JP5364599B2 - Scale and method for manufacturing the scale - Google Patents
Scale and method for manufacturing the scale Download PDFInfo
- Publication number
- JP5364599B2 JP5364599B2 JP2010004095A JP2010004095A JP5364599B2 JP 5364599 B2 JP5364599 B2 JP 5364599B2 JP 2010004095 A JP2010004095 A JP 2010004095A JP 2010004095 A JP2010004095 A JP 2010004095A JP 5364599 B2 JP5364599 B2 JP 5364599B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- end edge
- substrate
- mask
- predetermined shape
- spacer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Micromachines (AREA)
Abstract
Description
本発明は、ロバーバル機構を用いて被計量物の質量を測定する秤及びこの秤の製造方法に関する。 The present invention relates to a scale for measuring the mass of an object to be weighed using a Roberval mechanism and a method for manufacturing the scale.
従来の秤として、例えば下記特許文献1に開示されるフォースバランス秤がある。この秤は、保持機構と、保持機構に一端が固定された単結晶シリコン材料にて形成されたレバーと、下端がレバーの他端近傍に取り付けられた可動棒と、可動棒の上端に取り付けられた秤量台と、保持機構と可動棒の間に介挿され、外部から指定された付勢力によって可動棒を上方へ付勢する付勢機構とを備えている。また、この秤は、フォースバランスを実現するために、レバーの変位量を検出する変位量検出手段と、秤量台に被計量物が載置された状態において、変位量検出手段にて検出された変位量が、被計量物が載置されていない状態の初期変位量と一致するように付勢機構に付勢力を指定する付勢力指定手段と、付勢力指定手段にて指定された付勢力を被計量物の重量値として出力する重量値出力手段とを備えている。
As a conventional balance, there exists a force balance balance disclosed by the following
上述したフォースバランス秤では、秤量台に例えば錠剤やカプセルなどの被計量物が載置されると、単結晶シリコン材料にて形成されたレバーが撓み、レバーに変位量が生じるが、この変位量を打ち消す方向に可動棒が付勢されており、変位量がゼロになった時点における付勢力を検出することにより、被計量物の重量値を割り出すことができる。 In the force balance scale described above, when an object to be weighed such as a tablet or a capsule is placed on the weighing platform, a lever formed of a single crystal silicon material bends and a displacement occurs in the lever. The movable rod is urged in the direction to cancel the, and the weight value of the object to be weighed can be determined by detecting the urging force when the displacement amount becomes zero.
しかしながら、上述した従来(上記特許文献1)の秤には、付勢機構の構造が複雑なことから、秤全体を小型化することが難しいという欠点があった。また、保持機構がアルミなどの軽量金属材料により形成されており、その加工精度に限界があることも、これ以上の小型化を厳しいものにしていた。さらに、複雑構造の付勢機構からは一定のバネ性能を確保することが困難であった。 However, the above-described conventional balance (Patent Document 1) has a drawback that it is difficult to downsize the entire balance because the structure of the urging mechanism is complicated. In addition, since the holding mechanism is made of a lightweight metal material such as aluminum and its processing accuracy is limited, further downsizing is severe. Furthermore, it has been difficult to ensure a certain spring performance from the biasing mechanism having a complicated structure.
そこで本発明は、上記状況に鑑みてなされたものであり、秤全体はもとより、バネ部の高精度加工を可能とし、そのバネ性能を一定に確保するとともに、製造容易となり、更に小型化を実現させる秤及びこの秤の製造方法を提供することを目的としている。 Therefore, the present invention has been made in view of the above situation, and enables high-precision machining of the spring portion as well as the entire balance, ensuring that the spring performance is constant, facilitating manufacture, and realizing further downsizing. It is an object of the present invention to provide a balance and a method for manufacturing the balance.
次に、上記の課題を解決するための手段を、実施の形態に対応する図面を参照して説明する。
本発明による請求項1記載の秤は、固定部7と、前記固定部7に対向して設けられた可動部12と、前記固定部7と前記可動部12の間に設けられ、被計量物の荷重を受けて前記可動部12を上下に移動させるロバーバル部16と、からなるロバーバル機構2を備え、前記ロバーバル機構2の変位量に基づいて前記被計量物の荷重を検出し、該被計量物の質量を測定する秤1において、
前記ロバーバル機構2が、
前記固定部7となるように固定された一端縁部6aと、前記一端縁部6aと対向する他端縁部6bと、前記一端縁部6aと前記他端縁部6bの間を連結する二つの端縁部6c,6cと、から形成されたフレーム6と、
前記他端縁部6bの内縁から前記一端縁部6aの内縁に向けて延出し、その先端が前記可動部12となるように自由端とされた中間部10と、を有し、
前記ロバーバル部16を構成するために、前記二つの端縁部6c,6cのそれぞれの前記一端縁部6a側と前記他端縁部6b側の所定位置が薄厚加工されてなるバネ部11が形成された第一の基板3aと、
前記第一の基板3aと対面して配置され、前記固定部7となるように固定された一端縁部6aと、前記一端縁部6aと対向する他端縁部6cと、前記一端縁部6aと前記他端縁部6bの間を連結する二つの端縁部6c,6cと、から形成されたフレーム6を有し、
前記ロバーバル部16を構成するために、前記二つの端縁部6c,6cのそれぞれの前記一端縁部6a側と前記他端縁部6b側の所定位置が薄厚加工されてなるバネ部11が形成された第二の基板3bと、
前記第一の基板3aと前記第二の基板3bの間に設けられ、前記第一及び第二の基板3a,3bの前記一端縁部6a,6aの間及び前記他端縁部6b,6bの間をそれぞれ連結させた二つのスペーサ5,5と、
から構成されたことを特徴としている。
Next, means for solving the above problems will be described with reference to the drawings corresponding to the embodiments.
