JP5251896B2 - Piezoelectric actuator drive device and inkjet printer - Google Patents

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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Description

本発明は、圧電アクチュエータを駆動する駆動装置、及び、インクジェットプリンタに関する。   The present invention relates to a driving device for driving a piezoelectric actuator and an ink jet printer.

従来から、圧電層の圧電変形(圧電歪ともいう)を利用して対象を駆動する圧電アクチュエータが、様々な技術分野で広く用いられている。その中でも、本願と出願人が同一の出願である特許文献1には、インクジェットヘッド用の圧電アクチュエータが開示されている。   Conventionally, piezoelectric actuators that drive an object using piezoelectric deformation (also referred to as piezoelectric strain) of a piezoelectric layer have been widely used in various technical fields. Among them, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-151867, which is the same application as the present application, discloses a piezoelectric actuator for an ink jet head.

この特許文献1の圧電アクチュエータは、複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を備えた流路ユニットに設けられ、各圧力室内のインクにそれぞれ圧力を付与して、ノズルからインクの液滴を噴射させるものである。より具体的には、特許文献1の圧電アクチュエータは、流路ユニットの複数の圧力室を覆うように配置された圧電層と、この圧電層の両面にそれぞれ設けられた2種類の電極(複数の個別電極と共通電極)とを有する。複数の個別電極は複数の圧力室とそれぞれ対向して設けられ、また、共通電極は圧電層を挟んで複数の個別電極と共通に対向している。そして、駆動装置(ドライバIC)から個別電極と共通電極間に電圧が印加されたときに、複数の個別電極と共通電極とに挟まれた複数の圧電層部分(以下、活性部という)に圧電変形が生じることで、圧力室内のインクに圧力が付与される。   The piezoelectric actuator of Patent Document 1 is provided in a flow path unit having a plurality of pressure chambers that communicate with a plurality of nozzles, respectively, and applies pressure to ink in each pressure chamber to cause ink droplets to be ejected from the nozzles. It is to be injected. More specifically, the piezoelectric actuator of Patent Document 1 includes a piezoelectric layer disposed so as to cover a plurality of pressure chambers of a flow path unit, and two types of electrodes (a plurality of electrodes provided respectively on both surfaces of the piezoelectric layer). Individual electrode and common electrode). The plurality of individual electrodes are provided so as to face the plurality of pressure chambers, respectively, and the common electrode faces the plurality of individual electrodes in common with the piezoelectric layer interposed therebetween. When a voltage is applied between the individual electrode and the common electrode from the driving device (driver IC), piezoelectrics are applied to a plurality of piezoelectric layer portions (hereinafter referred to as active portions) sandwiched between the plurality of individual electrodes and the common electrode. Due to the deformation, pressure is applied to the ink in the pressure chamber.

ところで、特許文献1には詳細には記載されていないが、この従来の圧電アクチュエータを駆動する駆動装置(ドライバIC)は、各活性部を挟む2種類の電極を一定電圧の電源に接続することで、電極間に電位差を発生させるように構成されていた。しかし、本願発明者らの検討により、前述した従来構成においては、以下のような問題が生じることが分かった。   By the way, although not described in detail in Patent Document 1, the driving device (driver IC) for driving the conventional piezoelectric actuator connects two types of electrodes sandwiching each active portion to a power source of a constant voltage. Thus, a potential difference is generated between the electrodes. However, as a result of studies by the present inventors, it has been found that the following problems occur in the above-described conventional configuration.

圧電層の複数の活性部の各々は、2種類の電極間に電圧が印加されたときには電荷を蓄え(充電)、2種類の電極間の電圧印加が解除されたときには蓄えていた電荷を放出(放電)する、ある静電容量を有するコンデンサとして作用する。そして、複数の活性部が一定電圧の電源に接続されると、これら複数の活性部の各々は電源から供給される充電電流によって瞬時にフル充電される。また、このときの複数の活性部の電圧は全て一定になる。   Each of the plurality of active portions of the piezoelectric layer stores a charge when a voltage is applied between the two types of electrodes (charge), and releases a stored charge when the voltage application between the two types of electrodes is canceled ( It acts as a capacitor having a certain capacitance. When the plurality of active portions are connected to a power source having a constant voltage, each of the plurality of active portions is instantaneously fully charged by a charging current supplied from the power source. At this time, the voltages of the plurality of active portions are all constant.

ところで、複数の活性部の間で静電容量の値がばらつくことがよくある。その要因としては、電極面積のばらつき、活性部の厚みばらつき、製造工程で生じた応力のばらつき、及び、圧電材料の面内不均一に起因する圧電定数のばらつき等が考えられる。このように、複数の活性部で静電容量がばらつく場合に、複数の活性部にそれぞれ同じ電圧が印加されると、活性部の変形量が、静電容量に応じてばらついてしまう。例えば、厚みが小さい(静電容量が大きい)活性部においては変形量が大きくなり、厚みが大きい(静電容量が小さい)活性部においては変形量が小さくなってしまう。そして、上記インクジェットヘッド用の圧電アクチュエータであれば、複数の活性部間で変形量がばらつくと、複数の圧力室間でインクに付与される圧力がばらつき、その結果、複数のノズルから噴射される液滴の速度が異なってしまうことになる。   By the way, the capacitance value often varies among a plurality of active portions. Factors that can be considered include variations in the electrode area, variations in the thickness of the active portion, variations in stress generated in the manufacturing process, variations in piezoelectric constants due to in-plane non-uniformity of the piezoelectric material, and the like. As described above, when the capacitance varies among the plurality of active portions, if the same voltage is applied to each of the plurality of active portions, the deformation amount of the active portion varies depending on the capacitance. For example, the amount of deformation is large in the active portion having a small thickness (large capacitance), and the amount of deformation is small in the active portion having a large thickness (small capacitance). In the case of the piezoelectric actuator for an ink jet head, when the amount of deformation varies between the plurality of active portions, the pressure applied to the ink varies among the plurality of pressure chambers, and as a result, the ink is ejected from the plurality of nozzles. The speed of the droplets will be different.

そこで、本願発明者らは、複数の活性部間で静電容量がばらついても活性部の変形量が等しくなるような、圧電アクチュエータの駆動方式を検討している。複数の活性部の変形量を等しくするためには、静電容量が大きい活性部に対しては印加電圧を小さくし、静電容量が小さい活性部に対しては印加電圧を大きくすればよい。ここで、コンデンサの静電容量(C)、印加電圧(V)、蓄えられる電荷量(Q)の間にQ=CVの関係が成立することがよく知られている。従って、C(大)のときにV(小)、C(小)のときにV(大)にするためには、複数の活性部で電荷量(Q)が一定になるようにすればよい。具体的には、定電流源を用いて活性部への充電電流を一定に保ち、さらに、複数の活性部にそれぞれ蓄えられる電荷量が同じになるように充電時間を等しく制御する。   Therefore, the inventors of the present application are studying a driving method of the piezoelectric actuator in which the deformation amount of the active portion is equal even if the capacitance varies among the plurality of active portions. In order to make the deformation amounts of the plurality of active portions equal, it is only necessary to decrease the applied voltage for active portions having a large capacitance and increase the applied voltage for active portions having a small capacitance. Here, it is well known that the relationship of Q = CV is established among the capacitance (C) of the capacitor, the applied voltage (V), and the stored charge amount (Q). Therefore, in order to obtain V (small) when C (large) and V (large) when C (small), the charge amount (Q) should be constant in a plurality of active portions. . Specifically, the charging current to the active part is kept constant using a constant current source, and the charging time is controlled to be equal so that the amount of charge stored in each of the active parts is the same.

これに関連して、特許文献2には、圧電素子への充電電流を一定に維持する充電側定電流回路と、圧電素子からの放電電流を一定に維持する放電側定電流回路とを備えた、インクジェットヘッド用圧電アクチュエータの駆動回路が開示されている。   In this regard, Patent Document 2 includes a charge-side constant current circuit that maintains a constant charge current to the piezoelectric element, and a discharge-side constant current circuit that maintains a discharge current from the piezoelectric element constant. A drive circuit for a piezoelectric actuator for an inkjet head is disclosed.

特開2006−256317号公報JP 2006-256317 A 特開2001−150666号公報JP 2001-150666 A

ところで、圧電層は脆性材料であるセラミックスからなるために、製造時において圧電層にクラックが生じることがある。ここで、このクラックが、2種類の電極に挟まれた圧電層の活性部に存在すると、この活性部において電荷(電流)のリークが生じる。そのため、この活性部においては、正常な活性部と同じ時間充電してもその一部がリークするために蓄えられる電荷が少なくなり、また、放電時には蓄えられた電荷が短い時間で放電されてしまうなど、充放電時における電荷量の変化(即ち、それに伴う印加電圧の変化)が正常な活性部と異なってしまい、その結果、活性部の挙動(圧電変形態様)に違いが生じてしまう。以上の理由から、従来は、活性部にクラックが生じた圧電層は使用せずに廃棄しており、歩留まりが低くなっていた。   By the way, since the piezoelectric layer is made of a ceramic which is a brittle material, cracks may occur in the piezoelectric layer during manufacturing. Here, if this crack exists in the active part of the piezoelectric layer sandwiched between two kinds of electrodes, leakage of electric charge (current) occurs in this active part. Therefore, in this active part, even if it is charged for the same time as the normal active part, a part of it leaks, so that the stored charge is reduced, and at the time of discharging, the stored charge is discharged in a short time. For example, the change in the amount of charge during charging / discharging (that is, the change in the applied voltage associated therewith) differs from the normal active part, and as a result, the behavior of the active part (piezoelectric deformation mode) differs. For the reasons described above, conventionally, a piezoelectric layer having a crack in the active portion is discarded without being used, and the yield is low.

尚、特許文献2には一定の充電電流で圧電素子(活性部)を充電する駆動回路が開示されているものの、上述の、活性部にクラックが存在するときの課題、及び、その解決手段については何ら記載されていない。   In addition, although the drive circuit which charges a piezoelectric element (active part) with a fixed charging current is disclosed in Patent Document 2, the above-described problem when a crack exists in the active part, and the solution thereof Is not described at all.

本発明の目的は、電荷のリークが生じる活性部の挙動を正常な活性部に近づけることが可能な、圧電アクチュエータの駆動装置を提供することである。   An object of the present invention is to provide a driving device for a piezoelectric actuator capable of bringing the behavior of an active portion where charge leakage occurs to a normal active portion.

第1の発明の圧電アクチュエータの駆動装置は、圧電層とこの圧電層に設けられた複数の第1電極及び複数の第2電極を有し、前記複数の第1電極と前記複数の第2電極とに挟まれた圧電層部分からなりコンデンサとして作用する複数の活性部を備えた、圧電アクチュエータを駆動する駆動装置であって、
前記複数の活性部のそれぞれに接続された複数の充電経路、及び、複数の放電経路と、前記複数の充電経路を介して前記複数の活性部とそれぞれ接続された充電側定電流源と、前記複数の放電経路を介して前記複数の活性部とそれぞれ接続された放電側定電流源と、前記複数の充電経路に対してそれぞれ設けられ、対応する充電経路を別の充電経路と接続して両充電経路の間で充電電流を融通し合う、複数の電流融通回路とを備えていることを特徴とするものである。
A drive device for a piezoelectric actuator according to a first aspect of the present invention includes a piezoelectric layer, a plurality of first electrodes and a plurality of second electrodes provided on the piezoelectric layer, and the plurality of first electrodes and the plurality of second electrodes. A drive device for driving a piezoelectric actuator, comprising a plurality of active portions composed of a piezoelectric layer portion sandwiched between and acting as a capacitor,
A plurality of charging paths connected to each of the plurality of active parts; a plurality of discharge paths; a charge-side constant current source connected to each of the plurality of active parts via the plurality of charging paths; Discharge-side constant current sources connected to the plurality of active portions through a plurality of discharge paths, respectively, and provided to the plurality of charge paths, respectively. And a plurality of current interchange circuits that allow charge currents to be interchanged between the charge paths.

