JP5414568B2 - Optical component with optical element and optical receptacle with optical element using the same - Google Patents

Optical component with optical element and optical receptacle with optical element using the same Download PDF

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Description

本発明は、光通信等に使用される磁器光学効果を有する光学素子を備えた光学素子付光部品及びそれを用いた光学素子付光レセプタクルに関するものである。   The present invention relates to an optical component with an optical element provided with an optical element having a porcelain optical effect used for optical communication and the like, and an optical receptacle with an optical element using the same.

従来、半導体レーザー素子、半導体受光素子などの半導体素子が組み込まれた光通信用途のモジュールには、ファラデー回転子を用いた光アイソレータ等の光学素子が用いられる場合がある。半導体レーザーダイオード(以下、LDとも言う)は、自身が出射した光が反射してきて再び活性層に入射すると、発振状態が乱れ、出射パワーの変動や波長のずれ等が生じ、その出力信号が劣化する場合があるためである。   Conventionally, an optical element such as an optical isolator using a Faraday rotator may be used for a module for optical communication in which a semiconductor element such as a semiconductor laser element or a semiconductor light receiving element is incorporated. Semiconductor laser diodes (hereinafter also referred to as LDs) reflect the light emitted from them and enter the active layer again. The oscillation state is disturbed, the output power varies, the wavelength shifts, etc., and the output signal deteriorates. It is because there is a case to do.

光アイソレータは、ファラデー回転子50の前後に偏光子51,52を配置した光アイソレータ素子を備えている。図8(a)に光アイソレータ素子の例を示す。左方向から入射した順方向光は、第一偏光子51により特定の偏光方向(図8(a)においては破線矢印で示す上下方向)の直線偏光が透過される。この直線偏光は、その偏光方向がファラデー回転子50で例えば光の進行方向に対して右回りに45度回転させられ、第二偏光子52に入射する。第二偏光子52は、その偏光方向が第一偏光子51の偏光方向に対して45度右回りの角度に設定されているので、光は偏光方向を保った状態で第二偏光子52を透過する。一方、右方向から戻ってくる逆方向光は、図8(b)に示すように、第二偏光子52の偏光方向の直線偏光成分が透過され、ファラデー回転子50でその偏光方向が45度回転されて水平方向の偏光とされる。水平方向の偏光は、第一偏光子51の偏光方向と90度の角度をなすことになり、第一偏光子51によって遮断される。なお、光アイソレータ素子の周囲には、ファラデー回転子に磁界を印加する磁石が通常配置される。   The optical isolator includes an optical isolator element in which polarizers 51 and 52 are arranged before and after the Faraday rotator 50. FIG. 8A shows an example of an optical isolator element. The forward light incident from the left direction is transmitted by the first polarizer 51 with linearly polarized light having a specific polarization direction (the vertical direction indicated by the broken arrow in FIG. 8A). The direction of polarization of this linearly polarized light is rotated by 45 degrees clockwise with respect to the traveling direction of light by the Faraday rotator 50 and is incident on the second polarizer 52. Since the polarization direction of the second polarizer 52 is set at an angle of 45 degrees clockwise with respect to the polarization direction of the first polarizer 51, the light passes through the second polarizer 52 while maintaining the polarization direction. To Penetrate. On the other hand, as shown in FIG. 8B, the reverse direction light returning from the right direction is transmitted through the linearly polarized light component of the polarization direction of the second polarizer 52, and the polarization direction of the Faraday rotator 50 is 45 degrees. Rotated to be horizontally polarized. The polarized light in the horizontal direction forms an angle of 90 degrees with the polarization direction of the first polarizer 51 and is blocked by the first polarizer 51. A magnet for applying a magnetic field to the Faraday rotator is usually disposed around the optical isolator element.

図9にこのような光アイソレータを光学素子として用いた光学素子付レセプタクル70の例を示す(例えば、特許文献1参照)。光学素子付レセプタクル70は、内部に光ファイバ73が挿入されたフェルール71を備えている。フェルール71の一端面72には、光路74を遮るように光学素子としての光アイソレータ素子75を備え、光アイソレータ素子75の周囲には磁石76が配置されている。磁石76によって印加される磁界により、光アイソレータ素子75内のファラデー回転子が光信号の偏波面を回転させ、半導体レーザーへの戻り光を遮断する。   FIG. 9 shows an example of a receptacle 70 with an optical element using such an optical isolator as an optical element (see, for example, Patent Document 1). The receptacle 70 with an optical element includes a ferrule 71 in which an optical fiber 73 is inserted. One end surface 72 of the ferrule 71 is provided with an optical isolator element 75 as an optical element so as to block the optical path 74, and a magnet 76 is disposed around the optical isolator element 75. Due to the magnetic field applied by the magnet 76, the Faraday rotator in the optical isolator element 75 rotates the polarization plane of the optical signal and blocks the return light to the semiconductor laser.

なお、フェルール71の他端面77は球面加工が施され、コネクタと当接される。フェルール71の他端面側はスリーブ78に挿し込まれ、スリーブ78は、スリーブケース80内に納められている。スリーブケース80は、ホルダ79に接着剤又は圧入により固定されている。また、フェルール71の一端面72側は、ホルダ79に接着剤又は圧入により固定されている。   Note that the other end surface 77 of the ferrule 71 is subjected to spherical processing and is brought into contact with the connector. The other end surface side of the ferrule 71 is inserted into a sleeve 78, and the sleeve 78 is housed in a sleeve case 80. The sleeve case 80 is fixed to the holder 79 by an adhesive or press-fitting. Further, one end surface 72 side of the ferrule 71 is fixed to the holder 79 by an adhesive or press-fitting.