The scale according to
The Roverval
One
An
In order to constitute the Roverval
One
In order to constitute the Roverval
Provided between the
It is characterized by comprising.
請求項2記載の秤は、前記第一及び第二の基板3a,3bにはシリコン層4aとシリコン層4aの間に二酸化シリコン層4bを有するSOI基板を用いたことを特徴としている。
The scale according to
請求項3記載の秤は、前記スペーサ5がガラスからなり、前記第一及び第二の基板3a,3bと前記スペーサ5が陽極接合により接合されたことを特徴としている。
The scale according to claim 3 is characterized in that the
請求項4記載の秤の製造方法は、上記請求項2記載の秤の製造方法において、
前記第一の基板3aの一方の面に所定形状を得るためのマスクM1 を施し、該面の前記シリコン層4aを除去して所定形状の凹部を形成した後、前記マスクM1 を除去する工程と、
前記第一の基板3aの他方の面に所定形状を得るためのマスクM2 を施し、該面の前記シリコン層4aを除去して所定形状の凹部を形成した後、前記マスクM2 を除去する工程と、
前記第一の基板3aの一方及び他方の面にて露出している前記二酸化シリコン層4bを除去する工程と、
前記第二の基板3bの一方の面に所定形状を得るためのマスクM3 を施し、該面の前記シリコン層4aを除去して所定形状の凹部を形成した後、前記マスクM3 を除去する工程と、
前記第二の基板3bの他方の面に所定形状を得るためのマスクM4 を施し、該面の前記シリコン層4aを除去して所定形状の凹部を形成した後、前記マスクM4 を除去する工程と、
前記第二の基板3bの一方及び他方の面にて露出している前記二酸化シリコン層4bを除去する工程と、
前記第一の基板3aの一方の面と前記スペーサ5を接合する工程と、
前記第二の基板3bの一方又は他方のいずれかの面と前記スペーサ5を接合する工程と、
を備えたことを特徴としている。
Method for producing a scale according to claim 4, wherein, in the manufacturing method of the scale of the
A mask M 1 for obtaining a predetermined shape is applied to one surface of the
A mask M 2 for obtaining a predetermined shape is applied to the other surface of the
Removing the
A mask M 3 for obtaining a predetermined shape is applied to one surface of the
A mask M 4 for obtaining a predetermined shape is applied to the other surface of the
Removing the
Bonding one surface of the
A step of bonding the
It is characterized by having.
本発明の秤によれば、第一の基板と第二の基板及びこれらの基板の間に設けられたスペーサという少ない部材からロバーバル機構が構成されているため、秤の構造が簡素になり、秤の小型化を実現することができる。また、基板を薄厚に加工することでバネ部が形成されるため、ロバーバル機構を構成するうえで特に重要な部分となるバネ部を容易に且つ高精度に形成することができ、これにより、バネ性能を一定に確保することが可能となる。 According to the balance of the present invention, since the Roverval mechanism is composed of the first substrate, the second substrate, and a small number of members called spacers provided between these substrates, the structure of the balance is simplified, and the balance is simplified. Downsizing can be realized. In addition, since the spring portion is formed by processing the substrate to be thin, the spring portion, which is a particularly important part in configuring the Roverval mechanism, can be easily and highly accurately formed. It becomes possible to ensure a constant performance.
また、第一及び第二の基板にはSOI基板を用いていることにより、二酸化シリコン層を犠牲層として用いて、エッチング加工による基板の高精度加工が可能となる。これにより、1μm程度の加工精度を得ることができる。なお、従来のように、アルミなどの軽量金属材料を用いている秤(例えば上記特許文献1に開示される秤)は、100μm程度の加工精度であった。 In addition, by using SOI substrates for the first and second substrates, high-precision processing of the substrate by etching is possible using the silicon dioxide layer as a sacrificial layer. Thereby, processing accuracy of about 1 μm can be obtained. Note that, as in the prior art, a scale using a lightweight metal material such as aluminum (for example, the scale disclosed in Patent Document 1) has a processing accuracy of about 100 μm.
さらに、第一及び第二の基板とスペーサが陽極接合により接合されていることにより、ロバーバル機構のような立体構造を短時間で容易に得られるようになる。これにより、製造容易となる。 Furthermore, since the first and second substrates and the spacer are joined by anodic bonding, a three-dimensional structure such as a Roverval mechanism can be easily obtained in a short time. This facilitates manufacturing.
本発明の秤の製造方法によれば、第一及び第二の基板は、それぞれの二酸化シリコン層を犠牲層として用いているため、クリアランスを容易に形成することができるようになり、各基板を所定形状に短時間で容易に加工することができるとともに、高精度加工が可能となる。 According to the scale manufacturing method of the present invention, since the first and second substrates use the respective silicon dioxide layers as sacrificial layers, the clearance can be easily formed. A predetermined shape can be easily machined in a short time, and high-precision machining can be performed.
