JP5359842B2 - Multilayer type common mode filter - Google Patents

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Description

本発明は、積層型のコモンモードフィルタに関する。   The present invention relates to a laminated common mode filter.

従来の積層型コモンモードフィルタとして、例えば特許文献１に記載のコモンモードフィルタがある。この従来のコモンモードフィルタは、３組の渦巻き状のコイル導体を形成した非磁性体層を一対の磁性体層で挟み込んだ素体を有しており、所定のコイル導体が積層方向において対向しないように配置されると共に、積層方向に延在する磁性体層がコイル導体の中心部分に貫通している。これにより、コイル導体間の磁気結合の低下を防止することでインピーダンスの低下を防止し、高周波帯域のコモンモードノイズを除去している。   As a conventional laminated common mode filter, for example, there is a common mode filter described in Patent Document 1. This conventional common mode filter has an element body in which a non-magnetic layer formed with three sets of spiral coil conductors is sandwiched between a pair of magnetic layers, and the predetermined coil conductors do not face each other in the stacking direction. The magnetic layer extending in the stacking direction passes through the central portion of the coil conductor. This prevents a decrease in impedance by preventing a decrease in magnetic coupling between coil conductors, and removes common mode noise in a high frequency band.

特開２００７−２２７４９０号公報JP 2007-227490 A

しかしながら、上記従来のコモンモードフィルタでは、磁性体層がコイル導体の中心部を角柱状に貫通している結果、磁性体の体積が大きくなる。そのため、素体を焼結する際、非磁性体層と磁性体層との収縮力の差による応力が界面に集中し、クラックが発生しやすいといった問題があった。   However, in the conventional common mode filter, the volume of the magnetic material is increased as a result of the magnetic material layer penetrating the central portion of the coil conductor in the shape of a prism. Therefore, when the element body is sintered, there is a problem that stress due to a difference in contraction force between the nonmagnetic layer and the magnetic layer is concentrated on the interface, and cracks are likely to occur.

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、コイル導体間の磁気結合を確保しつつ、クラックの発生を抑制できる積層型コモンモードフィルタを提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a multilayer common mode filter that can suppress the occurrence of cracks while ensuring magnetic coupling between coil conductors.

上記課題を解決するために、本発明に係る積層型コモンモードフィルタは、渦巻き状のコイル導体が表面に形成された一対の非磁性体層を含む複数の非磁性体層と、複数の非磁性体層を挟む一対の磁性体層とが積層された素体を備え、コイル導体の内側領域には、積層方向に延在し且つ一対の磁性体層に接触する磁性体が設けられており、磁性体は、積層方向において凹凸状をなしていることを特徴とする。   In order to solve the above-described problem, a multilayer common mode filter according to the present invention includes a plurality of nonmagnetic layers including a pair of nonmagnetic layers having spiral coil conductors formed on a surface thereof, and a plurality of nonmagnetic layers. And a magnetic body extending in the laminating direction and in contact with the pair of magnetic layers is provided in the inner region of the coil conductor, and a pair of magnetic layers sandwiching the body layer is provided. The magnetic body is characterized by having an uneven shape in the stacking direction.

この積層型コモンモードフィルタでは、コイル導体の内側領域において磁性体が積層方向に延在しているので、コイル導体間の磁気結合を確保できる。また、磁性体は、積層方向において凸凹状をなしているので、積層方向において体積が大きい部分と体積が小さい部分とが存在する。そのため、磁性体においては、焼結時に素体が収縮する際、応力が分散する。これにより、本発明の積層型コモンモードフィルタでは、従来の角柱状の磁性体に比べて、非磁性体層と磁性体との収縮力の差が緩和され、その結果、クラックの発生を抑制できる。   In this laminated common mode filter, the magnetic body extends in the lamination direction in the inner region of the coil conductor, so that magnetic coupling between the coil conductors can be ensured. In addition, since the magnetic body has an uneven shape in the stacking direction, there are a portion with a large volume and a portion with a small volume in the stacking direction. Therefore, in the magnetic body, stress is dispersed when the element body contracts during sintering. As a result, in the multilayer common mode filter of the present invention, the difference in contraction force between the nonmagnetic material layer and the magnetic material is reduced as compared with the conventional prismatic magnetic material, and as a result, the occurrence of cracks can be suppressed. .

また、磁性体は、積層方向において一定の間隔で凹凸状をなしていることが好ましい。このように、磁性体を一定の間隔で凹凸状とすることで、素体の焼結時における収縮力が均一に分散し、非磁性体層と磁性体との収縮力差による応力が界面に集中することを更に抑制できる。したがって、クラックの発生を更に抑制できる。   Moreover, it is preferable that the magnetic body has an uneven shape at regular intervals in the stacking direction. Thus, by making the magnetic body uneven at regular intervals, the shrinkage force during sintering of the element body is uniformly dispersed, and the stress due to the difference in shrinkage force between the nonmagnetic material layer and the magnetic material is applied to the interface. Concentration can be further suppressed. Therefore, the generation of cracks can be further suppressed.

また、磁性体は、複数の非磁性体層にそれぞれ形成された磁性体部が積層されてなり、磁性体部のそれぞれは、非磁性体層の表面に形成された第１磁性体層と、第１磁性体層の領域内において非磁性体層の厚み方向に貫通して形成された第２磁性体層とを有し、第１磁性体層の幅寸法は、第２磁性体層の幅寸法よりも大きいことが好ましい。このように、第１磁性体層の幅寸法に対して第２磁性体層の幅寸法を小さくすることにより、磁性体は、細い部分（体積が小さい部分）と太い部分（体積が大きい部分）とが規則性をもって交互に形成された形状となる。これにより、積層方向において一定の間隔で凹凸状となる磁性体を確実に形成することができる。その結果、素体の焼結時における収縮力が均一に分散するので、非磁性体層と磁性体との収縮力差による応力が界面に集中することを更に抑制できる。   In addition, the magnetic body is formed by laminating a magnetic part formed in each of a plurality of non-magnetic layers, and each of the magnetic parts includes a first magnetic layer formed on the surface of the non-magnetic layer, And a second magnetic layer formed so as to penetrate in the thickness direction of the nonmagnetic layer in the region of the first magnetic layer, and the width dimension of the first magnetic layer is the width of the second magnetic layer Preferably it is larger than the dimension. Thus, by reducing the width dimension of the second magnetic layer relative to the width dimension of the first magnetic layer, the magnetic body has a thin part (part with a small volume) and a thick part (part with a large volume). Are alternately formed with regularity. Thereby, the magnetic body which becomes uneven | corrugated at a fixed space | interval in a lamination direction can be formed reliably. As a result, since the shrinkage force during the sintering of the element body is uniformly dispersed, the stress due to the difference in shrinkage force between the nonmagnetic material layer and the magnetic material can be further suppressed.

また、第２磁性体層は、非磁性体層における第１磁性体層の領域内において、複数形成されていることが好ましい。このような構成により、素体の焼結時における収縮力を、それぞれの第２磁性体層に分散することができるので、より分散効率が向上する。したがって、クラックの発生をより抑制することができる。   In addition, it is preferable that a plurality of the second magnetic layers are formed in the region of the first magnetic layer in the nonmagnetic layer. With such a configuration, the shrinkage force during sintering of the element body can be dispersed in each second magnetic layer, so that the dispersion efficiency is further improved. Therefore, the generation of cracks can be further suppressed.

