JP5411925B2 - Test apparatus and test method - Google Patents

Test apparatus and test method Download PDF

Info

Publication number
JP5411925B2
JP5411925B2 JP2011503702A JP2011503702A JP5411925B2 JP 5411925 B2 JP5411925 B2 JP 5411925B2 JP 2011503702 A JP2011503702 A JP 2011503702A JP 2011503702 A JP2011503702 A JP 2011503702A JP 5411925 B2 JP5411925 B2 JP 5411925B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
power
device under
under test
test apparatus
light source
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2011503702A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPWO2010103786A1 (en
Inventor
靖夫 古川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Advantest Corp filed Critical Advantest Corp
Priority to JP2011503702A priority Critical patent/JP5411925B2/en
Publication of JPWO2010103786A1 publication Critical patent/JPWO2010103786A1/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5411925B2 publication Critical patent/JP5411925B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02S—GENERATION OF ELECTRIC POWER BY CONVERSION OF INFRARED RADIATION, VISIBLE LIGHT OR ULTRAVIOLET LIGHT, e.g. USING PHOTOVOLTAIC [PV] MODULES
    • H02S50/00—Monitoring or testing of PV systems, e.g. load balancing or fault identification
    • H02S50/10—Testing of PV devices, e.g. of PV modules or single PV cells
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy

Landscapes

  • Photovoltaic Devices (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)

Description

本発明は、試験装置および試験方法に関する。   The present invention relates to a test apparatus and a test method.

デバイスを試験する場合に、試験装置は、被試験デバイスを動作させるエネルギーを供給する。試験装置は、供給したエネルギーに応じて被試験デバイスが出力するエネルギーを測定することにより、被試験デバイスの良否を判定する。例えば、特許文献１に半導体デバイスの試験方法が記載されている。
特許文献１ 特開２００３−０１４８２５号公報When testing a device, the test apparatus supplies energy to operate the device under test. The test apparatus determines the quality of the device under test by measuring the energy output from the device under test according to the supplied energy. For example, Patent Document 1 describes a semiconductor device test method.
Patent Document 1 JP 2003-014825 A

近年、被試験デバイスの消費電力の増大、あるいは、同時測定数の増大に伴い、試験装置の消費電力が大きくなってきている。特に、被試験デバイスが太陽電池等の光発電デバイスの場合には、試験装置は大電力の光源を用いるので、試験装置の消費電力が大きい。その結果、試験装置のシステム電源の容量が増大するという課題が生じている。   In recent years, the power consumption of a test apparatus has increased as the power consumption of a device under test increases or the number of simultaneous measurements increases. In particular, when the device under test is a photovoltaic device such as a solar cell, the power consumption of the test apparatus is large because the test apparatus uses a high-power light source. As a result, there is a problem that the capacity of the system power supply of the test apparatus increases.

そこで本発明の１つの側面においては、上記の課題を解決することのできる試験装置および試験方法を提供することを目的とする。この目的は請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。   Therefore, an object of one aspect of the present invention is to provide a test apparatus and a test method that can solve the above-described problems. This object is achieved by a combination of features described in the independent claims. The dependent claims define further advantageous specific examples of the present invention.

本発明の第１の態様においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスが出力するエネルギーを測定し、被試験デバイスの良否を判定する測定部と、測定部が測定したエネルギーを、試験装置の動力として回生するエネルギー回生部とを備える試験装置を提供する。   In the first aspect of the present invention, a test apparatus for testing a device under test, which measures the energy output from the device under test and determines whether the device under test is good or not, and the measurement unit measures There is provided a test apparatus including an energy regeneration unit that regenerates energy as power of the test apparatus.

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。   The above summary of the invention does not enumerate all the necessary features of the present invention, and sub-combinations of these feature groups can also be the invention.

第１の実施形態に係る試験装置１００の構成を示す。1 shows a configuration of a test apparatus 100 according to a first embodiment. 第２の実施形態に係る試験装置１００の構成を示す。2 shows a configuration of a test apparatus 100 according to a second embodiment. 第３の実施形態に係る試験装置１００の構成を示す。The structure of the test apparatus 100 which concerns on 3rd Embodiment is shown. 第４の実施形態に係る試験装置１００の構成を示す。The structure of the test apparatus 100 which concerns on 4th Embodiment is shown. 第５の実施形態に係る試験装置１００の構成を示す。The structure of the test apparatus 100 which concerns on 5th Embodiment is shown. 第６の実施形態に係る試験装置１００の構成を示す。The structure of the test apparatus 100 which concerns on 6th Embodiment is shown. 第７の実施形態に係る試験装置１００の構成を示す。The structure of the test apparatus 100 which concerns on 7th Embodiment is shown.

以下、発明の実施の形態を通じて本発明の（一）側面を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。   Hereinafter, the (1) aspect of the present invention will be described through embodiments of the invention. However, the following embodiments do not limit the invention according to the scope of claims, and the features described in the embodiments are as follows. Not all combinations are essential for the solution of the invention.

図１は、第１の実施形態に係る試験装置１００の構成を示す。試験装置１００は、測定部２０およびエネルギー回生部３０を有する。試験装置１００は、同軸ケーブル等の伝送線路により、被試験デバイス２００と接続され、被試験デバイス２００が出力する信号およびエネルギー等を測定する。試験装置１００は、システム電源３００から動作用電力の供給を受ける。   FIG. 1 shows a configuration of a test apparatus 100 according to the first embodiment. The test apparatus 100 includes a measurement unit 20 and an energy regeneration unit 30. The test apparatus 100 is connected to the device under test 200 via a transmission line such as a coaxial cable, and measures signals, energy, and the like output from the device under test 200. The test apparatus 100 receives operation power from the system power supply 300.

