JP5326268B2 - Transmission method and transmission method of user custom definition data - Google Patents
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本発明は、現場側装置からホストコンピュータにデータ送信するシステムにおけるユーザカスタム定義データの送信方式および送信方法に関する。 The present invention relates to a transmission method and transmission method for user custom definition data in a system for transmitting data from a field side device to a host computer.
半導体製造装置における炉内温度や不純物ガス濃度を管理した装置運転など、各種システムの現場側機器／装置の運転や制御には、現場側で各種のデータを収集・管理し、これらデータを基にした運転・制御がなされ、さらには研究・開発データとして利用される（例えば、特許文献１参照）。 For the operation and control of on-site equipment / devices of various systems, such as equipment operation that manages the furnace temperature and impurity gas concentration in semiconductor manufacturing equipment, various data are collected and managed at the on-site side. The operation / control is performed, and further used as research / development data (see, for example, Patent Document 1).
例えば、半導体製造装置において発生した事象をホストコンピュータに通知すること（イベントレポート）を目的に、半導体製造装置から予め規格化されたフォーマットを使用してホストコンピュータにストリーム通信を行っている。 For example, for the purpose of notifying a host computer of an event occurring in a semiconductor manufacturing apparatus (event report), stream communication is performed from the semiconductor manufacturing apparatus to the host computer using a standardized format.
このイベントレポートのフォーマットを構成する要素には３種類があり、これら要素は、図３に定義例を示すように、事象を意味するＣＥＩＤ（収集イベントＩＤ）、個別データを意味ある単位でまとめたＲＰＴＩＤ（レポートＩＤ）、および個別データであるＶＩＤ（変数ＩＤ）から構成されている。ＲＰＴＩＤは１つ以上のＶＩＤから構成され、ＣＥＩＤは１つ以上のＲＰＴＩＤから構成される。 There are three types of elements that make up the format of this event report. As shown in the definition example in FIG. 3, these elements are CEIDs (collection event IDs) that mean events and individual data are grouped in meaningful units. It consists of RPTID (report ID) and VID (variable ID) which is individual data. The RPTID is composed of one or more VIDs, and the CEID is composed of one or more RPTIDs.
上記のイベントレポートは、システム予約データとしてカスタマイズされており（規格上で必須として予め規定されており）、これとは別のデフォルトデータとしてのユーザカスタム定義データをホストコンピュータに送信するには新たに定義した別のフォーマット（ただし、イベントレポートのフォーマットに類似させたフォーマット）でデータを送信している。 The above event report is customized as system reservation data (pre-defined as mandatory in the standard), and new user-defined data as default data different from this is newly sent to the host computer. Sending data in another defined format (but similar to the event report format).
図４はイベントレポート（システム予約データ）とユーザカスタム定義データの送信処理を示す。イベントレポートの送信処理（Ｓ１）は、ホスト通信パッケージコア機能が管理するシステム予約のデータアイテム領域にデータを生成し、この領域のデータをホストコンピュータに送信する場合にはホスト通信パッケージの通信メッセージ編集機能によってメッセージ領域に前記のフォーマット要素を使ったメッセージを作成し、ホストコンピュータにメッセージ送信を行う。 FIG. 4 shows a transmission process of an event report (system reservation data) and user custom definition data. The event report transmission process (S1) generates data in the system reservation data item area managed by the host communication package core function, and edits the communication message of the host communication package when data in this area is transmitted to the host computer. The function creates a message using the format element in the message area and sends the message to the host computer.
ユーザカスタム定義データの送信処理（Ｓ２）は、ユーザカスタム定義のデータアイテム領域にユーザカスタム定義データを作成し、この領域のデータをホスト通信パッケージの通信メッセージ編集機能によってメッセージ領域に前記のフォーマット要素を使ったカスタムメッセージを作成し、ホストコンピュータにメッセージ送信を行う。
ユーザが新たなイベントレポートを追加するために、例えば半導体製造システムにおいて、処理する材料を識別するＩＤ（ウエハＩＤ）をレポート対象にしようとしても、「ウエハＩＤ」を意味するＶＩＤがデフォルトデータとしてすでに定義されている場合には、ユーザが追加するイベントレポートではＶＩＤ「ウエハＩＤ」を使用できない。 In order for a user to add a new event report, for example, in a semiconductor manufacturing system, even if an ID (wafer ID) for identifying a material to be processed is to be a report target, a VID meaning “wafer ID” is already set as default data. If it is defined, the VID “wafer ID” cannot be used in the event report added by the user.
