JP5463491B1 - Automatic purge process control information generator - Google Patents

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Abstract

【課題】自動パージ工程における動作手順を設定した制御情報を容易に生成可能な自動パージ工程制御情報生成装置を提供する。
【解決手段】自動パージ工程制御情報生成装置１では、動作情報入力テーブル６０は、複数の項目セル６２と、複数の入力セル６４と、項目セル６２および入力セル６４によって行列における位置が特定されるように配列され、動作項目の実行または不実行を示すフラグ情報を格納して表示する複数のフラグセル６６と、を有し、動作設定テーブル生成手段は、互いに対応する動作項目および動作情報を格納した項目セル６２および入力セル６４によって特定される位置のフラグセル６６に、動作項目の実行を示すフラグ情報を格納する。
【選択図】図４An automatic purge process control information generation apparatus capable of easily generating control information in which an operation procedure in an automatic purge process is set is provided.
In an automatic purge process control information generating apparatus 1, an operation information input table 60 has a position in a matrix specified by a plurality of item cells 62, a plurality of input cells 64, and the item cells 62 and the input cells 64. A plurality of flag cells 66 that store and display flag information indicating execution or non-execution of the action item, and the action setting table generating means stores action items and action information corresponding to each other. Flag information indicating execution of the action item is stored in the flag cell 66 at the position specified by the item cell 62 and the input cell 64.
[Selection] Figure 4

Description

本発明は、ガス供給配管における自動パージ工程の動作手順を設定した制御情報を生成する制御情報生成装置に関する。   The present invention relates to a control information generation device that generates control information in which an operation procedure of an automatic purge process in a gas supply pipe is set.

従来、例えば半導体の製造においては様々なプロセスガスが使用されており、このようなプロセスガスを所定の圧力および流量で安全に供給するための設備として、シリンダキャビネットが使用されている。このシリンダキャビネットは、プロセスガスを充填したシリンダ（容器）、ガス供給配管および各種バルブ等をキャビネット内に収容したものであり、毒性や可燃性を有するプロセスガスを各種製造装置に向けて安全に供給するように構成されている。   2. Description of the Related Art Conventionally, for example, various process gases are used in the manufacture of semiconductors, and a cylinder cabinet is used as equipment for safely supplying such process gases at a predetermined pressure and flow rate. This cylinder cabinet contains cylinders (containers) filled with process gas, gas supply pipes and various valves in the cabinet, and safely supplies toxic and flammable process gases to various manufacturing equipment. Is configured to do.

また、シリンダキャビネットには、真空ポンプやバキュームジェネレータ（エジェクタ）等によってガス供給配管内のプロセスガスを吸引して排出するための配管であるベントライン、およびガス供給配管内に窒素ガス等をパージするための配管であるパージラインが設けられている。すなわち、空になったシリンダを交換する際に、予めガス供給配管内をパージすることで、危険なプロセスガスが周囲に漏洩するのを防止可能となっている。（例えば、特許文献１参照）。   In addition, the cylinder cabinet purges nitrogen gas or the like into the vent line, which is a pipe for sucking and discharging the process gas in the gas supply pipe by a vacuum pump, a vacuum generator (ejector) or the like, and the gas supply pipe. A purge line, which is a pipe for the purpose, is provided. That is, when the cylinder that has been emptied is replaced, it is possible to prevent dangerous process gas from leaking to the surroundings by purging the gas supply pipe in advance. (For example, refer to Patent Document 1).

さらに、近年のシリンダキャビネットでは、各種バルブ、圧力計およびガス検知機等を制御する制御装置と共に、情報の表示および入力操作を可能とするタッチパネル等を備えることで、シリンダ交換時等におけるパージ工程の自動化およびガイダンス表示を可能としたものが一般的となっている。   Furthermore, recent cylinder cabinets are equipped with a control device that controls various valves, pressure gauges, gas detectors, and the like, as well as a touch panel that enables information display and input operations. It has become common to enable automation and guidance display.

特開２００３−１４１９３号公報JP 2003-14193 A

しかしながら、シリンダキャビネットのガス供給配管におけるパージ工程は、例えば上記特許文献１の段落「００１８」〜「００２１」に示されるように、プロセスガスの外部への漏洩やプロセスガスへの外気等の混入といった不具合を防止すべく、複雑な手順を踏んで実行されるものであることから、自動化に際しては、制御プログラムにおける動作手順の設定を入念にチェックする必要があり、チェック作業に多大な手間と時間を要するという問題があった。   However, the purge process in the gas supply pipe of the cylinder cabinet is, for example, as shown in paragraphs “0018” to “0021” of the above-mentioned Patent Document 1, such as leakage of process gas to the outside or mixing of outside air into the process gas. In order to prevent problems, it is executed in a complicated procedure, so it is necessary to carefully check the setting of the operation procedure in the control program when automating, and it takes a lot of time and labor for the check work. There was a problem that it took.

特に、シリンダキャビネットは一般に種々のガスを使用可能な汎用品として製造され、また、シリンダキャビネットが使用される各工場では独自の作業標準や安全基準を定めていることから、パージ工程の動作手順の設定は、使用ガスや使用工場、設置場所等に応じてカスタマイズされるものとなっている。従って、自動パージ工程の制御プログラムは、シリンダキャビネットを設置する度に動作手順の設定を変更すると共に、これに伴う入念なチェック作業が必要となっており、生産性の著しく低いものとなっていた。   In particular, the cylinder cabinet is generally manufactured as a general-purpose product that can use various gases, and each factory where the cylinder cabinet is used has its own work standards and safety standards. The settings are customized according to the gas used, the factory used, the installation location, and the like. Therefore, the control program for the automatic purge process requires changing the setting of the operation procedure every time the cylinder cabinet is installed, and careful check work associated with this change, and the productivity is extremely low. .

本発明は、斯かる実情に鑑み、自動パージ工程における動作手順を設定した制御情報を容易に生成可能な自動パージ工程制御情報生成装置を提供しようとするものである。   In view of such circumstances, the present invention is intended to provide an automatic purge process control information generating apparatus capable of easily generating control information in which an operation procedure in an automatic purge process is set.

（１）本発明は、ガス供給配管における自動パージ工程の動作手順を設定した制御情報を生成する制御情報生成装置であって、情報を格納して表示する複数のセルの行列からなり、前記自動パージ工程において実行される複数の動作項目が表示されると共に、前記動作項目に対応する動作情報が入力される入力テーブルと、前記入力テーブルを提示して、前記動作情報の入力を受け付ける入力受付手段と、前記入力受付手段が受け付けた入力に基づいて前記入力テーブルの内容を変更し、前記動作手順が設定された動作設定テーブルを生成する動作設定テーブル生成手段と、前記動作設定テーブルに基づいて前記制御情報を生成する制御情報生成手段と、を備え、前記入力テーブルは、行方向および列方向の一方に沿って並べられ、前記動作項目を格納して表示する複数の項目セルと、行方向および列方向の他方に沿って並べられ、前記動作情報が実行ステップごとに入力されると共に、入力された前記動作情報を格納して表示する複数の入力セルと、前記項目セルおよび前記入力セルによって行列における位置が特定されるように配列され、前記動作項目の実行または不実行を示すフラグ情報を格納して表示する複数のフラグセルと、を有し、前記動作設定テーブル生成手段は、互いに対応する前記動作項目および前記動作情報を格納した前記項目セルおよび前記入力セルによって特定される位置の前記フラグセルに、前記動作項目の実行を示すフラグ情報を格納することを特徴とする、自動パージ工程制御情報生成装置である。   (1) The present invention is a control information generating device for generating control information in which an operation procedure of an automatic purging process in a gas supply pipe is set, comprising a matrix of a plurality of cells for storing and displaying information, A plurality of operation items to be executed in the purge process are displayed, an input table to which operation information corresponding to the operation item is input, and an input receiving unit that presents the input table and receives the input of the operation information And an operation setting table generating unit that changes the contents of the input table based on the input received by the input receiving unit and generates the operation setting table in which the operation procedure is set, and the operation setting table based on the operation setting table. Control information generating means for generating control information, and the input table is arranged along one of a row direction and a column direction, and the operation A plurality of item cells that store and display eyes, and are arranged along the other of the row direction and the column direction, and the operation information is input for each execution step, and the input operation information is stored and displayed A plurality of input cells, and a plurality of flag cells that are arranged so that positions in a matrix are specified by the item cells and the input cells, and store and display flag information indicating execution or non-execution of the action items; The operation setting table generating means includes a flag indicating execution of the operation item in the flag cell at a position specified by the item cell and the input cell storing the operation item and the operation information corresponding to each other. It is an automatic purge process control information generation device characterized by storing information.

（２）本発明はまた、前記動作設定テーブル生成手段は、前記動作項目の実行を示すフラグ情報として前記フラグセルに１を格納し、前記動作項目の不実行を示すフラグ情報として前記フラグセルに０を格納し、前記制御情報生成手段は、前記フラグセルに格納された前記フラグ情報を、前記項目セルによって特定される位置を各桁とする２進数として取得し、取得した前記２進数に基づいて前記制御情報を生成することを特徴とする、上記（１）に記載の自動パージ工程制御情報生成装置である。   (2) In the present invention, the operation setting table generating means stores 1 in the flag cell as flag information indicating execution of the operation item, and sets 0 in the flag cell as flag information indicating non-execution of the operation item. The control information generation means stores the flag information stored in the flag cell as a binary number having each digit as a position specified by the item cell, and performs the control based on the acquired binary number. The automatic purge process control information generation device according to (1) above, wherein the information is generated.

（３）本発明はまた、前記制御情報生成手段は、取得した前記２進数を１６進数の文字列に変換し、変換した前記１６進数の文字列に基づいて前記制御情報を生成することを特徴とする、上記（２）に記載の自動パージ工程制御情報生成装置である。   (3) The present invention is also characterized in that the control information generating means converts the obtained binary number into a hexadecimal character string and generates the control information based on the converted hexadecimal character string. The automatic purge process control information generating device according to (2) above.

（４）本発明はまた、前記動作項目は、複数のグループに分けられ、前記制御情報生成手段は、前記フラグセルに格納された前記フラグ情報を、前記グループごとに取得することを特徴とする、上記（１）乃至（３）のいずれかに記載の自動パージ工程制御情報生成装置である。   (4) The present invention is also characterized in that the operation items are divided into a plurality of groups, and the control information generation means acquires the flag information stored in the flag cell for each group. The automatic purge process control information generation device according to any one of (1) to (3) above.

（５）本発明はまた、前記動作項目には、複数の前記実行ステップにわたって継続される継続動作項目が含まれ、前記動作設定テーブル生成手段は、前記継続動作項目の開始を示す前記動作情報を格納した前記入力セルから前記継続動作項目の終了を示す前記動作情報を格納した前記入力セルの１つ手前の前記入力セルまでの間において、前記継続動作項目を格納した前記項目セルによって特定される位置のフラグセルに前記継続動作項目の実行を示すフラグ情報を格納することを特徴とする、上記（１）乃至（４）のいずれかに記載の自動パージ工程制御情報生成装置である。   (5) In the present invention, the action item includes a continuation action item continued over a plurality of the execution steps, and the action setting table generation unit includes the action information indicating the start of the continuation action item. Specified by the item cell storing the continuous operation item from the stored input cell to the input cell immediately before the input cell storing the operation information indicating the end of the continuous operation item 5. The automatic purge process control information generation device according to any one of (1) to (4), wherein flag information indicating execution of the continuous action item is stored in a flag cell at a position.

（６）本発明はまた、前記入力テーブルは、前記入力セルに付随して設けられ、前記実行ステップの継続時間に対応する時間情報が入力される時間入力セルと、前記入力セルに付随して設けられ、前記実行ステップの継続時間を表示する時間表示セルと、を備えることを特徴とする、上記（１）乃至（５）のいずれかに記載の自動パージ工程制御情報生成装置である。   (6) In the present invention, the input table is provided in association with the input cell, and a time input cell in which time information corresponding to a duration of the execution step is input, and the input cell are attached. The automatic purge process control information generation device according to any one of (1) to (5), further comprising a time display cell that is provided and displays a duration of the execution step.

本発明に係る自動パージ工程制御情報生成装置によれば、自動パージ工程における動作手順を設定した制御情報を容易に生成可能という優れた効果を奏し得る。   According to the automatic purge process control information generation device according to the present invention, it is possible to achieve an excellent effect that control information in which an operation procedure in the automatic purge process is set can be easily generated.

（ａ）本発明の実施形態に係る自動パージ工程制御情報生成装置の装置構成を示した概略図である。（ｂ）自動パージ工程制御情報生成装置の機能的構成、および自動パージ工程制御情報生成装置の機能的構成を実現するためのプログラム等の構成を示した概略図である。(A) It is the schematic which showed the apparatus structure of the automatic purge process control information generation apparatus which concerns on embodiment of this invention. (B) It is the schematic which showed the structure of the program for implement | achieving the functional structure of an automatic purge process control information generation apparatus, and the functional structure of an automatic purge process control information generation apparatus. シリンダキャビネットの構成の一例を示した概略図である。It is the schematic which showed an example of the structure of a cylinder cabinet. 基本情報入力テーブル（基本設定テーブル）の一例を示した概略図である。It is the schematic which showed an example of the basic information input table (basic setting table). 動作情報入力テーブルの一例を示した概略図である。It is the schematic which showed an example of the operation information input table. 動作設定テーブルの一例を示した概略図である。It is the schematic which showed an example of the operation | movement setting table. 制御情報の生成方法を概念的に示した図である。It is the figure which showed notionally the generation method of control information.

以下、本発明の実施の形態を、添付図面を参照して説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

まず、本実施形態に係る自動パージ工程制御情報生成装置１の基本的な構成について説明する。図１（ａ）は、自動パージ工程制御情報生成装置１の装置構成を示した概略図である。自動パージ工程制御情報生成装置１（以下、制御情報生成装置１と呼ぶ）は、コンピュータ１０から構成されており、同図に示されるように、コンピュータ１０は、ＣＰＵ１２、ＲＯＭ１４、ＲＡＭ１６、補助記憶装置１８、表示装置２０、入力装置２２、入出力インタフェース２４およびバス２６を備えて構成されている。   First, a basic configuration of the automatic purge process control information generation device 1 according to the present embodiment will be described. FIG. 1A is a schematic diagram showing the device configuration of the automatic purge process control information generating device 1. The automatic purge process control information generation apparatus 1 (hereinafter referred to as control information generation apparatus 1) is composed of a computer 10, and as shown in the figure, the computer 10 includes a CPU 12, a ROM 14, a RAM 16, and an auxiliary storage device. 18, a display device 20, an input device 22, an input / output interface 24, and a bus 26.

