JP5187824B2 - Microfluidic device, fuel cell and manufacturing method thereof - Google Patents

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Description

本発明は、マイクロ流体デバイスおよび燃料電池ならびにその製造方法に関し、特に、微小流量を取り扱うマイクロ流体デバイスおよびその構造を応用した燃料電池ならびにそれらの製造方法に関する。   The present invention relates to a microfluidic device, a fuel cell, and a manufacturing method thereof, and more particularly, to a microfluidic device that handles a minute flow rate, a fuel cell that applies the structure, and a manufacturing method thereof.

燃料電池は、燃料と酸化剤とを供給すれば発電する発電装置である。通常、酸化剤には空気が使用できるため、燃料を交換することで連続して発電することができる。このため、燃料電池は、定置用電源のみでなく携帯用電源としても非常に注目されている。   A fuel cell is a power generator that generates power when fuel and an oxidant are supplied. Normally, air can be used as the oxidizer, so that it is possible to continuously generate power by changing the fuel. For this reason, fuel cells are attracting a great deal of attention not only as stationary power sources but also as portable power sources.

通常、定置用の燃料電池などでは、燃料に水素あるいは水素を含有するガスが使用されるが、携帯用電源としては、同じ大きさの容器に貯蔵した燃料でより長時間発電できることが利点となる。よって、燃料としては、体積当たりのエネルギー密度の高い液体燃料の方が有利となる。   Usually, in a stationary fuel cell or the like, hydrogen or a gas containing hydrogen is used as a fuel. However, as a portable power source, it is advantageous that power can be generated for a long time with fuel stored in a container of the same size. . Therefore, a liquid fuel having a high energy density per volume is more advantageous as the fuel.

なお、改質器でもって液体燃料から水素を生成して発電に用いることもできるが、燃料電池のシステム全体が複雑になるため、小型化には液体燃料を直接供給する方が容易と考えられている。   Although it is possible to generate hydrogen from liquid fuel and use it for power generation with a reformer, the entire fuel cell system becomes complicated, so it is considered easier to directly supply liquid fuel for miniaturization. ing.

液体燃料を燃料極に直接供給するタイプの燃料電池が、特表平11−510311号公報(特許文献1)に開示されている。この燃料電池は、メタノールと水の混合物を燃料に用いる直接型メタノール燃料電池である。   Japanese Unexamined Patent Publication No. 11-510311 (Patent Document 1) discloses a fuel cell that supplies liquid fuel directly to the fuel electrode. This fuel cell is a direct methanol fuel cell that uses a mixture of methanol and water as fuel.

図11を参照して、代表的な直接型メタノール燃料電池について説明する。
図11は、ハウジング101A内に燃料極102Aと酸化剤極103Aと電解質膜104Aとを備えた直接型メタノール燃料電池100Aを模式的に示す図である。燃料タンク105Aから、燃料ポンプ106Aによってメタノールと水とが混合された燃料が燃料極室107Aに供給される。燃料極室107A内に供給された燃料は、燃料極102A内に浸透して反応し、プロトン(水素イオン)と電子、および二酸化炭素を生成する。
A typical direct methanol fuel cell will be described with reference to FIG.
FIG. 11 is a diagram schematically showing a direct methanol fuel cell 100A including a fuel electrode 102A, an oxidant electrode 103A, and an electrolyte membrane 104A in a housing 101A. A fuel in which methanol and water are mixed by the fuel pump 106A is supplied from the fuel tank 105A to the anode chamber 107A. The fuel supplied into the fuel electrode chamber 107A permeates into the fuel electrode 102A and reacts to generate protons (hydrogen ions), electrons, and carbon dioxide.

通常、燃料極102Aには多孔質材が用いられており、電解質膜104Aとの界面近傍の触媒が担持された層で燃料極102Aでの反応が起こる。燃料極102Aで生成されたプロトンは電解質膜104Aを透過して酸化剤極103Aに移動し、電子は燃料極102Aから外部回路(図示せず)を経由して酸化剤極103Aに流れる。この電子が燃料電池の出力として使用される。   Usually, a porous material is used for the fuel electrode 102A, and the reaction at the fuel electrode 102A occurs in a layer in which a catalyst is supported in the vicinity of the interface with the electrolyte membrane 104A. Protons generated at the fuel electrode 102A pass through the electrolyte membrane 104A and move to the oxidant electrode 103A, and electrons flow from the fuel electrode 102A to the oxidant electrode 103A via an external circuit (not shown). These electrons are used as the output of the fuel cell.

二酸化炭素は、燃料極102Aから燃料極室107Aに排出され、未反応の燃料とともに出口ポート112Aから排出される。この出口ポート112Aから排出した二酸化炭素と未反応の燃料は、燃料タンク105Aに回収され、二酸化炭素は燃料タンク105Aに設けられた放出ポート108Aから排出される。   Carbon dioxide is discharged from the fuel electrode 102A to the fuel electrode chamber 107A, and is discharged from the outlet port 112A together with unreacted fuel. The carbon dioxide discharged from the outlet port 112A and unreacted fuel are collected in the fuel tank 105A, and the carbon dioxide is discharged from a discharge port 108A provided in the fuel tank 105A.

一方、酸化剤極103A側では、圧縮機109Aによって酸素が酸化剤極室110Aへ供給される。この酸素は酸化剤極室110Aから酸化剤極103A内に拡散する。酸化剤極103Aでは、酸素が燃料極102Aから拡散してきたプロトンと反応して水を生成する。生成した水は水蒸気となって酸化剤室110Aから未反応の酸素とともに出口ポート111Aから排出される。図11に示す例では、酸化剤として酸素が使用されている。なお、酸素濃度は低くなるが酸化剤として空気を使用することもできる。   On the other hand, on the oxidant electrode 103A side, oxygen is supplied to the oxidant electrode chamber 110A by the compressor 109A. This oxygen diffuses from the oxidant electrode chamber 110A into the oxidant electrode 103A. In the oxidant electrode 103A, oxygen reacts with protons diffused from the fuel electrode 102A to generate water. The generated water becomes water vapor and is discharged from the oxidant chamber 110A together with unreacted oxygen from the outlet port 111A. In the example shown in FIG. 11, oxygen is used as the oxidizing agent. In addition, although oxygen concentration becomes low, air can also be used as an oxidizing agent.

従来の直接型メタノール燃料電池では、燃料のメタノールと水の混合物は、図11に示すように、燃料極室107Aに供給され、燃料極室107Aから燃料極102Aの拡散層へ浸透して電解質膜104Aとの界面近傍の触媒を含有する層で反応する。そして反応生成物である二酸化炭素が燃料極室内107Aに排出され、供給されてくる燃料に合流し、未反応の燃料とともに出口ポート112Aから排出される。燃料電池で高効率かつ安定した発電を行うためには、燃料の供給と反応生成物である二酸化炭素の排出を効率的かつ安定に行わなければならない。   In the conventional direct methanol fuel cell, as shown in FIG. 11, a mixture of fuel methanol and water is supplied to the fuel electrode chamber 107A and permeates from the fuel electrode chamber 107A into the diffusion layer of the fuel electrode 102A, and the electrolyte membrane. It reacts in the layer containing the catalyst in the vicinity of the interface with 104A. Carbon dioxide, which is a reaction product, is discharged into the fuel electrode chamber 107A, merges with the supplied fuel, and discharged from the outlet port 112A together with unreacted fuel. In order to perform highly efficient and stable power generation in a fuel cell, it is necessary to efficiently and stably supply fuel and discharge carbon dioxide as a reaction product.

ところで、燃料ポンプ106Aで供給される燃料の主たる流れは、燃料極室107Aに送り込まれてから、燃料極室107Aに設けられた出口ポート112Aから排出されるものである。このため、燃料極102Aの反応に直接寄与する燃料極102Aが有する多孔質材内の流れは、燃料極室107A内での燃料の主たる流れから逸れたものとなってしまう。さらに、燃料極102Aが有する多孔質材内では、毛細管作用が働くものの、形状や方向の制約を受けることから、燃料極102A内へ効率的かつ安定に燃料を供給することが困難であった。このことは、燃料電池としての出力を向上させることや高効率で長時間発電させることを難しくしていた。また、燃料を高圧で圧送するポンプを用いる場合には、電源装置としての大型化を招くので、特に、携帯用機器などの電源として採用が難しくなる。   By the way, the main flow of fuel supplied by the fuel pump 106A is sent to the fuel electrode chamber 107A and then discharged from the outlet port 112A provided in the fuel electrode chamber 107A. For this reason, the flow in the porous material of the fuel electrode 102A that directly contributes to the reaction of the fuel electrode 102A deviates from the main flow of fuel in the fuel electrode chamber 107A. Furthermore, although the capillary action works in the porous material of the fuel electrode 102A, it is difficult to supply the fuel into the fuel electrode 102A efficiently and stably because of restrictions on the shape and direction. This has made it difficult to improve the output as a fuel cell and to generate power for a long time with high efficiency. In addition, when a pump that pumps fuel at high pressure is used, the power supply device is increased in size, so that it is particularly difficult to employ it as a power source for portable devices and the like.

ところで、特開2002−175817号公報(特許文献2)には、燃料が供給される燃料流路に燃料が浸透する燃料浸透部材を配置して、燃料極への燃料供給の促進を図っている。   By the way, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-175817 (Patent Document 2), a fuel permeation member that permeates fuel is arranged in a fuel flow path to which fuel is supplied to promote fuel supply to the fuel electrode. .

しかし、特許文献2に記載された燃料電池では、燃料浸透部材による浸透でもって燃料を燃料極に供給しているので、燃料極での燃料の反応効率が不十分で、出力が不十分であった。
特表平11−510311号公報 特開2002−175817号公報
However, in the fuel cell described in Patent Document 2, the fuel is supplied to the fuel electrode by the permeation by the fuel permeation member, so that the reaction efficiency of the fuel at the fuel electrode is insufficient and the output is insufficient. It was.
Japanese National Patent Publication No. 11-510311 JP 2002-175817 A

本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、流体(おもに液体)をできるだけ微少量で効率的に広範囲の反応場に安定して供給し、かつ広範囲の反応場から発生する反応生成物を効率的に安定して排出させることができるマイクロ流体デバイスを提供するとともに、このマイクロ流体デバイスの構造を応用することにより、燃料極での燃料の反応効率と反応生成物の排出効率を高め、小型化しても高出力が得られる燃料電池を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to stably supply a fluid (mainly liquid) in a very small amount as efficiently as possible to a wide range of reaction fields and to provide a wide range. In addition to providing a microfluidic device capable of efficiently and stably discharging reaction products generated from the reaction field, and by applying the structure of this microfluidic device, the reaction efficiency of the fuel at the fuel electrode and An object of the present invention is to provide a fuel cell that increases the efficiency of discharge of reaction products and can obtain a high output even if it is downsized.

本発明に係るマイクロ流体デバイスは、流路溝を有する流路板と、流路板に対向するように配置され、流路溝から供給された供給物質を拡散させる拡散部材と、流路板と拡散部材との間に介装された介装部材とを備え、流路溝は、拡散部材に供給物質を供給するための第1の流路と、拡散部材からの排出物質を排出する第2の流路とを形成し、第1の流路と第2の流路とは分離されており、介装部材は、流路板の流路溝が形成された主表面における非流路領域に対向する第1部分と、第1の流路に対向する第2部分と、第2の流路に対向する第3部分とを含み、第1部分に、上記介装部材の平面方向における供給物質および排出物質の拡散を抑制する拡散防止構造を有する。 A microfluidic device according to the present invention includes a flow path plate having a flow path groove, a diffusion member that is disposed to face the flow path plate and diffuses a supply substance supplied from the flow path groove, and a flow path plate. An interposition member interposed between the diffusion member and the flow path groove, a first flow path for supplying the supply material to the diffusion member, and a second for discharging the discharge material from the diffusion member. And the first channel and the second channel are separated from each other, and the interposition member is formed in the non-channel region on the main surface where the channel groove of the channel plate is formed. A first portion that opposes, a second portion that opposes the first flow path, and a third portion that opposes the second flow path ; And a diffusion preventing structure that suppresses the diffusion of exhaust substances.

上記構成によれば、拡散部材に面した流路から、介装部材を通して供給物質をほぼ均一に少しずつ拡散部材全域に供給することができる。さらに、非流路領域となる壁の下部は、拡散防止構造により拡散部材を経由しないで供給物質が第1の流路側から第2の流路側に排出されないよう構成されているので、供給物質が未反応で第2の流路から排出されるのを抑制し、供給した供給物質を効率よく反応させることができる。すなわち、供給域の面積あたりの反応量をさらに向上させることができる。   According to the above configuration, the supply substance can be supplied almost uniformly little by little through the interposition member from the channel facing the diffusion member. Furthermore, the lower part of the wall that becomes the non-flow channel region is configured so that the supply substance is not discharged from the first flow path side to the second flow path side without passing through the diffusion member by the diffusion prevention structure. It is possible to suppress the unreacted discharge from the second flow path and to efficiently react the supplied feed substance. That is, the reaction amount per area of the supply area can be further improved.

上記マイクロ流体デバイスにおいて、介装部材は、膜厚方向に比べて平面方向に供給物質が透過しにくい構造を有する。 In the microfluidic device, the interposition member has a structure in which the supply substance is less likely to permeate in the plane direction as compared to the film thickness direction.

これにより、介装部材に、第1の流路および第2の流路のパターンに合わせた拡散防止構造を形成しなくても、第1の流路に面する部分は膜厚方向、即ち第1の流路から拡散部材に向かう方向に透過しやすく、壁下部では、平面方向、即ち第1の流路側から第2の流路側へ透過しにくい拡散防止構造を形成することができ、したがって、製造工程も簡略化される。 Accordingly, even if the diffusion preventing structure corresponding to the pattern of the first flow path and the second flow path is not formed on the interposition member, the portion facing the first flow path is in the film thickness direction, that is, the first flow path. It is easy to permeate in the direction from the first flow path to the diffusion member, and in the lower part of the wall, it is possible to form a diffusion preventing structure that is difficult to permeate from the planar direction, that is, from the first flow path side to the second flow path side. The manufacturing process is also simplified.

1つの実施態様では、上記マイクロ流体デバイスにおいて、介装部材は、膜厚方向に比べて平面方向に排出物質が透過しにくい構造を有する。   In one embodiment, in the microfluidic device, the interposition member has a structure in which the discharged substance is less likely to permeate in the plane direction as compared with the film thickness direction.

この実施態様によれば、介装部材に、第1の流路および第2の流路のパターンに合わせた拡散防止構造を形成しなくても、排出物質は、第2の流路に面する部分は膜厚方向、即ち拡散部材から第2の流路に向かう方向に透過しやすく、壁下部では、平面方向、即ち第2の流路側から第1の流路側へ透過しにくい拡散防止構造を形成することができ、したがって、製造工程も簡略化される。   According to this embodiment, the exhausted substance faces the second flow path without forming a diffusion preventing structure in accordance with the pattern of the first flow path and the second flow path on the interposed member. The portion is easy to permeate in the film thickness direction, that is, in the direction from the diffusing member to the second flow path, and in the lower part of the wall, a diffusion preventing structure that is difficult to permeate from the plane direction, that is, from the second flow path side to the first flow path side. Therefore, the manufacturing process is also simplified.

1つの実施態様では、上記マイクロ流体デバイスにおいて、拡散防止構造は、介装部材内に、供給物質の拡散を抑制する物質を含有させた構造である。   In one embodiment, in the microfluidic device, the diffusion preventing structure is a structure in which a substance that suppresses the diffusion of the supply substance is contained in the interposed member.

この実施態様によれば、供給物質が第1の流路から壁の下部を通り、あるいは介装部材内部を通り第2の流路へ透過するのをより確実に阻止することができる。   According to this embodiment, it is possible to more reliably prevent the supply substance from passing through the lower part of the wall from the first flow path or through the interposition member into the second flow path.

1つの実施態様では、上記マイクロ流体デバイスにおいて、拡散防止構造は、介装部材内に、排出物質の拡散を抑制する物質を含有させた構造である。   In one embodiment, in the microfluidic device, the diffusion preventing structure is a structure in which a substance that suppresses the diffusion of the discharged substance is contained in the interposed member.

この実施態様によれば、排出物質が第2の流路から壁の下部を通り、あるいは介装部材内部を通り第1の流路へ透過するのをより確実に阻止することができる。   According to this embodiment, it is possible to more reliably prevent the discharged substance from passing through the second flow path through the lower part of the wall or through the inside of the interposition member into the first flow path.

