JP5442305B2 - Defect detection apparatus and a defect detection method - Google Patents

Defect detection apparatus and a defect detection method

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JP5442305B2 JP2009096889A JP2009096889A JP5442305B2 JP 5442305 B2 JP5442305 B2 JP 5442305B2 JP 2009096889 A JP2009096889 A JP 2009096889A JP 2009096889 A JP2009096889 A JP 2009096889A JP 5442305 B2 JP5442305 B2 JP 5442305B2
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本発明は、第1のパターンを撮像した第1の画像と第2のパターンを撮像した第2の画像とを比較して第1のパターンに含まれる欠陥を検出する欠陥検出装置及び欠陥検出方法に関する。 The present invention includes a first image and a defect detecting device and defect detection method for detecting defects included in the first pattern by comparing the second image of the captured second pattern of the captured first pattern on.

第1のパターンを撮像した第1の画像と第2のパターンを撮像した第2の画像とを比較して第1のパターンに含まれる欠陥を検出する場合、第1の画像と第2の画像との位置あわせが実行される。 When detecting the defects included in the first pattern by comparing the second image of the captured first image and the second pattern of the captured first pattern, the first and second images alignment with is performed. 位置あわせにあたって、相対的に低い精度で位置あわせを行った後に相対的に高い精度で位置あわせを行う場合もある。 Position when combined, sometimes perform alignment at a relatively high accuracy after the alignment at a relatively low accuracy.

特許文献1は、そのような2段階の位置あわせに言及している。 Patent Document 1 mentions the alignment of such two stages. 特許文献1の「背景技術」の欄は、「低解像度での位置あわせを行った後に高解像度にて位置あわせを行う」ことに言及している。 Column of "Background Art" in Patent Document 1, "to align with high resolution after the alignment of a low resolution" are particularly mentioned. また、特許文献1の「発明を実施するための最良の形態」の欄は、「位置補正部52」で位置あわせを行った後に「欠陥検出部53」で位置あわせ及び欠陥の検出を行うことに言及している。 Further, the column of "Best Mode for Carrying Out the Invention" of Patent Document 1, by performing the alignment and detection of defects after the aligned "position correcting unit 52," "defect detector 53" It mentions.

特開2005−292016号公報 JP 2005-292016 JP

しかし、第1の画像を複数の第1の領域に分割し第2の画像を複数の第2の領域に分割し第1の領域と第2の領域とを比較する場合、上述のような2段階の位置あわせを第1の領域と第2の領域との対の全部について行うと、欠陥の検出の処理に要する時間が長くなる。 However, when comparing the first first image of a plurality of divided into regions first by dividing the second image into a plurality of second regions of the region and a second region, as described above 2 When performed for all positioning phase of the first region and the pair of the second region, the longer the time required for processing the detection of defects.

本発明は、この問題を解決するためになされたもので、欠陥の検出の精度を低下させることなく欠陥の検出に要する時間が短くなる欠陥検出装置及び欠陥検出方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve this problem, and an object thereof is to provide a defect detecting apparatus and a defect detection method is the time required for the detection of defects without shortened reducing the accuracy of detection of the defect .

上記課題を解決するため、 請求項1及び2の発明は、第1のパターンを撮像した第1の画像と第2のパターンを撮像した第2の画像とを比較して第1のパターンに含まれる欠陥を検出する欠陥検出装置であって、第1の画像を複数の第1の領域に分割する第1の画像分割部と、第2の画像を複数の第2の領域に分割する第2の画像分割部と、比較される第1の領域と第2の領域との複数の対のうちの第1の群に属する対について相対的に低い精度で第1の領域と第2の領域との位置あわせを実行する第1の位置あわせ部と、比較される第1の領域と第2の領域との複数の対のうちの第1の群に属さず第2の群に属する残余の対に前記第1の位置あわせ部による第1の群に属する対についての位置あわせの結果を援用する第1の援用部と、比較 To solve the above problems, the invention of claim 1 and 2, included in the first pattern the first image and the second pattern of the captured first pattern by comparing the second image captured a defect detection apparatus for detecting a defect, the second dividing a first image division unit that divides the first image into a plurality of first regions, the second image into a plurality of second regions an image dividing unit, and the first region and the first region and the second region at a relatively low accuracy for the first pair belonging to the group of the plurality of pairs of the second region to be compared a first positioning portion to perform alignment, the pair of first regions and a residual included in the first second group does not belong to the group of the plurality of pairs of the second region to be compared a first aided part incorporated a result of the alignment of the first pair belonging to the group according to the first alignment portion, comparison れる第1の領域と第2の領域との複数の対について前記第1の位置あわせ部により位置あわせが実行された状態又は前記第1の援用部により位置あわせの結果が援用された状態を基準として相対的に高いか又は同じ精度で第1の領域と第2の領域との位置あわせを実行する第2の位置あわせ部と、比較される第1の領域と第2の領域との複数の対について第1の領域と第2の領域との比較結果から欠陥を検出する欠陥検出部と、を備える。 First regions and a plurality of pairs based on a state where alignment results were incorporated by the first by the positioning unit state alignment is performed or the first incorporated part for the second region as a first region at relatively high or the same precision and the second positioning portion to perform the alignment of the second region, the first region and the plurality of the second region to be compared It includes a defect detector for detecting a defect from the comparison result between the first region and the second region for pairs, a.

請求項1の欠陥検出装置においては 、前記第2の位置あわせ部は、比較される第1の領域と第2の領域との複数の対のうちの第3の群に属する対について相対的に高いか又は同じ精度で第1の領域と第2の領域との位置あわせを実行し、前記欠陥検出装置は、比較される第1の領域と第2の領域との複数の対のうちの第3の群に属さず第4の群に属する残余の対に前記第2の位置あわせ部による第3の群に属する対についての位置あわせの結果を援用する第2の援用部、をさらに備える。 In the defect detection apparatus according to claim 1, wherein the second registration unit is relatively the pair belonging to the third group of the plurality of pairs of the first and second regions to be compared run the alignment of the high or first and second regions with the same precision, the defect detection apparatus includes a first of the plurality of pairs of the first and second regions to be compared second incorporated portions of which are incorporated the results of alignment of the pair belonging to the third group by the second alignment portion to the fourth remaining pairs belonging to the group of not belong to the group of 3, further comprising a.

請求項2の欠陥検出装置において 、比較される第1の領域と第2の領域との複数の対の各々が相対的に低い精度の位置あわせに適するか否かを順次に判定する適否判定部と、前記適否判定部により相対的に低い精度の位置あわせに適さないと判定された対を第2の群に属すると判定し、相対的に低い精度の位置あわせに適さないと判定された対のひとつ後に相対的に低い精度の位置あわせに適すると判定された対を第1の群に属すると判定する群判定部と、をさらに備える。 In the defect detecting apparatus according to claim 2, sequentially determines the appropriateness determining whether each of the plurality of pairs of the first and second regions to be compared are suitable for alignment of a relatively low accuracy and parts, said determined as pairs not suitable for aligning a relatively low accuracy appropriateness determining section determines that belongs to the second group, is determined to be unsuitable for aligning the relatively low accuracy further comprising a determining unit determining unit belongs pairs that are determined to be suitable for positioning of relatively low accuracy after one pair to the first group, the.

また、請求項2の欠陥検出装置においては、前記群判定部は、前記適否判定部により相対的に低い精度の位置あわせに適すると判定された対のひとつ後に相対的に低い精度の位置あわせに適すると判定された対を第2の群に属すると判定する。 Further, the defect detecting apparatus according to claim 2, wherein the group determination unit, the alignment of the relatively low accuracy after one pair is determined to be suitable for positioning of relatively low precision by the propriety determining unit the suitable determined as pairs determines that belong to the second group.
請求項3の発明は、請求項2の欠陥検出装置において、前記第2の位置あわせ部は、比較される第1の領域と第2の領域との複数の対の全部について相対的に高いか又は同じ精度で第1の領域と第2の領域との位置あわせを実行する。 The invention according to claim 3, or in the defect detection apparatus of claim 2, wherein the second alignment portion is relatively higher for all of the plurality of pairs of the first and second regions to be compared or to perform the alignment of the first and second regions with the same accuracy.
請求項4の発明は、請求項2の欠陥検出装置において、前記第2の位置あわせ部は、比較される第1の領域と第2の領域との複数の対のうちの第3の群に属する対について相対的に高いか又は同じ精度で第1の領域と第2の領域との位置あわせを実行し、前記欠陥検出装置は、比較される第1の領域と第2の領域との複数の対のうちの第3の群に属さず第4の群に属する残余の対に前記第2の位置あわせ部による第3の群に属する対についての位置あわせの結果を援用する第2の援用部、をさらに備える。 A fourth aspect of the present invention, in the defect detection apparatus of claim 2, wherein the second registration unit, third group of the plurality of pairs of the first and second regions to be compared a plurality of the first region at relatively higher or the same precision for pairs belonging and running alignment of the second region, the defect detection apparatus includes a first region and a second region to be compared second incorporated which incorporated the third third result of alignment of the pair belonging to the group of by the second alignment portion to the fourth remaining pairs belonging to the group of not belong to a group of one of the pairs of parts, further comprising a.

請求項5の発明は、 請求項2ないし請求項4のいずれかの欠陥検出装置において、前記適否判定部は、第1の領域又は第2の領域の片方又は両方である判定対象領域に含まれるエッジを検出するエッジ検出部と、前記エッジ検出部によりエッジが検出されない場合に対が相対的に精度が低い位置あわせに適さないと判定する判定部と、を備える。 The invention of claim 5, in any of the defect detection apparatus of claims 2 to 4, wherein the appropriateness determining section is included in the determination target region is one or both of the first region or the second region comprises an edge detector for detecting edges, and a determination section for determining a pair when the edge is not detected is not suitable for relatively accurate alignment lower position by the edge detection unit.

請求項6の発明は、 請求項2ないし請求項4のいずれかの欠陥検出装置において、前記適否判定部は、第1の領域又は第2の領域の片方又は両方である判定対象領域に含まれるエッジを検出するエッジ検出部と、前記エッジ検出部により検出されたエッジの平均的な接線方向を導出する平均接線方向導出部と、前記平均接線方向導出部により導出された接線方向に対する判定対象領域の自己相関性を評価する自己相関性評価部と、前記自己相関性導出部により導出された自己相関性が基準よりも高い場合に対が相対的に精度が低い位置あわせに適さないと判定する判定部と、を備える。 The invention of claim 6, in any of the defect detection apparatus of claims 2 to 4, wherein the appropriateness determining section is included in the determination target region is one or both of the first region or the second region an edge detection unit for detecting an edge, the average tangential derivation unit, the determination target region for tangential derived by the average tangential derivation unit for deriving an average tangential detected edge by the edge detecting unit determining the autocorrelation evaluation unit for evaluating the autocorrelation, said pair when autocorrelation derived by self-correlation deriving unit is higher than the reference is not suitable for relatively accurate combined low position and comprising a determining unit.

請求項7の発明は、 請求項2ないし請求項4のいずれかの欠陥検出装置において、前記適否判定部は、第1の領域又は第2の領域の片方又は両方である判定対象領域に含まれるエッジを検出するエッジ検出部と、前記エッジ検出部により検出されたエッジを構成する画素により構成される直線を検出する直線検出部と、前記直線検出部により検出された直線の方向を導出する方向導出部と、前記方向導出部により導出された方向の一様性が基準よりも高い場合に対が相対的に低い精度の位置あわせに適さないと判定する判定部と、を備える。 The invention of claim 7, in any of the defect detection apparatus of claims 2 to 4, wherein the appropriateness determining section is included in the determination target region is one or both of the first region or the second region an edge detection unit for detecting an edge, a line detection unit that detects a straight line formed by pixels constituting the detected edge by the edge detecting section, the direction to derive a direction of a straight line detected by the line detection unit includes a deriving unit, and a determination section for determining a pair when uniformity of the derived direction is higher than the reference is not suitable for positioning of relatively low precision by the direction derivation unit.

請求項8の発明は、 請求項2ないし請求項4のいずれかの欠陥検出装置において、前記適否判定部は、第1の領域又は第2の領域の片方又は両方である判定対象領域に含まれるエッジを検出するエッジ検出部と、前記エッジ検出部により検出されたエッジの接線方向のヒストグラムを導出するヒストグラム導出部と、前記ヒストグラム導出部により導出されたヒストグラムに存在するピークの数が1個のみである場合に対が相対的に低い精度の位置あわせに適さないと判定する判定部と、を備える。 The invention of claim 8, in any of the defect detection apparatus of claims 2 to 4, wherein the appropriateness determining section is included in the determination target region is one or both of the first region or the second region an edge detection unit for detecting an edge, a histogram deriving unit that derives the tangential histogram of the detected edge by the edge detecting section, the number of peaks present in the histogram derived by the histogram derivation unit is only one comprising a determining unit and the pair is not suitable for positioning of relatively low accuracy when it is, the.

請求項9の発明は、 請求項2ないし請求項4のいずれかの欠陥検出装置において、前記適否判定部は、第1の領域又は第2の領域の片方又は両方である判定対象領域に含まれるコーナーを検出するコーナー検出部と、前記コーナー検出部によりコーナーが検出されない場合に対が相対的に低い精度の位置あわせに適さないと判定する判定部と、を備える。 The invention of claim 9, in any one of the defect detection apparatus of claims 2 to 4, wherein the appropriateness determining section is included in the determination target region is one or both of the first region or the second region comprising a corner detection unit for detecting the corner, and a a determination unit corner unsuitable for pairs aligned relatively low accuracy if not detected by the corner detecting unit.

請求項10の発明は、 請求項2ないし請求項4のいずれかの欠陥検出装置において、前記適否判定部は、第1の領域又は第2の領域の片方又は両方である判定対象領域の移動先をゆすらせ範囲内でゆすらせたときの自己相関性の分布を導出する分布導出部と、前記分布導出部により導出された分布が基準を満たす方向性を有する場合に対が相対的に低い精度の位置あわせに適さないと判定する判定部と、を備える。 The invention of claim 10, in any one of the defect detection apparatus of claims 2 to 4, wherein the appropriateness determining section, move the determination target region is one or both of the first region or the second region a distribution deriving unit that derives the autocorrelation of the distribution obtained while swung within allowed swung a pair relatively low accuracy when having directionality that satisfies been distribution criteria derived by the distribution deriving unit and a determination unit determining to be unsuitable for alignment of.

