JP5197440B2 - Photoelectric conversion device - Google Patents

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本発明は、光電変換を行うセンサセル部と信号蓄積を行うメモリセル部とを有する光電変換装置に関する。   The present invention relates to a photoelectric conversion device having a sensor cell unit that performs photoelectric conversion and a memory cell unit that stores signals.

光電変換装置、特にCMOS型センサにおいて、光電変換により得られる信号を精度良く取り出すために信号に付加されているノイズを除去する技術が特許文献1に示されている。さらに、その技術をオートフォーカス(以下、AFとも記す。)センサに適用したものが特許文献2に示されている。近年では、AF機能に関しAF測距点の多点化の要求が高まり、画素の高密度配置に有利とされるエリア型の位相差検出型AFセンサとして提案されている。   Patent Document 1 discloses a technique for removing noise added to a signal in order to accurately extract a signal obtained by photoelectric conversion in a photoelectric conversion device, particularly a CMOS type sensor. Further, Patent Document 2 discloses that the technology is applied to an autofocus (hereinafter also referred to as AF) sensor. In recent years, there has been an increasing demand for multipoint AF ranging points for the AF function, and it has been proposed as an area-type phase difference detection AF sensor that is advantageous for high-density pixel arrangement.

特開平9−200614号公報Japanese Patent Laid-Open No. 9-200614 特開平9−200629号公報JP-A-9-200269

前述のようなAF測距点の高密度化の要求に対しては、さらなる回路構成の簡略化並びに素子数の削減を含めた周辺回路の縮小化が課題となっている。   In response to the above-described demand for higher density of AF distance measuring points, further reduction of peripheral circuits including further simplification of circuit configuration and reduction of the number of elements has become problems.

光電変換装置において信号に付加されているノイズの除去に対しては、前記特許文献1の実施形態1に示されるセンサセル部、メモリセル部及び転送系回路部から成る回路構成により実現することが可能である。しかしながら、光電変換された電荷を蓄積する光信号蓄積動作中に、光信号に応じたゲイン制御を行うためのリアルタイムAGC(オートゲインコントロール)を行うためには、前記特許文献1の実施形態2に示されるような回路構成が必要であった。すなわち、転送系回路部からセンサセル部へのフィードバックを可能にするためにスイッチMOSトランジスタを設ける必要があった。逆に言い換えると、前記特許文献1の実施形態1に示されるような素子数を削減した回路構成ではリアルタイムAGCを行うことができなかった。   The removal of noise added to a signal in the photoelectric conversion device can be realized by the circuit configuration including the sensor cell unit, the memory cell unit, and the transfer system circuit unit described in the first embodiment of Patent Document 1. It is. However, in order to perform real-time AGC (automatic gain control) for performing gain control according to an optical signal during an optical signal accumulation operation for accumulating photoelectrically converted charges, Embodiment 2 of Patent Document 1 described above is used. A circuit configuration as shown was necessary. That is, it is necessary to provide a switch MOS transistor to enable feedback from the transfer system circuit unit to the sensor cell unit. In other words, real-time AGC cannot be performed with a circuit configuration in which the number of elements is reduced as shown in Embodiment 1 of Patent Document 1.

また、前記特許文献1に記載のものでは、センサセル部とメモリセル部とは転送系回路部を介して接続されている。そのため、センサセル部とメモリセル部とは互いに離れて配置され、信号を読み出すための反転アンプ(反転増幅器)もセンサセル部とメモリセル部とがそれぞれ個別に具備していた。   Moreover, in the thing of the said patent document 1, the sensor cell part and the memory cell part are connected via the transfer system circuit part. For this reason, the sensor cell unit and the memory cell unit are arranged apart from each other, and the sensor cell unit and the memory cell unit individually include inverting amplifiers (inverting amplifiers) for reading signals.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、従来と比較して、より少ない回路素子数で、リアルタイムAGCを行うことができる光電変換装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a photoelectric conversion apparatus capable of performing real-time AGC with a smaller number of circuit elements than in the past.

本発明に係る光電変換装置は、光電変換により得られた信号を反転増幅して出力するセンサセル部と、該信号を蓄積し、反転増幅して出力するメモリセル部と、前記センサセル部と前記メモリセル部とが接続された共通出力線が第1のノードに接続され、該第1のノードに第1のスイッチを介して接続される転送容量を有し、前記センサセル部及び前記メモリセル部から出力された信号を転送する転送回路部と、前記第1のスイッチと前記転送容量との間の相互接続点と、電源とに接続された第2のスイッチとを備えることを特徴とする。
前記構成によれば、センサセル部及びメモリセル部にそれぞれ対応して個別にスイッチを設けなくとも、センサセル部及びメモリセル部の各々への転送回路部からのフィードバックが可能となる。
The photoelectric conversion device according to the present invention includes a sensor cell unit that inverts and amplifies and outputs a signal obtained by photoelectric conversion, a memory cell unit that accumulates and inverts and outputs the signal, the sensor cell unit, and the memory A common output line connected to the cell portion is connected to the first node, and has a transfer capacitor connected to the first node via a first switch; from the sensor cell portion and the memory cell portion; A transfer circuit unit for transferring the output signal, an interconnection point between the first switch and the transfer capacitor, and a second switch connected to a power source are provided.
According to the above configuration, feedback from the transfer circuit unit to each of the sensor cell unit and the memory cell unit can be performed without individually providing a switch corresponding to each of the sensor cell unit and the memory cell unit.

本発明によれば、転送回路部からのフィードバックを可能にするためのスイッチをセンサセル部とメモリセル部が個別に具備する必要がない。したがって、従来と比較してスイッチ数を削減し、より少ない素子数で光蓄積、リアルタイムAGC、信号読み出し動作が可能となる。   According to the present invention, it is not necessary for the sensor cell unit and the memory cell unit to have separate switches for enabling feedback from the transfer circuit unit. Therefore, the number of switches is reduced as compared with the prior art, and optical storage, real-time AGC, and signal readout operations can be performed with a smaller number of elements.