1つの実施態様では、上記マイクロ流体デバイスにおいて、第1の流路に供給物質が供給されている状態において、排出物質が介装部材における第1の流路に対向する部分を拡散部材側から第1の流路側へ透過するのに必要な圧力が、拡散部材からの排出物質の排出圧力以上である。   In one embodiment, in the microfluidic device described above, in a state where the supply substance is supplied to the first flow path, the portion where the discharge substance faces the first flow path in the interposition member is The pressure required to permeate the one flow path side is equal to or higher than the discharge pressure of the discharged substance from the diffusion member.

この実施態様によれば、拡散部材から介装部材の第1の流路に対向する部位を通り、第1の流路に排出物質が逆流して混合物の供給を阻害することを防止できる。   According to this embodiment, it is possible to prevent the discharge material from flowing back to the first flow path from the diffusion member through the portion facing the first flow path of the interposition member and inhibiting the supply of the mixture.

1つの実施態様では、上記マイクロ流体デバイスにおいて、拡散部材に供給物質が供給されている状態において、供給物質が介装部材における第2の流路に対向する部分を拡散部材側から第2の流路側へ透過するのに必要な圧力が、拡散部材からの供給物質の排出圧力以上である。   In one embodiment, in the microfluidic device described above, in a state where the supply substance is supplied to the diffusion member, the portion where the supply substance faces the second flow path in the interposition member is changed from the diffusion member side to the second flow. The pressure required to permeate to the road side is equal to or higher than the discharge pressure of the supply substance from the diffusion member.

この実施態様によれば、薄膜ヒーターがOFFして改質反応が停止した場合、あるいは、薄膜ヒーターをOFFにして拡散部材が所定の温度以下に下降している状態のように、拡散部材内の供給物質であるメタノールと水の混合物が液化している場合においても、液化した混合物が第2の流路に排出されることを防止することができる。   According to this embodiment, when the thin film heater is turned off and the reforming reaction is stopped, or when the thin film heater is turned off and the diffusion member is lowered below a predetermined temperature, Even when the mixture of methanol and water as the supply substance is liquefied, the liquefied mixture can be prevented from being discharged to the second flow path.

本発明に係る燃料電池は、液体燃料が供給されるとともに該液体燃料から陽イオンと電子を生成する燃料極と、燃料極に対向するように配置され、該燃料極からの陽イオンが透過する電解質膜と、酸化剤が供給されるとともに電解質膜に対向するように配置され、該電解質膜を透過した陽イオンと酸化剤とを反応させる酸化剤極と、燃料極に対向するように配置され、流路溝を有する流路板とを備える。流路溝は、燃料極に液体燃料を供給する第1の流路と、燃料極からの排出ガスを排出する第2の流路とを形成し、第1の流路と第2の流路とは分離されており、燃料極は、触媒を含有する電解質膜側の電極層と、流路板側の拡散層とを有する。燃料電池は、流路板と拡散層との間に介装された介装部材をさらに備える。介装部材は、流路板の流路溝が形成された主表面における非流路領域に対向する第1部分と、第1の流路に対向する第2部分と、第2の流路に対向する第3部分とを含み、第1部分に、上記介装部材の平面方向における液体燃料および排出ガスの拡散を抑制する拡散防止構造を有する。 The fuel cell according to the present invention is disposed so as to face the fuel electrode, a fuel electrode that supplies liquid fuel and generates cations and electrons from the liquid fuel, and allows the cations from the fuel electrode to pass therethrough. The electrolyte membrane is disposed so as to face the electrolyte membrane while being supplied with the oxidant, and is disposed so as to face the fuel electrode and the oxidizer electrode that reacts the cation and the oxidant that has permeated through the electrolyte membrane. And a flow path plate having flow path grooves. The flow channel groove forms a first flow channel for supplying liquid fuel to the fuel electrode and a second flow channel for discharging exhaust gas from the fuel electrode, and the first flow channel and the second flow channel. The fuel electrode has an electrode layer on the electrolyte membrane side containing the catalyst and a diffusion layer on the flow path plate side. The fuel cell further includes an interposition member interposed between the flow path plate and the diffusion layer. The intervening member includes a first portion facing the non-flow channel region on the main surface where the flow channel grooves of the flow channel plate are formed, a second portion facing the first flow channel, and a second flow channel. The first portion has a diffusion preventing structure that suppresses the diffusion of the liquid fuel and the exhaust gas in the planar direction of the interposition member.

上記構成によれば、拡散層に面した流路から、介装部材を通して液体燃料をほぼ均一に少しずつ拡散層全域に供給することができる。この際、壁の下部は、拡散防止構造により拡散層を経由しないで液体燃料が第1の流路側から第2の流路側に排出されないよう構成されているので、拡散防止構造がない場合に比べて燃料が未反応で排出されるのを抑制し、供給した燃料を効率よく反応させることができる。すなわち、第1の流路の供給域の面積あたりの燃料の発電への利用効率を向上させることができる。さらに、燃料極で生成された排出ガスが拡散層から第2の流路へ排出される際、拡散防止構造により排出ガスが第2の流路側から第1の流路側に介装部材内を拡散して第1の流路側に排出されるのを抑制し、第1の流路からの燃料の供給を阻害するのを防止できる。したがって、この実施形態により、燃料の利用効率も非常に高くでき、小型化しても高出力が得やすい。   According to the above configuration, the liquid fuel can be supplied almost uniformly little by little from the flow path facing the diffusion layer through the interposition member. At this time, the lower part of the wall is configured so that the liquid fuel is not discharged from the first flow path side to the second flow path side without passing through the diffusion layer by the diffusion prevention structure, so that compared with the case without the diffusion prevention structure Thus, it is possible to suppress the unreacted discharge of the fuel and to efficiently react the supplied fuel. That is, it is possible to improve the utilization efficiency of the fuel for generating power per area of the supply area of the first flow path. Further, when the exhaust gas generated at the fuel electrode is discharged from the diffusion layer to the second flow path, the exhaust gas diffuses in the interposition member from the second flow path side to the first flow path side by the diffusion prevention structure. Thus, it is possible to suppress the discharge to the first flow path side and to prevent the supply of fuel from the first flow path from being hindered. Therefore, according to this embodiment, the fuel utilization efficiency can be very high, and high output can be easily obtained even if the size is reduced.

上記燃料電池において、介装部材は、膜厚方向に比べて平面方向に液体燃料が透過しにくい構造を有する。 In the fuel cell, the interposition member has a structure in which liquid fuel is less likely to permeate in the plane direction as compared to the film thickness direction.

これにより、介装部材に、第1の流路、第2の流路のパターンに合わせた拡散防止構造を形成しなくても、第1の流路に面する部分は膜厚方向、即ち第1の流路から拡散層に向かう方向に透過しやすく、壁下部では、平面方向、即ち第1の流路側から第2の流路側へ透過しにくい拡散防止構造を形成することができ、したがって、製造工程も簡略化される。 Thus, even if the diffusion preventing structure corresponding to the pattern of the first flow path and the second flow path is not formed on the interposition member, the portion facing the first flow path is in the film thickness direction, that is, the first flow path. It is easy to permeate in the direction from the first flow path to the diffusion layer, and at the lower part of the wall, it is possible to form a diffusion prevention structure that is difficult to permeate from the planar direction, that is, from the first flow path side to the second flow path side. The manufacturing process is also simplified.

1つの実施態様では、上記燃料電池において、介装部材は、膜厚方向に比べて平面方向に排出ガスが透過しにくい構造を有する。   In one embodiment, in the fuel cell, the interposition member has a structure in which the exhaust gas is less likely to permeate in the plane direction as compared with the film thickness direction.

この実施態様によれば、これにより、介装部材に、第1の流路、第2の流路のパターンに合わせた拡散防止構造を形成しなくても、第2の流路に面する部分は膜厚方向、即ち拡散層から第2の流路に向かう方向に透過しやすく、壁下部では、平面方向、即ち第2の流路側から第1の流路側へ透過しにくい拡散防止構造を形成することができ、したがって、製造工程も簡略化される。   According to this embodiment, this allows the interfacing member to face the second flow path without forming a diffusion prevention structure that matches the pattern of the first flow path and the second flow path. Is easy to permeate in the film thickness direction, that is, the direction from the diffusion layer to the second flow path, and forms a diffusion prevention structure that hardly permeates from the plane direction, that is, from the second flow path side to the first flow path side at the lower part of the wall. Therefore, the manufacturing process is also simplified.

1つの実施態様では、上記燃料電池において、拡散防止構造は、介装部材内に、液体燃料の拡散を抑制する物質を含有させた構造である。   In one embodiment, in the fuel cell, the diffusion preventing structure is a structure in which a substance that suppresses the diffusion of the liquid fuel is contained in the interposed member.

この実施態様によれば、液体燃料が第1の流路から壁の下部を通り、あるいは介装部材内部を通り第2の流路へ透過するのをより確実に阻止することができる。   According to this embodiment, liquid fuel can be more reliably prevented from passing through the lower part of the wall from the first flow path or through the inside of the interposed member to the second flow path.

1つの実施態様では、上記燃料電池において、拡散防止構造は、介装部材内に、排出ガスの拡散を抑制する物質を含有させた構造である。   In one embodiment, in the fuel cell, the diffusion preventing structure is a structure in which a substance that suppresses the diffusion of exhaust gas is contained in the interposed member.

この実施態様によれば、拡散層からの排出ガスが第2の流路側から壁の下部を通り、あるいは介装部材の内部を通り第1の流路側へ透過するのをより確実に阻止することができる。   According to this embodiment, the exhaust gas from the diffusion layer can be more reliably prevented from passing through the lower part of the wall from the second flow path side or through the interior of the interposition member to the first flow path side. Can do.

1つの実施態様では、上記燃料電池において、第1の流路に液体燃料が供給されている状態において、排出ガスが介装部材における第1の流路に対向する部分を拡散層側から第1の流路側へ透過するのに必要な圧力が、拡散層からの排出ガスの排出圧力以上である。   In one embodiment, in the fuel cell, in a state where the liquid fuel is supplied to the first flow path, a portion of the interposing member where the exhaust gas faces the first flow path is defined as the first from the diffusion layer side. The pressure required to permeate to the flow path side is equal to or higher than the exhaust gas discharge pressure from the diffusion layer.

この実施態様によれば、拡散層から介装部材の第1の流路に対向する部位を通り、第1の流路に排出ガスが逆流して混合物の供給を阻害することを防止できる。   According to this embodiment, it is possible to prevent the exhaust gas from flowing backward from the diffusion layer through the portion of the interposition member that faces the first flow path and inhibiting the supply of the mixture.

1つの実施態様では、上記燃料電池において、拡散層に液体燃料が供給されている状態において、液体燃料が介装部材における第2の流路に対向する部分を拡散層側から第2の流路側へ透過するのに必要な圧力が、拡散層からの液体燃料の排出圧力以上である。   In one embodiment, in the fuel cell, in a state where the liquid fuel is supplied to the diffusion layer, the portion where the liquid fuel faces the second flow path in the interposition member is changed from the diffusion layer side to the second flow path side. The pressure required to permeate the liquid is greater than or equal to the discharge pressure of the liquid fuel from the diffusion layer.

この実施態様によれば、発電時はもとより、燃料電池がOFF、つまり取り出す電流出力がゼロの場合においても、液体燃料が第2の流路に排出されることを防止することができる。   According to this embodiment, it is possible to prevent liquid fuel from being discharged into the second flow path not only during power generation but also when the fuel cell is OFF, that is, when the current output to be taken out is zero.

本発明に係るマイクロ流体デバイスの製造方法および燃料電池の製造方法は、上述したマイクロ流体デバイスおよび燃料電池の製造方法であって、流路溝の形成された流路板を、基板上に塗布形成された充填材を含む材料層に押し付け、流路板の凸部に充填材を含む材料を転写する工程と、充填材を含む材料が転写された流路板を、介装部材上に載せ、アニールによって、充填材を含む材料を介装部材内に含浸させ、流路板と介装部材とを貼り合わせる工程とを備える。   The method of manufacturing a microfluidic device and the method of manufacturing a fuel cell according to the present invention are the above-described microfluidic device and fuel cell manufacturing method, in which a flow path plate in which a flow path groove is formed is applied on a substrate. Pressing the applied filler-containing material layer, transferring the filler-containing material to the convex portion of the flow path plate, and placing the flow path plate on which the filler-containing material has been transferred on the interposition member, A step of impregnating the interposition member with a material containing a filler by annealing and bonding the flow path plate and the interposition member.

上記方法によれば、流路板と介装部材を確実に隙間なく貼り合わせることができるとともに、供給物質並びに排出物質の拡散を抑制する物質が含浸された拡散防止構造を作製することができる。   According to the above method, it is possible to manufacture the diffusion preventing structure impregnated with the substance that suppresses the diffusion of the supply substance and the discharge substance while the flow path plate and the interposition member can be reliably bonded together without a gap.

1つの実施態様では、上記マイクロ流体デバイスの製造方法および燃料電池の製造方法において、充填材を含む材料が転写される流路板の凸部表面に、充填材を含む材料の転写を促進する凹凸構造を設けている。   In one embodiment, in the manufacturing method of the microfluidic device and the manufacturing method of the fuel cell, the unevenness that promotes the transfer of the material containing the filler on the convex surface of the flow path plate to which the material containing the filler is transferred. A structure is provided.

この実施態様によれば、流路板と充填材を含む材料の接着強度が高められ、流路板と介装部材の貼り合せ強度を高めることができる。   According to this embodiment, the adhesive strength of the material including the flow path plate and the filler can be increased, and the bonding strength between the flow path plate and the interposition member can be increased.

本発明に係るマイクロ流体デバイスによれば、流体(おもに液体)をできるだけ微少量で効率的に広範囲の反応場に安定して供給し、かつ広範囲の反応場から発生する反応生成物を効率的に安定して排出させることができる
本発明に係る燃料電池によれば、上記マイクロ流体デバイスの構造を応用することにより、燃料極での燃料の反応効率と反応生成物の排出効率を高め、小型化しても高出力が得られる。
According to the microfluidic device according to the present invention, a fluid (mainly liquid) can be stably supplied to a wide range of reaction fields in a very small amount as efficiently as possible, and reaction products generated from the wide range of reaction fields can be efficiently supplied. According to the fuel cell of the present invention, which can be discharged stably, by applying the structure of the microfluidic device described above, the reaction efficiency of the fuel and the discharge efficiency of the reaction product at the fuel electrode can be increased and the size can be reduced. Even high output can be obtained.

以下に、本発明の実施の形態について説明する。なお、同一または相当する部分に同一の参照符号を付し、その説明を繰返さない場合がある。   Embodiments of the present invention will be described below. Note that the same or corresponding portions are denoted by the same reference numerals, and the description thereof may not be repeated.

なお、以下に説明する実施の形態において、個数、量などに言及する場合、特に記載がある場合を除き、本発明の範囲は必ずしもその個数、量などに限定されない。また、以下の実施の形態において、各々の構成要素は、特に記載がある場合を除き、本発明にとって必ずしも必須のものではない。また、以下に複数の実施の形態が存在する場合、特に記載がある場合を除き、各々の実施の形態の構成を適宜組合わせることは、当初から予定されている。   Note that in the embodiments described below, when referring to the number, amount, and the like, the scope of the present invention is not necessarily limited to the number, amount, and the like unless otherwise specified. In the following embodiments, each component is not necessarily essential for the present invention unless otherwise specified. In addition, when there are a plurality of embodiments below, it is planned from the beginning to appropriately combine the configurations of the embodiments unless otherwise specified.

(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1に係るマイクロ流体デバイスを示す平面図であり、図2は、図1におけるII−II断面図である。
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a plan view showing a microfluidic device according to Embodiment 1 of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view taken along line II-II in FIG.

図1および図2を参照して、本実施の形態に係るマイクロ流体デバイス1は、流路溝11,12を有する流路板10と、流路溝11,12から供給される流体が拡散するように流路板10に対向するように配置される拡散部材20と、流路板10および拡散部材20に挟持され、流路溝11,12から拡散部材20へ供給される流体の拡散量を抑制する供給抑制部材50とを含んで構成される。供給抑制部材50は、流路板10における流路溝11,12の形成されていない領域に対向し、流体の拡散防止構造となる第1部分51と、流路溝11,12にそれぞれ対向する第2部分52および第3部分53とを有する。   Referring to FIGS. 1 and 2, in microfluidic device 1 according to the present embodiment, flow path plate 10 having flow path grooves 11 and 12 and the fluid supplied from flow path grooves 11 and 12 diffuse. The diffusion member 20 disposed so as to oppose the flow path plate 10 and the diffusion amount of the fluid that is sandwiched between the flow path plate 10 and the diffusion member 20 and is supplied from the flow path grooves 11 and 12 to the diffusion member 20 And a supply suppressing member 50 to be suppressed. The supply suppressing member 50 is opposed to a region where the flow channel grooves 11 and 12 are not formed in the flow channel plate 10, and is opposed to the first portion 51 serving as a fluid diffusion preventing structure and the flow channel grooves 11 and 12, respectively. A second portion 52 and a third portion 53 are included.

