JP5296618B2

JP5296618B2 - UV tube

Info

Publication number: JP5296618B2
Application number: JP2009156393A
Authority: JP
Inventors: 裕一中島; 宏治關; 宗和片桐
Original assignee: Azbil Corp
Current assignee: Azbil Corp
Priority date: 2009-06-30
Filing date: 2009-06-30
Publication date: 2013-09-25
Anticipated expiration: 2029-06-30
Also published as: JP2011014330A

Description

本発明は、ＵＶセンサとしての役目を果たすＵＶチューブに関する。 The present invention relates to a UV tube to serve as UV sensor.

放電管の一つであるＵＶチューブ（紫外線検出器：ＵＶセンサ）は、所定のガスを充填封止した密閉容器内に電極を配置し、電極と対向するＵＶガラスを透過して入光した所定波長域のＵＶ（紫外線）を検出している（例えば、特許文献１参照）。 A UV tube (ultraviolet ray detector: UV sensor), which is one of the discharge tubes, has electrodes arranged in a sealed container filled with a predetermined gas and sealed, and is transmitted through UV glass facing the electrodes. UV (ultraviolet rays) in the wavelength range is detected (for example, see Patent Document 1).

係るＵＶチューブは火炎検出を目的としており、天板であるＵＶガラスを介して、特定の波長域（１８５〜３１０ｎｍ）の紫外線を検出している。 Such a UV tube is intended for flame detection, and detects ultraviolet rays in a specific wavelength region (185 to 310 nm) through UV glass as a top plate.

このＵＶチューブを製造するにあたって、電極が対向配置された台座ガラスと、ＵＶガラスを備えるガラスエンベロープ（以下、「エンベロープ」とする）との接合は、バーナーの火炎をあてて台座ガラスとバルブガラスを溶融させることで行っている。 When manufacturing this UV tube, the pedestal glass with the electrodes arranged opposite to each other and the glass envelope (hereinafter referred to as “envelope”) provided with the UV glass are bonded to the base glass and the bulb glass by applying a flame of a burner. It is done by melting.

特開２００４−３７０９４号公報JP 2004-37094 A

上述の通り現在のＵＶチューブの製造工程は、購入したバルブガラスをバーナープレス工法により製作した台座ガラスとエンベロープを型に入れ、バーナーによる加熱を伴うプレス成型技術を用いて製造している。そのため、設計寸法通りに製造することが難しい。 As described above, the current UV tube manufacturing process is performed by using a press molding technique that involves heating a burner by placing a pedestal glass and an envelope manufactured by a burner press method into a mold. Therefore, it is difficult to manufacture as designed.

また、本来、このＵＶ感度波長域を外れる蛍光灯などの外乱光は取り入れたくない光であるが、従来の構造では、エンベロープの側面や台座ガラスの下面からも、検出対象である所定波長域を外れる蛍光灯などの外乱光を少なからず取り込んでしまうため、擬似放電による性能低下が問題となっている。 In addition, disturbance light such as a fluorescent lamp that deviates from this UV sensitivity wavelength range is not desired to be taken in, but in the conventional structure, the predetermined wavelength range to be detected is also detected from the side surface of the envelope and the bottom surface of the pedestal glass. Since disturbance light such as falling fluorescent lamps is taken in, there is a problem of performance degradation due to pseudo discharge.

本発明の目的は、外乱光の影響によるクロストークの発生を防止することで、出力特性が低下しないようにしたＵＶチューブを提供することにある。 An object of the present invention is to provide a UV tube in which output characteristics are not deteriorated by preventing occurrence of crosstalk due to the influence of ambient light.

上述した課題を解決するために、本発明の請求項１に係るＵＶチューブは、
正電極板及び負電極板と、前記正電極板及び負電極板を対向配置させた状態で備えた台座ガラスと、所望の波長域の光を透過させる光線透過部と、前記正電極板及び負電極板の周縁を囲むように前記台座ガラスの外周縁部に接合される側面ガラスとを有したＵＶチューブであって、
前記台座ガラスは、所定の粉ガラスを成形後、焼き固めたタブレット成形体からなり、
前記台座ガラスは、特定の波長域の光に対応する補色で着色されており、特定の波長域の光を吸収することを特徴としている。 In order to solve the above-described problem, a UV tube according to claim 1 of the present invention is
A positive electrode plate and a negative electrode plate; a pedestal glass provided in a state in which the positive electrode plate and the negative electrode plate are arranged to face each other; a light transmission portion that transmits light in a desired wavelength region; and the positive electrode plate and the negative electrode plate. A UV tube having a side glass bonded to the outer peripheral edge of the pedestal glass so as to surround the periphery of the electrode plate,
The pedestal glass after forming a predetermined powder glass, Ri Do tablet moldings baked,
The pedestal glass is colored with a complementary color corresponding to light in a specific wavelength range, and absorbs light in a specific wavelength range .

ＵＶチューブがこのような構成を有することで、外乱光の影響による擬似火炎を通常の火炎として誤検出するのを防止し、本来検出すべき紫外線のみから火炎検出を正しく行う。
即ち、台座ガラスが、所定の粉ガラスを成形後に焼き固めたタブレット成形体からなり、特定の波長域の光に対応する補色で着色されているので、外乱光が台座ガラス側からＵＶチューブ内に入り込むのを遮光できると共に、側面ガラスからＵＶチューブ内に透過した外乱光も台座ガラスで反射しないようにすることで、クロストーク（ＵＶチューブの外部から内部に入光した外乱光がＵＶチューブ内において反射して電極に達し、ノイズの原因となること）の影響を抑えることができる。 By having such a configuration of the UV tube, it is possible to prevent erroneous detection of a pseudo flame due to the influence of ambient light as a normal flame, and to correctly perform flame detection only from ultraviolet rays that should be detected.
That is, the base glass, Ri Do tablet moldings baked after molding a predetermined powder glass, Runode be colored by a complementary color corresponding to the light of a specific wavelength range, disturbance light in the UV tubes from the base glass side together can be shielded from entering the disturbance light transmitted into the UV tubes from the side glass also possible not reflected by the base glass, ambient light enters the inside from the cross-talk (in UV tube outside the UV tube In this case, it is possible to suppress the influence of the reflection and reaching the electrode and causing noise.

また、台座ガラスを特定の波長域の光に対応する補色で着色することで、外乱光が台座ガラスからＵＶチューブに入り込むのを遮光すると共に、ＵＶチューブに悪影響を及ぼす可能性の高い特定の波長の光であって台座ガラス以外の部分からＵＶチューブ内に入り込んだ光を台座ガラスで効率的に吸収して電極板に到達するのを確実に阻止する。これによって、クロストークの発生をより確実に阻止する。 In addition, by coloring the pedestal glass with a complementary color corresponding to light in a specific wavelength range, the ambient light is blocked from entering the UV tube from the pedestal glass, and at a specific wavelength that is highly likely to adversely affect the UV tube. The light that has entered the UV tube from a portion other than the pedestal glass is efficiently absorbed by the pedestal glass and reliably prevented from reaching the electrode plate. This more reliably prevents the occurrence of crosstalk.

また、本発明の請求項２に係るＵＶチューブは、請求項１に記載のＵＶチューブにおいて、
前記台座ガラスと側面ガラスとの接合部に接合用ガラス成形体を介在させ、
前記接合用ガラス成形体は、特定の波長域の光に対応する補色で着色されており、特定の波長域の光を吸収することを特徴としている。 Further, UV tube according to claim 2 of the present invention, in the UV tube of claim 1,
Interposing a glass molding for joining at the joint between the base glass and the side glass,
The glass molding for bonding is colored with a complementary color corresponding to light in a specific wavelength range, and absorbs light in a specific wavelength range.

台座ガラスと側面ガラスとの接合部に介在した接合用ガラス成形体をこのような特定の波長域の光に対応する補色で着色することで、外乱光がこの接合用ガラス成形体の部分からＵＶチューブ内に入り込むのを遮光すると共に、この接合用ガラス成形体以外の部分からＵＶチューブに入り込んだＵＶチューブに悪影響を及ぼす特定の波長域の光をこの接合用ガラスの部分で即座に吸収し、クロストークが生じるのを防止する。 By coloring the glass molding for bonding interposed at the joint between the pedestal glass and the side glass with a complementary color corresponding to light in such a specific wavelength range, disturbance light is emitted from the portion of the glass molding for bonding to UV. While shielding from entering the tube , light in a specific wavelength range that adversely affects the UV tube that has entered the UV tube from a part other than the bonding glass molded body is immediately absorbed by the bonding glass part, Prevent crosstalk from occurring.