本発明の第1の実施形態における光電変換装置の構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of the photoelectric conversion apparatus in the 1st Embodiment of this invention. 第1の実施形態における光電変換装置の動作を示すタイミングチャートである。It is a timing chart which shows operation | movement of the photoelectric conversion apparatus in 1st Embodiment. エリア型AFセンサレイアウトの一部を示した模式図である。It is the schematic diagram which showed a part of area type AF sensor layout. 第1の実施形態における光電変換装置を適用したエリア型AFセンサレイアウトの例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the example of the area type AF sensor layout to which the photoelectric conversion apparatus in 1st Embodiment is applied. 第2の実施形態におけるエリア型AFセンサレイアウトの例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the example of the area type AF sensor layout in 2nd Embodiment.

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(第1の実施形態)
本発明の第1の実施形態について説明する。
図1は、第1の実施形態における光電変換装置の構成例を示す回路図である。また、図2は、第1の実施形態における光電変換装置の動作を示すタイミングチャートである。
(First embodiment)
A first embodiment of the present invention will be described.
FIG. 1 is a circuit diagram illustrating a configuration example of the photoelectric conversion apparatus according to the first embodiment. FIG. 2 is a timing chart showing the operation of the photoelectric conversion apparatus according to the first embodiment.

図1に示すように、第1の実施形態における光電変換装置は、センサセル部SC、メモリセル部MC、及び転送回路部TCを有する。センサセル部SCとメモリセル部MCとが共通出力線CLに共通に接続され、その共通出力線CLが転送回路部TCのノード(第1のノード)NAに接続されている。センサセル部SCは、光電変換により得られた信号を反転増幅して出力する。メモリセル部MCは、その信号を蓄積し反転増幅して出力する。転送回路部TCは、センサセル部SC及びメモリセル部MCから出力された信号を転送する。   As shown in FIG. 1, the photoelectric conversion device according to the first embodiment includes a sensor cell unit SC, a memory cell unit MC, and a transfer circuit unit TC. The sensor cell unit SC and the memory cell unit MC are commonly connected to a common output line CL, and the common output line CL is connected to a node (first node) NA of the transfer circuit unit TC. The sensor cell unit SC inverts and amplifies a signal obtained by photoelectric conversion and outputs the signal. The memory cell unit MC accumulates, inverts and amplifies the signal and outputs it. The transfer circuit unit TC transfers signals output from the sensor cell unit SC and the memory cell unit MC.

なお、図1においては、共通出力線CLにそれぞれセンサセル部SC、転送回路部TC、メモリセル部MCが各1つ設けられている例を示しているが、これに限定されるものではない。例えば、第1の実施形態における光電変換装置において、センサセル部SC及びメモリセル部MCは複数配置してエリアセンサとして機能することができる。   FIG. 1 shows an example in which one sensor cell unit SC, one transfer circuit unit TC, and one memory cell unit MC are provided on the common output line CL, but the present invention is not limited to this. For example, in the photoelectric conversion device according to the first embodiment, a plurality of sensor cell units SC and memory cell units MC can be arranged to function as area sensors.

次に、センサセル部SC、メモリセル部MC、及び転送回路部TCの各ブロックについて説明する。   Next, each block of the sensor cell unit SC, the memory cell unit MC, and the transfer circuit unit TC will be described.

センサセル部SCは、フォトダイオードPD、PチャネルMOSトランジスタ(以下、「PMOSトランジスタ」と称す。)M11、M12、及び書き込みスイッチPPS1を有する。書き込みスイッチPPS1は、MOSトランジスタである。書き込みスイッチPPS1を構成するMOSトランジスタは、PMOSトランジスタ、NチャネルMOSトランジスタ(以下、「NMOSトランジスタ」と称す。)、CMOS(Complementary MOS)トランジスタのいずれであっても良い。PMOSトランジスタM12は、信号φSL1によってオン/オフ制御され、セレクトスイッチとして機能する。また、書き込みスイッチPPS1は、信号φPS1によってオン/オフ制御される。出力形式はゲインが(−1)の反転アンプである。反転アンプ(反転増幅器)は、PMOSトランジスタM11と負荷素子としての負荷MOSトランジスタM13とで構成される。MOSトランジスタM13は、信号φLによってオン/オフ制御される。   The sensor cell unit SC includes a photodiode PD, a P-channel MOS transistor (hereinafter referred to as “PMOS transistor”) M11 and M12, and a write switch PPS1. The write switch PPS1 is a MOS transistor. The MOS transistor constituting the write switch PPS1 may be any of a PMOS transistor, an N-channel MOS transistor (hereinafter referred to as “NMOS transistor”), and a CMOS (Complementary MOS) transistor. The PMOS transistor M12 is on / off controlled by the signal φSL1 and functions as a select switch. The write switch PPS1 is on / off controlled by a signal φPS1. The output format is an inverting amplifier with a gain of (-1). The inverting amplifier (inverting amplifier) includes a PMOS transistor M11 and a load MOS transistor M13 as a load element. The MOS transistor M13 is on / off controlled by a signal φL.

メモリセル部MCは、フォトダイオードPDがフレームメモリ容量CMに置き換わっている以外は、センサセル部SCと同じ構成である。メモリセル部MCは、フレームメモリ容量CM、PMOSトランジスタM31、M32、及び書き込みスイッチPPS2を有する。書き込みスイッチPPS2は、MOSトランジスタである。書き込みスイッチPPS2を構成するMOSトランジスタは、PMOSトランジスタ、NMOSトランジスタ、CMOSトランジスタのいずれであっても良い。PMOSトランジスタM32は、信号φSL2によってオン/オフ制御され、セレクトスイッチとして機能する。また、書き込みスイッチPPS2は、信号φPS2によってオン/オフ制御される。出力形式はゲインが(−1)の反転アンプである。反転アンプ(反転増幅器)は、PMOSトランジスタM31と負荷素子としての負荷MOSトランジスタM13とで構成される。なお、センサセル部SC及びメモリセル部MCの各々における反転アンプ(反転増幅器)は、負荷素子としての負荷MOSトランジスタM13を共有しているが、それぞれ個別に負荷素子(負荷MOSトランジスタ)を設けても良いことは勿論である。   The memory cell unit MC has the same configuration as the sensor cell unit SC except that the photodiode PD is replaced with a frame memory capacity CM. The memory cell unit MC includes a frame memory capacitor CM, PMOS transistors M31 and M32, and a write switch PPS2. The write switch PPS2 is a MOS transistor. The MOS transistor constituting the write switch PPS2 may be any of a PMOS transistor, an NMOS transistor, and a CMOS transistor. The PMOS transistor M32 is ON / OFF controlled by the signal φSL2 and functions as a select switch. The write switch PPS2 is on / off controlled by a signal φPS2. The output format is an inverting amplifier with a gain of (-1). The inverting amplifier (inverting amplifier) includes a PMOS transistor M31 and a load MOS transistor M13 as a load element. The inverting amplifiers (inverting amplifiers) in each of the sensor cell unit SC and the memory cell unit MC share the load MOS transistor M13 as a load element, but each load element (load MOS transistor) may be provided individually. Of course it is good.

