JP5343424B2 - Ultrasonic motor - Google Patents

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Description

この発明は超音波モータに係り、特に、ステータに超音波振動を発生させることによりステータに接触するロータを回転させる超音波モータに関する。   The present invention relates to an ultrasonic motor, and more particularly to an ultrasonic motor that rotates a rotor that contacts a stator by generating ultrasonic vibrations in the stator.

近年、超音波振動を利用してロータを回転させる超音波モータが提案され、実用化されている。この超音波モータは、圧電素子を用いてステータに超音波振動を発生させ、ステータに加圧接触するロータを両者間の摩擦力によって回転させるものである。
例えば、特許文献１には、ステータに球状のロータが接触支持され、ステータが振動することによってロータを回転させる超音波モータが記載されている。この超音波モータには、板ばねによってステータ方向に力を加えられてロータに予圧を作用させる予圧部材が設けられている。また、特許文献２には、加圧ばね（予圧部材）によってロータが振動体（ステータ）に加圧支持された超音波モータが記載されている。 In recent years, an ultrasonic motor for rotating a rotor using ultrasonic vibration has been proposed and put into practical use. This ultrasonic motor generates ultrasonic vibrations in a stator using a piezoelectric element, and rotates a rotor in pressure contact with the stator by a frictional force between them.
For example, Patent Document 1 describes an ultrasonic motor in which a spherical rotor is contacted and supported by a stator, and the rotor is rotated when the stator vibrates. This ultrasonic motor is provided with a preload member that applies a preload to the rotor by applying a force in the direction of the stator by a leaf spring. Patent Document 2 describes an ultrasonic motor in which a rotor is pressed and supported on a vibrating body (stator) by a pressure spring (preload member).

特開２００７−１３５３１３号公報JP 2007-135313 A 特開平１１−１９６５９１号公報JP-A-11-196591

しかしながら、特許文献１及び２の超音波モータでは予圧部材とロータとの間に潤滑剤を使用すると、潤滑剤がロータの表面を伝わって垂れることがあり、垂れた潤滑剤がロータとステータとの間に浸入すると、ステータとロータとの間の摩擦力が低下してしまい、ロータの回転力が大幅に減少してしまうといった問題点があった。   However, in the ultrasonic motors of Patent Documents 1 and 2, if a lubricant is used between the preload member and the rotor, the lubricant may hang down along the surface of the rotor, and the dripped lubricant may fall between the rotor and the stator. If it enters, the frictional force between the stator and the rotor will decrease, and the rotational force of the rotor will be greatly reduced.

この発明はこのような問題点を解決するためになされたもので、ロータの回転力を低下させずに予圧部材とロータとの間を潤滑する超音波モータを提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve such a problem, and an object of the present invention is to provide an ultrasonic motor that lubricates between a preload member and a rotor without reducing the rotational force of the rotor.

この発明に係る超音波モータは、ステータと、該ステータに接触配置されかつ該ステータに超音波振動を発生させることにより駆動され、多軸に回転可能である球形状のロータと、前記ロータの上方に配置され、前記ステータに前記ロータを加圧する予圧部材とを備え、前記予圧部材内には潤滑剤が配置され、前記ロータの表面を伝わる前記潤滑剤を保持するように、前記ロータに前記ロータの周方向に沿って、前記ロータの表面に対して窪んだ溝部が形成されていて、前記ロータと前記ステータの接触可能範囲に対して、前記溝部が前記予圧部材側に位置するように、前記ロータは回転する。予圧部材とロータとの間に潤滑剤を供給したときに、潤滑剤がステータに向かってロータの表面を伝わっても、溝部によって潤滑剤がステータまで伝わってしまうのを抑止する。
前記溝部は波状またはジグザグ状であってもよい。
前記溝部に、前記ロータの表面に対して突出した凸部が、前記溝部に取り外し可能に嵌め込まれていてもよい。
前記凸部は、液体を吸収可能な吸収性材料から構成されてもよい。 An ultrasonic motor according to the present invention includes a stator, a spherical rotor that is arranged in contact with the stator and driven by generating ultrasonic vibrations in the stator, and is rotatable in multiple axes. disposed, and a preload member for pressing the rotor to the stator, wherein the preload section member is disposed lubricant, so as to hold the lubricant transferred to the surface of the rotor, the said rotor A groove portion that is recessed with respect to the surface of the rotor is formed along the circumferential direction of the rotor, and the groove portion is positioned on the preload member side with respect to a contactable range of the rotor and the stator. The rotor rotates. When the lubricant is supplied between the preload member and the rotor, even if the lubricant is transmitted to the surface of the rotor toward the stator, the groove portion prevents the lubricant from being transmitted to the stator.
The groove may be wavy or zigzag.
A convex portion protruding from the surface of the rotor may be removably fitted into the groove portion.
The convex portion may be made of an absorbent material capable of absorbing liquid.

