JP5379707B2

JP5379707B2 - Active vibration isolator

Info

Publication number: JP5379707B2
Application number: JP2010016910A
Authority: JP
Inventors: 篤浦山; 裕純金; 裕教小山; 睦村岡; 篤村松
Original assignee: Sumitomo Riko Co Ltd; Keihin Corp
Current assignee: Sumitomo Riko Co Ltd; Keihin Corp
Priority date: 2010-01-28
Filing date: 2010-01-28
Publication date: 2013-12-25
Anticipated expiration: 2030-01-28
Also published as: JP2011153688A

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an active vibration control device possible to be reduced in the weight of a movable member and having superior operation performance (a vibration control function) in a high-frequency region. SOLUTION: This active vibration control device includes: an actuator body 11; a bottomed-cylindrical fixed side yoke 20 provided inside of the actuator 11 and forming an insertion hole 21 on the center axis O of the actuator body 11; a movable part 40 inserted into the insertion hole 21 and to be driven for displacement along the center axis O by the magnetic thrust to restrict vibration; and a cylindrical movable side yoke 50 provided in the movable part 40. The movable side yoke 50 is arranged to be inserted with a magnetic gap G between a bottom part 24 and itself by a through hole 24a provided in the bottom part 24 of the fixed side yoke 20. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、防振すべき振動に対して積極的あるいは相殺的な防振効果を発揮し得る能動型防振装置に関し、特に自動車のエンジンマウントやボディマウント、制振器等の装置において好適に採用される能動型防振装置に関するものである。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to an active vibration isolator capable of exhibiting a positive or canceling vibration isolating effect against vibrations to be vibrated, and particularly suitable for devices such as automobile engine mounts, body mounts, and vibration dampers. The present invention relates to an active vibration isolator that is employed.

従来、この種の能動型防振装置としては、非圧縮性流体が封入された受圧室（液室）の壁部の一部を加振部材で構成して、この加振部材を可動機構によって加振して受圧室の圧力を制御することで、能動的な防振効果を得るようにしたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
この能動型防振装置では、略カップ形状のアクチュエータボディにコイルが組み込まれ、このコイルへの通電によって駆動力が及ぼされる可動部をアクチュエータボディの軸方向に変位可能に配設している。そして、アクチュエータボディの開口部側に弾性支持した加振部材を可動部に取り付けることにより、加振部材に加振力を及ぼすように構成されている。 Conventionally, as this type of active vibration isolator, a part of a wall of a pressure receiving chamber (liquid chamber) in which an incompressible fluid is sealed is configured by a vibration member, and the vibration member is moved by a movable mechanism. There is known one that obtains an active vibration isolation effect by controlling the pressure in the pressure receiving chamber by applying vibration (see, for example, Patent Document 1).
In this active vibration isolator, a coil is incorporated in a substantially cup-shaped actuator body, and a movable portion to which a driving force is applied by energizing the coil is disposed so as to be displaceable in the axial direction of the actuator body. And it attaches to the movable part the vibration member elastically supported by the opening part side of the actuator body, and is comprised so that a vibration force may be exerted on a vibration member.

また、その他の能動型防振装置としては、防振すべき振動対象に装着されて、コイルへの通電によって生じる磁界の作用で可動部を加振することにより能動的な防振効果を発揮するようにした制振装置等の能動型防振装置も知られている（例えば、特許文献２参照）。
この能動型防振装置では、固定側支持部材に対して軸方向に変位可能に組み付けられた可動部を有しており、それら固定側支持部材と可動部の一方にコイルが組み付けられるともに、他方に永久磁石が組み付けられ、コイルへの通電によって可動部が固定側支持部材に対して軸方向に変位駆動されるように構成されている。 As another type of active vibration isolator, an active vibration isolator is exerted by attaching a movable part to the object to be vibrated and applying a magnetic field generated by energizing the coil. An active vibration isolator such as a vibration damping device is also known (for example, see Patent Document 2).
This active vibration isolator has a movable part assembled so as to be axially displaceable with respect to the fixed-side support member, and a coil is assembled to one of the fixed-side support member and the movable part, while the other A permanent magnet is assembled to the movable portion, and the movable portion is driven to be displaced in the axial direction with respect to the stationary support member by energizing the coil.

特開２００４−２９３６０２号公報JP 2004-293602 A 特開２００８−２０８８９５号公報JP 2008-208895 A

ところで、前記特許文献１の能動型防振装置では、可動機構としてコイルへの通電によって可動部が駆動される、いわゆるソレノイド型の構造を採用している。このため、高周波領域における防振機能が十分に発揮されないおそれがあった。
この点、特許文献２の能動型防振装置では、高周波領域において防振機能を好適に発揮することが可能である。そこで、特許文献１の能動型防振装置の可動機構として特許文献２の能動型防振装置の可動機構を採用することが考えられる。
しかしながら、特許文献２の能動型防振装置では、可動部の駆動で加振力を生じさせる構成であるので、可動部がマス成分として機能するように重量を有する構成としていた。このため、特許文献１の能動型防振装置に特許文献２の可動機構を適用したのでは、低周波領域において共振現象を生じるおそれがあり、作動性（防振機能）が損なわれるおそれがあった。 By the way, the active vibration isolator disclosed in Patent Document 1 employs a so-called solenoid type structure in which a movable portion is driven by energizing a coil as a movable mechanism. For this reason, there existed a possibility that the anti-vibration function in a high frequency area | region might not fully be exhibited.
In this regard, the active vibration isolator of Patent Document 2 can suitably exhibit the vibration isolating function in a high frequency region. Therefore, it is conceivable to employ the movable mechanism of the active vibration isolator disclosed in Patent Document 2 as the movable mechanism of the active vibration isolator disclosed in Patent Document 1.
However, since the active vibration isolator of Patent Document 2 is configured to generate an excitation force by driving the movable part, the active part has a weight so that the movable part functions as a mass component. For this reason, when the movable mechanism of Patent Document 2 is applied to the active vibration isolator of Patent Document 1, there is a risk of causing a resonance phenomenon in the low frequency region, and the operability (vibration-proof function) may be impaired. It was.

そこで、本発明は、可動部材の軽量化が可能であり、しかも高周波領域における作動性（防振機能）が良好な能動型防振装置を提供することを課題とする。 In view of the above, an object of the present invention is to provide an active vibration isolator capable of reducing the weight of a movable member and having good operability (anti-vibration function) in a high frequency region.

前記課題を解決するために、本発明の能動型防振装置は、アクチュエータボディと、前記アクチュエータボディ内に設けられ、前記アクチュエータボディの中心軸上に挿通孔を形成する有底円筒状の固定側ヨークと、前記挿通孔に挿通され、振動を抑制するために、磁気推力により前記中心軸に沿って変位駆動される可動部と、前記可動部に設けられた円柱状の可動側ヨークと、前記アクチュエータボディ側に固定され、前記固定側ヨークと前記可動側ヨークとの間に設けられた円環状のコイルと、前記可動部側に固定され、前記コイルに対向配置された磁石と、を備え、前記可動側ヨークは、前記固定側ヨークの底部に設けられた通孔により、前記底部との間で磁気ギャップを有して挿通配置されていることを特徴とする。 In order to solve the above problems, an active vibration isolator according to the present invention includes an actuator body and a bottomed cylindrical fixed side provided in the actuator body and forming an insertion hole on a central axis of the actuator body. and the yoke are inserted into the insertion hole, in order to suppress vibrations, and a movable part which is displaceable driven along said central axis by the magnetic thrust, a cylindrical movable yoke provided on the movable portion, wherein An annular coil fixed to the actuator body side and provided between the fixed side yoke and the movable side yoke, and a magnet fixed to the movable part side and disposed opposite to the coil , The movable yoke is inserted and arranged with a magnetic gap between the movable yoke and the bottom through a through hole provided in the bottom of the fixed yoke.

この能動型防振装置によれば、ヨークが固定側ヨークと可動側ヨークとに分割されており、アクチュエータボディに対して固定側ヨークが設けられるとともに、可動部に対して可動側ヨークが設けられる構成であるので、可動部から固定側ヨークに相当する分のヨークを排除することができ、その分、可動部の小型化、軽量化を図ることが可能となる。
また、可動部の軽量化を図ることができるので、高周波領域における作動性（防振機能）を向上させることができる。
また、固定側ヨークをアクチュエータボディに対して設けたので、可動部に固定側ヨークに相当する分のヨークを設けた場合に比べて、可動スペースの省スペース化を図ることができ、能動型防振装置の小型化が可能となる。 According to this active vibration isolator, the yoke is divided into the fixed side yoke and the movable side yoke, the fixed side yoke is provided for the actuator body, and the movable side yoke is provided for the movable part. Because of the configuration, it is possible to eliminate the yoke corresponding to the fixed side yoke from the movable portion, and accordingly, the movable portion can be reduced in size and weight.
In addition, since the weight of the movable part can be reduced, the operability (vibration-proof function) in the high frequency region can be improved.
In addition, since the fixed side yoke is provided for the actuator body, the movable space can be saved compared to the case where the movable part is provided with a yoke corresponding to the fixed side yoke, and the active type The vibration device can be downsized.

