JP5333531B2 - Optical element measuring jig, and optical element shape measuring apparatus and method - Google Patents
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Description
本発明は、光学素子の面形状を測定する際に用いる光学素子測定用治具に関し、かかる光学素子測定用治具を利用しての光学素子形状測定装置及び方法に関するものである。 The present invention relates to an optical element measurement jig used when measuring the surface shape of an optical element, and relates to an optical element shape measurement apparatus and method using such an optical element measurement jig.
光学素子の3次元的な表面形状を高精度に測定するための技術として、ワークに触針を接触させて、その変位量を測定する接触式測定法がある。
この種の接触式測定法おいては、光学素子の表面形状を測定するばかりでなく、光学素子の外形基準に対する光学面の位置ずれ、すなわち偏芯を測定することが必要となる場合がある。このような偏心の測定を可能にするものとして、例えば、治具上に位置決め治具を配置して光学素子の位置決めを行なうことにより外形を基準とする光軸ずれを測定する形状測定装置が開発されている(特許文献1参照)。
As a technique for measuring the three-dimensional surface shape of an optical element with high accuracy, there is a contact measurement method in which a stylus is brought into contact with a workpiece and the amount of displacement is measured.
In this type of contact measurement method, it is sometimes necessary not only to measure the surface shape of the optical element, but also to measure the positional deviation of the optical surface relative to the external reference of the optical element, that is, the eccentricity. For example, a shape measuring device has been developed to measure the optical axis misalignment with respect to the outer shape by positioning the optical element by positioning a positioning jig on the jig. (See Patent Document 1).
しかし、上述のような形状測定装置では、位置決め治具が治具ホルダ上に固定的に取り付けられているだけであり、位置決め治具が安定して光学素子の外形に接触しない。そのため位置決め治具接触により算出される光学素子の外形基準、すなわち当該光学素子の外形形状から算出される当該光学素子の中心の測定精度が低下する可能性がある。また、この位置決め治具は柱状の外形を有するため、加工精度を高めること困難な形状であり精度良い測定には不向きである。さらに、柱状の位置決め治具によって光学素子の横方向の移動を制限するだけであるので、治具を反転して光学素子の両面を測定するような構成を行う場合に光学素子が脱落する恐れがある。 However, in the shape measuring apparatus as described above, the positioning jig is fixedly mounted on the jig holder, and the positioning jig does not stably contact the outer shape of the optical element. Therefore, there is a possibility that the measurement accuracy of the center of the optical element calculated from the outer shape reference of the optical element calculated by the positioning jig contact, that is, the outer shape of the optical element may be lowered. In addition, since this positioning jig has a columnar outer shape, it is difficult to increase the processing accuracy and is not suitable for accurate measurement. Furthermore, since the horizontal movement of the optical element is only limited by the columnar positioning jig, there is a risk that the optical element may fall off when the jig is reversed to measure both sides of the optical element. is there.
そのため、光学素子両面を測定するためには、その都度光学素子をはずして表裏を反転、計測する工程が必要となり、効率的な測定ができない。更に光学素子自体を一旦外すため、当該光学素子の両光学面の偏芯を精度よく測定できない可能性がある。 For this reason, in order to measure both sides of the optical element, a step of removing the optical element and inverting and measuring each time is necessary, and efficient measurement cannot be performed. Furthermore, since the optical element itself is once removed, the eccentricity of both optical surfaces of the optical element may not be accurately measured.
そこで、本発明は、形状測定装置において被測定物である光学素子の外形基準を高精度に測定可能であり、かつ加工精度にも優れた光学素子測定用治具を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an optical element measuring jig that can measure an outer shape reference of an optical element, which is an object to be measured, in a shape measuring apparatus with high accuracy and is excellent in processing accuracy. .
また、本発明は、反転させた場合にも光学素子の脱落が生じない光学素子測定用治具を提供することを目的とする。 Another object of the present invention is to provide an optical element measuring jig that does not drop off even when inverted.
また、本発明は、上記のような光学素子測定用治具を用いた光学素子の面形状測定装置及び方法を提供することを目的とする。 It is another object of the present invention to provide an optical element surface shape measuring apparatus and method using the optical element measuring jig as described above.
上記課題を解決するため、本発明は、(a)測定対象となる光学素子を載置する、第一面及び該第一面の裏面に相当する第二面とを有する基板と、(b)一部が前記基板に支持され、既知の球面形状を有する球面部を前記光学素子側面部に光軸と垂直な方向から当接可能に備え、測定用の触針を前記球面部に接触可能にさせることによって前記光学素子の外形基準を与える外形基準検知手段と、を有する光学素子測定用治具であって、(c)前記外形基準検知手段は、当接した球面部を測定することにより前記光学素子の外形基準が把握できるよう前記基板の複数位置に配置され、複数の外形基準検知手段内の少なくとも一つは、前記光学素子を押圧するような付勢力を以って当接可能に構成されている。ここで、球面部について「既知の球面形状」とは、球面であること、つまり形状測定により曲率中心が求められることが予め把握可能な形状であることを意味する。
本発明の光学素子測定用治具は、前記光学素子の光軸と垂直な面に複数箇所で当接し、前記光学素子を前記基板との間に挟持して前記光学素子の光軸方向の位置規制を行う複数の挟持手段と、触針が基板の表側と裏側との両側から接触可能なように基板に設けられた球状被計測部材とを備える。なお、挟持手段について、「光軸と垂直な面に当接」とは、実施形態に示されるような光学素子のフランジに相当する外縁部のような平坦面は勿論のこと、多少の光軸と垂直な面から傾きを持って形成された面であってもよく、要は実質的に光軸方向への押圧力が最大又はこれに準じて効率的となるような面に当接するものであればよい。
また、本発明の光学素子測定用治具において、前記基板は、載置された光学素子を前記第一及び第二面のいずれの方からも触針を接触させることによって第一及び第二面を測定可能にする開口部を備えている。
In order to solve the above problems, the present invention provides (a) a substrate having a first surface on which an optical element to be measured is placed and a second surface corresponding to the back surface of the first surface, and (b) A part of the spherical surface having a known spherical shape is supported by the substrate so as to be able to contact the side surface of the optical element from a direction perpendicular to the optical axis, and a stylus for measurement can be brought into contact with the spherical surface. And an optical element measurement jig that provides an external reference for the optical element to provide an external reference, and (c) the external reference detector detects the spherical surface by measuring the contacted spherical surface portion. It is arranged at a plurality of positions of the substrate so that the outer shape reference of the optical element can be grasped, and at least one of the plurality of outer reference detecting means is configured to be able to contact with an urging force that presses the optical element Has been. Here, the “known spherical shape” for the spherical surface means that it is a spherical surface, that is, a shape in which it is possible to grasp in advance that the center of curvature is obtained by shape measurement.
