge mechanism 19 and the drive device (not shown) for the piston 39 can be connected to the ESI ion source 1 through the flexible pipe 41. For this reason, when the ESI ion source 1 is transported between the sample solution suction site 13, the ionization site 14, and the cleaning site 15, the suction / discharge mechanism 19 and the drive means of the piston 39 are combined with the ESI ion source 1. There is no need to move. For this reason, the load of the transport mechanism of the ESI ion source 1 can be reduced. For this reason, the conveyance mechanism of the ESI ion source 1 can be reduced in size and cost.

この実施例の場合にも、シール部40には、気密性、摺動性、低摩擦性、耐薬品性などを兼ね備えたフッ素樹脂などで作られたものを使用することが望ましい。本実施例に係る吸引吐出機構は、実施例1〜5においても利用できる。   Also in this embodiment, it is desirable to use a seal part 40 made of a fluororesin having airtightness, slidability, low friction and chemical resistance. The suction / discharge mechanism according to the present embodiment can also be used in the first to fifth embodiments.

[実施例8]
ここでは、イオンの生成を促進するために、イオン化場所14の付近を加熱する方法を説明する。図14に、本実施例に係る検査システムの構造例と使用態様例を示す。図14に示す構造例と使用態様例は図5の場合とほぼ同様である。相違点は、キャピラリー電極3の先端から吐出された試料溶液5をイオン化してイオン7を生成する空間付近を加熱源43で加熱する点である。
[Example 8]
Here, in order to promote the production | generation of ion, the method of heating the vicinity of the ionization place 14 is demonstrated. FIG. 14 shows a structural example and usage example of the inspection system according to the present embodiment. The structural example and usage example shown in FIG. 14 are substantially the same as in FIG. The difference is that the heating source 43 heats the vicinity of the space where the sample solution 5 discharged from the tip of the capillary electrode 3 is ionized to generate ions 7.

加熱源43を配置することにより、キャピラリー電極3の先端から噴霧される液滴の気化が促進され、イオン化効率の向上が達成される。加熱源43には、加熱ガスを吹き付ける方式やランプ加熱方式などがある。この構造は、キャピラリー電極3の外径が0.2mmを超える程度の大きさの場合に効果的である。本実施例は、実施例1〜7においても利用できる。   By disposing the heating source 43, vaporization of droplets sprayed from the tip of the capillary electrode 3 is promoted, and an improvement in ionization efficiency is achieved. The heating source 43 includes a method of spraying a heating gas and a lamp heating method. This structure is effective when the outer diameter of the capillary electrode 3 is larger than 0.2 mm. This embodiment can also be used in the first to seventh embodiments.

[実施例9]
ここでは、ガス噴霧管4から気体8を噴霧することなく、試料溶液5をイオン化する方式について説明する。
[Example 9]
Here, a method of ionizing the sample solution 5 without spraying the gas 8 from the gas spray tube 4 will be described.

図15に、本実施例に係るESIイオン源1の構造例と使用態様例を示す。ESIイオン源1の構造自体は、図5に示す構造とほぼ同じである。しかし、図5と図15を対比して分かるように、図15の場合には気体8の導入を示す矢印が描画されていない。本実施例において、イオン化のために気体8を導入しない理由は、キャピラリー電極3の外径が0.2mmより小さい場合に、ガスの噴霧がイオン化に必須で無い場合があるためである。   FIG. 15 shows a structural example and usage example of the ESI ion source 1 according to this embodiment. The structure of the ESI ion source 1 is almost the same as the structure shown in FIG. However, as can be seen by comparing FIG. 5 and FIG. 15, in the case of FIG. 15, the arrow indicating the introduction of the gas 8 is not drawn. In the present embodiment, the reason why the gas 8 is not introduced for ionization is that gas spraying may not be essential for ionization when the outer diameter of the capillary electrode 3 is smaller than 0.2 mm.

ガス噴霧を必要としないのであれば、当然、ガス噴霧管4は必須ではない。しかし、図15の例では、ガス噴霧管4を有する構成を示している。これは、ガス噴霧管4はイオン化以外でも、図10や図11で示したように、試料溶液5を吸引した際に生じるキャピラリー電極3の先端の汚染対策に使用できるためである。   Of course, the gas spray tube 4 is not essential if gas spraying is not required. However, in the example of FIG. 15, a configuration having the gas spray pipe 4 is shown. This is because the gas spray tube 4 can be used to prevent contamination of the tip of the capillary electrode 3 generated when the sample solution 5 is sucked, as shown in FIGS.

また、ガス噴霧を必要としない小径のキャピラリー電極3だけを、試料溶液吸引場所13、イオン化場所14、洗浄場所15の各々の間で搬送しようとすると、キャピラリー電極3が小径であるために搬送時の振動や衝撃により大きく変形して揺れることが予測される。キャピラリー電極3の先端が揺れることは、吸引した試料溶液5が飛散する問題や、イオン化場所14への正確な位置決めが困難になる等の新たな問題を発生させる。   Further, if only the small-diameter capillary electrode 3 that does not require gas spraying is to be transported between the sample solution suction site 13, the ionization site 14, and the cleaning site 15, the capillary electrode 3 has a small diameter, so that it is not transported. It is predicted that it will be greatly deformed and swayed by the vibration and shock. The shaking of the tip of the capillary electrode 3 causes new problems such as a problem that the sucked sample solution 5 scatters and a difficult positioning to the ionization site 14 becomes difficult.

そこで、この実施例では、キャピラリー電極3の搬送時の揺れに起因する問題を解決するためにも、ガス噴霧管4を設置している。従って、この実施例におけるガス噴霧管4は、キャピラリー電極3の単なる収容管として機能する。特許請求の範囲における管には、前述した実施例におけるガス噴霧管4だけでなく、この実施例における使用態様での収容管も含まれる。本実施例は、実施例1〜8においても利用できる。   Therefore, in this embodiment, the gas spray tube 4 is provided in order to solve the problem caused by the shaking during the conveyance of the capillary electrode 3. Therefore, the gas spray tube 4 in this embodiment functions as a simple housing tube for the capillary electrode 3. The pipe in the claims includes not only the gas spray pipe 4 in the above-described embodiment, but also the accommodating pipe in the usage mode in this embodiment. This embodiment can also be used in the first to eighth embodiments.

[実施例10]
実施例10では、キャピラリー電極3に電圧を印加することなく、試料溶液5をイオン化する方式について説明する。
[Example 10]
In Example 10, a method of ionizing the sample solution 5 without applying a voltage to the capillary electrode 3 will be described.

図16に、本実施例に係るESIイオン源1の構造例と使用態様例を示す。ESIイオン源1の構造自体は、図5に示す構造とほぼ同じである。しかし、図5と図16を対比して分かるように、図16の場合には電圧を印加する電圧源6が描画されていない。   In FIG. 16, the structural example and usage example of the ESI ion source 1 which concern on a present Example are shown. The structure of the ESI ion source 1 is almost the same as the structure shown in FIG. However, as can be seen by comparing FIG. 5 and FIG. 16, in the case of FIG. 16, the voltage source 6 for applying the voltage is not drawn.