また、コイルがアクチュエータボディ側に固定されているので、例えば、アクチュエータボディの軸方向においてアクチュエータボディに対して連設される別部材を設けてこれにコイルを固定するように構成した場合に比べて、アクチュエータボディを小型化することができる。 In addition , since the coil is fixed to the actuator body side, for example, compared to a case in which another member connected to the actuator body in the axial direction of the actuator body is provided and the coil is fixed thereto. The actuator body can be downsized.

また、前記可動側ヨークは、前記可動部が変位した際の一方の変位終端から他方の変位終端までの間において、前記磁気ギャップが一定に保持されていることを特徴とする。 The movable side yoke is characterized in that the magnetic gap is held constant from one displacement end to the other displacement end when the movable portion is displaced.

この能動型防振装置によれば、可動側ヨークは、可動部が変位した際の一方の変位終端および他方の変位終端において、磁気ギャップが一定に保持されているので、可動部が変位駆動される間、固定側ヨークと可動側ヨークとの間の磁束の伝達に変化が生じにくくなり、所望の防振特性に対してバラツキのないフラットな特性が得られる。したがって、防振機能が向上する。 According to this active vibration isolator, the movable yoke is driven to displace because the magnetic gap is kept constant at one displacement end and the other displacement end when the movable portion is displaced. During this period, the transmission of magnetic flux between the fixed-side yoke and the movable-side yoke is less likely to change, and a flat characteristic that does not vary with respect to the desired vibration-proof characteristic can be obtained. Therefore, the vibration isolation function is improved.

本発明によれば、可動部の軽量化が可能であり、しかも高周波領域における作動性（防振機能）が良好な能動型防振装置が得られる。 According to the present invention, it is possible to obtain an active vibration isolator capable of reducing the weight of a movable part and having good operability (vibration isolating function) in a high frequency region.

本発明の一実施形態に係る能動型防振装置の構造を示した断面図である。It is sectional drawing which showed the structure of the active vibration isolator which concerns on one Embodiment of this invention. （ａ）はアクチュエータボディをカット断面で示した斜視図、（ｂ）は要部の拡大斜視図である。(A) is the perspective view which showed the actuator body in the cut cross section, (b) is the expansion perspective view of the principal part. （ａ）は磁石の平面図、（ｂ）は磁石の着磁方向を示した模式図である。(A) is a top view of a magnet, (b) is the schematic diagram which showed the magnetization direction of the magnet. 磁束の流れを示した模式図である。It is the schematic diagram which showed the flow of magnetic flux. （ａ）は可動部が上端位置にある時の様子を示した断面図、（ｂ）は可動部が下端位置にある時の様子を示した断面図、（ｃ）は上端位置にある時と下端位置にある時の磁気ギャップを示した模式図である。(A) is a sectional view showing the state when the movable part is at the upper end position, (b) is a sectional view showing the state when the movable part is at the lower end position, and (c) is when it is at the upper end position. It is the schematic diagram which showed the magnetic gap when it exists in a lower end position. （ａ）は可動部の分解図、（ｂ）は組み付けた状態の可動部を示した図である。(A) is an exploded view of a movable part, (b) is the figure which showed the movable part of the assembled state. アクチュエータボディにおける組付手順を示した図である。It is the figure which showed the assembly | attachment procedure in an actuator body. （ａ）（ｂ）はアクチュエータボディにおける組付手順を示した図である。(A) (b) is the figure which showed the assembly | attachment procedure in an actuator body. （ａ）（ｂ）はアクチュエータボディにおける組付手順を示した図である。(A) (b) is the figure which showed the assembly | attachment procedure in an actuator body. 本発明の一実施形態に係る能動型防振装置の構造の変形例を示した断面図である。It is sectional drawing which showed the modification of the structure of the active vibration isolator which concerns on one Embodiment of this invention. 磁束の流れを示した模式図である。It is the schematic diagram which showed the flow of magnetic flux.

以下、本発明の実施の形態を適宜図面を参照しながら詳細に説明する。
本実施形態では、自動車等の車両に搭載され、エンジンを車体フレームに弾性的に支承するために用いられるアクティブ・コントロール・マウントに能動型防振装置１０を適用した例について説明するが、能動型防振装置１０が適用される機器や装置等を限定する趣旨ではない。また、以下の説明において、「上下」を言うときは、図１に示す方向を基準としている。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings as appropriate.
In the present embodiment, an example in which the active vibration isolator 10 is applied to an active control mount that is mounted on a vehicle such as an automobile and is used to elastically support an engine on a body frame will be described. It is not intended to limit the devices and devices to which the vibration isolator 10 is applied. Further, in the following description, when referring to “up and down”, the direction shown in FIG. 1 is used as a reference.

（能動型防振装置の概略構成）
能動型防振装置１０は、上下方向に伸縮駆動することが可能であり、車両の図示しない車体フレームに取り付けられてエンジンを弾性的に支承するようになっている。
ここで、能動型防振装置１０は、例えば、エンジンのクランクシャフトが車両の横向きに配置される、いわゆる横置きのエンジンである場合には、エンジンによるロール方向の振動を抑制するため、エンジンを挟んで車両の前後に配置される。なお、配置位置については、これに限られることはなく、エンジン周りの適宜の場所に配置することができる。 (Schematic configuration of active vibration isolator)
The active vibration isolator 10 can be extended and contracted in the vertical direction, and is attached to a vehicle body frame (not shown) of the vehicle to elastically support the engine.
Here, the active vibration isolator 10 is, for example, a so-called horizontal engine in which the crankshaft of the engine is disposed sideways of the vehicle. It is arranged in front of and behind the vehicle. In addition, about an arrangement position, it is not restricted to this, It can arrange | position in the appropriate place around an engine.

図１に示すように、能動型防振装置１０は、中心軸Ｏを中心として実質的に左右対称の構造を有しており、上部ハウジング１１ａと下部ハウジング１１ｂとを有し、下部ハウジング１１ｂの内側に、可動機構を収容するアクチュエータボディ１１を備えている。そして、アクチュエータボディ１１には、中心軸Ｏ上に挿通孔２１を形成する有底円筒状の固定側ヨーク２０とコイル３０とが固定されており、また、固定側ヨーク２０の挿通孔２１に挿通されるようにして、中心軸Ｏに沿って変位駆動される可動部４０が配置されている。可動部４０には、円柱状の可動側ヨーク５０が設けられており、可動側ヨーク５０は、固定側ヨーク２０の底部２４に設けられた円形の通孔２４ａ（図２（ａ）（ｂ）参照）に、磁気ギャップＧを有して挿通配置された構成となっている。 As shown in FIG. 1, the active vibration isolator 10 has a structure that is substantially symmetrical about a central axis O, and has an upper housing 11a and a lower housing 11b. An actuator body 11 that houses a movable mechanism is provided inside. The actuator body 11 is fixed with a bottomed cylindrical fixed yoke 20 and a coil 30 that form an insertion hole 21 on the central axis O, and is inserted into the insertion hole 21 of the fixed yoke 20. In this manner, the movable portion 40 that is driven to be displaced along the central axis O is disposed. The movable portion 40 is provided with a columnar movable side yoke 50. The movable side yoke 50 is a circular through hole 24a provided in the bottom 24 of the fixed side yoke 20 (FIGS. 2A and 2B). (See FIG. 4), the magnetic gap G is inserted and arranged.

（各部の構成）
以下、能動型防振装置１０の各部について説明する。
上部ハウジング１１ａの上部内側には、上部ハウジング１１ａの上方へ向けて膨出し、可撓性膜として機能するダイヤフラム１６の下部１６ｂが加硫接着されている。
上部ハウジング１１ａ内には、円環状の第１弾性体支持部材１２と、円板状の第２弾性体支持部材１３とが格納されている。 (Configuration of each part)
Hereinafter, each part of the active vibration isolator 10 will be described.
A lower portion 16b of the diaphragm 16 that bulges upward from the upper housing 11a and functions as a flexible film is vulcanized and bonded to the upper inner side of the upper housing 11a.
An annular first elastic body support member 12 and a disk-shaped second elastic body support member 13 are stored in the upper housing 11a.

第１弾性体支持部材１２の上側には、厚肉のラバーで形成された第１弾性体１４の下端１４ａが加硫接着により接続されている。第１弾性体１４は、略円錐状を呈しており、頂部となる部分が凹状に形成されて、この凹状とされた凹状部１４ｂに支持ボス１５が加硫接着により固定されている。さらに、支持ボス１５の上面には、ダイヤフラム支持ボス１５ａがボルト１５ｂで固定されており、このダイヤフラム支持ボス１５ａの周部には、ダイヤフラム１６の上端部１６ａが加硫接着されている。
ダイヤフラム支持ボス１５ａの上面には、エンジン取付部（作用点）１５ｃが一体に立設されており、このエンジン取付部１５ｃに図示しないエンジンが固定されて支承されるようになっている。 On the upper side of the first elastic body support member 12, a lower end 14a of a first elastic body 14 formed of a thick rubber is connected by vulcanization adhesion. The first elastic body 14 has a substantially conical shape, a top portion is formed in a concave shape, and a support boss 15 is fixed to the concave portion 14b by the vulcanization adhesion. Further, a diaphragm support boss 15a is fixed to the upper surface of the support boss 15 with bolts 15b, and an upper end portion 16a of the diaphragm 16 is vulcanized and bonded to a peripheral portion of the diaphragm support boss 15a.
On the upper surface of the diaphragm support boss 15a, an engine attachment portion (operation point) 15c is integrally provided, and an engine (not shown) is fixed and supported on the engine attachment portion 15c.

