JP5231668B2

JP5231668B2 - Capacitive coupling type touch panel

Info

Publication number: JP5231668B2
Application number: JP2012077121A
Authority: JP
Inventors: 賢齋藤
Original assignee: Panasonic Liquid Crystal Display Co Ltd
Current assignee: Panasonic Liquid Crystal Display Co Ltd
Priority date: 2012-03-29
Filing date: 2012-03-29
Publication date: 2013-07-10
Anticipated expiration: 2028-08-08
Also published as: JP2012123850A

Description

本発明は、静電容量結合方式のタッチパネルに係り、特に、静電容量結合方式のタッチパネルを備えたタッチパネル付き表示装置に関するものである。 The present invention relates to a capacitively coupled touch panel, and more particularly to a display device with a touch panel provided with a capacitively coupled touch panel.

タッチパネルの主な方式として、光の変化を検出する方式と、電気的な特性の変化を検出する方式とが知られている。また、電気的な特性の変化を検出する方式として、静電容量結合方式が知られている。（下記、特許文献１、特許文献２参照）
図１３乃至図１５は従来の静電容量結合方式のタッチパネルに係る図であり、図１３は電極パターンを示す平面図、図１４は図１３のＦ−Ｆ’線に沿った断面構造を示す断面図、図１５は図１３のＧ−Ｇ’線に沿った断面構造を示す断面図である。
従来の静電容量結合方式のタッチパネルは、図１３乃至図１５に示すように、第１の方向（例えばＸ方向）に延在し、前記第１の方向と交差する第２の方向（例えばＹ方向）に併設される複数の電極１Ｘと、この電極１Ｘと交差して前記第２の方向に延在し、前記第１の方向に併設される複数の電極２Ｙとを有している。複数の電極１Ｘは、基板１１上に配置され、その上層に形成された絶縁膜１２で覆われている。複数の電極２Ｙは、絶縁膜１２上に配置され、その上層に形成された保護膜１３で覆われている。電極１Ｘ及び２Ｙは、例えばＩＴＯ（Ｉndium Ｔin Ｏxide）等の透明性導電材料で形成されている。
また、従来の静電容量結合方式のタッチパネルは、図１４及び図１５に示すように、基板１１の観察者側とは反対側の面に面状のシールド用の導電膜１５を有している。このシールド用の導電膜１５は、所定の信号が入力され、表示パネルからタッチパネルへのノイズを低減している。シールド用の導電膜１５は、例えばＩＴＯ等の透明性導電膜で形成されている。 As a main method of a touch panel, a method for detecting a change in light and a method for detecting a change in electrical characteristics are known. As a method for detecting a change in electrical characteristics, a capacitive coupling method is known. (See Patent Document 1 and Patent Document 2 below)
13 to 15 are diagrams related to a conventional capacitively coupled touch panel, FIG. 13 is a plan view showing an electrode pattern, and FIG. 14 is a cross-sectional view showing a cross-sectional structure taken along line FF ′ of FIG. FIGS. 15A and 15B are cross-sectional views showing a cross-sectional structure along the line GG ′ in FIG.
As shown in FIGS. 13 to 15, the conventional capacitive coupling type touch panel extends in a first direction (for example, the X direction) and crosses the first direction (for example, Y direction). A plurality of electrodes 1 X provided in the first direction and a plurality of electrodes 2 Y extending in the second direction intersecting with the electrodes 1 X and provided in the first direction. The plurality of electrodes 1 X are disposed on the substrate 11 and covered with an insulating film 12 formed on the upper layer. The plurality of electrodes 2Y are disposed on the insulating film 12, and are covered with a protective film 13 formed on the upper layer. The electrodes 1X and 2Y are made of a transparent conductive material such as ITO (Indium Tin Oxide).
Further, as shown in FIGS. 14 and 15, the conventional capacitive coupling type touch panel has a planar shielding conductive film 15 on the surface of the substrate 11 opposite to the viewer side. . The shield conductive film 15 receives a predetermined signal and reduces noise from the display panel to the touch panel. The shielding conductive film 15 is formed of a transparent conductive film such as ITO.

なお、本願発明に関連する先行技術文献としては以下のものがある。
特開２００８−６５７４８号公報特願２００７−１７５０５０号 As prior art documents related to the invention of the present application, there are the following.
JP 2008-65748 A Japanese Patent Application No. 2007-175050

従来の静電容量結合方式のタッチパネルでは、図１３乃至図１５に示すように、複数の電極１Ｘと複数の電極２Ｙとが絶縁膜１２を介してそれぞれ異なる導電層（下層と上層）に形成されている。このような電極構造の場合、絶縁膜１２及び上層の電極１Ｘ上に形成される保護膜１３は、上層の電極１Ｘにより膜に歪みが生じるため、加えて、反射光に対しては、下層と上層とで光路長が異なるため、下層の電極１Ｘと上層の電極２Ｙに色差が生じ、電極１Ｘ及び電極２Ｙの電極パターンが顕在化する。このような電極パターンの顕在化は、光学特性の悪化を招き、タッチパネルを組み込んだ表示装置の特性低下を引き起こす要因となるため、対策が必要である。 In the conventional capacitive coupling type touch panel, as shown in FIGS. 13 to 15, the plurality of electrodes 1 X and the plurality of electrodes 2 Y are formed on different conductive layers (lower layer and upper layer) through the insulating film 12. ing. In the case of such an electrode structure, the protective film 13 formed on the insulating film 12 and the upper electrode 1X is distorted by the upper electrode 1X. Since the optical path length differs between the upper layer, a color difference occurs between the lower layer electrode 1X and the upper layer electrode 2Y, and the electrode patterns of the electrode 1X and the electrode 2Y become obvious. Such an actualization of the electrode pattern causes deterioration of optical characteristics and causes deterioration of the characteristics of a display device incorporating a touch panel, and thus countermeasures are necessary.

また、従来の静電容量結合方式のタッチパネルでは、図１４及び図１５に示すように、基板１１の観察者側の面（主面）とは反対側の面（裏面）にシールド用の導電膜１５を設けている。このような構造の場合、透明性導電材料層として、電極１Ｘを形成するための透明導電性材料層層と電極２Ｙを形成するための透明性導電材料層に、シールド用の導電膜１５を形成するための透明性導電材料層を加えた３つの透明性導電材料層が必要であり、低コスト化を阻害する要因となる。
そこで、本発明者は、電極１Ｘ、電極２Ｙ、シールド用の導電膜１５の３つの透明性導電材料層に着目し、本発明をなした。
本発明の目的は、静電容量結合方式のタッチパネルにおいて、特性低下の抑制及び低コスト化を図ることが可能な技術を提供することにある。
本発明の前記並びにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろう。 Further, in the conventional capacitive coupling type touch panel, as shown in FIGS. 14 and 15, a conductive film for shielding is provided on the surface (back surface) opposite to the surface (main surface) on the viewer side of the substrate 11. 15 is provided. In the case of such a structure, the conductive film 15 for shielding is formed on the transparent conductive material layer for forming the electrode 1X and the transparent conductive material layer for forming the electrode 2Y as the transparent conductive material layer. Therefore, three transparent conductive material layers to which the transparent conductive material layer is added are necessary, which becomes a factor that hinders cost reduction.
Therefore, the present inventor made the present invention by paying attention to three transparent conductive material layers of the electrode 1X, the electrode 2Y, and the conductive film 15 for shielding.
An object of the present invention is to provide a technology capable of suppressing deterioration in characteristics and reducing costs in a capacitively coupled touch panel.
The above and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.