また、積層方向の一端側の非磁性体層には、第１磁性体層と同形状の第３磁性体層が厚み方向に貫通して形成された磁性体部が設けられており、磁性体の一端側は、第３磁性体層が磁性体層に接触し、磁性体の他端側は、第１磁性体層が磁性体層に接触していることが好ましい。また、積層方向の一端側の非磁性体層には、第２磁性体層と同形状の第４磁性体層が厚み方向に貫通して形成された磁性体部が設けられており、磁性体の一端側は、第４磁性体層が磁性体層に接触し、磁性体の他端側は、第２磁性体層が磁性体層に接触していることが好ましい。このような構成により、磁性体は、素体の長手方向に沿った中心線に対して、線対称となる。そのため、素体の焼結時における収縮力がより均一に分散し、非磁性体層と磁性体との収縮力差による応力が界面に集中することを更に抑制できる。   In addition, the nonmagnetic material layer on one end side in the stacking direction is provided with a magnetic material portion formed by penetrating a third magnetic material layer having the same shape as the first magnetic material layer in the thickness direction. Preferably, the third magnetic layer is in contact with the magnetic layer on one end side, and the first magnetic layer is in contact with the magnetic layer on the other end side of the magnetic member. In addition, the nonmagnetic material layer on one end side in the stacking direction is provided with a magnetic material portion formed by penetrating a fourth magnetic material layer having the same shape as the second magnetic material layer in the thickness direction. Preferably, the fourth magnetic layer is in contact with the magnetic layer on one end side, and the second magnetic layer is in contact with the magnetic layer on the other end side of the magnetic member. With such a configuration, the magnetic body is axisymmetric with respect to the center line along the longitudinal direction of the element body. Therefore, the shrinkage force during sintering of the element body is more uniformly dispersed, and it is possible to further suppress the stress due to the difference in shrinkage force between the nonmagnetic layer and the magnetic body from being concentrated on the interface.

また、非磁性体層は、ガラスを含む組成からなることが好ましい。このように、非磁性体層を低誘電率の材料で形成することにより、積層型コモンモードフィルタでは、ディファレンシャルモードのカットオフ周波数を高周波に延ばし、より高速信号を実現することができる。   Moreover, it is preferable that a nonmagnetic material layer consists of a composition containing glass. In this way, by forming the nonmagnetic material layer with a material having a low dielectric constant, in the laminated common mode filter, the cutoff frequency of the differential mode can be extended to a high frequency, and a higher speed signal can be realized.

本発明によれば、コイル導体間の磁気結合を確保しつつ、クラックの発生を抑制できる。   According to the present invention, the occurrence of cracks can be suppressed while securing the magnetic coupling between the coil conductors.

第１実施形態に係る積層型コモンモードフィルタを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the lamination type common mode filter which concerns on 1st Embodiment. 図１に示した積層型コモンモードフィルタの素体の構成を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows the structure of the element | base_body of the laminated | stacked common mode filter shown in FIG. 図２に示した積層型コモンモードフィルタの素体の断面図である。It is sectional drawing of the element | base_body of the laminated | stacked common mode filter shown in FIG. 第２実施形態に係る積層型コモンモードフィルタの素体の構成を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows the structure of the element | base_body of the laminated | stacked common mode filter which concerns on 2nd Embodiment. 図４に示した積層型コモンモードフィルタの素体の断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view of an element body of the stacked common mode filter illustrated in FIG. 4. 第３実施形態に係る積層型コモンモードフィルタの素体の構成を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows the structure of the element | base_body of the laminated | stacked common mode filter which concerns on 3rd Embodiment. 図６に示した積層型コモンモードフィルタの素体の断面図である。It is sectional drawing of the element | base_body of the laminated | stacked common mode filter shown in FIG. 第４実施形態に係る積層型コモンモードフィルタの素体の構成を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows the structure of the element | base_body of the laminated | stacked common mode filter which concerns on 4th Embodiment. 図８に示した積層型コモンモードフィルタの素体の断面図である。It is sectional drawing of the element | base_body of the laminated | stacked common mode filter shown in FIG. 変形例に係る積層型コモンモードフィルタの素体の断面図である。It is sectional drawing of the element | base_body of the laminated | stacked common mode filter which concerns on a modification.

以下、図面を参照しながら、本発明に係る積層型コモンモードフィルタの好適な実施形態について詳細に説明する。   Hereinafter, a preferred embodiment of a multilayer common mode filter according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

［第１実施形態］
図１は、第１実施形態に係る積層型コモンモードフィルタを示す斜視図である。また、図２は、素体の構成を示す分解斜視図であり、図３は、素体の断面図である。 [First Embodiment]
FIG. 1 is a perspective view showing the multilayer common mode filter according to the first embodiment. 2 is an exploded perspective view showing the configuration of the element body, and FIG. 3 is a cross-sectional view of the element body.

図１に示すように、積層型コモンモードフィルタ１は、略直方体形状の素体２と、素体２の長手方向の両端部に形成された外部電極３〜６とを備えている。   As shown in FIG. 1, the multilayer common mode filter 1 includes a substantially rectangular parallelepiped element body 2 and external electrodes 3 to 6 formed at both ends in the longitudinal direction of the element body 2.

外部電極３，５は、素体２の長手方向の一方の端面２ａにおいて、所定の間隔をもって素体２の積層方向に延在しており、外部電極３，５の両端部は、素体２の上面２ｃ及び底面２ｄに張り出した状態となっている。外部電極４，６は、素体２の長手方向の他方の端面２ｂにおいて、所定の間隔をもって素体２の積層方向に延在しており、外部電極４，６の両端部は、素体２の上面２ｃ及び底面２ｄに張り出した状態となっている。   The external electrodes 3, 5 extend in the stacking direction of the element body 2 at a predetermined interval on one end face 2 a in the longitudinal direction of the element body 2, and both ends of the external electrodes 3, 5 are connected to the element body 2. It protrudes from the top surface 2c and bottom surface 2d. The external electrodes 4 and 6 extend in the stacking direction of the element body 2 at a predetermined interval on the other end surface 2 b in the longitudinal direction of the element body 2, and both end portions of the external electrodes 4 and 6 are connected to the element body 2. It protrudes from the top surface 2c and bottom surface 2d.

素体２は、図２及び図３に示すように、渦巻き状の第１コイル導体３０及び第２コイル導体３１が表面に形成された一対の非磁性シート２２，２６を含む複数の非磁性体層１０と、非磁性体層１０を挟む一対の磁性体層１１とが積層された積層体である。素体２は、導体パターンを形成したグリーンシートの焼成によって形成されており、実際の積層型コモンモードフィルタ１では、非磁性体層１０及び磁性体層１１を構成する各層同士は、視認できない程度に一体化されている。   As shown in FIGS. 2 and 3, the element body 2 includes a plurality of nonmagnetic sheets including a pair of nonmagnetic sheets 22 and 26 having a spiral first coil conductor 30 and a second coil conductor 31 formed on the surface thereof. This is a laminate in which the layer 10 and a pair of magnetic layers 11 sandwiching the nonmagnetic layer 10 are laminated. The element body 2 is formed by firing a green sheet on which a conductor pattern is formed. In the actual laminated common mode filter 1, the layers constituting the nonmagnetic material layer 10 and the magnetic material layer 11 are invisible. Is integrated.

磁性体層１１，１１は、それぞれ複数（本実施形態では４枚）の磁性シート２１の積層体である。焼成後の各磁性シート２１の厚さは、例えば２０μｍ〜４０μｍ程度となっている。磁性体層１１，１１は、非磁性体層１０を積層方向の上下から挟むように配置されており、上述した素体２の上面２ｃ及び底面２ｄを構成している。   Each of the magnetic layers 11 and 11 is a laminated body of a plurality (four in this embodiment) of magnetic sheets 21. The thickness of each magnetic sheet 21 after firing is, for example, about 20 μm to 40 μm. The magnetic layers 11 and 11 are arranged so as to sandwich the nonmagnetic layer 10 from above and below in the stacking direction, and constitute the upper surface 2c and the bottom surface 2d of the element body 2 described above.

非磁性体層１０は、複数層（本実施形態では６層）の非磁性シートの積層体である。より具体的には、非磁性体層１０は、第１コイル導体３０が形成された非磁性シート２２、第１引出導体３２が形成された非磁性シート２３、第１余白非磁性シート２４、第２引出導体３３が形成された非磁性シート２５、第２コイル導体３１が形成された非磁性シート２６、及び第２余白非磁性シート２７がこの順に積層されて構成されている。各非磁性シート２２〜２７には、磁性体部３４が形成されている。焼成後の各磁性シート２２〜２７の厚さは、例えば５μｍ〜２０μｍ程度となっている。   The nonmagnetic layer 10 is a laminate of a plurality of layers (six layers in this embodiment) of nonmagnetic sheets. More specifically, the nonmagnetic layer 10 includes a nonmagnetic sheet 22 on which a first coil conductor 30 is formed, a nonmagnetic sheet 23 on which a first lead conductor 32 is formed, a first blank nonmagnetic sheet 24, a first margin. The nonmagnetic sheet 25 on which the two lead conductors 33 are formed, the nonmagnetic sheet 26 on which the second coil conductor 31 is formed, and the second blank nonmagnetic sheet 27 are laminated in this order. A magnetic body portion 34 is formed on each of the nonmagnetic sheets 22 to 27. The thickness of each magnetic sheet 22 to 27 after firing is, for example, about 5 μm to 20 μm.

