JP5151752B2 - Dielectric porcelain composition - Google Patents

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Description

本発明は、誘電体磁器組成物に係り、さらに詳しくは、比較的に定格電圧が高い中高圧用途に好適に用いられる誘電体磁器組成物に関する。   The present invention relates to a dielectric ceramic composition, and more particularly to a dielectric ceramic composition that is suitably used for medium to high voltage applications having a relatively high rated voltage.

近年、電子回路の高密度化に伴う電子部品の小型化に対する要求は高く、積層セラミックコンデンサの小型・大容量化が急速に進むとともに、用途も拡大し、要求される特性は様々である。   In recent years, there has been a high demand for downsizing of electronic components due to higher density of electronic circuits, and the use of multilayer ceramic capacitors has rapidly increased in size and capacity, and applications have been expanded.

たとえば、ECM(エンジンエレクトリックコンピュータモジュール)、燃料噴射装置、電子制御スロットル、インバータ、コンバータ、HIDヘッドランプユニット、ハイブリッドエンジンのバッテリコントロールユニット、デジタルスチールカメラ等の機器に用いられる中高圧用コンデンサには、高い電界強度下においても使用できることが求められる。   For example, medium and high voltage capacitors used in equipment such as ECM (engine electric computer module), fuel injection device, electronic control throttle, inverter, converter, HID headlamp unit, hybrid engine battery control unit, digital still camera, etc. It must be usable even under high electric field strength.

したがって、上記の機器に中高圧用コンデンサを用いる場合、電子部品の高密度の実装により生じる発熱や、自動車用電子部品に代表される過酷な使用環境が問題となるため、高電圧下で使用できることだけでなく、高温度下、たとえば100℃以上の環境下においても高い信頼性が望まれている。   Therefore, when using a medium- or high-voltage capacitor for the above equipment, heat generation caused by high-density mounting of electronic components and the harsh use environment typified by automotive electronic components are problematic, so it can be used under high voltage. In addition, high reliability is desired even at high temperatures, for example, at 100 ° C. or higher.

なお、特許文献1には、Si元素を含む(Ba,Ca)TiO結晶粒子(BCT粒子)において、結晶粒子表面付近および粒子内部の特定の位置におけるSi元素の含有量を特定量としている誘電体磁器組成物を含む積層セラミックコンデンサが提案されている。 In Patent Document 1, in (Ba, Ca) TiO 3 crystal particles (BCT particles) containing Si element, the dielectric content has a specific amount of Si element in the vicinity of the crystal particle surface and in a specific position inside the particle. Multilayer ceramic capacitors containing a body porcelain composition have been proposed.

しかしながら、BCT粒子内部のSi元素の含有割合は、特定の位置でのみ測定されているだけであり、BCT粒子内部全体のSi元素の含有割合を反映したものではない。また、特許文献1に開示された積層セラミックコンデンサは、大容量向けであり、中高圧用のコンデンサとしては使用が困難であると考えられる。
特開2007−201277号公報
However, the content ratio of the Si element inside the BCT particles is only measured at a specific position, and does not reflect the content ratio of the Si element inside the BCT particles. The multilayer ceramic capacitor disclosed in Patent Document 1 is intended for large capacity, and is considered difficult to use as a medium-high voltage capacitor.
JP 2007-201277 A

本発明は、このような実状に鑑みてなされ、DCバイアス特性を良好に維持しつつ、高温負荷寿命を向上させることができる誘電体磁器組成物を提供することを目的とする。   This invention is made | formed in view of such a situation, and it aims at providing the dielectric ceramic composition which can improve a high temperature load lifetime, maintaining DC bias characteristic favorably.

本発明者等は、上記目的を達成するために鋭意検討を行った結果、誘電体磁器組成物を構成する誘電体粒子内および誘電体粒子の周囲に存在する結晶粒界相の双方において、Si元素の含有割合を特定の範囲とすることで、DCバイアス特性を良好に維持しつつ、高温負荷寿命を向上できることを見出し、本発明を完成させるに至った。   As a result of intensive studies to achieve the above object, the present inventors have found that both in the dielectric particles constituting the dielectric ceramic composition and in the grain boundary phase existing around the dielectric particles. It has been found that by setting the element content ratio within a specific range, the high temperature load life can be improved while maintaining good DC bias characteristics, and the present invention has been completed.

すなわち、本発明に係る誘電体磁器組成物は、
チタン酸バリウムを含む主成分と、
BaZrOを含む第1副成分と、
Rの酸化物(ただし、Rは、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、YbおよびLuから選択される少なくとも1種)を含む第2副成分と、
Mの酸化物(ただし、Mは、Mn、Ni、Cr、CoおよびFeから選択される少なくとも1種)を含む第3副成分と、
Siの酸化物を含む第4副成分と、を含有する誘電体磁器組成物であって、
前記誘電体磁器組成物が、複数の誘電体粒子と、隣り合う前記誘電体粒子間に存在する結晶粒界相と、を有しており、
前記誘電体粒子と前記結晶粒界相との境界における前記Si元素の含有割合を測定したときに、前記Si元素の含有割合が1.0atom%以上である測定点の割合が、全測定点の50%以上であり、かつ、前記誘電体粒子における前記Si元素の含有割合について、複数の誘電体粒子における平均値を算出したときに、前記平均値が、0.5atom%以上であることを特徴とする。
That is, the dielectric ceramic composition according to the present invention is
A main component comprising barium titanate;
A first subcomponent comprising BaZrO 3 ;
R oxide (where R is at least one selected from Sc, Y, La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb and Lu) A second subcomponent comprising
A third subcomponent comprising an oxide of M, where M is at least one selected from Mn, Ni, Cr, Co and Fe;
A dielectric ceramic composition comprising a fourth subcomponent comprising an oxide of Si,
The dielectric ceramic composition has a plurality of dielectric particles and a crystal grain boundary phase existing between the adjacent dielectric particles,
When the content ratio of the Si element at the boundary between the dielectric particles and the grain boundary phase is measured, the ratio of the measurement points at which the content ratio of the Si element is 1.0 atom% or more is the total of the measurement points. When the average value of the plurality of dielectric particles is calculated for the content ratio of the Si element in the dielectric particles, the average value is 0.5 atom% or more. And

本発明では、結晶粒界相におけるSi元素の含有割合と、結晶粒子内におけるSi元素の含有割合と、を制御して、Si元素が上記の範囲を満足するように存在させている。このようにすることで、DCバイアス特性を良好に維持しつつ、高温負荷寿命を向上させることができる誘電体磁器組成物を得ることができる。   In the present invention, the Si element content in the grain boundary phase and the Si element content in the crystal grains are controlled so that the Si element satisfies the above range. By doing in this way, the dielectric ceramic composition which can improve a high temperature load lifetime can be obtained, maintaining DC bias characteristics favorably.

本発明に係る誘電体磁器組成物が好適に用いられる誘電体層を有する電子部品は特に制限されないが、積層セラミックコンデンサ、圧電素子、チップインダクタ、チップバリスタ、チップサーミスタ、チップ抵抗、その他の表面実装(SMD)チップ型電子部品が例示される。   The electronic component having a dielectric layer in which the dielectric ceramic composition according to the present invention is suitably used is not particularly limited, but it is a multilayer ceramic capacitor, a piezoelectric element, a chip inductor, a chip varistor, a chip thermistor, a chip resistor, and other surface mounting. (SMD) chip type electronic components are exemplified.

通常、誘電体磁器組成物において、Si元素は結晶粒界相に存在する傾向にある。このSi元素が存在している領域は電気抵抗が高いため、Si元素が結晶粒界相に比較的に多く存在することで高温負荷寿命を向上させることができる。   Usually, in a dielectric ceramic composition, Si element tends to exist in a grain boundary phase. Since the region where the Si element is present has a high electric resistance, a relatively high amount of the Si element is present in the grain boundary phase, whereby the high temperature load life can be improved.

しかしながら、Si元素が結晶粒界相に多く存在すると、結晶粒界相と誘電体粒子内部との間における電気抵抗の差が大きくなり、局所的な不具合を生じてしまい、逆に高温負荷寿命が悪化することがある。   However, if a large amount of Si element is present in the grain boundary phase, the difference in electrical resistance between the grain boundary phase and the inside of the dielectric particles increases, resulting in local problems, and conversely, the high temperature load life is reduced. May get worse.

また、単にSi元素を誘電体粒子内に存在させただけでは、誘電体粒子の結晶構造が変化してしまい、DCバイアス特性などが悪化してしまう。   Further, if the Si element is simply present in the dielectric particles, the crystal structure of the dielectric particles is changed, and the DC bias characteristics are deteriorated.