図5で説明したように、前述した他の実施例の場合には、キャピラリー電極3に電圧を印加することにより、キャピラリー電極3とイオン取込み部10の電位差により試料溶液5をイオン化する。一方、本実施例の場合には、キャピラリー電極3とイオン取込み部10との間に電位差を生じさせるため、イオン取込み部10に電圧源44を接続し、所定の大きさの電圧を印加する。   As described with reference to FIG. 5, in the case of the other embodiments described above, the sample solution 5 is ionized by applying a voltage to the capillary electrode 3 due to the potential difference between the capillary electrode 3 and the ion take-in portion 10. On the other hand, in the case of the present embodiment, in order to generate a potential difference between the capillary electrode 3 and the ion take-in unit 10, a voltage source 44 is connected to the ion take-in unit 10 and a voltage of a predetermined magnitude is applied.

この場合でも、吸引吐出機構19を通じてキャピラリー電極3先端から吐出された試料溶液5はイオン化しイオン7が生成する。このとき、イオン取込み部10に印加する電圧が正であれば負イオンが、電圧が負であれば正イオンが生成される。図5のようにキャピラリー電極3に電圧を印加する方式では、キャピラリー電極3を金属製とするか、その表面を導電被膜で被覆したガラスキャピラリー等を用いる必要があるが、本実施例に係るキャピラリー電極3の場合にはガラスキャピラリーその他の絶縁材で構成できる。本実施例は、実施例1〜9においても利用できる。   Even in this case, the sample solution 5 discharged from the tip of the capillary electrode 3 through the suction / discharge mechanism 19 is ionized to generate ions 7. At this time, if the voltage applied to the ion intake unit 10 is positive, negative ions are generated, and if the voltage is negative, positive ions are generated. In the method of applying a voltage to the capillary electrode 3 as shown in FIG. 5, it is necessary to use a capillary capillary 3 made of metal or a glass capillary whose surface is covered with a conductive film. In the case of the electrode 3, it can be composed of a glass capillary or other insulating material. This embodiment can also be used in the first to ninth embodiments.

[実施例11]
この実施例では、キャピラリー電極3とガス噴霧管4の内部で相対位置を可変するのに適した気密機構22の構成例を説明する。
[Example 11]
In this embodiment, a configuration example of an airtight mechanism 22 suitable for changing the relative position inside the capillary electrode 3 and the gas spray tube 4 will be described.

図17に、実施例に係る気密機構22を採用したESIイオン源1の構造例と使用態様を示す。なお、図17は、イオン化場所14における使用態様を示す。図5で説明したように、イオン化の際にキャピラリー電極3とガス噴霧管4の間隙に気体8を導入し、ガス噴霧管4の先端から気体8を噴出させることは、試料溶液5のイオン化効率を向上させる上で非常に有効である。   In FIG. 17, the structural example and usage mode of the ESI ion source 1 which employ | adopted the airtight mechanism 22 which concerns on an Example are shown. FIG. 17 shows a usage mode in the ionization site 14. As described with reference to FIG. 5, when the gas 8 is introduced into the gap between the capillary electrode 3 and the gas spray tube 4 during ionization and the gas 8 is ejected from the tip of the gas spray tube 4, the ionization efficiency of the sample solution 5 is reduced. It is very effective in improving.

しかし、実施例1で説明したように、試料溶液吸引場所13、イオン化場所14、洗浄場所15において、キャピラリー電極3とガス噴霧管4の相対位置を移動させる場合、気体8を気密でき、かつ、両者の相対位置を変化させることが可能な気密機構22が必要となる。   However, as described in Example 1, when the relative positions of the capillary electrode 3 and the gas spray tube 4 are moved in the sample solution suction place 13, the ionization place 14, and the washing place 15, the gas 8 can be hermetically sealed, and An airtight mechanism 22 capable of changing the relative position of both is required.

本実施例では、気密機構22を構成する本体のうちキャピラリー電極3との接触面に溝45を形成し、その内側に弾性部材46と摺動部材47を配置する。ここで、摺動部材47がキャピラリー電極3の外壁面と接触し、弾性部材46は溝45の底面側に配置される。気密機構22の主たる本体は、ガス噴霧管4と一体化又はガス噴霧管4との間で気密を保持できる状態で固定されている。   In the present embodiment, a groove 45 is formed in a contact surface with the capillary electrode 3 in the main body constituting the airtight mechanism 22, and an elastic member 46 and a sliding member 47 are disposed inside thereof. Here, the sliding member 47 contacts the outer wall surface of the capillary electrode 3, and the elastic member 46 is disposed on the bottom surface side of the groove 45. The main body of the airtight mechanism 22 is fixed in a state where it can be integrated with the gas spray tube 4 or can be kept airtight between the gas spray tube 4.

弾性部材46には、ゴム、スポンジ、ある種の樹脂その他の弾性変形による反発力が期待される部材を使用する。この反発力により、キャピラリー電極3と気密機構22との密着性が高まり、気密性が確保される。ただし、ゴムその他の弾性部材46は、一般に摩擦抵抗が高く、摺動性が悪い。そこで、気密性と柔軟性と摺動性を兼ね備えたフッ素樹脂などの樹脂製の摺動部材47を弾性部材46とキャピラリー電極3の間に挿入し、気密性と摺動性との両立を確保する。   As the elastic member 46, rubber, sponge, a certain kind of resin, or other member that is expected to be repelled by elastic deformation is used. Due to this repulsive force, the adhesion between the capillary electrode 3 and the airtight mechanism 22 is enhanced, and airtightness is ensured. However, rubber and other elastic members 46 generally have high frictional resistance and poor slidability. Therefore, a resin-made sliding member 47 such as a fluororesin having both airtightness, flexibility and sliding property is inserted between the elastic member 46 and the capillary electrode 3 to ensure both airtightness and sliding property. To do.

因みに、図17は、キャピラリー電極3を直接気密する構造図を示しているが、キャピラリー電極3が小径になると気密構造を構成すること自体が困難になる。そのような場合には、キャピラリー電極3と気密部材22を一体化又は気密を保持できる状態で固定し、溝45(弾性部材46、摺動部材47が配置される空間)をガス噴霧管4の内壁と接触する面に配置しても良い。   Incidentally, FIG. 17 shows a structural diagram in which the capillary electrode 3 is directly hermetically sealed. However, when the capillary electrode 3 has a small diameter, it is difficult to form the hermetic structure itself. In such a case, the capillary electrode 3 and the airtight member 22 are integrated or fixed in a state where the airtightness can be maintained, and the groove 45 (the space in which the elastic member 46 and the sliding member 47 are disposed) is fixed to the gas spray tube 4. You may arrange | position to the surface which contacts an inner wall.

気密機構22以外のESIイオン源1の構造及び使用態様は図5とほぼ同様である。本実施例は、実施例1〜10においても利用できる。   The structure and usage of the ESI ion source 1 other than the airtight mechanism 22 are substantially the same as those in FIG. This embodiment can also be used in the first to tenth embodiments.