焼成後の渦巻き状の第１コイル導体３０は、非磁性シート２２の表面において、例えば５μｍ〜２０μｍ程度の厚さで形成されている。第１コイル導体３０の外側端部３０ａは、素体２の端面２ｂまで引き出され、外部電極４に接続されている。また、第１コイル導体３０の内側端部３０ｂは、非磁性シート２２の中央側に伸びている。非磁性シート２２において、第１コイル導体３０の内側端部３０ｂに対応する位置には、非磁性シート２２を厚み方向に貫通するスルーホール導体（図示しない）が形成されている。   The fired spiral first coil conductor 30 is formed on the surface of the nonmagnetic sheet 22 with a thickness of, for example, about 5 μm to 20 μm. The outer end 30 a of the first coil conductor 30 is drawn to the end surface 2 b of the element body 2 and connected to the external electrode 4. Further, the inner end 30 b of the first coil conductor 30 extends toward the center side of the nonmagnetic sheet 22. In the nonmagnetic sheet 22, a through-hole conductor (not shown) that penetrates the nonmagnetic sheet 22 in the thickness direction is formed at a position corresponding to the inner end 30 b of the first coil conductor 30.

焼成後の第１引出導体３２は、非磁性シート２３の表面において、第１コイル導体３０と同様に、例えば５μｍ〜２０μｍ程度の厚さで形成されている。第１引出導体３２の外側端部３２ａは、素体２の端面２ａまで引き出され、外部電極３に接続されている。また、第１引出導体３２の内側端部３２ｂは、非磁性シート２２のスルーホール導体に対応する位置に伸びている。これにより、第１コイル導体３０は、第１引出導体３２を介して外部電極３に接続されている。   The first lead conductor 32 after firing is formed on the surface of the nonmagnetic sheet 23 with a thickness of, for example, about 5 μm to 20 μm, similarly to the first coil conductor 30. The outer end 32 a of the first lead conductor 32 is drawn to the end face 2 a of the element body 2 and connected to the external electrode 3. The inner end 32 b of the first lead conductor 32 extends to a position corresponding to the through-hole conductor of the nonmagnetic sheet 22. Thereby, the first coil conductor 30 is connected to the external electrode 3 via the first lead conductor 32.

焼成後の渦巻き状の第２コイル導体３１は、非磁性シート２６の表面において、例えば５μｍ〜２０μｍ程度の厚さで形成されている。第２コイル導体３１の外側端部３１ａは、素体２の端面２ｂまで引き出され、外部電極６に接続されている。また、第２コイル導体３１の内側端部３１ｂは、非磁性シート２６の中央側に伸びている。非磁性シート２６において、第２コイル導体３１の内側端部３１ｂに対応する位置には、非磁性シート２６を厚み方向に貫通するスルーホール導体（図示しない）が形成されている。   The fired spiral second coil conductor 31 is formed on the surface of the nonmagnetic sheet 26 with a thickness of, for example, about 5 μm to 20 μm. The outer end 31 a of the second coil conductor 31 is drawn to the end face 2 b of the element body 2 and connected to the external electrode 6. Further, the inner end portion 31 b of the second coil conductor 31 extends to the center side of the nonmagnetic sheet 26. In the nonmagnetic sheet 26, a through-hole conductor (not shown) that penetrates the nonmagnetic sheet 26 in the thickness direction is formed at a position corresponding to the inner end portion 31 b of the second coil conductor 31.

焼成後の第２引出導体３３は、非磁性シート２５の表面において、第２コイル導体３１と同様に、例えば５μｍ〜２０μｍ程度の厚さで形成されている。第２引出導体３３の外側端部３３ａは、素体２の端面２ａまで引き出され、外部電極５に接続されている。また、第２引出導体３３の内側端部３３ｂは、非磁性シート２６のスルーホール導体に対応する位置まで伸びている。これにより、第２コイル導体３１は、第２引出導体３３を介して外部電極５に接続されている。   The second lead conductor 33 after firing is formed on the surface of the nonmagnetic sheet 25 with a thickness of, for example, about 5 μm to 20 μm, similarly to the second coil conductor 31. The outer end 33 a of the second lead conductor 33 is drawn to the end face 2 a of the element body 2 and connected to the external electrode 5. The inner end 33 b of the second lead conductor 33 extends to a position corresponding to the through-hole conductor of the nonmagnetic sheet 26. Thereby, the second coil conductor 31 is connected to the external electrode 5 via the second lead conductor 33.

さらに、各非磁性シート２２〜２７には、第１コイル導体３０及び第２コイル導体３１の内側領域Ｒ１に位置する磁性体部３４がそれぞれ設けられている。磁性体部３４は、第１磁性体層３５と、この第１磁性体層３５の領域内に設けられた第２磁性体層３６とを有している。第１磁性体層３５は、各非磁性シート２２〜２７の表面に設けられ、例えば印刷によって矩形にパターン形成されている。焼成後の第１磁性体層３５の厚さは、例えば３μｍ〜１５μｍ程度となっており、第１磁性体層３５の素体２の長手方向に沿った幅寸法Ｌ１は、例えば、５０μｍ〜４００μｍ程度となっている。第１コイル導体３０が形成された非磁性体シート２２、及び第２コイル導体３１が形成された非磁性体シート２６においては、第１磁性体層３５と第１コイル導体３０及び第２コイル導体３１との間には所定の間隔が設けられており、これらが互いに接触しないようになっている。   Further, each of the nonmagnetic sheets 22 to 27 is provided with a magnetic body portion 34 located in the inner region R1 of the first coil conductor 30 and the second coil conductor 31. The magnetic part 34 has a first magnetic layer 35 and a second magnetic layer 36 provided in the region of the first magnetic layer 35. The first magnetic layer 35 is provided on the surface of each of the nonmagnetic sheets 22 to 27 and is formed into a rectangular pattern by printing, for example. The thickness of the first magnetic layer 35 after firing is, for example, about 3 μm to 15 μm, and the width dimension L1 along the longitudinal direction of the element body 2 of the first magnetic layer 35 is, for example, 50 μm to 400 μm. It is about. In the nonmagnetic sheet 22 on which the first coil conductor 30 is formed and the nonmagnetic sheet 26 on which the second coil conductor 31 is formed, the first magnetic layer 35, the first coil conductor 30, and the second coil conductor are included. A predetermined interval is provided between the two and 31 so that they do not contact each other.

また、第２磁性体層３６は、第１磁性体層３５の領域内において、各非磁性シート２２〜２７を厚み方向に貫通して設けられている。この第２磁性体層３６は、第１磁性体層３５よりも外形寸法が小さく、各非磁性シート２２〜２７に円柱状に形成されたスルーホール（図示しない）に例えば印刷によって導体ペーストが充填されることにより第１磁性体層３５と一体形成されている。図３に示すように、第２磁性体層３６の厚さは、非磁性シート２２〜２７の厚さと同等（例えば５μｍ〜２０μｍ）となっており、第２磁性体層３６の素体２の長手方向に沿った幅寸法Ｌ２は、例えば第１磁性体層３５の幅寸法の約１／３程度（Ｌ１＞Ｌ２）となっている。   Further, the second magnetic layer 36 is provided in the region of the first magnetic layer 35 so as to penetrate the nonmagnetic sheets 22 to 27 in the thickness direction. The second magnetic layer 36 has a smaller outer dimension than the first magnetic layer 35, and through holes (not shown) formed in a cylindrical shape in the nonmagnetic sheets 22 to 27 are filled with a conductive paste, for example, by printing. As a result, the first magnetic layer 35 is integrally formed. As shown in FIG. 3, the thickness of the second magnetic layer 36 is equal to the thickness of the nonmagnetic sheets 22 to 27 (for example, 5 μm to 20 μm). The width dimension L2 along the longitudinal direction is, for example, about 1/3 of the width dimension of the first magnetic layer 35 (L1> L2).

