JP5350999B2 - Vibration measurement device using optical fiber - Google Patents

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JP5350999B2 JP2009270063A JP2009270063A JP5350999B2 JP 5350999 B2 JP5350999 B2 JP 5350999B2 JP 2009270063 A JP2009270063 A JP 2009270063A JP 2009270063 A JP2009270063 A JP 2009270063A JP 5350999 B2 JP5350999 B2 JP 5350999B2
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To improve the detection sensitivity of vibration in a wide band, especially in a band at a low frequency side. <P>SOLUTION: A detection part 2 detects a frequency change as light between light inputted into an input end 11 and light outputted from an output end 13, to thereby detect vibration applied to a circulation part 12. A cross-sectional shape of the circulation part 12 has a constitution that a relation between a length (L<SB>1</SB>) in one direction orthogonal to a virtual axial direction of the circulation part 12 and a length (L<SB>2</SB>) in the other direction orthogonal to one direction and the axial direction satisfies L<SB>1</SB>&gt;L<SB>2</SB>. Furthermore, the circulation part 12 is mounted on a fixed surface of a fixed part at one end of the length L<SB>1</SB>in one direction. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、光ファイバを通過する光の波長変化を用いて振動を検出できる技術に関するものである。   The present invention relates to a technique capable of detecting vibration using a change in wavelength of light passing through an optical fiber.

下記特許文献1には、光ファイバを用いた振動測定装置が記載されている。この装置においては、光ファイバを湾曲させることで、この光ファイバに湾曲部を形成している。この湾曲部を被測定部位に取り付けた後、光ファイバの入力端にコヒーレント光を入力する。光ファイバへの入力光は、湾曲部を通って光ファイバの出力端から出力される。湾曲部を通る光の周波数(光としての周波数)は、湾曲部に加わる振動に対応して変化する。そこで、入力光と出力光との間の周波数変化を検出することにより、湾曲部に加えられた振動を測定することができる。この方式では、振動(変位速度)は、光の周波数変化として検出される。変位速度を積分することにより、変位を検出することもできる。この技術によれば、微小な振動を、広い周波数帯域にわたって測定することができるという利点がある。   Patent Document 1 listed below describes a vibration measurement device using an optical fiber. In this apparatus, a bending portion is formed in the optical fiber by bending the optical fiber. After attaching the curved portion to the measurement site, coherent light is input to the input end of the optical fiber. Input light to the optical fiber is output from the output end of the optical fiber through the curved portion. The frequency of light passing through the bending portion (frequency as light) changes corresponding to vibration applied to the bending portion. Therefore, the vibration applied to the bending portion can be measured by detecting the frequency change between the input light and the output light. In this method, vibration (displacement speed) is detected as a change in the frequency of light. The displacement can also be detected by integrating the displacement speed. According to this technique, there is an advantage that minute vibrations can be measured over a wide frequency band.

さらに、下記特許文献2には、光ファイバの湾曲部を、光ファイバを周回させることによって構成する技術が記載されている。以下、光ファイバを周回して形成された湾曲部を、周回部と称する。周回部を構成する光ファイバの巻き数を増やすことによって、振動計測におけるS/N比を向上させることができる。   Furthermore, the following Patent Document 2 describes a technique for configuring a curved portion of an optical fiber by rotating the optical fiber. Hereinafter, a curved portion formed by circling an optical fiber is referred to as a circling portion. The S / N ratio in vibration measurement can be improved by increasing the number of turns of the optical fiber constituting the loop portion.

国際公開WO2003/002956号公報International Publication No. WO2003 / 002956 登録実用新案第3121936号公報Registered Utility Model No. 3121936

ところで、周回部を用いた従来の振動計測装置は、原理的には、極めて広帯域の振動を計測可能であるが、実際は、低周波帯域(例えば30kHz以下の帯域)での振動に対しては、感度が相対的に低いという特性を有している。   By the way, the conventional vibration measuring apparatus using the circulating unit can measure vibrations in a very wide band in principle, but in reality, for vibrations in a low frequency band (for example, a band of 30 kHz or less), The sensitivity is relatively low.

前記した従来の振動計測装置においては、振動の周波数によらず、変位速度が光周波数の変化として検出される。このため、相対的に低感度な帯域での振動は、高感度な帯域での振動に埋没してしまい、検出が難しくなるという傾向がある。   In the conventional vibration measuring apparatus described above, the displacement speed is detected as a change in the optical frequency regardless of the vibration frequency. For this reason, vibrations in a relatively low sensitivity band tend to be buried in vibrations in a high sensitivity band, making detection difficult.

本発明は、前記のような状況に鑑みてなされたものである。本発明は、低周波帯域での振動に対する検出感度を向上させることが可能な振動検出装置を提供しようとするものである。   The present invention has been made in view of the above situation. The present invention intends to provide a vibration detection device capable of improving the detection sensitivity for vibration in a low frequency band.

本発明は、以下の項目に記載の内容としてそれぞれ表現できる。   The present invention can be expressed as the contents described in the following items.