測定部２０は、被試験デバイス２００が出力するエネルギーを測定して、被試験デバイス２００の良否を判定する。エネルギー回生部３０は、測定部２０が測定したエネルギーを、試験装置１００の動力として回生する。被試験デバイス２００は、半導体メモリ、マイクロプロセッサ、または、太陽電池などの、エネルギーを発生するデバイスであってよい。   The measuring unit 20 measures energy output from the device under test 200 to determine whether the device under test 200 is good or bad. The energy regeneration unit 30 regenerates energy measured by the measurement unit 20 as power of the test apparatus 100. The device under test 200 may be a device that generates energy, such as a semiconductor memory, a microprocessor, or a solar cell.

測定部２０は、一例として、被試験デバイス２００に予め定められた負荷を接続した状態における、被試験デバイス２００が出力する電流および電圧に基づいて、被試験デバイス２００の良否を判定する。測定部２０は、被試験デバイス２００が出力する電流を、エネルギー回生部３０に出力する。また、測定部２０は、被試験デバイス２００が出力する電圧から生成された電圧をエネルギー回生部３０に印加する。   For example, the measurement unit 20 determines pass / fail of the device under test 200 based on the current and voltage output from the device under test 200 in a state where a predetermined load is connected to the device under test 200. The measurement unit 20 outputs the current output from the device under test 200 to the energy regeneration unit 30. In addition, the measurement unit 20 applies a voltage generated from the voltage output from the device under test 200 to the energy regeneration unit 30.

エネルギー回生部３０は、測定部２０が出力する電流および電圧から、所定のエネルギーを生成する。エネルギー回生部３０は、測定部２０が出力する電力以外のエネルギーに基づいて、所定のエネルギーを生成してよい。エネルギー回生部３０は、予め定められた電圧を有する電力を生成してよい。   The energy regeneration unit 30 generates predetermined energy from the current and voltage output from the measurement unit 20. The energy regeneration unit 30 may generate predetermined energy based on energy other than the electric power output from the measurement unit 20. The energy regeneration unit 30 may generate power having a predetermined voltage.

試験装置１００は、エネルギー回生部３０が生成したエネルギーを、システム電源３００が出力する電力と合成して、試験装置１００の動作電力を生成する。測定部２０は、当該動作電力に基づいて動作してよい。エネルギー回生部３０は、試験装置１００が備える電気回路に直接エネルギーを供給してもよい。   The test apparatus 100 generates the operating power of the test apparatus 100 by combining the energy generated by the energy regeneration unit 30 with the power output from the system power supply 300. The measurement unit 20 may operate based on the operating power. The energy regeneration unit 30 may directly supply energy to an electric circuit included in the test apparatus 100.

本実施形態によれば、試験装置１００は、被試験デバイス２００が出力するエネルギーを測定すると共に、測定に用いたエネルギーを電源電力の一部として、試験装置１００を動作させる。試験装置１００の動作に用いる電力の一部をエネルギー回生部３０が供給するので、エネルギー利用効率が高まり、試験装置１００の消費電力が低減する。   According to the present embodiment, the test apparatus 100 measures the energy output from the device under test 200 and operates the test apparatus 100 using the energy used for the measurement as part of the power supply power. Since the energy regeneration part 30 supplies a part of electric power used for operation | movement of the test apparatus 100, energy utilization efficiency increases and the power consumption of the test apparatus 100 reduces.

図２は、第２の実施形態に係る試験装置１００の構成を示す。本実施形態において、被試験デバイス２００は、照射される光のエネルギーを電力に変換する光発電デバイスである。試験装置１００は、被試験デバイス２００に光を照射する光源４０、光源電源５０を、第１の実施形態に対してさらに備える。   FIG. 2 shows a configuration of the test apparatus 100 according to the second embodiment. In the present embodiment, the device under test 200 is a photovoltaic device that converts the energy of irradiated light into electric power. The test apparatus 100 further includes a light source 40 that irradiates light to the device under test 200 and a light source power supply 50 with respect to the first embodiment.

測定部２０は、被試験デバイス２００が出力する電力を測定する。エネルギー回生部３０は、測定部２０が測定した電力を、光源４０の動力として回生する。光源電源５０は、光源４０に供給する電力を、予め定められた電圧Ｖｓｙｓのシステム電源電力に基づいて生成するスイッチング型の電源である。光源電源５０は、Ｖｓｙｓを降圧した電圧の電力を光源４０に供給してよい。   The measuring unit 20 measures the power output from the device under test 200. The energy regeneration unit 30 regenerates the power measured by the measurement unit 20 as the power of the light source 40. The light source power source 50 is a switching type power source that generates power to be supplied to the light source 40 based on a system power source power of a predetermined voltage Vsys. The light source power supply 50 may supply power of a voltage obtained by stepping down Vsys to the light source 40.

