JP5145469B2 - Optical waveguide device and manufacturing method thereof - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 159
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 17
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 37
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 18
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 12
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 9
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 8
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 5
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 75
- 239000000463 material Substances 0.000 description 38
- 239000012792 core layer Substances 0.000 description 15
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 6
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000005234 chemical deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- JEGUKCSWCFPDGT-UHFFFAOYSA-N h2o hydrate Chemical compound O.O JEGUKCSWCFPDGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N hydrogen peroxide;hydrate Chemical compound O.OO QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
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- Optical Integrated Circuits (AREA)
Description
この発明は基板上に3本以上の光導波路が形成され、それら光導波路の端部が集合連結されて光回路の分岐部や交叉部が構成されている光導波路素子及びその作製方法に関する。 The present invention relates to an optical waveguide device in which three or more optical waveguides are formed on a substrate, and ends of the optical waveguides are connected together to form a branching portion or a crossing portion of an optical circuit, and a method for manufacturing the same.
図7はこの種の光導波路素子の一例として、基板上に3本の光導波路が形成され、それら光導波路の端部が集合連結されて光回路の分岐部が構成されている光導波路素子を示したものであり、図中、11〜13は3本の光導波路のコア(光導波路コア)を示し、14はそれら光導波路コア11〜13のY分岐をなす連結部を示す。光導波路コア11〜13及び連結部14はクラッド15中に埋め込まれる形で形成されており、また図7では分岐側の光導波路コア12,13を直線的に示しているが、これら光導波路コア12,13は一般に所定の曲率半径を有する曲がり導波路として形成される。
As an example of this type of optical waveguide device, FIG. 7 shows an optical waveguide device in which three optical waveguides are formed on a substrate and the ends of the optical waveguides are connected together to form a branching portion of an optical circuit. In the figure,
一方、図8は特許文献1に記載されている光導波路素子(分岐合波光導波回路)の構成を示したものであり、この例では上述の図7に示した光導波路素子の構成に対し、分岐側の光導波路コア12,13を連結部14において分断し、所定の間隙Gを設けたものとなっている。
On the other hand, FIG. 8 shows the configuration of the optical waveguide device (branching / multiplexing optical waveguide circuit) described in
ところで、上述したような光導波路素子においては、一般に光導波路コアとクラッドとの屈折率差Δnを大きくすると、光導波路コアへの光閉じ込め効果は大きくなる。従って、光放射損失が小さくなり、例えば曲がり導波路(分岐側の光導波路コア)においては小さな曲率半径で作製することが可能となるため、屈折率差Δnを大きくすることは光導波路素子全体の小型化に有利となる。しかしながら、屈折率差Δnを大きくすると、シングルモードを保つための光導波路コアの断面サイズは小さくなるため、シングルモード導波路を作製する場合、光導波路コアの加工精度の要求が厳しくなり、これは特に光導波路コアの連結部において顕著となる。 Incidentally, in the optical waveguide element as described above, generally, when the refractive index difference Δn between the optical waveguide core and the clad is increased, the light confinement effect on the optical waveguide core is increased. Accordingly, the optical radiation loss is reduced, and for example, a bent waveguide (branch-side optical waveguide core) can be manufactured with a small radius of curvature. Therefore, increasing the refractive index difference Δn This is advantageous for downsizing. However, when the refractive index difference Δn is increased, the cross-sectional size of the optical waveguide core for maintaining the single mode is reduced. Therefore, when a single mode waveguide is manufactured, the processing accuracy of the optical waveguide core becomes strict. This is particularly noticeable at the connecting portion of the optical waveguide core.
