JP5347875B2 - Long arc type discharge lamp - Google Patents

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Abstract

The invention provides a long arc discharge lamp. A pair of electrodes are oppositely configured in a luminous tube, two ends of which are sealed up by using a foil seal structure so as to achieve the effects of preventing sealed-in materials from intruding sealed-up parts, preventing foil corrosion and inhibiting the leakage of the sealed-in materials from the sealed-up parts. The long arc discharge lamp is characterized in that the potential gradient of the lamp is below 8 V/cm, the input power of the lamp is above 80 W/cm, the emission length is larger than 50 cm, the sealed-in materials are mercury or a combination of metal except mercury and halogen, light with a wavelength shorter than 450 nm is radiated, and the working pressure during the light-up is negative pressure.

Description

この発明は、ロングアーク型放電ランプに関するものであり、特に、水銀又は水銀以外の金属と、ハロゲンとが封入され、両端が箔シール構造によって封止されているロングアーク型放電ランプに係わるものである。   The present invention relates to a long arc type discharge lamp, and more particularly to a long arc type discharge lamp in which mercury or a metal other than mercury and a halogen are enclosed and both ends are sealed by a foil seal structure. is there.

従来から、水銀や水銀以外の金属と、ハロゲンとが封入されたロングアーク型放電ランプ、例えばメタルハライドランプは、紫外線を放射する放電ランプとして、例えば、樹脂、接着剤、インク、フォトレジストの硬化や、乾燥、溶融、あるいは軟化といった様々な処理の用途に幅広く用いられている。   Conventionally, long arc discharge lamps in which mercury or a metal other than mercury and halogen are enclosed, for example, metal halide lamps, are used as discharge lamps that emit ultraviolet rays, for example, curing resins, adhesives, inks, and photoresists. It is widely used for various processing applications such as drying, melting or softening.

このようなロングアーク型放電ランプは、石英ガラスからなる発光管とその両端の封止部とからなり、該封止部内には金属箔が埋設され、該金属箔にタングステンからなる電極が接続されている構造を持つものが一般的である。
封止部構造には種々のものがあるが、板状または扁平形状のガラス部材を該封止部内に埋設して、該ガラス部材を利用して封止するものが知られている。
この構造では、電極の封止部側後端が扁平に形成されるとともに、その後端側に板状または扁平ガラス部材が配設されていて、前記金属箔は、該電極の扁平部の上下面に接合されて、ガラス部材の上下面に延び、その後端で外部リードと接合される。
Such a long arc type discharge lamp is composed of an arc tube made of quartz glass and sealed portions at both ends thereof, and a metal foil is embedded in the sealed portion, and an electrode made of tungsten is connected to the metal foil. The one with the structure is common.
There are various types of sealing part structures, and a known one is one in which a plate-like or flat glass member is embedded in the sealing part and sealed using the glass member.
In this structure, the sealing portion side rear end of the electrode is formed flat, and a plate-like or flat glass member is disposed on the rear end side thereof, and the metal foil is provided on the upper and lower surfaces of the flat portion of the electrode. To the upper and lower surfaces of the glass member and joined to the external lead at the rear end.

特開2006−134710号公報にはそのような構造のロングアーク型放電ランプが開示されており、このランプでは前記発光管の内部には、所定量の希ガスと、ハロゲンと、水銀と、鉄が封入されており、点灯時には主に波長365nm近辺の紫外線を照射することができるものである。
そして、この特許文献では、電極の胴部に小径の部位を形成して、封止部側でのハロゲンが凝固することを防ぐという発明が記載されている。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-134710 discloses a long arc type discharge lamp having such a structure. In this lamp, a predetermined amount of rare gas, halogen, mercury, iron, and the like are placed inside the arc tube. Is encapsulated, and can be irradiated mainly with ultraviolet rays having a wavelength of around 365 nm during lighting.
In this patent document, an invention is described in which a small-diameter portion is formed in the body portion of the electrode to prevent the halogen on the sealing portion side from solidifying.

