JP5396429B2 - Gas concentration detection sensor - Google Patents

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Description

本発明は、ガス濃度検出センサーに関する。   The present invention relates to a gas concentration detection sensor.

従来、自動車の排気ガスなどの被測定ガスにおけるNOxや酸素などの所定のガス濃度を検出するガス濃度検出センサーが知られている。このガス濃度検出センサーでは、例えばエンジンの始動時に発生する水がセンサー素子に付着することにより、センサー素子の温度が低下してクラックが発生する場合がある。そのため、センサー素子を覆う保護カバーを取り付けてこれを防止することが提案されている。例えば、特許文献1には、2重構造の保護カバーをセンサー素子の先端部外周に設けたガスセンサーが記載されている。   2. Description of the Related Art Conventionally, a gas concentration detection sensor that detects a predetermined gas concentration such as NOx or oxygen in a measurement gas such as an automobile exhaust gas is known. In this gas concentration detection sensor, for example, water generated at the start of the engine may adhere to the sensor element, whereby the temperature of the sensor element may decrease and cracks may occur. Therefore, it has been proposed to prevent this by attaching a protective cover that covers the sensor element. For example, Patent Document 1 describes a gas sensor in which a protective cover having a double structure is provided on the outer periphery of the tip of a sensor element.

特開2000−304719号公報(図11)Japanese Unexamined Patent Publication No. 2000-304719 (FIG. 11)

しかし、保護カバーには被測定ガスをセンサー素子に導入するための孔が開けられており、この孔から水が入ってセンサー素子に付着する場合がある。また、水の付着をより抑制するために、保護カバーを2重3重に増やすことや保護カバー内部の被測定ガスの流路を複雑にすることも考えられるが、その場合は被測定ガスがセンサー素子に到達するまでの時間が増大し、ガス濃度検出の応答性が低下してしまう。そのため、センサー素子への水の付着抑制とガス濃度検出の応答性との両方を向上させることのできる保護カバーが望まれている。   However, the protective cover has a hole for introducing the gas to be measured into the sensor element, and water may enter through the hole and adhere to the sensor element. In addition, in order to further suppress the adhesion of water, it is conceivable to increase the protective cover double or triple, and to complicate the flow path of the gas to be measured inside the protective cover. The time until the sensor element is reached increases, and the gas concentration detection responsiveness decreases. Therefore, a protective cover that can improve both the suppression of water adhesion to the sensor element and the response of gas concentration detection is desired.

本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、センサー素子への水の付着を抑制しつつガス濃度検出の応答性を向上させるガス濃度検出センサーを提供することを主目的とする。   The present invention has been made to solve such problems, and has as its main object to provide a gas concentration detection sensor that improves the response of gas concentration detection while suppressing the adhesion of water to the sensor element. To do.

本発明のガス濃度検出センサーは、上述の主目的を達成するために以下の手段を採った。   The gas concentration detection sensor of the present invention employs the following means in order to achieve the main object described above.

本発明のガス濃度検出センサーは、
被測定ガスの所定のガス濃度を検出可能なセンサー素子と、
前記センサー素子の先端を覆う有底筒状の内側保護カバーと、
前記内側保護カバーよりも径が大きく、側面と底面とを有する外側保護カバーと、
前記外側保護カバーの側面と底面との境界部分に開けられた複数の外側ガス孔と、
前記内側保護カバーの内外の前記被測定ガスの流れを許容し、前記外側ガス孔よりも前記センサー素子の後端側に位置する内側ガス孔と、
を備え、
前記外側ガス孔の外部開口面と前記外側保護カバーの底面とのなす角が10°〜80°であるものである。
The gas concentration detection sensor of the present invention is
A sensor element capable of detecting a predetermined gas concentration of the gas to be measured;
A bottomed cylindrical inner protective cover covering the tip of the sensor element;
An outer protective cover having a larger diameter than the inner protective cover and having a side surface and a bottom surface;
A plurality of outer gas holes opened in a boundary portion between a side surface and a bottom surface of the outer protective cover;
An inner gas hole that allows the flow of the gas to be measured inside and outside the inner protective cover, and is located on the rear end side of the sensor element with respect to the outer gas hole;
With
The angle formed by the external opening surface of the outer gas hole and the bottom surface of the outer protective cover is 10 ° to 80 °.

このガス濃度検出センサーでは、外側ガス孔は外側保護カバーの側面と底面との境界部分に開けられている。そして、外側ガス孔の外部開口面と外側保護カバーの底面とのなす角が10°〜80°である。そのため、孔が側面に位置する場合や外側ガス孔の外部開口面と外側保護カバーの底面とのなす角が10〜80°以外の場合と比べて、外側保護カバー内に入った水が外側ガス孔から外部に逃げやすい。これにより、水が内側保護カバー内に入ってセンサー素子に付着するのを抑制できる。また、外側ガス孔から外側保護カバー内に入る被測定ガスは、外側ガス孔によってセンサー素子の後端方向を向く流れになる。そのため、外側ガス孔が外側保護カバーの側面に開けられている場合や外側ガス孔の外部開口面と外側保護カバーの底面とのなす角が10〜80°以外の場合と比べて、外側ガス孔から入った被測定ガスが内側ガス孔に到達しやすい。これにより、保護カバー内のガスが被測定ガスによって置換される時間が短縮されて、ガス濃度検出センサーの応答性が向上する。以上により、センサー素子への水の付着を抑制しつつガス濃度検出の応答性を向上させることができる。なお、外側ガス孔の総面積は6〜13mm2であるものとしても
よい。
In this gas concentration detection sensor, the outer gas hole is opened at the boundary between the side surface and the bottom surface of the outer protective cover. The angle formed between the external opening surface of the outer gas hole and the bottom surface of the outer protective cover is 10 ° to 80 °. Therefore, compared to the case where the hole is located on the side surface or the angle between the external opening surface of the outer gas hole and the bottom surface of the outer protective cover is other than 10 to 80 °, the water that has entered the outer protective cover Easily escape from the hole to the outside. Thereby, it can suppress that water enters the inside protective cover and adheres to the sensor element. Further, the gas to be measured that enters the outer protective cover from the outer gas hole flows in the direction toward the rear end of the sensor element through the outer gas hole. Therefore, compared with the case where the outer gas hole is opened on the side surface of the outer protective cover or the angle formed by the external opening surface of the outer gas hole and the bottom surface of the outer protective cover is other than 10 to 80 °, the outer gas hole The gas to be measured easily enters the inner gas hole. As a result, the time during which the gas in the protective cover is replaced by the gas to be measured is shortened, and the responsiveness of the gas concentration detection sensor is improved. As described above, it is possible to improve the gas concentration detection responsiveness while suppressing the adhesion of water to the sensor element. The total area of the outer gas holes may be 6 to 13 mm 2 .

本発明のガス濃度検出センサーにおいて、前記外側保護カバーは、円筒状の胴部と、該胴部よりも径の小さい有底筒状の先端部と、該胴部と該先端部とを接続する段差部と、を有しており、前記外側ガス孔は、前記外側保護カバーの胴部の側面と前記外側保護カバーの段差部の底面との境界部分である第1角部に開けられた複数の第1外側ガス孔と、前記外側保護カバーの先端部の側面と底面との境界部分である第2角部に開けられた複数の第2外側ガス孔と、からなり、前記内側ガス孔は、前記第1外側ガス孔よりも前記センサー素子の後端側に位置しており、前記外側保護カバーの胴部及び段差部と前記内側保護カバーとで囲まれ、前記内側ガス孔により前記内側保護カバーの内部と連通する第1ガス室と、前記外側保護カバーの先端部と前記内側保護カバーとで囲まれ、前記第1ガス室と直接には連通していない第2ガス室と、前記第2ガス室内と前記内側保護カバーの内側との間の前記被測定ガスの流れを許容するガス通過孔と、を備えたものとしてもよい。この場合も、外側保護カバー内に入った水が第1外側ガス孔及び第2外側ガス孔から外部に逃げやすいため、水が内側保護カバー内に入ってセンサー素子に付着するのを抑制できる。また、第1外側ガス孔から第1ガス室内に入る被測定ガスは、第1外側ガス孔によってセンサー素子の後端方向を向く流れになる。そして、内側ガス孔は第1外側ガス孔よりもセンサー素子の後端側に位置している。これにより、保護カバー内のガスが被測定ガスによって置換される時間が短縮され、ガス濃度検出センサーの応答性が向上する。   In the gas concentration detection sensor of the present invention, the outer protective cover connects the cylindrical barrel, the bottomed cylindrical tip having a smaller diameter than the barrel, and the barrel and the tip. And a plurality of the outer gas holes opened at a first corner that is a boundary portion between a side surface of the body portion of the outer protective cover and a bottom surface of the step portion of the outer protective cover. And a plurality of second outer gas holes opened at a second corner that is a boundary portion between the side surface and the bottom surface of the front end portion of the outer protective cover. The sensor element is located on the rear end side of the sensor element with respect to the first outer gas hole, and is surrounded by the body part and the step part of the outer protective cover and the inner protective cover, and is protected by the inner gas hole. A first gas chamber communicating with the inside of the cover; and a tip portion of the outer protective cover The flow of the gas to be measured between the second gas chamber surrounded by the inner protective cover and not directly communicating with the first gas chamber, and between the second gas chamber and the inner protective cover It is good also as what was provided with the gas passage hole which accept | permits. Also in this case, since water that has entered the outer protective cover easily escapes from the first outer gas hole and the second outer gas hole, it is possible to suppress water from entering the inner protective cover and adhering to the sensor element. Further, the gas to be measured that enters the first gas chamber from the first outer gas hole flows in the direction toward the rear end of the sensor element through the first outer gas hole. The inner gas hole is located closer to the rear end side of the sensor element than the first outer gas hole. As a result, the time during which the gas in the protective cover is replaced with the gas to be measured is shortened, and the responsiveness of the gas concentration detection sensor is improved.

上述した第1外側ガス孔と第2外側ガス孔とを備えるガス濃度検出センサーにおいて、前記複数の第2外側ガス孔は、開口部の総面積が前記第1外側ガス孔の開口部の総面積より大きいものとしてもよい。第2外側ガス孔の総面積が第1外側ガス孔の総面積よりも大きいと、被測定ガスの流量が急激に増大したときなどの過渡状態において、第1外側ガス孔よりも第2外側ガス孔から入る被測定ガスが多くなる。これにより過渡状態では第2ガス室から内側保護カバー内へ、内側保護カバー内から第1ガス室内へと向かう圧力が発生する。この圧力により第1ガス室内の水が第1外側ガス孔から外部に押し出される。これにより、センサー素子への水の付着をより抑制できる。   In the gas concentration detection sensor including the first outer gas hole and the second outer gas hole described above, the plurality of second outer gas holes have a total area of the opening part of the first outer gas hole. It may be larger. When the total area of the second outer gas holes is larger than the total area of the first outer gas holes, the second outer gas is more than the first outer gas holes in a transient state such as when the flow rate of the gas to be measured increases rapidly. More gas to be measured enters from the hole. As a result, in a transient state, pressure is generated from the second gas chamber into the inner protective cover and from the inner protective cover into the first gas chamber. By this pressure, the water in the first gas chamber is pushed out from the first outer gas hole. Thereby, adhesion of water to the sensor element can be further suppressed.

また、過渡状態以外の状態では、外側保護カバーの先端部が有底筒状をしているため、先端部の底面に沿った被測定ガスの流れにより第2ガス室内の被測定ガスが第2外側ガス孔から吸い出されて抜けていく。そして、第2外側ガス孔の総面積が第1外側ガス孔の総面積よりも大きいことにより、この被測定ガスを吸い出す力は大きくなる。これにより、第1外側ガス孔から第1ガス室に入った被測定ガスが内側保護カバー内及び第2ガス室を通って外部に抜けるのが早くなり、ガス濃度検出センサーの応答性が向上する。   Further, in a state other than the transient state, the tip portion of the outer protective cover has a bottomed cylindrical shape, so that the gas to be measured in the second gas chamber is second due to the flow of the gas to be measured along the bottom surface of the tip portion. It is sucked out from the outer gas hole. And since the total area of a 2nd outer side gas hole is larger than the total area of a 1st outer side gas hole, the force which sucks out this to-be-measured gas becomes large. As a result, the gas to be measured that has entered the first gas chamber from the first outer gas hole quickly escapes to the outside through the inner protective cover and the second gas chamber, and the responsiveness of the gas concentration detection sensor is improved. .

この場合において、前記ガス通過孔は、前記第2外側ガス孔の延長上の領域以外の位置に開けられているものとしてもよい。これにより、過渡状態において第2外側ガス孔から水が入ったとしても、その水は内側保護カバー内には到達しにくい。これにより、センサー素子への水の付着をより抑制できる。なお、第2外側ガス孔の延長上の領域とは、第2外側ガス孔の中心軸に沿った方向から仮想的に指向性をもつ光を照射したときに、内側保護カバーにその光が当たる領域のことをいう。   In this case, the gas passage hole may be opened at a position other than the region on the extension of the second outer gas hole. Thereby, even if water enters from the second outer gas hole in the transient state, the water hardly reaches the inner protective cover. Thereby, adhesion of water to the sensor element can be further suppressed. Note that the region on the extension of the second outer gas hole refers to the light hitting the inner protective cover when light having virtually directivity is irradiated from the direction along the central axis of the second outer gas hole. Refers to an area.

上述した第2外側ガス孔の開口部の総面積が第1外側ガス孔の開口部の総面積より大きいガス濃度検出センサーにおいて、前記複数の第1外側ガス孔は、いずれも開口部の面積が同じであり、前記複数の第2外側ガス孔は、いずれも開口部の面積が同じとし、前記複数の第2外側ガス孔は、1つあたりの開口部の面積が前記第1外側ガス孔の1つあたりの開口部の面積以上としてもよい。   In the gas concentration detection sensor in which the total area of the openings of the second outer gas holes is larger than the total area of the openings of the first outer gas holes, the plurality of first outer gas holes all have an area of the opening. The plurality of second outer gas holes have the same opening area, and the plurality of second outer gas holes have an opening area per one of the first outer gas holes. It is good also as more than the area of the opening part per one.

上述した第1外側ガス孔と第2外側ガス孔とを備えるガス濃度検出センサーにおいて、前記複数の第1外側ガス孔は、互いに等間隔に位置する3つ以上の孔とし、前記複数の第2外側ガス孔は、互いに等間隔に位置する3つ以上の孔としてもよい。こうすれば、外側保護カバーの外周面のいずれの方向から被測定ガスが流れてきても、必ず被測定ガスの上流に面する第1外側ガス孔及び第2外側ガス孔が存在し、必ず被測定ガスの下流に面する第1外側ガス孔及び第2外側ガス孔が存在することになる。そのため、ガス濃度検出センサーを設置する向きに関わらず、確実に被測定ガスを外側保護カバー及び内側保護カバー内に取り込んでセンサー素子によるガス濃度の検出を行うことができる。   In the gas concentration detection sensor including the first outer gas hole and the second outer gas hole described above, the plurality of first outer gas holes may be three or more holes positioned at equal intervals, and the plurality of second gas holes. The outer gas holes may be three or more holes located at equal intervals. In this way, the first outer gas hole and the second outer gas hole facing the upstream side of the gas to be measured always exist regardless of the direction of the gas to be measured flowing from any direction on the outer peripheral surface of the outer protective cover. There will be a first outer gas hole and a second outer gas hole facing downstream of the measurement gas. Therefore, regardless of the direction in which the gas concentration detection sensor is installed, the gas to be measured can be reliably taken into the outer protective cover and the inner protective cover, and the gas concentration can be detected by the sensor element.

上述した第1外側ガス孔と第2外側ガス孔とを備えるガス濃度検出センサーにおいて、前記ガス通過孔は、前記内側保護カバーの側面と底面との境界部分に開けられ、前記ガス通過孔の外部開口面と前記内側保護カバーの底面とのなす角が10°〜80°としてもよい。これにより、内側保護カバーの内側から第2ガス室内に入る被測定ガスは、ガス通過孔によって第2外側ガス孔の方を向く流れになる。そのため、ガス通過孔が内側保護カバーの側面又は底面に開けられている場合やガス通過孔の外部開口面と内側保護カバーの底面とのなす角が10°〜80°以外の場合と比べて、内側保護カバーの内側から第2ガス室内に入る被測定ガスが第2外側ガス孔に到達しやすい。これにより、被測定ガスが第2ガス室を通って外部に到達するまでの時間が短縮されて、ガス濃度検出センサーの応答性が向上する。   In the gas concentration detection sensor including the first outer gas hole and the second outer gas hole described above, the gas passage hole is opened at a boundary portion between the side surface and the bottom surface of the inner protective cover, and the outside of the gas passage hole. An angle formed by the opening surface and the bottom surface of the inner protective cover may be 10 ° to 80 °. Accordingly, the gas to be measured that enters the second gas chamber from the inside of the inner protective cover flows toward the second outer gas hole by the gas passage hole. Therefore, when the gas passage hole is opened on the side surface or the bottom surface of the inner protective cover or when the angle formed by the external opening surface of the gas passage hole and the bottom surface of the inner protective cover is other than 10 ° to 80 °, The measurement gas that enters the second gas chamber from the inside of the inner protective cover easily reaches the second outer gas hole. Thereby, the time until the gas to be measured reaches the outside through the second gas chamber is shortened, and the responsiveness of the gas concentration detection sensor is improved.