流路板10は、流体の出入り口となるポート30,40を有する。流路溝11,12は、それぞれ、ポート30,40から分岐するように延在する。流路溝11と流路溝12とは、所定の厚さの壁13で隔てられ、分離されている。壁13は、供給抑制部材50に接している。したがって、流路溝11と供給抑制部材50とで形成される流路11Aと、流路溝12と供給抑制部材50とで形成される流路12Aとは、壁13で分離されている。拡散部材20には、ヒータ60が取り付けられている。拡散部材20およびヒータ60は、ハウジング70に覆われ、流路板10および供給抑制部材50とハウジング70との間に挟持される。   The flow path plate 10 has ports 30 and 40 that serve as fluid inlets and outlets. The channel grooves 11 and 12 extend so as to branch from the ports 30 and 40, respectively. The channel groove 11 and the channel groove 12 are separated by a wall 13 having a predetermined thickness. The wall 13 is in contact with the supply suppressing member 50. Therefore, the channel 11 </ b> A formed by the channel groove 11 and the supply suppressing member 50 and the channel 12 </ b> A formed by the channel groove 12 and the supply suppressing member 50 are separated by the wall 13. A heater 60 is attached to the diffusing member 20. The diffusion member 20 and the heater 60 are covered with the housing 70 and are sandwiched between the flow path plate 10 and the supply suppressing member 50 and the housing 70.

マイクロ流体デバイス1によれば、メタノールと水との混合物から、下記の式(1)に示す水蒸気改質反応を引き起こして水素ガスを生成することが可能である。式(1)に示す水蒸気改質反応は、通常200℃から300℃程度の温度で促進される。   According to the microfluidic device 1, hydrogen gas can be generated from a mixture of methanol and water by causing a steam reforming reaction represented by the following formula (1). The steam reforming reaction represented by the formula (1) is usually promoted at a temperature of about 200 ° C to 300 ° C.

CH3OH+H2O→3H2+CO2・・・・(1)
メタノールと水の混合物(流体)は、ポート30から所定の圧力で流路11Aに導入される。流路11Aは流路12Aとは直接連通しておらず、かつ、供給抑制部材50により流路11A内の混合物の拡散部材20への拡散が抑制されているため、混合物は流路11A内に充満する。そして、流路11Aから、ほぼ均一に供給抑制部材50を通して、少しずつ拡散部材20の全域に混合物が供給される。仮に、供給抑制部材50を設けないとすると、流路11A内に導入された混合物の拡散部材20への拡散が抑制されないため、流路11Aの末端まで混合物を充満させることができず、拡散部材20への混合物の供給が著しく不均一になりやすい。
CH 3 OH + H 2 O → 3H 2 + CO 2 (1)
A mixture (fluid) of methanol and water is introduced into the channel 11A from the port 30 at a predetermined pressure. Since the flow path 11A is not in direct communication with the flow path 12A, and the diffusion of the mixture in the flow path 11A to the diffusion member 20 is suppressed by the supply suppression member 50, the mixture is in the flow path 11A. To charge. Then, the mixture is gradually supplied from the channel 11 </ b> A to the entire area of the diffusing member 20 little by little through the supply suppressing member 50. If the supply suppressing member 50 is not provided, the diffusion of the mixture introduced into the flow channel 11A into the diffusion member 20 is not suppressed, so that the mixture cannot be filled up to the end of the flow channel 11A. The supply of the mixture to 20 tends to be extremely uneven.

拡散部材20は、薄膜ヒータ60により加熱されており、拡散部材20内を通過する際に混合物の改質反応が促進される。拡散部材20内で生成した水素および二酸化炭素は、流路11Aよりも圧力の低い流路12Aに排出される。ここで、拡散部材20が多数の微細孔からなり、大きな表面積を有するため、混合物は微量に細分化され効率よく加熱される。これにより、流路11Aの流路域の面積あたりの改質反応量、つまり水素の生成量を多くすることができる。さらに、この際、非流路領域となる壁13の下部は、拡散防止構造としての第1部分51により、拡散部材20を経由しないでメタノールと水との混合物が流路11A側から流路12A側に排出されないよう構成されているので、混合物が未反応で流路12Aに排出されるのを抑制し、供給した混合物を効率よく反応させることができる。すなわち、流路11Aの供給域の面積あたりの水素の生成量をさらに向上させることができる。   The diffusion member 20 is heated by the thin film heater 60, and the reforming reaction of the mixture is promoted when passing through the diffusion member 20. Hydrogen and carbon dioxide generated in the diffusion member 20 are discharged to the flow path 12A having a lower pressure than the flow path 11A. Here, since the diffusing member 20 is composed of a large number of fine holes and has a large surface area, the mixture is subdivided into a minute amount and efficiently heated. Thereby, the reforming reaction amount per area of the channel region of the channel 11A, that is, the amount of hydrogen generated can be increased. Further, at this time, the lower portion of the wall 13 that becomes the non-flow channel region is formed by the first portion 51 as the diffusion preventing structure so that the mixture of methanol and water can flow from the flow channel 11A side to the flow channel 12A without passing through the diffusion member 20. Since the mixture is configured not to be discharged to the side, it is possible to suppress the mixture from being unreacted and discharged to the flow path 12A and to react the supplied mixture efficiently. That is, the amount of hydrogen generated per area of the supply region of the flow path 11A can be further improved.

本実施形態において、流路板10としては、たとえば、金属、シリコン基板、ガラス基板など混合物に対する透過性のない基板であれば任意のものが使用可能である。本実施の形態における典型的な例では、微細加工を施したシリコン基板が用いられている。また、流路11A,12Aが供給抑制部材50側に開口する幅は、たとえば2μmから200μm程度であり、流路11A,12Aの深さは2μmから200μm程度であるが、本発明においては、流路11A,12Aのサイズは、拡散部材20の拡散速度や厚さなどによって相対的に決まることから、特にサイズをこれに限定するものではなく、両流路の幅および深さも、必ずしも互いに同じでなくてもよい。   In the present embodiment, as the flow path plate 10, any substrate can be used as long as it is a substrate having no permeability to the mixture, such as a metal, a silicon substrate, and a glass substrate. In a typical example of the present embodiment, a silicon substrate that has been subjected to microfabrication is used. Further, the width of the flow paths 11A, 12A opening to the supply suppressing member 50 side is, for example, about 2 μm to 200 μm, and the depth of the flow paths 11A, 12A is about 2 μm to 200 μm. Since the sizes of the passages 11A and 12A are relatively determined by the diffusion speed and thickness of the diffusion member 20, the size is not particularly limited to this, and the widths and depths of both flow paths are not necessarily the same. It does not have to be.

また、拡散部材20としては、たとえば、多孔質シリコン、カーボンペーパー、カーボンの焼結体、ニッケルなどの焼結金属、発泡金属など、耐薬品性を備えた多孔質材が使用可能であるが、多孔質材の孔径が流路11Aからの流体を拡散部材20内へ引き込み得るもので、反応熱等による温度上昇に耐え得る耐熱性を有するものあればよく、拡散部材はこれらに特に限定されるものではない。本実施の形態における典型的な例では、拡散部材20として、孔径が数μmから数10μm程度の孔が形成された多孔質のカーボン焼結体が用いられている。   Further, as the diffusion member 20, for example, a porous material having chemical resistance such as porous silicon, carbon paper, a sintered body of carbon, a sintered metal such as nickel, a foam metal, etc. can be used. As long as the pore diameter of the porous material can draw the fluid from the flow path 11A into the diffusion member 20 and has heat resistance capable of withstanding the temperature rise due to reaction heat or the like, the diffusion member is particularly limited to these. It is not a thing. In a typical example in the present embodiment, a porous carbon sintered body in which holes having a pore diameter of about several μm to several tens of μm are formed as the diffusing member 20.

多孔質の拡散部材20の表面には、改質触媒が形成されてもよい。改質触媒は、メタノールおよび水に対して化学反応を促進する作用を有し、メタノール及び水から水素及び二酸化炭素を生成する機能を有するものである。   A reforming catalyst may be formed on the surface of the porous diffusion member 20. The reforming catalyst has an action of promoting a chemical reaction with respect to methanol and water, and has a function of generating hydrogen and carbon dioxide from methanol and water.

供給抑制部材50は、拡散部材20よりも混合物を透過しにくい材料であればよい。たとえば、金属、シリコン基板、ガラス基板、もしくはポリイミドなど耐熱性を有する樹脂材料などに微細孔や微細なスリットを加工したもの、または多孔質材が使用可能であるが、局所的な流量にばらつきの少ない多孔質材が好ましい。多孔質材の孔径は、拡散部材20の膜厚や孔径に応じて相対的に決まるものであり、特に限定されないが、例えば、膜厚が1μmから30μm程度、多孔質材の孔径が0.01μmから1μm程度のものを用いることができる。供給抑制部材50の透過速度は、拡散部材20の透過速度に対して、例えば、ガーレー試験機法により透気度を測定した場合に、一桁から二桁程度低い数値となることが好ましい。   The supply suppressing member 50 may be any material that is less permeable to the mixture than the diffusion member 20. For example, metal, silicon substrate, glass substrate, heat-resistant resin material such as polyimide, etc. with fine holes and fine slits processed or porous material can be used, but local flow rate varies. Less porous material is preferred. The pore diameter of the porous material is relatively determined according to the film thickness and the pore diameter of the diffusion member 20, and is not particularly limited. For example, the film thickness is about 1 μm to 30 μm, and the pore diameter of the porous material is 0.01 μm. To about 1 μm can be used. The permeation speed of the supply suppressing member 50 is preferably a numerical value lower than the permeation speed of the diffusion member 20 by about one to two digits when the air permeability is measured by the Gurley tester method, for example.

拡散防止構造を構成する第1部分51は、流路11Aから供給抑制部材50に拡散してきた混合物が、拡散部材20側に透過せずに壁13の下部あるいは供給抑制部材50内を経由して隣接する流路12Aへ透過するのを抑制する構造であればよい。第1部分51は、たとえば、金属、シリコン基板、ガラス基板、ポリイミドなどからなる供給抑制部材50における流路11A,12Aに面する第2部分52および第3部分53のみを多孔質化するか、または、微細孔や微細なスリットを設けることにより形成可能である。また、拡散防止構造である第1部分51は、流路11Aに対向する第2部分52や流路12Aに対向する第3部分53が閉塞して、流路11Aから拡散部材20への流れや拡散部材20から流路12Aへの流れを阻害しなければよく、壁13から流路溝側にはみ出すように第1部分51を形成してもよく、あるいは、壁13の幅よりも狭く第1部分51を形成してもよい。   The first part 51 constituting the diffusion preventing structure is such that the mixture diffused from the flow path 11 </ b> A to the supply suppressing member 50 does not permeate the diffusion member 20 side and passes through the lower part of the wall 13 or the supply suppressing member 50. Any structure that suppresses permeation to the adjacent flow path 12A may be used. For example, the first portion 51 is made porous only by the second portion 52 and the third portion 53 facing the flow paths 11A and 12A in the supply suppressing member 50 made of metal, a silicon substrate, a glass substrate, polyimide, or the like, Alternatively, it can be formed by providing fine holes or fine slits. In addition, the first portion 51 which is a diffusion preventing structure is configured such that the second portion 52 facing the flow channel 11A and the third portion 53 facing the flow channel 12A are closed, and the flow from the flow channel 11A to the diffusion member 20 is blocked. The first portion 51 may be formed so as to protrude from the wall 13 to the flow channel groove side, or the first portion 51 narrower than the width of the wall 13 may be used as long as the flow from the diffusion member 20 to the flow channel 12A is not hindered. The portion 51 may be formed.

供給抑制部材50は、膜厚方向に比べて平面方向に上記供給物質(混合物)が透過しにくいような構造とすることが好ましい。拡散防止構造としての第1部分51は、流路11Aから供給抑制部材50に拡散してきた混合物が、流路11Aから拡散部材20に向かう流れの方向から逸脱する方向に透過しにくい構造であればよいので、上記のように、膜厚方向に比べて平面方向に供給物質が透過しにくいような構造とすることにより、供給抑制部材50に、流路11A,11Bのパターンに合わせた第1部分51を形成しなくても、流路11Aに面する第2部分52は膜厚方向、即ち流路11Aから拡散部材20に向かう方向に透過しやすく、壁13下部では、平面方向、即ち流路11A側から流路12A側へ透過しにくい拡散防止構造を形成することができる。このようにすることで、マイクロ流体デバイスの製造工程が簡略化される。   It is preferable that the supply suppressing member 50 has a structure in which the supply substance (mixture) is less likely to permeate in the plane direction as compared with the film thickness direction. The first portion 51 as the diffusion preventing structure is a structure in which the mixture diffused from the flow path 11A to the supply suppressing member 50 is difficult to permeate in a direction deviating from the flow direction from the flow path 11A toward the diffusion member 20. Since the structure is such that the supply substance does not easily permeate in the plane direction as compared with the film thickness direction as described above, the first portion matched to the pattern of the flow paths 11A and 11B is provided in the supply suppression member 50. Even if 51 is not formed, the second portion 52 facing the flow path 11A can easily pass through in the film thickness direction, that is, the direction from the flow path 11A toward the diffusion member 20, and in the lower part of the wall 13, the planar direction, that is, the flow path A diffusion preventing structure that hardly permeates from the 11A side to the flow path 12A side can be formed. By doing so, the manufacturing process of the microfluidic device is simplified.

また、供給抑制部材50は、膜厚方向に比べて平面方向に拡散部材20からの排出物質が透過しにくい構造とすることが好ましい。これにより、拡散部材20から供給抑制部材50に透過してきた排出物質が、拡散部材20から流路12Aに向かう流れの方向から逸脱する方向に透過するのを抑制することができる。したがって、拡散部材20から排出物質が流路12Aから壁13の下部を通りあるいは供給抑制部材の内部を通って流路11Aへ逆流するのを防ぐことができる。また、供給抑制部材50に、流路11A,12Aのパターンに合わせた拡散防止構造を形成しなくても、壁13の下部において、平面方向すなわち流路12A側から流路11A側へ透過しにくい拡散防止構造を形成することができるため、マイクロと流体デバイスの製造工程が簡略化される。   Further, it is preferable that the supply suppressing member 50 has a structure in which the discharged substance from the diffusion member 20 is less likely to permeate in the plane direction as compared with the film thickness direction. Thereby, it is possible to suppress the emission material that has permeated from the diffusion member 20 to the supply suppressing member 50 from permeating in a direction deviating from the direction of the flow from the diffusion member 20 toward the flow path 12A. Therefore, it is possible to prevent the discharged substance from the diffusion member 20 from flowing backward from the flow path 12A through the lower portion of the wall 13 or through the inside of the supply suppressing member to the flow path 11A. Further, even if the supply suppressing member 50 is not formed with a diffusion prevention structure that matches the pattern of the flow paths 11A and 12A, it is difficult for light to permeate from the plane direction, that is, from the flow path 12A side to the flow path 11A side at the lower portion of the wall 13. Since the diffusion preventing structure can be formed, the manufacturing process of the micro and fluidic devices is simplified.

上記のような供給抑制部材50は、たとえば、供給抑制部材50に膜厚方向にのみ微細孔や微細スリットを形成し、微細孔の径や微細スリットの長さを壁13の幅よりも小さくすることで作製可能である。また、多孔質材は、延伸することで該延伸方向に直交する平面方向に流体を透過させにくくすることができるので、供給抑制部材50に多孔質材を用いた場合は、該多孔質材を流路11A,12Aの流れの方向に延伸方向を合わせることにより、流路11Aから壁13の下部または供給抑制部材50の内部を通って流路12Aへ混合物が透過することを抑制することができるとともに、流路12Aから壁13の下部または供給抑制部材50の内部を通って流路11Aへ排出物質が透過することを抑制することができる。   The supply suppression member 50 as described above, for example, forms micropores or microslits only in the film thickness direction in the supply suppression member 50, and makes the diameter of the microholes or the length of the microslits smaller than the width of the wall 13. Can be produced. Further, since the porous material can be made difficult to allow fluid to permeate in a plane direction orthogonal to the stretching direction by stretching, when the porous material is used for the supply suppressing member 50, the porous material is By adjusting the extending direction to the flow direction of the flow paths 11A and 12A, it is possible to suppress the mixture from passing through the flow path 11A through the lower portion of the wall 13 or the inside of the supply suppressing member 50 to the flow path 12A. At the same time, it is possible to prevent the discharged substance from passing from the flow path 12A to the flow path 11A through the lower portion of the wall 13 or the inside of the supply suppressing member 50.