転送回路部TCは、トランスファースイッチ(第1のスイッチ)PFT、フィードバックスイッチ(第3のスイッチ)PFB、転送容量CT、及びNMOSソースフォロワ回路(転送アンプ)を有する。トランスファースイッチ(第1のスイッチ)PFTは、ノードNAに接続された共通出力線CLと転送回路部TCとの接続をオン/オフするためのスイッチである。転送容量CTは、トランスファースイッチPFTを介してノードNAに接続されている。NMOSソースフォロワ回路(転送アンプ)は、転送容量CTの電位を読み出すための回路であり、入力NMOSトランジスタM21と定電流源で構成される。NMOSソースフォロワ回路(転送アンプ)の入力部は、転送容量CTに接続されている。また、NMOSソースフォロワ回路(転送アンプ)の出力部は、出力端OUT2に接続されるとともに、フィードバックスイッチPFBを介してノードNAに接続されている。   The transfer circuit unit TC includes a transfer switch (first switch) PFT, a feedback switch (third switch) PFB, a transfer capacitor CT, and an NMOS source follower circuit (transfer amplifier). The transfer switch (first switch) PFT is a switch for turning on / off the connection between the common output line CL connected to the node NA and the transfer circuit unit TC. The transfer capacitor CT is connected to the node NA via the transfer switch PFT. The NMOS source follower circuit (transfer amplifier) is a circuit for reading the potential of the transfer capacitor CT, and includes an input NMOS transistor M21 and a constant current source. The input part of the NMOS source follower circuit (transfer amplifier) is connected to the transfer capacitor CT. The output part of the NMOS source follower circuit (transfer amplifier) is connected to the output terminal OUT2 and to the node NA through the feedback switch PFB.

トランスファースイッチPFT及びフィードバックスイッチPFBは、MOSトランジスタである。トランスファースイッチPFT及びフィードバックスイッチPFBをそれぞれ構成するMOSトランジスタは、PMOSトランジスタ、NMOSトランジスタ、CMOSトランジスタのいずれであっても良い。トランスファースイッチPFT及びフィードバックスイッチPFBはそれぞれ信号φFT及び信号φFBによってオン/オフ制御される。転送容量CTとMOSトランジスタM21のゲートは定電圧VGRでリセットされ、そのリセットを行うためのスイッチNMOSトランジスタM23は、信号φGRによってオン/オフ制御される。また、フォトダイオードPD(センサセル部SC)及びフレームメモリ容量CM(メモリセル部MC)とを定電圧VRSでリセットするためのスイッチNMOSトランジスタM22は、トランスファースイッチPFTと転送容量CTとの相互接続点に接続される。この第2のスイッチとしてのスイッチNMOSトランジスタM22は、信号φRSによってオン/オフ制御される。   The transfer switch PFT and the feedback switch PFB are MOS transistors. The MOS transistors constituting the transfer switch PFT and the feedback switch PFB may be any of a PMOS transistor, an NMOS transistor, and a CMOS transistor. The transfer switch PFT and the feedback switch PFB are on / off controlled by a signal φFT and a signal φFB, respectively. The transfer capacitor CT and the gate of the MOS transistor M21 are reset by a constant voltage VGR, and a switch NMOS transistor M23 for performing the reset is on / off controlled by a signal φGR. In addition, a switch NMOS transistor M22 for resetting the photodiode PD (sensor cell unit SC) and the frame memory capacitor CM (memory cell unit MC) with the constant voltage VRS is provided at an interconnection point between the transfer switch PFT and the transfer capacitor CT. Connected. The switch NMOS transistor M22 as the second switch is on / off controlled by a signal φRS.

メモリセル部MCからの光信号読み出しは反転アンプ出力で、シフトレジスタのシフトパルスφHによってMOSトランジスタM24がオン/オフ制御されて順次出力線に読み出される。読み出された光信号は最終的にバッファアンプを介して出力端OUTに出力される。   The optical signal readout from the memory cell portion MC is an inverting amplifier output, and the MOS transistor M24 is controlled to be turned on / off by the shift pulse φH of the shift register and sequentially read out to the output line. The read optical signal is finally output to the output terminal OUT via the buffer amplifier.

次に、第1の実施形態における光電変換装置の動作を、図2を参照して説明する。
図2において、PMOSトランジスタに入力される信号は、/(バー)信号表記としてハイレベルでPMOSトランジスタが導通することを表現している。
Next, the operation of the photoelectric conversion device in the first embodiment will be described with reference to FIG.
In FIG. 2, the signal input to the PMOS transistor represents that the PMOS transistor is turned on at a high level as a / (bar) signal notation.

期間(1)では、まず、信号φRS、φFT、φPS1、及びφPS2はハイレベルにされ、センサセル部SCとメモリセル部MCとがリセットされる。また、同時に信号φGRの逆相信号である信号/φGRもハイレベルにされ転送回路部TC内の転送容量CTもリセットされる。   In the period (1), first, the signals φRS, φFT, φPS1, and φPS2 are set to the high level, and the sensor cell unit SC and the memory cell unit MC are reset. At the same time, the signal / φGR, which is a reverse phase signal of the signal φGR, is also set to the high level, and the transfer capacitor CT in the transfer circuit unit TC is also reset.