(項目1)
光ファイバと、検出部と、固定部とを備えており、
前記光ファイバは、入力端と、周回部と、出力端とを備えており、
前記入力端には、光が入力される構成となっており、
前記周回部は、前記入力端と前記出力端との間に配置されており、
かつ、前記周回部は、前記光ファイバを積層して周回することで構成されており、
さらに、前記周回部には、前記入力端から入力された光が通過するように構成されており、
前記出力端からは、前記周回部を通過した前記光が出力される構成となっており、
前記検出部は、前記入力端に入力された光と、前記出力端から出力された光との間における、光としての周波数変化を検出することにより、前記周回部に加えられた振動を検出する構成となっており、
前記固定部は、前記周回部が固定される固定表面を備えており、
前記周回部の横断面形状は、前記周回部の仮想的な軸線方向に直交する一方向の長さ(L)と、この一方向と軸線方向とに直交する他方向の長さ(L)との関係が、L>Lを満足する構成とされており、
さらに、前記周回部は、前記一方向の長さにおける一端において、前記固定表面に取り付けられている
ことを特徴とする振動計測装置。
(Item 1)
An optical fiber, a detection unit, and a fixed unit;
The optical fiber includes an input end, a circulation portion, and an output end,
The input end is configured to receive light,
The circuit portion is disposed between the input end and the output end,
And the said circumference part is constituted by laminating and circulating the above-mentioned optical fiber,
Furthermore, it is comprised so that the light input from the said input end may pass in the said circumference | surroundings part,
From the output end, the light that has passed through the circulating portion is output,
The detection unit detects vibration applied to the circulation unit by detecting a frequency change as light between the light input to the input end and the light output from the output end. It is composed,
The fixing part includes a fixing surface to which the rotating part is fixed,
The cross-sectional shape of the circumferential portion, the virtual one-way orthogonal to the axial length of the circumferential portion and (L 1), the other direction length perpendicular to the one direction and the axial direction (L 2 ) To satisfy the relationship L 1 > L 2 ,
Furthermore, the said circumference | surroundings part is attached to the said fixed surface in the end in the length of the said one direction, The vibration measuring device characterized by the above-mentioned.

周回部の横断面形状を前記のように構成することにより、周回部の振動特性を改善し、低周波帯域の振動に対する検出感度を向上させることができる。ここで、周回部の横断面形状が楕円形状である場合には、前記した長さLは、長軸方向長さに対応し、長さLは、短軸方向長さに対応する。ただし、周回部の横断面形状はこれに限られない。 By configuring the cross-sectional shape of the loop portion as described above, the vibration characteristics of the loop portion can be improved, and the detection sensitivity for vibration in the low frequency band can be improved. Here, when the cross-sectional shape of the rotating portion is an elliptical shape, the length L 1 described above corresponds to the length in the major axis direction, and the length L 2 corresponds to the length in the minor axis direction. However, the cross-sectional shape of the circulating portion is not limited to this.

(項目2)
前記周回部の横断面形状は、略楕円形状とされている、項目1に記載の振動計測装置。
(Item 2)
Item 2. The vibration measuring device according to Item 1, wherein a cross-sectional shape of the circulating portion is substantially elliptical.

(項目3)
前記周回部は、固定手段を介して、前記固定表面に取り付けられており、
前記固定手段は、前記周回部と前記固定表面との間で固定される面積を変更することにより、前記周回部における共振モードを変化させることができる構成となっている
項目1又は2に記載の振動計測装置。
(Item 3)
The circling part is attached to the fixing surface via a fixing means,
3. The item according to claim 1, wherein the fixing unit is configured to change a resonance mode in the rotating part by changing an area fixed between the rotating part and the fixing surface. Vibration measuring device.

固定手段とは、例えば、周回部と固定表面とを固定するための接着剤である。接着面積を調整することにより、周回部における機械的な共振のモードを調整することができる。これにより、測定対象の振動周波数帯域における共振のピークを制御し、S/N比の改善が可能になる。   The fixing means is, for example, an adhesive for fixing the circulating portion and the fixing surface. By adjusting the bonding area, it is possible to adjust the mechanical resonance mode in the circulation portion. Thereby, the resonance peak in the vibration frequency band of the measurement object is controlled, and the S / N ratio can be improved.

(項目4)
前記光ファイバにおける前記入力端に入力される光は、コヒーレント光である、項目1〜3のいずれか1項に記載の振動計測装置。
(Item 4)
Item 4. The vibration measurement device according to any one of Items 1 to 3, wherein light input to the input end of the optical fiber is coherent light.

コヒーレント光とは、位相が実質的にそろった光のことであり、例えばレーザ光源から放出される。光の波長は、特に限定されないが、光の伝送距離を延ばすためには、1300nm〜1600nmの範囲とすることが好ましい。   The coherent light is light having substantially the same phase, and is emitted from, for example, a laser light source. The wavelength of light is not particularly limited, but is preferably in the range of 1300 nm to 1600 nm in order to extend the transmission distance of light.