配管200へのガス濃度検出センサー100の取り付け状態の概略説明図である。4 is a schematic explanatory diagram of a state in which a gas concentration detection sensor 100 is attached to a pipe 200. FIG. ガス濃度検出センサー100の構成を表す縦断面図である。2 is a longitudinal sectional view illustrating a configuration of a gas concentration detection sensor 100. FIG. 図2のA−A断面図である。It is AA sectional drawing of FIG. 第1外側ガス孔144a周辺を拡大した部分断面図Partial sectional view in which the periphery of the first outer gas hole 144a is enlarged 第2外側ガス孔146a及びガス通過孔138a周辺を拡大した部分断面図である。It is the fragmentary sectional view which expanded the 2nd outer side gas hole 146a and gas passage hole 138a periphery. なす角を変えた第1外側ガス孔144a周辺を拡大した部分断面図である。It is the fragmentary sectional view which expanded the 1st outside gas hole 144a circumference which changed the angle made. 他のガス濃度検出センサー300の構成を表す縦断面図である。FIG. 6 is a longitudinal sectional view illustrating the configuration of another gas concentration detection sensor 300. 他のガス濃度検出センサー400の構成を表す縦断面図である。FIG. 6 is a longitudinal sectional view illustrating the configuration of another gas concentration detection sensor 400. 他のガス濃度検出センサー500の構成を表す縦断面図である。FIG. 6 is a longitudinal sectional view illustrating a configuration of another gas concentration detection sensor 500. 他のガス濃度検出センサー600の構成を表す縦断面図である。FIG. 6 is a longitudinal sectional view showing the configuration of another gas concentration detection sensor 600. 変形例のガス通過孔238aの周辺を拡大した部分断面図である。It is the fragmentary sectional view which expanded the circumference of gas passage hole 238a of a modification. 変形例のガス通過孔239aの周辺を拡大した部分断面図である。It is the fragmentary sectional view which expanded the circumference of gas passage hole 239a of a modification. 変形例のガス通過孔240aの周辺を拡大した部分断面図である。It is the fragmentary sectional view which expanded the circumference of gas passage hole 240a of a modification. 変形例のガス通過孔241aの位置を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the position of the gas passage hole 241a of a modification. なす角θと長さL,長さL2との関係の説明図である。It is explanatory drawing of the relationship between angle | corner (theta), length L, and length L2. 実施例6及び比較例1のなす角θと長さL,長さL2の説明図である。It is explanatory drawing of angle (theta), length L, and length L2 which Example 6 and Comparative Example 1 make. 実施例7及び比較例2のなす角θと長さL,長さL2の説明図である。It is explanatory drawing of angle (theta), length L, and length L2 which Example 7 and Comparative Example 2 make. 比較例3〜5のガス濃度検出センサー700の構成を表す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view showing the structure of the gas concentration detection sensor 700 of Comparative Examples 3-5. 比較例6のガス濃度検出センサー800の構成を表す縦断面図である。10 is a longitudinal sectional view illustrating a configuration of a gas concentration detection sensor 800 of Comparative Example 6. FIG. 中間保護カバー840の平面図(上面図)である。It is a top view (top view) of the intermediate protective cover 840. 比較例7のガス濃度検出センサー900の構成を表す縦断面図である。10 is a longitudinal sectional view illustrating a configuration of a gas concentration detection sensor 900 of Comparative Example 7. FIG. 壊れだし水量測定装置950の説明図である。It is explanatory drawing of the broken water amount measuring apparatus 950. FIG. 実施例1〜8及び比較例1〜7の濃度検出センサーの応答時間と被水性とをプロットしたグラフである。It is the graph which plotted the response time of the density | concentration detection sensor of Examples 1-8 and Comparative Examples 1-7, and moisture. 振動試験の様子を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the mode of a vibration test. 実施例2,比較例4,7の振動試験の結果を示すグラフである。It is a graph which shows the result of the vibration test of Example 2, Comparative Examples 4 and 7. FIG. 実施例8,比較例4,7の水抜き試験の結果を示すグラフである。It is a graph which shows the result of the drain test of Example 8, and Comparative Examples 4 and 7. 実施例8のガス濃度検出センサーを45°傾けた状態の説明図である。It is explanatory drawing of the state which inclined the gas concentration detection sensor of Example 8 45 degrees.

次に、本発明を実施するための形態を図面を用いて説明する。図1は配管200へのガス濃度検出センサー100の取り付け状態の概略説明図、図2はガス濃度検出センサー100の構成を表す縦断面図、図3は図2のA−A断面図である。   Next, modes for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic explanatory view of a state in which the gas concentration detection sensor 100 is attached to the pipe 200, FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing the configuration of the gas concentration detection sensor 100, and FIG.

図1に示すように、ガス濃度検出センサー100は車両のエンジンからの排気経路である配管200内に取り付けられており、エンジンから排出された被測定ガスとしての排気ガスに含まれるNOxやO等のガス成分のうち少なくともいずれか1つの濃度を検出するようになっている。 As shown in FIG. 1, the gas concentration detection sensor 100 is attached in a pipe 200 that is an exhaust path from the vehicle engine, and NOx and O 2 contained in the exhaust gas as the measurement gas discharged from the engine. The concentration of at least one of the gas components such as is detected.

ガス濃度検出センサー100は、図2に示すように、被測定ガス中のガス成分の濃度を検出する機能を有するセンサー素子110と、このセンサー素子110を保護する保護カバー120とを備えている。   As shown in FIG. 2, the gas concentration detection sensor 100 includes a sensor element 110 having a function of detecting the concentration of a gas component in the gas to be measured, and a protective cover 120 that protects the sensor element 110.

センサー素子110は、細長な長尺の板状体形状の素子であり、ジルコニア(ZrO)等の酸素イオン伝導性固体電解質層からなる。センサー素子110は、センサー素子110を加熱して保温する温度調整の役割を担うヒーターを内部に備えている。このようなセンサー素子110の構造やガス成分の濃度を検出する原理は公知であり、例えば特開2008−164411号公報に記載されている。 The sensor element 110 is an elongated plate-like element, and includes an oxygen ion conductive solid electrolyte layer such as zirconia (ZrO 2 ). The sensor element 110 includes therein a heater that plays a role of temperature adjustment that heats and keeps the sensor element 110 warm. The principle of detecting the structure of the sensor element 110 and the concentration of the gas component is known, and is described in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2008-164411.

保護カバー120は、センサー素子110の周囲を取り囲むように配置されている。この保護カバー120は、センサー素子110の先端を覆う内側保護カバー130と、内側保護カバー130を覆う外側保護カバー140とを有している。また、内側保護カバー130と外側保護カバー140とに囲まれた空間として第1ガス室122,第2ガス室126が形成され、内側保護カバー130に囲まれた空間としてセンサー素子室124が形成されている。   The protective cover 120 is disposed so as to surround the sensor element 110. The protective cover 120 includes an inner protective cover 130 that covers the tip of the sensor element 110 and an outer protective cover 140 that covers the inner protective cover 130. A first gas chamber 122 and a second gas chamber 126 are formed as a space surrounded by the inner protective cover 130 and the outer protective cover 140, and a sensor element chamber 124 is formed as a space surrounded by the inner protective cover 130. ing.

内側保護カバー130は、金属(例えばステンレス鋼)製の部材であり、円筒状の大径部132と、円筒状で大径部132よりも径の小さい第1胴部134と、円筒状で第1胴部134よりも径の小さい第2胴部136と、有底筒状で第2胴部136よりも径の小さい先端部138とを有している。また、内側保護カバー130は、大径部132と第1胴部134とを接続する段差部133と、第1胴部134と第2胴部136とを接続する段差部135と、第2胴部136と先端部138とを接続する段差部137とを有している。なお、大径部132,第1胴部134,第2胴部136,先端部138は中心軸が同一である。大径部132は、金属製の主体金具102に内周面が当接しており、これにより内側保護カバー130が主体金具102に固定されている。第1胴部134,第2胴部136は、センサー素子110の側面を覆うように位置している。第1胴部134には、第1ガス室122とセンサー素子室124とに通じる内側ガス孔134aと、内側ガス孔134aを経てセンサー素子室124に流入する被測定ガスの流れを規制する板状のガイド部134bとがそれぞれ等間隔に6箇所形成されている(図3参照)。この内側ガス孔134aとガイド部134bとは1対1に対応しており、ガイド部134bは対応する内側ガス孔134aとセンサー素子110との間に位置するように形成されている。また、複数のガイド部134bは、回転対称(6回対称)となるように形成されている。先端部138の側面には、センサー素子室124と第2ガス室126とに通じるガス通過孔138aが等間隔に6箇所形成されている。ガス通過孔138aは、ガス通過孔138aの中心軸に垂直な断面が真円となるように形成されている。   The inner protective cover 130 is a member made of metal (for example, stainless steel), a cylindrical large-diameter portion 132, a cylindrical first body portion 134 having a diameter smaller than the large-diameter portion 132, and a cylindrical first member. A second body 136 having a diameter smaller than that of the first body 134 and a tip 138 having a bottomed cylindrical shape and a diameter smaller than that of the second body 136 are provided. The inner protective cover 130 includes a stepped portion 133 that connects the large-diameter portion 132 and the first body portion 134, a stepped portion 135 that connects the first body portion 134 and the second body portion 136, and a second body portion. A step portion 137 connecting the portion 136 and the tip portion 138 is provided. The large-diameter portion 132, the first body portion 134, the second body portion 136, and the tip portion 138 have the same central axis. The inner diameter surface of the large-diameter portion 132 is in contact with the metallic metal shell 102, so that the inner protective cover 130 is fixed to the metal shell 102. The first body portion 134 and the second body portion 136 are located so as to cover the side surface of the sensor element 110. The first body portion 134 has an inner gas hole 134a communicating with the first gas chamber 122 and the sensor element chamber 124, and a plate shape that regulates the flow of the gas to be measured flowing into the sensor element chamber 124 through the inner gas hole 134a. 6 guide portions 134b are formed at equal intervals, respectively (see FIG. 3). The inner gas holes 134a and the guide portions 134b are in one-to-one correspondence, and the guide portions 134b are formed so as to be positioned between the corresponding inner gas holes 134a and the sensor element 110. The plurality of guide portions 134b are formed to be rotationally symmetric (six-fold symmetric). Six gas passage holes 138 a communicating with the sensor element chamber 124 and the second gas chamber 126 are formed on the side surface of the distal end portion 138 at equal intervals. The gas passage hole 138a is formed such that a cross section perpendicular to the central axis of the gas passage hole 138a is a perfect circle.

外側保護カバー140は、金属(例えばステンレス鋼)製の部材であり、円筒状の大径部142と、大径部142に接続しており大径部142よりも径の小さい円筒状の胴部144と、有底筒状で胴部144よりも径の小さい先端部146とを有している。また、外側保護カバー140は、胴部144と先端部146とを接続する段差部145を有している。なお、大径部142,胴部144,先端部146の中心軸はいずれも内側保護カバー130の中心軸と同一である。大径部142は、主体金具102及び大径部132に内周面が当接しており、これにより外側保護カバー140が主体金具102に固定されている。胴部144は、第1胴部134,第2胴部136の外周面を覆うように位置しており、外側保護カバー140の外側と第1ガス室122とに通じる第1外側ガス孔144aが等間隔に6箇所形成されている。この第1外側ガス孔144aは、円形に開けられた孔であり、胴部144の側面と段差部145の底面との境界部分である第1角部144bに位置している。また、第1外側ガス孔144aは、第1外側ガス孔144aの外部開口面と段差部145の底面とのなす角が45°となり、且つ、第1外側ガス孔144aの内周面と外部開口面とのなす角が90°となるように形成されている。なお、ここでは内周面と外部開口面とのなす角が90°となるように形成しているが、実施形態は特にこれに限定されるものではなく、例えばなす角が90°以外の場合でも本発明の効果を奏する。図2の第1外側ガス孔144a周辺を拡大した部分断面図を図4に示す。図4に示すように、第1外側ガス孔144aの外部開口面(破線a)と段差部145の底面(破線b)とのなす角が45°となっている。また、第1外側ガス孔144aの内周面144cと第1外側ガス孔144aの外部開口面(破線a)とのなす角が90°となっている。先端部146は、先端部138を覆うように位置していると共に、内周面が第2胴部136の外周面と当接している。また、先端部146の側面と底面との境界部分である第2角部146bには、外側保護カバー140の外側と第2ガス室126とに通じる第2外側ガス孔146aが等間隔に6箇所形成されている。この第2外側ガス孔146aは、円形に開けられた孔であり、第1外側ガス孔144aと同様に、第2外側ガス孔146aの外部開口面と先端部146の底面とのなす角が45°となり、且つ、第2外側ガス孔146aの内周面と外部開口面とのなす角が90°となるように形成されている。また、第2外側ガス孔146aの延長上の領域以外の位置にガス通過孔138aが位置するように、第2外側ガス孔146aとガス通過孔138aとの位置関係が定められている。図2の第2外側ガス孔146a及びガス通過孔138a周辺を拡大した部分断面図を図5に示す。図5に示すように、第2外側ガス孔146aの中心軸に沿った方向(外側保護カバー140の中心軸方向とのなす角が45°の方向)から仮想的に指向性をもつ光を照射すると、内側保護カバー130の先端部138の底面にその光が当たる領域146cが現れるが、この領域146cを第2外側ガス孔146aの延長上の領域という。ガス通過孔138aはこの領域146c以外に位置している。なお、6箇所の第1外側ガス孔144aの開口部の面積はいずれも同じであり、6箇所の第2外側ガス孔146aの開口部の面積はいずれも同じである。また、第2外側ガス孔146aの1つあたりの開口部の面積は、第1外側ガス孔の1つあたりの開口部の面積よりも大きい。したがって、第1外側ガス孔144a及び第2外側ガス孔146aはいずれも同じ個数(6箇所)であるため、第2外側ガス孔146aの総面積(1つの孔の面積×孔の個数)が第1外側ガス孔144aの総面積より大きい。なお、第1外側ガス孔144aおよび第2外側ガス孔146aは、自身の中心軸に垂直な断面が真円となるように形成されている。また、特に限定するものではないが、本実施形態では、第1外側ガス孔144aの直径は例えば0.8〜1.2mmの範囲の値であり、第2外側ガス孔146aの直径は例えば0.8〜1.2mmの範囲の値である。   The outer protective cover 140 is a member made of metal (for example, stainless steel), and has a cylindrical large-diameter portion 142 and a cylindrical trunk portion that is connected to the large-diameter portion 142 and has a smaller diameter than the large-diameter portion 142. 144 and a tip portion 146 having a bottomed cylindrical shape and a diameter smaller than that of the body portion 144. Further, the outer protective cover 140 has a stepped portion 145 that connects the body portion 144 and the distal end portion 146. The central axes of the large diameter portion 142, the body portion 144, and the tip portion 146 are all the same as the central axis of the inner protective cover 130. The large-diameter portion 142 is in contact with the metal shell 102 and the large-diameter portion 132 on the inner peripheral surface, whereby the outer protective cover 140 is fixed to the metal shell 102. The body portion 144 is positioned so as to cover the outer peripheral surfaces of the first body portion 134 and the second body portion 136, and a first outer gas hole 144 a communicating with the outside of the outer protective cover 140 and the first gas chamber 122 is formed. Six places are formed at equal intervals. The first outer gas hole 144 a is a hole that is formed in a circular shape, and is located at a first corner portion 144 b that is a boundary portion between the side surface of the body portion 144 and the bottom surface of the stepped portion 145. Further, the first outer gas hole 144a has an angle of 45 ° between the outer opening surface of the first outer gas hole 144a and the bottom surface of the stepped portion 145, and the inner peripheral surface and the outer opening of the first outer gas hole 144a. The angle formed with the surface is 90 °. Here, the angle formed between the inner peripheral surface and the outer opening surface is 90 °, but the embodiment is not particularly limited to this. For example, the angle formed is other than 90 °. However, the effect of the present invention is achieved. FIG. 4 shows an enlarged partial cross-sectional view around the first outer gas hole 144a of FIG. As shown in FIG. 4, the angle formed by the external opening surface (dashed line a) of the first outer gas hole 144a and the bottom surface (dashed line b) of the stepped portion 145 is 45 °. Further, the angle formed by the inner peripheral surface 144c of the first outer gas hole 144a and the outer opening surface (dashed line a) of the first outer gas hole 144a is 90 °. The distal end portion 146 is positioned so as to cover the distal end portion 138, and the inner peripheral surface is in contact with the outer peripheral surface of the second body portion 136. Further, six second outer gas holes 146a communicating with the outer side of the outer protective cover 140 and the second gas chamber 126 are formed at equal intervals in the second corner portion 146b which is a boundary portion between the side surface and the bottom surface of the tip portion 146. Is formed. The second outer gas hole 146a is a hole formed in a circular shape, and, like the first outer gas hole 144a, the angle formed by the external opening surface of the second outer gas hole 146a and the bottom surface of the tip portion 146 is 45. And the angle formed by the inner peripheral surface of the second outer gas hole 146a and the outer opening surface is 90 °. The positional relationship between the second outer gas hole 146a and the gas passage hole 138a is determined so that the gas passage hole 138a is located at a position other than the region on the extension of the second outer gas hole 146a. FIG. 5 shows an enlarged partial cross-sectional view of the periphery of the second outer gas hole 146a and the gas passage hole 138a in FIG. As shown in FIG. 5, light having virtually directivity is irradiated from a direction along the central axis of the second outer gas hole 146a (an angle formed by the central axis direction of the outer protective cover 140 is 45 °). Then, a region 146c where the light strikes appears on the bottom surface of the front end portion 138 of the inner protective cover 130. This region 146c is referred to as a region on the extension of the second outer gas hole 146a. The gas passage hole 138a is located outside this region 146c. Note that the areas of the openings of the six first outer gas holes 144a are the same, and the areas of the openings of the six second outer gas holes 146a are the same. Moreover, the area of the opening part per 2nd outer gas hole 146a is larger than the area of the opening part per 1st outer gas hole. Therefore, since the first outer gas holes 144a and the second outer gas holes 146a are the same number (six locations), the total area of the second outer gas holes 146a (the area of one hole × the number of holes) is the first. It is larger than the total area of one outer gas hole 144a. The first outer gas hole 144a and the second outer gas hole 146a are formed so that a cross section perpendicular to the central axis thereof is a perfect circle. Although not particularly limited, in the present embodiment, the diameter of the first outer gas hole 144a is a value in the range of, for example, 0.8 to 1.2 mm, and the diameter of the second outer gas hole 146a is, for example, 0. A value in the range of .8 to 1.2 mm.