請求項11の発明は、請求項1ないし請求項10のいずれかの欠陥検出装置において、前記第1の位置あわせ部は、位置あわせのための演算を行う演算処理回路と、位置あわせのための演算を複数回に分割して前記演算処理回路に行わせる演算分割部と、を備える。 The invention of claim 11, in any one of the defect detection apparatus of claims 1 to claim 10, wherein the first registration unit, an arithmetic processing circuit for performing operation for alignment, for alignment by dividing the operation into a plurality of times and a calculation division unit to perform the arithmetic processing circuit.

請求項12の発明は、請求項1ないし請求項10のいずれかの欠陥検出装置において、前記第2の位置あわせ部は、位置あわせのための演算を行う演算処理回路と、位置あわせのための演算を複数回に分割して前記演算処理回路に行わせる演算分割部と、を備える。 The invention of claim 12, in any one of the defect detection apparatus of claims 1 to claim 10, wherein the second alignment portion includes an arithmetic processing circuit for performing operation for alignment, for alignment by dividing the operation into a plurality of times and a calculation division unit to perform the arithmetic processing circuit.

請求項13及び14の発明は、第1のパターンを撮像した第1の画像と第2のパターンを撮像した第2の画像とを比較して第1のパターンに含まれる欠陥を検出する欠陥検出方法であって、(a) 第1の画像を複数の第1の領域に分割する工程と、(b) 第2の画像を複数の第2の領域に分割する工程と、(c) 比較される第1の領域と第2の領域との複数の対のうちの第1の群に属する対について相対的に低い精度で第1の領域と第2の領域との位置あわせを実行する工程と、(d) 比較される第1の領域と第2の領域との複数の対のうちの第1の群に属さず第2の群に属する残余の対に前記工程(c)による第1の群に属する対についての位置あわせの結果を援用する工程と、(e) 比較される第1の領域と第2の領域との複数の対について前記工程(c)により The invention of claim 13 and 14, the defect detection for detecting the defects included in the first pattern by comparing the second image where the first image and the second pattern is imaged of the captured first pattern a method, (a) a step of dividing the first image into a plurality of first regions, a step of dividing into (b) a plurality of second image a second region, are compared (c) the first region and the first region at a relatively low accuracy for the first pair belonging to the group of the plurality of pairs of the second region and the step of performing the alignment of the second region that , first by (d) a first region and the step on the first of the remaining pairs belonging to the second group does not belong to the group of the plurality of pairs of the second region to be compared (c) a step of incorporated the results of alignment of the pair belonging to the group, by the process for a plurality of pairs of the first region and a second region (e) is compared (c) 置あわせが実行された状態又は前記工程(d)により位置あわせの結果が援用された状態を基準として相対的に高いか又は同じ精度で第1の領域と第2の領域との位置あわせを実行する工程と、(f) 比較される第1の領域と第2の領域との複数の対について第1の領域と第2の領域との比較結果から欠陥を検出する工程と、を備える。 Perform the alignment of the first region at a relatively high or the same accuracy condition the alignment results were incorporated by the state or the step location registration is performed (d) as a reference and the second region comprising the steps of, and a step of detecting a defect from the comparison result between the plurality of pair of first and second regions of the first and second regions to be compared (f).
請求項13の欠陥検出方法においては、前記工程(e)は、比較される第1の領域と第2の領域との複数の対のうちの第3の群に属する対について相対的に高いか又は同じ精度で第1の領域と第2の領域との位置あわせを実行し、前記欠陥検出方法は、(g) 比較される第1の領域と第2の領域との複数の対のうちの第3の群に属さず第4の群に属する残余の対に前記工程(e)による第3の群に属する対についての位置あわせの結果を援用する工程、をさらに備える。 Or In the defect detection method of claim 13, wherein step (e), a relatively high for pairs belonging to the third group of the plurality of pairs of the first and second regions to be compared or with the same precision to perform alignment between the first region and the second region, the defect detection method of the plurality of pairs of the first and second regions to be compared (g) process incorporated the results of the alignment for the step (e) third pair belonging to the group of by a pair of residual belonging to the fourth group do not belong to the third group further comprises a.
請求項14の欠陥検出方法においては、(g) 比較される第1の領域と第2の領域との複数の対の各々が相対的に低い精度の位置あわせに適するか否かを順次に判定する工程と、(h) 前記工程(g)により相対的に低い精度の位置あわせに適さないと判定された対を第2の群に属すると判定し、相対的に低い精度の位置あわせに適さないと判定された対のひとつ後に相対的に低い精度の位置あわせに適すると判定された対を第1の群に属すると判定する工程と、をさらに備え、前記工程(h)は、前記工程(g)により相対的に低い精度の位置あわせに適すると判定された対のひとつ後に相対的に低い精度の位置あわせに適すると判定された対を第2の群に属すると判定する。 In the defect detection method according to claim 14, sequentially determine whether suitable positioning of the first regions and a plurality of pairs each relatively low accuracy of the second region to be compared (g) a step of, appropriate for the pair is determined to be unsuitable for aligning the relatively low accuracy is determined to belong to the second group, alignment of a relatively low accuracy (h) wherein step (g) and without the determination by pairs of determining one after suitable positioning of the relatively low accuracy as belonging to respectively applied to the pair of determining a first group of steps, further wherein the step (h), the steps (g) by determining the belonging pairs that are determined to be suitable for positioning of relatively low accuracy after one pair is determined to be suitable for positioning of relatively low accuracy to a second group.

本発明によれば、第2の群に属する対について相対的に低い精度の位置あわせが実行されないので、欠陥の検出に要する時間が短くなる。 According to the present invention, since the alignment of the relatively low accuracy for pairs belonging to the second group is not executed, the time required for detection of the defect becomes short. また、第1の群に属する対についての相対的に低い精度の位置あわせの結果が第2の群に属する対に援用されるので、欠陥の検出の精度の低下が少ない。 Further, since the first relatively low accuracy of alignment of the pair belonging to the group of the results are incorporated in pairs belonging to the second group, reduction of accuracy of defect detection is small.

請求項1の発明によれば、第4の群に属する対について相対的に高いか又は同じ精度の位置あわせが実行されないので、欠陥の検出に要する時間が短くなる。 According to the present invention, since the alignment of the relatively high or the same accuracy for pairs belonging to the fourth group is not executed, the time required for detection of the defect becomes short. また、第3の群に属する対についての相対的に低い精度の位置あわせの結果が第4の群に属する対に援用されるので、欠陥の検出の精度の低下が少ない。 Further, since the third relatively lower accuracy of alignment results for the pairs belonging to the group of which are incorporated in pairs belonging to the fourth group, reduction of accuracy of defect detection is small.

請求項2の発明によれば、相対的に低い精度の位置あわせに適さない対について相対的に低い精度の位置あわせが実行されず、相対的に低い精度の位置あわせが必要な対について相対的に低い精度の位置あわせが実行されるので、欠陥の検出の精度が向上する。 According to the invention of claim 2, alignment of the relatively low accuracy for pairs that are not suitable for positioning of relatively low precision is not performed, the relative the pair that requires positioning a relatively low accuracy low because the accuracy alignment is performed, thereby improving the accuracy of detection of the defect.

請求項2の発明によれば、相対的に低い精度の位置あわせが必ずしも必要でない対について相対的に低い精度の位置あわせが実行されないので、欠陥の検出に要する時間が短縮される。 According to the invention of claim 2, since a relatively less accurate relatively low precision alignment of the pair alignment is not always necessary is not executed, it is shortened the time required for detection of the defect.

請求項5ないし請求項10の発明によれば、相対的に低い精度の位置あわせに適するか否かが適切に判定されるので、相対的に低い精度の位置あわせが適切に実行される。 According to claim 5 the invention of claim 10, since whether suitable positioning of the relatively low accuracy is properly determined, the positioning of the relatively low accuracy are appropriately performed.

請求項11ないし請求項12の発明によれば、位置あわせのための演算を行う演算処理回路の規模が縮小されるので、欠陥検出装置が簡略化される。 According to claims 11 to invention of claim 12, since the scale of the arithmetic processing circuit for performing operation for alignment is reduced, the defect detection apparatus is simplified.

第1実施形態の位置あわせを説明する図である。 Is a diagram illustrating the alignment of the first embodiment. 被検査画像が分割された状態を示す図である。 It is a diagram showing a state where the inspection image is divided. 参照画像が分割された状態を示す図である。 It is a diagram showing a state where the reference image is divided. 第1実施形態の欠陥検出装置のブロック図である。 It is a block diagram of a defect detecting apparatus of the first embodiment. 第1実施形態の位置あわせ部のブロック図である。 It is a block diagram of the alignment of the first embodiment. 第2実施形態の位置あわせを説明する図である。 Is a diagram illustrating the alignment of the second embodiment. 第2実施形態の位置あわせ部のブロック図である。 It is a block diagram of the alignment of the second embodiment. 第3実施形態のグローバルアライメント要否判定装置のブロック図である。 It is a block diagram of a global alignment necessity determination device of the third embodiment. 第3実施形態の群判定部の判定を説明する図である。 Is a diagram illustrating the determination of the group determination unit of the third embodiment. グローバルアライメントに適する判定対象領域の例を示す図である。 Is a diagram illustrating an example of a determination target area suitable for global alignment. グローバルアライメントに適する判定対象領域の自己相関性を説明する図である。 Is a diagram illustrating the autocorrelation of determination target regions suitable for global alignment. グローバルアライメントに適さない判定対象領域の例を示す図である。 Is a diagram illustrating an example of a determination target region that is not suitable for global alignment. グローバルアライメントに適さない判定対象領域の自己相関性を説明する図である。 Is a diagram illustrating the autocorrelation of the determination target region that is not suitable for global alignment. 第4実施形態のグローバルアライメント要否判定装置のブロック図である。 It is a block diagram of a global alignment necessity determination device of the fourth embodiment. Prewittの微分オペレータを示す図である。 It shows a differential operator of Prewitt. 第5実施形態のグローバルアライメント適否判定装置のブロック図である。 It is a block diagram of a global alignment appropriateness determination device of the fifth embodiment. 判定対象領域がグローバルアライメントに適する場合に検出される直線を示す図である。 Determination target region is a diagram showing a straight line to be detected when suitable for global alignment. 判定対象領域がグローバルアライメントに適さない場合に検出される直線を示す図である。 Determination target region is a diagram showing a straight line is detected when unsuitable for global alignment. 第6実施形態のグローバルアライメント適否判定装置のブロック図である。 It is a block diagram of a global alignment appropriateness determination device of the sixth embodiment. 判定対象領域がグローバルアライメントに適する場合に導出されるヒストグラムを示す図である。 Determination target region is a diagram showing a histogram derived when suitable for global alignment. 判定対象領域がグローバルアライメントに適さない場合に導出されるヒストグラムを示す図である。 Determination target region is a diagram showing a histogram derived if unsuitable for global alignment. 第7実施形態のグローバルアライメント適否判定装置のブロック図である。 It is a block diagram of a global alignment appropriateness determination device of the seventh embodiment. 判定対象領域がグローバルアライメントに適する場合に検出されるコーナーを示す図である。 Determination target region is a diagram showing a corner detected when suitable for global alignment. 第8実施形態のグローバルアライメント適否判定装置のブロック図である。 It is a block diagram of a global alignment appropriateness determination device of the eighth embodiment. 判定対象領域がグローバルアライメントに適する場合に自己相関性の指標値の分布を示す図である。 Determination target region is a diagram showing the distribution of the autocorrelation of the index value to be suitable for global alignment. 判定対象領域がグローバルアライメントに適さない場合に分布導出部により導出される自己相関性の指標値の分布を示す図である。 Determination target region is a diagram showing the distribution of the autocorrelation of index values ​​derived by the distribution deriving unit if unsuitable for global alignment. グローバルアライメントを説明する図である。 It is a diagram illustrating a global alignment. ファインアライメントを説明する図である。 Is a diagram illustrating the fine alignment. 第9実施形態の位置あわせ装置のブロック図である。 It is a block diagram of a positioning device of the ninth embodiment.

<1 第1実施形態> <1 the first embodiment>
第1実施形態は、被検査パターンを撮像した被検査画像Aと参照パターンを撮像した参照画像Bとを比較して被検査パターンに含まれる欠陥を検出する欠陥検出装置102に関する。 The first embodiment relates to a defect detection apparatus 102 for detecting the defects contained in the pattern to be inspected is compared with the reference image B of the captured reference pattern and the inspection image A of the captured pattern to be inspected.

(第1実施形態の位置あわせの概略) (Schematic of the alignment of the first embodiment)
図1は、第1実施形態の被検査領域a1〜a12と参照領域b1〜b12との位置あわせを説明する図である。 Figure 1 is a diagram illustrating the alignment of the reference region b1~b12 the inspecting region a1~a12 the first embodiment. 図2及び図3は、それぞれ、被検査画像Aが複数の被検査領域a1〜a12に分割された状態及び参照画像Bが複数の参照領域b1〜b12に分割された状態を示す。 2 and 3, respectively, showing a state where the inspection image A is divided state and the reference image B into a plurality of regions under testing a1~a12 is divided into a plurality of reference areas B1 to B12.

第1実施形態では、図2に示すように、被検査画像Aが複数の被検査領域a1〜a12に分割され、図3に示すように、参照画像Bが複数の参照領域b1〜b12に分割され、比較される被検査領域aiと参照領域biとの複数の対(i=1,2,・・・,12)の各々について被検査領域aiと参照領域biとの位置あわせが行われた後に被検査領域aiと参照領域biとが比較され欠陥が検出される。 In the first embodiment, as shown in FIG. 2, the inspection image A is divided into a plurality of regions under testing A1-A12, as shown in FIG. 3, the divided reference image B into a plurality of reference areas b1~b12 a plurality of pairs of the reference region bi and the inspecting region ai (i = 1,2, ···, 12) each for the positioning of the reference region bi and the inspecting region ai of were made compared after the inspection area ai and the reference region bi is detected defect are compared.