ＣＰＵ１２は、中央演算処理装置（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）であり、各種プログラムを実行することによって画像領域抽出システム１の各種機能を実現する。ＲＯＭ１４は、リード・オンリー・メモリ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）であり、ＣＰＵ１２で実行される基本的なプログラムを記憶する。ＲＡＭ１６は、ランダム・アクセス・メモリ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）であり、ＣＰＵ１２の作業領域として使用される。   The CPU 12 is a central processing unit and implements various functions of the image region extraction system 1 by executing various programs. The ROM 14 is a read only memory and stores a basic program executed by the CPU 12. The RAM 16 is a random access memory, and is used as a work area for the CPU 12.

補助記憶装置１８は、例えばハードディスクドライブ、光ディスクドライブ、フラッシュメモリまたはソリッド・ステート・ドライブ（Ｓｏｌｉｄ Ｓｔａｔｅ Ｄｒｉｖｅ）等から構成され、画像領域抽出システム１の全体的な基本動作を実現するＯＳ（Ｏｐｅｒａｔｉｏｎ Ｓｙｓｔｅｍ）プログラムを記憶すると共に、後述する制御情報生成装置１の機能的構成を実現するためのプログラム等および生成した制御情報等の各種情報を記憶する。   The auxiliary storage device 18 is composed of, for example, a hard disk drive, an optical disk drive, a flash memory, a solid state drive, or the like, and an OS (Operation System) that realizes the overall basic operation of the image area extraction system 1. In addition to storing the program, it stores various information such as a program for realizing a functional configuration of the control information generating apparatus 1 described later and generated control information.

表示装置２０は、例えば液晶ディスプレイから構成され、ユーザに提示するテーブル等各種情報を表示すると共に、ユーザに対する視覚的なインタフェースを提供する。入力装置２２は、例えばキーボードやマウス、タッチパネル等から構成され、ユーザからの各種情報の入力操作を受け付ける。入出力インタフェース２４は、外部の機器と各種情報をやり取りするためのインタフェースである。バス２６は、ＣＰＵ１２、ＲＯＭ１４、ＲＡＭ１６、補助記憶装置１８、表示装置２０、入力装置２２および入出力インタフェース２４などを一体的に接続して通信を行うための経路である。   The display device 20 is composed of, for example, a liquid crystal display, displays various information such as a table to be presented to the user, and provides a visual interface to the user. The input device 22 is composed of, for example, a keyboard, a mouse, a touch panel, and the like, and accepts various information input operations from the user. The input / output interface 24 is an interface for exchanging various types of information with an external device. The bus 26 is a path for communicating by integrally connecting the CPU 12, the ROM 14, the RAM 16, the auxiliary storage device 18, the display device 20, the input device 22, the input / output interface 24, and the like.

図１（ｂ）は、制御情報生成装置１の機能的構成、および制御情報生成装置１の機能的構成を実現するためのプログラム等の構成を示した概略図である。   FIG. 1B is a schematic diagram illustrating a functional configuration of the control information generating device 1 and a configuration of a program and the like for realizing the functional configuration of the control information generating device 1.

同図に示されるように、コンピュータ１０の補助記憶装置１８には、汎用の表計算プログラム３０、およびこの表計算プログラム３０によって処理される表計算ファイル４０が記憶されている。このうち、表計算ファイル４０は、情報を格納して表示する複数のセルの行列からなるワークシートによって構成される基本情報入力テーブル５０および動作情報入力テーブル６０と、ワークシート上で実行されるマクロプログラム７０と、を含んでいる。   As shown in the figure, the auxiliary storage device 18 of the computer 10 stores a general-purpose spreadsheet program 30 and a spreadsheet file 40 processed by the spreadsheet program 30. Among them, the spreadsheet file 40 includes a basic information input table 50 and an operation information input table 60 configured by a worksheet including a matrix of a plurality of cells for storing and displaying information, and a macro executed on the worksheet. Program 70.

本実施形態では、この表計算プログラム３０をＣＰＵ１２が実行し、表計算ファイル４０を処理することによって制御情報生成装置１の機能的構成が実現されるようになっている。同図に示されるように、制御情報生成装置１は、機能的構成として、入力受付手段８０と、動作設定テーブル生成手段８２と、制御情報生成手段８４と、を備えている。   In the present embodiment, the CPU 12 executes the spreadsheet program 30 and processes the spreadsheet file 40 so that the functional configuration of the control information generating apparatus 1 is realized. As shown in the figure, the control information generating apparatus 1 includes an input receiving unit 80, an operation setting table generating unit 82, and a control information generating unit 84 as functional configurations.

入力受付手段８０は、基本情報入力テーブル５０および動作情報入力テーブル６０を表示装置２０に表示することでこれらをユーザに提示し、入力装置２２を介したユーザの入力を受け付ける。すなわち、入力受付手段８０は、表示された基本情報入力テーブル５０および動作情報入力テーブル６０のセルに対して数値や文字列等の情報の入力操作があった場合に、情報が入力されたセルに入力された情報を格納すると共に、入力されたセル内に入力された情報を表示する。   The input receiving unit 80 displays the basic information input table 50 and the operation information input table 60 on the display device 20 to present them to the user, and receives user input via the input device 22. That is, the input receiving means 80, when there is an input operation of information such as numerical values and character strings for the cells of the displayed basic information input table 50 and operation information input table 60, The input information is stored, and the input information is displayed in the input cell.

なお、基本情報入力テーブル５０は、ユーザからの情報の入力を入力受付手段８０が受け付けることで内容が変更され、自動パージ工程における基本的な情報が設定された基本設定テーブル５０ａとなる。基本情報入力テーブル５０および基本設定テーブル５０ａの詳細については、後述する。   The basic information input table 50 is a basic setting table 50a in which the contents are changed by the input receiving unit 80 receiving input of information from the user, and basic information in the automatic purge process is set. Details of the basic information input table 50 and the basic setting table 50a will be described later.

動作設定テーブル生成手段８２は、入力受付手段８０が受け付けた動作情報入力テーブル６０に対する入力に基づいて動作情報入力テーブル６０の内容を変更し、自動パージ工程の動作手順が設定された動作設定テーブル６０ａを生成する。すなわち、動作情報入力テーブル６０は、入力受付手段８０によるユーザからの情報の入力の受け付け、およびこれに基づく動作設定テーブル生成手段８２による内容の変更により、動作設定テーブル６０ａとなる。動作情報入力テーブル６０および動作設定テーブル６０ａの詳細については、後述する。   The operation setting table generating unit 82 changes the contents of the operation information input table 60 based on the input to the operation information input table 60 received by the input receiving unit 80, and the operation setting table 60a in which the operation procedure of the automatic purge process is set. Is generated. That is, the operation information input table 60 becomes the operation setting table 60a by receiving input of information from the user by the input receiving unit 80 and changing the contents by the operation setting table generating unit 82 based on the input. Details of the operation information input table 60 and the operation setting table 60a will be described later.

制御情報生成手段８４は、マクロプログラム７０の実行によって実現される機能構成である。制御情報生成手段８４は、基本設定テーブル５０ａおよび動作設定テーブル６０ａに基づいて、自動パージ工程の制御プログラムが自動パージ工程を実行する際に参照する制御情報９０を生成する。すなわち、制御情報生成手段８４は、ワークシート形式によってユーザの視覚による認識を容易にした基本設定テーブル５０ａおよび動作設定テーブル６０ａを、制御プログラムが参照するデータ形式に変換するものである。制御情報生成手段８４による処理の詳細については、後述する。   The control information generating unit 84 has a functional configuration realized by executing the macro program 70. Based on the basic setting table 50a and the operation setting table 60a, the control information generating unit 84 generates control information 90 that is referred to when the automatic purge process control program executes the automatic purge process. That is, the control information generation unit 84 converts the basic setting table 50a and the operation setting table 60a, which are easily recognized by the user's visual sense in the worksheet format, into a data format that is referred to by the control program. Details of the processing by the control information generation means 84 will be described later.

次に、自動パージ工程が実行されるシリンダキャビネット１００について説明する。図２は、シリンダキャビネット１００の構成の一例を示した概略図である。同図に示されるように、本実施形態のシリンダキャビネット１００は、プロセスガスが充填された左シリンダ１０２Ｌおよび右シリンダ１０２Ｒの２つのシリンダ（容器）を備えており、半導体製造装置等に接続されるガス供給ライン２００に向けてこれら左シリンダ１０２Ｌおよび右シリンダ１０２Ｒからプロセスガスを供給するものである。   Next, the cylinder cabinet 100 in which the automatic purge process is executed will be described. FIG. 2 is a schematic diagram illustrating an example of the configuration of the cylinder cabinet 100. As shown in the figure, the cylinder cabinet 100 of the present embodiment includes two cylinders (containers) of a left cylinder 102L and a right cylinder 102R filled with a process gas, and is connected to a semiconductor manufacturing apparatus or the like. Process gas is supplied from the left cylinder 102L and the right cylinder 102R toward the gas supply line 200.

シリンダキャビネット１００は、左シリンダ１０２Ｌに接続された左ガス供給配管１０４Ｌ（左シリンダ系統）と、右シリンダ１０２Ｒに接続された右ガス供給配管１０４Ｒ（右シリンダ系統）と、左右ガス供給配管１０４Ｌ、１０４Ｒとガス供給ライン２００を繋ぐ共通配管１０６（供給系統）と、左右ガス供給配管１０４Ｌ、１０４Ｒ内のガスを吸引（真空引き）して排出（ベント）するためのバキューム配管１０８およびバキュームジェネレータＶＧ（ＶＧライン系統）と、バキュームジェネレータＶＧと左右ガス供給配管１０４Ｌ、１０４Ｒを繋ぐベント側配管１１０と、左右ガス供給配管１０４Ｌ、１０４Ｒにパージ用ガスを導入するためのパージ配管１１２と、を備えている。   The cylinder cabinet 100 includes a left gas supply pipe 104L (left cylinder system) connected to the left cylinder 102L, a right gas supply pipe 104R (right cylinder system) connected to the right cylinder 102R, and left and right gas supply pipes 104L and 104R. And a common pipe 106 (supply system) that connects the gas supply line 200, a vacuum pipe 108 for sucking (evacuating) the gas in the left and right gas supply pipes 104L and 104R, and discharging (venting) them, and a vacuum generator VG (VG Line system), a vent side pipe 110 connecting the vacuum generator VG and the left and right gas supply pipes 104L, 104R, and a purge pipe 112 for introducing the purge gas into the left and right gas supply pipes 104L, 104R.

さらに、シリンダキャビネット１００は、複数のバルブＡＶ１、ＡＶ２Ｌ〜ＡＶ６Ｌ、ＡＶ２Ｒ〜ＡＶ６Ｒ、ＡＶ７〜ＡＶ９、ＡＶ１０Ｌ、ＡＶ１０Ｒと、複数の圧力計ＰＴ１Ｌ、ＰＴ２Ｌ、ＰＴ１Ｒ、ＰＴ２Ｒ、ＰＴ３、ＰＴ４と、プロセスガスの供給圧力を調整する左レギュレータＲＧ１Ｌおよび右レギュレータＲＧ１Ｒと、プロセスガスの漏洩（リーク）を検知するガス検知器ＧＳと、を備えると共に、これらを制御する制御装置１２０と、制御装置１２０に対する入力および各種情報の表示を行うタッチパネル１３０を備えている。   Further, the cylinder cabinet 100 supplies a plurality of valves AV1, AV2L to AV6L, AV2R to AV6R, AV7 to AV9, AV10L, AV10R, a plurality of pressure gauges PT1L, PT2L, PT1R, PT2R, PT3, PT4, and a process gas supply. A left regulator RG1L and a right regulator RG1R for adjusting pressure, a gas detector GS for detecting leakage of process gas, a control device 120 for controlling these, an input to the control device 120, and various information The touch panel 130 is displayed.

左ガス供給配管１０４Ｌは、一次側１０４Ｌ１がバルブＡＶ１０Ｌ（容器開閉器）を介して左シリンダ１０２Ｌに接続されると共に、二次側１０４Ｌ２がバルブＡＶ６Ｌを介して共通配管１０６に接続されており、途中に設けられたバルブＡＶ４Ｌによって一次側１０４Ｌ１と二次側１０４Ｌ２を分離可能となっている。そして、左ガス供給配管１０４Ｌの一次側１０４Ｌ１には、圧力計ＰＴ１Ｌが設けられ、二次側１０４Ｌ２には、圧力計ＰＴ２Ｌおよび左レギュレータＲＧ１Ｌが設けられている。   The left gas supply pipe 104L has a primary side 104L1 connected to the left cylinder 102L via a valve AV10L (container switch) and a secondary side 104L2 connected to a common pipe 106 via a valve AV6L. The primary side 104L1 and the secondary side 104L2 can be separated by a valve AV4L provided on the secondary side. A pressure gauge PT1L is provided on the primary side 104L1 of the left gas supply pipe 104L, and a pressure gauge PT2L and a left regulator RG1L are provided on the secondary side 104L2.

同様に、右ガス供給配管１０４Ｒは、一次側１０４Ｒ１がバルブＡＶ１０Ｒ（容器開閉器）を介して右シリンダ１０２Ｒに接続されると共に、二次側１０４Ｒ２がバルブＡＶ６Ｒを介して共通配管１０６に接続されており、途中に設けられたバルブＡＶ４Ｒによって一次側１０４Ｒ１と二次側１０４Ｒ２を分離可能となっている。そして、右ガス供給配管１０４Ｒの一次側１０４Ｒ１には、圧力計ＰＴ１Ｒが設けられ、二次側１０４Ｒ２には、圧力計ＰＴ２Ｒおよび左レギュレータＲＧ１Ｒが設けられている。   Similarly, the right gas supply pipe 104R has a primary side 104R1 connected to the right cylinder 102R via a valve AV10R (container switch) and a secondary side 104R2 connected to a common pipe 106 via a valve AV6R. The primary side 104R1 and the secondary side 104R2 can be separated by a valve AV4R provided in the middle. A pressure gauge PT1R is provided on the primary side 104R1 of the right gas supply pipe 104R, and a pressure gauge PT2R and a left regulator RG1R are provided on the secondary side 104R2.