上部ハウジング１１ａの上端には、フランジ部１１１が形成されており、このフランジ部１１１には、断面ハット状のストッパ部材１７のフランジ部１７ａがボルト１７ｂと図示しないナットによって固定されるようになっている。
また、ストッパ部材１７の上部内面には、エンジン取付部１５ｃに対向するようにストッパラバー１７ｃが突設されている。このストッパラバー１７ｃには、エンジン取付部１５ｃが当接可能であり、図示しないエンジンから大きな荷重が入力された場合に、エンジン取付部１５ｃが当接することでエンジンの過大な変位が抑制されるようになっている。 A flange portion 111 is formed at the upper end of the upper housing 11a, and a flange portion 17a of a stopper member 17 having a hat-shaped cross section is fixed to the flange portion 111 by a bolt 17b and a nut (not shown). Yes.
Further, a stopper rubber 17c projects from the upper inner surface of the stopper member 17 so as to face the engine mounting portion 15c. The stopper rubber 17c can abut the engine mounting portion 15c. When a large load is input from an engine (not shown), the engine mounting portion 15c abuts so that excessive displacement of the engine is suppressed. It has become.

第２弾性体支持部材１３の内周面には、膜状のラバーで形成された第２弾性体１８の外周部が加硫接着により接合されており、第２弾性体１８の中央部にその上部が埋め込まれるようにして可動部４０の可動部材４０Ａが加硫接着により接合されている。 The outer peripheral portion of the second elastic body 18 formed of a film-like rubber is joined to the inner peripheral surface of the second elastic body supporting member 13 by vulcanization adhesion, and the second elastic body 18 is connected to the central portion of the second elastic body 18. The movable member 40A of the movable part 40 is joined by vulcanization adhesion so that the upper part is embedded.

そして、第１弾性体支持部材１２の周部と第２弾性体支持部材１３の周部との間には、円板状の隔壁部材１９が後記する上部ハウジング１１ａの加締めにより挟持されて固定されている。隔壁部材１９は、第１弾性体１４（第１弾性体支持部材１２）側に形成される第１液室Ｓ１と、第２弾性体１８側に形成される第２液室Ｓ２とを仕切っており、これらの第１液室Ｓ１と第２液室Ｓ２とは、隔壁部材１９の中央部に開口形成された連通孔１９ａを通じて相互に連通している。
また、第１弾性体支持部材１２と上部ハウジング１１ａ（ダイヤフラム１６）との間には、環状の連通路Ｒが形成されている。この連通路Ｒは、図示しない連通孔を介して第１液室Ｓ１に連通するとともに、図示しない連通間隙を介して第１弾性体１４とダイヤフラム１６で区画された第３液室Ｓ３に連通している。 A disk-shaped partition wall member 19 is sandwiched and fixed between the peripheral portion of the first elastic body support member 12 and the peripheral portion of the second elastic body support member 13 by caulking the upper housing 11a described later. Has been. The partition member 19 partitions the first liquid chamber S1 formed on the first elastic body 14 (first elastic body support member 12) side and the second liquid chamber S2 formed on the second elastic body 18 side. The first liquid chamber S1 and the second liquid chamber S2 are in communication with each other through a communication hole 19a formed in the central portion of the partition wall member 19.
An annular communication path R is formed between the first elastic body support member 12 and the upper housing 11a (diaphragm 16). The communication path R communicates with the first liquid chamber S1 through a communication hole (not shown), and communicates with a third liquid chamber S3 defined by the first elastic body 14 and the diaphragm 16 through a communication gap (not shown). ing.

上部ハウジング１１ａの下部には、環状断面が略コ字形状の膨出部１１２が形成されており、この膨出部１１２内に各部の縁部が収容されて加締めにより結合されている。具体的には、下部ハウジング１１ｂの上端のフランジ部１２１と、アクチュエータボディ１１のフランジ部１３１と、第２弾性体支持部材１３のフランジ部１３ａと、第１弾性体支持部材１２のフランジ部１２ａとが、膨出部１１２内に収容されて結合されている。ここで、アクチュエータボディ１１のフランジ部１３１と、第２弾性体支持部材１３のフランジ部１３ａとの間には、薄肉のラバーで形成された弾性部材１８ａが介在されている。 A bulging portion 112 having a substantially U-shaped annular cross section is formed in the lower portion of the upper housing 11a, and the edge portions of the respective portions are accommodated in the bulging portion 112 and coupled by caulking. Specifically, the flange portion 121 at the upper end of the lower housing 11b, the flange portion 131 of the actuator body 11, the flange portion 13a of the second elastic body support member 13, and the flange portion 12a of the first elastic body support member 12 Are accommodated in and coupled to the bulging portion 112. Here, between the flange portion 131 of the actuator body 11 and the flange portion 13a of the second elastic body support member 13, an elastic member 18a formed of a thin rubber is interposed.

下部ハウジング１１ｂは、上端開口部にフランジ部１２１を有しており、このフランジ部１２１が、前記したように、アクチュエータボディ１１のフランジ部１３１等とともに上部ハウジング１１ａの膨出部１１２に対して加締めにより固定されている。また、下部ハウジング１１ｂの下端開口部には取付板部１２２が形成されており、この取付板部１２２に対して複数の取付用孔１２３（図２（ａ）参照）が形成されている。複数の取付用孔１２３には、図示しない車体フレーム等への固定用ボルトが挿通される。 The lower housing 11b has a flange portion 121 at the upper end opening, and this flange portion 121 is added to the bulging portion 112 of the upper housing 11a together with the flange portion 131 and the like of the actuator body 11 as described above. It is fixed by tightening. A mounting plate portion 122 is formed at the lower end opening of the lower housing 11b, and a plurality of mounting holes 123 (see FIG. 2A) are formed in the mounting plate portion 122. A plurality of mounting holes 123 are inserted through fixing bolts to a vehicle body frame (not shown).

（アクチュエータボディ）
アクチュエータボディ１１は、上面が開放した略カップ状を呈しており、下部ハウジング１１ｂの内側に収容されている。アクチュエータボディ１１は、上端開口部にフランジ部１３１を有しており、このフランジ部１３１が、前記したように、下部ハウジング１１ｂのフランジ部１２１等とともに上部ハウジング１１ａの膨出部１１２に対して加締めにより固定されている。 (Actuator body)
The actuator body 11 has a substantially cup shape with an open upper surface, and is accommodated inside the lower housing 11b. The actuator body 11 has a flange portion 131 at the upper end opening. As described above, the flange portion 131 is added to the bulging portion 112 of the upper housing 11a together with the flange portion 121 and the like of the lower housing 11b. It is fixed by tightening.

アクチュエータボディ１１の上部内面には、２つの段部１３２，１３３（図２参照）が周状に形成されている。２つの段部１３２，１３３のうち下側に形成された段部１３２には、固定側ヨーク２０のフランジ部２２の周縁部が載置可能であり、また、段部１３２よりも上側となる開口側に形成された段部１３３には、第２板ばね６２の周縁部が載置可能である。
また、アクチュエータボディ１１の底部には、中心軸Ｏ周りに円形の開口部１３４ａが形成されている。この開口部１３４ａは、可動部４０の組み付け時に、部品（固定部材４６等）を挿入したり工具を挿入したりするための作業孔として機能する。開口部１３４ａの開口縁には、略円板形状の蓋金具１３４が重ね合わせられて固定されている。これにより、アクチュエータボディ１１の底部の開口部１３４ａが蓋金具１３４で流体密に覆蓋されて、アクチュエータボディ１１の内部空間が、外部に対して密閉されている。 Two step portions 132 and 133 (see FIG. 2) are formed on the inner surface of the actuator body 11 in a circumferential shape. The peripheral portion of the flange portion 22 of the fixed side yoke 20 can be placed on the step portion 132 formed on the lower side of the two step portions 132 and 133, and the opening on the upper side of the step portion 132. The peripheral portion of the second leaf spring 62 can be placed on the step portion 133 formed on the side.
A circular opening 134 a is formed around the central axis O at the bottom of the actuator body 11. The opening 134a functions as a work hole for inserting a component (such as the fixed member 46) or inserting a tool when the movable unit 40 is assembled. A substantially disc-shaped lid fitting 134 is overlapped and fixed to the opening edge of the opening 134a. As a result, the opening 134a at the bottom of the actuator body 11 is covered with the lid fitting 134 in a fluid-tight manner, and the internal space of the actuator body 11 is sealed from the outside.