具体的に言えば、図7に示したような光導波路素子をフォトリソグラフィ及びエッチングによって形成する場合、フォトリソグラフィの精度限界により連結部14の切れ込み部14aにおいて抜け不足あるいは過剰抜けといった現象が発生し、またエッチング時には抜け不足が発生する。さらに、クラッド材料による光導波路コア埋め込み時に埋め込み不良による空隙が発生することもある。これらの加工精度限界を原因とする光導波路パターン変形や埋め込み不良は過剰損失を増大させることになる。
More specifically, when the optical waveguide device as shown in FIG. 7 is formed by photolithography and etching, a phenomenon such as insufficient or excessive disconnection occurs in the cut portion 14a of the connecting
図9Aは図7に示した光導波路素子において、上述したような加工精度限界により抜け不足が発生した状態を示したものであり、図9Aに示したような光導波路コアの余分な部分(以下、水掻き部と言う。)の大きさの増大に伴って過剰損失が増大することになる。例えば、光導波路コア11〜13の幅を1.2μm、厚さを0.2μm、屈折率を3.42とし、この光導波路コア11〜13を屈折率3.17のクラッド15中に埋め込んだ構造の光透過特性をビーム伝搬法(BPM)により計算すると、図9A中に示した水掻き部16の寸法L1と過剰損失は図10に示したような関係を示すこととなる。
FIG. 9A shows a state in which the optical waveguide element shown in FIG. 7 is deficient due to the processing accuracy limit as described above, and an extra portion of the optical waveguide core as shown in FIG. The excess loss increases with an increase in the size of the water scraping portion. For example, the width of the
一方、図9Bは埋め込み不良によりクラッド15に空隙17が生じた場合を示したもの
である。光導波路コア11〜13の寸法、屈折率及びクラッド15の屈折率を上記図9Aにおける値と同じとし、図9Aにおいて水掻き部16の寸法L1が1μmの場合に、その水掻き部16の一部が図9Bに示したように空隙17に置き換わった場合の光透過特性を同様にビーム伝搬法(BPM)により求めた。空隙17の厚さ(高さ)が0.06μm、長さL2が2.2μmの場合、過剰損失は4.5dBとなり、水掻き部16のみが存在している場合の過剰損失3.9dBに比べて過剰損失は増大した。このことは空隙17の存在が水掻き部16の存在よりも、悪影響を及ぼすことを示す。
On the other hand, FIG. 9B shows a case where a gap 17 is generated in the
一方、特許文献1では図8に示したような構造を採用し、間隙Gを3〜10μmとすることにより、加工精度限界を原因とする光導波路パターン変形や埋め込み不良の発生を防止し、容易かつ再現性良く、光導波路素子(分岐合波光導波回路)を加工できるものとしている。しかしながら、例えば曲がり導波路を小さな曲率半径で作製可能とすべく、言い換えれば光導波路素子の小型化を図るべく、光導波路コアとクラッドとの屈折率差Δnを大きくすると、光導波路コアの断面サイズは小さくなり、それに伴い、間隙Gも例えば3μmより小さくする必要が生じるため、結局のところ、加工容易性を確保することができないといった状況が生じうる。
On the other hand, in
この発明の目的はこのような状況に鑑み、加工が容易で加工ばらつきを低減でき、よって過剰損失の値のばらつきが小さく、安定した性能を有する光導波路素子及びその作製方法を提供することにある。 In view of such circumstances, an object of the present invention is to provide an optical waveguide device that is easy to process and can reduce processing variations, and thus has a small variation in excess loss value and has stable performance, and a method for manufacturing the same. .
請求項1の発明によれば、基板上に3本以上の光導波路が形成され、それら光導波路は端部が集合連結されて光回路の分岐部もしくは交叉部が構成されている光導波路素子において、端部が集合連結している連結部の光導波路コア厚が、連結部以外の光導波路コア厚より薄くされ、各光導波路のコア厚は連結部において最小となるように各光導波路に沿って連続的に変化しているものとされ、各光導波路コアの屈折率はコア厚の変化に伴い、連結部において最小となるように各光導波路に沿って連続的に変化しているものとされる。 According to the first aspect of the present invention, there is provided an optical waveguide device in which three or more optical waveguides are formed on a substrate, and the ends of the optical waveguides are collectively connected to form a branching portion or a crossing portion of an optical circuit. The optical waveguide core thickness of the connecting portion where the ends are collectively connected is made thinner than the thickness of the optical waveguide core other than the connecting portion, and the core thickness of each optical waveguide is minimized along the connecting portion along each optical waveguide. The refractive index of each optical waveguide core is continuously changed along each optical waveguide so as to be minimized at the connecting portion as the core thickness changes. Is done.