次に、信号φRS、/φGR、φPS1、及びφPS2がローレベルにされる。続いて、信号φSL1の逆相信号である信号/φSL1と信号φLの逆相信号である信号/φLがハイレベルにされ、センサセル部SCのリセット後のセンサノイズNsが共通出力線CLに読み出されて転送容量CTに書き込まれる。書き込み終了時に信号φFTはローレベルにされる。   Next, the signals φRS, / φGR, φPS1, and φPS2 are set to the low level. Subsequently, the signal / φSL1 which is the reverse phase signal of the signal φSL1 and the signal / φL which is the reverse phase signal of the signal φL are set to the high level, and the sensor noise Ns after the reset of the sensor cell unit SC is read to the common output line CL. And written in the transfer capacity CT. At the end of writing, the signal φFT is set to a low level.

期間(2)では、MOSトランジスタM21のゲートに入力される電位はVGR+Nsとなっており、信号φFBがハイレベルにされることで、ソースフォロワ回路により共通出力線CLに出力される。その直後、信号φPS1がハイレベルにされ、センサノイズNsに転送回路部TCのノイズNtを加えたノイズ(Ns+Nt)がセンサセル部SCに入力される。その後、信号φPS1及びφFBはローレベルにされる。   In the period (2), the potential input to the gate of the MOS transistor M21 is VGR + Ns, and the signal φFB is set to the high level, so that it is output to the common output line CL by the source follower circuit. Immediately thereafter, the signal φPS1 is set to the high level, and noise (Ns + Nt) obtained by adding the noise Nt of the transfer circuit unit TC to the sensor noise Ns is input to the sensor cell unit SC. Thereafter, the signals φPS1 and φFB are set to the low level.

次に、期間(3)では、信号φFTがハイレベルにされ、さらにセンサセル部SCの反転アンプを動作させるため信号/φSL1及び/φL1がハイレベルにされる。これにより、センサセル部SCからは反転アンプ出力(−(Ns+Nt))にセンサノイズNsが加算された信号、すなわち(−Nt)が出力される。このとき信号/φGRがハイレベルになることにより、転送回路部TC内の転送容量CT間にはVGR+Ntの信号が保持される。続いて、信号/φGRがローレベルにされ、転送容量CTの片側の電極をフローティングにする。また、信号φFTがローレベルにされる。   Next, in period (3), the signal φFT is set to the high level, and the signals / φSL1 and / φL1 are set to the high level in order to operate the inverting amplifier of the sensor cell unit SC. Accordingly, a signal obtained by adding the sensor noise Ns to the inverting amplifier output (− (Ns + Nt)), that is, (−Nt) is output from the sensor cell unit SC. At this time, when the signal / φGR becomes high level, a signal of VGR + Nt is held between the transfer capacitors CT in the transfer circuit unit TC. Subsequently, the signal / φGR is set to the low level, and the electrode on one side of the transfer capacitor CT is brought into a floating state. Further, the signal φFT is set to a low level.

次に、期間(4)では、信号φFBがハイレベルにされ、さらに信号φRS及びメモリセル部MC内のフレームメモリ容量CMにノイズを書き込むために信号φPS2がハイレベルにされる。これにより、転送容量CTの共通出力線CL側の電極は電位VRSとなり、ノイズNt分変動するため、転送容量CTの他方の電極の電位もNt分変動する。したがって、ソースフォロワ回路から出力されてメモリセル部MCに入力されるノイズは2Ntとなる。その後、信号φPS2及びφFBはローレベルにされる。   Next, in period (4), the signal φFB is set to the high level, and the signal φPS2 is set to the high level in order to write noise into the signal φRS and the frame memory capacity CM in the memory cell unit MC. As a result, the electrode on the common output line CL side of the transfer capacitor CT becomes the potential VRS and fluctuates by the noise Nt, so the potential of the other electrode of the transfer capacitor CT also fluctuates by Nt. Therefore, the noise output from the source follower circuit and input to the memory cell unit MC is 2Nt. Thereafter, the signals φPS2 and φFB are set to the low level.

次に、期間(5)では、センサセル部SCは光信号蓄積動作期間に入り、光信号をリアルタイムモニタして出力設定ゲインを制御するリアルタイムAGC動作を行う。ここで、センサセル部SCに蓄積される光信号をS1とする。以下に、リアルタイムAGC期間中の動作を説明する。 Next, in the period (5), the sensor cell unit SC enters an optical signal accumulation operation period, and performs a real-time AGC operation for controlling the output setting gain by monitoring the optical signal in real time. Here, the optical signal accumulated in the sensor-cell unit SC and S 1. The operation during the real-time AGC period will be described below.

ソースフォロワ回路の入力を定電圧VGRに固定するための信号/φGRがハイレベルにされるとともに、共通出力線CLの電位を定電圧VRSに固定するために信号φFTがハイレベルにされる。なお、信号φRSはハイレベルを維持している。これにより、転送容量CTの両電極の電位をそれぞれ定電圧VGR、VRSにする。さらに、信号/φGRがローレベルにされ、転送容量CTの他方(ソースフォロワ回路側)の電極をフローティングにする。   The signal / φGR for fixing the input of the source follower circuit to the constant voltage VGR is set to the high level, and the signal φFT is set to the high level to fix the potential of the common output line CL to the constant voltage VRS. The signal φRS is maintained at a high level. As a result, the potentials of both electrodes of the transfer capacitor CT are set to the constant voltages VGR and VRS, respectively. Further, the signal / φGR is set to the low level, and the other electrode (source follower circuit side) of the transfer capacitor CT is made floating.