エネルギー回生部３０は、測定部２０が測定した電力を、システム電源電力の電圧Ｖｓｙｓに昇圧して、光源電源５０に供給する。エネルギー回生部３０は、測定部２０が測定した電力をシステム電源電力の電圧に昇圧するスイッチングレギュレータ６０を有する。スイッチングレギュレータ６０は、システム電源電力の供給源と、光源電源５０の入力端とに接続される。スイッチングレギュレータ６０は、ダイオードを介して、システム電源３００の出力端および光源電源５０の入力端に接続されてよい。   The energy regeneration unit 30 boosts the power measured by the measurement unit 20 to the voltage Vsys of the system power supply power and supplies it to the light source power supply 50. The energy regeneration unit 30 includes a switching regulator 60 that boosts the power measured by the measurement unit 20 to the voltage of the system power supply power. The switching regulator 60 is connected to a supply source of system power supply power and an input terminal of the light source power supply 50. The switching regulator 60 may be connected to the output terminal of the system power supply 300 and the input terminal of the light source power supply 50 via a diode.

光発電デバイスを試験する場合、光源４０は、予め定められた照度の光を出力する。光源４０は、一例として、結晶系太陽電池モジュールの出力測定においては、１平米あたり約１０００Ｗの放射照度の光を出力する。そのため、光源４０の消費電力は大きく、光発電デバイス以外の半導体デバイスを試験する場合に比べて、試験装置１００の消費電力は大きく、システム電源３００の容量は大きい。   When testing a photovoltaic device, the light source 40 outputs light with a predetermined illuminance. For example, the light source 40 outputs light having an irradiance of about 1000 W per square meter in the output measurement of the crystalline solar cell module. Therefore, the power consumption of the light source 40 is large, the power consumption of the test apparatus 100 is large, and the capacity of the system power supply 300 is large compared to the case of testing a semiconductor device other than the photovoltaic device.

そこで、試験装置１００は、光発電デバイスが出力する電力を回生することにより、実質的な消費電力を削減することができる。例えば、光源４０の効率がａ％、光発電デバイスの効率がｂ％、エネルギー回生部３０における回生効率がｃ％の場合、試験装置１００は、消費電力のａ×ｂ×ｃ％を回生できる。   Therefore, the test apparatus 100 can reduce substantial power consumption by regenerating the power output from the photovoltaic device. For example, when the efficiency of the light source 40 is a%, the efficiency of the photovoltaic device is b%, and the regeneration efficiency in the energy regeneration unit 30 is c%, the test apparatus 100 can regenerate a × b × c% of power consumption.

本実施形態によれば、試験装置１００は、被試験デバイス２００の測定後の電力を回生することにより、システム電源３００が光源４０に供給する電力の一部を削減することができるので、消費電力が低減する。特に、エネルギー回生部３０がスイッチングレギュレータ６０を用いてエネルギーを回生することにより、試験装置１００のエネルギー利用効率が向上する。   According to the present embodiment, the test apparatus 100 can reduce a part of the power supplied from the system power supply 300 to the light source 40 by regenerating the power after measurement of the device under test 200. Is reduced. In particular, the energy regeneration efficiency of the test apparatus 100 is improved by the energy regeneration unit 30 regenerating energy using the switching regulator 60.

図３は、第３の実施形態に係る試験装置１００の構成を示す。本実施形態において、測定部２０は、被試験デバイス２００が出力する電力を伝送する伝送路に設けられ、電力の電流値を測定する電流測定器２２を有する。また、測定部２０は、伝送路と接地電位との間に設けられ、電力の電圧値を測定する電圧測定器２４をさらに有する。   FIG. 3 shows a configuration of a test apparatus 100 according to the third embodiment. In the present embodiment, the measurement unit 20 includes a current measuring device 22 that is provided in a transmission path that transmits the power output from the device under test 200 and measures the current value of the power. The measuring unit 20 further includes a voltage measuring device 24 that is provided between the transmission line and the ground potential and measures the voltage value of power.

太陽電池などの光発電デバイスの特性のうち、入力される光量に応じた、電流と電圧との関係を示す出力特性の測定においては、試験装置１００は、光発電デバイスの出力電流および出力電圧を測定する。そこで、測定部２０は、電流測定器２２において、被試験デバイス２００が出力する出力電流を測定する。測定部２０は、電圧測定器２４において、被試験デバイス２００が出力する出力電圧を測定する。   Among the characteristics of photovoltaic devices such as solar cells, in the measurement of output characteristics indicating the relationship between current and voltage according to the amount of input light, the test apparatus 100 determines the output current and output voltage of the photovoltaic device. taking measurement. Therefore, the measuring unit 20 measures the output current output from the device under test 200 in the current measuring device 22. The measuring unit 20 measures the output voltage output from the device under test 200 in the voltage measuring device 24.

スイッチングレギュレータ６０は、被試験デバイス２００から見て、電流測定器２２より下流の伝送路に設けられた誘導成分６２を有する。また、スイッチングレギュレータ６０は、伝送路において、誘導成分６２および光源電源５０の入力端子の間に設けられたダイオード６４を有する。さらに、スイッチングレギュレータ６０は、誘導成分６２およびダイオード６４の間の伝送路と、接地電位との間に設けられ、被試験デバイス２００に接続すべき負荷に応じてスイッチングするトランジスタ６６を有する。   The switching regulator 60 has an inductive component 62 provided in a transmission path downstream from the current measuring device 22 when viewed from the device under test 200. The switching regulator 60 includes a diode 64 provided between the inductive component 62 and the input terminal of the light source power supply 50 in the transmission line. Further, the switching regulator 60 includes a transistor 66 that is provided between the transmission path between the inductive component 62 and the diode 64 and the ground potential and switches according to a load to be connected to the device under test 200.