The optical element measuring jig of the present invention is in contact with a surface perpendicular to the optical axis of the optical element at a plurality of locations, and the optical element is sandwiched between the substrate and the position of the optical element in the optical axis direction. A plurality of clamping means for regulating, and a spherical member to be measured provided on the substrate so that the stylus can be contacted from both the front side and the back side of the substrate . As for the clamping means, “contact with a surface perpendicular to the optical axis” means not only a flat surface such as the outer edge corresponding to the flange of the optical element as shown in the embodiment, but also a slight optical axis. It may be a surface formed with an inclination from a surface perpendicular to the surface. In short, it is in contact with a surface where the pressing force in the direction of the optical axis is substantially the maximum or efficient according to this. I just need it.
In the optical element measuring jig according to the present invention, the substrate may be formed on the first and second surfaces by bringing a stylus into contact with the placed optical element from either the first or second surface. Is provided with an opening for enabling measurement .
上記光学素子測定用治具では、複数の外形基準検知手段接手段の少なくとも1つを基板上の光学素子の外縁部に対して付勢力を以って当接することができるので、光学素子の外縁部に対して外形基準検知手段の球面部を安定して保持又は配置することができる。よって、光学素子の外縁部から精度よく外形基準、すなわち光学素子の中心を求めることができる。また当接する部位は球面部で構成されているため、その他の形状に比べて高精度で加工し易いというメリットがある。
また、複数の挟持手段により、光学素子を光軸方向に関しても基板上に確実に固定することができ、基板を上下反転させた計測も可能になる。
さらに、光学素子を基板に載置したまま表面側からだけでなく開口を介して裏面側からも計測することができる。このことにより、表面形状の中心と裏面形状の中心とのずれ、すなわち、表面と裏面との相対偏芯を測定することが可能となる。
In the optical element measuring jig, at least one of the plurality of external reference detecting means contact means can be brought into contact with the outer edge portion of the optical element on the substrate with a biasing force. The spherical surface portion of the outer shape reference detection means can be stably held or arranged with respect to the portion. Therefore, it is possible to accurately obtain the outer shape reference, that is, the center of the optical element from the outer edge portion of the optical element. Further, since the abutting portion is constituted by a spherical portion, there is a merit that it is easy to process with high accuracy compared to other shapes.
In addition, the plurality of clamping means can securely fix the optical element on the substrate also in the optical axis direction, and measurement can be performed by inverting the substrate upside down.
Furthermore, measurement can be performed not only from the front surface side but also from the back surface side through the opening while the optical element is placed on the substrate. This makes it possible to measure the deviation between the center of the surface shape and the center of the back surface shape, that is, the relative eccentricity between the front surface and the back surface.
本発明の具体的な態様又は観点では、前記複数の外形基準検知手段の各球面部は、前記光学素子に対し、前記光学素子の外周を等分割する位置でそれぞれ当接するように配置されている。この場合、球面部による光学素子のより安定な支持が可能になり、球面部を利用した偏芯計測の精度をより高めることができる。 In a specific aspect or aspect of the present invention, each spherical surface portion of the plurality of outer shape reference detection means is disposed so as to abut on the optical element at a position where the outer periphery of the optical element is equally divided. . In this case, the optical element can be more stably supported by the spherical portion, and the accuracy of the eccentricity measurement using the spherical portion can be further increased.
本発明の更に別の態様では、前記複数の外形基準検知手段の内、前記光学素子を押圧するような付勢力を以って当接する外形基準検知手段は、前記基板に支持された支持部と前記球面部との間に弾性部材を有するとともに、前記弾性部材と球面部との間(弾性部材の一部と球面部との間を含む)であって前記弾性部材による前記光学素子に対する付勢力を調整可能な調整手段を有する。この場合、外縁部の輪郭のサイズや形状が異なる光学素子の計測も高精度で行うことができる。なお、「弾性部材と球面部との間」の調整手段とは、実施形態に示されるようなバネ端部に調整手段を設ける場合の他、バネの一部の固定箇所を変えることで弾性力による付勢力を調整する調整手段であってもよい。 In still another aspect of the present invention, of the plurality of outer shape reference detection means, the outer shape reference detection means that contacts with an urging force that presses the optical element includes a support portion supported by the substrate. An elastic member is provided between the spherical portion and the biasing force between the elastic member and the spherical portion (including between the part of the elastic member and the spherical portion) against the optical element by the elastic member. It has an adjustment means which can adjust. In this case, measurement of optical elements having different outline sizes and shapes of the outer edge portions can be performed with high accuracy. Note that the adjustment means “between the elastic member and the spherical surface portion” is not limited to the case where the adjustment means is provided at the end of the spring as shown in the embodiment. Adjustment means for adjusting the urging force by may be used.
本発明の更に別の態様では、前記複数の外形基準検知手段のうち2つの外形基準検知手段の球面部は、前記基板に載置される光学素子の光軸方向からみた外形形状の一辺に対応する位置の側面部に当接するよう構成されている。この場合、矩形の輪郭を有する光学素子のように、光学素子を光軸方向からみた場合に少なくとも1辺を有するような外形形状を有する光学素子であっても、安定的に保持して精度よい外形基準測定が可能となる。 In still another aspect of the invention, the spherical portion of two of the plurality of outer shape reference detection means corresponds to one side of the outer shape of the optical element placed on the substrate viewed from the optical axis direction. It is comprised so that it may contact | abut to the side part of the position to perform. In this case, even an optical element having an outer shape having at least one side when the optical element is viewed from the optical axis direction, such as an optical element having a rectangular outline, is stably held and accurate. External reference measurement is possible.
本発明の更に別の態様では、前記複数の外形基準検知手段のうち2つの外形基準検知手段の球面部は、当接する側面部の当接箇所間に、前記光学素子の突起部が配置されるよう構成されている。この場合、成形時に形成されるゲートの切断跡等の突起物を避けた計測が可能となる。 In still another aspect of the present invention, the projection of the optical element is arranged between the contact portions of the side surface portions of the spherical surface portions of the two outer shape reference detection devices of the plurality of outer shape reference detection devices. It is configured as follows. In this case, it is possible to perform measurement while avoiding protrusions such as gate cut marks formed during molding.