以下、本発明の各実施の形態を図面を参照して具体的に説明する。
本発明による秤は、ロバーバル機構を用いて被計量物の質量を測定する秤であり、主に薬品などの微小物品を測定対象としている。
Embodiments of the present invention will be specifically described below with reference to the drawings.
The scale according to the present invention is a scale that measures the mass of an object to be weighed using a Roverval mechanism, and is mainly intended for measuring fine articles such as medicines.
「第一の実施の形態」
まず、図1〜5を参照して本発明の第一の実施の形態を説明する。
図1に示すように、この実施の形態(秤1)は、ロバーバル機構2と、被計量物の荷重を検出するための検出部とを備えている。ロバーバル機構2は、固定部7と、可動部12と、ロバーバル部16とから構成されている。また、図2,3に示すように、ロバーバル機構2は、上下に配置され、その間にスペーサ5を介して立体構造となるように連結された第一の基板(上基板)3a及び第二の基板(下基板)3bにより構成されている。
"First embodiment"
First, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 1, this embodiment (balance 1) includes a
図2に示すように、上下の基板3a,3bには半導体層であるシリコン(Si)層4aとシリコン層4aの間に絶縁体層である二酸化シリコン(SiO2 )層4bを有するSOI基板(Siricon on Insulator)を用いている。シリコン層4aはその厚さが精密にコントロールされており、用途に応じて最適な厚さのものを適宜選択することができる。また、スペーサ5にはガラスを用いている。これらの上下の基板3a,3bのシリコン層4aとスペーサ5とは陽極接合により接合されている。
As shown in FIG. 2, the upper and
図1に示すように、第一の基板である上基板3aは、固定部7となるように固定壁8に固定される一端縁部6aと、一端縁部6aと対向して配置され、被計量物が載置される載置部9となる他端縁部6bと、一端縁部6aと他端縁部6bのそれぞれの両端部の間を連結するとともに、一端縁部6a及び他端縁部6bと直交する二つの端縁部6c,6cとから形成された矩形枠状のフレーム6を有している。また、上基板3aは、フレーム6の内部空間の略中央に配置されるとともに、他端縁部6bの内縁から一端縁部6aの内縁に向けて延出し、その先端が後述する可動部となるように自由端とされた中間部10を有している。
As shown in FIG. 1, the
フレーム6の二つの端縁部6c,6cには、一端縁部6a側と他端縁部6b側の所定位置のシリコン層4aが薄厚に加工されてなるバネ部11が形成されている。
On the two
上基板3aにおける中間部10の先端(自由端)は前述した可動部12となる。可動部12は固定部7に対向して設けられている。また、この実施の形態(秤1)では、可動部12の先端には複数の可動片13が設けられている。可動片13は、可動部12の先端から固定部7に向けて突出している。なお、図1は説明のために簡略化しており、可動片13を三つだけ記載しているが、実際には数十〜百以上を一組として、一又は複数組の可動片13が設けられている。各可動片13は、二酸化シリコン層4bを介することにより、それぞれが電気的に分離されている。各可動片13は、この実施の形態(秤1)における検出部の一方を構成するものである。
The tip (free end) of the
この実施の形態(秤1)の検出部の他方を構成する電極部14は、フレーム6の固定部7となる一端縁部6aに設けられている。電極部14には、可動部12に向けて突出する複数の櫛歯片15を有する櫛歯電極を用いている。櫛歯片15は、可動部12の可動片13の両側面のそれぞれに対向する内側面を有し、図1に示すように、二つの櫛歯片15,15の間に一つの可動片13を挟むように配設されている。また、電極部14は、可動片13の数量に応じて複数の部分14a,14bに分離されている。この実施の形態(秤1)では、上述したように、数十〜百以上を一組として可動片13が設けられているため、電極部14はこれと同様に数十〜百以上を一組とする複数の部分に分離されている。電極部14の各部分14a,14bは、可動片13と同様に二酸化シリコン層4bを介して電気的に分離されている。
The
また、第二の基板である下基板3bは、上述した第一の基板である上基板3aと同様に、固定部7となるように固定壁8に固定される一端縁部6aと、一端縁部6aと対向して配置され、被計量物が載置される載置部9となる他端縁部6bと、一端縁部6aと他端縁部6bのそれぞれの両端部の間を連結するとともに、一端縁部6a及び他端縁部6bと直交する二つの端縁部6c,6cとから形成された矩形枠状のフレーム6を有している。
In addition, the
下基板3bにおいても、フレーム6の二つの端縁部6c,6cには、一端縁部6a側と他端縁部6b側の所定位置のシリコン層4aが薄厚に加工されてなるバネ部11が形成されている。
Also in the
上下の基板3a,3bを一体的に連結させるスペーサ5は矩形ブロック状に形成されている。また、スペーサ5は二つあり、そのうちの一方が一端縁部6a同士を連結させ、他方が他端縁部6b同士を連結させている。
The
図2,3に示すように、上下の基板3a,3bのそれぞれの一端縁部6a(固定部7)と他端縁部6b(載置部9)がスペーサ5,5によって連結されることにより、固定部7と可動部12の間にある各端縁部6cと、各端縁部6cに形成されているバネ部11と、上基板3aにおいて、その先端が可動部12となる中間部10とによりロバーバル部16が形成されている。
As shown in FIGS. 2 and 3, one