本発明によれば、誘電体粒子の内部にSi元素を拡散させ、粒子内における含有割合と結晶粒界相におけるSi元素の含有割合とを制御することで、結晶粒界相と誘電体粒子内部との間における電気抵抗の差を小さくすることができる。その結果、上記のような局所的な不具合が解消され、高温負荷寿命が向上された誘電体磁器組成物を得ることができる。したがって、本発明に係る誘電体磁器組成物は、良好なDCバイアス特性を維持しつつ、高温負荷寿命が向上されており、比較的に定格電圧が高い中高圧用途に好適に用いられる。   According to the present invention, the Si element is diffused inside the dielectric particles, and the content ratio in the particles and the content ratio of the Si element in the crystal grain boundary phase are controlled. The difference in electrical resistance between the two can be reduced. As a result, it is possible to obtain a dielectric ceramic composition in which the above-mentioned local problems are eliminated and the high temperature load life is improved. Therefore, the dielectric ceramic composition according to the present invention has good high temperature load life while maintaining good DC bias characteristics, and is suitably used for medium to high voltage applications having a relatively high rated voltage.

以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。
図1は、本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサの断面図、
図2は、図1に示す誘電体層2の要部拡大断面図、
図3は、誘電体粒子2aおよび結晶粒界相2bにおけるSi元素の含有割合を測定する方法を説明するための模式図、
図4は、本発明に係る誘電体磁器組成物を製造する方法において、主成分原料および副成分原料から誘電体原料を得る工程を示すフローチャート
である。
Hereinafter, the present invention will be described based on embodiments shown in the drawings.
FIG. 1 is a cross-sectional view of a multilayer ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention.
2 is an enlarged cross-sectional view of a main part of the dielectric layer 2 shown in FIG.
FIG. 3 is a schematic diagram for explaining a method for measuring the content ratio of the Si element in the dielectric particles 2a and the grain boundary phase 2b.
FIG. 4 is a flowchart showing a process of obtaining a dielectric material from a main component material and a subcomponent material in the method for producing a dielectric ceramic composition according to the present invention.

積層セラミックコンデンサ1
図1に示すように、本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサ1は、誘電体層2と内部電極層3とが交互に積層された構成のコンデンサ素子本体10を有する。このコンデンサ素子本体10の両端部には、素子本体10の内部で交互に配置された内部電極層3と各々導通する一対の外部電極4が形成してある。コンデンサ素子本体10の形状に特に制限はないが、通常、直方体状とされる。また、その寸法にも特に制限はなく、用途に応じて適当な寸法とすればよい。
Multilayer ceramic capacitor 1
As shown in FIG. 1, a multilayer ceramic capacitor 1 according to an embodiment of the present invention includes a capacitor element body 10 having a configuration in which dielectric layers 2 and internal electrode layers 3 are alternately stacked. At both ends of the capacitor element body 10, a pair of external electrodes 4 are formed which are electrically connected to the internal electrode layers 3 arranged alternately in the element body 10. The shape of the capacitor element body 10 is not particularly limited, but is usually a rectangular parallelepiped shape. Moreover, there is no restriction | limiting in particular also in the dimension, What is necessary is just to set it as a suitable dimension according to a use.

内部電極層3は、各端面がコンデンサ素子本体10の対向する2端部の表面に交互に露出するように積層してある。また、一対の外部電極4は、コンデンサ素子本体10の両端部に形成され、交互に配置された内部電極層3の露出端面に接続されて、コンデンサ回路を構成する。   The internal electrode layers 3 are laminated so that the end faces are alternately exposed on the surfaces of the two opposite ends of the capacitor element body 10. The pair of external electrodes 4 are formed at both ends of the capacitor element body 10 and connected to the exposed end surfaces of the alternately arranged internal electrode layers 3 to constitute a capacitor circuit.

誘電体層2
誘電体層2は、本発明の誘電体磁器組成物を含有する。
本発明の誘電体磁器組成物は、チタン酸バリウムを含む主成分と、BaZrOを含む第1副成分と、Rの酸化物(ただし、Rは、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、YbおよびLuから選択される少なくとも1種)を含む第2副成分と、Mの酸化物(ただし、Mは、Mn、Ni、Cr、CoおよびFeから選択される少なくとも1種)を含む第3副成分と、Siの酸化物を含む第4副成分と、を有する。
Dielectric layer 2
The dielectric layer 2 contains the dielectric ceramic composition of the present invention.
The dielectric ceramic composition of the present invention includes a main component containing barium titanate, a first subcomponent containing BaZrO 3 , an oxide of R (where R is Sc, Y, La, Ce, Pr, Nd , Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb and Lu, a second subcomponent, and an oxide of M (where M is Mn, A third subcomponent including at least one selected from Ni, Cr, Co, and Fe) and a fourth subcomponent including an oxide of Si.

主成分として含有されるチタン酸バリウムは、たとえば、組成式(BaO)TiOで表される。前記組成式中のxは、チタン酸バリウムのAサイトとBサイトとの比率を示しており、xは、好ましくは1.000≦x<1.010、さらに好ましくは1.000≦x≦1.004である。 Barium titanate contained as a main component is represented by, for example, a composition formula (BaO) x TiO 2 . X in the composition formula represents a ratio of A site and B site of barium titanate, and x is preferably 1.000 ≦ x <1.010, more preferably 1.000 ≦ x ≦ 1. .004.

xが小さすぎると、比誘電率が低下すると共に高温負荷寿命が低下する傾向にある。一方、xが大きすぎると、電歪特性、DCバイアス特性が低下する傾向にある。   If x is too small, the relative permittivity tends to decrease and the high temperature load life tends to decrease. On the other hand, when x is too large, the electrostrictive characteristics and the DC bias characteristics tend to be lowered.

第1副成分(BaZrO)は、主に、主成分であるチタン酸バリウムの強誘電性を抑制する効果を有する。第1副成分の含有量は、主成分100モルに対して、BaZrO換算で、好ましくは10モル以上であり、より好ましくは10〜15モルである。第1副成分の含有量が少なすぎると、電歪特性およびDCバイアス特性が悪化する傾向にあり、一方、多すぎると比誘電率が低下する傾向にある。 The first subcomponent (BaZrO 3 ) mainly has an effect of suppressing the ferroelectricity of the main component, barium titanate. The content of the first subcomponent is preferably 10 mol or more, more preferably 10 to 15 mol in terms of BaZrO 3 with respect to 100 mol of the main component. If the content of the first subcomponent is too small, the electrostrictive characteristics and the DC bias characteristics tend to deteriorate, while if too large, the relative permittivity tends to decrease.

第2副成分(Rの酸化物)は、主に、主成分であるチタン酸バリウムの強誘電性を抑制する効果を有する。第2副成分の含有量は、主成分100モルに対して、R換算で、好ましくは4〜6モルであり、より好ましくは4〜5モルである。第2副成分の含有量が少なすぎると、電歪特性およびDCバイアス特性が悪化すると共に高温負荷寿命が悪化する傾向にある。一方、多すぎると比誘電率が低下する傾向にある。なお、上記Rの酸化物を構成するR元素としては、Gd、Sm、Tb、Dy、Ho、Yから選択される少なくとも1種が好ましい。中でも温度特性に優れることから、Gdが特に好ましい。 The second subcomponent (R oxide) mainly has an effect of suppressing the ferroelectricity of the main component, barium titanate. The content of the second subcomponent is preferably 4 to 6 mol and more preferably 4 to 5 mol in terms of R 2 O 3 with respect to 100 mol of the main component. If the content of the second subcomponent is too small, the electrostrictive characteristics and the DC bias characteristics are deteriorated and the high temperature load life tends to be deteriorated. On the other hand, if the amount is too large, the relative permittivity tends to decrease. The R element constituting the R oxide is preferably at least one selected from Gd, Sm, Tb, Dy, Ho, and Y. Among these, Gd is particularly preferable because of excellent temperature characteristics.

第3副成分(Mの酸化物)は、誘電体磁器組成物の耐還元性を向上させる効果を有する。第3副成分の含有量は、主成分100モルに対して、MnO、NiO、CrO3/2 、CoO4/3 またはFeO3/2 換算で、好ましくは0.1〜2.0モルであり、より好ましくは0.4〜1.5モルである。第3副成分の含有量が少なすぎると、誘電体の抵抗値が低下する傾向にある。一方、多すぎると、高温負荷寿命が悪化する傾向にある。なお、第3副成分としては、上記各酸化物のなかでも特性の改善効果が大きいという点から、MnまたはCrの酸化物を用いることが好ましい。 The third subcomponent (M oxide) has the effect of improving the reduction resistance of the dielectric ceramic composition. The content of the third subcomponent is preferably 0.1 to 2.0 mol in terms of MnO, NiO, CrO 3/2 , CoO 4/3 or FeO 3/2 with respect to 100 mol of the main component. More preferably, it is 0.4-1.5 mol. If the content of the third subcomponent is too small, the resistance value of the dielectric tends to decrease. On the other hand, if the amount is too large, the high temperature load life tends to deteriorate. As the third subcomponent, it is preferable to use an oxide of Mn or Cr because the effect of improving the characteristics is great among the above-mentioned oxides.

第4副成分(Siの酸化物)は主として焼結助剤としての役割を有している。第4副成分の含有量は、主成分100モルに対して、SiO換算で、好ましくは0.5〜5.0モルであり、より好ましくは1.0〜3.0モルである。第4副成分の含有量が少なすぎると、焼結性が悪化する傾向にある。一方、多すぎると、比誘電率が低下する傾向にある。なお、第4副成分としてのSiの酸化物が含有される形態については特に制限されず、たとえば、SiO単独の形態で含まれていてもよいし、(Ba,Ca)SiO等の複合酸化物の形態で含まれていてもよい。 The fourth subcomponent (Si oxide) mainly serves as a sintering aid. The content of the fourth subcomponent is preferably 0.5 to 5.0 mol, more preferably 1.0 to 3.0 mol in terms of SiO 2 with respect to 100 mol of the main component. If the content of the fourth subcomponent is too small, the sinterability tends to deteriorate. On the other hand, if the amount is too large, the relative permittivity tends to decrease. The form in which the oxide of Si as the fourth subcomponent is not particularly limited, for example, may be included in the form of SiO 2 alone, or a composite such as (Ba, Ca) SiO 3. It may be included in the form of an oxide.

なお、本実施形態においては、必要に応じて、上記第1〜第4副成分に加えて、その他の副成分を添加しても良い。このような副成分としては、たとえば、Mgの酸化物、Alの酸化物などが挙げられる。Mgの酸化物は、他の特性を良好に保ちながら、容量温度特性を安定させる効果を有する。また、Alの酸化物は、他の特性を良好に保ちながら、焼結助剤としての効果を有する。これらの酸化物を用いる場合における含有量は、主成分100モルに対して、Mgの酸化物が、MgO換算で、1.0〜5.0モル、Alの酸化物が、Al換算で、0.3〜1.0モルであることが好ましい。 In addition, in this embodiment, you may add another subcomponent in addition to the said 1st-4th subcomponent as needed. Examples of such subcomponents include Mg oxide and Al oxide. Mg oxide has the effect of stabilizing the capacity-temperature characteristics while maintaining other characteristics favorable. In addition, the Al oxide has an effect as a sintering aid while keeping other characteristics good. When these oxides are used, the content of Mg oxide is 1.0 to 5.0 mol in terms of MgO and Al oxide is in terms of Al 2 O 3 with respect to 100 mol of the main component. And preferably 0.3 to 1.0 mol.

誘電体層の微細構造
図2に示すように、誘電体層2は、誘電体粒子(結晶粒)2aと、隣接する複数の誘電体粒子2a間に形成された結晶粒界相2bと、を含んで構成される。この誘電体粒子2aは、主成分であるチタン酸バリウムと、上記の副成分とを含んでいると考えられる。
As shown in FIG. 2, the dielectric layer 2 includes dielectric particles (crystal grains) 2a and crystal grain boundary phases 2b formed between a plurality of adjacent dielectric particles 2a. Consists of including. This dielectric particle 2a is considered to contain barium titanate, which is the main component, and the subcomponents described above.

結晶粒界2bは、誘電体層あるいは内部電極層を構成する材質の酸化物や、別途添加された材質の酸化物、さらには工程中に不純物として混入する材質の酸化物を成分としている。通常は主としてガラスないしガラス質で構成されている。本実施形態では、少なくともSi元素が含まれている。   The crystal grain boundary 2b is composed of an oxide of a material constituting the dielectric layer or the internal electrode layer, an oxide of a material added separately, or an oxide of a material mixed as an impurity during the process. Usually, it is mainly composed of glass or glass. In this embodiment, at least Si element is contained.

本発明では、結晶粒界2bには、Si元素が比較的に高い含有割合で存在(偏析)している。また、誘電体粒子2aの内部にもSi元素が含まれており、その含有割合が制御されている。なお、結晶粒界2bには、Si元素以外の元素、すなわち、Zr元素、R元素、M元素あるいはその他副成分として添加される元素が存在していてもよい。   In the present invention, Si elements are present (segregated) at a relatively high content in the crystal grain boundaries 2b. The dielectric particles 2a also contain Si element, and the content ratio is controlled. In addition, elements other than Si element, that is, Zr element, R element, M element, or other elements added as subcomponents may exist in the crystal grain boundary 2b.

本発明では、結晶粒界相2bと誘電体粒子2aとの境界においてSi元素の含有割合を測定した場合に、Si元素の含有割合が1.0atom%以上である測定点の存在割合が、全測定点の50%以上、好ましくは60〜100%である。また、個々の誘電体粒子2a内のSi元素の含有割合について、平均値を算出した場合、算出された平均値が0.5atom%以上、好ましくは0.7atom%以上である。   In the present invention, when the Si element content ratio is measured at the boundary between the grain boundary phase 2b and the dielectric particle 2a, the existence ratio of measurement points at which the Si element content ratio is 1.0 atom% or more is It is 50% or more of the measurement point, preferably 60 to 100%. Further, when the average value is calculated for the content ratio of the Si element in each dielectric particle 2a, the calculated average value is 0.5 atom% or more, preferably 0.7 atom% or more.

通常、Si元素は、誘電体粒子2a内に拡散しにくく、結晶粒界相2bに留まる傾向にある。このように、結晶粒界相2bにSi元素が偏析していることで、電気抵抗の高い領域が形成され、高温負荷寿命は改善される傾向にある。しかしながら、このような電気抵抗の高い領域が多く存在すると、結晶粒界相2bと誘電体粒子2a内部との間における電気抵抗の差が大きくなってしまい、局所的な不具合を生じて、逆に、高温負荷寿命が悪化することがある。   Usually, the Si element is difficult to diffuse into the dielectric particles 2a and tends to stay in the crystal grain boundary phase 2b. Thus, since the Si element is segregated in the grain boundary phase 2b, a region having a high electric resistance is formed, and the high temperature load life tends to be improved. However, if there are many such regions with high electrical resistance, the difference in electrical resistance between the grain boundary phase 2b and the inside of the dielectric particles 2a becomes large, causing local problems, and conversely The high temperature load life may deteriorate.

また、たとえば、仮焼などによりSi元素を誘電体粒子2a内に拡散させることは可能である。しかしながら、単にSi元素を粒子内に拡散させるだけでは、粒子の結晶構造が変化してしまい、DCバイアス特性等の電気特性が悪化してしまう。   Further, for example, it is possible to diffuse Si element into the dielectric particles 2a by calcination or the like. However, simply diffusing the Si element into the particles changes the crystal structure of the particles and deteriorates electrical characteristics such as DC bias characteristics.

そこで、本発明では、誘電体粒子2aの内部にSi元素を拡散させ、しかも、結晶粒界相においてもSi元素をある程度存在(偏析)させている。すなわち、結晶粒界相2bにおけるSi元素の含有割合と、誘電体粒子2a内におけるSi元素の含有割合の平均値と、を上記の範囲に制御している。このようにすることで、DCバイアス特性を良好に維持しつつ、誘電体磁器組成物の高温負荷寿命を向上させることができる。   Therefore, in the present invention, the Si element is diffused into the dielectric particles 2a, and the Si element is present (segregated) to some extent even in the crystal grain boundary phase. That is, the Si element content in the crystal grain boundary phase 2b and the average value of the Si element content in the dielectric particles 2a are controlled within the above range. By doing in this way, the high temperature load lifetime of a dielectric ceramic composition can be improved, maintaining DC bias characteristics favorably.

Si元素の含有割合が1.0atom%以上である測定点の存在割合が、全測定点の50%未満である場合には、高温負荷寿命が悪化する傾向にある。また、誘電体磁器組成物において、誘電体粒子内におけるSi元素の含有割合の平均値が、0.5atom%未満である場合にも、高温負荷寿命が悪化する傾向にある。   When the content ratio of the measurement points having a Si element content of 1.0 atom% or more is less than 50% of all measurement points, the high temperature load life tends to deteriorate. Further, in the dielectric ceramic composition, when the average value of the content ratio of Si element in the dielectric particles is less than 0.5 atom%, the high temperature load life tends to deteriorate.

結晶粒界相2bと誘電体粒子2aとの境界におけるSi元素の含有割合および誘電体粒子2a内部のSi元素の含有割合の平均値を測定する方法としては、特に制限されないが、たとえば、透過型電子顕微鏡(TEM)を用いた点分析により測定することができる。   The method for measuring the Si element content ratio at the boundary between the grain boundary phase 2b and the dielectric particle 2a and the average value of the Si element content ratio inside the dielectric particle 2a is not particularly limited. It can be measured by point analysis using an electron microscope (TEM).

本実施形態では、以下のようにして、Si元素の含有割合を測定することができる。まず、誘電体層を、走査透過型電子顕微鏡(STEM)により観察し、目視にて誘電体粒子2aと結晶粒界2bとを判別する。次に、任意の誘電体粒子2aを画像処理し、誘電体粒子2aの画像(断面)における重心を算出する。   In the present embodiment, the Si element content can be measured as follows. First, a dielectric layer is observed with a scanning transmission electron microscope (STEM), and the dielectric particle 2a and the crystal grain boundary 2b are discriminated visually. Next, an arbitrary dielectric particle 2a is subjected to image processing, and the center of gravity in the image (cross section) of the dielectric particle 2a is calculated.

次に、図3に示すように、その誘電体粒子2aにおいて、上記の重心を通るようにして、誘電体粒子2aの端から端まで直線を引き、該直線上において、該直線と誘電体粒子2aの外周部との交点(結晶粒界相と誘電体粒子との境界)を求める。この交点(測定点)に対して、STEMに付属のエネルギー分散型X線分光装置を用いて、点分析を行い、結晶粒界相におけるSi元素の含有割合を算出する。   Next, as shown in FIG. 3, in the dielectric particle 2a, a straight line is drawn from end to end of the dielectric particle 2a so as to pass through the center of gravity. On the straight line, the straight line and the dielectric particle are drawn. The intersection (the boundary between the crystal grain boundary phase and the dielectric particles) with the outer periphery of 2a is obtained. With respect to this intersection (measurement point), point analysis is performed using an energy dispersive X-ray spectrometer attached to the STEM, and the content ratio of the Si element in the grain boundary phase is calculated.

これを所定数の誘電体粒子について行うことで、結晶粒界2bにおけるSi元素の含有割合を測定することができる。測定点は20点以上であることが好ましい。また、選択する誘電体粒子は10個以上であることが好ましい。   By performing this for a predetermined number of dielectric particles, the Si element content in the crystal grain boundaries 2b can be measured. The number of measurement points is preferably 20 points or more. The number of dielectric particles to be selected is preferably 10 or more.

また、図3に示すように、上記の直線上において、誘電体粒子2a内部の点を適宜選択する(図3においては5点選択されている)。この選択された点(測定点)において、上記と同様に、STEMに付属のエネルギー分散型X線分光装置を用いて、点分析を行い、誘電体粒子の内部におけるSi元素の含有割合を算出する。そして、測定点についてSi元素の含有割合の平均値を求め、これを、その誘電体粒子におけるSi元素の含有割合と規定する。   Further, as shown in FIG. 3, the points inside the dielectric particles 2a are appropriately selected on the straight line (five points are selected in FIG. 3). At the selected point (measurement point), the point analysis is performed using the energy dispersive X-ray spectrometer attached to the STEM in the same manner as described above, and the content ratio of the Si element inside the dielectric particles is calculated. . And the average value of the content rate of Si element is calculated | required about a measurement point, and this is prescribed | regulated as the content rate of Si element in the dielectric particle.

この測定を、複数の誘電体粒子に対して行い、それぞれの誘電体粒子において求められたSi元素の含有割合について、さらに平均値を求める。そして、この平均値が、誘電体層2を構成する全ての誘電体粒子におけるSi元素の含有割合の平均値であるとみなすことができる。   This measurement is performed on a plurality of dielectric particles, and an average value is further obtained for the Si element content ratio obtained in each dielectric particle. This average value can be regarded as the average value of the content ratio of Si element in all the dielectric particles constituting the dielectric layer 2.

図1に示す誘電体層2を構成する誘電体粒子の平均粒子径は、誘電体層2の厚さなどに応じて決定すればよいが、本実施形態では、1.5μm以下であることが好ましい。   The average particle diameter of the dielectric particles constituting the dielectric layer 2 shown in FIG. 1 may be determined according to the thickness of the dielectric layer 2 and the like, but in the present embodiment, it is 1.5 μm or less. preferable.

内部電極層3
図1に示す内部電極層3に含有される導電材は特に限定されないが、誘電体層2の構成材料が耐還元性を有するため、比較的安価な卑金属を用いることができる。導電材として用いる卑金属としては、NiまたはNi合金が好ましい。Ni合金としては、Mn,Cr,CoおよびAlから選択される1種以上の元素とNiとの合金が好ましく、合金中のNi含有量は95重量%以上であることが好ましい。なお、NiまたはNi合金中には、P等の各種微量成分が0.1重量%程度以下含まれていてもよい。また、内部電極層3は、市販の電極用ペーストを使用して形成してもよい。内部電極層3の厚さは用途等に応じて適宜決定すればよい。
Internal electrode layer 3
The conductive material contained in the internal electrode layer 3 shown in FIG. 1 is not particularly limited, but a relatively inexpensive base metal can be used because the constituent material of the dielectric layer 2 has reduction resistance. As the base metal used as the conductive material, Ni or Ni alloy is preferable. The Ni alloy is preferably an alloy of Ni and one or more elements selected from Mn, Cr, Co and Al, and the Ni content in the alloy is preferably 95% by weight or more. In addition, in Ni or Ni alloy, various trace components, such as P, may be contained about 0.1 wt% or less. The internal electrode layer 3 may be formed using a commercially available electrode paste. What is necessary is just to determine the thickness of the internal electrode layer 3 suitably according to a use etc.

外部電極4
図1に示す外部電極4に含有される導電材は特に限定されないが、本発明では安価なNi,Cuや、これらの合金を用いることができる。外部電極4の厚さは用途等に応じて適宜決定すればよい。
External electrode 4
The conductive material contained in the external electrode 4 shown in FIG. 1 is not particularly limited, but inexpensive Ni, Cu, or alloys thereof can be used in the present invention. What is necessary is just to determine the thickness of the external electrode 4 suitably according to a use etc.

積層セラミックコンデンサ1の製造方法
本実施形態の積層セラミックコンデンサ1の製造方法について具体的に説明する。特に、誘電体原料を調製する工程については、図4を用いて説明する。
Manufacturing Method of Multilayer Ceramic Capacitor 1 A manufacturing method of the multilayer ceramic capacitor 1 of this embodiment will be specifically described. In particular, the step of preparing the dielectric material will be described with reference to FIG.

まず、誘電体層2に含有される誘電体磁器組成物の原料を構成する誘電体原料(主成分原料および副成分原料)を準備する。   First, a dielectric material (a main component material and a subcomponent material) constituting a material of the dielectric ceramic composition contained in the dielectric layer 2 is prepared.

主成分原料および副成分原料としては、上記した主成分および副成分の酸化物やその混合物、複合酸化物を用いることができる。さらに、その他、焼成により上記した酸化物や複合酸化物となる各種化合物、たとえば、炭酸塩、シュウ酸塩、硝酸塩、水酸化物、有機金属化合物等から適宜選択し、混合して用いることもできる。例を挙げると、主成分であるチタン酸バリウムの原料として、BaTiOを用いてもよいし、BaCOおよびTiOを用いてもよい。また、副成分であるBaZrOの原料として、BaZrOを用いてもよいし、BaCOおよびZrOを用いてもよい。 As the main component raw material and subcomponent raw material, the above-mentioned main component and subcomponent oxides, mixtures thereof, and composite oxides can be used. In addition, various compounds that become the oxides and composite oxides described above by firing, for example, carbonates, oxalates, nitrates, hydroxides, organometallic compounds, and the like, can be appropriately selected and mixed for use. . For example, BaTiO 3 may be used as a raw material for barium titanate, which is the main component, or BaCO 3 and TiO 2 may be used. Moreover, BaZrO 3 may be used as a raw material for BaZrO 3 as a subcomponent, or BaCO 3 and ZrO 2 may be used.

主成分原料としてのチタン酸バリウム原料粉末は、いわゆる固相法の他、各種液相法(たとえば、シュウ酸塩法、水熱合成法、アルコキシド法、ゾルゲル法など)により製造されたものなど、種々の方法で製造されたものを用いることができる。   The barium titanate raw material powder as the main component raw material is produced by various liquid phase methods (for example, oxalate method, hydrothermal synthesis method, alkoxide method, sol-gel method, etc.) in addition to the so-called solid phase method, Those produced by various methods can be used.

誘電体原料中の各化合物の含有量は、焼成後に上記した誘電体磁器組成物の組成となるように決定すればよい。   What is necessary is just to determine content of each compound in a dielectric raw material so that it may become a composition of the above-mentioned dielectric ceramic composition after baking.

本実施形態では、図4に示すように、上記で準備した主成分原料および副成分原料のうち、副成分原料(第1〜第4副成分原料およびその他の副成分原料)のみを予備分散することが好ましい。   In the present embodiment, as shown in FIG. 4, only the subcomponent materials (first to fourth subcomponent materials and other subcomponent materials) among the main component materials and subcomponent materials prepared above are predispersed. It is preferable.

予備分散の方法としては特に制限されないが、副成分の原料粉末に水や有機溶媒などを添加し、ボールミル等を使用し、湿式分散により行うことが好ましい。なお、予備分散は20〜30時間行うことが好ましい。予備分散後の原料の平均粒径は、0.2〜0.5μm程度である。予備分散を行うことで、副成分元素の局所的な偏析が大きくなりすぎることを効果的に抑制することができる。   The preliminary dispersion method is not particularly limited, but it is preferably carried out by wet dispersion using a ball mill or the like by adding water, an organic solvent, or the like to the raw material powder of the accessory component. The preliminary dispersion is preferably performed for 20 to 30 hours. The average particle diameter of the raw material after preliminary dispersion is about 0.2 to 0.5 μm. By performing preliminary dispersion, it is possible to effectively suppress the local segregation of subcomponent elements from becoming too large.

次に、図4に示すように、予備分散後の原料(第1〜4副成分の原料およびその他の副成分原料)に主成分原料(チタン酸バリウムの原料)を添加し、混合することが好ましい。   Next, as shown in FIG. 4, the main component raw material (barium titanate raw material) is added to and mixed with the raw material after preliminary dispersion (raw materials of the first to fourth subcomponents and other subcomponent raw materials). preferable.

混合する方法としては特に制限されないが、予備分散後の原料と主成分原料との混合物に、水や有機溶媒などを添加し、ボールミル等を使用し、湿式混合により行うことが好ましい。なお、混合は2〜4時間行うことが好ましい。   The mixing method is not particularly limited, but it is preferable to add water, an organic solvent, or the like to the mixture of the raw material after the pre-dispersion and the main component raw material, and perform wet mixing using a ball mill or the like. The mixing is preferably performed for 2 to 4 hours.

次に、図4に示すように、上記で得られた混合粉体(主成分原料および副成分原料)を仮焼する。仮焼条件としては、昇温速度を100〜300℃/h、保持温度を好ましくは750〜1000℃、温度保持時間を好ましくは1〜3時間とする。保持温度が低すぎる場合には、Si元素の誘電体粒子2aへの拡散が不十分となり、高温負荷寿命が悪化する傾向にある。一方、保持温度が高すぎると、副成分原料粉体の凝集が発生し、仮焼粉体の分散性が下がり、高温負荷寿命が悪化する傾向にある。   Next, as shown in FIG. 4, the mixed powder (the main component material and the subcomponent material) obtained above is calcined. As calcination conditions, the temperature rising rate is 100 to 300 ° C./h, the holding temperature is preferably 750 to 1000 ° C., and the temperature holding time is preferably 1 to 3 hours. When the holding temperature is too low, the diffusion of Si element into the dielectric particles 2a becomes insufficient, and the high temperature load life tends to deteriorate. On the other hand, if the holding temperature is too high, the agglomeration of the subcomponent raw material powder occurs, the dispersibility of the calcined powder decreases, and the high temperature load life tends to deteriorate.

この仮焼は、大気中で行っても良く、また大気中よりも酸素分圧が高い雰囲気または純酸素雰囲気で行っても良い。この仮焼により、仮焼粉体が得られる。   This calcination may be performed in the air, or may be performed in an atmosphere having a higher oxygen partial pressure or in a pure oxygen atmosphere than in the air. By this calcining, calcined powder is obtained.

上記のようにして、仮焼粉体を作製し、これを用いることで、焼成後の誘電体磁器組成物におけるSi元素の拡散を制御し、結晶粒界相における存在状態および誘電体粒子の内部における存在状態を所定のものとすることができる。   By preparing a calcined powder as described above and using it, the diffusion of Si element in the dielectric ceramic composition after firing is controlled, and the existence state in the grain boundary phase and the inside of the dielectric particle are controlled. The presence state in can be a predetermined one.

その結果、結晶粒界相にSi元素が比較的に多く存在しつつ、しかも誘電体粒子内にも拡散しているため、結晶粒界相と誘電体粒子内部とにおける電気抵抗の差が小さくなり、DCバイアス特性を良好に維持しつつ、高温負荷寿命を向上させることができる。   As a result, a relatively large amount of Si element exists in the grain boundary phase and also diffuses into the dielectric particles, so the difference in electrical resistance between the grain boundary phase and the inside of the dielectric particles is reduced. Further, the high temperature load life can be improved while maintaining the DC bias characteristics well.

また、上記のように、副成分原料のみを予備分散し、その後に主成分原料を添加して仮焼粉体を作製することで、従来のように、副成分原料を仮焼した粉体に主成分原料を添加して予備分散する方法に比べて、工程を短縮することができる。   In addition, as described above, by preliminarily dispersing only the auxiliary component raw material, and then adding the main component raw material to prepare a calcined powder, the powder of the auxiliary component raw material is calcined as in the past. Compared with the method of adding and predispersing the main component raw material, the process can be shortened.

次に、この仮焼粉体(誘電体原料)を塗料化して、誘電体層用ペーストを調製する。誘電体層用ペーストは、誘電体原料と有機ビヒクルとを混練した有機系の塗料であってもよく、水系の塗料であってもよい。   Next, the calcined powder (dielectric material) is made into a paint to prepare a dielectric layer paste. The dielectric layer paste may be an organic paint obtained by kneading a dielectric material and an organic vehicle, or may be a water-based paint.

有機ビヒクルとは、バインダを有機溶剤中に溶解したものである。有機ビヒクルに用いるバインダは特に限定されず、エチルセルロース、ポリビニルブチラール等の通常の各種バインダから適宜選択すればよい。用いる有機溶剤も特に限定されず、印刷法やシート法など、利用する方法に応じて、テルピネオール、ブチルカルビトール、アセトン、トルエン等の各種有機溶剤から適宜選択すればよい。   An organic vehicle is obtained by dissolving a binder in an organic solvent. The binder used for the organic vehicle is not particularly limited, and may be appropriately selected from usual various binders such as ethyl cellulose and polyvinyl butyral. The organic solvent to be used is not particularly limited, and may be appropriately selected from various organic solvents such as terpineol, butyl carbitol, acetone, toluene, and the like according to a method to be used such as a printing method or a sheet method.

また、誘電体層用ペーストを水系の塗料とする場合には、水溶性のバインダや分散剤などを水に溶解させた水系ビヒクルと、誘電体原料とを混練すればよい。水系ビヒクルに用いる水溶性バインダは特に限定されず、たとえば、ポリビニルアルコール、セルロース、水溶性アクリル樹脂などを用いればよい。   Further, when the dielectric layer paste is used as a water-based paint, a water-based vehicle in which a water-soluble binder or a dispersant is dissolved in water and a dielectric material may be kneaded. The water-soluble binder used for the water-based vehicle is not particularly limited, and for example, polyvinyl alcohol, cellulose, water-soluble acrylic resin, etc. may be used.

内部電極層用ペーストは、上記した各種導電性金属や合金からなる導電材、あるいは焼成後に上記した導電材となる各種酸化物、有機金属化合物、レジネート等と、上記した有機ビヒクルとを混練して調製する。   The internal electrode layer paste is obtained by kneading the above-mentioned organic vehicle with various conductive metals and alloys as described above, or various oxides, organometallic compounds, resinates, etc. that become the above-mentioned conductive materials after firing. Prepare.

外部電極用ペーストは、上記した内部電極層用ペーストと同様にして調製すればよい。   The external electrode paste may be prepared in the same manner as the internal electrode layer paste described above.

上記した各ペースト中の有機ビヒクルの含有量に特に制限はなく、通常の含有量、たとえば、バインダは1〜5重量%程度、溶剤は10〜50重量%程度とすればよい。また、各ペースト中には、必要に応じて各種分散剤、可塑剤、誘電体、絶縁体等から選択される添加物が含有されていてもよい。これらの総含有量は、10重量%以下とすることが好ましい。   There is no restriction | limiting in particular in content of the organic vehicle in each above-mentioned paste, For example, what is necessary is just about 1-5 weight% of binders, for example, about 10-50 weight% of binders. Each paste may contain additives selected from various dispersants, plasticizers, dielectrics, insulators, and the like as necessary. The total content of these is preferably 10% by weight or less.

印刷法を用いる場合、誘電体層用ペーストおよび内部電極層用ペーストを、PET等の基板上に印刷、積層し、所定形状に切断した後、基板から剥離してグリーンチップとする。   When the printing method is used, the dielectric layer paste and the internal electrode layer paste are printed and laminated on a substrate such as PET, cut into a predetermined shape, and then peeled from the substrate to obtain a green chip.

また、シート法を用いる場合、誘電体層用ペーストを用いてグリーンシートを形成し、この上に内部電極層用ペーストを印刷した後、これらを積層してグリーンチップとする。   When the sheet method is used, a dielectric layer paste is used to form a green sheet, the internal electrode layer paste is printed thereon, and these are stacked to form a green chip.

焼成前に、グリーンチップに脱バインダ処理を施す。脱バインダ条件としては、昇温速度を好ましくは5〜300℃/時間、保持温度を好ましくは180〜400℃、温度保持時間を好ましくは0.5〜24時間とする。また、焼成雰囲気は、空気もしくは還元性雰囲気とする。   Before firing, the green chip is subjected to binder removal processing. As binder removal conditions, the temperature rising rate is preferably 5 to 300 ° C./hour, the holding temperature is preferably 180 to 400 ° C., and the temperature holding time is preferably 0.5 to 24 hours. The firing atmosphere is air or a reducing atmosphere.

グリーンチップの焼成は、還元性雰囲気とすることが好ましく、雰囲気ガスとしてはたとえば、NとHとの混合ガスを加湿して用いることができる。その他の条件は、以下のようにするのが好ましい。 The firing of the green chip is preferably performed in a reducing atmosphere. As the atmosphere gas, for example, a mixed gas of N 2 and H 2 can be used by humidification. Other conditions are preferably as follows.

まず、昇温速度は、好ましくは400℃/時間以上、より好ましくは500〜800℃/時間である。
焼成時の保持温度は、好ましくは1000〜1400℃、より好ましくは1200〜1300℃であり、その保持時間は、好ましくは0.5〜8時間、より好ましくは2〜5時間である。保持温度が上記範囲未満であると緻密化が不十分となり、前記範囲を超えると、内部電極層の異常焼結による電極の途切れや、内部電極層構成材料の拡散による容量温度特性の悪化、誘電体磁器組成物の還元が生じやすくなる。
焼成時の酸素分圧は、内部電極層用ペースト中の導電材の種類に応じて適宜決定されればよいが、導電材としてNiやNi合金等の卑金属を用いる場合、焼成雰囲気中の酸素分圧は、10−14〜10−10MPaとすることが好ましい。酸素分圧が上記範囲未満であると、内部電極層の導電材が異常焼結を起こし、途切れてしまうことがある。また、酸素分圧が前記範囲を超えると、内部電極層が酸化する傾向にある。
First, the rate of temperature rise is preferably 400 ° C./hour or more, more preferably 500 to 800 ° C./hour.
The holding temperature during firing is preferably 1000 to 1400 ° C., more preferably 1200 to 1300 ° C., and the holding time is preferably 0.5 to 8 hours, more preferably 2 to 5 hours. If the holding temperature is less than the above range, the densification is insufficient. Reduction of the body porcelain composition is likely to occur.
The oxygen partial pressure during firing may be appropriately determined according to the type of the conductive material in the internal electrode layer paste, but when a base metal such as Ni or Ni alloy is used as the conductive material, the oxygen content in the firing atmosphere The pressure is preferably 10 −14 to 10 −10 MPa. When the oxygen partial pressure is less than the above range, the conductive material of the internal electrode layer may be abnormally sintered and may be interrupted. Further, when the oxygen partial pressure exceeds the above range, the internal electrode layer tends to be oxidized.

降温速度は、好ましくは50〜1000℃/時間、より好ましくは100〜800℃/時間である。   The temperature lowering rate is preferably 50 to 1000 ° C./hour, more preferably 100 to 800 ° C./hour.

還元性雰囲気中で焼成した後、コンデンサ素子本体にはアニールを施すことが好ましい。アニールは、誘電体層を再酸化するための処理であり、これによりIR寿命を著しく長くすることができるので、信頼性が向上する。   After firing in a reducing atmosphere, the capacitor element body is preferably annealed. Annealing is a process for re-oxidizing the dielectric layer, and this can significantly increase the IR lifetime, thereby improving the reliability.

アニール雰囲気中の酸素分圧は、10−9〜10−5MPaとすることが好ましい。酸素分圧が前記範囲未満であると誘電体層の再酸化が困難であり、前記範囲を超えると内部電極層の酸化が進行する傾向にある。 The oxygen partial pressure in the annealing atmosphere is preferably 10 −9 to 10 −5 MPa. When the oxygen partial pressure is less than the above range, it is difficult to re-oxidize the dielectric layer, and when it exceeds the above range, oxidation of the internal electrode layer tends to proceed.

アニールの際の保持温度は、1100℃以下、特に500〜1100℃とすることが好ましい。保持温度が上記範囲未満であると誘電体層の酸化が不十分となるので、IRが低く、また、IR寿命が短くなりやすい。一方、保持温度が前記範囲を超えると、内部電極層が酸化して容量が低下するだけでなく、内部電極層が誘電体素地と反応してしまい、容量温度特性の悪化、IRの低下、IR寿命の低下が生じやすくなる。なお、アニールは昇温過程および降温過程だけから構成してもよい。すなわち、温度保持時間を零としてもよい。この場合、保持温度は最高温度と同義である。   The holding temperature at the time of annealing is preferably 1100 ° C. or less, particularly 500 to 1100 ° C. When the holding temperature is lower than the above range, the dielectric layer is not sufficiently oxidized, so that the IR is low and the IR life tends to be short. On the other hand, if the holding temperature exceeds the above range, not only the internal electrode layer is oxidized and the capacity is lowered, but the internal electrode layer reacts with the dielectric substrate, the capacity temperature characteristic is deteriorated, the IR is lowered, the IR Life is likely to decrease. Note that annealing may be composed of only a temperature raising process and a temperature lowering process. That is, the temperature holding time may be zero. In this case, the holding temperature is synonymous with the maximum temperature.

これ以外のアニール条件としては、温度保持時間を好ましくは0〜20時間、より好ましくは2〜10時間、降温速度を好ましくは50〜500℃/時間、より好ましくは100〜300℃/時間とする。また、アニールの雰囲気ガスとしては、たとえば、加湿したNガス等を用いることが好ましい。 As other annealing conditions, the temperature holding time is preferably 0 to 20 hours, more preferably 2 to 10 hours, and the cooling rate is preferably 50 to 500 ° C./hour, more preferably 100 to 300 ° C./hour. . Further, as the annealing atmosphere gas, for example, humidified N 2 gas or the like is preferably used.

上記した脱バインダ処理、焼成およびアニールにおいて、Nガスや混合ガス等を加湿するには、たとえばウェッター等を使用すればよい。この場合、水温は5〜75℃程度が好ましい。 In the above-described binder removal processing, firing and annealing, for example, a wetter or the like may be used to wet the N 2 gas or mixed gas. In this case, the water temperature is preferably about 5 to 75 ° C.

脱バインダ処理、焼成およびアニールは、連続して行なっても、独立に行なってもよい。   The binder removal treatment, firing and annealing may be performed continuously or independently.

上記のようにして得られたコンデンサ素子本体に、例えばバレル研磨やサンドブラストなどにより端面研磨を施し、外部電極用ペーストを塗布して焼成し、外部電極4を形成する。そして、必要に応じ、外部電極4表面に、めっき等により被覆層を形成する。   The capacitor element main body obtained as described above is subjected to end face polishing, for example, by barrel polishing or sand blasting, and the external electrode paste is applied and fired to form the external electrode 4. Then, if necessary, a coating layer is formed on the surface of the external electrode 4 by plating or the like.

このようにして製造された本実施形態の積層セラミックコンデンサは、ハンダ付等によりプリント基板上などに実装され、各種電子機器等に使用される。   The multilayer ceramic capacitor of this embodiment manufactured in this way is mounted on a printed circuit board or the like by soldering or the like and used for various electronic devices.

以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は、上述した実施形態に何等限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々に改変することができる。   As mentioned above, although embodiment of this invention has been described, this invention is not limited to the embodiment mentioned above at all, and can be variously modified within the range which does not deviate from the summary of this invention.

たとえば、上述した実施形態では、本発明に係る誘電体磁器組成物を適用した電子部品として積層セラミックコンデンサを例示したが、本発明に係る誘電体磁器組成物を適用する電子部品としては、積層セラミックコンデンサに限定されず、上記構成の誘電体層を有するものであれば何でも良い。   For example, in the above-described embodiment, a multilayer ceramic capacitor is exemplified as an electronic component to which the dielectric ceramic composition according to the present invention is applied. However, as an electronic component to which the dielectric ceramic composition according to the present invention is applied, a multilayer ceramic capacitor is used. The present invention is not limited to a capacitor, and any capacitor may be used as long as it has a dielectric layer having the above configuration.

以下、本発明を、さらに詳細な実施例に基づき説明するが、本発明は、これら実施例に限定されない。   Hereinafter, although this invention is demonstrated based on a more detailed Example, this invention is not limited to these Examples.

実施例1
まず、主成分の原料として、BaTiO粉末を、副成分の原料として、BaZrO、R、MOおよびSiOを、それぞれ準備した。また、Rとしては、Gdを準備し、MOとしては、MnCOを準備した。さらに、上記の原料以外に、MgCOを準備した。
Example 1
First, BaTiO 3 powder was prepared as a main component material, and BaZrO 3 , R 2 O 3 , MO, and SiO 2 were prepared as subcomponent materials. As the R 2 O 3, to prepare a Gd 2 O 3, as the MO, was prepared MnCO 3. In addition to the above raw materials, MgCO 3 was prepared.

次に、上記で準備した副成分の原料を、予備分散として、ボールミルで20時間、湿式分散した。この予備分散後の原料にBaTiO粉末を添加して、ボールミルで3時間、湿式混合し、150℃で3時間乾燥させた。この乾燥後の原料を保持温度800℃で2時間仮焼して、仮焼粉体(誘電体原料)を得た。なお、各副成分の添加量は、焼成後の誘電体磁器組成物において主成分であるBaTiO100モルに対して、BaZrOが11モル、Gdが5.0モル、MnOが1.0モル、SiOが3.3モル、MgOが4.5モルとなるようにした。
なお、MnCOおよびMgCOは、焼成後には、それぞれ、MnOおよびMgOとして誘電体磁器組成物中に含有されることとなる。
Next, the auxiliary component materials prepared above were wet-dispersed with a ball mill for 20 hours as a preliminary dispersion. BaTiO 3 powder was added to the raw material after this pre-dispersion, wet mixed with a ball mill for 3 hours, and dried at 150 ° C. for 3 hours. The dried material was calcined at a holding temperature of 800 ° C. for 2 hours to obtain a calcined powder (dielectric material). In addition, the addition amount of each subcomponent is 11 mol of BaZrO 3 , 5.0 mol of Gd 2 O 3 , and 1 mol of MnO with respect to 100 mol of BaTiO 3 as a main component in the dielectric ceramic composition after firing. 0.0 mol, SiO 2 3.3 mol, and MgO 4.5 mol.
Note that MnCO 3 and MgCO 3 will be contained in the dielectric ceramic composition as MnO and MgO, respectively, after firing.

次いで、得られた誘電体原料:100重量部と、ポリビニルブチラール樹脂:10重量部と、可塑剤としてのジオクチルフタレート(DOP):5重量部と、溶媒としてのアルコール:100重量部とをボールミルで混合してペースト化し、誘電体層用ペーストを得た。   Next, the obtained dielectric material: 100 parts by weight, polyvinyl butyral resin: 10 parts by weight, dioctyl phthalate (DOP) as a plasticizer: 5 parts by weight, and alcohol as a solvent: 100 parts by weight with a ball mill The mixture was made into a paste to obtain a dielectric layer paste.

また、上記とは別に、Ni粒子:44.6重量部と、テルピネオール:52重量部と、エチルセルロース:3重量部と、ベンゾトリアゾール:0.4重量部とを、3本ロールにより混練し、スラリー化して内部電極層用ペーストを作製した。   In addition to the above, Ni particles: 44.6 parts by weight, terpineol: 52 parts by weight, ethyl cellulose: 3 parts by weight, and benzotriazole: 0.4 parts by weight are kneaded with three rolls to obtain a slurry. To prepare an internal electrode layer paste.

そして、上記にて作製した誘電体層用ペーストを用いて、PETフィルム上に、乾燥後の厚みが30μmとなるようにグリーンシートを形成した。次いで、この上に内部電極層用ペーストを用いて、電極層を所定パターンで印刷した後、PETフィルムからシートを剥離し、電極層を有するグリーンシートを作製した。次いで、電極層を有するグリーンシートを複数枚積層し、加圧接着することによりグリーン積層体とし、このグリーン積層体を所定サイズに切断することにより、グリーンチップを得た。   Then, using the dielectric layer paste prepared above, a green sheet was formed on the PET film so that the thickness after drying was 30 μm. Next, the electrode layer was printed in a predetermined pattern using the internal electrode layer paste thereon, and then the sheet was peeled off from the PET film to produce a green sheet having the electrode layer. Next, a plurality of green sheets having electrode layers were laminated and pressure-bonded to obtain a green laminated body, and the green laminated body was cut into a predetermined size to obtain a green chip.

次いで、得られたグリーンチップについて、脱バインダ処理、焼成およびアニールを下記条件にて行って、積層セラミック焼成体を得た。
脱バインダ処理条件は、昇温速度:25℃/時間、保持温度:260℃、温度保持時間:8時間、雰囲気:空気中とした。
焼成は、昇温速度:200℃/時間、保持温度1260℃、保持時間:2時間とした。降温速度は、昇温速度と同様にした。なお、雰囲気ガスは、加湿したN+H混合ガスとし、酸素分圧が10−12MPaとなるようにした。
アニール条件は、昇温速度:200℃/時間、保持温度:1000℃、温度保持時間:2時間、降温速度:200℃/時間、雰囲気ガス:加湿したNガス(酸素分圧:10−7MPa)とした。
なお、焼成およびアニールの際の雰囲気ガスの加湿には、ウェッターを用いた。
Next, the obtained green chip was subjected to binder removal treatment, firing and annealing under the following conditions to obtain a multilayer ceramic fired body.
The binder removal treatment conditions were temperature rising rate: 25 ° C./hour, holding temperature: 260 ° C., temperature holding time: 8 hours, and atmosphere: in the air.
Firing was performed at a temperature elevation rate of 200 ° C./hour, a holding temperature of 1260 ° C., and a holding time of 2 hours. The temperature decreasing rate was the same as the temperature increasing rate. The atmospheric gas was a humidified N 2 + H 2 mixed gas, and the oxygen partial pressure was 10 −12 MPa.
The annealing conditions were: temperature rising rate: 200 ° C./hour, holding temperature: 1000 ° C., temperature holding time: 2 hours, temperature falling rate: 200 ° C./hour, atmospheric gas: humidified N 2 gas (oxygen partial pressure: 10 −7 MPa).
A wetter was used for humidifying the atmospheric gas during firing and annealing.

次いで、得られた積層セラミック焼成体の端面をサンドブラストにて研磨した後、外部電極としてIn−Gaを塗布し、図1に示す積層セラミックコンデンサの試料を得た。得られたコンデンサ試料のサイズは、3.2mm×1.6mm×0.6mmであり、誘電体層の厚み20μm、内部電極層の厚み1.5μm、内部電極層に挟まれた誘電体層の数は4とした。   Next, after polishing the end face of the obtained multilayer ceramic fired body by sand blasting, In-Ga was applied as an external electrode to obtain a sample of the multilayer ceramic capacitor shown in FIG. The size of the obtained capacitor sample is 3.2 mm × 1.6 mm × 0.6 mm, the thickness of the dielectric layer is 20 μm, the thickness of the internal electrode layer is 1.5 μm, and the dielectric layer sandwiched between the internal electrode layers is The number was 4.

得られた各コンデンサ試料について、誘電体層中の結晶粒界相と誘電体粒子との境界におけるSi元素の含有割合および誘電体粒子の内部のSi元素の含有割合の測定を下記に示す方法で行った。次に、高温負荷寿命およびDCバイアス特性を下記に示す方法により測定した。   For each obtained capacitor sample, the measurement of the content ratio of Si element at the boundary between the crystal grain boundary phase and the dielectric particles in the dielectric layer and the content ratio of Si element inside the dielectric particles was performed by the following method. went. Next, the high temperature load life and DC bias characteristics were measured by the following methods.

結晶粒界相におけるSi元素の含有割合の測定
各試料について、任意の誘電体粒子8個を透過型電子顕微鏡(TEM)により観察し、その観察画像を処理して、誘電体粒子の重心を求めた。次に、その重心を通るように、誘電体粒子の端から端まで直線を引き、その直線上において、結晶粒界相と誘電体粒子との境界を測定点とした。すなわち、1個の誘電体粒子において測定点は2点である。この測定点に対して、TEMに付属のエネルギー分散型X線分光装置を用いて点分析を行うことにより、結晶粒界におけるSi元素の含有割合を測定した。測定点は合計で16点とした。
Measurement of Si Element Content Ratio in Grain Boundary Phase For each sample, 8 arbitrary dielectric particles were observed with a transmission electron microscope (TEM), and the observed image was processed to obtain the center of gravity of the dielectric particles. It was. Next, a straight line was drawn from end to end of the dielectric particles so as to pass through the center of gravity, and the boundary between the grain boundary phase and the dielectric particles was taken as a measurement point on the straight line. That is, there are two measurement points in one dielectric particle. The content ratio of the Si element in the crystal grain boundary was measured by performing point analysis on the measurement point using an energy dispersive X-ray spectrometer attached to the TEM. A total of 16 measurement points were used.

測定した16点に対して、Si元素の含有割合が1.0atom%以上である測定点の割合(%)を求めた。本実施例では、50%以上、すなわち、Si元素の含有割合が1.0atom%以上である測定点が8点以上である場合を良好とした。結果を表1に示す。   The ratio (%) of the measurement points at which the Si element content was 1.0 atom% or more was obtained with respect to the 16 measured points. In this example, 50% or more, that is, the case where the number of measurement points where the content ratio of the Si element is 1.0 atom% or more is 8 or more is considered good. The results are shown in Table 1.

誘電体粒子におけるSi元素の含有割合の測定
各試料について、任意の誘電体粒子9個をTEMにより観察し、上記のようにして、重心を求めた。次に、この重心を通るようにして、誘電体粒子の端から端まで直線を引いた。この直線上において、図3に示すように、結晶粒界相と誘電体粒子との交点間を均等に6分割する5点について、上記の点分析を行い、5点におけるSi元素の含有割合を測定した。この5点におけるSi元素の含有割合の平均値を、その誘電体粒子におけるSi元素の含有割合とした。この測定を9個の誘電体粒子に対して行い、9個の誘電体粒子におけるSi元素の含有割合について平均値を算出した。Si元素の含有割合の平均値が、0.5atom%以上である場合を良好とした。結果を表2に示す。
Measurement of Si Element Content Ratio in Dielectric Particles For each sample, nine arbitrary dielectric particles were observed with a TEM, and the center of gravity was determined as described above. Next, a straight line was drawn from end to end of the dielectric particles so as to pass through the center of gravity. On this straight line, as shown in FIG. 3, the above point analysis is performed on five points that equally divide the intersection between the grain boundary phase and the dielectric particles into six, and the content ratio of the Si element at the five points is It was measured. The average value of the Si element content at these five points was taken as the Si element content in the dielectric particles. This measurement was performed on nine dielectric particles, and an average value was calculated for the content ratio of the Si element in the nine dielectric particles. The case where the average value of the content rate of Si element was 0.5 atom% or more was considered good. The results are shown in Table 2.

高温負荷寿命
コンデンサ試料に対し、200℃にて、40V/μmの電界下で直流電圧の印加状態に保持し、寿命時間を測定することにより、高温負荷寿命を評価した。本実施例においては、印加開始から絶縁抵抗が一桁落ちるまでの時間を寿命と定義した。また、この高温負荷寿命は、10個のコンデンサ試料について行った。評価基準は、50時間以上を良好とした。結果を表3に示す。
The high temperature load life of the capacitor sample was evaluated by holding a DC voltage applied at 200 ° C. under an electric field of 40 V / μm and measuring the life time. In this example, the time from the start of application until the insulation resistance drops by an order of magnitude was defined as the lifetime. Further, this high temperature load life was carried out for 10 capacitor samples. The evaluation criteria were good for 50 hours or more. The results are shown in Table 3.

