JP5211336B2 - Pump unit, breathing assistance device - Google Patents

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JP5211336B2 JP2012031708A JP2012031708A JP5211336B2 JP 5211336 B2 JP5211336 B2 JP 5211336B2 JP 2012031708 A JP2012031708 A JP 2012031708A JP 2012031708 A JP2012031708 A JP 2012031708A JP 5211336 B2 JP5211336 B2 JP 5211336B2
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Description

本発明は、マイクロポンプを利用して流体を搬送するポンプユニット、及びこのポンプユニットを用いた呼吸補助装置に関する。   The present invention relates to a pump unit that transports fluid using a micropump, and a respiratory assistance device that uses this pump unit.

医療現場では人工呼吸器など呼吸補助装置が用いられる。この呼吸補助装置の種類には、自発呼吸のない患者(全身麻酔、心肺蘇生中、重篤な患者)に用いる調節換気(Controlled Ventilation)方式や、患者の自発呼吸に合わせて気道に陽圧を作り出す補助換気方式(Assisted Ventilation)方式、補助換気と調節換気を組み合わせた部分的補助換気(Assist/Control)方式、気道の供給する気体を5〜40Hzの頻度で振動させて、1〜2ml/kgの非常に少ない1回換気量を実現する高頻度振動換気(high frequency occilation)などが採用される。   In the medical field, a respiratory assistance device such as a ventilator is used. This type of respiratory assistance device includes a controlled ventilation method used for patients without spontaneous breathing (general anesthesia, cardiopulmonary resuscitation, and severe patients), and positive airway pressure according to the patient's spontaneous breathing. Assisted Ventilation method to create, Partial Assist / Control method combining auxiliary ventilation and controlled ventilation, gas supplied by the airway is vibrated at a frequency of 5-40 Hz, 1-2 ml / kg High frequency oscillation ventilation (high frequency occilation) that realizes a very low tidal volume is adopted.

なお、この呼吸補助装置は、睡眠時の呼吸障害の患者にも利用される。この呼吸障害は、睡眠中に気道の筋肉が弛緩して舌根部や軟口蓋が下がり、気道を閉塞することによって生じる。この種の呼吸障害の患者に対しても、気道に正圧を印加することで、その症状が緩和する。   In addition, this respiratory assistance apparatus is utilized also for the patient of the respiratory disorder at the time of sleep. This respiratory disorder occurs when the airway muscles relax during sleep and the tongue base and soft palate fall, closing the airway. Even for patients with this type of respiratory distress, the symptoms are alleviated by applying positive pressure to the airways.

いずれの呼吸補助装置においても、気道に陽圧を作り出すためのポンプユニットが必要となる。このポンプユニットの動力源には、ファンを回転させて気体を搬送するブロアや、ピストンを往復運動させて気体を搬送するシリンダポンプなどが使用される。   In any respiratory assistance device, a pump unit for creating a positive pressure in the airway is required. As a power source of the pump unit, a blower that rotates a fan to convey gas, a cylinder pump that reciprocates a piston to convey gas, and the like are used.

しかしながら、従来の呼吸補助装置では、このポンプユニットが比較的大きいことから、これを箱状の筐体に収容して使用者の脇に設置して用いる。従って、呼吸補助装置のコンパクト化が難しいという問題があった。   However, in the conventional respiratory assistance device, since this pump unit is relatively large, this pump unit is housed in a box-shaped housing and installed on the side of the user. Therefore, there is a problem that it is difficult to make the respiratory assistance device compact.

また、呼吸補助装置で用いるポンプユニットは、例えば図18に示されるように、吸気動作時は、最初は高い流量で素早く昇圧(陽圧化)し、その後、更に圧力を高めて吸気をアシストしながら流量を一定に維持する。呼気動作時は、高い流量で素早く減圧(負圧化)し、圧力が低下したら流量を次第に低下させて肺に負担をかけないように制御する。この制御は一例であり、実際には様々制御モードが要求されるが、この種の細かい制御を行う為には、大きめのブロアやシリンダポンプを利用して、圧力と流量を自在に変更できるようにしなければならない。従って、ポンプユニットの小型化が益々難しいという問題があった。   In addition, as shown in FIG. 18, for example, the pump unit used in the breathing assistance device first quickly increases pressure (positive pressure) at a high flow rate during the intake operation, and then further increases the pressure to assist the intake. While maintaining the flow rate constant. During the exhalation operation, the pressure is quickly reduced (negative pressure) at a high flow rate, and when the pressure drops, the flow rate is gradually reduced so as not to burden the lungs. This control is an example, and various control modes are actually required, but in order to perform this kind of fine control, a large blower or cylinder pump can be used to freely change the pressure and flow rate. Must be. Therefore, there is a problem that it is increasingly difficult to reduce the size of the pump unit.

本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、圧力や流量を自在に制御可能としながらも、大幅な小型化を実現できるポンプユニット及びこのポンプユニットを用いた呼吸補助装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and provides a pump unit and a breathing assistance apparatus using the pump unit that can realize significant downsizing while allowing pressure and flow rate to be freely controlled. With the goal.

本発明者の鋭意研究により、上記目的は以下の手段によって達成される。   The above-mentioned object is achieved by the following means based on the earnest research of the present inventors.

即ち、上記目的を達成する本手段は、行と列の関係となる格子状に配置され、前記列に沿った方向に流体を搬送する複数のマイクロポンプと、少なくとも最下流行の前記マイクロポンプの吐出口が直結されて、前記マイクロポンプによって搬送される前記流体が最終的に吐出される統合吐出口と、中間行の前記複数のマイクロポンプのそれぞれの吐出口を、前記統合吐出口に直結させる吐出直結機構と、中間行の前記複数のマイクロポンプのそれぞれの吸入口を、最初に供給される前記流体に直結させる吸入直結機構と、上流行の前記マイクロポンプの吐出口を、下流行の前記マイクロポンプの吸入口に直結させる直列結合機構と、前記吐出直結機構、前記吸入直結切替機構及び前記直列結合機構を制御する制御装置と、を備え、前記制御装置は、上流行の前記マイクロポンプの吐出口を下流行の前記マイクロポンプの吸入口に直結させて前記列方向の接続を構築し、前記複数のマイクロポンプを圧力優先搬送状態とする一方、複数行の前記マイクロポンプの吐出口を前記統合吐出口に直結すると共に、複数行に配置される前記マイクロポンプの吸入口を、最初に供給される前記流体に直結させることで、前記複数のマイクロポンプを流量優先搬送状態とすることを特徴とする、ポンプユニットである。   That is, the means for achieving the above object includes a plurality of micropumps arranged in a grid having a relation between rows and columns, and transporting fluid in a direction along the columns, and at least the micropumps in the most downstream row. An integrated discharge port to which the fluid transported by the micro pump is finally discharged and a discharge port of each of the plurality of micro pumps in the intermediate row are directly connected to the integrated discharge port. A direct discharge mechanism, an intake direct connection mechanism that directly connects each of the suction ports of the plurality of micropumps in the intermediate row to the fluid that is initially supplied, and a discharge port of the prevalent micropump in the downstream row. A serial coupling mechanism that is directly coupled to the suction port of the micropump; and a controller that controls the discharge direct coupling mechanism, the suction direct coupling switching mechanism, and the serial coupling mechanism. Is constructed by connecting the outlets of the most popular micro pumps directly to the inlets of the micro pumps in the downstream row to establish the connection in the column direction, and setting the plurality of micro pumps in the pressure-priority transport state. In addition to directly connecting the discharge port of the micro pump to the integrated discharge port, the suction ports of the micro pumps arranged in a plurality of rows are directly connected to the fluid supplied first, thereby It is a pump unit characterized by setting it as a flow rate priority conveyance state.

上記発明において、上記目的を達成するポンプユニットは、前記圧力優先搬送状態において、上流行の前記マイクロポンプの駆動数に対して、下流行の前記マイクロポンプの駆動数が同じ又は小さいことを特徴とすることが好ましい。   In the above invention, the pump unit that achieves the above object is characterized in that, in the pressure-priority transport state, the number of micropumps in the downstream row is the same as or smaller than the number of micropumps that are prevalent. It is preferable to do.

上記発明において、上記目的を達成するポンプユニットは、上流行の前記マイクロポンプの配置数に対して、下流行の前記マイクロポンプの配置数が同じ又は小さいことを特徴とすることが好ましい。   In the above invention, the pump unit that achieves the above object is preferably characterized in that the number of the micropumps in the downstream row is the same or smaller than the number of the micropumps that are prevalent.

上記発明において、上記目的を達成するポンプユニットの前記制御装置は、前記圧力優先搬送状態と前記流量優先搬送状態を同時に組み合わせると共に、前記圧力優先搬送状態によって相互接続される前記行の数と、前記流量優先搬送状態によって前記統合吐出口に直結される前記行の数の占有関係を切り換えることで、前記流体の搬送圧力及び搬送流量を段階的に切り換えること特徴とすることが好ましい。   In the above invention, the controller of the pump unit that achieves the above object combines the pressure priority transport state and the flow rate priority transport state at the same time, and the number of rows interconnected by the pressure priority transport state, It is preferable that the fluid conveyance pressure and the conveyance flow rate are switched stepwise by switching the occupation relationship of the number of rows directly connected to the integrated discharge port according to the flow rate priority conveyance state.

上記発明において、上記目的を達成するポンプユニットの前記吐出直結機構、前記吸入直結機構及び前記直列結合機構は、前記行に配置される複数の前記マイクロポンプの全体に対して、まとめて、接続関係を切り換えることを特徴とすることが好ましい。   In the above invention, the discharge direct coupling mechanism, the suction direct coupling mechanism, and the series coupling mechanism of the pump unit that achieves the above object are collectively connected to the plurality of micropumps arranged in the row. Is preferably switched.

