JP5135763B2 - Surface acoustic wave filter device and duplexer - Google Patents

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Description

本発明は、例えば携帯電話機のRF段の帯域フィルタなどに用いられる弾性表面波フィルタ装置に関し、より詳細には、複数の縦結合共振子型の弾性表面波フィルタ部を縦続接続した構造を有する縦結合共振子型の弾性表面波フィルタ装置及び該弾性表面波フィルタ装置を用いたデュプレクサに関する。   The present invention relates to a surface acoustic wave filter device used, for example, in a band filter of an RF stage of a mobile phone, and more specifically, has a structure in which a plurality of longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter sections are connected in cascade. The present invention relates to a coupled resonator type surface acoustic wave filter device and a duplexer using the surface acoustic wave filter device.

携帯電話機のRF段に使用される帯域フィルタとして、弾性表面波フィルタ装置が広く用いられている。この種の用途では通過帯域近傍における減衰域において、減衰量を大きくすることが求められている。また、RF段の帯域フィルタは、アンテナ端子と、平衡入力を有する増幅回路との間に接続されることになるため、平衡−不平衡変換機能を有することが求められる。そのため、RF段の帯域フィルタとして用いられている上記弾性表面波フィルタ装置では、複数の縦結合共振子型の弾性表面波フィルタを接続したり、弾性表面波共振子を組み合わせたりすることにより、これらの要求に対応している。   A surface acoustic wave filter device is widely used as a bandpass filter used in the RF stage of a mobile phone. In this type of application, it is required to increase the attenuation in the attenuation region near the passband. In addition, the band-pass filter of the RF stage is connected between the antenna terminal and an amplifier circuit having a balanced input, and thus is required to have a balanced-unbalanced conversion function. Therefore, in the surface acoustic wave filter device used as an RF stage bandpass filter, by connecting a plurality of longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filters or combining surface acoustic wave resonators, It corresponds to the request of.

下記の特許文献1には、この種の用途に用いられる弾性表面波フィルタ装置が開示されている。図17は、特許文献1に記載の弾性表面波フィルタ装置の電極構造を示す模式的平面図である。   The following Patent Document 1 discloses a surface acoustic wave filter device used for this type of application. FIG. 17 is a schematic plan view showing an electrode structure of the surface acoustic wave filter device described in Patent Document 1. As shown in FIG.

弾性表面波フィルタ装置1000では、圧電基板上に図示の電極構造が形成されている。ここでは、縦結合共振子型の第1,第2の弾性表面波フィルタ部1001,1002が縦続接続されている。第1の弾性表面波フィルタ部1001は、第1のIDT1011と、第1のIDT1011の表面波伝搬方向両側に配置された第2,第3のIDT1012,1013とを有する。また、IDT1011〜1013が設けられている領域の両側に、反射器1014,1015が配置されている。   In the surface acoustic wave filter device 1000, the illustrated electrode structure is formed on a piezoelectric substrate. Here, longitudinally coupled resonator type first and second surface acoustic wave filter sections 1001 and 1002 are cascade-connected. The first surface acoustic wave filter unit 1001 includes a first IDT 1011 and second and third IDTs 1012 and 1013 disposed on both sides of the first IDT 1011 in the surface wave propagation direction. In addition, reflectors 1014 and 1015 are arranged on both sides of a region where IDTs 1011 to 1013 are provided.

同様に、第2の弾性表面波フィルタ部1002も、第1のIDT1021と、第1のIDT1021の両側に配置された第2,第3のIDT1022,1023と、反射器1024,1025とを有する。   Similarly, the second surface acoustic wave filter unit 1002 also includes a first IDT 1021, second and third IDTs 1022 and 1023 disposed on both sides of the first IDT 1021, and reflectors 1024 and 1025.

不平衡端子1003に、第1の弾性表面波フィルタ部1001の第1のIDT1011の一端が接続されており、第1のIDT1011の他端がアース電位に接続されている。また、第2,第3のIDT1012,1013の各一端が配線パターン1016により共通接続され、かつアース電位に接続されている。   One end of the first IDT 1011 of the first surface acoustic wave filter unit 1001 is connected to the unbalanced terminal 1003, and the other end of the first IDT 1011 is connected to the ground potential. In addition, one end of each of the second and third IDTs 1012 and 1013 is commonly connected by a wiring pattern 1016 and connected to the ground potential.

他方、IDT1012,1013の他端が、信号ライン1006,1007により、それぞれ、第2の弾性表面波フィルタ部1002の第2,第3のIDT1022,1023の一端に電気的に接続されている。IDT1022,1023の他端は、配線パターン1026により共通接続され、かつアース電位に接続されている。   On the other hand, the other ends of the IDTs 1012 and 1013 are electrically connected to one ends of the second and third IDTs 1022 and 1023 of the second surface acoustic wave filter unit 1002 through signal lines 1006 and 1007, respectively. The other ends of the IDTs 1022 and 1023 are connected in common by the wiring pattern 1026 and connected to the ground potential.

IDT1021の一端が、第1の平衡端子1004に、他端が第2の平衡端子1005に電気的に接続されている。   One end of the IDT 1021 is electrically connected to the first balanced terminal 1004 and the other end is electrically connected to the second balanced terminal 1005.

ここでは、不平衡端子1003から信号が入力された場合に、第1の平衡端子1004から取り出される信号の位相が第2の平衡端子1005から取り出される信号の位相に対して180°異なるように、IDT1011〜1013及びIDT1021〜1023が構成されている。従って、平衡−不平衡変換機能が実現されている。また、第1,第2の弾性表面波フィルタ部1001,1002を2段縦続接続することにより、通過帯域外における減衰量を大きくすることが可能とされている。
特開2002−84164号公報
Here, when a signal is input from the unbalanced terminal 1003, the phase of the signal extracted from the first balanced terminal 1004 is 180 ° different from the phase of the signal extracted from the second balanced terminal 1005. IDTs 1011 to 1013 and IDTs 1021 to 1023 are configured. Therefore, a balanced-unbalanced conversion function is realized. Further, it is possible to increase the attenuation outside the passband by connecting the first and second surface acoustic wave filter sections 1001 and 1002 in cascade.
JP 2002-84164 A

特許文献1に記載の弾性表面波フィルタ装置1000のように、複数の弾性表面波素子を組み合わせて縦結合共振子型弾性表面波フィルタ装置を構成した場合、圧電基板上における配線パターンや信号ラインの引き回しが複雑になりがちであった。例えば、上記弾性表面波フィルタ装置1000では、弾性表面波フィルタ部1001の外側に不平衡端子1003が配置されているが、該不平衡端子1003を取り囲むように、配線パターン1016が引き回されていた。また、第2の弾性表面波フィルタ部1024の外側においては、第2の平衡端子1005を囲むように、配線パターン1026が引き回されている。そして、配線パターン1016,1026を、アース電位に接続される電極パッドに電気的に接続しなければならなかった。従って、アース電位に接続される配線パターンの面積が大きくならざるを得なかった。そのため、対接地容量が大きくなり、VSWRが劣化したり、通過帯域幅が狭くなったりし、フィルタ特性が損なわれるおそれがあった。   When a longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter device is configured by combining a plurality of surface acoustic wave elements, such as the surface acoustic wave filter device 1000 described in Patent Document 1, wiring patterns and signal lines on a piezoelectric substrate are formed. The routing tends to be complicated. For example, in the surface acoustic wave filter device 1000, the unbalanced terminal 1003 is disposed outside the surface acoustic wave filter unit 1001, but the wiring pattern 1016 is routed so as to surround the unbalanced terminal 1003. . In addition, on the outside of the second surface acoustic wave filter unit 1024, a wiring pattern 1026 is routed so as to surround the second balanced terminal 1005. Then, the wiring patterns 1016 and 1026 had to be electrically connected to electrode pads connected to the ground potential. Therefore, the area of the wiring pattern connected to the ground potential has to be increased. For this reason, the grounding capacity is increased, the VSWR is deteriorated, the pass bandwidth is narrowed, and the filter characteristics may be impaired.

本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を解消し、縦結合共振子型の複数の弾性表面波フィルタ部を有し、VSWRの改善や通過帯域幅の拡大を図ることができ、従って、良好なフィルタ特性を得ることを可能とする弾性表面波フィルタ装置を提供することにある。   The object of the present invention is to eliminate the above-mentioned disadvantages of the prior art and to have a plurality of longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter sections, which can improve the VSWR and expand the passband width. An object of the present invention is to provide a surface acoustic wave filter device capable of obtaining good filter characteristics.

発明によれば、圧電基板と、圧電基板上に構成された縦結合共振子型の第1,第2の弾性表面波フィルタ部とを備え、前記第1,第2の弾性表面波フィルタ部の各一端が、不平衡端子に接続されており、第1の弾性表面波フィルタ部の他端が第1の平衡端子に、第2の弾性表面波フィルタ部の他端が、第2の平衡端子に接続されている弾性表面波フィルタ装置であって、前記第1,第2の弾性表面波フィルタ部は、それぞれ、第1のIDTと、第1のIDTの弾性表面波伝搬方向両側に配置された第2,第3のIDTと、弾性表面波伝搬方向両端に配置された第1,第2の反射器とを有し、前記第1,第2の弾性表面波フィルタ部の前記第1のIDTは、信号電流が流れるホット側の第1の端子と、第1の端子とは反対側の第2の端子とを備え、前記第1,第2の弾性表面波フィルタ部の前記第2,第3のIDTの各一端が共通接続され、前記不平衡端子に接続されており、各他端がアース電位に接続されており、前記第1の弾性表面波フィルタ部の前記第1のIDTの第1の端子が、第1の平衡端子に、第2の弾性表面波フィルタ部の第1のIDTの第1の端子が第2の平衡端子に接続されており、第1,第2の平衡端子から取り出される信号の位相が180°異なるように、第1,第2の弾性表面波フィルタ部の第1〜第3のIDTが形成されており、前記第1,第2の弾性表面波フィルタ部の前記第1のIDTの第2の端子同士が共通接続され、かつアース電位には接続されないようにして、電気的に浮かされた状態とされていることを特徴とする、弾性表面波フィルタ装置が提供される。 According to the present invention, a piezoelectric substrate, and longitudinally coupled resonator type first and second surface acoustic wave filter portions formed on the piezoelectric substrate, the first and second surface acoustic wave filter portions are provided. Are connected to the unbalanced terminal, the other end of the first surface acoustic wave filter unit is connected to the first balanced terminal, and the other end of the second surface acoustic wave filter unit is connected to the second balanced terminal. A surface acoustic wave filter device connected to a terminal, wherein the first and second surface acoustic wave filter sections are disposed on both sides of the first IDT and the surface acoustic wave propagation direction of the first IDT, respectively. Second and third IDTs, and first and second reflectors disposed at both ends of the surface acoustic wave propagation direction, and the first and second surface acoustic wave filter sections of the first The IDT includes a first terminal on the hot side through which a signal current flows and a second terminal on the opposite side of the first terminal. In addition, one end of each of the second and third IDTs of the first and second surface acoustic wave filter sections is connected in common and connected to the unbalanced terminal, and the other end is connected to a ground potential. The first IDT first terminal of the first surface acoustic wave filter section is connected to the first balanced terminal, and the first IDT first terminal of the second surface acoustic wave filter section is used. Are connected to the second balanced terminal, and the first to third of the first and second surface acoustic wave filter sections are arranged so that the phases of the signals extracted from the first and second balanced terminals differ by 180 °. The first IDT second terminals of the first and second surface acoustic wave filter sections are connected in common and are not connected to the ground potential, so that the Surface acoustic wave filter device characterized by being floated on the surface Is provided.