第1ガス室122は、段差部133,135,第1胴部134,第2胴部136,大径部142,胴部144、段差部145により囲まれた空間である。センサー素子室124は、内側保護カバー130に囲まれた空間である。第2ガス室126は、段差部137,先端部138,146に囲まれた空間である。なお、先端部146の内周面が第2胴部136の外周面と当接しているため、第1ガス室122と第2ガス室126とは直接には連通していない。   The first gas chamber 122 is a space surrounded by the step portions 133 and 135, the first body portion 134, the second body portion 136, the large diameter portion 142, the body portion 144, and the step portion 145. The sensor element chamber 124 is a space surrounded by the inner protective cover 130. The second gas chamber 126 is a space surrounded by the step portion 137 and the tip portions 138 and 146. Note that the first gas chamber 122 and the second gas chamber 126 are not in direct communication with each other because the inner peripheral surface of the distal end portion 146 is in contact with the outer peripheral surface of the second body portion 136.

次に、こうして構成されたガス濃度検出センサー100が、ガス成分の濃度を検出する際の被測定ガスの流れについて説明する。まず、配管200内を流れる被測定ガスの流量が急激に増大したときなどの過渡状態における被測定ガスの流れについて説明する。この場合、配管200内を流れる被測定ガスは、第1外側ガス孔144a及び第2外側ガス孔146aから外側保護カバー140内に入ろうとする。このとき、第2外側ガス孔146aの開口部の総面積が第1外側ガス孔144aの開口部の総面積よりも大きいため、第1外側ガス孔144aよりも第2外側ガス孔146aから入る被測定ガスが多くなる。これにより過渡状態では、第2ガス室126からガス通過孔138aを通ってセンサー素子室124内へ、センサー素子室124内から内側ガス孔134aを通って第1ガス室122へと向かう圧力が発生する。この圧力により第1ガス室122内の水は第1外側ガス孔144aから外側保護カバー140の外部に押し出されるため、第1ガス室122からセンサー素子室124へ水が到達しにくい。また、ガス通過孔138aは第2外側ガス孔146aの延長上以外の位置に開けられているため、過渡状態において第2外側ガス孔146aから水が入ったとしても、その水はセンサー素子室124内には到達しにくい。これらにより、センサー素子110への水の付着がより抑制される。   Next, the flow of the gas to be measured when the gas concentration detection sensor 100 thus configured detects the concentration of the gas component will be described. First, the flow of the gas to be measured in a transient state such as when the flow rate of the gas to be measured flowing in the pipe 200 increases rapidly will be described. In this case, the gas to be measured flowing in the pipe 200 tends to enter the outer protective cover 140 from the first outer gas hole 144a and the second outer gas hole 146a. At this time, since the total area of the opening of the second outer gas hole 146a is larger than the total area of the opening of the first outer gas hole 144a, the object entering from the second outer gas hole 146a rather than the first outer gas hole 144a. The measurement gas increases. Thus, in a transient state, pressure is generated from the second gas chamber 126 through the gas passage hole 138a into the sensor element chamber 124 and from the sensor element chamber 124 through the inner gas hole 134a toward the first gas chamber 122. To do. Due to this pressure, the water in the first gas chamber 122 is pushed out of the outer protective cover 140 from the first outer gas hole 144a, so that it is difficult for the water to reach the sensor element chamber 124 from the first gas chamber 122. Further, since the gas passage hole 138a is opened at a position other than on the extension of the second outer gas hole 146a, even if water enters from the second outer gas hole 146a in the transient state, the water remains in the sensor element chamber 124. It is hard to reach inside. As a result, the adhesion of water to the sensor element 110 is further suppressed.

次に、過渡状態以外の状態における被測定ガスの流れについて説明する。この場合、外側保護カバー140の先端部146が有底筒状をしているため、先端部146の底面に沿った被測定ガスの流れにより第2ガス室126内の被測定ガスが第2外側ガス孔146aから吸い出されて抜けていく。これにより過渡状態以外の状態では、被測定ガスは第1外側ガス孔144aから第1ガス室122内に入り、第1ガス室122からセンサー素子室124、第2ガス室126を経由して第2外側ガス孔146aから外部に流出する。このとき、第2外側ガス孔146aの総面積が第1外側ガス孔144aの総面積よりも大きいため、第2外側ガス孔146aから被測定ガスを吸い出す力が大きくなる。また、第1外側ガス孔144aが第1角部144bに開けられており、第1外側ガス孔144aの外部開口面と段差部145の底面とのなす角が45°となっている。これにより、第1外側ガス孔144aから第1ガス室122内に入る被測定ガスは、第1外側ガス孔144aによってセンサー素子110の後端方向(図2における上方向)を向く流れになる。これらにより、第1外側ガス孔144aが外側保護カバー140の側面に開けられている場合と比較して、保護カバー120内のガスが被測定ガスによって置換される時間が短縮される。すなわち、ガス濃度検出センサー100の応答性が向上する。   Next, the flow of the gas to be measured in a state other than the transient state will be described. In this case, since the tip portion 146 of the outer protective cover 140 has a bottomed cylindrical shape, the gas to be measured in the second gas chamber 126 is caused to flow from the second outer side by the flow of the gas to be measured along the bottom surface of the tip portion 146. It is sucked out from the gas hole 146a and escapes. As a result, in a state other than the transient state, the gas to be measured enters the first gas chamber 122 through the first outer gas hole 144 a and passes through the sensor element chamber 124 and the second gas chamber 126 from the first gas chamber 122. 2 Outflow from the outer gas hole 146a. At this time, since the total area of the second outer gas hole 146a is larger than the total area of the first outer gas hole 144a, the force to suck out the measurement gas from the second outer gas hole 146a is increased. Further, the first outer gas hole 144a is formed in the first corner 144b, and the angle formed by the external opening surface of the first outer gas hole 144a and the bottom surface of the stepped portion 145 is 45 °. Thereby, the gas to be measured that enters the first gas chamber 122 from the first outer gas hole 144a flows in the rear end direction (upward direction in FIG. 2) of the sensor element 110 through the first outer gas hole 144a. As a result, as compared with the case where the first outer gas hole 144a is opened in the side surface of the outer protective cover 140, the time during which the gas in the protective cover 120 is replaced by the measured gas is shortened. That is, the responsiveness of the gas concentration detection sensor 100 is improved.

また、第1外側ガス孔144aは第1角部144bに開けられており、第1外側ガス孔144aの外部開口面と段差部145の底面とのなす角が45°となっている。また、第2外側ガス孔146aは第2角部146bに開けられており、第2外側ガス孔146aの外部開口面と先端部146の底面とのなす角が45°且つ第2外側ガス孔146aの内周面と外部開口面とのなす角が90°となっている。そのため、第1外側ガス孔144aや第2外側ガス孔146aが外側保護カバー140の側面に位置する場合と比べて、外側保護カバー140内に入った水が第1外側ガス孔144aや第2外側ガス孔146aから外部に逃げやすい。このことによっても、水がセンサー素子室124内に入ってセンサー素子110に付着するのを抑制できる。   The first outer gas hole 144a is formed in the first corner portion 144b, and the angle formed by the external opening surface of the first outer gas hole 144a and the bottom surface of the step portion 145 is 45 °. The second outer gas hole 146a is formed in the second corner portion 146b. The angle formed by the external opening surface of the second outer gas hole 146a and the bottom surface of the tip portion 146 is 45 ° and the second outer gas hole 146a. The angle formed by the inner peripheral surface and the outer opening surface is 90 °. Therefore, compared with the case where the first outer gas hole 144a and the second outer gas hole 146a are located on the side surface of the outer protective cover 140, the water that has entered the outer protective cover 140 is more water. It is easy to escape from the gas hole 146a to the outside. This also can prevent water from entering the sensor element chamber 124 and adhering to the sensor element 110.

さらに、第1外側ガス孔144a及び第2外側ガス孔146aは、等間隔に位置する6つの孔であるため、外側保護カバー140の外周面のいずれの方向から被測定ガスが流れてきても、必ず被測定ガスの上流に面する第1外側ガス孔144a及び第2外側ガス孔146aが存在し、必ず被測定ガスの下流に面する第1外側ガス孔144a及び第2外側ガス孔146aが存在することになる。そのため、配管200内にガス濃度検出センサー100を設置する向きに関わらず、確実に被測定ガスを外側保護カバー140及び内側保護カバー130内に取り込んでセンサー素子110によるガス成分の濃度の検出を行うことができる。   Furthermore, since the first outer gas hole 144a and the second outer gas hole 146a are six holes positioned at equal intervals, the gas to be measured flows from any direction on the outer peripheral surface of the outer protective cover 140. The first outer gas hole 144a and the second outer gas hole 146a that always face the upstream side of the gas to be measured always exist, and the first outer gas hole 144a and the second outer gas hole 146a that always face the downstream side of the gas to be measured always exist. Will do. Therefore, regardless of the direction in which the gas concentration detection sensor 100 is installed in the pipe 200, the gas to be measured is reliably taken into the outer protective cover 140 and the inner protective cover 130, and the concentration of the gas component is detected by the sensor element 110. be able to.

以上詳述した本実施形態によれば、第1外側ガス孔144a及び第2外側ガス孔146aが上述した位置及び角度に開けられていることにより、センサー素子110への水の付着を抑制できる。また、第1外側ガス孔144aが上述した位置及び角度に開けられているため、ガス濃度検出センサー100の応答性が向上する。さらに、第2外側ガス孔146aの開口部の総面積が第1外側ガス孔144aの開口部の総面積よりも大きいため、センサー素子110への水の付着がより抑制でき、ガス濃度検出センサー100の応答性がより向上する。さらにまた、第1外側ガス孔144a及び第2外側ガス孔146aは等間隔に位置する6つの孔であるため、確実に被測定ガスを外側保護カバー140及び内側保護カバー130内に取り込んでセンサー素子110によるガス成分の濃度の検出を行うことができる。   According to the present embodiment described in detail above, the first outer gas hole 144a and the second outer gas hole 146a are opened at the positions and angles described above, whereby water adhesion to the sensor element 110 can be suppressed. Further, since the first outer gas hole 144a is opened at the position and angle described above, the responsiveness of the gas concentration detection sensor 100 is improved. Furthermore, since the total area of the openings of the second outer gas holes 146a is larger than the total area of the openings of the first outer gas holes 144a, water adhesion to the sensor element 110 can be further suppressed, and the gas concentration detection sensor 100 can be suppressed. Responsiveness is improved. Furthermore, since the first outer gas hole 144a and the second outer gas hole 146a are six holes positioned at equal intervals, the gas to be measured is surely taken into the outer protective cover 140 and the inner protective cover 130, and the sensor element. 110 can detect the concentration of the gas component.

なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実現し得ることはいうまでもない。   Note that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be realized in various forms as long as they belong to the technical scope of the present invention.

例えば、上述した実施形態では、第1外側ガス孔144a及び第2外側ガス孔146aはいずれも6つの孔であるものとしたが、これに限られない。例えば、第1外側ガス孔144aが互いに等間隔に位置する3つ以上の孔であり、第2外側ガス孔146aが互いに等間隔に位置する3つ以上の孔であるものとしてもよい。こうすれば、上述した実施形態と同様に、必ず被測定ガスの上流に面する第1外側ガス孔144a及び第2外側ガス孔146aが存在し、必ず被測定ガスの下流に面する第1外側ガス孔144a及び第2外側ガス孔146aが存在することになるため、確実に被測定ガスを外側保護カバー140及び内側保護カバー130内に取り込むことができる。また、第1外側ガス孔144a及び第2外側ガス孔146aがいずれも2つの孔であってもよい。この場合、被測定ガスの上流に面する第1外側ガス孔144a及び第2外側ガス孔146aが存在し、且つ被測定ガスの下流に面する第1外側ガス孔144a及び第2外側ガス孔146aが存在するように、配管200内にガス濃度検出センサー100を配置するものとすれば、確実に被測定ガスを外側保護カバー140及び内側保護カバー130内に取り込む効果が得られる。なお、第1外側ガス孔144a及び第2外側ガス孔146aは、等間隔に位置しないものとしてもよい。   For example, in the above-described embodiment, the first outer gas hole 144a and the second outer gas hole 146a are both six holes, but the present invention is not limited to this. For example, the first outer gas holes 144a may be three or more holes positioned at equal intervals, and the second outer gas holes 146a may be three or more holes positioned at equal intervals. In this way, as in the above-described embodiment, the first outer gas hole 144a and the second outer gas hole 146a always face the upstream side of the gas to be measured, and the first outer side always faces the downstream side of the gas to be measured. Since the gas hole 144a and the second outer gas hole 146a exist, the gas to be measured can be reliably taken into the outer protective cover 140 and the inner protective cover 130. Further, the first outer gas hole 144a and the second outer gas hole 146a may both be two holes. In this case, the first outer gas hole 144a and the second outer gas hole 146a facing the upstream of the gas to be measured exist, and the first outer gas hole 144a and the second outer gas hole 146a facing the downstream of the gas to be measured. If the gas concentration detection sensor 100 is arranged in the pipe 200 so that there is, the effect of reliably taking the gas under measurement into the outer protective cover 140 and the inner protective cover 130 can be obtained. The first outer gas hole 144a and the second outer gas hole 146a may not be located at equal intervals.