また、本発明の請求項３に係るＵＶチューブは、請求項１又は２に記載のＵＶチューブにおいて、
前記光線透過部と側面ガラスとの接合部に接合用ガラス成形体を介在させ、
前記接合用ガラス成形体は特定の波長域の光に対応する補色で着色されており、特定の波長域の光を吸収することを特徴としている。 Further, UV tube according to claim 3 of the present invention, in the UV tube according to claim 1 or 2,
Interposing a glass molding for joining at the joint between the light transmitting part and the side glass,
The bonding glass molded body is colored with a complementary color corresponding to light in a specific wavelength range, and absorbs light in a specific wavelength range.

光線透過部と側面ガラスとの接合部に介在した接合用ガラス成形体をこのような特定の波長域の光に対応する補色で着色することで、外乱光がこの接合用ガラス成形体の部分からＵＶチューブ内に入り込むのを遮光すると共に、この接合用ガラス成形体以外の部分からＵＶチューブに入り込んだＵＶチューブに悪影響を及ぼす特定の波長域の光をこの接合用ガラスの部分で即座に吸収し、クロストークが生じるのを防止する。 By coloring the bonding glass molded body interposed at the joint between the light transmitting portion and the side glass with a complementary color corresponding to light in such a specific wavelength range, disturbance light can be emitted from the portion of the bonding glass molded body. In addition to shielding the UV tube from entering the UV tube , the portion of the bonding glass immediately absorbs light in a specific wavelength range that adversely affects the UV tube that has entered the UV tube from a portion other than the bonding glass molded body. To prevent crosstalk.

また、本発明の請求項４に係るＵＶチューブは、請求項１乃至３の何れかに記載のＵＶチューブにおいて、
前記側面ガラスは特定の波長域の光に対応する補色で着色されており、特定の波長域の光を吸収することを特徴としている。 Further, UV tube according to claim 4 of the present invention, in the UV tube according to any one of claims 1 to 3,
The side glass is colored with a complementary color corresponding to light in a specific wavelength range, and absorbs light in a specific wavelength range.

側面ガラスをこのような特定の波長域の光に対応する補色で着色することで、外乱光が側面ガラスの部分からＵＶチューブ内に入り込むのを遮光すると共に、側面ガラス以外の部分からＵＶチューブ内に入り込んだＵＶチューブに悪影響を及ぼす特定の波長域の光を側面ガラスで即座に吸収し、クロストークが生じるのを防止する。 By coloring the side glass with a complementary color corresponding to light in such a specific wavelength range, disturbance light is prevented from entering the UV tube from the side glass part, and from the part other than the side glass inside the UV tube . The side glass immediately absorbs light in a specific wavelength range that adversely affects the UV tube that has entered, and prevents crosstalk from occurring.

また、本発明の請求項５に係るＵＶチューブは、請求項１乃至４の何れかに記載のＵＶチューブにおいて、
前記特定の波長域の光は蛍光灯の光であり、前記補色は緑色であることを特徴としている。 Further, UV tube according to claim 5 of the present invention, in the UV tube according to any one of claims 1 to 4,
The light of the specific wavelength region is light of a fluorescent lamp, and the complementary color is green.

ＵＶチューブに悪影響を及ぼす可能性の高い外部からの外乱光の一つに蛍光灯の光が挙げられるが、蛍光灯の光の補色である緑色で台座ガラスや接合用ガラス成形体を着色することで、このような蛍光灯の光がＵＶチューブの内部に入り込んでＵＶチューブの特性を低下させるのを確実に防止する。 One of the external disturbance light that has a high possibility of adversely affecting the UV tube is the light of the fluorescent lamp, but the pedestal glass and the bonding glass molded body are colored with green, which is the complementary color of the fluorescent lamp light. in the light of such a fluorescent lamp is surely prevented from degrading the characteristics of the UV tube enters the interior of the UV tube.

本発明によると、内部に入り込もうとする外乱光を遮光すると共に、仮に内部に外乱光が入り込んでもこれを吸収してクロストークの発生を防止することで、出力特性が低下しないようにしたＵＶチューブを提供することができる。 According to the present invention, a UV tube which blocks disturbance light trying to enter inside and absorbs disturbance light inside to prevent the occurrence of crosstalk, thereby preventing the output characteristics from deteriorating. Can be provided.

本発明に係るＵＶチューブの一実施形態を示す説明図であって、当該ＵＶチューブを長手方向に沿って切断した断面図である。An explanatory view showing an embodiment form status of UV tube according to the present invention, is a cross-sectional view of the relevant UV tube along the longitudinal direction. 図１に対応する図であり、図１に示したＵＶチューブの第１変形例を示す断面図である。It is a figure corresponding to FIG. 1, and is sectional drawing which shows the 1st modification of the UV tube shown in FIG. 図１に対応する図であり、図１に示したＵＶチューブの第２変形例を示す断面図である。It is a figure corresponding to FIG. 1, and is sectional drawing which shows the 2nd modification of the UV tube shown in FIG. 光の波長と補色との関係を示す一覧表である。It is a table | surface which shows the relationship between the wavelength of light, and a complementary color.

以下、本発明に係るＵＶチューブの一実施形態について図面に基づいて説明する。図１は、本発明の一実施形態としてのＵＶチューブを示す説明図であって、当該ＵＶチューブを長手方向に沿って切断した断面図である。 It will be described with reference to the drawings attached to one exemplary form status of UV tube according to the present invention. FIG. 1 is an explanatory view showing a UV tube as an embodiment of the present invention, and is a cross-sectional view of the UV tube cut along the longitudinal direction.

本発明の一実施形態に係るＵＶチューブ１００は、エンベロープ１１０と、エンベロープ１１０に接合用ガラス成形体１７０を介して接合された台座ガラス１２０と、台座ガラス１２０を貫通する６本の電極支持ピン１３０と、６本の電極支持ピン１３０（図１では４本のみ図示）を介して台座ガラス１２０に支持された電極板１４０と、台座ガラス１２０からエンベロープ１１０と反対側に突出した排気管１５０とを有している。 The UV tube 100 according to an embodiment of the present invention includes an envelope 110, a pedestal glass 120 bonded to the envelope 110 via a bonding glass molded body 170, and six electrode support pins 130 penetrating the pedestal glass 120. And an electrode plate 140 supported by the pedestal glass 120 via six electrode support pins 130 (only four are shown in FIG. 1), and an exhaust pipe 150 protruding from the pedestal glass 120 to the opposite side of the envelope 110. Have.

エンベロープ１１０は、本実施形態ではホウ珪酸ガラスでできており、ＵＶチューブ１００の組立て前の状態で一方の端部が天板（光線透過部）１１１として塞がれた円筒形状を有している。そして、天板１１１の部分は、ガラス内からＦｅ成分を除去して紫外線を透過させるようになっており、ＵＶチューブ１００を設置した状態で、天板１１１が例えばボイラの火炎等に向けられ、火炎の発する紫外線をエンベロープ内に入光するようになっている。また、エンベロープ１１０の側面ガラス（周側壁）１１２は、通常のホウ珪酸ガラスでできており、この部分からエンベロープ内に紫外線が入光し難くなっている。 The envelope 110 is made of borosilicate glass in the present embodiment, and has a cylindrical shape in which one end is closed as a top plate (light transmission portion) 111 before the UV tube 100 is assembled. . And, the top plate 111 is configured to remove the Fe component from the glass and transmit ultraviolet rays, and with the UV tube 100 installed, the top plate 111 is directed to, for example, a boiler flame, Ultraviolet light emitted from a flame enters the envelope. Further, the side glass (circumferential side wall) 112 of the envelope 110 is made of ordinary borosilicate glass, and it is difficult for ultraviolet rays to enter the envelope from this portion.

接合用ガラス成形体１７０は、ＵＶチューブ１００の製造前の状態でリング状をなし、エンベロープ１１０及び台座ガラス１２０の材質であるホウ珪酸ガラスよりも軟化温度が低いガラスでできている。 The bonding glass molded body 170 is formed in a ring shape before the UV tube 100 is manufactured, and is made of glass having a softening temperature lower than that of the borosilicate glass that is the material of the envelope 110 and the base glass 120.