スイッチングレギュレータ６０は、コンデンサ６８およびコンデンサ６９を有してよい。コンデンサ６８は、電流測定器２２の下流の伝送路と接地電位との間に設けられ、電流測定器２２が出力する電流に重畳された高周波ノイズを除去する。コンデンサ６９は、光源電源５０の入力端子と接地電位との間に設けられ、光源電源５０に対して出力する電圧のリップルを除去する。   The switching regulator 60 may include a capacitor 68 and a capacitor 69. The capacitor 68 is provided between the transmission line downstream of the current measuring device 22 and the ground potential, and removes high-frequency noise superimposed on the current output from the current measuring device 22. The capacitor 69 is provided between the input terminal of the light source power supply 50 and the ground potential, and removes the ripple of the voltage output to the light source power supply 50.

一般に、被試験デバイス２００が出力する電圧は、光源４０に入力される電圧よりも低い。そこで、スイッチングレギュレータ６０は、被試験デバイス２００が出力する電圧を昇圧する。トランジスタ６６は、所定のタイミングでスイッチングすることにより、誘導成分６２を流れる電流を、コンデンサ６９に供給するか否かを切り替える。   In general, the voltage output from the device under test 200 is lower than the voltage input to the light source 40. Therefore, the switching regulator 60 boosts the voltage output from the device under test 200. The transistor 66 switches whether to supply the current flowing through the inductive component 62 to the capacitor 69 by switching at a predetermined timing.

コンデンサ６９は、トランジスタ６６がオフ（コレクタおよびエミッタ間が非導通）の状態においては、誘導成分６２およびダイオード６４を介して供給される電力を蓄積する。コンデンサ６９は、トランジスタ６６がオン（コレクタおよびエミッタ間が導通）の状態においては、蓄積した電力を放出する。コンデンサ６９が放出した電力は、光源電源５０に出力される。トランジスタ６６は、被試験デバイス２００に接続する負荷が大きい場合には、オフ状態になる時間をオン状態になる時間よりも長くしてよい。   Capacitor 69 stores the power supplied via inductive component 62 and diode 64 when transistor 66 is off (the collector and the emitter are non-conductive). Capacitor 69 discharges the accumulated electric power when transistor 66 is on (the collector and the emitter are conducting). The electric power released by the capacitor 69 is output to the light source power supply 50. When the load connected to the device under test 200 is large, the transistor 66 may have a longer time for turning off than the time for turning on.

光源電源５０においては、システム電源３００から供給される電力、および、スイッチングレギュレータ６０から供給される電力を受けて、光源４０の動作電圧を有する電力に変換する。例えば、光源電源５０は、システム電源３００の出力電圧、および、スイッチングレギュレータ６０の出力電圧を、降圧する。   The light source power supply 50 receives the power supplied from the system power supply 300 and the power supplied from the switching regulator 60 and converts it into power having the operating voltage of the light source 40. For example, the light source power supply 50 steps down the output voltage of the system power supply 300 and the output voltage of the switching regulator 60.

光源電源５０は、誘導成分５２、ダイオード５４、トランジスタ５６、コンデンサ５８、および、コンデンサ５９を有してよい。トランジスタ５６は、入力電流を所定のタイミングでスイッチングする。トランジスタ５６がオンの状態において、光源電源５０に入力された電力は、光源４０およびコンデンサ５８に供給される。トランジスタ５６がオフの状態において、コンデンサ５８は、蓄積した電力を光源４０に供給する。   The light source power supply 50 may include an inductive component 52, a diode 54, a transistor 56, a capacitor 58, and a capacitor 59. The transistor 56 switches the input current at a predetermined timing. When the transistor 56 is on, power input to the light source power supply 50 is supplied to the light source 40 and the capacitor 58. The capacitor 58 supplies the accumulated power to the light source 40 when the transistor 56 is off.

以上のように、本実施形態の構成により、スイッチングレギュレータ６０は、被試験デバイス２００の測定後の電力に基づいて、システム電源３００の電圧と略等しい電圧の電力を生成する。スイッチングレギュレータ６０が生成した電力は、光源電源５０を介して光源４０に供給され、被試験デバイス２００の試験に用いられる。その結果、試験装置１００の試験におけるエネルギー効率が大きく改善するので、試験装置１００の消費電力が低減する。   As described above, according to the configuration of the present embodiment, the switching regulator 60 generates power having a voltage substantially equal to the voltage of the system power supply 300 based on the measured power of the device under test 200. The electric power generated by the switching regulator 60 is supplied to the light source 40 via the light source power source 50 and used for testing the device under test 200. As a result, the energy efficiency in the test of the test apparatus 100 is greatly improved, so that the power consumption of the test apparatus 100 is reduced.

図４は、第４の実施形態に係る試験装置１００の構成を示す。同図において、試験装置１００は、さらに制御部７０を有する。また、測定部２０は、可変負荷２６および測定回路２８を有する。電流測定器２２は、制御部７０の制御により可変負荷２６の負荷の容量を切り替えてよい。可変負荷２６は、一例として、可変抵抗を含んでよい。   FIG. 4 shows a configuration of a test apparatus 100 according to the fourth embodiment. In the figure, the test apparatus 100 further includes a control unit 70. The measurement unit 20 includes a variable load 26 and a measurement circuit 28. The current measuring device 22 may switch the load capacity of the variable load 26 under the control of the control unit 70. The variable load 26 may include a variable resistor as an example.