共通配管１０６は、上述のように、左ガス供給配管１０４Ｌおよび右ガス供給配管１０４Ｒとガス供給ライン２００を繋ぐ配管であり、バルブＡＶ６ＬおよびバルブＡＶ６Ｒの開閉によって左シリンダ１０２Ｌおよび右シリンダ１０２Ｒのいずれからプロセスガスを供給するかを切り替えることが可能となっている。   As described above, the common pipe 106 is a pipe that connects the left gas supply pipe 104L, the right gas supply pipe 104R, and the gas supply line 200. From the left cylinder 102L or the right cylinder 102R by opening and closing the valve AV6L and the valve AV6R, the common pipe 106 is connected. It is possible to switch whether to supply process gas.

バキューム配管１０８は、一端側が希釈用窒素ガスの供給源（図示省略）に接続されると共に、他端側（排気系統）が除害筒３００に接続されている。バキューム配管１０８には、バキュームジェネレータＶＧと共にバルブＡＶ１が設けられており、このバルブＡＶ１を開くことによってバキュームジェネレータＶＧに希釈用窒素ガスが導入され、吸引力が発生するようになっている。   One end of the vacuum pipe 108 is connected to a supply source for dilution nitrogen gas (not shown), and the other end (exhaust system) is connected to the abatement tube 300. The vacuum pipe 108 is provided with a valve AV1 together with the vacuum generator VG. By opening the valve AV1, nitrogen gas for dilution is introduced into the vacuum generator VG, and suction force is generated.

ベント側配管１１０は、バルブＡＶ７を介してバキュームジェネレータＶＧに接続されると共に、バルブＡＶ３Ｌを介して左ガス供給配管１０４Ｌの一次側１０４Ｌ１に接続され、バルブＡＶ５Ｌを介して左ガス供給配管１０４Ｌの二次側１０４Ｌ２に接続され、バルブＡＶ３Ｒを介して右ガス供給配管１０４Ｒの一次側１０４Ｒ１に接続され、バルブＡＶ５Ｒを介して右ガス供給配管１０４Ｒの二次側１０４Ｒ２に接続されている。また、ベント側配管１１０の途中には、圧力計ＰＴ３が設けられている。   The vent side pipe 110 is connected to the vacuum generator VG via the valve AV7, is connected to the primary side 104L1 of the left gas supply pipe 104L via the valve AV3L, and is connected to the left gas supply pipe 104L via the valve AV5L. Connected to the secondary side 104L2, connected to the primary side 104R1 of the right gas supply pipe 104R via the valve AV3R, and connected to the secondary side 104R2 of the right gas supply pipe 104R via the valve AV5R. Further, a pressure gauge PT3 is provided in the middle of the vent side pipe 110.

パージ配管１１２は、一端側がバルブＡＶ８を介してパージ用窒素ガスの供給源（図示省略）に接続されると共に、バルブＡＶ９を介して高圧気密用窒素ガスの供給源（図示量略）に接続されている。そして、パージ配管１１２の他端側は、バルブＡＶ２Ｌを介して左ガス供給配管１０４Ｌの一次側１０４Ｌ１に接続されると共に、バルブＡＶ２Ｒを介して右ガス供給配管１０４Ｒの一次側１０４Ｒ１に接続されている。また、パージ配管１１２の途中には、圧力計ＰＴ４が設けられている。   One end of the purge pipe 112 is connected to a purge nitrogen gas supply source (not shown) via a valve AV8, and is connected to a high pressure airtight nitrogen gas supply source (not shown) via a valve AV9. ing. The other end side of the purge pipe 112 is connected to the primary side 104L1 of the left gas supply pipe 104L via the valve AV2L, and is connected to the primary side 104R1 of the right gas supply pipe 104R via the valve AV2R. . A pressure gauge PT4 is provided in the middle of the purge pipe 112.

制御装置１２０は、プログラマブル・ロジック・コントローラ（Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｌｏｇｉｃ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）から構成されている。制御装置１２０は、供給制御プログラムに従って、左右レギュレータＲＧ１Ｌ、ＲＧ１Ｒ、バルブＡＶ６Ｌ、ＡＶ６Ｒ、圧力計ＰＴ１Ｌ、ＰＴ２Ｌ、ＰＴ１Ｒ、ＰＴ２Ｒ、およびガス検知機ＧＳ等を制御すると共に、各種情報をタッチパネル１３０に表示する等してガス供給ライン２００へのプロセスガスの供給を制御する。   The control device 120 is configured by a programmable logic controller (Programmable Logic Controller). The control device 120 controls the left and right regulators RG1L, RG1R, valves AV6L, AV6R, pressure gauges PT1L, PT2L, PT1R, PT2R, and the gas detector GS according to the supply control program, and displays various information on the touch panel 130. The supply of process gas to the gas supply line 200 is controlled in the same manner.

制御装置１２０はまた、自動パージ制御プログラムに従って、各バルブＡＶ１、ＡＶ２Ｌ〜ＡＶ６Ｌ、ＡＶ２Ｒ〜ＡＶ６Ｒ、ＡＶ７〜ＡＶ９、ＡＶ１０Ｌ、ＡＶ１０Ｒを開閉すると共に、各圧力計ＰＴ１Ｌ、ＰＴ２Ｌ、ＰＴ１Ｒ、ＰＴ２Ｒ、ＰＴ３、ＰＴ４、およびガス検知器ＧＳの出力を監視することで、自動パージ工程を実行する。さらに、自動パージ工程において制御装置１２０は、実行ステップごとにガイダンスをタッチパネル１３０に表示すると共に、異常を検出した場合にはタッチパネル１３０や他の警報装置を使用して警報を発する。   The control device 120 also opens and closes the valves AV1, AV2L to AV6L, AV2R to AV6R, AV7 to AV9, AV10L, and AV10R according to the automatic purge control program, and each pressure gauge PT1L, PT2L, PT1R, PT2R, PT3, PT4 And the automatic purge process is executed by monitoring the output of the gas detector GS. Further, in the automatic purge process, the control device 120 displays guidance on the touch panel 130 for each execution step, and issues an alarm using the touch panel 130 or another alarm device when an abnormality is detected.

なお、自動パージ工程は、通常、左シリンダ１０２Ｌを交換する際に左ガス供給配管１０４Ｌ（左シリンダ系統）について行われ、右シリンダ１０２Ｒを交換する際に右ガス供給配管１０４Ｒ（左シリンダ系統）について行われる。すなわち、左右いずれか一方の系統をパージしてシリンダを交換している際にも、他方の系統を使用してプロセスガスの供給を継続することが可能となっている。   The automatic purge process is usually performed for the left gas supply pipe 104L (left cylinder system) when the left cylinder 102L is replaced, and for the right gas supply pipe 104R (left cylinder system) when the right cylinder 102R is replaced. Done. That is, even when one of the left and right systems is purged and the cylinder is replaced, the supply of process gas can be continued using the other system.

次に、制御情報生成装置１による制御情報９０の生成手順を説明すると共に、基本情報入力テーブル５０および基本設定テーブル５０ａ、ならびに動作情報入力テーブル６０および動作設定テーブル６０ａの詳細について説明する。図１に戻って、制御情報９０の生成では、まずユーザは表計算プログラム３０を起動して表計算ファイル４０を開き、表計算ファイル４０に含まれる複数のワークシートの中から基本情報入力テーブル５０を選択して表示させる。   Next, a generation procedure of the control information 90 by the control information generation device 1 will be described, and details of the basic information input table 50 and the basic setting table 50a, and the operation information input table 60 and the operation setting table 60a will be described. Returning to FIG. 1, when generating the control information 90, the user first activates the spreadsheet program 30 to open the spreadsheet file 40, and selects the basic information input table 50 from the plurality of worksheets included in the spreadsheet file 40. Select to display.

図３は、基本情報入力テーブル５０（基本設定テーブル５０ａ）の一例を示した概略図である。同図に示されるように、基本情報入力テーブル５０は、設定すべき基本項目を表示した複数の項目セル５２と、各基本項目に対する基本情報を入力する複数の入力セル５４と、を有している。各基本項目は、「構成設定」、「シリンダ設定」、「圧力計設定」、「気密試験設定」、「パージ繰返回数設定」および「時間設定」の６つのグループに分類されて表示されており、入力する基本情報を選択するための参照表５６が必要に応じて付されている。   FIG. 3 is a schematic diagram showing an example of the basic information input table 50 (basic setting table 50a). As shown in the figure, the basic information input table 50 includes a plurality of item cells 52 that display basic items to be set and a plurality of input cells 54 that input basic information for each basic item. Yes. Each basic item is classified and displayed in six groups: “Configuration Settings”, “Cylinder Settings”, “Pressure Gauge Settings”, “Airtight Test Settings”, “Purge Repeat Count Settings”, and “Time Settings”. A reference table 56 for selecting basic information to be input is attached as necessary.

ユーザは、項目セル５２に表示された基本項目ごとに基本情報として実際の数値や文字列、参照表５６から選択したＩＤ等を入力セル５４に入力する。例えば、「構成設定」においては、「配管フローのタイプ」には参照表５６から選択したＩＤを入力し、「供給系統数」、「シリンダ系統数」、「ＶＧライン系統数」および「排気系統数」には各系統の実際の数を入力し、「ガス検知器の有無」、「熱感知器の有無」および「ドアロックの有無」には「有」の場合は「１」を、「無」の場合は「０」を入力する。   For each basic item displayed in the item cell 52, the user inputs, as basic information, an actual numerical value or character string, an ID selected from the reference table 56, or the like into the input cell 54. For example, in the “configuration setting”, an ID selected from the reference table 56 is input to “type of piping flow”, and “number of supply systems”, “number of cylinder systems”, “number of VG line systems”, and “exhaust system” Enter the actual number of each system in the “Number” field, and enter “1” for “Yes” for “Presence of gas detector”, “Presence of heat detector” and “Presence of door lock”, “ If “None”, enter “0”.

なお、図３では、図２に示したシリンダキャビネット１００について各基本情報を入力した場合の例を示している。上述のように、シリンダキャビネット１００は、左シリンダ１０２Ｌおよび左ガス供給配管１０４Ｌ、ならびに右シリンダ１０２Ｒおよび右ガス供給配管１０４Ｒを有し、左右２つのシリンダ系統を備えている。従って、「シリンダ設定」においては、「シリンダ１」について左シリンダ１０２Ｌの基本情報が入力され、および「シリンダ２」について右シリンダ１０２Ｒの基本情報が入力されている。   Note that FIG. 3 shows an example in which each basic information is input for the cylinder cabinet 100 shown in FIG. As described above, the cylinder cabinet 100 includes the left cylinder 102L and the left gas supply pipe 104L, the right cylinder 102R and the right gas supply pipe 104R, and includes two left and right cylinder systems. Therefore, in “cylinder setting”, basic information of the left cylinder 102L is input for “cylinder 1”, and basic information of the right cylinder 102R is input for “cylinder 2”.

また、「圧力計設定」においては、「ＰＴ１−１」について圧力計ＰＴ１Ｌの基本情報が入力され、「ＰＴ１−２」について圧力計ＰＴ１Ｒの基本情報が入力され、「ＰＴ２−１」について圧力計ＰＴ２Ｌの基本情報が入力され、「ＰＴ２−２」について圧力計ＰＴ２Ｒの基本情報が入力されている。また、「気密試験設定」および「パージ繰返回数設定」においては、「系統１」について左シリンダ１０２Ｌおよび左ガス供給配管１０４Ｌの基本情報が入力され、「系統２」について右シリンダ１０２Ｒおよび右ガス供給配管１０４Ｒの基本情報が入力されている。   In “pressure gauge setting”, basic information of the pressure gauge PT1L is input for “PT1-1”, basic information of the pressure gauge PT1R is input for “PT1-2”, and pressure gauge for “PT2-1”. Basic information of PT2L is input, and basic information of pressure gauge PT2R is input for “PT2-2”. Further, in “airtight test setting” and “purge repetition number setting”, basic information of the left cylinder 102L and the left gas supply pipe 104L is input for “system 1”, and the right cylinder 102R and the right gas for “system 2”. Basic information of the supply pipe 104R is input.

基本情報入力テーブル５０における「時間設定」は、実行ステップの継続時間、すなわち実行ステップを開始してから次の実行ステップを開始するまでの時間を、予めパターン化して設定しておくものである。「時間設定」では、例えば１秒、２秒、３秒、５秒、１０秒、１５秒および１分等、実行ステップの継続時間として使用する時間を、単位および説明と共に入力する。上述のようにシリンダキャビネット１００は、左右２つのシリンダ系統を備えているため、図３では、「シリンダ系統１」について左ガス供給配管１０４Ｌの時間設定が入力され、「シリンダ系統２」について右ガス供給配管１０４Ｒの時間設定が入力されている。   “Time setting” in the basic information input table 50 is a pattern in which the duration of an execution step, that is, the time from the start of an execution step to the start of the next execution step is set in advance. In “time setting”, for example, a time to be used as the duration of the execution step, such as 1 second, 2 seconds, 3 seconds, 5 seconds, 10 seconds, 15 seconds, and 1 minute, is input together with a unit and description. Since the cylinder cabinet 100 includes the left and right cylinder systems as described above, in FIG. 3, the time setting of the left gas supply pipe 104L is input for “cylinder system 1”, and the right gas for “cylinder system 2”. The time setting of the supply pipe 104R is input.

本実施形態では、自動パージ工程における基本的な情報を基本情報入力テーブル５０に入力するようにすることで、各種基本設定の一覧性を高めると共に、入力ミスの発見および修正、ならびに各種基本設定の変更を容易にしている。特に、後述する動作情報入力テーブル６０は、数百ステップからなる実行ステップを記入するものであるところ、「パージ繰返回数設定」や「時間設定」を別テーブルに入力するようにすることで、例えば３０を３００と入力したり、１０秒を１０分と入力したりといった入力ミスを効果的に防止または容易に発見することが可能になる。さらに、複数の実行ステップにおける設定をまとめて一度に変更することができるため、設定変更時における入力ミスや修正漏れ等も防止可能となっている。   In the present embodiment, basic information in the automatic purge process is input to the basic information input table 50, so that the list of various basic settings is improved, input errors are detected and corrected, and various basic settings are set. Easy to change. In particular, an operation information input table 60 to be described later is for entering execution steps consisting of several hundred steps. By inputting “purge repetition count setting” and “time setting” in another table, For example, it is possible to effectively prevent or easily detect an input error such as inputting 30 as 300 or 10 seconds as 10 minutes. Furthermore, since settings in a plurality of execution steps can be changed at a time, it is possible to prevent an input error or omission of correction when the settings are changed.