また、本発明のデュプレクサは、本発明に従って構成された弾性表面波フィルタ装置を帯域フィルタとして備える。従って、VSWRを高めたり、通過帯域幅を広げたりすることが可能となる。   The duplexer of the present invention includes a surface acoustic wave filter device configured according to the present invention as a bandpass filter. Accordingly, it is possible to increase the VSWR and widen the pass bandwidth.

発明によれば、第1の弾性表面波フィルタ部の第1のIDTの第1の端子が、第1の平衡端子に、第2の弾性表面波フィルタ部の第1のIDTの第1の端子が第2の平衡端子にそれぞれ接続されており、第1,第2の弾性表面波フィルタ部の第1のIDTの各第2の端子同士が共通接続され、アース電位には接続されないようにして電気的に浮かされた状態とされているので、第1,第2の弾性表面波フィルタ部の第1のIDTの第2の端子側の配線パターンの簡略化を計ることができ、耐接地容量を小さくすることが可能となる。従って、VSWRを改善したり、帯域幅を広げることが可能となる。 According to the present invention, the first terminal of the first IDT of the first surface acoustic wave filter section is connected to the first balanced terminal, and the first IDT of the second surface acoustic wave filter section is the first terminal of the first IDT. The terminals are connected to the second balanced terminals, respectively, so that the second terminals of the first IDTs of the first and second surface acoustic wave filter sections are connected in common and are not connected to the ground potential. Therefore, the wiring pattern on the second terminal side of the first IDT of the first and second surface acoustic wave filter sections can be simplified, and the grounding capacity can be reduced. Can be reduced. Therefore, it is possible to improve VSWR and widen the bandwidth.

よって、発明によっても、縦結合共振子型の弾性表面波フィルタ装置の配線パターンの簡略化及びフィルタ特性の向上を図ることが可能となる。 Therefore, according to the present invention, it is possible to simplify the wiring pattern and improve the filter characteristics of the longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter device.

以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。   Hereinafter, the present invention will be clarified by describing specific embodiments of the present invention with reference to the drawings.

図1は、本発明の第1の実施形態に係る弾性表面波フィルタ装置の模式的平面図である。   FIG. 1 is a schematic plan view of a surface acoustic wave filter device according to a first embodiment of the present invention.

本実施形態の弾性表面波フィルタ装置1は、平衡−不平衡変換機能を有するEGSM用受信側帯域フィルタとして用いられる弾性表面波フィルタ装置である。EGSM方式における送信周波数帯は880〜915MHzであるのに対し、受信周波数帯は、925〜960MHzである。   The surface acoustic wave filter device 1 of this embodiment is a surface acoustic wave filter device used as a reception-side band filter for EGSM having a balanced-unbalanced conversion function. The transmission frequency band in the EGSM system is 880 to 915 MHz, while the reception frequency band is 925 to 960 MHz.

弾性表面波フィルタ装置1は、圧電基板2上に図示の電極構造を形成することにより構成されている。弾性表面波フィルタ装置1は、不平衡端子3と、第1,第2の平衡端子4,5とを有する。本実施形態では、不平衡端子3におけるインピーダンスが50Ω、第1,第2の平衡端子4,5におけるインピーダンスが100Ωとされている。また、圧電基板2としては、特に限定されるわけではないが、40°±5°YカットX伝搬のLiTaO基板が用いられている。 The surface acoustic wave filter device 1 is configured by forming the illustrated electrode structure on a piezoelectric substrate 2. The surface acoustic wave filter device 1 includes an unbalanced terminal 3 and first and second balanced terminals 4 and 5. In the present embodiment, the impedance at the unbalanced terminal 3 is 50Ω, and the impedance at the first and second balanced terminals 4 and 5 is 100Ω. The piezoelectric substrate 2 is not particularly limited, but a 40 ° ± 5 ° Y-cut X propagation LiTaO 3 substrate is used.

圧電基板2上に、Alをパターニングすることにより、図示の電極構造が形成されている。すなわち、縦結合共振子型の第1,第2の弾性表面波フィルタ部10,20が構成されている。   The illustrated electrode structure is formed on the piezoelectric substrate 2 by patterning Al. That is, longitudinally coupled resonator type first and second surface acoustic wave filter sections 10 and 20 are configured.

第1の弾性表面波フィルタ部10は、第1のIDT11と、第1のIDT11の表面波伝搬方向両側に配置された第2,第3のIDT12,13とを有する。第1〜第3のIDT11〜13が設けられている部分の表面波伝搬方向両側に、第1,第2の反射器14,15が配置されている。   The first surface acoustic wave filter unit 10 includes a first IDT 11 and second and third IDTs 12 and 13 disposed on both sides of the first IDT 11 in the surface wave propagation direction. First and second reflectors 14 and 15 are disposed on both sides of the surface wave propagation direction of the portion where the first to third IDTs 11 to 13 are provided.

同様に、第2の弾性表面波フィルタ部20もまた、第1のIDT21と、第1のIDT21の表面波伝搬方向両側に配置された第2,第3のIDTの22,23とを有する。第1〜第3のIDT21〜23が設けられている部分の表面波伝搬方向両側に、第1,第2の反射器24,25が配置されている。   Similarly, the second surface acoustic wave filter unit 20 also includes a first IDT 21 and second and third IDTs 22 and 23 disposed on both sides of the first IDT 21 in the surface wave propagation direction. First and second reflectors 24 and 25 are disposed on both sides of the surface wave propagation direction of the portion where the first to third IDTs 21 to 23 are provided.

不平衡端子3に、第1の弾性表面波フィルタ部10の第1のIDT11の一端が接続されている。IDT11の他端は、アース電位に接続されている。   One end of the first IDT 11 of the first surface acoustic wave filter unit 10 is connected to the unbalanced terminal 3. The other end of the IDT 11 is connected to the ground potential.

IDT12,13,22,23は、信号電流に接続されるホット側の第1の端子と、第1の端子とは反対側に位置する第2の端子とを有する。   The IDTs 12, 13, 22, and 23 each have a first terminal on the hot side that is connected to the signal current and a second terminal that is located on the opposite side of the first terminal.

上記第1のIDT11では、一端が不平衡端子3に接続されており、他端がアース電位に接続されている。第2のIDT12の第1の端子は、第1の信号ライン6を介して第2の弾性表面波フィルタ部20の第2のIDT22の第1の端子に接続されている。   In the first IDT 11, one end is connected to the unbalanced terminal 3 and the other end is connected to the ground potential. The first terminal of the second IDT 12 is connected to the first terminal of the second IDT 22 of the second surface acoustic wave filter unit 20 via the first signal line 6.

第3のIDT13の第1の端子は、信号ライン7を介して第2の弾性表面波フィルタ部の第3のIDT23の第1の端子に接続されている。   The first terminal of the third IDT 13 is connected to the first terminal of the third IDT 23 of the second surface acoustic wave filter unit via the signal line 7.

他方、第2、第3のIDT12,13の第2の端子は、基準電位パターンとしての配線パターン16により共通接続されている。この配線パターン16は、アース電位には接続されず、電気的に浮かされた状態とされている。   On the other hand, the second terminals of the second and third IDTs 12 and 13 are commonly connected by a wiring pattern 16 as a reference potential pattern. The wiring pattern 16 is not connected to the ground potential but is in an electrically floating state.

第2の弾性表面波フィルタ部20における第2,第3のIDT22,23の各第2の端子は、基準電位パターンとしての配線パターン26により共通接続されている。配線パターン26もまた、アース電位には接続されず、浮かされた状態とされている。   The second terminals of the second and third IDTs 22 and 23 in the second surface acoustic wave filter unit 20 are commonly connected by a wiring pattern 26 as a reference potential pattern. The wiring pattern 26 is also not connected to the ground potential and is in a floating state.

他方、第2の弾性表面波フィルタ部20の第1のIDT21の一端が第1の平衡端子4に、他端が第2の平衡端子5に接続されている。   On the other hand, one end of the first IDT 21 of the second surface acoustic wave filter unit 20 is connected to the first balanced terminal 4 and the other end is connected to the second balanced terminal 5.

本実施形態では、例えば、不平衡端子3から信号を入力(出力)した場合、第1の平衡端子4から出力(入力)される信号の位相が、第2の平衡端子5から出力(入力)される信号の位相と180°異なるようにIDT11〜13,21〜23が形成されている。従って、平衡−不平衡変換機能が実現されている。   In this embodiment, for example, when a signal is input (output) from the unbalanced terminal 3, the phase of the signal output (input) from the first balanced terminal 4 is output (input) from the second balanced terminal 5. IDTs 11 to 13 and 21 to 23 are formed so as to be 180 ° different from the phase of the signal to be generated. Therefore, a balanced-unbalanced conversion function is realized.