[実施例12]
この実施例では、キャピラリー電極3とガス噴霧管4の相対位置を移動させる際の両者の気密機構22が、ジャバラ構造その他の伸縮可能な部品により構成される場合について説明する。
[Example 12]
In this embodiment, a case will be described in which the airtight mechanism 22 for moving the relative position of the capillary electrode 3 and the gas spray tube 4 is constituted by a bellows structure or other extendable parts.

図18に、本実施例に係るESIイオン源1と使用態様例を示す。図18は、イオン化場所14において、試料溶液5をイオン化する際の状態を示している。図18に示すように、気密構造22はガス噴霧管4の内側ではなく、ガス噴霧管4の根元部分とガス噴霧管移動機構20の間に配置する。このため、気密構造22は、キャピラリー電極3と一体化又は気密保持できる状態で固定されている部材48と、ガス噴霧管4と一体化又は気密保持できる状態で固定されている部材49の間を伸縮可能なジャバラ構造体50で気密保持した状態で固定する。   FIG. 18 shows an ESI ion source 1 according to this embodiment and an example of usage. FIG. 18 shows a state when the sample solution 5 is ionized at the ionization site 14. As shown in FIG. 18, the airtight structure 22 is arranged not between the gas spray tube 4 but between the root portion of the gas spray tube 4 and the gas spray tube moving mechanism 20. For this reason, the airtight structure 22 is formed between the member 48 fixed in a state where it can be integrated or hermetically held with the capillary electrode 3 and the member 49 fixed in a state where it can be integrated or airtightly held with the gas spray tube 4. The bellows structure 50 that can be expanded and contracted is fixed in an airtight state.

ジャバラ構造体50には、ベローズやゴム製のジャバラホース等の気密保持しながら伸縮可能な部品を利用することができる。ジャバラ構造体50に金属製のベローズなどを用い、部材48及び49も金属製のものを用いると、キャピラリー電極3とガス噴霧管4を同電位で使用する際、ガス噴霧管4に電圧を印加すれば良いため、電圧を印加するための配線が容易になる利点がある。   For the bellows structure 50, it is possible to use a part that can be expanded and contracted while maintaining airtightness such as a bellows or a rubber bellows hose. When a bellows structure 50 is made of a metal bellows and the members 48 and 49 are made of metal, a voltage is applied to the gas spray tube 4 when the capillary electrode 3 and the gas spray tube 4 are used at the same potential. Therefore, there is an advantage that wiring for applying a voltage becomes easy.

また、この構造は、キャピラリー電極3が気密状態で摺動する距離が短く済むため、キャピラリー電極3が小径化した場合でも適用が可能である。なお、気密機構22以外のESIイオン源1の構造及び使用態様は図5とほぼ同様である。ただし、この実施例では、ガス噴霧管移動機構20が、気密機構22のジャバラ構造体50を通じて間接的にガス噴霧管4の位置を移動させるように動作する。本実施例は、実施例1〜10においても利用できる。   In addition, this structure can be applied even when the capillary electrode 3 is reduced in diameter because the distance that the capillary electrode 3 slides in an airtight state is short. The structure and usage of the ESI ion source 1 other than the airtight mechanism 22 are substantially the same as those in FIG. However, in this embodiment, the gas spray tube moving mechanism 20 operates so as to indirectly move the position of the gas spray tube 4 through the bellows structure 50 of the airtight mechanism 22. This embodiment can also be used in the first to tenth embodiments.

[実施例13]
この実施例でも、実施例12の場合と同様に、気密機構22がジャバラ構造その他の伸縮可能な部品により構成される場合について説明する。ただし、この実施例では、気体8をジャバラ構造体50の外側から導入する方式について説明する。
[Example 13]
In this embodiment as well, as in the case of the twelfth embodiment, the case where the airtight mechanism 22 is constituted by a bellows structure or other extendable parts will be described. However, in this embodiment, a method of introducing the gas 8 from the outside of the bellows structure 50 will be described.

図19に、本実施例に係るESIイオン源1の構造例と使用態様例を示す。図19は、イオン化場所14で試料溶液5をイオン化する際の使用態様を示す。図19に示すESIイオン源1も、図18の場合と同様、キャピラリー電極3とガス噴霧管4の相対位置を移動させる際の気密を確保する気密機構22がジャバラ構造体50のような伸縮可能な部品で構成されている。   FIG. 19 shows a structural example and usage example of the ESI ion source 1 according to the present embodiment. FIG. 19 shows a mode of use when the sample solution 5 is ionized at the ionization site 14. As in the case of FIG. 18, the ESI ion source 1 shown in FIG. 19 also has an airtight mechanism 22 that ensures airtightness when the relative positions of the capillary electrode 3 and the gas spray tube 4 are moved. It is composed of various parts.

図19の場合、気密機構22は、キャピラリー電極3と一体化又は気密保持できる状態で固定された部材48と、ガス噴霧管4と一体化又は気密保持できる状態で固定された部材49の間に、伸縮可能なジャバラ構造体50が気密保持できる状態で固定されている。ただし、図19における部材49は箱型であり、ジャバラ構造体50と部材48をその内部に収容する。また、この構造のため、部材49とガス噴霧管移動機構20は一体化又は気密保持できる状態で固定されている。   In the case of FIG. 19, the airtight mechanism 22 is interposed between a member 48 fixed in a state where it can be integrated or held airtight with the capillary electrode 3 and a member 49 fixed in a state where it can be integrated or airtightly held with the gas spray tube 4. The expandable bellows structure 50 is fixed in an airtight state. However, the member 49 in FIG. 19 is a box shape, and accommodates the bellows structure 50 and the member 48 therein. Further, because of this structure, the member 49 and the gas spray tube moving mechanism 20 are fixed in a state where they can be integrated or hermetically maintained.

本実施例の場合、箱型の部材49の側壁に配管21が取り付けられており、当該配管21を通じて気体8が導入される。因みに、配管21は、ジャバラ構造体50と部材49で囲まれた密閉空間に形成されている。従って、気体8は、ジャバラ構造体50の外部から導入される。   In this embodiment, the pipe 21 is attached to the side wall of the box-shaped member 49, and the gas 8 is introduced through the pipe 21. Incidentally, the pipe 21 is formed in a sealed space surrounded by the bellows structure 50 and the member 49. Therefore, the gas 8 is introduced from the outside of the bellows structure 50.

ジャバラ構造体50には、ベローズ等の気密保持しながら伸縮可能な部品を用いる。ただし、ベローズ等の部品は、圧力にもよるが内部が高圧になる状態での使用は耐久性の観点からあまり好ましくない。一方、本実施例のように、ジャバラ構造体50の外側に気体8を導入すると、ジャバラ構造体50の内部が外部に対し高圧になることがない。このため、本実施例の構造は、ジャバラ構造体50の耐久性を向上させ、寿命や信頼性などの観点で利点がある。   For the bellows structure 50, a part such as a bellows that can be expanded and contracted while being airtight is used. However, parts such as bellows are not so preferable from the viewpoint of durability, although the use thereof is in a state where the inside is at a high pressure, depending on the pressure. On the other hand, when the gas 8 is introduced to the outside of the bellows structure 50 as in this embodiment, the inside of the bellows structure 50 does not become a high pressure relative to the outside. For this reason, the structure of a present Example improves the durability of the bellows structure 50, and there exists an advantage in viewpoints, such as a lifetime and reliability.