ところで、かかるロングアーク型放電ランプにおいては、上記したように、封止部近傍はアークからの距離が大きくなるため発光部に比べて、どうしても温度が低くなりハロゲンが集まりやすくない。また、この種のランプは一般的に動作時の圧力が大気圧より高く、前記ハロゲンが封止部の内部に進入しやすい。
封止部のモリブデン箔の温度は、ランプの設計や冷却条件により異なるが少なくとも500℃以上にはなっておりモリブデンとハロゲンの反応が進行する状況にあり、封止部材のモリブデンからなる金属箔はやがてハロゲンに侵食され、モリブデンと石英ガラスの密着していた界面が高圧によってガラスと剥離させられる、いわゆる、「箔浮き」現象が発生する。そして、さらにこの箔浮きが進行すると、最終的にはランプ内の封入物が外部に流出(リーク)する原因となり、内部の水銀が流出するなど、不所望の現象が生じることになる。
By the way, in such a long arc type discharge lamp, as described above, since the distance from the arc increases in the vicinity of the sealing portion, the temperature is inevitably lower than that of the light emitting portion, and halogen is not easily collected. In addition, this type of lamp generally has an operating pressure higher than atmospheric pressure, and the halogen tends to enter the sealing portion.
The temperature of the molybdenum foil of the sealing part varies depending on the lamp design and cooling conditions, but is at least 500 ° C. or more, and the reaction between molybdenum and halogen proceeds, and the metal foil made of molybdenum of the sealing member is Eventually eroded by halogen, the so-called “foil floating” phenomenon occurs, in which the interface where molybdenum and quartz glass are in close contact with each other is separated from the glass by high pressure. Further, when this foil floating further progresses, the inclusion in the lamp eventually flows out (leaks) to the outside, and an undesired phenomenon occurs such as mercury flowing out.

このようなリークの原因は主に点灯時の動作圧による。この種のロングアーク型放電ランプで発光長が50cm以上あるものについては、ランプ入力は80W/cm以上となることから、少なくとも4kW以上の高入力ランプになる。そのため、点灯時は封入物が完全に蒸発して動作され、その動作圧は少なくとも1atm以上であり、いわゆる高圧放電ランプと呼ばれるものに該当していた。これらのランプでは点灯中には封止部に常にこの動作圧がかかることになる。   The cause of such a leak is mainly due to the operating pressure during lighting. For this type of long arc type discharge lamp having a light emission length of 50 cm or more, the lamp input is 80 W / cm or more, so that it becomes a high input lamp of at least 4 kW or more. For this reason, when the lamp is turned on, the enclosure is completely evaporated and the operation pressure is at least 1 atm or more, which corresponds to what is called a high-pressure discharge lamp. In these lamps, this operating pressure is always applied to the sealing portion during lighting.

特開2006−134710号公報JP 2006-134710 A

この発明は、上記従来技術の問題点に鑑みて、発光管内に一対の電極が対向配置され、該発光管は両端で箔シール構造により封止されてなるロングアーク型放電ランプにおいて、発光管内に封入したハロゲンが封止部内に進入して金属箔を侵食したり、該ハロゲンによって箔浮きが生じて封入物が外部に流出したりすることがないようにしたロングアーク型放電ランプを提供しようとするものである。   In view of the above-mentioned problems of the prior art, the present invention provides a long arc discharge lamp in which a pair of electrodes are disposed opposite to each other in an arc tube, and the arc tube is sealed with a foil seal structure at both ends. An attempt is made to provide a long arc type discharge lamp in which encapsulated halogen does not enter the encapsulated portion to erode the metal foil, or the halogen does not float and the encapsulated material does not flow out to the outside. To do.

上記課題を解決するために、この発明に係るロングアーク型放電ランプでは、電位傾度が8V/cm以下であり、ランプ入力電力が80W/cm以上であり、発光長が50cm以上であり、封入物は水銀及び/又は水銀以外の金属と、ハロゲンとの組み合わせであって、波長450nm以下の光の放射を有し、点灯時の動作圧が負圧となることを特徴とする。
また、さらに良好には電位傾度が8V/cm以下で、点灯時の動作圧が50kPa以下であることを特徴とし、更には、前記箔シール構造が2枚箔であることを特徴とするものである。
In order to solve the above problems, in the long arc discharge lamp according to the present invention, the potential gradient is 8 V / cm or less, the lamp input power is 80 W / cm or more, the light emission length is 50 cm or more, Is a combination of mercury and / or a metal other than mercury and halogen, and has a feature that it emits light with a wavelength of 450 nm or less, and the operating pressure during lighting is negative.
More preferably, the gradient of potential is 8 V / cm or less, the operating pressure during lighting is 50 kPa or less, and the foil seal structure is a two-sheet foil. is there.