この実施の形態(秤1)は、電極部14の各部分14a,14bをそれぞれ異なる機構(センサ及びアクチュエータとしての機能)に供してフォースバランスを構成するフォースバランス秤である。図1に示すように、電極部14の各部分14a,14bは、一方の部分14aがセンサとして機能し、他方の部分14bが櫛歯片15に対して変位した可動片13を静電力の作用を駆動源として平衡状態に復帰させるアクチュエータとして機能する。
This embodiment (balance 1) is a force balance scale in which each
図1〜5を参照して載置部9が被計量物の荷重を受けたときの秤1(ロバーバル機構2)の動作を各箇所ごとに説明する。図2に示すように、図1におけるA−A線箇所では、載置部9にて被計量物の荷重を受けると、載置部9が下方に移動する。このとき、ロバーバル部16は、固定部7が固定されたまま、載置部9が各バネ部11を支点として固定部7に対して平行移動する。
With reference to FIGS. 1-5, the operation | movement of the balance 1 (Roverval mechanism 2) when the mounting
また、図3に示すように、図1におけるB−B線箇所では、載置部9が被計量物の荷重を受けると、載置部9は下方に移動するとともに、固定部7から切り離されている中間部10の先端、つまり、可動部12が下方に平行移動する。このとき、可動部12の可動片13は、その側面が固定部7に設けられている電極部14の櫛歯片15の内側面に対して平行移動する。
Further, as shown in FIG. 3, when the
図4に示すように、この実施の形態(秤1)では、電極部14の各部分14a,14bの櫛歯片15に対して可動部12の可動片13が変位すると、センサとして機能する部分14aにおいては、対向面積S1 が変化し、対向する面の間の静電容量が変化する。また、アクチュエータとして機能する部分14bにおいては、静電力の作用を駆動源として、変位した可動片13を平衡状態に復帰させるように動作する。
As shown in FIG. 4, in this embodiment (balance 1), when the
図5に示すように、この実施の形態(秤1)は、容量センサ(C/Vコンバータ)21の一方の入力側が電極部14のセンサとして機能する部分14aに接続され、他方の入力側が基板3a(又は3b)と共に接地されており、電極部14のアクチュエータとして機能する部分14bと接地の間に電圧制御部22を備えた回路構成となっている。図5の回路構成とすることにより、C/Vコンバータ21が電極部14の部分14aにおける静電容量の変化を電圧値に変換し、電圧制御部22がC/Vコンバータ21から出力された電圧値が所定の値となるように(この場合は、静電容量の変化が0となるように)電極部14の部分14bに印加する電圧を制御し、部分14bへと出力する。これと同時に、電圧制御部22から出力された印加電圧が部分14bと電圧制御部22との間に接続されている増幅器23を通じて図示しない制御部に出力され、制御部にてテーブルデータと比較し、被計量物の質量を測定する。
As shown in FIG. 5, in this embodiment (balance 1), one input side of a capacitance sensor (C / V converter) 21 is connected to a
「第二の実施の形態」
次に、図6〜9を参照して本発明の第二の実施の形態を説明する。
なお、この実施の形態において、上述した第一の実施の形態と同等又は同一の箇所には同一の符号を付し、その説明を省略する。
"Second embodiment"
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
In this embodiment, the same or similar parts as those in the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.
図6,7に示すように、この実施の形態(秤31)は、ロバーバル機構32と、被計量物の荷重を検出するための検出部とを備えている。ロバーバル機構32は、固定部7と、可動部12と、ロバーバル部38とから構成されている。ロバーバル機構32は、上下に配置され、その間にスペーサ5を介して立体構造となるように連結された第一の基板(上基板)33a及び第二の基板(下基板)33bにより構成されている。
As shown in FIGS. 6 and 7, this embodiment (balance 31) includes a
上下の基板33a,33bには、上述した第一の実施の形態同様、SOI基板を用いている。上基板33aは、一端縁部6aと、他端縁部6bと、二つの端縁部6c,6cとから形成された矩形枠状のフレームを有している。また、上基板33aは、フレーム6の内部空間の略中央に配置されるとともに、他端縁部6bの内縁から一端縁部6aの内縁に向けて延出し、その先端が可動部12となるように自由端とされた中間部34を有している。中間部34の基端は中間部の幅よりも小径幅に形成されており、ここには、シリコン層4aが薄厚に加工されてなるバネ部35が形成されている。さらに、上基板33aは、中間部34の両側部に、一端縁部6aから他端縁部6bに向けて延出し、その先端が自由端とされたガイド部36,36を有している。各ガイド部36,36と中間部34との間はそれぞれ捩じりバネ部37により連結されている。捩じりバネ部37は、バネ部11及びバネ部35と同様に、シリコン層4aが薄厚に加工されてなるバネ部であるが、その付勢する向きが他のバネ部11,35が面方向であるのに対して、捩じれ方向に付勢している。
As the upper and
下基板33bにおいても、フレーム6の二つの端縁部6c,6cには、一端縁部6a側と他端縁部6b側の所定位置のシリコン層4aが薄厚に加工されてなるバネ部11が形成されている。
Also in the
