JP5322722B2 - Lens alignment device and control method of lens alignment device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a lens alignment device capable of achieving shortening of lens alignment time, simplification of constitution and simplification of setting operation of a chart. <P>SOLUTION: The lens alignment device 1 which aligns a lens 2 by adjusting a lens for adjustment 3 includes: a light source 4; the chart 5 which is arranged between the lens 2 and the light source 4 and in which a predetermined pattern for obtaining MTF of the lens 2 is formed; three or more first sensors 6 which are arranged at positions different from each other in a direction orthogonal to an optical axis L of the lens 2 and detect contrast for obtaining MTF in an M direction that is the MTF of the lens 2 in a meridional direction; three or more second sensors which are arranged at positions different from each other in the direction orthogonal to the optical axis L of the lens 2 and detect contrast for obtaining MTF in an S direction that is the MTF of the lens in a sagital direction; and an optical axis driving mechanism 8 which changes a distance between the lens 2 and the chart 5 in the optical axis direction of the lens 2. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、複数枚からなるレンズの調芯を行うためのレンズ調芯装置およびレンズ調芯装置の制御方法に関する。   The present invention relates to a lens alignment device for aligning a plurality of lenses and a method for controlling the lens alignment device.

従来、調整用のレンズを調整してこの調整用のレンズを含む複数枚のレンズの調芯を行うレンズ調芯装置が知られている(たとえば、特許文献1参照)。この特許文献1に記載のレンズ調芯装置は、レンズのサジタル方向のコントラスト値を評価するための第1のパターンとレンズのメリジオナル方向のコントラスト値を評価するための第2のパターンとが形成されるチャートと、レンズの光軸を中心にしてチャートを回転させる回転機構と、レンズによって形成されるチャートの像を撮像する撮像素子と、撮像素子から出力される第1、第2のパターンに応じた信号に基づいてレンズのサジタル方向のコントラスト値とメリジオナル方向のコントラスト値とを算出し、これらの2つのコントラスト値の差を求める演算手段とを備えている。   2. Description of the Related Art Conventionally, there has been known a lens alignment device that adjusts an adjustment lens and aligns a plurality of lenses including the adjustment lens (see, for example, Patent Document 1). In the lens alignment device described in Patent Document 1, a first pattern for evaluating the contrast value of the lens in the sagittal direction and a second pattern for evaluating the contrast value of the lens in the meridional direction are formed. A chart, a rotation mechanism that rotates the chart around the optical axis of the lens, an image sensor that captures an image of the chart formed by the lens, and first and second patterns output from the image sensor And calculating means for calculating a contrast value in the sagittal direction and a contrast value in the meridional direction of the lens based on the obtained signals and obtaining a difference between the two contrast values.

特許文献1に記載のレンズ調芯装置では、回転機構によって所定の角度ピッチでチャートを回転させながら、チャートの回転角度に応じたサジタル方向のコントラスト値とメリジオナル方向のコントラスト値との差を演算手段で算出し、この差が最大となるチャートの回転角度に基づいて調整用のレンズの調整方向を決定している。また、このレンズ調芯装置では、コントラスト値の差に基づいて調整用のレンズの調整量を決定している。   In the lens aligning device described in Patent Document 1, the calculation means calculates the difference between the contrast value in the sagittal direction and the contrast value in the meridional direction according to the rotation angle of the chart while rotating the chart at a predetermined angular pitch by the rotation mechanism. And the adjustment direction of the adjustment lens is determined based on the rotation angle of the chart in which this difference is maximum. In this lens alignment device, the adjustment amount of the adjustment lens is determined based on the difference in contrast value.

なお、特許文献1に記載のレンズ調芯装置では、チャートに形成される第1のパターンおよび第2のパターンは、光を透過する部分と光を透過しない部分とが所定のピッチで配置される縞模様であり、演算手段では、光を透過する部分と光を透過しない部分との配置ピッチに応じた空間周波数におけるサジタル方向のコントラスト値とメリジオナル方向のコントラスト値が算出されている。   In the lens alignment device described in Patent Document 1, the first pattern and the second pattern formed on the chart are arranged such that a portion that transmits light and a portion that does not transmit light are arranged at a predetermined pitch. The calculation means calculates a sagittal direction contrast value and a meridional direction contrast value at a spatial frequency in accordance with the arrangement pitch of a portion that transmits light and a portion that does not transmit light.

特許第4112165号公報Japanese Patent No. 4112165

しかしながら、特許文献1に記載のレンズ調芯装置では、チャートを所定の角度ピッチで回転させながら、チャートの回転角度に応じたサジタル方向のコントラスト値とメリジオナル方向のコントラスト値との差を算出し、この差に基づいて調整用のレンズの調整方向および調整量を決定している。そのため、調整用のレンズの調整方向および調整量の決定に時間がかかり、その結果、レンズの調芯に時間がかかる。   However, in the lens alignment device described in Patent Document 1, the difference between the contrast value in the sagittal direction and the contrast value in the meridional direction according to the rotation angle of the chart is calculated while rotating the chart at a predetermined angular pitch. Based on this difference, the adjustment direction and adjustment amount of the adjustment lens are determined. Therefore, it takes time to determine the adjustment direction and adjustment amount of the lens for adjustment, and as a result, it takes time to align the lens.

また、特許文献1に記載のレンズ調芯装置では、チャートに形成される光を透過する部分と光を透過しない部分との配置ピッチに応じた空間周波数におけるサジタル方向のコントラスト値やメリジオナル方向のコントラスト値しか求めることができない。そのため、このレンズ調芯装置では、調芯されるレンズに要求される特性に応じて、パターンの異なるチャートを複数、用意する必要があり、装置の構成が複雑になる。また、このレンズ調芯装置では、調芯されるレンズに要求される特性に応じて、パターンの異なるチャートをセットする必要があり、チャートのセッティング作業が煩雑になる。   Further, in the lens aligning device described in Patent Document 1, the contrast value in the sagittal direction and the contrast in the meridional direction at a spatial frequency according to the arrangement pitch between the light transmitting portion and the light non-transmitting portion formed on the chart. Only the value can be obtained. Therefore, in this lens aligning device, it is necessary to prepare a plurality of charts having different patterns according to the characteristics required for the lens to be aligned, and the configuration of the device becomes complicated. Further, in this lens aligning device, it is necessary to set charts with different patterns in accordance with the characteristics required for the lens to be aligned, and the chart setting operation becomes complicated.

そこで、本発明の課題は、レンズの調芯時間の短縮が可能で、かつ、構成の簡素化およびチャートのセッティング作業の簡素化が可能なレンズ調芯装置を提供することにある。また、本発明の課題は、レンズの調芯時間の短縮が可能になるレンズ調芯装置の制御方法を提供することにある。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a lens alignment apparatus that can shorten the alignment time of a lens and that can simplify the configuration and the setting operation of a chart. Another object of the present invention is to provide a method for controlling a lens alignment apparatus that can shorten the alignment time of the lens.

上記の課題を解決するため、本発明は、複数枚からなるレンズのうちの調整用レンズを調整してレンズの調芯を行うレンズ調芯装置において、レンズに向かって光を射出する光源と、レンズと光源との間に配置されるとともに、レンズのMTFを求めるための所定のパターンが形成されるチャートと、レンズの光軸に直交する方向において互いに異なる3箇所以上に配置され、メリジオナル方向におけるレンズのMTFであるM方向MTFを求めるためのコントラストを検出する第1のセンサと、レンズの光軸に直交する方向において互いに異なる3箇所以上に配置され、サジタル方向におけるレンズのMTFであるS方向MTFを求めるためのコントラストを検出する第2のセンサと、レンズの光軸方向におけるレンズとチャートとの距離、または、第1のセンサおよび第2のセンサとレンズとの距離を変化させる光軸方向駆動機構と、レンズ調芯装置を制御する制御部とを備え、制御部は、光軸方向駆動機構によって、光軸方向におけるレンズとチャートとの距離、または、第1のセンサおよび第2のセンサとレンズとの距離を変化させながら、第1のセンサのそれぞれで検出されるコントラストに基づいてM方向MTFを算出するとともに、第2センサのそれぞれで検出されるコントラストに基づいてS方向MTFを算出し、M方向MTFのそれぞれに基づいて特定の空間周波数におけるレンズのデフォーカス特性であるM方向デフォーカス特性を算出するとともに、S方向MTFのそれぞれに基づいて特定の空間周波数におけるレンズのデフォーカス特性であるS方向デフォーカス特性を算出し、M方向デフォーカス特性のそれぞれに基づいて光軸または光軸に直交する平面に対するメリジオナル像面の傾きを算出するとともに、S方向デフォーカス特性のそれぞれに基づいて光軸または光軸に直交する平面に対するサジタル像面の傾きを算出し、メリジオナル像面の傾きとサジタル像面の傾きとに基づいて調整用レンズの調整量を算出することを特徴とする。 In order to solve the above-described problem, the present invention provides a light source that emits light toward a lens in a lens alignment device that adjusts an adjustment lens among a plurality of lenses and performs lens alignment. Arranged between the lens and the light source, the chart on which a predetermined pattern for obtaining the MTF of the lens is formed, and three or more different positions in the direction orthogonal to the optical axis of the lens, and in the meridional direction The first sensor for detecting the contrast for obtaining the M direction MTF, which is the MTF of the lens, and the S direction, which is the MTF of the lens in the sagittal direction, are arranged at three or more different positions in the direction orthogonal to the optical axis of the lens. The distance between the second sensor for detecting the contrast for obtaining the MTF and the lens in the optical axis direction of the lens and the chart Or comprises an optical axis direction drive mechanism for changing the distance between the first sensor and the second sensor and lens, and a control unit for controlling the lens centering device, the control unit, the optical axis direction driving mechanism, While changing the distance between the lens and the chart in the optical axis direction, or the distance between the first sensor and the second sensor and the lens, the M direction MTF is calculated based on the contrast detected by each of the first sensors. The S direction MTF is calculated based on the contrast detected by each of the second sensors, and the M direction defocus characteristic that is the defocus characteristic of the lens at a specific spatial frequency is calculated based on each of the M direction MTF. In addition to the calculation, the S direction differential that is the defocus characteristic of the lens at a specific spatial frequency based on each of the S direction MTFs. And calculating the inclination of the meridional image plane with respect to the optical axis or a plane perpendicular to the optical axis based on each of the M-direction defocus characteristics, and calculating the optical axis or light based on each of the S-direction defocus characteristics. The inclination of the sagittal image plane with respect to a plane orthogonal to the axis is calculated, and the adjustment amount of the adjustment lens is calculated based on the inclination of the meridional image plane and the inclination of the sagittal image plane .

本発明のレンズ調芯装置は、レンズのMTFを求めるための所定のパターンが形成されるチャートと、M方向MTFを求めるためのコントラストを検出する第1のセンサと、S方向MTFを求めるためのコントラストを検出する第2のセンサと、レンズの光軸方向におけるレンズとチャートとの距離、または、第1のセンサおよび第2のセンサとレンズとの距離を変化させる光軸方向駆動機構とを備え、第1のセンサおよび第2のセンサは、レンズの光軸に直交する方向において互いに異なる3箇所以上に配置されている。   The lens alignment device of the present invention includes a chart on which a predetermined pattern for determining the MTF of the lens is formed, a first sensor for detecting contrast for determining the M direction MTF, and an S direction MTF. A second sensor for detecting contrast, and an optical axis direction driving mechanism for changing a distance between the lens and the chart in the optical axis direction of the lens, or a distance between the first sensor and the second sensor and the lens. The first sensor and the second sensor are arranged at three or more different positions in the direction orthogonal to the optical axis of the lens.