拡散防止構造である第1部分51は、供給抑制部材50内に供給物質の拡散を抑制する物質を含有させた構造であることが好ましい。これにより、混合物が流路11Aから壁13の下部、または、供給抑制部材50内部を通って流路12Aへ透過するのをより確実に阻止することができる。   The first portion 51, which is a diffusion preventing structure, preferably has a structure in which a substance that suppresses the diffusion of the supplied substance is contained in the supply suppressing member 50. Thereby, it can prevent more reliably that a mixture permeate | transmits to the flow path 12A from the flow path 11A through the lower part of the wall 13, or the supply suppression member 50 inside.

壁13下部の供給抑制部材50に微細孔などが残っていると、壁13と供給抑制部材50との接合界面での供給物質(混合物)および排出物質のリークが発生しやすい。また、供給抑制部材50に多孔質材を用いる場合には、供給抑制部材50内の平面方向の透過を完全になくすことはできない。しかし、供給抑制部材50内に、混合物の拡散を抑制する物質を含有させることで、壁13との接合界面でのリークを抑制し、供給抑制部材50内の平面方向の透過を抑制することができる。供給抑制部材50内に含有させる物質としては、アクリル系樹脂やポリイミド系樹脂を用いることができる。   If a fine hole or the like remains in the supply suppressing member 50 below the wall 13, leakage of the supply substance (mixture) and the discharged substance at the joining interface between the wall 13 and the supply suppression member 50 is likely to occur. Further, when a porous material is used for the supply suppressing member 50, the transmission in the planar direction in the supply suppressing member 50 cannot be completely eliminated. However, by containing a substance that suppresses the diffusion of the mixture in the supply suppressing member 50, it is possible to suppress leakage at the bonding interface with the wall 13 and suppress transmission in the planar direction in the supply suppressing member 50. it can. As a substance to be contained in the supply suppressing member 50, an acrylic resin or a polyimide resin can be used.

また、拡散防止構造である第1部分51は、供給抑制部材50内に排出物質の拡散を抑制する物質を含有させた構造であることが好ましい。これにより、拡散部材20からの排出物質が流路12Aから壁13の下部、あるいは供給抑制部材50の内部を通り流路11Aへ透過するのをより確実に阻止することができる。   Moreover, it is preferable that the 1st part 51 which is a spreading | diffusion prevention structure is a structure which made the supply suppression member 50 contain the substance which suppresses the spreading | diffusion of discharge | emission substance. Thereby, it is possible to more reliably prevent the discharged substance from the diffusion member 20 from passing through the flow path 12A through the lower portion of the wall 13 or the inside of the supply suppressing member 50 to the flow path 11A.

次に、図3を用いて、供給抑制部材50内に供給物質および排出物質の拡散を抑制する物質を含有させる構造の製造方法について説明する。まず、図3(a)に示すように、流路溝の形成された流路板10と、拡散抑制物質となる充填材を含む材料511Aの層を形成した基板511Bとを準備する。次に、図3(b)に示すように、流路板10を材料511Aの層を形成した基板511B上にのせ、流路溝の形成されていない凸部領域10Aを、充填材を含む材料511Aに貼り合わせる。その後、図3(c)に示すように、基板511Bを流路板10から剥がすと、流路板10の流路溝の形成されていない領域10Aに充填材を含む材料51Aが転写される。次に、図3(d)および図3(e)に示すように、材料51Aが転写された流路板10を供給抑制部材50に貼り合わせて、アニールすることで、充填材が供給抑制部材50内に拡散し、充填材が含浸する領域(第1部分51)が形成される。これにより、流路板10と供給抑制部材50を確実に隙間なく貼り合わせることができるとともに、供給物質および排出物質の拡散を抑制する物質が含浸された拡散防止構造(第1部分51)を形成することができる。   Next, a manufacturing method of a structure in which the supply suppressing member 50 contains a substance that suppresses the diffusion of the supply substance and the discharged substance will be described with reference to FIG. First, as shown in FIG. 3A, a flow path plate 10 in which flow path grooves are formed and a substrate 511B on which a layer of a material 511A containing a filler that becomes a diffusion suppressing substance is formed are prepared. Next, as shown in FIG. 3B, the flow path plate 10 is placed on the substrate 511B on which the layer of the material 511A is formed, and the convex region 10A in which the flow path groove is not formed is made of a material containing a filler. Bond to 511A. Thereafter, as shown in FIG. 3C, when the substrate 511 </ b> B is peeled off from the flow path plate 10, the material 51 </ b> A containing the filler is transferred to the area 10 </ b> A where the flow path grooves of the flow path plate 10 are not formed. Next, as shown in FIGS. 3D and 3E, the flow path plate 10 to which the material 51A is transferred is bonded to the supply suppressing member 50 and annealed, so that the filler is supplied to the supply suppressing member. A region (first portion 51) that is diffused into 50 and impregnated with the filler is formed. Thereby, the flow path plate 10 and the supply suppressing member 50 can be reliably bonded together without any gap, and the diffusion preventing structure (first portion 51) impregnated with the substance that suppresses the diffusion of the supply substance and the discharge substance is formed. can do.

流路板10としては、すでに述べたように、金属、シリコン基板、ガラス基板など混合物に対する透過性の無い基板であれば使用可能であるが、ここでは、流路板10としてガラス基板を使用する際の条件を例に記述する。充填材を含む材料511Aとしては、塗布しやすいように溶剤に溶かしたアクリル系樹脂を用いた。膜厚は約50μmである。材料511Aの膜厚は、供給抑制部材50の膜厚により変化するので、上記の値に限定するものではないが、供給抑制部材50の膜厚の1倍から3倍程度とするのがよい。この膜厚が小さすぎると、供給抑制部材50内に十分充填できなくなり、逆に大きすぎると、充填される領域(第1部分51)が平面方向に広がりすぎて、流路溝に対向する充填材のない領域(第2部分52および第3部分53)を狭くしすぎてしまう。   As the flow path plate 10, as described above, any substrate that is not permeable to a mixture such as a metal, a silicon substrate, or a glass substrate can be used. However, here, a glass substrate is used as the flow path plate 10. Describe the conditions at the time. As the material 511A including the filler, an acrylic resin dissolved in a solvent so as to be easily applied was used. The film thickness is about 50 μm. Since the film thickness of the material 511 </ b> A varies depending on the film thickness of the supply suppressing member 50, the thickness is not limited to the above value, but is preferably about 1 to 3 times the film thickness of the supply suppressing member 50. If the film thickness is too small, the supply suppressing member 50 cannot be sufficiently filled. Conversely, if the film thickness is too large, the filled region (first portion 51) is too wide in the plane direction to fill the channel groove. The region without the material (the second portion 52 and the third portion 53) is made too narrow.

基板511Bは、特に材料を限定するものではないが、フレキシブルで平坦性の高いものを用いるのが望ましい。ここでは、PET(ポリエチレンテレフタレート)フィルムを用いた。PETは、柔軟性があるために流路板10から剥がしやすく、平坦性が高いため、充填材を含む材料511AがPETフィルムからはがれやすい。このため、流路板10に転写された材料511Aの膜厚を十分に確保することができる。また、流路板10と供給抑制部材50とを貼り合わせる際のアニールについては、アクリル系樹脂の場合、80℃から120℃程度の温度で10分から60分程度アニールすることで、十分に充填材の含浸および流路板10と供給抑制部材50との貼り合わせを行なうことができる。アニール温度やアニール時間は、これに限定するものではないが、本実施条件においては、80℃以下では充填材を含む材料を塗布するために用いた溶剤が十分揮発せずに充填材の供給抑制部材50内での固着が不十分になる虞がある。また、120℃以上の温度では、充填材を含む材料の供給抑制部材50内での拡散が速く、微細な流路パターンへの適用が困難になる虞がある。充填材の拡散を抑制し、確実に供給抑制部材内に固着させるためには、徐々に30分くらい時間をかけて温度を上げ100℃以上の温度で10分程度アニールするとよい。   The substrate 511B is not particularly limited in material, but it is preferable to use a flexible and highly flat substrate. Here, a PET (polyethylene terephthalate) film was used. Since PET has flexibility, it can be easily peeled off from the flow path plate 10 and has high flatness, so that the material 511A containing the filler is easily peeled off from the PET film. For this reason, the film thickness of the material 511A transferred to the flow path plate 10 can be sufficiently ensured. In addition, as for annealing when the flow path plate 10 and the supply suppressing member 50 are bonded together, in the case of acrylic resin, annealing is performed for about 10 minutes to 60 minutes at a temperature of about 80 ° C. to 120 ° C. And the flow path plate 10 and the supply suppressing member 50 can be bonded together. The annealing temperature and annealing time are not limited to this, but under this condition, the supply of the filler is suppressed because the solvent used for applying the material including the filler is not sufficiently evaporated at 80 ° C. or lower. There is a possibility that the fixing in the member 50 becomes insufficient. Further, at a temperature of 120 ° C. or higher, the material containing the filler is rapidly diffused in the supply suppressing member 50, which may make it difficult to apply to a fine flow path pattern. In order to suppress the diffusion of the filler and securely fix it in the supply suppressing member, it is preferable to gradually increase the temperature over about 30 minutes and anneal at a temperature of 100 ° C. or more for about 10 minutes.

上記充填材を含む材料511Aが転写される流路板10の流路溝が形成されていない凸部領域10Aに、上記充填材を含む材料を内部に取り込むあるいは含浸できる凹凸構造を設けることが好ましい。これにより、流路板10と充填材を含む材料511Aとの接着強度が高められ、流路板10と供給抑制部材50の貼り合せ強度を高めることができる。図4に、このような構造の例を示す。凸部領域10Aに溝を形成したり(図4(a))、表面粗度を高めたり(図4(b))、表面の平坦性を低くする(図4(c))ことにより、流路板10と材料511Aとの接着強度を高めることが可能である。   It is preferable to provide a concavo-convex structure capable of taking in or impregnating the material containing the filler into the convex region 10A where the channel groove of the channel plate 10 to which the material 511A containing the filler is transferred is not formed. . Thereby, the adhesive strength between the flow path plate 10 and the material 511A containing the filler is increased, and the bonding strength between the flow path plate 10 and the supply suppressing member 50 can be increased. FIG. 4 shows an example of such a structure. By forming grooves in the convex region 10A (FIG. 4 (a)), increasing the surface roughness (FIG. 4 (b)), or reducing the surface flatness (FIG. 4 (c)), the flow is improved. It is possible to increase the adhesive strength between the road plate 10 and the material 511A.

流路11Aに供給物質(メタノールと水の混合物)が供給されている状態において、流路11Aに対向する第2部分52の拡散部材20側から流路11A側へ、排出物質が透過するのに必要な圧力が、拡散部材20からの排出物質の排出圧力以上である。これにより、拡散部材20から供給抑制部材50の流路11Aに対向する第2部分52を通り、流路11Aに排出物質が逆流して混合物の供給を阻害することを防止できる。   In a state where the supply substance (mixture of methanol and water) is supplied to the flow path 11A, the discharged substance permeates from the diffusion member 20 side of the second portion 52 facing the flow path 11A to the flow path 11A. The necessary pressure is equal to or higher than the discharge pressure of the discharged material from the diffusion member 20. Accordingly, it is possible to prevent the discharge material from flowing back to the flow path 11A through the second portion 52 facing the flow path 11A of the supply suppressing member 50 from the diffusion member 20 and inhibiting the supply of the mixture.

通常、流路11Aからメタノールと水の混合物を供給する場合、混合物の圧力は、供給抑制部材50の第2部分52を挟み流路11A側の方が拡散部材20側より高い。化学反応式(1)に示すように、所定の温度に保たれている拡散部材20で混合物の改質反応が進むと拡散部材20内に水素と二酸化炭素が生成されるため、生成したこれらの排出物質の圧力が上昇し、流路11Aに供給物質(メタノールと水の混合物)が供給されている状態における拡散部材20から流路11A側へ排出物質が透過するのに必要な圧力を上回ると、排出物質が流路11A側に逆流するが、下流の流路12A側が拡散部材20側よりも圧力が低いため、常に、排出物質が拡散部材20側から流路11Aに向かって供給抑制部材50を透過するのに必要な圧力以下に排出物質の排出圧力を保つことができる。これにより、流路11Aに排出物質が逆流して流路11Aからの混合物の供給を阻害することを防止することができる。   Usually, when a mixture of methanol and water is supplied from the flow path 11A, the pressure of the mixture is higher on the flow path 11A side than the diffusion member 20 side with the second portion 52 of the supply suppressing member 50 interposed therebetween. As shown in chemical reaction formula (1), hydrogen and carbon dioxide are generated in the diffusion member 20 when the reforming reaction of the mixture proceeds in the diffusion member 20 maintained at a predetermined temperature. When the pressure of the discharged substance rises and exceeds the pressure necessary for the discharged substance to permeate from the diffusion member 20 to the flow path 11A side in the state where the supply substance (mixture of methanol and water) is supplied to the flow path 11A The exhaust material flows backward to the flow channel 11A side, but since the pressure on the downstream flow channel 12A side is lower than that on the diffusion member 20 side, the exhaust material is always supplied from the diffusion member 20 side toward the flow channel 11A. The discharge pressure of the discharged material can be kept below the pressure required to permeate the gas. Thereby, it is possible to prevent the discharged substance from flowing backward into the flow path 11A and hindering the supply of the mixture from the flow path 11A.

拡散部材20に混合物が供給されている状態において、流路12Aに対向する第3部分53の拡散部材20側から流路12A側へ混合物が透過するのに必要な圧力が、拡散部材20からの混合物の排出圧力以上である。これにより、ヒータ60がOFFして改質反応が停止した場合、あるいは、ヒータ60をOFFにして拡散部材20が所定の温度以下に下降している状態のように、拡散部材20内の混合物がメタノールと水の混合物として液化している場合において、液化した混合物が流路12Aに排出されることを防止することができる。   In a state where the mixture is supplied to the diffusing member 20, the pressure necessary for the mixture to permeate from the diffusing member 20 side of the third portion 53 facing the channel 12 </ b> A to the channel 12 </ b> A side is from the diffusing member 20. Above the discharge pressure of the mixture. As a result, when the heater 60 is turned off and the reforming reaction is stopped, or when the heater 60 is turned off and the diffusion member 20 is lowered below a predetermined temperature, the mixture in the diffusion member 20 is removed. When liquefied as a mixture of methanol and water, the liquefied mixture can be prevented from being discharged to the flow path 12A.

ここで、供給抑制部材50を液体状態の混合物が拡散部材20から流路12A側へ透過するのに必要な圧力について説明する。拡散部材20側の混合物(液体)が供給抑制部材50に浸透しようとする際、供給抑制部材50の微細孔内の混合物(液体)と流路12A側のガスとの界面に形成されるメニスカスの力のつりあいを示す式は、次式のように表される。   Here, the pressure required for the mixture in the liquid state to pass through the supply suppressing member 50 from the diffusion member 20 to the flow path 12A side will be described. When the mixture (liquid) on the diffusion member 20 side tries to permeate the supply suppression member 50, the meniscus formed at the interface between the mixture (liquid) in the micropores of the supply suppression member 50 and the gas on the flow path 12A side. The formula showing the balance of force is expressed as the following formula.

1=σ・cos(π−α)/d+Pg・・・・(2)
ここで、P1は混合物の圧力、Pgは流路12A側のガスの圧力、σは混合物の表面張力、αはメニスカスと微細孔内壁の角度、dは供給抑制部材50の微細孔内径である。つまり、混合物の排出圧力がP1のとき、微細孔の内径がdの値のところまで混合物は微細孔内へ入っていくことができ、混合物の排出圧力が微細孔内径dが最小のときの(2)式のP1の値以上のとき、拡散部材20側から流路12A側へ混合物が供給抑制部材50を通過することができる。したがって、拡散部材20からの混合物の排出圧力が、このときのP1より小さい場合は、メニスカスのつりあいの位置は、微細孔の内径が最小のところまで入っていくことができず、混合物が流路12Aに排出するのを防止することができる。
P 1 = σ · cos (π−α) / d + P g (2)
Here, P 1 is the pressure of the mixture, P g is the pressure of the gas on the flow path 12A side, σ is the surface tension of the mixture, α is the angle between the meniscus and the inner wall of the fine hole, and d is the inner diameter of the fine hole of the supply suppressing member 50. is there. That is, when the discharge pressure of the mixture is P 1 , the mixture can enter the micropores up to the value of the micropore inner diameter d, and the discharge pressure of the mixture when the micropore inner diameter d is the minimum. (2) when equation above values of P 1, it is possible to mixture diffusing member 20 side into the channel 12A side passes through the supply suppressing member 50. Therefore, when the discharge pressure of the mixture from the diffusion member 20 is smaller than P 1 at this time, the balance position of the meniscus cannot enter the position where the inner diameter of the micropore is minimum, and the mixture flows. It is possible to prevent discharge to the path 12A.