勿論、図18の場合と同様に、ジャバラ構造体50に金属製のベローズ等を用い、部材48及び49にも金属製の部材を使用すると、キャピラリー電極3とガス噴霧管4を同電位で使用する際にはガス噴霧管4に電圧を印加すれば良いので、電圧を印加するための配線が容易になる。気密機構22以外のESIイオン源1の構造及び使用態様は図5とほぼ同様である。本実施例は、実施例1〜10においても利用できる。   Of course, as in the case of FIG. 18, when a metal bellows or the like is used for the bellows structure 50 and a metal member is also used for the members 48 and 49, the capillary electrode 3 and the gas spray tube 4 are used at the same potential. In doing so, it is only necessary to apply a voltage to the gas spray tube 4, and wiring for applying the voltage becomes easy. The structure and usage of the ESI ion source 1 other than the airtight mechanism 22 are substantially the same as those in FIG. This embodiment can also be used in the first to tenth embodiments.

[実施例14]
この実施例では、洗浄場所15において、洗浄液18を吸引及び又は吐出することにより、ガス噴霧管4のみを洗浄する方式について説明する。
[Example 14]
In this embodiment, a method of cleaning only the gas spray tube 4 by sucking and / or discharging the cleaning liquid 18 in the cleaning place 15 will be described.

図20に、本実施例に係るESIイオン源1の構造例と使用態様例を示す。図20は、洗浄場所15でガス噴霧管4を洗浄する際の使用態様を示す。   FIG. 20 shows a structural example and usage example of the ESI ion source 1 according to this embodiment. FIG. 20 shows a usage mode when the gas spray tube 4 is cleaned in the cleaning place 15.

この実施例の場合、ガス噴霧管4だけを洗浄するために、キャピラリー電極3を洗浄液18に接しない位置まで移動させる必要がある。ここでの移動にも、ガス噴霧管移動機構20を使用する。   In the case of this embodiment, in order to clean only the gas spray tube 4, it is necessary to move the capillary electrode 3 to a position not in contact with the cleaning liquid 18. The gas spray tube moving mechanism 20 is also used for the movement here.

図に示すように、ガス噴霧管移動機構20によるガス噴霧管4の突出量(引き下げ量)を増大することで、キャピラリー電極3をガス噴霧管4の内側に完全に収容した位置関係を実現することができる。ただし、この位置関係の前提として、キャピラリー電極3の洗浄が終了していることが要求される。キャピラリー電極3の洗浄が終了していなければ、キャピラリー電極3に残留する溶液がガス噴霧管4を再び汚染する可能性が高まるためである。   As shown in the drawing, the positional relationship in which the capillary electrode 3 is completely accommodated inside the gas spray tube 4 is realized by increasing the protruding amount (down amount) of the gas spray tube 4 by the gas spray tube moving mechanism 20. be able to. However, as a premise of this positional relationship, it is required that the capillary electrode 3 has been cleaned. This is because, if the cleaning of the capillary electrode 3 is not completed, the possibility that the solution remaining in the capillary electrode 3 contaminates the gas spray tube 4 again increases.

ガス噴霧管4の洗浄は、ガス噴霧管4に接続された配管51を通じて吸引吐出機構52が洗浄液18を吸引又は吐出することで行う。勿論、吸引及び吐出は複数回繰り返して行うことにより洗浄効果を向上させることができる。   The gas spray tube 4 is cleaned by the suction / discharge mechanism 52 sucking or discharging the cleaning liquid 18 through a pipe 51 connected to the gas spray tube 4. Of course, it is possible to improve the cleaning effect by repeatedly performing suction and discharge a plurality of times.

試料溶液5の吸引時に試料溶液5が付着する可能性の高いキャピラリー電極3の先端は、図10や図11を用いて説明した方法によって洗浄可能であるが、微量でも試料溶液5が残留するとガス噴霧管4を汚染してしまい次の分析への悪影響が懸念される。   The tip of the capillary electrode 3 that is likely to adhere to the sample solution 5 when the sample solution 5 is sucked can be cleaned by the method described with reference to FIGS. 10 and 11. There is a concern that the spray tube 4 is contaminated and adversely affects the next analysis.

そこで、本実施例では、ガス噴霧管4も独立に洗浄可能にすることでコンタミをさらに低減させる。なお、イオン化の際には、キャピラリー電極3の先端が汚染される可能性があるので、図6に示した方式でキャピラリー電極3の洗浄を行った後に、本実施例で説明するガス噴霧管4の洗浄を組み合わせて実行することにより、より高い洗浄効果が実現される。   Therefore, in this embodiment, the contamination is further reduced by allowing the gas spray tube 4 to be cleaned independently. Since the tip of the capillary electrode 3 may be contaminated during ionization, the gas spray tube 4 described in the present embodiment is cleaned after the capillary electrode 3 is cleaned by the method shown in FIG. A higher cleaning effect can be realized by combining and executing the cleaning.

また、キャピラリー電極3とガス噴霧管4の洗浄を交互に繰り返し行うことで、更なる洗浄効果が得られる。なお、洗浄したガス噴霧管4の内部が乾燥するまでには時間がかかる。そして、乾燥が不充分なままだと、次の分析に悪影響を与えるおそれがある。   Further, the cleaning of the capillary electrode 3 and the gas spray tube 4 is alternately repeated to obtain a further cleaning effect. In addition, it takes time until the inside of the cleaned gas spray tube 4 is dried. If the drying is insufficient, the next analysis may be adversely affected.

そこで、分析のスループットを向上したい場合には、洗浄液による洗浄後に、配管21を介して気体8を導入することで、ガス噴霧管4の内側の乾燥時間を早めることができる。気体8でガス噴霧管4の内側を乾燥させる場合、内部に残留した洗浄液18がガス噴霧管4の先端から噴霧される可能性がある。従って、実施例4や実施例5で説明した汚染除去方式の場合と同様に、気体8による乾燥も専用の廃棄場所で行うことが望ましい。その場合、図7や図8で説明したESIイオン源1が搬送される経路25〜27の延長上に廃棄場所を配置することで、単軸制御による駆動が可能となる。本実施例は、ガス噴霧管4を洗浄することやキャピラリー電極3を洗浄液18に触れない位置まで移動すること以外は、図6とほぼ同様である。本実施例は、実施例1〜13においても利用できる。   Therefore, when it is desired to improve the throughput of the analysis, the drying time inside the gas spray tube 4 can be shortened by introducing the gas 8 through the pipe 21 after the cleaning with the cleaning liquid. When the inside of the gas spray tube 4 is dried with the gas 8, the cleaning liquid 18 remaining inside may be sprayed from the tip of the gas spray tube 4. Therefore, as in the case of the decontamination method described in the fourth and fifth embodiments, it is desirable to perform the drying with the gas 8 at a dedicated disposal place. In that case, driving by single axis control becomes possible by disposing a disposal place on the extension of the paths 25 to 27 along which the ESI ion source 1 described in FIGS. 7 and 8 is conveyed. This embodiment is substantially the same as FIG. 6 except that the gas spray tube 4 is washed and the capillary electrode 3 is moved to a position where it does not touch the washing liquid 18. This embodiment can also be used in the first to thirteenth embodiments.