また、本発明では、レンズ調芯装置がレンズ調芯装置を制御する制御部を備えており、制御部は、光軸方向駆動機構によって、光軸方向におけるレンズとチャートとの距離、または、第1のセンサおよび第2のセンサとレンズとの距離を変化させながら、第1のセンサのそれぞれで検出されるコントラストに基づいてM方向MTFを算出するとともに、第2センサのそれぞれで検出されるコントラストに基づいてS方向MTFを算出し、M方向MTFのそれぞれに基づいて特定の空間周波数におけるレンズのデフォーカス特性であるM方向デフォーカス特性を算出するとともに、S方向MTFのそれぞれに基づいて特定の空間周波数におけるレンズのデフォーカス特性であるS方向デフォーカス特性を算出し、M方向デフォーカス特性のそれぞれに基づいて光軸または光軸に直交する平面に対するメリジオナル像面の傾きを算出するとともに、S方向デフォーカス特性のそれぞれに基づいて光軸または光軸に直交する平面に対するサジタル像面の傾きを算出し、メリジオナル像面の傾きとサジタル像面の傾きとに基づいて調整用レンズの調整量を算出している。 Further, in the present invention, the lens alignment device includes a control unit that controls the lens alignment device, and the control unit is configured such that the distance between the lens and the chart in the optical axis direction or the The M direction MTF is calculated based on the contrast detected by each of the first sensors while changing the distance between the first sensor and the second sensor and the lens, and the contrast detected by each of the second sensors. The S direction MTF is calculated based on the M direction, the M direction defocus characteristic that is the defocus characteristic of the lens at a specific spatial frequency is calculated based on the M direction MTF, and the specific direction is determined based on the S direction MTF. Calculate the S-direction defocus characteristic, which is the defocus characteristic of the lens at the spatial frequency, Based on this, the inclination of the meridional image plane with respect to the optical axis or the plane orthogonal to the optical axis is calculated, and the inclination of the sagittal image plane with respect to the optical axis or the plane orthogonal to the optical axis is calculated based on each of the S-direction defocus characteristics. The adjustment amount of the adjustment lens is calculated based on the inclination of the meridional image plane and the inclination of the sagittal image plane .

したがって、本発明では、チャートを所定の角度ピッチで回転させながら、調整用レンズの調整量を算出する必要がなくなり、特許文献1に記載のレンズ調芯装置と比較して、レンズの調芯時間を短縮することが可能になる。また、本発明では、レンズのMTFを求めるための所定のパターンがチャートに形成されているため、共通のチャートを用いて、様々な空間周波数におけるM方向デフォーカス値およびS方向デフォーカス値を算出することが可能になる。したがって、調芯されるレンズに要求される特性に応じて、パターンの異なるチャートを用意したり、パターンの異なるチャートをセットする必要がなくなる。その結果、本発明では、レンズ調芯装置の構成を簡素化することが可能になるとともに、チャートのセッティング作業の簡素化が可能になる。   Therefore, in the present invention, it is not necessary to calculate the adjustment amount of the adjustment lens while rotating the chart at a predetermined angular pitch, and the lens alignment time is compared with the lens alignment apparatus described in Patent Document 1. Can be shortened. In the present invention, since a predetermined pattern for obtaining the MTF of the lens is formed on the chart, the M direction defocus value and the S direction defocus value at various spatial frequencies are calculated using the common chart. It becomes possible to do. Therefore, it is not necessary to prepare a chart having a different pattern or to set a chart having a different pattern according to the characteristics required for the lens to be aligned. As a result, according to the present invention, it is possible to simplify the configuration of the lens aligning device and simplify the chart setting operation.

本発明において、たとえば、第1のセンサは、光軸を中心にして略90°ピッチで4箇所に配置され、第2のセンサは、光軸を中心にして略90°ピッチで4箇所に配置され、第1のセンサと第2のセンサとは、光軸を中心にして略45°ずれるように、光軸に直交する略同一平面上に配置されている。このように構成すると、レンズの調芯を行う際に調整用レンズを移動させるレンズ移動機構が、たとえば、光軸方向に直交するとともに互いに直交する2方向へ調整用レンズを移動させるように構成されている場合には、調整用レンズの移動量を比較的容易に算出することが可能になる。   In the present invention, for example, the first sensor is arranged at four positions with a pitch of about 90 ° around the optical axis, and the second sensor is arranged at four places with a pitch of about 90 ° around the optical axis. The first sensor and the second sensor are arranged on substantially the same plane orthogonal to the optical axis so as to be shifted by approximately 45 ° about the optical axis. With this configuration, the lens moving mechanism that moves the adjustment lens when aligning the lens is configured to move the adjustment lens in two directions orthogonal to the optical axis direction and orthogonal to each other, for example. If this is the case, the amount of movement of the adjustment lens can be calculated relatively easily.

本発明において、チャートには、M方向MTFを求めるための3個以上の第1の光の透過部と、S方向MTFを求めるための3個以上の第2の光の透過部とが形成され、所定のパターンは、第1の光の透過部の縁によって形成される第1のエッジパターンと、第2の光の透過部の縁によって形成される第2のエッジパターンとであることが好ましい。このように構成すると、チャートに形成される所定のパターンがスリット等である場合と比較して、第1のセンサ上や第2のセンサ上に形成されるチャートのパターンの像の焦点がぼやけていても、第1のセンサや第2のセンサでコントラストを適切に検出することが可能になる。   In the present invention, the chart includes three or more first light transmission portions for obtaining the M direction MTF and three or more second light transmission portions for obtaining the S direction MTF. The predetermined pattern is preferably a first edge pattern formed by the edge of the first light transmission portion and a second edge pattern formed by the edge of the second light transmission portion. . With this configuration, the focus of the image of the chart pattern formed on the first sensor or the second sensor is blurred compared to the case where the predetermined pattern formed on the chart is a slit or the like. However, the contrast can be appropriately detected by the first sensor or the second sensor.

また、上記の課題を解決するため、本発明のレンズ調芯装置の制御方法は、複数枚からなるレンズのMTFを求めるための所定のパターンが形成されるチャートと、レンズの光軸に直交する方向において互いに異なる3箇所以上に配置され、メリジオナル方向におけるレンズのMTFであるM方向MTFを求めるためのコントラストを検出する第1のセンサと、レンズの光軸に直交する方向において互いに異なる3箇所以上に配置され、サジタル方向におけるレンズのMTFであるS方向MTFを求めるためのコントラストを検出する第2のセンサとを備え、レンズのうちの調整用レンズを調整してレンズの調芯を行うレンズ調芯装置の制御方法であって、レンズの光軸方向におけるレンズとチャートとの距離、または、第1のセンサおよび第2のセンサとレンズとの距離を変化させながら、第1のセンサのそれぞれで検出されるコントラストに基づいてM方向MTFを算出するとともに、第2のセンサのそれぞれで検出されるコントラストに基づいてS方向MTFを算出するMTF算出ステップと、MTF算出ステップで算出されたM方向MTFのそれぞれに基づいて特定の空間周波数におけるレンズのデフォーカス特性であるM方向デフォーカス特性を算出するとともに、MTF算出ステップで算出されたS方向MTFのそれぞれに基づいて特定の空間周波数におけるレンズのデフォーカス特性であるS方向デフォーカス特性を算出するデフォーカス特性算出ステップと、デフォーカス特性算出ステップで算出されたM方向デフォーカス特性のそれぞれに基づいて光軸または光軸に直交する平面に対するメリジオナル像面の傾きを算出するとともに、デフォーカス特性算出ステップで算出されたS方向デフォーカス特性のそれぞれに基づいて光軸または光軸に直交する平面に対するサジタル像面の傾きを算出する像面傾き算出ステップと、像面傾き算出ステップで算出されたメリジオナル像面の傾きとサジタル像面の傾きとに基づいて調整用レンズの調整量を算出するレンズ調整量算出ステップとを備えることを特徴とする。   In order to solve the above-described problem, the control method of the lens aligning device of the present invention is orthogonal to the chart on which a predetermined pattern for obtaining the MTF of a plurality of lenses is formed and the optical axis of the lens. A first sensor for detecting a contrast for obtaining an M-direction MTF, which is an MTF of the lens in the meridional direction, and three or more different in the direction orthogonal to the optical axis of the lens. And a second sensor for detecting a contrast for obtaining the S direction MTF, which is the MTF of the lens in the sagittal direction, and adjusting the adjustment lens of the lenses to adjust the lens. A method for controlling a core device, the distance between the lens and the chart in the optical axis direction of the lens, or the first sensor and While changing the distance between the second sensor and the lens, the M-direction MTF is calculated based on the contrast detected by each of the first sensors, and S based on the contrast detected by each of the second sensors. An MTF calculation step for calculating the direction MTF and an M direction defocus characteristic that is a defocus characteristic of the lens at a specific spatial frequency based on each of the M direction MTF calculated in the MTF calculation step, and an MTF calculation step A defocus characteristic calculation step for calculating an S direction defocus characteristic that is a defocus characteristic of a lens at a specific spatial frequency based on each of the S direction MTFs calculated in step M, and an M direction calculated in the defocus characteristic calculation step Optical axis or light based on each of defocus characteristics And the inclination of the sagittal image plane with respect to the optical axis or the plane orthogonal to the optical axis based on each of the S-direction defocus characteristics calculated in the defocus characteristic calculation step. An image plane inclination calculating step to calculate, and a lens adjustment amount calculating step for calculating an adjustment amount of the adjustment lens based on the meridional image plane inclination and the sagittal image plane inclination calculated in the image plane inclination calculating step. It is characterized by that.

本発明のレンズ調芯装置の制御方法では、MTF算出ステップでM方向MTFおよびS方向MTFを算出し、デフォーカス特性算出ステップでM方向デフォーカス特性およびS方向デフォーカス特性を算出し、像面傾き算出ステップでレンズの光軸または光軸に直交する平面に対するメリジオナル像面の傾きおよびサジタル像面の傾きを算出し、レンズ調整量算出ステップでメリジオナル像面の傾きとサジタル像面の傾きとに基づいて調整用レンズの調整量を算出している。そのため、本発明では、チャートを所定の角度ピッチで回転させながら、調整用レンズの調整量を算出する必要がなくなり、レンズの調芯時間を短縮することが可能になる。   In the control method of the lens alignment device of the present invention, the M direction MTF and the S direction MTF are calculated in the MTF calculation step, the M direction defocus characteristic and the S direction defocus characteristic are calculated in the defocus characteristic calculation step, and the image plane The inclination calculation step calculates the inclination of the meridional image plane and the sagittal image plane relative to the optical axis of the lens or a plane perpendicular to the optical axis, and the lens adjustment amount calculation step calculates the inclination of the meridional image plane and the sagittal image plane. Based on this, the adjustment amount of the adjustment lens is calculated. Therefore, in the present invention, it is not necessary to calculate the adjustment amount of the adjustment lens while rotating the chart at a predetermined angular pitch, and the lens alignment time can be shortened.

本発明において、像面傾き算出ステップでは、たとえば、M方向デフォーカス特性のそれぞれのピーク値のずれに基づいてメリジオナル像面の傾きを算出し、S方向デフォーカス特性のそれぞれのピーク値のずれに基づいてサジタル像面の傾きを算出する。   In the present invention, in the image plane inclination calculation step, for example, the inclination of the meridional image plane is calculated based on the deviation of the respective peak values of the M direction defocus characteristic, and the deviation of the respective peak values of the S direction defocus characteristic is calculated. Based on this, the inclination of the sagittal image plane is calculated.

本発明において、レンズ調芯装置の制御方法は、レンズ調整量算出ステップで算出された調整用レンズの調整量に基づいて調整用レンズを移動させるレンズ調整ステップを備え、たとえば、レンズ調整量算出ステップでは、光軸に直交する方向における調整用レンズの調整量を算出し、レンズ調整ステップでは、光軸に直交する方向に調整用レンズを移動させる。   In the present invention, the control method of the lens aligning apparatus includes a lens adjustment step for moving the adjustment lens based on the adjustment amount of the adjustment lens calculated in the lens adjustment amount calculation step. For example, the lens adjustment amount calculation step Then, the adjustment amount of the adjustment lens in the direction orthogonal to the optical axis is calculated, and in the lens adjustment step, the adjustment lens is moved in the direction orthogonal to the optical axis.