ある活性部にクラックが存在して電荷(電流)のリークが発生する場合に、電流融通回路により、その活性部に対応する充電経路に対して、他の活性部の充電経路から電流を融通供給することができる。これにより、リーク分の電荷を他の充電経路から補填することが可能になり、充放電時における電荷量の変化(即ち、それに伴う印加電圧の変化)を正常な活性部に近づけることができる。従って、圧電層の一部の活性部にクラックが存在する場合でも圧電アクチュエータに使用できるようになり、歩留まりが向上する。   When a crack exists in an active part and charge (current) leaks, current is supplied from the charging path of another active part to the charging path corresponding to the active part by the current accommodation circuit. can do. This makes it possible to compensate for the charge for leakage from another charging path, and to make the change in the amount of charge during charging / discharging (that is, the change in the applied voltage associated therewith) closer to the normal active part. Therefore, even when a crack exists in a part of the active portion of the piezoelectric layer, it can be used for the piezoelectric actuator, and the yield is improved.

第2の発明の圧電アクチュエータの駆動装置は、前記第1の発明において、前記複数の電流融通回路の各々は、対応する充電経路を別の充電経路に繋ぐ融通経路と、前記融通経路に設けられた第1スイッチと、前記融通経路と前記活性部との間に設けられた第2スイッチとを有することを特徴とするものである。   According to a piezoelectric actuator driving apparatus of a second invention, in the first invention, each of the plurality of current accommodation circuits is provided in an accommodation path that connects a corresponding charging path to another charging path, and the accommodation path. And a second switch provided between the accommodation path and the active part.

充電時に、リークが生じる活性部に対応する電流融通回路の第1スイッチがONにされると、その活性部へ、他の充電経路からも充電電流が供給されるため、その活性部へ供給される充電電流が大きくなり、一定時間充電した後の電荷量が他の正常な活性部に近づく。また、放電時に、前記リークが生じる活性部に対応する第1スイッチ及び第2スイッチがONにされると、他の充電経路からの充電電流によってリークする電荷が補填されるため、放電時間が正常な活性部に近づく。   When the first switch of the current accommodation circuit corresponding to the active part where leakage occurs during charging, the charging current is supplied from the other charging path to the active part, and thus supplied to the active part. Charging current increases, and the amount of charge after charging for a certain period of time approaches other normal active parts. In addition, when the first switch and the second switch corresponding to the active part where the leakage occurs are turned ON during discharging, the leakage current is compensated by the charging current from the other charging path, so the discharging time is normal. Approach the active part.

第3の発明の圧電アクチュエータの駆動装置は、前記第2の発明において、前記電流融通回路の前記第1スイッチと前記第2スイッチのON/OFF制御を行う制御回路を備え、
前記制御回路は、所定の活性部の充電時に、その活性部の充電経路と繋がる前記融通経路に設けられた前記第1スイッチをONにし、前記所定の活性部の放電時には、その活性部の充電経路と繋がる前記融通経路に設けられた前記第1スイッチをONにするとともに、その活性部と前記融通経路との間の前記第2スイッチをONにし、一定時間経過後に、再び前記第2スイッチをOFFにすることを特徴とするものである。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a piezoelectric actuator driving apparatus comprising: the control circuit for performing ON / OFF control of the first switch and the second switch of the current accommodation circuit in the second invention;
The control circuit turns on the first switch provided in the accommodation path connected to the charging path of the active part when charging the predetermined active part, and charges the active part when discharging the predetermined active part. The first switch provided in the accommodation path connected to the path is turned on, the second switch between the active part and the accommodation path is turned on, and after a predetermined time has passed, the second switch is turned on again. It is characterized by being turned off.

制御回路により、充電時に、リークが生じる活性部に対応する電流融通回路の第1スイッチがONにされると、その活性部へ、他の充電経路からも充電電流が供給される。また、放電時に、前記リークが生じる活性部に対応する第1スイッチ及び第2スイッチがONにされると、他の充電経路からの充電電流によってリークする電荷が補填される。また、放電開始してから一定時間経過して、他の充電経路から、リークが生じる活性部に対してある程度の電荷が補填されると、第2スイッチをOFFにして電荷の補填を止め、正常な活性部とほぼ同じ時間で放電を完了させる。   When the control circuit turns on the first switch of the current accommodation circuit corresponding to the active part in which leakage occurs during charging, a charging current is also supplied to the active part from other charging paths. In addition, when the first switch and the second switch corresponding to the active part where the leak occurs are turned on during discharging, the leaked charge is compensated by the charging current from the other charging path. In addition, when a certain amount of charge has been compensated for the active part where leakage occurs from another charging path after a certain time has elapsed from the start of discharge, the second switch is turned off to stop the charge compensation, and normal The discharge is completed in approximately the same time as the active part.

第4の発明の圧電アクチュエータの駆動装置は、前記第3の発明において、前記制御回路には、前記複数の活性部のそれぞれについてのリーク電流の程度を示すリーク電流情報が入力され、前記制御回路は、前記所定の活性部の充電時に、その活性部についてのリーク電流情報に基づいて、その活性部の充電経路と繋がる前記融通経路に設けられた前記第1スイッチのうち、ONにする前記第1スイッチの数を決定し、他の充電経路から融通する充電電流の量を制御することを特徴とするものである。   According to a fourth aspect of the present invention, in the piezoelectric actuator driving apparatus according to the third aspect, the control circuit receives leak current information indicating a degree of leak current for each of the plurality of active portions, and the control circuit Is the first switch that is turned on among the first switches provided in the accommodation path connected to the charging path of the active part based on the leakage current information about the active part when charging the predetermined active part. The number of switches is determined, and the amount of charging current accommodated from other charging paths is controlled.

本発明によれば、電流のリークが生じる活性部の充電を行う際に、そのリーク電流の程度に応じてONにする第1スイッチの数を決定することで、他の充電経路から供給する充電電流の量を段階的に制御することができる。   According to the present invention, when charging the active part where current leakage occurs, the number of first switches to be turned on is determined according to the degree of the leakage current, thereby charging supplied from another charging path. The amount of current can be controlled in stages.

第5の発明の圧電アクチュエータの駆動装置は、前記第1の発明において、前記充電経路を別の充電経路と接続して両充電経路の間で充電電流を融通し合うように、前記電流融通回路を制御する、制御回路を備えていることを特徴とするものである。   According to a fifth aspect of the present invention, there is provided the piezoelectric actuator drive device according to the first aspect, wherein the charging path is connected to another charging path and the charging current is interchanged between the two charging paths. And a control circuit for controlling.

ある活性部にクラックが存在して電荷(電流)のリークが発生する場合に、制御回路は、電流融通回路を制御して、前記リークが生じる活性部の充電経路と別の充電経路とを接続し、その活性部の充電経路に対して、他の充電経路から電流を融通させる。   When there is a crack in an active part and a charge (current) leak occurs, the control circuit controls the current accommodation circuit to connect the charging path of the active part where the leak occurs and another charging path. Then, the current is allowed to pass from the other charging path to the charging path of the active part.

第6の発明のインクジェットプリンタは、被印刷媒体に対して複数のノズルからインクの液滴を噴射して印刷を行うインクジェットプリンタであって、
圧電層とこの圧電層に設けられた複数の第1電極及び複数の第2電極とを有し、前記複数の第1電極と前記複数の第2電極とに挟まれた圧電層部分からなりコンデンサとして作用する複数の活性部を備え、これら複数の活性部によって前記複数のノズルからそれぞれインクの液滴を噴射させる圧電アクチュエータと、前記圧電アクチュエータを駆動する前記第3〜第5の何れかの発明の駆動装置と、前記複数の活性部のそれぞれについてのリーク電流の程度を、正常レベル、第1異常レベル、及び、前記第1異常レベルよりもリーク電流が多い第2異常レベルの、少なくとも3段階で示す、リーク電流情報を記憶する記憶部を備え、
前記駆動装置の前記制御回路は、低画質印刷指令が入力されたときには、前記リーク電流情報が前記第2異常レベルである活性部についてのみ、前記電流融通回路により他の充電経路からの充電電流の融通供給を行い、前記低画質印刷指令よりも高い画質が要求される高画質印刷指令が入力されたときには、前記リーク電流情報が前記第2異常レベルである活性部だけでなく、前記第1異常レベルである活性部についても、前記電流融通回路により他の充電経路からの充電電流の融通供給を行うように制御することを特徴とするものである。
An inkjet printer according to a sixth aspect of the invention is an inkjet printer that performs printing by ejecting ink droplets from a plurality of nozzles onto a printing medium,
A capacitor comprising a piezoelectric layer and a plurality of first electrodes and a plurality of second electrodes provided on the piezoelectric layer, the piezoelectric layer being sandwiched between the plurality of first electrodes and the plurality of second electrodes A plurality of active portions that act as a piezoelectric actuator that ejects ink droplets from the plurality of nozzles by the plurality of active portions, and any one of the third to fifth inventions that drives the piezoelectric actuator. The degree of leakage current for each of the driving device and each of the plurality of active portions is at least three levels of a normal level, a first abnormal level, and a second abnormal level having a leakage current higher than the first abnormal level. A storage unit for storing leakage current information indicated by
The control circuit of the driving device, when a low image quality print command is input, only charges the active current whose leakage current information is at the second abnormal level by the current interchange circuit. When flexible supply is performed and a high-quality print command that requires higher image quality than the low-quality print command is input, not only the active portion whose leakage current information is at the second abnormal level but also the first abnormality The active portion which is a level is also controlled so that the charging current is interchanged and supplied from another charging path by the current accommodating circuit.

リークが発生する活性部への電流融通を行うには、印刷用のデータとは別に、その電流融通を行うためのデータ(リークが発生する活性部を特定するためのデータや、リーク電流の程度を示すデータ)が必要になり、データ転送や処理に時間がかかるため、印刷時間が長くなる。そこで、本発明においては、画質よりも印刷速度を重視する低画質印刷時においては、リークが生じる異常な活性部の中でも、リーク電流が比較的小さい、第1異常レベルと判定されているものについては、他の充電経路からの電流融通は行わない。   In order to conduct current accommodation to the active portion where leakage occurs, data for conducting current accommodation (data for identifying the active portion where leakage occurs and the degree of leakage current) are separated from printing data. Data), and it takes time for data transfer and processing, so the printing time becomes longer. Therefore, in the present invention, among low-quality printing that places more importance on printing speed than image quality, among the abnormal active portions where leakage occurs, those that have been determined to be the first abnormal level with a relatively small leakage current Does not allow current exchange from other charging paths.

本発明によれば、電荷(電流)のリークが発生する活性部に対して、他の活性部の充電経路から電荷を補填することが可能になり、充放電時における電荷量の変化(即ち、それに伴う印加電圧の変化)を正常な活性部に近づけることができる。従って、圧電層の一部の活性部にクラックが存在する場合でも圧電アクチュエータに使用できるようになり、歩留まりが向上する。   According to the present invention, it becomes possible to supplement the active portion where charge (current) leakage occurs from the charging path of the other active portion, and the change in the amount of charge during charging / discharging (that is, The change in the applied voltage (according thereto) can be brought close to a normal active part. Therefore, even when a crack exists in a part of the active portion of the piezoelectric layer, it can be used for the piezoelectric actuator, and the yield is improved.

本実施形態に係るインクジェットプリンタを概略的に示す平面図である。1 is a plan view schematically showing an ink jet printer according to an embodiment. インクジェットヘッドの平面図である。It is a top view of an inkjet head. 図2の一部拡大図である。FIG. 3 is a partially enlarged view of FIG. 2. 図3のIV-IV線断面図である。FIG. 4 is a sectional view taken along line IV-IV in FIG. ドライバIC(充電時)の回路図である。It is a circuit diagram of driver IC (at the time of charge). ドライバIC(放電時)の回路図である。It is a circuit diagram of driver IC (at the time of discharge). インクジェットプリンタの制御系を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the control system of an inkjet printer.

次に、本発明の実施の形態について説明する。本実施形態は、記録用紙に対してインクの液滴を噴射するインクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタに本発明を適用した一例である。   Next, an embodiment of the present invention will be described. This embodiment is an example in which the present invention is applied to an inkjet printer including an inkjet head that ejects ink droplets onto a recording sheet.