本発明の更に別の態様では、前記光学素子を押圧するよう付勢力を以って挟持する前記挟持手段は、前記光学素子を押圧する押圧力をF(N)とするとき、以下の範囲
0.1<F<10
を満足する。下限を下回ると光学素子の外縁部を基板に十分な力で押し付けることができないため、光学素子が不用意に移動してしまうこととなる。また、上限を上回ると、光学素子の外縁部を過剰な力で押し付けるため、光学素子が歪んで計測結果に悪影響を与えることになる。
In still another aspect of the present invention, the clamping means that clamps the optical element with an urging force to press the optical element has the following range when the pressing force pressing the optical element is F (N): .1 <F <10
Satisfied. If the lower limit is not reached, the outer edge portion of the optical element cannot be pressed against the substrate with a sufficient force, so that the optical element is moved carelessly. If the upper limit is exceeded, the outer edge of the optical element is pressed with an excessive force, so that the optical element is distorted and the measurement result is adversely affected.
本発明の更に別の態様では、光学素子を押圧するよう付勢力を以って当接する前記外形基準検知手段は、前記光学素子を押圧する押圧力をF'(N)とするとき、
以下の範囲
0.01<F'<1
を満足する。下限値を下回ると、外形基準検知手段と光学素子の外周部との密着度が十分に確保できず、外形を正確に測定することができない。 また、上限値を上回ると、光学素子を歪ませてしまい、同様に外形を正確に測定することができない。
In yet another aspect of the present invention, the outer shape reference detection means that contacts with an urging force to press the optical element has a pressing force for pressing the optical element as F ′ (N),
The following range: 0.01 <F ′ <1
Satisfied. If the lower limit is not reached, the degree of adhesion between the outer shape reference detecting means and the outer peripheral portion of the optical element cannot be sufficiently secured, and the outer shape cannot be measured accurately. If the upper limit value is exceeded, the optical element is distorted, and the outer shape cannot be measured accurately.
本発明の更に別の態様では、前記挟持手段は、少なくとも3つ以上備えている。この場合、光学素子を基板上に安定して確実に固定することができる。 In still another aspect of the present invention, the clamping means includes at least three. In this case, the optical element can be stably and reliably fixed on the substrate.
本発明の更に別の態様では、前記挟持手段が前記光学素子と当接する接触部は、球状に構成されている。接触部が球状であるとは、半球等の凸の曲面で接触可能な形状を有することを意味する。この場合、当接箇所が点接触に近い状態となるため、複数箇所の当接でも面的な接触と比較して光学素子の傾きが防止でき、より測定の精度を高めることができる。 In still another aspect of the present invention, the contact portion where the clamping means comes into contact with the optical element is formed in a spherical shape. That the contact portion is spherical means having a shape that can be contacted by a convex curved surface such as a hemisphere. In this case, since the contact portion is in a state close to a point contact, the tilt of the optical element can be prevented as compared with the planar contact even at a plurality of contact points, and the measurement accuracy can be further improved.
本発明の更に別の態様では、前記光学素子に対して、前記外形基準検知手段と前記挟持手段とが当接する各位置は、前記光学素子の光軸方向から見て互いに異なる位置に交互に配置されるよう構成している。この場合、外形基準検知手段と前記挟持手段とがともに外周を略均等に分割した位置で外周の当接又は挟持を行うことができるので、外形基準検知手段による計測を容易かつ高精度にしつつ、光学素子の固定を確実にすることができる。 In still another aspect of the invention, the positions where the outer shape reference detection unit and the clamping unit abut on the optical element are alternately arranged at different positions when viewed from the optical axis direction of the optical element. It is configured to be. In this case, both the outer shape reference detection means and the sandwiching means can perform contact or clamping of the outer periphery at a position where the outer periphery is substantially equally divided, so that the measurement by the outer shape reference detection means is easy and highly accurate. The fixing of the optical element can be ensured.
また本発明では、上述した様な光学素子測定用治具を備えた光学素子形状測定装置を提供できる。この場合、精度の出しやすい治具を用いて、精度の高い外形基準を測定できる測定装置を提供できる。 Moreover, in this invention, the optical element shape measuring apparatus provided with the jig | tool for optical element measurement as mentioned above can be provided. In this case, it is possible to provide a measuring apparatus capable of measuring a highly accurate external reference using a highly accurate jig.
また上述した光学素子測定用治具を用いた光学素子形状測定方法により、精度の高い外形基準測定が可能となる。 In addition, by the optical element shape measuring method using the optical element measuring jig described above, it is possible to perform highly accurate external reference measurement.
また上述した本発明の光学素子形状測定方法において別の態様では、ゲートカット部を有する外形を有する光学素子は、前記光学素子の光軸方向からみて前記挟持手段の当接位置と前記ゲートカット部とがオーバーラップする位置に配置される。この場合、光学素子の周囲を挟んで確実に固定することができるだけでなく、光学素子成形時に生ずるゲート跡等の突起部を用いて挟持部材で挟持でき、外形基準検知手段は当該突起部を避けた配置が可能となる。 Further, in another aspect of the optical element shape measuring method of the present invention described above, the optical element having an outer shape having a gate cut portion includes the contact position of the clamping means and the gate cut portion as viewed from the optical axis direction of the optical element. And are arranged at positions where they overlap. In this case, not only can the periphery of the optical element be securely fixed, but also a pinching member such as a gate mark generated during molding of the optical element can be used to hold the pin, and the outer shape reference detection means can avoid the protrusion. Placement is possible.
また上記形状測定装置の別態様では、前記基板の第一面と第二面とを反転可能に保持する保持部を備えており、これにより光学素子を載置したままで表面及び裏面の測定が可能となり、表面形状の中心と裏面形状の中心とのずれ、すなわち、表面と裏面との相対偏芯を測定することが可能となる。 In another form of the shape measuring apparatus, the first and second surfaces of the substrate are provided with a holding unit that can be reversed so that the front and back surfaces can be measured while the optical element is placed. This makes it possible to measure the deviation between the center of the surface shape and the center of the back surface shape, that is, the relative eccentricity between the front surface and the back surface.