本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
（１）表示パネルと、前記表示パネルの観察者側の面上に配置される静電容量結合方式のタッチパネルとを備え、前記タッチパネルは、基板と、前記基板の前記観察者側の面上に形成される面状のシールド用の第１導電膜と、前記シールド用の第１導電膜上に形成される絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成され、第１の方向に延在し前記第１の方向と交差する第２の方向に並設される複数の第１電極と、前記絶縁膜上に形成され、前記第２の方向に延在し前記第２方向と交差する前記第１の方向に並設される複数の第２電極とを有するタッチパネル付き表示装置であって、前記シールド用の第１導電膜は、所定の信号が入力され、前記複数の第１電極の各々は、前記基板の前記観察者側の面上に形成される第１部分と、前記絶縁膜上で前記第２電極とは分離して形成される第２部分とを有し、前記第１部分は、前記絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して前記第２部分に接続され、前記シールド用の第１導電膜は、前記第１部分が形成される領域に開口部を有し、前記第１部分は、前記シールド用の第１導電膜に形成された前記開口部内に形成される。
（２）上記（１）において、前記複数の第１電極と前記複数の第２電極とが形成される領域の周囲に形成され、前記複数の第１電極、或いは前記複数の第２電極の各々に電気的に接続される複数の配線を有し、前記複数の配線は、前記基板の前記観察者側の面上に形成され、前記絶縁膜上で前記複数の配線を覆うように形成され、所定の信号が入力されるシールド用の第２導電膜を有する。
（３）上記（１）又は（２）において、前記タッチパネルは、前記複数の第１電極と前記複数の第２電極上に形成される保護膜を有する。
（４）上記（３）において、前記タッチパネルは、前記保護膜上に形成されるフロントパネルを有する。 Of the inventions disclosed in this application, the outline of typical ones will be briefly described as follows.
(1) A display panel and a capacitively coupled touch panel disposed on an observer side surface of the display panel, the touch panel on a surface of the substrate and the observer side of the substrate A planar shield first conductive film formed, an insulating film formed on the first conductive film for shielding, and formed on the insulating film, extending in a first direction and extending in the first direction A plurality of first electrodes arranged in parallel in a second direction intersecting with the first direction, and the first electrode formed on the insulating film, extending in the second direction and intersecting the second direction. A display device with a touch panel having a plurality of second electrodes arranged in parallel in a direction, wherein the first conductive film for shielding receives a predetermined signal, and each of the plurality of first electrodes A first portion formed on the surface of the substrate on the viewer side, and the second electrode on the insulating film. A second portion formed separately from the first portion, and the first portion is connected to the second portion via a contact hole formed in the insulating film, and the first conductive film for shielding Has an opening in a region where the first portion is formed, and the first portion is formed in the opening formed in the first conductive film for shielding.
(2) In the above (1), each of the plurality of first electrodes or the plurality of second electrodes is formed around a region where the plurality of first electrodes and the plurality of second electrodes are formed. A plurality of wirings that are electrically connected to each other, and the plurality of wirings are formed on the surface of the observer side of the substrate, and are formed so as to cover the plurality of wirings on the insulating film, It has the 2nd conductive film for shielding into which a predetermined signal is inputted.
(3) In the above (1) or (2), the touch panel has a protective film formed on the plurality of first electrodes and the plurality of second electrodes.
(4) In the above (3), the touch panel has a front panel formed on the protective film.

（５）表示パネルと、前記表示パネルの観察者側の面上に配置される静電容量結合方式のタッチパネルとを備え、前記タッチパネルは、基板と、前記基板の前記表示パネル側の面上に形成され、第１の方向に延在し前記第１の方向と交差する第２の方向に並設される複数の第１電極と、
前記基板の前記表示パネル側の面上に形成され、前記第２の方向に延在し前記第２の方向と交差する前記第１の方向に並設される複数の第２電極と、前記複数の第１電極および前記複数の第２電極上に形成される絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成される面状のシールド用の導電膜とを有するタッチパネル付き表示装置であって、
前記シールド用の導電膜は、所定の信号が入力され、前記複数の第１電極の各々は、前記絶縁膜上に形成される第１部分と、前記基板の前記表示パネル側の面上で前記第２電極とは分離して形成される第２部分とを有し、前記第１部分は、前記絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して前記第２部分に接続され、前記シールド用の導電膜は、前記第１部分が形成される領域に開口部を有し、前記第１部分は、前記シールド用の導電膜に形成された前記開口部内に形成される。
（６）上記（５）において、前記複数の第１電極と前記複数の第２電極とが形成される領域の周囲に形成され、前記複数の第１電極、或いは前記複数の第２電極の各々に電気的に接続される複数の配線を有し、前記複数の配線は、前記基板の前記表示パネルの面上に形成され、シールド用の導電膜は、前記複数の配線を覆うように形成されている。
（７）上記（５）又は（６）において、前記タッチパネルは、前記複数の第１電極と前記複数の第２電極上に形成される保護膜を有する。
（８）上記（１）乃至（７）において、前記複数の第１電極および前記複数の第２電極は、透明導電膜で構成されている。 (5) A display panel and a capacitively coupled touch panel disposed on a viewer side surface of the display panel, the touch panel on a surface of the substrate and the display panel side of the substrate. A plurality of first electrodes formed in parallel with each other in a second direction extending in the first direction and intersecting the first direction;
A plurality of second electrodes formed on a surface of the substrate on the display panel side, extending in the second direction and arranged in parallel in the first direction intersecting the second direction; A display device with a touch panel having an insulating film formed on the first electrode and the plurality of second electrodes, and a planar shielding conductive film formed on the insulating film,
A predetermined signal is input to the shielding conductive film, and each of the plurality of first electrodes includes a first portion formed on the insulating film and a surface of the substrate on the display panel side. A second portion formed separately from the second electrode, and the first portion is connected to the second portion via a contact hole formed in the insulating film, and the conductive material for shielding The film has an opening in a region where the first portion is formed, and the first portion is formed in the opening formed in the conductive film for shielding.
(6) In the above (5), each of the plurality of first electrodes or the plurality of second electrodes is formed around a region where the plurality of first electrodes and the plurality of second electrodes are formed. A plurality of wirings electrically connected to the display panel, wherein the plurality of wirings are formed on the surface of the display panel of the substrate, and a shielding conductive film is formed so as to cover the plurality of wirings. ing.
(7) In the above (5) or (6), the touch panel has a protective film formed on the plurality of first electrodes and the plurality of second electrodes.
(8) In the above (1) to (7), the plurality of first electrodes and the plurality of second electrodes are made of a transparent conductive film.

本願において開示される発明のうち代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
本発明によれば、静電容量結合方式のタッチパネルにおいて、特性低下の抑制及び低コスト化を図ることが可能となる。 The effects obtained by the representative ones of the inventions disclosed in the present application will be briefly described as follows.
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it becomes possible to aim at suppression of a characteristic fall and cost reduction in a capacitive coupling type touch panel.

本発明の実施例１のタッチパネル付き表示装置に組み込まれるタッチパネルの電極パターンを示す平面図である。It is a top view which shows the electrode pattern of the touchscreen integrated in the display apparatus with a touchscreen of Example 1 of this invention. 図１の一部を拡大した平面図である。It is the top view which expanded a part of FIG. 図１のタッチパネルの断面構造を示す図（（ａ）は図１のＡ−Ａ’線に沿った断面図、（ｂ）は（ａ）の一部を拡大した断面図）である。FIG. 2A is a cross-sectional view taken along line A-A ′ of FIG. 1 and FIG. 2B is an enlarged cross-sectional view of part of FIG. 図１のタッチパネルの断面構造を示す図（（ａ）は図１のＢ−Ｂ’線に沿った断面図、（ｂ）は（ａ）の一部を拡大した断面図）である。FIG. 2A is a cross-sectional view taken along line B-B ′ of FIG. 1 and FIG. 2B is an enlarged cross-sectional view of part of FIG. 図１のタッチパネルのシールド用の導電膜パターンを示す平面図である。It is a top view which shows the electrically conductive film pattern for the shield of the touchscreen of FIG. 本発明の実施例１のタッチパネル付き表示装置の概略構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows schematic structure of the display apparatus with a touchscreen of Example 1 of this invention. 本発明の実施例１の変形例であるタッチパネルの断面構造を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the cross-section of the touchscreen which is a modification of Example 1 of this invention. 本発明の実施例２のタッチパネル付き表示装置に組み込まれるタッチパネルの電極パターンを示す平面図である。It is a top view which shows the electrode pattern of the touchscreen integrated in the display apparatus with a touchscreen of Example 2 of this invention. 図８の一部を拡大した平面図である。It is the top view which expanded a part of FIG. 図８のタッチパネルの断面構造を示す図（（ａ）は図８のＤ−Ｄ’線に沿った断面図、（ｂ）は（ａ）の一部を拡大した断面図）である。FIGS. 8A and 8B are diagrams illustrating a cross-sectional structure of the touch panel in FIG. 8 (a) is a cross-sectional view taken along the line D-D ′ in FIG. 8, and FIG. 図８のタッチパネルの断面構造を示す図（（ａ）は図８のＥ−Ｅ’線に沿った断面図、（ｂ）は（ａ）の一部を拡大した断面図）である。8A and 8B are diagrams showing a cross-sectional structure of the touch panel in FIG. 8 (a) is a cross-sectional view taken along the line E-E 'in FIG. 8, and FIG. 本発明の実施例２のタッチパネル付き表示装置の概略構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows schematic structure of the display apparatus with a touchscreen of Example 2 of this invention. 従来の静電容量結合方式のタッチパネルの電極パターンを示す平面図である。It is a top view which shows the electrode pattern of the conventional capacitive coupling type touchscreen. 図１３のＦ−Ｆ’線に沿った断面構造を示す断面図である。FIG. 14 is a cross-sectional view showing a cross-sectional structure taken along line F-F ′ of FIG. 13. 図１３のＧ−Ｇ’線に沿った断面構造を示す断面図である。FIG. 14 is a cross-sectional view showing a cross-sectional structure along the line G-G ′ of FIG. 13.