特開平10−133146号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-133146

しかしながら、このように磁気光学効果を有する光学素子75を備えた光学素子付光レセプタクル70は、光学素子75の周囲に磁石76を配置する必要がある。そのため、組み立て工程が複雑になり、例えば磁石76を設置したのちに、光学特性を調整しながら光
学素子75を取り付ける際に、先に取り付けた磁石76が障害になって、光学素子75の取り付けが困難になる場合がある。さらに、磁石76は接着剤または低融点ガラスでフェルール71の端面72に接合されるが、磁石76がフェルール71から剥離するという問題を生じる場合もある。
However, the optical element-equipped optical receptacle 70 including the optical element 75 having the magneto-optical effect as described above needs to arrange a magnet 76 around the optical element 75. Therefore, the assembly process becomes complicated. For example, when the optical element 75 is attached while adjusting the optical characteristics after the magnet 76 is installed, the previously installed magnet 76 becomes an obstacle, and the optical element 75 is attached. It can be difficult. Furthermore, although the magnet 76 is bonded to the end surface 72 of the ferrule 71 with an adhesive or low-melting glass, there may be a problem that the magnet 76 is peeled off from the ferrule 71.

また、磁石76の設置のためのスペースが必要であるため、光学素子付光レセプタクル70を小型化する場合に支障をきたす。   In addition, since a space for installing the magnet 76 is required, there is a problem in downsizing the optical receptacle 70 with an optical element.

上記課題に鑑みて、本発明の一実施形態に係る光学素子付光部品は、内部に光信号を伝播させる光路を有し、この光路の周囲に磁石が一体焼成されることによって埋入されているセラミックスから成る筒状部材と、この筒状部材の前記光路を横切るように設けられた端面に設置され、磁気光学効果を有する光学素子とを備えていることを特徴とする。

In view of the above problems, an optical component-equipped optical component according to an embodiment of the present invention has an optical path for propagating an optical signal therein, and is embedded by integrally firing a magnet around the optical path. A cylindrical member made of ceramics, and an optical element having a magneto-optical effect, which is installed on an end surface provided so as to cross the optical path of the cylindrical member.

なお、前記光路は細孔内に保持された光ファイバであってもよい。   The optical path may be an optical fiber held in the pore.

また、前記端面は、筒の一端面であってもよい。   Further, the end surface may be one end surface of a cylinder.

また、前記端面は、筒の一端面に設けられ、前記光路の内径より幅の広い穴の底面であってもよい。   The end surface may be a bottom surface of a hole provided on one end surface of the cylinder and wider than the inner diameter of the optical path.

また、前記端面は、筒の一端面に設けられ、前記筒の外周面から前記光路を横切って対向する外周面まで設けられた溝の底面であってもよい。   Further, the end surface may be a bottom surface of a groove provided on one end surface of the tube and extending from the outer peripheral surface of the tube to the outer peripheral surface facing across the optical path.

また、前記溝は、前記光路を横切る前記底面部分の深さが、前記溝の外周面側よりも浅くなるように形成されていてもよい。   Further, the groove may be formed such that a depth of the bottom surface portion that crosses the optical path is shallower than an outer peripheral surface side of the groove.

また、前記端面は、前記光路の途中を横切るように設けられた溝の内壁面であってもよい。   The end surface may be an inner wall surface of a groove provided so as to cross the middle of the optical path.

また、本発明の一実施形態に係る光学素子付光レセプタクルは、上記光学素子付光部品が光ファイバ同士を接続するフェルールであり、このフェルールと、この光学素子付フェルールの一端部を保持するホルダと、前記光学素子付フェルールの他端部が挿入されたスリーブとを備えたことを特徴とする。   An optical receptacle with an optical element according to an embodiment of the present invention is a ferrule in which the optical component with an optical element connects optical fibers to each other, and a holder for holding the ferrule and one end of the ferrule with an optical element And a sleeve into which the other end of the ferrule with an optical element is inserted.

内部に光信号を伝播させる光路を有し、この光路の周囲に磁石が埋入されている筒状部材と、この筒状部材の光路を横切るように設けられた端面に設置され、磁気光学効果を有する光学素子とを備えていることから、光学素子が筒状部材の端面に設置されることにより、光学素子の周囲に別体の磁石を配置するスペースを必要とせず、光学素子の磁気光学効果を発現させることができる光学素子付光部品とできる。これによって、光学素子の組み立て工程が単純化される。また、磁石が筒状部材に埋入されているため、磁石が筒状部材から剥離したり脱落したりすることがなく、信頼性の高いものになる。さらに、光学素子付光レセプタクル等を小型化することが可能になる。   A cylindrical member having an optical path for propagating an optical signal inside, and a magnet embedded in the periphery of the optical path, and an end face provided so as to cross the optical path of the cylindrical member, the magneto-optical effect Since the optical element is installed on the end face of the cylindrical member, there is no need for a space for arranging a separate magnet around the optical element. It can be set as the optical component with an optical element which can express an effect. This simplifies the assembly process of the optical element. Further, since the magnet is embedded in the cylindrical member, the magnet is not peeled off or dropped off from the cylindrical member, and the reliability becomes high. Furthermore, it becomes possible to reduce the size of the optical receptacle with an optical element.

本発明の光学素子付光部品の実施形態の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of embodiment of the optical component with an optical element of this invention. 本発明の光学素子付光部品の他の実施形態の例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the example of other embodiment of the optical component with an optical element of this invention. 本発明の光学素子付光部品の他の実施形態の例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the example of other embodiment of the optical component with an optical element of this invention. 本発明の光学素子付光部品の他の実施形態の例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the example of other embodiment of the optical component with an optical element of this invention. 本発明の光学素子付光部品の他の実施形態の例を示す正面図である。It is a front view which shows the example of other embodiment of the optical component with an optical element of this invention. 図5の実施形態例におけるA―A断面図である。It is AA sectional drawing in the example of embodiment of FIG. 本発明の光学素子付光レセプタクルの実施形態の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of embodiment of the optical receptacle with an optical element of this invention. (a),(b)は、それぞれ光アイソレータの動作を説明するための斜視図である。(A), (b) is a perspective view for demonstrating operation | movement of an optical isolator, respectively. 従来の光学素子付光レセプタクルを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the conventional optical receptacle with an optical element.