(項目5)
項目1〜4のいずれか1項に記載の振動計測装置を用いて振動を検出する、振動検出方法。
(Item 5)
The vibration detection method which detects a vibration using the vibration measuring device of any one of items 1-4.

本発明によれば、低い周波数帯域での振動に対する測定感度が良い振動計測装置を提供することが可能となる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it becomes possible to provide the vibration measuring device with the sufficient measurement sensitivity with respect to the vibration in a low frequency band.

また、周回部と固定表面との間で固定される面積を変更することにより、周回部の共振モードを調整することができ、測定のS/N比を改善することができる。   In addition, by changing the area fixed between the loop portion and the fixed surface, the resonance mode of the loop portion can be adjusted, and the S / N ratio of the measurement can be improved.

本発明の一実施形態における振動センサの全体的な構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the whole structure of the vibration sensor in one Embodiment of this invention. 図1に示す周回部の拡大正面図である。FIG. 2 is an enlarged front view of a lap portion shown in FIG. 1. 図2の平面図である。FIG. 3 is a plan view of FIG. 2. 比較例1のための振動計測装置を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the vibration measuring apparatus for the comparative example 1. FIG. 図(a)は、実験例のための振動計測装置を説明するための説明図である。図(b)は、図(a)における周回部近傍の概略的な拡大図である。FIG. 1A is an explanatory diagram for explaining a vibration measuring apparatus for an experimental example. Fig. (B) is a schematic enlarged view of the vicinity of the circulating portion in Fig. (A). 図(a)は、比較例2のための振動計測装置を説明するための説明図である。図(b)は、図(a)における周回部近傍の概略的な拡大図である。FIG. 9A is an explanatory diagram for explaining a vibration measuring apparatus for Comparative Example 2. Fig. (B) is a schematic enlarged view of the vicinity of the circulating portion in Fig. (A). 図6(b)に示す比較例2の周回部についての概略的な断面図である。It is a schematic sectional drawing about the circumference part of comparative example 2 shown in Drawing 6 (b). 実験例及び比較例における振動計測の特性を示すグラフである。It is a graph which shows the characteristic of vibration measurement in an example of an experiment and a comparative example. 実験例における振動計測の特性を示すグラフである。It is a graph which shows the characteristic of vibration measurement in an example of an experiment. 実験例OVAL−2の寸法形状を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the dimension shape of experiment example OVAL-2. 実験例OVAL−1の寸法形状を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the dimension shape of experiment example OVAL-1. 実験例OVAL−4の寸法形状を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the dimension shape of experiment example OVAL-4.

以下、添付図面を参照しながら、本発明に係る振動計測装置の一実施形態を説明する。   Hereinafter, an embodiment of a vibration measuring apparatus according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

(実施形態に係る振動計測装置の構成)
本実施形態の振動計測装置は、光ファイバ1と、検出部2と、固定部3と、固定手段4とを備えている(図1及び図2参照)。
(Configuration of vibration measuring apparatus according to the embodiment)
The vibration measuring apparatus of the present embodiment includes an optical fiber 1, a detection unit 2, a fixing unit 3, and a fixing unit 4 (see FIGS. 1 and 2).

(光ファイバ)
光ファイバ1は、入力端11と、周回部12と、出力端13とを備えている。入力端11には、検出部2から、コヒーレントな光が入力される構成となっている。ここでコヒーレントな光とは、振動計測に必要な程度(つまり光周波数の変化を検出可能な程度)に位相が揃っている光をいう。コヒーレントな光は、例えばレーザー光源(図示せず)から放出することができる。
(Optical fiber)
The optical fiber 1 includes an input end 11, a revolving part 12, and an output end 13. The input end 11 is configured to receive coherent light from the detection unit 2. Here, the coherent light refers to light whose phases are aligned to a level necessary for vibration measurement (that is, a level at which a change in optical frequency can be detected). The coherent light can be emitted from, for example, a laser light source (not shown).

周回部12は、入力端11と出力端13との間に配置されている(図1参照)。また、周回部12は、光ファイバ1を、周回部12の厚さ方向(図3において上下方向)に積層して周回することで、中空の筒状に構成されている(図2及び図3参照)。ここで、周回部12の厚さ方向とは、周回部12の軸方向という意味である。周回部12を形成することにより、光ファイバ1に、湾曲した部分(湾曲部)が形成される。周回部12は、入力端11から入力された光が通過するようになっている。また、周回部12の周囲には、周回状態を保持できるように、接着剤(例えばエポキシ系の接着剤)が塗布されている。   The circulating portion 12 is disposed between the input end 11 and the output end 13 (see FIG. 1). Further, the circulating portion 12 is configured in a hollow cylindrical shape by laminating and circulating the optical fiber 1 in the thickness direction (vertical direction in FIG. 3) of the circulating portion 12 (FIGS. 2 and 3). reference). Here, the thickness direction of the rotating portion 12 means the axial direction of the rotating portion 12. By forming the revolving part 12, a curved part (curved part) is formed in the optical fiber 1. The circuit 12 is configured to allow light input from the input end 11 to pass therethrough. In addition, an adhesive (for example, an epoxy-based adhesive) is applied around the circulating portion 12 so that the circulating state can be maintained.