上記目的を達成する本手段は、複数のマイクロポンプが並列配置される並列ポンプユニットを複数段に備えており、上流側の前記並列ポンプユニットと下流側の前記並列ポンプユニットの間には、上流側の前記並列ポンプユニットの前記複数のマイクロポンプから吐出される流体が合流する吐出側合流空間と、下流側の前記並列ポンプユニットの前記複数のマイクロポンプに対して、流体を分岐させながら供給する吸入側分岐空間と、上流側の前記並列ポンプユニットの前記吐出側合流空間を、下流側の前記並列ポンプユニットの前記吸入側分岐空間に直結・遮断する直列結合弁と、上流側の前記並列ポンプユニットの前記吐出側合流空間を、流体が最終的に吐出される統合吐出口に直結・遮断する吐出直結弁と、下流側の前記並列ポンプユニットの前記吸入側分岐空間を、最初に供給される前記流体に直結・遮断する吸入直結弁と、が配置されることを特徴とする、ポンプユニットである。   The means for achieving the above object comprises a plurality of stages of parallel pump units in which a plurality of micropumps are arranged in parallel, and the upstream side parallel pump unit and the downstream side parallel pump unit are located upstream. A fluid is branched and supplied to a discharge-side merge space in which fluids discharged from the plurality of micropumps of the parallel pump unit on the side join and a plurality of micropumps of the parallel pump unit on the downstream side A serially coupled valve that directly connects and blocks the suction-side branch space, the discharge-side merge space of the upstream parallel pump unit to the suction-side branch space of the downstream parallel pump unit, and the upstream parallel pump A discharge direct connection valve that directly connects / disconnects the discharge side merge space of the unit to an integrated discharge port through which fluid is finally discharged, and the downstream parallel pump unit. The suction side branch space Tsu bets, a suction direct valve that directly or blocking the fluid is initially supplied, characterized in that is disposed a pump unit.

上記発明において、上記目的を達成するポンプユニットは、前記吐出直結弁、前記吸入直結弁及び前記直列結合弁を制御する制御装置を更に備え、前記制御装置は、前記直列結合弁を直結状態、前記吐出直結弁及び前記吸入直結弁を遮断状態として、上流側の前記並列ポンプユニットと下流側の前記並列ポンプユニットを直列接続する圧力優先搬送状態と、前記直列結合弁を遮断状態、前記吐出直結弁及び前記吸入直結弁を直結状態として、上流側及び下流側の前記並列ポンプユニットを並列接続する流量優先搬送状態と、を切り換えることを特徴とすることが好ましい。   In the above invention, the pump unit that achieves the above object further includes a control device that controls the discharge direct connection valve, the suction direct connection valve, and the series coupling valve, and the control device directly connects the series coupling valve, A pressure-priority conveying state in which the parallel pump unit on the upstream side and the parallel pump unit on the downstream side are connected in series with the discharge direct connection valve and the suction direct connection valve shut off, and the series coupling valve is shut off, the discharge direct connection valve It is preferable that the intake direct connection valve is in a direct connection state, and the flow rate priority transfer state in which the parallel pump units on the upstream side and the downstream side are connected in parallel is switched.

上記目的を達成する本手段は、呼気又は吸気の気体が通過する流路と、前記流路内に配置されて呼気又は吸気方向に加速用の気体を噴出するノズルと、前記流路の周囲に固定され、前記ノズルに対して前記加速用の気体を供給する上記発明のいずれかに記載のポンプユニットと、を備える事を特徴とする、呼吸補助装置である。   The means for achieving the above object includes a flow path through which exhaled or inhaled gas passes, a nozzle that is arranged in the flow path and ejects an accelerating gas in the direction of exhalation or inhaling, and around the flow path. And a pump unit according to any one of the above inventions, which is fixed and supplies the acceleration gas to the nozzle.

本発明によれば、能力は維持しながらも、ポンプユニットを大幅に小型化することが可能になるという優れた効果を奏し得る。   According to the present invention, it is possible to achieve an excellent effect that the pump unit can be significantly downsized while maintaining the capability.

本発明の第1実施形態に係るポンプユニットの概念構成を示した図である。It is the figure which showed the conceptual structure of the pump unit which concerns on 1st Embodiment of this invention. (A)は同ポンプユニットで用いられるマイクロポンプの構成例を示す断面図であり、(B)は同マイクロポンプの圧力−流量線を示すグラフである。(A) is sectional drawing which shows the structural example of the micropump used with the pump unit, (B) is a graph which shows the pressure-flow rate line of the micropump. 同ポンプユニットで用いられる制御装置のハード構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the hardware constitutions of the control apparatus used with the pump unit. 同ポンプユニットで用いられる制御装置の機能構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the function structure of the control apparatus used with the pump unit. 同ポンプユニットの制御例を示す図である。It is a figure which shows the example of control of the pump unit. 同ポンプユニットの制御例を示す図である。It is a figure which shows the example of control of the pump unit. 同ポンプユニットの制御例を示す図である。It is a figure which shows the example of control of the pump unit. 本発明の第2実施形態に係るポンプユニットの概念構成を示した図である。It is the figure which showed the conceptual structure of the pump unit which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 同ポンプユニットの制御例を示す図である。It is a figure which shows the example of control of the pump unit. 同ポンプユニットの制御例を示す図である。It is a figure which shows the example of control of the pump unit. 同ポンプユニットで選択可能な直列数及び並列数を示すグラフである。It is a graph which shows the serial number and parallel number which can be selected with the pump unit. 同ポンプユニットの他の構成例を示す図である。It is a figure which shows the other structural example of the pump unit. 同ポンプユニットの他の構成例を示す図である。It is a figure which shows the other structural example of the pump unit. (A)は本発明の第3実施形態に係る呼吸補助装置の構成を示す正面断面図、(B)は(A)におけるB−B矢視断面図である。(A) is front sectional drawing which shows the structure of the respiratory assistance apparatus which concerns on 3rd Embodiment of this invention, (B) is BB arrow sectional drawing in (A). 同呼吸補助装置の制御例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the example of control of the same breathing assistance apparatus. 同呼吸補助装置の他の構成例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the other structural example of the same breathing assistance apparatus. 同呼吸補助装置の他の構成例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the other structural example of the same breathing assistance apparatus. 一般的な呼吸補助装置における圧力及び流量の制御例を示すグラフである。It is a graph which shows the example of control of the pressure and flow volume in a common respiratory assistance apparatus.

以下、図面を参照しながら本発明の実施形態の例について詳細に説明する。   Hereinafter, examples of embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図1には、本発明の第1実施形態に係るポンプユニット1の概念構成が例示されている。このポンプユニット1は、m1〜m5行とn1〜n5列となる概念的には格子状に、複数(ここでは25個)のマイクロポンプ500が配置されている。マイクロポンプ500は、n1〜n5列に沿った方向に流体を搬送する。   FIG. 1 illustrates a conceptual configuration of a pump unit 1 according to the first embodiment of the present invention. In this pump unit 1, a plurality (25 in this case) of micro pumps 500 are arranged in a lattice pattern conceptually having m1 to m5 rows and n1 to n5 columns. The micropump 500 conveys fluid in a direction along the n1 to n5 rows.

まず先に、マイクロポンプ500の構造例を図2(A)を参照して説明する。このマイクロポンプ500は、特許文献WO2008/069266で提案されているものであり、圧電素子501をダイヤフラム502に固定し、ダイヤフラム502に対向するように振動壁520を配置して一次ブロア室520Aを形成する。なお、この振動壁520には、一次ブロア室520Aの内外で流体を移動させる開口522を形成する。更に、一次ブロア室520Aの外側には、開口522と連続させて二次ブロア室540を配置する。この二次ブロア室540には、開口522と対向する位置に吐出口542を配置し、更に二次ブロア室540の周囲と連続するようにして吸入口544を配置する。圧電素子501によってダイヤフラム502を振動すると、二次ブロア室540と一次ブロア室520Aの間で流体が移動し、この流体抵抗によって振動壁520も共振する。このダイヤフラム502と振動壁520の共振によって、吸入口544から流体が吸い込まれて、吐出口542から流体が放出される。このマイクロポンプ500は、気体を搬送するブロア用途に適しており、逆止弁を用いることなく搬送できる。なお、このマイクロポンプ500は、外径が20mm×20mm×2mm程度の箱形状であって極めて小さいものの、入力正弦波を15Vpp(Volt peak to peak)で26kHzとした場合で、最大約1L/分(静圧0Pa時)の空気を搬送でき、また最大静圧2kPa(流量0L/分)を得ることが出来る。一方、このマイクロポンプ500は、圧電素子501によるダイヤフラム502の振動で流体を搬送することから、搬送可能な流体の体積に自ずと限界があり、この静圧/流量特性も図2(B)に示すような直線を示す。従って、例えば約1kPaの静圧を得ようとすると、流量は0.5L/分となる。なお、入力正弦波のVppを10や20に変化させれば、圧電素子501の振幅が変化するので、流量及び圧力を変化させることができる。すなわち、入力正弦波のVppを滑らかに変化させた場合には、流量及び圧力を滑らかに変化させることができる。あるいは、入力正弦波の周波数を変化させれば、流量及び圧力を変化させることができる。すなわち、入力正弦波の周波数を滑らかに変化させた場合には、流量及び圧力を滑らかに変化させることができる。ただし、流量及び圧力には、圧電素子の能力や部材の強度や耐久性によって上限がある。通常は定格のVpp及び周波数で使用される。   First, a structural example of the micropump 500 will be described with reference to FIG. This micropump 500 is proposed in Patent Document WO 2008/069266, and a piezoelectric element 501 is fixed to a diaphragm 502, and a vibrating wall 520 is disposed so as to face the diaphragm 502 to form a primary blower chamber 520A. To do. The vibrating wall 520 is formed with an opening 522 for moving a fluid inside and outside the primary blower chamber 520A. Further, a secondary blower chamber 540 is disposed outside the primary blower chamber 520A so as to be continuous with the opening 522. In the secondary blower chamber 540, a discharge port 542 is disposed at a position facing the opening 522, and a suction port 544 is disposed so as to be continuous with the periphery of the secondary blower chamber 540. When the diaphragm 502 is vibrated by the piezoelectric element 501, the fluid moves between the secondary blower chamber 540 and the primary blower chamber 520A, and the vibration wall 520 also resonates due to the fluid resistance. Due to the resonance between the diaphragm 502 and the vibration wall 520, fluid is sucked from the suction port 544 and discharged from the discharge port 542. The micropump 500 is suitable for blower applications that transport gas, and can be transported without using a check valve. The micropump 500 has a box shape with an outer diameter of about 20 mm × 20 mm × 2 mm and is extremely small. However, when the input sine wave is 15 Vpp (Volt peak to peak) and 26 kHz, the maximum is about 1 L / min. Air at a static pressure of 0 Pa can be conveyed, and a maximum static pressure of 2 kPa (flow rate of 0 L / min) can be obtained. On the other hand, since the micropump 500 conveys fluid by the vibration of the diaphragm 502 by the piezoelectric element 501, there is a limit to the volume of fluid that can be conveyed, and this static pressure / flow rate characteristic is also shown in FIG. Such a straight line is shown. Therefore, for example, when trying to obtain a static pressure of about 1 kPa, the flow rate is 0.5 L / min. Note that if the Vpp of the input sine wave is changed to 10 or 20, the amplitude of the piezoelectric element 501 changes, so that the flow rate and pressure can be changed. That is, when Vpp of the input sine wave is changed smoothly, the flow rate and pressure can be changed smoothly. Alternatively, the flow rate and pressure can be changed by changing the frequency of the input sine wave. That is, when the frequency of the input sine wave is changed smoothly, the flow rate and pressure can be changed smoothly. However, the flow rate and pressure have upper limits depending on the capacity of the piezoelectric element, the strength of the member, and the durability. Usually used at rated Vpp and frequency.