以下、本発明の実施形態の各例を図面に基づき説明する。   Hereinafter, each example of an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

本発明の光学素子付光部品は、軸方向に細孔を有する筒状に形成された筒状部材と、磁気光学効果を有する光学素子とを備えている。細孔内は例えば光ファイバ等が配置されることによって光信号が伝播する光路となっており、この光路の周囲の筒状部材の内部に磁石が埋入されている。筒状部材の端面には光学素子が配置され、この端面近くの筒状部材の内部に磁石が埋入されている。そして、光学素子はこの磁石が生じる磁界によって磁気光学効果を発揮する。筒状部材は、その半分以上の主要部が光路を支持する部分で成っている。そして、その端面近くに磁石が埋入され、端面には光学素子が配置されたものである。   The optical component with an optical element of the present invention includes a cylindrical member formed in a cylindrical shape having pores in the axial direction, and an optical element having a magneto-optical effect. For example, an optical fiber or the like is disposed in the pore to form an optical path through which an optical signal propagates, and a magnet is embedded in a cylindrical member around the optical path. An optical element is disposed on the end surface of the cylindrical member, and a magnet is embedded in the cylindrical member near the end surface. The optical element exhibits a magneto-optical effect by the magnetic field generated by the magnet. The cylindrical member is formed of a portion in which more than half of the main portion supports the optical path. A magnet is embedded near the end face, and an optical element is disposed on the end face.

以下、代表例として筒状部材が光ファイバ同士を同軸位置に整列して接続するフェルール10であり、この光学素子付光部品が光学素子付フェルール20,30である場合について説明する。しかし、本発明は、これら光学素子付フェルール20,30に限定されるものではない。   Hereinafter, as a representative example, a case where the cylindrical member is the ferrule 10 that connects and connects optical fibers in a coaxial position, and the optical components with optical elements are the ferrules 20 and 30 with optical elements will be described. However, the present invention is not limited to these ferrules 20 and 30 with optical elements.

本発明の一実施形態に係る光学素子付フェルール20は、図1に示すように、筒状のフェルール10と、このフェルール10に取り付けられた光学素子21とを備えている。フェルール10は、その内部に光信号を伝播させる光路11を有しており、この光路11の周囲のフェルール10の内部に磁石12が埋入されている。フェルール10の光路11を横切るように設けられた端面、例えば端面13には、光学素子21が設置される。図1の例において、光路11は、例えばフェルール10の内孔内に挿入された光ファイバで形成される。磁石12は端面13および光路11の近辺に埋入または内蔵されており、この磁石12が発生する磁界によって、磁気光学効果を有する光学素子21が機能する。端面13は光路11に直交する面または、端面反射による戻り光の防止のため、この直交面に対して傾斜する斜面となるように形成されている。   As shown in FIG. 1, the ferrule 20 with an optical element according to an embodiment of the present invention includes a cylindrical ferrule 10 and an optical element 21 attached to the ferrule 10. The ferrule 10 has an optical path 11 for propagating an optical signal therein, and a magnet 12 is embedded in the ferrule 10 around the optical path 11. An optical element 21 is installed on an end face provided across the optical path 11 of the ferrule 10, for example, the end face 13. In the example of FIG. 1, the optical path 11 is formed of, for example, an optical fiber inserted into the inner hole of the ferrule 10. The magnet 12 is embedded or built in the vicinity of the end face 13 and the optical path 11, and the optical element 21 having a magneto-optical effect functions by the magnetic field generated by the magnet 12. The end surface 13 is formed to be a surface orthogonal to the optical path 11 or an inclined surface inclined with respect to this orthogonal surface in order to prevent return light due to end surface reflection.

光学素子21は、例えば接着剤または低融点ガラス等によって端面13に接着されることによってフェルール10の端面に設置されている。光学素子21は磁気光学効果を有するものであり、例えば、光アイソレータ素子の場合は、端面13に設置して磁石12により磁界を印加することで、反射戻り光を遮断する機能を有している。光アイソレータ素子は、例えば、希土類鉄ガーネット結晶から成るファラデー回転子を第一偏光子と第二偏光子で挟んで、それらを接着剤または低融点ガラスにて接着を行なうことによって作製される。   The optical element 21 is installed on the end surface of the ferrule 10 by being bonded to the end surface 13 with, for example, an adhesive or low melting point glass. The optical element 21 has a magneto-optic effect. For example, in the case of an optical isolator element, the optical element 21 has a function of blocking reflected reflected light by being installed on the end face 13 and applying a magnetic field by the magnet 12. . The optical isolator element is manufactured, for example, by sandwiching a Faraday rotator made of a rare earth iron garnet crystal between a first polarizer and a second polarizer and bonding them with an adhesive or low-melting glass.

なお、光学素子21は光アイソレータ素子に限られず、例えば、ファラデー回転子と反射部材を張り合わせた、ファラデー回転ミラー、光サーキュレータ等に用いる、複屈折プリズムとファラデー回転子を組み合わせた素子等を採用することもできる。これによって、磁気光学効果を利用した様々な機能を有する光学素子付フェルール20を提供すること
ができる。例えば、ファラデー回転ミラーを用いることによって、光ファイバセンサ等に組み込んだ場合、マイケルソン干渉計を構成することで、出力干渉縞の揺らぎや信号消滅を回避するセンシング機能を有し、複屈折プリズムとファラデー回転子を組み合わせた素子を用いることによって、偏光無依存型光アイソレータや光サーキュレータ等の光路変更装置としての機能を有する光通信用機能部品を提供することができる。
The optical element 21 is not limited to an optical isolator element. For example, an element that combines a Faraday rotator and a reflecting member, is used for a Faraday rotation mirror, an optical circulator, or the like, and a combination of a birefringent prism and a Faraday rotator is employed. You can also. Thereby, the ferrule 20 with an optical element having various functions utilizing the magneto-optical effect can be provided. For example, when incorporated in an optical fiber sensor or the like by using a Faraday rotating mirror, a Michelson interferometer is configured to have a sensing function to avoid fluctuations in output interference fringes and signal disappearance, and a birefringent prism. By using an element combined with a Faraday rotator, a functional component for optical communication having a function as an optical path changing device such as a polarization-independent optical isolator or an optical circulator can be provided.