以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。なお、発明の実施例を説明するための全図において、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In all the drawings for explaining the embodiments of the invention, those having the same function are given the same reference numerals, and the repeated explanation thereof is omitted.

本実施例１では、表示パネルの一例として例えば液晶表示パネル上にタッチパネルを備えたタッチパネル付き表示装置に本発明を適用した例について説明する。
図１乃至図６は本発明の実施例１のタッチパネル付き表示装置に係る図であり、
図１は、タッチパネル付き表示装置に組み込まれるタッチパネルの電極パターンを示す平面図、
図２は、図１の一部を拡大した平面図、
図３は、図１のタッチパネルの断面構造を示す図（（ａ）は図１のＡ−Ａ’線に沿った断面図、（ｂ）は（ａ）の一部を拡大した断面図）、
図４は、図１のタッチパネルの断面構造を示す図（（ａ）は図１のＢ−Ｂ’線に沿った断面図、（ｂ）は（ａ）の一部を拡大した断面図）、
図５は、図１のタッチパネルのシールド用の導電膜パターンを示す平面図、
図６は、タッチパネル付き表示装置の概略構成を示すブロック図である。
なお、図６において、タッチパネル２０は、図１のＣ−Ｃ’線に沿った断面構造を示している。 In the first embodiment, an example in which the present invention is applied to a display device with a touch panel provided with a touch panel on a liquid crystal display panel will be described as an example of a display panel.
1 to 6 are diagrams related to a display device with a touch panel according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 1 is a plan view showing an electrode pattern of a touch panel incorporated in a display device with a touch panel,
FIG. 2 is an enlarged plan view of a part of FIG.
3 is a diagram showing a sectional structure of the touch panel of FIG. 1 ((a) is a sectional view taken along the line AA ′ of FIG. 1, (b) is a sectional view in which (a) is enlarged),
4 is a diagram showing a sectional structure of the touch panel of FIG. 1 ((a) is a sectional view taken along line BB ′ of FIG. 1, (b) is a sectional view enlarging a part of (a)),
5 is a plan view showing a conductive film pattern for shielding the touch panel of FIG.
FIG. 6 is a block diagram illustrating a schematic configuration of a display device with a touch panel.
In FIG. 6, the touch panel 20 shows a cross-sectional structure along the line CC ′ in FIG. 1.

本実施例１のタッチパネル付き表示装置は、図６に示すように、液晶表示パネル３０と、液晶液示パネル３０の観察者側の面上に配置された静電容量結合方式のタッチパネル２０と、液晶表示パネル３０の観察者側とは反対側の面下に配置されたバックライト４０とを備えている。液晶表示パネル３０としては、例えばＩＰＳ方式、ＴＮ方式、ＶＡ方式等の液晶表示パネルが用いられている。液晶表示パネル３０は、複数の画素がマトリクス状に配置された表示領域と、この表示領域の周囲に配置された非表示領域とを有している。複数の画素の各々は、画素電極及び対向電極を有している。非表示領域には、ブラックマトリクスなどの遮光膜が設けられている。
タッチパネル２０は、図１乃至図４に示すように、基板１１の観察者側の面上において、第１の方向（例えばＸ方向）に延在し、前記第１の方向と交差する第２の方向（例えばＹ方向）に所定の配列ピッチで並設される複数の電極１Ｘと、この複数の電極１Ｘと交差して前記第２の方向に延在し、前記第１の方向に所定の配列ピッチで並設される複数の電極２Ｙとを有している。
複数の電極２Ｙの各々は、第１部分２ａと、この第１部分２ａの幅よりも広い幅の第２部分２ｂとが前記第２の方向に交互に複数配置された電極パターンで形成されている。複数の電極２Ｙの各々は、基板１１の観察者側の面上に絶縁膜１２を介して配置され、その上層に形成された保護膜１３で覆われている。基板１１としては、例えばガラス等の透明な絶縁性基板が用いられている。 As shown in FIG. 6, the display device with a touch panel according to the first embodiment includes a liquid crystal display panel 30, a capacitively coupled touch panel 20 disposed on the surface of the liquid crystal display panel 30 on the viewer side, A backlight 40 is provided below the surface of the liquid crystal display panel 30 opposite to the viewer side. As the liquid crystal display panel 30, for example, a liquid crystal display panel of an IPS method, a TN method, a VA method, or the like is used. The liquid crystal display panel 30 has a display area in which a plurality of pixels are arranged in a matrix, and a non-display area arranged around the display area. Each of the plurality of pixels has a pixel electrode and a counter electrode. In the non-display area, a light shielding film such as a black matrix is provided.
As shown in FIGS. 1 to 4, the touch panel 20 extends in the first direction (for example, the X direction) on the surface of the substrate 11 on the viewer side, and intersects the first direction. A plurality of electrodes 1X arranged in parallel in a direction (for example, the Y direction) at a predetermined arrangement pitch, and extend in the second direction across the plurality of electrodes 1X, and in a predetermined arrangement in the first direction And a plurality of electrodes 2Y arranged in parallel at a pitch.
Each of the plurality of electrodes 2Y is formed of an electrode pattern in which a first portion 2a and a second portion 2b having a width wider than the width of the first portion 2a are alternately arranged in the second direction. Yes. Each of the plurality of electrodes 2Y is arranged on the surface of the substrate 11 on the viewer side via an insulating film 12, and is covered with a protective film 13 formed thereon. As the substrate 11, for example, a transparent insulating substrate such as glass is used.