またこのような保持部を備えた形状測定装置を用いた光学素子形状測定方法により、光学素子を載置したままで表面及び裏面の測定が可能となり、表面形状の中心と裏面形状の中心とのずれ、すなわち、表面と裏面との相対偏芯を測定することが可能となる。 Further, the optical element shape measuring method using the shape measuring apparatus having such a holding unit enables measurement of the front surface and the back surface while the optical element is placed, and the center of the front surface shape and the center of the back surface shape can be measured. Deviation, that is, relative eccentricity between the front surface and the back surface can be measured.
〔第1実施形態〕
以下、本発明の第1実施形態に係る光学素子測定用治具を図面を用いて説明する。図1(a)は、面形状測定用の光学素子測定用治具の平面図であり、図1(b)は、図1(a)の光学素子測定用治具のAA矢視断面図である。また、図2(a)は、図1(a)に示す治具の中央部の部分拡大平面図であり、図2(b)は、図2(a)に対応する部分拡大断面図である。
[First Embodiment]
Hereinafter, an optical element measuring jig according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1A is a plan view of an optical element measurement jig for measuring a surface shape, and FIG. 1B is a cross-sectional view of the optical element measurement jig of FIG. is there. 2 (a) is a partially enlarged plan view of the central portion of the jig shown in FIG. 1 (a), and FIG. 2 (b) is a partially enlarged sectional view corresponding to FIG. 2 (a). .
光学素子測定用治具10は、被測定対象である光学素子OEを保持して不図示の面形状測定装置の保持部にセットするためのものであり、かかる面形状測定装置において、光学素子OEの光学面の形状を表側と裏側から計測できるようにするとともに、光学素子OEの偏芯を計測することができるようにしている。光学素子測定用治具10は、以上の目的で、以下に詳述する、基板20と、球面部30を有する外形基準検知手段40と、挟持装置50と、球状被計測部材60と、回転制限部材70とを備える。
The optical
基板20は、四角形の厚板上の外観を有し、第一面とその裏面に第二面を有している。中央には光学素子OEを載置するための円形ステージ21を有している。円形ステージ21は、中央に開口22を有しており、開口22の縁部分で光学素子OEの外縁部PAを支持する。これにより、円形ステージ21すなわち基板20上に支持された光学素子OEを図1(a)に示す表側と反対の裏側と両側から観察することができ、面形状測定装置(後述)の計測用の触針を、図2(a)、2(b)に示す光学素子OEの両光学面OS1,OS2に下ろすことができる。なお、基板20は、外形基準検知手段40、挟持装置50、及び球状被計測部材60を、光学素子OEの保持位置の周囲の適所に支持する際の支持体としても機能する。
The
球面部30は、基板20上に3つ配置された略同一形状の球体であり、後述する外形基準検知手段40の一部として、先端にそれぞれ固定されている。各球面部30は、既知の球面形状を有しており、図2に示すように、光学素子OEの外縁部PAの側面に当接する。各球面部30が光学素子OEの側面に当接する位置は、外縁部PAを3等分した均等な位置に対応しており、光学素子OEの中心から120°異なる3方向(光軸OAのまわりに等分割された方向)に配置されている。なおここでの等分した位置には、厳密に等分された位置だけでなく、ほぼ等分となる位置も含む。各球面部30は、付勢されて、光学素子OEの外縁部PAの側面に当接するとともに、外縁部PAの側面をこれに対して垂直な方向から適当な大きさの押圧力で押圧する。各球面部30に付与する押圧力は、光学素子OEの材料やサイズにも依存するが、光学素子OEの形状に歪みを与えない程度とするものとし、かつ、球面部30と外縁部PA側面との密着度が十分に確保できる程度とする。具体的には、この押圧力をF'(N)とするとき、0.01<F'<1程度となるようにする。このようにして、既知の球面形状を有する3つの球面部30を外縁部PAの適所に適度の密着させることにより、外縁部PAの中心を求めることができ、光学素子OEの光軸OAとの位置ずれ量である偏芯を算出することもできる。
The
なおここで複数の外形基準検知手段における各球面部30は、全て付勢力を以って光学素子側面に押圧するよう当接するよう構成されている必要はなく、いずれか少なくとも一つがそのように当接するものであればよい。この場合、他の外形基準検知手段40は基板に対して固定的に配置されているものであってよい。
Here, it is not necessary for each
外形基準検知手段40は、先端に球面部30を固定したロッド41と、ロッド41を軸方向に滑らかに移動させる摺動機構42と、ロッド41を先端側に付勢するバネ43aを内蔵するとともにばねの根元位置を調節する付勢部材43とを備える。ロッド41は、図2(a)に示すように、円形ステージ21に刻設された溝21aに案内された状態で溝21aに沿って往復移動する。摺動機構42は、基板20上面に固設されたガイドであり、ロッド41の根元側が嵌合しており、ロッド41の軸方向に沿った滑らかな移動を可能にしている。付勢部材43は、基板20上面に着脱可能に取り付けられた機構であり、弾性部材であるバネ43aに付勢されて突出しようとするピン43bによって、ロッド41を先端方向に付勢することができるとともに、光学素子OEの外縁部PA側面に球面部30を所定の力で押し付けることができる。ここで、付勢部材43は、バネ43aやピン43bを収納し外周にネジを形成したアジャスタ部43cを調整手段として備えており、アジャスタ部43cのねじ込み量の調整によって、バネ43aの根元位置を微調整することができる。このアジャスタ部43cにより、ロッド41の標準的な位置やロッド41に対する付勢力を適宜調整することができる。また、アジャスタ部43cの調節により、被測定対象である光学素子OEのサイズを変更した場合にも一定範囲で対応することができる。
The external