請求項2の発明は基板上に3本以上の光導波路が形成され、それら光導波路は端部が集合連結されて光回路の分岐部もしくは交叉部が構成され、端部が集合連結している連結部の光導波路コア厚が、連結部以外の光導波路コア厚より薄くされ、各光導波路のコア厚は連結部において最小となるように各光導波路に沿って連続的に変化している光導波路素子を作製する方法であって、基板上に光導波路コアを構成する層を形成し、その層の上にレジストを塗布し、その塗布されたレジストを露光、現像して、厚さが連結部において最小となるように変化しているレジストパターンを形成し、そのレジストパターンと前記層とを、その両者をエッチングする手段で、少なくともレジストパターンが消滅するまでエッチングする工程を有する。
According to the invention of
請求項3の発明は請求項1記載の光導波路素子を作製する方法であって、基板上に誘電体よりなる層を形成し、その層をパターニングして、光導波路が設けられる領域を含み、幅が連結部において最大となるように変化する形状の基板露出部分を有する誘電体マスクパターンを形成し、その誘電体マスクパターンが形成された基板上にMOCVD法で化合物半導体を成長させることで、厚さと屈折率とが共に連結部において最小となるように相伴って変化する化合物半導体層を形成し、その化合物半導体層をパターニングして光導波路コアを形成する工程を有する。
The invention of
この発明によれば、光導波路の端部が集合連結している分岐部や交叉部といった連結部の光導波路コア厚が連結部以外の光導波路コア厚より薄くされるため、その分、連結部においてシングルモードを保つコア幅を従来より広くすることができ、よって加工が容易となり、加工ばらつきを低減することができるため、加工ばらつきに起因する過剰損失の値のばらつきを小さくすることができ、その点で歩留まりの向上を図ることができる。 According to the present invention, since the optical waveguide core thickness of the connecting portion such as the branching portion or the crossing portion where the end portions of the optical waveguide are collectively connected is made thinner than the optical waveguide core thickness other than the connecting portion, the connecting portion accordingly. The core width for maintaining the single mode can be made wider than before, and therefore processing becomes easier and processing variations can be reduced, so that the variation in excess loss due to processing variations can be reduced, In this respect, the yield can be improved.
この発明の実施形態を図面を参照して実施例により説明する。
図1はこの発明による光導波路素子の一実施例として、基板上に3本の光導波路が形成され、それら光導波路の端部が集合連結されて光回路の分岐部が構成されている光導波路素子を示したものであり、この例では3本の光導波路コア21〜23の端部が集合連結している連結部(分岐部)24の光導波路コア厚が連結部24以外の光導波路コア厚より薄くされている。図中、20は基板を示し、25はクラッドを示す。なお、図1Bは図1A中の一点鎖線に沿った断面構造を示し、クラッド25の図示は省略している。
Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 shows, as an embodiment of an optical waveguide device according to the present invention, an optical waveguide in which three optical waveguides are formed on a substrate and the ends of these optical waveguides are connected together to form a branch portion of an optical circuit. In this example, the optical waveguide core thickness of the connecting portion (branching portion) 24 in which the end portions of the three
光導波路コア21〜23はこの例では材料の異なる層が積層されてなる多層構造を有する。材料の異なる層はこの例では2種類の層とされ、第1の材料の層31と、第1の材料の層31より薄い第2の材料の層32とが交互積層されて計5層の多層構造が構成されており、連結部24の層数は連結部24以外の層数より少なくされている。なお、この例では各光導波路コア21〜23の層数は連結部24において最少となるように各光導波路に沿って順次、減少されており、図1Bに示したように連結部24に向って、5層→4層→2層と減少され、連結部24は2層構造とされている。