複数の電極１Ｘの各々は、第１部分１ａと、この第１部分１ａの幅よりも広い幅の第２部分１ｂとが前記第１の方向に交互に複数配置された電極パターンで形成されている。複数の電極１Ｘの各々の第１の部分１ａは、電極２Ｙとは異なる導電層に形成され、電極２Ｙの第１部分２ａと平面的に交差している。複数の電極１Ｘの各々の第２部分１ｂは、電極２Ｙと同層の導電層に電極２Ｙとは分離して形成されている。本実施例１において、電極１Ｘの第１部分１ａは、基板１１側から見て電極２Ｙよりも下層に形成されている。
複数の電極１Ｘの各々の第２部分１ｂは、電極２Ｙと同様に、基板１１の観察者側の面上に絶縁膜１２を介して配置され、その上層に形成された保護膜１３で覆われている。複数の電極１Ｘの各々の第１部分１ａは、基板１１の観察者側の面上に配置され、その上層に形成された絶縁膜１２で覆われている。
電極１Ｘの第１部分１ａは、電極２Ｙの第１部分２ａと平面的に交差し、この第１部分２ａを挟んで隣り合う２つの第２部分１ｂに、電極１Ｘの第１部分１ａと電極２Ｙとの間の層間絶縁膜である絶縁膜１２に形成されたコンタクトホール１２ａを介してそれぞれ電気的にかつ機械的に接続されている。
即ち、複数の電極１Ｘの各々は、電極２Ｙとは異なる導電層に形成され、電極２Ｙと交差する第１部分１ａと、電極２Ｙとは分離して電極２Ｙと同層の導電層に形成される第２部分１ｂとを有し、電極１Ｘの第１部分１ａは、この第１部分１ａと電極２Ｙとの間の絶縁膜１２に形成されたコンタクトホール１２ａを介して電極１Ｘの第２部分１ｂと電気的に接続されている。 Each of the plurality of electrodes 1X is formed of an electrode pattern in which a first portion 1a and a second portion 1b having a width wider than the width of the first portion 1a are alternately arranged in the first direction. Yes. Each first portion 1a of the plurality of electrodes 1X is formed in a conductive layer different from the electrode 2Y, and intersects the first portion 2a of the electrode 2Y in a plane. Each second portion 1b of the plurality of electrodes 1X is formed separately from the electrode 2Y in the same conductive layer as the electrode 2Y. In the first embodiment, the first portion 1a of the electrode 1X is formed in a lower layer than the electrode 2Y when viewed from the substrate 11 side.
Like the electrode 2Y, each of the second portions 1b of the plurality of electrodes 1X is disposed on the surface on the viewer side of the substrate 11 via the insulating film 12, and is covered with a protective film 13 formed thereon. ing. Each first portion 1a of the plurality of electrodes 1X is disposed on the surface of the substrate 11 on the viewer side, and is covered with an insulating film 12 formed on the upper layer.
The first portion 1a of the electrode 1X intersects the first portion 2a of the electrode 2Y in a plan view, and two adjacent second portions 1b across the first portion 2a are connected to the first portion 1a of the electrode 1X and the electrode. They are electrically and mechanically connected via contact holes 12a formed in the insulating film 12 which is an interlayer insulating film between 2Y.
That is, each of the plurality of electrodes 1X is formed in a conductive layer different from the electrode 2Y, and the first portion 1a intersecting with the electrode 2Y is separated from the electrode 2Y and formed in the same conductive layer as the electrode 2Y. The first portion 1a of the electrode 1X is connected to the second portion of the electrode 1X through a contact hole 12a formed in the insulating film 12 between the first portion 1a and the electrode 2Y. It is electrically connected to 1b.

電極２Ｙの第２部分２ｂは、隣り合う２つの電極１Ｘにおいて、平面的に見たとき、各々の第１部分１ａの間に配置されている。電極１Ｘの第２部分１ｂは、隣り合う２つの電極２Ｙにおいて、平面的に見たとき、各々の第１部分２ａの間に配置されている。
即ち、電極２Ｙは、電極１Ｘ間に電極１Ｘと交差する部分の幅よりも広い幅の部分を有し、電極１Ｘは、電極２Ｙ間に電極２Ｙと交差する部分の幅よりも広い幅の部分を有している。
タッチパネル２０は、複数の電極２Ｙ及び１Ｘが配置された中央領域と、この中央領域の周囲に配置された周辺領域とを有している。タッチパネル２０の周辺領域には、図１に示すように、複数の電極２Ｙの各々と電気的に接続された複数の配線５、及び、複数の電極１Ｘの各々と電気的に接続された複数の配線５が配置されている。これら複数の配線５の各々は、複数の電極２Ｙ、複数の電極１Ｘの各々とタッチ位置制御回路とを電気的に接続する配線である。 The second part 2b of the electrode 2Y is disposed between the first parts 1a when viewed in plan in the two adjacent electrodes 1X. The second portion 1b of the electrode 1X is disposed between the first portions 2a of the two adjacent electrodes 2Y when viewed in plan.
That is, the electrode 2Y has a portion wider than the width of the portion intersecting the electrode 1X between the electrodes 1X, and the electrode 1X is a portion wider than the width of the portion intersecting the electrode 2Y between the electrodes 2Y. have.
The touch panel 20 has a central region in which the plurality of electrodes 2Y and 1X are disposed, and a peripheral region disposed around the central region. In the peripheral region of the touch panel 20, as shown in FIG. 1, a plurality of wirings 5 electrically connected to each of the plurality of electrodes 2Y and a plurality of electrodes electrically connected to each of the plurality of electrodes 1X. Wiring 5 is arranged. Each of the plurality of wirings 5 is a wiring that electrically connects each of the plurality of electrodes 2Y and the plurality of electrodes 1X and the touch position control circuit.

タッチパネル２０の中央領域は、液晶表示パネル３０の表示領域に対応して配置され、タッチパネル２０の周辺領域は、液晶表示パネル３０の非表示領域に対応して配置されている。即ち、タッチパネル２０の複数の電極１Ｘ及び２Ｙは、液晶表示パネル３０の表示領域と対向する領域に配置され、複数の配線５は、液晶表示パネル３０の非表示領域と対向する領域に配置されている。
図３及び図４に示すように、複数の配線５の各々は、基板１１の観察者側の面（主面）上に配置され、その上層に形成された絶縁膜１２で覆われている。複数の配線５の各々は、各電極（電極１Ｘ，電極２Ｙ）の終端において、図３及び図４に示すように、絶縁膜１２に形成されたコンタクトホール１２ｂを介して、対応する電極（電極１Ｘ，電極２Ｙ）と電気的に接続されている。
複数の電極１Ｘ及び複数の電極２Ｙの各々は、高い透過性を有する材料、例えばＩＴＯ（Ｉndium Ｔin Ｏxide）等の透明性導電材料で形成されている。複数の配線５の各々は、例えば導電性材料が異なる２層構造で構成されており、例えば電極１Ｘの第１部分１ａと同層の透明性導電膜（例えばＩＴＯ）と、この透明性導電膜上に形成され、この透明性導電膜よりも抵抗値が低い導電性金属膜との２層構造になっている。 The central area of the touch panel 20 is arranged corresponding to the display area of the liquid crystal display panel 30, and the peripheral area of the touch panel 20 is arranged corresponding to the non-display area of the liquid crystal display panel 30. That is, the plurality of electrodes 1X and 2Y of the touch panel 20 are disposed in a region facing the display region of the liquid crystal display panel 30, and the plurality of wirings 5 are disposed in a region facing the non-display region of the liquid crystal display panel 30. Yes.
As shown in FIGS. 3 and 4, each of the plurality of wirings 5 is disposed on the surface (main surface) on the viewer side of the substrate 11 and is covered with an insulating film 12 formed in an upper layer thereof. Each of the plurality of wirings 5 has a corresponding electrode (electrode) at the end of each electrode (electrode 1X, electrode 2Y) via a contact hole 12b formed in the insulating film 12, as shown in FIGS. 1X, electrode 2Y).
Each of the plurality of electrodes 1X and the plurality of electrodes 2Y is made of a transparent material such as ITO (Indium Tin Oxide) having high transparency. Each of the plurality of wirings 5 has, for example, a two-layer structure made of different conductive materials. For example, the transparent conductive film (for example, ITO) in the same layer as the first portion 1a of the electrode 1X, and the transparent conductive film It has a two-layer structure with a conductive metal film formed thereon and having a resistance value lower than that of the transparent conductive film.