周回部12の横断面形状は、周回部12の仮想的な軸線方向(図2において紙面に直交する方向)に直交する一方向の長さL(図2参照)と、この一方向と軸線方向とに直交する他方向の長さL(図2参照)との関係が、L>Lを満足する構成とされている。すなわち、周回部12の横断面形状は、この実施形態においては、略楕円形状とされている。ただし、周回部12の横断面形状としては、楕円でなくとも良く、例えば長円状であってもよい。 The cross-sectional shape of the revolving part 12 has a length L 1 (see FIG. 2) in one direction orthogonal to the virtual axis direction of the revolving part 12 (direction perpendicular to the paper surface in FIG. 2), and the one direction and the axis. The relationship with the length L 2 (see FIG. 2) in the other direction perpendicular to the direction satisfies L 1 > L 2 . In other words, the cross-sectional shape of the revolving part 12 is substantially elliptical in this embodiment. However, the cross-sectional shape of the circulating portion 12 may not be an ellipse, and may be, for example, an oval shape.

(検出部)
検出部2は、光ファイバ1の入力端11に入力された光と、出力端13から出力された光との間における、光としての周波数変化を検出する。検出部2は、これにより、周回部12に加えられた振動を検出する構成となっている。この検出の原理は、前記した特許文献1に記載された技術と同様である。
(Detection unit)
The detector 2 detects a change in frequency as light between the light input to the input end 11 of the optical fiber 1 and the light output from the output end 13. Thereby, the detection unit 2 is configured to detect vibration applied to the circulation unit 12. The principle of this detection is the same as the technique described in Patent Document 1 described above.

(固定部)
固定部3(図2参照)は、計測されるべき振動が伝達される部材である。例えば、地中の振動を計測する場合、固定部3は、地中に配置されて、地中の振動に従って振動する。固定部3としては、例えば、コンクリートやステンレス製のブロックであるが、セラミック等の他の材質であっても良い。さらには、振動の伝達が可能であれば、柔軟性のある材質を用いることも可能である。また、固定部3が岩石などの自然物であってもよい。
(Fixed part)
The fixed portion 3 (see FIG. 2) is a member to which vibration to be measured is transmitted. For example, when measuring the vibration in the ground, the fixing unit 3 is disposed in the ground and vibrates according to the vibration in the ground. For example, the fixed portion 3 is a block made of concrete or stainless steel, but may be other materials such as ceramic. Furthermore, a flexible material can be used as long as vibration can be transmitted. Moreover, the fixed part 3 may be a natural object such as a rock.

固定部3は、光ファイバ1の周回部12が固定される固定表面31(図2参照)を備えている。周回部12は、前記した一方向の長さLにおける一端において、固定手段4によって、固定表面31に取り付けられている。すなわち、周回部12は、長径方向あるいは長軸方向における一端(図2において下端)を前記固定表面31に接触あるいは対向させた状態で、固定手段4によって、固定部3に固定されている。なお、周回部12と固定表面31とは接触している必要はなく、固定表面31から周回部12に振動が伝達できればよい。また、固定表面31の形状は、平坦面である必要はなく、凹凸が形成されていても良い。 The fixing part 3 includes a fixing surface 31 (see FIG. 2) to which the rotating part 12 of the optical fiber 1 is fixed. The revolving part 12 is attached to the fixed surface 31 by the fixing means 4 at one end in the length L 1 in one direction described above. That is, the rotating portion 12 is fixed to the fixing portion 3 by the fixing means 4 with one end (the lower end in FIG. 2) in the major axis direction or the major axis direction contacting or facing the fixing surface 31. In addition, the circumference part 12 and the fixed surface 31 do not need to contact, but should just transmit a vibration from the fixed surface 31 to the circumference part 12. FIG. Moreover, the shape of the fixed surface 31 does not need to be a flat surface, and the unevenness | corrugation may be formed.

固定手段4としては、この実施形態では、接着剤が用いられている。接着剤としては、エポキシ系など、適宜のものを用いることができる。特に好適な接着剤の例としては、エポキシ系で剛性が高いもの、例えば、エポキシ系2液室内硬化タイプであって、鉄(Fe)フィラー入りのもの(商品名:DEVCON AQ)がある。   In this embodiment, an adhesive is used as the fixing means 4. As the adhesive, an appropriate one such as an epoxy type can be used. Examples of particularly suitable adhesives include epoxy-based and high-rigidity adhesives, for example, epoxy-based two-liquid chamber curing types that contain iron (Fe) filler (trade name: DEVCON AQ).