第1実施形態の位置あわせにあたっては、図1に示すように、比較される被検査領域aiと参照領域biとの複数の対の「一部」についてピクセル単位で被検査領域aiと参照領域biとの位置あわせを行うグローバルアライメントが実行される。 When the alignment of the first embodiment, as shown in FIG. 1, a plurality of pairs of reference and inspection area ai for "portion" in pixels area bi of the reference region bi and the inspecting region ai is compared global alignment for aligning the runs. また、比較される被検査領域aiと参照領域biとの複数の対の「全部」についてサブピクセル単位又はサブピクセルよりも粗い単位で被検査領域aiと参照領域biとの位置あわせを行うファインアライメントが実行される。 Further, fine alignment to align the reference region bi and the inspecting region ai coarse units than sub-pixel or sub-pixel for the "all" of the plurality of pairs of the reference region bi and the inspecting region ai is compared There is executed. つまり、第1の群に属する対については、グローバルアライメント及びファインアライメントの両方が実行される。 That is, for the pair belonging to the first group, both global alignment and fine alignment is performed. しかし、第1の群に属さず第2の群に属する残余の対については、グローバルアライメントが実行されずファインアライメントのみが実行される。 However, for a pair of residual belonging to the second group does not belong to the first group, only the fine alignment is performed global alignment is not executed. また、グローバルアライメントが実行されない第2の群に属する対には、直前に行われたグローバルアライメントの結果が援用される。 Further, the pair belonging to the second group of global alignment is not performed, the result of global alignment performed immediately before is incorporated.

この結果、第1の群に属する対については、グローバルアライメントが実行され、グローバルアライメントが行われた状態を基準としてファインアライメントがさらに実行される。 As a result, for the pairs belonging to the first group, the global alignment is performed, fine alignment is further performed a state in which global alignment is performed as a reference. 一方、第2の群に属する対については、直前に行われたグローバルアライメントの結果が援用され、直前に行われたグローバルアライメントの結果が援用された状態を基準としてファインアライメントが実行される。 On the other hand, the pair belonging to the second group, the result of global alignment performed immediately before is incorporated, fine alignment is performed to condition the results are incorporated in the global alignment performed immediately before as a reference. これにより、第2の群に属する対についてグローバルアライメントが実行されないので、欠陥の検出に要する時間が短くなる。 Thus, since the pair belonging to the second group of global alignment not executed, the time required for detection of defects is reduced. また、第1の群に属する対についてのグローバルアライメントの結果が第2の群に属する対に援用されるので、欠陥の検出の精度の低下が少ない。 Further, since the result of the global alignment of the pair belonging to the first group are incorporated in pairs belonging to the second group, reduction of accuracy of defect detection is small.

なお、被検査画像A及び参照画像Bの分割数は必要に応じて増減される。 Incidentally, the division number of the inspection image A and the reference image B is increased or decreased as necessary. また、第1の群及び第2の群に属する対は必要に応じて変更される。 Further, pairs belonging to the first group and the second group of is changed as needed.

(欠陥検出装置102の概略) (Outline of the defect detection apparatus 102)
図4は、第1実施形態の欠陥検出装置102のブロック図である。 Figure 4 is a block diagram of a defect detection apparatus 102 of the first embodiment. 図4の各ブロックは、専用のハードウエアを含んでもよいし、その機能の全部又は一部がコンピュータにプログラムを実行させることにより実現されてもよい。 Each block of FIG. 4 may comprise dedicated hardware, it may be implemented by all or part of its features causing a computer to execute a program.

図4に示すように、欠陥検出装置102は、パターンを撮像する撮像部104と、被検査画像Aを複数の被検査領域a1〜a12に分割する被検査画像分割部106と、参照画像Bを複数の参照領域b1〜b12に分割する参照画像分割部108と、被検査領域aiと参照領域biとの位置あわせを行う位置あわせ部110と、被検査領域aiと参照領域biとの比較結果から欠陥を検出する欠陥検出部112と、を備える。 As shown in FIG. 4, the defect detection apparatus 102 includes an imaging unit 104 to image the pattern, and the inspection image division unit 106 for dividing an inspection image A into a plurality of regions under testing A1-A12, the reference image B a reference image division unit 108 for dividing the plurality of reference regions B1 to B12, the positioning unit 110 to align the reference region bi and inspecting region ai, from the comparison result between the reference area bi and the inspecting region ai includes a defect detector 112 for detecting a defect, the.

(撮像部104) (Imaging unit 104)
撮像部104は、被検査パターンを撮像して被検査画像Aを生成するとともに、参照パターンを撮像して参照画像Bを生成する。 Imaging unit 104 generates the inspection image A by imaging the pattern to be inspected, a reference pattern to generate a reference image B by imaging. 被検査画像Aは被検査画像分割部106に与えられ、参照画像Bは参照画像分割部108に与えられる。 Inspection image A is given to the inspection image dividing unit 106, the reference image B is applied to the reference image dividing unit 108.

(被検査画像分割部106及び参照画像分割部108) (Inspection image dividing unit 106 and the reference image dividing unit 108)
被検査画像分割部106及び参照画像分割部108は、それぞれ、被検査画像A及び参照画像Bを水平方向及び垂直方向に規則的に分割する。 Inspection image dividing unit 106 and the reference image dividing unit 108, respectively, to divide regularly the inspection image A and the reference image B in the horizontal and vertical directions. 水平方向及び垂直方向の分割数は被検査画像A及び参照画像Bで同じである。 The division number of the horizontal and vertical directions are the same in the inspection image A and the reference image B. これにより、被検査領域aiと対応する参照領域biとの対について被検査領域aiと参照領域biとの位置あわせが実行され、被検査領域aiと参照領域biとが比較される。 Thus, alignment of the reference region bi and the inspecting region ai for a pair of the reference region bi corresponding to the inspection area ai is performed, a reference area bi and the inspecting region ai are compared. ただし、被検査領域aiと参照領域biとの位置あわせが実行され、被検査領域aiと参照領域biとが比較されるならば、被検査画像A及び参照画像Bは、どのように分割されてもよい。 However, alignment of the reference region bi and the inspection area ai is executed, if the reference region bi and the inspecting region ai is compared, the inspection image A and the reference image B, how is divided it may be. 例えば、被検査画像A及び参照画像Bは、水平方向のみに分割されてもよいし、垂直方向のみに分割されてもよい。 For example, the inspection image A and the reference image B may be divided only in the horizontal direction may be divided only in the vertical direction. 比較される被検査領域aiと参照領域biとの複数の対の各々は、位置あわせ部110に順次与えられる。 Each of the plurality of pairs of the reference region bi and the inspecting region ai to be compared are sequentially supplied to the positioning unit 110.

(位置あわせ部110) (Registration section 110)
図5は、第1実施形態の位置あわせ部110のブロック図である。 Figure 5 is a block diagram of the alignment portion 110 of the first embodiment. 図5の各ブロックも、専用のハードウエアを含んでいてもよいし、その機能の全部又は一部がコンピュータにプログラムを実行させることにより実現されてもよい。 Also each block of FIG. 5, may include dedicated hardware, it may be implemented by all or part of its features causing a computer to execute a program.

図5に示すように、位置あわせ部110は、比較される被検査領域aiと参照領域biとの対をグローバルアライメントが実行される第1の群とグローバルアライメントが実行されない第2の群とに分類する対分類部114と、グローバルアライメントを実行するグローバルアライメント実行部116と、ファインアライメントを実行するファインアライメント実行部118と、一の対についてのグローバルアライメントの実行結果を他の対に援用するグローバルアライメント実行結果援用部120と、を備える。 As shown in FIG. 5, the registration unit 110, and a second group first group and global alignment of the pair of the reference region bi and the inspecting region ai being compared global alignment is performed is not performed a pair classification unit 114 classifies a global alignment execution unit 116 to perform global alignment, the fine alignment execution unit 118 that executes the fine alignment, global to incorporate the execution result of the global alignment for one pair to another pair comprises an alignment execution result incorporated section 120.

対分類部114により第1の群に分類された対は、グローバルアライメント実行部116に与えられ、当該対についてグローバルアライメントが実行される。 The pairs that are classified into the first group of the pair classification unit 114, given the global alignment execution unit 116, a global alignment is performed for the pair. また、当該対は、グローバルアライメントが実行された後にファインアライメント実行部118に与えられ、当該対についてグローバルアライメントが実行された状態を基準としてファインアライメントが実行される。 Moreover, the pair is given a fine alignment execution unit 118 after the global alignment is performed, fine alignment is performed to a state where a global alignment is performed for the pair as a reference. グローバルアライメント実行部116のグローバルアライメントで導出されたピクセル単位の位置ずれ量は、グローバルアライメント実行結果援用部120に与えられる。 Positional deviation amount derived pixels in global alignment of global alignment execution unit 116 is provided to the global alignment execution result incorporated section 120.

一方、対分類部114により第2の群に分類された対は、グローバルアライメント実行結果援用部120に与えられ、グローバルアライメント実行部116から与えられた直前のグローバルアライメントで導出されたピクセル単位の位置ずれ量が当該対についてのピクセル単位の位置ずれ量として援用される。 On the other hand, the pair classifying unit 114 second classified pair group, given the global alignment execution result incorporated section 120, the position of pixels derived by the global alignment just before given the global alignment execution unit 116 shift amount is incorporated positional deviation amount of pixels for that pair. したがって、第2の群に属する対については、グローバルアライメントが実行されることなく、ピクセル単位の位置ずれ量が決まる。 Thus, for the pairs belonging to the second group, without global alignment is performed, position shift amount in pixels is determined. また、当該対は、ピクセル単位の位置ずれ量が援用された後にファインアライメント実行部118に与えられ、当該対について援用されたピクセル単位の位置ずれ量だけ被検査領域aiと参照領域biとが相対的に移動された状態を基準としてファインアライメントが実行される。 Moreover, the pair is given a fine alignment execution unit 118 after the positional displacement amount of pixel units are incorporated, position shift amount by the inspecting region ai and the reference region bi relative of the incorporated pixels for that pair fine alignment is performed a transferable state as a reference.

一の対についての位置あわせの処理の終了後は、位置あわせが実行されていない対が残っている限り、位置あわせがまだ実行されていない他の対について位置あわせが実行される。 After completion of the registration process for one pair, so long as there remains a pair of alignment is not running, the alignment is performed for the other pair of positioning is not already running. 一の対についての位置あわせの処理を終了する前に他の対について位置あわせの処理を開始するパイプライン処理を行うことも望ましい。 It is also desirable to perform a pipeline process of starting the process of positioning for other pairs before terminating the process of alignment of the first pair.

(欠陥検出部112) (Defect detection section 112)
欠陥検出部112は、ファインアライメントが行われた被検査領域aiと参照領域biとの対について被検査領域aiと参照領域biとを比較し欠陥を検出する。 Defect detector 112 detects the on-to the inspection area ai that fine alignment is performed with the reference region bi compares the reference region bi and the inspecting region ai defects. 欠陥は、どのように検出されてもよいが、被検査領域aiと参照領域biの対応する2つの画素値の差分や比率を求めることにより行うことが典型的である。 Defects, how it may be detected, it is typical to carry out by obtaining a difference or ratio of the corresponding two of the pixel values ​​of the reference region bi and the inspecting region ai.

(2段階の位置あわせ) (Two-stage alignment of)
上述の説明では、ピクセル単位で位置あわせを行うグローバルアライメントの後にサブピクセル単位で位置あわせを行うファインアライメントが実行される場合に言及したが、より一般的には、相対的に低い精度の位置あわせの後に相対的に高いか又は同じ精度の位置あわせが実行される2段階の位置あわせが実行される場合に本発明は適用される。 In the above description, reference has been made when the fine alignment for aligning in units of sub-pixels after the global alignment for aligning in pixels is performed, more generally, alignment of the relatively low accuracy the present invention applies to the case where relatively high or alignment same precision alignment of the two stages to be executed is executed after.

(パターン) (pattern)
欠陥の検出の対象となるパターンは、どのようなパターンであってもよいが、フラットディスプレイパネル、プリント基板、リードフレーム、フォトマスク等のパターンが典型的である。 Subject to the pattern of the detection of defects, any pattern is or may be, but the flat display panel, a printed circuit board, lead frame, the pattern such as a photo mask is typical.

<2 第2実施形態> <2 second embodiment>
第2実施形態は、第1実施形態の位置あわせ部110に代えて採用される位置あわせ部210に関する。 The second embodiment relates to positioning unit 210 is employed in place of the positioning portion 110 of the first embodiment.

(第2実施形態の位置あわせの概略) (Schematic of the alignment of the second embodiment)
図6は、第2実施形態の被検査領域a1〜a12と参照領域b1〜b12との位置あわせを説明する図である。 Figure 6 is a diagram illustrating the alignment of the reference region b1~b12 the inspecting region a1~a12 of the second embodiment.

第2実施形態の位置あわせにあたっては、図6に示すように、第1実施形態の位置あわせと同じく、比較される被検査領域aiと参照領域biとの複数の対の「一部」についてグローバルアライメントが実行されるが、第1実施形態の位置あわせと異なり、比較される被検査領域aiと参照領域biとの複数の対の「全部」ではなく「一部」についてファインアライメントが実行される。 When the positioning of the second embodiment, as shown in FIG. 6, as with the alignment of the first embodiment, globally for "portion" of a plurality of pairs of the reference region bi and the inspecting region ai is compared Although the alignment is performed, unlike the alignment of the first embodiment, fine alignment is performed for the "all" without "portion" of a plurality of pairs of the reference region bi and the inspecting region ai is compared .

つまり、図6に示すように、第1の群に属する対については、グローバルアライメントが実行される。 That is, as shown in FIG. 6, for the pairs belonging to the first group, global alignment is performed. しかし、第1の群に属さず第2の群に属する残余の対については、グローバルアライメントが行われない。 However, for a pair of residual belonging to the second group does not belong to the first group, is not performed global alignment. また、グローバルアライメントが行われない第2の群に属する対については、直前に行われたグローバルアライメントの結果が援用される。 Further, the pair belonging to the second group of global alignment is not performed, the result of global alignment performed immediately before is incorporated.