その後、期間(6)では、信号/φSL1及び/φLがハイレベルにされ、センサセル部SCからは反転出力(−(S1+Ns+Nt))にセンサノイズNsが加算され、結果として(−(S1+Nt))が出力され転送回路部TCに入力される。これにより、転送容量CTの共通出力線CL側の電位が(−(S1+Nt))分変動するため、転送容量CTの他方の電極の電位はVGR−(S1+Nt)となる。そして、転送回路部TCから出力する際、転送回路部TCのノイズNtが加算されるため、出力端OUT2からは光信号(−S1)が出力される。以上で、光信号(−S1)をモニタしてリアルタイムAGCを行う。 Thereafter, in the period (6), the signals / φSL1 and / φL are set to the high level, and the sensor noise Ns is added to the inverted output (− (S 1 + Ns + Nt)) from the sensor cell unit SC, and as a result, (− (S 1 + Nt)) is output to the transfer circuit unit TC. As a result, the potential on the common output line CL side of the transfer capacitor CT varies by (− (S 1 + Nt)), so that the potential of the other electrode of the transfer capacitor CT becomes VGR− (S 1 + Nt). When outputting from the transfer circuit unit TC, the noise Nt of the transfer circuit unit TC is added, so that an optical signal (−S 1 ) is output from the output terminal OUT2. As described above, the optical signal (−S 1 ) is monitored and real-time AGC is performed.

期間(7)では、信号/φSL1、/φL、/φGRがハイレベルにされる。これにより、転送容量CTの他方(ソースフォロワ回路側)の電極は定電圧VGRに固定され、転送容量CTの共通出力線CL側の電極は電位VRSから(−(S2+Nt))分変動する。ここで、光信号蓄積動作期間が終了後の光信号を(−S2)としている。 In the period (7), the signals / φSL1, / φL, / φGR are set to the high level. As a result, the other electrode (source follower circuit side) of the transfer capacitor CT is fixed to the constant voltage VGR, and the electrode on the common output line CL side of the transfer capacitor CT varies by (− (S 2 + Nt)) from the potential VRS. . Here, the optical signal after the end of the optical signal accumulation operation period is (−S 2 ).

次に、期間(8)では、信号φSL2の逆相信号である信号/φSL2、及び信号/φLがハイレベルにされ、メモリセル部MCに蓄えられていたノイズ2Ntが反転アンプを介して読み出される。その際、メモリセル部MCのノイズNmが加算されるため、結果として(−2Nt+Nm)が転送容量CTの共通出力線CL側の電極に読み出される。ここで、転送容量CTには(−2Nt+Nm)−(−(S2+Nt))=S2−Nt+Nm分の電位変動量が書き込まれている。 Next, in the period (8), the signal / φSL2 and the signal / φL which are opposite phase signals of the signal φSL2 are set to the high level, and the noise 2Nt stored in the memory cell unit MC is read out through the inverting amplifier. . At this time, the noise Nm of the memory cell unit MC is added, and as a result, (−2Nt + Nm) is read out to the electrode on the common output line CL side of the transfer capacitor CT. Here, a potential fluctuation amount of (−2Nt + Nm) − (− (S 2 + Nt)) = S 2 −Nt + Nm is written in the transfer capacitor CT.

期間(9)において、信号φFTがローレベルにされ、信号φFB及びφPS2がハイレベルにされると、転送回路部TCのノイズNtが加算されて(S2+Nm)が転送回路部TCからメモリセル部MCに書き込まれる。 In the period (9), when the signal φFT is set to the low level and the signals φFB and φPS2 are set to the high level, the noise Nt of the transfer circuit unit TC is added and (S 2 + Nm) is transferred from the transfer circuit unit TC to the memory cell. Written in the part MC.

次に、信号φPS2及びφFBがローレベルにされ、メモリセル部MCの反転アンプを動作させるための信号/φSL2、/φL及び共通出力線CLからMOSトランジスタM24までの間を導通させるための信号φFTがハイレベルにされる。これにより、反転信号(−(S2+Nm))にメモリセル部MCのノイズNmが加算されて、最終的にノイズ成分が除去された(−S2)がメモリセル部MCから出力される。これを、列毎に順次、信号φHをハイレベルにして読み出す。 Next, the signals φPS2 and φFB are set to the low level, the signals / φSL2 and / φL for operating the inverting amplifier of the memory cell unit MC, and the signal φFT for conducting between the common output line CL and the MOS transistor M24. Is set to high level. As a result, the noise Nm of the memory cell unit MC is added to the inverted signal (− (S 2 + Nm)), and finally (−S 2 ) from which the noise component has been removed is output from the memory cell unit MC. This is read out sequentially for each column with the signal φH at the high level.

以上のように、センサセル部SC及びメモリセル部MCのそれぞれに対して個別にフィードバックを可能にするためのスイッチを設けなくとも、センサセル部SCへの転送回路部TCからのフィードバックが可能となる。これにより、素子数を削減した回路構成でもセンサのランダムノイズを除去した光信号(−S1)を用いたリアルタイムAGC動作が可能となり、最終的な信号(−S2)もセンサのランダムノイズを含まない高S/N比の信号が得られる。 As described above, feedback from the transfer circuit unit TC to the sensor cell unit SC can be performed without providing a switch for individually enabling feedback for each of the sensor cell unit SC and the memory cell unit MC. As a result, a real-time AGC operation using an optical signal (−S 1 ) from which random noise of the sensor is removed is possible even with a circuit configuration in which the number of elements is reduced, and the final signal (−S 2 ) is also detected by the random noise of the sensor. A signal with a high S / N ratio not included is obtained.

図3は、エリア型AFセンサレイアウトの構成の一部を示した模式図である。図3(A)には、比較のための従来のエリア型AFセンサレイアウトの一部を示しており、図3(B)には、本実施形態における光電変換装置を適用したエリア型AFセンサレイアウトの例の一部を示している。   FIG. 3 is a schematic diagram showing a part of the configuration of the area type AF sensor layout. FIG. 3A shows a part of a conventional area AF sensor layout for comparison, and FIG. 3B shows an area AF sensor layout to which the photoelectric conversion device according to this embodiment is applied. Some of the examples are shown.