また、アクチュエータボディ１１の底部２４の内面には、第１板ばね６１を固定するための環状の取付部１３５が突設されている。第１板ばね６１は、取付部１３５に載置され、その上からボルト１３７によって固定される環状の保持部材１３６で取付部１３５に固定される。 Further, an annular attachment portion 135 for fixing the first leaf spring 61 projects from the inner surface of the bottom portion 24 of the actuator body 11. The first leaf spring 61 is mounted on the attachment portion 135 and is fixed to the attachment portion 135 by an annular holding member 136 fixed by a bolt 137 from above.

次に、アクチュエータボディ１１内に構成される可動機構の詳細構造について説明する。
可動機構は、アクチュエータボディ１１側に固定側ヨーク２０およびコイル３０を備え、可動部４０側に、可動部材４０Ａ、可動側ヨーク５０、磁石７０等を備えている。そして、中心軸Ｏ上に沿って可動部４０を弾性支持させるための第１板ばね６１および第２板ばね６２を備えている。 Next, a detailed structure of the movable mechanism configured in the actuator body 11 will be described.
The movable mechanism includes a fixed yoke 20 and a coil 30 on the actuator body 11 side, and includes a movable member 40A, a movable yoke 50, a magnet 70, and the like on the movable portion 40 side. And the 1st leaf | plate spring 61 and the 2nd leaf | plate spring 62 for elastically supporting the movable part 40 along the central axis O are provided.

固定側ヨーク２０は、前記したように、中心軸Ｏ上に挿通孔２１を形成する有底円筒状を呈しており、フランジ部２２と、胴部２３と、底部２４とを有している。
フランジ部２２は、径方向の外側に向けて張り出しており、その周縁部は、アクチュエータボディ１１の上部内面に形成された段部１３２に載置可能である。ここで、フランジ部２２の上面には、コイル取付部材３１のフランジ部３１ａが載置可能であり、固定側ヨーク２０のフランジ部２２は、コイル取付部材３１のフランジ部３１ａとともに、段部１３２に対して固定される状態となる。 As described above, the fixed-side yoke 20 has a bottomed cylindrical shape that forms the insertion hole 21 on the central axis O, and has a flange portion 22, a trunk portion 23, and a bottom portion 24.
The flange portion 22 projects outward in the radial direction, and the peripheral edge portion thereof can be placed on a step portion 132 formed on the upper inner surface of the actuator body 11. Here, the flange portion 31 a of the coil attachment member 31 can be placed on the upper surface of the flange portion 22, and the flange portion 22 of the fixed side yoke 20 is formed on the step portion 132 together with the flange portion 31 a of the coil attachment member 31. It will be in the state where it is fixed to.

胴部２３は、円筒状を呈しており、中心軸Ｏ上に可動部材４０Ａが挿通配置される挿通孔２１を形成している。胴部２３の内側には、胴部２３の内面から間隔を空けてコイル３０が収容されている。 The body portion 23 has a cylindrical shape and forms an insertion hole 21 on the central axis O into which the movable member 40A is inserted. A coil 30 is accommodated inside the trunk portion 23 with a gap from the inner surface of the trunk portion 23.

底部２４には、円形状の通孔２４ａが設けられており、この通孔２４ａには、可動側ヨーク５０の下端部が、磁気ギャップＧを有して挿通配置されている。つまり、固定側ヨーク２０と可動側ヨーク５０とは分割されて別体とされており、可動側ヨーク５０は、固定側ヨーク２０の底部２４に設けられた通孔２４ａとの間で、磁気ギャップＧを有して挿通配置されている。 The bottom portion 24 is provided with a circular through hole 24a. The lower end portion of the movable yoke 50 is inserted into the through hole 24a with a magnetic gap G. That is, the fixed-side yoke 20 and the movable-side yoke 50 are separated and separated, and the movable-side yoke 50 has a magnetic gap between the fixed-side yoke 20 and the through hole 24 a provided in the bottom 24. G is inserted and arranged.

コイル３０は、環状断面が略コ字形状を呈する非磁性材（例えば合成樹脂材等）のボビン３２に巻回されており、円環状のコイル取付部材３１にボビン３２が保持されて、固定側ヨーク２０の胴部２３の内側に配置されている。なお、ボビン３２が設けられていないボビンレス構造によってコイル３０を構成してもよい。
本実施形態では、固定側ヨーク２０と可動側ヨーク５０との間に、コイル３０が配置されるように構成されている。
コイル取付部材３１の上端部にはフランジ部３１ａが形成されており、このフランジ部３１ａは、固定側ヨーク２０のフランジ部２２の上面に密着するようにして載置され、固定側ヨーク２０のフランジ部２２を介してアクチュエータボディ１１の段部１３２に載置されるようになっている。
なお、コイル取付部材３１のフランジ部３１ａは、その上面に載置される円環状のスペース部材３３と第２板ばね６２とを介して、アクチュエータボディ１１の開口に圧入固定される円環状の固定リング２５によって脱落不能に取り付けられている。 The coil 30 is wound around a bobbin 32 of a non-magnetic material (for example, a synthetic resin material) having a substantially U-shaped annular cross section, and the bobbin 32 is held by an annular coil mounting member 31 so that the fixed side The yoke 20 is disposed inside the trunk portion 23. Note that the coil 30 may be configured by a bobbinless structure in which the bobbin 32 is not provided.
In the present embodiment, the coil 30 is arranged between the fixed side yoke 20 and the movable side yoke 50.
A flange portion 31 a is formed at the upper end portion of the coil attachment member 31, and this flange portion 31 a is placed so as to be in close contact with the upper surface of the flange portion 22 of the fixed side yoke 20. It is placed on the stepped portion 132 of the actuator body 11 via the portion 22.
The flange portion 31a of the coil mounting member 31 is an annular fixed member that is press-fitted and fixed to the opening of the actuator body 11 via an annular space member 33 placed on the upper surface of the coil mounting member 31 and the second leaf spring 62. The ring 25 is attached so as not to fall off.

本実施形態では、固定側ヨーク２０の底部２４の内周面は、コイル３０の径方向においてコイル３０の内面よりも内側に位置しており、対向面となる可動側ヨーク５０の下部の外周面に近付いた状態とされている。これによって、固定側ヨーク２０と可動側ヨーク５０との磁束の流れがスムーズになるようにされている。 In the present embodiment, the inner peripheral surface of the bottom portion 24 of the fixed side yoke 20 is located on the inner side of the inner surface of the coil 30 in the radial direction of the coil 30, and the outer peripheral surface of the lower portion of the movable side yoke 50 that becomes the opposing surface. It is said that the state is approaching. As a result, the flow of magnetic flux between the fixed side yoke 20 and the movable side yoke 50 is made smooth.

ここで、固定側ヨーク２０には、胴部２３と底部２４との角部に開口部２６が形成されており、また、フランジ部２２の一部に開口部２２ａが形成されている。開口部２６には、アクチュエータボディ１１の側壁に取り付けられるコネクタ１３８の接続端子１３８ａが挿入可能であり、接続端子１３８ａとコイル３０のボビン３２に設けられた接続部３２ａとが開口部２６を通じて電気的に接続されるようになっている。
また、開口部２２ａおよび貫通孔２２ｂは、電気的接続を行うための工具挿入孔として機能する。なお、コイル取付部材３１のフランジ部３１ａには、固定側ヨーク２０の開口部２２ａに対応して、同様の大きさの開口部３１ｂが形成されている。 Here, in the fixed side yoke 20, an opening portion 26 is formed at a corner portion of the body portion 23 and the bottom portion 24, and an opening portion 22 a is formed in a part of the flange portion 22. A connection terminal 138 a of a connector 138 attached to the side wall of the actuator body 11 can be inserted into the opening 26, and the connection terminal 138 a and the connection part 32 a provided on the bobbin 32 of the coil 30 are electrically connected through the opening 26. To be connected to.
The opening 22a and the through hole 22b function as a tool insertion hole for electrical connection. The flange 31 a of the coil attachment member 31 has an opening 31 b having the same size corresponding to the opening 22 a of the fixed side yoke 20.

可動部材４０Ａは、第２弾性体１８の中央部に埋め込まれるように加硫接着された環状連結部４１と、この環状連結部４１の下部に一体的に設けられた駆動軸４３とを備えている。環状連結部４１は、その外周縁部が上方に向かって突出しており、中央部分が凹状とされて隔壁部材１９との間に第２液室Ｓ２の容積を確保している。
駆動軸４３は、その軸線が中心軸Ｏに一致しており、その基端部４２が、駆動軸４３よりも大径とされている。駆動軸４３には可動側ヨーク５０が装着されており、先端部分には雄ねじ部４３ａが形成されている。なお、可動部材４０Ａは、環状連結部４１や駆動軸４３を含んで、金属や合成樹脂等の硬質材で一体成形されている。 The movable member 40 A includes an annular coupling portion 41 that is vulcanized and bonded so as to be embedded in the central portion of the second elastic body 18, and a drive shaft 43 that is integrally provided at a lower portion of the annular coupling portion 41. Yes. The outer peripheral edge of the annular connecting portion 41 protrudes upward, and the central portion is recessed to ensure the volume of the second liquid chamber S 2 with the partition wall member 19.
The axis of the drive shaft 43 coincides with the central axis O, and the base end portion 42 has a larger diameter than the drive shaft 43. A movable yoke 50 is attached to the drive shaft 43, and a male screw portion 43a is formed at the tip portion. The movable member 40A includes the annular coupling portion 41 and the drive shaft 43, and is integrally formed of a hard material such as metal or synthetic resin.