[実施例15]
この実施例では、ガス噴霧管4の内部を洗浄するための他の手法について説明する。具体的には、ガス噴霧管4の内側に洗浄液を導入することにより、ガス噴霧管4のみを洗浄する。
[Example 15]
In this embodiment, another method for cleaning the inside of the gas spray tube 4 will be described. Specifically, only the gas spray tube 4 is cleaned by introducing a cleaning liquid into the gas spray tube 4.

図21に、本実施例に係るESIイオン源1の構造例と使用態様例を示す。図21は、ガス噴霧管4を洗浄する際の使用態様を示す。前述したように、洗浄の際には、ガス噴霧管移動機構20によりキャピラリー電極3を洗浄液37に接しない位置まで事前に移動させておく。ガス噴霧管4の洗浄は、配管36を通じて洗浄液37をガス噴霧管4の内部に導入することで行う。   FIG. 21 shows a structural example and usage example of the ESI ion source 1 according to this embodiment. FIG. 21 shows a usage mode when the gas spray tube 4 is cleaned. As described above, at the time of cleaning, the capillary electrode 3 is moved in advance to a position where it does not contact the cleaning liquid 37 by the gas spray tube moving mechanism 20. The gas spray tube 4 is cleaned by introducing a cleaning liquid 37 into the gas spray tube 4 through the pipe 36.

洗浄液37でガス噴霧管4の内側を洗浄する場合、周辺への汚染拡大が懸念されるので、専用の廃棄場所を設けて、その廃棄場所にて行うことが望ましい。その場合、廃棄場所を図7や図8で示したESIイオン源1が搬送される経路25〜27の延長上に配置することにより、単軸制御による駆動が可能となる。ただし、前述の通り、洗浄液37によりガス噴霧管4の内側を洗浄すると、ガス噴霧管4の内部が乾燥するまでに一定の時間がかかる。しかし、乾燥が不充分であると、次の分析に悪影響を与えるおそれがある。   When cleaning the inside of the gas spray tube 4 with the cleaning liquid 37, there is a concern about the spread of contamination to the surroundings. Therefore, it is desirable to provide a dedicated disposal place and perform the treatment at the disposal place. In that case, driving by single-axis control is possible by disposing the disposal place on an extension of the paths 25 to 27 through which the ESI ion source 1 shown in FIGS. However, as described above, when the inside of the gas spray tube 4 is cleaned with the cleaning liquid 37, it takes a certain time until the inside of the gas spray tube 4 is dried. However, inadequate drying can adversely affect subsequent analysis.

従って、分析のスループットを向上したい場合には、洗浄液37による洗浄の後、配管21を通じて気体8をガス噴霧管4の内側に導入することで、ガス噴霧管4の乾燥に要する時間を短縮することが可能となる。なお、気体8を用いてガス噴霧管4の内側を乾燥させる場合、内部に残留した洗浄液37がガス噴霧管4の先端から噴霧される可能性がある。従って、実施例4や実施例5で説明した汚染除去方式と同様に、気体8による乾燥も専用の廃棄場所にて行うことが望ましい。   Therefore, when it is desired to improve the throughput of the analysis, the time required for drying the gas spray tube 4 can be shortened by introducing the gas 8 into the gas spray tube 4 through the pipe 21 after cleaning with the cleaning liquid 37. Is possible. In addition, when the inside of the gas spray tube 4 is dried using the gas 8, the cleaning liquid 37 remaining inside may be sprayed from the tip of the gas spray tube 4. Therefore, it is desirable that the drying with the gas 8 is also performed in a dedicated disposal place, as in the decontamination method described in the fourth and fifth embodiments.

ただし、本実施例の場合には、ガス噴霧管4の内部しか洗浄することができない。このため、図20に示した洗浄方式と併用することで、より高い洗浄効果が得られる。また、図6に示したキャピラリー電極3の洗浄を併用することも可能である。さらに、本実施例の洗浄方式と、図6及び図20の洗浄方式のどちらか一方又は両方の方式と交互に繰り返し行うと、更に高い洗浄効果を得ることができる。   However, in the present embodiment, only the inside of the gas spray tube 4 can be cleaned. For this reason, the higher cleaning effect is acquired by using together with the cleaning system shown in FIG. Further, it is possible to use washing of the capillary electrode 3 shown in FIG. Further, when the cleaning method of this embodiment and one or both of the cleaning methods of FIGS. 6 and 20 are alternately performed, a higher cleaning effect can be obtained.

本実施例は、ガス噴霧管4の内部を洗浄することやキャピラリー電極3を洗浄液18に触れない位置まで移動すること以外は、図6とほぼ同様である。本実施例は、実施例1〜13においても利用できる。   This embodiment is substantially the same as FIG. 6 except that the inside of the gas spray tube 4 is cleaned and the capillary electrode 3 is moved to a position where it does not touch the cleaning liquid 18. This embodiment can also be used in the first to thirteenth embodiments.

[実施例16]
この実施例では、洗浄場所15において、キャピラリー電極3とガス噴霧管4を同時に洗浄する方式について説明する。
[Example 16]
In this embodiment, a method of simultaneously cleaning the capillary electrode 3 and the gas spray tube 4 in the cleaning place 15 will be described.

図22に、本実施例に係るESIイオン源1の構造例と使用態様例を示す。図22は、洗浄場所15でキャピラリー電極3とガス噴霧管4を同時に洗浄する際の使用態様を示す。この実施例の場合、キャピラリー電極3とガス噴霧管4の相対位置は、図5に示すイオン化の際と同様の位置関係を使用する。すなわち、キャピラリー電極3の先端がガス噴霧管4の先端からわずかに突き出た状態で使用する。この位置関係を採用することで、キャピラリー電極3の先端とガス噴霧管4の先端を同時に洗浄液18に浸し洗浄する。   FIG. 22 shows a structural example and usage example of the ESI ion source 1 according to the present embodiment. FIG. 22 shows a mode of use when the capillary electrode 3 and the gas spray tube 4 are simultaneously cleaned in the cleaning place 15. In the case of this embodiment, the relative position between the capillary electrode 3 and the gas spray tube 4 uses the same positional relationship as in the ionization shown in FIG. That is, the capillary electrode 3 is used with its tip slightly protruding from the tip of the gas spray tube 4. By adopting this positional relationship, the tip of the capillary electrode 3 and the tip of the gas spray tube 4 are simultaneously immersed in the cleaning liquid 18 for cleaning.