図7,8に示すように、上下の基板33a,33bのそれぞれの一端縁部6a(固定部7)と他端縁部6b(載置部9)がスペーサ5,5によって連結されることにより、固定部7と可動部12の間にある各端縁部6cと、各端縁部6cに形成されているバネ部11と、上基板3aにおいて、その先端が可動部12となる中間部34と、中間部34の基端に形成されているバネ部35と、中間部34の両側部にある各ガイド部36,36と、各ガイド部36,36と中間部35の間にある捩じりバネ部37,37とによりロバーバル部38が形成されている。
As shown in FIGS. 7 and 8, one
図6〜9を参照して載置部9が被計量物の荷重を受けたときの秤31(ロバーバル機構32)の動作を各箇所ごとに説明する。図7に示すように、図2におけるC−C線箇所では、載置部9にて被計量物の荷重を受けると、載置部9が下方に移動する。このとき、ロバーバル部38は、固定部7が固定されたまま、載置部9が各バネ部11を支点として固定部7に対して平行移動する。
With reference to FIGS. 6 to 9, the operation of the scale 31 (the roval mechanism 32) when the
また、図8に示すように、図6におけるD−D線箇所では、載置部9が被計量物の荷重を受けると、載置部9は下方に移動するとともに、固定部7から切り離されている中間部34の先端、つまり、可動部12が捩じりバネ部37を介することにより上方に大きく平行移動する。このとき、可動部12の可動片13は、その側面が固定部7に設けられている電極部14の櫛歯片15の内側面に対して平行移動する。
Further, as shown in FIG. 8, at the DD line location in FIG. 6, when the
図9に示すように、この実施の形態(秤31)においても、上述した第一の実施の形態と同様に、電極部14の各部分14a,14bの櫛歯片15に対して可動部12の可動片13が変位すると、センサとして機能する部分14aにおいては、対向面積S2 が変化し、対向する面の間の静電容量が変化する。また、アクチュエータとして機能する部分14bにおいては、静電力の作用を駆動源として、変位した可動片13を平衡状態に復帰させるように動作する。
As shown in FIG. 9, also in this embodiment (balance 31), the
なお、この実施の形態(秤31)の回路構成については、図5を参照して説明した第一の実施の形態と同一の回路構成であるため、その説明を省略する。 The circuit configuration of this embodiment (balance 31) is the same as that of the first embodiment described with reference to FIG.
上述した第一及び第二の実施の形態によれば、上下の基板3a,3b,33a,33b及びこれら上下の基板3a,3b,33a,33bの間に設けられたスペーサ5という少ない部材からロバーバル機構2,32が構成されているため、秤の構造が簡素になり、秤の小型化を実現することができる。また、基板3a,3b,33a,33bを薄厚に加工することでバネ部11、バネ部35及び捩じりバネ部37が形成されるため、ロバーバル機構を構成するうえで特に重要な部分となるバネ部を容易に且つ高精度に形成することができる。これにより、バネ性能を一定に確保することが可能となる。
According to the above-described first and second embodiments, the upper and
また、上下の基板3a,3b,33a,33bにはSOI基板を用いていることにより、二酸化シリコン層4bを犠牲層として用いて、エッチング加工による基板の高精度加工が可能となる。
Further, by using SOI substrates for the upper and
さらに、上下の基板3a,3b,33a,33bとスペーサ5が陽極接合により接合されていることにより、ロバーバル機構のような立体構造を短時間で容易に得られるようになる。これにより、製造容易となる。
Further, since the upper and
なお、上述した第一及び第二の実施の形態では、電極部14の各部分14a,14bに分離させて、それぞれをセンサ又はアクチュエータとして機能させることによりフォースバランスを実現させているが、フォースバランス秤に限定する必要はなく、例えば、電極部14の各部分14a,14bをセンサとしての機能に供し、センサとして機能する各部分14a,14bをC/Vコンバータ31に接続する回路構成として秤として機能させることも可能である。この場合、この秤は、C/Vコンバータ31が電極部14の各部分14a,14bにおける静電容量の変化した値を電圧値に変換し、変換された電圧値を制御部にてテーブルデータと比較することにより、被計量物の質量を測定する。
In the first and second embodiments described above, the force balance is realized by separating the
ここから、図10〜13を参照して上述した第一及び第二の実施の形態の製造方法について説明する。なお、第一及び第二の実施の形態は、それぞれの第一の基板(上基板)3a,33aの形状が異なるだけで製造工程は共通しているため、以下、各実施の形態をまとめて説明する。 From here, the manufacturing method of 1st and 2nd embodiment mentioned above with reference to FIGS. 10-13 is demonstrated. Since the first and second embodiments have the same manufacturing process except that the shapes of the first substrates (upper substrates) 3a and 33a are different, each embodiment will be summarized below. explain.