例えば、図５に手順例を示すように、「ウエハＩＤ」の実体であるアイテム値をホスト通信パッケージは参照・更新しており、ユーザによる追加イベントレポートによって参照・更新されることは、このアイテム値を使用した既存のロジックの処理結果に障害が発生するなどのおそれがある。 For example, as shown in a procedure example in FIG. 5, the host communication package references / updates the item value that is the substance of the “wafer ID”, and this item is referred to / updated by the additional event report by the user. A failure may occur in the processing result of existing logic that uses the value.
このように、ユーザはイベントレポートを追加する際に、例え同じ内容を意味するＶＩＤであっても、既存のものを流用することはできないため、ＶＩＤから別途に追加定義するという作業が必要になる。一方、最終ユーザである半導体デバイスメーカ側の要求仕様によっては、別々のＶＩＤであることが認められないこともある。 In this way, when adding an event report, the user cannot divert an existing one even if it is a VID that means the same content, and thus it is necessary to additionally define it separately from the VID. . On the other hand, different VIDs may not be recognized depending on the specifications required by the semiconductor device manufacturer as the end user.
本発明の目的は、ユーザカスタム定義データ用のフォーマット追加を不要にし、かつシステム予約データへの影響を無くしたユーザカスタム定義データの送信方式および送信方法を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a transmission method and transmission method for user custom definition data that eliminates the need for adding a format for user custom definition data and eliminates the influence on system reservation data.
本発明は、前記の課題を解決するため、ＶＩＤ（変数ＩＤ）の実体格納領域であるアイテム名を、システム予約メッセージ作成で使用するものと、ユーザカスタム定義メッセージ作成で使用するものに分けて定義するようにしたもので、以下の方式および方法を特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problem, the present invention defines the item name, which is a VID (variable ID) entity storage area, to be divided into those used for creating a system reservation message and those used for creating a user custom definition message. This is characterized by the following methods and methods.
（１）事象を意味するＣＥＩＤ（収集イベントＩＤ）、個別データを意味ある単位でまとめたＲＰＴＩＤ（レポートＩＤ）、および個別データであるＶＩＤ（変数ＩＤ）の各要素で予め規格化されたフォーマット構成のシステム予約データを現場側装置で作成し、このシステム予約データを通信メッセージ編集手段を使用して作成するメッセージをホストコンピュータに送信する方式において、
前記現場側装置で作成し、前記ホストコンピュータに送信するユーザカスタム定義データに対する前記ＶＩＤ（変数ＩＤ）の実体格納領域であるアイテム名を、前記システム予約メッセージ作成で使用するものと分けて定義する手段と、
前記通信メッセージ編集手段は、前記ユーザカスタム定義データのアイテム名と、前記システム予約データのアイテム名を区別してそれぞれメッセージとして作成する手段を備えたことを特徴とする。
(1) CEID (collection event ID) meaning an event, RPTID (report ID) in which individual data is grouped in a meaningful unit, and VID (variable ID) which is individual data in advance, a format configuration In the method of creating the system reservation data of the site-side apparatus, and sending the system reservation data to the host computer using the communication message editing means,
Means for defining an item name that is an entity storage area of the VID (variable ID) for user custom definition data created by the site side device and transmitted to the host computer separately from that used for creating the system reservation message When,
The communication message editing means includes means for distinguishing between the item name of the user custom definition data and the item name of the system reservation data and creating each message as a message.