In this example, the
この例では連結部を含め、厚さが一定とされる従来の光導波路コアと異なり、上述したように連結部24における光導波路コア厚が薄くされている。一般に光導波路コアを薄くすることにより、シングルモードを保つ最大幅は広くなるため、連結部24における光導波路コア厚を薄くすれば、その光導波路コア幅を広くすることができ、つまり大きなサイズで形成することができる。従って、加工が容易となり、加工ばらつきを低減することができるため、加工ばらつきに起因する過剰損失の値のばらつきを小さくすることができ、歩留まりの向上を図ることができる。これに基づき、この例では連結部24及び連結部24の周囲における光導波路コア21〜23の幅を図1Aに示したように広くしている。
In this example, unlike the conventional optical waveguide core having a constant thickness including the connecting portion, the thickness of the optical waveguide core in the connecting
上述した構造をInP/InGaAsP系化合物半導体を用いて作製する場合、基板20の材料にはInPを用いる。また、光導波路コア21〜23を構成する第1の材料の層31にはInGaAsPを用い、第2の材料の層32にはInPを用いる。
When the above-described structure is manufactured using an InP / InGaAsP-based compound semiconductor, InP is used as the material of the
図2は上記のような構造を有する光導波路素子の作製工程の要部を工程順に示したものであり、以下、各工程(1)〜(3)について説明する。 FIG. 2 shows the main part of the manufacturing process of the optical waveguide device having the above structure in the order of steps, and each step (1) to (3) will be described below.
(1)基板20上に第1の材料の層31と、第1の材料の層31より薄い第2の材料の層32とを交互積層して多層構造を形成する。積層数は計5層とし、最上層は第1の材料の層31とする。
(1) A multilayer structure is formed by alternately stacking a
(2)連結部24を含む第1の領域R1において、最上層の第1の材料の層31を、その下の第2の材料の層32が露出するまでエッチングする。
(2) In the first region R 1 including the connecting
(3)露出した第2の材料の層32を、連結部24を含み、第1の領域R1より狭い第2の領域R2において、その下の第1の材料の層31が露出するまでエッチングする。そして、さらにその露出した第1の材料の層31を、その下の第2の材料の層32が露出するまでエッチングする。
(3) The exposed
以上により、図1Bに示した断面構造が完成する。 Thus, the cross-sectional structure shown in FIG. 1B is completed.
上記において、第1の材料の層31のエッチングには第1の材料の層31に対して選択エッチング性を有し、第2の材料の層32に対してはエッチング性を有さないか、あるいはエッチング速度が極めて遅いエッチング手段を用いる。同様に、第2の材料の層32のエッチングには第2の材料の層32に対して選択エッチング性を有し、第1の材料の層31に対してはエッチング性を有さないか、あるいはエッチング速度が極めて遅いエッチング手段を用いる。エッチング手段としてはエッチング液あるいはエッチングガスを用いることができる。なお、エッチング領域の制限にはフォトリソグラフィの手法を用いればよい。
In the above, the etching of the
基板20として、前述したようにInP基板を用い、第1の材料の層31をInGaAsP層とし、第2の材料の層32をInP層とする場合、InGaAsP層に対する選択エッチング手段としては、硫酸、水、過酸化水素水の混合液よりなるエッチング液を用いることができ、InP層に対する選択エッチング手段としては、燐酸、塩酸の混合液よりなるエッチング液を用いることができる。
As described above, when the InP substrate is used as the
光導波路コア21〜23及び連結部24の平面形状の規定(コア幅の規定)は、前記(1)〜(3)の工程によって基板20の全面に所望の厚さ変化(層数変化)を有するコア層を形成した後、その上にレジストパターンを形成し、そのレジストパターンをマスクとしてコア層の不要な部分をエッチング除去することによって行うことができる。
Regarding the definition of the planar shape of the
また、この方法に限らず、先に基板20上に平面形状を規定する手段を設けておいてから、その規定される領域に所望の厚さ変化を有するコア層を前記(1)〜(3)の工程によって形成することもできる。