本実施形態の特徴は、第1,第2の弾性表面波フィルタ部10,20の外側に設けられた配線パターン16,26がアース電位に接続されず、電気的に浮かされた状態とされていることにある。ここで、外側とは、2段縦続接続されている第1の弾性表面波フィルタ部10及び第2の弾性表面波フィルタ部20の内、相手方の弾性表面波フィルタ部が位置する側とは反対側を意味する。第1の弾性表面波フィルタ部10の外側には配線パターン16が存在し、配線パターン16がアース電位に接続されておらず、従って、対接地容量を小さくすることが可能とされている。   The feature of this embodiment is that the wiring patterns 16 and 26 provided outside the first and second surface acoustic wave filter portions 10 and 20 are not connected to the ground potential but are electrically floated. There is. Here, the outer side is opposite to the side where the counterpart surface acoustic wave filter unit is located among the first surface acoustic wave filter unit 10 and the second surface acoustic wave filter unit 20 that are cascade-connected in two stages. Means side. The wiring pattern 16 is present outside the first surface acoustic wave filter unit 10, and the wiring pattern 16 is not connected to the ground potential. Therefore, the grounding capacity can be reduced.

同様に、第2の弾性表面波フィルタ部20の外側には、配線パターン26が存在するが、アース電位に配線パターン26が電気的に接続されていないので、対接地容量を小さくすることが可能とされている。それによって、弾性表面波フィルタ装置1では、フィルタ特性を改善し、かつ通過帯域幅を広げることが可能とされている。これを、具体的な実験例に基づき説明する。   Similarly, the wiring pattern 26 exists outside the second surface acoustic wave filter unit 20, but since the wiring pattern 26 is not electrically connected to the ground potential, it is possible to reduce the grounding capacity. It is said that. Thereby, in the surface acoustic wave filter device 1, it is possible to improve the filter characteristics and widen the passband width. This will be described based on a specific experimental example.

第1の弾性表面波フィルタ部10及び第2の弾性表面波フィルタ部20を以下の仕様で形成した。   The 1st surface acoustic wave filter part 10 and the 2nd surface acoustic wave filter part 20 were formed with the following specifications.

なお、以下において、波長λIとは、IDTの電極指のピッチで定まる波長をいうものとする。   Hereinafter, the wavelength λI refers to a wavelength determined by the pitch of the electrode fingers of the IDT.

(第1の弾性表面波フィルタ部10)
交差幅:38.0λI
第1のIDT11の電極指の本数:38本
第2,第3のIDT12,13の電極指の本数:30本
第1,第2の反射器14,15の電極指の本数:65本
メタライゼーションレシオ:0.73
電極膜厚:0.088λI
(First surface acoustic wave filter unit 10)
Intersection width: 38.0λI
Number of electrode fingers of first IDT 11: 38 Number of electrode fingers of second and third IDTs 12 and 13: 30 Number of electrode fingers of first and second reflectors 14 and 15 Metallization Ratio: 0.73
Electrode film thickness: 0.088λI

(第2の弾性表面波フィルタ部20)
交差幅:38.0λI
第1のIDT21の電極指の本数:40本
第2,第3のIDT22,23の電極指の本数:30本
第1,第2の反射器24,25の電極指の本数:65本
メタライゼーションレシオ:0.73
電極膜厚:0.088λI
上記のようにして作製した弾性表面波フィルタ装置1のフィルタ特性と、反射特性とを測定した。結果を図2及び図3(a),(b)に実線で示す。図2は、フィルタ特性を、図3(a),(b)は反射特性として入力側及び出力側におけるVSWRを示す。
(Second surface acoustic wave filter unit 20)
Intersection width: 38.0λI
Number of electrode fingers of the first IDT 21: 40 Number of electrode fingers of the second and third IDTs 22 and 23: 30 Number of electrode fingers of the first and second reflectors 24 and 25: 65 Metallization Ratio: 0.73
Electrode film thickness: 0.088λI
The filter characteristics and reflection characteristics of the surface acoustic wave filter device 1 produced as described above were measured. The results are shown by solid lines in FIG. 2 and FIGS. 3 (a) and 3 (b). FIG. 2 shows the filter characteristics, and FIGS. 3A and 3B show the VSWR on the input side and the output side as the reflection characteristics.

なお、比較例として、図4に示す弾性表面波フィルタ装置1101を作製した。弾性表面波フィルタ装置1101では、配線パターン16,26に代えて、第2,第3のIDT12,13,22,23の第2の端子を、それぞれ、配線パターンによりアース電位に接続したことを除いては、上記実施形態の弾性表面波フィルタ装置1と同様とした。   As a comparative example, a surface acoustic wave filter device 1101 shown in FIG. 4 was produced. In the surface acoustic wave filter device 1101, instead of the wiring patterns 16 and 26, the second terminals of the second and third IDTs 12, 13, 22, and 23 are connected to the ground potential by the wiring patterns, respectively. This is the same as the surface acoustic wave filter device 1 of the above embodiment.

上記のようにして作製した比較例の弾性表面波フィルタ装置1101のフィルタ特性及び反射特性を測定した。結果を図2及び図3(a),(b)に破線で示す。   The filter characteristics and reflection characteristics of the surface acoustic wave filter device 1101 of the comparative example manufactured as described above were measured. The results are shown by broken lines in FIG. 2 and FIGS. 3 (a) and 3 (b).

図2から明らかなように、上記実施形態によれば、通過帯域幅が広くなっており、より具体的には、スルーレベルから挿入損失が3dBである帯域幅が比較例に比べて、本実施形態では、約1.0MHz広くなっていることがわかる。   As is clear from FIG. 2, according to the above embodiment, the pass bandwidth is widened. More specifically, the bandwidth with an insertion loss of 3 dB from the through level is higher than that of the comparative example. It can be seen that the form is approximately 1.0 MHz wider.

また、図3(a),(b)から明らかなように、上記比較例に対して、上記実施形態によれば、VSWRの値が大きくなっていることがわかる。より具体的には、入力側では、通過帯域内におけるVSRWの値が約0.13改善され、それによって反射特性が高められていることがわかる。   Further, as is clear from FIGS. 3A and 3B, it can be seen that the value of VSWR is larger according to the above embodiment than the comparative example. More specifically, on the input side, it can be seen that the value of VSRW in the passband is improved by about 0.13, thereby improving the reflection characteristics.

上記のように、比較例に比べて、上記実施形態によれば、反射特性を高め、かつ通過帯域幅を広げ得ることができたのは、以下の理由によると考えられる。   As described above, the reason why the reflection characteristics can be improved and the pass bandwidth can be widened according to the embodiment as compared with the comparative example is considered as follows.

縦結合共振子型の弾性表面波フィルタ装置では、IDTのホット側の端子とは反対側の端子をアース電位に接続する必要があった。これは、各IDTにおいて、隣り合う電極指間に電位差を発生させ、電気信号−弾性表面波の変換を行うためである。そのため、縦結合共振子型の弾性表面波フィルタ部を2段縦続接続した場合、前述した特許文献1に記載のように、圧電基板上におけるアース電位に接続される配線パターンの引き回し部分の面積が大きくならざるを得なかった。そのため、対接地容量が大きくなり、反射特性やフィルタの伝送特性が悪化するという問題があった。   In the longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter device, it is necessary to connect the terminal on the opposite side of the IDT on the hot side to the ground potential. This is because, in each IDT, a potential difference is generated between adjacent electrode fingers to convert an electric signal to a surface acoustic wave. Therefore, when two stages of longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter units are connected in cascade, as described in Patent Document 1, the area of the wiring pattern connected to the ground potential on the piezoelectric substrate is reduced. I had to get bigger. For this reason, there is a problem that the grounding capacity is increased and the reflection characteristics and the transmission characteristics of the filter are deteriorated.

これに対し、上記実施形態では、第1の信号ライン6を伝送される信号の位相と、第2の信号ラインを伝送される信号の位相とが180°異なっている。従って、IDT12の信号ライン6が接続されている側とは反対側の端子である第2の端子側における位相と、IDT13の信号ライン7に接続されている側とは反対側の端部である第2の端子側における電気信号の位相とは反転することとなる。そして、このIDT12の第2の端子と、IDT13の第2の端子とが配線パターン16により電気的に接続されるので、振幅がほぼ同じであり、位相がほぼ反転している、2つの第2の端子同士が配線パターン16により接続されることになる。   On the other hand, in the above embodiment, the phase of the signal transmitted through the first signal line 6 is different from the phase of the signal transmitted through the second signal line by 180 °. Accordingly, the phase on the second terminal side, which is the terminal opposite to the side to which the signal line 6 of the IDT 12 is connected, and the end opposite to the side connected to the signal line 7 of the IDT 13. The phase of the electric signal on the second terminal side is inverted. Then, since the second terminal of the IDT 12 and the second terminal of the IDT 13 are electrically connected by the wiring pattern 16, the two second terminals having substantially the same amplitude and substantially inverted phases. The terminals are connected by the wiring pattern 16.

従って、仮想的な中性電位、すなわち仮想的なアース電位となる。   Therefore, it becomes a virtual neutral potential, that is, a virtual ground potential.

よって、配線パターン16をアース電位に接続せずとも、IDT12,13において、それぞれ、隣り合う電極指間に電位差が発生し、フィルタとして動作することが可能とされている。従って、IDT22,23側においても、同様に、配線パターン26により、IDT22,23の第2の端子同士が接続されているので、IDT22,23の隣り合う電極指間において電位差が発生し、フィルタとして動作することが可能とされている。   Therefore, even if the wiring pattern 16 is not connected to the ground potential, a potential difference is generated between the adjacent electrode fingers in the IDTs 12 and 13, respectively, so that it can operate as a filter. Accordingly, the second terminals of the IDTs 22 and 23 are similarly connected to each other on the IDTs 22 and 23 side by the wiring pattern 26. Therefore, a potential difference is generated between the adjacent electrode fingers of the IDTs 22 and 23. It is possible to work.

そして、配線パターン16,26では、アース電位に接続する必要がないため、圧電基板上における配線パターン16,26の引き回し面積を大幅に小さくすることが可能となる。よって、入出力端子における対接地容量を小さくすることができ、それによってVSWRを改善することができ、通過帯域幅が広げられていると考えられる。   Since the wiring patterns 16 and 26 do not need to be connected to the ground potential, it is possible to greatly reduce the routing area of the wiring patterns 16 and 26 on the piezoelectric substrate. Therefore, it is considered that the grounding capacitance at the input / output terminals can be reduced, thereby improving the VSWR and increasing the passband width.

