JP5200221B2 - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Description
引用文献2及び3の構成では、天板全体が電極となるため、それに近接する誘導コイルとの高周波磁場の干渉を抑制しなければならない。従って、装置が複雑化してしまい、コストが上昇するという問題がある。また、電極である天板の一部に窓を形成する場合には、その窓の部分で磁場の乱れが生じてしまう恐れもある。
さらにまた、コンデンサが介在することにより励起コイルと励起補助電極との間で異常放電(スパーク)が生じる可能性もある。
さらに、本発明者らは、励起コイルの任意の位置に励起補助電極を直接接続しても、すなわち、コンデンサを介さずに励起補助電極を接続しても、作用部に高周波電力が供給されたときに誘電体窓に付着した飛散物が除去するに十分なスパッタ効果が生じることを見出した。コンデンサを不要にしたことにより、本発明ではコンデンサによって励起補助電極の電圧を調整する必要がなく、作用部を上下に移動させたり、励起コイルを任意の位置で分岐させたりすることによってスパッタ効果が最適になるような電圧に調節することができる。
作用部41の形状について、図3により説明する。作用部41の形状は図3(a)及び(b)に示すように有端環状(閉じていない環状)、図3(c)に示すような放射状、図3(d)のような有端環状の部材と放射状の部材を組み合わせた形状とすることができる。
作用部41を無端環状(閉じた環状)にすると、環電流が発生し磁場が生じるので励起コイルと干渉を起こす。このため、反応室11内に均一な密度のプラズマを形成することができなくなる。
作用部41の形状をこのようにすることにより、透過窓32を塞いでしまうことがない。このため、誘電体窓14の上部に設置される光学測定器19(図1参照)からのレーザーを誘電体窓14の内面に導入し易い。また、プラズマから発生した光を誘電体窓14の外部で受光しやすくなる。すなわち、光学測定器19の設置が容易になる。
また、励起コイルの形状や励起補助電極等の形状は上記した形状に限らず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜の変更が可能である。
11・・・反応室
12・・・下部電極
13・・・バイアス用交流電源
14・・・誘電体窓
15・・・励起コイル
17・・・高周波回路
19・・・光学測定
20・・・被処理物
21・・・プラズマ雲
31・・・保護シート
32・・・透過膜
40・・・励起補助電極
40b・・・距離調整機構
41・・・作用部
Claims (3)
- 高周波電源に接続される励起コイルを反応室の外部に有し、光透過性を有する誘電体窓を反応室の一部に備えるプラズマ処理装置であって、
一端が前記励起コイルの高電位側端に直接接続され、他端が前記誘電体窓の表面に近接して配置された閉じていない環状の作用部である、励起補助電極を備えることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記作用部と前記誘電体窓との距離を調整する距離調整機構を備えることを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記誘電体窓の反応室側内面に光不透過性の保護シートが配置され、該保護シートの一部に光透過性を有する透過窓が備えられていることを特徴とする請求項1又は2に記載のプラズマ処理装置。
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