本発明によれば、ロングアーク型放電ランプに対して高入力でありながら、点灯時の動作圧が1atm未満の負圧となるので、発光管内の封入物、特にハロゲンが封止部内に侵入することがなく、従って金属箔の腐食がなく、箔浮が生じたり、封入物が外部に流出したりすることがないという効果を奏する。その結果、ランプの寿命が延びることになる。   According to the present invention, since the operating pressure at the time of lighting becomes a negative pressure of less than 1 atm while being a high input to the long arc type discharge lamp, the inclusion in the arc tube, particularly the halogen, penetrates into the sealing portion. Therefore, there is no corrosion of the metal foil, and there is an effect that the floating of the foil does not occur and the inclusion does not flow out to the outside. As a result, the life of the lamp is extended.

ところで、動作圧を負圧にするためには、水銀などの封入量を少なく設定することが必要であり、これにより電位傾度(電圧)が低く抑えられて電流が増えることになる。このランプ電流が増えると、モリブデン箔の電流容量を増やすため箔の厚みを増やすか、幅を広げる必要がある。
さらには、電流容量を増やす方法としては、モリブデン箔の枚数を増やす方法もある。しかしながら、モリブデン箔の枚数を増やす方法はモリブデン箔と電極との溶接箇所が増え、モリブデン箔の間にガラス部材を入れる必要もあり、電極周囲に出来る微小な空間が大きくなり、ハロゲンがその空間に侵入しやすくなり箔浮きを招きやすい。そのため、2枚箔以上の構造はハロゲンを封入しないキセノンランプやショートアークの超高圧水銀ランプで主に用いられ、ハロゲンを入れたランプでは通常は1枚のモリブデン箔で封止を行っていた。
これに対して、本発明では、前記したように、発光管内部が点灯時にも負圧であり、通常の高圧放電ランプよりも封止部での箔浮きが生じにくいという優位性から、2枚箔以上の構造を採用することができて、電流容量の増加に的確に対応できるものである。
By the way, in order to set the operating pressure to a negative pressure, it is necessary to set a small amount of mercury or the like to be enclosed. As a result, the potential gradient (voltage) is kept low and the current increases. When this lamp current increases, it is necessary to increase the thickness of the foil or increase the width in order to increase the current capacity of the molybdenum foil.
Furthermore, as a method of increasing the current capacity, there is a method of increasing the number of molybdenum foils. However, the method of increasing the number of molybdenum foils increases the number of locations where the molybdenum foil and the electrode are welded, necessitating the insertion of a glass member between the molybdenum foils. It becomes easy to invade and easily causes the foil to float. Therefore, the structure of two or more foils is mainly used in xenon lamps that do not encapsulate halogens or short arc ultra-high pressure mercury lamps, and the lamps that contain halogens are usually sealed with one molybdenum foil.
On the other hand, in the present invention, as described above, because of the advantage that the inside of the arc tube has a negative pressure even when it is lit, it is less likely that the foil floats at the sealing portion than a normal high-pressure discharge lamp. A structure more than a foil can be adopted, and it can accurately cope with an increase in current capacity.

本発明に係るロングアーク型放電ランプの全体図。1 is an overall view of a long arc type discharge lamp according to the present invention. 図1の部分断面図。The fragmentary sectional view of FIG. 実験に供した各種ランプ。Various lamps used for the experiment. 図3の各種ランプの照度維持率を表すグラフ。The graph showing the illumination intensity maintenance factor of the various lamps of FIG.