この場合には、第1のセンサは、光軸を中心にして略90°ピッチで4箇所に配置され、第2のセンサは、光軸を中心にして略90°ピッチで4箇所に配置され、第1のセンサと第2のセンサとは、光軸を中心にして略45°ずれるように、光軸に直交する略同一平面上に配置されていることが好ましい。このように構成すると、レンズ調整量算出ステップで、調整用レンズの移動量を比較的容易に算出することが可能になる。   In this case, the first sensor is arranged at four positions with a pitch of about 90 ° around the optical axis, and the second sensor is arranged at four places with a pitch of about 90 ° around the optical axis. The first sensor and the second sensor are preferably disposed on substantially the same plane orthogonal to the optical axis so as to be shifted by approximately 45 ° about the optical axis. With this configuration, it is possible to relatively easily calculate the movement amount of the adjustment lens in the lens adjustment amount calculation step.

本発明において、レンズ調芯装置の制御方法は、レンズ調整量算出ステップで算出された調整用レンズの調整量に基づいて調整用レンズを移動させるレンズ調整ステップを備え、レンズ調整量算出ステップでは、光軸に対するメリジオナル像面の傾きの絶対値と光軸に対するサジタル像面の傾きの絶対値とが略等しくなるような調整用レンズの調整量を算出し、レンズ調整ステップでは、光軸に対するメリジオナル像面の傾きの絶対値と光軸に対するサジタル像面の傾きの絶対値とが略等しくなるように調整用レンズを移動させることが好ましい。このように構成すると、レンズ調整ステップにおいて、光軸に対するメリジオナル像面の傾きとサジタル像面の傾きとのバランスを考慮した適切なレンズの調芯が可能になる。   In the present invention, the control method of the lens aligning apparatus includes a lens adjustment step for moving the adjustment lens based on the adjustment amount of the adjustment lens calculated in the lens adjustment amount calculation step. In the lens adjustment amount calculation step, Calculate the adjustment amount of the adjustment lens so that the absolute value of the inclination of the meridional image plane relative to the optical axis and the absolute value of the inclination of the sagittal image plane relative to the optical axis are approximately equal. In the lens adjustment step, the meridional image relative to the optical axis is calculated. It is preferable to move the adjustment lens so that the absolute value of the tilt of the surface and the absolute value of the tilt of the sagittal image surface with respect to the optical axis are substantially equal. With such a configuration, in the lens adjustment step, it is possible to appropriately align the lens in consideration of the balance between the inclination of the meridional image plane and the inclination of the sagittal image plane with respect to the optical axis.

以上のように、本発明のレンズ調芯装置では、レンズの調芯時間の短縮が可能になるとともに、構成の簡素化およびチャートのセッティング作業の簡素化が可能になる。また、本発明のレンズ調芯装置の制御方法によれば、レンズの調芯時間の短縮が可能になる。   As described above, in the lens alignment device of the present invention, the lens alignment time can be shortened, and the configuration can be simplified and the chart setting operation can be simplified. In addition, according to the control method of the lens alignment device of the present invention, it is possible to shorten the lens alignment time.

本発明の実施の形態にかかるレンズ調芯装置の概略構成を示す概略図である。It is the schematic which shows schematic structure of the lens aligning apparatus concerning embodiment of this invention. 図1に示す第1のセンサおよび第2のセンサの配置関係を光軸方向から説明するための図である。It is a figure for demonstrating the arrangement | positioning relationship of the 1st sensor shown in FIG. 1, and a 2nd sensor from an optical axis direction. 図1に示すチャートを光軸方向から示す図である。It is a figure which shows the chart shown in FIG. 1 from an optical axis direction. 図3のE部の拡大図である。It is an enlarged view of the E section of FIG. 図1に示すレンズ調芯装置の制御方法の一例を説明するためのフローチャートである。3 is a flowchart for explaining an example of a control method of the lens alignment apparatus shown in FIG. 1. 図5に示すMTF算出ステップでのMTFの算出方法を説明するための概念図である。It is a conceptual diagram for demonstrating the calculation method of MTF in the MTF calculation step shown in FIG. 図5に示すMTF算出ステップでのMTFの算出方法およびデフォーカス特性算出ステップでのデフォーカス特性の算出方法を説明するための概念図である。FIG. 6 is a conceptual diagram for explaining an MTF calculation method in an MTF calculation step and a defocus characteristic calculation method in a defocus characteristic calculation step shown in FIG. 5. 図5に示す像面傾き算出ステップでのメリジオナル像面の傾きおよびサジタル像面の傾きの算出方法を説明するための概念図である。FIG. 6 is a conceptual diagram for explaining a method of calculating the inclination of the meridional image plane and the inclination of the sagittal image plane in the image plane inclination calculation step shown in FIG. 5. 図5に示すレンズ調整量算出ステップでのレンズ調整量の算出方法を説明するための概念図である。It is a conceptual diagram for demonstrating the calculation method of the lens adjustment amount in the lens adjustment amount calculation step shown in FIG. 本発明の他の実施の形態にかかる第1のセンサ、第2のセンサおよび第3のセンサの配置関係を光軸方向から説明するための図である。It is a figure for demonstrating the arrangement | positioning relationship of the 1st sensor concerning 2nd Embodiment of this invention, a 2nd sensor, and a 3rd sensor from an optical axis direction. 本発明の他の実施の形態にかかるチャートを光軸方向から示す図である。It is a figure which shows the chart concerning other embodiment of this invention from an optical axis direction.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(レンズ調芯装置の構成)
図1は、本発明の実施の形態にかかるレンズ調芯装置1の概略構成を示す概略図である。図2は、図1に示す第1のセンサ6および第2のセンサ7の配置関係を光軸方向から説明するための図である。図3は、図1に示すチャート5を光軸方向から示す図である。図4は、図3のE部の拡大図である。
(Configuration of lens alignment device)
FIG. 1 is a schematic diagram showing a schematic configuration of a lens alignment device 1 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a diagram for explaining the positional relationship between the first sensor 6 and the second sensor 7 shown in FIG. 1 from the optical axis direction. FIG. 3 is a diagram showing the chart 5 shown in FIG. 1 from the optical axis direction. FIG. 4 is an enlarged view of a portion E in FIG.

本形態のレンズ調芯装置1は、図1に示すように、複数枚からなるレンズ(レンズ群)2のうちの調整用レンズ3を調整して、レンズ2の調芯を行うための装置である。このレンズ調芯装置1は、図1、図2に示すように、レンズ2に向かって光を射出する光源4と、レンズ2のMTFを求めるための所定のパターンが形成されるチャート5と、メリジオナル方向におけるレンズ2のMTFであるM方向MTFを求めるためのコントラストを検出する第1のセンサ6(以下、「第1センサ6」とする。)と、サジタル方向におけるレンズ2のMTFであるS方向MTFを求めるためのコントラストを検出する第2のセンサ7(以下、「第2センサ7」とする。)とを備えている。また、レンズ調芯装置1は、チャート5をレンズ2の光軸Lの方向(光軸方向)へ駆動するチャート駆動機構8と、レンズ2の調芯を行う際に調整用レンズ3を移動させるレンズ移動機構9と、レンズ調芯装置1の各種の制御を行う制御部10とを備えている。なお、以下の説明では、光軸Lに直交するとともに互いに直交する2方向をX方向およびY方向とする。   As shown in FIG. 1, the lens alignment device 1 of the present embodiment is a device for adjusting the lens 3 for adjustment among the multiple lenses (lens group) 2 and aligning the lens 2. is there. As shown in FIGS. 1 and 2, the lens aligning device 1 includes a light source 4 that emits light toward the lens 2, a chart 5 on which a predetermined pattern for obtaining the MTF of the lens 2 is formed, A first sensor 6 (hereinafter referred to as “first sensor 6”) that detects contrast for obtaining the M direction MTF, which is the MTF of the lens 2 in the meridional direction, and S, which is the MTF of the lens 2 in the sagittal direction. And a second sensor 7 (hereinafter referred to as “second sensor 7”) that detects contrast for obtaining the direction MTF. The lens alignment device 1 also moves the chart driving mechanism 8 that drives the chart 5 in the direction of the optical axis L (optical axis direction) of the lens 2 and the adjustment lens 3 when aligning the lens 2. A lens moving mechanism 9 and a control unit 10 that performs various controls of the lens alignment device 1 are provided. In the following description, two directions orthogonal to the optical axis L and orthogonal to each other are defined as an X direction and a Y direction.

レンズ2は、たとえば、1枚の調整用レンズ3と、3枚の固定レンズ12〜14とによって構成されている。固定レンズ12〜14は、レンズバレル(レンズ保持部材)15に固定されている。レンズバレル15は、レンズ調芯装置1を構成するバレル固定部材(図示省略)に固定されている。調整用レンズ3は、レンズ保持部材16に固定されている。レンズ保持部材16は、レンズ移動機構9に取り付けられている。なお、レンズ2が有する調整用レンズ3の枚数は、2枚以上であっても良い。また、本形態では、調整用レンズ3は、図1における固定レンズ12〜14の右側に配置されているが、調整用レンズ3は、図1における固定レンズ12〜14の左側に配置されても良い。   The lens 2 is composed of, for example, one adjustment lens 3 and three fixed lenses 12 to 14. The fixed lenses 12 to 14 are fixed to a lens barrel (lens holding member) 15. The lens barrel 15 is fixed to a barrel fixing member (not shown) constituting the lens alignment device 1. The adjustment lens 3 is fixed to the lens holding member 16. The lens holding member 16 is attached to the lens moving mechanism 9. The number of adjustment lenses 3 included in the lens 2 may be two or more. In this embodiment, the adjustment lens 3 is disposed on the right side of the fixed lenses 12 to 14 in FIG. 1, but the adjustment lens 3 may be disposed on the left side of the fixed lenses 12 to 14 in FIG. 1. good.

第1センサ6および第2センサ7は、一次元イメージセンサ(ラインセンサ)である。たとえば、第1センサ6および第2センサ7は、直線状に配置される複数のCCD等によって構成されるリニアCCDセンサであり、光軸方向から見たときの形状が細長い長方形状となるように形成されている。図2に示すように、本形態のレンズ調芯装置1は、4個の第1センサ6と4個の第2センサ7とを備えており、4個の第1センサ6および第2センサ7は、レンズ2に対して光源4およびチャート5の反対側に配置されている。なお、第1センサ6および第2センサ7は、二次元イメージセンサ(エリアセンサ)であっても良い。ただし、ラインセンサは、エリアセンサよりもフレームレートが高く、高速での走査が可能になるため、第1センサ6および第2センサ7は、ラインセンサであることが好ましい。   The first sensor 6 and the second sensor 7 are one-dimensional image sensors (line sensors). For example, the first sensor 6 and the second sensor 7 are linear CCD sensors constituted by a plurality of CCDs and the like arranged in a straight line, and the shape when viewed from the optical axis direction is an elongated rectangular shape. Is formed. As shown in FIG. 2, the lens alignment device 1 of the present embodiment includes four first sensors 6 and four second sensors 7, and the four first sensors 6 and the second sensors 7. Is arranged on the opposite side of the light source 4 and the chart 5 with respect to the lens 2. The first sensor 6 and the second sensor 7 may be a two-dimensional image sensor (area sensor). However, since the line sensor has a higher frame rate than the area sensor and can be scanned at high speed, the first sensor 6 and the second sensor 7 are preferably line sensors.

第1センサ6は、その長手方向(CCDの配列方向)とレンズ2のメリジオナル方向とが略一致するように配置されている。本形態では、4個の第1センサ6のうちの2個の第1センサ6は、その長手方向とX方向とが略平行になるように配置され、残りの2個の第1センサ6は、その長手方向とY方向とが略平行になるように配置されている。すなわち、第1センサ6は、光軸Lを中心にして略90°ピッチで4箇所に配置されている。   The first sensor 6 is arranged so that its longitudinal direction (CCD arrangement direction) and the meridional direction of the lens 2 substantially coincide. In this embodiment, two of the four first sensors 6 are arranged such that the longitudinal direction and the X direction are substantially parallel, and the remaining two first sensors 6 are The longitudinal direction and the Y direction are arranged substantially parallel to each other. That is, the first sensors 6 are arranged at four locations with a pitch of about 90 ° with the optical axis L as the center.

