JP5189925B2 - Lens member manufacturing method - Google Patents

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本発明は、たとえば発光素子や受光素子などの光学デバイスの表面に、集光用などの目的で設けられるレンズ部材の製造方法に関する。さらに詳しくは、金型などの成形金具を使用することなく、一定の形状で、しかも正確な寸法で量産することが可能なレンズ部材の製造方法に関する。   The present invention relates to a method of manufacturing a lens member provided on the surface of an optical device such as a light emitting element or a light receiving element for the purpose of condensing light. More specifically, the present invention relates to a method of manufacturing a lens member that can be mass-produced in a fixed shape and with accurate dimensions without using a mold such as a mold.

たとえば発光素子や受光素子の正面側にレンズを形成して、発光素子から放射する光をある程度集光して一定方向に光を放射したり、受光感度を高めるために受光素子上に光を集光させたりすることが一般的に行われている。このような場合、発光素子や受光素子は、一般的には、LEDチップやフォトダイオードチップ、フォトトランジスタチップをダイボンディングし、さらにワイヤボンディングしているため、それらのチップ自身の保護およびワイヤボンディング部の保護のため、透光性樹脂により封止されている。しかも、この透光性樹脂による封止は、一般的には金型を用いたモールド成形により行われているため、その金型に凹部を形成しておくことにより、簡単に凸型のレンズ部を発光面および受光面の上側に形成することができる。発光素子と受光素子との両方を有するフォトリフレクタなどにおいても、一般的には、発光素子および受光素子は個別に、または一体的にモールド成形されるため、そのモールド用金型に凹部を形成しておくことにより、発光面および受光面上にレンズ部を容易に形成することができる。   For example, a lens is formed on the front side of the light emitting element or light receiving element, and the light emitted from the light emitting element is condensed to some extent to emit light in a certain direction, or the light is collected on the light receiving element to increase the light receiving sensitivity. It is generally performed to light. In such a case, since the light-emitting element and the light-receiving element are generally formed by die bonding an LED chip, a photodiode chip, or a phototransistor chip and further wire-bonding, the protection of these chips themselves and the wire bonding portion In order to protect this, it is sealed with a translucent resin. Moreover, since the sealing with the translucent resin is generally performed by molding using a mold, it is easy to form a convex lens portion by forming a recess in the mold. Can be formed above the light emitting surface and the light receiving surface. Even in a photo reflector having both a light emitting element and a light receiving element, generally, the light emitting element and the light receiving element are molded individually or integrally, so that a recess is formed in the molding die. Accordingly, the lens portion can be easily formed on the light emitting surface and the light receiving surface.

一方、たとえば非常に小形のフォトリフレクタのように、発光素子と受光素子とを一体に封止したいが、使用用途により若干外形が変るなどの多品種少量生産になる場合、金型によるモールド成形には適しない。しかし、そのような場合でも、発光面や受光面などの上にレンズ構造を設けたい場合がある。この場合、別途にレンズ部材を形成して、発光面や受光面上に貼り付けることが行われている。この場合でも、レンズ部材自体を金型によるモールド成形により形成すれば、非常に簡単に形成することができるが、そのレンズ部材の形状を若干変える場合には、金型を使用することはコスト的に問題がある。   On the other hand, if you want to seal the light emitting element and the light receiving element as one unit, such as a very small photoreflector, but you want to produce a large number of products in small quantities, such as the outer shape changes slightly depending on the usage, you can use mold molding Is not suitable. However, even in such a case, there is a case where it is desired to provide a lens structure on the light emitting surface or the light receiving surface. In this case, a lens member is separately formed and pasted on the light emitting surface or the light receiving surface. Even in this case, if the lens member itself is formed by molding with a mold, it can be formed very easily. However, if the shape of the lens member is slightly changed, it is costly to use the mold. There is a problem.