挟持装置50は、3つの板バネ状の挟持部材51と、各挟持部材51を支持する支持枠52とを備える。各挟持部材51の先端部の裏面には、図2(b)等に示すように、光学素子OEの外縁部PAの上面に当接する接触部51aが形成されている。各接触部51aは、外形が半球状で、外縁部PAに当接して光学素子OEを基板20の板面に垂直な光軸OA方向に付勢しつつ、外縁部PAを基板20との間に挟持する。各接触部51aに付与する押圧力は、光学素子OEの材料やサイズにも依存するが、光学素子OEの形状に歪みを与えない程度とするものとし、かつ、接触部51aの付勢力に起因する摩擦力によって光学素子OEの移動が妨げられる程度とする。具体的には、この押圧力をF(N)とするとき、0.1<F<10程度となるようにする。接触部51aは、支持枠52の先端部を半球状に加工したり、円弧状の先端を有する板状にしたり、支持枠52の先端部に鋼球を取り付けたりすることによって形成できる。一方、支持枠52は、光学素子OEの周囲から挟持部材51の根元側を支持しており、各挟持部材51は、光学素子OEの中心に向けて120°異なる方向から延びている。つまり、3つの挟持部材51の先端に設けた3つの接触部51aの位置は、外縁部PAを3等分した均等な位置に対応している。このように、3つの接触部51aによって外縁部PAを点接触で均等に支持することにより、光学素子OEを高精度で安定して支持することができる。
The clamping
なお、各挟持部材51は、支持枠52に対して着脱可能になっており、光学素子OEの形状のサイズや形状に合わせて交換できる。挟持部材51を交換する際には、光学素子OEの形状に合わせて反り具合等を調節することにより、各接触部51aに付与する付勢力を調整できる。また、挟持部材51を形成するバネ材料としては、ベリリウム合金、リン青銅、ステンレス等を用いることができる。
Each clamping
球状被計測部材60は、基板20上に3つ配置された略同一形状の球体であり、基板20上に設けた固定部材25によって基板20に位置ずれしないようにしっかりと固定されている。なお、基板20上において球状被計測部材60を固定した位置には、開口23が形成されており、固定部材25に固定された球状被計測部材60を図1(a)に示す表側と反対の裏側との両側から観察することができ、面形状測定装置(後述)の触針を球状被計測部材60の上下面に接触させて当該上下面をなぞるように移動させることができる。
The
回転制限部材70は、全体として扇状の外形を有し、基板20中央に取り付けられた円形ステージ21の一部であって、1つの挟持部材51の下方に固定されている。回転制限部材70は、光学素子OE側に凹部71を有しており、この凹部71と光学素子OEに形成された主に平坦部FPとが係合することによって光学素子OEの光軸OAのまわりの回転位置が調節される。以上の平坦部FP及び突起部PPは、外縁部PAの輪郭に関して隣接部と異なる不規則部であり、光学素子OEの射出成形時によって不可避的に形成され、このうち突起部PPの先端は、ゲートカット部と呼ばれる。凹部71の位置は、1つの挟持部材51の下側となっており、平坦部FPや突起部PPが3つの球面部30が接することを回避している。このように、球面部30が平坦部FPや突起部PPに接することを防止することによって、外縁部PAの検出精度が低下することを防止できる。なお、以上において、不規則部とは、光学素子のゲートカット部のように曲面の一部に存在する凹凸状の部分や、円形の一部をカットしたDカット形状の光学素子における当該直線状の外形部分などを含み、輪郭形状の大部分とは異なる外形形状部分をいう。
The
図3(a)は、回転制限部材70の部分拡大図であり、図3(b)は、図3(a)の回転制限部材70の変形例を示す。図3(a)に示すように、光学素子OEの外周に直線状の平坦部FPと矩形の突起部PPとが形成されている場合、回転制限部材70に設けた凹部71は、平坦部FPに対応する形状の直線部分71aと突起部PPと嵌り合う溝部分71bとを有する。なお、図3(b)に示すように、光学素子OEの外周にゲートカット部を先端に有する単なる突起部PPが形成されている場合、回転制限部材170に設けた凹部171は、このような突起部PPと嵌り合う溝部分171aを有する。
3A is a partially enlarged view of the
以上説明した光学素子測定用治具10において、3つの球面部30と、3つの接触部51aとは、光学素子OEの外縁部PAに沿って等間隔で互い違いに配置されている。この結果、球面部30と接触部51aとの干渉を防止しつつ両者を効率的に配置でき、球面部30や光学素子OEの光学面OS1の計測を確実にすることができ、その作業性を高めることができる。
In the optical
図4(a)及び4(b)は、図1に示す光学素子測定用治具10を用いた面形状測定装置100の構造を説明する正面図及び側面図である。この面形状測定装置100は、定盤81上に、XYステージ装置82と、Z駆動装置84とを固定した構造を有する。XYステージ装置82やZ駆動装置84の動作は、制御装置99によって制御されている。
FIGS. 4A and 4B are a front view and a side view for explaining the structure of the surface
XYステージ装置82は、説明を省略する駆動機構に駆動されて動作し、XYステージ装置82の上部に設けた載置台82a上に着脱可能に固定された光学素子測定用治具10を、XY面内で2次元的に任意の位置に滑らかに移動させることができる。光学素子測定用治具10の位置は、載置台82aに設けたXミラー83aとYミラー83bとを利用して検出される。すなわち、Xミラー83aに対向して定盤81上に取り付けたレーザ干渉計83dを利用して載置台82aのX軸方向の位置が分かる。また、Yミラー83bに対向して定盤81上に取り付けたレーザ干渉計83eを利用して載置台82aのY軸方向の位置が分かる。
The
Z駆動装置84は、フレーム85上に昇降機構86を固定したものであり、昇降機構86は、フレーム85上部に固定されZ方向に伸びる支持軸86aと、支持軸86aに支持されてZ軸方向に移動する昇降部材86bと、昇降部材86bを昇降させる昇降駆動手段(不図示)と、昇降部材86bに支持された触針保持部86dと、触針保持部86dに昇降可能に支持された触針PRとを備える。
The
昇降機構86は、昇降部材86bが支持軸86aに非接触に支持されて滑らかに昇降運動する。昇降保持部86dは触針PRを保持しており、これに伴って滑らかに昇降運動する。なお触針PRは、先端に一定の負荷を掛けた状態で高精度で滑らかに昇降することができるようにフィードバックをかけて不図示の昇降駆動手段を動作させている。結果的に、触針PRを低応力で昇降させつつ、XYステージ装置82を適宜動作させて光学素子測定用治具載置した光学素子OEを2次元的に走査するように移動させるならば、触針PRの先端を光学素子測定用治具10に固定した光学素子OEの光学面等に沿って2次元的に移動させることができる。この際、触針PRの先端位置は、触針PRとともに昇降する部材の上端に設けたZミラー91aを利用して検出される。すなわち、Zミラー91aに対向してフレーム85上に取り付けたレーザ干渉計91bを利用して触針PR下端のZ軸方向の位置が分かる。
The elevating
図5は、図4に示す面形状測定装置を用いた測定方法の手順を説明するフローチャートである。 FIG. 5 is a flowchart for explaining the procedure of the measuring method using the surface shape measuring apparatus shown in FIG.