さらに、図6に示すように、第3の群に属する対については、ファインアライメントが実行される。 Furthermore, as shown in FIG. 6, for the pairs belonging to the third group, fine alignment is performed. しかし、第3の群に属さず第4の群に属する残余の対については、ファインアライメントが実行されない。 However, the fourth remaining pairs belonging to the group of not belong to the third group, fine alignment is not executed. また、ファインアライメントが実行されない第4の群に属する対については、直前に行われたファインアライメントの結果が援用される。 Further, the pair belonging to the fourth group of the fine alignment is not performed, the results that are made fine alignment immediately before is incorporated. この結果、第1の群に属する対については、グローバルアライメントが行われ、グローバルアライメントが実行された状態を基準として、ファインアライメントがさらに実行されるか(第3の群に属する対)、又は、直前に実行されたファインアライメントの結果が援用される(第4の群に属する対)。 As a result, the pair belonging to the first group, the global alignment is performed, based on the state of global alignment is performed, or fine alignment is further performed (pair belonging to the third group), or, results of the executed fine alignment immediately before is incorporated (pairs belonging to the fourth group). 一方、第2の群に属する対については、直前に実行されたグローバルアライメントの結果が援用され、直前に実行されたグローバルアライメントの結果が援用された状態を基準として、ファインアライメントが実行されるか(第3の群に属する対)、又は、直前に実行されたファインアライメントの結果が援用される(第4の群に属する対)。 On the other hand, if the pair belonging to the second group, the result of global alignment is performed immediately before is incorporated, the state in which the results are incorporated in the global alignment based just executed, fine alignment is performed (third pair belonging to the group), or the result of the executed fine alignment immediately before is incorporated (pairs belonging to the fourth group). このような位置あわせによれば、第2の群に属する対についてグローバルアライメントが実行されないので、欠陥の検出に要する時間が短くなる。 According to fit such a position, since the pair belonging to the second group of global alignment not executed, the time required for detection of defects is reduced. また、第1の群に属する対についてのグローバルアライメントの結果が第2の群に属する対に援用されるので、欠陥の検出の精度の低下が少ない。 Further, since the result of the global alignment of the pair belonging to the first group are incorporated in pairs belonging to the second group, reduction of accuracy of defect detection is small. 加えて、第4の群に属する対についてファインアライメントが実行されないので、欠陥の検出に要する時間が短くなる。 In addition, since the pair belonging to the fourth group of fine alignment not performed, the time required for detection of the defect becomes short. また、第3の群に属する対についてのファインアライメントの結果が第4の群に属する対に援用されるので、欠陥の検出の精度の低下が少ない。 Further, since the result of fine alignment of the pair belonging to the third group is incorporated in pairs belonging to the fourth group, reduction of accuracy of defect detection is small. このようなファインアライメントの省略は、サブピクセル単位の位置ずれ量に大きな変動がないことが期待される場合に実行される。 Omission of such fine alignment, no significant change in the positional deviation amount of the sub-pixels is performed when expected.

なお、第1の群ないし第4の群に属する対は必要に応じて変更される。 Note that pairs belonging to the first group to the fourth group are changed as needed.

(位置あわせ部210) (Alignment section 210)
図7は、第2実施形態の位置あわせ210のブロック図である。 Figure 7 is a block diagram of alignment 210 of the second embodiment. 図7の各ブロックも、専用のハードウエアを含んでいてもよいし、その機能の全部又は一部がコンピュータにプログラムを実行させることにより実現されてもよい。 Also each block of FIG. 7, may include dedicated hardware, it may be implemented by all or part of its features causing a computer to execute a program.

図7に示すように、位置あわせ部210は、第1実施形態の位置あわせ部110と同じく、対分類部214と、グローバルアライメント実行部216と、グローバルアライメント実行結果援用部220と、ファインアライメント実行部218とを備えるが、第1実施形態の位置あわせ部110と異なり、一の対についてのファインアライメントの実行結果を他の対に援用するファインアライメント実行結果援用部222も備える。 As shown in FIG. 7, the registration unit 210, like the alignment portion 110 of the first embodiment, a pair classifying unit 214, a global alignment execution unit 216, a global alignment execution result incorporated section 220, fine alignment performed and a section 218 but, unlike the positioning portion 110 of the first embodiment also includes fine alignment execution result incorporated section 222 to incorporate the execution result of fine alignment for one pair to another pair.

対分類部214により第1の群に分類された対は、グローバルアライメント実行部216に与えられ、当該対についてグローバルアライメントが実行される。 The pairs that are classified into the first group of the pair classification unit 214, given the global alignment execution unit 216, a global alignment is performed for the pair. グローバルアライメント実行部216のグローバルアライメントで導出されたピクセル単位の位置ずれ量は、グローバルアライメント実行結果援用部220に与えられる。 Positional deviation amount derived pixels in global alignment of global alignment execution unit 216 is provided to the global alignment execution result incorporated section 220.

一方、対分類部214により第2の群に分類された対は、グローバルアライメント実行結果援用部220に与えられ、グローバルアライメント実行部216から与えられた直前のグローバルアライメントで導出されたピクセル単位の位置ずれ量が当該対についてのピクセル単位の位置ずれ量として援用される。 On the other hand, the pair classifying unit 214 second classified pair group, given the global alignment execution result incorporated section 220, the position of pixels derived by the global alignment just before given the global alignment execution unit 216 shift amount is incorporated positional deviation amount of pixels for that pair.

グローバルアライメントが実行された後又はピクセル単位の位置ずれ量が援用された後に、第3の群に属する対は、ファインアライメント実行部218に与えられ、当該対についてグローバルアライメントが実行された状態又は直前に実行されたグローバルアライメントの結果が援用された状態を基準としてファインアライメントが実行される。 After the global alignment is positional displacement amount or pixels after being executed is incorporated, the pair belonging to the third group, given the fine alignment execution unit 218, the pair state or just before the global alignment is performed for fine alignment is performed to a state in which the result of the global alignment is incorporated which is executed as a reference. ファインアライメント実行部218のファインアライメントで導出されたサブピクセル単位の位置ずれ量は、ファインアライメント実行結果援用部222に与えられる。 Positional deviation amount of the sub-pixels derived by the fine alignment of the fine alignment execution unit 218 is provided to fine alignment execution result incorporated section 222.

一方、グローバルアライメントが実行された後又はピクセル単位の位置ずれ量が援用された後に、第4の群に属する対は、ファインアライメント実行結果援用部222に与えられ、ファインアライメント実行部218から与えられた直前のファインアライメントで導出されたサブピクセル単位の位置ずれ量が当該対についてのサブピクセル単位の位置ずれ量として援用される。 On the other hand, after the positional deviation amount or pixels after global alignment is performed is incorporated, the pair belonging to the fourth group, given the fine alignment execution result incorporated section 222, supplied from the fine alignment execution unit 218 positional deviation amount of the sub-pixels derived by the fine alignment of the immediately prior are incorporated by positional deviation amount of the sub-pixels for that pair. したがって、第4の群に属する対については、ファインアライメントが実行されることなく、サブピクセル単位の位置ずれ量が決まる。 Thus, for the pairs belonging to the fourth group, without fine alignment is performed, the position deviation amount of the sub-pixels is determined.

一の対についての位置あわせの処理の終了後は、位置あわせが実行されていない対が残っている限り、位置あわせがまだ実行されていない他の対について位置あわせが実行される。 After completion of the registration process for one pair, so long as there remains a pair of alignment is not running, the alignment is performed for the other pair of positioning is not already running. 一の対についての位置あわせの処理を終了する前に他の対について位置あわせの処理を開始するパイプライン処理を行うことも望ましい。 It is also desirable to perform a pipeline process of starting the process of positioning for other pairs before terminating the process of alignment of the first pair.

<3 第3実施形態> <3 Third Embodiment>
第1実施形態の位置あわせ又は第2実施形態の位置あわせを行う場合、グローバルアライメントが実行される第1の群に属する被検査領域aiと参照領域biとの対は、手動で決定されるか、被検査画像A又は参照画像Bをプリスキャンして自動で決定される。 When performing the alignment of the alignment or the second embodiment of the first embodiment, or global alignment first pair of the inspected area ai and a reference region bi belonging to the group to be executed is determined manually It is determined automatically by pre-scanning the inspection image a or the reference image B. しかし、グローバルアライメントに適さない対についてグローバルアライメントが実行されたり、グローバルアライメントが必要な対についてグローバルアライメントが実行されなかったりすると、位置あわせが適切に行われず、欠陥の検出の精度が低下する。 However, if the global alignment is performed for pairs unsuitable for global alignment, the global alignment for global alignment is required pair or not executed, the alignment is not performed properly, it decreases the accuracy of detection of the defect.

第3実施形態は、この問題を解決するために提供される、グローバルアライメントの要否を判定するグローバルアライメント要否判定装置324に関する。 The third embodiment is provided to solve this problem relates to global alignment necessity determination unit 324 determines the necessity of global alignment. 第3実施形態のグローバルアライメント要否判定装置324は、第1実施形態の対分類部114又は第2実施形態の対分類部214に実装される。 Global alignment necessity determination device 324 of the third embodiment is mounted to the pair classification portion 214 of the pair classification unit 114 or the second embodiment of the first embodiment.

図8は、第3実施形態のグローバルアライメント要否判定装置324のブロック図である。 Figure 8 is a block diagram of a global alignment necessity determination device 324 of the third embodiment. 図8の各ブロックも、専用のハードウエアを含んでいてもよいし、その機能の全部又は一部がコンピュータにプログラムを実行させることにより実現されてもよい。 Also each block of FIG. 8, may include dedicated hardware, it may be implemented by all or part of its features causing a computer to execute a program.

図8に示すように、グローバルアライメント要否判定装置324は、比較される被検査領域aiと参照領域biとの対の各々がグローバルアライメントに適するか否かを順次に判定する適否判定部326と、比較される被検査領域aiと参照領域biとの対が属する群を判定する群判定部328と、を備える。 As shown in FIG. 8, the global alignment necessity determination unit 324, and sequentially determines the appropriateness determining section 326 whether or not each of the pair of the reference region bi and the inspecting region ai being compared are suitable for global alignment comprises a determining unit determining unit 328 a group pair belongs to the reference region bi and the inspecting region ai being compared.

図9は、群判定部328の判定を説明する遷移図である。 Figure 9 is a transition diagram for explaining the determination of the group determination unit 328. 図9のノードN102,N104に記載されている「適」及び「不適」は、適否判定部326の判定である。 Is described in a node N102, N104 of FIG "relevant" and "irrelevant" is the determination of the appropriateness determining section 326. 矢印AR102,AR104,AR106,AR108に添えて記載されている「グローバルアライメント+ファインアライメント」及び「ファインアライメント」は、当該矢印AR102,AR104,AR106,AR108が出るノードN102,N104に記載されている適否判定部326の判定が群判定部328の判定の対象となっている対のひとつ前の対に対してなされ、当該矢印AR102,AR104,AR106,AR108が入るノードN102,N104に記載されている適否判定部326の判定が群判定部328の判定の対象となっている対に対してなされたときに実行される位置あわせの内容である。 Arrow AR102, AR104, AR106, are described along with the AR108 "global alignment + fine alignment" and "fine alignment" is propriety that is described in the arrow AR102, AR104, AR106, AR108 exits node N102, N104 the determination of the determination portion 326 are made to pair before one pair subjected to the determination of the group determination unit 328, the arrow AR102, AR104, AR106, AR108 is described in the node N102, N104 which enters propriety the contents of the registration to be executed when a determination of the determination unit 326 has been made to pairs subjected to the determination of the group determination unit 328.

図9に示すように、適否判定部326によりグローバルアライメントに適さないと判定された対は、第2の群に属すると判定され、当該対については、グローバルアライメントが行われずファインアライメントのみが実行される(矢印AR102,AR106)。 As shown in FIG. 9, the pair is determined to be unsuitable for global alignment by propriety determination unit 326, it is determined to belong to the second group, for the pair, only fine alignment is performed not performed global alignment that (the arrow AR102, AR106). また、適否判定部326によりグローバルアライメントに適さないと判定された対のひとつ後にグローバルアライメントに適すると判定された対は、第1の群に属すると判定され、当該対については、グローバルアライメントが実行された後にファインアライメントが実行される(矢印AR104)。 Moreover, the pair is determined to be suitable for global alignment after one pair is determined to be unsuitable for global alignment by propriety determination unit 326, are determined to belong to the first group, for that pair, a global alignment is performed fine alignment is performed after the (arrow AR104). これにより、グローバルアライメントに適さない対についてグローバルアライメントが実行されず、グローバルアライメントが必要な対についてグローバルアライメントが実行されるので、欠陥の検出の精度が向上する。 Thus, the pair that is not suitable for global alignment is not a global alignment is performed, because the global alignment for global alignment is required pair is performed, thereby improving the accuracy of detection of the defect.

さらに、適否判定部326によりグローバルアライメントに適すると判定された対のひとつ後にグローバルアライメントに適すると判定された対は、第1の群及び第2の群のいずれに属すると判定されてもよいが、第2の群に属すると判定されることが望ましく、当該対については、グローバルアライメントが行われずファインアライメントのみが実行されることが望ましい(矢印AR108)。 Further suitable been pairs determined in global alignment after one pair is determined to be suitable for global alignment by propriety determination unit 326 may but be determined to belong to any of the first and second groups preferably it is determined to belong to the second group, for the pair, only fine alignment without performing global alignment are desirably performed (arrow AR108). これにより、グローバルアライメントが必ずしも必要でない対についてグローバルアライメントが行われないので、欠陥の検出に要する時間が短縮される。 Thus, since the pair global alignment is not always necessary global alignment not performed, which reduces the time required for detection of the defect.

なお、上述したように、適否判定部326によりグローバルアライメントに適さないと判定された対は、第2の群に属すると判定されるのが原則であるが、グローバルアライメントが一度も実行されておらず援用するグローバルアライメントの実行結果が存在しない場合は、ファインアライメントを実行することができない。 As described above, the pair is determined to be unsuitable for global alignment by propriety determination unit 326, but being determined to belong to the second group is a principle, he is running a global alignment is even once not when the execution result of the global alignment which is incorporated does not exist, it is impossible to perform fine alignment. そのため、そのような場合は、当該対の処理を後回しにし、後の対についてグローバルアライメントが実行されてからファインアライメントを実行する例外の処理が実行される。 Therefore, such a case, the processing of the pair postponed, exception handling to perform fine alignment from global alignment is performed for a pair of later is executed.

<4 第4実施形態> <4 Fourth Embodiment>
第3実施形態の適否判定部326では、比較される被検査領域aiと参照領域biとの対の各々がグローバルアライメントに適するか否かは、被検査画像A又は参照画像Bを参照して自動で判定される。 The appropriateness determining section 326 of the third embodiment, whether each pair of the reference region bi and the inspecting region ai being compared are suitable for global alignment, with reference to the inspection image A or the reference image B Automatic in is determined. ただし、その判定が適切に行われないと、グローバルアライメントが適切に実行されない。 However, if the determination is not performed properly, the global alignment is not properly executed.

第4実施形態は、この問題を解決するために提供される、比較される被検査領域aiと参照領域biとの対の各々がグローバルアライメントに適するか否かを判定するグローバルアライメント適否判定装置430に関する。 The fourth embodiment is provided to solve this problem, global alignment appropriateness determination device determines whether each pair of the reference region bi and the inspecting region ai being compared are suitable for global alignment 430 on. グローバルアライメント適否判定装置430は、第3実施形態の適否判定部326に実装される。 Global alignment appropriateness determination device 430 is mounted on the appropriateness determining section 326 of the third embodiment.