このような要望に応えるため、たとえば基板上に一定量のUV硬化性樹脂をインクジェット装置から吐出して、所定時間経過してからUV光を照射して硬化させる方法や、図4に示すように、基板31上に所望領域より外周に撥水層32を形成して撥水処理を施し、その所望領域内に一定量のUV硬化性樹脂33を吐出して硬化させてから、基板31より分離する球面形状のレンズ部材を剥離して使用する方法が試みられている(たとえば特許文献1参照)。
特開2006−30634号公報
In order to meet such demands, for example, a method of discharging a certain amount of UV curable resin on a substrate from an inkjet apparatus and irradiating with UV light after a predetermined time has passed, as shown in FIG. Then, a water repellent layer 32 is formed on the outer periphery of the desired region on the substrate 31 and subjected to a water repellent treatment. After a certain amount of UV curable resin 33 is discharged and cured in the desired region, it is separated from the substrate 31. Attempts have been made to peel off and use a spherical lens member (see, for example, Patent Document 1).
JP 2006-30634 A

前述のように、基板上に一定量のUV硬化性樹脂をインクジェット装置により吐出しても、基板上でのUV硬化性樹脂の広がりが一定せず、また、図4に示すように、所定径の周囲に撥水処理を施す方法を用いても、周囲に撥水処理が施されていることから、UV硬化性樹脂が硬化する際に、UV硬化性樹脂の基板上の径が収縮して小さくなり、一定の径および高さのレンズが得られないという問題がある。   As described above, even when a certain amount of the UV curable resin is ejected onto the substrate by the ink jet apparatus, the spread of the UV curable resin on the substrate is not constant, and as shown in FIG. Even if a method of applying water repellent treatment to the periphery of the substrate is used, since the water repellent treatment is applied to the periphery, the diameter of the UV curable resin on the substrate shrinks when the UV curable resin is cured. There is a problem that the lens becomes small and a lens having a constant diameter and height cannot be obtained.

また、いずれの方法も、基板上に直接UV硬化性樹脂を吐出して硬化させた状態でレンズの上部から吸着して剥がすことになるが、レンズは基板ともかなり密着しており、非常に薄くて小さいレンズを剥がすことになるため、レンズが変形したり破損したりしやすいという問題がある。とくに、レンズの外周部は非常に薄いため、破損しやすく、この点からも、レンズの外径のバラツキが生じやすいという問題がある。   In either method, the UV curable resin is directly discharged onto the substrate and cured, and it is adsorbed and peeled off from the upper part of the lens. However, the lens is quite in close contact with the substrate and is very thin. Therefore, there is a problem that the lens is easily deformed or damaged. In particular, since the outer peripheral portion of the lens is very thin, it is easily damaged. From this point, there is a problem that the outer diameter of the lens is likely to vary.

本発明は、このような問題を解決するためになされたもので、モールド用金型を用いて成形することなく、樹脂の塗布のみで、その外径および高さが一定のレンズ部材を製造することができるレンズ部材の製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve such a problem, and a lens member having a constant outer diameter and height is manufactured only by application of a resin without molding using a mold for molding. An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a lens member.

本発明によるレンズ部材の製造方法は、可撓性フィルムの一面上に、形成するレンズと同じ大きさの台座を形成し、該台座の上に、表面が球面形状になるように液状樹脂を塗布し、該液状樹脂を硬化させることにより、前記台座と共に一体化したレンズ部材を形成し、前記可撓性フィルムの他面から前記レンズ部材を突き上げピンにより突き上げると共に表面から前記レンズ部材を吸着することにより前記可撓性フィルムから前記レンズ部材を分離することを特徴としている。   In the method of manufacturing a lens member according to the present invention, a pedestal having the same size as the lens to be formed is formed on one surface of a flexible film, and a liquid resin is applied on the pedestal so that the surface has a spherical shape. Then, by curing the liquid resin, a lens member integrated with the pedestal is formed, the lens member is pushed up from the other surface of the flexible film by a pin, and the lens member is adsorbed from the surface. The lens member is separated from the flexible film.

ここに可撓性フィルムとは、たとえば半導体ウェハを各チップに個片化する際に半導体ウェハの裏面に貼り付ける、いわゆるダイシングテープのように、伸縮性を有し、部分的に突き上げれば山状に尖らせることができるフィルムを意味し、樹脂とは、たとえば紫外線硬化性樹脂(UV樹脂)や熱硬化性樹脂のように、光を透過させることができる材料で、かつ、塗布の際は液状で、硬化させることにより固形化する材料を意味する。また、台座とは、レンズと同じ大きさで0.04〜1mm程度の厚さの板状体を意味し、さらに、球面形状とは、完全な球の一部を意図するものではなく、断面形状が円弧を有する凸型の形状を有するものを意味する。   Here, the flexible film is, for example, a so-called dicing tape that is attached to the back surface of a semiconductor wafer when the semiconductor wafer is singulated into individual chips, and has a stretch if partially pushed up. It means a film that can be sharpened in a shape, and a resin is a material that can transmit light, such as an ultraviolet curable resin (UV resin) or a thermosetting resin, and when applying, It means a material that is liquid and solidifies when cured. The pedestal means a plate-like body having the same size as the lens and a thickness of about 0.04 to 1 mm. Further, the spherical shape is not intended to be a part of a complete sphere, but has a cross section. The shape means a convex shape having an arc.