この発明によれば、ステータと、ステータに接触配置され多軸に回転可能である球形状のロータと、ロータの上方に配置され、ステータにロータを加圧する予圧部材とを備えた超音波モータにおいて、ロータにロータの周方向に沿って、ロータの表面に対して窪んだ溝部が形成されていて、ロータとステータの接触可能範囲に対して、溝部が予圧部材側に位置するように、ロータは回転することにより、予圧部材とロータとの間に潤滑剤を供給したときに、潤滑剤がロータの表面を伝わってステータに向かって垂れても、溝部が潤滑剤を保持することによって、潤滑剤がステータまで垂れてしまうのを抑止するので、ロータの回転力を低下させずに予圧部材とロータとの間を潤滑することができる。 According to the present invention, in an ultrasonic motor comprising a stator , a spherical rotor arranged in contact with the stator and rotatable in multiple axes, and a preload member disposed above the rotor and pressurizing the rotor against the stator The rotor is formed with a groove that is recessed with respect to the rotor surface along the circumferential direction of the rotor, and the rotor is positioned on the preload member side with respect to the contactable range of the rotor and the stator. By rotating , when the lubricant is supplied between the preload member and the rotor, the groove holds the lubricant even if the lubricant travels on the surface of the rotor and hangs down toward the stator. Is prevented from drooping to the stator, so that the preload member and the rotor can be lubricated without reducing the rotational force of the rotor.

以下、この発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
実施の形態１．
この発明の実施の形態１に係る超音波モータの可動部分を図１に示す。球形状のロータ１が、ステータ２に接触するように配置されている。ロータ１は、予圧部材３によって上方からステータ２に向かって加圧されている。予圧部材３の内部には、グリス等の潤滑剤が収容されており、ロータ１と予圧部材３との間を潤滑している。ステータ２には、ステータ２を超音波振動させるための図示しない振動手段が接続されている。振動手段によってステータ２が超音波振動することにより、ロータ１が回転するようになっている。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
Embodiment 1 FIG.
FIG. 1 shows a movable part of the ultrasonic motor according to Embodiment 1 of the present invention. A spherical rotor 1 is arranged in contact with the stator 2. The rotor 1 is pressurized toward the stator 2 from above by a preload member 3. A lubricant such as grease is accommodated in the preload member 3 to lubricate between the rotor 1 and the preload member 3. A vibration means (not shown) for ultrasonically vibrating the stator 2 is connected to the stator 2. The rotor 1 is rotated by ultrasonic vibration of the stator 2 by the vibration means.

ロータ１には、図示しないジョイントが連結するための孔４が設けられている。ロータ１の表面には、ロータ１の周方向に沿って、ロータ１の表面に対して窪んだ溝部５が設けられている。ここで、溝部５は段差部を構成する。溝部５は、後述するロータ１の全可動範囲に渡って、ステータ２より上方かつ予圧部材３より下方に位置するように設けられている。すなわち、ロータ１とステータ２との接触可能範囲に対して、溝部５が予圧部材３側に位置するように設けられている。   The rotor 1 is provided with a hole 4 for connecting a joint (not shown). Grooves 5 that are recessed with respect to the surface of the rotor 1 are provided on the surface of the rotor 1 along the circumferential direction of the rotor 1. Here, the groove portion 5 constitutes a step portion. The groove portion 5 is provided so as to be located above the stator 2 and below the preload member 3 over the entire movable range of the rotor 1 described later. That is, the groove portion 5 is provided on the preload member 3 side with respect to the contactable range between the rotor 1 and the stator 2.