キャピラリー電極3の洗浄は、図6で説明した場合と同様、吸引吐出機構19による洗浄液18の吸引と吐出の繰り返しにより行う。一方、ガス噴霧管4の洗浄は、図20で説明した場合と同様、吸引吐出機構52による洗浄液18の吸引と吐出の繰り返しにより行う。両者の吸引と吐出は、同時に実行しても良いし、交互に実行しても良い。   The capillary electrode 3 is cleaned by repeating suction and discharge of the cleaning liquid 18 by the suction and discharge mechanism 19 as in the case described with reference to FIG. On the other hand, the cleaning of the gas spray tube 4 is performed by repeating suction and discharge of the cleaning liquid 18 by the suction and discharge mechanism 52 as in the case described with reference to FIG. Both suction and discharge may be performed simultaneously or alternately.

また、図21に示したように、ガス噴霧管4の内部に洗浄液37を導入する方式を併用しても良い。図21の方式を併用する場合、周辺への汚染拡大が懸念されるので、専用の廃棄場所を設け、その廃棄場所にて行うことが望ましい。その場合、廃棄場所を図7や図8で示したESIイオン源1が搬送される経路25〜27の延長上に配置することで、単軸制御による駆動が可能となる。   Further, as shown in FIG. 21, a method of introducing the cleaning liquid 37 into the gas spray tube 4 may be used in combination. When the method of FIG. 21 is used in combination, there is a concern about the spread of contamination to the surrounding area. Therefore, it is desirable to provide a dedicated disposal place and perform the disposal at the disposal place. In that case, driving by single-axis control becomes possible by disposing the disposal place on the extension of the paths 25 to 27 through which the ESI ion source 1 shown in FIGS. 7 and 8 is conveyed.

この実施例の場合にも、洗浄液による洗浄後は、ガス噴霧管4の内部が乾燥するまでに一定の時間がかかる。しかし、乾燥が不充分であると、次の分析に悪影響を与えるおそれがある。従って、分析のスループットを向上したい場合には、洗浄液37による洗浄の後、配管21を通じて気体8をガス噴霧管4の内側に導入することで、ガス噴霧管4の乾燥に要する時間を短縮することが可能となる。なお、気体8を用いてガス噴霧管4の内側を乾燥させる場合、内部に残留した洗浄液17及び37がガス噴霧管4の先端から噴霧される可能性がある。従って、実施例4や実施例5で説明した汚染除去方式と同様に、気体8による乾燥も専用の廃棄場所にて行うことが望ましい。   Also in this embodiment, after the cleaning with the cleaning liquid, it takes a certain time until the inside of the gas spray tube 4 is dried. However, inadequate drying can adversely affect subsequent analysis. Therefore, when it is desired to improve the throughput of the analysis, the time required for drying the gas spray tube 4 can be shortened by introducing the gas 8 into the gas spray tube 4 through the pipe 21 after cleaning with the cleaning liquid 37. Is possible. When the inside of the gas spray tube 4 is dried using the gas 8, the cleaning liquids 17 and 37 remaining inside may be sprayed from the tip of the gas spray tube 4. Therefore, it is desirable that the drying with the gas 8 is also performed in a dedicated disposal place, as in the decontamination method described in the fourth and fifth embodiments.

本実施例は、キャピラリー電極3とガス噴霧管4を同時に洗浄すること以外は、図6、図20、図21とほぼ同様である。本実施例は、実施例1〜13においても利用できる。   The present embodiment is substantially the same as FIGS. 6, 20, and 21 except that the capillary electrode 3 and the gas spray tube 4 are washed simultaneously. This embodiment can also be used in the first to thirteenth embodiments.

[実施例17]
この実施例においては、洗浄場所15においてキャピラリー電極3とガス噴霧管4を同時に超音波洗浄する場合について説明する。図23に、本実施例に係る検査システムの構造例と使用態様例を示す。図23は、洗浄場所15でキャピラリー電極3とガス噴霧管4を同時に洗浄する際の使用態様を示す。図23に示す検査システムの構造と図22に示す構造はほぼ同じであるが、洗浄容器17の下面に超音波振動子53を取り付けた点で異なっている。超音波振動子53を取り付けることにより、キャピラリー電極3とガス噴霧管4を超音波洗浄することが可能となる。本実施例は、図6や図20で説明した方式とも併用が可能である。超音波洗浄を行うことで細かい部分の汚染も洗浄することが可能となる。本実施例は、実施例1〜16においても利用できる。
[Example 17]
In this embodiment, the case where the capillary electrode 3 and the gas spray tube 4 are simultaneously ultrasonically cleaned in the cleaning place 15 will be described. FIG. 23 shows a structural example and usage example of the inspection system according to the present embodiment. FIG. 23 shows a mode of use when the capillary electrode 3 and the gas spray tube 4 are simultaneously cleaned in the cleaning place 15. The structure of the inspection system shown in FIG. 23 and the structure shown in FIG. 22 are substantially the same, but differ in that an ultrasonic transducer 53 is attached to the lower surface of the cleaning container 17. By attaching the ultrasonic vibrator 53, the capillary electrode 3 and the gas spray tube 4 can be ultrasonically cleaned. This embodiment can be used in combination with the method described in FIGS. By performing ultrasonic cleaning, it is possible to clean even small portions of contamination. This embodiment can also be used in Embodiments 1 to 16.

[実施例18]
この実施例では、イオン化場所14にESIイオン源1を取り付ける際に適した取り付け対象側の形状を説明する。図24に、本実施例に係る検査システムの構造例と使用態様例を示す。ESIイオン源1は、ESIイオン源ホルダ54に取り付けた状態で、経路25、経路55を経てイオン化場所14の所定位置に設置される。同じくイオン化後のESIイオン源1は、経路56、経路26を経て洗浄場所15に搬送される。
[Example 18]
In this embodiment, the shape on the attachment target side suitable for attaching the ESI ion source 1 to the ionization site 14 will be described. FIG. 24 shows a structural example and usage example of the inspection system according to the present embodiment. The ESI ion source 1 is installed at a predetermined position of the ionization place 14 via the path 25 and the path 55 in a state of being attached to the ESI ion source holder 54. Similarly, the ESI ion source 1 after ionization is transported to the cleaning place 15 via a path 56 and a path 26.