なお、参考までに、図5に第1の実施形態の弾性表面波フィルタ装置1の圧電基板2上における電極部分のレイアウトをハッチングを付して模式的に示す。ここで、断面ではないが、信号ライン6,7、信号電位に接続される電極40a〜40c、アース電位に接続される電極41を、それぞれ、ハッチングを付して示すこととする。また、絶縁膜42a〜42dは、電極同士の短絡を防止するための絶縁膜である。   For reference, FIG. 5 schematically shows a layout of electrode portions on the piezoelectric substrate 2 of the surface acoustic wave filter device 1 of the first embodiment with hatching. Here, although not a cross section, the signal lines 6 and 7, the electrodes 40 a to 40 c connected to the signal potential, and the electrode 41 connected to the ground potential are indicated by hatching, respectively. The insulating films 42a to 42d are insulating films for preventing a short circuit between the electrodes.

比較のために、図6に図4に示した比較例の弾性表面波フィルタ装置1101における圧電基板上の電極のレイアウトを模式的に示す。ここでも、信号ライン6,7、信号電位及びアース電位に接続される電極1104a〜1104c,1105a〜1105fをハッチングを付して示すこととする。また、絶縁膜1106a〜1106dは、電極間の短絡を防止するための絶縁膜を意味する。   For comparison, FIG. 6 schematically shows a layout of electrodes on the piezoelectric substrate in the surface acoustic wave filter device 1101 of the comparative example shown in FIG. Here, the signal lines 6 and 7 and the electrodes 1104a to 1104c and 1105a to 1105f connected to the signal potential and the ground potential are indicated by hatching. The insulating films 1106a to 1106d mean insulating films for preventing a short circuit between the electrodes.

図5及び図6を比較すれば明らかなように、上記実施形態によれば、比較例に比べて、圧電基板上におけるアース電位に接続するための電極引き回し面積が圧倒的に小さくなっていることがわかる。それによって、対接地容量を小さくし得るだけでなく、圧電基板上における配線面積が小さくなり、弾性表面波フィルタ装置1全体の小型化も図ることができる。   As apparent from comparison between FIGS. 5 and 6, according to the above embodiment, the electrode routing area for connecting to the ground potential on the piezoelectric substrate is overwhelmingly smaller than in the comparative example. I understand. Thereby, not only the grounding capacity can be reduced, but also the wiring area on the piezoelectric substrate is reduced, and the entire surface acoustic wave filter device 1 can be reduced in size.

なお、上記実施形態では、第1の弾性表面波フィルタ部の第2,第3のIDT12,13が配線パターン16により電気的に接続されて浮かされた状態とされており、さらに第2の弾性表面波フィルタ部20の第2,第3のIDT22,23の第2の端子も配線パターン26により電気的に接続され浮かされた状態とされていたが、配線パターン16,26のいずれか一方のみが用いられてもよい。   In the above embodiment, the second and third IDTs 12 and 13 of the first surface acoustic wave filter unit are electrically connected by the wiring pattern 16 and floated, and further the second surface acoustic wave. Although the second terminals of the second and third IDTs 22 and 23 of the wave filter unit 20 are also electrically connected and floated by the wiring pattern 26, only one of the wiring patterns 16 and 26 is used. May be.

例えば、第1の配線パターン16のみが用いられ、第2の配線パターン26に代えて、第2,第3のIDT22,23の第2の端子がアース電位に接続されていてもよい。その場合においても、配線パターン16が設けられている側において対接地容量を小さくすることができるので、第1の実施形態の場合に比べて、電気的特性の改善は低くなるものの、従来の弾性表面波フィルタ装置に比べれば、対接地容量も小さくすることができるので、同様に、VSWRの改善及び通過帯域幅の拡大を図ることができる。   For example, only the first wiring pattern 16 may be used, and the second terminals of the second and third IDTs 22 and 23 may be connected to the ground potential instead of the second wiring pattern 26. Even in such a case, since the grounding capacitance can be reduced on the side where the wiring pattern 16 is provided, the improvement in electrical characteristics is lower than in the case of the first embodiment, but the conventional elasticity is reduced. Compared with the surface acoustic wave filter device, the grounding capacity can be reduced, so that the VSWR can be improved and the passband width can be increased in the same manner.

第1の実施形態では、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタ装置1を示したが、本発明は、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタ装置に限定されるものではない。   In the first embodiment, the surface acoustic wave filter device 1 having the balance-unbalance conversion function is shown, but the present invention is not limited to the surface acoustic wave filter device having the balance-unbalance conversion function. .

図7に示す第2の実施形態の弾性表面波フィルタ装置101では、圧電基板102上に図示の電極構造が形成されている。ここでは、不平衡信号入力端子103と、不平衡信号出力端子104との間に、縦結合共振子型の第1,第2の弾性表面波フィルタ部110,120が縦続接続されている。すなわち、第1の弾性表面波フィルタ部110の第1のIDT111の一端が不平衡信号入力端子103に接続されており、他端がアース電位に接続されている。また、第2の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部120の第1のIDT121の一端がアース電位に、他端が不平衡信号出力端子104に接続されている。その他の点については、第1の実施形態の弾性表面波フィルタ装置1と同様であるため、同一の部分については、同一の参照番号を付することにより、その説明を省略する。   In the surface acoustic wave filter device 101 according to the second embodiment shown in FIG. 7, the illustrated electrode structure is formed on the piezoelectric substrate 102. Here, between the unbalanced signal input terminal 103 and the unbalanced signal output terminal 104, longitudinally coupled resonator type first and second surface acoustic wave filter units 110 and 120 are cascade-connected. That is, one end of the first IDT 111 of the first surface acoustic wave filter unit 110 is connected to the unbalanced signal input terminal 103, and the other end is connected to the ground potential. In addition, one end of the first IDT 121 of the second longitudinally coupled resonator-type surface acoustic wave filter unit 120 is connected to the ground potential, and the other end is connected to the unbalanced signal output terminal 104. Since the other points are the same as those of the surface acoustic wave filter device 1 of the first embodiment, the same portions are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

このように、本発明の弾性表面波フィルタ装置は、不平衡信号入力または出力、及び不平衡信号出力または入力を有する弾性表面波フィルタ装置であってもよい。   Thus, the surface acoustic wave filter device of the present invention may be a surface acoustic wave filter device having an unbalanced signal input or output and an unbalanced signal output or input.

第2の実施形態においても、第2,第3のIDT12,13,22,23の第1,第2の信号ライン6,7に接続されている側とは反対側の端部である第2の端子が配線パターン16により接続されており、電気的に浮かされた状態とされており、また第1,第2の信号ライン6,7を伝送する信号の位相が180°異なっているため、第1の実施形態と同様に、VSWRの改善及び通過帯域幅の拡大を図ることができる。   Also in the second embodiment, the second end, which is the end opposite to the side connected to the first and second signal lines 6, 7 of the second and third IDTs 12, 13, 22, 23. Are connected to each other by the wiring pattern 16 and are in an electrically floating state, and the phases of the signals transmitted through the first and second signal lines 6 and 7 are 180 ° different from each other. As in the first embodiment, the VSWR can be improved and the pass bandwidth can be increased.

図8に示す第3の実施形態の弾性表面波フィルタ装置201では、圧電基板202上に、図示の電極構造が形成されている。すなわち、第1,第2の平衡信号入力端子203a,203bと、第1,第2の平衡信号出力端子204a,204bとの間に、縦結合共振子型の第1,第2の弾性表面波フィルタ部210,220が縦続接続されている。   In the surface acoustic wave filter device 201 of the third embodiment shown in FIG. 8, the illustrated electrode structure is formed on a piezoelectric substrate 202. That is, between the first and second balanced signal input terminals 203a and 203b and the first and second balanced signal output terminals 204a and 204b, longitudinally coupled resonator type first and second surface acoustic waves are provided. Filter units 210 and 220 are connected in cascade.

弾性表面波フィルタ部210,220は、第1の実施形態の弾性表面波フィルタ部10,20と同様に構成されている。もっとも、第1のIDT11の一端が、第1の平衡信号入力端子203aに、他端が第2の平衡信号入力端子203bに接続されている。また、第2の弾性表面波フィルタ部220では、中央のIDT21の一端が、第1の平衡信号出力端子204aに、他端が、第2の平衡信号出力端子204bに接続されている。その他の構成は、第1の実施形態の弾性表面波フィルタ装置1と同様とされている。従って、本実施形態においても、第1の実施形態の場合と同様に、VSWRの改善及び通過帯域幅の拡大を図ることができる。   The surface acoustic wave filter units 210 and 220 are configured in the same manner as the surface acoustic wave filter units 10 and 20 of the first embodiment. However, one end of the first IDT 11 is connected to the first balanced signal input terminal 203a, and the other end is connected to the second balanced signal input terminal 203b. In the second surface acoustic wave filter unit 220, one end of the central IDT 21 is connected to the first balanced signal output terminal 204a, and the other end is connected to the second balanced signal output terminal 204b. Other configurations are the same as those of the surface acoustic wave filter device 1 of the first embodiment. Therefore, also in the present embodiment, as in the case of the first embodiment, it is possible to improve the VSWR and increase the pass bandwidth.

図9は、本発明の第4の実施形態に係る弾性表面波フィルタ装置の電極構造を示す模式的平面図である。第4の実施形態の弾性表面波フィルタ装置301では、不平衡端子3に、3IDT型の縦結合共振子型の2つの第1の弾性表面波フィルタ部10,10Aが接続されている。また、第1の弾性表面波フィルタ部10の後段には、縦結合共振子型の第2の弾性表面波フィルタ部20が接続されている。そして、第2の弾性表面波フィルタ部20の第1のIDT21の一端がアース電位に、他端が第1の平衡端子4に電気的に接続されている。   FIG. 9 is a schematic plan view showing an electrode structure of a surface acoustic wave filter device according to the fourth embodiment of the present invention. In the surface acoustic wave filter device 301 of the fourth embodiment, two first surface acoustic wave filter parts 10, 10 A of 3IDT type longitudinally coupled resonator type are connected to the unbalanced terminal 3. A longitudinally coupled resonator type second surface acoustic wave filter unit 20 is connected to the subsequent stage of the first surface acoustic wave filter unit 10. One end of the first IDT 21 of the second surface acoustic wave filter unit 20 is electrically connected to the ground potential, and the other end is electrically connected to the first balanced terminal 4.