前記可撓性フィルムの一面に前記台座を形成するには、前記可撓性フィルムの一面に、前記台座と同じ大きさの開口部を有するマスクを載置し、前記マスクの開口部内に樹脂を印刷により塗布し、該樹脂の硬化後前記マスクを除去することにより形成することもできるし、前記台座と同じ大きさの凹部を有する型板を形成し、該型板のそれぞれの凹部内に、該型板の上面と表面がほぼ一致するように樹脂を塗布し、前記型板の上面に前記可撓性フィルムを貼着すると共に前記樹脂を硬化させた後に、前記型板を除去することにより形成することもできる。   In order to form the pedestal on one surface of the flexible film, a mask having an opening having the same size as the pedestal is placed on one surface of the flexible film, and a resin is placed in the opening of the mask. It can be formed by applying by printing and removing the mask after curing of the resin, or forming a template having a recess of the same size as the pedestal, and in each recess of the template, By applying a resin so that the upper surface and the surface of the template are substantially coincident, and sticking the flexible film to the upper surface of the template and curing the resin, and then removing the template It can also be formed.

本発明のレンズ部材の製造方法によれば、可撓性フィルム上にレンズと同じ大きさの台座を形成し、その台座の上に所定量の液状樹脂を、たとえばディスペンサなどにより塗布しているため、台座の上に塗布された液状樹脂は、表面張力により台座上に球面状に盛り上がる。レンズの外径を一定にし、塗布する液状樹脂の量も一定とすることにより、レンズの球面の高さも一定となる。すなわち、径および高さの両方が一定のレンズ(凸型部)を非常に簡単に形成することができる。   According to the method for manufacturing a lens member of the present invention, a pedestal having the same size as the lens is formed on the flexible film, and a predetermined amount of liquid resin is applied on the pedestal by, for example, a dispenser. The liquid resin applied on the pedestal rises spherically on the pedestal due to surface tension. By making the outer diameter of the lens constant and the amount of liquid resin to be applied constant, the height of the spherical surface of the lens is also constant. That is, it is possible to form a lens (convex portion) having both a constant diameter and height very easily.

さらに、台座とその上に形成される球面状のレンズは、レンズを同じ材料で形成すると、両者の密着性は良く、一方、台座と可撓性フィルムとは、材料も異なり、また接着剤で貼り付けられているだけであるため、可撓性フィルムの裏側から台座を突き上げピンなどにより突き上げると、台座は平坦性を維持するのに対して、可撓性フィルムは、突き上げピンの部分は高くなるが、それ以外の部分は原状を維持しようとすることから、ピンで突き上げられている部分以外の可撓性フィルムは、台座から分離する。その結果、吸着コレットなどの吸着治具により、容易にレンズ部材のみを分離して必要な場所に移動して接着することができる。すなわち、レンズ部材に何らの変形や破損をもたらすことなく、正確な形状を維持したまま簡単に可撓性フィルムから分離して所定の場所に貼り付けることができる。   Furthermore, the pedestal and the spherical lens formed on the pedestal have good adhesion when the lenses are made of the same material. On the other hand, the pedestal and the flexible film are made of different materials. Since the pedestal is pushed up from the back side of the flexible film with a pin or the like, the pedestal maintains flatness while the flexible film has a high portion of the push-up pin. However, since the other portions try to maintain the original shape, the flexible film other than the portion pushed up by the pins is separated from the pedestal. As a result, it is possible to easily separate only the lens member by a suction jig such as a suction collet, and move it to a required place for bonding. That is, the lens member can be easily separated from the flexible film and attached to a predetermined place while maintaining an accurate shape without causing any deformation or damage to the lens member.