（２）事象を意味するＣＥＩＤ（収集イベントＩＤ）、個別データを意味ある単位でまとめたＲＰＴＩＤ（レポートＩＤ）、および個別データであるＶＩＤ（変数ＩＤ）の各要素で予め規格化されたフォーマット構成のシステム予約データを現場側装置で作成し、このシステム予約データを通信メッセージ編集手段を使用して作成するメッセージをホストコンピュータに送信する方法において、
前記現場側装置で作成し、前記ホストコンピュータに送信するユーザカスタム定義データに対する前記ＶＩＤ（変数ＩＤ）の実体格納領域であるアイテム名を、前記システム予約メッセージ作成で使用するものと分けて定義するステップを有し、
前記通信メッセージ編集手段は、前記ユーザカスタム定義データのアイテム名と、前記システム予約データのアイテム名を区別してそれぞれメッセージとして作成するステップを有することを特徴とする。
(2) CEID (collection event ID) meaning an event, RPTID (report ID) that summarizes individual data in a meaningful unit, and a VID (variable ID) that is individual data in advance. In the method of creating the system reservation data of the site-side apparatus and transmitting a message for creating the system reservation data using the communication message editing means to the host computer,
A step of defining an item name, which is an actual storage area of the VID (variable ID) for user custom definition data created by the field side device and transmitted to the host computer, separately from that used for creating the system reservation message Have
The communication message editing means includes a step of creating a message by distinguishing an item name of the user custom definition data and an item name of the system reservation data, respectively.
以上のとおり、本発明によれば、ＶＩＤ（変数ＩＤ）の実体格納領域であるアイテム名を、システム予約メッセージ作成で使用するものと、ユーザカスタム定義メッセージ作成で使用するものに分けて定義するようにしたため、ユーザカスタム定義データ用のフォーマット追加を不要にし、かつシステム予約データへの影響を無くしたデータ通信ができる。 As described above, according to the present invention, the item name, which is the VID (variable ID) entity storage area, is defined separately for those used for creating a system reservation message and those used for creating a user custom definition message. Therefore, it is possible to perform data communication that eliminates the need for adding a format for user custom definition data and eliminates the influence on system reservation data.
具体的には、ユーザがイベントレポートを追加実装する際、既存のＶＩＤを使用できる。 Specifically, when a user additionally implements an event report, an existing VID can be used.
また、ＶＩＤは共通であっても、実体となるアイテムは別であるため、通信パッケージの基本動作には影響しない。 Further, even if the VID is common, since the actual item is different, the basic operation of the communication package is not affected.
また、ユーザは通信パッケージの処理のタイミング等に無関係に、ＶＩＤを更新し、イベントレポートを行うことが可能となる。 Further, the user can update the VID and perform an event report regardless of the processing timing of the communication package.
図１は、本発明の実施形態を示すシステム予約データとユーザカスタム定義データの送信処理である。 FIG. 1 shows transmission processing of system reservation data and user custom definition data according to an embodiment of the present invention.
本実施形態では、図４に示す従来の送信処理と同様に、イベントレポートの送信処理（Ｓ１）では、ホスト通信パッケージコア機能が管理するシステム予約のデータアイテム領域にデータを生成し、この領域のデータをホストコンピュータに送信する場合にはホスト通信パッケージ通信メッセージ編集機能によってメッセージ領域にメッセージを作成し、ホストコンピュータにメッセージ送信を行う。 In this embodiment, as in the conventional transmission process shown in FIG. 4, in the event report transmission process (S1), data is generated in the data item area of the system reservation managed by the host communication package core function. When data is transmitted to the host computer, a message is created in the message area by the host communication package communication message editing function, and the message is transmitted to the host computer.
また、ユーザカスタム定義データの送信処理（Ｓ２）には、ユーザカスタム定義のデータアイテム領域にユーザカスタム定義データを作成し、この領域のデータをホスト通信パッケージ通信メッセージ編集機能によってメッセージ領域にカスタムメッセージを作成し、ホストコンピュータにメッセージ送信を行う。 In the user custom definition data transmission process (S2), user custom definition data is created in the user custom definition data item area, and the custom message is sent to the message area by the host communication package communication message editing function. Create and send a message to the host computer.
ここで、本実施形態では、ユーザカスタム定義データの作成に際し、ＶＩＤ（変数ＩＤ）の実体格納領域であるアイテム名を、システム予約メッセージ作成で使用するものと、ユーザカスタムメッセージ作成で使用するものに分けて定義できるようにすることで、フォーマットを同一（共通化）のもので済むようにする。 Here, in the present embodiment, when creating user custom definition data, the item name, which is the substance storage area of the VID (variable ID), is used for system reservation message creation and for user custom message creation. By making it possible to define them separately, the same format (common) can be used.