被試験デバイス２００が出力する電流および電圧は、可変負荷２６の負荷の大きさに応じて変化する。制御部７０は、可変負荷２６の負荷の大きさに応じて、光源電源５０を制御してよい。例えば、制御部７０は、可変負荷２６の負荷を大きくして、被試験デバイス２００が出力する電力を増加させる場合には、光源４０に供給する電力を増加するべく、光源電源５０を制御する。光源４０は、光源電源５０が出力する電流および電圧に応じて、光量を変化させてよい。   The current and voltage output from the device under test 200 vary according to the load size of the variable load 26. The control unit 70 may control the light source power supply 50 according to the load size of the variable load 26. For example, when the load of the variable load 26 is increased and the power output from the device under test 200 is increased, the control unit 70 controls the light source power supply 50 to increase the power supplied to the light source 40. The light source 40 may change the amount of light according to the current and voltage output from the light source power supply 50.

本実施形態の構成により、試験装置１００は、被試験デバイス２００に照射する光量と、被試験デバイス２００が出力する電流および電圧とを変化することができる。その結果、試験装置１００は、さまざまな条件に応じた被試験デバイス２００の特性を試験することができる。   With the configuration of the present embodiment, the test apparatus 100 can change the amount of light applied to the device under test 200 and the current and voltage output from the device under test 200. As a result, the test apparatus 100 can test the characteristics of the device under test 200 according to various conditions.

図５は、第５の実施形態に係る試験装置１００の構成を示す。試験装置１００は、被試験デバイス２００から放出される熱を電力に変換して光源４０に供給する熱電変換部９０をさらに備える。エネルギー回生部３０は、スイッチングレギュレータ８０をさらに備える。   FIG. 5 shows a configuration of a test apparatus 100 according to the fifth embodiment. The test apparatus 100 further includes a thermoelectric conversion unit 90 that converts heat released from the device under test 200 into electric power and supplies the electric power to the light source 40. The energy regeneration unit 30 further includes a switching regulator 80.

被試験デバイス２００は、光源４０が照射する光に応じて、電力を発生する。被試験デバイス２００が発生する電力の一部は、熱として放出される。そこで、熱電変換部９０は、被試験デバイス２００が放出する熱を電力に変換する。スイッチングレギュレータ８０は、熱電変換部９０が出力する電圧を昇圧した上で、昇圧した電圧の電力を光源電源５０に対して出力する。   The device under test 200 generates electric power according to the light emitted from the light source 40. Part of the power generated by the device under test 200 is released as heat. Therefore, the thermoelectric converter 90 converts heat released from the device under test 200 into electric power. The switching regulator 80 boosts the voltage output from the thermoelectric converter 90 and then outputs the boosted voltage power to the light source power supply 50.

本実施形態の構成により、試験装置１００は、被試験デバイス２００が放出する熱を電力として回生することができる。従って、試験装置１００は、被試験デバイス２００の試験におけるエネルギー利用効率をさらに高めることができる。   With the configuration of the present embodiment, the test apparatus 100 can regenerate heat generated by the device under test 200 as electric power. Therefore, the test apparatus 100 can further increase the energy utilization efficiency in the test of the device under test 200.

図６は、第６の実施形態に係る試験装置１００の構成を示す。本実施形態に係る試験装置１００は、複数の被試験デバイス２００（２００−１、２００−２、２００−３）を並行して試験する。複数の光源４０（４０−１、４０−２、４０−３）および複数の測定部２０（２０−１、２０−２、２０−３）は、それぞれの被試験デバイス２００（２００−１、２００−２、２００−３）に対応して設けられる。   FIG. 6 shows a configuration of a test apparatus 100 according to the sixth embodiment. The test apparatus 100 according to the present embodiment tests a plurality of devices under test 200 (200-1, 200-2, 200-3) in parallel. The plurality of light sources 40 (40-1, 40-2, 40-3) and the plurality of measuring units 20 (20-1, 20-2, 20-3) are respectively connected to the devices under test 200 (200-1, 200). -2, 200-3).

例えば、光源４０−１および測定部２０−１は、被試験デバイス２００−１に対応して設けられる。光源４０−２および測定部２０−２は、被試験デバイス２００−２に対応して設けられる。光源４０−３および測定部２０−２は、被試験デバイス２００−２に対応して設けられる。試験装置１００は、さらに多くの被試験デバイスを並行して試験してよい。   For example, the light source 40-1 and the measurement unit 20-1 are provided corresponding to the device under test 200-1. The light source 40-2 and the measurement unit 20-2 are provided corresponding to the device under test 200-2. The light source 40-3 and the measurement unit 20-2 are provided corresponding to the device under test 200-2. The test apparatus 100 may test more devices under test in parallel.

エネルギー回生部３０は、複数の測定部２０が測定した電力を合成して、いずれかの光源４０に供給する。エネルギー回生部３０は、複数の光源４０のうち、発光量が最大の光源４０に電力を供給する。エネルギー回生部３０は、それぞれの被試験デバイス２００の試験項目に応じて、電力を供給する光源４０を選択してよい。   The energy regeneration unit 30 combines the power measured by the plurality of measurement units 20 and supplies the synthesized power to any one of the light sources 40. The energy regeneration unit 30 supplies power to the light source 40 having the maximum light emission amount among the plurality of light sources 40. The energy regeneration unit 30 may select the light source 40 that supplies power according to the test item of each device under test 200.