上述した実施形態では、6箇所の第1外側ガス孔144aの開口部の面積はいずれも同じであり、6箇所の第2外側ガス孔146aの開口部の面積はいずれも同じであるものとしたが、これに限られず、開口部の面積が異なる孔があるものとしてもよい。この場合でも、第2外側ガス孔146aの開口部の総面積が第1外側ガス孔144aの開口部の総面積よりも大きくなるようにすれば、過渡状態における第1ガス室122内の水を第1外側ガス孔144aから外側保護カバー140の外部に押し出す圧力や、過渡状態以外の状態における第2外側ガス孔146aから被測定ガスを吸い出す力が十分得られる。なお、第2外側ガス孔146aの開口部の総面積が第1外側ガス孔144aの開口部の総面積以下であったとしても、第1外側ガス孔144aが第1角部144bに開けられており、第2外側ガス孔が第2角部146bに開けられていることによる、センサー素子110への水の付着を抑制する効果やガス濃度検出センサー100の応答性を向上する効果は得られる。   In the embodiment described above, the areas of the openings of the six first outer gas holes 144a are all the same, and the areas of the openings of the six second outer gas holes 146a are the same. However, the present invention is not limited to this, and a hole having a different area of the opening may be provided. Even in this case, if the total area of the opening of the second outer gas hole 146a is larger than the total area of the opening of the first outer gas hole 144a, the water in the first gas chamber 122 in the transient state is discharged. Sufficient pressure is obtained to push out the first outer gas hole 144a to the outside of the outer protective cover 140 and to suck out the measurement gas from the second outer gas hole 146a in a state other than the transient state. Even if the total area of the openings of the second outer gas holes 146a is equal to or less than the total area of the openings of the first outer gas holes 144a, the first outer gas holes 144a are opened in the first corners 144b. Thus, the effect of suppressing the adhesion of water to the sensor element 110 and the response of the gas concentration detection sensor 100 due to the second outer gas hole being formed in the second corner 146b can be obtained.

上述した実施形態では、第1外側ガス孔144aの外部開口面と段差部145の底面とのなす角が45°であるものとしたが、これに限られない。例えば、なす角は10°〜80°の範囲の値としてもよい。この場合でも、第1外側ガス孔144aが第1角部144bに位置していれば、水が第1外側ガス孔144aから外部に逃げやすくなり、センサー素子110への水の付着を抑制する効果が得られる。なお、「第1ガス孔144aが第1角部144bに位置している」とは、第1角部144b(換言すると、胴部144の側面と段差部145の底面との間の立ち上がり部分)の少なくとも一部の領域を第1ガス孔144aが含んでいる(重複している)ことを意味する。なす角を45°以外の値とする場合、例えば図6(a)に示すように、第1外側ガス孔144aの中心軸の角度(第1外側ガス孔144aを開ける角度)を図2の第1外側ガス孔144aと同じ45°とし、孔を開ける位置をずらすようにして、第1外側ガス孔144aを形成してもよい。また、例えば図6(b)に示すように、第1外側ガス孔144aの中心軸の角度を図2とは異なる角度として、第1外側ガス孔144aを形成してもよい。図6(a),(b)において、破線で囲まれた部分が第1角部144bであり、一点鎖線が第1外側ガス孔144aの中心軸である。また、図6(a),(b)では、第1外側ガス孔144aの外部開口面と段差部145の底面とのなす角はそれぞれ80°,50°である。図6(a),(b)のいずれの第1外側ガス孔144aも、第1角部144bの少なくとも一部の領域を第1ガス孔144aが含んでおり、且つ、第1外側ガス孔144aの外部開口面と段差部145の底面とのなす角が10°〜80°の範囲内であるため、センサー素子110への水の付着を抑制する効果が得られる。また、第1外側ガス孔144aと同様に、第2外側ガス孔146aの外部開口面と先端部146の底面とのなす角が本実施形態では45°であるものとしたが、10°〜80°の範囲の値としてもよい。この場合でも、第2外側ガス孔146aが第2角部146bに位置していれば、水が第2外側ガス孔146aから外部に逃げやすくなり、センサー素子110への水の付着を抑制する効果が得られる。なお、「第2ガス孔146aが第2角部146bに位置している」とは、第2角部146b(換言すると、先端部146の側面と底面との間の立ち上がり部分)の少なくとも一部の領域を第2ガス孔146aが含んでいる(重複している)ことを意味する。   In the embodiment described above, the angle formed by the external opening surface of the first outer gas hole 144a and the bottom surface of the stepped portion 145 is 45 °, but is not limited thereto. For example, the angle formed may be a value in the range of 10 ° to 80 °. Even in this case, if the first outer gas hole 144a is positioned at the first corner 144b, the water easily escapes from the first outer gas hole 144a to the outside, and the effect of suppressing the adhesion of water to the sensor element 110 is suppressed. Is obtained. “The first gas hole 144a is located at the first corner 144b” means the first corner 144b (in other words, the rising portion between the side surface of the body portion 144 and the bottom surface of the step portion 145). This means that the first gas hole 144a includes (overlaps) at least a part of the region. When the angle formed is a value other than 45 °, for example, as shown in FIG. 6A, the angle of the central axis of the first outer gas hole 144a (the angle at which the first outer gas hole 144a is opened) is set as shown in FIG. The first outer gas hole 144a may be formed by setting the same 45 ° as that of the first outer gas hole 144a and shifting the position of opening the hole. For example, as shown in FIG. 6B, the first outer gas hole 144a may be formed by setting the angle of the central axis of the first outer gas hole 144a to an angle different from that in FIG. In FIGS. 6A and 6B, the portion surrounded by the broken line is the first corner 144b, and the alternate long and short dash line is the central axis of the first outer gas hole 144a. In FIGS. 6A and 6B, the angles formed by the external opening surface of the first outer gas hole 144a and the bottom surface of the stepped portion 145 are 80 ° and 50 °, respectively. 6A and 6B, the first outer gas hole 144a includes at least a part of the first corner 144b, and the first outer gas hole 144a includes the first gas hole 144a. Since the angle formed by the external opening surface of the step and the bottom surface of the stepped portion 145 is in the range of 10 ° to 80 °, the effect of suppressing the adhesion of water to the sensor element 110 is obtained. Further, similarly to the first outer gas hole 144a, the angle formed by the external opening surface of the second outer gas hole 146a and the bottom surface of the distal end portion 146 is 45 ° in the present embodiment. A value in the range of ° may be used. Even in this case, if the second outer gas hole 146a is located at the second corner portion 146b, water can easily escape from the second outer gas hole 146a to the outside, and the effect of suppressing the adhesion of water to the sensor element 110 is suppressed. Is obtained. “The second gas hole 146a is located at the second corner 146b” means at least a part of the second corner 146b (in other words, the rising portion between the side surface and the bottom surface of the tip 146). This means that the second gas hole 146a includes (overlaps) this area.

上述した実施形態のガス濃度検出センサー100の代わりに、図7に示すガス濃度検出センサー300を採用してもよい。ガス濃度検出センサー300は、保護カバー320として、内側保護カバー330と外側保護カバー340とを備えている。内側保護カバー330は、先端部338及びガス通過孔338aの形状が先端部138,ガス通過孔138aと異なる点,及び段差部137を備えない点以外は図2の内側保護カバー130と同じ構造であるため、先端部338,ガス通過孔338a以外の構成要素については同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。先端部338は、先端部138と異なり三角錐台を逆さにした形状をしている。また、ガス通過孔338aは、先端部338の底面の中心点に位置する円形の孔である。外側保護カバー340は、図2の外側保護カバー140と同じ構造であるため、構成要素については同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。こうしたガス濃度検出センサー300においても、上述した実施形態と同様の効果が得られる。   Instead of the gas concentration detection sensor 100 of the embodiment described above, a gas concentration detection sensor 300 shown in FIG. 7 may be adopted. The gas concentration detection sensor 300 includes an inner protective cover 330 and an outer protective cover 340 as the protective cover 320. The inner protective cover 330 has the same structure as the inner protective cover 130 of FIG. 2 except that the shapes of the tip end portion 338 and the gas passage hole 338a are different from those of the tip end portion 138 and the gas passage hole 138a and that the step portion 137 is not provided. For this reason, constituent elements other than the tip 338 and the gas passage hole 338a are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted. Unlike the tip end portion 138, the tip end portion 338 has a shape in which a triangular frustum is inverted. Further, the gas passage hole 338 a is a circular hole located at the center point of the bottom surface of the tip end portion 338. Since the outer protective cover 340 has the same structure as that of the outer protective cover 140 in FIG. 2, the same reference numerals are given to the components, and detailed description thereof is omitted. Also in such a gas concentration detection sensor 300, the same effect as the above-described embodiment can be obtained.

上述した実施形態のガス濃度検出センサー100の代わりに、図8に示すガス濃度検出センサー400を採用してもよい。ガス濃度検出センサー400の保護カバー420は、センサー素子110の先端を覆う第1内側保護カバー430と、第1内側保護カバー430を覆う第2内側保護カバー440と、第2内側保護カバー440を覆う外側保護カバー450とを備えた3重構造をしている。第1内側保護カバー430は、金属製の主体金具402に外周面が当接しており円筒状の大径部432と、有底筒状の先端部434とを有している。先端部434の側面には、ガス通過孔434aが12箇所形成されており、先端部434の底面の中心には、ガス通過孔434bが1箇所形成されている。なお、ガス通過孔434aは、ジグザグ状に軸方向(図8の上下方向)に2段にずれた位置で等間隔に形成されている。第2内側保護カバー440は、金属製の主体金具402に内周面が当接しており円筒状の大径部442と、円筒状の胴部444と、有底筒状の先端部446とを有している。大径部442と胴部444とは段差部443を介して接続されており、胴部444と先端部446とも段差を介して接続されている。段差部443には、内側ガス孔443aが等間隔に6箇所形成されている。先端部446の底面の中心には、ガス通過孔446aが1箇所形成されている。外側保護カバー450は、金属製の主体金具402に内周面が当接しており円筒状の大径部452と、有底筒状の先端部454とを有している。先端部454の側面と底面との境界部分には、円形の外側ガス孔454aが6箇所形成されている。この外側ガス孔454aは、外側ガス孔454aの外部開口面と先端部454の底面とのなす角θ1が10°〜80°となるように形成されている。なお、第1内側保護カバー430の先端部434と第2内側保護カバー440の先端部446とは当接しており、その結果、第1内側保護カバー430と第2内側保護カバー440とで囲まれた空間は、上室422と下室424とに分離されている。こうしたガス濃度検出センサー400においても、以下の効果が得られる。すなわち、外側保護カバー450内に入った水が外側ガス孔454aから外部に逃げやすいため、水が第2内側保護カバー440及び第1内側保護カバー430内に入ってセンサー素子110に付着するのを抑制できる。また、外側ガス孔454aから外側保護カバー450内に入る被測定ガスは、外側ガス孔454aによってセンサー素子110の後端方向(図8の上方向)を向く流れになる。そして、内側ガス孔443aは図示するように外側ガス孔454aよりもセンサー素子110の後端方向に位置しているため、外側ガス孔454aから入った被測定ガスが内側ガス孔443aに到達しやすい。これにより、保護カバー420内のガスが被測定ガスによって置換される時間が短縮されて、ガス濃度検出センサーの応答性が向上する。   A gas concentration detection sensor 400 shown in FIG. 8 may be employed instead of the gas concentration detection sensor 100 of the above-described embodiment. The protective cover 420 of the gas concentration detection sensor 400 covers the first inner protective cover 430 that covers the tip of the sensor element 110, the second inner protective cover 440 that covers the first inner protective cover 430, and the second inner protective cover 440. It has a triple structure including an outer protective cover 450. The first inner protective cover 430 has a cylindrical large-diameter portion 432 and a bottomed cylindrical tip portion 434, the outer peripheral surface of which is in contact with the metal metallic shell 402. Twelve gas passage holes 434a are formed in the side surface of the tip portion 434, and one gas passage hole 434b is formed in the center of the bottom surface of the tip portion 434. The gas passage holes 434a are formed at equal intervals at positions shifted in two stages in the axial direction (vertical direction in FIG. 8) in a zigzag manner. The second inner protective cover 440 has an inner peripheral surface in contact with the metallic metal shell 402 and has a cylindrical large-diameter portion 442, a cylindrical trunk portion 444, and a bottomed cylindrical tip portion 446. Have. The large diameter portion 442 and the body portion 444 are connected via a step portion 443, and the body portion 444 and the tip portion 446 are also connected via a step. The stepped portion 443 has six inner gas holes 443a formed at equal intervals. One gas passage hole 446 a is formed at the center of the bottom surface of the distal end portion 446. The outer protective cover 450 has a cylindrical large-diameter portion 452 and a bottomed cylindrical tip portion 454 whose inner peripheral surface is in contact with the metallic metallic shell 402. Six circular outer gas holes 454a are formed at the boundary portion between the side surface and the bottom surface of the tip portion 454. The outer gas hole 454a is formed such that an angle θ1 formed by the outer opening surface of the outer gas hole 454a and the bottom surface of the tip portion 454 is 10 ° to 80 °. The front end 434 of the first inner protective cover 430 and the front end 446 of the second inner protective cover 440 are in contact with each other, and as a result, the first inner protective cover 430 and the second inner protective cover 440 are surrounded. The space is separated into an upper chamber 422 and a lower chamber 424. Also in such a gas concentration detection sensor 400, the following effects can be obtained. That is, since the water that has entered the outer protective cover 450 easily escapes from the outer gas hole 454a to the outside, the water enters the second inner protective cover 440 and the first inner protective cover 430 and adheres to the sensor element 110. Can be suppressed. In addition, the gas to be measured that enters the outer protective cover 450 from the outer gas hole 454a flows in the rear end direction (upward direction in FIG. 8) of the sensor element 110 through the outer gas hole 454a. Since the inner gas hole 443a is positioned closer to the rear end of the sensor element 110 than the outer gas hole 454a as shown in the figure, the gas to be measured that has entered from the outer gas hole 454a easily reaches the inner gas hole 443a. . As a result, the time during which the gas in the protective cover 420 is replaced with the gas to be measured is shortened, and the responsiveness of the gas concentration detection sensor is improved.

上述した実施形態のガス濃度検出センサー100の代わりに、図9に示すガス濃度検出センサー500を採用してもよい。ガス濃度検出センサー500の保護カバー520は、センサー素子110の先端を覆う内側保護カバー530と、内側保護カバー530を覆う外側保護カバー540とを備えた2重構造をしている。内側保護カバー530は、金属製の主体金具502に内周面が当接しており円筒状の大径部532と、有底筒状の先端部534とを有している。大径部532と先端部534とは、段差を介して接続されている。先端部534の側面には、内側ガス孔534aが等間隔に6箇所形成されている。外側保護カバー540は、金属製の主体金具502に内周面が当接しており円筒状の大径部542と、有底筒状の先端部544とを有している。先端部544の側面には、ガス通過孔544aが等間隔に6箇所形成されている。また、先端部544の側面と底面との境界部分には、円形の外側ガス孔544bが6箇所形成されている。この外側ガス孔544bは、外側ガス孔544bの外部開口面と先端部544の底面とのなす角θ2が10°〜80°となり、且つ、外側ガス孔544bの内周面と外部開口面とのなす角が90°となるように形成されている。こうしたガス濃度検出センサー500においても、以下の効果が得られる。すなわち、外側保護カバー540内に入った水が外側ガス孔544bから外部に逃げやすいため、水が内側保護カバー530内に入ってセンサー素子110に付着するのを抑制できる。また、外側ガス孔544bから外側保護カバー540内に入る被測定ガスは、外側ガス孔544bによってセンサー素子110の後端方向(図9の上方向)を向く流れになる。そして、内側ガス孔534aは図示するように外側ガス孔544bよりもセンサー素子110の後端方向に位置しているため、外側ガス孔544bから入った被測定ガスが内側ガス孔534aに到達しやすい。これにより、保護カバー520内のガスが被測定ガスによって置換される時間が短縮されて、ガス濃度検出センサーの応答性が向上する。   Instead of the gas concentration detection sensor 100 of the embodiment described above, a gas concentration detection sensor 500 shown in FIG. 9 may be adopted. The protective cover 520 of the gas concentration detection sensor 500 has a double structure including an inner protective cover 530 that covers the tip of the sensor element 110 and an outer protective cover 540 that covers the inner protective cover 530. The inner protective cover 530 has a cylindrical large-diameter portion 532 and a bottomed cylindrical tip portion 534 having an inner peripheral surface in contact with the metal metal shell 502. The large diameter portion 532 and the tip portion 534 are connected via a step. Six inner gas holes 534a are formed at equal intervals on the side surface of the distal end portion 534. The outer protective cover 540 has a cylindrical large-diameter portion 542 and a bottomed cylindrical tip portion 544 that have an inner peripheral surface in contact with the metallic metal shell 502. Six gas passage holes 544a are formed at equal intervals on the side surface of the distal end portion 544. In addition, six circular outer gas holes 544b are formed at the boundary portion between the side surface and the bottom surface of the tip portion 544. The outer gas hole 544b has an angle θ2 formed between the outer opening surface of the outer gas hole 544b and the bottom surface of the tip portion 544 of 10 ° to 80 °, and the outer gas hole 544b has an inner peripheral surface and an outer opening surface. The formed angle is 90 °. Also in such a gas concentration detection sensor 500, the following effects can be obtained. That is, since water that has entered the outer protective cover 540 easily escapes from the outer gas hole 544b to the outside, it is possible to suppress water from entering the inner protective cover 530 and adhering to the sensor element 110. Further, the gas to be measured that enters the outer protective cover 540 from the outer gas hole 544b flows in the rear end direction (upward direction in FIG. 9) of the sensor element 110 through the outer gas hole 544b. Since the inner gas hole 534a is located closer to the rear end of the sensor element 110 than the outer gas hole 544b as shown in the figure, the gas to be measured that has entered from the outer gas hole 544b easily reaches the inner gas hole 534a. . As a result, the time during which the gas in the protective cover 520 is replaced with the gas to be measured is shortened, and the responsiveness of the gas concentration detection sensor is improved.