つぎに、図面を参照しながら本発明のレンズ部材の製造方法について説明する。本発明によるレンズ部材の製造方法は、図1に、その一実施形態の工程説明図を示すように、可撓性フィルム1の一面上に、レンズの大きさとなる所定の径で、かつ、所定の高さで樹脂により台座2を形成し、その台座2の上に、表面が球面状になるように、たとえばその台座2とほぼ同じ材料からなる液状樹脂3aを塗布し、液状樹脂3aを硬化させて凸型部3を形成することにより、台座2と共に一体化したレンズ部材4を形成し、可撓性フィルム1の他面から台座2を突き上げピン8により突き上げると共に表面からレンズ部材4を吸着コレット9などにより吸着することにより、可撓性フィルム1からレンズ部材4を分離するものである。   Next, a method for producing a lens member of the present invention will be described with reference to the drawings. The lens member manufacturing method according to the present invention has a predetermined diameter and a predetermined diameter on one surface of the flexible film 1, as shown in FIG. The pedestal 2 is formed with a resin at a height of, for example, a liquid resin 3a made of substantially the same material as the pedestal 2 is applied on the pedestal 2 so as to have a spherical surface, and the liquid resin 3a is cured. By forming the convex part 3, the lens member 4 integrated with the pedestal 2 is formed, the pedestal 2 is pushed up from the other surface of the flexible film 1 and pushed up by the pins 8, and the lens member 4 is adsorbed from the surface. The lens member 4 is separated from the flexible film 1 by being adsorbed by a collet 9 or the like.

つぎに、具体例に基づき詳細に説明をする。図1では、1個のレンズ部材の製造工程が示されているが、実際には、多数個のレンズ部材4が可撓性フィルム1上に形成され、順次1個づつ可撓性フィルム1から分離して実際の装置に搭載して使用される。   Next, a detailed description will be given based on a specific example. In FIG. 1, a manufacturing process of one lens member is shown, but actually, a large number of lens members 4 are formed on the flexible film 1, and one by one from the flexible film 1. Separated and used in actual equipment.

まず、図1(a)に示すように、可撓性フィルム1の一面上に、レンズの大きさとなる所定の径で、かつ、所定の高さで、樹脂により台座2を形成する。この台座2の形成方法は、図2〜3に基づいて後述するが、樹脂のスクリーン印刷法や、台座2の形状に凹部を形成した型板の凹部内に樹脂を充填して硬化させると共に、その表面に可撓性フィルム1を貼り付けて型板から分離することにより形成することができる。可撓性フィルム1は、たとえば半導体ウェハを各チップに個片化する際に半導体ウェハの裏面に貼着する、いわゆるダイシングテープのように、一面に接着剤が設けられ、50〜100μm程度の厚さで伸縮性のある合成樹脂フィルムを用いることができる。樹脂としては、後述する凸型部3と同じ系統の材料であることが、凸型部3との密着性が向上するため、たとえば紫外線硬化性樹脂が好ましく用いられるが、エポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂などを用いることもできる。しかし、熱硬化性樹脂の場合には、硬化させるための加熱温度により可撓性フィルム1が変質しないような関係で選定する必要がある。台座2の厚さは、用途によって異なるが、たとえば40〜100μm程度に形成されるが、1mm程度あっても問題はない。また、台座2の径も用途のレンズの大きさに応じて決定されるが、たとえば0.5〜1mm程度の直径に形成される。   First, as shown in FIG. 1A, a pedestal 2 is formed on one surface of a flexible film 1 with a resin having a predetermined diameter and a predetermined height. The method for forming the pedestal 2 will be described later with reference to FIGS. 2 to 3, and the resin is screen-printed with resin, filled in the recesses of the template in which the recesses are formed in the shape of the pedestal 2 and cured, It can be formed by attaching the flexible film 1 to the surface and separating it from the template. The flexible film 1 is provided with an adhesive on one side, for example, a so-called dicing tape that is attached to the back surface of the semiconductor wafer when the semiconductor wafer is divided into individual chips, and has a thickness of about 50 to 100 μm. A stretchable synthetic resin film can be used. As the resin, a material of the same system as that of the convex portion 3 described later improves adhesion to the convex portion 3, and therefore, for example, an ultraviolet curable resin is preferably used. Resin etc. can also be used. However, in the case of a thermosetting resin, it is necessary to select the relationship so that the flexible film 1 does not deteriorate due to the heating temperature for curing. The thickness of the pedestal 2 varies depending on the use, but is formed to be about 40 to 100 μm, for example. The diameter of the pedestal 2 is also determined according to the size of the lens used, but is formed to have a diameter of about 0.5 to 1 mm, for example.