例えば、試験装置１００は、高い照度における被試験デバイス２００−１の出力特性を測定すると共に、低い照度における被試験デバイス２００−２および被試験デバイス２００−２の出力特性を測定する場合がある。この場合には、光源４０−１は、光源４０−２および光源４０−３よりも高い照度の光を出力するので、大きな電力を消費する。そこで、エネルギー回生部３０は、生成した電力を、発光量が最大になる光源４０−１に供給してよい。   For example, the test apparatus 100 may measure the output characteristics of the device under test 200-1 at high illuminance, and may measure the output characteristics of the device under test 200-2 and the device under test 200-2 at low illuminance. In this case, the light source 40-1 outputs light with higher illuminance than the light sources 40-2 and 40-3, and thus consumes a large amount of power. Therefore, the energy regeneration unit 30 may supply the generated power to the light source 40-1 that maximizes the amount of light emission.

エネルギー回生部３０は、それぞれの被試験デバイスが出力する電力に基づいて、電力を生成する。エネルギー回生部３０は、それぞれの被試験デバイスが出力する電力に応じて生成した電力を合成してよい。   The energy regeneration unit 30 generates power based on the power output by each device under test. The energy regeneration unit 30 may combine the power generated according to the power output by each device under test.

本実施形態によれば、試験装置１００は、消費電力が最も大きい光源４０に対して、回生した電力を使用する。その結果、試験装置１００は、光源４０に供給する最大電力を低減できるので、光源４０に電力を供給する回路を小型化できる。   According to the present embodiment, the test apparatus 100 uses the regenerated power for the light source 40 with the largest power consumption. As a result, since the test apparatus 100 can reduce the maximum power supplied to the light source 40, the circuit for supplying power to the light source 40 can be downsized.

図７は、第７の実施形態に係る試験装置１００の構成を示す。本実施形態に係るエネルギー回生部３０は、複数の測定部２０に対応する複数のスイッチングレギュレータ６０（６０−１、６０−２、６０−３）と、それぞれのスイッチングレギュレータ６０の出力を合成した電力に基づいて、光源用電力を生成する光源電源５０と、光源電源５０が出力する電力を供給する光源４０を切り替える切替部３２とを有する。   FIG. 7 shows a configuration of a test apparatus 100 according to the seventh embodiment. The energy regeneration unit 30 according to the present embodiment combines a plurality of switching regulators 60 (60-1, 60-2, 60-3) corresponding to the plurality of measurement units 20 and outputs of the respective switching regulators 60. The light source power source 50 that generates light source power and the switching unit 32 that switches the light source 40 that supplies power output from the light source power source 50 are included.

具体的には、スイッチングレギュレータ６０−１は、測定部２０−１が出力する電圧を昇圧する。スイッチングレギュレータ６０−２は、測定部２０−２が出力する電圧を昇圧する。スイッチングレギュレータ６０−３は、測定部２０−３が出力する電圧を昇圧する。それぞれのスイッチングレギュレータ６０は、光源電源５０に対して電圧を出力する。   Specifically, the switching regulator 60-1 boosts the voltage output from the measurement unit 20-1. The switching regulator 60-2 boosts the voltage output from the measurement unit 20-2. The switching regulator 60-3 boosts the voltage output from the measurement unit 20-3. Each switching regulator 60 outputs a voltage to the light source power supply 50.

スイッチングレギュレータ６０−１、スイッチングレギュレータ６０−２、および、スイッチングレギュレータ６０−３の出力端は、システム電源３００の入力端および光源電源５０の入力端に接続される。光源電源５０は、システム電源３００から供給される電力と、それぞれのスイッチングレギュレータ６０から供給される電力とに基づいて、それぞれの光源４０に供給する電力を生成する。   The output terminals of the switching regulator 60-1, the switching regulator 60-2, and the switching regulator 60-3 are connected to the input terminal of the system power supply 300 and the input terminal of the light source power supply 50. The light source power supply 50 generates power to be supplied to each light source 40 based on the power supplied from the system power supply 300 and the power supplied from each switching regulator 60.

光源電源５０は、生成した電力を切替部３２に出力する。切替部３２は、熱電変換部９０の制御に基づいて、光源電源５０から供給される電力を、いずれかの光源４０に供給してよい。熱電変換部９０は、それぞれの被試験デバイスの試験項目に応じて、発光量が最大の光源に供給するべく、切替部３２を制御してよい。切替部３２は、リレー、半導体スイッチ、または、機構スイッチを含んでよい。   The light source power supply 50 outputs the generated power to the switching unit 32. The switching unit 32 may supply the power supplied from the light source power supply 50 to any one of the light sources 40 based on the control of the thermoelectric conversion unit 90. The thermoelectric conversion unit 90 may control the switching unit 32 so as to supply the light source with the maximum light emission amount according to the test item of each device under test. The switching unit 32 may include a relay, a semiconductor switch, or a mechanism switch.

本実施形態によれば、試験装置１００は、それぞれの測定部が出力する電圧が異なる場合にも、それぞれの測定部が出力する電力を回生することができる。さらに、試験装置１００は、回生した電力を回生する光源を選択することができる。   According to the present embodiment, the test apparatus 100 can regenerate the power output from each measurement unit even when the voltages output from the measurement units are different. Furthermore, the test apparatus 100 can select a light source that regenerates the regenerated electric power.

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。   As mentioned above, although this invention was demonstrated using embodiment, the technical scope of this invention is not limited to the range as described in the said embodiment. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications or improvements can be added to the above-described embodiment. It is apparent from the scope of the claims that the embodiments added with such changes or improvements can be included in the technical scope of the present invention.