上述した実施形態のガス濃度検出センサー100の代わりに、図10に示すガス濃度検出センサー600を採用してもよい。ガス濃度検出センサー600の保護カバー620は、センサー素子110の先端を覆う内側保護カバー630と、外側保護カバー640とを備えた2重構造をしている。内側保護カバー630は、金属製の主体金具602に内周面が当接しており円筒状の大径部632と、有底筒状の先端部634とを有している。大径部632と先端部634とは、段差を介して接続されている。先端部634には、内側保護カバー630の内外の被測定ガスの流れを許容する内側ガス孔(図示せず)と、内側ガス孔を経て内側保護カバー630内に流入する被測定ガスの流れを規制する板状のガイド部634bとがそれぞれ等間隔に6箇所形成されている。なお、内側ガス孔及びガイド部634bは、図2、図3で示した内側ガス孔134a及びガイド部134bと同様である。また、先端部634の側面と底面との境界部分には、円形のガス通過孔634cが6箇所形成されている。このガス通過孔634cは、ガス通過孔634cの外部開口面と先端部634の底面とのなす角θ3が10°〜80°となるように形成されている。外側保護カバー640は、金属製の主体金具602に内周面が当接しており円筒状の大径部642と、側面と底面とを有する先端部644とを有している。先端部644の底面には孔が開いており、この孔を内側保護カバー630の先端部634が貫通している。また、先端部644の底面の孔の内周面644bは、内側保護カバー630の先端部634の側面と溶接されている。また、先端部644の側面と底面との境界部分には、円形の外側ガス孔644aが6箇所形成されている。この外側ガス孔644aは、外側ガス孔644aの外部開口面と先端部644の底面とのなす角θ4が10°〜80°となるように形成されている。こうしたガス濃度検出センサー600においても、以下の効果が得られる。すなわち、外側保護カバー640内に入った水や内側保護カバー630内に入った水が、外側ガス孔644aやガス通過孔634cから外部に逃げやすいため、水が内側保護カバー630内に入ってセンサー素子110に付着するのを抑制できる。また、外側ガス孔644aから外側保護カバー640内に入る被測定ガスは、外側ガス孔644aによってセンサー素子110の後端方向(図10の上方向)を向く流れになる。そして、ガイド部634bと外側ガス孔644aとの位置関係から分かるように、内側ガス孔は外側ガス孔644aよりもセンサー素子110の後端方向に位置している。このため、外側ガス孔644aから入った被測定ガスが内側ガス孔に到達しやすい。これにより、保護カバー620内のガスが被測定ガスによって置換される時間が短縮されて、ガス濃度検出センサーの応答性が向上する。   Instead of the gas concentration detection sensor 100 of the embodiment described above, a gas concentration detection sensor 600 shown in FIG. 10 may be adopted. The protective cover 620 of the gas concentration detection sensor 600 has a double structure including an inner protective cover 630 that covers the tip of the sensor element 110 and an outer protective cover 640. The inner protective cover 630 has a cylindrical large-diameter portion 632 and a bottomed cylindrical tip portion 634, the inner peripheral surface of which is in contact with the metallic metal shell 602. The large diameter portion 632 and the tip portion 634 are connected via a step. The tip portion 634 contains an inner gas hole (not shown) that allows the flow of the gas to be measured inside and outside the inner protective cover 630 and the flow of the gas to be measured that flows into the inner protective cover 630 through the inner gas hole. Six plate-shaped guide portions 634b to be regulated are formed at equal intervals. The inner gas hole and guide part 634b are the same as the inner gas hole 134a and guide part 134b shown in FIGS. Further, six circular gas passage holes 634c are formed at the boundary portion between the side surface and the bottom surface of the tip portion 634. The gas passage hole 634c is formed such that an angle θ3 formed by the external opening surface of the gas passage hole 634c and the bottom surface of the tip portion 634 is 10 ° to 80 °. The outer protective cover 640 has a cylindrical large-diameter portion 642 whose inner peripheral surface is in contact with the metal metal shell 602 and a tip portion 644 having a side surface and a bottom surface. A hole is formed in the bottom surface of the distal end portion 644, and the distal end portion 634 of the inner protective cover 630 passes through the hole. In addition, the inner peripheral surface 644 b of the hole on the bottom surface of the distal end portion 644 is welded to the side surface of the distal end portion 634 of the inner protective cover 630. In addition, six circular outer gas holes 644a are formed at the boundary portion between the side surface and the bottom surface of the tip portion 644. The outer gas hole 644a is formed such that an angle θ4 formed by the outer opening surface of the outer gas hole 644a and the bottom surface of the tip end portion 644 is 10 ° to 80 °. Also in such a gas concentration detection sensor 600, the following effects can be obtained. That is, the water that has entered the outer protective cover 640 and the water that has entered the inner protective cover 630 can easily escape to the outside from the outer gas hole 644a and the gas passage hole 634c. Adhesion to the element 110 can be suppressed. Further, the gas to be measured that enters the outer protective cover 640 from the outer gas hole 644a flows in the rear end direction (upward direction in FIG. 10) of the sensor element 110 through the outer gas hole 644a. As can be seen from the positional relationship between the guide portion 634b and the outer gas hole 644a, the inner gas hole is located closer to the rear end of the sensor element 110 than the outer gas hole 644a. For this reason, the gas to be measured that has entered from the outer gas hole 644a easily reaches the inner gas hole. Thereby, the time during which the gas in the protective cover 620 is replaced with the gas to be measured is shortened, and the responsiveness of the gas concentration detection sensor is improved.

上述した実施形態では、図2,5に示したように、ガス通過孔138aは内側保護カバー130の先端部138の側面に位置しているものとしたが、これに限らず、内側保護カバーの側面と底面との境界部分に位置してもよい。ガス通過孔が内側保護カバーの側面と底面との境界部分に位置する場合のガス通過孔周辺を拡大した部分断面図を図11に示す。なお、図11では、図5と同一の構成要素については同じ符号を付して、詳細な説明を省略する。図示するように、変形例のガス通過孔238aは、図5のガス通過孔138aとは異なり、ガス通過孔238aの外部開口面と内側保護カバー130の先端部138の底面とのなす角が45°となり、且つ、ガス通過孔238aの内周面と外部開口面とのなす角が90°となるように形成されている。なお、ガス通過孔238aの外部開口面と内側保護カバー130の先端部138の底面とのなす角は45°に限らず、10〜80°の範囲の値としてもよい。このようにすることで、センサー素子室124から第2ガス室126内に入る被測定ガスは、ガス通過孔238aによって第2外側ガス孔146aの方を向く流れになる。そのため、ガス通過孔が先端部138の側面又は底面に開けられている場合やガス通過孔の外部開口面と先端部138の底面とのなす角が10°〜80°以外の場合と比べて、センサー素子室124から第2ガス室126内に入る被測定ガスが第2外側ガス孔146aに到達しやすい。これにより、被測定ガスが第2ガス室126を通って外部に到達するまでの時間が短縮されて、ガス濃度検出センサーの応答性が向上する。なお、ガス通過孔238aが領域146cと重なるように位置していても、ガス濃度検出センサーの応答性が向上する効果は得られる。   In the above-described embodiment, as shown in FIGS. 2 and 5, the gas passage hole 138 a is located on the side surface of the front end portion 138 of the inner protective cover 130. You may locate in the boundary part of a side surface and a bottom face. FIG. 11 shows an enlarged partial cross-sectional view of the periphery of the gas passage hole when the gas passage hole is located at the boundary portion between the side surface and the bottom surface of the inner protective cover. In FIG. 11, the same components as those in FIG. 5 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted. As shown in the figure, the gas passage hole 238a of the modified example is different from the gas passage hole 138a of FIG. 5 in that the angle formed by the outer opening surface of the gas passage hole 238a and the bottom surface of the front end portion 138 of the inner protective cover 130 is 45. And the angle formed by the inner peripheral surface of the gas passage hole 238a and the outer opening surface is 90 °. The angle formed between the outer opening surface of the gas passage hole 238a and the bottom surface of the front end portion 138 of the inner protective cover 130 is not limited to 45 °, and may be a value in the range of 10 to 80 °. In this way, the gas to be measured that enters the second gas chamber 126 from the sensor element chamber 124 flows toward the second outer gas hole 146a through the gas passage hole 238a. Therefore, compared to the case where the gas passage hole is opened on the side surface or the bottom surface of the tip portion 138 and the angle between the external opening surface of the gas passage hole and the bottom surface of the tip portion 138 is other than 10 ° to 80 °, The gas to be measured that enters the second gas chamber 126 from the sensor element chamber 124 easily reaches the second outer gas hole 146a. Thereby, the time until the gas to be measured reaches the outside through the second gas chamber 126 is shortened, and the responsiveness of the gas concentration detection sensor is improved. Even if the gas passage hole 238a is positioned so as to overlap the region 146c, the effect of improving the responsiveness of the gas concentration detection sensor can be obtained.

上述した実施形態では、図2,5に示したように、ガス通過孔138aは内側保護カバー130の先端部138の側面の中ほどに位置しているものとしたが、これに限らず、ガス通過孔を先端部138の側面のうち底面に近い位置に設けてもよいし、段差部137に近い位置に設けてもよい。ガス通過孔を先端部138の側面のうち底面に近い位置に設けた場合のガス通過孔周辺を拡大した部分断面図を図12に示す。なお、図12では、図5と同一の構成要素については同じ符号を付して、詳細な説明を省略する。図示するように、変形例のガス通過孔239aは、先端部138の角部138bに極力近い位置に設けられている。また、ガス通過孔239aの最下面239bと先端部138の内側の底面138cとは同一平面上に位置している。   In the above-described embodiment, as shown in FIGS. 2 and 5, the gas passage hole 138 a is located in the middle of the side surface of the front end portion 138 of the inner protective cover 130. The passage hole may be provided at a position near the bottom surface of the side surface of the tip portion 138 or may be provided at a position near the step portion 137. FIG. 12 shows an enlarged partial cross-sectional view of the periphery of the gas passage hole when the gas passage hole is provided at a position near the bottom surface of the side surface of the tip portion 138. In FIG. 12, the same components as those in FIG. 5 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted. As illustrated, the modified gas passage hole 239a is provided at a position as close as possible to the corner 138b of the tip 138. Further, the lowermost surface 239b of the gas passage hole 239a and the bottom surface 138c inside the tip portion 138 are located on the same plane.

上述した実施形態では、図2,5に示したように、ガス通過孔138aは内側保護カバー130の先端部138の側面に位置しているものとしたが、これに限らず、底面に位置していてもよい。ガス通過孔が先端部138の底面に位置する場合のガス通過孔周辺を拡大した部分断面図を図13に示す。なお、図13では、図5と同一の構成要素については同じ符号を付して、詳細な説明を省略する。図示するように、変形例のガス通過孔240aは、先端部138の底面の中心に位置する円形の孔である。なお、ガス通過孔を先端部138の底面の中心以外に設けてもよい。例えば、先端部138の底面のうち、先端部138の角部に極力近い位置にガス通過孔を設けてもよい。この場合、先端部138を中心軸方向(図2の上下方向)から見たときに、先端部138の中心軸を中心点としたガス通過孔の位置と第2外側ガス孔146aの延長上の領域146cの位置との位相がずれるように配置することで、ガス通過孔が領域146c以外に位置するようにしてもよい。この場合のガス通過孔の位置を示す説明図を図14に示す。図14(a)は先端部138周辺の部分断面図であり、図14(b)は、図14(a)のB−B断面図である。なお、図14では、図5と同一の構成要素については同じ符号を付して、詳細な説明を省略する。図14(b)に示すように、変形例のガス通過孔241aは、等間隔に6箇所形成され、先端部138の底面の角部138bに極力近い位置に形成されている。そのため、図14(b)のように中心軸方向から見たときに、ガス通過孔241aが先端部138の側部の内周面と接するように位置している。そして、ガス通過孔241aは、先端部138の中心軸を中心点として見たときにガス通過孔241aの位置と領域146cの位置との位相がずれるように配置されている。これにより、ガス通過孔241aは領域146cと重ならないように位置している。このようにしてガス通過孔241aを形成した場合でも、ガス通過孔241aが領域146c以外の位置に開けられているため、本実施形態と同様に水がセンサー素子室124内に到達しにくくなる効果が得られる。 In the above-described embodiment, as shown in FIGS. 2 and 5, the gas passage hole 138 a is located on the side surface of the front end portion 138 of the inner protective cover 130. It may be. FIG. 13 shows an enlarged partial cross-sectional view of the periphery of the gas passage hole when the gas passage hole is located on the bottom surface of the tip portion 138. In FIG. 13, the same components as those in FIG. 5 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted. As shown in the figure, the modified gas passage hole 240 a is a circular hole located at the center of the bottom surface of the tip 138. Note that the gas passage hole may be provided at a position other than the center of the bottom surface of the tip end portion 138. For example, you may provide a gas passage hole in the bottom face of the front-end | tip part 138 in the position as close as possible to the corner | angular part of the front-end | tip part 138. In this case, when the distal end portion 138 is viewed from the central axis direction (vertical direction in FIG. 2), the position of the gas passage hole centered on the central axis of the distal end portion 138 and the extension of the second outer gas hole 146a. The gas passage hole may be positioned other than the region 146c by disposing the phase so as to be out of phase with the position of the region 146c. An explanatory view showing the position of the gas passage hole in this case is shown in FIG. FIG. 14A is a partial cross-sectional view around the tip 138, and FIG. 14B is a cross-sectional view taken along the line BB in FIG. 14A. In FIG. 14, the same components as those in FIG. 5 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted. As shown in FIG. 14B, the gas passage holes 241a of the modified example are formed at six locations at equal intervals, and are formed at positions as close as possible to the corner portion 138b of the bottom surface of the tip portion 138. Therefore, as shown in FIG. 14B, the gas passage hole 241 a is positioned so as to be in contact with the inner peripheral surface of the side portion of the tip portion 138 when viewed from the central axis direction. The gas passage hole 241a is arranged such that the phase between the position of the gas passage hole 241a and the position of the region 146c is shifted when viewed from the center axis of the tip end portion 138 as the center point. Thereby, the gas passage hole 241a is positioned so as not to overlap the region 146c. Even when the gas passage hole 241a is formed in this way, the gas passage hole 241a is opened at a position other than the region 146c, so that it is difficult for water to reach the sensor element chamber 124 as in the present embodiment. Is obtained.

上述した実施形態では、ガス通過孔138a,第1外側ガス孔144aおよび第2外側ガス孔146aは、自身の中心軸に垂直な断面が真円となるように形成されているものとしたが、これに限られない。例えば、中心軸に垂直な断面が楕円であったり多角形(例えば長方形)であったりしてもよい。   In the embodiment described above, the gas passage hole 138a, the first outer gas hole 144a, and the second outer gas hole 146a are formed so that the cross section perpendicular to the central axis thereof is a perfect circle. It is not limited to this. For example, the cross section perpendicular to the central axis may be an ellipse or a polygon (for example, a rectangle).