図10を参照して第一及び第二の実施の形態における第一の基板である上基板3a,33aの製造工程を説明する。なお、図10において、(a)〜(d)には上基板3a,33aの一方の面(以下、この面を裏面と称する)の製造工程、(e)〜(h)には上基板3a,33aの他方の面(以下、この面を表面と称する)の製造工程を示している。
With reference to FIG. 10, the manufacturing process of the
まず、図10(a)に示すように、シリコン層4aとシリコン層4aの間に二酸化シリコン層4bを有する上述したSOI基板を用意する。次に、(b)に示すように、ICP−RIE装置(ドライエッチング装置)によるエッチング加工を施すために、上基板3a,33aの裏面に各実施の形態の上基板3a,33aの形状に適合する所定形状を得るためのマスクM1 をフォトリソグラフィ技術を用いて形成する。次に、(c)に示すように、マスクM1 に覆われていないシリコン層4aをICP−RIE装置にてエッチングして、裏面のシリコン層4aに所定形状の凹部を形成する。次に、(d)に示すように、裏面に形成されたマスクM1 を除去する。なお、この工程において、バネ部11(第二の実施の形態においては、バネ部11、バネ部35、捩じりバネ部37)の箇所を形成するときには、エッチング加工により形成される凹部の大きさを変えることによってバネ部11、バネ部35、捩じりバネ部37の付勢力を調節することができる。
First, as shown in FIG. 10A, the above-described SOI substrate having the
次に、図10(e)に示すように、上基板3a,33aの表面に各実施の形態の上基板3a,33aの形状に適合する所定形状を得るためのマスクM2 を形成する。次に、(f)に示すように、マスクM2 に覆われていないシリコン層4aをエッチングして、表面のシリコン層4aに所定形状の凹部を形成する。次に、(g)に示すように、表面に形成されたマスクM2 を除去する。そして最後に、(h)に示すように、上基板3a,33aの表面及び裏面に露出している二酸化シリコン層4bを犠牲層としてウェットエッチングにより除去する。これにより、上基板3a,33aが完成する。
Next, as shown in FIG. 10E, a mask M 2 for obtaining a predetermined shape conforming to the shapes of the
図11を参照して第一及び第二の実施の形態における第二の基板である下基板3b,33bの製造工程を説明する。なお、図11において、(a)〜(d)には下基板3b,33bの一方の面(以下、この面を裏面と称する)の製造工程、(e)〜(h)には下基板3b,33bの他方の面(以下、この面を表面と称する)の製造工程を示している。
With reference to FIG. 11, the manufacturing process of lower board |
まず、図11(a)に示すように、シリコン層4aとシリコン層4aの間に二酸化シリコン層4bを有する上述したSOI基板を用意する。次に、(b)に示すように、ICP−RIE装置(ドライエッチング装置)によるエッチング加工を施すために、下基板3b,33bの裏面に各実施の形態の下基板3b,33bの形状に適合する所定形状を得るためのマスクM3 をフォトリソグラフィ技術を用いて形成する。次に、(c)に示すように、マスクM3 に覆われていないシリコン層4aをICP−RIE装置にてエッチングして、裏面のシリコン層4aに所定形状の凹部を形成する。次に、(d)に示すように、裏面に形成されたマスクM3 を除去する。
First, as shown in FIG. 11A, the above-described SOI substrate having the
次に、図11(e)に示すように、下基板3b,33bの表面に各実施の形態の下基板3b,33bの形状に適合する所定形状を得るためのマスクM4 を形成する。次に、(f)に示すように、マスクM4 に覆われていないシリコン層4aをエッチングして、表面のシリコン層4aに所定形状の凹部を形成する。次に、(g)に示すように、表面に形成されたマスクM4 を除去する。そして最後に、(h)に示すように、下基板3b,33bの表面及び裏面に露出している二酸化シリコン層4bを犠牲層としてウェットエッチングにより除去する。これにより、下基板3b,33bが完成する。
Next, as shown in FIG. 11E, a mask M 4 for obtaining a predetermined shape conforming to the shape of the
図12を参照して第一及び第二の実施の形態におけるスペーサ5の製造工程を説明する。なお、上述したように、スペーサ5はガラスからなるものである。
A manufacturing process of the
まず、図12(a)に示すように、スペーサ5の材料となるガラス基板5aを用意する。次に、(b)に示すように、ガラス基板5aのいずれかの面にスペーサ5の形状を得るための金属などからなるマスクM5 を形成する。次に、(c)に示すように、マスクM5 に覆われていない部分をサンドブラストにより除去する。そして、金属などのマスクM5 を除去すると、スペーサ5が完成する。
First, as shown to Fig.12 (a), the
ここまで、上下の基板3a,33a,3b,33b及びスペーサ5の製造方法について上基板3a,33a、下基板3b,33b、スペーサ5の順に説明したが、これらは順不同であってよい。また、上基板3a,33a、下基板3b,33b、スペーサ5を同時に製造してもよい。
Up to this point, the manufacturing method of the upper and
最後に、図13を参照して第一及び第二の実施の形態における上下の基板3a,33a,3b,33bとスペーサ5の接合するときの工程について説明する。
Finally, with reference to FIG. 13, the process when the upper and
まず、図13(a)に示すように、各実施の形態の上基板3a,33aの一端縁部6aと他端縁部6bにそれぞれスペーサ5,5を配置して、上基板3a,33aとスペーサ5,5を接合する。このとき、これらの接合には、上述したように陽極接合を用いている。陽極接合では、まず、図示しない直流電源のマイナス端子をスペーサ5に接続するとともに、直流電源のプラス端子をシリコン層4aに接続する。次に、スペーサ5を例えば数百℃程度に加熱しつつ、スペーサ5とシリコン層4aとの間に直流電圧を例えば数百V程度印加する。スペーサ5を加熱することにより、スペーサ5(ガラス)内のアルカリ金属のプラスイオン(例えばナトリウムイオン(Na+ ))が移動しやすくなる。このアルカリ金属のプラスイオンがスペーサ5内を移動することにより、相対的にスペーサ5におけるシリコン層4aとの接合面がマイナスに帯電する一方、シリコン層4aにおけるスペーサ5との接合面がプラスに帯電する。この結果、シリコン(Si)と酸素(O)とが電子対を共有する共有結合により、スペーサ5とシリコン層4a、つまり、上基板3a,33aとは強固に接合されることとなる。
First, as shown in FIG. 13A,
次に、図13(b)に示すように、各実施の形態の下基板3b,33bの一端縁部6aと他端縁部6bにそれぞれスペーサ5,5を配置して、下基板3b,33bとスペーサ5,5を接合する。この場合も、上述した上基板3a,33aとスペーサ5との接合と同様に、陽極接合により接合する。この結果、スペーサ5とシリコン層4a、つまり、下基板3b,33bとは強固に接合されることとなる。
Next, as shown in FIG. 13B,
なお、各実施の形態の上下の基板3a,33a,3b,33bとスペーサ5との接合は、陽極接合以外に、例えば接着剤により接合するようにしてもよい。
In addition, you may make it join the upper and lower board |
また、上述した各実施の形態の製造方法は秤1,31の一つに着目して説明しているが、実際の製造においては、図14に示すように、複数の秤1,31が同一シリコンウエハ50上に形成されるため、最終工程として、個々の秤1,31に分割するためのダイシング工程を実施する。
Moreover, although the manufacturing method of each embodiment mentioned above paid attention to one of the
上述した製造方法によれば、第一及び第二の実施の形態における上下の基板3a,33a,3b,33bは、それぞれの二酸化シリコン層4bを犠牲層として用いているため、クリアランスを容易に形成することができるようになり、各基板3a,33a,3b,33bを所定形状に短時間で容易に加工することができるとともに、高精度加工が可能となる。
According to the manufacturing method described above, the upper and
1…秤
2…ロバーバル機構
3a…第一の基板(上基板)
3b…第二の基板(下基板)
4a…シリコン層
4b…二酸化シリコン層
5…スペーサ
6a…一端縁部
6b…他端縁部
7…固定部
10…中間部
11…バネ部
12…可動部