他方、第1の弾性表面波フィルタ部10Aの後段にも、3IDT型の縦結合共振子型の第2の弾性表面波フィルタ部20Aが接続されている。第2の弾性表面波フィルタ部20Aの第1のIDT21Aの一端がアース電位に、他端が第2の平衡端子5に接続されている。   On the other hand, a 3IDT type longitudinally coupled resonator type second surface acoustic wave filter unit 20A is also connected to the subsequent stage of the first surface acoustic wave filter unit 10A. One end of the first IDT 21 </ b> A of the second surface acoustic wave filter unit 20 </ b> A is connected to the ground potential, and the other end is connected to the second balanced terminal 5.

本実施形態では、第1,第2の信号ライン6,7を伝送する信号の位相が、180°異なっており、第1,第2の信号ライン6A,7Aを伝送する信号の位相も180°異なるように、かつ第1,第2の平衡端子4,5から取り出される信号の位相が180°異なるように、IDT11〜13,11A〜13A,21〜23,21A〜23Aが構成されている。   In the present embodiment, the phases of the signals transmitted through the first and second signal lines 6 and 7 are 180 degrees different from each other, and the phases of the signals transmitted through the first and second signal lines 6A and 7A are also 180 degrees. The IDTs 11 to 13, 11A to 13A, 21 to 23, and 21A to 23A are configured so that the phases of the signals extracted from the first and second balanced terminals 4 and 5 are 180 degrees different from each other.

そして、本実施形態では、第2,第3のIDT12,13の信号ライン6,7が接続されている側とは反対側の端部である第2の端子が配線パターン16により接続されており、第2,第3のIDT12,13の信号ライン6,7が接続されている側とは反対側の端部である第2の端子は配線パターン26により電気的に接続されている。同様に、IDT12A,13Aの信号ライン6A,7Aが接続されている側とは反対側の端部とは、配線パターン16Aにより電気的に接続されており、IDT22A,23Aの信号ライン6A,7Aに電気的に接続されている側とは反対側の端部は、配線パターン26Aにより電気的に接続されている。   In the present embodiment, the second terminal which is the end opposite to the side where the signal lines 6 and 7 of the second and third IDTs 12 and 13 are connected is connected by the wiring pattern 16. The second terminal, which is the end of the second and third IDTs 12 and 13 opposite to the side where the signal lines 6 and 7 are connected, is electrically connected by the wiring pattern 26. Similarly, the end of the IDT 12A, 13A opposite to the side where the signal lines 6A, 7A are connected is electrically connected by the wiring pattern 16A, and is connected to the signal lines 6A, 7A of the IDTs 22A, 23A. The end on the side opposite to the electrically connected side is electrically connected by the wiring pattern 26A.

配線パターン16,26,16A,26Aはアース電位に接続されず、電気的に浮かされた状態とされている。よって、本実施形態においても、VSWRの改善及び通過帯域幅の拡大を図ることができる。   The wiring patterns 16, 26, 16A, and 26A are not connected to the ground potential but are in an electrically floating state. Therefore, also in this embodiment, it is possible to improve the VSWR and increase the pass bandwidth.

図10は、第5の実施形態に係る弾性表面波フィルタ装置351を示す模式的平面図である。第5の実施形態の弾性表面波フィルタ装置351は、第4の実施形態の弾性表面波フィルタ装置301の変形例にあたり、異なるところは、配線パターン16,26,16A,26Aに代えて、配線パターン352,353が形成されていることにある。すなわち、配線パターン352は、IDT13の信号ライン7と電気的に接続されている側とは反対側の端部である第2の端子と、IDT11Aの信号ライン6Aが電気的に接続されている側とは反対側の端部である第2の端子を共通接続しており、アース電位には接続されておらず、電気的に浮かされた状態とされている。また、配線パターン353はIDT23の信号ライン7に電気的に接続されている側とは反対側の端部である第2の端子と、IDT21Aの信号ライン6Aが接続されている側とは反対側の端部である第2の端子とは共通接続しており、アース電位に接続されておらず、電気的に浮かされた状態とされている。   FIG. 10 is a schematic plan view showing a surface acoustic wave filter device 351 according to the fifth embodiment. The surface acoustic wave filter device 351 according to the fifth embodiment is a modification of the surface acoustic wave filter device 301 according to the fourth embodiment, except that the wiring pattern is replaced with the wiring patterns 16, 26, 16A, and 26A. 352 and 353 are formed. That is, the wiring pattern 352 has a second terminal which is the end opposite to the side electrically connected to the signal line 7 of the IDT 13 and a side where the signal line 6A of the IDT 11A is electrically connected. The second terminal, which is the end on the opposite side, is commonly connected, is not connected to the ground potential, and is in an electrically floating state. Further, the wiring pattern 353 has a second terminal which is an end opposite to the side electrically connected to the signal line 7 of the IDT 23 and a side opposite to the side where the signal line 6A of the IDT 21A is connected. Are connected in common to the second terminal, which is not connected to the ground potential, and are in an electrically floating state.

また、IDT12,22,13A,23Aの信号ライン6または信号ライン7Aに電気的に接続されている側とは反対側の端部はアース電位に接続されている。このように、配線パターン16,26,16A,26Aを用いる代わりに、上記配線パターン352,353を形成してもよく、その場合においても、IDT12,22,13A,23Aの一方端はアース電位に接続されているものの、配線パターン352,353を形成することにより、対接地容量を小さくすることができる。従って、VSWRの改善及び通過帯域幅の拡大を図ることができる。   The ends of the IDTs 12, 22, 13A, 23A opposite to the side electrically connected to the signal line 6 or the signal line 7A are connected to the ground potential. In this way, instead of using the wiring patterns 16, 26, 16A, and 26A, the wiring patterns 352 and 353 may be formed. In this case, one end of the IDTs 12, 22, 13A, and 23A is at the ground potential. Although connected, the grounding capacitance can be reduced by forming the wiring patterns 352 and 353. Therefore, the VSWR can be improved and the pass bandwidth can be increased.

上記のように、本発明は、図1に示したフロートタイプの平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタ装置に限らす、第4,5の実施形態の弾性表面波フィルタ装置301,351のように、いわゆる中性点タイプの平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタ装置であってもよい。   As described above, the present invention is limited to the surface acoustic wave filter device having the float-type balanced-unbalanced conversion function shown in FIG. 1, and the surface acoustic wave filter devices 301 and 351 of the fourth and fifth embodiments. As described above, a surface acoustic wave filter device having a so-called neutral point type balance-unbalance conversion function may be used.

また、図11及び図12に示すように、5IDT型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタを用いた弾性表面波フィルタ装置であってもよい。   11 and 12, a surface acoustic wave filter device using a 5IDT type longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter may be used.

図11に示す第6の実施形態の弾性表面波フィルタ装置401では、圧電基板402上に図示の電極構造が形成されている。ここでは、不平衡端子3と第1,第2の平衡端子4,5との間に、5IDT型の縦結合共振子型の第1,第2の弾性表面波フィルタ部410,420が縦続接続されている。   In the surface acoustic wave filter device 401 of the sixth embodiment shown in FIG. 11, the illustrated electrode structure is formed on a piezoelectric substrate 402. Here, between the unbalanced terminal 3 and the first and second balanced terminals 4 and 5, 5IDT type longitudinally coupled resonator type first and second surface acoustic wave filter units 410 and 420 are cascade-connected. Has been.

弾性表面波フィルタ部410は、第1のIDT411と、第1のIDT411の表面波伝搬両側に配置された第2,第3のIDT412,413と、第1〜第3のIDT411〜413が設けられている部分の表面波伝搬両側に配置された第4のIDT414及び第5のIDT415とを有する。第4,第5のIDT414,415の表面波伝搬方向外側には、それぞれ、第1,第2の反射器416,417が配置されている。   The surface acoustic wave filter unit 410 includes a first IDT 411, second and third IDTs 412 and 413 disposed on both sides of the surface wave propagation of the first IDT 411, and first to third IDTs 411 to 413. The fourth IDT 414 and the fifth IDT 415 are arranged on both sides of the surface wave propagation of the portion. First and second reflectors 416 and 417 are disposed outside the fourth and fifth IDTs 414 and 415 in the surface wave propagation direction, respectively.

第2の弾性表面波フィルタ部420も、同様に構成された第1〜第5のIDT421〜425と、第1,第2の反射器426,427とを有する。   The second surface acoustic wave filter unit 420 also includes first to fifth IDTs 421 to 425 configured similarly, and first and second reflectors 426 and 427.

ここでは、中央の第1のIDT411,421が、表面波伝搬方向に一方のくし歯電極を2分割することにより設けられた第1,第2の分割IDT部411a,411b,421a,421bを有する。   Here, the first IDTs 411 and 421 at the center have first and second divided IDT portions 411a, 411b, 421a, and 421b provided by dividing one comb electrode in the surface wave propagation direction. .

不平衡端子3に、第2,第3のIDT412,413の第1の端子が共通接続されている。IDT412,413の第2の端子はアース電位に接続されている。第4のIDT414の第1の端子が第1の信号ライン6aにより、第2の弾性表面波フィルタ部420の第4のIDT424の第1の端子に接続されている。   The first terminals of the second and third IDTs 412 and 413 are commonly connected to the unbalanced terminal 3. The second terminals of the IDTs 412 and 413 are connected to the ground potential. The first terminal of the fourth IDT 414 is connected to the first terminal of the fourth IDT 424 of the second surface acoustic wave filter unit 420 by the first signal line 6a.

第4のIDT414の信号ライン6aに電気的に接続されている側とは反対側の端部である第2の端子は、配線パターン418に電気的に接続されている。同様に、IDT424の信号ライン6aに電気的に接続されている側とは反対側の端部である第2の端子は配線パターン428に電気的に接続されている。   The second terminal, which is the end of the fourth IDT 414 opposite to the side electrically connected to the signal line 6 a, is electrically connected to the wiring pattern 418. Similarly, the second terminal which is the end of the IDT 424 opposite to the side electrically connected to the signal line 6 a is electrically connected to the wiring pattern 428.