In addition to this method, first, a means for defining a planar shape is provided on the
上述したコア層の多層構造において、厚さの薄い第2の材料の層32は第1の材料の層31のためのエッチングストップ層及びマスク層として機能するものであり、その構成材料、厚さ及びコア幅を適切に選定することにより、このような多層構造のコアであっても光のシングルモード伝送が可能となる。
In the multilayer structure of the core layer described above, the thin
なお、図1及び2に示した構造ではコア層(光導波路コア21〜23)を5層構造としているが、層数はこれに限るものではなく、適宜選定される。例えば5層より多い場合、図2に示した工程(3)の後、さらに工程(3)を所要数、繰り返し実行することになる。つまり、露出している最下の層が第2の材料の層32ならば、連結部24を含み、その露出している領域よりも狭い領域において、その露出している第2の材料の層32を、その下の第1の材料の層31が露出するまでエッチングする。また、露出している最下の層が第1の材料の層31ならば、その露出している第1の材料の層31を、その下の第2の材料の層32が露出するまでエッチングすることを所定数行う。
In the structure shown in FIGS. 1 and 2, the core layers (
これにより、連結部24に向って層数が順次、減少し、厚さが段階的に減小変化する光導波路コア21〜23を作製することができる。
As a result, the
図3は連結部24において水掻き部が発生した場合の水掻き寸法L1(図9A参照)と過剰損失の関係を、光導波路コア21〜23の断面サイズが異なる場合についてビーム伝搬法(BPM)により求めた結果を示したものであり、光導波路コア21〜23の屈折率は3.40、クラッド25の屈折率は3.17とし、光導波路コア21〜23の断面サイズが厚さ0.1μm、幅2.5μmの場合と、厚さ0.3μm、幅1.1μmの場合とについて示している。
FIG. 3 shows the relationship between the drainage dimension L 1 (see FIG. 9A) and excess loss when a scraping part is generated in the connecting
図3よりコア幅が広い方が水掻き寸法L1の変化に対する過剰損失の変化が小さいことがわかり、つまり加工ばらつきに起因する過剰損失の値のばらつきを小さくすることができる。また、水掻き寸法L1が大きい場合、コア幅が広い方が過剰損失が小さく、良好な性能(光透過特性)が得られることがわかる。 Write core width is wider than 3 is found to be small changes in the excess loss with respect to a change in paddle dimensions L 1, i.e. it is possible to reduce variations in the value of the excess loss due to processing variations. Also, if the paddle dimension L 1 is large, it core wide small excess loss, it can be seen that good performance (light transmission characteristics) is obtained.
この例では図1に示したように連結部24の光導波路コア厚を薄くすると共に、幅を広くしており、よって過剰損失の値のばらつきを小さくすることができ、前述したように歩留まりの向上が期待できる。
In this example, as shown in FIG. 1, the thickness of the optical waveguide core of the connecting
なお、光導波路コア21〜23を前述したように、InP/InGaAsP系化合物半導体を用い、エッチングにより形成する場合、半導体結晶に対するエッチングの異方性により、エッチングマスクパターンと実際に作製される光導波路パターンとに差異が生じることになるが、光導波路コア厚が薄くなれば、エッチング深さは浅くなり、よってエッチングによる光導波路パターン形成時のパターン変形が小さくなるため、この発明によれば加工精度自体の向上も期待できる。
As described above, when the
図4は上述したように、光導波路コア21〜23の厚さが一定ではなく、連結部24における光導波路コア厚が連結部24以外の光導波路コア厚より薄くされる光導波路素子の他の作製工程の要部を工程順に示したものであり、以下、この図4に示した各工程(1)〜(3)について説明する。
4, as described above, the thickness of the
(1)基板20上に光導波路コアを構成する層(コア層)41を形成し、そのコア層4
1の上にレジスト42を均一厚さで塗布する。
(1) A layer (core layer) 41 constituting an optical waveguide core is formed on the
1 is coated with a resist 42 with a uniform thickness.