入力受付手段８０は、入力装置２２を介したユーザの入力を受け付けると共に、これに基づいて基本情報入力テーブル５０の内容を変更し、これにより、基本設定テーブル５０ａが生成される。生成された基本設定テーブル５０ａは、一旦ＲＡＭ１６に記憶された後、または直接補助記憶装置１８に記憶される。ユーザは、基本設定テーブル５０ａを印刷出力する等して入力内容をチェックし、必要であれば基本設定テーブル５０ａを修正する。   The input accepting unit 80 accepts user input via the input device 22 and changes the contents of the basic information input table 50 based on this, thereby generating a basic setting table 50a. The generated basic setting table 50 a is once stored in the RAM 16 or directly stored in the auxiliary storage device 18. The user checks the input contents by printing out the basic setting table 50a, and corrects the basic setting table 50a if necessary.

なお、本実施形態では、基本情報入力テーブル５０（基本設定テーブル５０ａ）を、１つのワークシートから構成しているが、例えばグループごとに分けた複数のワークシートから構成するようにしてもよい。また、本実施形態では、基本情報入力テーブル５０に基本情報を入力したものをそのまま基本設定テーブル５０ａとするようにしているが、例えば不要な項目セル５２や入力セル５４を削除等した異なる表形式の基本設定テーブル５０ａを別個に生成するようにしてもよい。また、項目セル５２、入力セル５４および参照表５６の配置構成は、図３に示す例に限定されるものではなく、その他の配置構成を採用してもよいことは言うまでもない。   In the present embodiment, the basic information input table 50 (basic setting table 50a) is composed of one worksheet, but may be composed of, for example, a plurality of worksheets divided into groups. Further, in the present embodiment, the basic information input table 50 with basic information input is used as it is as the basic setting table 50a. However, different table formats such as deleting unnecessary item cells 52 and input cells 54 are used. The basic setting table 50a may be generated separately. Further, the arrangement configuration of the item cell 52, the input cell 54, and the reference table 56 is not limited to the example shown in FIG. 3, and it goes without saying that other arrangement configurations may be adopted.

基本情報入力テーブル５０への入力が完了し、基本設定テーブル５０ａが生成されたならば、次にユーザは、表計算ファイル４０に含まれる複数のワークシートの中から動作情報入力テーブル６０を選択して表示させる。図４は、動作情報入力テーブル６０の一例を示した概略図であり、シリンダキャビネット１００の左シリンダ系統における自動パージ工程の動作情報入力テーブル６０を示している。また、図５は、動作設定テーブル６０ａの一例として、シリンダキャビネット１００の左シリンダ系統における自動パージ工程の動作設定テーブル６０ａを示した概略図である。   When the input to the basic information input table 50 is completed and the basic setting table 50a is generated, the user next selects the operation information input table 60 from a plurality of worksheets included in the spreadsheet file 40. To display. FIG. 4 is a schematic diagram showing an example of the operation information input table 60, and shows the operation information input table 60 for the automatic purge process in the left cylinder system of the cylinder cabinet 100. FIG. 5 is a schematic diagram showing an operation setting table 60a for an automatic purge process in the left cylinder system of the cylinder cabinet 100 as an example of the operation setting table 60a.

動作情報入力テーブル６０は、図４に示されるように、行方向（横方向）に並べられた複数の項目セル６２と、列方向（縦方向）に並べられた複数の入力セル６４と、項目セル６２および入力セル６４によって行列における位置が特定されるように配列され、動作項目の実行または不実行を示すフラグ情報を格納して表示する複数のフラグセル６６と、を有している。   As shown in FIG. 4, the motion information input table 60 includes a plurality of item cells 62 arranged in the row direction (horizontal direction), a plurality of input cells 64 arranged in the column direction (vertical direction), and items. The cell 62 and the input cell 64 are arranged so that their positions in the matrix are specified, and have a plurality of flag cells 66 for storing and displaying flag information indicating execution or non-execution of the action item.

項目セル６２は、自動パージ工程において実行される動作項目を格納して表示するものである。本実施形態では、項目セル６２を行方向に並べることにより、自動パージ工程における全ての動作項目を一覧表示すると共に、後述するフラグセル６６の行位置が項目セル６２によって特定されるようにしている。また、本実施形態では、項目セル６２を、「バルブ動作項目」を表示する第１の項目セル６２ａと、「アラーム動作項目」を表示する第２の項目セル６２ｂと、「オプション動作項目」を表示する第３の項目セル６２ｃと、の３つにグループ分けしており、これらの第１〜第３の項目セル６２ａ、６２ｂ、６２ｃは、それぞれ１６個ずつ設けられている。   The item cell 62 stores and displays operation items executed in the automatic purge process. In this embodiment, by arranging the item cells 62 in the row direction, all the operation items in the automatic purge process are displayed in a list, and the row position of the flag cell 66 described later is specified by the item cell 62. In the present embodiment, the item cell 62 includes a first item cell 62a that displays “valve operation item”, a second item cell 62b that displays “alarm operation item”, and an “optional operation item”. The third item cell 62c to be displayed is grouped into three groups, and 16 each of the first to third item cells 62a, 62b, and 62c are provided.

「バルブ動作項目」を表示する第１の項目セル６２ａには、それぞれバルブの開閉動作を示す動作項目が格納され、表示されている。「バルブ動作項目」のうち、例えば「ＡＶ１」はシリンダキャビネット１００のバキューム配管１０８に設けられたバルブＡＶ１を開くまたは閉じる動作項目であり、「ＡＶ２」はパージ配管１１２と左ガス供給配管１０４Ｌの一次側１０４Ｌ１を接続するバルブＡＶ２Ｌを開くまたは閉じる動作項目であり、「ＡＶ３」はベント側配管１１０と左ガス供給配管１０４Ｌの一次側１０４Ｌ１に接続するバルブＡＶ３Ｌを開くまたは閉じる動作項目である。なお、シリンダキャビネット１００では左シリンダ系統のパージに使用するバルブは１０個であるため、「ＡＶ１１」〜「ＡＶ１６」は実行されない（予備の）動作項目となっている。   In the first item cell 62a displaying “valve operation item”, operation items indicating the opening / closing operation of the valve are stored and displayed. Among the “valve operation items”, for example, “AV1” is an operation item for opening or closing the valve AV1 provided in the vacuum pipe 108 of the cylinder cabinet 100, and “AV2” is the primary of the purge pipe 112 and the left gas supply pipe 104L. “AV3” is an operation item for opening or closing the valve AV3L connected to the primary side 104L1 of the vent side piping 110 and the left gas supply piping 104L. In the cylinder cabinet 100, since there are ten valves used for purging the left cylinder system, “AV11” to “AV16” are operation items that are not executed (preliminary).

「アラーム動作項目」を表示する第２の項目セル６２ｂには、圧力計やガス検知器等のセンサ類をチェックして異常の有無を検出する動作項目が格納され、表示されている。「アラーム動作項目」のうち、例えば「ベント側真空不良」は、ベント側配管１１０に設けられた圧力計ＰＴ３をチェックし、適切な真空度が得られている場合にはその旨をタッチパネル１３０に表示し、適切な真空度が得られていない場合には警報をタッチパネル１３０およびその他の警報装置等によって出力すると共に、開いているバルブを全て閉じる動作項目である。   The second item cell 62b for displaying “alarm action item” stores and displays action items for detecting the presence or absence of abnormality by checking sensors such as a pressure gauge and a gas detector. Among the “alarm operation items”, for example, “bent-side vacuum failure” indicates that the pressure gauge PT3 provided in the vent-side piping 110 is checked, and if an appropriate degree of vacuum is obtained, that fact is displayed on the touch panel 130. When an appropriate vacuum degree is not obtained, an alarm is output by the touch panel 130 and other alarm devices, and all open valves are closed.

同様に、「一次側真空不良」は、左ガス供給配管１０４Ｌの一次側１０４Ｌ１の圧力計ＰＴ１Ｌをチェックし、適切な真空度の場合はその旨を出力し、適切な真空度でない場合は警報の出力と共に全てのバルブを閉じる動作項目であり、「二次側真空不良」は、左ガス供給配管１０４Ｌの二次側１０４Ｌ２の圧力計ＰＴ２Ｌをチェックし、適切な真空度の場合はその旨を出力し、適切な真空度でない場合は警報の出力と共にバルブを閉じる動作項目である。また、「パージ圧力異常」は、パージ配管１１２の圧力計ＰＴ４をチェックし、適切な圧力値の場合はその旨を出力し、適切な圧力値でない場合は警報の出力と共にバルブを閉じる動作項目である。   Similarly, “primary side vacuum failure” indicates that the pressure gauge PT1L on the primary side 104L1 of the left gas supply pipe 104L is checked, and if it is an appropriate degree of vacuum, a message to that effect is output. This is an operation item that closes all valves together with the output. “Secondary side vacuum failure” checks the pressure gauge PT2L on the secondary side 104L2 of the left gas supply pipe 104L, and outputs that effect if the degree of vacuum is appropriate If the degree of vacuum is not appropriate, the operation item closes the valve together with an alarm output. “Purge pressure abnormality” is an operation item that checks the pressure gauge PT4 of the purge pipe 112, outputs that effect if the pressure value is appropriate, and closes the valve together with an alarm output if the pressure value is not appropriate. is there.

さらに、図示は省略しているが、「アラーム動作項目」にはこの他にも、圧力計ＰＴ１、ＰＴ２の示す圧力値の時間的変化をチェックすることにより左ガス供給配管１０４Ｌの気密性試験を行う動作項目や、ガス検知器ＧＳによってリークチェックを行う動作項目等が含まれている。   Further, although not shown in the figure, in the “alarm action item”, in addition to this, an airtightness test of the left gas supply pipe 104L is performed by checking temporal changes in pressure values indicated by the pressure gauges PT1 and PT2. Operation items to be performed, operation items to perform a leak check by the gas detector GS, and the like are included.

「オプション動作項目」を表示する第３の項目セル６２ｃには、自動パージ工程における付加的な動作項目が格納され、表示されている。「オプション動作項目」のうち、例えば「確認／取消」は、自動パージ工程における「前パージ」、「容器交換」および「後パージ」等の各工程を開始する旨と共に実行ボタンおよび取消ボタンをタッチパネル１３０に表示し、自動パージ工程の作業員が実行ボタンを操作した場合には次の実行ステップを実行し、作業員が取消ボタンを操作した場合には次の実行ステップを実行することなく処理を終了する動作項目である。また、「確認」は、各種ガイダンス表示と共に確認ボタンをタッチパネル１３０に表示し、作業員が確認ボタンを操作するまでは次の実行ステップを実行しない動作項目である。   In the third item cell 62c displaying “optional action item”, an additional action item in the automatic purge process is stored and displayed. Of the “optional operation items”, for example, “confirmation / cancellation” is a touch panel with an execution button and a cancel button indicating that each process such as “pre-purge”, “container replacement”, and “post-purge” in the automatic purge process is started. 130, the next execution step is executed when the operator of the automatic purge process operates the execution button, and the process is executed without executing the next execution step when the operator operates the cancel button. The action item to end. “Confirmation” is an operation item that displays a confirmation button on the touch panel 130 together with various guidance displays and does not execute the next execution step until the operator operates the confirmation button.

また、「サイクルパージ」は、指定した１つまたは複数の実行ステップを基本設定テーブル５０ａに設定された繰返回数だけ繰り返す動作項目であり、「回数加算」は、指定した実行ステップを繰り返した回数をカウントする動作項目であり、「回数比較」は、基本設定テーブル５０ａに設定された繰返回数とカウント回数を比較し、カウント回数が設定された繰返回数に到達したならば繰り返しを終了して次の実行ステップを実行する動作項目である。   “Cycle purge” is an operation item that repeats one or more designated execution steps for the number of repetitions set in the basic setting table 50a, and “number addition” is the number of times the specified execution step is repeated. The “count comparison” compares the number of repetitions set in the basic setting table 50a with the number of counts, and ends the repetition when the number of counts reaches the set number of repetitions. This is an action item for executing the next execution step.

また、「前パージ」、「容器交換」、「気密試験」、「後パージ」および「実ガス置換」は、自動パージ工程に含まれるこれらの各工程の開始および終了を設定すると共に、各工程の開始および終了を作業員に確認させるための動作項目であり、「終了」は、自動パージ工程を終了させる動作項目である。   In addition, “pre-purge”, “container replacement”, “air tightness test”, “post-purge” and “actual gas replacement” set the start and end of each of these steps included in the automatic purge step, and each step Is an operation item for causing the worker to confirm the start and end of the operation, and “End” is an operation item for ending the automatic purge process.

なお、項目セル６２に格納して表示する動作項目が上述のものに限定されないことは、言うまでもない。すなわち、バルブの個数や配管構成等に応じて、自動パージ工程に必要な動作を動作項目として設定すればよい。また、本実施形態では、１６×３＝４８個の動作項目を設定しているが、動作項目（項目セル６２）の個数はこれ以外の個数であってもよいし、項目セル６２のグループを追加または削減するようにしてもよい。また、項目セル６２のグループの中に動作項目を格納していない空欄の項目セル６２を設けるようにしてもよい。   Needless to say, the action items stored and displayed in the item cell 62 are not limited to those described above. That is, an operation required for the automatic purge process may be set as an operation item according to the number of valves, the piping configuration, and the like. In this embodiment, 16 × 3 = 48 action items are set, but the number of action items (item cells 62) may be other than this, and a group of item cells 62 may be defined. You may make it add or reduce. Also, a blank item cell 62 in which no action item is stored may be provided in the group of item cells 62.

入力セル６４は、動作情報等を実行ステップごとに入力するためのものであり、動作情報等として入力された文字列や数値は、入力受付手段８０によって入力セル６４に格納され、表示される。本実施形態では、入力セル６４として、動作情報の基本的な情報を入力する基本入力セル６４ａと、動作情報の追加的な情報（補完的な情報）を入力する追加入力セル６４ｂと、基本設定テーブル５０ａに設定された時間番号を入力する時間番号入力セル６４ｃと、タッチパネル１３０に表示するガイダンスの番号を入力するガイダンス番号入力セル６４ｄと、の４つを１つの行に設けると共に、各行の左端にステップ番号を付すようにしている。   The input cell 64 is for inputting operation information or the like for each execution step, and the character string or numerical value input as the operation information or the like is stored in the input cell 64 by the input receiving means 80 and displayed. In the present embodiment, as the input cell 64, a basic input cell 64a for inputting basic information of operation information, an additional input cell 64b for inputting additional information (complementary information) of operation information, and basic setting Four time number input cells 64c for inputting time numbers set in the table 50a and guidance number input cells 64d for inputting guidance numbers to be displayed on the touch panel 130 are provided in one line, and the left end of each line. Is given a step number.