なお、ここでは1つの圧電素子をダイヤフラムに貼り付けたモノモルフ(ユニモフル)構造を紹介しているが、勿論、2つの圧電素子を貼り合わせて振動量を増やすバイモフル構造を採用することもできる。なお、マイクロポンプ500の構造は、液体の搬送に適した構造など、他にも様々に存在する。従って本発明では、その目的に応じて最適な構造を採用すれば良い。すなわち、本実施形態におけるマイクロポンプ500は、逆止弁を用いることなく気体を搬送できるが、そのマイクロポンプ500に代えて、吐出口又は吸入口に逆止弁を備えるマイクロポンプを適用しても良い。   Although a monomorph (unimofull) structure in which one piezoelectric element is attached to a diaphragm is introduced here, it is of course possible to adopt a bimorph structure in which two piezoelectric elements are attached to increase the amount of vibration. Note that there are various other structures of the micropump 500 such as a structure suitable for liquid transport. Therefore, in the present invention, an optimum structure may be adopted according to the purpose. That is, the micropump 500 in the present embodiment can convey gas without using a check valve, but instead of the micropump 500, a micropump having a check valve at the discharge port or the suction port may be applied. good.

図1に戻って、このポンプユニット1は、統合吐出口50と統合吸入口60を備える。統合吐出口50は、全てのマイクロポンプ500によって搬送される流体が最終的に吐出される部位となる。この統合吐出口50には、少なくとも最下流のm1行に属しているマイクロポンプ500の吐出口542が直結される。また、統合吐出口50に近辺には、ここから吐出される流体の流量を計測する流量センサ52と、同流体の圧力を検出する圧力センサ54が設置されている。統合吸入口60は、全てのマイクロポンプ500によって搬送される流体が最初に供給される部位となる。この統合吸入口60には、少なくとも最上流のm5行に属しているマイクロポンプ500の吸入口544が直結される。   Returning to FIG. 1, the pump unit 1 includes an integrated discharge port 50 and an integrated suction port 60. The integrated discharge port 50 is a part where the fluid conveyed by all the micro pumps 500 is finally discharged. The integrated discharge port 50 is directly connected to at least the discharge port 542 of the micropump 500 belonging to the most downstream m1 row. Near the integrated discharge port 50, a flow sensor 52 for measuring the flow rate of the fluid discharged therefrom and a pressure sensor 54 for detecting the pressure of the fluid are installed. The integrated suction port 60 is a part to which the fluid conveyed by all the micropumps 500 is first supplied. The integrated inlet 60 is directly connected to the inlet 544 of the micropump 500 belonging to at least the most upstream m5 row.

ポンプユニット1は、吐出直結機構70、吸入直結機構80、直列結合機構90を備える。吐出直結機構70は、少なくとも中間に位置するm2〜m4行に属するマイクロポンプ500のそれぞれの吐出口542を、統合吐出口50に直結させる。特に本実施形態では、最上流のm5行に属するマイクロポンプ500のそれぞれの吐出口542も統合吐出口50に直結可能としている。吸入直結機構80は、少なくとも中間に位置するm2〜m4行に属するマイクロポンプ500のそれぞれの吸入口544を、統合吸入口60に直結させる。特に本実施形態では、最下流のm1行に属するマイクロポンプ500のそれぞれの吸入口544も統合吐出口60に直結可能としている。   The pump unit 1 includes a discharge direct coupling mechanism 70, a suction direct coupling mechanism 80, and a series coupling mechanism 90. The discharge direct connection mechanism 70 directly connects each discharge port 542 of the micropump 500 belonging to at least the middle m2 to m4 rows to the integrated discharge port 50. In particular, in the present embodiment, each discharge port 542 of the micro pump 500 belonging to the most upstream m5 row can also be directly connected to the integrated discharge port 50. The suction direct coupling mechanism 80 directly couples the respective suction ports 544 of the micropumps 500 belonging to the m2 to m4 rows located at the middle to the integrated suction port 60. In particular, in the present embodiment, each suction port 544 of the micro pump 500 belonging to the most downstream m1 row can also be directly connected to the integrated discharge port 60.

直列結合機構90は、列方向(図面における上下方向)に隣接する一対のマイクロポンプ500間で、上流行のマイクロポンプ500の吐出口542を、下流行のマイクロポンプ500の吸入口544に直結させる。   The serial coupling mechanism 90 directly connects the discharge port 542 of the prevalent micropump 500 to the suction port 544 of the micropump 500 in the downstream row between the pair of micropumps 500 adjacent in the column direction (vertical direction in the drawing). .

本実施形態のポンプユニット1では、これらの吐出直結機構70、吸入直結機構80及び直列結合機構90が、行を単位として、各行に配置される複数のマイクロポンプ500の全体の接続関係をまとめて切り換える。即ち、吐出直結機構70、吸入直結機構80及び直列結合機構90は、m1行とm2行の間、m2行とm3行の間、m3行とm4行の間、m4行とm5行の間にそれぞれ1つずつ配置される。各行間に配置される吐出直結機構70は、対応する行に属している全てのマイクロポンプ500の吐出口542を、まとめて統合吐出口50に直結する。各行間に配置される吸入直結機構80は、対応する行に属している全てのマイクロポンプ500の吸入口544を、まとめて統合吸入口60に直結する。各行間に配置される直列結合機構90は、上流行に属している全てのマイクロポンプ500の吐出口542を、まとめて、下流行に属しているマイクロポンプ500の吸入口544に直結する。このようにすると、弁構造及び弁制御が簡潔化される。なお、構造は複雑化するものの、行単位ではなく、マイクロポンプ500の1つずつに、吐出直結機構70、吸入直結機構80及び直列結合機構90を配置しても良く、更に高精度な制御が可能となる。   In the pump unit 1 of the present embodiment, the discharge direct coupling mechanism 70, the suction direct coupling mechanism 80, and the series coupling mechanism 90 collectively connect the entire connection relationship of the plurality of micropumps 500 arranged in each row. Switch. That is, the discharge direct coupling mechanism 70, the suction direct coupling mechanism 80, and the series coupling mechanism 90 are between m1 and m2, between m2 and m3, between m3 and m4, between m4 and m5. Each one is arranged. The discharge direct connection mechanism 70 disposed between the rows directly connects all the discharge ports 542 of the micro pumps 500 belonging to the corresponding row to the integrated discharge port 50. The suction direct connection mechanism 80 disposed between the rows directly connects the suction ports 544 of all the micropumps 500 belonging to the corresponding row to the integrated suction port 60. The serial coupling mechanism 90 arranged between the rows collectively connects all the discharge ports 542 of the micropumps 500 belonging to the epidemic to the suction ports 544 of the micropumps 500 belonging to the downstream row. This simplifies the valve structure and valve control. Although the structure is complicated, the discharge direct coupling mechanism 70, the suction direct coupling mechanism 80, and the series coupling mechanism 90 may be arranged in each of the micropumps 500 instead of in units of rows, and more accurate control is possible. It becomes possible.

図3には、このポンプユニット1が備える制御装置10が示されている。この制御装置10は、ハード構成としてCPU12、第1記憶媒体14、第2記憶媒体16、第3記憶媒体18、入力装置20、表示装置22、入出力インタフェース24、バス26を備えて構成される。CPU12はいわゆる中央演算処理装置であり、各種プログラムが実行されて本制御装置10の各種機能を実現する。第1記憶媒体14はいわゆるRAM(ランダム・アクセス・メモリ)であり、CPU12の作業領域として使用されるメモリである。第2記憶媒体16はいわゆるROM(リード・オンリー・メモリ)であり、CPU12で実行される基本OSを記憶するためのメモリである。第3記憶媒体18は、磁気ディスクを内蔵したハードディスク装置、CDやDVDやBDを収容するディスク装置、不揮発性の半導体フラッシュメモリ装置などで構成されており、CPU12で実行される各種プログラム、流量センサ52及び圧力センサ54のセンシングデータ等が保存される。入力装置20は入力キーやキーボード、マウスであり、各種情報を入力する装置である。表示装置22はディスプレイであって、各種動作状態を表示する。入出力インタフェース24は、吐出直結機構70、吸入直結機構80及び直列結合機構90を動作させる電源及び制御信号や、流量センサ52及び圧力センサ54のセンシング信号、各マイクロポンプ500を動作させる電源(正弦波の波形)及び制御信号が入出力される。更にこの入出力インタフェース24は、外部のパーソナルコンピュータからプログラム等のデータを取得したり、同パーソナルコンピュータに対して計測結果を出力したりすることもできる。バス26は、CPU12、第1記憶媒体14、第2記憶媒体16、第3記憶媒体18、入力装置20、表示装置22、入出力インタフェース24などを一体的に接続して通信を行うための配線となる。   FIG. 3 shows a control device 10 provided in the pump unit 1. The control device 10 includes a CPU 12, a first storage medium 14, a second storage medium 16, a third storage medium 18, an input device 20, a display device 22, an input / output interface 24, and a bus 26 as hardware configurations. . The CPU 12 is a so-called central processing unit, and implements various functions of the control device 10 by executing various programs. The first storage medium 14 is a so-called RAM (Random Access Memory) and is a memory used as a work area of the CPU 12. The second storage medium 16 is a so-called ROM (Read Only Memory), and is a memory for storing a basic OS executed by the CPU 12. The third storage medium 18 is composed of a hard disk device incorporating a magnetic disk, a disk device containing a CD, a DVD, or a BD, a non-volatile semiconductor flash memory device, and the like. Various programs executed by the CPU 12, flow sensors 52 and the sensing data of the pressure sensor 54 are stored. The input device 20 is an input key, a keyboard, and a mouse, and is a device for inputting various information. The display device 22 is a display and displays various operation states. The input / output interface 24 includes a power source and control signal for operating the discharge direct coupling mechanism 70, the suction direct coupling mechanism 80, and the series coupling mechanism 90, a sensing signal for the flow sensor 52 and the pressure sensor 54, and a power source for operating each micropump 500 (sinusoidal). Waveform) and control signals are input and output. Further, the input / output interface 24 can acquire data such as a program from an external personal computer and can output a measurement result to the personal computer. The bus 26 is a wiring for integrally connecting the CPU 12, the first storage medium 14, the second storage medium 16, the third storage medium 18, the input device 20, the display device 22, the input / output interface 24, and the like for communication. It becomes.