第1の分割IDT部411aの第1の端子が第2の信号ライン7aにより第1の分割IDT部421aの第1の端子に接続されている。   The first terminal of the first divided IDT unit 411a is connected to the first terminal of the first divided IDT unit 421a by the second signal line 7a.

第2の分割IDT部411bの第1の端子と、第2の分割IDT部421bの第1の端子とが、第3の信号ライン6bにより電気的に接続されている。   The first terminal of the second divided IDT unit 411b and the first terminal of the second divided IDT unit 421b are electrically connected by the third signal line 6b.

IDT411,421の共通バスバーを有する側の端部が、それぞれ、配線パターン418,428に電気的に接続されている。また、第5のIDT415の一端は、上記配線パターン418に接続されており、他端が第4の信号ライン7bを介して、第5のIDT425の一端に接続されている。第5のIDT425の他端は、上記配線パターン428に電気的に接続されている。   The ends of the IDTs 411 and 421 having the common bus bar are electrically connected to the wiring patterns 418 and 428, respectively. One end of the fifth IDT 415 is connected to the wiring pattern 418, and the other end is connected to one end of the fifth IDT 425 through the fourth signal line 7b. The other end of the fifth IDT 425 is electrically connected to the wiring pattern 428.

そして、第2のIDT422の一端がアース電位に、他端が第1の平衡端子4に接続されている。同様に、第3のIDT423の一端がアース電位に、他端が第2の平衡端子5に接続されている。   One end of the second IDT 422 is connected to the ground potential, and the other end is connected to the first balanced terminal 4. Similarly, one end of the third IDT 423 is connected to the ground potential, and the other end is connected to the second balanced terminal 5.

ここでは、第1の信号ライン6aを流れる信号の位相と第2の信号ライン7aを流れる信号の位相とが180°異なるように第3の信号ライン6bを流れる信号の位相と第4の信号ライン7bを流れる信号の位相とが180°異なるように、さらに第1,第2の平衡端子4,5から取り出される信号の位相が180°異なるように、IDT411〜415及びIDT421〜425が構成されている。   Here, the phase of the signal flowing through the third signal line 6b and the fourth signal line so that the phase of the signal flowing through the first signal line 6a and the phase of the signal flowing through the second signal line 7a are 180 ° different from each other. IDTs 411 to 415 and IDTs 421 to 425 are configured so that the phase of the signal flowing through 7b is 180 degrees different from that of the signals extracted from the first and second balanced terminals 4 and 5 by 180 degrees. Yes.

そして、上記配線パターン418,428が設けられており、配線パターン418,428がアース電位に接続されず、電気的に浮かされた状態とされているので、アース電位に接続される配線パターンの引き回し面積を小さくすることができ、かつ対接地容量を小さくすることが可能とされている。よって、本実施形態においても、VSWRの改善及び通過帯域幅の拡大を図ることができる。   Since the wiring patterns 418 and 428 are provided and the wiring patterns 418 and 428 are not electrically connected to the ground potential but are in an electrically floating state, the routing area of the wiring pattern connected to the ground potential is provided. The grounding capacity can be reduced. Therefore, also in this embodiment, it is possible to improve the VSWR and increase the pass bandwidth.

図12に示す弾性表面波フィルタ装置501では、不平衡端子3及び第1,第2の平衡端子4,5との接続態様が異なることを除いては、弾性表面波フィルタ装置401と同様とされている。すなわち、第6の実施形態の弾性表面波フィルタ装置501では、第1の平衡端子4が、第2,第3のIDT422,424の一端に接続されており、第2の平衡端子5が、第2,第4のIDT422,424の他端に電気的に接続されていることを除いては、弾性表面波フィルタ装置401と同様に構成されている。このように、5IDT型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタを用いた弾性表面波フィルタ装置においても、平衡−不平衡変換機能を実現するための第1,第2の平衡端子の接続形態は、フロートタイプであってもよい。   The surface acoustic wave filter device 501 shown in FIG. 12 is the same as the surface acoustic wave filter device 401 except that the connection mode between the unbalanced terminal 3 and the first and second balanced terminals 4 and 5 is different. ing. That is, in the surface acoustic wave filter device 501 of the sixth embodiment, the first balanced terminal 4 is connected to one end of the second and third IDTs 422 and 424, and the second balanced terminal 5 is connected to the first balanced terminal 5. The surface acoustic wave filter device 401 is configured in the same manner as the surface acoustic wave filter device 401 except that it is electrically connected to the other ends of the second and fourth IDTs 422 and 424. Thus, also in the surface acoustic wave filter device using the 5IDT type longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter, the connection form of the first and second balanced terminals for realizing the balanced-unbalanced conversion function is as follows. It may be a float type.

図13は、本発明の第8の実施形態に係る弾性表面波フィルタ装置の電極構造を示す模式的平面図である。第8の実施形態は、弾性表面波フィルタ装置701では、圧電基板上に図示の電極構造が形成されている。すなわち、不平衡端子3及び第1,第2の平衡端子4,5との間に、図示の電極構造が接続されている。ここでは、図示のように、第1のIDT711が配置されており、第1のIDT711の弾性表面波伝搬方向両側に第2,第3のIDT712,713が配置されている。IDT711〜713が設けられている領域の表面波伝搬方向両側に第1,第2の反射器714,715が配置されている。IDT711の一端が不平衡端子3に接続されており、他端がアース電位に接続されている。第2,第3のIDT712,713の第1の端子は、それぞれ、第1,第2の平衡端子4,5に接続されている。IDT712,713のホット側ではない第2の端子は共通接続され、アース電位に接続されないようにして電気的に浮かされた状態とされている。   FIG. 13 is a schematic plan view showing an electrode structure of the surface acoustic wave filter device according to the eighth embodiment of the present invention. In the eighth embodiment, in the surface acoustic wave filter device 701, the illustrated electrode structure is formed on a piezoelectric substrate. That is, the illustrated electrode structure is connected between the unbalanced terminal 3 and the first and second balanced terminals 4 and 5. Here, as shown in the drawing, the first IDT 711 is arranged, and the second and third IDTs 712 and 713 are arranged on both sides of the first IDT 711 in the surface acoustic wave propagation direction. First and second reflectors 714 and 715 are arranged on both sides of the surface wave propagation direction of the region where IDTs 711 to 713 are provided. One end of the IDT 711 is connected to the unbalanced terminal 3, and the other end is connected to the ground potential. The first terminals of the second and third IDTs 712 and 713 are connected to the first and second balanced terminals 4 and 5, respectively. The second terminals that are not on the hot side of the IDTs 712 and 713 are commonly connected, and are electrically floated so as not to be connected to the ground potential.

不平衡端子3から信号が入力されると、平衡端子4から取り出される信号の位相と、平衡端子5から取り出される信号の位相とが180°異なるようにIDT711〜713が形成されている。従って、弾性表面波フィルタ装置701は、平衡−不平衡変換機能を有する。   The IDTs 711 to 713 are formed such that when a signal is input from the unbalanced terminal 3, the phase of the signal extracted from the balanced terminal 4 and the phase of the signal extracted from the balanced terminal 5 differ by 180 °. Accordingly, the surface acoustic wave filter device 701 has a balance-unbalance conversion function.

そして、IDT712,713の第2の端子同士が共通接続され、電気的に浮かされた状態とされているので、IDT712,713の第2の端子側の配線パターン、すなわち不平衡端子3が配置されている配線パターンを簡略化することができるとともに、耐接地容量を小さくすることが可能とされている。   Since the second terminals of the IDTs 712 and 713 are connected in common and are in an electrically floating state, the wiring pattern on the second terminal side of the IDTs 712 and 713, that is, the unbalanced terminal 3 is arranged. It is possible to simplify the existing wiring pattern and to reduce the grounding resistance.

従って、本実施形態においても、VSWRの改善及び帯域幅の拡大を図ることが可能となる。   Therefore, also in the present embodiment, it is possible to improve the VSWR and expand the bandwidth.

図14は、本発明の第9の実施形態に係る弾性表面波フィルタ装置の電極構造を示す模式的平面図である。弾性表面波フィルタ装置801では、圧電基板上において図示の電極構造が形成されている。すなわち、圧電基板上に縦結合共振子型の第1,第2の弾性表面波フィルタ部802,803が構成されている。第1,第2の弾性表面波フィルタ部802,803は、いずれも、第1のIDT811,821と、第1のIDT811,821の弾性表面波伝搬方向両側に配置された第2,第3のIDT812,822,823と、弾性表面波伝搬方向両端に配置された第1,第2の反射器814,815,824,825とを有する。   FIG. 14 is a schematic plan view showing an electrode structure of a surface acoustic wave filter device according to the ninth embodiment of the present invention. In the surface acoustic wave filter device 801, the illustrated electrode structure is formed on a piezoelectric substrate. That is, longitudinally coupled resonator type first and second surface acoustic wave filter sections 802 and 803 are formed on the piezoelectric substrate. Each of the first and second surface acoustic wave filter units 802 and 803 includes the first IDTs 811 and 821 and the second and third surface acoustic wave propagation units disposed on both sides of the first IDTs 811 and 821 in the surface acoustic wave propagation direction. IDTs 812, 822, and 823, and first and second reflectors 814, 815, 824, and 825 disposed at both ends of the surface acoustic wave propagation direction.

第1の弾性表面波フィルタ部の802の第1のIDT811及び第2の弾性表面波フィルタ部813の第1のIDT821の各一端が共通接続され、不平衡端子3に接続されている。第1のIDT811,821の各他端はアース電位に接続されている。   One end of the first IDT 811 of the first surface acoustic wave filter unit 802 and the first IDT 821 of the second surface acoustic wave filter unit 813 are connected in common and connected to the unbalanced terminal 3. The other ends of the first IDTs 811 and 821 are connected to the ground potential.

他方、第1の弾性表面波フィルタ部802の第2,第3のIDT812,813のホット側の端子である第1の端子は共通接続されて、第1の平衡端子4に接続されている。同様に、第2の弾性表面波フィルタ部803の第2,第3の822,823のホット側の端子である第1の端子同士が共通接続され、第2の平衡端子5に接続されている。   On the other hand, the first terminal, which is the hot-side terminal of the second and third IDTs 812 and 813 of the first surface acoustic wave filter unit 802, is connected in common and connected to the first balanced terminal 4. Similarly, the first terminals which are the hot-side terminals of the second and third 822 and 823 of the second surface acoustic wave filter unit 803 are connected in common and connected to the second balanced terminal 5. .

他方、第1の弾性表面波フィルタ部803の第2,第3のIDT812,813の第2の端子同士及び第2の弾性表面波フィルタ部803の第2,第3のIDT822,823の第2の端子同士が全て共通接続され、アース電位には接続されないようにして電気的に浮かされた状態とされている。   On the other hand, the second terminals of the second and third IDTs 812 and 813 of the first surface acoustic wave filter unit 803 and the second terminals of the second and third IDTs 822 and 823 of the second surface acoustic wave filter unit 803 are used. These terminals are all connected in common and are electrically floated so as not to be connected to the ground potential.

本実施形態においても、不平衡端子3から信号が入力された場合、第1,第2の平衡端子4,5から位相が180°異なる信号が取り出されるように、弾性表面波フィルタ部802,803の第1〜第3のIDT811〜813,821〜823が形成されている。また、平衡度を高めるために、IDT821においては、直列重み付けが施こされている。直列重み付けとは、IDT821の弾性表面波伝搬方向の両端の電極指を含む複数本の電極指にまたがるようにクランク状の浮き電極指821a,821bを設けた構造を有し、それによって平衡度が高められている。   Also in this embodiment, when a signal is input from the unbalanced terminal 3, the surface acoustic wave filter units 802 and 803 are extracted so that signals having a phase difference of 180 ° are extracted from the first and second balanced terminals 4 and 5. The first to third IDTs 811 to 813 and 821 to 823 are formed. In order to increase the degree of balance, serial weighting is performed in the IDT 821. Series weighting has a structure in which crank-shaped floating electrode fingers 821a and 821b are provided so as to extend over a plurality of electrode fingers including electrode fingers at both ends of the IDT 821 in the surface acoustic wave propagation direction. Has been enhanced.

本実施形態においても、第1,第2の弾性表面波フィルタ部802,803の第2,第3のIDT812,813,822,823の各第2の端子が全て共通接続されて電気的に浮かされた状態とされているため、IDT812,813,822,823の第2の端子側の配線パターンの簡略化及び耐接地容量の低減を図ることができる。従って、VSWRを改善することができ、かつ帯域幅を広げることが可能となる。   Also in this embodiment, the second terminals of the second and third IDTs 812, 813, 822, and 823 of the first and second surface acoustic wave filter units 802 and 803 are all connected in common and are electrically floated. Therefore, the wiring pattern on the second terminal side of the IDTs 812, 813, 822, and 823 can be simplified and the grounding capacity can be reduced. Therefore, VSWR can be improved and the bandwidth can be increased.

図15は、本発明の第10の実施形態に係る弾性表面波フィルタ装置の電極構造を示す模式的平面図である。   FIG. 15 is a schematic plan view showing an electrode structure of a surface acoustic wave filter device according to the tenth embodiment of the present invention.

本実施形態の弾性表面波フィルタ装置901では、第9の実施形態と同様に、不平衡端子3に第1,第2の縦結合共振子型の弾性表面波フィルタ部902,903が接続されている。また、第1,第2の弾性表面波フィルタ部902,903は、いずれも、第1のIDT911,921と、第1のIDT911,921の両側に配置された第2,第3のIDT912,913,922,923と、弾性表面波伝搬方向両端に配置された第1,第2の反射器914,915,924,925とを有する3IDT型の縦結合共振子型の弾性表面波フィルタ部である。   In the surface acoustic wave filter device 901 of the present embodiment, the first and second longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter sections 902 and 903 are connected to the unbalanced terminal 3 as in the ninth embodiment. Yes. The first and second surface acoustic wave filter units 902 and 903 both have a first IDT 911 and 921, and second and third IDTs 912 and 913 arranged on both sides of the first IDT 911 and 921. , 922, 923 and first and second reflectors 914, 915, 924, 925 arranged at both ends of the surface acoustic wave propagation direction, are 3IDT type longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter sections. .

ここでは、第9の実施形態と異なり、第1の弾性表面波フィルタ部902の第2,第3のIDT912,913の一端及び第2の弾性表面波フィルタ部903の第2,第3のIDT922,923の一端が全て共通接続されて不平衡端子3に接続され、各他端がアース電位に接続されている。そして、第1,第2の弾性表面波フィルタ部902,903の各第1のIDT911,921のホット側の端子である第1の端子が、それぞれ、第1,第2の平衡端子4,5に接続されており、反対側の端子である第2の端子同士が共通接続され、かつアース電位には接続されないように電気的に浮かされた状態とされている。   Here, unlike the ninth embodiment, one end of the second and third IDTs 912 and 913 of the first surface acoustic wave filter unit 902 and the second and third IDTs 922 of the second surface acoustic wave filter unit 903 are different. , 923 are all connected in common and connected to the unbalanced terminal 3, and the other ends are connected to the ground potential. The first terminals which are the hot-side terminals of the first IDTs 911 and 921 of the first and second surface acoustic wave filter units 902 and 903 are respectively the first and second balanced terminals 4 and 5. The second terminals, which are the opposite terminals, are connected in common and are electrically floated so as not to be connected to the ground potential.

本実施形態においても、平衡−不平衡変換機能を実現し得るように、第1〜第3のIDT911〜913,921〜923が形成されており、かつ第1のIDT921において直列重み付けが施こされて平衡度の改善が図られている。   Also in the present embodiment, the first to third IDTs 911 to 913 and 921 to 923 are formed so that the balanced-unbalanced conversion function can be realized, and serial weighting is performed in the first IDT 921. Therefore, the balance is improved.

加えて、本実施形態においても、第1,第2の平衡端子に接続される第1の端子とは反対側の第2の端子が共通接続されて、アース電位に接続されないようにし電気的に浮かされた状態とされているため、IDT911,921の第2の端子側の配線パターンの簡略化及び耐接地容量の低減を図ることができる。よって、VSWRの改善したり、帯域幅を広げたりすることが可能となり、フィルタ特性の良好な弾性表面波フィルタ装置を提供することが可能となる。   In addition, also in this embodiment, the second terminal opposite to the first terminal connected to the first and second balanced terminals is connected in common so that it is not electrically connected to the ground potential. Since it is in a floating state, the wiring pattern on the second terminal side of the IDTs 911 and 921 can be simplified and the grounding resistance can be reduced. Therefore, it is possible to improve the VSWR and widen the bandwidth, and it is possible to provide a surface acoustic wave filter device with good filter characteristics.

本発明に係る弾性表面波フィルタ装置は、携帯電話機のRF段の帯域フィルタとして好適に用いられるが、特に、図16に示すデュプレクサ601を構成するのに好適に用いられる。デュプレクサ601では、アンテナに接続される不平衡端子603に、弾性表面波共振子604を介して、第1の実施形態の弾性表面波フィルタ装置1が接続されている。それによって、第1,第2の平衡端子4,5を受信端子とする受信側帯域フィルタが構成されている。他方、アンテナ端子に接続される不平衡端子603には、送信側帯域フィルタ605も接続されている。送信側帯域フィルタ605は、本実施形態では、複数の直列腕共振子605a〜605cと、複数の並列腕共振子605d,605eとを有するラダー型の回路構成を備えている。そして、送信端子606と、上記不平衡端子603との間に、複数の直列腕共振子605a〜605cが接続されている。   The surface acoustic wave filter device according to the present invention is suitably used as an RF stage band-pass filter of a mobile phone, but is particularly suitably used to configure the duplexer 601 shown in FIG. In the duplexer 601, the surface acoustic wave filter device 1 of the first embodiment is connected to an unbalanced terminal 603 connected to an antenna via a surface acoustic wave resonator 604. As a result, a reception-side band filter having the first and second balanced terminals 4 and 5 as reception terminals is configured. On the other hand, a transmission side band filter 605 is also connected to the unbalanced terminal 603 connected to the antenna terminal. In this embodiment, the transmission-side band filter 605 has a ladder-type circuit configuration having a plurality of series arm resonators 605a to 605c and a plurality of parallel arm resonators 605d and 605e. A plurality of series arm resonators 605 a to 605 c are connected between the transmission terminal 606 and the unbalanced terminal 603.

なお、第1の実施形態では、圧電基板は40°±5°YカットX伝搬のLiTaO基板により構成されていたが、本発明においては、圧電基板として、64°〜72°YカットX伝搬のLiNbO基板、41°YカットX伝搬のLiNbO基板などの他のカット角あるいは他の圧電材料からなる圧電基板を用いてもよい。 In the first embodiment, the piezoelectric substrate is composed of a 40 ° ± 5 ° Y-cut X-propagation LiTaO 3 substrate. However, in the present invention, the piezoelectric substrate is a 64 ° to 72 ° Y-cut X-propagation. Other cut angles such as a LiNbO 3 substrate, a 41 ° Y-cut X-propagation LiNbO 3 substrate, or a piezoelectric substrate made of another piezoelectric material may be used.