つぎに、図1(b)〜(d)に示すように、その台座2の上に、表面が球面形状になるように、たとえば台座2とほぼ同じ種類の材料からなる液状樹脂3aを塗布する。この液状樹脂3aは、台座2と同じ種類の樹脂であることが、台座2との密着性が向上するため好ましく、前述のように、塗布する際には液状で表面張力により球面形状となり、硬化させると固化するような、紫外線硬化性樹脂や、熱硬化性樹脂などを用いることができる。前述のように、この硬化の際に、可撓性フィルム1が劣化しないことが必要で、紫外線硬化性樹脂は紫外線の照射により、殆どの可撓性フィルム1を変質させることはなく、容易に硬化させることができるため好ましい。しかし、可撓性フィルムとの関係で、可撓性フィルム1が熱により変質しない程度の温度で硬化させることができれば、エポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂などを使用することもできる。この液状樹脂3aの塗布方法は、たとえばスクリーン印刷法や、インクジェットのようなジェット装置による液状樹脂の吐出法など、一定量の液状樹脂を台座2上に塗布することができればよい。図1では、ディスペンサ7のノズルから液状樹脂3aを吐出させて台座2に付着させ、所定量だけ台座2上に塗布した状態が示されている。この際、樹脂が液状で、底面は台座2の面積に限られているため、樹脂の量が十分であれば図1(d)に示すように、表面張力により底面は台座2の径と一致し、表面側は球面のような形状に形成される。   Next, as shown in FIGS. 1B to 1D, for example, a liquid resin 3 a made of substantially the same kind of material as that of the base 2 is applied on the base 2 so as to have a spherical surface. . The liquid resin 3a is preferably the same type of resin as the pedestal 2 because the adhesion to the pedestal 2 is improved. As described above, the liquid resin 3a is liquid and has a spherical shape due to surface tension when applied. An ultraviolet curable resin, a thermosetting resin, or the like that solidifies when used can be used. As described above, it is necessary that the flexible film 1 does not deteriorate during this curing, and the ultraviolet curable resin does not deteriorate most of the flexible film 1 when irradiated with ultraviolet rays, and can be easily used. This is preferable because it can be cured. However, a thermosetting resin such as an epoxy resin can be used as long as the flexible film 1 can be cured at a temperature that does not change due to heat in relation to the flexible film. The liquid resin 3a may be applied by applying a certain amount of liquid resin on the pedestal 2, such as a screen printing method or a liquid resin discharging method using a jet apparatus such as an ink jet. FIG. 1 shows a state in which the liquid resin 3a is discharged from the nozzle of the dispenser 7 and adhered to the pedestal 2 and applied on the pedestal 2 by a predetermined amount. At this time, since the resin is liquid and the bottom surface is limited to the area of the pedestal 2, if the amount of the resin is sufficient, the bottom surface is equal to the diameter of the pedestal 2 due to surface tension as shown in FIG. The surface side is formed into a spherical shape.

つぎに、図1(e)に示すように、紫外線(UV)を照射することにより、液状樹脂3aを硬化させて、凸型部3を形成することにより台座2と一体化したレンズ部材4を形成する。液状樹脂3aが熱硬化性樹脂の場合には、硬化する温度まで加熱することにより硬化させる。この凸型部3は、液状樹脂3aの表面張力により、その径は台座2の径と一致して上に盛り上がり、その高さは、塗布する液状樹脂の量によりある程度任意に設定することができるが、図1に示す例では、たとえば0.35mm程度の高さに形成され、台座2と合せた高さは、0.48mm程度で、径が0.7mm程度のレンズ部材4になっている。   Next, as shown in FIG. 1 (e), the lens member 4 integrated with the pedestal 2 is formed by forming the convex portion 3 by curing the liquid resin 3 a by irradiating with ultraviolet rays (UV). Form. When the liquid resin 3a is a thermosetting resin, it is cured by heating to a curing temperature. Due to the surface tension of the liquid resin 3a, the convex portion 3 has a diameter that rises to coincide with the diameter of the pedestal 2, and its height can be arbitrarily set depending on the amount of liquid resin to be applied. However, in the example shown in FIG. 1, the lens member 4 is formed to have a height of, for example, about 0.35 mm, the height combined with the base 2 is about 0.48 mm, and the diameter is about 0.7 mm. .