図4には、この制御装置10に保存される制御プログラムがCPU12で実行されることで得られる機能構成が示されている。この制御装置10は、機能構成として、ポンプ制御部30、センシング部32、弁制御部34を備える。ポンプ制御部30は、マイクロポンプ500への入力正弦波のVpp及び周波数を制御する。センシング部32は、流量センサ52及び圧力センサ54のセンシング信号を常に取得してポンプ制御部30及び弁制御部34に伝達する。弁制御部34は、センシング部32のセンシング信号を参照して、吐出直結機構70、吸入直結機構80及び直列結合機構90を適宜切り換え、目標となる流量値及び圧力値に近づくように制御する。   FIG. 4 shows a functional configuration obtained by the CPU 12 executing a control program stored in the control device 10. The control device 10 includes a pump control unit 30, a sensing unit 32, and a valve control unit 34 as functional configurations. The pump control unit 30 controls the Vpp and frequency of the input sine wave to the micropump 500. The sensing unit 32 always acquires sensing signals from the flow sensor 52 and the pressure sensor 54 and transmits them to the pump control unit 30 and the valve control unit 34. The valve control unit 34 refers to the sensing signal of the sensing unit 32 and appropriately switches the discharge direct coupling mechanism 70, the suction direct coupling mechanism 80, and the series coupling mechanism 90, and performs control so as to approach the target flow rate value and pressure value.

この制御装置10によるポンプユニット1の制御例を図5に示す。   An example of control of the pump unit 1 by the control device 10 is shown in FIG.

図5(A)には、ポンプユニット1において、全ての吐出直結機構70及び吸入直結機構80をON、全ての直列結合機構90をOFFにして、m1〜m5行のマイクロポンプ500の吐出口542を統合吐出口50に直結すると共に、m1〜m5行のマイクロポンプ500の吸入口544を統合吸入口60に直結する。このようにすると、25個のマイクロポンプ500が並列接続されるので、全ての行が、流量を優先とした搬送状態(ここでは流量優先搬送状態と呼ぶ)になる。結果、マイクロポンプ500単体と比較して、25倍の流量を得ることが出来る。   5A, in the pump unit 1, all the discharge direct coupling mechanisms 70 and the suction direct coupling mechanisms 80 are turned on, and all the series coupling mechanisms 90 are turned off, so that the discharge ports 542 of the micro pumps 500 in the m1 to m5 rows. Are directly connected to the integrated discharge port 50, and the suction ports 544 of the micro pumps 500 in the m1 to m5 rows are directly connected to the integrated suction port 60. In this way, since the 25 micropumps 500 are connected in parallel, all the rows are in a transport state in which the flow rate is prioritized (here, referred to as a flow rate priority transport state). As a result, a flow rate 25 times that of the single micropump 500 can be obtained.

図5(B)には、ポンプユニット1において、全ての吐出直結機構70及び吸入直結機構80をOFF、全ての直列結合機構90をONにして、上流行のマイクロポンプ500の吐出口542を、下流行のマイクロポンプ500の吸入口544に直結する。このようにすると、n1〜n5列方向にそって5段のマイクロポンプ500が直列接続される状態となり、全ての行が、圧力を優先とした搬送状態(ここでは圧力優先搬送状態と呼ぶ)になる。結果、下流側に進むにつれて流体の圧力が上昇し、出口側では約5倍の圧力を得ることが出来る。また、流量に関しては、m1〜m5行で5つのマイクロポンプ500が並列稼働している結果、単純に5個のマイクロポンプ500を直列接続した場合と比較して、約5倍の流量を得ることが出来る。   In FIG. 5B, in the pump unit 1, all the discharge direct coupling mechanisms 70 and the suction direct coupling mechanisms 80 are turned off, all the series coupling mechanisms 90 are turned on, and the discharge ports 542 of the prevalent micropump 500 are Directly connected to the suction port 544 of the micropump 500 of the trendy fashion. If it does in this way, it will be in the state where the 5-stage micropump 500 is connected in series along the n1-n5 column direction, and all the rows will be in the conveyance state (referred to as pressure priority conveyance state here) which gave priority to pressure. Become. As a result, the pressure of the fluid rises as it goes downstream, and about 5 times as much pressure can be obtained on the outlet side. As for the flow rate, as a result of the five micropumps 500 operating in parallel in m1 to m5 rows, a flow rate approximately five times that of a case where five micropumps 500 are simply connected in series is obtained. I can do it.

図5(A)の流量優先搬送状態では、全てのマイクロポンプ500を稼働させる場合を例示したが、例えば図6(A)に示されるように、各行のマイクロポンプ500の駆動数を減少させて、流量を制御することが好ましい。なお、図6では、停止中のマイクロポンプ500は斜線を付記している。このようにすると、マイクロポンプ500単体の流量を仮に1とすれば、1〜25の範囲で流量を変化させることができる。   In the flow rate priority conveyance state of FIG. 5A, the case where all the micropumps 500 are operated is illustrated. However, for example, as shown in FIG. 6A, the number of micropumps 500 in each row is decreased. It is preferable to control the flow rate. In FIG. 6, the stopped micropump 500 is hatched. If it does in this way, if the flow volume of the micro pump 500 single-piece | unit is set to 1, a flow volume can be changed in the range of 1-25.

また図5(B)の圧力優先搬送状態では、全てのマイクロポンプ500を稼働させる場合を例示したが、例えば図6(B)に示されるように、上流行のマイクロポンプ500の駆動数に対して、下流行のマイクロポンプ500の駆動数が同じ又は小さくなるように制御することが好ましい。なぜなら、例えば気体を搬送する場合、m5行からm1行に向かって気圧が上昇するにつれて、ボイルの法則によって体積が減少する。従って、各行の全てのマイクロポンプ500を駆動させなくても、十分に流量を確保できるからである。例えば、同図で示されるように、m5行では5個のマイクロポンプ500を稼働させ、m4行では4個のマイクロポンプ500を稼働させ、m3行では3個のマイクロポンプ500を稼働させ、m2行では2個のマイクロポンプ500を稼働させ、m1行では1個のマイクロポンプ500を稼働させる。各行で静圧1kPaずつ昇圧させていくと、統合吐出口50では静圧5kPaとなり、その体積(流量)も5分の1程度になる。結果、m1行における流量は、1つのマイクロポンプ500の最大許容流量の範囲内になることから、1つのマイクロポンプ500を稼働させることで、図5(B)と同じ流量を得ることが出来る。即ち、図5(B)と図6(B)では、同じ出力を得ることができるので、エネルギー効率の観点からすると、図6(B)の方が好ましい。なお、図6(B)では、上流行から下流行に移動するにつれて、マイクロポンプ500の稼働数が必ず減少する場合を例示しているが、本発明はこれに限定されず、少なくともいずれかの上流行と下流行の関係で稼働数が減少していれば、全ての行で減少させる必要は無い。   Moreover, in the pressure priority conveyance state of FIG. 5 (B), the case where all the micropumps 500 are operated was illustrated. However, for example, as shown in FIG. Thus, it is preferable to control the number of downstream micro pumps 500 to be the same or smaller. This is because, for example, when a gas is transported, the volume decreases according to Boyle's law as the atmospheric pressure increases from the m5 line toward the m1 line. Therefore, a sufficient flow rate can be secured without driving all the micropumps 500 in each row. For example, as shown in the figure, in the m5 line, five micropumps 500 are operated, in the m4 line, four micropumps 500 are operated, in the m3 line, three micropumps 500 are operated, and m2 In the row, two micro pumps 500 are operated, and in the m1 row, one micro pump 500 is operated. When the static pressure is increased by 1 kPa in each row, the integrated discharge port 50 has a static pressure of 5 kPa, and its volume (flow rate) also becomes about one fifth. As a result, since the flow rate in the m1 line falls within the range of the maximum allowable flow rate of one micropump 500, the same flow rate as that in FIG. 5B can be obtained by operating one micropump 500. That is, since the same output can be obtained in FIGS. 5B and 6B, FIG. 6B is preferable from the viewpoint of energy efficiency. Note that FIG. 6B illustrates a case where the number of operating micropumps 500 is necessarily reduced as it moves from the epidemic to the downstream line, but the present invention is not limited to this, and at least any one of them If the number of operations is decreasing due to the relationship between the epidemic and the downstream line, it is not necessary to decrease it for all lines.

更に、図7に示されるように、流量優先搬送状態と圧力優先搬送状態を混在させることも好ましい。ここでは、m1行とm2行の間において圧力優先搬送状態、m2行とm3行の間において流量優先搬送状態、m3行とm4行の間において圧力優先搬送状態、m4行とm5行の間において流量優先搬送状態としている。また、各行のマイクロポンプ500の稼働数も適宜制御している。このように、圧力優先搬送状態によって相互接続される一対の行の数と、流量優先搬送状態によって統合吐出口50に直結される行の数の占有関係を切り換えることで、流体の搬送圧力及び搬送流量を段階的に切り換える。結果、マイクロポンプ500の稼働数を含めた多様な組合せによって、最適な流量と圧力を決定できる。   Furthermore, as shown in FIG. 7, it is also preferable to mix a flow rate priority transport state and a pressure priority transport state. Here, the pressure priority transfer state between the m1 line and the m2 line, the flow rate priority transfer state between the m2 line and the m3 line, the pressure priority transfer state between the m3 line and the m4 line, and between the m4 line and the m5 line The flow rate priority transfer state. In addition, the number of operating micro pumps 500 in each row is appropriately controlled. In this way, by switching the occupation relationship between the number of a pair of rows interconnected by the pressure priority transport state and the number of rows directly connected to the integrated discharge port 50 by the flow rate priority transport state, the fluid transport pressure and transport Switch the flow rate step by step. As a result, the optimum flow rate and pressure can be determined by various combinations including the number of operating micropumps 500.