図3において、2次元のセンサアレイが3行×9列に配置されている。センサセル部10はセンサ部11と画素アンプ12で構成される。センサ部11は図1におけるフォトダイオードPDを表し、画素アンプ12はMOSトランジスタM11〜M13からなる読み出し回路を示す。したがって、図3におけるセンサセル部10と図1におけるセンサセル部SCとは一致するものである。画素アンプ12はゲインが(−1)の反転アンプである。また、転送回路部13は図1における転送回路部TCと一致し、メモリセル部14は図1におけるメモリセル部MCと一致している。シフトレジスタ15は図1におけるMOSトランジスタM24を駆動させるために信号φHを出力させるための走査回路である。このシフトレジスタによって列毎に順次光信号を読み出す。   In FIG. 3, a two-dimensional sensor array is arranged in 3 rows × 9 columns. The sensor cell unit 10 includes a sensor unit 11 and a pixel amplifier 12. The sensor unit 11 represents the photodiode PD in FIG. 1, and the pixel amplifier 12 represents a readout circuit composed of MOS transistors M11 to M13. Therefore, the sensor cell unit 10 in FIG. 3 and the sensor cell unit SC in FIG. 1 are the same. The pixel amplifier 12 is an inverting amplifier having a gain of (−1). Further, the transfer circuit unit 13 matches the transfer circuit unit TC in FIG. 1, and the memory cell unit 14 matches the memory cell unit MC in FIG. The shift register 15 is a scanning circuit for outputting a signal φH to drive the MOS transistor M24 in FIG. The optical signal is read sequentially for each column by this shift register.

各画素の中央に記載した黒丸は、各画素の重心を示している。各画素の重心の位置は、AFセンサでは光学的に決められている。したがって、図3(A)に示される構成を図3(B)に示される構成に置き換える際には、黒丸で示した重心の位置は変わらないように配置される。   A black circle described at the center of each pixel indicates the center of gravity of each pixel. The position of the center of gravity of each pixel is optically determined in the AF sensor. Therefore, when the configuration shown in FIG. 3A is replaced with the configuration shown in FIG. 3B, the positions of the centers of gravity shown by the black circles are arranged so as not to change.

図4は、第1の実施形態における光電変換装置を適用した半導体基板上に形成されたエリア型AFセンサレイアウトの全体の一例を示す模式図である。図4における横目A像250画素×18行のうち9列画素×3行を抜き出したものが図3に示した構成に相当する。   FIG. 4 is a schematic diagram illustrating an example of the entire area-type AF sensor layout formed on a semiconductor substrate to which the photoelectric conversion device according to the first embodiment is applied. A configuration in which 9 column pixels × 3 rows are extracted from 250 pixels × 18 rows of the horizontal eye A image in FIG. 4 corresponds to the configuration shown in FIG.

図4に示すエリア型AFセンサは位相差検出型AFセンサであるため、基準部(A像)と参照部(B像)とで一対をなし、クロス測距が行えるように縦目、横目でそれぞれ配置されている。縦目は150画素×42列の画素アレイで構成され、横目は250画素×18行の画素アレイで構成されている。縦目及び横目のそれぞれに斜線部で示す周辺回路部が配置されている。   Since the area type AF sensor shown in FIG. 4 is a phase difference detection type AF sensor, the standard part (A image) and the reference part (B image) form a pair, and the vertical eye and the horizontal eye allow cross-range measurement. Each is arranged. The vertical eye is composed of a pixel array of 150 pixels × 42 columns, and the horizontal eye is composed of a pixel array of 250 pixels × 18 rows. Peripheral circuit portions indicated by hatched portions are arranged in the vertical and horizontal eyes, respectively.

図4に示すように縦目周辺回路部と横目A像及び横目B像とでレイアウト上の余裕がなく、周辺回路部の面積が画素の高密度配置の足かせとなっていることが分かる。また、周辺回路部を配置するだけの十分な面積を確保した場合には、横目A像及び横目B像を外側へ移動させることになりチップ面積の増大につながることは明らかである。   As shown in FIG. 4, it can be seen that there is no layout margin between the vertical peripheral circuit portion and the horizontal eye A image and horizontal eye B image, and the area of the peripheral circuit portion is an obstacle to high-density pixel arrangement. In addition, when a sufficient area for arranging the peripheral circuit portion is secured, it is clear that the lateral A image and the lateral B image are moved outward, leading to an increase in the chip area.

図3(A)において、センサセル部10とメモリセル部14とは転送回路部13を間に挟んで接続されているため、センサセル部10とメモリセル部14とは互いに離れて配置されている。また、周辺回路部は、転送回路部13、メモリセル部14、及びシフトレジスタ15から構成されている。転送回路部13には不図示の共通出力線に接続するため、フィードバックラインがセンサセル部10(上方向)とメモリセル部14(下方向)とに合計2系統存在する。そのため、配線は2系統存在し、それぞれにフィードバックスイッチを構成するMOSトランジスタ及びトランスファースイッチを構成するMOSトランジスタの1組が存在することとなる。したがって、フィードバックスイッチを構成するMOSトランジスタ及びトランスファースイッチを構成するMOSトランジスタは合計2個ずつ存在することとなる。   In FIG. 3A, since the sensor cell unit 10 and the memory cell unit 14 are connected with the transfer circuit unit 13 interposed therebetween, the sensor cell unit 10 and the memory cell unit 14 are arranged apart from each other. The peripheral circuit section includes a transfer circuit section 13, a memory cell section 14, and a shift register 15. Since the transfer circuit unit 13 is connected to a common output line (not shown), a total of two feedback lines exist in the sensor cell unit 10 (upward) and the memory cell unit 14 (downward). For this reason, there are two lines of wiring, and there is one set of a MOS transistor constituting a feedback switch and a MOS transistor constituting a transfer switch. Therefore, there are two MOS transistors that constitute the feedback switch and two MOS transistors that constitute the transfer switch.