素体２においては、以上の非磁性シート２２〜２７が積層されることにより、図３に示すように、磁性体３７が積層方向に延在して形成される。具体的には、磁性体３７には、幅寸法が大きい部分（体積が大きい部分）と、幅寸法が小さい部分（体積が小さい部分）とが一定の間隔で交互に形成される。そして、磁性体３７は、積層方向の上端及び下端に位置する磁性体部３４の第１磁性体層３５と第２磁性体層３６とが一対の磁性体層１１，１１にそれぞれ接触している。また、本実施形態では、非磁性シート２２〜２７の厚さと第１磁性体層３５の厚さとが等しくなっている。したがって、第１磁性体層３５は、第１コイル導体３０及び第２コイル導体３１と同一段に配置されることとなる。   In the element body 2, the above-described nonmagnetic sheets 22 to 27 are laminated to form a magnetic body 37 extending in the laminating direction as shown in FIG. 3. Specifically, in the magnetic body 37, a portion having a large width dimension (a portion having a large volume) and a portion having a small width dimension (a portion having a small volume) are alternately formed at regular intervals. In the magnetic body 37, the first magnetic layer 35 and the second magnetic layer 36 of the magnetic body portion 34 positioned at the upper end and the lower end in the stacking direction are in contact with the pair of magnetic layers 11, 11, respectively. . Further, in the present embodiment, the thickness of the nonmagnetic sheets 22 to 27 is equal to the thickness of the first magnetic layer 35. Therefore, the first magnetic layer 35 is disposed on the same stage as the first coil conductor 30 and the second coil conductor 31.

続いて、上述した積層型コモンモードフィルタ１の作製方法について説明する。   Subsequently, a manufacturing method of the above-described laminated common mode filter 1 will be described.

まず、磁性シート２１を構成する磁性グリーンシート、及び非磁性シート２２〜２７を構成する非磁性グリーンシートをそれぞれ用意する。非磁性グリーンシートは、Ｚｎの酸化物単独ならびにＭｇの酸化物及びＺｎの酸化物から選ばれる一つと、Ｃｕの酸化物と、Ｓｉの酸化物とを主成分（Ｍｇ２ＳｉＯ４及びＺｎ２ＳｉＯ４を含む複合酸化物にＣｕを含有）とし、これに副成分としてガラス成分を含有したスラリーを、ドクターブレード法によってフィルム上に塗布して形成する。 First, the magnetic green sheet which comprises the magnetic sheet 21, and the nonmagnetic green sheet which comprises the nonmagnetic sheets 22-27 are each prepared. The nonmagnetic green sheet is composed mainly of Zn oxide alone, Mg oxide and Zn oxide, Cu oxide, and Si oxide (Mg 2 SiO 4 and Zn 2 SiO). 4 is formed by applying a slurry containing a glass component as an accessory component on a film by a doctor blade method.

上記ガラス成分は、ガラス軟化点が７５０℃以下の低融点ガラスであり、Ｓｉの酸化物、Ｚｎの酸化物、Ｂａの酸化物、Ｃａの酸化物、Ｓｒの酸化物及びＬｉの酸化物から選ばれる少なくとも一つと、Ｂの酸化物とを含むものである。具体的には、ガラス成分としては、Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−ＢａＯ−ＣａＯ系ガラス、Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−ＢａＯ系ガラス、Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−ＣａＯ系ガラス、Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−ＳｒＯ系ガラス、Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−Ｌｉ２Ｏ系ガラス、Ｂ２Ｏ３−ＺｎＯ−ＢａＯ系ガラス、Ｂ２Ｏ３−ＺｎＯ−Ｌｉ２Ｏ系ガラス、Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−ＺｎＯ−ＢａＯ系ガラス、Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−ＺｎＯ−ＢａＯ−ＣａＯ系ガラス等が挙げられる。 The glass component is a low-melting glass having a glass softening point of 750 ° C. or lower, and is selected from an oxide of Si, an oxide of Zn, an oxide of Ba, an oxide of Ca, an oxide of Sr, and an oxide of Li. And an oxide of B. Specifically, the glass component, B 2 O 3 -SiO 2 -BaO -CaO -based glass, B 2 O 3 -SiO 2 -BaO-based glass, B 2 O 3 -SiO 2 -CaO-based glass, B 2 O 3 -SiO 2 -SrO-based glass, B 2 O 3 -SiO 2 -Li 2 O -based glass, B 2 O 3 -ZnO-BaO-based glass, B 2 O 3 -ZnO-Li 2 O -based glass, B 2 O 3 —SiO 2 —ZnO—BaO-based glass, B 2 O 3 —SiO 2 —ZnO—BaO—CaO-based glass, and the like can be given.

また、磁性グリーンシートは、例えばフェライト（例えば、Ｎｉ−Ｃｕ−Ｚｎ系フェライト、Ｎｉ−Ｃｕ−Ｚｎ−Ｍｇ系フェライト、Ｃｕ−Ｚｎ系フェライト、又は、Ｎｉ−Ｃｕ系フェライト等）粉末を原料としたスラリーを、ドクターブレード法によってフィルム上に塗布して形成する。   The magnetic green sheet is made of, for example, ferrite (eg, Ni—Cu—Zn ferrite, Ni—Cu—Zn—Mg ferrite, Cu—Zn ferrite, or Ni—Cu ferrite) powder as a raw material. A slurry is formed by coating on a film by a doctor blade method.

次に、所定の非磁性グリーンシートおけるスルーホール導体の形成予定位置に、レーザ加工によってスルーホールを形成する。また、各磁性体グリーンシートにおける第２磁性体層３６の形成予定位置に、レーザ加工によってスルーホールを形成する。そして、スルーホールの形成後、非磁性グリーンシートに、第１コイル導体３０、第１引出導体３２、第２コイル導体３１、及び第２引出導体３３に対応する導体パターンを形成する。各導体パターンは、例えば銀もしくはニッケルを主成分とする導体ペーストをスクリーン印刷した後、乾燥することによって形成される。スルーホール導体に対応するスルーホールには、各導体パターンの形成の際に導体ペーストが充填される。   Next, a through hole is formed by laser processing at a predetermined formation position of the through hole conductor in a predetermined nonmagnetic green sheet. Further, a through hole is formed by laser processing at a position where the second magnetic layer 36 is to be formed in each magnetic green sheet. After the through holes are formed, conductor patterns corresponding to the first coil conductor 30, the first lead conductor 32, the second coil conductor 31, and the second lead conductor 33 are formed on the nonmagnetic green sheet. Each conductor pattern is formed, for example, by screen-printing a conductor paste mainly composed of silver or nickel and then drying. A through-hole corresponding to the through-hole conductor is filled with a conductive paste when each conductor pattern is formed.

導体パターンの形成の後、各非磁性体グリーンシートの中央領域、すなわち、第１コイル導体３０及び第２コイル導体３１の内側領域Ｒ１となる領域において、第１磁性体層３５に対応する磁性体部３４を印刷によってパターン形成する。このとき、スルーホールに導体ペーストが充填され、第２磁性体層３６も同時に形成される。磁性体部３４としては、例えばフェライト（Ｎｉ−Ｃｕ−Ｚｎ系フェライト）粉末を原料したスラリーが用いられる。なお、このフェライト粉末には、例えばＦｅ２Ｏ３が４８．００ｍｏｌ％〜４９．００ｍｏｌ％、ＮｉＯが１５．９２ｍｏｌ％〜２７．８５ｍｏｌ％、ＣｕＯが８．２８ｍｏｌ％〜１１．１８ｍｏｌ％、ＺｎＯが１２．９３ｍｏｌ％〜２７．００ｍｏｌ％含有されている。 After the formation of the conductor pattern, the magnetic material corresponding to the first magnetic layer 35 in the central region of each non-magnetic green sheet, that is, the region that becomes the inner region R1 of the first coil conductor 30 and the second coil conductor 31. The part 34 is patterned by printing. At this time, the through hole is filled with the conductive paste, and the second magnetic layer 36 is also formed at the same time. As the magnetic body portion 34, for example, a slurry made of ferrite (Ni—Cu—Zn ferrite) powder is used. The ferrite powder includes, for example, Fe 2 O 3 of 48.00 mol% to 49.00 mol%, NiO of 15.92 mol% to 27.85 mol%, CuO of 8.28 mol% to 11.18 mol%, and ZnO. It is contained from 12.93 mol% to 27.00 mol%.