図8(A)には、第2実施形態に係るポンプユニット1の構成が例示されている。なお、第1実施形態と第2実施形態は、同一又は類似する部分が多いので、これらの説明は省略すると共に、ここでは第1実施形態と異なる点を中心に説明する。   FIG. 8A illustrates the configuration of the pump unit 1 according to the second embodiment. Since the first embodiment and the second embodiment have many parts that are the same or similar, explanations thereof will be omitted, and here, differences from the first embodiment will be mainly described.

このポンプユニット1は、第1実施形態と同様に、m1〜m5行とn1〜n5列となる概念的には格子状にマイクロポンプ500が配置されているが、上流行側のマイクロポンプ500の配置数に対して、下流行のマイクロポンプ500の配置数が同じ又は小さく設定されている。具体的には、m5行では5個のマイクロポンプ500が並列配置され、m4行では4個のマイクロポンプ500が並列配置され、m3行では3個のマイクロポンプ500が並列配置され、m2行では2個のマイクロポンプ500が並列配置され、m1行では1個のマイクロポンプ500が配置される。なお、上流行から下流行に移動するにつれて、マイクロポンプ500の配置数が必ず減少する場合を例示しているが、本発明はこれに限定されるものではない。   In the pump unit 1, as in the first embodiment, the micropump 500 is conceptually arranged in m1 to m5 rows and n1 to n5 columns in a lattice shape. The arrangement number of the micropumps 500 in the downstream row is set to be the same or smaller than the arrangement number. Specifically, in the m5 row, five micropumps 500 are arranged in parallel, in the m4 row, four micropumps 500 are arranged in parallel, in the m3 row, three micropumps 500 are arranged in parallel, and in the m2 row, Two micropumps 500 are arranged in parallel, and one micropump 500 is arranged in the m1 row. In addition, although the case where the number of arrangement | positioning of the micropump 500 reduces without fail as it moves to a downstream line from an upper fashion is illustrated, this invention is not limited to this.

本第2実施形態では、この各行に並列配置されるマイクロポンプ500を、まとめて並列ポンプユニット600を呼ぶ。従って、このポンプユニット1は、並列ポンプユニット600を、m1〜m5行の5段に備えていることになる。更に、このポンプユニット1は、図8(B)(C)に拡大して示されるように、上流側の並列ポンプユニット600と下流側の並列ポンプユニット600の間において、吐出側合流空間72と、吐出直結弁74と、吸入側分岐空間82と、吸入直結弁84と、直列結合弁92を備える。なお、吐出直結弁74、吸入直結弁84及び直列結合弁92は、一つの切替弁65を回転させることでまとめて動作する。なお、切替弁65は、回転タイプのものに限定されず、電磁弁等を用いるタイプのものであってもよい。   In the second embodiment, the micropumps 500 arranged in parallel in each row are collectively referred to as a parallel pump unit 600. Therefore, the pump unit 1 includes the parallel pump units 600 in five stages of m1 to m5 rows. Further, as shown in enlarged views in FIGS. 8B and 8C, the pump unit 1 includes a discharge-side merge space 72 between the upstream-side parallel pump unit 600 and the downstream-side parallel pump unit 600. The discharge direct connection valve 74, the suction side branch space 82, the suction direct connection valve 84, and the series coupling valve 92 are provided. The discharge direct connection valve 74, the suction direct connection valve 84, and the series connection valve 92 operate together by rotating one switching valve 65. In addition, the switching valve 65 is not limited to a rotary type, and may be a type using an electromagnetic valve or the like.

吐出側合流空間72は、上流側の並列ポンプユニット600の複数のマイクロポンプ500から吐出される流体がまとめて合流するチャンバ空間となる。吐出直結弁74は、図8(C)に示されるように、この吐出側合流空間72を、流体が最終的に吐出される統合吐出口50に直結したり遮断したりする弁である。   The discharge side merge space 72 is a chamber space in which fluids discharged from the plurality of micro pumps 500 of the upstream parallel pump unit 600 merge together. As shown in FIG. 8C, the discharge direct connection valve 74 is a valve that directly connects or blocks the discharge side merge space 72 to the integrated discharge port 50 from which the fluid is finally discharged.

吸入側分岐空間82は、下流側の並列ポンプユニット600の複数のマイクロポンプ500に対して、流体を分岐させながら供給する空間となっている。即ち、これらの複数のマイクロポンプ500の吸入口544がまとめて接続されるチャンバ空間となる。吸入直結弁84は、図8(C)に示されるように、この吸入側分岐空間82を、流体が最初に供給される統合吸入口60に直結したり遮断したりする弁である。   The suction side branch space 82 is a space that supplies fluid to the plurality of micro pumps 500 of the downstream parallel pump unit 600 while branching the fluid. That is, it becomes a chamber space to which the suction ports 544 of the plurality of micropumps 500 are connected together. As shown in FIG. 8C, the suction direct connection valve 84 is a valve that directly connects or blocks the suction side branch space 82 to the integrated suction port 60 to which a fluid is first supplied.

直列結合弁92は、図8(B)に示されるように、上流側の吐出側合流空間72を、下流側の吸入側分岐空間82に直結したり遮断したりする弁である。   As shown in FIG. 8B, the series coupling valve 92 is a valve that directly connects or blocks the upstream discharge-side merge space 72 to the downstream suction-side branch space 82.

従って、第1実施形態の吐出直結機構70、吸入直結機構80、直列結合機構90に対応させると、吐出側合流空間72と吐出直結弁74が吐出直結機構70となり、吸入側分岐空間82と吸入直結弁84が吸入直結機構80となり、吐出側合流空間72と吸入側分岐空間82と直列結合弁92が直列結合機構90となる。   Therefore, when corresponding to the discharge direct coupling mechanism 70, the suction direct coupling mechanism 80, and the series coupling mechanism 90 of the first embodiment, the discharge side merging space 72 and the discharge direct coupling valve 74 become the discharge direct coupling mechanism 70, and the suction side branch space 82 and the suction side The direct connection valve 84 becomes the suction direct connection mechanism 80, and the discharge side merge space 72, the suction side branch space 82, and the series coupling valve 92 become the series coupling mechanism 90.

本第2実施形態のポンプユニット1では、吐出側合流空間72と吸入側分岐空間82と切替弁65によって、並列ポンプユニット600を単位として、各並列ポンプユニット600に属するマイクロポンプ500の全体の接続関係をまとめて切り換える。   In the pump unit 1 of the second embodiment, the entire connection of the micropumps 500 belonging to each parallel pump unit 600 by the parallel pump unit 600 by the discharge side merge space 72, the suction side branch space 82, and the switching valve 65. Switch relationships together.

図9には、図1と同じ制御装置10によって、第2実施形態のポンプユニット1の制御例が示されている。   FIG. 9 shows a control example of the pump unit 1 of the second embodiment by the same control device 10 as in FIG.

図9(A)には、全ての直列結合弁92を遮断状態(OFF)、全ての吐出直結弁74及び吸入直結弁84を直結状態(ON)として、上流側及び下流側の全ての並列ポンプユニット600を更に並列接続とする。即ち、全てのマイクロポンプ500の吐出口542が統合吐出口50に直結されると共に、全てのマイクロポンプ500の吸入口544が統合吸入口60に直結される。このようにすると、15個のマイクロポンプ500が並列接続されるので、流量優先搬送状態になる。結果、マイクロポンプ500単体と比較して、15倍の流量を得ることが出来る。   FIG. 9A shows all the parallel pumps on the upstream side and the downstream side with all the series coupling valves 92 shut off (OFF) and all the discharge direct coupling valves 74 and the suction direct coupling valves 84 are directly coupled (ON). The unit 600 is further connected in parallel. That is, the discharge ports 542 of all the micropumps 500 are directly connected to the integrated discharge port 50, and the suction ports 544 of all the micropumps 500 are directly connected to the integrated suction port 60. If it does in this way, since 15 micropumps 500 are connected in parallel, it will be in a flow rate priority conveyance state. As a result, a flow rate 15 times that of the single micropump 500 can be obtained.

図9(B)には、全ての直列結合弁92を直結状態、全ての吐出直結弁74及び吸入直結弁84を遮断状態として、上流側の並列ポンプユニット600と下流側の並列ポンプユニット600を全て直列接続とする。結果、5段の並列ポンプユニット600が直列接続された圧力優先搬送状態となる。特に、流路の途中に配置される吐出側合流空間72と吸入側分岐空間82によって、各マイクロポンプ500に供給される流体、及び吐出される流体の圧力が均等化されるので、各マイクロポンプ500に均等な負荷をかけることができ、搬送効率を高めることが出来る。   In FIG. 9B, all the serial coupling valves 92 are directly connected, all the discharge direct connection valves 74 and the suction direct connection valves 84 are shut off, and the upstream parallel pump unit 600 and the downstream parallel pump unit 600 are connected. All are connected in series. As a result, the pressure-priority transfer state in which the five-stage parallel pump units 600 are connected in series is achieved. In particular, the fluid supplied to each micropump 500 and the pressure of the fluid discharged are equalized by the discharge side merge space 72 and the suction side branch space 82 arranged in the middle of the flow path. A uniform load can be applied to 500, and the conveyance efficiency can be increased.

図10には、このポンプユニット1を用いて、高流量状態から高圧力状態に段階に切り替えていく制御例が示されている。まず、図10(A)に示されるように、全ての吐出側合流空間72、吸入側分岐空間82及び切替弁65を流量優先搬送状態として、15個のマイクロポンプ500を並列状態にして、1倍の圧力且つ15倍の流量を得る。   FIG. 10 shows a control example in which the pump unit 1 is used to switch from a high flow rate state to a high pressure state in stages. First, as shown in FIG. 10A, all the discharge side merge spaces 72, the suction side branch spaces 82, and the switching valves 65 are set in the flow rate priority transfer state, and the fifteen micro pumps 500 are set in parallel. Double pressure and 15 times flow rate.