フェルール10の材質としては、酸化ジルコニウム(ジルコニア)質セラミックス、酸化アルミニウム(アルミナ)質セラミックス、ムライト質セラミックス、窒化ケイ素質セラミックス、炭化ケイ素質セラミックス、および、窒化アルミニウム質セラミックス等の単体もしくはこれらを主成分として含むセラミックス、結晶化ガラス等のガラスセラミックスなどが挙げられ、中でも対候性や靭性に優れたジルコニア系セラミックス(ジルコニアを主成分とするセラミックス)が好適である。ジルコニア系セラミックスの中でも、とりわけ、酸化ジルコニウム(ZrO)を主成分とし、Y、CaO、MgO、CeO、Dyなどからなる群より選択される少なくとも一種を安定化剤として含む部分安定化ジルコニアセラミックス(正方晶の結晶が主体)が、耐摩耗性および弾性変形性の観点からより好ましい材料として挙げられる。その他、樹脂や金属でもよい。 As the material of the ferrule 10, zirconium oxide (zirconia) ceramics, aluminum oxide (alumina) ceramics, mullite ceramics, silicon nitride ceramics, silicon carbide ceramics, and aluminum nitride ceramics are used alone or mainly. Examples thereof include ceramics contained as components and glass ceramics such as crystallized glass. Among them, zirconia-based ceramics (ceramics containing zirconia as a main component) excellent in weather resistance and toughness are preferable. Among zirconia-based ceramics, in particular, at least one selected from the group consisting of zirconium oxide (ZrO 2 ) as a main component and Y 2 O 3 , CaO, MgO, CeO 2 , Dy 2 O 3 and the like is used as a stabilizer. Partially stabilized zirconia ceramics (mainly tetragonal crystals) are included as a more preferable material from the viewpoints of wear resistance and elastic deformation. In addition, resin or metal may be used.

フェルール10が内部に内蔵する磁石12の例としては、アルニコ磁石、フェライト磁石、ネオジム磁石等の希土類磁石等の永久磁石が挙げられ、セラミック製のフェルール10と一体焼成する場合は、製造過程で原料セラミックスの焼結温度まで加熱されることから、融点が比較的高いフェライト磁石が最も適している。例えば、フェライト磁石の1種であるMnZnフェライト磁石は、約1000℃から焼結が始まり、約1600℃を超えると融解するが、これに対して一般的にフェルールに用いられるジルコニアセラミックスは約1300〜1500℃の焼結温度で焼結することができ、これによって、MnZnフェライト磁石が融解せず、保形した状態でジルコニアセラミックスの焼結を行える。ジルコニアセラミックスと同時焼成を行えるため、磁石内蔵フェルール10を成形する場合には、プレス成形後のフェライト磁石を投入することによっても可能である。焼成温度は、原料の焼結性や焼結助剤の添加等で異なるので、それぞれの磁器の焼成温度に合わせ、磁石を選定する必要がある。   Examples of the magnet 12 built in the ferrule 10 include permanent magnets such as alnico magnets, ferrite magnets, neodymium magnets, and other rare earth magnets. Since it is heated to the sintering temperature of ceramics, a ferrite magnet having a relatively high melting point is most suitable. For example, a MnZn ferrite magnet, which is a type of ferrite magnet, starts sintering at about 1000 ° C. and melts when it exceeds about 1600 ° C. Sintering can be performed at a sintering temperature of 1500 ° C., whereby the MnZn ferrite magnet does not melt and zirconia ceramics can be sintered in a shape-retained state. Since simultaneous firing with zirconia ceramics can be performed, when forming the ferrule 10 with a built-in magnet, it is also possible to insert a ferrite magnet after press molding. Since the firing temperature varies depending on the sinterability of the raw materials and the addition of a sintering aid, it is necessary to select a magnet in accordance with the firing temperature of each porcelain.

端面13に備えられる光学素子21に強い磁界が与えられるよう、光学素子21と磁石12との距離は、最小距離、例えば3mm以内になるようにすることが好ましい。但し、磁石12がフェルール10の内部の端面13直下に内蔵されて、フェルール10の表面に露出しないように埋入されるのが好ましい。例えば、フェルール10の場合、耐食性に優れるセラミックスにより端面13,外周15,光路11外周部分が形成されていることにより、高温、高湿等の悪環境下で使用されても腐食が進みにくいため、寸法が変化せず、高精度の嵌め合いを維持できる。磁石12がフェルール10内に埋入されていることから、磁石12が脱離したりすることがなく、高い信頼性が得られる。また、外付け磁石の組み立て工程を簡略なものとでき、外付け磁石に必要なスペースが不要となる。   It is preferable that the distance between the optical element 21 and the magnet 12 is a minimum distance, for example, 3 mm or less, so that a strong magnetic field is applied to the optical element 21 provided on the end face 13. However, it is preferable that the magnet 12 is embedded directly under the end face 13 inside the ferrule 10 and embedded so as not to be exposed on the surface of the ferrule 10. For example, in the case of the ferrule 10, the end face 13, the outer periphery 15, and the optical path 11 outer peripheral portion are formed of ceramics having excellent corrosion resistance, so that corrosion does not easily proceed even when used in a bad environment such as high temperature and high humidity. The dimensions do not change and a highly accurate fit can be maintained. Since the magnet 12 is embedded in the ferrule 10, the magnet 12 is not detached and high reliability is obtained. Further, the assembly process of the external magnet can be simplified, and the space required for the external magnet is not required.