可動側ヨーク５０は、図２（ａ）に示すように、外周面に段付き部５３ｃを有して上部側が小径とされ、下部側が大径とされた段付き円筒形状とされており、上部側に、磁石ホルダ７１に装着された磁石７０が取り付けられている。
また、可動側ヨーク５０の上部内周部５３ａおよび下部内周部５３ｂは、それぞれの内径が駆動軸４３の外径よりも大径とされており、これによって、駆動軸４３の外周面との間に円筒状の空間部をそれぞれ形成している。この空間部を利用して、上部内周部５３ａの内側には、磁石固定部材５４ｂおよび第２板ばね６２を固定するための固定部材４５が圧入固定されるようになっており、また、下部内周部５３ｂの内側には、第１板ばね６１を固定するための固定部材４６が圧入固定されるようになっている。 As shown in FIG. 2 (a), the movable side yoke 50 has a stepped portion 53c on the outer peripheral surface and has a stepped cylindrical shape with a small diameter on the upper side and a large diameter on the lower side. A magnet 70 attached to the magnet holder 71 is attached to the side.
Further, the inner diameter of the upper inner peripheral portion 53 a and the lower inner peripheral portion 53 b of the movable side yoke 50 is set to be larger than the outer diameter of the drive shaft 43. Cylindrical spaces are formed between them. Using this space portion, a fixing member 45 for fixing the magnet fixing member 54b and the second leaf spring 62 is press-fitted and fixed inside the upper inner peripheral portion 53a. A fixing member 46 for fixing the first leaf spring 61 is press-fitted and fixed inside the inner peripheral portion 53b.

磁石７０は、図３（ａ）に示すように、周方向に分割された複数の磁石体７０ａからなり、環状断面が略Ｌ字形状の磁石ホルダ７１（図６（ａ）参照）に嵌入されて保持されることで円環状に連続した一つの磁石として構成されている。
本実施形態では、計８個の磁石体７０ａによって磁石７０を構成しており、各磁石体７０ａは、軸方向から見て略扇形状に形成されている。
ここで、隣接する磁石体７０ａ同士の隣接する面の磁極は同一になっており、隣接する磁石体７０ａ同士で互いに反発するように設定されている。これによって、各磁石体７０ａは、磁石７０の周方向に反発し合い、磁石７０の中心から径方向に拡がるようにして、磁石ホルダ７１（図６（ａ）参照）の内周面に各磁石体７０ａの外周面７０ｂが当接するようになっている。
図３（ｂ）は各磁石体７０ａの着磁方向を矢印で示した図であり、同図に示すように、内周面側から外周面側へ向けた着磁方向を呈している。この場合、磁石７０が複数の磁石体７０ａから構成されていることによって、各磁石体７０ａの着磁方向が径方向に好適に向いた状態となっている。
なお、磁石体７０ａは、例えば周方向に３個以上で一つの磁石７０を構成することによって、着磁方向のバラツキを軽減しつつ、着磁方向が径方向に好適に向いた状態にすることができる。 As shown in FIG. 3 (a), the magnet 70 is composed of a plurality of magnet bodies 70a divided in the circumferential direction, and is fitted into a magnet holder 71 (see FIG. 6 (a)) having a substantially L-shaped annular cross section. It is configured as a single magnet that is continuous in an annular shape.
In the present embodiment, a total of eight magnet bodies 70a constitute the magnet 70, and each magnet body 70a is formed in a substantially fan shape when viewed from the axial direction.
Here, the magnetic poles of the adjacent surfaces of the adjacent magnet bodies 70a are the same, and are set so as to repel each other between the adjacent magnet bodies 70a. As a result, the magnet bodies 70a repel each other in the circumferential direction of the magnet 70 and spread in the radial direction from the center of the magnet 70, so that each magnet 70a (see FIG. 6A) is placed on the inner circumferential surface of the magnet holder 71 (see FIG. 6A). The outer peripheral surface 70b of the body 70a comes into contact.
FIG. 3B is a diagram showing the magnetization direction of each magnet body 70a with an arrow, and as shown in FIG. 3, the magnetization direction is directed from the inner peripheral surface side to the outer peripheral surface side. In this case, the magnet 70 is composed of a plurality of magnet bodies 70a, so that the magnetization direction of each magnet body 70a is suitably oriented in the radial direction.
In addition, the magnet body 70a is composed of, for example, three or more magnets 70 in the circumferential direction so that the magnetization direction is preferably oriented in the radial direction while reducing variations in the magnetization direction. Can do.

このような磁石７０は、例えば着磁前に磁石ホルダ７１に装着されて可動側ヨーク５０の上部側に装着される（図６（ｂ）参照）。可動側ヨーク５０に磁石７０が装着された状態で、磁石７０の上端面には、図２（ａ）に示すように、円板状の磁石押さえ板７３が載置されるとともに、この磁石押さえ板７３の上面に皿ばね７４が載置され、これらの磁石押さえ板７３および皿ばね７４を介して磁石固定部材５４が可動側ヨーク５０の上部内周部５３ａに圧入固定される。
これにより磁石７０は、皿ばね７４の付勢力によって、可動側ヨーク５０の外周面の段付き部５３ｃに下端部（磁石ホルダ７１の下端部）が当接される状態に、可動側ヨーク５０の上部側に装着される。
これらの磁石押さえ板７３、皿ばね７４および磁石固定部材５４は、非磁性材料、例えば、ステンレス鋼で形成されている。 Such a magnet 70 is, for example, attached to the magnet holder 71 before magnetization and attached to the upper side of the movable yoke 50 (see FIG. 6B). With the magnet 70 mounted on the movable yoke 50, a disc-shaped magnet pressing plate 73 is placed on the upper end surface of the magnet 70 as shown in FIG. A disc spring 74 is placed on the upper surface of the plate 73, and the magnet fixing member 54 is press-fitted and fixed to the upper inner peripheral portion 53 a of the movable yoke 50 through the magnet pressing plate 73 and the disc spring 74.
As a result, the magnet 70 has the lower end (the lower end of the magnet holder 71) in contact with the stepped portion 53 c on the outer peripheral surface of the movable yoke 50 by the biasing force of the disc spring 74. Mounted on the upper side.
The magnet pressing plate 73, the disc spring 74, and the magnet fixing member 54 are made of a nonmagnetic material, for example, stainless steel.

（第１板ばね、第２板ばね）
第１板ばね６１および第２板ばね６２は、いずれも、薄肉とされた円環板状を呈しており、ばね弾性をもって可動側ヨーク５０（可動部材４０Ａ）を中心軸Ｏに沿う上下方向に変位可能に弾性支持している。
第１板ばね６１は、図２（ａ）に示すように、アクチュエータボディ１１の底部に突設された環状の取付部１３５に周縁部が固定されており、中央部に形成された貫通孔６１ａ（図８（ｂ）参照、以下同じ）に下方向から挿通される断面ハット状の固定部材４６で、中央部が可動側ヨーク５０の下端５２に固定されて可動側ヨーク５０の下端部を保持している。 (First leaf spring, second leaf spring)
Each of the first leaf spring 61 and the second leaf spring 62 has a thin annular plate shape, and the movable side yoke 50 (movable member 40A) is moved in the vertical direction along the central axis O with spring elasticity. It is elastically supported so that it can be displaced.
As shown in FIG. 2A, the first leaf spring 61 has a peripheral edge fixed to an annular mounting portion 135 projecting from the bottom of the actuator body 11, and a through hole 61a formed in the center. A fixing member 46 having a hat-shaped cross section that is inserted from below in a downward direction (see FIG. 8B, the same applies hereinafter), and the central portion is fixed to the lower end 52 of the movable yoke 50 to hold the lower end of the movable yoke 50. doing.

固定部材４６は、胴部４６ａと、これに連続するフランジ部４６ｂとを有している。胴部４６ａは、第１板ばね６１の貫通孔６１ａに挿通可能で、かつ、可動側ヨーク５０の下部内周部５３ｂに圧入固定可能である。フランジ部４６ｂは、第１板ばね６１の貫通孔６１ａの内径よりも大径とされており、貫通孔６１ａの孔縁に当接して、可動側ヨーク５０の下端部との間に第１板ばね６１の中央部を挟持するようになっている。 The fixing member 46 has a trunk portion 46a and a flange portion 46b continuous therewith. The body portion 46 a can be inserted into the through hole 61 a of the first plate spring 61 and can be press-fitted and fixed to the lower inner peripheral portion 53 b of the movable yoke 50. The flange portion 46 b is larger in diameter than the inner diameter of the through hole 61 a of the first plate spring 61, contacts the hole edge of the through hole 61 a, and is between the lower end portion of the movable side yoke 50 and the first plate. The center part of the spring 61 is clamped.