本実施形態では、周回部12と固定表面31との間における接着面積を変更することにより、周回部12における共振モードを変化させることができる。すなわち、本実施形態の固定手段4は、周回部12と固定表面31との間で固定される面積を変更することにより、周回部12における共振モードを変化させることができる構成となっている。この点についてはさらに後述する。   In the present embodiment, the resonance mode in the circulating portion 12 can be changed by changing the adhesion area between the circulating portion 12 and the fixed surface 31. That is, the fixing means 4 of the present embodiment has a configuration that can change the resonance mode in the rotating portion 12 by changing the area fixed between the rotating portion 12 and the fixed surface 31. This point will be further described later.

前記以外の構成は、特許文献1又は2に記載の技術と同様とすることができるので、これ以上詳しい説明は省略する。   Since the configuration other than the above can be the same as the technique described in Patent Document 1 or 2, detailed description thereof is omitted.

(振動計測装置の動作)
本実施形態の振動計測装置の使用に際しては、固定部3を、振動計測すべき箇所に配置する。これにより、固定部3に取り付けられた周回部12も、振動計測箇所に配置される。
(Operation of vibration measuring device)
When using the vibration measuring apparatus of the present embodiment, the fixing unit 3 is disposed at a position where vibration measurement is to be performed. Thereby, the circumference | surroundings part 12 attached to the fixing | fixed part 3 is also arrange | positioned in a vibration measurement location.

ついで、設置状態において、光ファイバ1の入力端11から光を入力する。すると、この光は、周回部12を、光ファイバ1の周回に従って周回しながら通過する。その後、この光は、光ファイバ1の出力端13から出力される。   Next, light is input from the input end 11 of the optical fiber 1 in the installed state. Then, this light passes through the circulating unit 12 while circulating around the optical fiber 1. Thereafter, this light is output from the output end 13 of the optical fiber 1.

周回部12に振動が伝達されると、周回部12を通過する光の周波数(あるいは波長)は、振動に対応して変化する。この周波数の変化を検出部2で検出することにより、周回部12に加えられた振動を計測することができる。   When vibration is transmitted to the revolving part 12, the frequency (or wavelength) of the light passing through the revolving part 12 changes corresponding to the vibration. By detecting this change in frequency by the detection unit 2, it is possible to measure the vibration applied to the circulation unit 12.

この計測においては、光の周波数変動を用いているので、光ファイバを通過する光の強度変化を用いた振動センサに比べて、微小な振動を精度良く計測することができるという利点がある。また、ピエゾ素子を用いた振動センサに比較すると、本実施形態の振動センサには、広帯域での高精度の振動計測が可能になるという利点がある。この振動検出の原理は、前記した特許文献1と同様であるので、これ以上詳しい説明は省略する。   In this measurement, since frequency variation of light is used, there is an advantage that minute vibration can be measured with higher accuracy than a vibration sensor using intensity change of light passing through an optical fiber. Compared to a vibration sensor using a piezo element, the vibration sensor of this embodiment has an advantage that high-precision vibration measurement in a wide band is possible. Since the principle of this vibration detection is the same as that of Patent Document 1 described above, further detailed description is omitted.

さらに、本実施形態では、特許文献2に記載された円筒状の周回部を用いる技術に比較して、低周波の振動に対する検出感度を高めることができるという利点がある。この利点を、下記の実験例を参照しながら詳しく説明する。   Furthermore, in the present embodiment, there is an advantage that the detection sensitivity for low-frequency vibrations can be increased as compared with the technique using the cylindrical circulation part described in Patent Document 2. This advantage will be described in detail with reference to the following experimental example.

(実験例及び比較例)
まず、実験装置を図4及び図5に基づいて説明する。
(Experimental example and comparative example)
First, the experimental apparatus will be described with reference to FIGS.

(ピエゾ素子用の実験装置:比較例1)
図4は、比較例1としてのピエゾ素子を用いた振動検出装置である。この装置は、ファンクションジェネレータ51と、発振用ピエゾ素子52と、受振用ピエゾ素子53と、増幅器54と、デジタル・オシロスコープ55とから構成されている。
(Experimental device for piezo element: Comparative Example 1)
FIG. 4 shows a vibration detection apparatus using a piezoelectric element as Comparative Example 1. This apparatus includes a function generator 51, an oscillation piezo element 52, a vibration receiving piezo element 53, an amplifier 54, and a digital oscilloscope 55.

この装置では、ファンクションジェネレータ51によって、正弦波状に変動する駆動電圧を生成し、この電圧を発振用ピエゾ素子52に印加する。これにより、発振用ピエゾ素子52は、印加電圧の周波数に対応した周波数で振動する。一方、この駆動電圧は、オシロスコープ55に供給される。   In this apparatus, the function generator 51 generates a drive voltage that fluctuates in a sine wave shape, and this voltage is applied to the oscillation piezo element 52. Thereby, the oscillating piezo element 52 vibrates at a frequency corresponding to the frequency of the applied voltage. On the other hand, this drive voltage is supplied to the oscilloscope 55.