すなわち、入力セル６４は、１つの実行ステップの情報を１行にまとめて入力すると共に、各実行ステップの実行順どおりに列方向（下方向）に情報を順次入力していくように構成されており、列位置によって各実行ステップを特定できるようになっている。   In other words, the input cell 64 is configured to input information of one execution step in a row and to sequentially input information in the column direction (downward) according to the execution order of each execution step. Each execution step can be specified by the column position.

基本入力セル６４ａは、項目セル６２に表示された動作項目をそのまま入力するものである。すなわち、基本入力セル６４ａへの入力により、各実行ステップにおいて項目セル６２に表示された動作項目のいずれを実行するが設定される。基本入力セル６４ａへの動作項目の入力は、キーボード等によって同一の文字列を打ち込むようにしてもよいし、項目セル６２の内容をコピー・アンド・ペーストするようにしてもよい。   The basic input cell 64a is used to input the operation item displayed in the item cell 62 as it is. That is, which of the action items displayed in the item cell 62 is set to be executed in each execution step is set by input to the basic input cell 64a. For the input of the action item to the basic input cell 64a, the same character string may be entered by using a keyboard or the like, or the contents of the item cell 62 may be copied and pasted.

追加入力セル６４ｂは、基本入力セル６４ａに入力された情報を補完するような情報等を追加して入力するものである。追加入力セル６４ｂには、例えば同一行の基本入力セル６４ａに「確認／取消」を入力した場合には「前パージ」または「容器交換」等、いずれの工程を開始するかの情報を入力する。また、例えば基本入力セル６４ａに「ＡＶ１」等を入力した場合には、同一行の追加入力セル６４ｂに「開」または「閉」と入力することで、バルブＡＶ１を開くのか閉じるのかを設定する。なお、追加する情報がない場合には、追加入力セル６４ｂには何も入力しない。また、追加入力セル６４ｂに実行ステップについてのコメントやメモ、解説等を入力するようにしてもよい。   The additional input cell 64b is used to add and input information that complements the information input to the basic input cell 64a. In the additional input cell 64b, for example, when “confirmation / cancellation” is input to the basic input cell 64a in the same row, information on which process to start such as “pre-purge” or “container replacement” is input. . For example, when “AV1” or the like is input to the basic input cell 64a, whether the valve AV1 is opened or closed is set by inputting “open” or “closed” to the additional input cell 64b in the same row. . When there is no information to be added, nothing is input to the additional input cell 64b. Further, a comment, a memo, an explanation, etc. regarding the execution step may be input to the additional input cell 64b.

時間番号入力セル６４ｃは、基本設定テーブル５０ａの「時間設定」に設定された継続時間の番号（時間番号）を入力するものである。すなわち、時間番号入力セル６４ｃへの時間番号の入力により、各実行ステップの継続時間が設定される。例えば、実行ステップの継続時間を５秒に設定する場合には基本設定テーブル５０ａを参照して時間番号入力セル６４ｃに「４」を入力し、実行ステップの継続時間を１０秒に設定する場合には基本設定テーブル５０ａを参照して時間番号入力セル６４ｃに「５」を入力する。   The time number input cell 64c is used to input a duration number (time number) set in “time setting” of the basic setting table 50a. That is, the duration of each execution step is set by inputting the time number to the time number input cell 64c. For example, when the duration of the execution step is set to 5 seconds, “4” is input to the time number input cell 64c with reference to the basic setting table 50a, and the duration of the execution step is set to 10 seconds. Refers to the basic setting table 50a and inputs “5” into the time number input cell 64c.

各時間番号入力セル６４ｃには、同一行に隣接して２つの時間情報表示セル６８が設けられている。動作設定テーブル生成手段８２は、時間番号入力セル６４ｃに格納された時間番号に基づき、その実行ステップの継続時間の値および継続時間の単位を、同一行に隣接する２つの時間情報表示セル６８にそれぞれ格納して表示させる。   Each time number input cell 64c is provided with two time information display cells 68 adjacent to the same row. Based on the time number stored in the time number input cell 64c, the operation setting table generating means 82 sets the duration value and duration unit of the execution step to the two time information display cells 68 adjacent to the same row. Store and display each.

具体的には、これら２つの時間情報表示セル６８には、同一行の時間番号入力セル６４ｃに格納された時間番号に基づいて基本設定テーブル５０ａの「時間設定」を参照し、格納された時間番号に設定された継続時間を取得して自身に格納する関数、および格納された時間番号に設定された単位を取得して自身に格納する関数がそれぞれ設定されている。すなわち、本実施形態では、セルに設定した関数によって動作設定テーブル生成手段８２を実現している。これにより、２つの時間情報表示セル６８には、例えば「５」および「秒」等、各実行ステップの継続時間および単位がそれぞれ表示されるようになっている。   Specifically, these two time information display cells 68 refer to the “time setting” of the basic setting table 50a based on the time number stored in the time number input cell 64c of the same row, and store the stored time. A function for acquiring the duration set in the number and storing it in itself, and a function for acquiring the unit set in the stored time number and storing it in itself are set. That is, in the present embodiment, the operation setting table generating unit 82 is realized by a function set in a cell. Thereby, the duration and unit of each execution step such as “5” and “second” are displayed in the two time information display cells 68, respectively.

自動パージ工程においては、例えば各配管を真空引きまたはパージする際のバルブの開動作や、図示を省略した気密性試験およびリークチェック等、所定の期間にわたって動作状態を保持する必要がある実行ステップが含まれるところ、本実施形態では、時間番号入力セル６４ｃと時間情報表示セル６８を設けることにより、このような実行ステップの継続時間（すなわち、保持期間）を、各工場の安全基準や作業標準等に応じて容易に設定および変更することが可能となっている。   In the automatic purge process, for example, there are execution steps that need to maintain the operation state for a predetermined period, such as valve opening operation when evacuating or purging each pipe, airtightness test and leak check (not shown), etc. In the present embodiment, the time number input cell 64c and the time information display cell 68 are provided in this embodiment, so that the duration (that is, the holding period) of such an execution step is set as the safety standard or work standard of each factory. It can be easily set and changed according to the situation.

さらに、本実施形態では、バルブの閉動作等も含め、全ての実行ステップの継続時間を設定することにより、自動パージ工程の全工程に要する時間、および「前パージ」や「容器交換」等の個別の工程に要する時間を、予め容易に把握することが可能となっている。従って、作業時間を考慮した実際的な動作手順を早い段階から設定することが可能となっている。また、各工程や各実行ステップの進捗状況を時間管理することができるため、例えばカウントダウン表示といった分かりやすいガイダンスを行うことが可能となっている。   Furthermore, in this embodiment, by setting the duration time of all execution steps including valve closing operation, the time required for all the automatic purge steps, and “pre-purge”, “container replacement”, etc. The time required for individual processes can be easily grasped in advance. Therefore, it is possible to set a practical operation procedure in consideration of work time from an early stage. Moreover, since the progress status of each process and each execution step can be managed in time, easy-to-understand guidance such as countdown display can be performed.

また、本実施形態では、時間番号入力セル６４ｃと時間情報表示セル６８とを個別に設けることで、各実行ステップの継続時間の入力および修正を容易としながらも、これによって動作情報入力テーブル６０および動作設定テーブル６０ａの閲覧性が阻害されないようにしている。   Further, in the present embodiment, the time number input cell 64c and the time information display cell 68 are individually provided to facilitate the input and correction of the duration of each execution step. The viewability of the operation setting table 60a is not disturbed.

ガイダンス番号入力セル６４ｄは、図示を省略したガイダンス番号参照表に設定されたガイダンス番号を入力するものである。すなわち、本実施形態では、ガイダンス番号入力セル６４ｄへのガイダンス番号の入力により、各実行ステップの実行中にタッチパネル１３０に表示されるガイダンスの内容が設定されるようになっている。   The guidance number input cell 64d is for inputting a guidance number set in a guidance number reference table (not shown). That is, in the present embodiment, the guidance content displayed on the touch panel 130 during the execution of each execution step is set by inputting the guidance number to the guidance number input cell 64d.

なお、項目セル６２に表示された動作項目をそのまま基本入力セル６４ａに入力するのではなく、時間番号入力セル６４ｃのように、各動作項目に対応付けた記号や番号等を基本入力セル６４ａに入力するようにしてもよい。同様に、追加入力セル６４ｂについても、予め設定された記号等を入力するようにしてもよい。この場合さらに、基本入力セル６４ａまたは追加入力セル６４ｂに入力された記号等に基づいて動作項目を取得して格納する関数が設定された動作項目表示セルを同一行に設けるようにしてもよい。   The action item displayed in the item cell 62 is not input to the basic input cell 64a as it is, but the symbol or number associated with each action item is input to the basic input cell 64a as in the time number input cell 64c. You may make it input. Similarly, a symbol or the like set in advance may be input to the additional input cell 64b. In this case, operation item display cells in which a function for acquiring and storing an operation item based on a symbol or the like input to the basic input cell 64a or the additional input cell 64b may be provided in the same row.

また、基本入力セル６４ａ、追加入力セル６４ｂ、時間番号入力セル６４ｃおよびガイダンス番号入力セル６４ｄに加え、さらに他の情報を入力する入力セル６４を設けるようにしてもよい。また、基本入力セル６４ａと追加入力セル６４ｂを１つの入力セル６４に統合し、動作情報の基本的な情報および追加的な情報を、文字列または数値の例えば前半部分および後半部分に分けて入力するようにしてもよい。さらに、時間番号入力セル６４ｃまたはガイダンス番号入力セル６４ｄを、基本入力セル６４ａまたは追加入力セル６４ｂと統合するようにしてもよい。すなわち、１つの入力セル６４に複数の入力領域を設け、複数種類の情報を入力領域ごとに入力するようにしてもよい。   In addition to the basic input cell 64a, the additional input cell 64b, the time number input cell 64c, and the guidance number input cell 64d, an input cell 64 for inputting other information may be provided. Further, the basic input cell 64a and the additional input cell 64b are integrated into one input cell 64, and the basic information and additional information of the operation information are divided into character strings or numerical values, for example, input into the first half part and the second half part. You may make it do. Furthermore, the time number input cell 64c or the guidance number input cell 64d may be integrated with the basic input cell 64a or the additional input cell 64b. That is, a plurality of input areas may be provided in one input cell 64, and a plurality of types of information may be input for each input area.

また、時間番号入力セル６４ｃおよび時間情報表示セル６８を設ける代わりに、各実行ステップの継続時間および単位を直接入力する入力セル６４を設けるようにしてもよい。また、１つの時間情報表示セル６８に継続時間および単位をまとめて表示するようにしてもよい。また、ガイダンス番号入力セル６４ｄを設けるのではなく、基本入力セル６４ａまたは追加入力セル６４ｂに入力された情報等に基づき、参照表等からガイダンス番号を取得して格納する関数が設定されたガイダンス番号表示セルを設けるようにしてもよい。   Further, instead of providing the time number input cell 64c and the time information display cell 68, an input cell 64 for directly inputting the duration and unit of each execution step may be provided. Further, the duration and unit may be displayed together in one time information display cell 68. Further, instead of providing the guidance number input cell 64d, a guidance number in which a function for obtaining and storing a guidance number from a reference table or the like based on information input to the basic input cell 64a or the additional input cell 64b is set. A display cell may be provided.

フラグセル６６は、各実行ステップにおいて各動作項目を実行するか否かを示すフラグ情報を格納して表示するものであり、各実行ステップ（ステップ番号）と各動作項目を１対１で対応付けるように行列配置されている。従って、各実行ステップと同一行にある各フラグセル６６は、自身と同一列の項目セル６２に表示された動作項目をその実行ステップにおいて実行するか否かを示すように構成されている。   The flag cell 66 stores and displays flag information indicating whether or not each action item is executed in each execution step, and associates each execution step (step number) with each action item on a one-to-one basis. It is arranged in a matrix. Accordingly, each flag cell 66 in the same row as each execution step is configured to indicate whether or not the action item displayed in the item cell 62 in the same column as itself is executed in the execution step.

本実施形態では、同一列の項目セル６２に表示された動作項目の実行を示すフラグ情報を数値の「１」とし、不実行を示すフラグ情報を数値の「０」としている。動作設定テーブル生成手段８２は、基本入力セル６４ａまたは追加入力セル６４ｂに入力された情報に基づいて、各フラグセル６６に「１」または「０」のフラグ情報を格納して表示する。これにより、動作情報入力テーブル６０の内容が変更され、自動パージ工程における動作手順がフラグセル６６に格納されたフラグ情報として設定された動作設定テーブル６０ａが生成される。   In the present embodiment, the flag information indicating execution of the action item displayed in the item cell 62 in the same column is set to a numerical value “1”, and the flag information indicating non-execution is set to a numerical value “0”. The operation setting table generation unit 82 stores and displays flag information “1” or “0” in each flag cell 66 based on the information input to the basic input cell 64a or the additional input cell 64b. As a result, the contents of the operation information input table 60 are changed, and an operation setting table 60 a in which the operation procedure in the automatic purge process is set as flag information stored in the flag cell 66 is generated.