タッチパネル２０は、図１乃至図５に示すように、面状のシールド用の導電膜３を有している。このシールド用の導電膜３は、基板１１の観察者側の面（主面）上に配置され、その上層に形成された絶縁膜１２で覆われている。
シールド用の導電膜３は、電極１Ｘの第１部分１ａと同層に形成され、高い透過性を有する材料、例えばＩＴＯ（Ｉndium Ｔin Ｏxide）等の透明性導電材料で形成されている。複数の電極１Ｘの第１部分１ａとシールド用の導電膜３は、同一の導電膜をパターンニングすることによって形成される。
シールド用の導電膜３は、平面的に見たとき、複数の電極（電極１Ｘ，電極２Ｙ）を覆うようにしてタッチパネル２０の中央領域に配置されている。シールド用の導電膜３は、図３乃至図５に示すように、電極１Ｘの第１部分２ａが形成される領域に開口部４を有し、電極１Ｘの第１部分２ａは、シールド用の導電膜３に形成された開口部４内に形成されている。即ち、本実施例１のシールド用の導電膜３は、電極１Ｘの第１部分１ａとは分離して電極１Ｘの第１部分１ａと同層の導電層で形成されている。
本実施例１のタッチパネル２０は、基板１１の観察者側の面と反対側の面が液晶表示パネル３０の観察者側の面と向かい合うようにして液晶表示パネル３０上に配置されており、シールド用の導電膜３は、液晶表示パネル３０とタッチパネル２０の複数の電極（電極１Ｘ，電極２Ｙ）が配置された中央領域との間に配置されている。シールド用の導電膜３は、所定の信号が入力され、液晶表示パネル３０からタッチパネル２０へのノイズを低減している。本実施例１のシールド用の導電膜３は、タッチパネル付き表示装置において使用される電源電位のうち、例えば基準電位（例えば０Ｖ）に電位固定される配線と電気的に接続されている。 As shown in FIGS. 1 to 5, the touch panel 20 has a planar shielding conductive film 3. The shielding conductive film 3 is disposed on the surface (main surface) of the substrate 11 on the viewer side, and is covered with an insulating film 12 formed on the upper layer.
The shielding conductive film 3 is formed in the same layer as the first portion 1a of the electrode 1X, and is made of a highly transparent material, for example, a transparent conductive material such as ITO (Indium Tin Oxide). The first portions 1a of the plurality of electrodes 1X and the conductive film 3 for shielding are formed by patterning the same conductive film.
The conductive film 3 for shielding is disposed in the central region of the touch panel 20 so as to cover a plurality of electrodes (electrode 1X, electrode 2Y) when viewed in plan. As shown in FIGS. 3 to 5, the shielding conductive film 3 has an opening 4 in a region where the first portion 2a of the electrode 1X is formed, and the first portion 2a of the electrode 1X is shielded. It is formed in the opening 4 formed in the conductive film 3. That is, the shielding conductive film 3 of Example 1 is formed of the same conductive layer as the first portion 1a of the electrode 1X, separated from the first portion 1a of the electrode 1X.
The touch panel 20 according to the first embodiment is disposed on the liquid crystal display panel 30 so that the surface of the substrate 11 opposite to the surface on the viewer side faces the surface on the viewer side of the liquid crystal display panel 30, and is shielded. The conductive film 3 is disposed between the liquid crystal display panel 30 and the central region where the plurality of electrodes (electrode 1X, electrode 2Y) of the touch panel 20 are disposed. The shield conductive film 3 receives a predetermined signal and reduces noise from the liquid crystal display panel 30 to the touch panel 20. The shielding conductive film 3 according to the first embodiment is electrically connected to a wiring whose potential is fixed to, for example, a reference potential (for example, 0 V) among power supply potentials used in a display device with a touch panel.

タッチパネル２０は、図１乃至図４に示すように、シールド用の導電膜６を有している。このシールド用の導電膜６は、絶縁膜１２上に配置され、その上層に形成された保護膜１３で覆われている。
シールド用の導電膜６は、電極１Ｘの第２部分１ｂ及び電極２Ｙと同層に形成され、高い透過性を有する材料、例えばＩＴＯ（Ｉndium Ｔin Ｏxide）等の透明性導電材料で形成されている。複数の電極１Ｘの第２部分１ｂ、複数の電極２Ｙ、及びシールド用の導電膜６は、同一の導電膜をパターンニングすることによって形成される。
シールド用の導電膜６は、平面的に見たとき、複数の配線５を覆うようにしてタッチパネル２０の周辺領域に配置されている。シールド用の導電膜６は、電極１Ｘの第２部分１ｂ及び電極２Ｙとは分離してこれらと同層の導電層で形成されている。
シールド用導電膜６は、所定の信号が入力され、観察者側からタッチパネル２０へのノイズを低減している。本実施例１のシールド用の導電膜６は、タッチパネル付き表示装置において使用される電源電位のうち、例えば基準電位（例えば０Ｖ）に電位固定される配線と電気的に接続されている。
なお、図６では、観察者の指５０と電極１Ｘとの間にＣ１，Ｃ３の容量が、観察者の指５０と電極２Ｙとの間にＣ２の容量が形成されていることを模式的に示している。本実施例のタッチパネル２０は、電極１Ｘと電極２Ｙとの結合容量の容量差を検出して、観察者の指５０がタッチした、タッチパネル２０のタッチ面内におけるタッチ位置座標を検出する。 As shown in FIGS. 1 to 4, the touch panel 20 has a conductive film 6 for shielding. The shielding conductive film 6 is disposed on the insulating film 12 and covered with a protective film 13 formed thereon.
The shielding conductive film 6 is formed in the same layer as the second portion 1b of the electrode 1X and the electrode 2Y, and is formed of a highly transparent material, for example, a transparent conductive material such as ITO (Indium Tin Oxide). . The second portions 1b of the plurality of electrodes 1X, the plurality of electrodes 2Y, and the conductive film 6 for shielding are formed by patterning the same conductive film.
The shield conductive film 6 is disposed in the peripheral region of the touch panel 20 so as to cover the plurality of wirings 5 when viewed in plan. The shield conductive film 6 is separated from the second portion 1b of the electrode 1X and the electrode 2Y, and is formed of the same conductive layer as these.
The shield conductive film 6 receives a predetermined signal and reduces noise from the observer side to the touch panel 20. The shielding conductive film 6 according to the first embodiment is electrically connected to a wiring whose potential is fixed to, for example, a reference potential (for example, 0 V) among power supply potentials used in a display device with a touch panel.
In FIG. 6, it is schematically shown that C1 and C3 capacitances are formed between the observer's finger 50 and the electrode 1X, and C2 capacitances are formed between the observer's finger 50 and the electrode 2Y. Show. The touch panel 20 according to the present embodiment detects a touch position coordinate on the touch surface of the touch panel 20 touched by the observer's finger 50 by detecting a capacitance difference in the coupling capacitance between the electrode 1X and the electrode 2Y.

次に、本実施例１のタッチパネル２０の製造方法について、図１乃至図５を参照して説明する。
まず、基板１１の観察者側の面上に、透明性導電材料（例えばＩＴＯ）からなる第１の透明性導電膜を形成する。
次に、例えばポジ型レジストを用いて前記第１の透明性導電膜上に、電極パターン、シールド用の導電膜パターン、及び配線パターンを有する第１のマスクを形成し、その後、前記第１のマスクをエッチングマスクとして使用し、前記第１の透明性導電膜をエッチングすることにより、基板１１上に、電極１Ｘの第１部分１ａ、平面状のシールド用の導電膜３、及び配線下層パターンを形成する。シールド用の導電膜３は、電極１Ｘの第１部分１ａが形成される領域に開口部４を有する面状で形成され、電極１Ｘの第１部分１ａは、シールド用の導電膜３の開口部４内に形成される。
次に、前記第１のマスクを除去し、その後、前記配線下層パターン上に、例えば導電性金属材料からなる配線上層パターンを選択的に形成する。これにより、前記配線下層パターン及び前記配線上層パターンからなる２層構造の配線５が形成される。
次に、シールド用の導電膜３上、電極１Ｘの第１部分１ａ上、及び配線５上を含む基板１１上に、例えばネガ型レジストからなる絶縁膜１２を形成する。この工程において、シールド用の導電膜３、電極１Ｘの第１部分１ａ、及び配線５は絶縁膜１２で覆われる。
次に、絶縁膜１２の必要な部分にコンタクトホール１２ａ及びコンタクトホール１２ｂを形成し、その後、コンタクトホール１２ａ内及びコンタクトホール１２ｂ内を含む絶縁膜１２上に、透明性導電材料（例えばＩＴＯ）からなる第２の透明性導電膜を形成する。 Next, a method for manufacturing the touch panel 20 according to the first embodiment will be described with reference to FIGS.
First, a first transparent conductive film made of a transparent conductive material (for example, ITO) is formed on the surface of the substrate 11 on the viewer side.
Next, a first mask having an electrode pattern, a shielding conductive film pattern, and a wiring pattern is formed on the first transparent conductive film using, for example, a positive resist, and then the first mask is formed. By using the mask as an etching mask and etching the first transparent conductive film, the first portion 1a of the electrode 1X, the planar shielding conductive film 3, and the wiring lower layer pattern are formed on the substrate 11. Form. The shielding conductive film 3 is formed in a planar shape having an opening 4 in a region where the first portion 1a of the electrode 1X is formed, and the first portion 1a of the electrode 1X is an opening of the shielding conductive film 3. 4 is formed.
Next, the first mask is removed, and then an upper wiring layer pattern made of, for example, a conductive metal material is selectively formed on the lower wiring layer pattern. Thereby, the wiring 5 having a two-layer structure composed of the wiring lower layer pattern and the wiring upper layer pattern is formed.
Next, an insulating film 12 made of, for example, a negative resist is formed on the shielding conductive film 3, the first portion 1 a of the electrode 1 X, and the substrate 11 including the wiring 5. In this step, the shield conductive film 3, the first portion 1 a of the electrode 1 X, and the wiring 5 are covered with the insulating film 12.
Next, a contact hole 12a and a contact hole 12b are formed in a necessary portion of the insulating film 12, and then a transparent conductive material (for example, ITO) is formed on the insulating film 12 including the inside of the contact hole 12a and the inside of the contact hole 12b. A second transparent conductive film is formed.