台座ガラス１２０は、エンベロープ１１０と同様にホウ珪酸ガラスでできており、粉ガラスを焼成させて全体的に白色となるように形成されている。即ち、台座ガラス１２０は、粉ガラスをプレス成型し、仮焼成してバインダを除去し、ハーメチックによりコバールピンからなる電極支持ピン１３０と一体化する。このような台座ガラス１２０の白色化によって、台座ガラス１２０からエンベロープ内に外乱光や検出すべき火炎以外の紫外線が入光してこれを疑似火炎として検出するのを阻止している。即ち、台座ガラス１２０は、これらの外乱光や検出すべき火炎以外の紫外線を遮光する役目も果たしている。 The pedestal glass 120 is made of borosilicate glass, like the envelope 110, and is formed so as to be entirely white by firing powdered glass. That is, the pedestal glass 120 is formed by press-molding powder glass, pre-baked to remove the binder, and integrated with the electrode support pins 130 made of Kovar pins by hermetic. By the whitening of the pedestal glass 120, disturbance light and ultraviolet rays other than the flame to be detected enter the envelope from the pedestal glass 120 and are prevented from being detected as a pseudo flame. That is, the pedestal glass 120 also plays a role of shielding these disturbance light and ultraviolet light other than the flame to be detected.

なお、台座ガラス１２０は、後述するように特定の波長域の光に対応する補色で着色されており、特定の波長域の光を吸収するようになっていても良い。 In addition, the pedestal glass 120 is colored with a complementary color corresponding to light in a specific wavelength region as described later, and may absorb light in a specific wavelength region.

台座ガラス１２０の形状は全周に亘って複数の段部が形成された厚さの厚い略円板状をなしており、台座ガラス１２０の周縁近傍に周方向等間隔をなして６本の電極支持ピン１３０が貫通している。なお、６本の電極支持ピン１３０の軸線と台座ガラス１２０の中心軸線は平行となっている。 The shape of the pedestal glass 120 is a thick disc having a plurality of steps formed over the entire circumference, and six electrodes are formed in the vicinity of the periphery of the pedestal glass 120 at equal intervals in the circumferential direction. The support pin 130 penetrates. The axis of the six electrode support pins 130 and the center axis of the pedestal glass 120 are parallel.

また、台座ガラス１２０の中央部分には貫通孔１２１が形成され、この貫通孔１２１の図中下部が拡径されて排気管端部付き当て用凹み部１２２を形成し、排気管１５０の端部１５１が当接している。なお、排気管１５０の端部１５１は炉内での焼成等で台座ガラス１２０に接合されている。 In addition, a through hole 121 is formed in the central portion of the pedestal glass 120, and a lower portion of the through hole 121 in the figure is expanded to form an abutting recess 122 with an exhaust pipe end, and an end of the exhaust pipe 150. 151 is in contact. The end 151 of the exhaust pipe 150 is joined to the pedestal glass 120 by firing in a furnace or the like.

また、台座ガラス１２０の外周の段部のうち図中下側の段部にはリング状の接合用ガラス成形体１７０がＵＶチューブ１００の組立て前に載せられ、その接合用ガラス成形体１７０の上にエンベロープ１１０が載せられている。なお、接合用ガラス成形体１７０も、台座ガラス１２０と同様に粉ガラスを焼成してできており、台座ガラス１２０とエンベロープ１１０を接合する前は全体的に白色となっている。そして、台座ガラス１２０とエンベロープ１１０は、接合用ガラス成形体１７０を介して後述する接合方法で接合され、この部分は封着されている。 Also, a ring-shaped bonding glass molded body 170 is placed on the lower step in the figure in the outer peripheral step of the base glass 120 before the UV tube 100 is assembled. An envelope 110 is placed on the surface. In addition, the glass molding 170 for joining is also made by baking powder glass similarly to the base glass 120, and is white overall before joining the base glass 120 and the envelope 110. And the base glass 120 and the envelope 110 are joined by the joining method mentioned later through the glass molding 170 for joining, and this part is sealed.

電極支持ピン１３０は、台座ガラス１２０の周縁近傍に円周方向に亘って等間隔隔てた６本の電極支持ピンからなり、上述したように台座ガラス１２０を貫通した状態で設けられている。そして、６本の電極支持ピン１３０のうち３本の電極支持ピン１３１（図中２本のみ図示）が周方向互いに等間隔隔てて台座ガラス１２０に設けられ、かつ一方の電極（アノード電極１４１）の支持体及び出力取り出し用端子としての役目を果たしている。また、残りの３本の電極支持ピン１３２（図中２本のみ図示）はアノード電極支持用の電極支持ピン１３１の周方向入れ違いの位置に等間隔をなして台座ガラス１２０に設けられており、他方の電極（カソード電極１４２）の支持体及び出力取り出し用端子としての役目も果たしている。そして、アノード電極支持用の電極支持ピン１３１は、カソード電極支持用の電極支持ピン１３２よりも図１中若干上方に突出しており、このアノード電極支持用の電極支持ピン１３１を介して網状の円板からなるアノード電極１４１がレーザー溶接等により固定されている。また、カソード電極支持用の電極支持ピン１３２の端部には円板状のカソード電極１４２がレーザー溶接等によって固定されている。なお、カソード電極１４２には、ここでは図示しないがアノード電極支持用の電極支持ピン１３１と干渉しないように切欠きが設けられている。 The electrode support pins 130 are composed of six electrode support pins that are equidistantly spaced in the circumferential direction near the periphery of the pedestal glass 120, and are provided in a state of penetrating the pedestal glass 120 as described above. Of the six electrode support pins 130, three electrode support pins 131 (only two in the figure are shown) are provided on the pedestal glass 120 at equal intervals in the circumferential direction, and one electrode (the anode electrode 141). It serves as a support and an output extraction terminal. Further, the remaining three electrode support pins 132 (only two in the figure are shown) are provided on the pedestal glass 120 at equal intervals in positions in the circumferential direction of the electrode support pins 131 for supporting the anode electrode, It also serves as a support for the other electrode (cathode electrode 142) and an output output terminal. The electrode support pin 131 for supporting the anode electrode protrudes slightly upward in FIG. 1 from the electrode support pin 132 for supporting the cathode electrode, and a net-like circle is interposed through the electrode support pin 131 for supporting the anode electrode. An anode electrode 141 made of a plate is fixed by laser welding or the like. A disc-shaped cathode electrode 142 is fixed to the end of the electrode support pin 132 for supporting the cathode electrode by laser welding or the like. The cathode electrode 142 is notched here, but is provided with a notch so as not to interfere with the electrode support pin 131 for supporting the anode electrode.

以上の構成によって、アノード電極１４１とカソード電極１４２とは互いに所定間隔隔てた状態で対向配置されている。なお、電極支持ピン１３０は、電極固定部をなす端部の位置が設計寸法通りになるように台座ガラス１２０に所定の温度で焼成されている。これによって、アノード電極１４１とカソード電極１４２との間隔は電極支持ピン１３０を台座ガラス１２０に焼成してアノード電極１４１とカソード電極１４２をレーザー溶接等により固定した台座ガラスアッシー１２０Ａの状態においては電極間の間隔が厳密に管理されている。 With the above configuration, the anode electrode 141 and the cathode electrode 142 are arranged to face each other with a predetermined distance therebetween. The electrode support pin 130 is fired at a predetermined temperature on the pedestal glass 120 so that the position of the end portion forming the electrode fixing portion is as designed. Thus, the gap between the anode electrode 141 and the cathode electrode 142 is such that the electrode support pin 130 is baked on the pedestal glass 120 and the anode electrode 141 and the cathode electrode 142 are fixed by laser welding or the like in the state of the pedestal glass assembly 120A. The interval is strictly controlled.

排気管１５０は、エンベロープ１１０及び台座ガラス１２０と同様にホウ珪酸ガラスでできており、細長の筒体からなり、一方の端部１５１が台座ガラス１２０に上述したようなバーナーの火炎であぶって接合されると共に、他方の端部１５２が閉塞されている。このように他方の端部１５２が閉塞されることで、エンベロープ１１０、接合用ガラス成形体１７０、台座ガラス１２０、及び排気管１５０によって内部に空間１００Ｃが画成され、この空間内にネオン（Ｎｅ）及び水素（Ｈ_２）からなるペニングガスが封入されている。なお、ＵＶチューブ１００の製造前では、排気管１５０の他方の端部１５２は開口され、製造中にこの空間内の空気をそのペニングガスで置換するようになっている。 The exhaust pipe 150 is made of borosilicate glass like the envelope 110 and the pedestal glass 120 and is formed of an elongated cylindrical body. One end portion 151 of the exhaust pipe 150 is joined to the pedestal glass 120 by the flame of the burner as described above. At the same time, the other end 152 is closed. By closing the other end 152 in this way, a space 100C is defined inside by the envelope 110, the bonding glass molded body 170, the pedestal glass 120, and the exhaust pipe 150, and neon (Ne) is formed in this space. ) And hydrogen (H ₂ ) penning gas is enclosed. Before the manufacture of the UV tube 100, the other end 152 of the exhaust pipe 150 is opened, and the air in this space is replaced with the Penning gas during the manufacture.