キャピラリー電極3とガス噴霧管4の間隙に気体8を導入する方式では、一般的に気体8として窒素などの不活性ガスが用いられる。窒素を用いる場合、安全上、イオン化場所14にカバー57を設置する必要がある。カバー57の開口部58にパッキン59を介してESIイオン源ホルダ54を設置することで気密が保持される。ガス噴霧を行わない場合はカバー57やパッキン59は必要ないが、位置決めなどの理由から開口部58を有する受けなどが必要となる。ESIイオン源1が試料溶液吸引場所13から経路25を経てイオン化場所14に搬送される際、キャピラリー電極3の先端から試料溶液5が滴下するおそれがある。同様に、ESIイオン源1がイオン化場所14から経路26を経て洗浄場所15に移動する際にも滴下のおそれがある。   In the system in which the gas 8 is introduced into the gap between the capillary electrode 3 and the gas spray tube 4, an inert gas such as nitrogen is generally used as the gas 8. When nitrogen is used, it is necessary to install a cover 57 at the ionization site 14 for safety. Airtightness is maintained by installing the ESI ion source holder 54 in the opening 58 of the cover 57 via the packing 59. When gas spraying is not performed, the cover 57 and the packing 59 are not necessary, but a receiver having an opening 58 is necessary for reasons such as positioning. When the ESI ion source 1 is transported from the sample solution suction site 13 via the path 25 to the ionization site 14, the sample solution 5 may drop from the tip of the capillary electrode 3. Similarly, when the ESI ion source 1 moves from the ionization site 14 to the cleaning site 15 via the path 26, there is a risk of dripping.

経路55及び56は上下方向の経路なので基本的に無視できるが、横方向の経路25及び26は試料溶液5の滴下により汚染される可能性がある。ESIイオン源1の中心軸60から開口部58の内壁面までの距離のうち、経路25の延長上方向の距離61と経路26の延長上方向の距離62は、小さすぎると汚染範囲が中心軸60に近くなるため、ESIイオン源1の汚染などにつながり、次回以降の分析に悪影響を与える可能性がある。   Although the paths 55 and 56 are basically vertical paths and can be basically ignored, the horizontal paths 25 and 26 may be contaminated by the dripping of the sample solution 5. Of the distances from the central axis 60 of the ESI ion source 1 to the inner wall surface of the opening 58, if the distance 61 in the extension direction of the path 25 and the distance 62 in the extension direction of the path 26 are too small, the contamination range is the central axis. Since it is close to 60, it may lead to contamination of the ESI ion source 1 and may adversely affect the subsequent analysis.

従って、距離61及び62はなるべく大きくすることが望ましく、少なくても各々10mm以上にすることで、コンタミのリスクを大幅に低減することができる。ここで、距離61及び62に関しては非常に重要になるが、経路25及び26の移動方向以外の位相(例えば経路25及び26から直角方向に外れた位相)は、基本的に上空をESIイオン源1が通過しないため、距離61及び62ほど大きく設ける必要は無い。すなわち、開口部58は、ESIイオン源1の移動方向に細長い形状であって良い。本実施例は、実施例1〜17においても利用できる。   Therefore, it is desirable to make the distances 61 and 62 as large as possible. By setting each distance to at least 10 mm, the risk of contamination can be greatly reduced. Here, although the distances 61 and 62 are very important, a phase other than the moving direction of the paths 25 and 26 (for example, a phase deviated from the paths 25 and 26 in a direction perpendicular to the path) basically passes over the ESI ion source. Since 1 does not pass, it is not necessary to provide distances 61 and 62 as large. That is, the opening 58 may have an elongated shape in the moving direction of the ESI ion source 1. This embodiment can also be used in Embodiments 1 to 17.

[他の実施例]
実施例1〜18で説明した方法は、固相抽出法等で抽出された溶液だけでなく、液体クロマトグラフ法、遠心分離法、溶媒沈殿法その他の成分分離機構を用いた前処理を行った溶液なども試料溶液5として用いることができる。固相抽出法も含め、これらの成分分離機構を用いた前処理を行うことで、前処理前の試料に含まれる夾雑物などの影響を排除することができ、目的とする成分のイオン化の効率を向上することができ、安定したイオン化を実現することができる。
[Other examples]
In the methods described in Examples 1 to 18, the pretreatment using not only the solution extracted by the solid phase extraction method or the like but also the liquid chromatographic method, the centrifugal separation method, the solvent precipitation method and other component separation mechanisms was performed. A solution or the like can also be used as the sample solution 5. Pretreatment using these component separation mechanisms, including solid-phase extraction, can eliminate the influence of contaminants contained in the sample before pretreatment, and the ionization efficiency of the target component Can be improved, and stable ionization can be realized.

1…ESIイオン源、2…ESIプローブ、3…キャピラリー電極、4…ガス噴霧管、5…試料溶液、6…電圧源、7…イオン、8…気体、9…先端部、10…イオン取込み部、11…検出装置、13…試料溶液吸引場所、14…イオン化場所、15…洗浄場所、16…試料容器、17…洗浄容器、18…洗浄液、19…吸引吐出機構、20…ガス噴霧管移動機構、21…配管、22…気密機構、23…配管、24…配管、25…経路、26…経路、27…経路、28…試料容器群、29…経路、30…バネ、31…ストッパ受け、32…ストッパ受け、33…ストッパ、34…ストッパ、35…汚染箇所、36…配管、37…洗浄液、38…シリンダ、39…ピストン、40…シール部、41…配管、42…液体、43…加熱源、44…電圧源、45…溝、46…弾性部材、47…摺動部材、48…部材、49…部材、50…ジャバラ構造体、51…配管、52…吸引吐出機構、53…超音波振動子、54…ESIイオン源ホルダ、55…経路、56…経路、57…カバー、58…開口部、59…パッキン、60…中心軸、61…距離、62…距離、63…X軸方向、64…Y軸方向。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... ESI ion source, 2 ... ESI probe, 3 ... Capillary electrode, 4 ... Gas spray tube, 5 ... Sample solution, 6 ... Voltage source, 7 ... Ion, 8 ... Gas, 9 ... Tip part, 10 ... Ion intake part DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Detection apparatus, 13 ... Sample solution suction place, 14 ... Ionization place, 15 ... Washing place, 16 ... Sample container, 17 ... Cleaning container, 18 ... Cleaning liquid, 19 ... Suction / discharge mechanism, 20 ... Gas spray tube moving mechanism , 21 ... piping, 22 ... airtight mechanism, 23 ... piping, 24 ... piping, 25 ... route, 26 ... route, 27 ... route, 28 ... sample container group, 29 ... route, 30 ... spring, 31 ... stopper receiver, 32 ... stopper receiver, 33 ... stopper, 34 ... stopper, 35 ... contaminated part, 36 ... piping, 37 ... cleaning liquid, 38 ... cylinder, 39 ... piston, 40 ... seal part, 41 ... piping, 42 ... liquid, 43 ... heating source 44 ... Voltage source, 4 ... Groove, 46 ... elastic member, 47 ... sliding member, 48 ... member, 49 ... member, 50 ... bellows structure, 51 ... pipe, 52 ... suction / discharge mechanism, 53 ... ultrasonic transducer, 54 ... ESI ion source Holder, 55 ... path, 56 ... path, 57 ... cover, 58 ... opening, 59 ... packing, 60 ... center axis, 61 ... distance, 62 ... distance, 63 ... X-axis direction, 64 ... Y-axis direction.