次に、例えばポジ型レジストを用いて前記第２の透明性導電膜上に、電極パターン及びシールド用の導電膜パターンを有する第２のマスクを形成し、その後、前記第２のマスクをエッチングマスクとして使用し、前記第２の導電膜をエッチングすることにより、絶縁膜１２上に、電極１Ｘの第２部分１ｂ、電極２Ｙ、及びシールド用の導電膜６を形成する。この工程において、上層の第２部分１ｂは、コンタクトホール１２ａを介して下層の第１部分１ａと電気的にかつ機械的に接続される。また、下層の第１部分１ａは、上層の電極２Ｙ第１部分１ａと交差する。また、電極１Ｘ及び電極２Ｙは、各々の終端が、コンタクトホール１２ｂを介して、対応する下層の配線５と電気的にかつ機械的に接続される。
次に、前記第２のマスクを除去し、その後、電極１Ｘの第２部分１ｂ、電極２Ｙ、及びシールド用の導電膜６上を含む絶縁膜１２上に、例えばネガ型レジストからなる保護膜１３を形成することにより、図１乃至図５に示す構造となる。この工程において、電極１Ｘの第２部分１ｂ、電極２Ｙ、及びシールド用の導電膜６は保護膜１３で覆われる。 Next, a second mask having an electrode pattern and a conductive film pattern for shielding is formed on the second transparent conductive film using, for example, a positive resist, and then the second mask is used as an etching mask. Then, the second conductive film is etched to form the second portion 1b of the electrode 1X, the electrode 2Y, and the conductive film 6 for shielding on the insulating film 12. In this step, the upper second portion 1b is electrically and mechanically connected to the lower first portion 1a through the contact hole 12a. The lower first portion 1a intersects the upper electrode 2Y first portion 1a. The ends of the electrode 1X and the electrode 2Y are electrically and mechanically connected to the corresponding lower-layer wiring 5 through the contact holes 12b.
Next, the second mask is removed, and then the protective film 13 made of, for example, a negative resist is formed on the insulating film 12 including the second portion 1b of the electrode 1X, the electrode 2Y, and the conductive film 6 for shielding. By forming the structure, the structure shown in FIGS. 1 to 5 is obtained. In this step, the second portion 1b of the electrode 1X, the electrode 2Y, and the shielding conductive film 6 are covered with the protective film 13.

ところで、従来の静電容量結合方式のタッチパネルでは、図１３乃至図１５に示すように、複数の電極１Ｘと複数の電極２Ｙとが絶縁膜１２を介してそれぞれ異なる導電層（下層と上層）に形成されている。このような電極構造の場合、絶縁膜１２及び上層の電極１Ｘ上に形成される保護膜１３は、上層の電極１Ｘにより膜に歪みが生じるため、加えて、反射光に対しては、下層と上層とで光路長が異なるため、下層の電極２Ｙと上層の電極１Ｘに色差が生じ、電極１Ｘ及び電極２Ｙの電極パターンが顕在化する。
これに対し、本実施例の静電容量結合方式のタッチパネル２０では、図１乃至図４に示すように、電極１Ｘは、電極２Ｙとは異なる層に電極２Ｙと交差するようにして形成される第１部分１ａと、電極２Ｙと同層に電極２Ｙとは分離して形成される第２部分１ｂとを有し、第１部分１ａは、第１部分１ａと電極２Ｙとの間の絶縁膜１２に形成されたコンタクトホール１２ａを介して第２部分１ｂに接続されている。
このような電極構造の場合、保護膜１３に対して均一な成膜面を持たせることができるため、保護膜１３に生じる歪みを抑制でき、保護膜１３の歪みによる色差から生じる電極パターンの顕在化を抑えることができる。この結果、電極パターンの顕在化による光学特性の悪化を抑制できるため、タッチパネル２０を組み込んだ表示装置の特性低下を抑制することができる。
また、色差の生じる部分を最小、即ち電極１Ｘの第１部分１ａのみとすることができるため、光路差による色差から生じる電極パターンの顕在化も抑えることができる。この結果、電極パターンの顕在化による光学特性の悪化を抑制できるため、タッチパネル２０を組み込んだ表示装置の特性低下を抑制することができる。 By the way, in the conventional capacitive coupling type touch panel, as shown in FIGS. 13 to 15, the plurality of electrodes 1 X and the plurality of electrodes 2 Y are formed on different conductive layers (lower layer and upper layer) through the insulating film 12. Is formed. In the case of such an electrode structure, the protective film 13 formed on the insulating film 12 and the upper electrode 1X is distorted by the upper electrode 1X. Since the optical path length differs between the upper layer, a color difference occurs between the lower electrode 2Y and the upper electrode 1X, and the electrode patterns of the electrode 1X and the electrode 2Y become obvious.
On the other hand, in the capacitively coupled touch panel 20 of the present embodiment, as shown in FIGS. 1 to 4, the electrode 1X is formed in a layer different from the electrode 2Y so as to intersect the electrode 2Y. The first portion 1a has a second portion 1b formed separately from the electrode 2Y in the same layer as the electrode 2Y. The first portion 1a is an insulating film between the first portion 1a and the electrode 2Y. 12 is connected to the second portion 1b through a contact hole 12a.
In the case of such an electrode structure, since the protective film 13 can have a uniform film formation surface, distortion generated in the protective film 13 can be suppressed, and the electrode pattern resulting from the color difference due to the distortion of the protective film 13 can be realized. Can be suppressed. As a result, it is possible to suppress the deterioration of the optical characteristics due to the actualization of the electrode pattern, and thus it is possible to suppress the deterioration of the characteristics of the display device incorporating the touch panel 20.
In addition, since the portion where the color difference occurs can be minimized, that is, only the first portion 1a of the electrode 1X, it is possible to suppress the manifestation of the electrode pattern caused by the color difference due to the optical path difference. As a result, it is possible to suppress the deterioration of the optical characteristics due to the actualization of the electrode pattern, and thus it is possible to suppress the deterioration of the characteristics of the display device incorporating the touch panel 20.

また、従来の静電容量結合方式のタッチパネルでは、図１４及び図１５に示すように、基板１１の観察者側の面とは反対側の面にシールド用の導電膜１５を設けている。このような構造の場合、透明性導電材料層として、電極１Ｘを形成するための透明導電性材料層層と電極２Ｙを形成するための透明性導電材料層に、シールド用の導電膜１５を形成するための透明性導電材料層を加えた３つの透明性導電材料層が必要であり、低コスト化を阻害する要因となる。
これに対し、本実施例の静電容量結合方式のタッチパネル２０では、図１乃至図５に示すように、シールド用の導電膜３は、電極１Ｘの第１部分１ａと同層の透明性導電膜で形成されている。また、シールド用の導電膜３は、電極１Ｘの第１部分１ａが形成される領域に開口部４を有し、電極１Ｘの第１部分１ａは、シールド用の導電膜３に形成された開口部４内に形成されている。
このような電極構造とすることにより、電極１Ｘと、電極２Ｙと、液晶表示パネル３０からタッチパネル２０へのノイズを低減するシールド用の導電膜３とを２つの層の透明性導電材料層で構成することができ、従来のタッチパネルと比較して透明導電材料層に係る材料及びプロセスを省くことができるため、より安価にタッチパネルを製造することができる。これにより、タッチパネルを組み込むタッチパネル付き表示装置の低コスト化を図ることができる。 Further, in the conventional capacitive coupling type touch panel, as shown in FIGS. 14 and 15, a conductive film 15 for shielding is provided on the surface of the substrate 11 opposite to the surface on the observer side. In the case of such a structure, the conductive film 15 for shielding is formed on the transparent conductive material layer for forming the electrode 1X and the transparent conductive material layer for forming the electrode 2Y as the transparent conductive material layer. Therefore, three transparent conductive material layers to which the transparent conductive material layer is added are necessary, which becomes a factor that hinders cost reduction.
On the other hand, in the capacitive coupling type touch panel 20 according to the present embodiment, as shown in FIGS. 1 to 5, the conductive film 3 for shielding is a transparent conductive film in the same layer as the first portion 1a of the electrode 1X. It is formed of a film. The shielding conductive film 3 has an opening 4 in a region where the first portion 1a of the electrode 1X is formed, and the first portion 1a of the electrode 1X is an opening formed in the shielding conductive film 3. It is formed in the part 4.
With such an electrode structure, the electrode 1X, the electrode 2Y, and the conductive film 3 for shielding that reduces noise from the liquid crystal display panel 30 to the touch panel 20 are configured by two transparent conductive material layers. Since the material and process which concern on a transparent conductive material layer can be omitted compared with the conventional touch panel, a touch panel can be manufactured more cheaply. Thereby, cost reduction of the display apparatus with a touch panel incorporating a touch panel can be achieved.