請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。   The execution order of each process such as operations, procedures, steps, and stages in the apparatus, system, program, and method shown in the claims, the description, and the drawings is particularly “before” or “prior”. It should be noted that they can be implemented in any order unless the output of the previous process is used in the subsequent process. Regarding the operation flow in the claims, the description, and the drawings, even if it is described using “first”, “next”, etc. for the sake of convenience, it means that it is essential to carry out in this order. is not.

２０ 測定部、２２ 電流測定器、２４ 電圧測定器、２６ 可変負荷、２８ 測定回路、３０ エネルギー回生部、３２ 切替部、４０ 光源、５０ 光源電源、５２ 誘導成分、５４ ダイオード、５６ トランジスタ、５８ コンデンサ、５９ コンデンサ、６０ スイッチングレギュレータ、６２ 誘導成分、６４ ダイオード、６６ トランジスタ、６８ コンデンサ、６９ コンデンサ、７０ 制御部、８０ スイッチングレギュレータ、９０ 熱電変換部、１００ 試験装置、２００ 被試験デバイス、３００ システム電源 20 measurement units, 22 current measurement devices, 24 voltage measurement devices, 26 variable loads, 28 measurement circuits, 30 energy regeneration units, 32 switching units, 40 light sources, 50 light source power supplies, 52 inductive components, 54 diodes, 56 transistors, 58 capacitors , 59 capacitors, 60 switching regulators, 62 inductive components, 64 diodes, 66 transistors, 68 capacitors, 69 capacitors, 70 control units, 80 switching regulators, 90 thermoelectric converters, 100 test equipment, 200 devices under test, 300 system power supply

Claims (10)

被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスが出力するエネルギーを測定し、前記被試験デバイスの良否を判定する測定部と、
前記測定部が測定した前記エネルギーを、前記試験装置の動力として回生するエネルギー回生部と
を備える試験装置。A test apparatus for testing a device under test,
A measurement unit that measures energy output from the device under test and determines whether the device under test is good or bad;
A test apparatus comprising: an energy regeneration unit that regenerates the energy measured by the measurement unit as power of the test apparatus. 前記被試験デバイスは、照射される光のエネルギーを電力に変換する光発電デバイスであり、
前記試験装置は、前記被試験デバイスに光を照射する光源をさらに備え、
前記測定部は、前記被試験デバイスが出力する電力を測定し、
前記エネルギー回生部は、前記測定部が測定した前記電力を、前記光源の動力として回生する
請求項１に記載の試験装置。The device under test is a photovoltaic device that converts the energy of irradiated light into electric power,
The test apparatus further includes a light source that irradiates light to the device under test,
The measurement unit measures the power output from the device under test,
The test apparatus according to claim 1, wherein the energy regeneration unit regenerates the electric power measured by the measurement unit as power of the light source. 前記光源に供給する電力を、予め定められた電圧のシステム電源電力に基づいて生成するスイッチング型の光源電源をさらに備える
請求項２に記載の試験装置。The test apparatus according to claim 2, further comprising a switching-type light source power source that generates power to be supplied to the light source based on system power source power having a predetermined voltage. 前記エネルギー回生部は、前記測定部が測定した電力を、前記システム電源電力の電圧に昇圧して、前記光源電源に供給する
請求項３に記載の試験装置。The test apparatus according to claim 3, wherein the energy regeneration unit boosts the power measured by the measurement unit to a voltage of the system power supply power and supplies the boosted power to the light source power supply. 前記エネルギー回生部は、前記測定部が測定した電力を前記システム電源電力の電圧に昇圧するスイッチングレギュレータを有する
請求項４に記載の試験装置。The test apparatus according to claim 4, wherein the energy regeneration unit includes a switching regulator that boosts the power measured by the measurement unit to a voltage of the system power supply power. 前記測定部は、
前記被試験デバイスが出力する電力を伝送する伝送路に設けられ、前記電力の電流値を測定する電流測定器と、
前記伝送路と接地電位との間に設けられ、前記電力の電圧値を測定する電圧測定器と
を有し、
前記スイッチングレギュレータは、
前記被試験デバイスから見て、前記電流測定器より下流の前記伝送路に設けられた誘導成分と、
前記伝送路において、前記誘導成分および前記光源電源の入力端子の間に設けられたダイオードと、
前記誘導成分および前記ダイオードの間の前記伝送路と、接地電位との間に設けられ、前記被試験デバイスに接続すべき負荷に応じてスイッチングするトランジスタと
を有する請求項５に記載の試験装置。The measuring unit is
A current measuring device that is provided in a transmission path for transmitting power output from the device under test, and that measures a current value of the power;
A voltage measuring device that is provided between the transmission line and a ground potential and measures a voltage value of the power;
The switching regulator is
An inductive component provided in the transmission path downstream from the current measuring device as seen from the device under test;
In the transmission line, a diode provided between the inductive component and an input terminal of the light source power source,
The test apparatus according to claim 5, further comprising: a transistor provided between the transmission path between the inductive component and the diode and a ground potential and switching according to a load to be connected to the device under test. 前記被試験デバイスから放出される熱を電力に変換して前記光源に供給する熱電変換部をさらに備える
請求項２から６のいずれか一項に記載の試験装置。The test apparatus according to claim 2, further comprising a thermoelectric conversion unit that converts heat released from the device under test into electric power and supplies the electric power to the light source. 前記試験装置は、複数の前記被試験デバイスを並行して試験し、
前記光源および前記測定部は、前記被試験デバイス毎に設けられ、
前記エネルギー回生部は、複数の前記測定部が測定した電力を合成して、いずれかの前記光源に供給する
請求項２から７のいずれか一項に記載の試験装置。The test apparatus tests a plurality of the devices under test in parallel,
The light source and the measurement unit are provided for each device under test,
The test apparatus according to claim 2, wherein the energy regeneration unit combines the power measured by the plurality of measurement units and supplies the synthesized power to any one of the light sources. 前記エネルギー回生部は、複数の前記光源のうち、発光量が最大の前記光源に電力を供給する
請求項８に記載の試験装置。The test apparatus according to claim 8, wherein the energy regeneration unit supplies power to the light source having the maximum light emission amount among the plurality of light sources. 被試験デバイスを試験する試験方法であって、
前記被試験デバイスが出力するエネルギーを測定し、前記被試験デバイスの良否を判定する測定段階と、
前記測定段階で測定した前記エネルギーを、前記被試験デバイスを試験する試験装置の動力として回生するエネルギー回生段階と
を備える試験方法。A test method for testing a device under test,
Measuring the energy output from the device under test, and determining the quality of the device under test;
A test method comprising: an energy regeneration stage in which the energy measured in the measurement stage is regenerated as power of a test apparatus that tests the device under test.
JP2011503702A 2009-03-10 2010-03-08 Test apparatus and test method Active JP5411925B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011503702A JP5411925B2 (en) 2009-03-10 2010-03-08 Test apparatus and test method