磁性体部３４を形成した後、乾燥工程を経て各グリーンシートを順次積層して圧着し、チップ単位に切断する。その後、例えば８００℃〜９００℃の温度で所定時間の焼成を行い、素体２を得る。その後、素体２の端面２ａ，２ｂに外部電極３〜６を形成する。これにより、図１〜図３に示した積層型コモンモードフィルタ１が完成する。   After the magnetic body portion 34 is formed, the green sheets are sequentially laminated and pressed through a drying process, and cut into chips. Thereafter, firing is performed at a temperature of, for example, 800 ° C. to 900 ° C. for a predetermined time to obtain the element body 2. Thereafter, external electrodes 3 to 6 are formed on the end faces 2 a and 2 b of the element body 2. Thereby, the laminated common mode filter 1 shown in FIGS. 1 to 3 is completed.

外部電極３〜６は、素体２の端面２ａ，２ｂに銀、ニッケルもしくは銅を主成分とする電極ペーストを転写した後、例えば７００℃程度にて焼き付けを行い、更に電気めっきを施すことによって形成される。電気めっきには、Ｃｕ／Ｎｉ／Ｓｎ、Ｎｉ／Ｓｎ、Ｎｉ／Ａｕ、Ｎｉ／Ｐｄ／Ａｕ、Ｎｉ／Ｐｄ／Ａｇ、又は、Ｎｉ／Ａｇ等を用いることができる。   The external electrodes 3 to 6 are obtained by transferring an electrode paste mainly composed of silver, nickel, or copper to the end faces 2a, 2b of the element body 2, and then baking, for example, at about 700 ° C., followed by electroplating. It is formed. For electroplating, Cu / Ni / Sn, Ni / Sn, Ni / Au, Ni / Pd / Au, Ni / Pd / Ag, Ni / Ag, or the like can be used.

以上説明したように、積層型コモンモードフィルタ１では、第１コイル導体３０及び第２コイル導体３１の内側領域Ｒ１において磁性体３７が積層方向に延在しているので、第１コイル導体３０及び第２コイル導体３１間の磁気結合を確保できる。また、磁性体３７は、積層方向において凸凹状をなしているので、積層方向において体積が大きい部分と体積が小さい部分とが存在する。そのため、磁性体３７においては、焼結時に素体２が収縮する際、応力が分散する。これにより、本発明の積層型コモンモードフィルタ１では、従来の角柱状の磁性体に比べて、非磁性体層１０と磁性体３７との収縮力の差が緩和され、その結果、クラックの発生を抑制できる。   As described above, in the laminated common mode filter 1, the magnetic body 37 extends in the lamination direction in the inner region R <b> 1 of the first coil conductor 30 and the second coil conductor 31. Magnetic coupling between the second coil conductors 31 can be ensured. In addition, since the magnetic body 37 has an uneven shape in the stacking direction, there are a portion with a large volume and a portion with a small volume in the stacking direction. Therefore, in the magnetic body 37, stress is dispersed when the element body 2 contracts during sintering. Thereby, in the laminated common mode filter 1 of the present invention, the difference in contraction force between the nonmagnetic layer 10 and the magnetic body 37 is reduced as compared with the conventional prismatic magnetic body, and as a result, the occurrence of cracks Can be suppressed.

また、磁性体３７は、積層方向において一定の間隔で凹凸状となっているので、素体２の焼結時における収縮力が均一に分散し、非磁性体層１０と磁性体３７との収縮力差による応力が界面に集中することを更に抑制できる。したがって、クラックの発生を更に抑制できる。   Further, since the magnetic body 37 is uneven at regular intervals in the stacking direction, the shrinkage force during the sintering of the element body 2 is uniformly dispersed, and the shrinkage between the nonmagnetic body layer 10 and the magnetic body 37 occurs. It is possible to further suppress the stress due to the force difference from being concentrated on the interface. Therefore, the generation of cracks can be further suppressed.

また、磁性体３７は、複数の非磁性体層１０にそれぞれ形成された磁性体部３４が積層されてなり、磁性体部３４のそれぞれは、非磁性体シート２２〜２７の表面に形成された第１磁性体層３５と、第１磁性体層３５の領域内において非磁性体シート２２〜２７の厚み方向に貫通して形成された第２磁性体層３６とを有し、第１磁性体層３５の幅寸法は、第２磁性体層３６の幅寸法よりも大きい。このように、第１磁性体層３５の幅寸法に対して第２磁性体層３６の幅寸法を小さくすることにより、磁性体３７は、細い部分（体積が小さい部分）と太い部分（体積が大きい部分）とが規則性をもって交互に形成された形状となる。これにより、積層方向において一定の間隔で凹凸状となる磁性体３７を確実に形成することができる。その結果、素体２の焼結時における収縮力が均一に分散するので、非磁性体層１０と磁性体３７との収縮力差による応力が界面に集中することを更に抑制できる。   In addition, the magnetic body 37 is formed by laminating the magnetic body portions 34 respectively formed on the plurality of nonmagnetic layers 10, and each of the magnetic body portions 34 is formed on the surfaces of the nonmagnetic body sheets 22 to 27. The first magnetic body 35 includes a first magnetic body layer 35 and a second magnetic body layer 36 formed so as to penetrate in the thickness direction of the nonmagnetic sheets 22 to 27 in the region of the first magnetic body layer 35. The width dimension of the layer 35 is larger than the width dimension of the second magnetic layer 36. Thus, by reducing the width dimension of the second magnetic layer 36 relative to the width dimension of the first magnetic layer 35, the magnetic body 37 has a thin part (part with a small volume) and a thick part (with a volume). And large portions) are alternately formed with regularity. Thereby, the magnetic body 37 which becomes uneven | corrugated at a fixed space | interval in the lamination direction can be formed reliably. As a result, since the shrinkage force during sintering of the element body 2 is uniformly dispersed, it is possible to further suppress the stress due to the difference in shrinkage force between the nonmagnetic material layer 10 and the magnetic material 37 from being concentrated on the interface.

また、非磁性体層１０（非磁性シート２２〜２７）は、ガラスを含む組成からなる。このように、非磁性体層１０を低誘電率の材料で形成することにより、積層型コモンモードフィルタ１では、ディファレンシャルモードのカットオフ周波数を高周波に延ばし、より高速信号を実現することができる。   Further, the nonmagnetic layer 10 (nonmagnetic sheets 22 to 27) is made of a composition containing glass. In this way, by forming the nonmagnetic layer 10 with a material having a low dielectric constant, the multilayer common mode filter 1 can extend the cutoff frequency of the differential mode to a high frequency and realize a higher-speed signal.

ここで、ガラス成分を含有する低誘電率の材料を非磁性体層１１に用いた場合、磁性体部３４のＮｉが拡散しにくいため、磁性体と非磁性体とが交互に積層されているような構造では、磁路を形成することが困難である。これに対し、積層型コモンモードフィルタ１では、磁性体３７が積層方向に延在して（連続して）設けられているので、確実に磁路を形成することができ、磁気特性の向上を図ることができる。   Here, when a low dielectric constant material containing a glass component is used for the nonmagnetic material layer 11, since the Ni in the magnetic material portion 34 is difficult to diffuse, the magnetic material and the nonmagnetic material are alternately laminated. With such a structure, it is difficult to form a magnetic path. On the other hand, in the laminated common mode filter 1, the magnetic body 37 is provided extending (continuously) in the laminating direction, so that a magnetic path can be reliably formed and the magnetic characteristics can be improved. Can be planned.