図3(B)では、センサセル部10とメモリセル部14とが交互に配置され、センサセル部10のセンサ部11と、それに対応するメモリセル部14とは互いに隣接して配置する。このため、周辺回路として占有していたメモリセル部14を、光学系仕様を維持したままセンサセル部10に取り込むことによって、周辺回路部は転送回路部13及びシフトレジスタ15から構成されることになる。   In FIG. 3B, the sensor cell units 10 and the memory cell units 14 are alternately arranged, and the sensor unit 11 of the sensor cell unit 10 and the corresponding memory cell unit 14 are arranged adjacent to each other. Therefore, the peripheral circuit unit is configured by the transfer circuit unit 13 and the shift register 15 by taking the memory cell unit 14 occupied as the peripheral circuit into the sensor cell unit 10 while maintaining the optical system specifications. .

また、図3(B)においては、センサセル部10とメモリセル部14とが転送回路部13を間に挟んで配置される構成ではない。そのため、図示しない共通出力線に接続するフィードバックラインも1系統に削減され、素子数もフィードバックスイッチを構成するMOSトランジスタ及びトランスファースイッチを構成するMOSトランジスタが各1個ずつ削減される。したがって、周辺回路部の面積はさらに縮小化される。   In FIG. 3B, the sensor cell unit 10 and the memory cell unit 14 are not arranged with the transfer circuit unit 13 interposed therebetween. Therefore, the number of feedback lines connected to a common output line (not shown) is reduced to one system, and the number of elements is also reduced by one for each MOS transistor constituting the feedback switch and one MOS transistor constituting the transfer switch. Therefore, the area of the peripheral circuit portion is further reduced.

図3(A)に示されるものを図3(B)に示されるもので置き換えることにより、センサセル部の開口は若干減少する。しかしながら、AFセンサの各画素の重心は変わらない。また、周辺回路の下端が上昇することで、空いた空間に図4においては重なってしまう、目を配置することが可能となる。感度を若干犠牲にするデメリットより、別の目を配置できることの効果のほうがはるかに大きい。なお、前述した説明では、3行の配置の構成を例示して説明したが、行数が増えるほど回路面積の縮小化の効果は向上し、数十行の配置になると周辺回路部面積の縮小効果はさらに大きくなることは明らかである。   By replacing the one shown in FIG. 3A with the one shown in FIG. 3B, the opening of the sensor cell portion is slightly reduced. However, the center of gravity of each pixel of the AF sensor does not change. Further, by raising the lower end of the peripheral circuit, it becomes possible to place an eye that overlaps in the empty space in FIG. The effect of being able to place another eye is much greater than the disadvantage of sacrificing some sensitivity. In the above description, the configuration of the arrangement of three rows has been described as an example. However, the effect of reducing the circuit area is improved as the number of rows increases, and the peripheral circuit area is reduced when the arrangement is several tens of rows. Obviously, the effect is even greater.

以上のように、本実施形態における光電変換装置をAFセンサに適用すると、素子数削減により周辺回路面積が小さくなるため、光学系仕様を維持したままより多くの画素を高密度に配置することが可能となる。したがって、AF測距点数の多点化が容易となり、チップ面積の増大を防いで低コストでAF測距点数を多点化したAFセンサを提供することができる。   As described above, when the photoelectric conversion device according to the present embodiment is applied to an AF sensor, the peripheral circuit area is reduced by reducing the number of elements, so that more pixels can be arranged with high density while maintaining the optical system specifications. It becomes possible. Therefore, it is easy to increase the number of AF distance measurement points, and it is possible to provide an AF sensor in which the number of AF distance measurement points is increased at a low cost by preventing an increase in the chip area.

(第2の実施形態)
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。
図5は、第2の実施形態における光電変換装置を適用したエリア型AFセンサレイアウトの構成の一部を示す模式図であり、図3(B)とは異なる配置順でレイアウトした一例を示している。
(Second Embodiment)
Next, a second embodiment of the present invention will be described.
FIG. 5 is a schematic diagram showing a part of the configuration of an area type AF sensor layout to which the photoelectric conversion device according to the second embodiment is applied, and shows an example in which the layout is arranged in a different arrangement order from FIG. Yes.

本発明の実施形態における光電変換装置は、図1から明らかなように、転送回路部から見て、センサセル部とメモリセル部は並列に接続されている。そのため、転送回路部から見たセンサセル部とメモリセル部の配置の自由度は高い。   As is clear from FIG. 1, the photoelectric conversion device according to the embodiment of the present invention has the sensor cell unit and the memory cell unit connected in parallel when viewed from the transfer circuit unit. Therefore, the freedom degree of arrangement | positioning of the sensor cell part and memory cell part seen from the transfer circuit part is high.

第2の実施形態では、メモリセル部14をアレイ状に配置したメモリセル部アレイは、センサセル部10をアレイ状に配置したセンサセル部アレイを挟んで転送回路部13と反対側に配置されている。すなわち、メモリセル部アレイ、センサセル部アレイ、転送回路部13の順で配置されている。   In the second embodiment, the memory cell unit array in which the memory cell units 14 are arranged in an array is arranged on the side opposite to the transfer circuit unit 13 across the sensor cell unit array in which the sensor cell units 10 are arranged in an array. . That is, the memory cell unit array, the sensor cell unit array, and the transfer circuit unit 13 are arranged in this order.

また、図示していないが、センサセル部アレイと転送回路部13の間にメモリセル部アレイを配置することも可能である。すなわち、センサセル部アレイ、メモリセル部アレイ、転送回路部13の順に配置することも可能である。   Although not shown, it is also possible to arrange a memory cell unit array between the sensor cell unit array and the transfer circuit unit 13. That is, the sensor cell unit array, the memory cell unit array, and the transfer circuit unit 13 can be arranged in this order.

このように図1に示したような回路構成とすることで、周辺回路部のレイアウトの自由度が高くなる。すなわち、周辺回路部の占有面積を分散して配置することが可能となるため、センサセル部アレイの高密度な配置を実現することができる。なお、図5においては、3行の配置の構成を例示したが、行数が増えるほど回路面積の縮小化の効果は向上し、数十行の配置になると周辺回路部面積の縮小効果はさらに大きくなることは明らかである。   In this way, the circuit configuration as shown in FIG. 1 increases the degree of freedom in the layout of the peripheral circuit portion. That is, since it is possible to disperse and arrange the area occupied by the peripheral circuit portion, it is possible to realize a high-density arrangement of the sensor cell portion array. In FIG. 5, the configuration of the arrangement of three rows is illustrated. However, the effect of reducing the circuit area is improved as the number of rows is increased, and the effect of reducing the peripheral circuit area is further increased when the arrangement is several tens of rows. It is clear that it will grow.