まず、本実施形態のインクジェットプリンタ1の概略構成について説明する。図1は、本実施形態のインクジェットプリンタの概略平面図である。この図1に示すように、プリンタ1は、所定の走査方向(図1の左右方向)に沿って往復移動可能に構成されたキャリッジ2と、このキャリッジ2に搭載されたインクジェットヘッド3と、被印刷媒体である記録用紙Pを、走査方向と直交する搬送方向に搬送する搬送機構4等を備えている。   First, a schematic configuration of the inkjet printer 1 of the present embodiment will be described. FIG. 1 is a schematic plan view of the ink jet printer of the present embodiment. As shown in FIG. 1, a printer 1 includes a carriage 2 configured to be reciprocally movable along a predetermined scanning direction (left-right direction in FIG. 1), an inkjet head 3 mounted on the carriage 2, and a cover. A transport mechanism 4 that transports the recording paper P, which is a print medium, in a transport direction orthogonal to the scanning direction is provided.

キャリッジ2は、走査方向(図1の左右方向)に平行に延びる2本のガイド軸17に沿って往復移動可能に構成されている。また、キャリッジ2には、無端ベルト18が連結されており、キャリッジ駆動モータ19によって無端ベルト18が走行駆動されたときに、キャリッジ2は、無端ベルト18の走行に伴って走査方向に移動するようになっている。尚、プリンタ1には、走査方向に間隔を空けて配列された多数の透光部(スリット)を有するリニアエンコーダ10が設けられている。一方、キャリッジ2には、発光素子と受光素子とを有する透過型のフォトセンサ11が設けられている。そして、プリンタ1は、キャリッジ2の移動中にフォトセンサ11が検出したリニアエンコーダ10の透光部の計数値(検出回数)から、キャリッジ2の走査方向に関する現在位置を認識できるようになっている。   The carriage 2 is configured to be able to reciprocate along two guide shafts 17 extending in parallel with the scanning direction (left-right direction in FIG. 1). An endless belt 18 is connected to the carriage 2. When the endless belt 18 is driven to travel by the carriage drive motor 19, the carriage 2 moves in the scanning direction as the endless belt 18 travels. It has become. The printer 1 is provided with a linear encoder 10 having a large number of light transmitting portions (slits) arranged at intervals in the scanning direction. On the other hand, the carriage 2 is provided with a transmissive photosensor 11 having a light emitting element and a light receiving element. The printer 1 can recognize the current position in the scanning direction of the carriage 2 from the count value (number of detections) of the light transmitting portion of the linear encoder 10 detected by the photosensor 11 while the carriage 2 is moving. .

このキャリッジ2には、インクジェットヘッド3が搭載されている。インクジェットヘッド3は、その下面(図1の紙面向こう側の面)に多数のノズル30(図2〜図4参照)を備えている。このインクジェットヘッド3は、搬送機構4により図1の下方(搬送方向)に搬送される記録用紙Pに対して、図示しないインクカートリッジから供給されたインクを多数のノズル30から噴射するように構成されている。   An ink jet head 3 is mounted on the carriage 2. The ink-jet head 3 includes a large number of nozzles 30 (see FIGS. 2 to 4) on the lower surface (the surface on the opposite side of FIG. 1). The inkjet head 3 is configured to eject ink supplied from an ink cartridge (not shown) from a large number of nozzles 30 onto a recording paper P that is conveyed downward (conveying direction) in FIG. ing.

搬送機構4は、インクジェットヘッド3よりも搬送方向上流側に配置された給紙ローラ12と、インクジェットヘッド3よりも搬送方向下流側に配置された排紙ローラ13とを有する。給紙ローラ12と排紙ローラ13は、それぞれ、給紙モータ14と排紙モータ15により回転駆動される。そして、この搬送機構4は、給紙ローラ12により、記録用紙Pを図1の上方からインクジェットヘッド3へ搬送するとともに、排紙ローラ13により、インクジェットヘッド3によって画像や文字等が記録された記録用紙Pを図1の下方へ排出する。   The transport mechanism 4 includes a paper feed roller 12 disposed on the upstream side in the transport direction with respect to the ink jet head 3 and a paper discharge roller 13 disposed on the downstream side in the transport direction with respect to the ink jet head 3. The paper feed roller 12 and the paper discharge roller 13 are rotationally driven by a paper feed motor 14 and a paper discharge motor 15, respectively. The transport mechanism 4 transports the recording paper P from above in FIG. 1 to the ink jet head 3 by the paper feed roller 12, and records the images, characters, etc. recorded by the ink jet head 3 by the paper discharge roller 13. The paper P is discharged downward in FIG.

次に、インクジェットヘッド3について説明する。図2はインクジェットヘッドの平面図、図3は図2の一部拡大図、図4は図3のIV-IV線断面図である。図2〜図4に示すように、インクジェットヘッド3は、ノズル30や圧力室24を含むインク流路が形成された流路ユニット6と、圧力室24内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータ7とを備えている。   Next, the inkjet head 3 will be described. 2 is a plan view of the inkjet head, FIG. 3 is a partially enlarged view of FIG. 2, and FIG. 4 is a sectional view taken along line IV-IV of FIG. As shown in FIGS. 2 to 4, the inkjet head 3 includes a flow path unit 6 in which an ink flow path including a nozzle 30 and a pressure chamber 24 is formed, and a piezoelectric actuator 7 that applies pressure to the ink in the pressure chamber 24. And.

まず、流路ユニット6について説明する。図4に示すように、流路ユニット6はキャビティプレート20、ベースプレート21、マニホールドプレート22、及びノズルプレート23を備えており、これら4枚のプレート20〜23が積層状態で接合されている。このうち、キャビティプレート20、ベースプレート21及びマニホールドプレート22は、それぞれ、ステンレス鋼等の金属材料からなる平面視で略矩形状の板である。そのため、これら3枚のプレート20〜22に、後述するマニホールド27や圧力室24等のインク流路をエッチングにより容易に形成することができるようになっている。また、ノズルプレート23は、例えば、ポリイミド等の高分子合成樹脂材料により形成され、マニホールドプレート22の下面に接着剤で接合される。あるいは、このノズルプレート23も、他の3枚のプレート20〜22と同様にステンレス鋼等の金属材料で形成されていてもよい。   First, the flow path unit 6 will be described. As shown in FIG. 4, the flow path unit 6 includes a cavity plate 20, a base plate 21, a manifold plate 22, and a nozzle plate 23, and these four plates 20 to 23 are joined in a laminated state. Among these, the cavity plate 20, the base plate 21, and the manifold plate 22 are substantially rectangular plates in plan view made of a metal material such as stainless steel. Therefore, ink flow paths such as a manifold 27 and a pressure chamber 24 described later can be easily formed on these three plates 20 to 22 by etching. Further, the nozzle plate 23 is formed of, for example, a polymer synthetic resin material such as polyimide, and is bonded to the lower surface of the manifold plate 22 with an adhesive. Or this nozzle plate 23 may be formed with metal materials, such as stainless steel, similarly to the other three plates 20-22.

図2〜図4に示すように、4枚のプレート20〜23のうち、最も上方に位置するキャビティプレート20には、平面に沿って配列された複数の圧力室24がプレート20を貫通する孔により形成されている。また、複数の圧力室24は、搬送方向(図2の上下方向)に千鳥状に2列に配列されている。また、図4に示すように、複数の圧力室24は上下両側から後述の振動板40及びベースプレート21によりそれぞれ覆われている。さらに、各圧力室24は、平面視で走査方向(図2の左右方向)に長い、略楕円形状に形成されている。   As shown in FIGS. 2 to 4, among the four plates 20 to 23, the uppermost cavity plate 20 has holes in which a plurality of pressure chambers 24 arranged along a plane penetrate the plate 20. It is formed by. The plurality of pressure chambers 24 are arranged in two rows in a staggered manner in the transport direction (the vertical direction in FIG. 2). Further, as shown in FIG. 4, the plurality of pressure chambers 24 are respectively covered with a diaphragm 40 and a base plate 21 described later from above and below. Furthermore, each pressure chamber 24 is formed in a substantially elliptical shape that is long in the scanning direction (left-right direction in FIG. 2) in plan view.

図3、図4に示すように、ベースプレート21の、平面視で圧力室24の長手方向両端部と重なる位置には、それぞれ連通孔25,26が形成されている。また、マニホールドプレート22には、平面視で、2列に配列された圧力室24の連通孔25側の部分と重なるように、搬送方向に延びる2つのマニホールド27が形成されている。これら2つのマニホールド27は、後述の振動板40に形成されたインク供給口28に連通しており、図示しないインクタンクからインク供給口28を介してマニホールド27へインクが供給される。さらに、マニホールドプレート22の、平面視で複数の圧力室24のマニホールド27と反対側の端部と重なる位置には、それぞれ、複数の連通孔26に連なる複数の連通孔29も形成されている。   As shown in FIGS. 3 and 4, communication holes 25 and 26 are respectively formed at positions where the base plate 21 overlaps both longitudinal ends of the pressure chamber 24 in plan view. The manifold plate 22 is formed with two manifolds 27 extending in the transport direction so as to overlap with the communication hole 25 side portions of the pressure chambers 24 arranged in two rows in a plan view. These two manifolds 27 communicate with an ink supply port 28 formed in a vibration plate 40 described later, and ink is supplied to the manifold 27 from an ink tank (not shown) via the ink supply port 28. Further, a plurality of communication holes 29 that are continuous with the plurality of communication holes 26 are formed at positions where the manifold plate 22 overlaps the ends of the plurality of pressure chambers 24 opposite to the manifolds 27 in plan view.

さらに、ノズルプレート23の、平面視で複数の連通孔29にそれぞれ重なる位置には、複数のノズル30が形成されている。図2に示すように、複数のノズル30は、搬送方向に沿って2列に配列された複数の圧力室24の、マニホールド27と反対側の端部とそれぞれ重なるように配置され、2列のノズル列を構成している。   Further, a plurality of nozzles 30 are formed at positions where the nozzle plate 23 overlaps the plurality of communication holes 29 in plan view. As shown in FIG. 2, the plurality of nozzles 30 are arranged so as to overlap with the end portions on the opposite side of the manifold 27 of the plurality of pressure chambers 24 arranged in two rows along the transport direction, respectively. A nozzle row is configured.

そして、図4に示すように、マニホールド27は連通孔25を介して圧力室24に連通し、さらに、圧力室24は、連通孔26,29を介してノズル30に連通している。このように、流路ユニット6内には、マニホールド27から圧力室24を経てノズル30に至る個別インク流路31が複数形成されている。   As shown in FIG. 4, the manifold 27 communicates with the pressure chamber 24 through the communication hole 25, and the pressure chamber 24 communicates with the nozzle 30 through the communication holes 26 and 29. As described above, a plurality of individual ink flow paths 31 from the manifold 27 to the nozzles 30 through the pressure chambers 24 are formed in the flow path unit 6.

尚、図2においては、説明の簡単のため、1つのインク供給口28に連なる1種類の流路構造(マニホールド27、圧力室24、ノズル30等)のみが描かれているが、インクジェットヘッド3が、図2に示されている流路構造が走査方向に複数並べて設けられた構成を備え、複数色(例えば、ブラック、イエロー、シアン、マゼンタの4色)のインクをそれぞれ噴射可能な、カラーインクジェットヘッドであってもよい。   In FIG. 2, only one type of flow path structure (manifold 27, pressure chamber 24, nozzle 30, etc.) connected to one ink supply port 28 is shown for simplicity of explanation, but the inkjet head 3 However, it has a configuration in which a plurality of flow path structures shown in FIG. 2 are arranged in the scanning direction and can eject a plurality of colors (for example, four colors of black, yellow, cyan, and magenta). An inkjet head may be used.