[実施例1〜2]
図2に示すガス濃度検出センサー100を複数作製した。具体的には、内側保護カバー130として、板厚が0.3mm、大径部132の軸方向長さ1.9mm、第1胴部134の軸方向長さが5.2mm、第2胴部136の軸方向長さが5.2mm、先端部138の軸方向長さが4.9mm、大径部132の内径が13.54mm、第1胴部134の内径が11.2mm、第2胴部136の内径が7.6mm、先端部138の内径が5.3mm、内側ガス孔の開口部の大きさが縦1.5mm,横0.3mmのものを用いた。更に、外側保護カバー140として、板厚が0.4mm、大径部142の軸方向長さが5.6mm、胴部144の軸方向長さが9.2mm、先端部146の軸方向長さが9.6mm、大径部142の内径が14.4mm、胴部144の内径が13.8mm、先端部146の内径が7.9mm、第1角部144b,第2角部146bの曲げ半径Rが1.0mmのものを用いた。そして、外側保護カバー140の第1外側ガス孔144aの内径φ1と、第2外側ガス孔146aの内径φ2とを表1の実施例1〜2に示すように種々変更したものを作製した。なお、表1における「ガス通過孔の角度」とは、内側保護カバーのガス通過孔の外部開口面と内側保護カバーの先端部の底面とのなす角を意味する。図2から分かるように実施例1,2ではガス通過孔の角度は90°である。また、ここで作製したガス濃度検出センサー100のセンサー素子110は、酸素濃度を検出するものとした。
[Examples 1-2]
A plurality of gas concentration detection sensors 100 shown in FIG. 2 were produced. Specifically, as the inner protective cover 130, the plate thickness is 0.3 mm, the axial length of the large-diameter portion 132 is 1.9 mm, the axial length of the first barrel portion 134 is 5.2 mm, and the second barrel portion. The axial length of 136 is 5.2 mm, the axial length of the tip portion 138 is 4.9 mm, the inner diameter of the large diameter portion 132 is 13.54 mm, the inner diameter of the first body portion 134 is 11.2 mm, and the second body A portion 136 having an inner diameter of 7.6 mm, a tip portion 138 having an inner diameter of 5.3 mm, and the size of the opening of the inner gas hole being 1.5 mm in length and 0.3 mm in width was used. Further, as the outer protective cover 140, the plate thickness is 0.4 mm, the axial length of the large diameter portion 142 is 5.6 mm, the axial length of the body portion 144 is 9.2 mm, and the axial length of the distal end portion 146 is. Is 9.6 mm, the inner diameter of the large-diameter portion 142 is 14.4 mm, the inner diameter of the body portion 144 is 13.8 mm, the inner diameter of the tip portion 146 is 7.9 mm, and the bending radii of the first corner portion 144b and the second corner portion 146b A material having an R of 1.0 mm was used. And what changed variously the internal diameter (phi) 1 of the 1st outer side gas hole 144a of the outer side protective cover 140 and the internal diameter (phi) 2 of the 2nd outer side gas hole 146a as shown in Examples 1-2 of Table 1 was produced. The “angle of the gas passage hole” in Table 1 means an angle formed by the external opening surface of the gas passage hole of the inner protective cover and the bottom surface of the front end portion of the inner protective cover. As can be seen from FIG. 2, in Examples 1 and 2, the angle of the gas passage hole is 90 °. In addition, the sensor element 110 of the gas concentration detection sensor 100 produced here detects the oxygen concentration.

[実施例3〜5]
第1外側ガス孔144a及び第2外側ガス孔146aの孔数及び内径φ1,φ2を表1の実施例3〜5に示す値とした点以外は、実施例1〜2と同様のものを作製した。
[Examples 3 to 5]
Except that the number of holes and the inner diameters φ1 and φ2 of the first outer gas hole 144a and the second outer gas hole 146a are the values shown in Examples 3 to 5 in Table 1, the same ones as in Examples 1 and 2 are manufactured. did.

[実施例6〜7,比較例1〜2]
第1外側ガス孔144aの外部開口面と段差部145の底面とのなす角及び第2外側ガス孔146aの外部開口面と先端部146の底面とのなす角をいずれも同じ値θとし、この値θを表1のように変更した点以外は実施例1と同様のものを作成して、実施例6〜7,比較例1〜2とした。なお、図6(a)で示したように、第1外側ガス孔144aの中心軸の角度を図2の第1外側ガス孔144aと同じ45°として、孔を開ける位置をずらすことでなす角θの変更を行った。このようにしてなす角θを変更すると、第1外側ガス孔144aの外部開口面の外側保護カバー140の中心軸方向長さL及び胴部144の外周面から第1外側ガス孔144aの外部開口面のうち外側保護カバー140の中心軸に最も近い部分までの長さL2(図15参照)が変化する。実施例1(なす角θ=45°)のときの長さLは値0.71mmであった。実施例6及び比較例1のようになす角θの値を10°,5°と小さくすると、長さLは0.21mm、0.11mmと小さくなり、長さL2は1.20mm、1.30mmと大きくなった(図15(a),(b))。実施例7及び比較例2のようになす角θの値を80°、85°と大きくすると、長さLは1.20mm、1.30mmのように大きくなり、長さL2は0.22mm、0.13mmと小さくなった(図17(a),(b))。このなす角θと長さL,L2との関係は、第2外側ガス孔146aでも同じである。なお、図16,17からもわかるように、実施例6〜7,比較例1〜2では、第1外側ガス孔144aの内周面と外部開口面とのなす角は図4とは異なり90°以外の値となっている。これは第2外側ガス孔146aも同じである。
[Examples 6-7, Comparative Examples 1-2]
The angle formed between the outer opening surface of the first outer gas hole 144a and the bottom surface of the stepped portion 145 and the angle formed between the outer opening surface of the second outer gas hole 146a and the bottom surface of the tip end portion 146 are set to the same value θ. Except for the point that the value θ was changed as shown in Table 1, the same ones as in Example 1 were created and used as Examples 6-7 and Comparative Examples 1-2. As shown in FIG. 6 (a), the angle formed by shifting the position of opening the hole with the central axis angle of the first outer gas hole 144a set to 45 ° same as the first outer gas hole 144a of FIG. θ was changed. When the angle θ formed in this way is changed, the external opening of the first outer gas hole 144a extends from the central axis direction length L of the outer protective cover 140 of the outer opening surface of the first outer gas hole 144a and the outer peripheral surface of the trunk portion 144. The length L2 (see FIG. 15) to the portion of the surface closest to the central axis of the outer protective cover 140 changes. The length L in Example 1 (the angle θ = 45 °) was 0.71 mm. When the angle θ formed as in Example 6 and Comparative Example 1 is reduced to 10 ° and 5 °, the length L is reduced to 0.21 mm and 0.11 mm, and the length L2 is 1.20 mm. It became as large as 30 mm (FIGS. 15A and 15B). When the value of the angle θ formed as in Example 7 and Comparative Example 2 is increased to 80 ° and 85 °, the length L is increased to 1.20 mm and 1.30 mm, the length L2 is 0.22 mm, It was as small as 0.13 mm (FIGS. 17A and 17B). The relationship between the angle θ and the lengths L and L2 is the same in the second outer gas hole 146a. 16 and 17, in Examples 6 to 7 and Comparative Examples 1 and 2, the angle formed by the inner peripheral surface of the first outer gas hole 144a and the outer opening surface is different from that in FIG. It is a value other than °. The same applies to the second outer gas hole 146a.

[実施例8]
内側保護カバー130の先端部138がガス通過孔138aの代わりに図11に示したガス通過孔238aを備える(具体的には、ガス通過孔238aが先端部138の側面と底面との境界部分に位置し、ガス通過孔238aの外部開口面と先端部138の底面とのなす角は45°となっている)点以外は、実施例2と同様のものを作製して、実施例8とした。なお、ガス通過孔238aは、内径が1.0mmであり、等間隔に6箇所形成した。
[Example 8]
The front end portion 138 of the inner protective cover 130 includes the gas passage hole 238a shown in FIG. 11 instead of the gas passage hole 138a (specifically, the gas passage hole 238a is provided at the boundary between the side surface and the bottom surface of the front end portion 138). Except that the angle formed by the external opening surface of the gas passage hole 238a and the bottom surface of the tip portion 138 is 45 °), a device similar to that of the second embodiment is manufactured to be the eighth embodiment. . The gas passage holes 238a have an inner diameter of 1.0 mm and are formed at six equal intervals.

[比較例3〜5]
図18に示すガス濃度検出センサー700を複数作製した。ガス濃度検出センサー700は、保護カバー720として、内側保護カバー730と外側保護カバー740とを備えている。内側保護カバー730は、先端部738及びガス通過孔738aの形状が先端部138,ガス通過孔138aと異なる点,及び段差部137を備えない点以外は図2の内側保護カバー130と同じ構造であるため、先端部738,ガス通過孔738a以外の構成要素については同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。先端部738は、先端部138と異なり三角錐台を逆さにした形状をしており、胴部136と接続する部分の内径が7.4mm、底面の直径が2.4mmである。また、ガス通過孔738aは、先端部738の底面の中心点に位置する円形の孔であり、内径は1mmである。ガス通過孔738aの外部開口面と先端部738の底面とのなす角は0°である。外側保護カバー740は、第1外側ガス孔744a及び第2外側ガス孔746a以外は図2の外側保護カバー140と同じ構造であるため、第1外側ガス孔744a及び第2外側ガス孔746a以外の構成要素については同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。第1外側ガス孔744aは、胴部144の側面に位置し、第2外側ガス孔746aは、先端部146の側面に位置している。そして、外側保護カバー740の第1外側ガス孔744aの内径φ1と、第2外側ガス孔746aの内径φ2とを表1の比較例1〜3に示すように種々変更したものを作製した。なお、第1外側ガス孔744a及び第2外側ガス孔746aは、実施例1〜2と同様に等間隔に6箇所開けた。
[Comparative Examples 3 to 5]
A plurality of gas concentration detection sensors 700 shown in FIG. 18 were produced. The gas concentration detection sensor 700 includes an inner protective cover 730 and an outer protective cover 740 as the protective cover 720. The inner protective cover 730 has the same structure as the inner protective cover 130 in FIG. 2 except that the shapes of the tip end portion 738 and the gas passage hole 738a are different from those of the tip end portion 138 and the gas passage hole 138a and that the step portion 137 is not provided. For this reason, constituent elements other than the distal end portion 738 and the gas passage hole 738a are denoted by the same reference numerals and detailed description thereof is omitted. Unlike the tip end portion 138, the tip end portion 738 has a shape in which the triangular frustum is inverted. The inner diameter of the portion connected to the body portion 136 is 7.4 mm, and the diameter of the bottom surface is 2.4 mm. The gas passage hole 738a is a circular hole located at the center point of the bottom surface of the tip end portion 738, and has an inner diameter of 1 mm. The angle formed between the external opening surface of the gas passage hole 738a and the bottom surface of the tip portion 738 is 0 °. Since the outer protective cover 740 has the same structure as the outer protective cover 140 of FIG. 2 except for the first outer gas hole 744a and the second outer gas hole 746a, the outer protective cover 740 has a structure other than the first outer gas hole 744a and the second outer gas hole 746a. Constituent elements are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted. The first outer gas hole 744 a is located on the side surface of the body portion 144, and the second outer gas hole 746 a is located on the side surface of the distal end portion 146. Then, the inner diameter φ1 of the first outer gas hole 744a of the outer protective cover 740 and the inner diameter φ2 of the second outer gas hole 746a were variously changed as shown in Comparative Examples 1 to 3 in Table 1. In addition, the 1st outer side gas hole 744a and the 2nd outer side gas hole 746a opened six places at equal intervals similarly to Examples 1-2.

[比較例6]
図19に示すガス濃度検出センサー800を作製した。ガス濃度検出センサー800の保護カバー820は、センサー素子110の先端を覆う板厚0.3mmの内側保護カバー830と、内側保護カバー830を覆う板厚0.3mmの中間保護カバー840と、中間保護カバー840を覆う板厚0.4mmの外側保護カバー850とを備えた3重構造をしている。内側保護カバー830は、金属製の主体金具802に外周面が当接しており軸方向長さが5.5mmで内径が6.8mmの円筒状の大径部832と、軸方向長さが13.9mmで内径が6.4mmの有底筒状の先端部834とを有している。先端部834の側面には、内径が1.5mmの内側ガス孔834aが12箇所形成されており、先端部834の底面の中心には、内径が5mmのガス通過孔834bが1箇所形成されている。ガス通過孔834bの外部開口面と先端部834の底面とのなす角は0°である。なお、内側ガス孔834aは、ジグザグ状に軸方向(図19の上下方向)に2段にずれた位置で等間隔に形成されている。中間保護カバー840は、金属製の主体金具802に内周面が当接しており軸方向長さが1.8mmで内径が13.9mmの大径部842と、軸方向長さが8.4mmで内径が9.1mmの円筒状の胴部844と、軸方向長さが5.5mmで内径が6.9mmの有底筒状の先端部846とを有している。大径部842と胴部844とは段差部843を介して接続されており、胴部844と先端部846とも段差を介して接続されている。段差部843には、図20に示すように、径11.6mmの円を中心線として幅1mm、角度40°分の円弧状の第1中間ガス孔843aが等間隔に6箇所形成されている。先端部846の底面の中心には、内径が1.1mmの第2中間ガス孔846aが1箇所形成されている。外側保護カバー850は、金属製の主体金具802に内周面が当接しており軸方向長さが5.6mmで内径が14.4mmの円筒状の大径部852と、軸方向長さが18.2mmで内径が13.8mmの有底筒状の先端部854とを有している。先端部854の側面には、内径が2mmの外側ガス孔854aが6箇所形成されている。なお、内側保護カバー830の先端部834と中間保護カバー840の先端部846とは当接しており、その結果、内側保護カバー830と中間保護カバー840とで囲まれた空間は、上室822と下室824とに分離されている。
[Comparative Example 6]
A gas concentration detection sensor 800 shown in FIG. 19 was produced. The protective cover 820 of the gas concentration detection sensor 800 includes a 0.3 mm thick inner protective cover 830 that covers the tip of the sensor element 110, a 0.3 mm thick intermediate protective cover 840 that covers the inner protective cover 830, and an intermediate protective cover. It has a triple structure including an outer protective cover 850 having a thickness of 0.4 mm that covers the cover 840. The inner protective cover 830 has a cylindrical large-diameter portion 832 whose outer peripheral surface is in contact with a metallic metal shell 802, has an axial length of 5.5 mm, and an inner diameter of 6.8 mm, and an axial length of 13 mm. And a bottomed cylindrical tip 834 having an inner diameter of 6.4 mm and an inner diameter of 6.4 mm. Twelve inner gas holes 834a with an inner diameter of 1.5 mm are formed on the side surface of the tip portion 834, and one gas passage hole 834b with an inner diameter of 5 mm is formed at the center of the bottom surface of the tip portion 834. Yes. The angle formed between the external opening surface of the gas passage hole 834b and the bottom surface of the tip portion 834 is 0 °. The inner gas holes 834a are formed at equal intervals at positions shifted in two stages in the axial direction (vertical direction in FIG. 19) in a zigzag manner. The intermediate protective cover 840 has a large-diameter portion 842 whose inner peripheral surface is in contact with a metallic metal shell 802, has an axial length of 1.8 mm and an inner diameter of 13.9 mm, and an axial length of 8.4 mm. And a cylindrical body portion 844 having an inner diameter of 9.1 mm and a bottomed cylindrical tip portion 846 having an axial length of 5.5 mm and an inner diameter of 6.9 mm. The large-diameter portion 842 and the body portion 844 are connected via a step portion 843, and the body portion 844 and the distal end portion 846 are also connected via a step. As shown in FIG. 20, the stepped portion 843 is formed with six arc-shaped first intermediate gas holes 843 a having a width of 1 mm and an angle of 40 ° with a circle having a diameter of 11.6 mm as the center line at equal intervals. . One second intermediate gas hole 846a having an inner diameter of 1.1 mm is formed at the center of the bottom surface of the distal end portion 846. The outer protective cover 850 has a cylindrical large-diameter portion 852 having an inner peripheral surface abutting against a metal metal shell 802, an axial length of 5.6 mm, and an inner diameter of 14.4 mm, and an axial length of 850 mm. And a bottomed cylindrical tip 854 having an inner diameter of 18.2 mm and an inner diameter of 13.8 mm. Six outer gas holes 854a having an inner diameter of 2 mm are formed on the side surface of the distal end portion 854. Note that the front end portion 834 of the inner protective cover 830 and the front end portion 846 of the intermediate protective cover 840 are in contact with each other. As a result, the space surrounded by the inner protective cover 830 and the intermediate protective cover 840 is the upper chamber 822. It is separated into a lower chamber 824.