次に、本実施の形態に係るマイクロ流体デバイスを水素を燃料とする燃料電池の燃料改質器に用いた例について、図5を用いて説明する。   Next, an example in which the microfluidic device according to the present embodiment is used in a fuel reformer of a fuel cell using hydrogen as a fuel will be described with reference to FIG.

図5に示すように、燃料電池100は、基本的な構成として、ハウジング101内に、燃料極102と、酸化剤極103と、電解質膜104とを含んで構成される。燃料タンク105(メタノールタンク)から、メタノールと水とからなる混合物が、マイクロ流体デバイス1に供給される。メタノールの水蒸気改質反応によって生成した水素が、燃料極室107に供給される。燃料極室107に供給された水素は、燃料極102において反応し、プロトン(水素イオン)と電子とを生成する。燃料極102で生成されたプロトンは、電解質膜104を透過して酸化剤極103に移動し、電子は、燃料極102から外部回路(図示せず)を経由して酸化剤極103に流れる、この電子が燃料電池の出力として使用される。未反応の水素は、燃料極102から燃料極室107に排出される。   As shown in FIG. 5, the fuel cell 100 is configured to include a fuel electrode 102, an oxidant electrode 103, and an electrolyte membrane 104 in a housing 101 as a basic configuration. A mixture of methanol and water is supplied to the microfluidic device 1 from the fuel tank 105 (methanol tank). Hydrogen generated by the steam reforming reaction of methanol is supplied to the fuel electrode chamber 107. Hydrogen supplied to the fuel electrode chamber 107 reacts at the fuel electrode 102 to generate protons (hydrogen ions) and electrons. Protons generated at the fuel electrode 102 pass through the electrolyte membrane 104 and move to the oxidant electrode 103, and electrons flow from the fuel electrode 102 to the oxidant electrode 103 via an external circuit (not shown). These electrons are used as the output of the fuel cell. Unreacted hydrogen is discharged from the fuel electrode 102 to the fuel electrode chamber 107.

一方、酸化剤極103では、圧縮機109によって酸素が酸化剤極室110に供給される。この酸素は、酸化剤極室110から酸化剤極103内に拡散する。酸化剤極103では、酸素が燃料極102から拡散してきたプロトンと反応して水を生成する。生成した水は水蒸気となって、未反応の酸素とともに出口ポート111を介して酸化剤極室110から排出される。図5に示す例では、酸化剤として酸素が使用されているが、酸化剤として空気を使用することも可能である。   On the other hand, in the oxidant electrode 103, oxygen is supplied to the oxidant electrode chamber 110 by the compressor 109. This oxygen diffuses from the oxidant electrode chamber 110 into the oxidant electrode 103. In the oxidizer electrode 103, oxygen reacts with protons diffused from the fuel electrode 102 to generate water. The generated water becomes steam and is discharged from the oxidant electrode chamber 110 through the outlet port 111 together with unreacted oxygen. In the example shown in FIG. 5, oxygen is used as the oxidant, but air can also be used as the oxidant.

上述した内容について要約すると以下のようになる。すなわち、本実施の形態に係るマイクロ流体デバイスは、たとえば図5に示す燃料電池の燃料改質器として使用可能なマイクロ流体デバイスであって、流路溝11,12を有する流路板10と、流路板10に対向するように配置され、流路溝11から供給された供給物質を拡散させる拡散部材20と、流路板10と拡散部材20との間に介装された「介装部材」としての供給抑制部材50とを備える。流路溝11,12は、拡散部材20に供給物質を供給するための「第1の流路」としての流路11Aと、拡散部材20からの排出物質を排出する「第2の流路」としての流路12Aとを形成する。流路11A,12Aは互いに分離されており、供給抑制部材50は、流路板10の流路溝11,12が形成された主表面における非流路領域(凸部領域10A)に対向する部分に、供給抑制部材50の平面方向における供給物質および排出物質の拡散を抑制する「拡散防止構造」としての第1部分51を有している。   The contents described above are summarized as follows. That is, the microfluidic device according to the present embodiment is a microfluidic device that can be used, for example, as a fuel reformer of the fuel cell shown in FIG. A diffusion member 20 that is disposed so as to face the flow path plate 10 and diffuses the supply substance supplied from the flow path groove 11, and an “interposition member” interposed between the flow path plate 10 and the diffusion member 20. And a supply suppressing member 50. The channel grooves 11, 12 are a channel 11 </ b> A as a “first channel” for supplying a supply substance to the diffusion member 20, and a “second channel” for discharging the discharge substance from the diffusion member 20. As a flow path 12A. The flow paths 11A and 12A are separated from each other, and the supply suppressing member 50 is a portion facing the non-flow area (convex area 10A) on the main surface where the flow grooves 11 and 12 of the flow path plate 10 are formed. The first portion 51 as a “diffusion prevention structure” that suppresses the diffusion of the supply substance and the discharge substance in the planar direction of the supply suppression member 50.

本実施の形態に係るマイクロ流体デバイスによれば、拡散部材20に面した流路11Aから、供給抑制部材50を通して供給物質をほぼ均一に少しずつ拡散部材20全域に供給することができる。さらに、非流路領域となる壁13の下部は、供給抑制部材50の第1部分51により、拡散部材20を経由しないで供給物質が流路11A側から流路12A側に排出されないよう構成されているので、供給物質が未反応で流路12Aから排出されるのを抑制し、供給した供給物質を効率よく反応させることができる。すなわち、供給域の面積あたりの反応量をさらに向上させることができる。   According to the microfluidic device according to the present embodiment, the supply substance can be supplied almost uniformly little by little from the flow path 11 </ b> A facing the diffusion member 20 through the supply suppression member 50. Further, the lower portion of the wall 13 that becomes the non-flow channel region is configured so that the supply substance is not discharged from the flow channel 11A side to the flow channel 12A side without passing through the diffusion member 20 by the first portion 51 of the supply suppression member 50. Therefore, it is possible to suppress the supply substance from being unreacted and discharged from the flow path 12A, and to efficiently react the supplied supply substance. That is, the reaction amount per area of the supply area can be further improved.

(実施の形態2)
図6は、本発明の実施形態2に係る燃料電池の構成を示す平面図であり、図7,図8は、それぞれ、図6におけるVII−VII断面図,VIII−VIII断面図である。
(Embodiment 2)
6 is a plan view showing a configuration of a fuel cell according to Embodiment 2 of the present invention, and FIGS. 7 and 8 are a VII-VII sectional view and a VIII-VIII sectional view in FIG. 6, respectively.

図6,図7を参照して、本実施の形態に係る燃料電池は、流路板10と、ポート30,40と、供給抑制部材50と、ヒータ60と、ハウジング70と、蓋部80とを含んで構成される。   Referring to FIGS. 6 and 7, the fuel cell according to the present embodiment includes a flow path plate 10, ports 30 and 40, a supply suppressing member 50, a heater 60, a housing 70, and a lid 80. It is comprised including.

図7に示すように、本実施の形態に係る燃料電池は、燃料極102と、燃料極102に対向するように配置された電解質膜104と、燃料極102の反対側で電解質膜104に対向するように配置された酸化剤極103とを含む。燃料極102、電解質膜104および酸化剤極103は、燃料極102と酸化剤極103とで電解質膜104を挟んだ状態で、ハウジング70内に収容されている。ハウジング70の一方の面(上面)には、燃料極102に対向するように配置された流路板10の縁部が接合され取り付けられている。   As shown in FIG. 7, the fuel cell according to the present embodiment has a fuel electrode 102, an electrolyte membrane 104 disposed so as to face the fuel electrode 102, and the electrolyte membrane 104 opposite to the fuel electrode 102. And an oxidant electrode 103 arranged so as to be included. The fuel electrode 102, the electrolyte membrane 104, and the oxidizer electrode 103 are accommodated in the housing 70 with the electrolyte membrane 104 sandwiched between the fuel electrode 102 and the oxidizer electrode 103. One edge (upper surface) of the housing 70 is joined and attached to the edge of the flow path plate 10 disposed so as to face the fuel electrode 102.

図6に示すように、流路板10は、液体燃料の供給口をなす貫通口(ポート30)と、排出ガスの排出口をなす貫通口(ポート40)と、供給口からくし歯状に延在する流路溝11と、排出口からくし歯状に延在する流路溝12とを有する。   As shown in FIG. 6, the flow path plate 10 has a through-hole (port 30) that forms a supply port for liquid fuel, a through-port (port 40) that forms a discharge port for exhaust gas, and a comb-tooth shape from the supply port. It has a channel groove 11 that extends and a channel groove 12 that extends in a comb-tooth shape from the discharge port.

流路溝11と流路溝12とは、所定の厚さの壁13で隔てられ、分離されている。流路板10の壁13は、燃料極102に接している。したがって、流路溝11と燃料極102とで形成される流路11Aと、流路溝12と燃料極102とで形成される流路12Aとは壁13で分離されている。この流路板10としては、金属、シリコン基板、ガラス基板、樹脂基板など液体燃料に対する透過性の無い基板が使用可能であるが、ここでは微細加工を施したニッケル板を用いている。   The channel groove 11 and the channel groove 12 are separated by a wall 13 having a predetermined thickness. The wall 13 of the flow path plate 10 is in contact with the fuel electrode 102. Therefore, the channel 11 A formed by the channel groove 11 and the fuel electrode 102 and the channel 12 A formed by the channel groove 12 and the fuel electrode 102 are separated by the wall 13. As the flow path plate 10, a substrate that is not permeable to liquid fuel, such as a metal, a silicon substrate, a glass substrate, or a resin substrate, can be used, but here, a nickel plate that has been subjected to microfabrication is used.

流路板10が導電性のないガラス基板など絶縁性の材料からなる場合は、導電性の配線層を、流路板10と供給抑制部材50との間に挿入してもよい。配線層としては、たとえば、無電解めっきで形成した金薄膜を用いることができる。また、流路板10と燃料極102の拡散層20Aとの間には、流路11Aから拡散層20Aへの液体燃料の供給を抑制する供給抑制部材50が設けられている。供給抑制部材50は、流路板10の流路溝11,12を有する面の非流路領域に対向する部位に設けられる第1部分51と、第1部分51の両側に位置する第2部分52および第3部分53とを有する。第1部分51は、液体燃料の拡散防止構造を構成する。   When the flow path plate 10 is made of an insulating material such as a non-conductive glass substrate, a conductive wiring layer may be inserted between the flow path plate 10 and the supply suppressing member 50. As the wiring layer, for example, a gold thin film formed by electroless plating can be used. A supply suppressing member 50 that suppresses the supply of liquid fuel from the flow path 11A to the diffusion layer 20A is provided between the flow path plate 10 and the diffusion layer 20A of the fuel electrode 102. The supply suppressing member 50 includes a first portion 51 provided in a portion facing the non-flow-path region of the surface having the flow-path grooves 11 and 12 of the flow-path plate 10, and second portions located on both sides of the first portion 51. 52 and a third portion 53. The first portion 51 constitutes a liquid fuel diffusion prevention structure.

供給抑制部材50は、拡散層20Aよりも燃料の透過しにくい材料であればよい。金属、シリコン基板、ガラス基板、さらに、ポリイミド、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)などの樹脂材料に微細孔や微細なスリットを加工したもの、あるいは多孔質材が使用可能であるが、局所的な流量にばらつきの少ない多孔質材が好ましい。多孔質材の孔径は、拡散層20Aの膜厚や孔径に応じて相対的に決まるものであり、特に限定されないが、たとえば、膜厚が1μmから30μm程度、多孔質材の孔径が0.01μm〜1μm程度のものを用いることができる。供給抑制部材50の透過速度は、拡散層20Aの透過速度に対して、たとえば、ガーレー試験機法により透気度を測定した場合に、一桁から二桁程度低い数値となることが好ましい。供給抑制部材50は、燃料の透過速度が拡散層20Aの透過速度に対して一桁から二桁程度低いものであれば多孔質材に限るものではなく、微細孔を有しないものでもよい。   The supply suppressing member 50 may be any material that is less permeable to fuel than the diffusion layer 20A. Metals, silicon substrates, glass substrates, resin materials such as polyimide and polytetrafluoroethylene (PTFE) processed with fine holes and fine slits, or porous materials can be used. A porous material with little variation is preferred. The pore diameter of the porous material is relatively determined according to the film thickness and the pore diameter of the diffusion layer 20A, and is not particularly limited. For example, the film thickness is about 1 μm to 30 μm, and the pore diameter of the porous material is 0.01 μm. About 1 μm can be used. The permeation rate of the supply suppressing member 50 is preferably a numerical value that is lower by one to two digits than the permeation rate of the diffusion layer 20A, for example, when the air permeability is measured by the Gurley tester method. The supply suppressing member 50 is not limited to a porous material as long as the fuel permeation rate is lower by about one to two digits than the permeation rate of the diffusion layer 20A, and may not have micropores.

拡散防止構造である第1部分51は、流路11Aから供給抑制部材50に拡散してきた液体燃料が、拡散層20A側に透過せずに壁13の下部あるいは供給抑制部材50内を経由して隣接する流路12Aへ透過するのを抑制する構造であればよく、ポリイミドやPTFEなどからなる供給抑制部材50の流路11Aに面する第2部分52および流路12Aに面する第3部分53を多孔質化するか、あるいは微細孔や微細なスリットが形成されている領域にすることで形成可能である。また、拡散防止構造である第1部分51は、流路11Aに対向する第2部分52や流路12Aに対向する第3部分53が閉塞して、流路11Aから拡散層20Aへの流れや拡散層20Aから流路12Aへの流れを阻害しなければよく、壁13から流路溝11,12側にはみ出して形成されても、あるいは、壁13の幅よりも狭く形成されてもよい。   The first portion 51, which is a diffusion preventing structure, does not allow the liquid fuel that has diffused from the flow path 11A to the supply suppression member 50 to pass through the lower part of the wall 13 or the supply suppression member 50 without passing through the diffusion layer 20A. Any structure that suppresses permeation to the adjacent flow path 12A may be used, and the second portion 52 facing the flow path 11A and the third portion 53 facing the flow path 12A of the supply suppressing member 50 made of polyimide, PTFE, or the like. Can be formed by making it porous or forming a region in which fine holes or fine slits are formed. Further, the first portion 51, which is a diffusion preventing structure, is closed by the second portion 52 facing the flow channel 11A and the third portion 53 facing the flow channel 12A, and the flow from the flow channel 11A to the diffusion layer 20A The flow from the diffusion layer 20 </ b> A to the flow path 12 </ b> A is not obstructed and may be formed so as to protrude from the wall 13 toward the flow path grooves 11, 12, or may be formed narrower than the width of the wall 13.

電解質膜104の材質としては、たとえば、プロトン伝導性の耐熱耐酸性の材料であれば有機材料、無機材料を問わないが、ここでは、有機系の含フッ素高分子を骨格とするスルホン酸基含有パーフルオロカーボン(デュポン社製のナフィオン117(登録商標))を用いている。また、電解質膜104は、プロトン伝導性の機能を有すればよく、他の基材に電解質膜を埋め込んだものであってもよい。   The material of the electrolyte membrane 104 may be, for example, an organic material or an inorganic material as long as it is a proton-conductive heat-resistant and acid-resistant material. Here, the electrolyte membrane 104 contains a sulfonic acid group containing an organic fluorine-containing polymer as a skeleton. Perfluorocarbon (Nafion 117 (registered trademark) manufactured by DuPont) is used. Further, the electrolyte membrane 104 only needs to have a proton-conducting function, and may be one in which the electrolyte membrane is embedded in another base material.

燃料極102は、図7に示すように、電解質膜104側の電極層1041と流路板10側の拡散層20Aとを含む。燃料極102の拡散層20Aとしては、カーボンペーパー、カーボンの焼結体、ニッケルなどの焼結金属、発泡金属などの多孔質材を用いることができる。また、電極層1041は、金属触媒を含む樹脂層で作製される。この金属触媒としては、一例として白金―ルテニウム合金などが用いられるが、その他に、白金と金、白金とオスミウム、白金とロジウムなどの合金を用いることができる。また、電極層1041の樹脂層としては、たとえば、パーフルオロアルキルスルホン酸系樹脂が用いられる。   As shown in FIG. 7, the fuel electrode 102 includes an electrode layer 1041 on the electrolyte membrane 104 side and a diffusion layer 20A on the flow path plate 10 side. As the diffusion layer 20A of the fuel electrode 102, a porous material such as carbon paper, a sintered body of carbon, a sintered metal such as nickel, or a foam metal can be used. The electrode layer 1041 is formed using a resin layer containing a metal catalyst. As this metal catalyst, for example, a platinum-ruthenium alloy is used, but other alloys such as platinum and gold, platinum and osmium, platinum and rhodium can be used. In addition, as the resin layer of the electrode layer 1041, for example, a perfluoroalkylsulfonic acid resin is used.