次に、圧電アクチュエータ7について説明する。図2〜図4に示すように、圧電アクチュエータ7は、複数の圧力室24を覆うように流路ユニット6(キャビティプレート20)の上面に配置された振動板40と、この振動板40の上面に、複数の圧力室24と対向するように配置された圧電層41と、圧電層41の上面に配置された複数の個別電極42とを備えている。   Next, the piezoelectric actuator 7 will be described. As shown in FIGS. 2 to 4, the piezoelectric actuator 7 includes a vibration plate 40 disposed on the upper surface of the flow path unit 6 (cavity plate 20) so as to cover the plurality of pressure chambers 24, and an upper surface of the vibration plate 40. In addition, a piezoelectric layer 41 disposed to face the plurality of pressure chambers 24 and a plurality of individual electrodes 42 disposed on the upper surface of the piezoelectric layer 41 are provided.

振動板40は、平面視で略矩形状の金属板であり、例えば、ステンレス鋼等の鉄系合金、銅系合金、ニッケル系合金、あるいは、チタン系合金などからなる。この振動板40は、キャビティプレート20の上面に複数の圧力室24を覆うように配設された状態で、キャビティプレート20に接合されている。また、導電性を有する振動板40の上面は、圧電層41の下面側に配置されることによって、上面の複数の個別電極42との間で圧電層41に厚み方向の電界を生じさせる、共通電極を兼ねている。この共通電極としての振動板40は、圧電アクチュエータ7を駆動するドライバIC47のグランド配線に接続されて、常にグランド電位に保持される。   The diaphragm 40 is a substantially rectangular metal plate in plan view, and is made of, for example, an iron-based alloy such as stainless steel, a copper-based alloy, a nickel-based alloy, or a titanium-based alloy. The vibration plate 40 is joined to the cavity plate 20 in a state of being disposed on the upper surface of the cavity plate 20 so as to cover the plurality of pressure chambers 24. In addition, the upper surface of the conductive diaphragm 40 is disposed on the lower surface side of the piezoelectric layer 41, thereby generating an electric field in the thickness direction in the piezoelectric layer 41 with the plurality of individual electrodes 42 on the upper surface. Also serves as an electrode. The diaphragm 40 as the common electrode is connected to the ground wiring of the driver IC 47 that drives the piezoelectric actuator 7 and is always held at the ground potential.

圧電層41は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との固溶体であり強誘電体であるチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)を主成分とする圧電材料からなる。図2に示すように、この圧電層41は、振動板40の上面において、複数の圧力室24に跨って連続的に形成されている。また、この圧電層41は、少なくとも圧力室24と対向する領域において厚み方向に分極されている。   The piezoelectric layer 41 is made of a piezoelectric material mainly composed of lead zirconate titanate (PZT), which is a solid solution of lead titanate and lead zirconate and is a ferroelectric substance. As shown in FIG. 2, the piezoelectric layer 41 is continuously formed across the plurality of pressure chambers 24 on the upper surface of the vibration plate 40. The piezoelectric layer 41 is polarized in the thickness direction at least in a region facing the pressure chamber 24.

圧電層41の上面の、複数の圧力室24と対向する領域には、複数の個別電極42がそれぞれ配置されている。各々の個別電極42は圧力室24よりも一回り小さい略楕円形の平面形状を有し、圧力室24の中央部と対向している。また、複数の個別電極42の端部からは、ドライバIC47を実装したフレキシブル配線基板(図示省略)と接続される、複数の接点部45が個別電極42の長手方向に沿ってそれぞれ引き出されている。尚、上述した複数の個別電極42が本願における複数の第1電極に相当し、また、共通電極としての振動板40のうちの、複数の個別電極42とそれぞれ対向して圧電層41を挟む複数の部分が、本願における複数の第2電極に相当する。   A plurality of individual electrodes 42 are respectively disposed in regions on the upper surface of the piezoelectric layer 41 facing the plurality of pressure chambers 24. Each individual electrode 42 has a substantially oval planar shape that is slightly smaller than the pressure chamber 24, and faces the central portion of the pressure chamber 24. In addition, a plurality of contact portions 45 connected to a flexible wiring board (not shown) on which the driver IC 47 is mounted are drawn from the end portions of the plurality of individual electrodes 42 along the longitudinal direction of the individual electrodes 42. . Note that the plurality of individual electrodes 42 described above correspond to the plurality of first electrodes in the present application, and a plurality of diaphragms 40 as common electrodes that sandwich the piezoelectric layer 41 respectively facing the plurality of individual electrodes 42. This part corresponds to a plurality of second electrodes in the present application.

また、複数の個別電極42と共通電極としての振動板40とに挟まれた、複数の圧電層部分(活性部46)は、予め、その厚み方向に分極されている。そして、個別電極42と振動板40との間に電位差(電圧)が発生したときには、活性部46には圧電変形(圧電歪み)が発生し、この変形によって、その活性部46と対向する圧力室24内のインクに圧力が付与されることになる。   A plurality of piezoelectric layer portions (active portions 46) sandwiched between the plurality of individual electrodes 42 and the diaphragm 40 as a common electrode are previously polarized in the thickness direction. When a potential difference (voltage) is generated between the individual electrode 42 and the diaphragm 40, piezoelectric deformation (piezoelectric strain) occurs in the active portion 46, and the pressure chamber facing the active portion 46 due to this deformation. Pressure is applied to the ink in 24.

以上の圧電アクチュエータ7には、この圧電アクチュエータ7を駆動するドライバIC47(駆動装置)を実装した、図示しないフレキシブル配線基板(FPC)が接続され、FPC上の配線を介してドライバIC47と複数の個別電極42、及び、共通電極としての振動板40が電気的に接続される。   The piezoelectric actuator 7 is connected to a flexible wiring board (FPC) (not shown) on which a driver IC 47 (driving device) for driving the piezoelectric actuator 7 is mounted. The driver IC 47 and a plurality of individual ICs are connected to the piezoelectric actuator 7 via wiring on the FPC. The electrode 42 and the diaphragm 40 as a common electrode are electrically connected.

後ほど詳述するが、圧電アクチュエータ7を駆動するドライバIC47は、圧電アクチュエータ7の複数の活性部46に対して一定の充電電流を供給し、複数の活性部46間で蓄えられる電荷量を等しくすることにより、各活性部46(個別電極42−共通電極(振動板40)の間)にその静電容量に応じた電圧を発生させる。また、一定の放電電流で活性部46に蓄えられた電荷を放電することにより、各活性部46の電圧を0にする。この充放電によって活性部46への電圧印加とその解除とを繰り返し、活性部46を駆動する。このドライバIC47の具体的な回路構成については、後ほど説明する。   As will be described in detail later, the driver IC 47 that drives the piezoelectric actuator 7 supplies a constant charging current to the plurality of active portions 46 of the piezoelectric actuator 7 to equalize the amount of charge stored between the plurality of active portions 46. As a result, a voltage corresponding to the capacitance is generated in each active portion 46 (between the individual electrode 42 and the common electrode (diaphragm 40)). In addition, by discharging the charge stored in the active part 46 with a constant discharge current, the voltage of each active part 46 is set to zero. By this charging / discharging, voltage application to the active part 46 and release thereof are repeated to drive the active part 46. A specific circuit configuration of the driver IC 47 will be described later.

次に、インク噴射時における圧電アクチュエータ7の作用について説明する。個別電極42と共通電極としての振動板40とに挟まれた、各々の活性部46において、電荷が蓄えられていない状態では、個別電極42の電位が振動板40と同じグランド電位となっている。このとき、活性部46に電界が作用しておらず、圧電歪みは生じていない。   Next, the operation of the piezoelectric actuator 7 during ink ejection will be described. In each active portion 46 sandwiched between the individual electrode 42 and the diaphragm 40 as a common electrode, the electric potential of the individual electrode 42 is the same ground potential as that of the diaphragm 40 when no charge is stored. . At this time, an electric field does not act on the active portion 46, and piezoelectric distortion does not occur.

この状態から、ある活性部46に対して、ドライバIC47から一定の充電電流が所定時間供給されると、その活性部46に所定量の電荷が蓄えられるとともに、個別電極42の電位がグランド電位の振動板40に対して高くなる。従って、この活性部46を挟む個別電極42と振動板40との間に、活性部46の静電容量(C)と、蓄えられた電荷量(Q)によって定まる、電圧(V=Q/C)が印加されることになり、活性部46には厚み方向の電界が作用する。この電界の方向は圧電層41の分極方向と平行であるから、活性部46が厚み方向と直交する面方向に収縮する。ここで、圧電層41の下側の振動板40はキャビティプレート20に固定されているため、この振動板40の上面に位置する圧電層41が面方向に収縮するのに伴って、振動板40の圧力室24を覆う部分が圧力室24側に凸となるように変形する(ユニモルフ変形)。このとき、圧力室24内の容積が減少するために圧力室24内のインク圧力が上昇し、この圧力室24に連通するノズル30からインクが噴射される。   From this state, when a certain charging current is supplied from a driver IC 47 to a certain active portion 46 for a predetermined time, a predetermined amount of charge is stored in the active portion 46 and the potential of the individual electrode 42 is equal to the ground potential. It becomes higher with respect to the diaphragm 40. Therefore, a voltage (V = Q / C) determined by the electrostatic capacity (C) of the active portion 46 and the stored charge amount (Q) between the individual electrode 42 and the diaphragm 40 sandwiching the active portion 46. ) Is applied, and an electric field in the thickness direction acts on the active portion 46. Since the direction of the electric field is parallel to the polarization direction of the piezoelectric layer 41, the active portion 46 contracts in a plane direction perpendicular to the thickness direction. Here, since the lower vibration plate 40 of the piezoelectric layer 41 is fixed to the cavity plate 20, as the piezoelectric layer 41 positioned on the upper surface of the vibration plate 40 contracts in the surface direction, the vibration plate 40. The portion covering the pressure chamber 24 is deformed so as to protrude toward the pressure chamber 24 (unimorph deformation). At this time, since the volume in the pressure chamber 24 decreases, the ink pressure in the pressure chamber 24 rises, and ink is ejected from the nozzle 30 communicating with the pressure chamber 24.

また、活性部46に所定量の電荷が蓄えられた状態から、ドライバIC47によって一定の放電電流で電荷が放電されると、個別電極42の電位が再びグランド電位となり、活性部46には電界が作用しなくなることから、活性部46の変形状態が解消され、振動板40は、元の状態(キャビティプレート10と平行な状態)に戻る。   In addition, when the driver IC 47 discharges the charge with a constant discharge current from a state where a predetermined amount of charge is stored in the active part 46, the potential of the individual electrode 42 becomes the ground potential again, and an electric field is applied to the active part 46. Since it no longer acts, the deformed state of the active part 46 is eliminated, and the diaphragm 40 returns to the original state (a state parallel to the cavity plate 10).

次に、ドライバIC47の具体的な構成について説明する。図5、図6は、ドライバIC47の回路図であり、図5は活性部への充電時、図6は活性部からの放電時をそれぞれ示す。また、個別電極42と共通電極としての振動板40とに挟まれた、圧電層41の複数の活性部46は、それぞれ、両電極間の電圧印加によって電荷を蓄えるコンデンサ(容量成分)として作用するものであるから、図5では活性部46をコンデンサの記号で示してある。図5、図6に示すように、ドライバIC47は、電源電圧(VDD)に接続された2つの定電流源(充電側定電流源50、放電側定電流源51)と、充電側定電流源50と複数の活性部46とを接続する複数の充電経路55と、放電側定電流源51と複数の活性部46とを接続する複数の放電経路56と、充電経路55に設けられた充電スイッチSWaと、放電経路56に設けられた放電スイッチSWbと、複数の充電スイッチSWa及び複数の放電スイッチSWbの切り換えを制御する充放電制御回路52とを備えている。   Next, a specific configuration of the driver IC 47 will be described. FIGS. 5 and 6 are circuit diagrams of the driver IC 47. FIG. 5 shows charging at the active portion and FIG. 6 shows discharging at the active portion. A plurality of active portions 46 of the piezoelectric layer 41 sandwiched between the individual electrode 42 and the diaphragm 40 as a common electrode each act as a capacitor (capacitance component) that accumulates electric charge by applying a voltage between both electrodes. Therefore, in FIG. 5, the active portion 46 is indicated by a capacitor symbol. As shown in FIGS. 5 and 6, the driver IC 47 includes two constant current sources (a charge side constant current source 50 and a discharge side constant current source 51) connected to a power supply voltage (VDD), and a charge side constant current source. 50, a plurality of charging paths 55 that connect the plurality of active portions 46, a plurality of discharge paths 56 that connect the discharge-side constant current source 51 and the plurality of active portions 46, and a charge switch provided in the charging path 55 SWa, a discharge switch SWb provided in the discharge path 56, and a charge / discharge control circuit 52 that controls switching of the plurality of charge switches SWa and the plurality of discharge switches SWb.