図1はこの発明のロングアーク型放電ランプを示し、図2はその要部の拡大図である。
図において、ロングアーク型ランプ1は、石英ガラスよりなる発光管2の両端に封止部3を備えており、該発光管2内には一対の電極4、4が所定の距離、例えば500mmを隔てて対向配置される。
この実施例においては、上記電極4の非発光空間側の後端4aは、扁平形状に形成されており、その後方端には、該電極後端4aの形状に合わせて扁平形状とされた石英ガラス部材6が配設されている。
封止部3内において、前記電極4の扁平後端4aの上下面に溶接等により接合された2枚の金属箔5、5は、ガラス部材6の上下面に沿って延在し、その後方端で外部リード7に接続されている。該外部リード7は発光管2の外部に突出し、不図示の給電線に接続される。
FIG. 1 shows a long arc type discharge lamp of the present invention, and FIG. 2 is an enlarged view of a main part thereof.
In the figure, a long arc type lamp 1 is provided with sealing portions 3 at both ends of an arc tube 2 made of quartz glass, and a pair of electrodes 4 and 4 within the arc tube 2 has a predetermined distance, for example, 500 mm. They are arranged opposite to each other.
In this embodiment, the rear end 4a on the non-light-emitting space side of the electrode 4 is formed in a flat shape, and the rear end thereof has a flat shape in accordance with the shape of the electrode rear end 4a. A glass member 6 is disposed.
In the sealing part 3, the two metal foils 5 and 5 joined to the upper and lower surfaces of the flat rear end 4a of the electrode 4 by welding or the like extend along the upper and lower surfaces of the glass member 6, and the rear thereof. The end is connected to the external lead 7. The external lead 7 protrudes outside the arc tube 2 and is connected to a power supply line (not shown).

上記発光管2内には、所定の希ガスと、ハロゲンと、水銀と、鉄とが封入されており、この例では、点灯時には、例えば主に波長365nm付近の紫外線を放射する。
なお、封入物は上記に限られず、A:水銀又は水銀以外の金属+B:ハロゲンの全組み合わせであってよい。
The arc tube 2 is filled with a predetermined rare gas, halogen, mercury, and iron. In this example, for example, ultraviolet rays having a wavelength of around 365 nm are mainly emitted during lighting.
The inclusions are not limited to the above, and may be A: mercury or all combinations of metals other than mercury + B: halogen.

これら組み合わせの例として以下のようなものがある。
・Hg<水銀>+(I<沃素>、Br<臭素>)
・Zn(亜鉛)+(I、Br)
・Zn+FeI<沃化鉄>
・Hg+FeI
・金属α(Bi<ビスマス>、Sb<アンチモン>)+(I、Br)
Examples of these combinations are as follows.
Hg <mercury> + (I <iodine>, Br <bromine>)
Zn (zinc) + (I, Br)
・ Zn + FeI 2 <Iron iodide>
・ Hg + FeI 2
Metal α (Bi <bismuth>, Sb <antimony>) + (I, Br)

これらの発光物質が、ランプの電位傾度が8V/cm以下となるように封入される。
さらに、始動性を高めるための希ガスとして、例えばキセノンが封入される。
そして、電極間距離によって決まる発光長は500mm以上であり、ランプ入力電力は80W/cm以上である。
上記の発光物質を封入したランプは、主として波長340〜450nmの紫外線を放射するものであり、その用途としては、例えば、樹脂、接着剤、インク、フォトレジストの硬化や、乾燥、溶融、あるいは軟化といった様々な処理に用いられる。
These luminescent materials are enclosed so that the potential gradient of the lamp is 8 V / cm or less.
Further, for example, xenon is enclosed as a rare gas for improving startability.
The light emission length determined by the distance between the electrodes is 500 mm or more, and the lamp input power is 80 W / cm or more.
The lamp encapsulating the above-mentioned luminescent material mainly emits ultraviolet light having a wavelength of 340 to 450 nm, and its uses include, for example, curing, drying, melting, or softening of resin, adhesive, ink, and photoresist. It is used for various processes.