第2センサ7は、その長手方向(CCDの配列方向)とレンズ2のサジタル方向とが略一致するように配置されている。本形態では、4個の第2センサ7は、その長手方向がX方向およびY方向に対して略45°傾くように配置されている。具体的には、第2センサ7は、光軸Lを中心にして略90°ピッチで4箇所に配置されており、第1センサ6と第2センサ7とは、光軸Lを中心にして略45°ずれている。また、第1センサ6と第2センサ7とは、光軸Lに直交する略同一平面上に配置されている。   The second sensor 7 is arranged so that its longitudinal direction (CCD arrangement direction) and the sagittal direction of the lens 2 substantially coincide. In the present embodiment, the four second sensors 7 are arranged such that the longitudinal direction thereof is inclined by approximately 45 ° with respect to the X direction and the Y direction. Specifically, the second sensor 7 is arranged at four positions with a substantially 90 ° pitch centered on the optical axis L, and the first sensor 6 and the second sensor 7 are centered on the optical axis L. It is shifted by approximately 45 °. The first sensor 6 and the second sensor 7 are disposed on substantially the same plane orthogonal to the optical axis L.

チャート5は、光軸方向において、レンズ2と光源4との間に配置されている。また、光軸方向における光源4とチャート5との間には、ライトパイプ18と拡散板19とが光源4からチャート5に向かってこの順番で配置されている。   The chart 5 is disposed between the lens 2 and the light source 4 in the optical axis direction. Further, between the light source 4 and the chart 5 in the optical axis direction, a light pipe 18 and a diffusion plate 19 are arranged in this order from the light source 4 toward the chart 5.

チャート5は、図3に示すように、光軸方向から見たときの形状が円形状となる円板状に形成されている。このチャート5には、M方向MTFを求めるための4個の第1の光の透過部5a(以下、「第1光透過部5a」とする。)と、S方向MTFを求めるための4個の第2の光の透過部5b(以下、「第2光透過部5b」とする。)とが形成されている。本形態のチャート5は、たとえば、石英ガラスで形成されており、第1光透過部5aおよび第2光透過部5bを除くチャート5の表面(図3の斜線部)に光の透過を防ぐマスクが施されることで、第1光透過部5aと第2光透過部5bとが形成されている。   As shown in FIG. 3, the chart 5 is formed in a disk shape having a circular shape when viewed from the optical axis direction. This chart 5 includes four first light transmission parts 5a (hereinafter referred to as “first light transmission parts 5a”) for obtaining the M-direction MTF and four pieces for obtaining the S-direction MTF. The second light transmission part 5b (hereinafter referred to as "second light transmission part 5b") is formed. The chart 5 of this embodiment is made of, for example, quartz glass, and is a mask that prevents light from being transmitted to the surface of the chart 5 (the hatched portion in FIG. 3) excluding the first light transmitting portion 5a and the second light transmitting portion 5b. As a result, the first light transmission part 5a and the second light transmission part 5b are formed.

第1光透過部5aの縁は、図4に示すように、光軸Lを中心とする円弧状に形成される大径円弧部5cと、光軸Lを中心として大径円弧5cと同心状に形成され、かつ、大径円弧5cよりも半径の小さな円弧状に形成される小径円弧部5dと、チャート5の径方向に沿って大径円弧部5cと小径円弧部5dとの間に形成される2個の径方向直線部5eとから構成されている。   As shown in FIG. 4, the edge of the first light transmitting portion 5a is concentric with the large-diameter arc portion 5c formed in an arc shape centered on the optical axis L and the large-diameter arc 5c centered on the optical axis L. Are formed between the large-diameter arc portion 5c and the small-diameter arc portion 5d along the radial direction of the chart 5. It is comprised from the two radial direction linear parts 5e.

4個の第1光透過部5aは、光軸Lを中心にして略90°ピッチで配置されている。具体的には、図3に示すように、光軸Lに対して点対称に配置される2個の第1光透過部5aの円周方向の中心を結ぶ線がX方向あるいはY方向と平行になるように、4個の第1光透過部5aが配置されている。すなわち、4個の第1光透過部5aは、4箇所に配置される第1センサ6の配置位置に対応するように形成されている。そのため、光源4から射出され、第1光透過部5aを通過した光は、レンズ2を透過して第1センサ6に入射する。具体的には、光源4から射出され、第1光透過部5aの径方向内側部分を通過した光が、レンズ2を透過して第1センサ6に入射する。   The four first light transmission parts 5a are arranged at a substantially 90 ° pitch with the optical axis L as the center. Specifically, as shown in FIG. 3, a line connecting the centers in the circumferential direction of the two first light transmission parts 5 a arranged symmetrically with respect to the optical axis L is parallel to the X direction or the Y direction. Thus, the four first light transmission parts 5a are arranged. That is, the four first light transmission parts 5a are formed so as to correspond to the arrangement positions of the first sensors 6 arranged in four places. Therefore, the light emitted from the light source 4 and having passed through the first light transmission part 5 a is transmitted through the lens 2 and enters the first sensor 6. Specifically, the light emitted from the light source 4 and having passed through the radially inner portion of the first light transmitting portion 5 a passes through the lens 2 and enters the first sensor 6.

したがって、本形態の第1センサ6では、小径円弧部5dに対応する位置を境界にしてコントラストが検出される。すなわち、本形態では、第1光透過部5aの小径円弧部5dによって、M方向MTFを求めるための第1のエッジパターンが形成されている。   Therefore, in the first sensor 6 of this embodiment, the contrast is detected with the position corresponding to the small-diameter arc portion 5d as a boundary. That is, in this embodiment, the first edge pattern for obtaining the M direction MTF is formed by the small-diameter arc portion 5d of the first light transmission portion 5a.

第2光透過部5bの縁は、図4に示すように、光軸Lを中心とする円弧状に形成される大径円弧部5fと、光軸Lを中心として大径円弧部5fと同心状に形成され、かつ、大径円弧部5fよりも半径の小さな円弧状に形成される小径円弧部5gと、チャート5の径方向に沿って大径円弧部5fと小径円弧部5gとの間に形成される2個の径方向直線部5hとから構成されている。また、大径円弧部5fの半径は、大径円弧部5cの半径よりも大きく、小径円弧部5gの半径は、小径円弧部5dの半径よりも小さくなっている。   As shown in FIG. 4, the edge of the second light transmitting portion 5b is concentric with the large-diameter arc portion 5f formed in an arc shape centered on the optical axis L and the large-diameter arc portion 5f centered on the optical axis L. Between the large-diameter arc portion 5f and the small-diameter arc portion 5g along the radial direction of the chart 5 and the small-diameter arc portion 5g formed in an arc shape having a smaller radius than the large-diameter arc portion 5f. It comprises two radial direction straight parts 5h formed. The radius of the large-diameter arc portion 5f is larger than the radius of the large-diameter arc portion 5c, and the radius of the small-diameter arc portion 5g is smaller than the radius of the small-diameter arc portion 5d.

4個の第2光透過部5bは、光軸Lを中心にして略90°ピッチで配置されている。具体的には、第2光透過部5bの時計方向側の径方向直線部5hがX方向およびY方向に対して略45°傾くように、4個の第2光透過部5bが配置されている。すなわち、4個の第2光透過部5bは、4箇所に配置される第2センサ7の配置位置に対応するように形成されている。そのため、光源4から射出され、第2光透過部5bを通過した光は、レンズ2を透過して第2センサ7に入射する。具体的には、光源4から射出され、第2光透過部5bの時計方向側部分を通過した光が、レンズ2を透過して第2センサ7に入射する。   The four second light transmission parts 5b are arranged at a pitch of approximately 90 ° with the optical axis L as the center. Specifically, the four second light transmission portions 5b are arranged so that the radial straight portion 5h on the clockwise side of the second light transmission portion 5b is inclined by approximately 45 ° with respect to the X direction and the Y direction. Yes. That is, the four second light transmission parts 5b are formed so as to correspond to the arrangement positions of the second sensors 7 arranged in four places. Therefore, the light emitted from the light source 4 and having passed through the second light transmission part 5 b is transmitted through the lens 2 and enters the second sensor 7. Specifically, the light emitted from the light source 4 and passing through the clockwise side portion of the second light transmission part 5 b passes through the lens 2 and enters the second sensor 7.

したがって、本形態の第2センサ7では、時計方向側の径方向直線部5hに対応する位置を境界にしてコントラストが検出される。すなわち、本形態では、第2光透過部5bの時計方向側の径方向直線部5hによって、S方向MTFを求めるための第2のエッジパターンが形成されている。   Therefore, in the second sensor 7 of the present embodiment, contrast is detected with the position corresponding to the radial straight line portion 5h on the clockwise side as a boundary. That is, in the present embodiment, the second edge pattern for obtaining the S direction MTF is formed by the radial linear portion 5h on the clockwise side of the second light transmission portion 5b.

チャート駆動機構8は、チャート5を光軸方向へ移動させるためのモータ等の駆動源やボールネジ等の送り機構を備えている。本形態のチャート駆動機構8は、光軸方向におけるレンズ2とチャート5との距離を変化させる光軸方向駆動機構である。   The chart drive mechanism 8 includes a drive source such as a motor for moving the chart 5 in the optical axis direction and a feed mechanism such as a ball screw. The chart drive mechanism 8 of this embodiment is an optical axis direction drive mechanism that changes the distance between the lens 2 and the chart 5 in the optical axis direction.

レンズ移動機構9は、レンズ保持部材16をX方向およびY方向へ移動させるためのモータ等の駆動源やボールネジ等の送り機構を備えている。すなわち、本形態のレンズ調芯装置1では、レンズ移動機構9によってX方向およびY方向に調整用レンズ3を移動させることで、レンズ2の調芯が行われる。   The lens moving mechanism 9 includes a driving source such as a motor for moving the lens holding member 16 in the X direction and the Y direction, and a feeding mechanism such as a ball screw. That is, in the lens alignment device 1 of this embodiment, the lens 2 is aligned by moving the adjustment lens 3 in the X direction and the Y direction by the lens moving mechanism 9.

制御部10には、第1センサ6および第2センサ7が接続されている。また、制御部10には、チャート駆動機構8およびレンズ移動機構9も接続されている。制御部10は、以下に説明するように、M方向MTFおよびS方向MTFを算出するとともに、M方向MTFの特定の空間周波数におけるデフォーカス(スルーフォーカス)特性であるM方向デフォーカス特性とS方向MTFの特定の空間周波数におけるデフォーカス特性であるS方向デフォーカス特性とを算出する。また、制御部10は、M方向デフォーカス特性に基づいて光軸Lまたは光軸Lに直交する平面に対するメリジオナル像面の傾きを算出するとともに、S方向デフォーカス特性に基づいて光軸Lまたは光軸Lに直交する平面に対するサジタル像面の傾きを算出する。さらに、制御部10は、メリジオナル像面の傾きとサジタル像面の傾きとに基づいて調整用レンズ3の調整量を算出する。   A first sensor 6 and a second sensor 7 are connected to the control unit 10. The control unit 10 is also connected with a chart driving mechanism 8 and a lens moving mechanism 9. As will be described below, the control unit 10 calculates the M direction MTF and the S direction MTF, as well as the M direction defocus characteristic and the S direction, which are defocus (through focus) characteristics at a specific spatial frequency in the M direction MTF. An S-direction defocus characteristic that is a defocus characteristic at a specific spatial frequency of the MTF is calculated. Further, the control unit 10 calculates the inclination of the meridional image plane with respect to the optical axis L or a plane orthogonal to the optical axis L based on the M direction defocus characteristic, and also calculates the optical axis L or the light based on the S direction defocus characteristic. The inclination of the sagittal image plane with respect to the plane orthogonal to the axis L is calculated. Further, the control unit 10 calculates the adjustment amount of the adjustment lens 3 based on the inclination of the meridional image plane and the inclination of the sagittal image plane.