充電側定電流源50と放電側定電流源51は、それぞれ、MOSFET型トランジスタTaと、トランジスタTaのソースに接続された抵抗Rと、複数の活性部46にそれぞれ対応した複数のMOSFET型トランジスタTbとを有する。各々の定電流源50,51のトランジスタTaのドレインは電源(VDD)と接続され、ソースは抵抗Rを介してグランドと接続されている。   The charge-side constant current source 50 and the discharge-side constant current source 51 are respectively a MOSFET type transistor Ta, a resistor R connected to the source of the transistor Ta, and a plurality of MOSFET type transistors Tb respectively corresponding to the plurality of active portions 46. And have. The drains of the transistors Ta of the constant current sources 50 and 51 are connected to a power supply (VDD), and the sources are connected to the ground via a resistor R.

充電側定電流源50の複数のトランジスタTbのドレインは電源(VDD)と接続されている。また、放電側定電流源51の複数のトランジスタTbのソースはグランドと接続されている。さらに、充電側定電流源50の複数のトランジスタTbのソースと放電側定電流源51の複数のトランジスタTbのドレインとがそれぞれ接続され、前述した複数の活性部46へ充電を行うための複数の充電経路55と、複数の活性部46からの放電を行うための複数の放電経路56が構成されている。また、充電経路55と放電経路56の接続点P1からは、活性部46の個別電極42と接続される接続経路54が分岐している。   The drains of the plurality of transistors Tb of the charging-side constant current source 50 are connected to a power supply (VDD). The sources of the plurality of transistors Tb of the discharge side constant current source 51 are connected to the ground. Furthermore, the sources of the plurality of transistors Tb of the charging-side constant current source 50 and the drains of the plurality of transistors Tb of the discharging-side constant current source 51 are connected to each other, and a plurality of charging units for charging the plurality of active units 46 described above. A charging path 55 and a plurality of discharging paths 56 for discharging from the plurality of active portions 46 are configured. Further, a connection path 54 connected to the individual electrode 42 of the active portion 46 branches off from a connection point P1 between the charge path 55 and the discharge path 56.

また、各々の定電流源50,51において、トランジスタTa,Tbのゲート端子は互いに接続されるとともに、これらゲート端子には電源電圧(VDD)が印加されており、トランジスタTa,Tbはカレントミラー回路を構成している。これにより、トランジスタTaのドレイン−ソース間には抵抗Rによって定まる一定の電流が流れる一方で、トランジスタTaとそれぞれカレントミラー回路を構成する、複数のトランジスタTbのドレイン−ソース間にもトランジスタTaと同じ一定の電流が流れることになる。これにより、活性部46への充電時には充電側定電流源50から充電経路55を介して活性部46へ供給される充電電流(図5の矢印A)が一定に保たれ、また、活性部46からの放電時には、活性部46から放電経路56を介して流れ出る放電電流(図6の矢印B)が放電側定電流源51によって一定に保たれる。   In each of the constant current sources 50 and 51, the gate terminals of the transistors Ta and Tb are connected to each other, and a power supply voltage (VDD) is applied to these gate terminals. The transistors Ta and Tb are current mirror circuits. Is configured. As a result, a constant current determined by the resistor R flows between the drain and source of the transistor Ta, while the same applies to the transistor Ta between the drain and source of the plurality of transistors Tb that form a current mirror circuit with the transistor Ta. A constant current will flow. As a result, the charging current (arrow A in FIG. 5) supplied from the charging-side constant current source 50 to the active unit 46 via the charging path 55 is kept constant during charging of the active unit 46. At the time of discharging, the discharge current (arrow B in FIG. 6) flowing out from the active portion 46 through the discharge path 56 is kept constant by the discharge-side constant current source 51.

充電経路55(接続点P1と充電側定電流源50との間)と放電経路56(接続点P1と放電側定電流源51との間)には、MOSFET型のトランジスタからなる、充電スイッチSWaと放電スイッチSWbがそれぞれ設けられている。充電スイッチSWaは、ONのときに充電側定電流源50と活性部46とを接続して、活性部46への充電を行う。また、放電スイッチSWbは、ONのときに放電側定電流源51と活性部46とを接続して、活性部46の放電を行う。   The charging path 55 (between the connection point P1 and the charging-side constant current source 50) and the discharging path 56 (between the connection point P1 and the discharging-side constant current source 51) include a charge switch SWa composed of a MOSFET type transistor. And a discharge switch SWb. When the charging switch SWa is ON, the charging side constant current source 50 and the active part 46 are connected to charge the active part 46. Further, when the discharge switch SWb is ON, the discharge side constant current source 51 and the active part 46 are connected to discharge the active part 46.

充放電制御回路52は、充電経路55と放電経路56に設けられた、充電スイッチSWaを構成するトランジスタと放電スイッチSWbを構成するトランジスタの、それぞれのゲート端子にゲート電圧を印加して、充電スイッチSWa及び放電スイッチSWbのON/OFFを切り換える。より具体的には、充放電制御回路52は、活性部46に電圧を印加して活性部46に圧電変形を生じさせる際には、充電スイッチSWaをONにするとともに放電スイッチSWbをOFFにし、充電側定電流源50と活性部46とを接続して、図5中矢印Aで示す経路で活性部46に一定の充電電流を供給する。また、活性部46の電圧を0にして活性部46の変形を元に戻す際には、充電スイッチSWaをOFFにするとともに放電スイッチSWbをONにし、図6中矢印Bで示す経路で活性部46に蓄えられた電荷を、一定の放電電流で放電する。   The charge / discharge control circuit 52 applies a gate voltage to each of the gate terminals of the transistor constituting the charge switch SWa and the transistor constituting the discharge switch SWb provided in the charge path 55 and the discharge path 56, SWa and discharge switch SWb are switched ON / OFF. More specifically, the charge / discharge control circuit 52 turns on the charge switch SWa and turns off the discharge switch SWb when applying a voltage to the active unit 46 to cause piezoelectric deformation in the active unit 46. The charging-side constant current source 50 and the active part 46 are connected to supply a constant charging current to the active part 46 through a path indicated by an arrow A in FIG. Further, when the voltage of the active part 46 is set to 0 and the deformation of the active part 46 is restored, the charge switch SWa is turned OFF and the discharge switch SWb is turned ON, and the active part is shown in the path indicated by arrow B in FIG. The electric charge stored in 46 is discharged with a constant discharge current.

ここで、各圧力室24内のインクに付与される圧力(即ち、ノズル30から噴射される液滴に与えられるエネルギー)は、各活性部46に電圧(個別電極42と共通電極としての振動板40との電位差)が印加されたときの圧電変形量によって定まる。しかし、複数の活性部46間で静電容量にばらつきが存在する場合には、同じ電圧が印加されても静電容量の大きさによって圧電変形量が異なる。例えば、厚みが小さい(静電容量が大きい)活性部46においては変形量が大きくなり、厚みが大きい(静電容量が小さい)活性部46においては変形量が小さくなってしまう。   Here, the pressure applied to the ink in each pressure chamber 24 (that is, the energy applied to the liquid droplets ejected from the nozzle 30) is applied to each active portion 46 with a voltage (the vibration plate as the individual electrode 42 and the common electrode). (Potential difference with respect to 40) is determined by the amount of piezoelectric deformation when applied. However, when there are variations in capacitance among the plurality of active portions 46, the amount of piezoelectric deformation varies depending on the size of the capacitance even when the same voltage is applied. For example, the amount of deformation is large in the active portion 46 having a small thickness (large capacitance), and the amount of deformation is small in the active portion 46 having a large thickness (small capacitance).

そこで、充放電制御回路52は、複数の活性部46の充放電される電荷量が等しくなるように充電スイッチSWa及び放電スイッチSWbの切り換えタイミング(即ち、充電時間及び放電時間)を制御する。これにより、Q=CVの関係においてQが一定とすることで、静電容量が大きい活性部46への印加電圧は小さく、逆に、静電容量が小さい活性部46への印加電圧は大きくなることから、複数の活性部46間での圧電変形量のばらつきが抑えられる。   Therefore, the charge / discharge control circuit 52 controls the switching timing (that is, the charge time and the discharge time) of the charge switch SWa and the discharge switch SWb so that the charge amounts of the plurality of active units 46 are equalized. Thereby, when Q is constant in the relationship of Q = CV, the applied voltage to the active part 46 having a large electrostatic capacity is small, and conversely, the applied voltage to the active part 46 having a small electrostatic capacity is large. Therefore, variations in the amount of piezoelectric deformation among the plurality of active portions 46 can be suppressed.

上記内容について、より具体的に説明する。各活性部46の充電電流と放電電流は、充電側定電流源50と放電側定電流源51によってそれぞれ一定に保たれる。尚、本実施形態では、充電側定電流源50と放電側定電流源51の構成が同一であるため充電電流と放電電流は同じ値となるが、充電電流と放電電流が異なる値となるように、充電側定電流源50と放電側定電流源51の構成(例えば、抵抗Rの電気抵抗値等)が異なっていてもよい。   The above contents will be described more specifically. The charging current and discharging current of each active unit 46 are kept constant by the charging side constant current source 50 and the discharging side constant current source 51, respectively. In the present embodiment, since the charging-side constant current source 50 and the discharging-side constant current source 51 have the same configuration, the charging current and the discharging current have the same value, but the charging current and the discharging current have different values. In addition, the configuration of the charging-side constant current source 50 and the discharging-side constant current source 51 (for example, the electrical resistance value of the resistor R) may be different.

このように、充電電流と放電電流はそれぞれ一定であることから、所定の電荷量Qを充放電するための、各活性部46の充電時間T1と放電時間T2は、充電電流をI1、放電電流をI2とすると、T1=Q/I1、T2=Q/I2となる。そこで、充放電制御回路52は、まず、充電スイッチSWaがON(充電側定電流源50と活性部46の接続状態)で、且つ、放電スイッチSWbがOFF(放電側定電流源51と活性部46との遮断状態)となる時間がT1になるように、充電スイッチSWaと放電スイッチSWbの切り換えタイミングを制御する。次に、充電スイッチSWaがOFF(充電側定電流源50と活性部46の遮断状態)で、且つ、放電スイッチSWbがON(放電側定電流源51と活性部46との接続状態)となる時間がT2になるように、充電スイッチSWaと放電スイッチSWbの切り換えタイミングを制御する。   As described above, since the charging current and the discharging current are constant, the charging time T1 and discharging time T2 of each active part 46 for charging and discharging the predetermined charge amount Q are the charging current I1 and the discharging current. Is I2, T1 = Q / I1 and T2 = Q / I2. Therefore, in the charge / discharge control circuit 52, first, the charge switch SWa is ON (the connection state between the charge-side constant current source 50 and the active part 46), and the discharge switch SWb is OFF (the discharge-side constant current source 51 and the active part). The switching timing of the charging switch SWa and the discharging switch SWb is controlled so that the time when the switching state is 46) is T1. Next, the charge switch SWa is OFF (the charge-side constant current source 50 and the active part 46 are disconnected), and the discharge switch SWb is ON (the connection state between the discharge-side constant current source 51 and the active part 46). The switching timing of the charge switch SWa and the discharge switch SWb is controlled so that the time becomes T2.