Claims (14)

キャピラリーと、当該キャピラリーを軸方向に可動自在に収容する管と、前記キャピラリーと前記管の相対位置を可変する移動機構とを有するイオン化プローブと、
試料溶液をイオン化する領域と、
試料溶液をキャピラリーに吸引する領域と、
前記キャピラリー及び又は前記管を洗浄する領域と、
発生されたイオンを検査する検査装置と、
前記イオン化プローブを前記領域間で搬送する搬送機構とを有し、
前記移動機構は、少なくとも試料溶液をイオン化した領域から他の領域に搬送する際における前記キャピラリーの先端を前記管の先端から突き出した状態に保持し、かつ、前記キャピラリーがいずれの前記領域にある場合でも前記キャピラリーの一部分が前記管の中に収容されている
ことを特徴とする検査システム。
An ionization probe having a capillary, a tube that movably accommodates the capillary in the axial direction, and a moving mechanism that varies the relative position of the capillary and the tube;
A region for ionizing the sample solution;
An area for sucking the sample solution into the capillary;
A region for washing the capillary and / or the tube;
An inspection device for inspecting the generated ions;
A transport mechanism for transporting the ionization probe between the regions;
The moving mechanism holds at least the tip of the capillary protruding from the tip of the tube when the sample solution is transported from the ionized region to another region , and the capillary is in any of the regions However , the inspection system is characterized in that a part of the capillary is accommodated in the tube .
請求項1に記載の検査システムにおいて、
前記キャピラリーの先端部分の突出量は0.5mm以上である
ことを特徴とする検査システム。
The inspection system according to claim 1,
The amount of protrusion at the tip of the capillary is 0.5 mm or more.
請求項2に記載の検査システムにおいて、
前記管はガス噴霧管である
ことを特徴とする検査システム。
The inspection system according to claim 2,
The inspection system, wherein the tube is a gas spray tube.
請求項3に記載の検査システムにおいて、
前記キャピラリーによる試料溶液の吸引終了後及び又は洗浄終了後、前記キャピラリーが前記管の所定位置に収容されるまでの途中の位置において、前記キャピラリーの先端部分に気体を噴霧してキャピラリー表面に付着した液を除去する配管を有する
ことを特徴とする検査システム。
The inspection system according to claim 3,
After the completion of the suction of the sample solution by the capillary and / or after the cleaning, the gas was sprayed on the tip of the capillary and adhered to the capillary surface at a midway position until the capillary was accommodated in the predetermined position of the tube. An inspection system characterized by having a pipe for removing liquid.
請求項3に記載の検査システムにおいて、
前記キャピラリーによる試料溶液の吸引終了後及び又は洗浄終了後、前記キャピラリーが前記管の所定位置に収容されるまでの途中の位置において、前記の先端部分から洗浄液を噴霧して前記キャピラリー表面に付着した液を洗浄する配管を有する
ことを特徴とする検査システム。
The inspection system according to claim 3,
After aspiration after completion and or washing the end of the sample solution by the capillary at a point halfway up the capillary is accommodated in a predetermined position of the tube, attached to the capillary surface by spraying the cleaning liquid from the tip portion of the tube An inspection system characterized by having a pipe for cleaning the liquid.
請求項1に記載の検査システムにおいて、
前記キャピラリー及び又は前記管を洗浄する領域は、試料溶液を吸引したキャピラリーが試料溶液をイオン化する領域に搬送される経路区間の外部に配置される
ことを特徴とする検査システム。
The inspection system according to claim 1,
The region for washing the capillary and / or the tube is arranged outside the path section where the capillary that sucked the sample solution is transported to the region for ionizing the sample solution.
キャピラリーと、
前記キャピラリーを軸方向に可動自在能に収容する管と、
少なくとも試料溶液をイオン化した領域から他の領域に搬送する際における前記キャピラリーの先端を前記管の先端から突き出した状態に保持し、かつ、前記キャピラリーがいずれの前記領域にある場合でも前記キャピラリーの一部分が前記管の中に収容されているように前記キャピラリーと前記管の相対位置を可変する移動機構と
を有するイオン化プローブ。
Capillary,
A tube that accommodates the capillary in an axially movable manner;
At least the tip of the capillary when the sample solution is transported from the ionized region to another region is held in a state protruding from the tip of the tube , and a part of the capillary is in any region. An ionization probe comprising: a moving mechanism that varies a relative position of the capillary and the tube so that is accommodated in the tube.
請求項7に記載のイオン化プローブにおいて、
前記キャピラリーの先端部分の突出量は0.5mm以上である
ことを特徴とするイオン化プローブ。
The ionization probe according to claim 7,
An ionization probe characterized in that the amount of protrusion at the tip of the capillary is 0.5 mm or more.
請求項8に記載のイオン化プローブにおいて、
前記管はガス噴霧管である
ことを特徴とするイオン化プローブ。
The ionization probe according to claim 8,
The ionization probe, wherein the tube is a gas spray tube.
請求項7に記載のイオン化プローブにおいて、
前記移動機構は弾性体である
ことを特徴とするイオン化プローブ。
The ionization probe according to claim 7,
The ionization probe, wherein the moving mechanism is an elastic body.
請求項7に記載のイオン化プローブにおいて、
前記移動機構は、直線駆動機構である
ことを特徴とするイオン化プローブ。
The ionization probe according to claim 7,
The ionization probe, wherein the moving mechanism is a linear drive mechanism.
請求項7に記載のイオン化プローブにおいて、
前記キャピラリと前記管を可動自在に連結する気密機構を有する
ことを特徴とするイオン化プローブ。
The ionization probe according to claim 7,
Ionization probe and having an airtight mechanism for connecting the pipe and the capillary chromatography movably.
請求項12に記載のイオン化プローブにおいて、
前記気密機構は、前記キャピラリーを前記管の軸方向に可動自在に連結するジャバラ構
造を有する
ことを特徴とするイオン化プローブ。
The ionization probe according to claim 12,
The ionization probe characterized in that the airtight mechanism has a bellows structure that movably connects the capillary in the axial direction of the tube.
請求項12に記載のイオン化プローブにおいて、
前記気密機構は、前記キャピラリーを前記管の軸方向に可動自在に連結するゴムを有す

ことを特徴とするイオン化プローブ。
The ionization probe according to claim 12,
The ionization probe, wherein the airtight mechanism includes a rubber that movably connects the capillary in the axial direction of the tube.
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WO2023026355A1 (en) * 2021-08-24 2023-03-02 株式会社島津製作所 Ionization device

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3694598B2 (en) * 1998-10-14 2005-09-14 株式会社日立製作所 Atmospheric pressure ionization mass spectrometer
CA2366625C (en) * 1999-03-22 2008-01-22 Analytica Of Branford, Inc. Direct flow injection analysis nebulization electrospray and apci mass spectrometry
JP3743240B2 (en) * 1999-12-24 2006-02-08 株式会社日立製作所 Liquid chromatograph mass spectrometer
EP1364387B1 (en) * 2001-02-23 2016-01-20 Bruker Daltonics, Inc. Method and apparatus for a multiple part capillary device for use in mass spectrometry
GB0116384D0 (en) * 2001-07-04 2001-08-29 Diagnoswiss Sa Microfluidic chemical assay apparatus and method

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