なお、本形態のレンズ調芯装置1では、逆投影法を用いてMTFを求めている。すなわち、レンズ調芯装置1では、調整後のレンズ2が搭載されるカメラ等における撮像素子の撮像面にチャート5が配置され、調整後のレンズ2が搭載されるカメラ等における被写体面に第1センサ6および第2センサ7が配置されている。そのため、レンズ調芯装置1では、第1センサ6および第2センサ7の配置スペースを大きくすることができ、第1センサ6および第2センサ7として、汎用性品のセンサを使用することが可能になる。また、レンズ調芯装置1では、第1センサ6および第2センサ7として、比較的分解能の低いセンサを使用することが可能になる。   In the lens alignment device 1 of the present embodiment, the MTF is obtained using the back projection method. That is, in the lens aligning device 1, the chart 5 is arranged on the imaging surface of the imaging device in the camera or the like in which the adjusted lens 2 is mounted, and the first in the subject surface in the camera or the like in which the adjusted lens 2 is mounted. A sensor 6 and a second sensor 7 are arranged. Therefore, in the lens alignment device 1, the arrangement space of the first sensor 6 and the second sensor 7 can be increased, and a versatile sensor can be used as the first sensor 6 and the second sensor 7. become. In the lens alignment device 1, it is possible to use sensors having relatively low resolution as the first sensor 6 and the second sensor 7.

(レンズ調芯装置の制御方法)
図5は、図1に示すレンズ調芯装置1の制御方法の一例を説明するためのフローチャートである。図6は、図5に示すMTF算出ステップS1でのMTFの算出方法を説明するための概念図である。図7は、図5に示すMTF算出ステップS1でのMTFの算出方法およびデフォーカス特性算出ステップS3でのデフォーカス特性の算出方法を説明するための概念図である。図8は、図5に示す像面傾き算出ステップS4でのメリジオナル像面の傾きおよびサジタル像面の傾きの算出方法を説明するための概念図である。図9は、図5に示すレンズ調整量算出ステップS6でのレンズ調整量の算出方法を説明するための概念図である。
(Control method of lens alignment device)
FIG. 5 is a flowchart for explaining an example of a control method of the lens alignment apparatus 1 shown in FIG. FIG. 6 is a conceptual diagram for explaining the MTF calculation method in the MTF calculation step S1 shown in FIG. FIG. 7 is a conceptual diagram for explaining the MTF calculation method in the MTF calculation step S1 and the defocus characteristic calculation method in the defocus characteristic calculation step S3 shown in FIG. FIG. 8 is a conceptual diagram for explaining a method of calculating the inclination of the meridional image plane and the inclination of the sagittal image plane in the image plane inclination calculation step S4 shown in FIG. FIG. 9 is a conceptual diagram for explaining a lens adjustment amount calculation method in the lens adjustment amount calculation step S6 shown in FIG.

以上のように構成されたレンズ調芯装置1では、たとえば、図5に示すフローにしたがって制御が行われ、レンズ2の調芯が行われる。すなわち、まず、調整用レンズ3が固定されたレンズ保持部材16をレンズ移動機構9に取り付ける等の所定の初期設定が行われた後、制御部10は、チャート駆動機構8によって、チャート5を光軸方向へ走査させて光軸方向におけるレンズ2とチャート5との距離を変化させながら、4個の第1センサ6のそれぞれで検出されるコントラストに基づいて4個のM方向MTFを算出するとともに、4個の第2センサ7のそれぞれで検出されるコントラストに基づいて4個のS方向MTFを算出する(ステップS1)。具体的には、制御部10は、たとえば、数μmピッチでチャート5を光軸方向へ走査させながら、各走査位置で、4箇所に配置される第1センサ6の配置位置のそれぞれにおけるM方向MTFと、4箇所に配置される第2センサ7の配置位置のそれぞれにおけるS方向MTFとを算出する。   In the lens alignment device 1 configured as described above, for example, control is performed according to the flow shown in FIG. That is, first, after predetermined initial settings such as attaching the lens holding member 16 to which the adjustment lens 3 is fixed to the lens moving mechanism 9 are performed, the control unit 10 uses the chart driving mechanism 8 to light the chart 5. While scanning in the axial direction and changing the distance between the lens 2 and the chart 5 in the optical axis direction, four M-direction MTFs are calculated based on the contrast detected by each of the four first sensors 6. Four S-direction MTFs are calculated based on the contrast detected by each of the four second sensors 7 (step S1). Specifically, for example, the control unit 10 scans the chart 5 in the optical axis direction at a pitch of several μm, and at each scanning position, the M direction at each of the four sensor positions disposed at the four positions. The MTF and the S direction MTF at each of the arrangement positions of the second sensors 7 arranged at four locations are calculated.

このM方向MTFおよびS方向MTFの算出は、チャート5の所定距離の走査が終了するまで行われる。すなわち、ステップS2においてチャート5の走査が終了したと判断されるまで、制御部10は、M方向MTFおよびS方向MTFを算出する。   The calculation of the M direction MTF and the S direction MTF is performed until scanning of a predetermined distance in the chart 5 is completed. That is, the control unit 10 calculates the M direction MTF and the S direction MTF until it is determined in step S2 that the scanning of the chart 5 has been completed.

ステップS1では、制御部10には、たとえば、図6(A)に示すような波形の信号が第1センサ6や第2センサ7から入力される。すなわち、チャート5の第1光透過部5aの小径円弧部5dに対応する位置、あるいは、チャート5の第2光透過部5bの時計方向側の径方向直線部5hに対応する位置を境界にして明暗が切り替わる図6(A)のような波形の信号が第1センサ6や第2センサ7から制御部10に入力される。制御部10は、第1センサ6や第2センサ7から入力された信号を微分し(図6(B)参照)、その後、FFT(高速フーリエ変換)による周波数分析を行って、図6(C)に示すようなMTF(M方向MTFおよびS方向MTF)を算出する。   In step S <b> 1, for example, a signal having a waveform as shown in FIG. 6A is input to the control unit 10 from the first sensor 6 or the second sensor 7. That is, the position corresponding to the small-diameter arc portion 5d of the first light transmitting portion 5a of the chart 5 or the position corresponding to the radial straight portion 5h on the clockwise side of the second light transmitting portion 5b of the chart 5 is used as a boundary. A signal having a waveform as shown in FIG. 6A in which the brightness is switched is input from the first sensor 6 or the second sensor 7 to the control unit 10. The control unit 10 differentiates the signals input from the first sensor 6 and the second sensor 7 (see FIG. 6B), and then performs frequency analysis by FFT (Fast Fourier Transform) to obtain FIG. MTF (M direction MTF and S direction MTF) as shown in FIG.

また、ステップS1では、上述のように、数μmピッチでチャート5を光軸方向へ走査させながら、各走査位置でM方向MTFとS方向MTFとを算出する。すなわち、図7に示すように、光軸方向におけるチャート5の位置(チャート位置)を変化させながら、各チャート位置でのMTFを算出する。   In step S1, as described above, the M direction MTF and the S direction MTF are calculated at each scanning position while the chart 5 is scanned in the optical axis direction at a pitch of several μm. That is, as shown in FIG. 7, the MTF at each chart position is calculated while changing the position (chart position) of the chart 5 in the optical axis direction.

その後、制御部10は、ステップS1で算出されたM方向MTFのそれぞれに基づいて特定の空間周波数fにおけるレンズ2のデフォーカス特性であるM方向デフォーカス特性を算出するとともに、ステップS1で算出されたS方向MTFのそれぞれに基づいて特定の空間周波数fにおけるレンズ2のデフォーカス特性であるS方向デフォーカス特性を算出する(ステップS3)。すなわち、制御部10は、図7に示すように、特定の空間周波数fにおけるチャート位置とコントラストとの関係を示すデフォーカス特性(M方向デフォーカス特性およびS方向デフォーカス特性)を算出する。   Thereafter, the control unit 10 calculates an M-direction defocus characteristic that is a defocus characteristic of the lens 2 at a specific spatial frequency f based on each of the M-direction MTFs calculated in step S1, and is calculated in step S1. Based on each of the S direction MTFs, an S direction defocus characteristic that is a defocus characteristic of the lens 2 at a specific spatial frequency f is calculated (step S3). That is, as shown in FIG. 7, the control unit 10 calculates defocus characteristics (M-direction defocus characteristics and S-direction defocus characteristics) indicating the relationship between the chart position and contrast at a specific spatial frequency f.

具体的には、制御部10は、ステップS1において各チャート位置のそれぞれで算出された4個のM方向MTFのそれぞれに基づいて特定の空間周波数fにおける4個のM方向デフォーカス特性を算出するとともに、ステップS1において各チャート位置のそれぞれで算出された4個のS方向MTFのそれぞれに基づいて4個のS方向デフォーカス特性を算出する。すなわち、4箇所に配置される第1センサ6の配置位置のそれぞれにおけるM方向デフォーカス特性と、4箇所に配置される第2センサ7の配置位置のそれぞれにおけるS方向デフォーカス特性とを算出する。   Specifically, the control unit 10 calculates four M-direction defocus characteristics at a specific spatial frequency f based on each of the four M-direction MTFs calculated at each chart position in step S1. At the same time, four S-direction defocus characteristics are calculated based on the four S-direction MTFs calculated at the respective chart positions in step S1. That is, the M-direction defocus characteristics at the respective positions of the first sensors 6 arranged at four locations and the S-direction defocus characteristics at the respective positions of the second sensors 7 arranged at four locations are calculated. .

なお、特定の空間周波数fは、レンズ2の仕様に基づいて制御部10で任意に設定することが可能となっている。たとえば、レンズ2に高い解像度が要求される場合には、比較的高い空間周波数fが設定され、レンズ2に高い解像度が要求されない場合には、比較的低い空間周波数fが設定される。   The specific spatial frequency f can be arbitrarily set by the control unit 10 based on the specifications of the lens 2. For example, when a high resolution is required for the lens 2, a relatively high spatial frequency f is set, and when a high resolution is not required for the lens 2, a relatively low spatial frequency f is set.

その後、制御部10は、ステップS3で算出された4個のM方向デフォーカス特性のそれぞれに基づいて光軸Lまたは光軸Lに直交する平面に対するメリジオナル像面(M像面)の傾きを算出するとともに、ステップS3で算出された4個のS方向デフォーカス特性のそれぞれに基づいて光軸Lまたは光軸Lに直交する平面に対するサジタル像面(S像面)の傾きを算出する(ステップS4)。   Thereafter, the control unit 10 calculates the inclination of the meridional image plane (M image plane) with respect to the optical axis L or a plane orthogonal to the optical axis L based on each of the four M-direction defocus characteristics calculated in step S3. At the same time, the inclination of the sagittal image plane (S image plane) with respect to the optical axis L or a plane orthogonal to the optical axis L is calculated based on each of the four S-direction defocus characteristics calculated in step S3 (step S4). ).

すなわち、制御部10は、4箇所に配置される第1センサ6の配置位置のそれぞれにおけるM方向デフォーカス特性からM像面の傾きを算出し、4箇所に配置される第2センサ7の配置位置のそれぞれにおけるS方向デフォーカス特性からS像面の傾きを算出する。具体的には、制御部10は、図8に示すように、それぞれのデフォーカス特性のピーク位置(すなわち、最も焦点が合う位置)のずれΔZに基づいて、M像面の傾きおよびS像面の傾きを算出する。すなわち、制御部10は、4個のM方向デフォーカス特性のピーク位置のずれΔZに基づいてM像面の傾きを算出し、4個のS方向デフォーカス特性のピーク位置のずれΔZに基づいてS像面の傾きを算出する。   That is, the control unit 10 calculates the inclination of the M image plane from the M-direction defocus characteristics at the positions of the first sensors 6 arranged at the four locations, and arranges the second sensors 7 arranged at the four locations. The inclination of the S image plane is calculated from the S direction defocus characteristics at each position. Specifically, as shown in FIG. 8, the control unit 10 determines the inclination of the M image plane and the S image plane based on the deviation ΔZ of the peak position of each defocus characteristic (that is, the most focused position). Is calculated. That is, the control unit 10 calculates the inclination of the M image plane based on the peak position shift ΔZ of the four M-direction defocus characteristics, and based on the peak position shift ΔZ of the four S-direction defocus characteristics. The inclination of the S image plane is calculated.