上述のように、本実施形態では、セルに設定した関数によって動作設定テーブル生成手段８２を実現している。例えば、フラグセル６６のうち、「バルブ動作項目」を表示する第１の項目セル６２ａと同一列に配置された第１のフラグセル６６ａには、自身と同一行の基本入力セル６４ａに自身と同一列の動作項目が格納されると共に自身と同一行の追加入力セル６４ｂに「閉」が格納されている場合には自身に「０」を格納し、それ以外の場合には、自身と同一行の基本入力セル６４ａに自身と同一列の第１の項目セル６２ａの動作項目が格納されると共に自身と同一行の追加入力セル６４ｂに「開」が格納されている、または自身の１つ上（１つ前の実行ステップ）の行且つ自身と同一列の第１のフラグセル６６ａに「１」が格納されているならば自身に「１」を格納し、いずれにも該当しないならば自身に「０」を格納する関数が設定されている。   As described above, in this embodiment, the operation setting table generating unit 82 is realized by a function set in a cell. For example, among the flag cells 66, the first flag cell 66a arranged in the same column as the first item cell 62a displaying “valve operation item” has the same column as the self in the basic input cell 64a in the same row as itself. Is stored and “0” is stored in the additional input cell 64b in the same row as itself, otherwise “0” is stored in the other row. The operation item of the first item cell 62a in the same column as itself is stored in the basic input cell 64a and “open” is stored in the additional input cell 64b in the same row as itself, or one above ( If “1” is stored in the first flag cell 66a in the same row as the row of the previous execution step), “1” is stored in itself, and if it does not correspond to any, “1” is stored in “1”. Function to store “0” is set

これにより、第１のフラグセル６６ａにおいては、図４または図５に示されるように、例えばステップ番号７において基本入力セル６４ａに「ＡＶ７」と入力されると共に追加入力セル６４ｂに「開」と入力され、ステップ番号１５において基本入力セル６４ａに「ＡＶ７」と入力されると共に追加入力セル６４ｂに「閉」と入力された場合には、「ＡＶ７」と表示された第１の項目セル６２ａと同一列の第１のフラグセル６６ａは、ステップ番号７から１４までの間において「１」が格納されて表示されることとなる。   As a result, in the first flag cell 66a, as shown in FIG. 4 or 5, for example, “AV7” is input to the basic input cell 64a and “open” is input to the additional input cell 64b at step number 7. When “AV7” is input to the basic input cell 64a and “closed” is input to the additional input cell 64b at step number 15, it is the same as the first item cell 62a displayed as “AV7”. In the first flag cell 66a in the column, “1” is stored and displayed between step numbers 7 to 14.

すなわち、第１のフラグセル６６ａにおいては、図４または図５に示されるように、フラグ情報として「１」が格納および表示された第１のフラグセル６６ａの、行位置（横方向の位置）によっていずれのバルブが開状態であるかが特定され、列位置（縦方向の位置）によっていずれの実行ステップにおいて当該バルブが開状態であるかが特定される。   That is, in the first flag cell 66a, as shown in FIG. 4 or FIG. 5, depending on the row position (lateral position) of the first flag cell 66a in which “1” is stored and displayed as the flag information. Whether the valve is open is specified, and in which execution step the valve is open is specified by the row position (position in the vertical direction).

第１のフラグセル６６ａの関数をこのように設定することで、バルブの開状態が複数の実行ステップにわたるような場合にも、これを容易に設定することが可能となる。さらに、動作設定シート６０ａにおいて、各バルブの開閉状態を第１のフラグセル６６ａによってチャート的に表示することができるため、各バルブの開閉状態の確認を容易にすると共に、バルブの閉じ忘れ等の入力ミスを容易に発見することが可能となる。   By setting the function of the first flag cell 66a in this way, it is possible to easily set this even when the valve open state extends over a plurality of execution steps. Further, in the operation setting sheet 60a, the open / close state of each valve can be displayed in a chart by the first flag cell 66a, so that it is easy to check the open / close state of each valve and input such as forgetting to close the valve. It becomes possible to easily find mistakes.

また、「アラーム動作項目」を表示する第２の項目セル６２ｂと同一列に配置された第２のフラグセル６６ｂには、自身と同一行の基本入力セル６４ａに自身と同一列の第１の項目セル６２ａの動作項目が格納されている場合には自身に「１」を格納し、それ以外の場合には自身に「０」を格納する関数が設定されている。   In addition, the second flag cell 66b arranged in the same column as the second item cell 62b displaying the “alarm action item” includes the first item in the same column as itself in the basic input cell 64a in the same row as itself. When the operation item of the cell 62a is stored, “1” is stored in itself, and in other cases, a function is set in which “0” is stored in itself.

すなわち、第２のフラグセル６６ｂにおいては、図４または図５に示されるように、フラグ情報として「１」が格納および表示された第２のフラグセル６６ｂの、行位置（横方向の位置）によって「アラーム動作項目」に含まれるいずれの動作項目が実行されるかが特定され、列位置（縦方向の位置）によっていずれの実行ステップにおいて当該動作項目が実行されるかが特定される。   That is, in the second flag cell 66b, as shown in FIG. 4 or FIG. 5, “2” is stored and displayed as flag information according to the row position (lateral position) of the second flag cell 66b. Which action item included in the “alarm action item” is specified, and in which execution step the action item is executed is specified by the column position (position in the vertical direction).

また、「オプション動作項目」を表示する第３の項目セル６２ｃと同一列に配置された第３のフラグセル６６ｃには、動作項目に応じた関数が列ごとに設定されている。例えば「確認／取消」、「確認」、「回数加算」、「回数比較」および「終了」を表示した第３の項目セル６２ｃと同一列に配置された第３のフラグセル６６ｃには、自身と同一行の基本入力セル６４ａに自身と同一列の第１の項目セル６２ａの動作項目が格納されている場合には自身に「１」を格納し、それ以外の場合には自身に「０」を格納する関数が設定されている。   In addition, a function corresponding to the action item is set for each column in the third flag cell 66c arranged in the same column as the third item cell 62c displaying the “option action item”. For example, the third flag cell 66c arranged in the same column as the third item cell 62c displaying “confirmation / cancellation”, “confirmation”, “number addition”, “number comparison”, and “end” includes If the operation item of the first item cell 62a in the same column as itself is stored in the basic input cell 64a in the same row, “1” is stored in itself, otherwise “0” is stored in itself. A function to store is set.

これにより、これらの第３のフラグセル６６ｃにおいては、図４または図５に示されるように、フラグ情報として「１」が格納および表示された第３のフラグセル６６ｃの、行位置（横方向の位置）によって「アラーム動作項目」に含まれるいずれの動作項目が実行されるかが特定され、列位置（縦方向の位置）によっていずれの実行ステップにおいて当該動作項目が実行されるかが特定される。   As a result, in these third flag cells 66c, as shown in FIG. 4 or 5, the row position (lateral position) of the third flag cell 66c in which “1” is stored and displayed as the flag information is displayed. ) Specifies which of the action items included in the “alarm action item” is to be executed, and in which execution step the action item is to be executed is specified by the column position (vertical position).

また、「サイクルパージ」を表示した第３の項目セル６２ｃと同一列に配置された第３のフラグセル６６ｃには、自身の１つ上（１つ前の実行ステップ）の行且つ「回数比較」を表示した第３の項目セル６２ｃと同一列の第３のフラグセル６６ｃに「１」が格納されている場合には自身に「０」を格納し、それ以外の場合には、自身と同一行且つ「回数加算」を表示した第３の項目セル６２ｃと同一列の第３のフラグセル６６ｃに「１」が格納されている、または自身の１つ上（１つ前の実行ステップ）の行且つ自身と同一列の第３のフラグセル６６ｃに「１」が格納されているならば自身に「１」を格納し、いずれにも該当しないならば自身に「０」を格納する関数が設定されている。   Further, the third flag cell 66c arranged in the same column as the third item cell 62c displaying “cycle purge” includes a row one above (the previous execution step) and “number of times comparison”. If “1” is stored in the third flag cell 66c in the same column as the third item cell 62c displaying “0”, “0” is stored in itself. Otherwise, the same row as itself is stored. In addition, “1” is stored in the third flag cell 66c in the same column as the third item cell 62c displaying “addition of the number of times”, or the row above itself (the previous execution step) and If “1” is stored in the third flag cell 66c in the same column as itself, “1” is stored in the third flag cell 66c. Yes.

これにより、「サイクルパージ」を表示した第３の項目セル６２ｃと同一列に配置された第３のフラグセル６６ｃには、例えば図５のステップ番号３６〜５０に示されるように、基本設定テーブル５０ａの「パージ繰返回数設定」に設定された回数だけ繰り返される実行ステップ（「回数加算」を実行する実行ステップから「回数比較」を実行する実行ステップまで）において「１」のフラグ情報が格納されることとなる。   As a result, in the third flag cell 66c arranged in the same column as the third item cell 62c displaying “cycle purge”, for example, as shown in step numbers 36 to 50 in FIG. The flag information of “1” is stored in the execution step (from the execution step of executing “addition of number of times” to the execution step of executing “comparison of the number of times”) that is repeated the number of times set in “setting of the number of repetitions of purge”. The Rukoto.

このように関数を設定することで、繰り返し実行される実行ステップを容易に設定することが可能となる。さらに、繰り返される実行ステップを動作設定シート６０ａにおいてチャート的に表示することができるため、繰り返される実行ステップの確認および入力ミス等の発見を容易にすることが可能となる。   By setting the function in this way, it is possible to easily set an execution step that is repeatedly executed. Furthermore, since repeated execution steps can be displayed in a chart on the operation setting sheet 60a, confirmation of repeated execution steps and discovery of input errors and the like can be facilitated.

また、自動パージ工程に含まれる各工程である「前パージ」、「容器交換」、「気密試験」、「後パージ」および「実ガス試験」を表示した第３の項目セル６２ｃと同一列に配置された第３のフラグセル６６ｃには、自身の１つ上（１つ前の実行ステップ）の行の基本入力セル６４ａに「確認」が格納されると共に自身の１つ上（１つ前の実行ステップ）の行の追加入力セル６４ｂに自身と同一列の第１の項目セル６２ａの動作項目が格納されている場合には自身に「０」を格納し、それ以外の場合には、自身と同一行の基本入力セル６４ａに「確認／取消」が格納されると共に自身と同一行の追加入力セル６４ｂに自身と同一列の第１の項目セル６２ａの動作項目が格納されている、または自身の１つ上（１つ前の実行ステップ）の行且つ自身と同一列の第３のフラグセル６６ｃに「１」が格納されているならば自身に「１」を格納し、いずれにも該当しないならば自身に「０」を格納する関数が設定されている。   Also, in the same column as the third item cell 62c displaying “pre-purge”, “container replacement”, “air tightness test”, “post-purge” and “actual gas test” which are included in the automatic purge process. In the arranged third flag cell 66c, “confirmation” is stored in the basic input cell 64a in the row immediately above itself (the previous execution step), and at the same time the previous flag cell 66c. If the action item of the first item cell 62a in the same column as itself is stored in the additional input cell 64b of the row in the execution step), "0" is stored in itself, otherwise it is stored in itself "Confirm / Cancel" is stored in the basic input cell 64a in the same row and the operation item of the first item cell 62a in the same column as itself is stored in the additional input cell 64b in the same row as itself, or The line above one (the previous execution step) and If “1” is stored in the third flag cell 66c in the same column as the body, “1” is stored in itself, and if it does not correspond to any of these, a function for storing “0” is set in itself. Yes.

これにより、これらの第３のフラグセル６６ｃには、例えば図５のステップ番号１〜６４に示されるように、各工程に含まれる実行ステップ（各工程の開始を確認する実行ステップから各工程の終了を確認する実行ステップまで）において「１」のフラグ情報が格納されることとなる。   Thereby, in these third flag cells 66c, for example, as shown in step numbers 1 to 64 in FIG. 5, execution steps included in each step (from the execution step for confirming the start of each step to the end of each step). The flag information “1” is stored in the execution step of confirming (1).

このように関数を設定することで、自動パージ工程に含まれる各工程の開始および終了を容易に設定すると共に、各工程の範囲を動作設定シート６０ａにおいてチャート的に表示することができるため、各工程に含まれる実行ステップの確認および入力ミス等の発見を容易にすることが可能となる。   By setting the function in this way, the start and end of each process included in the automatic purge process can be easily set and the range of each process can be displayed in a chart on the operation setting sheet 60a. It is possible to easily check execution steps included in the process and find input mistakes.

各フラグセル６６（第１〜第３のフラグセル６６ａ、６６ｂ、６６ｃ）には、このようにして入力セル６４への入力内容に基づいた「０」または「１」のフラグ情報が格納され、表示される。また、第１〜第３のフラグセル６６ａ、６６ｂ、６６ｃは、第１〜第３の項目セル６２ａ、６２ｂ、６２ｃに対応して１つの実行ステップごとに１６個ずつそれぞれ設けられているため、フラグセル６６のフラグ情報は、各実行ステップにおいて動作項目グループごとの１６ビットの情報として取り扱うことが可能となっている。   In each flag cell 66 (first to third flag cells 66a, 66b, 66c), the flag information “0” or “1” based on the input contents to the input cell 64 is stored and displayed. The Since the first to third flag cells 66a, 66b, 66c are provided for each of the execution steps corresponding to the first to third item cells 62a, 62b, 62c, 16 flag cells are provided. The 66 flag information can be handled as 16-bit information for each action item group in each execution step.

なお、各フラグセル６６に設定される関数は、上述のものに限定されず、その他の関数であってもよい。また、時間番号入力セル６４ｃ、ガイダンス番号入力セル６４ｄまたは時間情報表示セル６８に基づく関数をフラグセル６６に設定するようにしてもよい。また、各フラグセル６６に格納されるフラグ情報は、「０」および「１」以外の数値または文字等であってもよいことは言うまでもない。   Note that the functions set in each flag cell 66 are not limited to those described above, and may be other functions. A function based on the time number input cell 64c, the guidance number input cell 64d, or the time information display cell 68 may be set in the flag cell 66. Needless to say, the flag information stored in each flag cell 66 may be a numerical value or a character other than “0” and “1”.

入力受付手段８０は、入力装置２２を介したユーザの入力を受け付けると共に、これに基づいて動作情報入力テーブル６０の入力セル６４の内容を変更する。そして、動作設定テーブル生成手段８２、すなわちフラグセル６６および時間情報表示セル６８に設定された関数は、入力セル６４の内容に基づいて、フラグセル６６および時間情報表示セル６８内容を変更し、これにより、図５に示されるような動作設定テーブル６０ａが生成される。   The input receiving unit 80 receives user input via the input device 22 and changes the contents of the input cell 64 of the operation information input table 60 based on the input. Then, the operation setting table generating means 82, that is, the function set in the flag cell 66 and the time information display cell 68 changes the contents of the flag cell 66 and the time information display cell 68 based on the contents of the input cell 64. An operation setting table 60a as shown in FIG. 5 is generated.