続いて、上述したＵＶチューブ１００の製造工程について説明する。最初に台座ガラス１２０を製造する。この台座ガラス１２０の製造にあたっては、ホウ珪酸ガラスからなる粉ガラスを台座ガラス成形型に入れてプレス成型後に仮焼成する。そして、６本の仮焼成した電極支持ピン１３０を仮焼成した台座ガラス１２０に挿入し、台座ガラス１２０及び電極支持ピン１３０を加熱して焼成し、台座ガラス１２０及び電極支持ピン１３０を一体化させる。この工程において、台座ガラス１２０の部分は白色に形成され、この部分を紫外線及び他の波長の外乱光が透過できないようなる。即ち、ボタンステム１２０の全体に遮光特性をもたせる。 Then, the manufacturing process of the UV tube 100 mentioned above is demonstrated. First, the base glass 120 is manufactured. In manufacturing the pedestal glass 120, powder glass made of borosilicate glass is put into a pedestal glass mold and pre-baked after press molding. Then, the six pre-fired electrode support pins 130 are inserted into the pre-fired base glass 120, and the base glass 120 and the electrode support pins 130 are heated and fired to integrate the base glass 120 and the electrode support pins 130. . In this step, the portion of the pedestal glass 120 is formed in white, and ultraviolet rays and disturbance light of other wavelengths cannot be transmitted through this portion. That is, the entire button stem 120 has a light shielding characteristic.

この際、電極支持ピン１３０のアノード電極支持用の電極支持ピン１３１がカソード電極支持用の電極支持ピン１３２よりも電極間の間隔に対応する所定の突き出し量だけ突出させるようにして一体化させる。 At this time, the electrode support pins 131 for supporting the anode electrode of the electrode support pins 130 are integrated so as to protrude from the electrode support pins 132 for supporting the cathode electrode by a predetermined protrusion amount corresponding to the distance between the electrodes.

次いで、電極支持ピン１３０の電極取り付け側端部は、カソード電極１４２をそのアノード電極干渉防止用の切欠き部を介してアノード電極支持用の電極支持ピン１３１と干渉しないようにカソード電極１４２に取り付け、レーザー溶接等で固定する。 Next, the electrode attachment side end of the electrode support pin 130 is attached to the cathode electrode 142 so that the cathode electrode 142 does not interfere with the electrode support pin 131 for supporting the anode electrode via the notch for preventing the anode electrode interference. Fix with laser welding.

次いで、アノード電極支持用の電極支持ピン１３１にアノード電極１４１をレーザー溶接等で取り付ける。これによってアノード電極１４１とカソード電極１４２との間は設計通りの間隔が維持されるようになっている。この段階で台座ガラスアッシー１２０Ａが製造される。 Next, the anode electrode 141 is attached to the electrode support pin 131 for supporting the anode electrode by laser welding or the like. As a result, the designed gap is maintained between the anode electrode 141 and the cathode electrode 142. At this stage, the base glass assembly 120A is manufactured.

そして、台座ガラス１２０に排気管１５０の一方の端部１５１を嵌め込む。続いて、台座ガラス１２０の排気管１５０を嵌め込んだ部分を後述するように図示しない治具で固定して炉内で焼成して、両者を接合する。 Then, one end 151 of the exhaust pipe 150 is fitted into the base glass 120. Subsequently, the portion into which the exhaust pipe 150 of the pedestal glass 120 is fitted is fixed with a jig (not shown) and fired in a furnace as will be described later, and both are joined.

続いて、ここでは図示しない治具にエンベロープ１１０を図１とは上下逆の方向で組み付ける。即ち、最初に天板１１１を下に向けた状態のエンベロープ１１０を治具のＵＶチューブ組立て収容部に収容する。そして、エンベロープ１１０の上側に位置する開口部１１２ａに接合用ガラス成形体１７０を載せ、更に台座ガラス１２０を図１とは上下逆の方向で接合用ガラス成形体１７０に載せる。 Subsequently, the envelope 110 is assembled to a jig (not shown) in a direction opposite to that in FIG. That is, the envelope 110 with the top plate 111 facing downward is first accommodated in the UV tube assembly accommodating portion of the jig. Then, the bonding glass molded body 170 is placed on the opening 112a located on the upper side of the envelope 110, and the pedestal glass 120 is further placed on the bonding glass molded body 170 in the direction opposite to that of FIG.

治具にはこのようなＵＶチューブ組立て収容部が多数形成されており、それぞれのＵＶチューブ組立て収容部に上述の手順でＵＶチューブ１００の各部品を組み込む。そして、ＵＶチューブ１００の部品をこの治具に組み込みを終えた後、加熱炉に治具ごと入れて治具ごと加熱する。この加熱に際して、加熱炉の温度は接合用ガラス成形体１７０が溶融して台座ガラス１２０とエンベロープ１１０との間を封着する温度まで加熱する。本実施形態では、例えば６５０℃まで加熱炉内の温度を高める。 A large number of such UV tube assembly accommodating portions are formed in the jig, and each part of the UV tube 100 is incorporated in each UV tube assembly accommodating portion in the above-described procedure. Then, after the components of the UV tube 100 are assembled into the jig, the jig is put into a heating furnace and heated together. At the time of this heating, the temperature of the heating furnace is heated to a temperature at which the bonding glass molded body 170 is melted and the space between the base glass 120 and the envelope 110 is sealed. In the present embodiment, the temperature in the heating furnace is increased to, for example, 650 ° C.

６５０℃まで加熱すると、本実施形態では接合用ガラス成形体１７０は軟化するが、台座ガラス１２０やエンベロープ１１０の軟化温度である７５０℃には達していないので、これら台座ガラス１２０やエンベロープ１１０には熱的な悪影響を与えずに済む。これによって台座ガラス１２０のエンベロープ１１０との接合部近傍を貫通する電極支持ピン近傍の部分が軟化することなく、エンベロープ１１０と台座ガラス１２０との接合時に電極支持ピン１３０と台座ガラス１２０との寸法関係にも悪影響を与えることがない。なお、接合用ガラス成形体１７０も粉ガラスを焼成した白色ガラスとしてできているので、加熱して軟化させても白色のままとなり、外乱光や検出すべき火炎以外の紫外線をこの部分で遮光するようになっている。 When heated to 650 ° C., the bonding glass molded body 170 is softened in this embodiment, but has not reached 750 ° C., which is the softening temperature of the pedestal glass 120 and the envelope 110. There is no need to adversely affect the heat. Accordingly, the portion near the electrode support pin passing through the vicinity of the joint portion of the pedestal glass 120 with the envelope 110 is not softened, and the dimensional relationship between the electrode support pin 130 and the pedestal glass 120 when the envelope 110 and the pedestal glass 120 are joined. There is no adverse effect. Since the glass molding for bonding 170 is also made of white glass obtained by baking powder glass, it remains white even when heated and softened, and this part shields ambient light and ultraviolet light other than the flame to be detected. It is like that.

その結果、電極支持ピン１３０の端部に取り付けられたアノード電極１４１及びカソード電極１４２の間隔も設計寸法通りに維持され、ＵＶチューブ１００の感度特性を低下させることがない。 As a result, the distance between the anode electrode 141 and the cathode electrode 142 attached to the end of the electrode support pin 130 is also maintained as designed, and the sensitivity characteristic of the UV tube 100 is not deteriorated.

続いて、窒素雰囲気中の加熱炉においてエンベロープ１１０と台座ガラス１２０を接合したＵＶチューブ１００を外部に取り出し、後工程で排気管１５０の端部開口部からＵＶチューブ内の空間の空気を抜いてガスを封入する。このガスは、上述した通りのペニングガスである。そして、排気管１５０の、電極支持ピンより突き出た部分で排気管１５０をバーナーの火炎であぶる。ＵＶチューブ内は外部雰囲気より負圧になっているので、バーナーで加熱した部分の溶けたガラスが収束してこの部分が閉塞される。これによって、ＵＶチューブ１００の製造を完了する。 Subsequently, the UV tube 100 in which the envelope 110 and the pedestal glass 120 are joined in a heating furnace in a nitrogen atmosphere is taken out to the outside, and the air in the space in the UV tube is extracted from the end opening of the exhaust pipe 150 in a subsequent process. Enclose. This gas is the Penning gas as described above. Then, the exhaust pipe 150 is covered with a burner flame at a portion of the exhaust pipe 150 protruding from the electrode support pin. Since the inside of the UV tube is under a negative pressure from the outside atmosphere, the melted glass of the portion heated by the burner converges and this portion is closed. Thereby, the manufacture of the UV tube 100 is completed.