また、第２板ばね６２は、アクチュエータボディ１１の上部内面に形成された段部１３３に周縁部が載置されて固定リング２５で固定されており、中央部に形成された貫通孔６２ａ（図８（ｂ）参照）に上方向から挿通される断面ハット状の固定部材４５で、中央部が可動側ヨーク５０の上端部に固定されて可動側ヨーク５０の上端部を保持している。 The second leaf spring 62 has a peripheral portion placed on a stepped portion 133 formed on the upper inner surface of the actuator body 11 and fixed by a fixing ring 25, and a through hole 62a (see FIG. 8 (b)), the fixing member 45 having a hat-shaped cross section is inserted from above, and the center portion is fixed to the upper end portion of the movable yoke 50 to hold the upper end portion of the movable yoke 50.

固定リング２５は、第２板ばね６２の周縁部を押さえる湾曲状の押さえ部２５ａと、アクチュエータボディ１１の開口内周部に圧入固定される圧入部２５ｂとを有している。
なお、押さえ部２５ａは、湾曲状とされているので、第２板ばね６２の弾性変形を許容しつつ第２板ばね６２の周縁部を好適に押さえることができる。 The fixing ring 25 includes a curved pressing portion 25 a that presses the peripheral edge of the second leaf spring 62, and a press-fit portion 25 b that is press-fitted and fixed to the inner periphery of the opening of the actuator body 11.
In addition, since the holding | suppressing part 25a is made into the curved shape, it can hold | suppress the peripheral part of the 2nd leaf | plate spring 62 suitably, accept | permitting the elastic deformation of the 2nd leaf | plate spring 62. FIG.

このような第１板ばね６１および第２板ばね６２で保持された可動側ヨーク５０には、可動部材４０Ａの駆動軸４３が上方から挿入され、駆動軸４３の先端部に形成された雄ねじ部４３ａにナット４４を螺合することで、可動部材４０Ａが固定される。このとき、可動側ヨーク５０の上端部に固定された固定部材４５のフランジ部４５ｂの上面に、可動部材４０Ａの基端部４２の下面が当接して、可動部材４０Ａと可動側ヨーク５０とが位置決めされる。
なお、可動部材４０Ａは、その上部が第２弾性体１８の中央部に埋め込まれるように接着されているので、可動側ヨーク５０に可動部材４０Ａの駆動軸４３を挿通する際には、第２弾性体１８が加硫接着される第２弾性体支持部材１３を把持して挿通作業を行うことができる。
また、可動側ヨーク５０の上端側を支持している第２板ばね６２は、第１板ばね６１よりも大径とされている。 The movable side yoke 50 held by the first plate spring 61 and the second plate spring 62 is inserted with the drive shaft 43 of the movable member 40A from above, and has a male thread formed at the tip of the drive shaft 43. 40A of movable members are fixed by screwing the nut 44 in 43a. At this time, the lower surface of the base end portion 42 of the movable member 40A comes into contact with the upper surface of the flange portion 45b of the fixed member 45 fixed to the upper end portion of the movable side yoke 50, so that the movable member 40A and the movable side yoke 50 are connected. Positioned.
Since the upper part of the movable member 40A is bonded so as to be embedded in the central part of the second elastic body 18, when the drive shaft 43 of the movable member 40A is inserted into the movable side yoke 50, the second member The second elastic body support member 13 to which the elastic body 18 is vulcanized and bonded can be gripped to perform the insertion operation.
The second leaf spring 62 that supports the upper end side of the movable yoke 50 has a larger diameter than the first leaf spring 61.

ここで、可動側ヨーク５０の下部は、第１板ばね６１および第２板ばね６２に保持された状態で、固定側ヨーク２０の底部２４に設けられた通孔２４ａに、磁気ギャップＧを有して挿通配置されている。
具体的に、可動側ヨーク５０は、図５（ｃ）に示すように、可動部４０が変位した際の一方の変位終端となる上端位置（図５（ａ）参照）から可動部４０が変位した際の他方の変位終端となる下端位置（図５（ｂ）参照）までの間において、可動側ヨーク５０の水平下端面の延長上に位置する角部５１が、固定側ヨーク２０の底部２４の水平下面２４ｂよりも下側となるようにされている。
つまり、上端位置（図５（ａ）参照）から下端位置（図５（ｂ）参照）までの間において、可動側ヨーク５０の角部５１が固定側ヨーク２０の底部２４から外れることがなく、底部２４の内周面全体が常に可動側ヨーク５０の下部の外周面に対向して、磁気ギャップＧが一定に保持されるように構成されている。 Here, the lower part of the movable yoke 50 is held by the first plate spring 61 and the second plate spring 62 and has a magnetic gap G in the through hole 24 a provided in the bottom 24 of the fixed side yoke 20. And is placed through.
Specifically, as shown in FIG. 5 (c), the movable side yoke 50 is displaced from the upper end position (see FIG. 5 (a)), which is one end of displacement when the movable unit 40 is displaced. The corner 51 located on the extension of the horizontal lower end surface of the movable yoke 50 is the bottom 24 of the fixed yoke 20 until the lower end position (refer to FIG. It is made to be below the horizontal lower surface 24b.
That is, between the upper end position (see FIG. 5A) and the lower end position (see FIG. 5B), the corner 51 of the movable yoke 50 does not come off from the bottom 24 of the fixed yoke 20, The entire inner peripheral surface of the bottom 24 is always opposed to the lower outer peripheral surface of the movable yoke 50 so that the magnetic gap G is held constant.

以上説明した能動型防振装置１０において、コネクタ１３８を介してコイル３０に外部電源から通電されると、図４に示すように、磁石７０と固定側ヨーク２０と可動側ヨーク５０とによって形成された磁路、すなわち、磁界の中に配置されたコイル３０に電流が流れることになるので、固定されたコイル３０に対してローレンツ力が作用し、その反力として可動部４０に加振力が発生する。
そして、この発生した加振力によって、可動側ヨーク５０や磁石７０を備えた可動部４０が、コイル３０や固定側ヨーク２０に対して変位駆動される。その結果、かかる変位駆動に基づく加振力が第１液室Ｓ１に封入された非圧縮性流体に作用し、図示しないエンジンを介して入力される振動が能動的にあるいは相殺的に低減されるようになっている。
なお、コイル３０に通電する電流（または電圧）は、問題となる振動の周波数に応じて制御された交流であってもよいし、所定の周期でＯＮ／ＯＦＦ制御される直流であってもよい。 In the active vibration isolator 10 described above, when the coil 30 is energized from the external power source via the connector 138, it is formed by the magnet 70, the fixed yoke 20 and the movable yoke 50 as shown in FIG. Since the current flows through the coil 30 arranged in the magnetic path, that is, the magnetic field, a Lorentz force acts on the fixed coil 30, and an excitation force is applied to the movable portion 40 as a reaction force. Occur.
The movable portion 40 including the movable yoke 50 and the magnet 70 is displaced and driven with respect to the coil 30 and the fixed yoke 20 by the generated excitation force. As a result, the excitation force based on such displacement drive acts on the incompressible fluid sealed in the first liquid chamber S1, and vibrations input through an engine (not shown) are reduced actively or in an offset manner. It is like that.
Note that the current (or voltage) applied to the coil 30 may be an alternating current controlled according to the frequency of the vibration in question, or a direct current that is ON / OFF controlled at a predetermined cycle. .

ここで、可動部４０が下方へ向けて変位駆動されると、第２弾性体１８が下向きに変形する。その結果、第２液室Ｓ２の容積が増加するため、エンジン側からの押し荷重で圧縮された第１液室Ｓ１の非圧縮性流体が隔壁部材１９の連通孔１９ａを通過して第２液室Ｓ２に流入する。これによって、エンジン側から車体側に伝達される荷重を低減することができる。 Here, when the movable portion 40 is driven to move downward, the second elastic body 18 is deformed downward. As a result, since the volume of the second liquid chamber S2 increases, the incompressible fluid in the first liquid chamber S1 compressed by the pushing load from the engine side passes through the communication hole 19a of the partition wall member 19 and passes through the second liquid chamber S2. It flows into chamber S2. Thereby, the load transmitted from the engine side to the vehicle body side can be reduced.

逆に、可動部４０が上方へ向けて変位駆動されると、第２弾性体１８が上向きに変形するので、第２液室Ｓ２の容積が減少する。このため、第２液室Ｓ２の非圧縮性流体が隔壁部材１９の連通孔１９ａを通過してエンジン側からの引き荷重で減圧された第１液室Ｓ１へ流入する。これによって、エンジン側から車体側に伝達される荷重を低減することができる。 On the contrary, when the movable part 40 is driven to be displaced upward, the second elastic body 18 is deformed upward, so that the volume of the second liquid chamber S2 is reduced. For this reason, the incompressible fluid in the second liquid chamber S2 passes through the communication hole 19a of the partition wall member 19 and flows into the first liquid chamber S1 decompressed by the pulling load from the engine side. Thereby, the load transmitted from the engine side to the vehicle body side can be reduced.