ここで、磁石内蔵の光学素子付フェルール20の製造方法の例として、セラミックスを用いたプレス成型による方法について説明する。   Here, a method by press molding using ceramics will be described as an example of a manufacturing method of the ferrule 20 with an optical element incorporating a magnet.

まず、スプレードライ法によりバインダを添加させた顆粒状のセラミック原料を、第一段階原料投入として、金型に一部投入し、次に磁石12となる円筒状の磁性体原料を投入する。そして、第二段階原料投入として、先に投入した磁性体原料を覆うように上記セラミック原料を再び金型に投入し、セラミック原料内に磁性体原料が埋没した状態にプレスしてフェルール10形状に成形する。この原料セラミック成形体を焼成工程にて脱脂および焼結する。その後、所要温度まで冷却してから、内部に形成された磁石12の着磁を行なう着磁工程に通す。さらに、研削および研磨等の各種表面加工を施してフェルール10
を完成した後に、光学素子21を端面13の光路11と交差する部分に接着剤または低融点ガラス等で接着して光学素子付磁石内蔵フェルール20を得る。
First, a granular ceramic raw material to which a binder has been added by a spray drying method is partially charged into a mold as a first stage raw material charging, and then a cylindrical magnetic material serving as a magnet 12 is charged. Then, as the second stage raw material charging, the ceramic raw material is again charged into the mold so as to cover the magnetic raw material previously charged, and pressed into a state in which the magnetic raw material is buried in the ceramic raw material to form a ferrule 10 Mold. This raw ceramic formed body is degreased and sintered in a firing step. Then, after cooling to a required temperature, it passes through the magnetization process which magnetizes the magnet 12 formed inside. Further, the ferrule 10 is subjected to various surface processing such as grinding and polishing.
Is completed, the optical element 21 is adhered to the portion of the end face 13 that intersects the optical path 11 with an adhesive or low-melting glass to obtain the ferrule 20 with built-in magnet with optical element.

より詳細に、例えば、ジルコニアセラミックスから成るフェルール10にMnZnフェライトから成る磁石12を内蔵させる場合、ジルコニア1次原料にバインダを加えてスラリー状にし、スプレードライによって、プレス成型用のジルコニアセラミック原料を作製する。次に、ジルコニアセラミック原料を金型に投入し、磁性体を投入し、再びジルコニアセラミック原料を投入した後に、プレスを行い成形する。この時投入する磁性体は、原料である酸化鉄及びMn化合物、Zn化合物を1300℃で仮焼を行い、ボールミル等で粉砕を行った後、磁場をかけた状態でプレス成型を行ったものである。成型された磁性体入りジルコニアフェルールの成形体を、大気炉において脱脂、焼成を行い、最高温度約1300℃にて、内部の磁性体とともにジルコニアセラミックスの焼結を行う。焼成後、同芯加工、外周研削、端面球面加工等の各種加工を施し、着磁装置に投入し、高いパルス磁場を印加することで、内部のMnZnフェライトに着磁を行う。MnZnフェライト磁石に関してみると、焼成工程をジルコニアセラミックスの焼成と同時に行っているため、製造コストが安く抑えられる。   More specifically, for example, when incorporating a magnet 12 made of MnZn ferrite in a ferrule 10 made of zirconia ceramic, a binder is added to a zirconia primary material to form a slurry, and a zirconia ceramic raw material for press molding is produced by spray drying. To do. Next, a zirconia ceramic raw material is put into a mold, a magnetic material is put in, a zirconia ceramic raw material is put in again, and then pressed to form. The magnetic substance introduced at this time is obtained by calcining the raw materials of iron oxide, Mn compound, and Zn compound at 1300 ° C., pulverizing with a ball mill or the like, and press-molding in a state where a magnetic field is applied. is there. The molded body of zirconia ferrule containing the magnetic body is degreased and fired in an atmospheric furnace, and zirconia ceramics are sintered together with the internal magnetic body at a maximum temperature of about 1300 ° C. After firing, various processes such as concentric processing, outer periphery grinding, and end surface spherical processing are performed, and the resultant is put into a magnetizing apparatus, and a high pulse magnetic field is applied to magnetize the internal MnZn ferrite. Regarding the MnZn ferrite magnet, since the firing process is performed simultaneously with the firing of the zirconia ceramics, the manufacturing cost can be reduced.

なお、上記例では、磁性体原料が一層で磁石12が一層に形成される場合を取り上げているが、セラミック原料と磁性体原料との交互投入回数を増やすことにより、多層の磁石12から成る光学素子付磁石内蔵フェルール20も製造可能であり、フェルール内部に溝等を設けてそこに光学素子を配置する場合等に効果的である。また、光路11の周囲に連続的に一周する磁石12ではなく、分割させて設けてもよい。さらに、同様に段階的な原料投入を行なうことにより、インジェクション成型や鋳込成型での製造も可能である。また、フェルール20を樹脂等で形成する場合も同様に製造することができる。   In the above example, the case where the magnetic material is one layer and the magnet 12 is formed is taken up. However, by increasing the number of times the ceramic raw material and the magnetic material are alternately inserted, the optical material composed of the multilayer magnet 12 is used. The element-equipped magnet built-in ferrule 20 can also be manufactured, which is effective when a groove or the like is provided in the ferrule and an optical element is disposed there. Further, instead of the magnet 12 that continuously makes a round around the optical path 11, it may be divided. Furthermore, by performing stepwise raw material input, production by injection molding or casting is also possible. Further, when the ferrule 20 is formed of resin or the like, it can be manufactured similarly.