［第２実施形態］
続いて、第２実施形態について説明する。図４は、第２実施形態に係る積層型コモンモードフィルタの素体の構成を示す分解斜視図である。また、図５は、素体の断面図である。 [Second Embodiment]
Next, the second embodiment will be described. FIG. 4 is an exploded perspective view showing the configuration of the element body of the multilayer common mode filter according to the second embodiment. FIG. 5 is a cross-sectional view of the element body.

図４及び図５に示すように、第２実施形態に係る積層型コモンモードフィルタ４０は、積層方向における磁性体部３４の位置が第１実施形態と異なっており、他の部分は第１実施形態と共通している。この積層型コモンモードフィルタ４０では、図４に示すように、内側領域Ｒ２に対応して非磁性シート２２〜２７の表面に矩形の窪み部４２がそれぞれ形成されており、第１コイル導体３０及び第２コイル導体３１の内側領域Ｒ２の磁性体部３４における第１磁性体層３５は、これらの窪み部４２に設けられている。   As shown in FIGS. 4 and 5, the laminated common mode filter 40 according to the second embodiment is different from the first embodiment in the position of the magnetic body portion 34 in the lamination direction, and the other parts are the first embodiment. Common with form. In the laminated common mode filter 40, as shown in FIG. 4, rectangular recesses 42 are formed on the surfaces of the nonmagnetic sheets 22 to 27 corresponding to the inner region R2, respectively, and the first coil conductor 30 and The first magnetic layer 35 in the magnetic part 34 in the inner region R <b> 2 of the second coil conductor 31 is provided in these recesses 42.

窪み部４２は、例えば非磁性グリーンシートをレーザトリミングすることによって焼成前に予め形成されている。そして、窪み部４２の形成後、第２磁性体層３６に対応するスルーホールが非磁性グリーンシートの中央領域に形成される。このような、非磁性グリーンシート２２〜２７が形成されることにより、図５に示すように、素体２では、第１磁性体層３５が第１コイル導体３０及び第２コイル導体３１と段互いに配置されることとなる。   The recess 42 is formed in advance before firing, for example, by laser trimming a nonmagnetic green sheet. And after formation of the hollow part 42, the through hole corresponding to the 2nd magnetic body layer 36 is formed in the center area | region of a nonmagnetic green sheet. By forming the nonmagnetic green sheets 22 to 27 as described above, as shown in FIG. It will be arranged mutually.

このような積層型コモンモードフィルタ４０においても、第１実施形態と同様に、第１コイル導体３０及び第２コイル導体３１の内側領域Ｒ２において磁性体３７が積層方向に延在しているので、第１コイル導体３０及び第２コイル導体３１間の磁気結合を確保できる。また、磁性体３７は、積層方向において凸凹状をなしているので、積層方向において体積が大きい部分と体積が小さい部分とが存在する。そのため、磁性体３７においては、焼結時に素体２が収縮する際、応力が分散する。これにより、本発明の積層型コモンモードフィルタ４０では、従来の角柱状の磁性体に比べて、非磁性体層１０と磁性体３７との収縮力の差が緩和され、その結果、クラックの発生を抑制できる。   Even in such a laminated common mode filter 40, the magnetic body 37 extends in the laminating direction in the inner region R2 of the first coil conductor 30 and the second coil conductor 31, as in the first embodiment. Magnetic coupling between the first coil conductor 30 and the second coil conductor 31 can be ensured. In addition, since the magnetic body 37 has an uneven shape in the stacking direction, there are a portion with a large volume and a portion with a small volume in the stacking direction. Therefore, in the magnetic body 37, stress is dispersed when the element body 2 contracts during sintering. Thereby, in the multilayer common mode filter 40 of the present invention, the difference in contraction force between the nonmagnetic layer 10 and the magnetic body 37 is reduced as compared with the conventional prismatic magnetic body, and as a result, the occurrence of cracks Can be suppressed.

また、積層型コモンモードフィルタ４０では、複数の非磁性シート２２〜２７のそれぞれの表面に、内側領域Ｒ２に対応して窪み部４２が設けられており、第１磁性体層３５が窪み部４２に設けられていることにより、第１磁性体層３５が第１コイル導体３０及び第２コイル導体３１に対して段互いになっている。このような構成により、磁気結合を十分に確保しつつ、積層型コモンモードフィルタ４０の高さ寸法を小さくすることができる。   Further, in the laminated common mode filter 40, the depressions 42 are provided on the respective surfaces of the plurality of nonmagnetic sheets 22 to 27 so as to correspond to the inner region R <b> 2, and the first magnetic layer 35 is formed in the depressions 42. Accordingly, the first magnetic layer 35 is stepped with respect to the first coil conductor 30 and the second coil conductor 31. With such a configuration, it is possible to reduce the height dimension of the multilayer common mode filter 40 while ensuring sufficient magnetic coupling.

［第３実施形態］
続いて、第３実施形態について説明する。図６は、第３実施形態に係る積層型コモンモードフィルタの素体の構成を示す分解斜視図である。また、図７は、素体の断面図である。 [Third Embodiment]
Subsequently, the third embodiment will be described. FIG. 6 is an exploded perspective view showing the configuration of the element body of the multilayer common mode filter according to the third embodiment. FIG. 7 is a cross-sectional view of the element body.

図６及び図７に示すように、第３実施形態に係る積層型コモンモードフィルタ５０は、磁性体３７の形状が第１実施形態と異なっており、他の部分は第１実施形態と共通している。この積層型コモンモードフィルタ５０では、図４に示すように、磁性シート２１と非磁性シート２２との間に非磁性シート２０が積層されており、内部領域Ｒ１に対応して、第１磁性体層（第３磁性体層）３５Ａが非磁性シート２０の厚さ方向に貫通して形成された磁性体部３４Ａが設けられている。   As shown in FIGS. 6 and 7, the multilayer common mode filter 50 according to the third embodiment is different from the first embodiment in the shape of the magnetic body 37, and other parts are the same as those in the first embodiment. ing. In the laminated common mode filter 50, as shown in FIG. 4, the nonmagnetic sheet 20 is laminated between the magnetic sheet 21 and the nonmagnetic sheet 22, and the first magnetic body corresponds to the inner region R1. A magnetic body portion 34 </ b> A in which a layer (third magnetic body layer) 35 </ b> A is formed so as to penetrate in the thickness direction of the nonmagnetic sheet 20 is provided.

磁性体部３４Ａにおける第１磁性体層３５Ａは、第１磁性体層３５と同形状をなしている。この第１磁性体層３５Ａは、例えば非磁性グリーンシートをレーザトリミングして厚さ方向に貫通させ、そこに導体ペーストを充填することにより形成されており、第１磁性体層３５Ａの厚さは、非磁性シート２０の厚さと同等（例えば５μｍ〜２０μｍ）となっている。このような非磁性シート２０，２２〜２７が積層させることにより、図７に示すように、素体２では、磁性体３７において上端（他端側）及び下端（一端側）に位置する第１磁性体層３５，３５Ａが磁性体層１１，１１に接触している。このように、磁性体３７では、領域の大きい第１磁性体層３５，３５Ａが上端及び下端に位置しているので、積層型コモンモードフィルタ５０の製造時においては、積層方向にあまり加圧しなくとも磁性体層１１，１１と磁性体３７とを確実に接触させることができる。そして、このように形成された磁性体３７は、素体２の長手方向に沿った中心線Ｃ１に対して線対称をなしている。   The first magnetic layer 35A in the magnetic part 34A has the same shape as the first magnetic layer 35. The first magnetic layer 35A is formed, for example, by laser trimming a nonmagnetic green sheet and penetrating it in the thickness direction, and filling the conductor paste therewith. The thickness of the first magnetic layer 35A is as follows. The thickness of the nonmagnetic sheet 20 is the same (for example, 5 μm to 20 μm). By laminating such non-magnetic sheets 20 and 22 to 27, as shown in FIG. 7, in the element body 2, the magnetic body 37 is positioned at the upper end (the other end side) and the lower end (the one end side). The magnetic layers 35 and 35A are in contact with the magnetic layers 11 and 11. As described above, in the magnetic body 37, the first magnetic body layers 35 and 35A having a large area are located at the upper end and the lower end. Therefore, when the multilayer common mode filter 50 is manufactured, not much pressure is applied in the stacking direction. In both cases, the magnetic layers 11 and 11 and the magnetic body 37 can be reliably brought into contact with each other. And the magnetic body 37 formed in this way is symmetrical with respect to the center line C1 along the longitudinal direction of the element body 2.