ところで、複数の活性部46の全てが、クラックが存在しない正常な活性部46であれば問題はないのであるが、何れかの活性部46においてクラックが生じている場合には、この活性部46において電荷(電流)のリークが生じる。そのため、充電時においては、一定の充電電流を上述した所定時間T1だけ供給しても、異常な活性部46に蓄えられる電荷量は、電荷のリークが生じる分だけ正常の活性部46と比べて少なくなる。また、放電時においては、一定の放電電流で放電される分に加えてリークによっても電荷が減少するため、正常な場合の放電時間T2よりも短い時間で放電が終了してしまう。従って、クラックの存在する活性部46では、充放電時における電荷量の変化(即ち、印加電圧の変化)が正常な活性部46と異なり、挙動(圧電変形)も異なってしまう。   By the way, there is no problem if all of the plurality of active portions 46 are normal active portions 46 with no cracks. However, if any active portion 46 has cracks, this active portion 46 has no problem. In this case, charge (current) leaks. Therefore, at the time of charging, even if a constant charging current is supplied for the predetermined time T1 described above, the amount of charge stored in the abnormal active portion 46 is larger than that of the normal active portion 46 by the amount of charge leakage. Less. In addition, at the time of discharge, since the electric charge is reduced due to leakage in addition to the discharge with a constant discharge current, the discharge ends in a time shorter than the normal discharge time T2. Therefore, in the active portion 46 where the crack exists, the change in charge amount (that is, the change in applied voltage) during charge / discharge differs from the normal active portion 46, and the behavior (piezoelectric deformation) also differs.

そこで、本実施形態のドライバIC47は、電荷のリークが生じる異常な活性部46に対して、他の活性部46の充電経路55から電流を融通してリークした分の電荷を補填できるように構成されている。即ち、図5、図6に示すように、ドライバIC47は、複数の充電経路55に対してそれぞれ設けられ、対応する充電経路55を別の充電経路55と接続して両充電経路55の間で充電電流を融通し合う、複数の電流融通回路57を備えている。   Therefore, the driver IC 47 of the present embodiment is configured to be able to compensate for the leaked charge by passing current from the charging path 55 of the other active part 46 to the abnormal active part 46 in which charge leakage occurs. Has been. That is, as shown in FIGS. 5 and 6, the driver IC 47 is provided for each of the plurality of charging paths 55, and the corresponding charging path 55 is connected to another charging path 55 between the charging paths 55. A plurality of current accommodation circuits 57 are provided to exchange charging currents.

電流融通回路57の回路構成を具体的に説明する。複数の電流融通回路57の各々は、対応する充電経路55を別の充電経路55に繋ぐ融通経路58と、融通経路58に設けられた第1スイッチSW1と、融通経路58と活性部46との間に設けられた第2スイッチSW2とを有する。尚、第1スイッチSW1と第2スイッチSW2は、ともに、MOSFET型のトランジスタで構成されている。これにより、1つの活性部46の充電経路55は、その活性部46に対応する電流融通回路57の融通経路58によって、隣の活性部46の充電経路55と接続されることとなり、この隣の活性部46の充電経路55を流れる充電電流の一部を融通してもらうことが可能となる。   The circuit configuration of the current accommodation circuit 57 will be specifically described. Each of the plurality of current accommodation circuits 57 includes an accommodation path 58 that connects the corresponding charging path 55 to another charging path 55, a first switch SW1 provided in the accommodation path 58, the accommodation path 58, and the active portion 46. And a second switch SW2 provided therebetween. The first switch SW1 and the second switch SW2 are both constituted by MOSFET type transistors. As a result, the charging path 55 of one active unit 46 is connected to the charging path 55 of the adjacent active unit 46 by the interchange path 58 of the current accommodation circuit 57 corresponding to the active unit 46. Part of the charging current flowing through the charging path 55 of the active unit 46 can be accommodated.

充放電制御回路52は、先に述べた充電スイッチSWaと放電スイッチSWbのON/OFF制御の他、電荷のリークが生じる異常な活性部46が存在する場合には、その活性部46の充放電時に、電流融通回路57の第1スイッチSW1と第2スイッチSW2のON/OFFを制御して、他の充電経路55からの活性部46への電荷の補填を行わせる。   In addition to the ON / OFF control of the charge switch SWa and the discharge switch SWb described above, the charge / discharge control circuit 52 charges / discharges the active part 46 when there is an abnormal active part 46 that causes charge leakage. Occasionally, the ON / OFF of the first switch SW1 and the second switch SW2 of the current accommodation circuit 57 is controlled to compensate for the charge from the other charging path 55 to the active portion 46.

以下の説明では、図5、図6に示されている3つの活性部46a,46b,46cのうち、中央に位置する活性部46bが電流のリークが生じる異常な活性部46であるとする。尚、後述するプリンタ1の制御装置8から充放電制御回路52に対して、複数の活性部46のそれぞれが正常か異常かを示す情報(リーク電流情報)が送られ、この情報を基に、充放電制御回路52は、どの活性部46に対して電流融通を行えばよいのかを判断する。   In the following description, it is assumed that among the three active portions 46a, 46b, and 46c shown in FIGS. 5 and 6, the active portion 46b located at the center is an abnormal active portion 46 in which current leakage occurs. Note that information (leakage current information) indicating whether each of the plurality of active units 46 is normal or abnormal is sent from the control device 8 of the printer 1 to be described later to the charge / discharge control circuit 52, and based on this information, The charge / discharge control circuit 52 determines to which active part 46 the current interchange should be performed.

充電時においては、図5に示すように、3つの活性部46a,46b,46cのそれぞれの充電経路55において充電スイッチSWaがON(放電スイッチSWbはOFF)であり、矢印Aに示すように充電経路55を介して活性部46a,46b,46cにそれぞれ充電電流が供給されている。ここで、異常な活性部46bは、この活性部46bに対応する電流融通回路57の融通経路58によって右側の活性部46cの充電経路55と接続されている。さらに、活性部46bは、左側の活性部46aに対応する電流融通回路57の融通経路58によって活性部46aの充電経路55とも接続されている。   At the time of charging, as shown in FIG. 5, the charging switch SWa is ON (the discharging switch SWb is OFF) in each of the charging paths 55 of the three active portions 46a, 46b, 46c, and charging is performed as indicated by an arrow A. Charging currents are respectively supplied to the active portions 46a, 46b, and 46c through the path 55. Here, the abnormal active part 46b is connected to the charging path 55 of the right active part 46c by the accommodation path 58 of the current accommodation circuit 57 corresponding to the active part 46b. Furthermore, the active part 46b is also connected to the charging path 55 of the active part 46a by the accommodation path 58 of the current accommodation circuit 57 corresponding to the left side active part 46a.

そこで、充放電制御回路52は、活性部46bに接続された2つの融通経路58の第1スイッチSW1をそれぞれONにすることで、図中矢印αに示すように、活性部46aの充電経路55と活性部46cの充電経路55から、活性部46bの充電経路55に対して充電電流の一部を供給(融通)させる。これにより、活性部46bに供給される充電電流が本来の電流値よりも大きくなり、活性部46bでリークする分の電荷が補填され、活性部46bに蓄えられる電荷量が正常な活性部46a,46cに近づく。   Therefore, the charging / discharging control circuit 52 turns on the first switches SW1 of the two interchange paths 58 connected to the active part 46b, respectively, so that the charging path 55 of the active part 46a is indicated by an arrow α in the figure. A part of the charging current is supplied (conversed) from the charging path 55 of the active part 46c to the charging path 55 of the active part 46b. As a result, the charging current supplied to the active part 46b becomes larger than the original current value, the charge leaked by the active part 46b is compensated, and the amount of charge stored in the active part 46b is normal. It approaches 46c.

また、放電時においては、図6に示すように、3つの活性部46a,46b,46cのそれぞれの放電経路56において放電スイッチSWbがON(充電スイッチSWaはOFF)であり、矢印Bで示すように3つの活性部46a,46b,46cからそれぞれの放電経路56を介して放電電流が流れ出す。このとき、充放電制御回路52は、異常な活性部46bに繋がった融通経路58の第1スイッチSW1をONにするとともに、この融通経路58と活性部46bとの間の第2スイッチSW2もONにする。これにより、矢印βで示すように、正常な活性部46cの充電経路55から、融通経路58を介して活性部46bに充電電流が供給される。尚、図5の充電時と違って第1スイッチSW1だけでなく、第2スイッチSW2もONにする理由は、放電時には充電スイッチSWaがOFFであるため、第1スイッチSW1をONにするだけでは活性部46bへ充電電流を供給できないためである。   Further, at the time of discharging, as shown in FIG. 6, the discharge switch SWb is ON (the charge switch SWa is OFF) in each of the discharge paths 56 of the three active portions 46a, 46b, and 46c, as indicated by an arrow B. In addition, a discharge current flows out from the three active portions 46a, 46b, and 46c through the respective discharge paths 56. At this time, the charge / discharge control circuit 52 turns on the first switch SW1 of the accommodation path 58 connected to the abnormal active part 46b, and also turns on the second switch SW2 between the accommodation path 58 and the active part 46b. To. As a result, as indicated by an arrow β, the charging current is supplied from the charging path 55 of the normal active part 46 c to the active part 46 b through the accommodation path 58. Note that the reason for turning on not only the first switch SW1 but also the second switch SW2 unlike the charging in FIG. 5 is that the charging switch SWa is OFF at the time of discharging, so simply turning on the first switch SW1. This is because the charging current cannot be supplied to the active part 46b.

尚、他の充電経路55からの充電電流の供給が継続したままであると、活性部46bの放電が終わらなくなってしまうため、放電を開始してから一定時間経過して、他の充電経路55から、リークが生じている活性部46bに対してある程度の電荷が補填された段階で、第2スイッチSW2をOFFにして電荷の補填を止める。このように、放電初期に、他の充電経路55から異常な活性部46bに対してリークする分の電荷が補填されるため、活性部46bの放電時間が長くなり、正常な活性部46a,46cに近づく。   If the supply of the charging current from the other charging path 55 is continued, the discharge of the active part 46b will not end. Therefore, after a certain time has elapsed from the start of discharging, the other charging path 55 Therefore, when a certain amount of charge is compensated for the active part 46b where the leak occurs, the second switch SW2 is turned off to stop the charge compensation. In this way, since the charge that is leaked from the other charging path 55 to the abnormal active part 46b is compensated in the early stage of discharge, the discharge time of the active part 46b becomes longer, and the normal active parts 46a, 46c. Get closer to.

このように、電荷(電流)のリークが発生する活性部46bに対して、他の活性部46a,46cの充電経路55から電荷を補填することで、充放電時における電荷量の変化(即ち、それに伴う印加電圧の変化)を正常な活性部46a,46cに近づけることができる。従って、圧電層41の中に、リークが生じる異常な活性部46が存在する場合であっても、この圧電層41を圧電アクチュエータ7に使用できるようになり、歩留まりが向上する。   In this way, by compensating the charge from the charging path 55 of the other active portions 46a and 46c with respect to the active portion 46b in which charge (current) leakage occurs, a change in the amount of charge during charge / discharge (that is, The change in applied voltage) can be brought close to normal active portions 46a and 46c. Therefore, even if there is an abnormal active portion 46 in which leakage occurs in the piezoelectric layer 41, the piezoelectric layer 41 can be used for the piezoelectric actuator 7 and the yield is improved.

尚、ある活性部46にクラックが存在して電流がリークする場合に、クラックの状態(大きさや長さ等)によってリークする電流の程度は変わる。そこで、充放電制御回路52は、活性部46のリーク電流の程度に応じて、異常な活性部46に融通する充電電流の量を制御することが好ましい。具体的には、後述するプリンタ1の制御装置8から、活性部46のリーク電流の程度を示す情報(リーク電流情報)が入力され、その情報に基づいて、充放電制御回路52は活性部46に供給(融通)する充電電流の量を制御する。   In addition, when a crack exists in a certain active portion 46 and current leaks, the degree of current leaking varies depending on the state of the crack (size, length, etc.). Therefore, it is preferable that the charge / discharge control circuit 52 controls the amount of charging current that can be accommodated in the abnormal active portion 46 in accordance with the degree of leakage current of the active portion 46. Specifically, information (leakage current information) indicating the degree of leakage current of the active unit 46 is input from the control device 8 of the printer 1 described later, and the charge / discharge control circuit 52 is based on the information. To control the amount of charging current supplied (accommodated).