図10(a)〜(g)は、グローバルアライメントに適する判定対象領域の例を示す図である。 Figure 10 (a) ~ (g) are diagrams showing an example of a determination target area suitable for global alignment. 図11は、グローバルアライメントに適する判定対象領域の自己相関性を説明する図である。 Figure 11 is a diagram illustrating the autocorrelation of determination target regions suitable for global alignment.

図10(a)〜図10(c)のようにエッジが閉じた閉図形のパターンが含まれる場合、図10(d)〜図10(f)のようにエッジがコーナーを有するパターンが含まれる場合、図10(g)のようにエッジが曲線となっているパターンが含まれる場合等は、判定対象領域はグローバルアライメントに適する。 If the edge as shown in FIG. 10 (a) ~ FIG 10 (c) is included closed figures pattern closed edges include pattern having corners as shown in FIG. 10 (d) ~ FIG 10 (f) If, like if it contains a pattern edge as shown in FIG. 10 (g) is in the curve, the determination target region is suitable for global alignment. これは、図11に示すように、判定対象領域JRを移動する前の画像(以下では、「移動前画像」という)BIと判定対象領域JRを移動した後の画像(以下では「移動後画像」という)AIとが、判定対象領域JRの移動方向MDによらず、類似しないからである。 This is because, as shown in FIG. 11, determination target region (hereinafter, "pre-movement image" hereinafter) before the image moving JR BI determination target area in the image after moving (hereinafter JR "post-movement image "hereinafter) and AI are, regardless of the moving direction MD of the determination target region JR, because not similar. すなわち、判定対象領域JRの自己相関性が任意の方向に対して低いからである。 In other words, the autocorrelation of the determination target region JR is because low for any direction.

図12(a)〜(h)は、グローバルアライメントに適さない判定対象領域の例を示す図である。 Figure 12 (a) ~ (h) is a diagram showing an example of a determination target region that is not suitable for global alignment. 図13は、グローバルアライメントに適さない判定対象領域の自己相関性を説明する図である。 Figure 13 is a diagram illustrating the autocorrelation of the determination target region that is not suitable for global alignment.

図12(a)のようにパターンが含まれない場合、図12(b)〜(c)のようにエッジの大部分が垂直方向に延在するパターンのみからなる場合、図13(d)〜(f)に示すようにエッジの大部分が水平方向に延在するパターンのみからなる場合、図12(g)〜(h)のようにエッジの大部分が特定の斜め方向に延在するパターンのみからなる場合等は、判定対象領域はグローバルアライメントに適さない。 12 not contain a pattern as shown in (a), in the case where composed only pattern most edge extending in a vertical direction as shown in FIG. 12 (b) ~ (c), FIG. 13 (d) ~ If the majority of the edge as shown in (f) consists only of pattern extending in the horizontal direction, the pattern most edge extending in a specific oblique direction as shown in FIG. 12 (g) ~ (h) or when made of only the determination target region is not suitable for global alignment. これは、図13に示すように、移動前画像BIと移動後画像AIとが、判定対象領域JRの移動方向MDによっては、類似するからである。 This is because, as shown in FIG. 13, a mobile pre-image BI and post-movement image AI is, the moving direction MD of the determination target region JR is because similar. すなわち、判定対象領域JRの自己相関性が特定の方向に対して高いからである。 In other words, the autocorrelation of the determination target region JR is because high for a particular direction.

図14は、第4実施形態のグローバルアライメント適否判定装置430のブロック図である。 Figure 14 is a block diagram of a global alignment appropriateness determination device 430 of the fourth embodiment. 図14の各ブロックも、専用のハードウエアを含んでいてもよいし、その機能の全部又は一部がコンピュータにプログラムを実行させることにより実現されてもよい。 Also each block of FIG. 14, may include dedicated hardware, it may be implemented by all or part of its features causing a computer to execute a program.

図14に示すように、グローバルアライメント適否判定装置430は、判定対象領域に含まれるエッジを検出するエッジ検出部432と、エッジの平均的な接線方向を導出する平均接線方向導出部434と、特定の方向に対する判定対象領域の自己相関性を評価する自己相関性評価部436と、対がグローバルアライメントに適するか否かを判定する判定部438と、を備える。 As shown in FIG. 14, the global alignment appropriateness determination device 430 includes an edge detection unit 432 for detecting an edge included in the determination target area, the average tangential derivation unit 434 for deriving the average tangential edge, the specific comprising the autocorrelation evaluation unit 436 for evaluating the autocorrelation of the determination target region with respect to the direction, pairs the determination unit 438 determines whether or not suitable for global alignment, the. 「判定対象領域」は、被検査領域ai及び参照領域biの片方又は両方である。 "Determination target region" is a one or both of the inspection area ai and the reference region bi.

エッジ検出部432は、判定対象領域を構成する複数の画素PX(x,y)の各々における水平方向(x方向)の濃度値I(x,y)の微分値dx及び垂直方向(y方向)の濃度値I(x,y)の微分値dyを導出する。 Edge detector 432, a plurality of constituting the determination target region pixel PX (x, y) density value I (x, y) of the differential value dx and vertical direction (y-direction) in the horizontal direction in each of the (x-direction) deriving a differential value dy of the density value I (x, y). 微分値は、どのように導出してもよいが、例えば、図15(a)〜(b)に示すPrewittの微分オペレータを微分値の導出の対象となる画素を中心とする水平方向3画素、垂直方向3画素の正方形の領域に適用することにより導出する。 Differential value, how it may be derived, for example, horizontal three pixels around the subject to the pixels of the derivation of the differential value of the differential operator of Prewitt shown in FIG. 15 (a) ~ (b), derived by applying to the area of ​​the vertical 3 pixels square. なお、Prewittの微分オペレータの適用には、ノイズの平滑化の効果が高いという利点があるが、このことは、Sobel、Roberts等の微分オペレータの適用による導出や単純な微分演算による導出を妨げない。 Note that the application of the Prewitt differential operator, but there is an advantage that the effect of smoothing the noise is high, this does not interfere with the derivation Sobel, by deriving and simple differential operation by application of a differential operator, such as Roberts .

また、エッジ検出部432は、微分値dxを水平成分、微分値dyを垂直成分とする法線ベクトルd=(dx,dy)の大きさ|d|を式(1)にしたがって導出し、大きさ|d|が閾値を超える画素をエッジを構成する画素として検出する。 The edge detecting unit 432, the horizontal component of the differential value dx, the normal vector d = (dx, dy) for the differential value dy and vertical components of the magnitude | d | was derived in accordance with Equation (1), the size is | d | detects pixels exceeding the threshold value as a pixel constituting an edge.

このエッジの検出は、法線ベクトルの大きさ|d|は、フラット部において小さくなり、エッジ部において大きくなることを利用している。 Detection of the edge is, the magnitude of the normal vector | d | is based on the fact that reduced at the flat portion is greater in the edge portion.

平均接線方向導出部434は、エッジ検出部432により検出されたエッジの平均的な接線方向θを導出する。 Average tangential derivation unit 434 derives an average tangential θ of the edges detected by the edge detection unit 432. 平均的な接線方向θは、どのように導出してもよいが、ここでは、「生データベクトル合算法」により導出する。 Average tangential theta, how it may be derived, where is derived by "raw data vector summing method". 「生データベクトル合算方法」では、ベクトルの角度を導出してから導出した角度を合算するのではなく、ベクトルを合算してから合算したベクトルの角度を導出する。 In the "raw data vector sum method", instead of summing up the angle derived from it derives the angle of the vector, to derive the angle of the vector obtained by summing from the sum of the vector.

「生データベクトル合算法」による平均的な接線方向θの導出にあたっては、まず、エッジを構成する複数の画素の各々におけるエッジの法線ベクトルd 1 ,d 2,・・・,d iを式(2)にしたがって合算する。 When the average tangential θ derived by the "raw data vector summing method", first, the normal vector d 1 of the edge in each of the plurality of pixels constituting the edge, d 2, · · ·, a d i Formula be summed according to (2).

式(2)にしたがった法線ベクトルの合算は、1番目からj−1番目までの法線ベクトルd 1 ,d 2,・・・,d j-1を合算したベクトルmd j-1にj番目の法線ベクトルd j又はj番目の法線ベクトルd jを180°反転したベクトル−d jを加えることを繰り返すことにより実行される。 The sum of the normal vectors in accordance with Equation (2) is the normal vector d 1 from the first to (j-1) -th, d 2, · · ·, vector the sum of d j-1 md j-1 to j It is performed by repeating the addition of th normal vector d j or j-th normal vector d j a 180 ° reversed vector -d j. ただし、md 1 =d 1である。 However, it is md 1 = d 1.

法線ベクトル+d jを加えるのは、ベクトルmd j-1と法線ベクトルd jとのなす角がπ/2又はπ/2より大きくベクトルmd j-1と法線ベクトルd jとの内積md j-1・d jが0又は正の場合である。 Add normal vector + d j is the inner product of the vector md j-1 and the normal vector d j larger vector than the angle formed [pi / 2 or [pi / 2 with md j-1 and the normal vector d j md j-1 · d j is the case of a 0 or a positive. ベクトル−d jを加えるのは、ベクトルmd j-1と法線ベクトルd jとのなす角がπ/2ラジアンより大きくベクトルmd j-1と法線ベクトルd jとの内積md j-1・d jが負の場合である。 Add vector -d j is the inner product md j-1 · a vector md j-1 and the normal vector d j greatly angle formed than [pi / 2 radians vector md j-1 and the normal vector d j d j is the case of the negative. このような合算によれば、微妙な濃度値の違いによるベクトルの反転により法線ベクトルd 1 ,d 2,・・・,d iの合算結果が0ベクトルに近くなることが回避される。 According to this sum, the normal vector d 1 by the reverse vector by subtle differences in density values, d 2, · · ·, it is avoided that summation result of d i is close to 0 vector. このような合算は、導出したい平均的な接線方向は、ベクトルの方向そのものではなく、ベクトルの傾きであることにより許容される。 Such sum is the average tangential to be derived, rather than the direction itself of the vector, it is allowed by the slope of the vector. また、このような合算によれば、強いエッジの寄与が大きくなり弱いエッジの寄与が小さくなるので、誤って検出されたエッジの影響が小さくなる。 Further, according to this summation, so strong edges contribution contribution is large becomes weak edge is reduced, the influence of the erroneously detected edge is reduced.

また、平均接線方向導出部434は、法線ベクトルd 1 ,d 2,・・・,d iを合算することにより導出された合算ベクトルmd iの水平成分md ix及び垂直成分md iyから式(3)にしたがって平均的な接線方向θを導出する。 The average tangential derivation unit 434, normal vector d 1, d 2, · · ·, a horizontal component md ix and vertical components md iy summation vector md i derived by summing the d i formula ( 3) according to derive an average tangential theta. 接線方向θは、合算ベクトルmd iに垂直なベクトルと水平方向とのなす角であり、−π/2からπ/2までの値をとる。 Tangential theta, an angle between a vector perpendicular and horizontal to the summing vector md i, takes values from - [pi] / 2 to [pi / 2.

自己相関性評価部436は、平均接線方向導出部434により導出された平均的な接線方向θに対する判定対象領域の自己相関性を評価する。 Autocorrelation evaluating section 436 evaluates the autocorrelation of the determination target region relative to the average tangential θ derived by the average tangential derivation unit 434. 自己相関性は、どのように評価してもよいが、例えば、移動前画像と移動後画像との重なり部分における濃度値の差により評価する。 Autocorrelation, how evaluation may be. For example, to assess the difference in density value in the overlap between the moving image after the pre-movement image.

自己相関性の評価にあたっては、移動前画像を構成する画素PX(x,y)における濃度値I(x,y)と移動後画像を構成する画素PX'(x,y)を中心とするゆすらせ範囲内にある複数の画素PX'(x+i,y+j)の濃度値I'(x+i,y+j)の各々との二乗差sd ij (x,y)が式(4)にしたがって導出され、複数の二乗差sd ij (x,y)のうちの最小二乗差SD(x,y)が式(5)にしたがって導出される。 In the autocorrelation evaluation, swung pixel PX (x, y) constituting the pre-movement image density value I (x, y) in the pixel PX constituting an image after the movement and '(x, y) with center a plurality of pixels PX that are within the scope allowed '(x + i, y + j) concentration value I' (x + i, y + j) squares difference sd ij (x, y) and each of which is derived according to equation (4), a plurality of least square difference SD (x, y) of the squared difference sd ij (x, y) is derived in accordance with equation (5). このように濃度値I(x,y)との差がとられる濃度値I'(x+i,y+j)の位置をゆすらせることにより、計算精度や量子化誤差により後述する二乗差総和SSDが大きくなることが抑制される。 Thus density value I (x, y) the density value I '(x + i, y + j) the difference between is taken by bringing swung position of the squared difference sum SSD to be described later by the calculation accuracy and the quantization error increases it is suppressed.

式(4)及び式(5)のx及びyは、それぞれ、水平方向及び垂直方向の画素の座標である。 x and y of formula (4) and (5) are the coordinates of the horizontal and vertical pixels. 式(4)及び式(5)のi及びjは、それぞれ、水平方向及び垂直方向のゆすらせ量であり、−1,0,+1のいずれかの値をとる。 i and j of the formula (4) and (5) are each a quantity not swung the horizontal and vertical directions, -1,0, take one of the values ​​+ 1.

さらに、重なり部分に含まれる全ての画素についての最小二乗差SD(x,y)の二乗差総和SSDが式(6)にしたがって導出される。 Furthermore, the square difference sum SSD of least squares difference SD for all the pixels included in the overlapping portion (x, y) is derived according to equation (6).

判定対象領域を接線方向θに距離kだけ移動するベクトルsは、式(7)にしたがって導出される。 Vector s to move the determination target region in the tangential direction θ by the distance k is derived according to equation (7).