[比較例7]
図21に示すガス濃度検出センサー900を作製した。ガス濃度検出センサー900の保護カバー920は、センサー素子110の先端を覆う板厚0.3mmの内側保護カバー930と、内側保護カバー930を覆う板厚0.4mmの外側保護カバー940とを備えた2重構造をしている。内側保護カバー930は、金属製の主体金具902に内周面が当接しており軸方向長さが1.5mmで内径が13.7mmの円筒状の大径部932と、軸方向長さが12.4mmで内径が6.9mmの有底筒状の先端部934とを有している。大径部932と先端部934とは、段差を介して接続されている。先端部934の側面には、内径が1.5mmの内側ガス孔934aが等間隔に6箇所形成されている。外側保護カバー940は、金属製の主体金具902に内周面が当接しており軸方向長さが5.5mmで内径が14.4mmの円筒状の大径部942と、軸方向長さが15.3mmで内径が13.8mmの有底筒状の先端部944とを有している。先端部944の側面には、内径が2mmの第1外側ガス孔944aが等間隔に6箇所形成されている。先端部944の底面の中心には、内径が3.8mmの第2外側ガス孔944bが1箇所形成されている。
[Comparative Example 7]
A gas concentration detection sensor 900 shown in FIG. 21 was produced. The protective cover 920 of the gas concentration detection sensor 900 includes an inner protective cover 930 having a thickness of 0.3 mm that covers the tip of the sensor element 110, and an outer protective cover 940 having a thickness of 0.4 mm that covers the inner protective cover 930. Has a double structure. The inner protective cover 930 has a cylindrical large-diameter portion 932 having an inner peripheral surface abutting against a metal metal shell 902, an axial length of 1.5 mm, and an inner diameter of 13.7 mm, and an axial length. It has a bottomed cylindrical tip 934 having a diameter of 12.4 mm and an inner diameter of 6.9 mm. The large diameter portion 932 and the tip portion 934 are connected via a step. Six inner gas holes 934a having an inner diameter of 1.5 mm are formed on the side surface of the distal end portion 934 at equal intervals. The outer protective cover 940 has a cylindrical large-diameter portion 942 having an inner circumferential surface that is in contact with the metal metal shell 902, an axial length of 5.5 mm, and an inner diameter of 14.4 mm, and an axial length of A bottomed cylindrical tip 944 having an inner diameter of 15.3 mm and an inner diameter of 13.8 mm. Six first outer gas holes 944a having an inner diameter of 2 mm are formed at equal intervals on the side surface of the tip portion 944. One second outer gas hole 944b having an inner diameter of 3.8 mm is formed at the center of the bottom surface of the tip end portion 944.

[評価試験1]
実施例1〜8,比較例1〜7の各ガス濃度検出センサーにつき、以下のセンサー出力の応答性とセンサー素子の被水性を調べた。その結果を表1及び図23に示す。センサー出力の応答性とセンサー素子の被水性の試験方法は以下の通りである。
[Evaluation Test 1]
For the gas concentration detection sensors of Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 to 7, the following sensor output responsiveness and water sensitivity of the sensor elements were examined. The results are shown in Table 1 and FIG. The test method of the response of the sensor output and the wetness of the sensor element is as follows.

・センサー出力の応答性
まず、図1のようにガス濃度検出センサーを配管200に取り付けた。この状態で、エンジンの排ガスの代わりに、被測定ガスとしてバーナー燃焼によりNO濃度70ppm、ラムダ1.05に制御した基準ガスを流してセンサー出力が安定するのを待った。その後、ガス導入口を通じて酸素を基準ガス中に導入し、NO濃度70ppm、ラムダ1.35の混合ガスを流してセンサー出力が安定するのを待った。すると、センサー素子110が酸素濃淡電池として機能して起電力が発生し、センサー出力が立ち上がった。ここで、基準ガス中に酸素を導入した時点から、センサー出力がその立ち上がりの最大値の10%になるまでに要する時間t10とセンサー出力がその立ち上がりの最大値の90%になるまでに要する時間t90とを求め、その差Δt(=t90−t10)を応答時間(単位:sec)とした。この応答時間が短いほどガス濃度検出センサーの応答性が高い。
-Responsiveness of sensor output First, a gas concentration detection sensor was attached to the pipe 200 as shown in FIG. In this state, instead of engine exhaust gas, a reference gas controlled to a NO concentration of 70 ppm and lambda 1.05 by burner combustion was flowed as a measurement gas, and the sensor output was awaited. Thereafter, oxygen was introduced into the reference gas through the gas inlet, and a mixed gas having a NO concentration of 70 ppm and lambda 1.35 was allowed to flow until the sensor output was stabilized. Then, the sensor element 110 functions as an oxygen concentration cell, an electromotive force is generated, and the sensor output rises. Here, from the time when oxygen is introduced into the reference gas, the time t10 required for the sensor output to reach 10% of the maximum rise value and the time required for the sensor output to reach 90% of the maximum rise value. t90 was obtained, and the difference Δt (= t90−t10) was taken as the response time (unit: sec). The shorter the response time, the higher the response of the gas concentration detection sensor.

・センサー素子の被水性
被水性は、図22に示す壊れだし水量測定装置950を用いて求めた。すなわち、壊れだし水量測定装置950として、直径28mmの2本のパイプ960,970を角度が150°となるように繋ぎ合わせ、繋ぎ目から300mmの位置に切替バルブ990を介して送風機980を接続し、繋ぎ目から送風機980とは反対側に向かって400mmの位置にガス濃度検出センサー100を配置したものを用意した。そして、繋ぎ目部分に任意の量の水を蓄えた状態で、送風機980を所定の駆動条件で運転し、送風機980からパイプ960へ送風した。この送風によって繋ぎ目部分の水をセンサー100に向かって飛散させて、蓄えられていた水を全てパイプ970の外へ放出した。その際、センサー素子110からの出力に異常が見られるか否かを確認した。1つのガス濃度検出センサーについて同じ水量で同じ試験を10回行い、1回も異常が見られない場合には、水量を10cm増やして同様に試験を10回行い、10回のうち1回でも異常が見られるまで水量を10cmずつ増やして同様に試験を繰り返した。そして、1回でも異常が見られたときの試験当初の水量を壊れだし水量(単位:リットル)として、この壊れだし水量の逆数を被水性(単位:1/リットル)とした。この被水性が小さい値であるほどセンサー素子110への水の付着が抑制されている。なお、送風機の所定の駆動条件とは、センサー素子110のヒーターへの通電を終了した後、図22に示す切替バルブ990をバイパス990aに接続した状態で送風機980により風速約75m/sの大気の流れを作り、切替バルブ990をパイプ960に切替え、3秒間パイプ960に送風することをいう。
-Water resistance of sensor element The water resistance was calculated | required using the broken water amount measuring apparatus 950 shown in FIG. That is, as a broken water amount measuring device 950, two pipes 960 and 970 having a diameter of 28 mm are connected so as to have an angle of 150 °, and a blower 980 is connected to a position 300 mm from the joint via a switching valve 990. A gas concentration detection sensor 100 was prepared at a position of 400 mm from the joint toward the side opposite to the blower 980. And the air blower 980 was drive | operated on the predetermined drive condition in the state which stored the arbitrary amount of water in the joint part, and it ventilated from the air blower 980 to the pipe 960. The air at the joint portion was scattered toward the sensor 100 by this air blowing, and all the stored water was discharged out of the pipe 970. At that time, it was confirmed whether or not an abnormality was found in the output from the sensor element 110. For one gas concentration detection sensor, perform the same test 10 times with the same amount of water. If no abnormality is observed once, increase the amount of water by 10 cm 3 and repeat the test 10 times. The test was repeated in the same manner while increasing the amount of water by 10 cm 3 until abnormality was observed. Then, the amount of water at the beginning of the test when an abnormality was observed even once was broken and the amount of water (unit: liter) was taken, and the reciprocal of this amount of broken water was taken as water coverage (unit: 1 / liter). The smaller the water coverage is, the more water adhesion to the sensor element 110 is suppressed. Note that the predetermined driving condition of the blower means that after the energization of the heater of the sensor element 110 is finished, the blower 980 connects the bypass valve 990 shown in FIG. The flow is made, the switching valve 990 is switched to the pipe 960, and the air is sent to the pipe 960 for 3 seconds.

図23は実施例1〜8,比較例1〜7の各ガス濃度検出センサーの応答時間と被水性とをプロットしたグラフである。表1及び図23から明らかなように、実施例1〜8は、いずれも比較例3〜7と比べて応答時間が短く且つ被水性の値が小さくなっている。また、第2外側ガス孔146aの総面積が第1外側ガス孔144aの総面積よりも大きくなっている実施例2,4,5については、第2外側ガス孔146aの総面積と第1外側ガス孔144aの総面積とが等しい実施例1,3と比べてさらに応答時間が短く且つ被水性の値が小さくなっている。さらに、なす角θが10°〜80°の範囲である実施例1〜8についてはいずれも比較例3〜7と比べて応答時間が短く且つ被水性の値が小さくなっているが、なす角θが10°〜80°の範囲にない比較例1,2では、比較例3と比べて応答時間は短いものの、被水性の値は大きくなっている。   FIG. 23 is a graph in which the response time and the moisture content of each gas concentration detection sensor of Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 to 7 are plotted. As is clear from Table 1 and FIG. 23, each of Examples 1 to 8 has a shorter response time and a lower water repellency value than Comparative Examples 3 to 7. Further, in Examples 2, 4, and 5 in which the total area of the second outer gas hole 146a is larger than the total area of the first outer gas hole 144a, the total area of the second outer gas hole 146a and the first outer gas hole 146a Compared with Examples 1 and 3 in which the total area of the gas holes 144a is equal, the response time is further shorter and the water repellency value is smaller. Further, in Examples 1 to 8 in which the angle θ formed is in the range of 10 ° to 80 °, the response time is shorter and the water repellency value is smaller than those in Comparative Examples 3 to 7. In Comparative Examples 1 and 2 where θ is not in the range of 10 ° to 80 °, the response time is shorter than that in Comparative Example 3, but the value of water coverage is large.

なお、比較例3と比較例4とを比べると、第2外側ガス孔346aの総面積が第1外側ガス孔344aの総面積よりも大きくなっている比較例3の方が、第2外側ガス孔346aの総面積と第1外側ガス孔344aの総面積とが等しい比較例4よりも応答時間が短く且つ被水性の値が小さくなっている。このことから、実施例1〜7のように第1外側ガス孔と第2外側ガス孔とが角部に位置していなくとも、第2外側ガス孔の総面積が第1外側ガス孔の総面積より大きいことに起因して、センサー素子への水の付着を抑制する効果とガス濃度検出の応答性を向上させる効果とが得られると考えられる。   In comparison between Comparative Example 3 and Comparative Example 4, Comparative Example 3 in which the total area of the second outer gas holes 346a is larger than the total area of the first outer gas holes 344a is the second outer gas. The response time is shorter and the water coverage value is smaller than in Comparative Example 4 in which the total area of the holes 346a and the total area of the first outer gas holes 344a are equal. Therefore, even if the first outer gas hole and the second outer gas hole are not located at the corners as in the first to seventh embodiments, the total area of the second outer gas hole is the total of the first outer gas hole. It is considered that the effect of suppressing the adhesion of water to the sensor element and the effect of improving the responsiveness of gas concentration detection are obtained due to being larger than the area.

また、実施例1と実施例8とを比べると、ガス通過孔が内側保護カバーの先端部の側面と底面との境界部分に位置し、ガス通過孔の外部開口面と先端部の底面とのなす角が45°となっている実施例8の方が、被水性の値は変わらず且つ応答時間が短くなっている。   Further, comparing Example 1 and Example 8, the gas passage hole is located at the boundary portion between the side surface and the bottom surface of the front end portion of the inner protective cover, and the gap between the outer opening surface of the gas passage hole and the bottom surface of the front end portion. In Example 8 in which the angle formed is 45 °, the value of water coverage is not changed and the response time is shortened.

[評価試験2]
実施例2,比較例4,比較例7のガス濃度検出センサーにつき、運転時の振動によって配管に溜まった水がセンサ素子に被水する現象を模擬した振動試験を行った。振動試験の様子を図24に示す。この振動試験は、以下のように行った。まず、加振機に取り付けられた試験チャンバーにガス濃度検出センサーを鉛直方向から45°傾けて取り付けた。また、ガス濃度検出センサーには、ヒーターの出力を制御するコントローラーと、ヒーターのパワー制御値を測定するためのセンサー出力モニターを接続した。次に、試験チャンバー内に水を入れ、加振機により10〜200Hzの間で周波数を変化させながら正弦波で試験チャンバーを振動させた。振動中は、センサー素子内のヒーターが100℃になるようにコントローラーで制御を行い、このときのヒーターのパワー制御値をセンサー出力モニターにて測定した。なお、センサー素子に付着する水が多いほどセンサー素子の温度が低下して、ヒーターの出力を大きくすべくパワー制御値が大きい値となる。
[Evaluation Test 2]
For the gas concentration detection sensors of Example 2, Comparative Example 4 and Comparative Example 7, a vibration test was performed simulating the phenomenon that water accumulated in the piping due to vibration during operation gets wet on the sensor element. The state of the vibration test is shown in FIG. This vibration test was performed as follows. First, the gas concentration detection sensor was attached to the test chamber attached to the shaker at 45 ° from the vertical direction. In addition, a controller for controlling the heater output and a sensor output monitor for measuring the power control value of the heater were connected to the gas concentration detection sensor. Next, water was put into the test chamber, and the test chamber was vibrated with a sine wave while changing the frequency between 10 and 200 Hz with a vibrator. During vibration, the controller was controlled so that the heater in the sensor element was 100 ° C., and the power control value of the heater at this time was measured with a sensor output monitor. As the amount of water adhering to the sensor element increases, the temperature of the sensor element decreases, and the power control value increases to increase the output of the heater.

この評価試験2の結果を図25に示す。図25に示すように、実施例2は比較例4,7と比べてパワー制御値が小さくなっている。このことから、実施例2のガス濃度検出センサーは、外側保護カバーの側面と底面との境界部分に位置するように第1外側ガス孔,第2外側ガス孔が形成されていることで、側面や底面に外側ガス孔が形成されている比較例4,7と比べて振動時のセンサー素子の被水性が小さいことが確認できた。   The results of this evaluation test 2 are shown in FIG. As shown in FIG. 25, the power control value in Example 2 is smaller than that in Comparative Examples 4 and 7. From this, the gas concentration detection sensor of Example 2 has the first outer gas hole and the second outer gas hole formed so as to be located at the boundary portion between the side surface and the bottom surface of the outer protective cover. It was confirmed that the moisture content of the sensor element during vibration was smaller than in Comparative Examples 4 and 7 in which the outer gas holes were formed on the bottom surface.

[評価試験3]
実施例8,比較例4,比較例7のガス濃度検出センサーにつき、予め外側保護カバー内及び内側保護カバー内に水が入った状態から水が抜けるまでの様子を確認する水抜き試験を行った。この試験は、図22に示した壊れだし水量測定装置950を用いて行った。具体的には、まず、ガス濃度検出センサーを鉛直方向から45°傾けた状態でパイプ970に取り付けた。そして、パイプ960,970の繋ぎ目には水がない状態とし、代わりに予めガス濃度検出センサーの外側保護カバー内及び内側保護カバー内に任意の量の水を注入した。その状態で、送風機980を所定の駆動条件で運転し、送風機980からパイプ960へ送風した。送風中は、センサー素子内のヒーターが100℃になるように制御を行い、このときのヒーターのパワー制御値を測定した。なお、内側保護カバー内に水が注入されセンサー素子に水が付着しているとセンサー素子の温度が低下するため、ヒーターの出力を大きくすべくパワー制御値が大きい値となる。そのため、送風により内側保護カバー内の水が抜けていくに従って、パワー制御値は小さくなっていく。
[Evaluation Test 3]
About the gas concentration detection sensor of Example 8, Comparative Example 4, and Comparative Example 7, a water drain test was performed to confirm the state from the state in which water entered into the outer protective cover and the inner protective cover in advance until water was removed. . This test was performed using the broken water amount measuring device 950 shown in FIG. Specifically, first, the gas concentration detection sensor was attached to the pipe 970 while being inclined by 45 ° from the vertical direction. Then, the joint between the pipes 960 and 970 was made free of water, and instead, an arbitrary amount of water was injected into the outer protective cover and the inner protective cover of the gas concentration detection sensor in advance. In that state, the blower 980 was operated under a predetermined driving condition, and air was blown from the blower 980 to the pipe 960. During ventilation, the heater in the sensor element was controlled to 100 ° C., and the power control value of the heater at this time was measured. Note that if water is injected into the inner protective cover and water is attached to the sensor element, the temperature of the sensor element is lowered, so that the power control value is increased to increase the output of the heater. Therefore, the power control value becomes smaller as the water in the inner protective cover is removed by the air blowing.