次いで、図10(B)に示されるように、m2行とm3行の並列ポンプユニット600の間の吐出側合流空間72、吸入側分岐空間82及び切替弁65を圧力優先搬送状態に切り換えると共に、m4行とm5行の並列ポンプユニット600の間の吐出側合流空間72、吸入側分岐空間82及び切替弁65を圧力優先搬送状態に切り換える。結果、これらの並列ポンプユニット500により2段階の直列接続が実現されて2倍の圧力を得ることが出来る。また、m2行及びm4行の並列ポンプユニット600による合計6つのマイクロポンプ500による6倍の流量を得る。この際、m1行の並列ポンプユニット600は休止させている。   Next, as shown in FIG. 10B, the discharge-side merge space 72, the suction-side branch space 82, and the switching valve 65 between the parallel pump units 600 in the m2 and m3 rows are switched to the pressure priority transport state, The discharge side merge space 72, the suction side branch space 82, and the switching valve 65 between the parallel pump units 600 in the m4 and m5 rows are switched to the pressure priority transport state. As a result, these parallel pump units 500 realize a two-stage series connection and obtain twice the pressure. In addition, a flow rate that is six times that of the six micropumps 500 in total by the parallel pump units 600 of the m2 row and the m4 row is obtained. At this time, the parallel pump units 600 in the m1 row are suspended.

更に図10(C)に示されるように、図10(B)と同じ接続状態で、m2行からm5行の各並列ポンプユニット600において、1つのマイクロポンプ500を休止させて、同じ2倍の圧力を維持しながらも、合計4つの並列マイクロポンプによる4倍の流量を得る。なお、ここではマイクロポンプ500を休止させて流量を減少させる場合を示しているが、例えば、m1行とm2行の間、及びm3行とm4行の間の吐出側合流空間72、吸入側分岐空間82及び切替弁65を圧力優先搬送状態に切り換えても、同じ状況となる。   Furthermore, as shown in FIG. 10 (C), in the same connection state as in FIG. 10 (B), in each parallel pump unit 600 of the m2 to m5 rows, one micropump 500 is paused, and the same double While maintaining the pressure, a total of four times the flow rate with four parallel micropumps is obtained. Here, the case where the micropump 500 is stopped to reduce the flow rate is shown, but, for example, the discharge side merge space 72 between the m1 line and the m2 line, and the m3 line and the m4 line, and the suction side branch. The same situation occurs even when the space 82 and the switching valve 65 are switched to the pressure priority transport state.

次いで図10(D)に示されるように、m3行とm4行の間及びm4行とm5行の間の吐出側合流空間72、吸入側分岐空間82及び切替弁65を圧力優先搬送状態に切り換えることで、3段階の直列接続を実現して3倍の圧力を得ると同時に、m3行の並列ポンプユニット600の3つのマイクロポンプ500による3倍の流量を得る。この際、m1行とm2行の並列ポンプユニット600は休止させている。   Next, as shown in FIG. 10D, the discharge-side merge space 72, the suction-side branch space 82, and the switching valve 65 between the m3 and m4 rows and between the m4 and m5 rows are switched to the pressure priority transport state. Thus, three stages of serial connection are realized to obtain three times the pressure, and at the same time, three times the flow rate by the three micro pumps 500 of the parallel pump unit 600 of m3 rows is obtained. At this time, the parallel pump units 600 in the m1 and m2 rows are suspended.

その後、図10(E)に示されるように、m2行とm3行の間、m3行とm4行の間及びm4行とm5行の間の吐出側合流空間72、吸入側分岐空間82及び切替弁65を圧力優先搬送状態に切り換えることで、4段階の直列接続を実現して4倍の圧力を得ると同時に、m2行の並列ポンプユニット600の2つのマイクロポンプ500による2倍の流量を得る。この際、m1行の並列ポンプユニット600は休止させている。   Thereafter, as shown in FIG. 10 (E), between the m2 and m3 rows, between the m3 and m4 rows, and between the m4 and m5 rows, the discharge-side merge space 72, the suction-side branch space 82, and the switching By switching the valve 65 to the pressure-priority transfer state, a four-stage series connection is realized to obtain four times the pressure, and at the same time, a double flow rate by the two micropumps 500 of the m2 rows of parallel pump units 600 is obtained. . At this time, the parallel pump units 600 in the m1 row are suspended.

最後に、図10(F)に示されるように、全ての吐出側合流空間72、吸入側分岐空間82及び切替弁65を圧力優先搬送状態に切り換えることで、5段階の直列接続を実現して5倍の圧力を得ると同時に、m1行の並列ポンプユニット600の1つのマイクロポンプ500による1倍の流量を得る。この際、各並列ポンプユニット600の全てのマイクロポンプ500は動かしている。   Finally, as shown in FIG. 10F, by switching all the discharge side merging space 72, the suction side branching space 82 and the switching valve 65 to the pressure priority transport state, a five-stage series connection is realized. At the same time as obtaining a pressure of 5 times, a flow rate of 1 time by one micro pump 500 of the parallel pump unit 600 of m1 rows is obtained. At this time, all the micro pumps 500 of each parallel pump unit 600 are moving.

このように制御を行うと、例えば図11に示されるようなバリエーションの直列段数と並列数を選択することが可能となる。従って、並列数と直列数の占有関係を段階的に切り換えれば、流量と圧量の関係を滑らかに切り換えることが可能になる。例えば点線Xに示されるように、高圧搬送と高流量搬送の間を滑らかに移行するような制御を実現することが可能となる。加えて、入力正弦波のVpp又は周波数を滑らかに変化させることで、流量と圧量の関係を更に滑らかに変化させることが可能になる。例えば点線Yに示されるように、高圧搬送と高流量搬送の間を更に滑らかに移行するような制御を実現することが可能となる。   When the control is performed in this way, it is possible to select the number of series stages and the number of parallel variations as shown in FIG. 11, for example. Therefore, if the occupation relationship between the parallel number and the serial number is switched stepwise, the relationship between the flow rate and the pressure amount can be switched smoothly. For example, as indicated by a dotted line X, it is possible to realize control that smoothly shifts between high-pressure conveyance and high-flow-rate conveyance. In addition, by smoothly changing the Vpp or frequency of the input sine wave, the relationship between the flow rate and the pressure amount can be changed more smoothly. For example, as indicated by the dotted line Y, it is possible to realize control that makes a smooth transition between the high-pressure transport and the high-flow transport.

以上、これらの実施形態のポンプユニット1によれば、マイクロポンプ500が格子状に配置されており、吐出直結機構70、吸入直結機構80及び直列結合機構90によって、各マイクロポンプ500の直列接続と並列接続を、合理的に組み合わせて制御することが可能となる。結果、マイクロポンプ500単体では流量及び静圧が不足する用途であっても、複数のマイクロポンプ500を組み合わせて利用できるので、従来のブロアやシリンジポンプと同様に用いることができる。また、各マイクロポンプ500は小さいので、これを複数配置しても、従来のブロア等と比較して小さく且つ軽量に構成できる。特に、並列数と直列数の組合せとなる多様なバリエーションを、各マイクロポンプ500のON/OFFや、吐出直結機構70、吸入直結機構80及び直列結合機構90のON/OFFによってデジタル的に制御することが可能となるので、制御構成も極めて簡潔にすることができる。また更に、従来のブロアやシリンジポンプの場合、それら1つが故障すると、全体の流体の搬送が滞ることになるが、本実施形態のポンプユニット1によれば、個々のマイクロポンプ500が故障しても、他のマイクロポンプ500で補うことが出来るので、安全性を高めることも可能となる。   As described above, according to the pump unit 1 of these embodiments, the micropumps 500 are arranged in a lattice pattern, and the discharge pump direct connection mechanism 70, the suction direct connection mechanism 80, and the serial connection mechanism 90 can be connected in series. It is possible to control the parallel connection in a rational combination. As a result, even if the micropump 500 is used alone, the flow rate and the static pressure are insufficient, a plurality of micropumps 500 can be used in combination, and thus can be used in the same manner as a conventional blower or syringe pump. In addition, since each micropump 500 is small, even if a plurality of micropumps 500 are arranged, the micropump 500 can be made smaller and lighter than a conventional blower or the like. In particular, various variations that are combinations of the parallel number and the serial number are digitally controlled by ON / OFF of each micropump 500 and ON / OFF of the discharge direct coupling mechanism 70, the suction direct coupling mechanism 80, and the series coupling mechanism 90. Therefore, the control configuration can be extremely simplified. Furthermore, in the case of a conventional blower or syringe pump, if one of them fails, the entire fluid transport is delayed, but according to the pump unit 1 of this embodiment, each micropump 500 fails. However, since it can be supplemented by another micropump 500, safety can be improved.

特に本実施形態のポンプユニット1では、マイクロポンプ500が直列接続される圧力優先搬送状態において、上流行に属するマイクロポンプ500の数よりも、下流行のマイクロポンプ500の数が同等又は小さくなっている。結果、無駄なマイクロポンプ500の動作が抑制されるので消費電力を低減させることが可能となり、例えばバッテリー駆動の用途に特に適している。   In particular, in the pump unit 1 of the present embodiment, in the pressure priority transport state in which the micropumps 500 are connected in series, the number of micropumps 500 in the downstream line is equal or smaller than the number of micropumps 500 belonging to the epidemic. Yes. As a result, useless operation of the micropump 500 is suppressed, so that power consumption can be reduced, which is particularly suitable for battery-driven applications, for example.