ベクトルsの大きさkは、判定対象領域を移動する量が数ピクセル以上となるように大きくすることが望ましい。 The magnitude of the vector s k is the amount of movement of the determination target region is increased so that more than a few pixels is desired. これにより、移動前画像と移動後画像とが近くなりすぎ、自己相関性が小さいにもかかわらず二乗差総和SSDが小さくなることが抑制される。 Thus, a moving image before the moving image after it too close, even though the square difference sum SSD autocorrelation is smaller that the decrease is suppressed. また、複数の大きさk 1 ,k 2を用いて二乗差総和SSDを導出し、最も大きい二乗差総和SSDを採用することも望ましい。 It is also desirable to use a plurality of sizes k 1, k 2 derives the square difference sum SSD, employs the largest squared difference sum SSD. これにより、濃度値I(x,y)に周期性がある場合に判定対象領域を移動する量が周期に一致することにより自己相関性が小さいにもかかわらず二乗差総和SSDが小さくなることが抑制される。 Thus, the concentration value I (x, y) be spite squared difference sum SSD autocorrelation is smaller by an amount that moves the determination target region when there is periodicity in matches the period is reduced It is suppressed. 複数の大きさk 1 ,k 2の比k 1 :k 2は、互いに素な整数m,nの比m:nと等しいことが望ましい(k 1 ,k 2 =m:n)。 A plurality of size k 1, the ratio of k 2 k 1: k 2 is relatively prime integers m, the ratio of n m: desirably equal to n (k 1, k 2 = m: n). これにより、複数の大きさk 1 ,k 2の両方について判定対象領域を移動する量が周期に一致することが回避される。 Accordingly, the amount to move the determination target region for both a plurality of size k 1, k 2 is prevented to be consistent with the period.

判定部438は、エッジ検出部432によりエッジが検出されない場合に対がグローバルアライメントに適さないと判定する。 Judging unit 438 determines that pair if the edge is not detected by the edge detection unit 432 is not suitable for global alignment. これにより、図12(a)に示すような場合にグローバルアライメントが行われない。 Thus, it is not done global alignment in the case shown in Figure 12 (a). また、判定部438は、二条差総和SSDが閾値を下回り自己相関性が基準よりも高い場合に対がグローバルアライメントに適さないと判定する。 The determination unit 438 determines a pair when autocorrelation is higher than the reference is not suitable for global alignment below the Nijo difference sum SSD threshold. これにより、図12(b)〜(g)に示すような場合にグローバルアライメントが行われない。 Thus, it is not done global alignment in the case shown in FIG. 12 (b) ~ (g). また、判定部438は、これら以外の場合に対がグローバルアライメントに適すると判定する。 The determination unit 438 determines that pairs otherwise they are suitable for global alignment.

このようなグローバルアライメント適否判定処理によれば、グローバルアライメントに適するか否かが適切に判定されるので、グローバルアライメントが適切に実行される。 According to such a global alignment propriety determination process, since whether suitable global alignment is suitably determined, global alignment is properly performed.

<5 第5実施形態> <5 Fifth Embodiment>
第5実施形態は、第4実施形態のグローバルアライメント適否判定装置430に代えて採用されるグローバルアライメント適否判定装置530に関する。 Fifth embodiment relates global alignment appropriateness determination device 530 that is employed in place of the global alignment appropriateness determination device 430 of the fourth embodiment.

図16は、第5実施形態のグローバルアライメント適否判定装置530のブロック図である。 Figure 16 is a block diagram of a global alignment appropriateness determination device 530 of the fifth embodiment.

図16に示すように、グローバルアライメント適否判定装置530は、判定対象領域に含まれるエッジを検出するエッジ検出部532と、画素により構成される直線を検出する直線検出部540と、直線の方向を導出する方向導出部542と、対がグローバルアライメントに適するか否かを判定する判定部538と、を備える。 As shown in FIG. 16, the global alignment appropriateness determination device 530 includes an edge detection unit 532 for detecting an edge included in the determination target region, and the line detection unit 540 detects a straight line formed by pixels, a direction of a straight line comprises a direction derivation unit 542 for deriving, pairs and determination unit 538 whether suitable global alignment, the.

エッジ検出部532は、第4実施形態のエッジ検出部432と同じく、エッジを検出する。 Edge detector 532, like the edge detection unit 432 of the fourth embodiment detects an edge.

直線検出部540は、エッジ検出部532により検出されたエッジを構成する画素により構成される直線を一般的なハフ変換等により検出する。 Line detection unit 540 detects the general Hough transform like a straight line formed by pixels constituting the edges detected by the edge detection unit 532.

方向導出部542は、直線検出部540により検出された直線の方向を導出する。 Direction derivation unit 542 derives the direction of the detected straight line by the line detection unit 540.

図17(a)〜(b)は、判定対象領域がグローバルアライメントに適する場合に直線検出部540により検出される直線Lを示す図である。 Figure 17 (a) ~ (b), the determination target region is a diagram showing a straight line L which is detected by the line detection unit 540 to be suitable for global alignment. また、図18(a)〜(b)は、判定対象領域がグローバルアライメントに適さない場合に直線検出部540により検出される直線Lを示す図である。 Further, FIG. 18 (a) ~ (b), the determination target region is a diagram showing a straight line L which is detected by the line detection unit 540 when unsuitable for global alignment. 判定対象領域がグローバルアライメントに適する場合は、図17に示すように、検出される直線Lの方向は非一様であり、判定対象領域がグローバルアライメントに適さない場合は、図18に示すように、検出される直線Lの方向は一様である。 If the determination target region is suitable for global alignment, as shown in FIG. 17, the direction of the straight line L to be detected is non-uniform, if the determination target region is not suitable for global alignment, as shown in FIG. 18 , the direction of the straight line L to be detected is uniform.

判定部538は、第4実施形態の判定部438と同じく、エッジ検出部532によりエッジが検出されない場合に対がグローバルアライメントに適さないと判定する。 Judging unit 538 determines that like the determination unit 438 of the fourth embodiment, pairs if no edge is detected by the edge detection unit 532 is not suitable for global alignment. さらに、判定部538は、第4実施形態の判定部438とは異なり、上述の直線の一様性の変化を利用して、方向導出部542により導出された方向の一様性が基準よりも高い場合に対がグローバルアライメントに適さないと判定する。 Furthermore, the determination unit 538 is different from the determination unit 438 of the fourth embodiment, by utilizing the change in the uniformity of the above-described linear, than in the direction of uniformity reference derived by the direction derivation unit 542 determines that pair is higher is not suitable for global alignment. また、判定部538は、これら以外の場合に対がグローバルアライメントに適すると判定する。 The determination unit 538 determines that pairs otherwise they are suitable for global alignment.

このようなグローバルアライメント適否判定装置530によっても、グローバルアライメントに適するか否かが適切に判定されるので、グローバルアライメントが適切に実行される。 With such a global alignment appropriateness determination device 530, since whether suitable global alignment is suitably determined, global alignment is properly performed.

<6 第6実施形態> <6 Sixth Embodiment>
第6実施形態は、第4実施形態のグローバルアライメント適否判定装置430に代えて採用されるグローバルアライメント適否判定装置630に関する。 The sixth embodiment is related to global alignment appropriateness determination device 630 that is employed in place of the global alignment appropriateness determination device 430 of the fourth embodiment.

図19は、第6実施形態のグローバルアライメント適否判定装置630のブロック図である。 Figure 19 is a block diagram of a global alignment appropriateness determination device 630 of the sixth embodiment.

図19に示すように、グローバルアライメント適否判定装置630は、判定対象領域に含まれるエッジを検出するエッジ検出部632と、エッジの接線方向のヒストグラムを導出するヒストグラム導出部644と、対がグローバルアライメントに適するか否かを判定する判定部638と、を備える。 As shown in FIG. 19, the global alignment appropriateness determination device 630 includes an edge detection unit 632 for detecting an edge included in the determination target area, a histogram derivation unit 644 for deriving a tangential histogram of edge-to-global alignment It comprises suitable and whether determination unit 638, to.

エッジ検出部632は、第4実施形態のエッジ検出部432と同じく、エッジを検出する。 Edge detector 632, like the edge detection unit 432 of the fourth embodiment detects an edge.

ヒストグラム導出部644は、エッジ検出部632により検出されたエッジの接線方向のヒストグラムを導出する。 Histogram deriving unit 644 derives the tangential histogram of the detected edge by the edge detecting unit 632.

図20は、判定対象領域がグローバルアライメントに適する場合にヒストグラム導出部644により導出されるヒストグラムを示す図である。 Figure 20 is a determination target region is a diagram showing a histogram derived by the histogram deriving unit 644 when appropriate for global alignment. また、図21は、判定対象領域がグローバルアライメントに適さない場合にヒストグラム導出部644により導出されるヒストグラムを示す図である。 Further, FIG. 21, the determination target region is a diagram showing a histogram derived by the histogram deriving unit 644 when unsuitable for global alignment. 判定対象領域がグローバルアライメントに適する場合は、図20に示すように、ヒストグラムに2個以上のピークが存在し、判定対象領域がグローバルアライメントに適さない場合は、ヒストグラムに1個のピークのみが存在する。 If the determination target region is suitable for global alignment, as shown in FIG. 20, there are two or more peaks in the histogram, if the determination target region is not suitable for global alignment, only one peak is present in the histogram to.

判定部638は、第4実施形態の判定部438と同じく、エッジ検出部632によりエッジが検出されない場合に対がグローバルアライメントに適さないと判定する。 Judging unit 638 determines that like the determination unit 438 of the fourth embodiment, pairs if no edge is detected by the edge detection unit 632 is not suitable for global alignment. さらに、判定部638は、第4実施形態の判定部438とは異なり、上述のヒストグラムに存在するピークの数の変化を利用して、ヒストグラム導出部644により導出されたヒストグラムに存在するピークの数が1個のみである場合に対がグローバルアライメントに適さないと判定する。 Furthermore, the determination unit 638 is different from the determination unit 438 of the fourth embodiment, the number of peaks by utilizing the change in the number of peaks present in the above-described histogram, present in the histogram derived by the histogram deriving unit 644 There determines that the pair if only one not suitable for global alignment. また、判定部638は、これら以外の場合に対がグローバルアライメントに適すると判定する。 The determination unit 638 determines that pairs otherwise they are suitable for global alignment.

このようなグローバルアライメント適否判定装置630によっても、グローバルアライメントに適するか否かが適切に判定されるので、グローバルアライメントが適切に実行される。 With such a global alignment appropriateness determination device 630, since whether suitable global alignment is suitably determined, global alignment is properly performed.

<7 第7実施形態> <7 seventh embodiment>
第7実施形態は、第4実施形態のグローバルアライメント適否判定装置430に代えて採用されるグローバルアライメント適否判定装置730に関する。 The seventh embodiment relates to global alignment appropriateness determination device 730 that is employed in place of the global alignment appropriateness determination device 430 of the fourth embodiment.

図22は、第7実施形態のグローバルアライメント適否判定装置730のブロック図である。 Figure 22 is a block diagram of a global alignment appropriateness determination device 730 of the seventh embodiment.

図22に示すように、グローバルアライメント適否判定装置730は、判定対象領域に含まれるエッジを検出するエッジ検出部732と、判定対象領域に含まれるコーナーを検出するコーナー検出部746と、対がグローバルアライメントに適するか否かを判定する判定部738と、を備える。 As shown in FIG. 22, the global alignment appropriateness determination device 730 includes an edge detection unit 732 for detecting an edge included in the determination target area, a corner detection unit 746 for detecting a corner included in the determination target area, versus the global includes a determination unit 738 whether suitable alignment, the.

エッジ検出部732は、第4実施形態のエッジ検出部432と同じく、エッジを検出する。 Edge detector 732, like the edge detection unit 432 of the fourth embodiment detects an edge.

コーナー検出部746は、判定対象領域に含まれるコーナーを一般的なHarrisオペレータ、SUSANオペレータ等により検出する。 Corner detection unit 746 detects a corner included in the determination target region typical Harris operator, the SUSAN operator or the like.

図23(a)〜(b)は、判定対象領域がグローバルアライメントに適する場合にコーナー検出部732により検出されるコーナーCを示す図である。 Figure 23 (a) ~ (b), the determination target region is a diagram showing a corner C which is detected by the corner detecting unit 732 to be suitable for global alignment. 判定対象領域がグローバルアライメントに適する場合は、図23に示すように、1個以上のコーナーが検出されるが、判定対象領域がグローバルアライメントに適さない場合は、コーナーCは検出されない。 If the determination target region is suitable for global alignment, as shown in FIG. 23, although one or more corners are detected, if the determination target region is not suitable for global alignment, the corner C is not detected.

判定部738は、第4実施形態の判定部438と同じく、エッジ検出部732によりエッジが検出されない場合に対がグローバルアライメントに適さないと判定する。 Judging unit 738 determines that like the determination unit 438 of the fourth embodiment, pairs if no edge is detected by the edge detection unit 732 is not suitable for global alignment. さらに、判定部738は、第4実施形態の判定部438とは異なり、上述のコーナーの検出の有無を利用して、コーナー検出部746によりコーナーが検出されない場合に対がグローバルアライメントに適さないと判定する。 Furthermore, the determination unit 738 is different from the determination unit 438 of the fourth embodiment, by utilizing the presence or absence of detection of the above-mentioned corner, the pair when the corner is not detected by the corner detecting unit 746 is not suitable for global alignment judge. また、判定部738は、これら以外の場合に対がグローバルアライメントに適すると判定する。 The determination unit 738 determines that pairs otherwise they are suitable for global alignment.

このようなグローバルアライメント適否判定装置730によっても、グローバルアライメントに適するか否かが適切に判定されるので、グローバルアライメントが適切に実行される。 With such a global alignment appropriateness determination device 730, since whether suitable global alignment is suitably determined, global alignment is properly performed.

<8 第8実施形態> <8 eighth embodiment>
第8実施形態は、第4実施形態のグローバルアライメント適否判定装置430に代えて採用されるグローバルアライメント適否判定装置830に関する。 Eighth embodiment relates to global alignment appropriateness determination device 830 that is employed in place of the global alignment appropriateness determination device 430 of the fourth embodiment.

図24は、第8実施形態のグローバルアライメント適否判定装置830のブロック図である。 Figure 24 is a block diagram of a global alignment appropriateness determination device 830 of the eighth embodiment.

図24に示すように、グローバルアライメント適否判定装置830は、判定対象領域の移動先をゆすらせ範囲内でゆすらせたときの自己相関性の分布を導出する分布導出部848と、対がグローバルアライメントに適するか否かを判定する判定部838と、を備える。 As shown in FIG. 24, the global alignment appropriateness determination device 830, a distribution deriving unit 848 derives the autocorrelation of the distribution obtained while swung within allowed swung the destination determination target region, pairs global alignment It comprises suitable and whether determination unit 838, to.

第8実施形態が第4実施形態と異なるのは、エッジの接線方向から自己相関性が高い方向を求めるのではなく、分布導出部848が、判定対象領域の移動先をゆすらせ範囲内でゆすらせて、移動量ごとに差分値SSDのような自己相関性の指標値を導出し、判定部838が、その分布が特定の方向性を持つか否かにより特定の方向に対する自己相関性があるかどうかを判定することにある。 The eighth embodiment differs from the fourth embodiment, instead of obtaining the autocorrelation is high direction from the tangential direction of the edge, distribution deriving unit 848, swung within a range not swung the destination determination target region thereby derives an index value of autocorrelation, such as differential values ​​SSD for each moving amount determination unit 838, there is autocorrelation for a particular direction depending on whether the distribution has a certain directionality It is to determine whether.