実験例について以下に示す。
図3に、実験に供した各種のロングアーク型放電ランプを示しており、各ランプは、発光管の形状・寸法、封止部構造、発光長などは共通しており、封入物と点灯時の電圧、動作圧が異なるものである。
実施例1に示すランプは、中央部分の内径が22mmで、内容積が400cmの発光管を用い、水銀130mg、ヨウ化水銀10mgおよびキセノンガスの封入圧が8kPaとなるよう封入され、1,000mmの電極間距離で電極4が配置された放電ランプであり、定格点力16,000W、ランプ電圧795Vである。
実施例2に示すランプは、中央部分の内径、内容積が実施例1のランプと同じ発光管を用い、水銀73mg、ヨウ化水銀2mgおよびキセノンガスの封入圧が4kPaとなるよう封入された、実施例1と同じ定格点力16,000Wのランプであるがランプ電圧は585Vである。
従来例に示すランプは、中央部分の内径、内容積が実施例1のランプと同じ発光管を用い、水銀825mg、ヨウ化水銀2mgおよびキセノンガスの封入圧が4kPaとなるよう封入された、実施例1と同じ定格点力16,000Wのランプであるがランプ電圧は1,357Vである。
そして、上記従来例のランプの電位傾度が、13.6(V/cm)であるのに対して、本発明の実施例1のランプでは電位傾度が7.95(V/cm)、実施例2のランプでは5.85(V/cm)と小さい。
これと相関して、各ランプの動作圧を検証すると、ランプ内部の平均ガス温度を2,000Kとしたときの水銀、ヨウ素、及びキセノンのそれぞれの圧力を、
“気体の状態方程式”: P=nRT/V
但し、P:動作圧、n:モル数、R:気体定数、T:絶対温度=平均ガス温度、
V:ランプ内容積
で求め、それらを合計して動作圧を求めた。
こうして求められた動作圧は、従来例では1.90(atm)であるのに対して、本発明の実施例1では0.81(atm)、実施例2では0.41(atm)であり、本発明のいずれのランプにおいても、ランプ内部は点灯状態でも負圧となっていることが分かる。
Experimental examples are shown below.
Fig. 3 shows various types of long arc discharge lamps used in the experiment. Each lamp has the same shape and dimensions of the arc tube, sealing structure, light emission length, etc. Are different in voltage and operating pressure.
The lamp shown in Example 1 was sealed using an arc tube having an inner diameter of 22 mm at the center portion and an internal volume of 400 cm 3 so that the sealing pressure of mercury 130 mg, mercury iodide 10 mg and xenon gas was 8 kPa, A discharge lamp in which the electrode 4 is disposed at a distance between electrodes of 000 mm, has a rated point force of 16,000 W and a lamp voltage of 795 V.
The lamp shown in Example 2 was sealed using an arc tube having the same inner diameter and inner volume as in the lamp of Example 1 so that the sealing pressure of mercury 73 mg, mercury iodide 2 mg, and xenon gas was 4 kPa. Although the lamp has the same rated spot force of 16,000 W as that of the first embodiment, the lamp voltage is 585V.
The lamp shown in the conventional example was sealed using an arc tube having the same inner diameter and inner volume as that of the lamp of Example 1 so that the sealing pressure of mercury 825 mg, mercury iodide 2 mg and xenon gas was 4 kPa. The lamp has the same rated spot power of 16,000 W as in Example 1, but the lamp voltage is 1,357V.
The potential gradient of the conventional lamp is 13.6 (V / cm), whereas the lamp of Example 1 of the present invention has a potential gradient of 7.95 (V / cm). The lamp of 2 is as small as 5.85 (V / cm).
Correlating with this, when verifying the operating pressure of each lamp, the respective pressures of mercury, iodine, and xenon when the average gas temperature inside the lamp is 2,000 K,
“Gas equation of state”: P = nRT / V
Where P: operating pressure, n: number of moles, R: gas constant, T: absolute temperature = average gas temperature,
V: Calculated by the lamp internal volume, and summed them to determine the operating pressure.
The operating pressure thus obtained is 1.90 (atm) in the conventional example, whereas it is 0.81 (atm) in the first embodiment of the present invention and 0.41 (atm) in the second embodiment. In any of the lamps according to the present invention, it can be seen that the inside of the lamp has a negative pressure even in the lighting state.