本発明の第1の実施形態に係る弾性表面波フィルタ装置の模式的平面図。1 is a schematic plan view of a surface acoustic wave filter device according to a first embodiment of the present invention. 第1の実施形態及び比較例の弾性表面波フィルタ装置のフィルタ特性を示す図。The figure which shows the filter characteristic of the surface acoustic wave filter apparatus of 1st Embodiment and a comparative example. (a)及び(b)は、第1の実施形態の比較例の弾性表面波フィルタ装置の反射特性としてのVSWR特性を示す各図であり、(a)は入力側におけるVSWR特性を、(b)は出力側におけるVSWR特性を示す。(A) And (b) is each figure which shows the VSWR characteristic as a reflection characteristic of the surface acoustic wave filter apparatus of the comparative example of 1st Embodiment, (a) is a VSWR characteristic in the input side, (b ) Shows the VSWR characteristic on the output side. 比較例として用意した弾性表面波フィルタ装置の模式的平面図。FIG. 2 is a schematic plan view of a surface acoustic wave filter device prepared as a comparative example. 第1の実施形態の弾性表面波フィルタ装置における圧電基板上の電極部分の配置を説明するための模式的平面図。The typical top view for demonstrating arrangement | positioning of the electrode part on the piezoelectric substrate in the surface acoustic wave filter apparatus of 1st Embodiment. 比較例の弾性表面波フィルタ装置における圧電基板上の電極部分の配置を説明するための模式的平面図。The typical top view for demonstrating arrangement | positioning of the electrode part on the piezoelectric substrate in the surface acoustic wave filter apparatus of a comparative example. 第2の実施形態に係る弾性表面波フィルタ装置の模式的平面図。FIG. 6 is a schematic plan view of a surface acoustic wave filter device according to a second embodiment. 第3の実施形態に係る弾性表面波フィルタ装置の模式的平面図。FIG. 6 is a schematic plan view of a surface acoustic wave filter device according to a third embodiment. 第4の実施形態に係る弾性表面波フィルタ装置の模式的平面図。FIG. 9 is a schematic plan view of a surface acoustic wave filter device according to a fourth embodiment. 第5の実施形態に係る弾性表面波フィルタ装置の模式的平面図。FIG. 9 is a schematic plan view of a surface acoustic wave filter device according to a fifth embodiment. 第6の実施形態に係る弾性表面波フィルタ装置の模式的平面図。FIG. 10 is a schematic plan view of a surface acoustic wave filter device according to a sixth embodiment. 第7の実施形態に係る弾性表面波フィルタ装置の模式的平面図。FIG. 10 is a schematic plan view of a surface acoustic wave filter device according to a seventh embodiment. 第8の実施形態に係る弾性表面波フィルタ装置の模式的平面図。FIG. 10 is a schematic plan view of a surface acoustic wave filter device according to an eighth embodiment. 第9の実施形態に係る弾性表面波フィルタ装置の模式的平面図。FIG. 10 is a schematic plan view of a surface acoustic wave filter device according to a ninth embodiment. 第10の実施形態に係る弾性表面波フィルタ装置の模式的平面図。FIG. 10 is a schematic plan view of a surface acoustic wave filter device according to a tenth embodiment. 本発明の第1の実施形態の弾性表面波フィルタ装置が受信側帯域フィルタとして備えられているデュプレクサを示す模式的平面図。1 is a schematic plan view showing a duplexer in which a surface acoustic wave filter device according to a first embodiment of the present invention is provided as a reception-side band filter. 従来の弾性表面波フィルタ装置の模式的平面図。The typical top view of the conventional surface acoustic wave filter apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

1…弾性表面波フィルタ装置
2…圧電基板
3…不平衡端子
4,5…第1,第2の平衡端子
6,7…第1,第2の信号ライン
6a,7a…第1,第2の信号ライン
6b,7b…第3、第4の信号ライン
10,10A…第1の弾性表面波フィルタ部
11〜13,11A〜13A…第1〜第3のIDT
14,15…反射器
16…配線パターン
20,20A…第2の弾性表面波フィルタ部
21〜23,21A〜23A…第1〜第3のIDT
24,25…第1,第2の反射器
26…配線パターン
32…IDT
33,34…反射器
101…弾性表面波フィルタ装置
110…第1の弾性表面波フィルタ部
120…第2の弾性表面波フィルタ部
103…不平衡入力端子
104…不平衡出力端子
111,121…第1のIDT
201…弾性表面波フィルタ装置
203a,203b…平衡信号入力端子
204a,204b…平衡信号出力端子
210,220…第1,第2の弾性表面波フィルタ部
301…弾性表面波フィルタ装置
351…配線パターン
352,353…配線パターン
401…弾性表面波フィルタ装置
410…第1の弾性表面波フィルタ部
411〜415…第1〜第5のIDT
411a,411b…第1,第2の分割IDT部
416,417…反射器
420…第2の弾性表面波フィルタ部
421〜425…第1〜第5のIDT
421a,421b…第1,第2の分割IDT部
426,427…反射器
451…弾性表面波フィルタ装置
452,453…配線パターン
501…弾性表面波フィルタ装置
601…デュプレクサ
603…アンテナ端子
604…弾性表面波共振子
605…送信側帯域フィルタ
605a〜605c…直列腕共振子
605c,605d…並列腕共振子
701…弾性表面波フィルタ装置
711〜713…第1〜第3のIDT
714,715…反射器
801…弾性表面波フィルタ装置
802,803…第1,第2の弾性表面波フィルタ部
811〜813…第1〜第3のIDT
821〜823…第1〜第3のIDT
814,815,824,825…反射器
901…弾性表面波フィルタ装置
902,903…第1,第2の弾性表面波フィルタ部
911〜913…第1〜第3のIDT
921〜923…第1〜第3のIDT
914,915…反射器
924,925…反射器
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Surface acoustic wave filter apparatus 2 ... Piezoelectric substrate 3 ... Unbalanced terminal 4,5 ... 1st, 2nd balanced terminal 6,7 ... 1st, 2nd signal line 6a, 7a ... 1st, 2nd Signal lines 6b, 7b ... 3rd and 4th signal lines 10, 10A ... 1st surface acoustic wave filter part 11-13, 11A-13A ... 1st-3rd IDT
DESCRIPTION OF SYMBOLS 14, 15 ... Reflector 16 ... Wiring pattern 20, 20A ... 2nd surface acoustic wave filter part 21-23, 21A-23A ... 1st-3rd IDT
24, 25 ... first and second reflectors 26 ... wiring pattern 32 ... IDT
33, 34 ... reflector 101 ... surface acoustic wave filter device 110 ... first surface acoustic wave filter unit 120 ... second surface acoustic wave filter unit 103 ... unbalanced input terminal 104 ... unbalanced output terminal 111, 121 ... first 1 IDT
DESCRIPTION OF SYMBOLS 201 ... Surface acoustic wave filter apparatus 203a, 203b ... Balance signal input terminal 204a, 204b ... Balance signal output terminal 210, 220 ... 1st, 2nd surface acoustic wave filter part 301 ... Surface acoustic wave filter apparatus 351 ... Wiring pattern 352 , 353 ... wiring pattern 401 ... surface acoustic wave filter device 410 ... first surface acoustic wave filter section 411 to 415 ... first to fifth IDTs
411a, 411b ... 1st, 2nd division | segmentation IDT part 416, 417 ... Reflector 420 ... 2nd surface acoustic wave filter part 421-425 ... 1st-5th IDT
421a, 421b ... 1st, 2nd division | segmentation IDT part 426, 427 ... Reflector 451 ... Surface acoustic wave filter apparatus 452,453 ... Wiring pattern 501 ... Surface acoustic wave filter apparatus 601 ... Duplexer 603 ... Antenna terminal 604 ... Elastic surface Wave resonator 605 ... Transmission side band filters 605a to 605c ... Series arm resonators 605c and 605d ... Parallel arm resonators 701 ... Surface acoustic wave filter devices 711 to 713 ... First to third IDTs
714, 715 ... reflector 801 ... surface acoustic wave filter device 802, 803 ... first and second surface acoustic wave filter sections 811-813 ... first to third IDTs
821-823 ... 1st-3rd IDT
814, 815, 824, 825 ... reflector 901 ... surface acoustic wave filter device 902, 903 ... first and second surface acoustic wave filter sections 911-913 ... first to third IDTs
921-923 ... 1st-3rd IDT
914, 915 ... reflector 924, 925 ... reflector

Claims (2)

圧電基板と、
圧電基板上に構成された縦結合共振子型の第1,第2の弾性表面波フィルタ部とを備え、
前記第1,第2の弾性表面波フィルタ部の各一端が、不平衡端子に接続されており、第1の弾性表面波フィルタ部の他端が第1の平衡端子に、第2の弾性表面波フィルタ部の他端が、第2の平衡端子に接続されている弾性表面波フィルタ装置であって、
前記第1,第2の弾性表面波フィルタ部は、それぞれ、第1のIDTと、第1のIDTの弾性表面波伝搬方向両側に配置された第2,第3のIDTと、弾性表面波伝搬方向両端に配置された第1,第2の反射器とを有し、
前記第1,第2の弾性表面波フィルタ部の前記第1のIDTは、信号電流が流れるホット側の第1の端子と、第1の端子とは反対側の第2の端子とを備え、
前記第1,第2の弾性表面波フィルタ部の前記第2,第3のIDTの各一端が共通接続され、前記不平衡端子に接続されており、各他端がアース電位に接続されており、前記第1の弾性表面波フィルタ部の前記第1のIDTの第1の端子が、第1の平衡端子に、第2の弾性表面波フィルタ部の第1のIDTの第1の端子が第2の平衡端子に接続されており、
第1,第2の平衡端子から取り出される信号の位相が180°異なるように、第1,第2の弾性表面波フィルタ部の第1〜第3のIDTが形成されており、
前記第1,第2の弾性表面波フィルタ部の前記第1のIDTの第2の端子同士が共通接続され、かつアース電位には接続されないようにして、電気的に浮かされた状態とされていることを特徴とする、弾性表面波フィルタ装置。
A piezoelectric substrate;
A longitudinally coupled resonator type first and second surface acoustic wave filter parts formed on a piezoelectric substrate;
One end of each of the first and second surface acoustic wave filter sections is connected to an unbalanced terminal, and the other end of the first surface acoustic wave filter section is connected to a first balanced terminal, A surface acoustic wave filter device in which the other end of the wave filter unit is connected to the second balanced terminal,
The first and second surface acoustic wave filter units respectively include a first IDT, second and third IDTs disposed on both sides of the first IDT in the surface acoustic wave propagation direction, and surface acoustic wave propagation. First and second reflectors disposed at both ends in the direction,
The first IDT of the first and second surface acoustic wave filter units includes a hot-side first terminal through which a signal current flows, and a second terminal opposite to the first terminal,
One ends of the second and third IDTs of the first and second surface acoustic wave filter sections are commonly connected, connected to the unbalanced terminal, and each other end is connected to a ground potential. The first IDT first terminal of the first surface acoustic wave filter section is the first balanced terminal, and the first IDT first terminal of the second surface acoustic wave filter section is the first terminal. 2 balanced terminals,
The first to third IDTs of the first and second surface acoustic wave filter sections are formed so that the phases of the signals extracted from the first and second balanced terminals are 180 ° different from each other.
The second terminals of the first IDTs of the first and second surface acoustic wave filter sections are connected in common and are not electrically connected to the ground potential and are in an electrically floating state. A surface acoustic wave filter device.
請求項1に記載の弾性表面波フィルタ装置を帯域フィルタとして備えることを特徴とする、デュプレクサ。 A duplexer comprising the surface acoustic wave filter device according to claim 1 as a bandpass filter.
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