図25は、判定対象領域がグローバルアライメントに適する場合に分布導出部848により導出される自己相関性の指標値の分布を示す図である。 Figure 25 is a determination target region is a diagram showing the distribution of index values ​​of autocorrelation derived by distribution deriving unit 848 to be suitable for global alignment. 図26は、判定対象領域がグローバルアライメントに適さない場合に分布導出部848により導出される自己相関性の指標値の分布を示す図である。 Figure 26 is a determination target region is a diagram showing the distribution of index values ​​of autocorrelation derived by distribution deriving unit 848 when unsuitable for global alignment. 図25及び図26においては、暗部ほど自己相関性が高く、明部ほど自己相関性が低くなっている。 In FIGS. 25 and 26, the dark area as the autocorrelation is high, the self-correlation becomes lower as the bright portion. 判定対象領域がグローバルアライメントに適する場合は、図25に示すように、自己相関性の指標値の分布には異方性がない。 If the determination target region is suitable for global alignment, as shown in FIG. 25, there is no anisotropy in the distribution of the autocorrelation of the index value. 判定対象領域がグローバルアライメントに適さない場合は、図26に示すように、自己相関性の指標値の分布には異方性がある。 If the determination target region is not suitable for global alignment, as shown in FIG. 26, the distribution of the autocorrelation of the index value is anisotropic.

判定部838は、上述の自己相関性の分布の異方性の有無を利用して、分布導出部により導出された自己相関性の指標値の分布が基準を満たす方向性を有する場合に対が相対的に低い精度の位置あわせに適さないと判定する。 Determination unit 838 uses the presence or absence of anisotropy of the autocorrelation of the distribution of above, pairs when the distribution of the autocorrelation of the index value derived by the distribution deriving unit has a directional satisfying criteria It judged to be unsuitable for aligning the relatively low accuracy. 方向性を有するか否かは、自己相関性の指標値の分布に対して、第5実施形態と同様に、エッジを構成する画素により構成される直線の方向が一様であるか否かを調べるか、第6実施形態と同様に、エッジの接線方向のヒストグラムに存在するピークが1個のみであるか否かを調べるか、第7実施形態と同様に、コーナーが検出されないか否かを調べることにより、特定される。 Whether having directionality for the distribution of the autocorrelation of the index value, as in the fifth embodiment, whether the direction of the straight line formed by pixels constituting the edge is uniform checks whether, as in the sixth embodiment, or peaks present in the tangential direction of the histogram of the edge is checked whether only one, as in the seventh embodiment, whether the corner is not detected by examining it is identified.

このようなグローバルアライメント適否判定装置830によっても、グローバルアライメントに適するか否かが適切に判定されるので、グローバルアライメントが適切に実行される。 With such a global alignment appropriateness determination device 830, since whether suitable global alignment is suitably determined, global alignment is properly performed.

<9 第9実施形態> <9 ninth embodiment>
第1実施形態の位置あわせ又は第2実施形態の位置あわせを行うにあたって被検査領域aiと参照領域biとの相関をハードウエアの演算処理回路により導出する場合、グローバルアライメントを行う範囲を拡大したり、ファインアライメントを行う精度を向上したりすると、演算処理回路の規模が大きくなる。 If the correlation between the reference area bi and the inspecting region ai carrying out the alignment of the alignment or the second embodiment of the first embodiment is derived by hardware arithmetic processing circuit, or to expand the range for global alignment When or improve the accuracy of performing fine alignment, scale of the arithmetic processing circuit increases.

例えば、被検査領域aiと参照領域biとの位置関係を示す図27に示すように、グローバルアライメントを水平方向及び垂直方向に±P画素広がる範囲内で行うと、(2P+1) 2個の加算器が必要になる。 For example, as shown in FIG. 27 showing the positional relationship between the reference area bi and inspecting region ai, performed within a range extending ± P pixels global alignment in horizontal and vertical directions, (2P + 1) 2 adders is required.

また、被検査領域aiと参照領域biとの位置関係を示す図28に示すように、ファインアライメントを1/P画素単位で行うと、1画素をP画素に増やす補間処理が行われ、(2P+1) 2個の加算器が必要になる。 Further, as shown in FIG. 28 showing the positional relationship between the reference area bi and inspecting region ai, Doing fine alignment in 1 / P pixel, the interpolation processing to increase by one pixel in the P pixels is performed, (2P + 1 ) are required two adders.

第9実施形態は、この問題を解決するために提供される、位置あわせ装置950に関する。 Ninth embodiment is provided to solve this problem relates to alignment device 950. 位置あわせ装置950は、第1実施形態のグローバルアライメント実行部116及びファインアライメント実行部118並びに第2実施形態のグローバルアライメント実行部216及びファインアライメント実行部218の全部又は一部に実装される。 Alignment device 950 is mounted on all or part of the global alignment execution section 116 and the fine alignment execution unit 118 and the second embodiment global alignment execution section 216 and the fine alignment execution unit 218 of the first embodiment. なお、グローバルアライメント実行部116及びファインアライメント実行部118でハードウエアの演算処理回路を共用してもよいし、グローバルアライメント実行部216及びファインアライメント実行部218でハードウエアの演算処理回路を共用してもよい。 Incidentally, the in global alignment execution section 116 and the fine alignment execution unit 118 may be shared arithmetic processing circuit of hardware, share the calculation processing circuit of hardware in global alignment execution section 216 and the fine alignment execution unit 218 it may be.

図29は、第9実施形態の位置あわせ装置950のブロック図である。 Figure 29 is a block diagram of the alignment apparatus 950 of the ninth embodiment. 図29の演算処理回路952は、全部又は一部がハードウエアであるが、演算処理分割部954は、専用のハードウエアを含んでいてもよいし、その機能の全部又は一部がコンピュータにプログラムを実行させることにより実現されてもよい。 Arithmetic processing circuit 952 in FIG. 29, but all or part of a hardware, the processing division section 954 may be comprise dedicated hardware, program all or part of the functions on the computer it may be realized by the execution.

図29に示すように、位置あわせ装置950は、位置あわせのための演算処理を行う演算処理回路952と位置あわせのための演算を複数回に分割して前記演算処理回路に行わせる演算分割部954とを備える。 As shown in FIG. 29, alignment device 950 includes an arithmetic division unit to perform the arithmetic processing circuit is divided into a plurality of times calculation for positioning the arithmetic processing circuit 952 performs arithmetic processing for alignment and a 954.

これにより、位置あわせのための演算処理を行う演算処理回路の規模を縮小するので、欠陥検出装置102が簡略化される。 Accordingly, since reducing the size of the arithmetic processing circuit performs arithmetic processing for alignment, defect detection apparatus 102 is simplified.

<10 その他> <10 Other>
この発明は詳細に説明されたが、上述の説明は、全ての局面において例示であり、この発明はその説明内容に限定されない。 While the invention has been shown and described in detail, the foregoing description is illustrative in all aspects, the invention is not limited to that described contents. 例示されていない無数の変形例が、この発明の範囲から外れることなく想定され得る。 Numerous modifications and variations not illustrated can be devised without departing from the scope of the invention.

102 欠陥検出装置 106 被検査画像分割部 108 参照画像分割部 110,210 位置あわせ部 112 欠陥検出部 114,214 対分類部 116,216 グローバルアライメント実行部 118,218 ファインアライメント実行部 120,220 グローバルアライメント実行結果援用部 222 ファインアライメント実行結果援用部 102 defect detection apparatus 106 inspection image dividing unit 108 reference image dividing unit 110, 210 aligned portion 112 defect detector 114 and 214 versus the classification unit 116, 216 global alignment execution unit 118, 218 fine alignment execution units 120 and 220 global alignment execution result incorporated section 222 fine alignment execution result incorporated section

Claims (14)