また更に、本実施形態で示したポンプユニット1では、各行に配置される複数のマイクロポンプ500の全体(並列ポンプユニット600全体)に対して、まとめて接続関係を切り換える。結果、弁の構成が簡潔となり、メンテナンス性を向上させている。特に第2実施形態のように、一対の並列ポンプユニット600の間に、吐出側合流空間72と吸入側分岐空間82を配置しているので、装置構成が簡潔化される。例えば、上流から下流に向かって並列ポンプユニット600のマイクロポンプ数500を減少させていく場合にも、途中の吐出側合流空間72及び吸入側分岐空間82がバッファ空間となるので、複雑な配管構成が不要となる。また、各並列ポンプユニット600に属するマイクロポンプ500をON/OFFするだけで、個々の弁の開閉制御を行うことなく、単位並列ポンプユニット600内でのマイクロポンプ500の並列数を簡単に増減させることができるので、制御も簡単となる。また、並列ポンプユニット600内で搬送流体の圧力が均質化されるので、搬送効率を高めることにも繋がる。   Furthermore, in the pump unit 1 shown in the present embodiment, the connection relation is collectively switched with respect to the whole of the plurality of micropumps 500 arranged in each row (the whole parallel pump unit 600). As a result, the configuration of the valve is simplified and the maintainability is improved. In particular, as in the second embodiment, since the discharge-side merge space 72 and the suction-side branch space 82 are arranged between the pair of parallel pump units 600, the apparatus configuration is simplified. For example, even when the number of micro pumps 500 of the parallel pump unit 600 is decreased from the upstream to the downstream, the discharge side merging space 72 and the suction side branching space 82 are buffer spaces, so that a complicated piping configuration Is no longer necessary. Also, the number of parallel micropumps 500 in the unit parallel pump unit 600 can be easily increased or decreased by simply turning on / off the micropumps 500 belonging to each parallel pump unit 600 without performing the opening / closing control of individual valves. Control is also easy. In addition, since the pressure of the transport fluid is homogenized in the parallel pump unit 600, the transport efficiency is improved.

なお、本実施形態では、最初に流体が統合吸入口60に供給され、そこから分岐して各マイクロポンプ500の吸入口544に接続される場合を例示したが、本発明はこれに限定されない。   In the present embodiment, the case where the fluid is first supplied to the integrated suction port 60 and branched from the fluid is connected to the suction port 544 of each micropump 500 is illustrated, but the present invention is not limited to this.

例えば、気体を搬送するブロア用途の場合、図12に示されるように、各マイクロポンプ500の吸入口544又は吸入側分岐空間82を、個別に大気側Sに開放して、吸気を行うことも可能である。この場合、個別に二種類以上の気体について吸気を行えるので、例えば、m1行とm2行の間及びm2行とm3行の間の吸入側分岐空間82から第一の流体(例えば酸素)の吸気を行うと共に、m3行とm4行の間及びm4行とm5行の吸入側分岐空間82、並びにm5行の各マイクロポンプ500の吸入口544から第二の流体(例えば空気)の吸気を行うことも可能である。   For example, in the case of a blower application for conveying a gas, as shown in FIG. 12, the suction port 544 or the suction side branch space 82 of each micropump 500 may be individually opened to the atmosphere side S to perform intake. Is possible. In this case, since two or more kinds of gases can be sucked individually, for example, the first fluid (for example, oxygen) is sucked from the suction side branch space 82 between the m1 and m2 rows and between the m2 and m3 rows. And the second fluid (for example, air) is sucked from the suction side branch spaces 82 between the m3 and m4 rows, the m4 and m5 rows, and the suction ports 544 of the micropumps 500 in the m5 rows. Is also possible.

あるいは、図13に示されるように、最上流のm5行の各マイクロポンプ500の吸入口544を、統合吸入口60とは別に、個別に大気側Sに開放して、吸気を行うことも可能である。この場合、個別に二種類以上の気体について吸気を行えるので、例えば、統合吸入口60、及びm5行におけるn1〜n3列のマイクロポンプ500の吸入口544から第一の流体(例えば酸素)の吸気を行うと共に、m5行におけるn4、n5列のマイクロポンプ500の吸入口544から第二の流体(例えば空気)の吸気を行うことも可能である。これらの例では、第一及び第二の流体は混合されて、統合吐出口50から吐出される。   Alternatively, as shown in FIG. 13, the suction ports 544 of the micropumps 500 in the most upstream m5 rows can be separately opened to the atmosphere side S separately from the integrated suction port 60 for intake. It is. In this case, since two or more kinds of gases can be sucked individually, for example, the first fluid (for example, oxygen) is sucked from the integrated suction port 60 and the suction port 544 of the micropump 500 in the n1 to n3 columns in the m5 row. In addition, the second fluid (for example, air) can be sucked from the suction port 544 of the micropump 500 in the n4 and n5 columns in the m5 row. In these examples, the first and second fluids are mixed and discharged from the integrated discharge port 50.

また、本実施形態では、外観上においてもマイクロポンプ500が格子状に配置される場合を図示したが、これは説明上の便宜からそうしたものであり、流体が通過する経路面で本実施形態のような状態になっていれば良い。即ち、流体の経路構成上において格子状であれば良く、ハードレイアウト構成は自在に変更できることは言うまでもない。   Further, in the present embodiment, the case where the micropumps 500 are arranged in a grid shape is illustrated in terms of appearance, but this is for convenience of explanation, and this is the case of the present embodiment on the path surface through which the fluid passes. It should be in such a state. That is, it is only necessary to have a lattice shape on the fluid path configuration, and it goes without saying that the hard layout configuration can be freely changed.

本発明の第3実施形態として、第2実施形態で説明したポンプユニット1を、医療用の呼吸補助装置700に適用した例を図14に示す。この呼吸補助装置700は、呼吸用の気体が通過する流路702と、この流路702内に配置されて、呼気方向及び吸気方向にそれぞれ加速用の空気を放出可能な呼気ノズル704及び吸気ノズル706と、流路702の外表面に周方向に沿って配置されるポンプユニット1と、このポンプユニット1を駆動するバッテリ710を備えて構成される。流路702内に配置される呼気及び吸気ノズル704、706の近傍には、それぞれ、ベンチュリー壁720が配置される。なお、バッテリ710については、離れた場所に配置したり、電源ラインを接続することで省略したりすることもできる。   As a third embodiment of the present invention, an example in which the pump unit 1 described in the second embodiment is applied to a medical respiratory assistance device 700 is shown in FIG. The breathing assistance device 700 includes a flow path 702 through which breathing gas passes, and an expiratory nozzle 704 and an inhalation nozzle that are disposed in the flow path 702 and can release acceleration air in the exhalation direction and the inhalation direction, respectively. 706, a pump unit 1 disposed along the circumferential direction on the outer surface of the flow path 702, and a battery 710 that drives the pump unit 1. Venturi walls 720 are disposed in the vicinity of the exhalation and inhalation nozzles 704 and 706 disposed in the flow path 702, respectively. Note that the battery 710 can be omitted by disposing the battery 710 at a remote location or connecting a power supply line.

更にポンプユニット1内における統合吐出口(図示省略)には、呼吸切替弁725が配置される。この呼吸切替弁725は、統合吐出口から吐出される空気を、呼気ノズル704から放出させる場合と、吸気ノズル706から放出させる場合を切り換える。図15(A)に示されるように、呼気ノズル704から空気を放出させる場合は、この空気がベンチュリー壁720によって広がることで呼気側が負圧状態となり、吸気側(肺側)から排出される二酸化炭素を呼び込んで、呼気方向に流す。結果、呼気動作を補助することができる。一方、図15(B)に示されるように、吸気ノズル706から空気を放出させる場合は、この空気がベンチュリー壁720によって広がることで吸気側が負圧状態となり、吸気側から供給される酸素を吸い込んで呼気方向(肺側)に流れる。結果、吸気動作を補助することができる。   Further, a breathing switching valve 725 is disposed at an integrated discharge port (not shown) in the pump unit 1. The breath switching valve 725 switches between a case where the air discharged from the integrated discharge port is discharged from the exhalation nozzle 704 and a case where the air is discharged from the intake nozzle 706. As shown in FIG. 15A, in the case of releasing air from the exhalation nozzle 704, the exhalation side becomes a negative pressure state by spreading this air by the venturi wall 720, and the carbon dioxide discharged from the inhalation side (lung side). Invoke carbon and let it flow in the direction of exhalation. As a result, exhalation operation can be assisted. On the other hand, as shown in FIG. 15B, when air is discharged from the intake nozzle 706, the air is spread by the venturi wall 720, and the intake side is in a negative pressure state, and oxygen supplied from the intake side is sucked in. It flows in the direction of exhalation (lung side). As a result, the intake operation can be assisted.

この呼吸補助装置700によれば、流路702を構成する配管自体に、小型化されたポンプユニット1が直接固定されるので、呼吸補助装置700を極めてコンパクトに構成することが出来る。更に、流路702とポンプユニット1が一体化されるので、使用者の体の動作に連動して流路702が動いても、この流路702とポンプユニット1が一緒に動くので、呼気及び吸気ノズル704、706と、ポンプユニット1の接続が途切れないで済む。従って、呼吸補助動作の安定性が増すと同時に、使用者も体を動かしやすくなる。   According to this respiratory assistance device 700, since the miniaturized pump unit 1 is directly fixed to the piping itself constituting the flow path 702, the respiratory assistance device 700 can be configured extremely compactly. Furthermore, since the flow path 702 and the pump unit 1 are integrated, even if the flow path 702 moves in conjunction with the movement of the user's body, the flow path 702 and the pump unit 1 move together. The connection between the intake nozzles 704 and 706 and the pump unit 1 is not interrupted. Therefore, the stability of the breathing assistance operation is increased and the user can easily move the body.

更に、ポンプユニット1から呼気及び吸気ノズル704、706までの距離が短くなるので、呼吸補助動作の応答性を高めることが出来る。   Furthermore, since the distance from the pump unit 1 to the exhalation and inhalation nozzles 704 and 706 is shortened, the responsiveness of the breathing assistance operation can be enhanced.

なお、この呼吸補助装置700は、使用者の口から気管に向かって挿入される挿管チューブと連続するようにして、用いることが可能であるが、例えば図16に示されるように、鼻マスク830に対して流路702を接続して用いることもできる。更に、鼻マスクに適用する場合は、例えば図17に示される呼吸補助装置800のように、鼻マスク830の外周面にポンプユニット1を直接固定することが好ましく、全体の安定性が増す。また、ここでは、1台のポンプユニット1を呼吸切替弁725で切り換えて、呼気ノズル又は吸気ノズルに供給する場合を例示したが、2台のポンプユニット1を用意して、それぞれ呼気ノズル、吸気ノズルに接続するようにしても良い。   The respiratory assistance device 700 can be used continuously with an intubation tube inserted from the user's mouth toward the trachea. For example, as shown in FIG. 16, a nasal mask 830 is used. Alternatively, the flow path 702 can be connected to and used. Furthermore, when applied to a nasal mask, it is preferable to directly fix the pump unit 1 to the outer peripheral surface of the nasal mask 830, for example, like a breathing assistance device 800 shown in FIG. Also, here, a case where one pump unit 1 is switched by the breath switching valve 725 and supplied to the exhalation nozzle or the intake nozzle is illustrated, but two pump units 1 are prepared, and the exhalation nozzle and the inspiration nozzle, respectively. You may make it connect with a nozzle.