以上の通り、本実施形態では、台座ガラス１２０が所定の粉ガラスを成形後に焼き固めたタブレット成形体からなるので、台座ガラス側から進入する外乱光を確実に吸収できると共に、側面ガラス１１２から透過する外乱光も台座ガラス１２０で吸収することで、クロストーク（ＵＶチューブの外部から内部に入光した外乱光が電極に達してノイズの原因となること）の影響を抑えることができる。 As described above, in the present embodiment, since the pedestal glass 120 is formed of a tablet molded body that is baked and hardened after molding a predetermined powder glass, ambient light entering from the pedestal glass side can be reliably absorbed and transmitted from the side glass 112. The disturbance light to be absorbed is also absorbed by the pedestal glass 120, so that the influence of crosstalk (disturbance light entering the inside from the outside of the UV tube reaches the electrode and causes noise) can be suppressed.

また、台座ガラス１２０の電極支持ピン１３０が貫通した部分を台座ガラス１２０とエンベロープ１１０との接合時に熱で変形させることがない。その結果、アノード電極１４１とカソード電極１４２との間隔を台座ガラスアッシー１２０Ａとして組み立てたままの状態に維持することができ、ＵＶチューブ製造後においてもこれら電極間の設計寸法通りの間隔を維持することができる。 Further, the portion of the pedestal glass 120 through which the electrode support pins 130 penetrate is not deformed by heat when the pedestal glass 120 and the envelope 110 are joined. As a result, the distance between the anode electrode 141 and the cathode electrode 142 can be maintained as assembled as the pedestal glass assembly 120A, and the distance between these electrodes can be maintained as designed even after the UV tube is manufactured. Can do.

ここで、本実施形態の修正例として、ＵＶチューブが擬似火炎として誤検出する可能性の最も高い蛍光灯の光からなる外乱光であってＵＶチューブ内に入り込んだ外乱光によるクロストークの発生を防止するために、台座ガラス１２０をタブレット化し、蛍光灯の波長域の光を吸収するように着色しても良い。この際、着色したタブレットは、粉ガラスに着色を与える金属とバインダーを添加してプレス成形後、７５０℃で仮焼成（バインダー除去）して製造する。その後、このタブレットに電極支持ピン１３０を配置し、１０００℃で焼成することで電極支持ピン１３０を固定して台座ガラス１２０と電極支持ピン１３０を一体化させる。添加する金属は、透過させたい波長域の光の補色あるいは吸収させたい波長域の光の補色となるように適時選定する。特に、本修正例のように外乱光としてＵＶチューブに最も悪影響を与え易い蛍光灯の光（３８０〜４３５ｎｍ）を積極的に吸収したい場合は、緑色となるようにＶ（バナジウム）金属を添加する。 Here, as a modification example of the present embodiment, generation of crosstalk due to disturbance light composed of fluorescent lamp light that is most likely to be erroneously detected as a pseudo flame by the UV tube and entering the UV tube. In order to prevent this, the pedestal glass 120 may be tableted and colored so as to absorb light in the wavelength region of the fluorescent lamp. At this time, the colored tablet is manufactured by adding a metal that gives color to the powdered glass and a binder, press-molding, and pre-baking (removing the binder) at 750 ° C. Then, the electrode support pin 130 is arrange | positioned to this tablet, the electrode support pin 130 is fixed by baking at 1000 degreeC, and the base glass 120 and the electrode support pin 130 are integrated. The metal to be added is appropriately selected so as to be a complementary color of light in the wavelength range desired to be transmitted or a complementary color of light in the wavelength range desired to be absorbed. In particular, when it is desired to actively absorb fluorescent light (380 to 435 nm) that is most likely to have an adverse effect on the UV tube as disturbance light as in this modified example, V (vanadium) metal is added so as to be green. .

なお、後述するように必要に応じて補色によりＴｉ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｍｏ、Ｒｕ、Ｐｔ、Ｕなどを添加すれば良い。 As will be described later, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Mo, Ru, Pt, U, and the like may be added by complementary colors as necessary.

また、エンベロープ１１０と台座ガラス１２０を接合する際に介在させる接合用ガラス成形体１７０にも同様に緑色の着色をすることで、ＵＶチューブ内に入り込んだ蛍光灯の光をこの部分で吸収させ、クロストークの発生をより確実に阻止することができる。 In addition, the glass molding for joining 170 interposed when joining the envelope 110 and the pedestal glass 120 is similarly colored in green to absorb the light of the fluorescent lamp that has entered the UV tube at this part, The occurrence of crosstalk can be more reliably prevented.

続いて、上述した実施形態の他の変形例について説明する。なお、上述した実施形態と同等の構成については、対応する符号を付して詳細な説明を省略する。この変形例は第１変形例及び第２変形例からなる。 Subsequently, another modification of the above-described embodiment will be described. In addition, about the structure equivalent to embodiment mentioned above, a corresponding code | symbol is attached | subjected and detailed description is abbreviate | omitted. This modification includes a first modification and a second modification.

図２は、図１に対応する図であり、図１に示したＵＶチューブの第１変形例を示す断面図である。第１変形例は、上述した実施形態のようにエンベロープ２１０と台座ガラス２２０との間に接合用ガラス成形体２７０が介在していることに加えて、排気管２５０と台座ガラス２２０との間にも接合用ガラス成形体２８０が介在している。後者の接合用ガラス成形体２８０は、内径が排気管２５０の内径と同等で外径が台座ガラス２２０の排気管取り付け用凹み部２２２の内径と合致した円環状成形体２８１と、この円環状成形体２８１に一端が当接し、排気管２５０の外径と同一の外径を有する円筒状成形体２８２からなっている。接合用ガラス成形体２８０を構成する円環状成形体２８１と円筒状成形体２８２はそれぞれ粉ガラスを焼成してできているので、全体が白色となり、紫外線や外乱光を遮光するようになっている。 2 is a cross-sectional view corresponding to FIG. 1 and showing a first modification of the UV tube shown in FIG. In the first modification, in addition to the bonding glass molded body 270 being interposed between the envelope 210 and the pedestal glass 220 as in the above-described embodiment, the first modification is provided between the exhaust pipe 250 and the pedestal glass 220. Also, a glass molded body 280 for bonding is interposed. The latter glass molding for bonding 280 has an annular molded body 281 whose inner diameter is equal to the inner diameter of the exhaust pipe 250 and whose outer diameter matches the inner diameter of the exhaust pipe mounting recess 222 of the base glass 220, and this annular molding. One end of the body 281 is in contact with the body 281 and the cylindrical body 282 has the same outer diameter as that of the exhaust pipe 250. Since the annular molded body 281 and the cylindrical molded body 282 constituting the bonding glass molded body 280 are each made by firing powdered glass, the whole is white and shields ultraviolet rays and disturbance light. .

なお、この第１変形例に係るＵＶチューブ２００を製造するにあたって、上述の実施形態と異なる製造プロセスとしては、電極支持ピン２３０を台座ガラス２２０に固定しかつ電極支持ピン２３０の端部にアノード電極２４１とカソード電極２４２を取り付けてなる台座ガラスアッシー２２０Ａと、エンベロープ２１０と、台座ガラス２２０との接合工程において、排気管２５０を台座ガラス２２０に接合するようになっていることにある。 In manufacturing the UV tube 200 according to the first modification, as a manufacturing process different from the above-described embodiment, the electrode support pin 230 is fixed to the pedestal glass 220 and the anode electrode is formed at the end of the electrode support pin 230. The exhaust pipe 250 is joined to the pedestal glass 220 in the joining process of the pedestal glass assembly 220A to which the 241 and the cathode electrode 242 are attached, the envelope 210, and the pedestal glass 220.

即ち、このＵＶチューブ２００の具体的製造方法としては、台座ガラス２２０に電極支持ピン２３０を挿入して台座ガラス２２０の電極支持ピン挿入部をバーナーの火炎であぶって両者を一体化させ、電極支持ピン２３０の先端にアノード電極２４１とカソード電極２４２をレーザー溶接等で取り付けた段階で台座ガラスアッシー２２０Ａを構成する点が上述の実施形態と異なっている。 That is, as a specific manufacturing method of the UV tube 200, the electrode support pin 230 is inserted into the pedestal glass 220, the electrode support pin insertion portion of the pedestal glass 220 is blown with a flame of a burner, and the two are integrated to form an electrode support. The point which comprises the base glass assembly 220A in the stage which attached the anode electrode 241 and the cathode electrode 242 to the front-end | tip of the pin 230 by laser welding etc. differs from the above-mentioned embodiment.