16…ロバーバル部
M1 ,M2 ,M3 ,M4 …マスク
DESCRIPTION OF
3b ... Second substrate (lower substrate)
4a ...
Claims (4)
前記ロバーバル機構が、
前記固定部となるように固定された一端縁部(6a)と、前記一端縁部と対向する他端縁部(6b)と、前記一端縁部と前記他端縁部の間を連結する二つの端縁部(6c,6c)と、から形成されたフレーム(6)と、
前記他端縁部の内縁から前記一端縁部の内縁に向けて延出し、その先端が前記可動部となるように自由端とされた中間部(10)と、を有し、
前記ロバーバル部を構成するために、前記二つの端縁部のそれぞれの前記一端縁部側と前記他端縁部側の所定位置が薄厚加工されてなるバネ部(11)が形成された第一の基板(3a)と、
前記第一の基板と対面して配置され、前記固定部となるように固定された一端縁部(6a)と、前記一端縁部と対向する他端縁部(6b)と、前記一端縁部と前記他端縁部の間を連結する二つの端縁部(6c,6c)と、から形成されたフレーム(6)を有し、
前記ロバーバル部を構成するために、前記二つの端縁部のそれぞれの前記一端縁部側と前記他端縁部側の所定位置が薄厚加工されてなるバネ部(11)が形成された第二の基板(3b)と、
前記第一の基板と前記第二の基板の間に設けられ、前記第一及び第二の基板の前記一端縁部の間及び前記他端縁部の間をそれぞれ連結させた二つのスペーサ(5,5)と、
から構成されたことを特徴とする秤。 A fixed part (7), a movable part (12) provided opposite to the fixed part, and provided between the fixed part and the movable part, receive the load of an object to be measured and move the movable part up and down And a Roverval mechanism (2) comprising a Roverval portion (16) to be moved to the balance, and detects a load of the object to be weighed based on a displacement amount of the Roverval mechanism and measures a mass of the object to be weighed ( In 1)
The Roberval mechanism is
The one end edge (6a) fixed so as to be the fixing section, the other end edge (6b) opposite to the one end edge, and the two connecting the one end edge and the other end edge One end edge (6c, 6c), and a frame (6) formed from,
An intermediate portion (10) extending from the inner edge of the other end edge portion toward the inner edge of the one end edge portion and having a free end so that the tip thereof becomes the movable portion;
In order to constitute the Roverval portion, a first spring portion (11) is formed in which predetermined positions on the one end edge side and the other end edge side of each of the two end edges are thinned. A substrate (3a) of
One end edge (6a) disposed to face the first substrate and fixed to be the fixed portion, the other end edge (6b) facing the one end edge, and the one end edge And two end edges (6c, 6c) connecting between the other end edges, and a frame (6) formed from
In order to constitute the Roverval part, a second spring part (11) is formed in which predetermined positions on the one end edge side and the other end edge side of each of the two end edges are thinned. A substrate (3b) of
Two spacers (5) provided between the first substrate and the second substrate and connecting between the one end edge and the other end edge of the first and second substrates, respectively. , 5) and
A scale characterized by comprising:
前記第一の基板(3a)の一方の面に所定形状を得るためのマスク(M1 )を施し、該面の前記シリコン層(4a)を除去して所定形状の凹部を形成した後、前記マスクを除去する工程と、
前記第一の基板の他方の面に所定形状を得るためのマスク(M2 )を施し、該面の前記シリコン層を除去して所定形状の凹部を形成した後、前記マスクを除去する工程と、
前記第一の基板の一方及び他方の面にて露出している前記二酸化シリコン層(4b)を除去する工程と、
前記第二の基板(3b)の一方の面に所定形状を得るためのマスク(M3 )を施し、該面の前記シリコン層(4a)を除去して所定形状の凹部を形成した後、前記マスクを除去する工程と、
前記第二の基板の他方の面に所定形状を得るためのマスク(M4 )を施し、該面の前記シリコン層を除去して所定形状の凹部を形成した後、前記マスクを除去する工程と、
前記第二の基板の一方及び他方の面にて露出している前記二酸化シリコン層(4b)を除去する工程と、
前記第一の基板の一方の面と前記スペーサ(5)を接合する工程と、
前記第二の基板の一方又は他方のいずれかの面と前記スペーサを接合する工程と、
を備えたことを特徴とする秤の製造方法。 The method of manufacturing a scale of claim 2 Symbol placement,
After applying a mask (M 1 ) for obtaining a predetermined shape on one surface of the first substrate (3a) and removing the silicon layer (4a) on the surface to form a concave portion of the predetermined shape, Removing the mask;
Applying a mask (M 2 ) for obtaining a predetermined shape on the other surface of the first substrate, removing the silicon layer on the surface to form a recess having a predetermined shape, and removing the mask; ,
Removing the silicon dioxide layer (4b) exposed on one and other surfaces of the first substrate;
A mask (M 3 ) for obtaining a predetermined shape is applied to one surface of the second substrate (3b), and the silicon layer (4a) on the surface is removed to form a recess having a predetermined shape. Removing the mask;
Applying a mask (M 4 ) for obtaining a predetermined shape on the other surface of the second substrate, removing the silicon layer on the surface to form a concave portion of the predetermined shape, and removing the mask; ,