燃料極102において、電極層1041と拡散層20Aとは、電極層1041に拡散層20Aをホットプレスなどにより圧着するか、または電極層1041が樹脂である場合、拡散層20Aに電極層1041の材料となる樹脂を含浸させて熱処理することにより、積層することができる。   In the fuel electrode 102, the electrode layer 1041 and the diffusion layer 20A are formed by pressing the diffusion layer 20A to the electrode layer 1041 by hot pressing or the like, or when the electrode layer 1041 is a resin, the material of the electrode layer 1041 is applied to the diffusion layer 20A. It can be laminated by impregnating a resin to be heat treated.

一方、酸化剤極103は、ハウジング70の他方の面(下面)から延在する蓋部80で覆われており、この蓋部80は、酸化剤として例えば空気が供給される酸化剤導入口80Aと、排出ガスを排出するための排出口80Bを有する。この蓋部80と酸化剤極103との間に酸化剤極側の流路(酸化剤極室110)が形成される。   On the other hand, the oxidant electrode 103 is covered with a lid part 80 extending from the other surface (lower surface) of the housing 70, and the lid part 80 is provided with an oxidant introduction port 80A to which, for example, air is supplied as an oxidant. And an exhaust port 80B for exhausting the exhaust gas. A flow path (oxidant electrode chamber 110) on the oxidant electrode side is formed between the lid 80 and the oxidant electrode 103.

酸化剤極103は、電解質膜104側の電極層1042と、蓋部80側の拡散層20Bとを有する。この電極層1042は、燃料極102の電極層1041と同様に、金属触媒を含む樹脂層で作製される。また、拡散層20Bとしては、燃料極102の拡散層20Aと同様に、カーボンペーパー、カーボンの焼結体、ニッケルなどの焼結金属、発泡金属などの多孔質材を用いることができる。なお、この発明は、酸化剤の種類や供給方向に依存するものではなく、空気の代わりに酸素を使用してもよく、また、酸化剤極室110を形成せず、ファンや送風ポンプのような送風機構を用いて、酸化剤極103の露出面に酸化剤を直接供給してもよい。   The oxidant electrode 103 has an electrode layer 1042 on the electrolyte membrane 104 side and a diffusion layer 20B on the lid 80 side. Similar to the electrode layer 1041 of the fuel electrode 102, the electrode layer 1042 is made of a resin layer containing a metal catalyst. As the diffusion layer 20B, a porous material such as carbon paper, a sintered body of carbon, a sintered metal such as nickel, and a foamed metal can be used as in the diffusion layer 20A of the fuel electrode 102. The present invention does not depend on the type or supply direction of the oxidant, and oxygen may be used instead of air. Further, the oxidant electrode chamber 110 is not formed, and a fan or a blower pump is used. An oxidant may be directly supplied to the exposed surface of the oxidant electrode 103 using a simple air blowing mechanism.

酸化剤極103は、従来公知の方法により製造することができ、たとえば上記の燃料極102の電極層1041と拡散層20Aとを積層する方法について記載した方法などを用いて製造することができる。   The oxidant electrode 103 can be manufactured by a conventionally known method. For example, the oxidant electrode 103 can be manufactured using the method described for the method of laminating the electrode layer 1041 of the fuel electrode 102 and the diffusion layer 20A.

ハウジング70は、従来公知の燃料電池の筐体として用いられる材質からなるものであってよい。ハウジング70を構成する樹脂は、たとえば炭素樹脂、または、上記流路板10と同様に、ガラス基板、アクリル並びにPDMSなどの樹脂などが挙げられる。   The housing 70 may be made of a material used as a casing of a conventionally known fuel cell. Examples of the resin constituting the housing 70 include a carbon resin, or a resin such as a glass substrate, acrylic, and PDMS as in the case of the flow path plate 10.

本実施の形態に係る燃料電池の電解質膜104および燃料極102、酸化剤極103からなる膜電極複合体は、従来公知の方法により得ることができ、たとえば、上記のようにして得られた電解質膜104に燃料極102および酸化剤極103をホットプレスにより接合することで作製可能である。そして、流路板10に供給抑制部材50と上記膜電極複合体を積層し、それに上記のように作製された酸化剤室と一体化したハウジング70を被せ、流路板10とハウジング70とを接着することにより燃料電池が製作される。   The membrane electrode assembly including the electrolyte membrane 104, the fuel electrode 102, and the oxidant electrode 103 of the fuel cell according to the present embodiment can be obtained by a conventionally known method, for example, the electrolyte obtained as described above. It can be manufactured by bonding the fuel electrode 102 and the oxidant electrode 103 to the membrane 104 by hot pressing. Then, the supply suppressing member 50 and the membrane electrode assembly are laminated on the flow path plate 10 and covered with the housing 70 integrated with the oxidant chamber manufactured as described above, and the flow path plate 10 and the housing 70 are covered. The fuel cell is manufactured by bonding.

本実施の形態に係る燃料電池において、流路板10やハウジング70などにPDMSなど可撓性の樹脂材料を用いている場合は、流路板10やハウジング70が撓んだ場合においても、流路板10と拡散層20Aとを電気的に低抵抗で安定して接続することができる。   In the fuel cell according to the present embodiment, when a flexible resin material such as PDMS is used for the flow path plate 10 and the housing 70, the flow plate 10 and the housing 70 are bent even when the flow path plate 10 and the housing 70 are bent. The road plate 10 and the diffusion layer 20A can be stably connected with low electrical resistance.

本実施の形態に係る燃料電池では、メタノールと水との混合物が液体燃料として使用できるが、従来公知のように、メタノールの代わりにエタノール、ジメチルエーテル、プロパノール、エチレングリコールのような炭化水素系の有機燃料を用いることができる。   In the fuel cell according to the present embodiment, a mixture of methanol and water can be used as a liquid fuel. However, as conventionally known, hydrocarbon-based organic materials such as ethanol, dimethyl ether, propanol, and ethylene glycol are used instead of methanol. Fuel can be used.

この液体燃料は、燃料供給口であるポート30から流路11Aに導入され、流路11Aから供給抑制部材50における流路11Aに面する第2部分52を通して燃料極102の拡散層20Aに供給され、拡散層20A内に拡散/浸透して電極層1041に達して反応する。これにより、陽イオン(H+)と電子および排出ガスとしての二酸化炭素が生成する。陽イオン(H+)は、電解質膜104を経由して、酸化剤極103の電極層1042に至る。一方、上記電子は、電極層1041から外部回路(図示せず)を経由して、酸化剤極103の電極層1042に導かれる。また、燃料極102の電極層1041で生成した二酸化炭素などの排出ガスは、拡散層20A内を拡散し、供給抑制部材50における流路12Aに面する第3部分53を通して流路12Aに至り、この流路12Aを通って、排出口であるポート40から排出される。   This liquid fuel is introduced into the flow path 11A from the port 30 which is a fuel supply port, and is supplied from the flow path 11A to the diffusion layer 20A of the fuel electrode 102 through the second portion 52 facing the flow path 11A in the supply suppressing member 50. Then, it diffuses / penetrates into the diffusion layer 20A and reaches the electrode layer 1041 to react. Thereby, positive ions (H +), electrons, and carbon dioxide as exhaust gas are generated. The cation (H +) reaches the electrode layer 1042 of the oxidant electrode 103 via the electrolyte membrane 104. On the other hand, the electrons are guided from the electrode layer 1041 to the electrode layer 1042 of the oxidant electrode 103 via an external circuit (not shown). Further, the exhaust gas such as carbon dioxide generated in the electrode layer 1041 of the fuel electrode 102 diffuses in the diffusion layer 20A and reaches the flow path 12A through the third portion 53 facing the flow path 12A in the supply suppressing member 50. The fluid is discharged from the port 40 which is a discharge port through the flow path 12A.

一方、蓋部80の導入口80Aから導入された酸化剤の一例としての空気は、酸化剤極103の拡散層20B内に拡散し、酸化剤極103の電極層1042において燃料極102からの陽イオン(H+)および電子と反応する。これにより、水蒸気が生成し、この水蒸気は流路(酸化剤極室110)を通って排出口80Bから排出される。   On the other hand, the air as an example of the oxidant introduced from the introduction port 80A of the lid 80 is diffused into the diffusion layer 20B of the oxidant electrode 103, and the positive electrode from the fuel electrode 102 is formed in the electrode layer 1042 of the oxidant electrode 103. Reacts with ions (H +) and electrons. Thereby, water vapor | steam produces | generates and this water vapor | steam passes through a flow path (oxidant electrode chamber 110), and is discharged | emitted from the discharge port 80B.

本実施の形態に係る燃料電池によれば、流路11Aが流路12Aに直接接続されず、供給抑制部材50によって燃料極102の拡散層20Aへの拡散が抑制されているために、液体燃料は、流路11A内に充満し、そして、拡散層20Aに面した流路11Aから、ほぼ均一に供給抑制部材50を通して少しずつ拡散層20A全域に供給される。この際、壁13の下部は、拡散防止構造50により拡散層20Aを経由しないで液体燃料が流路11A側から流路12A側に排出されないよう構成されているので、拡散防止構造としての第1部分51がない場合に比べて、燃料が未反応で排出されるのを抑制し、供給した燃料を効率よく反応させることができる。すなわち、流路11Aの流路域の面積あたりの燃料の発電への利用効率をさらに向上させることができる。   In the fuel cell according to the present embodiment, the flow path 11A is not directly connected to the flow path 12A, and the diffusion of the fuel electrode 102 to the diffusion layer 20A is suppressed by the supply suppression member 50, so that the liquid fuel Is filled in the flow channel 11A and is gradually and gradually supplied from the flow channel 11A facing the diffusion layer 20A through the supply suppressing member 50 to the entire diffusion layer 20A. At this time, the lower part of the wall 13 is configured so that the liquid fuel is not discharged from the flow path 11A side to the flow path 12A side without passing through the diffusion layer 20A by the diffusion prevention structure 50. Compared with the case where there is no portion 51, it is possible to suppress the unreacted discharge of the fuel and to efficiently react the supplied fuel. That is, it is possible to further improve the utilization efficiency of the fuel per area of the flow path area of the flow path 11A for power generation.

さらに、燃料極102で生成された排出ガスが拡散層20Aから流路12Bへ排出される際、拡散防止構造としての第1部分51により、排出ガスが流路12A側から流路11A側に供給抑制部材50内を拡散して、該排出ガスが流路11A側に排出されるのを抑制し、流路11Aからの燃料の供給を阻害するのを防止できる。   Further, when the exhaust gas generated in the fuel electrode 102 is discharged from the diffusion layer 20A to the flow path 12B, the exhaust gas is supplied from the flow path 12A side to the flow path 11A side by the first portion 51 as a diffusion preventing structure. It is possible to prevent the exhaust gas from being discharged to the flow path 11A side by diffusing inside the suppressing member 50 and preventing the supply of fuel from the flow path 11A from being hindered.

図9に、本実施の形態に係る燃料電池を用いて発電させたときの燃料の供給量と、供給量に対する燃料の利用効率とを測定した結果(◆:燃料供給量/■:燃料利用効率)を示す。燃料の利用効率は、供給した燃料に対する反応に使用された燃料の比率を示す。また、燃料電池の出力電流は40mA/cm2で一定である。図9に示す結果では、103Pa以下(300〜500Pa)の低い燃料の供給圧(流路11Aへの供給圧と流路12Aの圧力との差圧)で、2〜6マイクロリットル/cm2/min程度の微少量の燃料供給で40mA/cm2の発電が行えることを示している。本実施の形態に係る燃料電池では、拡散抑制構造がない燃料電池と比較して、燃料の供給量を半分以下に抑制することができた。また、流路12Aへの燃料の排出が抑制されているために、燃料の利用効率も非常に高くでき、拡散抑制構造がない燃料電池と比較して、燃料の利用効率を倍以上に改善することができた。 FIG. 9 shows the result of measurement of the amount of fuel supplied when the fuel cell according to the present embodiment is used for power generation and the fuel use efficiency with respect to the amount supplied (◆: fuel supply amount / ■: fuel use efficiency) ). The fuel utilization efficiency indicates the ratio of the fuel used for the reaction to the supplied fuel. The output current of the fuel cell is constant at 40 mA / cm 2 . In the results shown in FIG. 9, the fuel supply pressure is low at 10 3 Pa or less (300 to 500 Pa) (the differential pressure between the supply pressure to the flow path 11A and the pressure of the flow path 12A), and 2 to 6 microliters / cm. It shows that power generation of 40 mA / cm 2 can be performed with a small amount of fuel supply of about 2 / min. In the fuel cell according to the present embodiment, the fuel supply amount can be suppressed to half or less as compared with the fuel cell without the diffusion suppression structure. Further, since the fuel discharge to the flow path 12A is suppressed, the fuel use efficiency can be very high, and the fuel use efficiency can be improved more than twice compared to a fuel cell without a diffusion suppression structure. I was able to.

図10に、本実施の形態に係る燃料電池を用いて発電させたときの電流出力と燃料供給量との関係を示す。ここで、燃料の供給圧(流路11Aへの供給圧と流路12Aの圧力との差圧)は103Paで一定である。出力電流の設定を変更すると、それに応じて燃料の供給量が変化しているのがわかる。これは、流路12Aへの燃料の排出を抑制し、反応で消費された燃料を補充するように流路11Aに充満された燃料が毛管作用によって供給されるために、燃料の消費量に応じて燃料の供給量が自動的に調整されているからである。したがって、本実施の形態に係る燃料電池は、ポンプなどで供給量を調整しなくても、効率よく燃料の供給量を自己調整でき、小型化しても高出力が得やすいことがわかる。 FIG. 10 shows the relationship between the current output and the fuel supply amount when power is generated using the fuel cell according to the present embodiment. Here, the fuel supply pressure (the differential pressure between the supply pressure to the flow path 11A and the pressure of the flow path 12A) is constant at 10 3 Pa. When the setting of the output current is changed, it can be seen that the fuel supply amount changes accordingly. This is because the fuel filled in the flow path 11A is supplied by capillary action so as to suppress the discharge of the fuel to the flow path 12A and replenish the fuel consumed in the reaction. This is because the fuel supply amount is automatically adjusted. Therefore, it can be seen that the fuel cell according to the present embodiment can self-adjust the fuel supply amount efficiently without adjusting the supply amount with a pump or the like, and can easily obtain a high output even if it is downsized.

供給抑制部材50は、膜厚方向に比べて平面方向に上記液体燃料が透過しにくい構造となっていることが好ましい。拡散防止構造である第1部分51は、流路11Aから供給抑制部材50に拡散してきた液体燃料が、流路11Aから拡散層20Aに向かう流れの方向から逸脱する方向に透過しにくい構造であればよい。拡散抑制部材50を、膜厚方向に比べて平面方向に上記液体燃料が透過しにくい構造とすることにより、上記の拡散防止構造の場合のように、流路11Aおよび第2の通路12Aに合わせた拡散防止構造を供給抑制部材50に形成しなくても、流路11Aに面する第2部分52は、膜厚方向、即ち流路11Aから拡散層20Aに向かう方向に透過しやすく、壁13下部では、平面方向、即ち流路11A側から流路12A側へ透過しにくい拡散防止構造としての第1部分51を形成することができ、製造工程も簡略化される。   The supply suppressing member 50 preferably has a structure in which the liquid fuel is less likely to permeate in the plane direction as compared to the film thickness direction. The first portion 51, which is a diffusion preventing structure, may have a structure in which the liquid fuel diffused from the flow path 11A to the supply suppressing member 50 does not easily permeate in a direction deviating from the flow direction from the flow path 11A toward the diffusion layer 20A. That's fine. By making the diffusion suppressing member 50 a structure in which the liquid fuel is less likely to permeate in the plane direction compared to the film thickness direction, the diffusion suppressing member 50 is matched to the flow path 11A and the second passage 12A as in the case of the diffusion prevention structure. Even if the anti-diffusion structure is not formed in the supply suppressing member 50, the second portion 52 facing the flow path 11A can easily transmit in the film thickness direction, that is, the direction from the flow path 11A toward the diffusion layer 20A. In the lower part, the first portion 51 as a diffusion preventing structure that hardly permeates in the planar direction, that is, from the channel 11A side to the channel 12A side can be formed, and the manufacturing process is simplified.