尚、本発明のポンプユニット及び呼吸補助装置は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。   Note that the pump unit and the respiratory assistance device of the present invention are not limited to the above-described embodiments, and it is needless to say that various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.

本発明のポンプユニットは、呼吸補助装置以外の様々な用途に用いることが出来る。また、本発明の呼吸補助装置は、様々な生物の呼吸補助目的で利用することができる。   The pump unit of the present invention can be used for various purposes other than the respiratory assistance device. Moreover, the respiratory assistance apparatus of this invention can be utilized for the purpose of respiratory assistance of various living things.

1 ポンプユニット
10 制御装置
50 統合吐出口
60 統合吸入口
65 切替弁
70 吐出直結機構
72 吐出側合流空間
74 吐出直結弁
80 吸入直結機構
82 吸入側分岐空間
84 吸入直結弁
90 直列結合機構
92 直列結合弁
500 マイクロポンプ
600 並列ポンプユニット
700、800 呼吸補助装置
702 流路
704 呼気ノズル
706 吸気ノズル
710 バッテリ
830 鼻マスク
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Pump unit 10 Control apparatus 50 Integrated discharge port 60 Integrated suction port 65 Switching valve 70 Discharge direct connection mechanism 72 Discharge side confluence space 74 Discharge direct connection valve 80 Inhalation direct connection mechanism 82 Inlet side branch space 84 Inlet direct connection valve 90 Series connection mechanism 92 Series connection Valve 500 Micro pump 600 Parallel pump unit 700, 800 Respiration assist device 702 Flow path 704 Exhalation nozzle 706 Inhalation nozzle 710 Battery 830 Nasal mask

Claims (8)

行と列の関係となる格子状に配置され、前記列に沿った方向に流体を搬送する複数のマイクロポンプと、
少なくとも最下流行の前記マイクロポンプの吐出口が直結されて、前記マイクロポンプによって搬送される前記流体が最終的に吐出される統合吐出口と、
中間行の前記複数のマイクロポンプのそれぞれの吐出口を、前記統合吐出口に直結させる吐出直結機構と、
中間行の前記複数のマイクロポンプのそれぞれの吸入口を、最初に供給される前記流体に直結させる吸入直結機構と、
上流行の前記マイクロポンプの吐出口を、下流行の前記マイクロポンプの吸入口に直結させる直列結合機構と、
前記吐出直結機構、前記吸入直結切替機構及び前記直列結合機構を制御する制御装置と、を備え、
前記制御装置は、
上流行の前記マイクロポンプの吐出口を下流行の前記マイクロポンプの吸入口に直結させて前記列方向の接続を構築し、前記複数のマイクロポンプを圧力優先搬送状態とする一方、
複数行の前記マイクロポンプの吐出口を前記統合吐出口に直結すると共に、複数行に配置される前記マイクロポンプの吸入口を、最初に供給される前記流体に直結させることで、前記複数のマイクロポンプを流量優先搬送状態とすることを特徴とする、
ポンプユニット。
A plurality of micropumps that are arranged in a grid having a relationship between rows and columns, and that transport fluid in a direction along the columns;
An integrated discharge port through which the fluid transported by the micro pump is finally discharged by directly connecting at least the discharge port of the micro pump in the most downstream row;
A discharge direct connection mechanism that directly connects each discharge port of the plurality of micropumps in an intermediate row to the integrated discharge port;
A suction direct coupling mechanism that directly couples each suction port of the plurality of micropumps in an intermediate row to the fluid supplied first;
A serial coupling mechanism that directly connects the discharge port of the micropump that is popular with the suction port of the micropump in the downstream line;
A controller that controls the discharge direct coupling mechanism, the suction direct coupling switching mechanism, and the series coupling mechanism;
The controller is
While connecting the column direction connection by directly connecting the discharge port of the micropump of the popular fashion to the suction port of the micropump in the downstream row, the plurality of micropumps are in a pressure priority transport state,
By connecting the discharge ports of the micropumps in a plurality of rows directly to the integrated discharge ports, and by directly connecting the suction ports of the micropumps arranged in a plurality of rows to the fluid that is initially supplied, The pump is in a flow priority transport state,
Pumping unit.
前記圧力優先搬送状態において、
上流行の前記マイクロポンプの駆動数に対して、下流行の前記マイクロポンプの駆動数が同じ又は小さいことを特徴とする、
請求項1に記載のポンプユニット。
In the pressure priority transport state,
The number of driving of the micropumps in the downstream line is the same or smaller than the number of driving of the micropumps that are prevalent,
The pump unit according to claim 1.
上流行の前記マイクロポンプの配置数に対して、下流行の前記マイクロポンプの配置数が同じ又は小さいことを特徴とする、
請求項1又は2に記載のポンプユニット。
The number of arranged micro pumps in the downstream line is the same or smaller than the number of arranged micro pumps in the trend,
The pump unit according to claim 1 or 2.
前記制御装置は、
前記圧力優先搬送状態と前記流量優先搬送状態を同時に組み合わせると共に、
前記圧力優先搬送状態によって相互接続される前記行の数と、前記流量優先搬送状態によって前記統合吐出口に直結される前記行の数の占有関係を切り換えることで、前記流体の搬送圧力及び搬送流量を段階的に切り換えること特徴とする、
請求項1乃至3のいずれかに記載のポンプユニット。
The controller is
While combining the pressure priority transport state and the flow rate priority transport state simultaneously,
By switching the occupation relationship between the number of rows interconnected by the pressure priority transport state and the number of rows directly connected to the integrated discharge port by the flow rate priority transport state, the fluid transport pressure and transport flow rate are switched. Characterized by switching in stages,
The pump unit according to claim 1.
前記吐出直結機構、前記吸入直結機構及び前記直列結合機構は、前記行に配置される複数の前記マイクロポンプの全体に対して、まとめて、接続関係を切り換えることを特徴とする、
請求項1乃至4のいずれかに記載のポンプユニット。
The discharge direct coupling mechanism, the suction direct coupling mechanism, and the series coupling mechanism collectively switch the connection relationship with respect to the whole of the plurality of micropumps arranged in the row.
The pump unit according to any one of claims 1 to 4.
複数のマイクロポンプが並列配置される並列ポンプユニットを複数段に備えており、
上流側の前記並列ポンプユニットと下流側の前記並列ポンプユニットの間には、
上流側の前記並列ポンプユニットの前記複数のマイクロポンプから吐出される流体が合流する吐出側合流空間と、
下流側の前記並列ポンプユニットの前記複数のマイクロポンプに対して、流体を分岐させながら供給する吸入側分岐空間と、
上流側の前記並列ポンプユニットの前記吐出側合流空間を、下流側の前記並列ポンプユニットの前記吸入側分岐空間に直結・遮断する直列結合弁と、
上流側の前記並列ポンプユニットの前記吐出側合流空間を、流体が最終的に吐出される統合吐出口に直結・遮断する吐出直結弁と、
下流側の前記並列ポンプユニットの前記吸入側分岐空間を、最初に供給される前記流体に直結・遮断する吸入直結弁と、
が配置されることを特徴とする、
ポンプユニット。
It is equipped with a parallel pump unit in which multiple micropumps are arranged in parallel in multiple stages,
Between the parallel pump unit on the upstream side and the parallel pump unit on the downstream side,
A discharge-side merge space in which fluids discharged from the plurality of micropumps of the parallel pump unit on the upstream side merge;
A suction-side branch space that supplies fluid to the plurality of micropumps of the parallel pump unit on the downstream side while branching;
A series coupling valve that directly connects and blocks the discharge-side merge space of the upstream parallel pump unit to the intake-side branch space of the downstream parallel pump unit;
A discharge directly connected valve for directly connecting / blocking the discharge side merge space of the parallel pump unit on the upstream side to an integrated discharge port from which fluid is finally discharged;
A suction direct connection valve for directly connecting / blocking the suction side branch space of the parallel pump unit on the downstream side to the fluid supplied first;
Is arranged,
Pumping unit.
前記吐出直結弁、前記吸入直結弁及び前記直列結合弁を制御する制御装置を更に備え、
前記制御装置は、
前記直列結合弁を直結状態、前記吐出直結弁及び前記吸入直結弁を遮断状態として、上流側の前記並列ポンプユニットと下流側の前記並列ポンプユニットを直列接続する圧力優先搬送状態と、
前記直列結合弁を遮断状態、前記吐出直結弁及び前記吸入直結弁を直結状態として、上流側及び下流側の前記並列ポンプユニットを並列接続する流量優先搬送状態と、
を切り換えることを特徴とする、
請求項6に記載のポンプユニット。
A control device for controlling the discharge direct connection valve, the suction direct connection valve, and the series connection valve;
The controller is
A pressure-priority conveying state in which the parallel pump unit on the upstream side and the parallel pump unit on the downstream side are connected in series, with the series coupling valve in a direct connection state, the discharge direct connection valve and the suction direct connection valve in a shut-off state,
The flow rate priority conveying state in which the parallel pump units on the upstream side and the downstream side are connected in parallel, with the series coupling valve being shut off, the discharge direct coupling valve and the suction direct coupling valve being directly coupled,
Characterized by switching
The pump unit according to claim 6.
呼気又は吸気の気体が通過する流路と、
前記流路内に配置されて呼気又は吸気方向に加速用の気体を噴出するノズルと、
前記流路の周囲に固定され、前記ノズルに対して前記加速用の気体を供給する請求項1乃至7のいずれかに記載のポンプユニットと、を備える事を特徴とする、
呼吸補助装置。
A flow path through which exhaled or inhaled gas passes;
A nozzle that is arranged in the flow path and ejects a gas for acceleration in the direction of expiration or inhalation;
The pump unit according to any one of claims 1 to 7, wherein the pump unit is fixed around the flow path and supplies the gas for acceleration to the nozzle.
Respiratory device.
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