その後、図1(f)〜(g)に示すように、可撓性フィルム1の他面(裏面)から台座2を突き上げピン8により突き上げると共に、表面側から吸着コレット9などの吸着治具によりレンズ部材4を吸着することにより、可撓性フィルム1からレンズ部材4を台座2ごと分離して取り上げることができる。すなわち、突き上げピン8により可撓性フィルム1が突き上げられることにより、その部分の可撓性フィルム1だけが上方に延びて山形状になり、一方レンズ部材4は固形物で変形せず、平坦性を維持したままであるため、台座2の端部側から可撓性フィルム1と分離する。そのため、表面側から吸着コレット9などにより吸着することにより、レンズ部材4を可撓性フィルム1から容易に分離することができ、吸着コレット9で吸着したまま所定の取り付け場所に移動することができる。   Thereafter, as shown in FIGS. 1 (f) to 1 (g), the pedestal 2 is pushed up from the other side (back side) of the flexible film 1 by the push-up pins 8, and from the front side by a suction jig such as a suction collet 9. By adsorbing the lens member 4, the lens member 4 can be separated from the flexible film 1 together with the base 2 and taken up. That is, when the flexible film 1 is pushed up by the push-up pins 8, only the flexible film 1 at that portion extends upward to form a mountain shape, while the lens member 4 is not deformed by a solid material and is flat. Therefore, the flexible film 1 is separated from the end side of the base 2. Therefore, the lens member 4 can be easily separated from the flexible film 1 by being sucked by the suction collet 9 or the like from the surface side, and can be moved to a predetermined mounting place while being sucked by the suction collet 9. .

そのレンズ部材4を光デバイスに取り付ける工程を図1(h)〜(i)に模式化して示す。すなわち、たとえば発光素子や受光素子などの表面にレンズ部材を固着したい光デバイス5のレンズ部材4を貼り付ける場所に、紫外線硬化性樹脂などからなる接着剤6を予め塗布しておき、その接着剤6の上に、吸着コレット9により搬送したレンズ部材4を押し付け、吸着コレット9の吸引を停止させることにより、接着剤6の上にレンズ部材4を搭載することができる。その後、図1(i)に示すように、紫外線(UV)を照射することにより接着剤6が硬化してレンズ部材4と光デバイス5とが一体化される。   A process of attaching the lens member 4 to the optical device is schematically shown in FIGS. That is, for example, an adhesive 6 made of an ultraviolet curable resin or the like is applied in advance to a place where the lens member 4 of the optical device 5 to which the lens member is to be fixed is attached to the surface of a light emitting element or a light receiving element. The lens member 4 transported by the suction collet 9 is pressed onto 6 and the suction of the suction collet 9 is stopped, so that the lens member 4 can be mounted on the adhesive 6. Thereafter, as shown in FIG. 1 (i), the adhesive 6 is cured by irradiating ultraviolet rays (UV), and the lens member 4 and the optical device 5 are integrated.

前述の図1(a)に示す可撓性フィルム1上に台座2を形成する具体的方法についてさらに説明をする。図2は、その一例を示す工程説明図で、たとえば図2(a)に示すように、可撓性フィルム1上に、所望の台座2の厚さ、たとえば0.1mm程度の所望の厚さに合せたステンレスなどの金属板に、レンズ部材4の径、たとえば0.7mm程度の貫通孔11aを開けたメタルマスク11を載置する。なお、可撓性フィルム1およびメタルマスク11は大きく、貫通孔11aは一定間隔で複数個マトリクス状に形成されているが、図2では、1個分の台座2の部分のみが示されている。この貫通孔11は、たとえばレーザ加工をすることにより、非常に小さな孔径でも正確に形成することができる。   A specific method for forming the pedestal 2 on the flexible film 1 shown in FIG. FIG. 2 is a process explanatory view showing an example thereof. For example, as shown in FIG. 2A, a desired pedestal 2 has a desired thickness on the flexible film 1, for example, a desired thickness of about 0.1 mm. A metal mask 11 having a through-hole 11a having a diameter of the lens member 4, for example, about 0.7 mm, is placed on a metal plate such as stainless steel matched to the above. The flexible film 1 and the metal mask 11 are large, and a plurality of through holes 11a are formed in a matrix at regular intervals. In FIG. 2, only the portion of the base 2 is shown. . The through-hole 11 can be accurately formed even with a very small hole diameter, for example, by laser processing.