本実施形態では、1つの活性部46bは、2つの融通経路58によって隣の2つの活性部46a,46bの充電経路55とそれぞれ接続されている。さらに、右隣の活性部46cの充電経路55は、図示は省略されているが、さらに別の充電経路55と融通経路58で接続されている。即ち、複数の活性部46にそれぞれ対応する複数の充電経路55が、それらの間の融通経路58を介して直列的に接続されている。従って、ある異常な活性部46に対して他の充電経路55から充電電流を供給する際に、その活性部46に直列的に繋がる複数の融通経路58にそれぞれ設けられた複数の第1スイッチSW1のうち、ONにする第1スイッチSW1の数を調整すれば、異常な活性部46に対して供給する充電電流の量を段階的に調整することができる。例えば、2つの第1スイッチSW1をONにすれば2つの充電経路55から1つの活性部46に対して充電電流が融通され、その融通電流量は、1つの第1スイッチSW1がONになっている場合のほぼ2倍となる。   In the present embodiment, one active part 46 b is connected to charging paths 55 of two adjacent active parts 46 a and 46 b by two interchange paths 58. Further, the charging path 55 of the active unit 46 c on the right side is not shown, but is connected to another charging path 55 and an accommodation path 58. That is, a plurality of charging paths 55 respectively corresponding to the plurality of active portions 46 are connected in series via an accommodation path 58 therebetween. Accordingly, when a charging current is supplied to a certain abnormal active part 46 from another charging path 55, a plurality of first switches SW1 provided in a plurality of interchange paths 58 connected in series to the active part 46, respectively. If the number of the first switches SW1 to be turned on is adjusted, the amount of charging current supplied to the abnormal active part 46 can be adjusted stepwise. For example, if the two first switches SW1 are turned on, the charging current is interchanged from the two charging paths 55 to the one active portion 46. Almost twice as much as

次に、プリンタ1の制御系について、図7のブロック図を参照して説明する。プリンタ1の制御装置8は、中央処理装置であるCPU(Central Processing Unit)60、ROM(Read Only Memory)61、RAM(Random Access Memory)62、及び、これらを接続するバス63からなるマイクロコンピュータを有する。また、バス63には、インクジェットヘッド3のドライバIC47、キャリッジ2を駆動するキャリッジ駆動モータ19、搬送機構4の給紙モータ14及び排紙モータ15等を制御する、ASIC(Application Specific Integrated Circuit)64が接続されている。また、このASIC64は、入出力インターフェイス(I/F)68を介して外部装置であるPC(パーソナルコンピュータ)69とデータ通信可能に接続されている。   Next, the control system of the printer 1 will be described with reference to the block diagram of FIG. The control device 8 of the printer 1 includes a microcomputer including a central processing unit (CPU) 60, a ROM (Read Only Memory) 61, a RAM (Random Access Memory) 62, and a bus 63 for connecting them. Have. The bus 63 also has a driver IC 47 for the inkjet head 3, a carriage drive motor 19 for driving the carriage 2, a paper feed motor 14 for the transport mechanism 4, a paper discharge motor 15, and the like, and an ASIC (Application Specific Integrated Circuit) 64. Is connected. The ASIC 64 is connected to an external device PC (personal computer) 69 via an input / output interface (I / F) 68 so that data communication is possible.

また、ASIC64には、PC69から入力された印刷データに基づいてインクジェットヘッド3のドライバIC47とキャリッジ駆動モータ19をそれぞれ制御するヘッド制御回路71と、同じく前記印刷データに基づいて搬送機構4の給紙モータ14と排紙モータ15をそれぞれ制御する搬送制御回路72等が組み込まれている。   The ASIC 64 has a head control circuit 71 that controls the driver IC 47 and the carriage drive motor 19 of the inkjet head 3 based on the print data input from the PC 69, and the paper feed of the transport mechanism 4 based on the print data. A conveyance control circuit 72 and the like for controlling the motor 14 and the paper discharge motor 15 are incorporated.

さらに、ヘッド制御回路71は記憶部73を備えており、この記憶部73には、ドライバIC47等の制御に用いる様々なデータが記憶されている。その中でも、記憶部73には、圧電アクチュエータ7の複数の活性部46に関するデータが格納されている。   Further, the head control circuit 71 includes a storage unit 73, and various data used for controlling the driver IC 47 and the like are stored in the storage unit 73. Among them, the storage unit 73 stores data related to the plurality of active units 46 of the piezoelectric actuator 7.

そのような活性部46に関するデータとしては、複数の活性部46のそれぞれについての、異常(リーク)の有無、及び、リーク電流の程度を示すリーク電流情報がある。このリーク電流情報は、複数の活性部46で生じるリーク電流の大きさによって、複数の活性部46を、正常レベル、第1異常レベル、第2異常レベルの、少なくとも3段階に区分する情報である。正常レベルの活性部46では、リーク電流が非常に小さな値である、所定の第1閾値未満であり、リーク電流はほとんど生じない。また、第1異常レベルの活性部46では、リーク電流が前記第1閾値以上、且つ、前記第1閾値よりも高い第2閾値未満であり、多少のリーク電流が生じる。さらに、第2異常レベルの活性部46では、リーク電流が前記第2閾値以上であり、かなり大きなリーク電流が生じる。尚、このリーク電流情報は、インクジェットヘッド3の出荷前検査等における測定結果に応じて決定され、記憶部73に記憶される。   As data relating to such an active portion 46, there is leakage current information indicating the presence / absence of abnormality (leakage) and the degree of leakage current for each of the plurality of active portions 46. The leakage current information is information that divides the plurality of active portions 46 into at least three levels of a normal level, a first abnormal level, and a second abnormal level according to the magnitude of leak current generated in the plurality of active portions 46. . In the active portion 46 at the normal level, the leakage current is less than the predetermined first threshold value which is a very small value, and the leakage current hardly occurs. Further, in the active part 46 at the first abnormal level, the leakage current is not less than the first threshold and less than the second threshold higher than the first threshold, and some leakage current is generated. Further, in the active portion 46 at the second abnormal level, the leak current is not less than the second threshold value, and a considerably large leak current is generated. The leakage current information is determined according to the measurement result in the pre-shipment inspection of the inkjet head 3 and stored in the storage unit 73.

また、ヘッド制御回路71は充放電時間決定部74を備えている。この充放電時間決定部74は、複数の活性部46に共通の充電電荷量Qを設定し、この電荷量Qから充電時間T1及び放電時間T2を決定する。そして、ヘッド制御回路71は、充放電時間決定部74で決定された充電時間T1及び放電時間T2と、記憶部73に記憶された、複数の活性部46のそれぞれについての前記リーク電流情報を、ドライバIC47へ送信する。   Further, the head control circuit 71 includes a charge / discharge time determination unit 74. The charge / discharge time determination unit 74 sets a charge amount Q common to the plurality of active units 46, and determines a charge time T1 and a discharge time T2 from the charge amount Q. Then, the head control circuit 71 uses the charging time T1 and the discharging time T2 determined by the charging / discharging time determination unit 74 and the leakage current information for each of the plurality of active units 46 stored in the storage unit 73. Transmit to the driver IC 47.

上記の入力信号に基づいて、前述したドライバIC47の充放電制御回路52は、各活性部46の充電時間及び放電時間が、充放電時間決定部74で決定された時間T1、T2となるように、充電スイッチSWa及び放電スイッチSWbのON/OFF切り換えを制御する。また、複数の活性部46のリーク電流情報に基づいて、異常レベルの活性部46の充放電時には電流融通回路57を制御して他の充電経路55から充電電流を補填する。さらに、活性部46のリーク電流の程度によって(活性部46の異常レベルが第1異常レベルか第2異常レベルかによって)、ONにする第1スイッチSW1の数を決定し、その活性部46に対して他の充電経路55から供給する充電電流の量を調整する。   Based on the input signal, the charge / discharge control circuit 52 of the driver IC 47 described above makes the charging time and discharging time of each active unit 46 become the times T1 and T2 determined by the charge / discharge time determining unit 74. The ON / OFF switching of the charge switch SWa and the discharge switch SWb is controlled. Further, based on the leakage current information of the plurality of active portions 46, the current accommodation circuit 57 is controlled during charging / discharging of the active portion 46 at the abnormal level to compensate the charging current from the other charging path 55. Further, the number of first switches SW1 to be turned on is determined according to the level of leakage current of the active part 46 (whether the abnormal level of the active part 46 is the first abnormal level or the second abnormal level). On the other hand, the amount of charging current supplied from the other charging path 55 is adjusted.

次に、前記実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、前記実施形態と同様の構成を有するものについては同じ符号を付して適宜その説明を省略する。   Next, modified embodiments in which various modifications are made to the embodiment will be described. However, the same reference numerals are given to those having the same configuration as in the above embodiment, and the description thereof is omitted as appropriate.

1]リークが発生する活性部46への電流融通を行うには、印刷データとは別に、その電流融通のための行うためのデータ(前記実施形態ではリーク電流情報)が必要になり、PC69等からプリンタ1へのデータ転送や処理に時間がかかるため、印刷時間が長くなる。ここで、従来から、テキスト印字を行う場合などに使用する低画質印刷モードと、画像を印刷する場合などに使用する高画質印刷モードとを使い分けるプリンタが知られているが、テキスト印字などではそれほど高い画質は要求されないために、いくつかの活性部46にリーク電流が生じて性能(ノズル30の噴射特性)が他の活性部46と異なっていても、印刷にはそれほど影響はない。そこで、このようなプリンタにおいて、低画質印刷モード選択時には、異常な活性部46への電流融通を制限するように構成されてもよい。 1] In order to carry out current accommodation to the active part 46 in which leakage occurs, data for conducting current accommodation (leakage current information in the above embodiment) is required in addition to the print data. Since it takes time to transfer and process data from the printer 1 to the printer 1, the printing time becomes longer. Conventionally, there are known printers that use a low-quality print mode that is used when printing text and a high-quality print mode that is used when printing an image. Since high image quality is not required, even if a leak current is generated in some active portions 46 and the performance (the ejection characteristics of the nozzles 30) is different from that of other active portions 46, printing is not significantly affected. Therefore, such a printer may be configured to limit current interchange to the abnormal active unit 46 when the low image quality printing mode is selected.

例えば、前記実施形態と同様に、複数の活性部46のそれぞれについて3段階のリーク電流情報が設定されている場合に、PC69から、画質よりも印刷速度を重視する低画質印刷の指令が入力されたときには、ドライバIC47の充放電制御回路52は、リーク電流情報が第2異常レベルである活性部46についてのみ、電流融通回路57を制御して他の充電経路55からの充電電流の融通供給を行わせ、リーク電流が比較的小さい、第1異常レベルと判定されているものについては、他の充電経路55からの電流融通は行わない。一方、PC69から、前記低画質印刷よりも高画質が要求される高画質印刷の指令が入力されたときには、ドライバIC47の充放電制御回路52は、リーク電流情報が第2異常レベルである活性部46だけでなく、第1異常レベルである活性部46についても、電流融通回路57を制御して、他の充電経路55からの充電電流の融通供給を行わせる。   For example, as in the above-described embodiment, when three levels of leakage current information are set for each of the plurality of active units 46, a low-quality printing command that places more importance on printing speed than image quality is input from the PC 69. In this case, the charge / discharge control circuit 52 of the driver IC 47 controls the current accommodation circuit 57 only for the active part 46 whose leakage current information is at the second abnormal level to allow the interchange supply of the charging current from the other charging path 55. If it is determined that the leakage current is relatively small and the first abnormality level is determined, current exchange from the other charging path 55 is not performed. On the other hand, when a high-quality print command that requires higher image quality than the low-quality print is input from the PC 69, the charge / discharge control circuit 52 of the driver IC 47 causes the active part whose leakage current information is the second abnormal level. In addition to the active portion 46 that is at the first abnormal level, the current accommodation circuit 57 is controlled so that the charging current is supplied from the other charging path 55.