ＵＶチューブ２００を製造するにあたって、ＵＶチューブ製造用治具のＵＶチューブ収容用凹み部に、図２とは上下逆の方向でエンベロープ２１０を収容し、エンベロープ２１０の開口部に接合用ガラス成形体２７０を載せ、この接合用ガラス成形体２７０の上に図２とは上下逆の方向で台座ガラスアッシー２２０Ａを載せ、台座ガラス２２０の排気管取り付け用凹み部２２２に円環状成形体２８１を載せると共に、一端部に円筒状成形体２８２を嵌めた排気管２５０を付き当てる。 In manufacturing the UV tube 200, the envelope 210 is accommodated in the UV tube housing recess of the UV tube manufacturing jig in a direction opposite to that of FIG. 2, and the bonding glass molded body 270 is formed in the opening of the envelope 210. 2, the base glass assembly 220 </ b> A is placed on the bonding glass formed body 270 in the direction opposite to that of FIG. 2, and the annular formed body 281 is mounted on the exhaust pipe mounting recess 222 of the base glass 220. An exhaust pipe 250 fitted with a cylindrical molded body 282 is attached to one end.

ＵＶチューブ製造用治具に設けられた複数のＵＶチューブ収容凹み部の全てにこのようなＵＶチューブ２００を構成する各部品を配置した後、ＵＶチューブ製造用治具を加熱炉に入れ、上述の実施形態と同様に約６５０℃で所定時間加熱する。これによって、エンベロープ２１０と台座ガラス２２０との間の接合用ガラス成形体２７０が軟化してエンベロープ２１０と台座ガラス２２０との間が封着されると共に、台座ガラス２２０と排気管２５０との間の接合用ガラス成形体２８０が軟化して台座ガラス２２０と排気管２５０との間が封着される。 After each component constituting such a UV tube 200 is placed in all of the plurality of UV tube housing recesses provided in the UV tube manufacturing jig, the UV tube manufacturing jig is placed in a heating furnace. It heats for about a predetermined time at about 650 degreeC similarly to embodiment. As a result, the glass molding 270 for bonding between the envelope 210 and the pedestal glass 220 is softened to seal between the envelope 210 and the pedestal glass 220 and between the pedestal glass 220 and the exhaust pipe 250. The bonding glass formed body 280 is softened and the space between the base glass 220 and the exhaust pipe 250 is sealed.

なお、台座ガラス２２０と排気管２５０との間の接合用ガラス成形体２８０は円環状成形体２８１と円筒状成形体２８２の２つの成形体でできていたが、これらを一体化した接合用ガラス成形体としても良い。しかしながら、加熱によりこの部分を溶融して一体化するので、前者の方が成形コスト上有利である。 In addition, although the glass molding body 280 for joining between the base glass 220 and the exhaust pipe 250 was made of two molded bodies of the annular molded body 281 and the cylindrical molded body 282, the glass for joining in which these were integrated. It may be a molded body. However, since this part is melted and integrated by heating, the former is more advantageous in terms of molding cost.

ここで、接合用ガラス成形体２８０は、上述したように台座ガラス２２０と排気管２５０を接合する前の段階で粉ガラスを焼成して白色となっている。これによって、ＵＶチューブの外部から台座ガラス２２０と排気管２５０との間を通ってＵＶチューブの内部に外乱光が入り込むのを阻止する。なお、台座ガラス２２０が、所定の粉ガラスを成形後に焼き固めたタブレット成形体からなるので、外乱光が台座ガラス２２０を介してＵＶチューブ内に入り込むのを確実に防止できると共に、側面ガラス２１２を透過して入り込んだ外乱光も台座ガラス２２０及び接合用ガラス成形体２８０で吸収することで、クロストーク（ＵＶチューブの外部から内部に入光した外乱光が反射して電極に達し、ノイズの原因となること）の影響を抑えることができる。 Here, as described above, the bonding glass formed body 280 is white by baking powdered glass at a stage before the base glass 220 and the exhaust pipe 250 are bonded. This prevents ambient light from entering the UV tube from the outside of the UV tube through the space between the pedestal glass 220 and the exhaust pipe 250. In addition, since the pedestal glass 220 is made of a tablet molded body obtained by molding a predetermined powdered glass after being molded, it is possible to reliably prevent ambient light from entering the UV tube through the pedestal glass 220, and to form the side glass 212. The disturbance light that has entered through is absorbed by the pedestal glass 220 and the bonding glass molded body 280, so that the crosstalk (disturbance light that has entered from the outside of the UV tube to the inside is reflected and reaches the electrode, causing noise. Can be reduced.

なお、本変形例の修正例として、台座ガラス２２０及び接合用ガラス成形体２８０をＵＶチューブ内に入り込んだ特定の波長の外乱光を吸収する補色で着色しているのがより好ましい。この場合、外乱光が蛍光灯の光とすると、一般に波長領域が４００ｎｍ〜６５０ｎｍであり、補色として緑色で着色されている。外乱光が蛍光灯の光の場合、このような補色とする理由は上述の実施形態と同様であるので、その詳細な説明を省略する。 As a modification of this modification, it is more preferable that the base glass 220 and the bonding glass molded body 280 are colored with a complementary color that absorbs disturbance light having a specific wavelength that has entered the UV tube. In this case, if the disturbance light is the light of a fluorescent lamp, the wavelength region is generally 400 nm to 650 nm, and is colored green as a complementary color. When the disturbance light is a fluorescent lamp light, the reason for the complementary color is the same as in the above-described embodiment, and thus detailed description thereof is omitted.

続いて、上述の実施形態の第２変形例について説明する。図３は、図１に対応する図であり、図１に示したＵＶチューブの第２変形例を示す断面図である。第２変形例は、上述した第１変形例のようにエンベロープ３１０と台座ガラス３２０との間に接合用ガラス成形体３７０が介在すると共に、排気管３５０と台座ガラス３２０との間にも接合用ガラス成形体３８０が介在していることに加えて、エンベロープ３１０が円板状の天板３１１と円筒状の側方周壁３１２からなり、この天板３１１と側方周壁の間にリング状の接合用ガラス成形体３９０が介在されている点で上述の実施形態及びその第１変形例と構成が異なっている。 Then, the 2nd modification of the above-mentioned embodiment is demonstrated. FIG. 3 is a view corresponding to FIG. 1 and a cross-sectional view showing a second modification of the UV tube shown in FIG. In the second modified example, a bonding glass molded body 370 is interposed between the envelope 310 and the pedestal glass 320 as in the first modified example described above, and also for bonding between the exhaust pipe 350 and the pedestal glass 320. In addition to the interposition of the glass molded body 380, the envelope 310 includes a disk-shaped top plate 311 and a cylindrical side peripheral wall 312, and a ring-shaped joint is formed between the top plate 311 and the side peripheral wall. The structure differs from the above-described embodiment and the first modification thereof in that the glass molded body 390 is interposed.

そして、本変形例において特定の波長域の光をなす外乱光を蛍光灯の光とすると、蛍光灯の光は、一般に波長領域が４００ｎｍ〜６５０ｎｍの光であり、側面ガラス３１２は、補色として緑色で着色されている。 If the disturbance light that forms light in a specific wavelength range in this modification is the light of a fluorescent lamp, the fluorescent lamp light is generally light having a wavelength range of 400 nm to 650 nm, and the side glass 312 is green as a complementary color. It is colored with.

なお、リング状の接合用ガラス成形体３９０は、粉ガラスを焼成して白色となっている。これによって、ＵＶチューブ３００の外部から台座ガラス３２０と排気管３５０との間を通ってＵＶチューブ内に外乱光や紫外線が入り込むのを遮光する。また、側面ガラス３１２は、特定の波長域の光に対応する補色で着色されており、特定の波長域の光を吸収するようになっている。 Note that the ring-shaped bonding glass molded body 390 is white by baking powdered glass. As a result, ambient light and ultraviolet rays are blocked from entering the UV tube from the outside of the UV tube 300 through the pedestal glass 320 and the exhaust pipe 350. The side glass 312 is colored with a complementary color corresponding to light in a specific wavelength region, and absorbs light in a specific wavelength region.