この評価試験3の結果を図26に示す。図26からわかるように、実施例8,比較例4,7のいずれも送風開始時のパワー制御値には大きな差はないが、実施例8では送風開始後160秒でパワー制御値が大きく下がり、160秒以降は安定した値となった。一方、比較例4ではパワー制御値の安定までの時間は200秒であり、比較例7では600秒であった。このことから、実施例8のガス濃度検出センサーは、比較例4,7と比べて水が保護カバー内に入ってセンサー素子に付着しにくいだけでなく、例え内側保護カバー内に水が入ったとしてもその水が抜けやすい(水抜け性が大きい)ことが確認できた。実施例8のガス濃度検出センサーは、第1外側ガス孔146aが第1角部144bに位置し、第2外側ガス孔146aが第2角部146bに位置しているため、外側保護カバー140内から水が抜けやすく、ガス通過孔238aが内側保護カバー130の側面と底面との境界部分に位置しているため、内側保護カバー130内から水が抜けやすくなっていると考えられる。例えば図27に示すように実施例8のガス濃度検出センサーを45°傾けた状態では、第2ガス室126の最下面に第2外側ガス孔146aが位置し、センサー素子室124の最下面にガス通過孔238aが位置する。このため、第2外側ガス孔146aが第2角部146bに位置していない比較例4,7と比べて、実施例8では第2ガス室126内の水が第2外側ガス孔146aから抜けやすく、図27に示すような水溜まりができにくい。同様に、ガス通過孔238aが内側保護カバーの側面と底面との境界部分に位置していない比較例4,7と比べて、実施例8では内側保護カバー130内の水はガス通過孔238aから抜けやすく、図27に示すような水溜まりができにくい。図示は省略したが、同様に、比較例4,7と比べて実施例8では第1ガス室122内の水が第1外側ガス孔144aから抜けやすく、水溜まりができにくい。なお、ガス濃度検出センサーを傾ける角度が45°以外であっても、0°〜90°の範囲であれば、比較例4,7と比べて実施例8のガス濃度検出センサーの方が、水が抜けやすく水溜まりができにくい効果が得られる。なお、例えば寒冷地や冬場においては、エンジンの排気経路に取り付けられたガス濃度検出センサーの保護カバー内で水が結露することがある。そして、この状態でエンジンをスタートすると、結露により生じた水がセンサー素子に付着してクラックが発生する場合がある。実施例8のガス濃度検出センサーはこのような場合でも水が抜けやすいため、比較例4,7と比べてクラックが生じにくいと考えられる。   The results of this evaluation test 3 are shown in FIG. As can be seen from FIG. 26, there is no great difference in the power control value at the start of air blowing in both Example 8 and Comparative Examples 4 and 7. However, in Example 8, the power control value greatly decreases in 160 seconds after the air blowing starts. The value became stable after 160 seconds. On the other hand, in Comparative Example 4, the time until the power control value was stabilized was 200 seconds, and in Comparative Example 7, it was 600 seconds. From this, the gas concentration detection sensor of Example 8 was not only difficult for water to enter the protective cover and adhere to the sensor element compared to Comparative Examples 4 and 7, but also for example water entered the inner protective cover. However, it was confirmed that the water was easily drained (the water draining property was large). In the gas concentration detection sensor according to the eighth embodiment, the first outer gas hole 146a is located at the first corner 144b and the second outer gas hole 146a is located at the second corner 146b. It is considered that water easily escapes from the inner protective cover 130 because the gas passage hole 238a is located at the boundary between the side surface and the bottom surface of the inner protective cover 130. For example, as shown in FIG. 27, in the state where the gas concentration detection sensor of Example 8 is tilted by 45 °, the second outer gas hole 146a is located on the lowermost surface of the second gas chamber 126, and on the lowermost surface of the sensor element chamber 124. A gas passage hole 238a is located. Therefore, compared with Comparative Examples 4 and 7 in which the second outer gas hole 146a is not located at the second corner portion 146b, in Example 8, water in the second gas chamber 126 escapes from the second outer gas hole 146a. It is easy to make a water pool as shown in FIG. Similarly, compared with Comparative Examples 4 and 7 in which the gas passage hole 238a is not located at the boundary between the side surface and the bottom surface of the inner protective cover, the water in the inner protective cover 130 is discharged from the gas passage hole 238a in Example 8. It is easy to come off and it is difficult to form a water pool as shown in FIG. Although illustration is omitted, similarly, in the eighth embodiment, the water in the first gas chamber 122 is likely to escape from the first outer gas hole 144a in comparison with the fourth and seventh comparative examples, and it is difficult to collect the water. In addition, even if the angle at which the gas concentration detection sensor is tilted is other than 45 °, the gas concentration detection sensor of Example 8 is more water than Comparative Examples 4 and 7 if it is in the range of 0 ° to 90 °. The effect that it is easy to come off and it is hard to make a puddle is obtained. For example, in a cold region or winter, water may condense inside the protective cover of the gas concentration detection sensor attached to the exhaust path of the engine. When the engine is started in this state, water generated by condensation may adhere to the sensor element and cause cracks. Even in such a case, the gas concentration detection sensor of Example 8 is considered to be less susceptible to cracking than Comparative Examples 4 and 7 because water can easily escape.

100,300 ガス濃度検出センサー、102 主体金具、110 センサー素子、120,320 保護カバー、122 第1ガス室、124 センサー素子室、126 第2ガス室、130,330 内側保護カバー、132 大径部、133 段差部、134 第1胴部、134a 内側ガス孔、134b ガイド部、135 段差部、136 第2胴部、137 段差部、138,338 先端部、138a,238a,239a,240a,241a,338a ガス通過孔、239b 最下面、138b 角部、138c 底面、140,340 外側保護カバー、142 大径部、144 胴部、144a,344a 第1外側ガス孔、144b 第1角部、144c 内周面、145 段差部、146 先端部、146a,346a 第2外側ガス孔、146b 第2角部、146c 領域、200 配管、400 ガス濃度検出センサー、402 主体金具、420 保護カバー、422 上室、424 下室、430 第1内側保護カバー、432 大径部、434 先端部、434a ガス通過孔、434b ガス通過孔、440 第2内側保護カバー、442 大径部、443 段差部、443a 内側ガス孔、444 胴部、446 先端部、446a ガス通過孔、450 外側保護カバー,452 大径部、454 先端部、454a 外側ガス孔、500 ガス濃度検出センサー、502 主体金具、520 保護カバー、530 内側保護カバー、532 大径部、534 先端部、534a 内側ガス孔、540 外側保護カバー、542 大径部、544 先端部、544a ガス通過孔、544b 外側ガス孔、600 ガス濃度検出センサー、602 主体金具、620 保護カバー、630 内側保護カバー、632 大径部、634 先端部、634b ガイド部、634c ガス通過孔、640 外側保護カバー、642 大径部、644 先端部、644a 外側ガス孔、644b 内周面、700 ガス濃度検出センサー,720 保護カバー、730 内側保護カバー、738 先端部、740 外側保護カバー、738a ガス通過孔、744a 第1外側ガス孔、746a 第2外側ガス孔、800 ガス濃度検出センサー、802 主体金具、820 保護カバー、822 上室、824 下室、830 内側保護カバー、832 大径部、834 先端部、834a 内側ガス孔、834b ガス通過孔、840 中間保護カバー、842 大径部、843 段差部、843a 第1中間ガス孔、844 胴部、846 先端部、846a 第2中間ガス孔、850 外側保護カバー,852 大径部、854 先端部、854a 外側ガス孔、900 ガス濃度検出センサー、902 主体金具、920 保護カバー、930 内側保護カバー、932 大径部、934 先端部、934a 内側ガス孔、940 外側保護カバー、942 大径部、944 先端部、944a 第1外側ガス孔、944b 第2外側ガス孔、950 壊れだし水量測定装置、960,970 パイプ、980 送風機、990 切替バルブ、990a バイパス。   100, 300 Gas concentration detection sensor, 102 metal shell, 110 sensor element, 120, 320 protective cover, 122 first gas chamber, 124 sensor element chamber, 126 second gas chamber, 130, 330 inner protective cover, 132 large diameter portion 133 Step part, 134 First body part, 134a Inner gas hole, 134b Guide part, 135 Step part, 136 Second body part, 137 Step part, 138, 338 Tip part, 138a, 238a, 239a, 240a, 241a, 338a Gas passage hole, 239b Bottom surface, 138b Corner portion, 138c Bottom surface, 140, 340 Outer protective cover, 142 Large diameter portion, 144 Body portion, 144a, 344a First outer gas hole, 144b First corner portion, 144c Inner circumference Surface, 145 Stepped portion, 146 Tip portion, 146a, 346a Second outer side Hole, 146b second corner, 146c region, 200 piping, 400 gas concentration detection sensor, 402 metal shell, 420 protective cover, 422 upper chamber, 424 lower chamber, 430 first inner protective cover, 432 large diameter portion, 434 Tip part, 434a Gas passage hole, 434b Gas passage hole, 440 Second inner protective cover, 442 Large diameter part, 443 Step part, 443a Inner gas hole, 444 Body part, 446 Tip part, 446a Gas passage hole, 450 Outer protection Cover, 452 Large diameter portion, 454 tip portion, 454a Outer gas hole, 500 gas concentration detection sensor, 502 metal shell, 520 protective cover, 530 inner protective cover, 532 large diameter portion, 534 tip portion, 534a inner gas hole, 540 Outer protective cover, 542 Large diameter part, 544 Tip, 544a Gas passage 544b outer gas hole, 600 gas concentration detection sensor, 602 metal shell, 620 protective cover, 630 inner protective cover, 632 large diameter part, 634 tip, 634b guide part, 634c gas passage hole, 640 outer protective cover, 642 large Diameter portion, 644 tip portion, 644a outer gas hole, 644b inner peripheral surface, 700 gas concentration detection sensor, 720 protection cover, 730 inner protection cover, 738 tip portion, 740 outer protection cover, 738a gas passage hole, 744a first outer side Gas hole, 746a Second outer gas hole, 800 Gas concentration detection sensor, 802 Metal fitting, 820 Protective cover, 822 Upper chamber, 824 Lower chamber, 830 Inner protective cover, 832 Large diameter portion, 834 Tip, 834a Inner gas hole 834b Gas passage hole, 840 Intermediate protection Bar, 842 Large diameter portion, 843 Stepped portion, 843a First intermediate gas hole, 844 Body, 846 Tip portion, 846a Second intermediate gas hole, 850 Outer protective cover, 852 Large diameter portion, 854 Tip portion, 854a Outer gas Hole, 900 gas concentration detection sensor, 902 metal shell, 920 protective cover, 930 inner protective cover, 932 large diameter part, 934 tip part, 934a inner gas hole, 940 outer protective cover, 942 large diameter part, 944 tip part, 944a First outer gas hole, 944b Second outer gas hole, 950 Broken water amount measuring device, 960,970 pipe, 980 blower, 990 switching valve, 990a bypass.

Claims (6)

被測定ガスの所定のガス濃度を検出可能なセンサー素子と、
前記センサー素子の先端を覆う有底筒状の内側保護カバーと、
側面と底面とを有する外側保護カバーと、
前記外側保護カバーの側面と底面との境界部分に開けられた複数の外側ガス孔と、
前記内側保護カバーの内外の前記被測定ガスの流れを許容し、前記外側ガス孔よりも前記センサー素子の後端側に位置する内側ガス孔と、
を備え、
前記外側ガス孔の外部開口面と前記外側保護カバーの底面とのなす角が10°〜80°であ
前記外側保護カバーは、円筒状の胴部と、該胴部よりも径の小さい有底筒状の先端部と、該胴部と該先端部とを接続する段差部と、を有しており、
前記外側ガス孔は、前記外側保護カバーの胴部の側面と前記外側保護カバーの段差部の底面との境界部分である第1角部に開けられた複数の第1外側ガス孔と、前記外側保護カバーの先端部の側面と底面との境界部分である第2角部に開けられた複数の第2外側ガス孔と、からなり、
前記内側ガス孔は、前記第1外側ガス孔よりも前記センサー素子の後端側に位置しており、
前記外側保護カバーの胴部及び段差部と前記内側保護カバーとで囲まれ、前記内側ガス孔により前記内側保護カバーの内部と連通する第1ガス室と、
前記外側保護カバーの先端部と前記内側保護カバーとで囲まれ、前記第1ガス室と直接には連通していない第2ガス室と、
前記第2ガス室内と前記内側保護カバーの内側との間の前記被測定ガスの流れを許容するガス通過孔と、
を備えたガス濃度検出センサー。
A sensor element capable of detecting a predetermined gas concentration of the gas to be measured;
A bottomed cylindrical inner protective cover covering the tip of the sensor element;
An outer protective cover having side and bottom surfaces;
A plurality of outer gas holes opened in a boundary portion between a side surface and a bottom surface of the outer protective cover;
An inner gas hole that allows the flow of the gas to be measured inside and outside the inner protective cover, and is located on the rear end side of the sensor element with respect to the outer gas hole;
With
Ri angle is 10 ° to 80 ° der the external opening surface and a bottom surface of the outer protective cover of the outer gas holes,
The outer protective cover includes a cylindrical body, a bottomed cylindrical tip having a smaller diameter than the body, and a step portion connecting the body and the tip. ,
The outer gas hole includes a plurality of first outer gas holes opened at a first corner that is a boundary portion between a side surface of a body portion of the outer protective cover and a bottom surface of a step portion of the outer protective cover, and the outer gas hole. A plurality of second outer gas holes opened in a second corner that is a boundary portion between the side surface and the bottom surface of the front end portion of the protective cover,
The inner gas hole is located on the rear end side of the sensor element from the first outer gas hole,
A first gas chamber surrounded by the body portion and the step portion of the outer protective cover and the inner protective cover, and communicated with the inside of the inner protective cover by the inner gas hole;
A second gas chamber surrounded by a front end portion of the outer protective cover and the inner protective cover and not in direct communication with the first gas chamber;
A gas passage hole that allows the flow of the gas to be measured between the second gas chamber and the inner side of the inner protective cover;
Gas concentration detection sensor equipped with .
前記複数の第2外側ガス孔は、開口部の総面積が前記第1外側ガス孔の開口部の総面積より大きい、
請求項に記載のガス濃度検出センサー。
In the plurality of second outer gas holes, the total area of the openings is larger than the total area of the openings of the first outer gas holes.
The gas concentration detection sensor according to claim 1 .
前記ガス通過孔は、前記第2外側ガス孔の延長上の領域以外の位置に開けられている、
請求項に記載のガス濃度検出センサー。
The gas passage hole is opened at a position other than the region on the extension of the second outer gas hole,
The gas concentration detection sensor according to claim 2 .
前記複数の第1外側ガス孔は、いずれも開口部の面積が同じであり、
前記複数の第2外側ガス孔は、いずれも開口部の面積が同じであり、
前記複数の第2外側ガス孔は、1つあたりの開口部の面積が前記第1外側ガス孔の1つあたりの開口部の面積以上である、
請求項又はに記載のガス濃度検出センサー。
Each of the plurality of first outer gas holes has the same area of the opening,
Each of the plurality of second outer gas holes has the same opening area,
The plurality of second outer gas holes have an opening area per one or more than the opening area per one of the first outer gas holes.
The gas concentration detection sensor according to claim 2 or 3 .
前記複数の第1外側ガス孔は、互いに等間隔に位置する3つ以上の孔であり、
前記複数の第2外側ガス孔は、互いに等間隔に位置する3つ以上の孔である、
請求項のいずれか1項に記載のガス濃度検出センサー。
The plurality of first outer gas holes are three or more holes located at equal intervals from each other,
The plurality of second outer gas holes are three or more holes located at equal intervals from each other.
The gas concentration detection sensor according to any one of claims 1 to 4 .
前記ガス通過孔は、前記内側保護カバーの側面と底面との境界部分に開けられ、
前記ガス通過孔の外部開口面と前記内側保護カバーの底面とのなす角が10°〜80°である、
請求項のいずれか1項に記載のガス濃度検出センサー。
The gas passage hole is opened at a boundary portion between a side surface and a bottom surface of the inner protective cover,
The angle formed between the outer opening surface of the gas passage hole and the bottom surface of the inner protective cover is 10 ° to 80 °.
The gas concentration detection sensor according to any one of claims 1 to 5 .
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