また、上記実施形態の例では、フェルール10の一端面13に光学素子21を設置し、端面13の近くに磁石12を配置した例を示したが、これに限ることは無く、光学素子21や磁石12の配置を選択することにより、それぞれ特徴を有する光学素子付フェルールとすることができる。これらの一部例を次に示す。   In the example of the above embodiment, the optical element 21 is installed on the one end surface 13 of the ferrule 10 and the magnet 12 is disposed near the end surface 13. However, the present invention is not limited to this. By selecting the arrangement of the magnets 12, it is possible to provide ferrules with optical elements each having a characteristic. Some examples of these are as follows.

例えば、図2に示す光学素子付磁石内蔵フェルール30のように、フェルール10の光路11の途中を分断するようにフェルール10の外周面に溝16が設けられ、その溝16内に光学素子21が備えられている形態としてもよい。この場合、中央の溝16内の光学素子21に磁界を印加できるよう、磁石12は、溝16の片側内壁面16aの内側の光路11の周囲、もしくは両側内壁面16a,16bの内側の光路11の周囲に埋入される。溝16内に設置される光学素子21が光アイソレータ素子であり、厚みが約700μmであるとすると、例えば800μmの幅の溝16をダイシングソーにて加工し、その溝の内壁面16a,16bに開口する光路11に接続するように光学素子21を接着剤または低融点ガラス等にて固定する。この例の場合、フェルール10の溝16が加工される位置に応じて磁性体原料を配置して成型し、焼成,着磁を行ったフェルール10が用いられる。   For example, like the ferrule 30 with a built-in magnet with an optical element shown in FIG. 2, the groove 16 is provided on the outer peripheral surface of the ferrule 10 so as to divide the middle of the optical path 11 of the ferrule 10, and the optical element 21 is placed in the groove 16. It is good also as a form with which it is equipped. In this case, the magnet 12 is arranged around the optical path 11 inside the inner wall surface 16a on one side of the groove 16 or inside the inner wall surfaces 16a, 16b on both sides so that a magnetic field can be applied to the optical element 21 in the central groove 16. It is buried around If the optical element 21 installed in the groove 16 is an optical isolator element and the thickness is about 700 μm, the groove 16 having a width of, for example, 800 μm is processed by a dicing saw, and the inner wall surfaces 16a and 16b of the groove are formed. The optical element 21 is fixed with an adhesive or low-melting glass so as to be connected to the opening optical path 11. In the case of this example, a ferrule 10 is used in which a magnetic material is arranged and molded according to the position where the groove 16 of the ferrule 10 is processed, and is fired and magnetized.

また、図3の光学素子付磁石内蔵フェルール40は、図2と同様に中央に光路11の途中を分断するように溝16を有する形状のフェルール10の断面図を示す。この例において、磁石12は溝16内に形成される光路11の周囲の底部16cに埋入させて配置されている。この場合にも、光学素子21に近い部分から強い磁界を印加することができる。この例の場合、フェルール10成型時に、溝16加工予定部分に磁性体原料が配置されるように成型して、焼成,着磁した後、ダイシングソーにて磁石12の一部を除去するように溝16の加工を施すことにより製造できる。この場合、溝16の底部16cには厳しい寸法精度は要求されないため、磁石12表面が底部16cより露出していてもよい。   3 shows a cross-sectional view of the ferrule 10 having a shape having a groove 16 so as to divide the middle of the optical path 11 in the center as in FIG. In this example, the magnet 12 is disposed so as to be embedded in the bottom portion 16 c around the optical path 11 formed in the groove 16. Also in this case, a strong magnetic field can be applied from a portion close to the optical element 21. In the case of this example, when forming the ferrule 10, the magnetic material is formed so that the magnetic material material is arranged in the planned processing portion of the groove 16, fired and magnetized, and then a part of the magnet 12 is removed with a dicing saw. It can be manufactured by machining the groove 16. In this case, since strict dimensional accuracy is not required for the bottom portion 16c of the groove 16, the surface of the magnet 12 may be exposed from the bottom portion 16c.

このような光学素子付フェルール30の場合、溝16で分断された溝16の両側の光路11は、一直線に配置されるため、これら光路11の位置ズレによって生じる損失を少なくすることができる。よって、挿入損失の少ない光学素子付フェルール30とすることができる。   In the case of such a ferrule 30 with an optical element, since the optical paths 11 on both sides of the groove 16 divided by the groove 16 are arranged in a straight line, the loss caused by the positional deviation of these optical paths 11 can be reduced. Therefore, it can be set as the ferrule 30 with an optical element with little insertion loss.

図4は、図1に示す光学素子付フェルール20において、一端面13に光路11の直径より大きな開口幅の穴17を設け、その穴17の底面17aに光学素子21を設置した例を示す断面図である。この場合、磁石12は穴17の底面17aの内側に配置してもよいが、光学素子21を取り巻く穴17の内周面17bの内側に配置することもできる。比較的厚い光学素子21の内部に均一な磁界を印加する必要がある場合に有利である。また、光学素子21は穴17の内側に配置されるので、光路11に対する穴17の形成位置を精確に加工しておけば、光学素子21の設置位置を精確なものとすることができる。   4 is a cross-sectional view showing an example in which a hole 17 having an opening width larger than the diameter of the optical path 11 is provided in one end surface 13 of the ferrule 20 with an optical element shown in FIG. FIG. In this case, the magnet 12 may be disposed inside the bottom surface 17 a of the hole 17, but may be disposed inside the inner peripheral surface 17 b of the hole 17 surrounding the optical element 21. This is advantageous when a uniform magnetic field needs to be applied inside the relatively thick optical element 21. Further, since the optical element 21 is disposed inside the hole 17, if the formation position of the hole 17 with respect to the optical path 11 is accurately processed, the installation position of the optical element 21 can be made accurate.