生成された動作設定テーブル６０ａは、一旦ＲＡＭ１６に記憶された後、または直接補助記憶装置１８に記憶される。ユーザは、動作設定テーブル６０ａを印刷出力する等して内容をチェックし、必要であれば動作設定テーブル６０ａを修正する。動作設定テーブル６０ａには、基本入力セル６４ａおよび追加入力セル６４ｂにおいて自動パージ工程における動作項目が列方向に沿って実行順に表示されると共に、フラグセル６６において実行ステップを示す入力セル６４および動作項目を表示する項目セル６２に対応付けられた配列でフラグ情報がチャート的に表示されるため、動作手順の設定内容のチェックおよび修正が容易となっている。   The generated operation setting table 60 a is once stored in the RAM 16 or directly stored in the auxiliary storage device 18. The user checks the contents by printing out the operation setting table 60a, and corrects the operation setting table 60a if necessary. In the operation setting table 60a, the operation items in the automatic purge process in the basic input cell 64a and the additional input cell 64b are displayed in the execution order along the column direction, and the input cell 64 and the operation item indicating the execution step in the flag cell 66 are displayed. Since the flag information is displayed in a chart in an array corresponding to the item cell 62 to be displayed, it is easy to check and correct the setting contents of the operation procedure.

また、動作設定テーブル６０ａの生成後、必要であれば基本設定テーブル５０ａを修正することも可能である。この場合、基本設定テーブル５０ａの修正後に、動作設定テーブル６０ａのワークシートを再計算させるだけで、基本設定テーブル５０ａの修正が動作設定テーブル６０ａに反映されることとなるため、容易に基本設定を変更することが可能となっている。   In addition, after the operation setting table 60a is generated, the basic setting table 50a can be modified if necessary. In this case, after the basic setting table 50a is corrected, the basic setting table 50a is reflected in the operation setting table 60a simply by recalculating the worksheet of the operation setting table 60a. It is possible to change.

動作情報入力テーブル６０への入力が完了し、動作設定テーブル６０ａが生成されたならば、次にユーザは、表計算ファイル４０に含まれるマクロプログラム７０を実行させる。マクロプログラム７０、すなわち制御情報生成手段８４は、基本設定テーブル５０ａおよび動作設定テーブル６０ａに基づいて、制御情報９０を生成する。図６は、制御情報９０の生成方法を概念的に示した図である。   When the input to the operation information input table 60 is completed and the operation setting table 60a is generated, the user next executes the macro program 70 included in the spreadsheet file 40. The macro program 70, that is, the control information generating unit 84 generates the control information 90 based on the basic setting table 50a and the operation setting table 60a. FIG. 6 is a diagram conceptually showing a method for generating the control information 90.

同図に示されるように、制御情報９０は、基本設定を示した基本設定情報９２と、時間設定を示した時間設定情報９４と、ガイダンス設定を示したガイダンス設定情報９６と、動作手順の設定を示した動作制御情報９８と、から構成され、動作制御情報９８は、バルブ動作項目の設定を示したバルブ動作制御情報９８ａと、アラーム動作項目の設定を示したアラーム動作制御情報９８ｂと、オプション動作項目の設定を示したオプション動作制御情報９８ｃと、から構成されている。   As shown in the figure, the control information 90 includes basic setting information 92 indicating basic settings, time setting information 94 indicating time settings, guidance setting information 96 indicating guidance settings, and operation procedure settings. The operation control information 98 includes the valve operation control information 98a indicating the setting of the valve operation item, the alarm operation control information 98b indicating the setting of the alarm operation item, and an option. And optional operation control information 98c indicating the setting of the operation item.

制御情報生成手段８４は、基本設定テーブル５０ａに基づいて基本設定情報９２を生成し、動作設定テーブル６０ａの時間情報表示セル６８の内容に基づいて時間設定情報９４を生成し、動作設定テーブル６０ａのガイダンス番号入力セル６４ｄの内容に基づいてガイダンス設定情報９６を生成する。また、制御情報生成手段８４は、動作設定テーブル６０ａのフラグセル６６の内容に基づいて動作制御情報９８を生成する。   The control information generation means 84 generates basic setting information 92 based on the basic setting table 50a, generates time setting information 94 based on the contents of the time information display cell 68 of the operation setting table 60a, Guidance setting information 96 is generated based on the content of the guidance number input cell 64d. Further, the control information generation unit 84 generates the operation control information 98 based on the contents of the flag cell 66 of the operation setting table 60a.

具体的に、制御情報生成手段８４は、「バルブ動作項目」に対応した第１のフラグセル６６ａの内容に基づいてバルブ動作制御情報９８ａを生成し、「アラーム動作項目」に対応した第２のフラグセル６６ｂの内容に基づいてアラーム動作制御情報９８ｂを生成し、「オプション動作項目」に対応した第３のフラグセル６６ｃの内容に基づいてオプション動作制御情報９８ｃを生成する。   Specifically, the control information generation unit 84 generates the valve operation control information 98a based on the contents of the first flag cell 66a corresponding to the “valve operation item”, and the second flag cell corresponding to the “alarm operation item”. Alarm operation control information 98b is generated based on the content of 66b, and optional operation control information 98c is generated based on the content of the third flag cell 66c corresponding to the “optional operation item”.

バルブ動作制御情報９８ａの生成において、制御情報生成手段８４は、第１のフラグセル６６ａに格納されたフラグ情報を、図６における破線の矢印に示されるように、第１のフラグセル６６ａの行位置を実行ステップ順に上位となる各桁とする１つの２進数である第１の２進数９８ａ１として取得する。そして、この第１の２進数９８ａ１を１６進数の文字列に変換したものをバルブ動作制御情報９８ａとして生成する。   In the generation of the valve operation control information 98a, the control information generation unit 84 uses the flag information stored in the first flag cell 66a as the line position of the first flag cell 66a as shown by the broken arrow in FIG. Obtained as a first binary number 98a1, which is one binary number that is the upper digit in the order of execution steps. Then, the first binary number 98a1 converted into a hexadecimal character string is generated as the valve operation control information 98a.

制御情報生成手段８４は、同様に、第２のフラグセル６６ｂに格納されたフラグ情報を第２の２進数９８ｂ１として取得し、第２の２進数９８ｂ１を１６進数の文字列に変換したものをアラーム動作制御情報９８ｂとして生成すると共に、第３のフラグセル６６ｃに格納されたフラグ情報を第３の２進数９８ｃ１として取得し、第３の２進数９８ｃ１を１６進数の文字列に変換したものをオプション動作制御情報９８ｃとして生成する。なお、第１の２進数９８ａ１、第２の２進数９８ｂ１および第３の２進数９８ｃ１は、数値であってもよいし、文字列であってもよい。   Similarly, the control information generation means 84 acquires the flag information stored in the second flag cell 66b as the second binary number 98b1, and generates an alarm by converting the second binary number 98b1 into a hexadecimal character string. The operation control information 98b is generated and the flag information stored in the third flag cell 66c is acquired as the third binary number 98c1, and the third binary number 98c1 converted into a hexadecimal character string is an optional operation. It generates as control information 98c. The first binary number 98a1, the second binary number 98b1, and the third binary number 98c1 may be numerical values or character strings.

生成された制御情報９０は、表計算ファイル４０に含まれるワークシートの１つとして、一旦ＲＡＭ１６に記憶された後、または直接補助記憶装置１８に保存される。具体的には、基本設定情報９２、時間設定情報９４、ガイダンス設定情報９６、バルブ動作制御情報９８ａ、アラーム動作制御情報９８ｂおよびオプション動作制御情報９８ｃは、それぞれワークシート内の１つのセル、または複数のセルに分割されて格納される。本実施形態では、バルブ動作制御情報９８ａ、アラーム動作制御情報９８ｂおよびオプション動作制御情報９８ｃを１６進数の文字列とすることで、セルに格納可能な数値の桁数が制限されている場合においても、これらの情報を多数のセルに分割することなく格納することを可能としている。   The generated control information 90 is temporarily stored in the RAM 16 as one of the worksheets included in the spreadsheet file 40 or directly stored in the auxiliary storage device 18. Specifically, the basic setting information 92, the time setting information 94, the guidance setting information 96, the valve operation control information 98a, the alarm operation control information 98b, and the optional operation control information 98c are each a single cell or a plurality of cells in the worksheet. It is divided into cells and stored. In the present embodiment, the valve operation control information 98a, the alarm operation control information 98b, and the optional operation control information 98c are hexadecimal character strings, so that even when the number of digits that can be stored in the cell is limited. These pieces of information can be stored without being divided into a large number of cells.

本実施形態の制御情報生成装置１では、以上の手順により、制御情報９０が生成される。生成された制御情報９０は、専用プログラムの実行等によって実現される送信手段により、入出力インタフェース２４を介して、シリンダキャビネット１００の制御装置１２０に送信される。   In the control information generation device 1 of the present embodiment, the control information 90 is generated by the above procedure. The generated control information 90 is transmitted to the control device 120 of the cylinder cabinet 100 via the input / output interface 24 by transmission means realized by execution of a dedicated program or the like.

なお、制御情報９０は、表計算ファイル４０とは別のデータとして補助記憶装置１８に記憶されるものであってもよい。この場合、第１〜第３の２進数９８ａ１、９８ｂ１、９８ｃ１を、そのままバルブ動作制御情報９８ａ、アラーム動作制御情報９８ｂおよびオプション動作制御情報９８ｃとしてもよいし、上述のように１６進数の文字列に変換するようにしてもよい。また、制御情報９０の送信は、ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ）やインターネット等のネットワークを介して行われるものであってもよいし、メモリカードやＵＳＢメモリ等を介して行われるものであってもよい。   The control information 90 may be stored in the auxiliary storage device 18 as data different from the spreadsheet file 40. In this case, the first to third binary numbers 98a1, 98b1, and 98c1 may be used as the valve operation control information 98a, the alarm operation control information 98b, and the optional operation control information 98c, or may be a hexadecimal character string as described above. You may make it convert into. The transmission of the control information 90 may be performed via a network such as a LAN (Local Area Network) or the Internet, or may be performed via a memory card or a USB memory. .

以上説明したように、本実施形態に係る自動パージ工程制御情報生成装置１は、ガス供給配管（シリンダキャビネット１００）における自動パージ工程の動作手順を設定した制御情報９０を生成する制御情報生成装置であって、情報を格納して表示する複数のセルの行列からなり、自動パージ工程において実行される複数の動作項目が表示されると共に、動作項目に対応する動作情報が入力される動作情報入力テーブル６０と、動作情報入力テーブル６０を提示して、動作情報の入力を受け付ける入力受付手段８０と、入力受付手段８０が受け付けた入力に基づいて動作情報入力テーブル６０の内容を変更し、動作手順が設定された動作設定テーブル６０ａを生成する動作設定テーブル生成手段８２と、動作設定テーブル６０ａに基づいて制御情報９０を生成する制御情報生成手段８４と、を備え、動作情報入力テーブル６０は、行方向および列方向の一方に沿って並べられ、動作項目を格納して表示する複数の項目セル６２と、行方向および列方向の他方に沿って並べられ、動作情報が実行ステップごとに入力されると共に、入力された動作情報を格納して表示する複数の入力セル６４と、項目セル６２および入力セル６４によって行列における位置が特定されるように配列され、動作項目の実行または不実行を示すフラグ情報を格納して表示する複数のフラグセル６６と、を有し、動作設定テーブル生成手段８２は、互いに対応する動作項目および動作情報を格納した項目セル６２および入力セル６４によって特定される位置のフラグセル６６に、動作項目の実行を示すフラグ情報を格納する。   As described above, the automatic purge process control information generation apparatus 1 according to the present embodiment is a control information generation apparatus that generates the control information 90 in which the operation procedure of the automatic purge process in the gas supply pipe (cylinder cabinet 100) is set. An operation information input table comprising a matrix of a plurality of cells for storing and displaying information, wherein a plurality of operation items executed in the automatic purge process are displayed and operation information corresponding to the operation items is input. 60, the operation information input table 60 is presented, the input receiving means 80 for receiving the input of the operation information, the content of the operation information input table 60 is changed based on the input received by the input receiving means 80, and the operation procedure is The operation setting table generating means 82 for generating the set operation setting table 60a and the control based on the operation setting table 60a. Control information generation means 84 for generating information 90, and the operation information input table 60 is arranged along one of the row direction and the column direction, and a plurality of item cells 62 for storing and displaying operation items, A plurality of input cells 64 arranged along the other of the row direction and the column direction and the operation information is input for each execution step, and the input operation information is stored and displayed, and the item cell 62 and the input cell 64 And a plurality of flag cells 66 for storing and displaying flag information indicating execution or non-execution of the action item, and the action setting table generating means 82 correspond to each other. The flag indicating the execution of the action item in the flag cell 66 at the position specified by the item cell 62 and the input cell 64 storing the action item and action information to be executed To store the broadcast.

このような構成とすることで、自動パージ工程における動作手順を設定した制御情報９０を容易に生成することができる。すなわち、入力セル６４に動作情報を入力するだけで、フラグセル６６に動作項目および実行ステップに対応付けられた配列でフラグ情報が自動的に格納されるため、フラグ情報をそのまま１ビットの情報としてダイレクトに利用することが可能となり、制御情報９０を効率的に生成することができる。また、項目セル６２に動作項目を表示することで、ユーザによる入力セル６４への動作情報の入力を容易にするだけではなく、フラグセル６６において動作手順をチャート的に示すことが可能となるため、動作手順のチェックおよび修正を容易にすることができる。   With such a configuration, it is possible to easily generate the control information 90 in which the operation procedure in the automatic purge process is set. In other words, the flag information is automatically stored in the flag cell 66 in an array corresponding to the action item and the execution step simply by inputting the action information to the input cell 64. Therefore, the flag information is directly used as 1-bit information. The control information 90 can be generated efficiently. In addition, by displaying the operation item in the item cell 62, not only the user can easily input the operation information to the input cell 64, but the operation procedure in the flag cell 66 can be shown in a chart. It is possible to easily check and correct the operation procedure.

また、動作設定テーブル生成手段８２は、動作項目の実行を示すフラグ情報としてフラグセル６６に１を格納し、動作項目の不実行を示すフラグ情報としてフラグセル６６に０を格納し、制御情報生成手段８４は、フラグセル６６に格納されたフラグ情報を、項目セル６２によって特定される位置を各桁とする２進数として取得し、取得した２進数に基づいて制御情報９０を生成する。このようにすることで、動作設定テーブル６０ａに設定された動作手順を始めから複数ビットの情報として取り扱うことが可能となるため、制御情報９０の生成を効率的に行うことができる。   Further, the operation setting table generating unit 82 stores 1 in the flag cell 66 as flag information indicating execution of the operation item, stores 0 in the flag cell 66 as flag information indicating non-execution of the operation item, and the control information generating unit 84. Acquires the flag information stored in the flag cell 66 as a binary number having the position specified by the item cell 62 as each digit, and generates control information 90 based on the acquired binary number. In this way, the operation procedure set in the operation setting table 60a can be handled as information of a plurality of bits from the beginning, and thus the control information 90 can be generated efficiently.