供給抑制部材50は、膜厚方向に比べて平面方向に上記排出ガスが透過しにくい構造となっていることが好ましい。拡散防止構造であり第1部分51は、拡散層20Aから供給抑制部材50に拡散してきた排出ガスが、拡散層20Aから流路12Aに向かう流れの方向から逸脱する方向に透過しにくい構造であればよい。拡散抑制部材50を、膜厚方向に比べて平面方向に上記排出ガスが透過しにくい構造とすることにより、上記の拡散防止構造の場合のように、流路11A,12Aに合わせた拡散帽子構造を供給抑制部材50に形成しなくても、流路12Aに面する第3部分53は、膜厚方向、即ち拡散層20Aから流路12Aに向かう方向に透過しやすく、壁13下部では、平面方向、即ち流路12A側から流路11A側へ透過しにくい拡散防止構造としての第1部分51を形成することができ、製造工程も簡略化される。   The supply suppressing member 50 preferably has a structure in which the exhaust gas is less likely to permeate in the plane direction than in the film thickness direction. The first part 51 is a structure that prevents diffusion, and the first part 51 is configured such that the exhaust gas diffused from the diffusion layer 20A to the supply suppressing member 50 is difficult to permeate in a direction deviating from the direction of flow from the diffusion layer 20A toward the flow path 12A. That's fine. A diffusion cap structure adapted to the flow paths 11A and 12A as in the case of the above diffusion prevention structure by making the diffusion suppressing member 50 a structure in which the exhaust gas is less likely to permeate in the plane direction as compared with the film thickness direction. Even if the supply suppressing member 50 is not formed, the third portion 53 facing the flow path 12A can easily transmit in the film thickness direction, that is, the direction from the diffusion layer 20A toward the flow path 12A. The first portion 51 can be formed as a diffusion preventing structure that is difficult to transmit in the direction, that is, from the flow path 12A side to the flow path 11A side, and the manufacturing process is also simplified.

上記のような供給抑制部材50は、たとえば、供給抑制部材50に膜厚方向にのみ微細孔や微細スリットを形成し、微細孔の径や微細スリットの長さを壁13の幅よりも小さくすることで作製可能である。また、多孔質材は、延伸することで該延伸方向に直交する平面方向に流体を透過させにくくすることができるので、供給抑制部材50に多孔質材を用いた場合は、該多孔質材を流路11A,12Aの流れの方向に延伸方向を合わせることにより、流路11Aから壁13の下部または供給抑制部材50の内部を通って流路12Aへ液体燃料が透過することを抑制することができるとともに、流路12Aから壁13の下部または供給抑制部材50の内部を通って流路11Aへ排出物質が透過することを抑制することができる。   The supply suppression member 50 as described above, for example, forms micropores or microslits only in the film thickness direction in the supply suppression member 50, and makes the diameter of the microholes or the length of the microslits smaller than the width of the wall 13. Can be produced. Further, since the porous material can be made difficult to allow fluid to permeate in a plane direction orthogonal to the stretching direction by stretching, when the porous material is used for the supply suppressing member 50, the porous material is By adjusting the extending direction to the flow direction of the flow paths 11A and 12A, the liquid fuel can be prevented from penetrating from the flow path 11A to the flow path 12A through the lower portion of the wall 13 or the inside of the supply suppressing member 50. In addition, it is possible to prevent the discharged substance from permeating from the flow path 12A to the flow path 11A through the lower portion of the wall 13 or the inside of the supply suppressing member 50.

また、拡散防止構造としての第1部分51は、供給抑制部材50内に、上記液体燃料の拡散を抑制する物質が含有された構造であってもよい。これにより、液体燃料が流路11Aから壁13の下部を通り、あるいは供給抑制部材50の内部を通り流路12Aへ透過するのをより確実に阻止することができる。   The first portion 51 as the diffusion preventing structure may be a structure in which a substance that suppresses the diffusion of the liquid fuel is contained in the supply suppressing member 50. Thereby, it can prevent more reliably that liquid fuel permeate | transmits to the flow path 12A from the flow path 11A through the lower part of the wall 13, or the supply suppression member 50 inside.

また、拡散防止構造としての第1部分51は、供給抑制部材50内に、排出ガスの拡散を抑制する物質を含有させた構造であってもよい。これにより、拡散層20Aからの排出ガスが流路12A側から壁13の下部を通り、あるいは供給抑制部材50の内部を通り流路11A側へ透過するのをより確実に阻止することができる。   The first portion 51 as the diffusion preventing structure may be a structure in which a substance that suppresses the diffusion of exhaust gas is contained in the supply suppressing member 50. Thereby, it is possible to more reliably prevent the exhaust gas from the diffusion layer 20A from passing through the lower part of the wall 13 from the flow channel 12A side or through the inside of the supply suppressing member 50 to the flow channel 11A side.

壁13下部の供給抑制部材に微細孔などが残っていると、壁13と供給抑制部材50との接合界面での液体燃料や排出ガスのリークが発生しやすい。また、供給抑制部材50に多孔質材を用いる場合には、供給抑制部材50内における液体燃料や排出ガスの平面方向の透過を完全になくすことはできない。しかし、供給抑制部材50内に、液体燃料や排出ガスの拡散を抑制する物質を含有させることで、壁13との接合界面でのリークを抑制するとともに、供給抑制部材50内の平面方向の透過を抑制することができる。供給抑制部材50内に含有させる物質としては、アクリル系樹脂やポリイミド系樹脂を用いることができる。供給抑制部材50内に液体燃料並びに排出ガスの拡散を抑制する物質を含有させる構造については、図3を用いて説明した実施の形態1と同様の方法で製造することができる。   If a fine hole or the like remains in the supply suppressing member below the wall 13, liquid fuel or exhaust gas leaks easily at the joining interface between the wall 13 and the supply suppressing member 50. Further, when a porous material is used for the supply suppressing member 50, the permeation of the liquid fuel and the exhaust gas in the planar direction in the supply suppressing member 50 cannot be completely eliminated. However, by containing a substance that suppresses the diffusion of liquid fuel or exhaust gas in the supply suppressing member 50, leakage at the joint interface with the wall 13 is suppressed, and transmission in the planar direction in the supply suppressing member 50 is suppressed. Can be suppressed. As a substance to be contained in the supply suppressing member 50, an acrylic resin or a polyimide resin can be used. About the structure which contains the substance which suppresses the spreading | diffusion of liquid fuel and exhaust gas in the supply suppression member 50, it can manufacture by the method similar to Embodiment 1 demonstrated using FIG.

流路11Aに液体燃料が供給されている状態において、流路11Aに対向する第2部分52の拡散層20A側から流路11A側へ排出ガスが透過するのに必要な圧力が、拡散層20Aからの上記排出ガスの排出圧力以上であることが好ましい。これにより、拡散層20Aから供給抑制部材50の流路51に対向する第2部分52を通り、流路11Aに排出ガスが逆流して液体燃料の供給を阻害することを防止できる。   In a state where the liquid fuel is supplied to the flow channel 11A, the pressure necessary for the exhaust gas to permeate from the diffusion layer 20A side of the second portion 52 facing the flow channel 11A to the flow channel 11A side is the diffusion layer 20A. It is preferable that it is more than the discharge pressure of the said exhaust gas from. Accordingly, it is possible to prevent the exhaust gas from flowing backward from the diffusion layer 20A through the second portion 52 facing the flow path 51 of the supply suppressing member 50 and obstructing the supply of the liquid fuel.

通常、流路11Aから液体燃料を供給する場合、液体燃料の圧力は、供給抑制部材50の第2部分52を挟み流路11A側の方が拡散層20A側より高い。燃料極102で液体燃料の反応が進むと拡散層20A内に二酸化炭素が生成されるため、生成した排出ガスの圧力が上昇し、流路11Aに液体燃料が供給されている状態における拡散層20Aから流路11A側へ排出ガスが透過するのに必要な圧力を上回ると、排出ガスが流路11A側に逆流するが、下流の流路12A側が拡散層20A側よりも圧力が低いため、常に、排出ガスが透過するのに必要な圧力以下に排出ガスの圧力を保つことができる。これにより、流路11Aに排出ガスが逆流して流路11Aからの液体燃料の供給を阻害することを防止することができる。   Normally, when liquid fuel is supplied from the flow path 11A, the pressure of the liquid fuel is higher on the flow path 11A side than the diffusion layer 20A side with the second portion 52 of the supply suppressing member 50 interposed therebetween. When the reaction of the liquid fuel proceeds at the fuel electrode 102, carbon dioxide is generated in the diffusion layer 20A, so that the pressure of the generated exhaust gas rises and the diffusion layer 20A in a state where the liquid fuel is supplied to the flow path 11A. When the pressure required for the exhaust gas to permeate to the flow path 11A is exceeded, the exhaust gas flows backward to the flow path 11A, but the downstream flow path 12A side is always lower in pressure than the diffusion layer 20A side, so The pressure of the exhaust gas can be kept below the pressure necessary for the exhaust gas to permeate. As a result, it is possible to prevent the exhaust gas from flowing backward into the flow path 11A and hindering the supply of liquid fuel from the flow path 11A.

拡散層20Aに上記液体燃料が供給されている状態において、流路12Aに対向する第3部分53の拡散層20A側から流路12A側へ上記液体燃料が透過するのに必要な圧力が、拡散層20Aからの上記液体燃料の排出圧力以上である。これにより、発電時はもとより、燃料電池がOFF、つまり取り出す電流出力がゼロの場合において、液体燃料が流路12Aに排出されることを防止することができる。   In the state where the liquid fuel is supplied to the diffusion layer 20A, the pressure required for the liquid fuel to permeate from the diffusion layer 20A side of the third portion 53 facing the flow channel 12A to the flow channel 12A side is diffused. It is higher than the discharge pressure of the liquid fuel from the layer 20A. As a result, it is possible to prevent liquid fuel from being discharged into the flow path 12A not only during power generation but also when the fuel cell is OFF, that is, when the current output to be taken out is zero.

ここで、供給抑制部材50を液体状態の混合物が拡散層20Aから流路12A側へ透過するのに必要な圧力について説明する。拡散層20A側の液体燃料が供給抑制部材50に浸透しようとする際、供給抑制部材50の微細孔内の液体燃料と流路12A側のガスとの界面に形成されるメニスカスの力のつりあいを示す式は、次式のように表される。   Here, the pressure required for the mixture in the liquid state to pass through the supply suppressing member 50 from the diffusion layer 20A to the flow path 12A side will be described. When the liquid fuel on the diffusion layer 20A side tries to penetrate into the supply suppressing member 50, the balance of the force of the meniscus formed at the interface between the liquid fuel in the micropores of the supply suppressing member 50 and the gas on the flow path 12A side is obtained. The formula shown is expressed as:

f=σ・cos(π−α)/d+Pg・・・・(3)
ここで、Pfは液体燃料の圧力、Pgは流路12A側のガスの圧力、σは混合物の表面張力、αはメニスカスと微細孔内壁の角度、dは供給抑制部材50の微細孔内径である。つまり、液体燃料の排出圧力がPfのとき、微細孔の内径がdの値のところまで混合物は微細孔内へ入っていくことができ、混合物の排出圧力が微細孔内径dが最小のときの(3)式のPfの値以上のとき、拡散層20A側から流路12A側へ混合物が供給抑制部材50を通過することができる。したがって、拡散層20Aからの混合物の排出圧力が、このときのPfより小さい場合は、メニスカスのつりあいの位置は、微細孔の内径が最小のところまで入っていくことができず、液体燃料が流路12Aに排出するのを防止することができる。
P f = σ · cos (π−α) / d + P g (3)
Here, P f is the pressure of the liquid fuel, P g is the pressure of the gas on the flow path 12A side, σ is the surface tension of the mixture, α is the angle between the meniscus and the inner wall of the fine hole, and d is the inner diameter of the fine hole of the supply suppressing member 50. It is. In other words, when the discharge pressure of the liquid fuel is P f , the mixture can enter the micro holes up to the value of the inner diameter of the micro holes d, and the discharge pressure of the mixture is the minimum of the micro hole inner diameter d. When the value is equal to or greater than the value of P f in the expression (3), the mixture can pass through the supply suppressing member 50 from the diffusion layer 20A side to the flow path 12A side. Therefore, when the discharge pressure of the mixture from the diffusion layer 20A is smaller than P f at this time, the balance position of the meniscus cannot enter the position where the inner diameter of the micropores is the smallest, and the liquid fuel does not enter. It is possible to prevent discharge to the flow path 12A.

一般的に、燃料極102での反応に必要な液体燃料は、例えばメタノールと水を燃料に用いる燃料電池で150mW/cm2程度の発電を想定した場合、単位面積当たり数μリットル/分程度である。したがって、それ以上の燃料を供給しても、この過剰の燃料は、拡散層20Aに充満している燃料を押し出すために利用されるか、電解質膜104を拡散して出力低下の要因となり、燃料の利用効率がより低下してしまう。つまり、燃料極102の反応は、燃料の供給量には律速しておらず、反応律速の状態で反応が進行している。したがって、本実施の形態に係る燃料電池のように、供給抑制部材50と該部材に形成された拡散防止構造(第1部分51)を設けることで、必要最低限の供給で、反応に必要な燃料を効率よく供給して反応を継続することができる。 In general, the liquid fuel necessary for the reaction at the fuel electrode 102 is, for example, about several μl / min per unit area assuming a power generation of about 150 mW / cm 2 in a fuel cell using methanol and water as fuel. is there. Therefore, even if more fuel is supplied, this excess fuel is used to push out the fuel filled in the diffusion layer 20A, or diffuses through the electrolyte membrane 104 and causes a decrease in output. The utilization efficiency of will be further reduced. That is, the reaction of the fuel electrode 102 is not rate-determined by the amount of fuel supplied, and the reaction proceeds in a reaction-limited state. Therefore, as in the fuel cell according to the present embodiment, by providing the supply suppressing member 50 and the diffusion prevention structure (first portion 51) formed on the member, it is necessary for the reaction with the minimum necessary supply. The reaction can be continued by efficiently supplying the fuel.

上述した内容について要約すると、以下のようになる。すなわち、本実施の形態に係る燃料電池は、液体燃料が供給されるとともに該液体燃料から陽イオンと電子を生成する燃料極102と、燃料極102に対向するように配置され、燃料極102からの陽イオンが透過する電解質膜104と、酸化剤が供給されるとともに電解質膜104に対向するように配置され、電解質膜104を透過した陽イオンと酸化剤とを反応させる酸化剤極103と、燃料極102に対向するように配置され、流路溝11,12を有する流路板10とを備える。流路溝11,12は、燃料極102に液体燃料を供給する「第1の流路」としての流路11Aと、燃料極102からの排出ガスを排出する「第2の流路」としての流路12Aとを形成する。流路11A,12Aは互いに分離されている。燃料極102は、触媒を含有する電解質膜104側の電極層1041と、流路板10側の拡散層20Aとを有する。燃料電池は、流路板10と拡散層20Aとの間に介装された「介装部材」としての供給抑制部材50をさらに備える。供給抑制部材50は、流路板10の流路溝11,12が形成された主表面における非流路領域に対向する部分に、供給抑制部材50の平面方向における液体燃料および排出ガスの拡散を抑制する「拡散防止構造」としての第1部分51を有する。   The above contents are summarized as follows. That is, the fuel cell according to the present embodiment is disposed so as to face the fuel electrode 102 and the fuel electrode 102 that is supplied with liquid fuel and generates cations and electrons from the liquid fuel. An electrolyte membrane 104 through which the cation passes, and an oxidizer electrode 103 that is provided so as to face the electrolyte membrane 104 while being supplied with the oxidizer and reacts the cation that has passed through the electrolyte membrane 104 with the oxidant, And a flow path plate 10 having flow path grooves 11 and 12 disposed so as to face the fuel electrode 102. The channel grooves 11 and 12 serve as a “first channel” that supplies liquid fuel to the fuel electrode 102 and a “second channel” that discharges exhaust gas from the fuel electrode 102. A flow path 12A is formed. The flow paths 11A and 12A are separated from each other. The fuel electrode 102 includes an electrode layer 1041 on the electrolyte membrane 104 side containing a catalyst and a diffusion layer 20A on the flow path plate 10 side. The fuel cell further includes a supply suppression member 50 as an “interposition member” interposed between the flow path plate 10 and the diffusion layer 20A. The supply suppressing member 50 diffuses the liquid fuel and the exhaust gas in the planar direction of the supply suppressing member 50 in a portion facing the non-flow path region on the main surface where the flow path grooves 11 and 12 of the flow path plate 10 are formed. It has the 1st part 51 as a "diffusion prevention structure" to suppress.