図5,図6は、図4で示された形状のメリットを生かしつつ、端面研磨加工における作業性も考慮した実施の一形態例を示すものである。図5は、光学素子付フェルール20の軸方向から見た正面図であり、図6は、図5に示すA−A面の断面図である。   5 and 6 show an embodiment in which workability in end face polishing is considered while taking advantage of the shape shown in FIG. FIG. 5 is a front view of the ferrule 20 with an optical element as viewed from the axial direction, and FIG. 6 is a cross-sectional view of the AA plane shown in FIG.

外周面15から対向する外周面15まで、光路11を横切る形で端面13に溝18が切られており、その溝18の底面に光学素子21が配置される。磁石12は、例えば、溝18側方のフェルール11内に埋入されている。磁石12は、溝18の底面の内側に内蔵させてもよいことは言うまでもない。フェルール11に内蔵されている磁石12が光学素子21の側面付近に位置する場合は、比較的厚い(フェルールの軸方向に長い)光学素子21等、内部に均一な磁界を印加する必要がある場合に有利である。また、光学素子21は溝18内に配置されるので、光路11に対する溝18の形成位置およびその幅を精確に加工しておけば、光学素子21の設置位置を精確なものとすることができる。   A groove 18 is cut in the end surface 13 so as to cross the optical path 11 from the outer peripheral surface 15 to the opposing outer peripheral surface 15, and the optical element 21 is disposed on the bottom surface of the groove 18. The magnet 12 is embedded in the ferrule 11 on the side of the groove 18, for example. Needless to say, the magnet 12 may be built inside the bottom surface of the groove 18. When the magnet 12 built in the ferrule 11 is located near the side surface of the optical element 21, it is necessary to apply a uniform magnetic field inside the optical element 21 or the like that is relatively thick (long in the axial direction of the ferrule). Is advantageous. Further, since the optical element 21 is disposed in the groove 18, if the formation position and width of the groove 18 with respect to the optical path 11 are accurately processed, the installation position of the optical element 21 can be made accurate. .

さらに、光学素子21を設置する溝18は、端面13の外周面15から対向する外周面までの中心軸を通る直径位置に形成されるのが好ましい。このような溝18は、ダイヤモンド砥粒の付いたグラインダー等を通過させて容易に形成することができる。プレス成型で形成することもできる。溝18とすることによって、光学素子21が設置される底面18aを平滑に研磨することが容易になり、作業性が良くなる。   Further, the groove 18 for installing the optical element 21 is preferably formed at a diameter position passing through the central axis from the outer peripheral surface 15 of the end surface 13 to the opposing outer peripheral surface. Such a groove 18 can be easily formed by passing a grinder or the like with diamond abrasive grains. It can also be formed by press molding. By using the groove 18, it becomes easy to smoothly polish the bottom surface 18a on which the optical element 21 is installed, and the workability is improved.

また、溝18の深さ、すなわちフェルール10の一端面13から溝18の底面18a,18bまでのフェルール10の軸方向の長さは、外周15面側の溝18の底面18bより、光学素子21を設置する部分の底面18aが浅くなるように形成するのがよい。これによって、底面18aの平滑研磨面を少なくすることができるため、工具の消耗が少なく、作業時間も短縮される。   Further, the depth of the groove 18, that is, the axial length of the ferrule 10 from the one end surface 13 of the ferrule 10 to the bottom surfaces 18 a and 18 b of the groove 18 is greater than the bottom surface 18 b of the groove 18 on the outer peripheral 15 surface side. It is preferable that the bottom surface 18a of the portion to be installed is made shallow. As a result, the smooth polished surface of the bottom surface 18a can be reduced, so that the consumption of the tool is reduced and the working time is shortened.

次に、図7は、図1に示す光学素子付フェルール20を例に用いた光学素子付光レセプタクル40を示す断面図である。光学素子付光レセプタクル40には、光路11に光ファイバ41を備え、一端面13側の光路11の周囲に磁石12を内蔵したフェルール10がいわゆるファイバスタブとして用いられている。フェルール10の一端側はホルダ43に圧入または接着によって固定されており、フェルール10の一端面13には光学素子21が設置されて光学素子付フェルール20とされている。このフェルール10の他端側はスリーブ45の貫通孔内に挿入されるようにスリーブ45が装着され、スリーブ45は、その外側にスリーブケース44が被されて保護されている。スリーブケース44の一端側はホルダ43に圧入または接着されて固定されている。スリーブ45には、円筒状の精密スリーブが基本として用いられるが、必要に応じてスリットを入れた割スリーブが用いられることもある。   Next, FIG. 7 is a cross-sectional view showing an optical receptacle 40 with an optical element using the ferrule 20 with an optical element shown in FIG. 1 as an example. In the optical receptacle 40 with an optical element, a ferrule 10 including an optical fiber 41 in the optical path 11 and having a magnet 12 built around the optical path 11 on the one end face 13 side is used as a so-called fiber stub. One end side of the ferrule 10 is fixed to the holder 43 by press-fitting or bonding, and an optical element 21 is provided on one end surface 13 of the ferrule 10 to form a ferrule 20 with an optical element. The other end side of the ferrule 10 is fitted with a sleeve 45 so as to be inserted into a through hole of the sleeve 45, and the sleeve 45 is protected by a sleeve case 44 covered on the outer side. One end side of the sleeve case 44 is fixed by being press-fitted or bonded to the holder 43. A cylindrical precision sleeve is basically used as the sleeve 45, but a split sleeve with a slit may be used as necessary.

ホルダ43は光モジュールとしてケースと溶接されることが多いため、ステンレス材、銅およびその合金、鉄−ニッケル合金などの溶接加工が可能な材料が挙げられるが、中でも、耐腐食性と溶接性を考慮してステンレス材が好適に用いられる。   Since the holder 43 is often welded to the case as an optical module, materials that can be welded, such as stainless steel, copper and its alloys, and iron-nickel alloys, can be mentioned. In consideration of the stainless steel, it is preferably used.