(2)レジスト42を露光、現像して、厚さが連結部24において最小となるように変化しているレジストパターン42’を形成する。このようなレジストパターン42’の形成は、例えばレジストの露光時にパターン部の透過率を変化させたフォトマスクを用いたり、あるいは電子ビーム露光において照射電子ビーム量を変化させることによって行うことができる。
(2) The resist 42 is exposed and developed to form a resist pattern 42 ′ whose thickness changes so as to be minimized at the connecting
(3)レジストパターン42’とコア層41とを、その両者をエッチングする手段でエッチングする。エッチングは少なくともレジストパターン42’が消滅するまで行う。 (3) The resist pattern 42 'and the core layer 41 are etched by means for etching both. Etching is performed at least until the resist pattern 42 'disappears.
以上により、この例では厚さが連結部24において最小となるように連続的に変化しているコア層41’を形成することができる。なお、光導波路コア21〜23及び連結部24の平面形状の規定(コア幅の規定)は、前述の図2に示した作製工程の場合と同様、基板20の全面に所望の厚さ変化を有するコア層41’を形成した後、不要な部分をエッチング除去してもよく、また平面形状を規定する手段を基板20上に設け、その規定された領域に所望の厚さ変化を有するコア層41’を形成してもよい。
As described above, in this example, it is possible to form the core layer 41 ′ whose thickness is continuously changed so that the thickness is minimized at the connecting
なお、工程(2)におけるレジストパターン42’に替え、図5に示したように、最も薄い部分(連結部24に対応する部分)でも所定の厚さを有し、かつ光導波路形状にパターニングされたレジストパターン42’’を形成すれば、工程(3)におけるレジストパターン42’’とコア層41との両者のエッチングにおいて、光導波路コアの厚さ変化及び平面形状を同時に形成することができる。 In place of the resist pattern 42 ′ in the step (2), as shown in FIG. 5, the thinnest portion (portion corresponding to the connecting portion 24) has a predetermined thickness and is patterned into an optical waveguide shape. If the resist pattern 42 ″ is formed, in the etching of the resist pattern 42 ″ and the core layer 41 in the step (3), the thickness change and the planar shape of the optical waveguide core can be simultaneously formed.
つまり、工程(3)においてレジストパターン42’’が消滅するまでエッチングを行うことにより、コア層41のレジストパターン42’’に覆われていない露出部分(不要な部分)は除去され、レジストパターン42’’に覆われていた部分は残留して、所定の厚さ変化を有する光導波路コア21〜23及び連結部24が形成される。
That is, by performing etching until the resist pattern 42 ″ disappears in step (3), the exposed portion (unnecessary portion) of the core layer 41 that is not covered with the resist pattern 42 ″ is removed, and the resist pattern 42 is removed. The portion covered with ″ remains, and the
光導波路連結部24の光導波路コア厚が薄い光導波路素子の作製は、図2や図4に示した工程の採用以外に、有機金属化学堆積法(MOCVD)の選択成長と呼ばれる方法を用いることもできる。ここでは、化合物半導体を用いて作製するものとし、光導波路コア21〜23の材料としてInGaAsP、クラッド25の材料としてInPを用いる場合について、このMOCVD法による作製方法を図6に示した工程図を参照して説明する。
An optical waveguide element having a thin optical waveguide core thickness in the optical
(1)基板20としてInP基板を用意し、この基板20上に誘電体よりなる層を形成する。誘電体層として例えばSiO2膜を成膜形成し、このSiO2膜よりなる誘電体層をパターニングして、光導波路が設けられる領域を含み、幅が連結部24において最大となるように変化する形状の基板20露出部分を有する誘電体マスクパターン51を形成する。なお、ここで用いるInP基板は予め結晶性向上のためにInPバッファ層を形成しておくことが好ましい。
(1) An InP substrate is prepared as the
(2)誘電体マスクパターン51が形成された基板20上にMOCVD法によってInGaAsPを成長させる。基板20露出部分(InP露出部分)の幅が狭い領域ではInGaAsPの膜厚が増加し、またIn組成比が増加し、さらには圧縮歪と屈折率が増大したInGaAsPが成長される。換言すれば、厚さと屈折率とが共に連結部24において最小となるように相伴って変化するInGaAsP層(コア層)52が形成される。なお、図においてはInGaAsP層52の厚さ及び屈折率の変化を濃淡を施して示している。