その後、制御部10は、ステップS4で算出されたM像面の傾きおよびS像面の傾きが所定の規格を満足しているか否かを判断する(ステップS5)。たとえば、制御部10は、M像面の傾きおよびS像面の傾きが所定の規格値以下であるか否か、あるいは、M像面の傾きとS像面の傾きとの差が所定の規格値以下であるか否かを判断する。   Thereafter, the control unit 10 determines whether or not the inclination of the M image plane and the inclination of the S image plane calculated in step S4 satisfy a predetermined standard (step S5). For example, the control unit 10 determines whether or not the inclination of the M image plane and the inclination of the S image plane are equal to or less than a predetermined standard value, or the difference between the inclination of the M image plane and the inclination of the S image plane is a predetermined standard. It is determined whether or not it is less than or equal to the value.

ステップS4で算出されたM像面の傾きおよびS像面の傾きが所定の規格を満足している場合には、所定のチャート位置(規格位置)におけるMTFを算出し、算出されたMTFが所定の規格を満足しているか否かを判断する(ステップS8)。具体的には、所定のチャート位置において、4箇所に配置される第1センサ6の配置位置のそれぞれでのM方向MTFと、4箇所に配置される第2センサ7の配置位置のそれぞれでのS方向MTFとを算出して、これらのMTFが所定の規格を満足しているか否かを判断する。MTFが所定の規格を満足している場合には、接着等によってレンズバレル15に調整用レンズ3が固定されるとともに、レンズ移動機構9からレンズ保持部材16が取り外されて、レンズ2の調芯が終了する。また、MTFが所定の規格を満足していない場合には、このレンズ2は不良品と判断される。そのため、たとえば、レンズバレル15に調整用レンズ3が固定されずに、レンズ移動機構9からレンズ保持部材16が取り外されて、レンズ2の調芯が終了する。   When the inclination of the M image plane and the inclination of the S image plane calculated in step S4 satisfy a predetermined standard, the MTF at a predetermined chart position (standard position) is calculated, and the calculated MTF is predetermined. It is determined whether or not the standard is satisfied (step S8). Specifically, at a predetermined chart position, the M direction MTF at each of the four sensor positions disposed at four positions and the second sensor 7 disposed at each of the four positions are disposed. The S direction MTF is calculated, and it is determined whether or not these MTFs satisfy a predetermined standard. When the MTF satisfies a predetermined standard, the adjustment lens 3 is fixed to the lens barrel 15 by adhesion or the like, and the lens holding member 16 is removed from the lens moving mechanism 9 to align the lens 2. Ends. If the MTF does not satisfy a predetermined standard, the lens 2 is determined to be defective. Therefore, for example, the adjustment lens 3 is not fixed to the lens barrel 15, the lens holding member 16 is removed from the lens moving mechanism 9, and the alignment of the lens 2 is completed.

一方、ステップS4で算出されたM像面の傾きおよびS像面の傾きが所定の規格を満足していない場合には、制御部10は、ステップS4で算出されたM像面の傾きとS像面の傾きとに基づいて調整用レンズ3の調整量を算出する(ステップS6)。具体的には、制御部10は、M像面の傾きおよびS像面の傾きが所定の規格を満足するように、X方向およびY方向における調整用レンズ3の調整量を算出する。   On the other hand, when the inclination of the M image plane calculated in step S4 and the inclination of the S image plane do not satisfy a predetermined standard, the control unit 10 determines the inclination of the M image plane calculated in step S4 and the S image plane. Based on the inclination of the image plane, the adjustment amount of the adjustment lens 3 is calculated (step S6). Specifically, the control unit 10 calculates the adjustment amount of the adjustment lens 3 in the X direction and the Y direction so that the inclination of the M image plane and the inclination of the S image plane satisfy predetermined standards.

また、ステップS6では、たとえば、制御部10は、図9(A)に示すように、M像面の傾きθ1とS像面の傾きθ2とが略一致するような調整用レンズ3の調整量を算出する。あるいは、制御部10は、図9(B)に示すように、M像面の傾きθ1とS像面の傾きθ2とがバランス良く小さくなるような調整用レンズ3の調整量を算出する。すなわち、制御部10は、図9(C)に示すように、調整後のM像面の傾きθ1とS像面の傾きθ2とが略一致する調整用レンズ3の調整量R1、あるいは、M像面の傾きθ1とS像面の傾きθ2とがバランス良く小さくなる調整用レンズ3の調整量R2を算出する。すなわち、制御部10は、たとえば、M像面の傾きθ1の絶対値とS像面の傾きθ2の絶対値とが略等しくなるような調整用レンズ3の調整量を算出する。   In step S6, for example, as shown in FIG. 9A, the control unit 10 adjusts the adjustment lens 3 so that the inclination θ1 of the M image plane and the inclination θ2 of the S image plane substantially coincide with each other. Is calculated. Alternatively, as shown in FIG. 9B, the control unit 10 calculates the adjustment amount of the adjustment lens 3 so that the inclination θ1 of the M image plane and the inclination θ2 of the S image plane become small with a good balance. That is, as shown in FIG. 9C, the control unit 10 adjusts the adjustment amount R1 of the adjustment lens 3 in which the inclination θ1 of the adjusted M image plane and the inclination θ2 of the S image plane substantially coincide, or M An adjustment amount R2 of the adjustment lens 3 is calculated in which the inclination θ1 of the image plane and the inclination θ2 of the S image plane are reduced in a balanced manner. That is, for example, the control unit 10 calculates the adjustment amount of the adjustment lens 3 such that the absolute value of the inclination θ1 of the M image plane and the absolute value of the inclination θ2 of the S image plane are substantially equal.

その後、制御部10は、ステップS6で算出された調整用レンズ3の調整量に基づいて、レンズ移動機構9を駆動して、調整用レンズ3をX方向および/またはY方向へ移動させる(ステップS7)。ステップS7では、たとえば、M像面の傾きθ1とS像面の傾きθ2とが略一致するように、あるいは、M像面の傾きθ1とS像面の傾きθ2とがバランス良く小さくなるように、調整用レンズ3をX方向および/またはY方向へ移動させる。すなわち、ステップS7では、たとえば、M像面の傾きθ1の絶対値とS像面の傾きθ2の絶対値とが略等しくなるように調整用レンズ3を移動させる。   Thereafter, the control unit 10 drives the lens moving mechanism 9 based on the adjustment amount of the adjustment lens 3 calculated in step S6 to move the adjustment lens 3 in the X direction and / or the Y direction (step). S7). In step S7, for example, the inclination θ1 of the M image plane and the inclination θ2 of the S image plane substantially coincide with each other, or the inclination θ1 of the M image plane and the inclination θ2 of the S image plane become small in a balanced manner. Then, the adjustment lens 3 is moved in the X direction and / or the Y direction. That is, in step S7, for example, the adjustment lens 3 is moved so that the absolute value of the inclination θ1 of the M image plane and the absolute value of the inclination θ2 of the S image plane are substantially equal.

その後、ステップS1へ戻って、制御部10は、再度、M方向MTFおよびS方向MTFと、M方向デフォーカス特性およびS方向デフォーカス特性とを算出するとともに、M像面の傾きおよびS像面の傾きを算出して、算出されたM像面の傾きおよびS像面の傾きが所定の規格を満足しているか否かを判断する。   After that, returning to step S1, the control unit 10 again calculates the M direction MTF and the S direction MTF, the M direction defocus characteristic, and the S direction defocus characteristic, and the inclination of the M image plane and the S image plane. To determine whether the calculated inclination of the M image plane and the calculated inclination of the S image plane satisfy a predetermined standard.

なお、本形態のステップS1は、M方向MTFとS方向MTFとを算出するMTF算出ステップであり、ステップS3は、M方向デフォーカス特性とS方向デフォーカス特性とを算出するデフォーカス特性算出ステップである。また、ステップS4は、メリジオナル像面の傾きとサジタル像面の傾きとを算出する像面傾き算出ステップであり、ステップS6は、調整用レンズ3の調整量を算出するレンズ調整量算出ステップであり、ステップS7は、調整用レンズ3の調整量に基づいて調整用レンズ3を移動させるレンズ調整ステップである。   Note that step S1 in this embodiment is an MTF calculation step for calculating the M direction MTF and the S direction MTF, and step S3 is a defocus characteristic calculation step for calculating the M direction defocus characteristic and the S direction defocus characteristic. It is. Step S4 is an image plane inclination calculation step for calculating the inclination of the meridional image plane and the inclination of the sagittal image plane, and step S6 is a lens adjustment amount calculation step for calculating the adjustment amount of the adjustment lens 3. Step S7 is a lens adjustment step for moving the adjustment lens 3 based on the adjustment amount of the adjustment lens 3.

(本形態の主な効果)
以上説明したように、本形態では、レンズ調芯装置1が、チャート5と4個の第1センサ6と4個の第2センサ7とチャート駆動機構8とを備えるとともに、ステップS1でM方向MTFおよびS方向MTFを算出し、ステップS3でM方向デフォーカス特性およびS方向デフォーカス特性を算出し、ステップS4でM像面の傾きおよびS像面の傾きを算出し、ステップS6でM像面の傾きとS像面の傾きとに基づいて調整用レンズ3の調整量を算出している。そのため、本形態は、チャート5を所定の角度ピッチで回転させながら、調整用レンズ3の調整量を算出する必要がなくなり、特許文献1に記載のレンズ調芯装置と比較して、レンズ2の調芯時間を短縮することが可能になる。
(Main effects of this form)
As described above, in this embodiment, the lens alignment device 1 includes the chart 5, the four first sensors 6, the four second sensors 7, and the chart driving mechanism 8, and in step S1, the M direction. MTF and S direction MTF are calculated, M direction defocus characteristic and S direction defocus characteristic are calculated in step S3, M image plane inclination and S image plane inclination are calculated in step S4, and M image is calculated in step S6. The adjustment amount of the adjustment lens 3 is calculated based on the inclination of the surface and the inclination of the S image plane. Therefore, in the present embodiment, it is not necessary to calculate the adjustment amount of the adjustment lens 3 while rotating the chart 5 at a predetermined angular pitch. Compared with the lens alignment device described in Patent Document 1, the lens 2 is The alignment time can be shortened.

本形態では、チャート5にレンズ2のMTFを求めるための所定のパターンが形成されている。そのため、共通のチャート5を用いて、様々な空間周波数におけるM方向デフォーカス値およびS方向デフォーカス値を算出することができる。したがって、調芯されるレンズ2に要求される特性に応じて、パターンの異なるチャート5を用意したり、パターンの異なるチャート5をセットする必要がなくなる。その結果、本形態では、レンズ調芯装置1の構成を簡素化することができ、また、チャート5のセッティング作業を簡素化することができる。   In this embodiment, a predetermined pattern for obtaining the MTF of the lens 2 is formed on the chart 5. Therefore, the M direction defocus value and the S direction defocus value at various spatial frequencies can be calculated using the common chart 5. Therefore, it is not necessary to prepare a chart 5 having a different pattern or to set a chart 5 having a different pattern according to the characteristics required for the lens 2 to be aligned. As a result, in this embodiment, the configuration of the lens alignment device 1 can be simplified, and the setting operation of the chart 5 can be simplified.