このような積層型コモンモードフィルタ５０においても、第１実施形態と同様に、第１コイル導体３０及び第２コイル導体３１の内側領域Ｒ１において磁性体３７が積層方向に延在しているので、第１コイル導体３０及び第２コイル導体３１間の磁気結合を確保できる。また、磁性体３７は、積層方向において凸凹状をなしているので、積層方向において体積が大きい部分と体積が小さい部分とが存在する。そのため、磁性体３７においては、焼結時に素体２が収縮する際、応力が分散する。これにより、本発明の積層型コモンモードフィルタ５０では、従来の角柱状の磁性体に比べて、非磁性体層１０と磁性体３７との収縮力の差が緩和され、その結果、クラックの発生を抑制できる。   Also in such a laminated common mode filter 50, the magnetic body 37 extends in the laminating direction in the inner region R1 of the first coil conductor 30 and the second coil conductor 31, as in the first embodiment. Magnetic coupling between the first coil conductor 30 and the second coil conductor 31 can be ensured. In addition, since the magnetic body 37 has an uneven shape in the stacking direction, there are a portion with a large volume and a portion with a small volume in the stacking direction. Therefore, in the magnetic body 37, stress is dispersed when the element body 2 contracts during sintering. Thereby, in the laminated common mode filter 50 of the present invention, the difference in contraction force between the nonmagnetic layer 10 and the magnetic body 37 is reduced as compared with the conventional prismatic magnetic body, and as a result, the occurrence of cracks Can be suppressed.

また、積層型コモンモードフィルタ５０では、磁性体３７の上端及び下端に第１磁性体層３５，３５Ａが形成されており、磁性体３７が中心線Ｃ１に対して線対称となっているので、素体２の焼結時における収縮力がより均一に分散する。これにより、非磁性体層１０と磁性体３７との収縮力差による応力が界面に集中することを更に抑制できる。   In the multilayer common mode filter 50, the first magnetic layers 35 and 35A are formed on the upper and lower ends of the magnetic body 37, and the magnetic body 37 is line-symmetric with respect to the center line C1, The shrinkage force during sintering of the element body 2 is more uniformly dispersed. Thereby, it can further suppress that the stress by the contraction force difference of the nonmagnetic layer 10 and the magnetic body 37 concentrates on an interface.

［第４実施形態］
続いて、第４実施形態について説明する。図８は、第４実施形態に係る積層型コモンモードフィルタの素体の構成を示す分解斜視図である。また、図９は、素体の断面図である。 [Fourth Embodiment]
Subsequently, a fourth embodiment will be described. FIG. 8 is an exploded perspective view showing the configuration of the element body of the multilayer common mode filter according to the fourth embodiment. FIG. 9 is a cross-sectional view of the element body.

図８及び図９に示すように、第４実施形態に係る積層型コモンモードフィルタ６０は、磁性体３７の形状が第１実施形態と異なっており、他の部分は第１実施形態と共通している。この積層型コモンモードフィルタ６０では、図８に示すように、非磁性シート２７において、第２磁性体層（第４磁性体層）３６Ａが厚み方向に貫通して形成された磁性体部３４Ｂが設けられている。   As shown in FIGS. 8 and 9, the multilayer common mode filter 60 according to the fourth embodiment is different from the first embodiment in the shape of the magnetic body 37, and other parts are the same as those in the first embodiment. ing. In the laminated common mode filter 60, as shown in FIG. 8, in the non-magnetic sheet 27, the magnetic part 34B formed by penetrating the second magnetic layer (fourth magnetic layer) 36A in the thickness direction is provided. Is provided.

磁性体部３４Ｂにおける第２磁性体層３６Ａは、第２磁性体層３６と同形状をなしている。すなわち、非磁性シート２７は、第１磁性体層３５が形成されていない点で、非磁性シート２２〜２６と異なっている。このような非磁性シート２２〜２７が積層されることにより、図９に示すように、素体２では、磁性体３７の上端（他端側）及び下端（一端側）に位置する第２磁性体層３６，３６Ａが磁性体層１１，１１に接触している。ここで、磁性体３７では、領域の小さい第２磁性体層３６，３６Ａが上端及び下端に位置しているので、積層型コモンモードフィルタ６０の製造時においては、積層方向に加圧することにより磁性体層１１，１１と磁性体３７とを確実に接触させることができる。そして、このように形成された磁性体３７は、素体２の長手方向に沿った中心線Ｃ１に対して線対称をなしている。   The second magnetic layer 36 </ b> A in the magnetic part 34 </ b> B has the same shape as the second magnetic layer 36. That is, the nonmagnetic sheet 27 is different from the nonmagnetic sheets 22 to 26 in that the first magnetic layer 35 is not formed. By laminating such nonmagnetic sheets 22 to 27, as shown in FIG. 9, in the element body 2, the second magnetic material positioned at the upper end (the other end side) and the lower end (the one end side) of the magnetic body 37. The body layers 36 and 36A are in contact with the magnetic layers 11 and 11. Here, in the magnetic body 37, since the second magnetic layer 36, 36A having a small area is located at the upper end and the lower end, when the multilayer common mode filter 60 is manufactured, the magnetic layer 37 is pressurized by pressing in the stacking direction. The body layers 11 and 11 and the magnetic body 37 can be reliably brought into contact with each other. And the magnetic body 37 formed in this way is symmetrical with respect to the center line C1 along the longitudinal direction of the element body 2.

このような積層型コモンモードフィルタ６０においても、第１実施形態と同様に、第１コイル導体３０及び第２コイル導体３１の内側領域Ｒ１において磁性体３７が積層方向に延在しているので、第１コイル導体３０及び第２コイル導体３１間の磁気結合を確保できる。また、磁性体３７は、積層方向において凸凹状をなしているので、積層方向において体積が大きい部分と体積が小さい部分とが存在する。そのため、磁性体３７においては、焼結時に素体２が収縮する際、応力が分散する。これにより、本発明の積層型コモンモードフィルタ６０では、従来の角柱状の磁性体に比べて、非磁性体層１０と磁性体３７との収縮力の差が緩和され、その結果、クラックの発生を抑制できる。   In such a laminated common mode filter 60, as in the first embodiment, the magnetic body 37 extends in the laminating direction in the inner region R1 of the first coil conductor 30 and the second coil conductor 31. Magnetic coupling between the first coil conductor 30 and the second coil conductor 31 can be ensured. In addition, since the magnetic body 37 has an uneven shape in the stacking direction, there are a portion with a large volume and a portion with a small volume in the stacking direction. Therefore, in the magnetic body 37, stress is dispersed when the element body 2 contracts during sintering. Thereby, in the laminated common mode filter 60 of the present invention, the difference in contraction force between the non-magnetic layer 10 and the magnetic body 37 is alleviated as compared with the conventional prismatic magnetic body, and as a result, the occurrence of cracks Can be suppressed.

また、積層型コモンモードフィルタ６０では、磁性体３７の上端及び下端に第２磁性体層３６が形成されており、磁性体３７が中心線Ｃ１に対して線対称となっているので、素体２の焼結時における収縮力がより均一に分散する。これにより、非磁性体層１０と磁性体３７との収縮力差による応力が界面に集中することを更に抑制できる。   Further, in the laminated common mode filter 60, the second magnetic layer 36 is formed on the upper end and the lower end of the magnetic body 37, and the magnetic body 37 is axisymmetric with respect to the center line C1, so the element body The shrinkage force during sintering of 2 is more uniformly dispersed. Thereby, it can further suppress that the stress by the contraction force difference of the nonmagnetic layer 10 and the magnetic body 37 concentrates on an interface.