本実施の形態に係る燃料電池によれば、拡散層20Aに面した流路11Aから、供給抑制部材50を通して液体燃料をほぼ均一に少しずつ拡散層20A全域に供給することができる。この際、壁13の下部は、供給抑制部材50の第1部分51により、拡散層20Aを経由しないで液体燃料が流路11A側から流路12A側に排出されないよう構成されているので、第1部分51がない場合に比べて燃料が未反応で排出されるのを抑制し、供給した燃料を効率よく反応させることができる。すなわち、流路11Aの供給域の面積あたりの燃料の発電への利用効率を向上させることができる。さらに、燃料極102で生成された排出ガスが拡散層20Aから流路12Aへ排出される際、供給抑制部材50の第1部分51により、排出ガスが流路12A側から流路11A側に供給抑制部材50内を拡散して流路11A側に排出されるのを抑制し、流路11Aからの燃料の供給を阻害するのを防止できる。したがって、この実施形態により、燃料の利用効率も非常に高くでき、小型化しても高出力が得やすい。   According to the fuel cell according to the present embodiment, the liquid fuel can be supplied almost uniformly little by little through the supply suppressing member 50 from the flow path 11A facing the diffusion layer 20A. At this time, the lower portion of the wall 13 is configured so that the liquid fuel is not discharged from the flow path 11A side to the flow path 12A side by the first portion 51 of the supply suppressing member 50 without passing through the diffusion layer 20A. Compared with the case where there is no one portion 51, it is possible to suppress the unreacted discharge of the fuel and to efficiently react the supplied fuel. That is, the utilization efficiency of the fuel per area of the supply area of the flow path 11A for power generation can be improved. Further, when the exhaust gas generated at the fuel electrode 102 is discharged from the diffusion layer 20A to the flow path 12A, the exhaust gas is supplied from the flow path 12A side to the flow path 11A side by the first portion 51 of the supply suppressing member 50. It is possible to suppress the diffusion inside the suppressing member 50 and discharge to the flow path 11A side, and prevent the supply of fuel from the flow path 11A from being hindered. Therefore, according to this embodiment, the fuel utilization efficiency can be very high, and high output can be easily obtained even if the size is reduced.

なお、上記の実施の形態では、流路板10の流路溝11,12をくし歯状に延在させたが、流路溝11,12の延在パターンはくし歯状に限らないのは勿論で、折れ曲がったクランク状に延在していてもよく、曲線状もしくは渦巻き状に延在していてもよい。   In the above-described embodiment, the flow path grooves 11 and 12 of the flow path plate 10 are extended in a comb-tooth shape. However, the extension pattern of the flow path grooves 11 and 12 is not limited to a comb-tooth shape. Thus, it may extend in a bent crank shape, or may extend in a curved shape or a spiral shape.

以上、本発明の実施の形態について説明したが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。   Although the embodiments of the present invention have been described above, the embodiments disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

本発明の実施の形態1に係るマイクロ流体デバイスを示す平面図である。It is a top view which shows the microfluidic device which concerns on Embodiment 1 of this invention. 図1におけるII−II断面図である。It is II-II sectional drawing in FIG. 図1,図2に示されるマイクロ流体デバイスの製造工程を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing process of the microfluidic device shown by FIG. 1, FIG. 図1,図2に示されるマイクロ流体デバイスの変形例の製造工程を説明するための部分拡大図である。FIG. 5 is a partially enlarged view for explaining a manufacturing process of a modification of the microfluidic device shown in FIGS. 1 and 2. 本発明の実施の形態1に係るマイクロ流体デバイスを適用した燃料電池の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the fuel cell to which the microfluidic device which concerns on Embodiment 1 of this invention is applied. 本発明の実施の形態2に係る燃料電池を示す平面図である。It is a top view which shows the fuel cell which concerns on Embodiment 2 of this invention. 図6におけるVII−VII断面図である。It is VII-VII sectional drawing in FIG. 図6におけるVIII−VIII断面図である。It is VIII-VIII sectional drawing in FIG. 本発明の実施の形態2に係る燃料電池の性能を示すグラフ(その1)である。It is a graph (the 1) which shows the performance of the fuel cell which concerns on Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施の形態2に係る燃料電池の性能を示すグラフ(その2)である。It is a graph (the 2) which shows the performance of the fuel cell which concerns on Embodiment 2 of this invention. 従来の燃料電池の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the conventional fuel cell.

符号の説明Explanation of symbols

1 マイクロ流体デバイス、10 流路板、10A 凸部領域、11,12 流路溝、13 壁、20 拡散部材、20A,20B 拡散層、30,40 ポート、50 供給抑制部材、51 第1部分、51A 材料、52 第2部分、53 第3部分、60 ヒータ、70 ハウジング、80 蓋部、80A 酸化剤導入口、80B 排出口、100,100A 燃料電池、101,101A ハウジング、102,102A 燃料極、103,103A 酸化剤極、104,104A 電解質膜、105,105A 燃料タンク、106A 燃料ポンプ、107,107A 燃料極室、108A 放出ポート、109,109A 圧縮機、110,110A 酸化剤極室、111,112,111A,112A 出口ポート、511A 材料、511B 基板、1041,1042 電極層。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Microfluidic device, 10 Channel plate, 10A Convex area, 11, 12 Channel groove, 13 Wall, 20 Diffusion member, 20A, 20B Diffusion layer, 30, 40 Port, 50 Supply suppression member, 51 1st part, 51A material, 52 second part, 53 third part, 60 heater, 70 housing, 80 lid, 80A oxidant inlet, 80B outlet, 100, 100A fuel cell, 101, 101A housing, 102, 102A fuel electrode, 103, 103A Oxidant electrode, 104, 104A Electrolyte membrane, 105, 105A Fuel tank, 106A Fuel pump, 107, 107A Fuel electrode chamber, 108A Release port, 109, 109A Compressor, 110, 110A Oxidant electrode chamber, 111, 112, 111A, 112A Outlet port, 511A material, 511B substrate 1041, 1042 Electrode layer.

Claims (16)

流路溝を有する流路板と、
前記流路板に対向するように配置され、前記流路溝から供給された供給物質を拡散させる拡散部材と、
前記流路板と前記拡散部材との間に介装され、膜厚方向に比べて平面方向に前記供給物質が透過しにくい構造を有する介装部材とを備え、
前記流路溝は、前記拡散部材に前記供給物質を供給するための第1の流路と、前記拡散部材からの排出物質を排出する第2の流路とを形成し、
前記第1の流路と前記第2の流路とは分離されており、
前記介装部材は、前記流路板の前記流路溝が形成された主表面における非流路領域に対向する第1部分と、前記第1の流路に対向する第2部分と、前記第2の流路に対向する第3部分とを含み、前記第1部分に、前記介装部材の平面方向における前記供給物質および前記排出物質の拡散を抑制する拡散防止構造を有する、マイクロ流体デバイス。
A channel plate having a channel groove;
A diffusion member that is disposed so as to face the flow path plate and diffuses the supply substance supplied from the flow path groove;
An interposition member interposed between the flow path plate and the diffusion member, and having a structure in which the supply substance is less likely to permeate in a plane direction as compared with a film thickness direction ,
The flow path groove forms a first flow path for supplying the supply substance to the diffusion member and a second flow path for discharging the discharge substance from the diffusion member,
The first flow path and the second flow path are separated;
The interposed member includes a first portion facing a non-flow channel region on a main surface of the flow channel plate where the flow channel is formed, a second portion facing the first flow channel, A microfluidic device including a third portion facing the two flow paths, and having a diffusion prevention structure that suppresses diffusion of the supply substance and the discharge substance in the planar direction of the intervention member in the first part .
前記介装部材は、膜厚方向に比べて平面方向に前記排出物質が透過しにくい構造を有する、請求項1に記載のマイクロ流体デバイス。   The microfluidic device according to claim 1, wherein the interposed member has a structure in which the discharged substance is less likely to permeate in a planar direction as compared with a film thickness direction. 前記拡散防止構造は、前記介装部材内に、前記供給物質の拡散を抑制する物質を含有させた構造である、請求項1に記載のマイクロ流体デバイス。   The microfluidic device according to claim 1, wherein the diffusion preventing structure is a structure in which a substance that suppresses diffusion of the supply substance is contained in the interposition member. 前記拡散防止構造は、前記介装部材内に、前記排出物質の拡散を抑制する物質を含有させた構造である、請求項1に記載のマイクロ流体デバイス。   The microfluidic device according to claim 1, wherein the diffusion preventing structure is a structure in which a substance that suppresses diffusion of the discharged substance is contained in the interposition member. 前記第1の流路に前記供給物質が供給されている状態において、前記排出物質が前記介装部材における前記第1の流路に対向する部分を前記拡散部材側から前記第1の流路側へ透過するのに必要な圧力が、前記拡散部材からの前記排出物質の排出圧力以上である、請求項1に記載のマイクロ流体デバイス。   In a state where the supply substance is supplied to the first flow path, a portion of the interposition member where the discharge material faces the first flow path is moved from the diffusion member side to the first flow path side. The microfluidic device according to claim 1, wherein a pressure required to permeate is equal to or higher than a discharge pressure of the discharge material from the diffusion member. 前記拡散部材に前記供給物質が供給されている状態において、前記供給物質が前記介装部材における前記第2の流路に対向する部分を前記拡散部材側から前記第2の流路側へ透過するのに必要な圧力が、前記拡散部材からの前記供給物質の排出圧力以上である、請求項1に記載のマイクロ流体デバイス。   In a state where the supply substance is supplied to the diffusion member, the supply substance permeates from the diffusion member side to the second flow path side through the portion of the interposition member that faces the second flow path. 2. The microfluidic device according to claim 1, wherein a pressure required for the liquid is equal to or higher than a discharge pressure of the supply substance from the diffusion member. 液体燃料が供給されるとともに該液体燃料から陽イオンと電子を生成する燃料極と、
前記燃料極に対向するように配置され、該燃料極からの陽イオンが透過する電解質膜と、
酸化剤が供給されるとともに前記電解質膜に対向するように配置され、該電解質膜を透過した前記陽イオンと前記酸化剤とを反応させる酸化剤極と、
前記燃料極に対向するように配置され、流路溝を有する流路板とを備え、
前記流路溝は、前記燃料極に前記液体燃料を供給する第1の流路と、前記燃料極からの排出ガスを排出する第2の流路とを形成し、
前記第1の流路と前記第2の流路とは分離されており、
前記燃料極は、触媒を含有する前記電解質膜側の電極層と、前記流路板側の拡散層とを有し、
前記流路板と前記拡散層との間に介装され、膜厚方向に比べて平面方向に前記液体燃料が透過しにくい構造を有する介装部材をさらに備え、
前記介装部材は、前記流路板の前記流路溝が形成された主表面における非流路領域に対向する第1部分と、前記第1の流路に対向する第2部分と、前記第2の流路に対向する第3部分とを含み、前記第1部分に、前記介装部材の平面方向における前記液体燃料および前記排出ガスの拡散を抑制する拡散防止構造を有する、燃料電池。
A fuel electrode that is supplied with liquid fuel and generates cations and electrons from the liquid fuel;
An electrolyte membrane disposed so as to face the fuel electrode and permeable to cations from the fuel electrode;
An oxidant electrode that is disposed so as to face the electrolyte membrane while being supplied with the oxidant, and reacts the cation that has permeated through the electrolyte membrane with the oxidant;
A flow path plate arranged to face the fuel electrode and having a flow path groove,
The flow path groove forms a first flow path for supplying the liquid fuel to the fuel electrode and a second flow path for discharging exhaust gas from the fuel electrode,
The first flow path and the second flow path are separated;
The fuel electrode has an electrode layer on the electrolyte membrane side containing a catalyst, and a diffusion layer on the flow path plate side,
Further comprising an interposed member interposed between the flow path plate and the diffusion layer and having a structure in which the liquid fuel is less likely to permeate in a plane direction as compared to a film thickness direction ;
The interposed member includes a first portion facing a non-flow channel region on a main surface of the flow channel plate where the flow channel is formed, a second portion facing the first flow channel, And a third portion facing the second flow path, and the first portion has a diffusion prevention structure that suppresses diffusion of the liquid fuel and the exhaust gas in the planar direction of the interposition member.
前記介装部材は、膜厚方向に比べて平面方向に前記排出ガスが透過しにくい構造を有する、請求項7に記載の燃料電池。 The fuel cell according to claim 7 , wherein the interposition member has a structure in which the exhaust gas is less likely to permeate in a planar direction than in a film thickness direction. 前記拡散防止構造は、前記介装部材内に、前記液体燃料の拡散を抑制する物質を含有させた構造である、請求項7に記載の燃料電池。 The fuel cell according to claim 7 , wherein the diffusion preventing structure is a structure in which a substance that suppresses diffusion of the liquid fuel is contained in the interposition member. 前記拡散防止構造は、前記介装部材内に、前記排出ガスの拡散を抑制する物質を含有させた構造である、請求項7に記載の燃料電池。 The fuel cell according to claim 7 , wherein the diffusion preventing structure is a structure in which a substance that suppresses diffusion of the exhaust gas is contained in the interposition member. 前記第1の流路に前記液体燃料が供給されている状態において、前記排出ガスが前記介装部材における前記第1の流路に対向する部分を前記拡散層側から前記第1の流路側へ透過するのに必要な圧力が、前記拡散層からの前記排出ガスの排出圧力以上である、請求項7に記載の燃料電池。 In a state where the liquid fuel is supplied to the first flow path, a portion of the interposition member where the exhaust gas faces the first flow path is moved from the diffusion layer side to the first flow path side. The fuel cell according to claim 7 , wherein a pressure necessary for permeation is equal to or higher than a discharge pressure of the exhaust gas from the diffusion layer. 前記拡散層に前記液体燃料が供給されている状態において、前記液体燃料が前記介装部材における前記第2の流路に対向する部分を前記拡散層側から前記第2の流路側へ透過するのに必要な圧力が、前記拡散層からの前記液体燃料の排出圧力以上である、請求項7に記載の燃料電池。 In a state where the liquid fuel is supplied to the diffusion layer, the liquid fuel permeates from the diffusion layer side to the second flow channel side through a portion of the interposition member that faces the second flow channel. The fuel cell according to claim 7 , wherein a pressure required for the fuel cell is equal to or higher than a discharge pressure of the liquid fuel from the diffusion layer. 請求項1から請求項6のいずれかに記載のマイクロ流体デバイスの製造方法であって、
前記流路溝の形成された流路板を、基板上に塗布形成された充填材を含む材料層に押し付け、前記流路板の凸部に前記充填材を含む材料を転写する工程と、
前記充填材を含む材料が転写された前記流路板を、前記介装部材上に載せ、アニールによって、前記充填材を含む材料を前記介装部材内に含浸させ、前記流路板と前記介装部材とを貼り合わせる工程とを備えた、マイクロ流体デバイスの製造方法。
A method of manufacturing a microfluidic device according to any one of claims 1 to 6 ,
Pressing the flow path plate in which the flow path grooves are formed against a material layer including a filler formed on the substrate, and transferring the material including the filler to the convex portion of the flow path plate;
The flow path plate on which the material containing the filler is transferred is placed on the interposed member, and the material containing the filler is impregnated into the interposed member by annealing, and the flow path plate and the intermediate A method for manufacturing a microfluidic device, comprising a step of bonding a packaging member together.
前記充填材を含む材料が転写される前記流路板の凸部表面に、前記充填材を含む材料の転写を促進する凹凸構造を設けた、請求項13に記載のマイクロ流体デバイスの製造方法。 The method of manufacturing a microfluidic device according to claim 13 , wherein a concavo-convex structure that promotes transfer of the material including the filler is provided on a convex surface of the flow path plate to which the material including the filler is transferred. 請求項7から請求項12のいずれかに記載の燃料電池の製造方法であって、
前記流路溝の形成された流路板を、基板上に塗布形成された充填材を含む材料層に押し付け、前記流路板の凸部に前記充填材を含む材料を転写する工程と、
前記充填材を含む材料が転写された前記流路板を、前記介装部材上に載せ、アニールによって、前記充填材を含む材料を前記介装部材内に含浸させ、前記流路板と前記介装部材とを貼り合わせる工程とを備えた、燃料電池の製造方法。
A method of manufacturing a fuel cell according to any one of claims 7 to 12 ,
Pressing the flow path plate in which the flow path grooves are formed against a material layer including a filler formed on the substrate, and transferring the material including the filler to the convex portion of the flow path plate;
The flow path plate on which the material containing the filler is transferred is placed on the interposed member, and the material containing the filler is impregnated into the interposed member by annealing, and the flow path plate and the intermediate The manufacturing method of a fuel cell provided with the process of bonding together a mounting member.
前記充填材を含む材料が転写される前記流路板の凸部表面に、前記充填材を含む材料の転写を促進する凹凸構造を設けた、請求項15に記載の燃料電池の製造方法。 The method of manufacturing a fuel cell according to claim 15 , wherein a concavo-convex structure that promotes transfer of the material including the filler is provided on a convex surface of the flow path plate to which the material including the filler is transferred.
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