また、本実施例１のタッチパネル２０では、図１乃至図４に示すように、絶縁膜１２上で複数の配線５を覆うように形成され、所定の信号が入力されるシールド用の導電膜６を有している。本実施例ではシールド用の導電膜に０Ｖを入力している。シールドに使用する導電膜に入力する信号の種別は本発明の趣旨を規制するものではなく、他の信号でもよい。このシールド用の導電膜６は、電極１Ｘの第１部分１ａ、及び電極２Ｙと同層の透明性導電層に形成されている。このような構造とすることにより、観察者側からタッチパネルへのノイズをシールド用の導電膜６により低減できると共に、電極１Ｘと、電極２Ｙと、観察者側からタッチパネル２０へのノイズを低減するシールド用の導電膜６とを２つの層の透明性導電材料層で構成することができるため、安価にタッチパネルを製造することができる。 Further, in the touch panel 20 according to the first embodiment, as shown in FIGS. 1 to 4, the shield conductive film 6 is formed so as to cover the plurality of wirings 5 on the insulating film 12 and receives a predetermined signal. have. In this embodiment, 0V is input to the conductive film for shielding. The type of signal input to the conductive film used for the shield does not regulate the gist of the present invention, and may be another signal. The shielding conductive film 6 is formed on the first conductive layer 1a of the electrode 1X and the transparent conductive layer in the same layer as the electrode 2Y. With such a structure, noise from the observer side to the touch panel can be reduced by the shielding conductive film 6, and the electrode 1X and the electrode 2Y and a shield to reduce noise from the observer side to the touch panel 20 can be reduced. Since the conductive film 6 can be composed of two transparent conductive material layers, the touch panel can be manufactured at low cost.

図７は、本発明の実施例１の変形例であるタッチパネルの断面構造を示す断面図である。
本変形例のタッチパネル２０は、基本的に前述の実施例１と同様の構成になっており、以下の構成が異なっている。
即ち、図７に示すように、本変形例のタッチパネル２０は、保護膜１３上に形成されるフロントパネル１４を有している。このようなタッチパネル２０においても、前述の実施例１と同様の効果が得られる。 FIG. 7 is a cross-sectional view showing a cross-sectional structure of a touch panel which is a modification of the first embodiment of the present invention.
The touch panel 20 of the present modification has basically the same configuration as that of the first embodiment, and the following configuration is different.
That is, as shown in FIG. 7, the touch panel 20 of this modification has a front panel 14 formed on the protective film 13. Also in such a touch panel 20, the same effect as in the first embodiment can be obtained.

図８乃至図１２は、本発明の実施例２のタッチパネル付き表示装置に係る図であり、
図８は、タッチパネル付き表示装置に組み込まれるタッチパネルの電極パターンを示す平面図、
図９は、図８の一部を拡大した平面図、
図１０は、図８のタッチパネルの断面構造を示す図（（ａ）は図８のＤ−Ｄ’線に沿った断面図、（ｂ）は（ａ）の一部を拡大した断面図）、
図１１は、図８のタッチパネルの断面構造を示す図（（ａ）は図８のＥ−Ｅ’線に沿った断面図、（ｂ）は（ａ）の一部を拡大した断面図）、
図１２は、タッチパネル付き表示装置の概略構成を示すブロック図である。 8 to 12 are diagrams related to a display device with a touch panel according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 8 is a plan view showing an electrode pattern of a touch panel incorporated in a display device with a touch panel,
FIG. 9 is an enlarged plan view of a part of FIG.
10 is a view showing a cross-sectional structure of the touch panel of FIG. 8 ((a) is a cross-sectional view taken along the line DD ′ of FIG. 8, (b) is a cross-sectional view in which a part of (a) is enlarged),
11 is a view showing a cross-sectional structure of the touch panel of FIG. 8 ((a) is a cross-sectional view taken along the line EE ′ of FIG. 8, (b) is a cross-sectional view in which a part of (a) is enlarged),
FIG. 12 is a block diagram illustrating a schematic configuration of a display device with a touch panel.

本実施例２のタッチパネル付き表示装置は、基本的に前述の実施例１と同様の構成になっており、以下の構成が異なっている。
即ち、前述の実施例１では、図１乃至図４に示すように、下層の導電層に、電極１Ｘの第１部分１ａ、及びシールド用の導電膜３が形成され、これよりも上層の導電層に、電極１Ｘの第２部分１ｂ、電極２Ｙ、及びシールド用の導電膜６が形成された例について説明したが、本実施例２では、図８乃至図１１に示すように、下層の導電層に、電極１Ｘの第２部分１ｂ、及び電極２Ｙ（２ａ，２ｂ）が形成され、これよりも上層の導電層に、電極１Ｘの第１部分１ａ、及びシールド用の導電膜３が形成されている。
複数の電極１Ｘの各々の第２部分１ｂ、複数の電極２Ｙ、及び複数の配線５は、基板１１の主面上に形成され、これらの上層に形成された絶縁膜１２で覆われている。複数の電極１Ｘの各々の第１部分１ａ、及びシールド用の導電膜３は、絶縁膜１２上に形成され、これらの上層に形成された保護膜１３で覆われている。
電極１Ｘの第１部分１ａ（本実施例では上層）は、電極２Ｙの第１部分２ａと平面的に交差し、この第１部分２ａを挟んで隣り合う２つの第２部分１ｂ（本実施例では下層）に、電極１Ｘの第１部分１ａと電極２Ｙとの間の層間絶縁膜である絶縁膜１２に形成されたコンタクトホール１２ａを介してそれぞれ電気的にかつ機械的に接続されている。
シールド用の導電膜３は、複数の電極１Ｘの各々の第２部分１ｂ、複数の電極２Ｙ、及び複数の配線５を覆うようにして、タッチパネル２０の中央領域及び周辺領域に形成されている。 The display device with a touch panel according to the second embodiment basically has the same configuration as that of the first embodiment described above, and the following configuration is different.
That is, in the above-described first embodiment, as shown in FIGS. 1 to 4, the first portion 1a of the electrode 1X and the conductive film 3 for shielding are formed in the lower conductive layer, and the upper conductive layer is higher than this. Although the example in which the second portion 1b of the electrode 1X, the electrode 2Y, and the shielding conductive film 6 are formed in the layer has been described, in the second embodiment, as shown in FIGS. The second portion 1b of the electrode 1X and the electrode 2Y (2a, 2b) are formed in the layer, and the first portion 1a of the electrode 1X and the conductive film 3 for shielding are formed in the upper conductive layer. ing.
The second portions 1b of each of the plurality of electrodes 1X, the plurality of electrodes 2Y, and the plurality of wirings 5 are formed on the main surface of the substrate 11 and covered with an insulating film 12 formed on the upper layer thereof. Each of the first portions 1a of the plurality of electrodes 1X and the conductive film 3 for shielding are formed on the insulating film 12, and are covered with a protective film 13 formed thereon.
The first portion 1a (upper layer in this embodiment) of the electrode 1X intersects the first portion 2a of the electrode 2Y in a plan view, and two adjacent second portions 1b (this embodiment) sandwiching the first portion 2a. Are electrically and mechanically connected to each other via contact holes 12a formed in the insulating film 12 which is an interlayer insulating film between the first portion 1a of the electrode 1X and the electrode 2Y.
The shielding conductive film 3 is formed in the central region and the peripheral region of the touch panel 20 so as to cover the second portions 1b, the plurality of electrodes 2Y, and the plurality of wirings 5 of each of the plurality of electrodes 1X.