あるいは、低画質印刷指令が入力されたときには、全ての異常な活性部46について、充電電流の融通を行わず、高画質印刷指令が入力されたときにのみ、異常な活性部46への充電電流の融通を行うように構成されてもよい。   Alternatively, when a low image quality print command is input, charging current is not interchanged for all the abnormal active portions 46, and only when a high image quality print command is input, the charging current to the abnormal active portion 46 is charged. It may be configured so as to accommodate the following.

2]前記実施形態の圧電アクチュエータ7では、圧電層41の一方の面に複数の個別電極42(第1電極)、圧電層41の他方の面に共通電極としての振動板40(第2電極)が配置されており、これら2種類の電極42,40によって厚み方向に挟まれた圧電層部分が活性部46として作用するようになっている。しかし、本発明を適用可能な圧電アクチュエータは上記構成には限られない。 2] In the piezoelectric actuator 7 of the above-described embodiment, a plurality of individual electrodes 42 (first electrodes) on one surface of the piezoelectric layer 41 and a diaphragm 40 (second electrode) as a common electrode on the other surface of the piezoelectric layer 41. The piezoelectric layer portion sandwiched between these two types of electrodes 42 and 40 in the thickness direction acts as the active portion 46. However, the piezoelectric actuator to which the present invention can be applied is not limited to the above configuration.

例えば、振動板40が共通電極を兼ねている必要は必ずしもなく、共通電極が、複数の圧力室24を覆う振動板40とは別に、この振動板40の上面に設けられてもよい。また、第2電極は、圧電層41の広い領域にまたがって形成される共通電極、いわゆる、ベタ電極である必要もなく、複数の第1電極とそれぞれ対向する位置に複数の第2電極が互いに分離して設けられてもよい。   For example, the diaphragm 40 does not necessarily have to serve as a common electrode, and the common electrode may be provided on the upper surface of the diaphragm 40 separately from the diaphragm 40 that covers the plurality of pressure chambers 24. In addition, the second electrode does not have to be a common electrode formed over a wide area of the piezoelectric layer 41, that is, a so-called solid electrode, and the plurality of second electrodes are arranged at positions facing each of the plurality of first electrodes. It may be provided separately.

あるいは、圧電層41の1つの面に2種類の電極の両方が配置され、これら2種類の電極によって面方向に挟まれた圧電層部分が、活性部46として作用するものであってもよい。   Alternatively, two types of electrodes may be arranged on one surface of the piezoelectric layer 41, and a piezoelectric layer portion sandwiched in the surface direction by these two types of electrodes may act as the active portion 46.

3]ドライバICの回路構成は前記実施形態のものには限られず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、電流融通回路が、3以上の充電経路間で電流を相互に融通できるように、融通経路による充電経路間の接続の仕方、あるいは、スイッチの設置位置等を適宜変更してもよい。 3] The circuit configuration of the driver IC is not limited to that of the above embodiment, and can be changed as appropriate without departing from the spirit of the present invention. For example, the connection method between the charging paths by the accommodation path, the installation position of the switch, or the like may be appropriately changed so that the current accommodation circuit can mutually exchange the current between the three or more charging paths.

また、前記実施形態では、MOSFET型のトランジスタで構成されていた、充電側定電流源、放電側定電流源、充電スイッチ、放電スイッチ、電流融通回路の第1スイッチ及び第2スイッチの少なくとも1つ、あるいは、全部が、バイポーラトランジスタで構成されていてもよい。   In the embodiment, at least one of the charge-side constant current source, the discharge-side constant current source, the charge switch, the discharge switch, the first switch and the second switch of the current accommodation circuit, which is configured by a MOSFET type transistor. Alternatively, all may be composed of bipolar transistors.

以上説明した実施形態は、インクジェットヘッド用の圧電アクチュエータの駆動装置に本発明を適用した一例であるが、本発明の適用対象は液体を扱う装置に使用される圧電アクチュエータには限られない。例えば、活性部に生じる圧電歪みによって固形の駆動対象を振動させるような圧電アクチュエータの駆動装置に対しても、本発明を適用できる。   The embodiment described above is an example in which the present invention is applied to a piezoelectric actuator driving apparatus for an ink jet head, but the application target of the present invention is not limited to a piezoelectric actuator used in a liquid handling apparatus. For example, the present invention can also be applied to a drive device for a piezoelectric actuator that vibrates a solid drive object by piezoelectric distortion generated in the active portion.

7 圧電アクチュエータ
40 振動板(第2電極)
41 圧電層
42 個別電極(第1電極)
46 活性部
47 ドライバIC
50 充電側定電流源
51 放電側定電流源
52 充放電制御回路
55 充電経路
56 放電経路
57 電流融通回路
58 融通経路
73 記憶部
SW1 第1スイッチ
SW2 第2スイッチ

7 Piezoelectric actuator 40 Diaphragm (second electrode)
41 Piezoelectric layer 42 Individual electrode (first electrode)
46 Active part 47 Driver IC
50 charge side constant current source 51 discharge side constant current source 52 charge / discharge control circuit 55 charge path 56 discharge path 57 current accommodation circuit 58 accommodation path 73 storage unit SW1 first switch SW2 second switch

Claims (6)

圧電層とこの圧電層に設けられた複数の第1電極及び複数の第2電極を有し、前記複数の第1電極と前記複数の第2電極とに挟まれた圧電層部分からなりコンデンサとして作用する複数の活性部を備えた、圧電アクチュエータを駆動する駆動装置であって、
前記複数の活性部のそれぞれに接続された複数の充電経路、及び、複数の放電経路と、
前記複数の充電経路を介して前記複数の活性部とそれぞれ接続された充電側定電流源と、
前記複数の放電経路を介して前記複数の活性部とそれぞれ接続された放電側定電流源と、
前記複数の充電経路に対してそれぞれ設けられ、対応する充電経路を別の充電経路と接続して両充電経路の間で充電電流を融通し合う、複数の電流融通回路と、
を備えていることを特徴とする圧電アクチュエータの駆動装置。
A capacitor comprising a piezoelectric layer and a plurality of first electrodes and a plurality of second electrodes provided on the piezoelectric layer, and comprising a piezoelectric layer portion sandwiched between the plurality of first electrodes and the plurality of second electrodes. A drive device for driving a piezoelectric actuator, comprising a plurality of active parts that act,
A plurality of charging paths connected to each of the plurality of active portions; and a plurality of discharging paths;
A charging-side constant current source connected to each of the plurality of active units via the plurality of charging paths;
A discharge-side constant current source connected to each of the plurality of active portions via the plurality of discharge paths;
A plurality of current accommodation circuits provided for each of the plurality of charging paths, and connecting a corresponding charging path to another charging path to allow charging current to be interchanged between the two charging paths;
A drive device for a piezoelectric actuator, comprising:
前記複数の電流融通回路の各々は、
対応する充電経路を別の充電経路に繋ぐ融通経路と、前記融通経路に設けられた第1スイッチと、前記融通経路と前記活性部との間に設けられた第2スイッチとを有することを特徴とする請求項1に記載の圧電アクチュエータの駆動装置。
Each of the plurality of current accommodation circuits is:
It has an accommodation path connecting a corresponding charging path to another charging path, a first switch provided in the accommodation path, and a second switch provided between the accommodation path and the active part. The drive device for a piezoelectric actuator according to claim 1.
前記電流融通回路の前記第1スイッチと前記第2スイッチのON/OFF制御を行う制御回路を備え、
前記制御回路は、
所定の活性部の充電時に、その活性部の充電経路と繋がる前記融通経路に設けられた前記第1スイッチをONにし、
前記所定の活性部の放電時には、その活性部の充電経路と繋がる前記融通経路に設けられた前記第1スイッチをONにするとともに、その活性部と前記融通経路との間の前記第2スイッチをONにし、一定時間経過後に、再び前記第2スイッチをOFFにすることを特徴とする請求項2に記載の圧電アクチュエータの駆動装置。
A control circuit for performing ON / OFF control of the first switch and the second switch of the current accommodation circuit;
The control circuit includes:
When charging a predetermined active part, turn on the first switch provided in the accommodation path connected to the charging path of the active part,
When discharging the predetermined active part, the first switch provided in the accommodation path connected to the charging path of the active part is turned ON, and the second switch between the active part and the accommodation path is turned on. 3. The piezoelectric actuator driving device according to claim 2, wherein the second switch is turned off again after a predetermined time has elapsed.
前記制御回路には、前記複数の活性部のそれぞれについてのリーク電流の程度を示すリーク電流情報が入力され、
前記制御回路は、前記所定の活性部の充電時に、その活性部についてのリーク電流情報に基づいて、その活性部の充電経路と繋がる前記融通経路に設けられた前記第1スイッチのうち、ONにする前記第1スイッチの数を決定し、他の充電経路から融通する充電電流の量を制御することを特徴とする請求項3に記載の圧電アクチュエータの駆動装置。
Leak current information indicating the degree of leak current for each of the plurality of active portions is input to the control circuit,
The control circuit turns ON among the first switches provided in the accommodation path connected to the charging path of the active part based on leakage current information about the active part when charging the predetermined active part. 4. The piezoelectric actuator driving apparatus according to claim 3, wherein the number of the first switches to be determined is determined, and the amount of charging current accommodated from another charging path is controlled.
前記充電経路を別の充電経路と接続して両充電経路の間で充電電流を融通し合うように、前記電流融通回路を制御する、制御回路を備えていることを特徴とする請求項1に記載の圧電アクチュエータの駆動装置。   2. The control circuit according to claim 1, further comprising: a control circuit that controls the current accommodation circuit so that the charging path is connected to another charging path and the charging current is interchanged between the two charging paths. The drive device of the piezoelectric actuator as described. 被印刷媒体に対して複数のノズルからインクの液滴を噴射して印刷を行うインクジェットプリンタであって、
圧電層とこの圧電層に設けられた複数の第1電極及び複数の第2電極とを有し、前記複数の第1電極と前記複数の第2電極とに挟まれた圧電層部分からなりコンデンサとして作用する複数の活性部を備え、これら複数の活性部によって前記複数のノズルからそれぞれインクの液滴を噴射させる圧電アクチュエータと、
前記圧電アクチュエータを駆動する請求項3〜5の何れかに記載の駆動装置と、
前記複数の活性部のそれぞれについてのリーク電流の程度を、正常レベル、第1異常レベル、及び、前記第1異常レベルよりもリーク電流が多い第2異常レベルの、少なくとも3段階で示す、リーク電流情報を記憶する記憶部を備え、
前記駆動装置の前記制御回路は、
低画質印刷指令が入力されたときには、前記リーク電流情報が前記第2異常レベルである活性部についてのみ、前記電流融通回路により他の充電経路からの充電電流の融通供給を行い、
前記低画質印刷指令よりも高い画質が要求される高画質印刷指令が入力されたときには、前記リーク電流情報が前記第2異常レベルである活性部だけでなく、前記第1異常レベルである活性部についても、前記電流融通回路により他の充電経路からの充電電流の融通供給を行うように制御することを特徴とするインクジェットプリンタ。
An inkjet printer that performs printing by ejecting ink droplets from a plurality of nozzles onto a printing medium,
A capacitor comprising a piezoelectric layer and a plurality of first electrodes and a plurality of second electrodes provided on the piezoelectric layer, the piezoelectric layer being sandwiched between the plurality of first electrodes and the plurality of second electrodes A plurality of active portions that act as piezoelectric actuators that eject ink droplets from the plurality of nozzles by the plurality of active portions,
The driving device according to any one of claims 3 to 5, which drives the piezoelectric actuator;
Leakage current indicating the degree of leakage current for each of the plurality of active portions in at least three stages: a normal level, a first abnormal level, and a second abnormal level having a leakage current higher than the first abnormal level A storage unit for storing information;
The control circuit of the driving device is:
When a low image quality print command is input, only for the active portion where the leakage current information is at the second abnormal level, the current accommodation circuit performs charging supply of charging current from another charging path,
When a high image quality print command that requires higher image quality than the low image quality print command is input, not only the active portion having the leakage current information is the second abnormal level but also the active portion having the first abnormal level. The inkjet printer is also characterized in that the current accommodation circuit controls the supply of charging current from other charging paths.
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