特に本形態では、チャート5の第1光透過部5aの小径円弧部5dによって、M方向MTFを求めるための第1のエッジパターンが形成され、チャート5の第2光透過部5bの時計方向側の径方向直線部5hによって、S方向MTFを求めるための第2のエッジパターンが形成されている。そのため、たとえば、チャート5に形成されるスリット等を利用してM方向MTFやS方向MTFを求める場合と比較して、第1センサ6上や第2センサ7上に形成されるチャート5のパターンの像の焦点がぼやけていても、第1センサ6や第2センサ7でコントラストを適切に検出することが可能になる。   In particular, in this embodiment, a first edge pattern for obtaining the M direction MTF is formed by the small-diameter arc portion 5d of the first light transmission portion 5a of the chart 5, and the clockwise direction side of the second light transmission portion 5b of the chart 5 A second edge pattern for obtaining the S direction MTF is formed by the radial linear portion 5h. Therefore, for example, the pattern of the chart 5 formed on the first sensor 6 or the second sensor 7 is compared with the case where the M direction MTF or the S direction MTF is obtained using the slits or the like formed on the chart 5. Even if the focus of the image is blurred, the first sensor 6 and the second sensor 7 can appropriately detect the contrast.

本形態では、4個の第1センサ6のうちの2個の第1センサ6は、その長手方向とX方向とが略平行になるように配置され、残りの2個の第1センサ6は、その長手方向とY方向とが略平行になるように配置されている。また、4個の第2センサ7は、その長手方向がX方向およびY方向に対して略45°傾くように配置されている。また、レンズ移動機構9は、X方向とY方向とへ調整用レンズ3を移動させるように構成されている。そのため、本形態では、4個の第1センサ6および4個の第2センサ7での検出結果に基づいて、調整用レンズ3の移動量を比較的容易に算出することができる。   In this embodiment, two of the four first sensors 6 are arranged such that the longitudinal direction and the X direction are substantially parallel, and the remaining two first sensors 6 are The longitudinal direction and the Y direction are arranged substantially parallel to each other. Further, the four second sensors 7 are arranged such that the longitudinal direction thereof is inclined by approximately 45 ° with respect to the X direction and the Y direction. The lens moving mechanism 9 is configured to move the adjustment lens 3 in the X direction and the Y direction. For this reason, in this embodiment, the movement amount of the adjustment lens 3 can be calculated relatively easily based on the detection results of the four first sensors 6 and the four second sensors 7.

本形態では、制御部10は、たとえば、ステップS6で、M像面の傾きθ1の絶対値とS像面の傾きθ2の絶対値とが略等しくなるような調整用レンズ3の調整量を算出し、ステップS7で、M像面の傾きθ1の絶対値とS像面の傾きθ2の絶対値とが略等しくなるように調整用レンズ3を移動させている。この場合には、M像面の傾きとS像面の傾きとのバランスを考慮した適切なレンズ2の調芯が可能になる。   In the present embodiment, for example, in step S6, the control unit 10 calculates the adjustment amount of the adjustment lens 3 such that the absolute value of the inclination θ1 of the M image plane and the absolute value of the inclination θ2 of the S image plane are substantially equal. In step S7, the adjustment lens 3 is moved so that the absolute value of the inclination θ1 of the M image plane is substantially equal to the absolute value of the inclination θ2 of the S image plane. In this case, it is possible to appropriately align the lens 2 in consideration of the balance between the inclination of the M image plane and the inclination of the S image plane.

なお、図9(A)に示すように、M像面の傾きθ1とS像面の傾きθ2とが略一致するように調整用レンズ3が調整される場合には、調芯後のレンズ2が搭載されるカメラ等では、たとえば、M像面の傾きθ1およびS像面の傾きθ2と撮像素子の撮像面の傾きとが略一致するように、カメラ等に撮像素子が搭載される。また、図9(B)に示すように、M像面の傾きθ1とS像面の傾きθ2とがバランス良く小さくなるように調整用レンズ3が調整される場合には、調芯後のレンズ2が搭載されるカメラ等では、たとえば、光軸Lに対して撮像面が直交するように、カメラ等に撮像素子が搭載される。   As shown in FIG. 9A, when the adjustment lens 3 is adjusted such that the inclination θ1 of the M image plane and the inclination θ2 of the S image plane substantially coincide, Is mounted on the camera or the like so that the inclination θ1 of the M image plane and the inclination θ2 of the S image plane substantially coincide with the inclination of the imaging surface of the imaging element. Further, as shown in FIG. 9B, when the adjustment lens 3 is adjusted so that the inclination θ1 of the M image plane and the inclination θ2 of the S image plane are reduced in a balanced manner, the lens after the alignment is performed. In a camera or the like on which 2 is mounted, for example, an imaging element is mounted on the camera or the like so that the imaging surface is orthogonal to the optical axis L.

(他の実施の形態)
上述した形態では、レンズ調芯装置1は、4個の第1センサ6と4個の第2センサ7とを備えているが、レンズ調芯装置1が備える第1センサ6および第2センサ7の数は、3個以上であれば良い。すなわち、M像面の傾きおよびS像面の傾きを算出することができるように、レンズ調芯装置1が3個以上の第1センサ6および第2センサ7を備えていれば良い。
(Other embodiments)
In the embodiment described above, the lens alignment device 1 includes the four first sensors 6 and the four second sensors 7, but the first sensor 6 and the second sensor 7 included in the lens alignment device 1. The number of may be three or more. That is, the lens alignment device 1 only needs to include three or more first sensors 6 and second sensors 7 so that the inclination of the M image plane and the inclination of the S image plane can be calculated.

上述した形態では、光軸Lを中心にして略90°ピッチで4個の第1センサ6が配置されるとともに、光軸Lを中心にして略90°ピッチで第2センサ7が配置されており、レンズ調芯装置1は、光軸L上のレンズ2のデフォーカス特性の算出が可能な構成とはなっていない。この他にもたとえば、レンズ調芯装置1は、光軸L上のレンズ2のデフォーカス特性の算出が可能となるように構成されても良い。すなわち、図10、図11に示すように、光軸L上に第3のセンサ(第3センサ)26が配置され、かつ、第3センサ26に対応するようにチャート5の中心の近傍に第3の光透過部(第3光透過部)5kが形成されても良い。この場合には、第3センサ26は、たとえば、ラインセンサであり、その長手方向とX方向とが略平行になるように配置される。また、第3光透過部5kは、その一辺(エッジ)が光軸Lを通過するとともに、その四辺がX方向またはY方向と略平行になる略矩形状に形成される。   In the embodiment described above, the four first sensors 6 are arranged at a substantially 90 ° pitch with the optical axis L as the center, and the second sensors 7 are arranged at a substantially 90 ° pitch with the optical axis L as the center. Therefore, the lens alignment device 1 is not configured to be able to calculate the defocus characteristic of the lens 2 on the optical axis L. In addition to this, for example, the lens alignment device 1 may be configured to be able to calculate the defocus characteristic of the lens 2 on the optical axis L. That is, as shown in FIGS. 10 and 11, the third sensor (third sensor) 26 is arranged on the optical axis L, and the second sensor 26 is located near the center of the chart 5 so as to correspond to the third sensor 26. Three light transmission parts (third light transmission parts) 5k may be formed. In this case, the third sensor 26 is, for example, a line sensor, and is arranged so that the longitudinal direction thereof is substantially parallel to the X direction. Further, the third light transmission portion 5k is formed in a substantially rectangular shape having one side (edge) passing through the optical axis L and having four sides substantially parallel to the X direction or the Y direction.

また、この場合には、第3センサ26で検出されるコントラストに基づいて算出される光軸L上のデフォーカス特性が最良となる位置で、M像面の傾きとS像面の傾きとが略一致するように調整用レンズ3を調整することが好ましい。このようにすると、調整後のレンズ2が搭載されるカメラ等では、光軸L上のフォーカスが最良になるようにフォーカス調整を行うことで、M像面およびS像面のばらつきを最小にすることができる。   In this case, the inclination of the M image plane and the inclination of the S image plane are the positions where the defocus characteristics on the optical axis L calculated based on the contrast detected by the third sensor 26 are the best. It is preferable to adjust the adjustment lens 3 so as to substantially match. In this way, in a camera or the like on which the adjusted lens 2 is mounted, the focus adjustment is performed so that the focus on the optical axis L is the best, thereby minimizing variations in the M image plane and the S image plane. be able to.

上述した形態では、レンズ2のデフォーカス特性を算出するために、チャート5を光軸方向に移動させているが、レンズ2のデフォーカス特性を算出するために、レンズ2を光軸方向へ移動させても良いし、第1センサ6および第2センサ7を光軸方向に移動させても良い。なお、逆投影法を用いてMTFを求める場合には、第1センサ6および第2センサ7を光軸方向に移動させると、第1センサ6および第2センサ7の移動量が大きくなるため、レンズ2またはチャート5を光軸方向に移動させることが好ましい。   In the embodiment described above, the chart 5 is moved in the optical axis direction in order to calculate the defocus characteristic of the lens 2, but the lens 2 is moved in the optical axis direction in order to calculate the defocus characteristic of the lens 2. Alternatively, the first sensor 6 and the second sensor 7 may be moved in the optical axis direction. In addition, when calculating | requiring MTF using a back projection method, if the 1st sensor 6 and the 2nd sensor 7 are moved to an optical axis direction, since the movement amount of the 1st sensor 6 and the 2nd sensor 7 will become large, It is preferable to move the lens 2 or the chart 5 in the optical axis direction.

上述した形態では、レンズ移動機構9は、X方向およびY方向へ調整用レンズ3を移動させるように構成されているが、レンズ移動機構9は、Z方向へ調整用レンズ3を移動させるように構成されても良いし、光軸Lに対して調整用レンズ3を傾けるように構成されても良い。   In the embodiment described above, the lens moving mechanism 9 is configured to move the adjustment lens 3 in the X direction and the Y direction. However, the lens moving mechanism 9 moves the adjustment lens 3 in the Z direction. The adjustment lens 3 may be inclined with respect to the optical axis L.

1 レンズ調芯装置
2 レンズ
3 調整用レンズ
4 光源
5 チャート
5a 第1光透過部(第1の光の透過部)
5b 第2光透過部(第2の光の透過部)
5d 小径円弧部(第1のエッジパターン)
5h 径方向直線部(第2のエッジパターン)
6 第1センサ(第1のセンサ)
7 第2センサ(第2のセンサ)
8 チャート駆動機構(光軸方向駆動機構)
10 制御部
L 光軸
S1 MTF算出ステップ
S3 デフォーカス特性算出ステップ
S4 像面傾き算出ステップ
S6 レンズ調整量算出ステップ
S7 レンズ調整ステップ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Lens alignment apparatus 2 Lens 3 Lens for adjustment 4 Light source 5 Chart 5a 1st light transmission part (1st light transmission part)
5b Second light transmission part (second light transmission part)
5d small-diameter arc (first edge pattern)
5h Radial straight part (second edge pattern)
6 First sensor (first sensor)
7 Second sensor (second sensor)
8 Chart drive mechanism (optical axis direction drive mechanism)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Control part L Optical axis S1 MTF calculation step S3 Defocus characteristic calculation step S4 Image surface inclination calculation step S6 Lens adjustment amount calculation step S7 Lens adjustment step

Claims (8)