次に、実施の形態１に係る超音波モータの動作について説明する。
図示しない振動手段がステータ２を超音波振動させると、ロータ１は回転する。図２に示されるように、ロータ１は、鉛直線Ｌを中心として３６０°回転が可能である（矢印Ａ）。またこれとともに、溝部５が鉛直線Ｌに対して垂直となるようにロータ１をステータ２上に配置し、その際に、ロータ１の表面に鉛直線Ｌと重なる仮想的な棒６を立てたとすると、鉛直線Ｌに対する棒６のなす角度がある角度θより大きくならない範囲（矢印Ｂ）で回転（傾く）可能である。これらの回転可能な範囲をロータ１の可動範囲という。この範囲でロータ１は回転するので、ロータ１は多軸に回転可能である。なお。この可動範囲は、ロータ１とステータ２との接触可能範囲と同じ大きさの範囲となる。 Next, the operation of the ultrasonic motor according to Embodiment 1 will be described.
When vibration means (not shown) causes the stator 2 to vibrate ultrasonically, the rotor 1 rotates. As shown in FIG. 2, the rotor 1 can rotate 360 ° about the vertical line L (arrow A). At the same time, the rotor 1 is arranged on the stator 2 so that the groove 5 is perpendicular to the vertical line L. At that time, a virtual rod 6 that overlaps the vertical line L is set up on the surface of the rotor 1. Then, the angle formed by the rod 6 with respect to the vertical line L can be rotated (tilted) within a range (arrow B) that does not become larger than an angle θ. These rotatable ranges are referred to as the movable range of the rotor 1. Since the rotor 1 rotates within this range, the rotor 1 can rotate in multiple axes. Note that. This movable range is a range having the same size as the contactable range between the rotor 1 and the stator 2.

図１に示されるように、ロータ１は、予圧部材３によってステータ２に向かって加圧されているので、ロータ１と予圧部材３との間の摩擦力を低下させてロータ１の回転を促進する目的で、予圧部材３内に収容された潤滑剤がロータ１と予圧部材３との間を潤滑する。潤滑剤がロータ１と予圧部材３との間を潤滑していると、一部の潤滑剤がロータ１の表面を伝わることがある。潤滑剤がロータ１とステータ２との間に浸入すると、ロータ１とステータ２との間の摩擦力が低下してしまうので、ロータ１の回転力が低下してしまう。しかしながら、ロータ１の表面には溝部５が設けられているので、ロータ１の表面を伝わる潤滑剤は、溝部５に入り込んで溝部５内に保持される。この結果、潤滑剤が溝部５よりもステータ２側に伝わることを抑止する。   As shown in FIG. 1, since the rotor 1 is pressurized toward the stator 2 by the preload member 3, the friction force between the rotor 1 and the preload member 3 is reduced to promote the rotation of the rotor 1. For this purpose, the lubricant accommodated in the preload member 3 lubricates between the rotor 1 and the preload member 3. When the lubricant lubricates between the rotor 1 and the preload member 3, a part of the lubricant may be transmitted along the surface of the rotor 1. When the lubricant enters between the rotor 1 and the stator 2, the frictional force between the rotor 1 and the stator 2 is reduced, so that the rotational force of the rotor 1 is reduced. However, since the groove portion 5 is provided on the surface of the rotor 1, the lubricant transmitted through the surface of the rotor 1 enters the groove portion 5 and is held in the groove portion 5. As a result, the lubricant is prevented from being transmitted to the stator 2 side than the groove portion 5.

このように、ロータ１に溝部５が形成されていることにより、予圧部材３とロータ１との間に潤滑剤を供給したときに、潤滑剤がステータ２に向かってロータ１の表面を伝わっても、溝部５によって、潤滑剤がステータ２まで伝わってしまうのを抑止するので、ロータ１の回転力を低下させずに予圧部材３とロータ１との間を潤滑することができる。   Thus, since the groove portion 5 is formed in the rotor 1, when the lubricant is supplied between the preload member 3 and the rotor 1, the lubricant is transmitted to the surface of the rotor 1 toward the stator 2. However, since the groove portion 5 prevents the lubricant from being transmitted to the stator 2, it is possible to lubricate the preload member 3 and the rotor 1 without reducing the rotational force of the rotor 1.

実施の形態１において、周方向に沿って形成された溝部５は、無端状の閉じた形状であるが、この形態に限定するものではない。図３（ａ）に示されるように、円周方向の一部分に溝部が形成されず、両端部を有する開いた形状の溝部５’であってもよい。また、図３（ｂ）に示されるように、螺旋状の溝部５”であってもよい。   In Embodiment 1, although the groove part 5 formed along the circumferential direction is an endless closed shape, it is not limited to this form. As shown in FIG. 3A, the groove portion may not be formed in a part in the circumferential direction, but may be an open groove portion 5 'having both ends. Further, as shown in FIG. 3B, a spiral groove 5 ″ may be used.

実施の形態２．
次に、この発明の実施の形態２に係る超音波モータについて説明する。
この発明の実施の形態２に係る超音波モータは、実施の形態１に対して、ロータの形状を変更したものである。 Embodiment 2. FIG.
Next, an ultrasonic motor according to Embodiment 2 of the present invention will be described.
The ultrasonic motor according to the second embodiment of the present invention is obtained by changing the shape of the rotor with respect to the first embodiment.

図４に示されるように、ロータ１１は円柱形状を有し、図示しないジョイントが連結するための孔１４が、ロータ１１の軸方向に設けられている。ロータ１１は、ロータ１１の軸方向を中心に回転可能に、ステータ１２に接触するように配置されている。ロータ１１は、予圧部材１３によって上方からステータ１２に向かって加圧されている。予圧部材１３の内部には、潤滑剤が収容されている。ロータ１１の表面には、ロータ１１の軸方向に沿って、ロータ１１の表面に対して窪んだ溝部１５が設けられている。ここで、溝部１５は段差部を構成する。溝部１５は、ロータ１１の全可動範囲に渡って、ステータ１２より上方かつ予圧部材１３より下方に位置するように設けられている。その他の構成については、実施の形態１と同じである。すなわち、ロータ１１とステータ１２との接触可能範囲に対して、溝部１５が予圧部材１３側に位置するように設けられている。   As shown in FIG. 4, the rotor 11 has a cylindrical shape, and a hole 14 for connecting a joint (not shown) is provided in the axial direction of the rotor 11. The rotor 11 is arranged to contact the stator 12 so as to be rotatable about the axial direction of the rotor 11. The rotor 11 is pressurized toward the stator 12 from above by a preload member 13. A lubricant is accommodated in the preload member 13. A groove portion 15 that is recessed with respect to the surface of the rotor 11 is provided on the surface of the rotor 11 along the axial direction of the rotor 11. Here, the groove portion 15 constitutes a step portion. The groove portion 15 is provided so as to be positioned above the stator 12 and below the preload member 13 over the entire movable range of the rotor 11. Other configurations are the same as those in the first embodiment. That is, the groove portion 15 is provided on the preload member 13 side with respect to the contactable range between the rotor 11 and the stator 12.

ロータ１１は、ロータ１１の軸方向を中心として一軸に回転する。実施の形態１と同様に、潤滑剤によってロータ１１と予圧部材１３との間を潤滑するが、潤滑剤の一部がステータ１２に向かってロータ１１の表面を伝わることがある。しかし、ロータ１１の表面に設けられた溝部１５によって、ロータ１１の表面を伝わる潤滑剤が溝部１５に入り込んで溝部１５内に保持される。この結果、潤滑剤が溝部１５よりもステータ１２側に伝わることを抑止する。従って、溝部１５によって、潤滑剤がステータ１２まで伝わってしまうのを抑止するので、ロータ１１の回転力を低下させずに予圧部材１３とロータ１１との間を潤滑することができる。   The rotor 11 rotates about one axis around the axial direction of the rotor 11. As in the first embodiment, the lubricant is lubricated between the rotor 11 and the preload member 13, but a part of the lubricant may be transmitted to the stator 12 toward the stator 12. However, the groove 15 provided on the surface of the rotor 11 causes the lubricant transmitted on the surface of the rotor 11 to enter the groove 15 and be held in the groove 15. As a result, the lubricant is prevented from being transmitted to the stator 12 side than the groove portion 15. Therefore, since the groove portion 15 prevents the lubricant from being transmitted to the stator 12, the space between the preload member 13 and the rotor 11 can be lubricated without reducing the rotational force of the rotor 11.

実施の形態３．
次に、この発明の実施の形態３に係る超音波モータについて説明する。
この発明の実施の形態３に係る超音波モータは、実施の形態１に対して、予圧部材の形状を変更したものである。 Embodiment 3 FIG.
Next, an ultrasonic motor according to Embodiment 3 of the present invention will be described.
The ultrasonic motor according to the third embodiment of the present invention is obtained by changing the shape of the preload member with respect to the first embodiment.

図５に示されるように、球形状のロータ２１が、ステータ２２に接触するように配置されている。ロータ２１は、予圧部材２３によって上方からステータ２２に向かって加圧されている。ステータ２２と予圧部材２３とは、環状の板ばね２６を介して弾性的に連結されている。ロータ２１の表面には、予圧部材２３とロータ２１との接触部分より上方に位置するように、ロータ２１の円周方向に沿って、ロータ２１の表面に対して窪んだ溝部２５が設けられている。ここで、溝部２５は段差部を構成する。実施の形態３においても、ステータ２２側に向かってロータ２１の表面を伝わる潤滑剤が溝部２５内に保持されることにより、潤滑剤がロータ２１とステータ２２との接触部分２７まで伝わることを抑止することができるので、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。   As shown in FIG. 5, the spherical rotor 21 is disposed so as to contact the stator 22. The rotor 21 is pressurized toward the stator 22 from above by a preload member 23. The stator 22 and the preload member 23 are elastically connected via an annular leaf spring 26. A groove 25 that is recessed with respect to the surface of the rotor 21 is provided on the surface of the rotor 21 along the circumferential direction of the rotor 21 so as to be positioned above the contact portion between the preload member 23 and the rotor 21. Yes. Here, the groove part 25 constitutes a step part. Also in the third embodiment, the lubricant that travels on the surface of the rotor 21 toward the stator 22 side is held in the groove 25, thereby preventing the lubricant from traveling to the contact portion 27 between the rotor 21 and the stator 22. Therefore, the same effect as in the first embodiment can be obtained.

実施の形態３では、溝部２５を、ロータ２１と予圧部材２３との接触部分よりも上方に設けたが、この形態に限定するものではない。ロータ２１とステータ２２との接触部分よりも上方かつロータ２１と予圧部材２３との接触部分よりも下方に設けてもよく（図５の符合「２５’」に相当）、また、ロータ２１とステータ２２との接触部分２７よりも上方で溝部２５がロータ２１と予圧部材２３との接触部分２８を通り越すような位置に設けてもよい（図５の符合「２５”」に相当）。すなわち、ロータ２１とステータ２２との接触可能範囲に対して予圧部材２３側の位置であればよい。さらに、溝部２５は、円周方向に真っ直ぐに延びる形態に限定するものではなく、図６（ａ）に示されるような波状の溝部２５ａや、図６（ｂ）に示されるようなジグザグ状の溝部２５ｂであってもよい。   In the third embodiment, the groove portion 25 is provided above the contact portion between the rotor 21 and the preload member 23. However, the present invention is not limited to this embodiment. It may be provided above the contact portion between the rotor 21 and the stator 22 and below the contact portion between the rotor 21 and the preload member 23 (corresponding to the reference numeral “25 ′” in FIG. 5). The groove portion 25 may be provided at a position above the contact portion 27 between the rotor 22 and the contact portion 28 between the rotor 21 and the preload member 23 (corresponding to reference numeral “25” ”in FIG. 5). That is, the position on the preload member 23 side with respect to the contactable range between the rotor 21 and the stator 22 may be sufficient. Furthermore, the groove part 25 is not limited to a form extending straight in the circumferential direction, but is a wavy groove part 25a as shown in FIG. 6A or a zigzag-like shape as shown in FIG. The groove part 25b may be sufficient.

実施の形態１〜３において、段差部は、ロータの表面に対して窪んだ溝部であったが、この形態に限定するものではない。図７（ａ）に示されるように、ロータ１の表面に対して突出した凸部３５ａであってもよい。ロータ１の表面を伝わる潤滑剤は、凸部３５ａで堰き止められるので、潤滑剤がステータ２（図１参照）まで伝わってしまうのを防止でき、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。また、凸部は、断面が半円状のものに限定されず、図７（ｂ）に示されるように断面が扇型状の凸部３５ｂであってもよく、また、図７（ｃ）及び（ｄ）にそれぞれ示されるように、凸部の表面に対して窪んだ保持部３５ｃ１及び３５ｄ１が設けられた凸部３５ｃ及び３５ｄであってもよい。   In the first to third embodiments, the step portion is a groove portion that is recessed with respect to the surface of the rotor, but is not limited to this embodiment. As shown in FIG. 7A, a convex portion 35 a that protrudes from the surface of the rotor 1 may be used. Since the lubricant transmitted through the surface of the rotor 1 is blocked by the convex portion 35a, it is possible to prevent the lubricant from being transmitted to the stator 2 (see FIG. 1), and the same effect as in the first embodiment can be obtained. it can. Further, the convex portion is not limited to a semicircular cross section, and may be a convex portion 35b having a fan-shaped cross section as shown in FIG. 7B. Also, FIG. And as each shown in (d), the convex parts 35c and 35d in which the holding parts 35c1 and 35d1 which were depressed with respect to the surface of a convex part were provided may be sufficient.

また、図８に示されるように、ロータの下側部分１ａを上側部分１ｂよりも半径を大きくしてそれらの境界に形成された段差を凸部３６としてもよい。
さらに、図９に示されるように、ロータ１の表面に設けられた溝部５にＯリング３７を取り外し可能に嵌め込むことによって凸部を構成してもよい。Ｏリング３７は、溝部５に嵌め込むのではなく、溝部が設けられていないロータの表面に取り外し可能に取り付けてもよい。また、Ｏリング３７は、綿やスポンジ等の液体を吸収可能な吸収性材料で構成することによって、Ｏリング３７まで垂れてきた潤滑剤を吸収保持することもできる。 Further, as shown in FIG. 8, the lower portion 1a of the rotor may have a radius larger than that of the upper portion 1b, and a step formed at the boundary between them may be used as the convex portion 36.
Further, as shown in FIG. 9, the convex portion may be configured by removably fitting an O-ring 37 into the groove portion 5 provided on the surface of the rotor 1. The O-ring 37 may be removably attached to the surface of the rotor where the groove is not provided, instead of being fitted into the groove 5. Further, the O-ring 37 can be made of an absorbent material capable of absorbing liquid such as cotton and sponge, thereby absorbing and holding the lubricant dripping down to the O-ring 37.

この発明の実施の形態１に係る超音波モータの可動部分の斜視図である。It is a perspective view of the movable part of the ultrasonic motor which concerns on Embodiment 1 of this invention. 実施の形態１に係る超音波モータのロータの可動範囲を説明するための正面図である。3 is a front view for explaining a movable range of a rotor of the ultrasonic motor according to Embodiment 1. FIG. 実施の形態１に係る超音波モータのロータに形成された溝部の変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of the groove part formed in the rotor of the ultrasonic motor which concerns on Embodiment 1. FIG. 実施の形態２に係る超音波モータの可動部分の斜視図である。6 is a perspective view of a movable part of an ultrasonic motor according to Embodiment 2. FIG. 実施の形態３に係る超音波モータの可動部分の斜視図である。6 is a perspective view of a movable part of an ultrasonic motor according to Embodiment 3. FIG. 実施の形態３に係る超音波モータのロータに形成された溝部の変形例を示す図である。FIG. 10 is a view showing a modification of the groove formed in the rotor of the ultrasonic motor according to the third embodiment. 実施の形態１〜３に係る超音波モータにおいて、ロータに設けられた凸部の様々な形状を示す断面図である。In the ultrasonic motor according to the first to third embodiments, it is a cross-sectional view showing various shapes of convex portions provided on the rotor. 実施の形態１〜３に係る超音波モータにおいて、ロータに設けられた凸部の別の形状を示す断面図である。In the ultrasonic motor according to Embodiments 1 to 3, it is a cross-sectional view showing another shape of the convex portion provided on the rotor. 実施の形態１〜３に係る超音波モータにおいて、ロータに設けられた凸部のさらに別の形状を示す断面図である。In the ultrasonic motor which concerns on Embodiment 1-3, it is sectional drawing which shows another shape of the convex part provided in the rotor.

符号の説明Explanation of symbols

１，１１，２１ ロータ、２，１２，２２ ステータ、３，１３，２３ 予圧部材、５，５’，５”，１５，２５，２５’，２５”，２５ａ，２５ｂ 溝部（段差部）、３５ａ，３５ｂ，３５ｃ，３５ｄ，３５ｅ，３６ 凸部（段差部）、３７ Ｏリング（凸部）。   1, 11, 21 Rotor, 2, 12, 22 Stator, 3, 13, 23 Preload member, 5, 5 ', 5 ", 15, 25, 25', 25", 25a, 25b Groove (step) 35a , 35b, 35c, 35d, 35e, 36 Convex part (step part), 37 O-ring (convex part).

Claims (4)

ステータと、
該ステータに接触配置されかつ該ステータに超音波振動を発生させることにより駆動され、多軸に回転可能である球形状のロータと、
前記ロータの上方に配置され、前記ステータに前記ロータを加圧する予圧部材と
を備え、
前記予圧部材内には潤滑剤が配置され、
前記ロータの表面を伝わる前記潤滑剤を保持するように、前記ロータに前記ロータの周方向に沿って、前記ロータの表面に対して窪んだ溝部が形成されていて、
前記ロータと前記ステータとの接触可能範囲に対して、前記溝部が前記予圧部材側に位置するように、前記ロータは回転する超音波モータ。 A stator,
A spherical rotor that is disposed in contact with the stator and is driven by generating ultrasonic vibrations in the stator, and is rotatable in multiple axes;
A preload member disposed above the rotor and pressurizing the rotor to the stator;
Lubricant is disposed on the preload section member,
A groove that is recessed with respect to the surface of the rotor is formed in the rotor along the circumferential direction of the rotor so as to hold the lubricant transmitted through the surface of the rotor.
The ultrasonic motor in which the rotor rotates such that the groove is positioned on the preload member side with respect to a contactable range between the rotor and the stator. 前記溝部は波状又はジグザグ状である請求項１に記載の超音波モータ。 The ultrasonic motor according to claim 1, wherein the groove has a wave shape or a zigzag shape . 前記ロータの表面に対して突出した凸部が、前記溝部に取り外し可能に嵌め込まれている請求項１または２に記載の超音波モータ。 Convex portion protruding to the surface of the rotor, the ultrasonic motor according to claim 1 or 2 wherein is fitted removably in the groove. 前記凸部は、液体を吸収可能な吸収性材料からなる、請求項３に記載の超音波モータ。 The ultrasonic motor according to claim 3 , wherein the convex portion is made of an absorbent material capable of absorbing liquid.
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