最初に、光学素子OEを図4の面形状測定装置100にセットする(ステップS10)。この工程は、ロボットに行わせることもできるが通常オペレータが行う。内容を具体的に説明すると、光学素子OEの表側の光学面OS1を上側にして、光学素子測定用治具10上に取り付ける(図1参照)。つまり、3つの板バネ状の挟持部材51を取り除いた状態で、3つの外形基準検知手段40を解除状態として、光学素子OEを円形ステージ21上に載置する。その後、3つの外形基準検知手段40を係止状態となるように取り付けて、光学素子OEの周囲から3つの球面部30保持を付勢するとともに、3つの板バネ状の挟持部材51を固定位置に取り付ける。これにより、光学素子OEの固定が完了する。この場合も、光学素子OEの外縁部PAが、3つの球面部30によって周囲から保持され、3つの板バネ状の挟持部材51によって基板20との間に挟持されて固定される。この際、光学素子OEの外縁部PAが、3つの球面部30によって周囲から適当な力で付勢され、3つの板バネ状の挟持部材51によって基板20の表側に付勢されて固定される。その後、このように光学素子OEを固定した光学素子測定用治具10をXYステージ装置82上の載置台82aに固定する。
First, the optical element OE is set in the surface
次に、基板20の周辺部に配置された3つの球状被計測部材60の表面形状を計測することによって、表側の面頂点座標系を測定する(ステップS11)。具体的には、各球状被計測部材60の頂点近傍に触針PRを配置した状態で、XYステージ装置82を動作させて球状被計測部材60の表面に対して触針PRを例えば十字に移動させつつ、駆動装置84を動作させて触針PR先端を球面部30の表面から離れないように移動させる。これにより、各球状被計測部材60の中心が算出される。
Next, the surface vertex coordinate system on the front side is measured by measuring the surface shapes of the three
次に、光学素子OEの周囲に配置された3つの球面部30の表面形状を計測することによって、面頂点座標を測定する(ステップS12)。具体的には、各球面部30の頂点近傍に触針PRを配置した状態で、XYステージ装置82を動作させて球面部30の表面に対して触針PRを十字移動を行わせつつ、駆動装置84を動作させて触針PR先端を球面部30の表面から離れないように移動させる。これにより、各球面部30の中心が算出される。
Next, the surface vertex coordinates are measured by measuring the surface shapes of the three
次に、光学素子OEの外縁部PAの中心に対応する表面外形基準位置を算出する(ステップS13)。ここで、表面外形基準位置は、外縁部PAの側面が真円であると仮定して、3つの球面部30の中心が通る円の中心を算出して得られた座標とする。なお、外形基準位置の計算方法は、3つの球面部30の中心が通る円を求めるものに限らず、様々な幾何的計算方法を用いることができる。
Next, a surface contour reference position corresponding to the center of the outer edge PA of the optical element OE is calculated (step S13). Here, the surface contour reference position is a coordinate obtained by calculating the center of a circle through which the centers of the three
次に、光学素子OEの表側の光学面OS1の表面形状を測定する(ステップS14)。具体的には、光学素子OEの光学面OS1上方に触針PRを配置した状態で、XYステージ装置82を動作させて光学素子OEに対して触針PRを2次元的に走査移動させつつ、駆動装置84を動作させて触針PR先端を光学面OS1から離れないように移動させる。これにより、2次元的な表面形状データが得られる。
Next, the surface shape of the optical surface OS1 on the front side of the optical element OE is measured (step S14). Specifically, while the stylus PR is disposed above the optical surface OS1 of the optical element OE, the
次に、ステップS14で得た表面形状データを設計値でフィッティングする座標変換を行う(ステップS15)。具体的には、表面形状データをZとし、設計値をZ0とし、これらの差分であるZd=Z0−Zの最小2乗平均値(RMS)が最小になるように座標変換を行う。この際、座標変換に必要なデータが座標変換データとして保管される。 Next, coordinate transformation for fitting the surface shape data obtained in step S14 with design values is performed (step S15). Specifically, the surface shape data is Z, the design value is Z0, and coordinate conversion is performed so that the least mean square value (RMS) of Zd = Z0−Z that is the difference between these is minimized. At this time, data necessary for coordinate conversion is stored as coordinate conversion data.
次に、光学素子OEの表面外形偏芯を算出する(ステップS16)。ここで、光学素子OEの表面外形偏芯は、外縁部PAの中心に相当する外形基準位置が光学素子OEに関する光学面OS1の表面形状の計測値から得た光軸OAからずれている量とする。なお、光学素子OEの表面形状は、ステップS15で得た座標変換後の表面形状データに対応するものとなっている。 Next, the surface contour eccentricity of the optical element OE is calculated (step S16). Here, the surface outer shape eccentricity of the optical element OE is the amount by which the outer shape reference position corresponding to the center of the outer edge PA is shifted from the optical axis OA obtained from the measured value of the surface shape of the optical surface OS1 related to the optical element OE. To do. The surface shape of the optical element OE corresponds to the surface shape data after coordinate conversion obtained in step S15.
次に、光学素子測定用治具10を裏返して不図示の面形状測定装置の保持部にセットする(ステップS17)。この工程は、ロボットに行わせることもできるが通常オペレータが行ってもよい又は行うことが好ましい。内容を具体的に説明すると、光学素子OEを固定した光学素子測定用治具10をXYステージ装置82上の載置台82aから取り外し、光学素子測定用治具10をそのままにして上下反転させて再度載置台82aに固定する。
Next, the optical
次に、基板20の周辺部に配置された3つの球状被計測部材60の表面形状を計測することによって、裏側の面頂点座標を測定する(ステップS18)。具体的には、各球状被計測部材60の頂点近傍に触針PRを配置した状態で、XYステージ装置82を動作させて球状被計測部材60の裏面に対して触針PRを例えば十字に移動させつつ、駆動装置84を動作させて触針PR先端を球面部30の表面から離れないように移動させる。これにより、各球状被計測部材60の中心が算出される。
次に、ステップS11で得た表側の面頂点座標系と、ステップS18で得た表側の面頂点座標系とを比較して、表側座標系と裏側座標系との関係を算出する(ステップS19)。球状被計測部材60の計測結果を利用すると、基板20の表側座標系と裏側座標系との関係が得られる。
次に、光学素子OEの外縁部PAの中心に対応する裏面外形基準位置を算出する(ステップS20)。ここで、裏面外形基準位置は、ステップS13で得た表面外形基準位置をステップS19で得た表側座標系と裏側座標系との関係を利用して座標変換することによって得られる。
Next, the surface vertex coordinates on the back side are measured by measuring the surface shapes of the three spherical members to be measured 60 arranged in the peripheral portion of the substrate 20 (step S18). Specifically, in a state where the stylus PR is arranged in the vicinity of the apex of each spherical member to be measured 60, the
Next, the front side surface vertex coordinate system obtained in step S11 and the front side surface vertex coordinate system obtained in step S18 are compared to calculate the relationship between the front side coordinate system and the back side coordinate system (step S19). . When the measurement result of the
Next, a back surface outer shape reference position corresponding to the center of the outer edge PA of the optical element OE is calculated (step S20). Here, the back surface external reference position is obtained by coordinate-transforming the front surface external reference position obtained in step S13 using the relationship between the front side coordinate system and the back side coordinate system obtained in step S19.