Removing the silicon dioxide layer (4b) exposed on one and other surfaces of the second substrate;
Bonding one surface of the first substrate and the spacer (5);
Bonding one of the second substrate and the other surface to the spacer;
A method of manufacturing a balance, comprising:
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010004095A JP5364599B2 (en) | 2010-01-12 | 2010-01-12 | Scale and method for manufacturing the scale |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010004095A JP5364599B2 (en) | 2010-01-12 | 2010-01-12 | Scale and method for manufacturing the scale |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011145100A JP2011145100A (en) | 2011-07-28 |
JP5364599B2 true JP5364599B2 (en) | 2013-12-11 |
Family
ID=44460098
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010004095A Active JP5364599B2 (en) | 2010-01-12 | 2010-01-12 | Scale and method for manufacturing the scale |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5364599B2 (en) |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3147470A1 (en) * | 1981-12-01 | 1983-07-14 | Bizerba-Werke Wilhelm Kraut GmbH & Co KG, 7460 Balingen | FORCE MEASURING DEVICE |
JPS6370133A (en) * | 1986-09-11 | 1988-03-30 | Tanita:Kk | Weight sensor |
JPH0357934A (en) * | 1989-07-27 | 1991-03-13 | Orientetsuku:Kk | Composite parallel beam type loadcell |
JPH10256571A (en) * | 1997-03-17 | 1998-09-25 | Mitsubishi Materials Corp | Manufacture of semiconductor inertial sensor |
JP2002174545A (en) * | 2000-12-06 | 2002-06-21 | Anritsu Corp | Force balance |
JP4071088B2 (en) * | 2002-11-01 | 2008-04-02 | 株式会社エー・アンド・デイ | Assembly type robotic mechanism |
-
2010
- 2010-01-12 JP JP2010004095A patent/JP5364599B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011145100A (en) | 2011-07-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20200025790A1 (en) | In-plane translational vibrating beam accelerometer with mechanical isolation and 4-fold symmetry | |
US20080034867A1 (en) | Multi-range three-axis acceleration sensor device | |
JP5700652B2 (en) | Capacitance type acceleration sensor | |
CN109642839A (en) | Sensor chip, response body and force sensor device | |
CN102636298A (en) | Beam-film four-land structured micro-pressure high-overload sensor chip | |
WO2003087719A1 (en) | Inclination sensor, method of manufacturing inclination sensor, and method of measuring inclination | |
WO2018066557A1 (en) | Sensor chip, strain inducing body, and force sensor device | |
Tian et al. | The novel structural design for pressure sensors | |
US9903884B2 (en) | Parallel plate capacitor and acceleration sensor comprising same | |
US7104128B2 (en) | Multiaxial micromachined differential accelerometer | |
CN103235155A (en) | Piezoresistive acceleration sensor with full-bridge micro-beam structure | |
JP6258977B2 (en) | Sensor and manufacturing method thereof | |
US10899603B2 (en) | Micromechanical z-inertial sensor | |
JP5364599B2 (en) | Scale and method for manufacturing the scale | |
CN106895777B (en) | Resonant type strain structure based on range expansion, strain sensor and preparation method | |
Hata et al. | An SOI tactile sensor with a quad seesaw electrode for 3-axis complete differential detection | |
Czarny et al. | New architecture of MEMS microphone for enhanced performances | |
JP5595721B2 (en) | Scale | |
JP2007171040A (en) | Physical quantity sensor | |
Zheng et al. | Ultra-small micro pressure sensor chip design and fabrication featuring high-sensitivity and good-linearity | |
JP4466344B2 (en) | Acceleration sensor | |
JP2009270944A (en) | Capacitance type acceleration sensor | |
JP2007171057A (en) | Acceleration sensor | |
TWI291027B (en) | Acceleration sensor | |
RU2639610C1 (en) | Integral acceleration sensor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121121 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130611 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130612 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130705 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130820 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130909 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5364599 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |