JP5176865B2 - 放射線測定方法および装置 - Google Patents
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他方、半導体放射線検出器から出力される信号のドリフト量を検出しドリフト量が閾値を越えるとドリフトをリセットしたり、一定時間毎にドリフトをリセットする放射線測定方法が知られている(例えば特許文献2参照。)。
I=B・Io・exp{-μ・x}
但し、I:吸収後のX線強度、B:ビルドアップ係数、
Io:はじめのX線強度、μ=吸収係数、x:吸収物の厚み
上式に示すランベルト・ベールの法則によれば、低エネルギーX線(例えばMn−Kα:5.9keV)はSi(Li)放射線検出素子のp面電極付近のみで吸収される。一次電子・正孔対発生雲の大きさは、約4μm程度の拡がりになる。
一次電子・正孔対発生雲で生じた電荷は、逆バイアス電圧がかけられていることから、電子はn面電極側に引き寄せられ、正孔はp面電極側に引き寄せられる。ところが、n面電極付近のi層では、イオン状態になっているLi+が、引き寄せられた電子を捕まえてLi原子に変化する。一方、B−は、イオン状態を保つ。つまり、i層内のドナーとアクセプタの一部が励起してイオン状態になっているSi(Li)放射線検出素子に低エネルギーX線を照射すると、i層の一部がp層化する。そして、照射を繰り返すと、i層の一部のp層化が進んでゆく。換言すれば、Si(Li)放射線検出素子を用いて低エネルギーX線の測定を繰り返した場合、i層の一部のp層化が徐々に進んでゆく。そして、i層の一部のp層化が進んでゆくと、Si(Li)放射線検出素子の容量が徐々に増加していくため、測定開始時から測定を繰り返す毎に測定値が変化していく問題点がある。
しかし、上記従来技術では、この問題点に対応できなかった。
そこで、本発明の目的は、測定開始時における測定値の変動を抑制することが出来る放射線測定方法および装置を提供することにある。
上記第1の観点による放射線測定方法では、高エネルギー放射線照射ステップで、半導体放射線検出素子を透過してしまう高エネルギーの放射線を半導体放射線検出素子に照射するので、放射線入射側と反対側の電極付近にも放射線が届いて電子・正孔対が発生する。このため、放射線入射側と反対側の電極付近に当たるi層では、イオン状態になっているドナーは、発生した電子を捕まえてドナー原子に変化する。一方、イオン状態になっているアクセプタも、発生した正孔を捕まえてアクセプタ原子に変化する。つまり、放射線入射側と反対側の電極付近に当たるi層にイオン状態になっているドナーやアクセプタがなくなるため、放射線測定ステップで、低エネルギーの放射線の測定を繰り返しても、i層の一部のp層化の進行を生じない。よって、測定開始時における測定値の変動を抑制することが出来る。
上記第2の観点による放射線測定方法では、高エネルギー放射線照射ステップで、Si(Li)放射線検出素子を透過してしまう高エネルギーの放射線をSi(Li)放射線検出素子に照射するので、n面電極付近にも放射線が届いて電子・正孔対が発生する。このため、n面電極付近に当たるi層では、イオン状態になっているLi+は、発生した電子を捕まえてリチウム原子に変化する。一方、イオン状態になっているB−も、発生した正孔を捕まえてボロン原子に変化する。つまり、n面電極付近に当たるi層にLi+やB−がなくなるため、放射線測定ステップで、低エネルギーの放射線の測定を繰り返しても、i層の一部のp層化の進行を生じない。よって、測定開始時における測定値の変動を抑制することが出来る。
本願発明者の実験によれば、高エネルギー放射線照射ステップでの高エネルギー放射線の照射時間を10秒間〜60秒間とすることで十分な効果が得られることを見いだした。また、高エネルギー放射線照射ステップでの照射終了から1時間以内に放射線測定ステップを行うことで十分な効果が得られることを見いだした。なお、高エネルギー放射線照射ステップでの照射終了から12時間後に放射線測定ステップを行っても所望の効果が得られた。
上記第4の観点による放射線測定装置では、前記第1の観点による放射線測定方法を好適に実施できる。
上記第5の観点による放射線測定装置では、前記第2の観点による放射線測定方法を好適に実施できる。
本願発明者の計算によれば、ジルコニウムよりも原子番号が大きい元素の単体または合金に電磁放射線を当てることで、半導体放射線検出素子の一般的な厚さ0.4cmを透過してしまう高エネルギーの放射線を発生できることが判った。
すなわち、上記第6の観点による放射線測定装置では、厚さ0.4cm程度の半導体放射線検出素子に対して前記第1または第2の観点による放射線測定方法を好適に実施できる。
上記第7の観点による放射線測定装置では、電磁放射線発生手段が発生する電磁放射線が試料に当てられる経路中に高エネルギー放射線発生部材を入れることで高エネルギー放射線照射ステップを実施でき、経路中から高エネルギー放射線発生部材を除去することで放射線測定ステップを実施できる。
図1および図2は実施例1に係る放射線測定装置100を示す構成説明図であり、図1は高エネルギー放射線照射ステップの状態を示し、図2は放射線測定ステップの状態を示す。
ジルコニウムよりも原子番号が大きい元素を用いれば、厚さ0.4cm以下の半導体放射線検出素子2を透過してしまう高エネルギーの特性X線を発生できることが判る。
1回目と2回目の測定値は他の測定値と比較して変化している。1回目の測定値は、n面電極付近で電子を捕らえるLi+が多いため、真値よりも小さい値になる。また2回目の測定値も、その傾向は続くが1回目ほどではない。3回目以降はLi+が電子で飽和され平常状態となるため測定値は一定となる。
10回の測定値は図4と比較した場合、1回目から安定している。
試料Sに電磁放射線21を当てるための電磁放射線発生源20とは別に高エネルギー放射線発生源を設けてもよい。
このような高エネルギー放射線発生源としては、特性X線やγ線を発生する放射性同位元素を用いることが出来る。
10 ペルチェ冷却型半導体放射線検出器
20 電磁放射線発生源
21 電磁放射線
30 シャッタ移動機構
31 シャッタ
40 高エネルギーX線発生部材
41 高エネルギーX線
F 試料からの蛍光X線
S 試料
Claims (5)
- 半導体放射線検出素子を透過してしまう高エネルギーの放射線を前記半導体放射線検出素子に照射する高エネルギー放射線照射ステップと、前記高エネルギー放射線照射ステップでの照射終了後に前記半導体放射線検出素子を用いて測定対象の放射線を測定する放射線測定ステップとを有し、前記半導体放射線検出素子は、シリコンにリチウムをドリフトしたSi(Li)放射線検出素子であることを特徴とする放射線測定方法。
- 請求項1に記載の放射線測定方法において、前記高エネルギー放射線照射ステップでは前記高エネルギーの放射線を前記半導体放射線検出素子に10秒間から60秒間に渡って照射し、前記高エネルギー放射線照射ステップでの照射終了から1時間以内に前記放射線測定ステップを実行することを特徴とする放射線測定方法。
- 電磁放射線を発生する電磁放射線発生手段と、前記電磁放射線が当たることで試料が発生する放射線を測定するための半導体放射線検出素子と、前記半導体放射線検出素子を透過してしまう高エネルギーの放射線を発生し前記半導体放射線検出素子に照射するための高エネルギー放射線発生照射手段とを具備し、前記半導体放射線検出素子は、シリコンにリチウムをドリフトしたSi(Li)放射線検出素子であることを特徴とする放射線測定装置。
- 請求項3に記載の放射線測定装置において、前記高エネルギー放射線発生照射手段は、ジルコニウムよりも原子番号が大きい元素の単体または合金からなる高エネルギー放射線発生部材と、電磁放射線を前記高エネルギー放射線発生部材に当て発生した高エネルギー放射線を前記半導体放射線検出素子に照射する高エネルギー放射線照射手段とからなることを特徴とする放射線測定装置。
- 請求項4に記載の放射線測定装置において、前記高エネルギー放射線照射手段は、前記電磁放射線発生手段から発生する電磁放射線が試料に当たり、半導体検出素子に至る経路間に、前記高エネルギー放射線発生部材を出し入れする移動機構であることを特徴とする放射線測定装置。
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