例えば、図１中に示すように、システム予約データのアイテム領域に格納するデータ値「Ｎａｍｅ１（＝１０）」と規定されるのに対し、ユーザカスタム定義データのアイテム領域に格納するデータ値「ＵｓｅｒＮａｍｅ（＝２０）」とした分けた定義をする。 For example, as shown in FIG. 1, the data value “User1 (= 10)” stored in the item area of the system reservation data is defined, whereas the data value “UserName” stored in the item area of the user custom definition data is defined. (= 20) ”is defined separately.
これにより、処理Ｓ１でのメッセージ作成処理ではＲＰＴＩＤ（レポートＩＤ）の「ＶＩＤ＝１」には「１０」が設定されるのに対し、処理Ｓ２でのカスタムメッセージ作成処理ではＲＰＴＩＤの「ＶＩＤ＝１」には「２０」が設定される。 Thus, “10” is set in “VID = 1” of RPTID (report ID) in the message creation process in process S1, whereas “VID = 1” in RPTID in the custom message creation process in process S2. "Is set to" 20 ".
したがって、システム予約メッセージデータと同一のフォーマットを使ってユーザカスタム定義データが作成しても、システム予約データへの影響を無くした送信ができる。また、ユーザカスタム定義データ用のフォーマット追加を不要にし、同じホスト通信パッケージの通信メッセージ編集機能を利用したメッセージ作成で済む。 Therefore, even if user custom definition data is created using the same format as the system reservation message data, transmission without affecting the system reservation data can be performed. Further, it is not necessary to add a format for user custom definition data, and a message can be created using the communication message editing function of the same host communication package.
図２はＶＩＤ（変数ＩＤ）の定義例を示し、データ型が異なるＶＩＤ１〜５について、同じＶＩＤでもデータ値格納アイテム名がパッケージ仕様とユーザ仕様で異なるものとして定義する。
FIG. 2 shows a definition example of VID (variable ID). For
Ｓ１ システム予約データの送信処理
Ｓ２ ユーザカスタム定義データの送信処理
S1 System reservation data transmission processing S2 User custom definition data transmission processing
Claims (2)
前記現場側装置で作成し、前記ホストコンピュータに送信するユーザカスタム定義データに対する前記ＶＩＤ（変数ＩＤ）の実体格納領域であるアイテム名を、前記システム予約メッセージ作成で使用するものと分けて定義する手段と、
前記通信メッセージ編集手段は、前記ユーザカスタム定義データのアイテム名と、前記システム予約データのアイテム名を区別してそれぞれメッセージとして作成する手段を備えたことを特徴とするユーザカスタム定義データの送信方式。 System reservation of a format configuration pre-standardized by each element of CEID (collection event ID) meaning an event, RPTID (report ID) in which individual data is collected in a meaningful unit, and VID (variable ID) which is individual data In the method of creating data in the field side device and sending a message for creating this system reservation data using the communication message editing means to the host computer,
Means for defining an item name that is an entity storage area of the VID (variable ID) for user custom definition data created by the site side device and transmitted to the host computer separately from that used for creating the system reservation message When,
The communication message editing means comprises means for distinguishing between the item name of the user custom definition data and the item name of the system reservation data and creating them as messages, respectively.
前記現場側装置で作成し、前記ホストコンピュータに送信するユーザカスタム定義データに対する前記ＶＩＤ（変数ＩＤ）の実体格納領域であるアイテム名を、前記システム予約メッセージ作成で使用するものと分けて定義するステップを有し、
前記通信メッセージ編集手段は、前記ユーザカスタム定義データのアイテム名と、前記システム予約データのアイテム名を区別してそれぞれメッセージとして作成するステップを有することを特徴とするユーザカスタム定義データの送信方法。 System reservation of a format configuration pre-standardized by each element of CEID (collection event ID) meaning an event, RPTID (report ID) in which individual data is collected in a meaningful unit, and VID (variable ID) which is individual data In a method of creating data in a field side device and transmitting a message for creating this system reservation data using communication message editing means to a host computer,
A step of defining an item name, which is an actual storage area of the VID (variable ID) for user custom definition data created by the field side device and transmitted to the host computer, separately from that used for creating the system reservation message Have
The communication message editing means includes a step of distinguishing the item name of the user custom definition data from the item name of the system reservation data and creating each message as a message.
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