また、制御情報生成手段８４は、取得した２進数を１６進数の文字列に変換し、変換した１６進数の文字列に基づいて制御情報９０を生成する。このようにすることで、例えば一般的な表計算プログラムを活用することが可能となるため、制御情報９０の生成、保存および取り扱いを容易にすることができる。   The control information generation unit 84 converts the acquired binary number into a hexadecimal character string, and generates control information 90 based on the converted hexadecimal character string. In this way, for example, a general spreadsheet program can be used, so that generation, storage and handling of the control information 90 can be facilitated.

また、動作項目は、複数のグループに分けられ、制御情報生成手段８４は、フラグセル６６に格納されたフラグ情報を、グループごとに取得する。このようにすることで、例えば各グループに含まれる動作項目を１６個とすることにより、各グループについて１つの実行ステップに関する情報を１６ビットの情報とした制御情報９０を生成することが可能となるため、効率的な制御情報９０を生成することができる。   Further, the action items are divided into a plurality of groups, and the control information generating unit 84 acquires the flag information stored in the flag cell 66 for each group. In this way, for example, by setting 16 operation items included in each group, it becomes possible to generate control information 90 in which information regarding one execution step is 16-bit information for each group. Therefore, efficient control information 90 can be generated.

また、動作項目には、複数の実行ステップにわたって継続される継続動作項目（例えばＡＶ１〜１６等）が含まれ、動作設定テーブル生成手段８２は、継続動作項目の開始を示す動作情報を格納した入力セル６４から継続動作項目の終了を示す動作情報を格納した入力セル６４の１つ手前の入力セル６４までの間において、継続動作項目を格納した項目セル６２によって特定される位置のフラグセル６６に継続動作項目の実行を示すフラグ情報を格納する。このようにすることで、例えばバルブの開状態等、複数の実行ステップにわたる継続動作項目を明確に設定すると共に、継続動作項目をフラグセル６６によってチャート的に表示することが可能となるため、継続動作項目の確認および入力ミス等の発見を容易にすることができる。   Further, the action items include continuous action items (for example, AV1 to 16 and the like) that are continued over a plurality of execution steps, and the action setting table generation unit 82 stores the operation information indicating the start of the continuous action items. From the cell 64 to the input cell 64 immediately before the input cell 64 storing operation information indicating the end of the continuous operation item, the flag cell 66 at the position specified by the item cell 62 storing the continuous operation item is continued. Stores flag information indicating execution of an action item. In this way, for example, the continuous operation items over a plurality of execution steps such as an open state of the valve can be clearly set and the continuous operation items can be displayed in a chart by the flag cell 66. Confirmation of items and discovery of input mistakes can be facilitated.

また、動作情報入力テーブル６０は、入力セル６４に付随して設けられ、実行ステップの継続時間に対応する時間情報（時間番号）が入力される時間入力セル（時間番号入力セル６４ｃ）と、入力セル６４に付随して設けられ、実行ステップの継続時間を表示する時間表示セル（時間情報表示セル６８）と、を備えている。このようにすることで、各実行ステップの継続時間の設定および修正を容易にすることができる。また、自動パージ工程の各工程に要する時間を事前に把握することが容易になると共に、各工程や各実行ステップの進捗状況を時間管理することが可能となる。   The operation information input table 60 is provided in association with the input cell 64, and includes a time input cell (time number input cell 64c) in which time information (time number) corresponding to the duration of the execution step is input, and an input. A time display cell (time information display cell 68) that is provided in association with the cell 64 and displays the duration of the execution step. By doing in this way, the setting and correction of the duration of each execution step can be facilitated. In addition, it becomes easy to grasp in advance the time required for each process of the automatic purge process, and the progress status of each process and each execution step can be managed in time.

なお、この場合、本実施形態のように、時間入力セルに格納された時間情報に基づき、動作設定テーブル生成手段８２が、その実行ステップの継続時間の値（および継続時間の単位）を時間表示セルに格納するようにしてもよいし、時間入力セルと時間表示セルを１つのセルに統合し、入力された継続時間を入力受付手段８０がセルに格納して表示させるようにしてもよい。   In this case, as in the present embodiment, based on the time information stored in the time input cell, the operation setting table generation unit 82 displays the duration value (and unit of duration) of the execution step in time. The time input cell and the time display cell may be integrated into one cell, and the input duration unit 80 may store the input duration in the cell and display it.

以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明の自動パージ工程制御情報生成装置は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。   As mentioned above, although embodiment of this invention was described, the automatic purge process control information generation apparatus of this invention is not limited to above-described embodiment, In the range which does not deviate from the summary of this invention, it changes variously. Of course, can be added.

例えば、上記実施形態では、表計算プログラム３０および表計算ファイル４０を活用した場合の例を示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば専用のプログラムまたは回路から、入力受付手段８０、動作設定テーブル生成手段８２および制御情報生成手段８４を構成し、専用のテーブルから、基本情報入力テーブル５０、基本設定テーブル５０ａ、動作情報入力テーブル６０および動作設定テーブル６０ａを構成するようにしてもよい。   For example, in the above-described embodiment, an example in which the spreadsheet program 30 and the spreadsheet file 40 are used has been described. However, the present invention is not limited to this, and for example, an input receiving unit from a dedicated program or circuit 80, operation setting table generation means 82 and control information generation means 84 are configured, and basic information input table 50, basic setting table 50a, operation information input table 60 and operation setting table 60a are configured from dedicated tables. Also good.

また、上記実施形態では、基本情報入力テーブル５０および動作情報入力テーブル６０を別個に設ける場合の例を示したが、基本情報入力テーブル５０および動作情報入力テーブル６０を１つのテーブル（ワークシート）にまとめるようにしてもよい。   In the above embodiment, the basic information input table 50 and the operation information input table 60 are provided separately. However, the basic information input table 50 and the operation information input table 60 are combined into one table (worksheet). You may make it collect.

また、上記実施形態では、動作情報入力テーブル６０および動作設定テーブル６０ａにおいて、項目セル６２を行方向（横方向）に並べ、入力セル６４を列方向（縦方向）に並べた例を示したが、項目セル６２を列方向（縦方向）に並べ、入力セル６４を行方向（横方向）に並べるようにしてもよい。また、上記実施形態では、動作項目を１６個ずつグループ分けした場合の例を示したが、例えば８個ずつや３２個ずつ等、その他の個数ずつ動作項目をグループ分けするようにしてもよい。   In the above embodiment, the example in which the item cells 62 are arranged in the row direction (horizontal direction) and the input cells 64 are arranged in the column direction (vertical direction) in the operation information input table 60 and the operation setting table 60a is shown. The item cells 62 may be arranged in the column direction (vertical direction), and the input cells 64 may be arranged in the row direction (horizontal direction). In the above embodiment, an example in which the action items are grouped by 16 is shown. However, the action items may be grouped by any other number, for example, eight or 32.

また、上記実施形態において示した作用および効果は、本発明から生じる最も好適な作用および効果を列挙したものに過ぎず、本発明による作用および効果は、これらに限定されるものではない。   In addition, the functions and effects shown in the above embodiment are merely a list of the most preferable functions and effects resulting from the present invention, and the functions and effects of the present invention are not limited to these.

本発明の自動パージ工程制御情報生成装置は、シリンダキャビネット以外にも、各種ガスや液体等の供給配管の自動パージ工程において利用することができる。   The automatic purge process control information generation apparatus of the present invention can be used in an automatic purge process of supply pipes for various gases and liquids in addition to the cylinder cabinet.

１ 自動パージ工程制御情報生成装置
６０ 動作情報入力テーブル
６２項目セル
６４ 入力セル
６４ｃ 時間番号入力セル
６６ フラグセル
６８ 時間情報表示セル
６０ａ 動作設定テーブル
８０ 入力受付手段
８２ 動作設定テーブル生成手段
８４ 制御情報生成手段
９０ 制御情報
１００ シリンダキャビネット DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Automatic purge process control information generation apparatus 60 Operation information input table 62 Item cell 64 Input cell 64c Time number input cell 66 Flag cell 68 Time information display cell 60a Operation setting table 80 Input reception means 82 Operation setting table generation means 84 Control information generation means 90 Control information 100 Cylinder cabinet

Claims (6)

ガス供給配管における自動パージ工程の動作手順を設定した制御情報を生成する制御情報生成装置であって、
情報を格納して表示する複数のセルの行列からなり、前記自動パージ工程において実行される複数の動作項目が表示されると共に、前記動作項目に対応する動作情報が入力される入力テーブルと、
前記入力テーブルを提示して、前記動作情報の入力を受け付ける入力受付手段と、
前記入力受付手段が受け付けた入力に基づいて前記入力テーブルの内容を変更し、前記動作手順が設定された動作設定テーブルを生成する動作設定テーブル生成手段と、
前記動作設定テーブルに基づいて前記制御情報を生成する制御情報生成手段と、を備え、
前記入力テーブルは、
行方向および列方向の一方に沿って並べられ、前記動作項目を格納して表示する複数の項目セルと、
行方向および列方向の他方に沿って並べられ、前記動作情報が実行ステップごとに入力されると共に、入力された前記動作情報を格納して表示する複数の入力セルと、
前記項目セルおよび前記入力セルによって行列における位置が特定されるように配列され、前記動作項目の実行または不実行を示すフラグ情報を格納して表示する複数のフラグセルと、を有し、
前記動作設定テーブル生成手段は、互いに対応する前記動作項目および前記動作情報を格納した前記項目セルおよび前記入力セルによって特定される位置の前記フラグセルに、前記動作項目の実行を示すフラグ情報を格納することを特徴とする、
自動パージ工程制御情報生成装置。 A control information generation device that generates control information that sets an operation procedure of an automatic purge process in a gas supply pipe,
A matrix of a plurality of cells for storing and displaying information, an input table in which a plurality of operation items executed in the automatic purge step are displayed, and operation information corresponding to the operation items is input;
An input receiving means for presenting the input table and receiving an input of the operation information;
An operation setting table generating means for changing the contents of the input table based on the input received by the input receiving means and generating an operation setting table in which the operation procedure is set;
Control information generating means for generating the control information based on the operation setting table,
The input table is:
A plurality of item cells arranged along one of a row direction and a column direction and storing and displaying the action items;
A plurality of input cells arranged along the other of the row direction and the column direction, wherein the operation information is input for each execution step, and the input operation information is stored and displayed,
A plurality of flag cells that are arranged so that positions in a matrix are specified by the item cells and the input cells, and store and display flag information indicating execution or non-execution of the operation items,
The action setting table generating means stores flag information indicating execution of the action item in the flag cell at a position specified by the item cell storing the action item and the action information corresponding to each other and the input cell. It is characterized by
Automatic purge process control information generator. 前記動作設定テーブル生成手段は、前記動作項目の実行を示すフラグ情報として前記フラグセルに１を格納し、前記動作項目の不実行を示すフラグ情報として前記フラグセルに０を格納し、
前記制御情報生成手段は、前記フラグセルに格納された前記フラグ情報を、前記項目セルによって特定される位置を各桁とする２進数として取得し、取得した前記２進数に基づいて前記制御情報を生成することを特徴とする、
請求項１に記載の自動パージ工程制御情報生成装置。 The operation setting table generation means stores 1 in the flag cell as flag information indicating execution of the operation item, stores 0 in the flag cell as flag information indicating non-execution of the operation item,
The control information generation unit acquires the flag information stored in the flag cell as a binary number having a position specified by the item cell as each digit, and generates the control information based on the acquired binary number It is characterized by
The automatic purge process control information generation device according to claim 1. 前記制御情報生成手段は、取得した前記２進数を１６進数の文字列に変換し、変換した前記１６進数の文字列に基づいて前記制御情報を生成することを特徴とする、
請求項２に記載の自動パージ工程制御情報生成装置。 The control information generation means converts the acquired binary number into a hexadecimal character string, and generates the control information based on the converted hexadecimal character string.
The automatic purge process control information generation device according to claim 2. 前記動作項目は、複数のグループに分けられ、
前記制御情報生成手段は、前記フラグセルに格納された前記フラグ情報を、前記グループごとに取得することを特徴とする、
請求項１乃至３のいずれかに記載の自動パージ工程制御情報生成装置。 The operation items are divided into a plurality of groups.
The control information generating means acquires the flag information stored in the flag cell for each group,
The automatic purge process control information generation device according to any one of claims 1 to 3. 前記動作項目には、複数の前記実行ステップにわたって継続される継続動作項目が含まれ、
前記動作設定テーブル生成手段は、前記継続動作項目の開始を示す前記動作情報を格納した前記入力セルから前記継続動作項目の終了を示す前記動作情報を格納した前記入力セルの１つ手前の前記入力セルまでの間において、前記継続動作項目を格納した前記項目セルによって特定される位置のフラグセルに前記継続動作項目の実行を示すフラグ情報を格納することを特徴とする、
請求項１乃至４のいずれかに記載の自動パージ工程制御情報生成装置。 The action item includes a continuation action item continued over a plurality of the execution steps,
The operation setting table generating means is configured to input the input immediately before the input cell storing the operation information indicating the end of the continuous operation item from the input cell storing the operation information indicating the start of the continuous operation item. Between the cells, flag information indicating execution of the continuous action item is stored in a flag cell at a position specified by the item cell storing the continuous action item.
The automatic purge process control information generation apparatus according to any one of claims 1 to 4. 前記入力テーブルは、
前記入力セルに付随して設けられ、前記実行ステップの継続時間に対応する時間情報が入力される時間入力セルと、
前記入力セルに付随して設けられ、前記実行ステップの継続時間を表示する時間表示セルと、を備えることを特徴とする、
請求項１乃至５のいずれかに記載の自動パージ工程制御情報生成装置。 The input table is:
A time input cell provided along with the input cell, to which time information corresponding to the duration of the execution step is input;
A time display cell that is provided in association with the input cell and displays a duration of the execution step.
The automatic purge process control information generation apparatus according to claim 1.
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