以上のように、本実施形態における光電変換装置をAFセンサに適用すると、素子数削減により周辺回路面積が小さくなるため、光学系仕様を維持したままより多くの画素を高密度に配置することが可能となる。したがって、AF測距点数の多点化が容易となり、チップ面積の増大を防いで低コストでAF測距点数を多点化したAFセンサを提供することができる。   As described above, when the photoelectric conversion device according to the present embodiment is applied to an AF sensor, the peripheral circuit area is reduced by reducing the number of elements, so that more pixels can be arranged with high density while maintaining the optical system specifications. It becomes possible. Therefore, it is easy to increase the number of AF distance measurement points, and it is possible to provide an AF sensor in which the number of AF distance measurement points is increased at a low cost by preventing an increase in the chip area.

なお、前記実施形態は、何れも本発明を実施するにあたっての具体化のほんの一例を示したものに過ぎず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されてはならないものである。すなわち、本発明はその技術思想、又はその主要な特徴から逸脱することなく、様々な形で実施することができる。   The above-described embodiments are merely examples of implementation in carrying out the present invention, and the technical scope of the present invention should not be construed as being limited thereto. That is, the present invention can be implemented in various forms without departing from the technical idea or the main features thereof.

PD フォトダイオード
M11〜M13、M23、M31、M32 PチャネルMOSトランジスタ
M21、M22、M24 NチャネルMOSトランジスタ
CT 転送容量
CM フレームメモリ容量
SC センサセル部
TC 転送回路部
MC メモリセル部
CL 共通出力線
10 センサセル部
11 センサ部
12 画素アンプ
13 転送回路部
14 メモリセル部
15 シフトレジスタ
PD photodiode M11 to M13, M23, M31, M32 P-channel MOS transistor M21, M22, M24 N-channel MOS transistor CT transfer capacity CM frame memory capacity SC sensor cell part TC transfer circuit part MC memory cell part CL common output line 10 sensor cell part DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Sensor part 12 Pixel amplifier 13 Transfer circuit part 14 Memory cell part 15 Shift register

Claims (8)

光電変換により得られた信号を反転増幅して出力するセンサセル部と、
該信号を蓄積し、反転増幅して出力するメモリセル部と、
前記センサセル部と前記メモリセル部とが接続された共通出力線が第1のノードに接続され、該第1のノードに第1のスイッチを介して接続される転送容量を有し、前記センサセル部及び前記メモリセル部から出力された信号を転送する転送回路部と、
前記第1のスイッチと前記転送容量との間の相互接続点と、電源とに接続された第2のスイッチとを備えることを特徴とする光電変換装置。
A sensor cell unit that inverts and amplifies a signal obtained by photoelectric conversion; and
A memory cell unit that stores the signal, inverts and amplifies it, and outputs it;
A common output line to which the sensor cell unit and the memory cell unit are connected is connected to a first node, and the sensor cell unit has a transfer capacitor connected to the first node via a first switch, And a transfer circuit unit for transferring a signal output from the memory cell unit,
A photoelectric conversion device comprising: an interconnection point between the first switch and the transfer capacitor; and a second switch connected to a power source.
前記センサセル部と前記メモリセル部とが、前記反転増幅を行う反転増幅器の負荷素子を共有することを特徴とする請求項1記載の光電変換装置。   The photoelectric conversion device according to claim 1, wherein the sensor cell unit and the memory cell unit share a load element of an inverting amplifier that performs the inverting amplification. 前記転送回路部は、前記転送容量に入力部が接続された転送アンプを有し、
該転送アンプの出力部が第3のスイッチを介して前記第1のノードに接続されていることを特徴とする請求項1又は2記載の光電変換装置。
The transfer circuit unit includes a transfer amplifier having an input unit connected to the transfer capacitor,
3. The photoelectric conversion device according to claim 1, wherein an output unit of the transfer amplifier is connected to the first node via a third switch.
前記センサセル部と、該センサセル部に対応する前記メモリセル部とは隣接して配置され、かつ前記センサセル部と前記メモリセル部とは交互に配置されていることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の光電変換装置。   The sensor cell unit and the memory cell unit corresponding to the sensor cell unit are arranged adjacent to each other, and the sensor cell unit and the memory cell unit are arranged alternately. The photoelectric conversion device according to any one of the above. 前記センサセル部をアレイ状に配置したセンサセル部アレイと、前記メモリセル部をアレイ状に配置したメモリセル部アレイとが、隣接して配置されていることを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の光電変換装置。   The sensor cell unit array in which the sensor cell units are arranged in an array and the memory cell unit array in which the memory cell units are arranged in an array are arranged adjacent to each other. The photoelectric conversion apparatus of Claim 1. 前記メモリセル部アレイ、前記センサセル部アレイ、前記転送回路部の順に配置されていることを特徴とする請求項5記載の光電変換装置。   The photoelectric conversion device according to claim 5, wherein the memory cell unit array, the sensor cell unit array, and the transfer circuit unit are arranged in this order. 前記センサセル部アレイ、前記メモリセル部アレイ、前記転送回路部の順に配置されていることを特徴とする請求項5記載の光電変換装置。   6. The photoelectric conversion device according to claim 5, wherein the sensor cell unit array, the memory cell unit array, and the transfer circuit unit are arranged in this order. 前記第2のスイッチは、前記センサセル部、前記メモリセル部、前記転送容量、及び前記共通出力線をリセットするスイッチであることを特徴とする請求項1〜7の何れか1項に記載の光電変換装置。   8. The photoelectric device according to claim 1, wherein the second switch is a switch that resets the sensor cell unit, the memory cell unit, the transfer capacitor, and the common output line. 9. Conversion device.
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