そして、この第２変形例に係るＵＶチューブ３００を製造するにあたって、上述の実施形態及び第１変形例と異なる工程としては、ＵＶチューブ製造用治具のＵＶチューブ収容用凹み部に、図３とは上下逆の方向でエンベロープ３１０の天板（光線透過部）３１１を収容し、この天板上にリング状の接合用ガラス成形体３９０を載せ、この接合用ガラス成形体３９０の上に緑色に着色した側面ガラス（側方周壁）３１２を載せ、粉ガラスからなり、焼成後に白色化する接合用ガラス成形体３７０を側面ガラス３１２に載せ、この接合用ガラス成形体３７０の上に上述した第１変形例と同等の台座ガラスアッシー３２０Ａを載せ、焼成後に白色化するリング状の接合用ガラス成形体３８１を台座ガラス３２０の排気管取り付け用凹み部に載せると共に、焼成後に白色化する円筒状の接合用ガラス成形体３８２を嵌めた排気管３５０を付き当てる。 Then, in manufacturing the UV tube 300 according to the second modified example, the steps different from those of the above-described embodiment and the first modified example are as follows. Accommodates the top plate (light transmission part) 311 of the envelope 310 in the upside down direction, places a ring-shaped bonding glass molding 390 on the top plate, and turns green on the bonding glass molding 390. The colored side glass (side peripheral wall) 312 is placed on the side glass 312, which is made of powdered glass and whitened after firing, and is placed on the joining glass molded body 370. A pedestal glass assembly 320A equivalent to the modified example is placed, and a ring-shaped bonding glass molded body 381 that becomes white after firing is placed on the exhaust pipe mounting recess of the pedestal glass 320. Both abut against the exhaust pipe 350 fitted with a cylindrical bonding glass molded body 382 whitening after firing.

ＵＶチューブ製造用治具の各治具構成要素にこのようなＵＶチューブ３００を構成する各部品をそれぞれ配置した後、ＵＶチューブ製造用治具を加熱炉に入れ、上述の実施形態と同様に約６５０℃で所定時間加熱する。これによって、側方周壁３１２と台座ガラス３２０との間の接合用ガラス成形体３７０が軟化して側方周壁３１２と台座ガラス３２０との間が封着され、台座ガラス３２０と排気管３５０との間の接合用ガラス成形体３８０（３８１，３８２）が軟化して台座ガラス３２０と排気管３５０との間が封着され、天板３１１と側方周壁３１２との間の接合用ガラス成形体３９０が軟化して天板３１１と側方周壁３１２との間が封着される。 After each component constituting the UV tube 300 is arranged in each jig component of the jig for manufacturing the UV tube, the jig for manufacturing the UV tube is put into a heating furnace, and about the same as in the above embodiment. Heat at 650 ° C. for a predetermined time. As a result, the glass molded body 370 for bonding between the side peripheral wall 312 and the pedestal glass 320 is softened and the space between the side peripheral wall 312 and the pedestal glass 320 is sealed, and the The intermediate glass molded body 380 (381, 382) is softened so that the space between the base glass 320 and the exhaust pipe 350 is sealed, and the glass molded body 390 for bonding between the top plate 311 and the side peripheral wall 312 is sealed. Is softened and the space between the top plate 311 and the side peripheral wall 312 is sealed.

一方、上述の第２変形例において天板３１１と側面ガラス３１２との接合部に介在された接合用ガラス成形体３９０は、例えば蛍光灯の波長の補色とされる緑色等、特定の波長域の光に対応する補色で着色されており、特定の波長域の光を吸収するようになっていると、ＵＶチューブ内に入り込んだ特定の波長の外乱光をこの補色で着色した接合用ガラス成形体３９０の部分で吸収でき、クロストークの発生をより確実に防止する。 On the other hand, the bonding glass molded body 390 interposed in the bonding portion between the top plate 311 and the side glass 312 in the second modified example described above has a specific wavelength range such as green, which is complementary to the wavelength of the fluorescent lamp. A glass molded article for bonding that is colored with a complementary color corresponding to light, and that absorbs light in a specific wavelength range, and disturbs light of a specific wavelength that has entered the UV tube with this complementary color. 390 can be absorbed, and the occurrence of crosstalk is more reliably prevented.

なお、以上の説明において、台座ガラス、側面ガラス、及び接合用ガラス成形体が上述のように構成されていることで、外乱光がＵＶチューブの外側から内部に入り込まないようになっており、仮に外乱光がＵＶチューブの内部に入り込んだとしてもこれら台座ガラス、側面ガラス、及び接合用ガラス成形体が外乱光をすぐに吸収してクロストークが生じるのを阻止するように外乱光と補色の関係なるようにこれら台座ガラス、側面ガラス、及び接合用ガラス成形体が着色されている利点を説明した。以下にこの外乱光の補色と波長との関係について説明する。 In the above description, the pedestal glass, the side glass, and the bonding glass molded body are configured as described above, so that disturbance light does not enter the inside from the outside of the UV tube. The relationship between ambient light and complementary color so that these pedestal glass, side glass, and bonding glass moldings absorb ambient light immediately and prevent crosstalk even if ambient light enters the UV tube. Thus, the advantage that the base glass, the side glass, and the glass molding for bonding are colored has been described. Hereinafter, the relationship between the complementary color of the disturbance light and the wavelength will be described.

上述の実施形態及びその各変形例においては、特定の波長域の光は、波長領域が４００ｎｍ〜６５０ｎｍの蛍光灯の光であり、補色として緑色で着色されていたが、外乱光としては蛍光灯の光の他に太陽光や白熱電球の光も考えられるので、補色によって対応すべき外乱光は、必ずしもこの波長域に限定されない。 In the above-described embodiment and each modification thereof, the light in the specific wavelength range is the light of a fluorescent lamp having a wavelength range of 400 nm to 650 nm and is colored green as a complementary color. In addition to this light, sunlight and light from an incandescent bulb are also conceivable. Therefore, disturbance light to be dealt with by complementary colors is not necessarily limited to this wavelength range.

ここで、光の波長と補色との関係は図４に示すようになっている。具体的には、波長域３８０〜４３５ｎｍ（光の色が紫）の場合の補色は緑となっており、波長域４３５〜４８０ｎｍ（光の色が青）の場合の補色は黄となっており、波長域４８０〜４９０ｎｍ（光の色が緑青）の場合の補色は橙となっている。また、波長域４９０〜５００ｎｍ（光の色が青緑）の場合の補色は赤となっており、波長域５００〜５６０ｎｍ（光の色が緑）の場合の補色は赤紫となっており、波長域５６０〜５８０ｎｍ（光の色が黄緑）の場合の補色は紫となっている。また、波長域５８０〜５９５ｎｍ（光の色が黄）の場合の補色は青となっており、波長域５９５〜６５０ｎｍ（光の色が橙）の場合の補色は緑青となっており、波長域６５０〜７８０ｎｍ（光の色が赤）の場合の補色は青緑となっている。 Here, the relationship between the wavelength of light and the complementary color is as shown in FIG. Specifically, the complementary color in the wavelength range of 380 to 435 nm (light color is purple) is green, and the complementary color in the wavelength range of 435 to 480 nm (light color is blue) is yellow. The complementary color in the wavelength range of 480 to 490 nm (light color is green and blue) is orange. The complementary color in the case of the wavelength range 490 to 500 nm (light color is blue-green) is red, and the complementary color in the wavelength range 500 to 560 nm (light color is green) is red-purple. The complementary color in the wavelength range of 560 to 580 nm (light color is yellowish green) is purple. The complementary color in the case of the wavelength range 580 to 595 nm (light color is yellow) is blue, and the complementary color in the wavelength range 595 to 650 nm (light color is orange) is patina. In the case of 650 to 780 nm (light color is red), the complementary color is blue-green.

従って、ＵＶチューブが設置されている場所を考慮して、太陽光が外乱光として入光し易い場合、白熱電球の光が外乱光として入光し易い場合、蛍光灯のうち比較的明るく点灯する光が外乱光として入光し易い場合、蛍光灯のうち比較的暗めに点灯する光が外乱光として入光し易い場合に応じて、台座ガラス、側面ガラス、及び接合用ガラスを着色する色を決めれば良い。 Therefore, in consideration of the place where the UV tube is installed, when the sunlight is likely to be incident as disturbance light, or when the light of the incandescent bulb is likely to be incident as disturbance light, the fluorescent lamp is lit relatively brightly. When light is easy to enter as disturbance light, depending on the case where light that illuminates relatively darkly among fluorescent lamps is easy to enter as disturbance light, colors for coloring the pedestal glass, side glass, and bonding glass are used. Just decide.

以上説明した本発明の効果に加えて、本発明の更なる派生効果について以下に説明する。台座ガラスとエンベロープとの接合では、従来においてはガスバーナーによる火炎での接合が一般的であった。このガスバーナーの火炎による加熱の際には、接合部とガスバーナーの火炎とが周方向に相対的に移動しなくてはならず、接合用設備の複雑化や大型化を招いていた。これに加えて、接合部が周方向全体にわたって均一に加熱溶融されるための技量が作業者に求められると同時に、火炎を使用することで設備設置場所（作業場所）の環境制限が大きくなっていた。 In addition to the effects of the present invention described above, further derivative effects of the present invention will be described below. Conventionally, the joining of the pedestal glass and the envelope is generally performed using a flame with a gas burner. When the gas burner is heated by the flame, the joining portion and the flame of the gas burner have to move relatively in the circumferential direction, resulting in complicated and large joining equipment. In addition to this, the operator is required to have the skill to heat and melt the joint part uniformly in the entire circumferential direction, and at the same time, the use of flame increases the environmental restrictions of the installation location (work place). It was.