受信用ピエゾ素子53は、発振用ピエゾ素子52で発生した振動を検出する。検出によって発生した電圧は、増幅器54を介してオシロスコープ55に供給される。   The receiving piezo element 53 detects vibration generated in the oscillating piezo element 52. The voltage generated by the detection is supplied to the oscilloscope 55 through the amplifier 54.

(光ファイバセンサ用の実験装置:実験例)
図5は、光ファイバを用いた、実験用の振動検出装置である。この装置の説明においては、前記した図4の装置あるいは実施形態の説明において用いた構成要素と共通する要素については、同一符号を付すことによって、説明を簡略化する。
(Experimental device for optical fiber sensor: Experimental example)
FIG. 5 shows an experimental vibration detection apparatus using an optical fiber. In the description of this apparatus, elements that are the same as those used in the description of the apparatus of FIG. 4 or the embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and the description is simplified.

この装置は、ファンクションジェネレータ51と、発振用ピエゾ素子52と、光ファイバ1の周回部12と、検出部2と、デジタル・オシロスコープ55とから構成されている。発振用ピエゾ素子52は、前記した実施形態における固定部3としても機能する。   This apparatus includes a function generator 51, an oscillating piezo element 52, a revolving unit 12 of the optical fiber 1, a detection unit 2, and a digital oscilloscope 55. The oscillation piezo element 52 also functions as the fixed portion 3 in the above-described embodiment.

この装置では、図4の例と同様に、ファンクションジェネレータ51によって、正弦波状の駆動電圧を生成し、この電圧を発振用ピエゾ素子52に印加する。これにより、発振用ピエゾ素子52は、印加電圧の周波数に対応した周波数で振動する。一方、この駆動電圧は、オシロスコープ55に供給される。   In this apparatus, as in the example of FIG. 4, a sinusoidal drive voltage is generated by the function generator 51 and this voltage is applied to the oscillating piezo element 52. Thereby, the oscillating piezo element 52 vibrates at a frequency corresponding to the frequency of the applied voltage. On the other hand, this drive voltage is supplied to the oscilloscope 55.

発振用ピエゾ素子52(すなわち固定部3)で発生した振動は、光ファイバ1の周回部12に伝達され、光周波数が変動する。検出部2でこの周波数変動を検出することにより、周回部12に加えられた振動を検出することができる。検出部2で検出された振動は、電圧値として、オシロスコープ55に供給される。   The vibration generated in the oscillating piezo element 52 (that is, the fixed portion 3) is transmitted to the circulating portion 12 of the optical fiber 1, and the optical frequency varies. By detecting this frequency variation by the detection unit 2, it is possible to detect vibration applied to the circulation unit 12. The vibration detected by the detection unit 2 is supplied to the oscilloscope 55 as a voltage value.

(比較例2)
また、比較例2として、本実施形態の周回部12に代えて、円筒形状の周回部212を用いて実験を行った。比較例2のための振動検出装置を図6に示す。この装置は、図5に示す装置と基本的に同様なので、共通する要素には同じ符号を付することで、詳しい説明を省略する。比較例2のための周回部212の断面形状を図7に示す。なお、この周回部212の寸法例は後述する。この周回部212の形状は、前記した特許文献2に記載されたものと同様である。また、この比較例2では、周回部212の軸線方向を、発振用ピエゾ素子52の表面に対して垂直となるように配置した。この配置方法は、特許文献2に記載されたものと同様である。
(Comparative Example 2)
In addition, as Comparative Example 2, an experiment was performed by using a cylindrical circular portion 212 instead of the circular portion 12 of the present embodiment. A vibration detection apparatus for Comparative Example 2 is shown in FIG. Since this apparatus is basically the same as the apparatus shown in FIG. 5, common elements are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted. FIG. 7 shows a cross-sectional shape of the rotating portion 212 for the comparative example 2. In addition, the dimension example of this circumference part 212 is mentioned later. The shape of the circulation portion 212 is the same as that described in Patent Document 2 described above. In Comparative Example 2, the axial direction of the rotating portion 212 is arranged so as to be perpendicular to the surface of the oscillating piezo element 52. This arrangement method is the same as that described in Patent Document 2.

(実験結果)
実験の結果を図8及び図9に示す。このグラフの横軸は振動の周波数(kHz)、縦軸は発振電圧1VあたりのS/N比(すなわち受振感度)を対数で表している。このグラフにおける線の意味は図8及び図9中の右側に示している。図8は、比較例と実験例との対比を示しており、図9は、実験例どうしの対比を示している。以下、図8及び図9に示された各実験結果について補足して説明する。
(Experimental result)
The results of the experiment are shown in FIGS. In this graph, the horizontal axis represents the vibration frequency (kHz), and the vertical axis represents the S / N ratio (that is, vibration receiving sensitivity) per oscillating voltage 1 V in logarithm. The meaning of the lines in this graph is shown on the right side in FIGS. FIG. 8 shows a comparison between the comparative example and the experimental example, and FIG. 9 shows a comparison between the experimental examples. Hereinafter, each experimental result shown in FIGS. 8 and 9 will be described supplementarily.