(2) InGaAsP is grown by MOCVD on the
(3)InGaAsP層52をパターニングして光導波路コア21〜23及び連結部24を形成し、誘電体マスクパターン51をエッチング除去する。
(3) The
以上にして得られた光導波路コア21〜23及び連結部24をInPクラッド層に埋め込むことで光導波路素子が完成する。
The optical waveguide element is completed by embedding the
このような選択成長を用いた場合は連結部24における光導波路コアの屈折率を小さくすることができるため、シングルモードを維持できる光導波路コア幅はより広くなる。つまり、連結部24の光導波路コア幅をより広くすることができるため、この発明の効果をより顕著なものとすることができる。
When such selective growth is used, since the refractive index of the optical waveguide core in the connecting
なお、光導波路コア層(InGaAsP層)の厚さ及び屈折率はその光導波路に面した誘電体マスクパターン幅に依存するため、初めから最終的な光導波路コア幅とInP露出部分の幅を等しくして選択成長を行うこともできる。 Since the thickness and refractive index of the optical waveguide core layer (InGaAsP layer) depend on the width of the dielectric mask pattern facing the optical waveguide, the final optical waveguide core width and the width of the exposed portion of InP are made equal from the beginning. It is also possible to perform selective growth.
以上、基板上に3本の光導波路が形成され、それら光導波路の端部が集合連結されて光回路の分岐部が構成されている光導波路素子を例に、この発明の実施例を説明したが、この発明はこれに限らず、例えば光導波路の端部が集合連結されて光回路の交叉部が構成されているような光導波路素子にも同様に適用することができる。 As described above, the embodiment of the present invention has been described by taking as an example an optical waveguide device in which three optical waveguides are formed on a substrate and the ends of the optical waveguides are connected together to form a branch portion of an optical circuit. However, the present invention is not limited to this, and can be similarly applied to an optical waveguide device in which, for example, end portions of the optical waveguide are collectively connected to form a crossing portion of the optical circuit.
Claims (3)
前記端部が集合連結している連結部の光導波路コア厚が、連結部以外の光導波路コア厚より薄くされ、
前記各光導波路のコア厚は前記連結部において最小となるように各光導波路に沿って連続的に変化しており、
前記各光導波路コアの屈折率はコア厚の変化に伴い、前記連結部において最小となるように各光導波路に沿って連続的に変化していることを特徴とする光導波路素子。 In an optical waveguide device in which three or more optical waveguides are formed on a substrate and the ends of the optical waveguides are connected together to form a branching portion or a crossing portion of an optical circuit.
The optical waveguide core thickness of the connecting portion where the ends are collectively connected is made thinner than the optical waveguide core thickness other than the connecting portion,
The core thickness of each optical waveguide is continuously changing along each optical waveguide so as to be the smallest in the connecting portion ,
The optical waveguide element characterized in that the refractive index of each optical waveguide core continuously changes along each optical waveguide so as to be minimized at the connecting portion as the core thickness changes.