  1. 第1のパターンを撮像した第1の画像と第2のパターンを撮像した第2の画像とを比較して第1のパターンに含まれる欠陥を検出する欠陥検出装置であって、 A defect detection apparatus for detecting defects included in the first pattern by comparing the second image of the captured first image and the second pattern of the captured first pattern,
    第1の画像を複数の第1の領域に分割する第1の画像分割部と、 A first image division unit that divides the first image into a plurality of first regions,
    第2の画像を複数の第2の領域に分割する第2の画像分割部と、 A second image division unit for dividing the second image into a plurality of second regions,
    比較される第1の領域と第2の領域との複数の対のうちの第1の群に属する対について相対的に低い精度で第1の領域と第2の領域との位置あわせを実行する第1の位置あわせ部と、 Performing alignment between the first region and the first region and the second region at a relatively low accuracy for the first pair belonging to the group of the plurality of pairs of the second region to be compared a first alignment portion,
    比較される第1の領域と第2の領域との複数の対のうちの第1の群に属さず第2の群に属する残余の対に前記第1の位置あわせ部による第1の群に属する対についての位置あわせの結果を援用する第1の援用部と、 The first region and the first first group of by the first alignment portion to the remainder of the pairs belonging to the second group does not belong to the group of the plurality of pairs of the second region to be compared a first aided part incorporated the results of alignment of the pair belonging,
    比較される第1の領域と第2の領域との複数の対について前記第1の位置あわせ部により位置あわせが実行された状態又は前記第1の援用部により位置あわせの結果が援用された状態を基準として相対的に高いか又は同じ精度で第1の領域と第2の領域との位置あわせを実行する第2の位置あわせ部と、 The first region and the state of alignment results were incorporated by a plurality of pairs for the first alignment portion aligned is executed state or by the first incorporated portion of the second region to be compared a second positioning portion to perform alignment between the first region and the second region at a relatively high or the same accuracy as a reference,
    比較される第1の領域と第2の領域との複数の対について第1の領域と第2の領域との比較結果から欠陥を検出する欠陥検出部と、 A plurality of pairs of the first and second regions to be compared with the first region and the defect detection section for detecting a defect from the comparison result between the second region,
    を備え、 Equipped with a,
    前記第2の位置あわせ部は、 Said second alignment portion,
    比較される第1の領域と第2の領域との複数の対のうちの第3の群に属する対について相対的に高いか又は同じ精度で第1の領域と第2の領域との位置あわせを実行し、 Aligning the first region and the first region and the second region in the plurality of pairs third relatively higher or the same accuracy for pairs belonging to the group of one of the second region to be compared the execution,
    前記欠陥検出装置は、 The defect detection apparatus,
    比較される第1の領域と第2の領域との複数の対のうちの第3の群に属さず第4の群に属する残余の対に前記第2の位置あわせ部による第3の群に属する対についての位置あわせの結果を援用する第2の援用部、 The first region and the third third group by the second alignment portion to the fourth remaining pairs belonging to the group of not belong to the group of the plurality of pairs of the second region to be compared second incorporated portions of which are incorporated the results of alignment of the pair belonging,
    をさらに備える欠陥検出装置。 Further comprising defect detection apparatus.
  2. 第1のパターンを撮像した第1の画像と第2のパターンを撮像した第2の画像とを比較して第1のパターンに含まれる欠陥を検出する欠陥検出装置であって、 A defect detection apparatus for detecting defects included in the first pattern by comparing the second image of the captured first image and the second pattern of the captured first pattern,
    第1の画像を複数の第1の領域に分割する第1の画像分割部と、 A first image division unit that divides the first image into a plurality of first regions,
    第2の画像を複数の第2の領域に分割する第2の画像分割部と、 A second image division unit for dividing the second image into a plurality of second regions,
    比較される第1の領域と第2の領域との複数の対のうちの第1の群に属する対について相対的に低い精度で第1の領域と第2の領域との位置あわせを実行する第1の位置あわせ部と、 Performing alignment between the first region and the first region and the second region at a relatively low accuracy for the first pair belonging to the group of the plurality of pairs of the second region to be compared a first alignment portion,
    比較される第1の領域と第2の領域との複数の対のうちの第1の群に属さず第2の群に属する残余の対に前記第1の位置あわせ部による第1の群に属する対についての位置あわせの結果を援用する第1の援用部と、 The first region and the first first group of by the first alignment portion to the remainder of the pairs belonging to the second group does not belong to the group of the plurality of pairs of the second region to be compared a first aided part incorporated the results of alignment of the pair belonging,
    比較される第1の領域と第2の領域との複数の対について前記第1の位置あわせ部により位置あわせが実行された状態又は前記第1の援用部により位置あわせの結果が援用された状態を基準として相対的に高いか又は同じ精度で第1の領域と第2の領域との位置あわせを実行する第2の位置あわせ部と、 The first region and the state of alignment results were incorporated by a plurality of pairs for the first alignment portion aligned is executed state or by the first incorporated portion of the second region to be compared a second positioning portion to perform alignment between the first region and the second region at a relatively high or the same accuracy as a reference,
    比較される第1の領域と第2の領域との複数の対について第1の領域と第2の領域との比較結果から欠陥を検出する欠陥検出部と、 A plurality of pairs of the first and second regions to be compared with the first region and the defect detection section for detecting a defect from the comparison result between the second region,
    を備え、 Equipped with a,
    比較される第1の領域と第2の領域との複数の対の各々が相対的に低い精度の位置あわせに適するか否かを順次に判定する適否判定部と、 A first region and sequentially determining the appropriateness determining section for determining whether or not each of the plurality of pairs are suitable for aligning the relatively low accuracy of the second region to be compared,
    前記適否判定部により相対的に低い精度の位置あわせに適さないと判定された対を第2の群に属すると判定し、相対的に低い精度の位置あわせに適さないと判定された対のひとつ後に相対的に低い精度の位置あわせに適すると判定された対を第1の群に属すると判定する群判定部と、 Said determined as pairs not suitable for aligning a relatively low accuracy appropriateness determining section determines that belongs to the second group, one pair is determined to be unsuitable for aligning the relatively low accuracy the suitable and determined to be pairs aligned relatively low accuracy as belonging to the first group and determining the group determination unit later,
    をさらに備え、 Further comprising a,
    前記群判定部は、 Said group determination unit,
    前記適否判定部により相対的に低い精度の位置あわせに適すると判定された対のひとつ後に相対的に低い精度の位置あわせに適すると判定された対を第2の群に属すると判定する、 Determined as belonging to the appropriateness determining section pairs is determined after a single pair is determined to be suitable for positioning of relatively low accuracy suitable for positioning of relatively low precision by the second group,
    欠陥検出装置。 The defect detection apparatus.
  3. 請求項2の欠陥検出装置において、 In the defect detection apparatus according to claim 2,
    前記第2の位置あわせ部は、 Said second alignment portion,
    比較される第1の領域と第2の領域との複数の対の全部について相対的に高いか又は同じ精度で第1の領域と第2の領域との位置あわせを実行する、 Performing alignment between the first region and the first region and the second region at a relatively high or the same accuracy for all of the plurality of pairs of the second region to be compared,
    欠陥検出装置。 The defect detection apparatus.
  4. 請求項2の欠陥検出装置において、 In the defect detection apparatus according to claim 2,
    前記第2の位置あわせ部は、 Said second alignment portion,
    比較される第1の領域と第2の領域との複数の対のうちの第3の群に属する対について相対的に高いか又は同じ精度で第1の領域と第2の領域との位置あわせを実行し、 Aligning the first region and the first region and the second region in the plurality of pairs third relatively higher or the same accuracy for pairs belonging to the group of one of the second region to be compared the execution,
    前記欠陥検出装置は、 The defect detection apparatus,
    比較される第1の領域と第2の領域との複数の対のうちの第3の群に属さず第4の群に属する残余の対に前記第2の位置あわせ部による第3の群に属する対についての位置あわせの結果を援用する第2の援用部、 The first region and the third third group by the second alignment portion to the fourth remaining pairs belonging to the group of not belong to the group of the plurality of pairs of the second region to be compared second incorporated portions of which are incorporated the results of alignment of the pair belonging,
    をさらに備える欠陥検出装置。 Further comprising defect detection apparatus.
  5. 請求項2ないし請求項4のいずれかの欠陥検出装置において、 In any of the defect detection apparatus of claims 2 to 4,
    前記適否判定部は、 The appropriateness determining section,
    第1の領域又は第2の領域の片方又は両方である判定対象領域に含まれるエッジを検出するエッジ検出部と、 An edge detection unit for detecting an edge included in the determination target region is one or both of the first region or the second region,
    前記エッジ検出部によりエッジが検出されない場合に対が相対的に精度が低い位置あわせに適さないと判定する判定部と、 A determining unit pair when the edge is not detected is not suitable for relatively accurate alignment lower position by the edge detection unit,
    を備える欠陥検出装置。 Defect detecting device comprising a.
  6. 請求項2ないし請求項4のいずれかの欠陥検出装置において、 In any of the defect detection apparatus of claims 2 to 4,
    前記適否判定部は、 The appropriateness determining section,
    第1の領域又は第2の領域の片方又は両方である判定対象領域に含まれるエッジを検出するエッジ検出部と、 An edge detection unit for detecting an edge included in the determination target region is one or both of the first region or the second region,
    前記エッジ検出部により検出されたエッジの平均的な接線方向を導出する平均接線方向導出部と、 The mean tangential derivation unit for deriving an average tangential detected edge by the edge detecting unit,
    前記平均接線方向導出部により導出された接線方向に対する判定対象領域の自己相関性を評価する自己相関性評価部と、 Autocorrelation evaluation unit for evaluating the autocorrelation of the determination target region relative tangential derived by the average tangential derivation unit,
    前記自己相関性導出部により導出された自己相関性が基準よりも高い場合に対が相対的に精度が低い位置あわせに適さないと判定する判定部と、 A determining unit pair when autocorrelation is higher than the reference is not suitable for relatively accurate combined low position derived by said self-correlation deriving unit,
    を備える欠陥検出装置。 Defect detecting device comprising a.
  7. 請求項2ないし請求項4のいずれかの欠陥検出装置において、 In any of the defect detection apparatus of claims 2 to 4,
    前記適否判定部は、 The appropriateness determining section,
    第1の領域又は第2の領域の片方又は両方である判定対象領域に含まれるエッジを検出するエッジ検出部と、 An edge detection unit for detecting an edge included in the determination target region is one or both of the first region or the second region,
    前記エッジ検出部により検出されたエッジを構成する画素により構成される直線を検出する直線検出部と、 A line detection unit that detects a straight line formed by pixels constituting the detected edge by the edge detecting unit,
    前記直線検出部により検出された直線の方向を導出する方向導出部と、 The direction derivation unit for deriving a direction of a straight line detected by the line detection unit,
    前記方向導出部により導出された方向の一様性が基準よりも高い場合に対が相対的に低い精度の位置あわせに適さないと判定する判定部と、 A determining unit and the uniformity of the direction derived by the direction derivation unit is unsuitable for pairs aligned relatively low accuracy is higher than the reference,
    を備える欠陥検出装置。 Defect detecting device comprising a.
  8. 請求項2ないし請求項4のいずれかの欠陥検出装置において、 In any of the defect detection apparatus of claims 2 to 4,
    前記適否判定部は、 The appropriateness determining section,
    第1の領域又は第2の領域の片方又は両方である判定対象領域に含まれるエッジを検出するエッジ検出部と、 An edge detection unit for detecting an edge included in the determination target region is one or both of the first region or the second region,
    前記エッジ検出部により検出されたエッジの接線方向のヒストグラムを導出するヒストグラム導出部と、 A histogram deriving unit that derives the tangential histogram of the detected edge by the edge detecting unit,
    前記ヒストグラム導出部により導出されたヒストグラムに存在するピークの数が1個のみである場合に対が相対的に低い精度の位置あわせに適さないと判定する判定部と、 A determining unit and the number of peaks is not suitable for aligning the pairs is relatively low accuracy when only one present in the histogram derived by the histogram deriving unit,
    を備える欠陥検出装置。 Defect detecting device comprising a.
  9. 請求項2ないし請求項4のいずれかの欠陥検出装置において、 In any of the defect detection apparatus of claims 2 to 4,
    前記適否判定部は、 The appropriateness determining section,
    第1の領域又は第2の領域の片方又は両方である判定対象領域に含まれるコーナーを検出するコーナー検出部と、 A corner detection unit for detecting a corner included in the first region or the determination target region is one or both of the second region,
    前記コーナー検出部によりコーナーが検出されない場合に対が相対的に低い精度の位置あわせに適さないと判定する判定部と、 A determining unit and the corner is not suitable for pairs aligned relatively low accuracy if not detected by the corner detecting unit,
    を備える欠陥検出装置。 Defect detecting device comprising a.
  10. 請求項2ないし請求項4のいずれかの欠陥検出装置において、 In any of the defect detection apparatus of claims 2 to 4,
    前記適否判定部は、 The appropriateness determining section,
    第1の領域又は第2の領域の片方又は両方である判定対象領域の移動先をゆすらせ範囲内でゆすらせたときの自己相関性の分布を導出する分布導出部と、 A distribution deriving unit that derives the autocorrelation of the distribution obtained while swung within allowed swung the destination of the first region or the determination target region is one or both of the second region,
    前記分布導出部により導出された分布が基準を満たす方向性を有する場合に対が相対的に低い精度の位置あわせに適さないと判定する判定部と、 A determining unit and the pair is not suitable for positioning of relatively low accuracy when having directionality said derived by distribution deriving unit distribution satisfies the criteria,
    を備える欠陥検出装置。 Defect detecting device comprising a.
  11. 請求項1ないし請求項10のいずれかの欠陥検出装置において、 In any of the defect detection apparatus of claims 1 to 10,
    前記第1の位置あわせ部は、 Said first registration unit,
    位置あわせのための演算を行う演算処理回路と、 An arithmetic processing circuit for performing operation for alignment,
    位置あわせのための演算を複数回に分割して前記演算処理回路に行わせる演算分割部と、 And calculating dividing unit for dividing the operation for positioning a plurality of times to perform the arithmetic processing circuit,
    を備える欠陥検出装置。 Defect detecting device comprising a.
  12. 請求項1ないし請求項10のいずれかの欠陥検出装置において、 In any of the defect detection apparatus of claims 1 to 10,
    前記第2の位置あわせ部は、 Said second alignment portion,
    位置あわせのための演算を行う演算処理回路と、 An arithmetic processing circuit for performing operation for alignment,
    位置あわせのための演算を複数回に分割して前記演算処理回路に行わせる演算分割部と、 And calculating dividing unit for dividing the operation for positioning a plurality of times to perform the arithmetic processing circuit,
    を備える欠陥検出装置。 Defect detecting device comprising a.
  13. 第1のパターンを撮像した第1の画像と第2のパターンを撮像した第2の画像とを比較して第1のパターンに含まれる欠陥を検出する欠陥検出方法であって、 A defect detection method for detecting the defects included in the first pattern by comparing the second image of the captured first image and the second pattern of the captured first pattern,
    (a) 第1の画像を複数の第1の領域に分割する工程と、 (a) a step of dividing the first image into a plurality of first regions,
    (b) 第2の画像を複数の第2の領域に分割する工程と、 (b) a step of dividing the second image into a plurality of second regions,
    (c) 比較される第1の領域と第2の領域との複数の対のうちの第1の群に属する対について相対的に低い精度で第1の領域と第2の領域との位置あわせを実行する工程と、 (c) positioning the first region and the first region and the second region at a relatively low accuracy for the first pair belonging to the group of the plurality of pairs of the second region to be compared a step of the execution,
    (d) 比較される第1の領域と第2の領域との複数の対のうちの第1の群に属さず第2の群に属する残余の対に前記工程(c)による第1の群に属する対についての位置あわせの結果を援用する工程と、 (d) a first region and a plurality of pair of first first group by said step (c) belonging to a pair of remaining in the second group do not belong to the group of one of the second region to be compared a step of incorporated the results of alignment of the pair belonging to,
    (e) 比較される第1の領域と第2の領域との複数の対について前記工程(c)により位置あわせが実行された状態又は前記工程(d)により位置あわせの結果が援用された状態を基準として相対的に高いか又は同じ精度で第1の領域と第2の領域との位置あわせを実行する工程と、 (e) a first region and a state where alignment results were incorporated by alignment performed state or the step; (d) by the step (c) for a plurality of pairs of the second region to be compared a step of performing positioning between the first region and the second region at a relatively high or the same accuracy as the reference,
    (f) 比較される第1の領域と第2の領域との複数の対について第1の領域と第2の領域との比較結果から欠陥を検出する工程と、 (f) a step of detecting a defect from the comparison result between being compared first region and a plurality of pair of first and second regions of the second region,
    備え、 Equipped with a,
    前記工程(e)は、 Wherein step (e),
    比較される第1の領域と第2の領域との複数の対のうちの第3の群に属する対について相対的に高いか又は同じ精度で第1の領域と第2の領域との位置あわせを実行し、 Aligning the first region and the first region and the second region in the plurality of pairs third relatively higher or the same accuracy for pairs belonging to the group of one of the second region to be compared the execution,
    前記欠陥検出方法は、 The defect detection method,
    (g) 比較される第1の領域と第2の領域との複数の対のうちの第3の群に属さず第4の群に属する残余の対に前記工程(e)による第3の群に属する対についての位置あわせの結果を援用する工程、 (g) a third group of the first region and the step belonging to a pair of remaining in the fourth group do not belong to the third group of the plurality of pairs of the second region to be compared (e) process incorporated the results of alignment of the pair belonging to,
    をさらに備える欠陥検出方法。 Further comprising a defect detection method.
  14. 第1のパターンを撮像した第1の画像と第2のパターンを撮像した第2の画像とを比較して第1のパターンに含まれる欠陥を検出する欠陥検出方法であって、 A defect detection method for detecting the defects included in the first pattern by comparing the second image of the captured first image and the second pattern of the captured first pattern,
    (a) 第1の画像を複数の第1の領域に分割する工程と、 (A) a step of dividing the first image into a plurality of first regions,
    (b) 第2の画像を複数の第2の領域に分割する工程と、 (B) a step of dividing the second image into a plurality of second regions,
    (c) 比較される第1の領域と第2の領域との複数の対のうちの第1の群に属する対について相対的に低い精度で第1の領域と第2の領域との位置あわせを実行する工程と、 (C) positioning the first region and the first region and the second region at a relatively low accuracy for the first pair belonging to the group of the plurality of pairs of the second region to be compared a step of the execution,
    (d) 比較される第1の領域と第2の領域との複数の対のうちの第1の群に属さず第2の群に属する残余の対に前記工程(c)による第1の群に属する対についての位置あわせの結果を援用する工程と、 (D) a first region and a plurality of pair of first first group by said step (c) belonging to a pair of remaining in the second group do not belong to the group of one of the second region to be compared a step of incorporated the results of alignment of the pair belonging to,
    (e) 比較される第1の領域と第2の領域との複数の対について前記工程(c)により位置あわせが実行された状態又は前記工程(d)により位置あわせの結果が援用された状態を基準として相対的に高いか又は同じ精度で第1の領域と第2の領域との位置あわせを実行する工程と、 (E) a first region and a state where alignment results were incorporated by alignment performed state or the step; (d) by the step (c) for a plurality of pairs of the second region to be compared a step of performing positioning between the first region and the second region at a relatively high or the same accuracy as the reference,
    (f) 比較される第1の領域と第2の領域との複数の対について第1の領域と第2の領域との比較結果から欠陥を検出する工程と、 (F) a step of detecting a defect from the comparison result between being compared first region and a plurality of pair of first and second regions of the second region,
    備え、 Equipped with a,
    (g) 比較される第1の領域と第2の領域との複数の対の各々が相対的に低い精度の位置あわせに適するか否かを順次に判定する工程と、 (g) a first region comprising the steps sequentially judges whether each of the plurality of pairs are suitable for aligning the relatively low accuracy of the second region to be compared,
    (h) 前記工程(g)により相対的に低い精度の位置あわせに適さないと判定された対を第2の群に属すると判定し、相対的に低い精度の位置あわせに適さないと判定された対のひとつ後に相対的に低い精度の位置あわせに適すると判定された対を第1の群に属すると判定する工程と、 (h) was determined to belong to said step (g) pair is determined to be unsuitable for aligning a relatively low precision by the second group, it is determined to be unsuitable for aligning the relatively low accuracy and determining the belonging pairs that are determined to be suitable for positioning of relatively low accuracy after one pair to the first group were,
    をさらに備え、 Further comprising a,
    前記工程(h)は、 The step (h) is,
    前記工程(g)により相対的に低い精度の位置あわせに適すると判定された対のひとつ後に相対的に低い精度の位置あわせに適すると判定された対を第2の群に属すると判定する、 Determined as belonging to the step (g) pair is determined to be suitable for positioning of relatively low accuracy after one pair is determined to be suitable for positioning of relatively low precision by the second group,
    欠陥検出方法。 Defect detection method.
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