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009056527 2009-03-10
JP2009056527 2009-03-10
JP2011503702A JP5411925B2 (en) 2009-03-10 2010-03-08 Test apparatus and test method
PCT/JP2010/001612 WO2010103786A1 (en) 2009-03-10 2010-03-08 Testing apparatus and testing method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2010103786A1 JPWO2010103786A1 (en) 2012-09-13
JP5411925B2 true JP5411925B2 (en) 2014-02-12

Family

ID=42728082

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011503702A Active JP5411925B2 (en) 2009-03-10 2010-03-08 Test apparatus and test method

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP5411925B2 (en)
WO (1) WO2010103786A1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108123680A (en) * 2018-02-01 2018-06-05 安徽东旭康图太阳能科技有限公司 The attenuation test system of photovoltaic module
JP2023032175A (en) * 2021-08-26 2023-03-09 菊水電子工業株式会社 Load test system and load test method

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003167015A (en) * 2001-12-04 2003-06-13 Nf Corp Electronic load device and electric power regenerating method using it
JP2004511918A (en) * 2000-10-17 2004-04-15 エーシーアール　オートメーション　イン　クリーンルーム　ゲセルシャフト　ミット　ベシュレンクテル　ハフツング Equipment for testing solar cells
JP2007048997A (en) * 2005-08-11 2007-02-22 Seiko Epson Corp Semiconductor testing device

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004511918A (en) * 2000-10-17 2004-04-15 エーシーアール　オートメーション　イン　クリーンルーム　ゲセルシャフト　ミット　ベシュレンクテル　ハフツング Equipment for testing solar cells
JP2003167015A (en) * 2001-12-04 2003-06-13 Nf Corp Electronic load device and electric power regenerating method using it
JP2007048997A (en) * 2005-08-11 2007-02-22 Seiko Epson Corp Semiconductor testing device

Also Published As

Publication number Publication date
JPWO2010103786A1 (en) 2012-09-13
WO2010103786A1 (en) 2010-09-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20140159506A1 (en) Power conversion apparatus including multiple dc-dc converters and method of controlling multiple dc-dc converters
US10056847B2 (en) Hybrid power conversion system and method of determining efficiency using the same
US10505437B2 (en) Power converting device and ground impedance value detecting method
EP2980980B1 (en) Inverter device
JP6658582B2 (en) Arc detector
US9231408B2 (en) Matrix connection device for photovoltaic panels and/or wind turbines
RU2012137298A (en) ELECTRIC POWER CONTROL DEVICE, METHOD FOR ELECTRIC POWER CONTROL AND ELECTRIC POWER SUPPLY SYSTEM
JP2012210013A (en) Power supply device
JP2016508709A (en) DC-AC conversion method
CN101958659A (en) Be used for direct current power is converted to system, the method and apparatus of alternating electromotive force
CN109831107B (en) Power conversion device and method for controlling output impedance of power conversion device
JP2012161215A (en) Converter control device and system interconnection inverter system using the same
JP5411925B2 (en) Test apparatus and test method
JP2012147641A (en) Power supply device
KR20110074370A (en) Method for controlling a power according to generatied value and power conversion apparatus thereof
KR101196435B1 (en) Switching Power Supply apparatus for Voltage Compensation of Solar Power Generator
Shen et al. A modified-forward multi-input power converter for solar energy and wind power generation
US20150171770A1 (en) Differential gate resistor design for switching modules in power converter
JP2014192038A (en) Secondary battery charge/discharge inspection device
US9621049B2 (en) Feedback device for a power supply
TWI637584B (en) Voltage regulator and control method
KR102004226B1 (en) Low voltage high current bus-bar test apparatus using low capacity dc power supply
CN203941245U (en) The proving installation of power unit with feedback function
CN210111850U (en) Voltage reduction circuit for industrial communication server
US11843349B2 (en) In-situ I-V measurement of a module in a PV array

Legal Events

Date Code Title Description
TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20131029

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20131108

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5411925

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250