そして、図2(b)に示すように、メタルマスク11上に液状樹脂2aを塗布して、スキージ12によりメタルマスク11上を平坦化する。その後、図2(c)に示されるように、たとえば紫外線(UV)を照射することにより、メタルマスク11の貫通孔11a内に埋め込まれた液状樹脂2aが硬化し、台座2が形成される。この後、メタルマスク11を除去こすることにより、可撓性フィルム1上に台座2を形成することができる。   Then, as shown in FIG. 2B, the liquid resin 2 a is applied on the metal mask 11, and the metal mask 11 is flattened by the squeegee 12. Thereafter, as shown in FIG. 2C, for example, by irradiating with ultraviolet rays (UV), the liquid resin 2 a embedded in the through hole 11 a of the metal mask 11 is cured, and the base 2 is formed. Thereafter, the pedestal 2 can be formed on the flexible film 1 by removing the metal mask 11.

図3は、可撓性フィルム1上に台座2を形成する他の例を示す図である。すなわち、まず、図3(a)に示すように、数mm程度の厚さの金属板に、前述と同様に、所望の台座2の厚さに合せた深さ(所定の高さ)および台座2の径に合せた径(所定の径)の凹部15aを一定間隔で多数個形成した型板15を形成する。そして、図3(b)に示すように、たとえば紫外線硬化性樹脂などからなる液状樹脂2aをディスペンサ16などにより、型板15の表面とほぼ一致するように、凹部15a内に塗布(充填)する。その後、図3(c)に示すように、型板15の上面に、可撓性フィルム1を密着させ、液状樹脂2aを硬化させる。その後、型板15を除去することにより、前述の可撓性フィルム1の一面に台座2を形成することができる。   FIG. 3 is a diagram showing another example of forming the base 2 on the flexible film 1. That is, first, as shown in FIG. 3 (a), a depth (predetermined height) and a pedestal according to the desired thickness of the pedestal 2 are formed on a metal plate having a thickness of about several millimeters as described above. A template 15 is formed in which a large number of recesses 15a having a diameter (predetermined diameter) matching the diameter of 2 are formed at regular intervals. Then, as shown in FIG. 3B, a liquid resin 2a made of, for example, an ultraviolet curable resin is applied (filled) into the recess 15a by the dispenser 16 or the like so as to substantially coincide with the surface of the template 15. . Then, as shown in FIG.3 (c), the flexible film 1 is stuck to the upper surface of the template 15, and the liquid resin 2a is hardened. Thereafter, the base plate 2 can be formed on one surface of the flexible film 1 by removing the template 15.

本発明のレンズ部材の製造方法によれば、台座の上に、表面張力を利用して凸型部を形成しているため、凸型部の径は、台座の径と一致し、台座はスクリーン印刷または型板に形成する凹部により正確な寸法に形成することができるため、非常に正確な寸法のレンズ部材を形成することができる。すなわち、金型によりモールド成形することなく、液状の樹脂を所定量適下または塗布するだけで、一定の径の台座上に一定の高さの凸型部を有するレンズ部材を形成することができる。その結果、非常に安価に形成することができる。しかも、可撓性フィルム上にレンズ部材を大量に形成しているため、可撓性フィルムの裏側から突き上げピンにより突き上げることにより、可撓性フィルムが台座の周囲から分離し、上面側からレンズ部材を吸着コレットなどにより吸着するだけで簡単に分離して搭載する場所に運搬して簡単に搭載することができる。その結果、非常に薄いレンズ部材でも、その端部を損傷することなく、そのままの形状で光デバイスなどの所定の場所に正確に搭載することができ、信頼性を非常に向上させることができる。   According to the method for manufacturing a lens member of the present invention, since the convex portion is formed on the pedestal using surface tension, the diameter of the convex portion matches the diameter of the pedestal, and the pedestal is a screen. Since it can be formed with an accurate dimension by the concave portion formed on the printing or the template, a lens member with a very accurate dimension can be formed. That is, it is possible to form a lens member having a convex portion having a certain height on a pedestal having a certain diameter by simply applying or applying a predetermined amount of liquid resin without molding with a mold. . As a result, it can be formed very inexpensively. In addition, since a large amount of lens members are formed on the flexible film, the flexible film is separated from the periphery of the pedestal by pushing up from the back side of the flexible film with a push-up pin, and the lens member from the upper surface side. Can be easily separated and mounted by simply adsorbing them with an adsorption collet or the like. As a result, even a very thin lens member can be accurately mounted in a predetermined place such as an optical device in the same shape without damaging the end thereof, and the reliability can be greatly improved.