(PZT:図8参照)
これは、検出素子としてピエゾ素子を用いた比較例1における実験結果を示している。
(PZT: Refer to FIG. 8)
This shows an experimental result in Comparative Example 1 using a piezo element as a detection element.

PZT素子は、低周波帯域における振動の受振感度が良いことが知られている。   It is known that a PZT element has good vibration receiving sensitivity in a low frequency band.

(従来:図8参照)
これは、検出素子として従来の周回部212を用いた比較例2における実験結果を示している。比較例2では、低周波振動に対する感度が比較例1よりも低いことが判る。
(Conventional: see Fig. 8)
This shows the experimental result in Comparative Example 2 using the conventional circulating section 212 as the detection element. In Comparative Example 2, it can be seen that the sensitivity to low frequency vibration is lower than that of Comparative Example 1.

なお、比較例2における周回部212の寸法(図7参照)は以下の通りである。   In addition, the dimension (refer FIG. 7) of the circulation part 212 in the comparative example 2 is as follows.

全体の直径P:21.0mm、
中空部の直径P:8.0mm、
軸方向長さ(厚さ)P:6.0mm。
Overall diameter P 1 : 21.0 mm,
Diameter P 2 of the hollow part: 8.0 mm,
Axial length (thickness) P 3 : 6.0 mm.

(OVAL−2:図8及び図9参照)
これは、本実施形態の周回部12の一例を用いた実験結果を示している。
(OVAL-2: See FIGS. 8 and 9)
This has shown the experimental result using an example of the circulation part 12 of this embodiment.

OVAL−2では、低周波帯域での振動検出感度が、従来のもの(比較例2)よりも改善されていることが判る。   In OVAL-2, it can be seen that the vibration detection sensitivity in the low frequency band is improved over the conventional one (Comparative Example 2).

OVAL−2の例における周回部12の寸法を、図10(a)及び(b)に示す。OVAL−2の横断面形状は、正確な楕円ではなく、略長円状となっている。また、この例では、固定手段4による周回部12と固定表面31との接着面積を、後述する例よりも大きくしているので、低周波帯域における共振ピークの発生を防ぐことができている。これによって、この例では、S/Nがさらに向上している。   The dimension of the circulation part 12 in the example of OVAL-2 is shown to Fig.10 (a) and (b). The cross-sectional shape of OVAL-2 is not an exact ellipse, but a substantially oval shape. Moreover, in this example, since the bonding area between the rotating portion 12 and the fixing surface 31 by the fixing means 4 is made larger than the example described later, the generation of resonance peaks in the low frequency band can be prevented. Thereby, in this example, the S / N is further improved.

(OVAL−1:図9参照)
これも、本実施形態の周回部12の一例を用いた実験結果を示している。OVAL−1の横断面形状は、基本的に、OVAL−2と同様である。
(OVAL-1: Refer to FIG. 9)
This also shows an experimental result using an example of the rotating portion 12 of the present embodiment. The cross-sectional shape of OVAL-1 is basically the same as that of OVAL-2.

OVAL−1でも、低周波帯域での振動検出感度が、従来のものよりも改善されていることが判る。ただし、OVAL−1は、OVAL−2に比べて、低周波帯域(例えば30kHz以下)において二つのピークを有しており、特性としては若干劣ることが判る。これは、周回部12における共振モードが影響しているものと推測される。   It can be seen that even in OVAL-1, the vibration detection sensitivity in the low frequency band is improved over the conventional one. However, OVAL-1 has two peaks in a low frequency band (for example, 30 kHz or less) as compared with OVAL-2, and it can be seen that the characteristics are slightly inferior. This is presumed that the resonance mode in the circulating portion 12 has an influence.

OVAL−1の例における周回部12の寸法を、図11(a)及び(b)に示す。これに示されるように、OVAL−1では、固定手段4による固定表面31と周回部12との固定面積を、OVAL−2よりも小さいものとしている。これから判るように、固定手段4による固定面積を調整することによって、周回部12の共振モードを制御し、低周波帯域における検出感度あるいはS/N比を調整できることが判る。   The dimension of the circulation part 12 in the example of OVAL-1 is shown to Fig.11 (a) and (b). As shown in this figure, in OVAL-1, the fixing area between the fixing surface 31 and the revolving part 12 by the fixing means 4 is smaller than that of OVAL-2. As can be seen, it can be seen that by adjusting the fixed area by the fixing means 4, the resonance mode of the circulating portion 12 can be controlled and the detection sensitivity or S / N ratio in the low frequency band can be adjusted.

(OVAL−4:図9参照)
これも、本実施形態の周回部12の一例を用いた実験結果を示している。OVAL−4の横断面形状は、基本的に、OVAL−2と同様である。
(OVAL-4: Refer to FIG. 9)
This also shows an experimental result using an example of the rotating portion 12 of the present embodiment. The cross-sectional shape of OVAL-4 is basically the same as OVAL-2.