図4は、上記各ランプの寿命点灯試験を行い、照度維持率についてプロットしたグラフである。縦軸は初期照度に対する照度維持率(%)、横軸は点灯経過時間である。
実験結果から、各ランプは点灯経過するともに、同じ点灯時間でほぼ同様に照度が低下した。しかしながら、まず従来例のランプが点灯時間4,500時間近辺で封止部からリークしたが、実施例1、2はその後も、ともに照度を低下させながらも点灯を維持した。特に実施例2は、8,000時間を超えて点灯を維持した。実施例2のランプでは点灯時のランプの内圧がより低いため、箔浮きの進行が遅くなったものと考察される。また、リーク時にもリークとほぼ同時に大気がランプ内部に流入して、点灯することが不能となり、外部への封入物の流出は殆ど見られなかった。
これらは、ハロゲンを封入したランプの点灯時の動作圧に起因する問題であって、水銀の有無には関係はなく、ハロゲンと他の金属を入れた場合にも同様の傾向が見られる。
FIG. 4 is a graph in which the life lighting test of each of the lamps is performed and the illuminance maintenance rate is plotted. The vertical axis represents the illuminance maintenance rate (%) with respect to the initial illuminance, and the horizontal axis represents the elapsed lighting time.
From the experimental results, as each lamp was lit, the illuminance decreased in the same manner at the same lighting time. However, although the conventional lamp leaked from the sealing portion at around 4,500 hours of lighting time, the lamps of Examples 1 and 2 continued to be lit while reducing the illuminance. In particular, Example 2 maintained lighting for over 8,000 hours. In the lamp of Example 2, since the internal pressure of the lamp at the time of lighting is lower, it is considered that the progress of the foil floating is delayed. Also, at the time of the leak, the atmosphere flowed into the lamp almost simultaneously with the leak, making it impossible to turn on the lamp, and almost no outflow of the inclusions to the outside was seen.
These are problems caused by the operating pressure at the time of lighting of the lamp enclosing the halogen, regardless of the presence or absence of mercury, and the same tendency can be seen when halogen and other metals are added.

以上のように、同じ発光管形状、封止部構造を有するランプにおいても、発光管内の動作圧が大気圧以上となる従来ランプに対して、動作圧が大気圧未満の負圧となる本発明のランプでは、封止部での封入物質のリークの発生が長時間に及んで抑制されており、大幅な長寿命化が図られていることが分かる。   As described above, even in a lamp having the same arc tube shape and sealing portion structure, the present invention in which the operating pressure is a negative pressure less than the atmospheric pressure compared to the conventional lamp in which the operating pressure in the arc tube is equal to or higher than the atmospheric pressure. In this lamp, the occurrence of leakage of the encapsulated material in the sealing portion is suppressed for a long time, and it can be seen that the lifetime is significantly extended.

1 ロングアーク型放電ランプ
2 発光管
3 封止部
4 電極
4a 扁平な電極後端
5 金属箔
6 ガラス部材
7 外部リード

DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Long arc type discharge lamp 2 Arc tube 3 Sealing part 4 Electrode 4a Flat electrode rear end 5 Metal foil 6 Glass member 7 External lead

Claims (3)

発光管内に一対の電極が対向配置され、該発光管は両端で箔シール構造により封止されてなるロングアーク型放電ランプにおいて、
電位傾度が8V/cm以下であり、ランプ入力電力が80W/cm以上であり、発光長が50cm以上であり、封入物は水銀及び/又は水銀以外の金属と、ハロゲンとの組み合わせであって、波長450nm以下の光の放射を有し、点灯時の動作圧が負圧となることを特徴とするロングアーク型放電ランプ。
In a long arc type discharge lamp in which a pair of electrodes are arranged opposite to each other in the arc tube, and the arc tube is sealed with a foil seal structure at both ends,
The potential gradient is 8 V / cm or less, the lamp input power is 80 W / cm or more, the light emission length is 50 cm or more, and the inclusion is a combination of mercury and / or a metal other than mercury and a halogen, A long arc discharge lamp having light emission with a wavelength of 450 nm or less and having a negative operating pressure when lit.
前記点灯時の動作圧が50kPa以下であることを特徴とする請求項1に記載のロングアーク型放電ランプ。   2. The long arc discharge lamp according to claim 1, wherein an operating pressure at the time of lighting is 50 kPa or less. 前記箔シール構造が2枚箔であることを特徴とする請求項1に記載のロングアーク型放電ランプ。


2. The long arc discharge lamp according to claim 1, wherein the foil seal structure is a two-sheet foil.


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