複数枚からなるレンズのうちの調整用レンズを調整して前記レンズの調芯を行うレンズ調芯装置において、
前記レンズに向かって光を射出する光源と、
前記レンズと前記光源との間に配置されるとともに、前記レンズのMTF(Modulation Transfer Function)を求めるための所定のパターンが形成されるチャートと、
前記レンズの光軸に直交する方向において互いに異なる3箇所以上に配置され、メリジオナル方向における前記レンズのMTFであるM方向MTFを求めるためのコントラストを検出する第1のセンサと、
前記レンズの光軸に直交する方向において互いに異なる3箇所以上に配置され、サジタル方向における前記レンズのMTFであるS方向MTFを求めるためのコントラストを検出する第2のセンサと、
前記レンズの光軸方向における前記レンズと前記チャートとの距離、または、前記第1のセンサおよび前記第2のセンサと前記レンズとの距離を変化させる光軸方向駆動機構と
前記レンズ調芯装置を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、前記光軸方向駆動機構によって、前記光軸方向における前記レンズと前記チャートとの距離、または、前記第1のセンサおよび前記第2のセンサと前記レンズとの距離を変化させながら、前記第1のセンサのそれぞれで検出されるコントラストに基づいて前記M方向MTFを算出するとともに、前記第2センサのそれぞれで検出されるコントラストに基づいて前記S方向MTFを算出し、前記M方向MTFのそれぞれに基づいて特定の空間周波数における前記レンズのデフォーカス特性であるM方向デフォーカス特性を算出するとともに、前記S方向MTFのそれぞれに基づいて前記特定の空間周波数における前記レンズのデフォーカス特性であるS方向デフォーカス特性を算出し、前記M方向デフォーカス特性のそれぞれに基づいて前記光軸または前記光軸に直交する平面に対するメリジオナル像面の傾きを算出するとともに、前記S方向デフォーカス特性のそれぞれに基づいて前記光軸または前記光軸に直交する平面に対するサジタル像面の傾きを算出し、前記メリジオナル像面の傾きと前記サジタル像面の傾きとに基づいて前記調整用レンズの調整量を算出することを特徴とするレンズ調芯装置。
In a lens alignment apparatus that adjusts an adjustment lens among a plurality of lenses to align the lens,
A light source that emits light toward the lens;
A chart that is disposed between the lens and the light source, and on which a predetermined pattern for obtaining an MTF (Modulation Transfer Function) of the lens is formed;
A first sensor for detecting a contrast for obtaining an M direction MTF, which is an MTF of the lens in the meridional direction, arranged at three or more different positions in a direction orthogonal to the optical axis of the lens;
A second sensor that is disposed at three or more different positions in a direction orthogonal to the optical axis of the lens and detects a contrast for obtaining an S direction MTF that is an MTF of the lens in a sagittal direction;
An optical axis direction drive mechanism for changing a distance between the lens and the chart in the optical axis direction of the lens, or a distance between the first sensor and the second sensor and the lens ;
A control unit for controlling the lens alignment device,
The controller changes the distance between the lens and the chart in the optical axis direction or the distance between the first sensor, the second sensor, and the lens by the optical axis direction driving mechanism. The M direction MTF is calculated based on the contrast detected by each of the first sensors, and the S direction MTF is calculated based on the contrast detected by each of the second sensors. An M-direction defocus characteristic that is a defocus characteristic of the lens at a specific spatial frequency is calculated based on each of the MTFs, and a defocus characteristic of the lens at the specific spatial frequency is calculated based on each of the S-direction MTFs. S direction defocus characteristic is calculated and each of the M direction defocus characteristics is calculated. And calculating the inclination of the meridional image plane with respect to the optical axis or a plane orthogonal to the optical axis and the sagittal image plane with respect to the optical axis or the plane orthogonal to the optical axis based on each of the S-direction defocus characteristics. And a lens alignment device that calculates an adjustment amount of the adjustment lens based on the inclination of the meridional image plane and the inclination of the sagittal image plane .
前記第1のセンサは、前記光軸を中心にして略90°ピッチで4箇所に配置され、
前記第2のセンサは、前記光軸を中心にして略90°ピッチで4箇所に配置され、
前記第1のセンサと前記第2のセンサとは、前記光軸を中心にして略45°ずれるように、前記光軸に直交する略同一平面上に配置されていることを特徴とする請求項記載のレンズ調芯装置。
The first sensors are arranged at four positions with a pitch of about 90 ° around the optical axis,
The second sensors are arranged at four positions with a pitch of about 90 ° around the optical axis,
The first sensor and the second sensor are arranged on substantially the same plane orthogonal to the optical axis so as to be shifted by approximately 45 ° about the optical axis. 1 lens centering device according.
前記チャートには、前記M方向MTFを求めるための3個以上の第1の光の透過部と、前記S方向MTFを求めるための3個以上の第2の光の透過部とが形成され、
前記所定のパターンは、前記第1の光の透過部の縁によって形成される第1のエッジパターンと、前記第2の光の透過部の縁によって形成される第2のエッジパターンとであることを特徴とする請求項1または2記載のレンズ調芯装置。
The chart includes three or more first light transmission portions for obtaining the M direction MTF and three or more second light transmission portions for obtaining the S direction MTF,
The predetermined pattern is a first edge pattern formed by an edge of the first light transmission portion and a second edge pattern formed by an edge of the second light transmission portion. lens centering device according to claim 1 or 2 wherein.
複数枚からなるレンズのMTFを求めるための所定のパターンが形成されるチャートと、前記レンズの光軸に直交する方向において互いに異なる3箇所以上に配置され、メリジオナル方向における前記レンズのMTFであるM方向MTFを求めるためのコントラストを検出する第1のセンサと、前記レンズの光軸に直交する方向において互いに異なる3箇所以上に配置され、サジタル方向における前記レンズのMTFであるS方向MTFを求めるためのコントラストを検出する第2のセンサとを備え、前記レンズのうちの調整用レンズを調整して前記レンズの調芯を行うレンズ調芯装置の制御方法であって、
前記レンズの光軸方向における前記レンズと前記チャートとの距離、または、前記第1のセンサおよび前記第2のセンサと前記レンズとの距離を変化させながら、前記第1のセンサのそれぞれで検出されるコントラストに基づいて前記M方向MTFを算出するとともに、前記第2のセンサのそれぞれで検出されるコントラストに基づいて前記S方向MTFを算出するMTF算出ステップと、
前記MTF算出ステップで算出された前記M方向MTFのそれぞれに基づいて特定の空間周波数における前記レンズのデフォーカス特性であるM方向デフォーカス特性を算出するとともに、前記MTF算出ステップで算出された前記S方向MTFのそれぞれに基づいて前記特定の空間周波数における前記レンズのデフォーカス特性であるS方向デフォーカス特性を算出するデフォーカス特性算出ステップと、
前記デフォーカス特性算出ステップで算出された前記M方向デフォーカス特性のそれぞれに基づいて前記光軸または前記光軸に直交する平面に対するメリジオナル像面の傾きを算出するとともに、前記デフォーカス特性算出ステップで算出された前記S方向デフォーカス特性のそれぞれに基づいて前記光軸または前記光軸に直交する平面に対するサジタル像面の傾きを算出する像面傾き算出ステップと、
前記像面傾き算出ステップで算出された前記メリジオナル像面の傾きと前記サジタル像面の傾きとに基づいて前記調整用レンズの調整量を算出するレンズ調整量算出ステップとを備えることを特徴とするレンズ調芯装置の制御方法。
A chart on which a predetermined pattern for obtaining the MTF of a plurality of lenses is formed, and M, which is the MTF of the lens in the meridional direction, are arranged at three or more different positions in the direction orthogonal to the optical axis of the lens. A first sensor for detecting the contrast for obtaining the direction MTF and three or more different positions in the direction orthogonal to the optical axis of the lens, and for obtaining the S direction MTF which is the MTF of the lens in the sagittal direction A second sensor for detecting the contrast of the lens, and a method for controlling a lens alignment device that adjusts an adjustment lens of the lenses and aligns the lens,
It is detected by each of the first sensors while changing the distance between the lens and the chart in the optical axis direction of the lens, or the distance between the first sensor, the second sensor, and the lens. An MTF calculating step of calculating the M direction MTF based on the contrast of the second sensor and calculating the S direction MTF based on the contrast detected by each of the second sensors;
Based on each of the M direction MTFs calculated in the MTF calculation step, an M direction defocus characteristic that is a defocus characteristic of the lens at a specific spatial frequency is calculated, and the S calculated in the MTF calculation step is calculated. A defocus characteristic calculating step of calculating an S direction defocus characteristic which is a defocus characteristic of the lens at the specific spatial frequency based on each of the directions MTF;
An inclination of the meridional image plane with respect to the optical axis or a plane orthogonal to the optical axis is calculated based on each of the M-direction defocus characteristics calculated in the defocus characteristic calculation step, and in the defocus characteristic calculation step An image plane inclination calculating step for calculating an inclination of a sagittal image plane with respect to the optical axis or a plane orthogonal to the optical axis based on each of the calculated S-direction defocus characteristics;
A lens adjustment amount calculating step of calculating an adjustment amount of the adjustment lens based on the inclination of the meridional image plane calculated in the image plane inclination calculating step and the inclination of the sagittal image plane. Control method of lens alignment device.
前記像面傾き算出ステップでは、前記M方向デフォーカス特性のそれぞれのピーク値のずれに基づいて前記メリジオナル像面の傾きを算出し、前記S方向デフォーカス特性のそれぞれのピーク値のずれに基づいて前記サジタル像面の傾きを算出することを特徴とする請求項記載のレンズ調芯装置の制御方法。 In the image plane inclination calculation step, the inclination of the meridional image plane is calculated based on the deviation of the respective peak values of the M direction defocus characteristic, and based on the deviation of the respective peak values of the S direction defocus characteristic. 5. The method of controlling a lens aligning device according to claim 4, wherein the inclination of the sagittal image plane is calculated. 前記レンズ調整量算出ステップで算出された前記調整用レンズの調整量に基づいて前記調整用レンズを移動させるレンズ調整ステップを備え、
前記レンズ調整量算出ステップでは、前記光軸に直交する方向における前記調整用レンズの調整量を算出し、
前記レンズ調整ステップでは、前記光軸に直交する方向に前記調整用レンズを移動させることを特徴とする請求項または記載のレンズ調芯装置の制御方法。
A lens adjustment step of moving the adjustment lens based on the adjustment amount of the adjustment lens calculated in the lens adjustment amount calculation step;
In the lens adjustment amount calculation step, an adjustment amount of the adjustment lens in a direction orthogonal to the optical axis is calculated,
Wherein the lens adjustment step, according to claim 4 or 5 method of controlling the lens centering device, wherein the moving the adjusting lens in the direction perpendicular to the optical axis.
前記第1のセンサは、前記光軸を中心にして略90°ピッチで4箇所に配置され、
前記第2のセンサは、前記光軸を中心にして略90°ピッチで4箇所に配置され、
前記第1のセンサと前記第2のセンサとは、前記光軸を中心にして略45°ずれるように、前記光軸に直交する略同一平面上に配置されていることを特徴とする請求項記載のレンズ調芯装置の制御方法。
The first sensors are arranged at four positions with a pitch of about 90 ° around the optical axis,
The second sensors are arranged at four positions with a pitch of about 90 ° around the optical axis,
The first sensor and the second sensor are arranged on substantially the same plane orthogonal to the optical axis so as to be shifted by approximately 45 ° about the optical axis. 7. A method for controlling the lens aligning device according to 6 .
前記レンズ調整量算出ステップで算出された前記調整用レンズの調整量に基づいて前記調整用レンズを移動させるレンズ調整ステップを備え、
前記レンズ調整量算出ステップでは、前記光軸に対する前記メリジオナル像面の傾きの絶対値と前記光軸に対する前記サジタル像面の傾きの絶対値とが略等しくなるような前記調整用レンズの調整量を算出し、
前記レンズ調整ステップでは、前記光軸に対する前記メリジオナル像面の傾きの絶対値と前記光軸に対する前記サジタル像面の傾きの絶対値とが略等しくなるように前記調整用レンズを移動させることを特徴とする請求項からのいずれかに記載のレンズ調芯装置の制御方法。
A lens adjustment step of moving the adjustment lens based on the adjustment amount of the adjustment lens calculated in the lens adjustment amount calculation step;
In the lens adjustment amount calculating step, an adjustment amount of the adjustment lens is set such that an absolute value of the inclination of the meridional image plane with respect to the optical axis is substantially equal to an absolute value of the inclination of the sagittal image plane with respect to the optical axis. Calculate
In the lens adjustment step, the adjustment lens is moved so that the absolute value of the inclination of the meridional image plane with respect to the optical axis is substantially equal to the absolute value of the inclination of the sagittal image plane with respect to the optical axis. A method for controlling a lens aligning device according to any one of claims 4 to 7 .
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