次に、光学素子OEの裏側の光学面OS2の表面形状を測定する(ステップS21)。具体的には、光学素子OEの光学面OS2上方に触針PRを配置した状態で、XYステージ装置82を動作させて光学素子OEに対して触針PRを2次元的に走査移動させつつ、駆動装置84を動作させて触針PR先端を光学面OS2から離れないように移動させる。これにより、2次元的な裏面形状データが得られえる。
Next, the surface shape of the optical surface OS2 on the back side of the optical element OE is measured (step S21). Specifically, while the stylus PR is disposed above the optical surface OS2 of the optical element OE, the
次に、ステップS21で得た表面形状データを設計値でフィッティングする座標変換を行う(ステップS22)。具体的な手法は、表側のステップS15と同様であるので説明を省略する。 Next, coordinate transformation for fitting the surface shape data obtained in step S21 with design values is performed (step S22). Since the specific method is the same as that in step S15 on the front side, description thereof is omitted.
次に、ステップS15で得た座標変換データと、ステップS22で得た座標変換データとを、ステップS19で得た関係を利用して比較して、光学素子OEの両光学面OS1,OS2の相対的偏芯を算出する(ステップS23)。 Next, the coordinate transformation data obtained in step S15 and the coordinate transformation data obtained in step S22 are compared using the relationship obtained in step S19, and the relative optical surfaces OS1 and OS2 of the optical element OE are compared. The eccentricity is calculated (step S23).
次に、光学素子OEの裏面外形偏芯を算出する(ステップS24)。ここで、光学素子OEの裏面外形偏芯は、外縁部PAの中心に相当する外形基準位置が光学素子OEの光学面OS2に関する表面形状の計測値から得た光軸OAからずれている量とする。 Next, the back surface outer shape eccentricity of the optical element OE is calculated (step S24). Here, the back surface outer shape eccentricity of the optical element OE is the amount by which the outer shape reference position corresponding to the center of the outer edge PA is shifted from the optical axis OA obtained from the measured value of the surface shape of the optical surface OS2 of the optical element OE. To do.
なお、以上説明した測定方法は単なる例示であり、種々の変形が可能である。例えばステップS11,S12,S14,S18,S21の計測を最初に行って、残った計算を一括して行うことも可能である。 The measurement method described above is merely an example, and various modifications can be made. For example, the measurement of steps S11, S12, S14, S18, and S21 can be performed first, and the remaining calculations can be performed collectively.
〔第2実施形態〕
以下、第2実施形態に係る光学素子測定用治具について説明する。第2実施形態の光学素子測定用治具は、第1実施形態の治具を一部変更したものであり、特に説明しない部分は、第1実施形態の装置と共通しており、図面において共通する部分には同一の符号を付して重複説明を省略する。
[Second Embodiment]
The optical element measuring jig according to the second embodiment will be described below. The optical element measuring jig of the second embodiment is a modification of the jig of the first embodiment, and parts not specifically described are common to the apparatus of the first embodiment and are common in the drawings. The same reference numerals are given to the parts to be described, and the duplicate description will be omitted.
図6(a)は、第2実施形態の光学素子測定用治具の平面図であり、図6(b)は、図6(a)の光学素子測定用治具のAA矢視断面図である。また、図7は、図6(a)に示す治具の中央部の部分拡大平面図である。 6A is a plan view of the optical element measurement jig according to the second embodiment, and FIG. 6B is a cross-sectional view taken along the line AA of the optical element measurement jig in FIG. 6A. is there. FIG. 7 is a partially enlarged plan view of the central portion of the jig shown in FIG.