OVAL−4でも、低周波帯域での振動検出感度が、従来のものよりも改善されていることが判る。ただし、OVAL−4は、OVAL−2に比べて、低周波帯域(例えば30kHz以下)において二つのピークを有しており、特性としては若干劣ることが判る。これも、周回部12における共振モードが影響しているものと推測される。   It can be seen that even in OVAL-4, the vibration detection sensitivity in the low frequency band is improved over the conventional one. However, OVAL-4 has two peaks in the low frequency band (for example, 30 kHz or less) compared with OVAL-2, and it turns out that it is a little inferior as a characteristic. It is presumed that this is also influenced by the resonance mode in the circulating portion 12.

OVAL−4の例における周回部12の寸法を、図12(a)及び(b)に示す。この例では、OVAL−1における周回部厚さを2.5mm→1.8mmとし、軸方向長さを10mm→15mmとしている。他の構成は、OVAL−1と同様としている。   The dimension of the circulation part 12 in the example of OVAL-4 is shown to Fig.12 (a) and (b). In this example, the thickness of the circumference in OVAL-1 is 2.5 mm → 1.8 mm, and the axial length is 10 mm → 15 mm. Other configurations are the same as those of OVAL-1.

なお、本発明に係る振動センサは、前記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々の変更を加え得るものである。   The vibration sensor according to the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.

1 光ファイバ
11 入力端
12 周回部
周回部の長軸方向長さ
周回部の短軸方向長さ
13 出力端
2 検出部
3 固定部
31 固定表面
4 固定手段
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Optical fiber 11 Input end 12 Circumference part L 1 Length of 1 axis of a major axis direction L 2 Length of a circumference of a minor axis direction 13 Output end 2 Detection part 3 Fixing part 31 Fixed surface 4 Fixing means

Claims (5)

光ファイバと、検出部と、固定部とを備えており、
前記光ファイバは、入力端と、周回部と、出力端とを備えており、
前記入力端には、光が入力される構成となっており、
前記周回部は、前記入力端と前記出力端との間に配置されており、
かつ、前記周回部は、前記光ファイバを積層して周回することで構成されており、
さらに、前記周回部には、前記入力端から入力された光が通過するように構成されており、
前記出力端からは、前記周回部を通過した前記光が出力される構成となっており、
前記検出部は、前記入力端に入力された光と、前記出力端から出力された光との間における、光としての周波数変化を検出することにより、前記周回部に加えられた振動を検出する構成となっており、
前記固定部は、前記周回部が固定される固定表面を備えており、
前記周回部の横断面形状は、前記周回部の仮想的な軸線方向に直交する一方向の長さ(L)と、この一方向と前記軸線方向とに直交する他方向の長さ(L)との関係が、L>Lを満足する構成とされており、
さらに、前記周回部は、前記一方向の長さにおける一端において、前記固定表面に取り付けられている
ことを特徴とする振動計測装置。
An optical fiber, a detection unit, and a fixed unit;
The optical fiber includes an input end, a circulation portion, and an output end,
The input end is configured to receive light,
The circuit portion is disposed between the input end and the output end,
And the said circumference part is constituted by laminating and circulating the above-mentioned optical fiber,
Furthermore, it is comprised so that the light input from the said input end may pass in the said circumference | surroundings part,
From the output end, the light that has passed through the circulating portion is output,
The detection unit detects vibration applied to the circulation unit by detecting a frequency change as light between the light input to the input end and the light output from the output end. It is composed,
The fixing part includes a fixing surface to which the rotating part is fixed,
The cross-sectional shape of the circular portion is defined by a length (L 1 ) in one direction orthogonal to the virtual axis direction of the circular portion and a length (L 1 ) in the other direction orthogonal to the one direction and the axial direction. 2 ) is a configuration satisfying L 1 > L 2 ,
Furthermore, the said circumference | surroundings part is attached to the said fixed surface in the end in the length of the said one direction, The vibration measuring device characterized by the above-mentioned.
前記周回部の横断面形状は、略楕円形状とされている、請求項1に記載の振動計測装置。   The vibration measuring device according to claim 1, wherein a cross-sectional shape of the circulating portion is substantially elliptical. 前記周回部は、固定手段を介して、前記固定表面に取り付けられており、
前記固定手段は、前記周回部と前記固定表面との間で固定される面積を変更することにより、前記周回部における共振モードを変化させることができる構成となっている
請求項1又は2に記載の振動計測装置。
The circling part is attached to the fixing surface via a fixing means,
The structure of the said fixing means can change the resonance mode in the said surrounding part by changing the area fixed between the said surrounding part and the said fixed surface. Vibration measuring device.
前記光ファイバにおける前記入力端に入力される光は、コヒーレント光である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の振動計測装置。   The vibration measuring apparatus according to claim 1, wherein light input to the input end of the optical fiber is coherent light. 請求項1〜4のいずれか1項に記載の振動計測装置を用いて振動を検出する、振動検出方法。   The vibration detection method which detects a vibration using the vibration measuring device of any one of Claims 1-4.
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