次に、可動機構の組み付け手順について説明する。
はじめに、可動側ヨーク５０への磁石７０の組み付けについて説明し、後に、アクチュエータボディ１１への各部材の組み付けについて説明する。
まず、可動側ヨーク５０へ磁石７０を取り付けるに先立って、磁石ホルダ７１に各磁石体７０ａを円環状に収容し、磁石７０を構成する。 Next, a procedure for assembling the movable mechanism will be described.
First, the assembly of the magnet 70 to the movable yoke 50 will be described, and the assembly of each member to the actuator body 11 will be described later.
First, before attaching the magnet 70 to the movable yoke 50, each magnet body 70 a is accommodated in an annular shape in the magnet holder 71 to constitute the magnet 70.

その後、図６（ａ）に示すように、磁石７０を収容した磁石ホルダ７１を可動側ヨーク５０の上部側に装着し、可動側ヨーク５０の外周面の段付き部５３ｃに磁石ホルダ７１の下面が当接する位置まで押し込む。そして、磁石７０の上端面に磁石押さえ板７３と皿ばね７４とを載置して、その上から磁石固定部材５４の円筒部５４ａを可動側ヨーク５０の上部内周部５３ａに圧入固定する。これによって、磁石７０を構成する各磁石体７０ａは、皿ばね７４の付勢力によって磁石ホルダ７１の底面側に向けて押圧され、磁石ホルダ７１内において移動不能に保持される。このようにして、磁石７０が装着された可動側ヨーク５０が組み立てられる（図６（ｂ）参照）。
その後、この状態において、磁石７０は、可動側ヨーク５０の径方向に沿って異なる磁極が着磁される。 Thereafter, as shown in FIG. 6A, the magnet holder 71 containing the magnet 70 is mounted on the upper side of the movable yoke 50, and the lower surface of the magnet holder 71 is attached to the stepped portion 53 c on the outer peripheral surface of the movable yoke 50. Push in until it comes into contact. Then, the magnet pressing plate 73 and the disc spring 74 are placed on the upper end surface of the magnet 70, and the cylindrical portion 54a of the magnet fixing member 54 is press-fitted and fixed to the upper inner peripheral portion 53a of the movable yoke 50 from above. Thereby, each magnet body 70 a constituting the magnet 70 is pressed toward the bottom surface side of the magnet holder 71 by the biasing force of the disc spring 74, and is held immovably in the magnet holder 71. In this way, the movable yoke 50 to which the magnet 70 is attached is assembled (see FIG. 6B).
Thereafter, in this state, the magnet 70 is magnetized with different magnetic poles along the radial direction of the movable yoke 50.

一方、図７に示すように、アクチュエータボディ１１の底部の取付部１３５に第１板ばね６１を載置し、その上から第１板ばね６１の周縁部に保持部材１３６を載置して、これをボルト１３７で固定する。これにより、径の小さくされた第１板ばね６１を取付部１３５に取り付けることができる。
その後、アクチュエータボディ１１内に、固定側ヨーク２０、コイル取付部材３１の順に挿入し、アクチュエータボディ１１の開口の段部１３２に、固定側ヨーク２０のフランジ部２２とコイル取付部材３１のフランジ部３１ａとを重ね合わせて係合する（図８（ａ）参照）。
その後、コイル取付部材３１のフランジ部３１ａにスペース部材３３を圧入固定する。
これによって、固定側ヨーク２０がアクチュエータボディ１１内に位置決め固定されるとともに、固定側ヨーク２０の内側に、コイル取付部材３１を介してコイル３０が位置決め固定される。 On the other hand, as shown in FIG. 7, the first leaf spring 61 is placed on the attachment portion 135 at the bottom of the actuator body 11, and the holding member 136 is placed on the peripheral portion of the first leaf spring 61 from above. This is fixed with bolts 137. As a result, the first leaf spring 61 having a reduced diameter can be attached to the attachment portion 135.
Thereafter, the fixed side yoke 20 and the coil mounting member 31 are inserted into the actuator body 11 in this order, and the flange portion 22 of the fixed side yoke 20 and the flange portion 31a of the coil mounting member 31 are inserted into the stepped portion 132 of the opening of the actuator body 11. And are engaged with each other (see FIG. 8A).
Thereafter, the space member 33 is press-fitted and fixed to the flange portion 31 a of the coil attachment member 31.
Thereby, the fixed side yoke 20 is positioned and fixed in the actuator body 11, and the coil 30 is positioned and fixed inside the fixed side yoke 20 via the coil mounting member 31.

ここで、図８（ａ）に示すように、下部ハウジング１１ｂの側方からコネクタ１３８をアクチュエータボディ１１の側壁に装着し、先端部の接続端子１３８ａを固定側ヨーク２０の開口部２６に挿入して、これをボビン３２の接続部３２ａの近傍に配置する。そして、開口部２２ａおよび貫通孔２２ｂから工具を挿入してコイル３０の電気的接続を行う。 Here, as shown in FIG. 8A, the connector 138 is attached to the side wall of the actuator body 11 from the side of the lower housing 11b, and the connecting terminal 138a at the tip is inserted into the opening 26 of the fixed side yoke 20. This is disposed in the vicinity of the connecting portion 32 a of the bobbin 32. And a tool is inserted from the opening part 22a and the through-hole 22b, and the coil 30 is electrically connected.

その後、図８（ｂ）に示すように、固定側ヨーク２０の内側（コイル３０の内側）に形成される挿通孔２１に、磁石７０を取り付けた可動側ヨーク５０を挿入し、可動側ヨーク５０を第１板ばね６１および第２板ばね６２に固定する。
具体的には、可動側ヨーク５０の下部内周部５３ｂ（図２（ａ）参照）の開口を第１板ばね６１の中央部の貫通孔６１ａに合わせ、第１板ばね６１の下方から固定部材４６の胴部４６ａを挿入して、これを下部内周部５３ｂに圧入固定する。 After that, as shown in FIG. 8B, the movable side yoke 50 with the magnet 70 attached is inserted into the insertion hole 21 formed inside the fixed side yoke 20 (inside the coil 30). Are fixed to the first leaf spring 61 and the second leaf spring 62.
Specifically, the opening of the lower inner peripheral portion 53b (see FIG. 2A) of the movable yoke 50 is aligned with the through hole 61a in the center of the first leaf spring 61, and is fixed from below the first leaf spring 61. The body portion 46a of the member 46 is inserted, and this is press-fitted and fixed to the lower inner peripheral portion 53b.

また、可動側ヨーク５０の上部側においては、第２板ばね６２の周縁部をアクチュエータボディ１１の段部１３３に載置し、固定リング２５の押さえ部２５ａで第２板ばね６２の周縁部をアクチュエータボディ１１に固定する。
そして、可動側ヨーク５０の上端に固定された磁石固定部材５４の開口を第２板ばね６２の中央部の貫通孔６２ａに合わせ、第２板ばね６２の上方から固定部材４５の胴部４５ａを挿入して、これを磁石固定部材５４に圧入固定する。
これにより、第１板ばね６１と第２板ばね６２とによって、固定側ヨーク２０の挿通孔２１内に磁石７０が装着された可動側ヨーク５０を保持することができる。 Further, on the upper side of the movable yoke 50, the peripheral portion of the second plate spring 62 is placed on the stepped portion 133 of the actuator body 11, and the peripheral portion of the second plate spring 62 is fixed by the pressing portion 25 a of the fixed ring 25. The actuator body 11 is fixed.
The opening of the magnet fixing member 54 fixed to the upper end of the movable yoke 50 is aligned with the through hole 62a in the center of the second leaf spring 62, and the body 45a of the fixing member 45 is moved from above the second leaf spring 62. It is inserted and fixed to the magnet fixing member 54 by press-fitting.
Accordingly, the movable side yoke 50 in which the magnet 70 is mounted in the insertion hole 21 of the fixed side yoke 20 can be held by the first plate spring 61 and the second plate spring 62.

その後、図９（ａ）に示すように、可動部材４０Ａの駆動軸４３を上方から固定部材４５を通じて可動側ヨーク５０に貫通させ、駆動軸４３の先端部の雄ねじ部４３ａにナット４４を螺合して締め付ける。
なお、アクチュエータボディ１１のフランジ部１３１の上面に、弾性部材１８ａを介在させて第２弾性体支持部材１３のフランジ部１３ａを載置する。
これによって、図９（ｂ）に示すように、アクチュエータボディ１１に可動機構を組み付けることができる。 Thereafter, as shown in FIG. 9A, the drive shaft 43 of the movable member 40A is passed through the movable side yoke 50 from above through the fixed member 45, and the nut 44 is screwed into the male screw portion 43a at the tip of the drive shaft 43. And tighten.
The flange portion 13a of the second elastic body support member 13 is placed on the upper surface of the flange portion 131 of the actuator body 11 with the elastic member 18a interposed.
As a result, the movable mechanism can be assembled to the actuator body 11 as shown in FIG.