本実施形態の光学素子測定用治具210も、光学素子OEを保持して面形状測定装置(図4参照)にセットすることにより、光学素子OEの光学面の形状を表側と裏側とから計測することができ、光学素子OEの偏芯を計測することができるようにしている。このため、基板220上に、球面部30と、第1外形基準検知手段240と、第2外形基準検知手段246と、挟持装置250と、球状被計測部材60とを設けている。なお、この光学素子測定用治具210に固定される光学素子OEは、輪郭が矩形になっている。
The optical
基板220は、四角形の厚板上の外観を有し、中央に開口22を有しており、開口22の縁部分で光学素子OEの外縁部PAを支持する。これにより、基板220上に支持された光学素子OEを表と裏の両側から計測することができる。
The
3つの第1外形基準検知手段240は、それぞれ球面部30を光学素子OEの外縁部PAの側面に当接させるとともに、各球面部30を介して外縁部PAの側面を適当な力で押圧する役割を有する。ここで、第1外形基準検知手段240は、球面部30を先端に固定したロッド41を軸方向に滑らかに移動させる摺動機構242と、ロッド41を先端側に付勢する板バネ状の付勢部材243とを備える。
The three first outer shape reference detection means 240 respectively bring the
第2外形基準検知手段246は、3つの球面部30を基板220上に適当な配置で固定する板状の部材であり、複数の輪郭段差部分246a,246bの隅に球面部30を接着剤等によって固定している。この際、第2外形基準検知手段246の形状は、光学素子OEの外縁部PAとの干渉を避け得るものとなっている。
The second outer shape reference detection means 246 is a plate-like member that fixes the three
以上説明した第1外形基準検知手段240と第2外形基準検知手段246とにより、偏芯計測用の計6つの球面部30を光学素子OEの外縁部PAの側面に略間隔で配置することができ、外縁部PAの側面に与える力を略均等で所望の大きさにすることができる。
By the first outer shape reference detection means 240 and the second outer shape reference detection means 246 described above, a total of six
各挟持装置250は、2つの板バネ状の挟持部材51と、両挟持部材51を支持する支持体252とを備える。各挟持部材51の先端部の裏面には、図7に示すように、光学素子OEの外縁部PAの上面に当接する接触部51aが形成されている。各挟持部材51によって、光学素子OEの外縁部PAを点接触で均等に支持することができ、光学素子OEを高精度で安定して支持することができる。
Each
なお、光学素子OEの外縁部PAは、矩形の輪郭を有しており、その一辺には、ゲートカット部として突起部PPが形成されている。突起部PPに球面部30を当接させると、偏芯の計測精度が得られないので、隣接する2つの球面部30のちょうど中央に突起部PPが配置されるように、基板220上における第1外形基準検知手段240の配置を調整する。
The outer edge PA of the optical element OE has a rectangular outline, and a protrusion PP is formed on one side as a gate cut. If the
以上説明した第2実施形態の光学素子測定用治具も、図4(a),4(b)に示す面形状測定装置100にセットすることができ、矩形の輪郭を有する光学素子OEの表面及び裏面の形状を計測することができるとともに、光学素子OE偏芯を計測することができる。
The optical element measuring jig of the second embodiment described above can also be set in the surface
以上、実施形態に即して本発明を説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、第1実施形態では、3つの球面部30をすべて外形基準検知手段40によって可動としているが、1又は2つの球面部30を図6に示す第2外形基準検知手段246と同様のもので固定し、残った球面部30を外形基準検知手段40によって可動に支持し光学素子OEの外縁部PAに付勢することもできる。
また、上記実施形態では、既知の球面形状を有する複数の球面部30を光学素子OEの外縁部PAの側面に当接させ、触針を当該球面部に接触させることによって光学素子OEの外形基準を計測しているが、特に接触による測定には限定されず、光学素子OEや球面部30を撮影し、光学的な解析によって光学素子OEの偏芯を補助的に決定することもできる。
As described above, the present invention has been described according to the embodiment, but the present invention is not limited to the above embodiment. For example, in the first embodiment, all three
Further, in the above-described embodiment, a plurality of
10…光学素子測定用治具、 20…基板、 22…開口、 30…球面部、 40…外形基準検知手段、 41…ロッド、 43…付勢部材、 43a…バネ、 43c…アジャスタ部、 50…挟持装置、 51…挟持部材、 51a…接触部、 60…球状被計測部材、 70…回転制限部材、 81…定盤、 82…XYステージ装置、 83a,83b,91a…ミラー、 83d,83e,91b…レーザ干渉計、 84…Z駆動装置、 86…昇降機構、 99…制御装置、100…面形状測定装置、 OA…光軸、 OE…光学素子、 OS1,OS2…両光学面、 PA…外縁部、 PR…触針、
DESCRIPTION OF
Claims (16)
一部が前記基板に支持され、既知の球面形状を有する球面部を前記光学素子側面部に光軸と垂直な方向から当接可能に備え、測定用の触針を前記球面部に接触可能にさせることによって前記光学素子の外形基準を与える外形基準検知手段と、
前記光学素子の光軸と垂直な面に複数箇所で当接し、前記光学素子を前記基板との間に挟持して前記光学素子の光軸方向の位置規制を行う複数の挟持手段と、
前記触針が前記基板の表側と裏側との両側から接触可能なように前記基板に設けられた球状被計測部材と、
を有する光学素子測定用治具であって、
前記外形基準検知手段は、当接した球面部を測定することにより前記光学素子の外形基準が把握できるよう前記基板の複数位置に配置され、その内の少なくとも一つは、前記光学素子を押圧するような付勢力を以って当接可能に構成されているとともに、
前記基板は、載置された光学素子を前記第一及び第二面のいずれの方からも前記触針を接触させることによって前記第一及び第二面を測定可能にする開口を備えた
ことを特徴とする光学素子測定用治具。 A substrate having a first surface on which an optical element to be measured is placed and a second surface corresponding to the back surface of the first surface;
A part of the spherical surface having a known spherical shape is supported by the substrate so as to be able to contact the side surface of the optical element from a direction perpendicular to the optical axis, and a stylus for measurement can be brought into contact with the spherical surface. An outer shape reference detecting means for giving an outer shape reference of the optical element ,
A plurality of clamping means that abut on the surface perpendicular to the optical axis of the optical element at a plurality of locations, and clamp the optical element between the substrate and restrict the position of the optical element in the optical axis direction;
A spherical member to be measured provided on the substrate so that the stylus can be contacted from both the front and back sides of the substrate;
An optical element measuring jig having
The external reference detecting means is arranged at a plurality of positions of the substrate so that the external reference of the optical element can be grasped by measuring the abutting spherical surface portion, at least one of which presses the optical element It is configured to be able to contact with such an urging force,
The substrate includes an opening that allows the first and second surfaces to be measured by bringing the stylus into contact with the placed optical element from either the first or second surface. An optical element measuring jig.
以下の範囲
0.1<F<10
を満足することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の光学素子測定用治具。 When the pressing force for pressing the optical element is F (N), the clamping means that clamps the optical element with an urging force to press the optical element,
The following range 0.1 <F <10
The optical element measurement jig according to claim 1, wherein the optical element measurement jig is satisfied.
前記基板に支持された支持部と前記球面部との間に弾性部材を有するとともに、前記弾性部材と球面部との間であって前記弾性部材による前記光学素子に対する付勢力を調整可能な調整手段
を有することを特徴とする請求項1〜6のいずれか一つに記載の光学素子測定用治具。 Of the plurality of outer shape reference detection means, the outer shape reference detection means that comes into contact with an urging force that presses the optical element,
An adjusting means having an elastic member between the support portion supported by the substrate and the spherical portion, and capable of adjusting a biasing force of the elastic member against the optical element between the elastic member and the spherical portion. optics measuring jig according to any one of claims 1-6, characterized in that it comprises a.
以下の範囲
0.01<F'<1
を満足することを特徴とする請求項1〜9のいずれか一つに記載の光学素子測定用治具。 The outer shape reference detection means that abuts with an urging force to press the optical element has a pressing force for pressing the optical element as F ′ (N),
The following range: 0.01 <F ′ <1
Optics measuring jig according to any one of claims 1-9, characterized by satisfying the.
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