本実施例２のタッチパネル２０は、図１２に示すように、基板１１の保護膜１３側の面が液晶表示パネル３０の観察者側の面と向かい合うようにして液晶表示パネル３０上に配置されており、シールド用の導電膜３は、液晶表示パネル３０とタッチパネル２０の中尾領域及び周辺領域との間に配置されている。シールド用の導電膜３は、所定の信号が入力され、液晶表示パネル３０からタッチパネル２０へのノイズを低減している。
本実施例２においても、保護膜１３の歪みによる色差から生じる電極パターンの顕在化、及び光路差による色差から生じる電極パターンの顕在化も抑えることができるため、電極パターンの顕在化による光学特性の悪化を抑制でき、タッチパネル２０を組み込んだ表示装置の特性低下を抑制することができる。
また、電極１Ｘと、電極２Ｙと、液晶表示パネル３０からタッチパネル２０へのノイズを低減するシールド用の導電膜３とを２つの層の透明性導電材料層で構成することができ、従来のタッチパネルと比較して透明導電材料層に係る材料及びプロセスを省くことができるため、より安価にタッチパネルを製造することができる。これにより、タッチパネルを組み込むタッチパネル付き表示装置の低コスト化を図ることができる。 As shown in FIG. 12, the touch panel 20 of the second embodiment is arranged on the liquid crystal display panel 30 so that the surface of the substrate 11 on the protective film 13 side faces the surface of the liquid crystal display panel 30 on the viewer side. The shield conductive film 3 is disposed between the liquid crystal display panel 30 and the middle region and the peripheral region of the touch panel 20. The shield conductive film 3 receives a predetermined signal and reduces noise from the liquid crystal display panel 30 to the touch panel 20.
In the second embodiment as well, the manifestation of the electrode pattern caused by the color difference due to the distortion of the protective film 13 and the manifestation of the electrode pattern caused by the color difference due to the optical path difference can be suppressed. Deterioration can be suppressed, and deterioration in characteristics of a display device incorporating the touch panel 20 can be suppressed.
Moreover, the electrode 1X, the electrode 2Y, and the conductive film 3 for shielding that reduces noise from the liquid crystal display panel 30 to the touch panel 20 can be configured by two layers of transparent conductive material layers. Since the material and process which concern on a transparent conductive material layer can be omitted compared with, a touch panel can be manufactured more inexpensively. Thereby, cost reduction of the display apparatus with a touch panel incorporating a touch panel can be achieved.

なお、前述の実施例（１，２）及び変形例では、電極１Ｘの第１部分１ａ及び第２部分１ｂをそれぞれ異なる導電層で形成した例について説明したが、本発明は、電極２Ｙの第１部分２ａ及び第２部分２ｂをそれぞれ異なる導電層で構成した場合も含むことは言うなでもない。
また、前述の実施例（１，２）及び変形例では表示パネルの一例として液晶表示パネル上にタッチパネルを備えたタッチパネル付き表示装置について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、有機ＥＬ表示パネルや無機ＥＬ表示パネル等の他の表示パネル上にタッチパネルを備えたタッチパネル付き表示装置に適用することができる。
以上、本発明者によってなされた発明を、前記実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは勿論である。 In the above-described embodiments (1, 2) and the modification, the example in which the first portion 1a and the second portion 1b of the electrode 1X are formed of different conductive layers has been described. Needless to say, the case where the first portion 2a and the second portion 2b are formed of different conductive layers is also included.
In the above-described embodiments (1, 2) and modifications, the display device with a touch panel provided with a touch panel on the liquid crystal display panel has been described as an example of the display panel, but the present invention is not limited to this. The present invention can be applied to a display device with a touch panel provided with a touch panel on another display panel such as an organic EL display panel or an inorganic EL display panel.
As mentioned above, the invention made by the present inventor has been specifically described based on the above embodiments. However, the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. Of course.

１Ｘ電極
１ａ第１部分
１ｂ第２部分
２Ｙ電極
２ａ第１部分
２ｂ第２部分
３シールド用の導電膜
４開口部
５配線
６シールド用の導電膜
１１基板
１２絶縁膜
１２ａ，１２ｂコンタクトホール
１３保護膜
１４フロントパネル
１５シールド用の導電膜
２０タッチパネル
３０液晶表示パネル
４０バックライト 1X electrode 1a 1st part 1b 2nd part 2Y electrode 2a 1st part 2b 2nd part 3 Conductive film for shield 4 Opening 5 Wiring 6 Conductive film for shield 11 Substrate 12 Insulating film 12a, 12b Contact hole 13 Protective film 14 Front panel 15 Shielding conductive film 20 Touch panel 30 Liquid crystal display panel 40 Backlight

Claims

Capacitive coupling type touch panel,
The touch panel includes a substrate,
A first conductive film for shielding that is formed on the surface on the viewer side of the substrate;
An insulating film formed on the shielding first conductive film;
A plurality of first electrodes formed on the insulating film, extending in a first direction and juxtaposed in a second direction intersecting the first direction;
A plurality of second electrodes formed on the insulating film, extending in the second direction and juxtaposed in the first direction intersecting the second direction;
A predetermined signal is input to the first conductive film for shielding,
The plurality of first electrodes include a first portion formed on the surface of the substrate on the viewer side and a second portion formed separately from the second electrode on the insulating film. And
The first portion is connected to the second portion through a contact hole formed in the insulating film,
The first conductive film for shielding has an opening in a region where the first portion is formed,
The capacitive coupling type touch panel, wherein the first portion is formed in the opening formed in the first conductive film for shielding.

A plurality of first electrodes and a plurality of second electrodes formed around a region where the plurality of first electrodes and the plurality of second electrodes are formed and electrically connected to each of the plurality of first electrodes or the plurality of second electrodes; Have wiring,
The plurality of wirings are formed on a surface of the substrate on the viewer side,
2. The capacitively coupled touch panel according to claim 1, further comprising a second conductive film for shielding, which is formed so as to cover the plurality of wirings on the insulating film and receives a predetermined signal. .

The capacitive touch panel according to claim 1, wherein the touch panel includes a protective film formed on the plurality of first electrodes and the plurality of second electrodes.

The capacitive touch panel according to claim 3, wherein the touch panel includes a front panel formed on the protective film.

Capacitive coupling type touch panel,
The touch panel includes a substrate,
A plurality of first electrodes formed on a surface of the substrate on the display panel side, extending in a first direction and juxtaposed in a second direction intersecting the first direction;
A plurality of second electrodes formed on a surface of the substrate on the display panel side, extending in the second direction and juxtaposed in the first direction intersecting the second direction;
An insulating film formed on the plurality of first electrodes and the plurality of second electrodes;
A planar conductive film formed on the insulating film;
The plurality of first electrodes include a first portion formed on the insulating film and a second portion formed separately from the second electrode on the surface of the substrate on the display panel side. And
The first portion is connected to the second portion through a contact hole formed in the insulating film,
The planar conductive film has an opening in a region where the first portion is formed,
The capacitive coupling type touch panel, wherein the first portion is formed in the opening formed in the planar conductive film.

A plurality of first electrodes and a plurality of second electrodes formed around a region where the plurality of first electrodes and the plurality of second electrodes are formed and electrically connected to each of the plurality of first electrodes or the plurality of second electrodes; Have wiring,
6. The capacitively coupled touch panel according to claim 5, wherein the conductive film is formed so as to cover the plurality of wirings.

The capacitive touch panel according to claim 5, wherein the touch panel includes a protective film formed on the plurality of first electrodes and the plurality of second electrodes.

The capacitively coupled touch panel according to any one of claims 1 to 7, wherein the plurality of first electrodes and the plurality of second electrodes are formed of a transparent conductive film. .