以上説明した本実施形態の能動型防振装置１０によれば、ヨークが固定側ヨーク２０と可動側ヨーク５０とに分割されており、アクチュエータボディ１１に対して固定側ヨーク２０が設けられるとともに、可動部４０に対して可動側ヨーク５０が設けられる構成であるので、可動部４０から固定側ヨーク２０に相当する分のヨークを排除することができ、その分、可動部４０の小型化、軽量化を図ることが可能となる。
また、可動部４０の軽量化を図ることができるので、高周波領域における作動性（防振機能）を向上させることができる。
また、固定側ヨーク２０をアクチュエータボディ１１に対して設けたので、固定側ヨーク２０に相当するヨークを可動部４０側に設けた場合に比べて、可動スペースの省スペース化を図ることができ、能動型防振装置１０の小型化が可能となる。 According to the active vibration isolator 10 of the present embodiment described above, the yoke is divided into the fixed side yoke 20 and the movable side yoke 50, the fixed side yoke 20 is provided on the actuator body 11, and Since the movable side yoke 50 is provided with respect to the movable part 40, the yoke corresponding to the fixed side yoke 20 can be eliminated from the movable part 40, and the movable part 40 can be reduced in size and weight accordingly. Can be achieved.
Further, since the weight of the movable portion 40 can be reduced, the operability (anti-vibration function) in the high frequency region can be improved.
In addition, since the fixed side yoke 20 is provided on the actuator body 11, the movable space can be saved compared to the case where a yoke corresponding to the fixed side yoke 20 is provided on the movable portion 40 side. The active vibration isolator 10 can be downsized.

また、コイル３０がアクチュエータボディ１１側に固定されているので、例えば、アクチュエータボディ１１の軸方向においてアクチュエータボディ１１に対して連設される別部材を設けてこれにコイル３０を固定するように構成した場合に比べて、アクチュエータボディ１１を小型化することができる。 In addition, since the coil 30 is fixed to the actuator body 11 side, for example, another member connected to the actuator body 11 in the axial direction of the actuator body 11 is provided, and the coil 30 is fixed to the member. Compared to the case, the actuator body 11 can be downsized.

可動側ヨーク５０は、可動部４０が変位した際の上端位置から下端位置までの間において、磁気ギャップＧが一定に保持されているので、可動部４０が変位駆動される間、固定側ヨーク２０と可動側ヨーク５０との間の磁束の伝達に変化が生じにくくなり、所望の防振特性に対してバラツキのないフラットな特性が得られる。したがって、防振機能が向上する。 Since the magnetic gap G is held constant between the upper end position and the lower end position when the movable portion 40 is displaced, the movable side yoke 50 is fixedly driven while the movable portion 40 is driven to be displaced. Change in the transmission of the magnetic flux between the movable yoke 50 and the movable yoke 50 is less likely to occur, and a flat characteristic having no variation with respect to the desired vibration isolating characteristic can be obtained. Therefore, the vibration isolation function is improved.

以上、本発明に係る実施形態について説明したが、本発明はこれらに限定されず、発明の主旨に応じた適宜の変更実施が可能である。
例えば、図１０に示すように、可動部４０の可動部材４０Ａに対して、磁石７０を挟むようにして磁石７０の上下に、２つの可動側ヨーク５０Ａ，５０Ｂを配置してもよい。この場合、磁気ギャップＧは、固定側ヨーク２０の底部２４と、磁石７０の下側に配置された可動側ヨーク５０Ａとの間に形成されている。この場合においても、可動部４０が変位した際の上端位置から下端位置までの間において、磁気ギャップＧは一定に保持されている。 As mentioned above, although embodiment which concerns on this invention was described, this invention is not limited to these, The appropriate change implementation according to the main point of invention is possible.
For example, as shown in FIG. 10, two movable side yokes 50 A and 50 B may be arranged above and below the magnet 70 so as to sandwich the magnet 70 with respect to the movable member 40 A of the movable portion 40. In this case, the magnetic gap G is formed between the bottom 24 of the fixed side yoke 20 and the movable side yoke 50 A disposed below the magnet 70. Also in this case, the magnetic gap G is kept constant between the upper end position and the lower end position when the movable part 40 is displaced.

なお、図１１に示すように、可動側ヨーク５０Ｂは、上面側がテーパ面５５とされており、これによって可動側ヨーク５０Ｂからコイル３０に向かう磁束は、面積の小さくされた対向面を通じて集中してコイル３０に伝達されるようになっている。
ここで、可動側ヨーク５０Ｂからコイル３０に向かう磁束は、コイル３０の上下方向の略中央部分に集中して効率よく伝達されるようになっている。
このような構成とした場合においても、前記実施形態と同様の作用効果が得られる。なお、磁石７０の着磁方向は、駆動軸４３に沿う上下方向となり、前記実施形態とは９０度異なる方向となる。 As shown in FIG. 11, the movable side yoke 50B has a tapered surface 55 on the upper surface side, so that the magnetic flux from the movable side yoke 50B toward the coil 30 is concentrated through the opposing surface having a reduced area. It is transmitted to the coil 30.
Here, the magnetic flux from the movable side yoke 50 B toward the coil 30 is concentrated and transmitted efficiently in a substantially central portion of the coil 30 in the vertical direction.
Even in the case of such a configuration, the same effect as that of the above embodiment can be obtained. The magnetizing direction of the magnet 70 is the vertical direction along the drive shaft 43, which is 90 degrees different from the embodiment.

また、前記実施形態では、固定側ヨーク２０および可動側ヨーク５０をそれぞれ一体的に構成したが、それぞれ複数個に分割したヨークからなるように構成してもよい。
また、前記実施形態では、可動部４０を第１板ばね６１および第２板ばね６２にて弾性支持するようにしたが、これに限られることはなく、平軸受やボールベアリング等の軸受部材にて支持するようにしてもよい。 Moreover, in the said embodiment, although the fixed side yoke 20 and the movable side yoke 50 were each comprised integrally, you may comprise so that it may consist of a yoke divided | segmented into plurality, respectively.
Moreover, in the said embodiment, although the movable part 40 was elastically supported by the 1st leaf | plate spring 61 and the 2nd leaf | plate spring 62, it is not restricted to this, For bearing members, such as a flat bearing and a ball bearing. May be supported.

また、前記実施形態では、能動型防振装置１０を、非圧縮性流体が封入されたアクティブ・コントロール・マウントに適用した例を示したが、これに限られることはなく、防振すべき振動対象に装着されて、コイルへの通電によって生じる磁界の作用で可動部を加振することにより能動的な防振効果を発揮するようにした制振装置等に対して採用してもよい。
この場合においても、可動部の軽量化が可能であり、しかも高周波領域における作動性（防振機能）が良好な能動型防振装置が得られる。 In the above-described embodiment, an example in which the active vibration isolator 10 is applied to an active control mount in which an incompressible fluid is sealed has been described. You may employ | adopt with respect to the vibration suppression apparatus etc. which were mounted | worn by the object and demonstrated the active vibration isolating effect by vibrating a movable part by the effect | action of the magnetic field produced by the electricity supply to a coil.
Even in this case, it is possible to reduce the weight of the movable part and to obtain an active vibration isolator having good operability (vibration isolating function) in a high frequency region.

なお、本発明は、自動車用のボディマウントやメンバマウント等、あるいは自動車以外の各種装置におけるマウントや制振器などの防振装置等に対して、同様に適用可能である。 The present invention can be similarly applied to body mounts and member mounts for automobiles, or to vibration isolators such as mounts and vibration dampers in various apparatuses other than automobiles.

１０能動型防振装置
１１アクチュエータボディ
２０固定側ヨーク
２１挿通孔
２４ａ通孔
３０コイル
４０可動部
４０Ａ可動部材
５０可動側ヨーク
５０Ａ，５０Ｂ可動側ヨーク
７０磁石
Ｇ磁気ギャップ
Ｏ中心軸 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Active type vibration isolator 11 Actuator body 20 Fixed side yoke 21 Insertion hole 24a Through hole 30 Coil 40 Movable part 40A Movable member 50 Movable side yoke 50A, 50B Movable side yoke 70 Magnet G Magnetic gap O Center axis

Claims

An actuator body;
A bottomed cylindrical fixed side yoke provided in the actuator body and forming an insertion hole on a central axis of the actuator body;
A movable part that is inserted through the insertion hole and is driven to be displaced along the central axis by magnetic thrust in order to suppress vibration;
A columnar movable yoke provided in the movable part;
An annular coil fixed to the actuator body side and provided between the fixed side yoke and the movable side yoke;
A magnet fixed to the movable part side and disposed opposite to the coil ,
The active vibration isolator, wherein the movable yoke is inserted and disposed with a magnetic gap between the movable yoke and the bottom through a through hole provided in the bottom of the fixed yoke.

The movable yoke, during the period from one displacement end when said movable portion is displaced to the other displacement end, the active of claim 1, wherein the magnetic gap is held constant Mold vibration isolator.