本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、第２磁性体層３６が各非磁性シート２２〜２７の中央領域において１つ形成されているが、第２磁性体層３６は、複数形成されてもよい。図１０は、変形例に係る積層型コモンモードフィルタの素体の断面図である。図１０に示すように、積層型コモンモードフィルタ７０の磁性体部３４Ｃは、第１磁性体層３５と、複数（ここでは２つ）の第２磁性体層３６ａ，３６ｂとを有している。この第２磁性体層３６ａ、３６ｂは、所定の間隔を有して並設されている。   The present invention is not limited to the above embodiment. For example, in the above embodiment, one second magnetic layer 36 is formed in the central region of each of the nonmagnetic sheets 22 to 27, but a plurality of second magnetic layers 36 may be formed. FIG. 10 is a cross-sectional view of an element body of a laminated common mode filter according to a modification. As shown in FIG. 10, the magnetic part 34 </ b> C of the multilayer common mode filter 70 includes a first magnetic layer 35 and a plurality (here, two) of second magnetic layers 36 a and 36 b. . The second magnetic layers 36a and 36b are arranged side by side with a predetermined interval.

この積層型コモンモードフィルタ７０では、体積の小さい第２磁性体層３６ａ，３６ｂが複数形成されているので、素体２の焼結時における収縮力を、それぞれの第２磁性体層３６ａ，３６にバランスよく分散することができ、分散効率の向上を図ることができる。これにより、クラックの発生を更に抑制することができる。なお、第１磁性体層３５の領域内であれば第２磁性体層３６ａ，３６ｂは２つに限定されず、第２磁性体層が更に設けられてももちろんよい。   In the laminated common mode filter 70, a plurality of second magnetic material layers 36a and 36b having a small volume are formed. Therefore, the contraction force during sintering of the element body 2 is applied to the second magnetic material layers 36a and 36, respectively. Can be dispersed in a well-balanced manner, and the dispersion efficiency can be improved. Thereby, generation | occurrence | production of a crack can further be suppressed. Note that the number of the second magnetic layers 36a and 36b is not limited to two as long as it is within the region of the first magnetic layer 35, and a second magnetic layer may be further provided.

また、上記実施形態では、第２磁性体層３６（第２磁性体層３６Ａ，３６ａ，３６ｂ）を円柱状としているが、第２磁性体層３６の形状はこれに限定されず、例えば角柱状、積層方向から見て断面コ字状又は断面Ｌ字状等であってもよい。   Moreover, in the said embodiment, although the 2nd magnetic body layer 36 (2nd magnetic body layer 36A, 36a, 36b) is made into the column shape, the shape of the 2nd magnetic body layer 36 is not limited to this, For example, prismatic shape Further, it may have a U-shaped cross section or an L-shaped cross section as viewed from the stacking direction.

また、上記実施形態では、非磁性シート２０，２２〜２７が非磁性グリーンシートにガラス成分を含有したスラリーを塗布して形成されているが、非磁性シート２０，２２〜２７は、磁化し難い（Ｎｉが拡散し難い）組成のものであればよく、ガラスを含む組成以外の組成であってもよい。   Moreover, in the said embodiment, although the nonmagnetic sheets 20, 22-27 are formed by apply | coating the slurry which contains the glass component to the nonmagnetic green sheet, the nonmagnetic sheets 20, 22-27 are hard to magnetize. Any composition other than the composition containing glass may be used as long as it has a composition (Ni is difficult to diffuse).

１…積層型コモンモードフィルタ、１０…非磁性体層、１１…磁性体層、３０…第１コイル導体、３１…第２コイル導体、３４，３４Ａ，３４Ｂ，３４Ｃ…磁性体部、３５，３５Ａ…第１磁性体層（第３磁性体層）、３６，３６Ａ…第２磁性体層（第４磁性体層）、３７…磁性体、Ｒ１，Ｒ２…内側領域。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Multilayer type common mode filter, 10 ... Non-magnetic material layer, 11 ... Magnetic material layer, 30 ... 1st coil conductor, 31 ... 2nd coil conductor, 34, 34A, 34B, 34C ... Magnetic material part, 35, 35A ... 1st magnetic body layer (3rd magnetic body layer), 36, 36A ... 2nd magnetic body layer (4th magnetic body layer), 37 ... Magnetic body, R1, R2 ... Inner area | region.

Claims (6)

渦巻き状のコイル導体が表面に形成された一対の非磁性体層を含む複数の非磁性体層と、前記複数の非磁性体層を挟む一対の磁性体層とが積層された素体を備え、
前記コイル導体の内側領域には、積層方向に延在し且つ前記一対の磁性体層に接触する磁性体が設けられており、
前記磁性体は、前記複数の非磁性体層にそれぞれ形成された磁性体部が積層されてなり、前記積層方向において凹凸状をなしており、
前記磁性体部のそれぞれは、前記非磁性体層の表面に形成された第１磁性体層と、当該第１磁性体層の領域内において前記非磁性体層の厚み方向に貫通して形成された第２磁性体層とを有し、
前記第１磁性体層の幅寸法は、前記第２磁性体層の幅寸法よりも大きいことを特徴とする積層型コモンモードフィルタ。 A plurality of non-magnetic layers including a pair of non-magnetic layers having spiral coil conductors formed on a surface thereof and a pair of magnetic layers sandwiching the plurality of non-magnetic layers are provided. ,
An inner region of the coil conductor is provided with a magnetic body that extends in the stacking direction and contacts the pair of magnetic layers,
The magnetic body is formed by laminating magnetic body portions respectively formed on the plurality of nonmagnetic layers, and has an uneven shape in the laminating direction ,
Each of the magnetic body portions is formed to penetrate through the first magnetic body layer formed on the surface of the nonmagnetic body layer in the thickness direction of the nonmagnetic body layer in the region of the first magnetic body layer. A second magnetic layer,
The laminated common mode filter , wherein a width dimension of the first magnetic layer is larger than a width dimension of the second magnetic layer . 前記磁性体は、前記積層方向において一定の間隔で凹凸状をなしていることを特徴とする請求項１記載の積層型コモンモードフィルタ。   The multilayer common mode filter according to claim 1, wherein the magnetic body has an uneven shape at regular intervals in the stacking direction. 前記第２磁性体層は、前記非磁性体層における前記第１磁性体層の領域内において、複数形成されていることを特徴とする請求項１又は２記載の積層型コモンモードフィルタ。 3. The multilayer common mode filter according to claim 1, wherein a plurality of the second magnetic layers are formed in a region of the first magnetic layer in the nonmagnetic layer. 前記積層方向の一端側の前記非磁性体層には、前記第１磁性体層と同形状の第３磁性体層が厚み方向に貫通して形成された磁性体部が設けられており、
前記磁性体の前記一端側は、前記第３磁性体層が前記磁性体層に接触し、前記磁性体の他端側は、前記第１磁性体層が前記磁性体層に接触していることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載の積層型コモンモードフィルタ。 The nonmagnetic material layer on one end side in the stacking direction is provided with a magnetic material portion formed by penetrating a third magnetic material layer having the same shape as the first magnetic material layer in the thickness direction,
The third magnetic layer is in contact with the magnetic layer on the one end side of the magnetic body, and the first magnetic layer is in contact with the magnetic layer on the other end side of the magnetic body. The laminated common mode filter according to any one of claims 1 to 3 . 前記積層方向の一端側の前記非磁性体層には、前記第２磁性体層と同形状の第４磁性体層が厚み方向に貫通して形成された磁性体部が設けられており、
前記磁性体の前記一端側は、前記第４磁性体層が前記磁性体層に接触し、前記磁性体の他端側は、前記第２磁性体層が前記磁性体層に接触していることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載の積層型コモンモードフィルタ。 The non-magnetic material layer on one end side in the stacking direction is provided with a magnetic material portion formed by penetrating a fourth magnetic material layer having the same shape as the second magnetic material layer in the thickness direction,
The fourth magnetic layer is in contact with the magnetic layer on the one end side of the magnetic body, and the second magnetic layer is in contact with the magnetic layer on the other end side of the magnetic body. The laminated common mode filter according to any one of claims 1 to 3 . 前記非磁性体層は、ガラスを含む組成からなることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項記載の積層型コモンモードフィルタ。 The non-magnetic layer, multilayer common mode filter according to any one of claims 1-5, characterized in that a composition comprising a glass.
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