DCバイアス特性
コンデンサ試料に対し、25℃にて、10V/μmの電界下で直流電圧の印可状態に保持し、デジタルLCRメータ(YHP社製4284A)にて、周波数1kHz、入力信号レベル(測定電圧)1Vrmsの条件で静電容量を測定し、基準温度25℃における静電容量に対する変化率を算出した。本実施例では、−60%以上を良好とした。結果を表3に示す。
A DC bias characteristic capacitor sample is held at 25 ° C. in a DC voltage applied state under an electric field of 10 V / μm, and a digital LCR meter (YHP 4284A) has a frequency of 1 kHz, input signal level (measurement voltage) ) The capacitance was measured under the condition of 1 Vrms, and the rate of change with respect to the capacitance at a reference temperature of 25 ° C. was calculated. In this example, -60% or more was considered good. The results are shown in Table 3.

実施例2
仮焼における保持温度を1000℃とした以外は、実施例1と同様にして、コンデンサ試料を作製し、上記の特性について測定した。結果を表1〜3に示す。
Example 2
A capacitor sample was prepared in the same manner as in Example 1 except that the holding temperature in calcination was set to 1000 ° C., and the above characteristics were measured. The results are shown in Tables 1-3.

比較例1
仮焼を行わなかった以外は、実施例1と同様にして、コンデンサ試料を作製し、上記の特性について測定した。結果を表1〜3に示す。
Comparative Example 1
A capacitor sample was prepared in the same manner as in Example 1 except that calcination was not performed, and the above characteristics were measured. The results are shown in Tables 1-3.

比較例2
予備分散を行わなかった以外は、実施例1と同様にして、コンデンサ試料を作製し、上記の特性について測定した。結果を表1〜3に示す。
Comparative Example 2
A capacitor sample was prepared in the same manner as in Example 1 except that the preliminary dispersion was not performed, and the above characteristics were measured. The results are shown in Tables 1-3.

比較例3
仮焼における保持温度を1500℃とした以外は、実施例1と同様にして、コンデンサ試料を作製し、上記の特性について測定した。結果を表1〜3に示す。
Comparative Example 3
A capacitor sample was prepared in the same manner as in Example 1 except that the holding temperature in calcination was 1500 ° C., and the above characteristics were measured. The results are shown in Tables 1-3.

比較例4
仮焼における保持温度を700℃とした以外は、実施例1と同様にして、コンデンサ試料を作製し、上記の特性について測定した。結果を表1〜3に示す。
Comparative Example 4
A capacitor sample was prepared in the same manner as in Example 1 except that the holding temperature in calcination was set to 700 ° C., and the above characteristics were measured. The results are shown in Tables 1-3.

比較例5
Si酸化物(第4副成分)を含有させなかった以外は、実施例1と同様にして、コンデンサ試料を作製し、上記の特性について測定した。結果を表1〜3に示す。
Comparative Example 5
A capacitor sample was prepared in the same manner as in Example 1 except that no Si oxide (fourth subcomponent) was contained, and the above characteristics were measured. The results are shown in Tables 1-3.

Figure 0005151752
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Figure 0005151752
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表1および2より、実施例1および2の試料のみが、結晶粒界相と誘電体粒子との境界におけるSi元素の含有割合と、誘電体粒子の内部におけるSi元素の含有割合の平均値と、が、本発明の範囲内となっていることが確認できる。その結果、表3より、実施例1および2の試料は、高温負荷寿命およびDCバイアス特性の両方が良好であることが確認できる。   From Tables 1 and 2, only in the samples of Examples 1 and 2, the content ratio of Si element at the boundary between the grain boundary phase and the dielectric particles, and the average value of the content ratio of Si element inside the dielectric particles Can be confirmed to be within the scope of the present invention. As a result, from Table 3, it can be confirmed that the samples of Examples 1 and 2 have both good high-temperature load life and DC bias characteristics.

これに対し、比較例1〜5の試料では、結晶粒界相と誘電体粒子との境界におけるSi元素の含有割合と、誘電体粒子の内部におけるSi元素の含有割合の平均値と、の一方または双方が、本発明の範囲外となっている。その結果、表3より、比較例1〜5の試料では、高温負荷寿命を良好にすることができない。あるいは、DCバイアス特性が悪化していることが確認できる。たとえば、比較例2の試料は、副成分原料の予備分散を行っていないため、結晶粒界相において、Si元素の存在状態が局所的になりすぎ、高温負荷寿命が悪化していることが確認できる。また、比較例3の試料は、Si元素が誘電体粒子内に拡散しているため、高温負荷寿命は良好であるものの、結晶粒界相に存在するSi元素が少ないため、DCバイアス特性が悪化していることが確認できる。   On the other hand, in the samples of Comparative Examples 1 to 5, one of the content ratio of the Si element at the boundary between the grain boundary phase and the dielectric particle and the average value of the content ratio of the Si element inside the dielectric particle Or both are outside the scope of the present invention. As a result, from Table 3, in the samples of Comparative Examples 1 to 5, the high temperature load life cannot be improved. Alternatively, it can be confirmed that the DC bias characteristic is deteriorated. For example, in the sample of Comparative Example 2, since the auxiliary component raw material was not predispersed, it was confirmed that the presence state of the Si element was excessively localized in the grain boundary phase and the high temperature load life was deteriorated. it can. The sample of Comparative Example 3 has good high temperature load life because Si element is diffused in the dielectric particles, but the DC bias characteristic is deteriorated because there is little Si element present in the grain boundary phase. You can confirm that

図1は、本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサの断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view of a multilayer ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention. 図2は、図1に示す誘電体層2の要部拡大断面図である。FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of a main part of the dielectric layer 2 shown in FIG. 図3は、誘電体粒子2aおよび結晶粒界相2bにおけるSi元素の含有割合を測定する方法を説明するための模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram for explaining a method for measuring the content ratio of the Si element in the dielectric particles 2a and the grain boundary phase 2b. 図4は、本発明に係る誘電体磁器組成物を製造する方法において、主成分原料および副成分原料から誘電体原料を得る工程を示すフローチャートである。FIG. 4 is a flowchart showing a process of obtaining a dielectric material from a main component material and a subcomponent material in the method for producing a dielectric ceramic composition according to the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

1… 積層セラミックコンデンサ
10… コンデンサ素子本体
2… 誘電体層
2a… 誘電体粒子
2b… 結晶粒界相
3… 内部電極層
4… 外部電極
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Multilayer ceramic capacitor 10 ... Capacitor element body 2 ... Dielectric layer 2a ... Dielectric particle 2b ... Grain boundary phase 3 ... Internal electrode layer 4 ... External electrode

Claims (2)

チタン酸バリウムを含む主成分と、
BaZrOを含む第1副成分と、
Rの酸化物(ただし、Rは、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、YbおよびLuから選択される少なくとも1種)を含む第2副成分と、
Mの酸化物(ただし、Mは、Mn、Ni、Cr、CoおよびFeから選択される少なくとも1種)を含む第3副成分と、
Siの酸化物を含む第4副成分と、を含有する誘電体磁器組成物であって、
前記誘電体磁器組成物が、複数の誘電体粒子と、隣り合う前記誘電体粒子間に存在する結晶粒界相と、を有しており、
前記誘電体粒子と前記結晶粒界相との境界における前記Si元素の含有割合を測定したときに、前記Si元素の含有割合が1.0atom%以上である測定点の割合が、全測定点の50%以上であり、かつ、前記誘電体粒子における前記Si元素の含有割合について、複数の誘電体粒子における平均値を算出したときに、前記平均値が、0.5atom%以上であることを特徴とする誘電体磁器組成物。
A main component comprising barium titanate;
A first subcomponent comprising BaZrO 3 ;
R oxide (where R is at least one selected from Sc, Y, La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb and Lu) A second subcomponent comprising
A third subcomponent comprising an oxide of M, where M is at least one selected from Mn, Ni, Cr, Co and Fe;
A dielectric ceramic composition comprising a fourth subcomponent comprising an oxide of Si,
The dielectric ceramic composition has a plurality of dielectric particles and a crystal grain boundary phase existing between the adjacent dielectric particles,
When the content ratio of the Si element at the boundary between the dielectric particles and the grain boundary phase is measured, the ratio of the measurement points at which the content ratio of the Si element is 1.0 atom% or more is the total of the measurement points. When the average value of the plurality of dielectric particles is calculated for the content ratio of the Si element in the dielectric particles, the average value is 0.5 atom% or more. A dielectric ceramic composition.
請求項1に記載の誘電体磁器組成物の製造方法であって、A method for producing a dielectric ceramic composition according to claim 1,
前記第1〜第4副成分の原料を予備分散させる工程と、Preliminarily dispersing the raw materials of the first to fourth subcomponents;
前記予備分散後の第1〜第4副成分の原料に主成分の原料を添加し、混合する工程と、Adding a raw material of a main component to the raw materials of the first to fourth subcomponents after the preliminary dispersion and mixing;
を有する誘電体磁器組成物の製造方法。A method for producing a dielectric ceramic composition comprising:
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