スリーブケース44にはステンレス材、銅およびその合金、鉄およびその合金、ニッケル合金、プラスチック、ジルコニアセラミックス、アルミナセラミックスなど、幅広い材料が用いられる。   A wide range of materials such as stainless steel, copper and its alloys, iron and its alloys, nickel alloys, plastics, zirconia ceramics, and alumina ceramics are used for the sleeve case 44.

スリーブ45はジルコニアセラミックス、アルミナセラミックス、銅およびその合金、ステンレス材等が用いられるが、耐摩耗性を考慮して、ジルコニアセラミックスが好適である。   The sleeve 45 is made of zirconia ceramics, alumina ceramics, copper and alloys thereof, stainless steel, or the like, and zirconia ceramics is preferable in consideration of wear resistance.

本発明の一実施形態に係る上記光学素子付光レセプタクル40によれば、端面13は光学素子21を備えるのみであり、ホルダ43を小さく設計でき、光学素子付光レセプタクル40を小型にできるので、光モジュール全体の小型化などに貢献できる。   According to the optical receptacle 40 with an optical element according to an embodiment of the present invention, the end surface 13 only includes the optical element 21, the holder 43 can be designed to be small, and the optical receptacle 40 with an optical element can be downsized. This contributes to downsizing of the entire optical module.

なお、本発明は上述の実施の形態および実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内であれば種々の変更は可能である。例えば、上述の実施の形態の一例では筒状フェルール10内に光路11が1本形成された例を示したが、複数本有する形態であってもよく、これらの光路11の周囲に磁石12を配置し、端面13に光学素子を備えることも可能である。   The present invention is not limited to the above-described embodiments and examples, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention. For example, in the above-described embodiment, an example in which one optical path 11 is formed in the cylindrical ferrule 10 is shown. However, a configuration having a plurality of optical paths 11 may be used, and magnets 12 are provided around these optical paths 11. It is also possible to arrange and provide an optical element on the end face 13.

また、上記実施の形態の説明において上下左右という用語は、単に図面上の位置関係を説明するために用いたものであり、実際の使用時における位置関係を意味するものではない。   In the description of the above embodiment, the terms “upper, lower, left and right” are merely used to describe the positional relationship in the drawings, and do not mean the positional relationship in actual use.

10:フェルール
11:光路
12:磁石
13:端面
16:溝
17:穴
18:溝
20,30:光学素子付フェルール
21:光学素子
40:光学素子付光レセプタクル
43:ホルダ
44:スリーブケース
45:スリーブ
10: Ferrule 11: Optical path 12: Magnet 13: End face 16: Groove 17: Hole 18: Groove 20, 30: Ferrule with optical element 21: Optical element 40: Optical receptacle with optical element 43: Holder 44: Sleeve case 45: Sleeve

Claims (8)

内部に光信号を伝播させる光路を有し、該光路の周囲に磁石が一体焼成されることによって埋入されているセラミックスから成る筒状部材と、該筒状部材の前記光路を横切るように設けられた端面に設置され、磁気光学効果を有する光学素子とを備えていることを特徴とする光学素子付光部品。 A cylindrical member made of ceramics having an optical path for propagating an optical signal therein and embedded by firing a magnet integrally around the optical path, and provided so as to cross the optical path of the cylindrical member An optical component with an optical element, comprising: an optical element that is installed on the end face and has a magneto-optical effect. 前記光路は細孔内に保持された光ファイバであることを特徴とする請求項1記載の光学素子付光部品。 The optical component with an optical element according to claim 1, wherein the optical path is an optical fiber held in a pore. 前記端面は、筒の一端面であることを特徴とする請求項1または請求項2記載の光学素子付光部品。 The optical component-equipped optical component according to claim 1, wherein the end surface is one end surface of a cylinder. 前記端面は、筒の一端面に設けられ、前記光路の内径より幅の広い穴の底面であることを特徴とする請求項1または請求項2記載の光学素子付光部品。 3. The optical component-equipped optical component according to claim 1, wherein the end surface is a bottom surface of a hole that is provided on one end surface of the cylinder and is wider than an inner diameter of the optical path. 前記端面は、筒の一端面に設けられ、前記筒の外周面から前記光路を横切って対向する外周面まで設けられた溝の底面であることを特徴とする請求項1または請求項2記載の光学素子付光部品。 The said end surface is a bottom face of the groove | channel provided in the one end surface of a pipe | tube, and was provided from the outer peripheral surface of the said pipe | tube to the outer peripheral surface which crosses the said optical path and opposes. Optical components with optical elements. 前記溝は、前記光路を横切る前記底面部分の深さが、前記溝の外周面側よりも浅くなるように形成されていることを特徴とする請求項5記載の光学素子付光部品。 6. The optical component with an optical element according to claim 5, wherein the groove is formed so that a depth of the bottom surface portion crossing the optical path is shallower than an outer peripheral surface side of the groove. 前記端面は、前記光路の途中を横切るように設けられた溝の内壁面であることを特徴とする請求項1または請求項2記載の光学素子付光部品。 3. The optical component with an optical element according to claim 1, wherein the end surface is an inner wall surface of a groove provided so as to cross the middle of the optical path. 請求項1乃至7のいずれかに記載の光学素子付光部品は細孔内に光ファイバ同士を接続するフェルールであり、該フェルールと、該光学素子付フェルールの一端部を保持するホルダと、前記光学素子付フェルールの他端部が挿入されたスリーブ及び、スリーブケースとを備えた光学素子付光レセプタクル。
The optical component with an optical element according to any one of claims 1 to 7 is a ferrule that connects optical fibers in a pore, the ferrule, a holder that holds one end of the ferrule with an optical element, and An optical receptacle with an optical element, comprising: a sleeve into which the other end of the ferrule with an optical element is inserted; and a sleeve case.
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