前記基板上に前記光導波路コアを構成する層を形成し、
その層の上にレジストを塗布し、
その塗布されたレジストを露光、現像して、厚さが前記連結部において最小となるように変化しているレジストパターンを形成し、
そのレジストパターンと前記層とを、その両者をエッチングする手段で、少なくとも前記レジストパターンが消滅するまでエッチングする工程を有することを特徴とする光導波路素子の作製方法。 Three or more optical waveguides are formed on the substrate, and the optical waveguides are connected at the ends to form a branching portion or a crossing portion of the optical circuit. An optical waveguide device in which the core thickness is made thinner than the optical waveguide core thickness other than the connecting portion, and the core thickness of each optical waveguide continuously changes along each optical waveguide so that the core thickness is minimized in the connecting portion. A method of making,
Forming a layer constituting the optical waveguide core on the substrate;
Apply a resist over the layer,
The applied resist is exposed and developed to form a resist pattern whose thickness changes so as to be minimal at the connecting portion,
A method for manufacturing an optical waveguide element, comprising: a step of etching the resist pattern and the layer by means for etching both the resist pattern and the layer until at least the resist pattern disappears.
前記基板上に誘電体よりなる層を形成し、
その層をパターニングして、前記光導波路が設けられる領域を含み、幅が前記連結部において最大となるように変化する形状の基板露出部分を有する誘電体マスクパターンを形成し、
その誘電体マスクパターンが形成された基板上にMOCVD法で化合物半導体を成長させることで、厚さと屈折率とが共に前記連結部において最小となるように相伴って変化する化合物半導体層を形成し、
その化合物半導体層をパターニングして前記光導波路コアを形成する工程を有することを特徴とする光導波路素子の作製方法。 A method for producing an optical waveguide device according to claim 1 , comprising:
Forming a dielectric layer on the substrate;
Patterning the layer to form a dielectric mask pattern having an exposed portion of the substrate including a region where the optical waveguide is provided and having a width that changes so as to be maximized at the connecting portion;
By growing the compound semiconductor on the substrate on which the dielectric mask pattern is formed by the MOCVD method, a compound semiconductor layer in which the thickness and the refractive index both change in association with each other at the connection portion is formed. ,
A method for producing an optical waveguide element, comprising the step of patterning the compound semiconductor layer to form the optical waveguide core.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012038484A JP5145469B2 (en) | 2012-02-24 | 2012-02-24 | Optical waveguide device and manufacturing method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007321518A Division JP5080227B2 (en) | 2007-12-13 | 2007-12-13 | Optical waveguide device and manufacturing method thereof |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012098761A JP2012098761A (en) | 2012-05-24 |
JP5145469B2 true JP5145469B2 (en) | 2013-02-20 |
Family
ID=46390629
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012038484A Active JP5145469B2 (en) | 2012-02-24 | 2012-02-24 | Optical waveguide device and manufacturing method thereof |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5145469B2 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7135739B2 (en) * | 2018-11-01 | 2022-09-13 | 日本電信電話株式会社 | METHOD FOR MANUFACTURE OF SPOT SIZE CONVERTER AND SPOT SIZE CONVERTER |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5127081A (en) * | 1990-08-03 | 1992-06-30 | At&T Bell Laboratories | Optical branching waveguide |
JPH08171020A (en) * | 1994-12-19 | 1996-07-02 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Optical coupling device |
JP3116912B2 (en) * | 1998-07-31 | 2000-12-11 | 日本電気株式会社 | Semiconductor optical integrated device, optical communication module using the same, optical communication system and method of manufacturing the same |
KR100450935B1 (en) * | 2002-07-03 | 2004-10-02 | 삼성전자주식회사 | Method for fabricating tapered waveguide |
JP2008262003A (en) * | 2007-04-11 | 2008-10-30 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Optical waveguide and method of manufacturing the same |
-
2012
- 2012-02-24 JP JP2012038484A patent/JP5145469B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012098761A (en) | 2012-05-24 |
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