また、台座をスクリーン印刷や、凹部を形成した型板を用いて形成することにより、可撓性フィルム上でも、非常に正確な寸法で、安価に形成することができる。   In addition, by forming the pedestal using screen printing or a template having a recess, it can be formed on a flexible film with a very accurate dimension and at a low cost.

本発明によるレンズ部材の製造方法の一実施形態を示す工程説明図である。It is process explanatory drawing which shows one Embodiment of the manufacturing method of the lens member by this invention. 図1の可撓性フィルム上に台座を形成する方法の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the method of forming a base on the flexible film of FIG. 図1の可撓性フィルム上に台座を形成する方法の他の例を示す図である。It is a figure which shows the other example of the method of forming a base on the flexible film of FIG. 従来の金型を用いないでレンズを形成する例の説明図である。It is explanatory drawing of the example which forms a lens, without using the conventional metal mold | die.

符号の説明Explanation of symbols

1 可撓性フィルム
2 台座
2a 液状樹脂
3 凸型部
3a 液状樹脂
4 レンズ部材
5 光デバイス
6 接着剤
7 ディスペンサ
8 突き上げピン
9 吸着コレット
11 メタルマスク
11a 貫通孔
12 スキージ
15 型板
15a 凹部
16 ディスペンサ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Flexible film 2 Base 2a Liquid resin 3 Convex part 3a Liquid resin 4 Lens member 5 Optical device 6 Adhesive 7 Dispenser 8 Push-up pin 9 Adsorption collet
11 Metal mask
11a Through hole
12 Squeegee
15 Template
15a recess
16 Dispenser

Claims (3)

可撓性フィルムの一面上に、形成するレンズと同じ大きさの台座を形成し、該台座の上に、表面が球面形状になるように液状樹脂を塗布し、該液状樹脂を硬化させることにより、前記台座と共に一体化したレンズ部材を形成し、前記可撓性フィルムの他面から前記レンズ部材を突き上げピンにより突き上げると共に表面から前記レンズ部材を吸着することにより前記可撓性フィルムから前記レンズ部材を分離することを特徴とするレンズ部材の製造方法。   By forming a pedestal of the same size as the lens to be formed on one surface of the flexible film, applying a liquid resin on the pedestal so that the surface has a spherical shape, and curing the liquid resin The lens member is formed integrally with the pedestal, the lens member is pushed up from the other surface of the flexible film by a push-up pin, and the lens member is adsorbed from the surface, thereby the lens member from the flexible film. A method for producing a lens member, wherein 前記可撓性フィルムの一面に、前記台座と同じ大きさの開口部を有するマスクを載置し、前記マスクの開口部内に樹脂を印刷により塗布し、該樹脂の硬化後前記マスクを除去することにより、前記可撓性フィルムの一面に前記台座を形成する請求項1記載のレンズ部材の製造方法。   A mask having an opening having the same size as the pedestal is placed on one surface of the flexible film, a resin is applied in the opening of the mask by printing, and the mask is removed after the resin is cured. The method for manufacturing a lens member according to claim 1, wherein the pedestal is formed on one surface of the flexible film. 前記台座と同じ大きさの凹部を有する型板を形成し、該型板の凹部内に、該型板の上面と表面がほぼ一致するように樹脂を塗布し、前記型板の上面に前記可撓性フィルムを貼着すると共に前記樹脂を硬化させた後に、前記型板を除去することにより、前記可撓性フィルムの一面に前記台座を形成する請求項1記載のレンズ部材の製造方法。   A template having a recess having the same size as the pedestal is formed, and a resin is applied in the recess of the template so that the upper surface of the template substantially coincides with the surface of the template. The method for producing a lens member according to claim 1, wherein the pedestal is formed on one surface of the flexible film by attaching the flexible film and curing the resin, and then removing the template.
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