しかしながら、本発明においては、台座ガラスやエンベロープよりも軟化温度の低い接合用ガラス成形体を用いているので、このようなガスバーナーの火炎によるＵＶチューブ一つずつの製造プロセスを加熱炉を利用したバッチ処理やリフロー加熱処理に置き換えることができ、ＵＶチューブの生産効率を飛躍的に向上させることができる。 However, in the present invention, since a glass molding for bonding having a softening temperature lower than that of the pedestal glass or envelope is used, a manufacturing process for each UV tube by the flame of such a gas burner is performed using a heating furnace. It can be replaced with batch processing or reflow heat processing, and the production efficiency of UV tubes can be dramatically improved.

ここで、ＵＶチューブの量産化を行うにあたって、現工程は各部品の接合にバーナー工程を用いているが、工程の安定化は困難を極めており、技術者のライン離れが難しいのが現実である。更に、量産化に向けたライン拡大を考慮すると、莫大な設備投資とスペース確保、生産の安定など数々の懸念点が残る。しかしながら、本発明は、バーナー工程を省略することができ、上述したメリットがかなり大きいと言える。 Here, in mass production of UV tubes, the current process uses a burner process to join parts, but it is difficult to stabilize the process and it is difficult for engineers to leave the line. . In addition, considering the expansion of the line for mass production, there are still a number of concerns such as enormous capital investment, securing space, and stable production. However, according to the present invention, the burner process can be omitted, and it can be said that the above-described merit is considerably large.

以上説明したように本発明では、粉ガラスを焼成したタブレットガラスを用いたハーメチック工法で台座ガラスを製造する。具体的には、粉ガラスをプレス成型し、仮焼成してバインダを除去し、ハーメチックによりコバールピンと一体化する。これによって、台座ガラスからの光をＵＶチューブ内に透過させることなく、さらにはクロストークを削減できるため、擬似放電による性能低下の心配がなくなる。 As described above, in the present invention, the pedestal glass is manufactured by a hermetic method using tablet glass obtained by baking powdered glass. Specifically, powder glass is press-molded, temporarily fired to remove the binder, and integrated with the Kovar pin by hermetic. As a result, the crosstalk can be further reduced without transmitting the light from the pedestal glass into the UV tube.

また、本発明においては、タブレットガラスの形態をなす白色の台座ガラスを更に着色させることにより、ＵＶセンサの更なる性能向上が見込める。これは、分子（物質）固有の色は全て吸収波長に依存しているため、使用環境に合わせた色のタブレットガラスを用いることにより、高性能なＵＶセンサを実現できるからである。 In the present invention, further improvement in the performance of the UV sensor can be expected by further coloring the white pedestal glass in the form of tablet glass. This is because all the colors unique to molecules (substances) depend on the absorption wavelength, so that a high-performance UV sensor can be realized by using a tablet glass of a color suitable for the use environment.

なお、台座ガラスをなすタブレットガラスの製造工程は、粉ガラスとバインダを混合し、プレス成型することからなる。そして、粉ガラスとバインダとの混合工程の段階で充填材を加えることにより、様々な色のタブレットガラスを製造することが可能となる。 In addition, the manufacturing process of the tablet glass which makes a base glass consists of mixing powder glass and a binder and carrying out press molding. And it becomes possible to manufacture tablet glass of various colors by adding a filler in the stage of the mixing process of powdered glass and a binder.

このようなタブレット工法を用いた粉ガラスを原料とした台座ガラスの白色化、及びこれに更なる着色工程を加えることで、ＵＶセンサの製造に関するコストダウンを達成できる。具体的には、タブレット工法の場合、加熱炉を用いた大量バッチ生産や連続炉を用いた連続生産が可能となる。これにより、設備投資、スペースの縮小などの効果が見込める。 By reducing the whiteness of the pedestal glass using powdered glass using such a tablet method as a raw material, and adding a further coloring process thereto, it is possible to achieve a cost reduction relating to the production of the UV sensor. Specifically, in the case of the tablet method, mass production using a heating furnace and continuous production using a continuous furnace are possible. As a result, it is possible to expect effects such as capital investment and space reduction.

また、電極支持ピンと台座ガラスの接合強度が格段に向上することで、品質向上が図れる。本発明の発明者が実際に成分分析を行なった結果、現行品と比較して１０倍程度の元素拡散領域を確認でき、この接合強度向上の裏付けとなった。 Moreover, quality improvement can be aimed at because the joint strength of an electrode support pin and a base glass improves markedly. As a result of actual component analysis by the inventor of the present invention, an element diffusion region of about 10 times that of the current product can be confirmed, which supports the improvement of the bonding strength.

１００ＵＶチューブ
１００Ｃ空間
１１０エンベロープ
１１１天板（光線透過部）
１１２側面ガラス（周側壁）
１１２ａ開口部
１２０台座ガラス
１２０Ａ台座ガラスアッシー
１２１貫通孔
１２２排気管端部付き当て用凹み部
１３０（１３１，１３２）電極支持ピン
１４０電極板
１４１アノード電極
１４２カソード電極
１５０排気管
１５１端部
１５２端部
１７０接合用ガラス成形体
２００ＵＶチューブ
２１０エンベロープ
２１２側面ガラス
２２０台座ガラス
２２０Ａ台座ガラスアッシー
２２２排気管取り付け用凹み部
２３０電極支持ピン
２４１アノード電極
２４２カソード電極
２５０排気管
２７０接合用ガラス成形体
２８０接合用ガラス成形体
２８１円環状成形体
２８２円筒状成形体
３００ＵＶチューブ
３１０エンベロープ
３１１天板
３１２側面ガラス（側方周壁）
３２０台座ガラス
３２０Ａ台座ガラスアッシー
３５０排気管
３７０接合用ガラス成形体
３８０（３８１，３８２）接合用ガラス成形体
３９０接合用ガラス成形体
100 UV tube 100C space 110 envelope 111 top plate (light transmission part)
112 Side glass (circumferential side wall)
112a opening 120 pedestal glass 120A pedestal glass assembly 121 through hole 122 dent portion 130 (131, 132) with exhaust pipe end electrode support pin 140 electrode plate 141 anode electrode 142 cathode electrode 150 exhaust pipe 151 end 152 end 170 Glass forming body for bonding 200 UV tube 210 Envelope 212 Side glass 220 Base glass 220A Base glass assembly 222 Exhaust pipe mounting recess 230 Electrode support pin 241 Anode electrode 242 Cathode electrode 250 Exhaust pipe 270 Bonding glass molded body 280 For bonding Glass molded body 281 Annular molded body 282 Cylindrical molded body 300 UV tube 310 Envelope 311 Top plate 312 Side glass (side peripheral wall)
320 Pedestal glass 320A Pedestal glass assembly 350 Exhaust pipe 370 Bonded glass molded body 380 (381, 382) Bonded glass molded body 390 Bonded glass molded body

Claims

A positive electrode plate and a negative electrode plate; a pedestal glass provided in a state in which the positive electrode plate and the negative electrode plate are arranged to face each other; a light transmission portion that transmits light in a desired wavelength region; and the positive electrode plate and the negative electrode plate. A UV tube having a side glass bonded to the outer peripheral edge of the pedestal glass so as to surround the periphery of the electrode plate,
The pedestal glass after forming a predetermined powder glass, Ri Do tablet moldings baked,
The said base glass is colored with the complementary color corresponding to the light of a specific wavelength range, and absorbs the light of a specific wavelength range, UV tube characterized by the above-mentioned.

Interposing a glass molding for joining at the joint between the base glass and the side glass,
2. The UV tube according to claim 1, wherein the bonding glass molded body is colored with a complementary color corresponding to light in a specific wavelength range and absorbs light in a specific wavelength range.

Interposing a glass molding for joining at the joint between the light transmitting part and the side glass,
The UV tube according to claim 1 or 2, wherein the bonding glass molded body is colored with a complementary color corresponding to light in a specific wavelength range and absorbs light in a specific wavelength range.

The UV tube according to any one of claims 1 to 3, wherein the side glass is colored with a complementary color corresponding to light of a specific wavelength range and absorbs light of a specific wavelength range.

The UV tube according to any one of claims 1 to 4 , wherein the light in the specific wavelength region is light from a fluorescent lamp, and the complementary color is green .