JP5129155B2 - Magnetic separation device - Google Patents

Magnetic separation device Download PDF

Info

Publication number
JP5129155B2
JP5129155B2 JP2008549214A JP2008549214A JP5129155B2 JP 5129155 B2 JP5129155 B2 JP 5129155B2 JP 2008549214 A JP2008549214 A JP 2008549214A JP 2008549214 A JP2008549214 A JP 2008549214A JP 5129155 B2 JP5129155 B2 JP 5129155B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
filter
magnetic
processing unit
adsorption processing
separation device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2008549214A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPWO2008072399A1 (en
Inventor
浩二 増田
孝一 大西
Original Assignee
住重プラントエンジニアリング株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 住重プラントエンジニアリング株式会社 filed Critical 住重プラントエンジニアリング株式会社
Priority to JP2008549214A priority Critical patent/JP5129155B2/en
Publication of JPWO2008072399A1 publication Critical patent/JPWO2008072399A1/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5129155B2 publication Critical patent/JP5129155B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D35/00Filtering devices having features not specifically covered by groups B01D24/00 - B01D33/00, or for applications not specifically covered by groups B01D24/00 - B01D33/00; Auxiliary devices for filtration; Filter housing constructions
    • B01D35/06Filters making use of electricity or magnetism
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B03SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03CMAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C1/00Magnetic separation
    • B03C1/02Magnetic separation acting directly on the substance being separated
    • B03C1/28Magnetic plugs and dipsticks
    • B03C1/288Magnetic plugs and dipsticks disposed at the outer circumference of a recipient
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B03SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03CMAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C2201/00Details of magnetic or electrostatic separation
    • B03C2201/18Magnetic separation whereby the particles are suspended in a liquid

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Water Supply & Treatment (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Non-Mechanical Conveyors (AREA)
  • Auxiliary Devices For Machine Tools (AREA)
  • Filtration Of Liquid (AREA)

Description

本発明は、被処理流体に含まれる磁性物質を磁性フィルタによって除去する磁気分離装置に関するものである。   The present invention relates to a magnetic separation device for removing a magnetic substance contained in a fluid to be treated by a magnetic filter.

この種の磁気分離装置において良好な磁気分離を円滑に行うには、磁化した磁性フィルタに被処理流体中の磁性物質を吸着させるステップと、消磁した当該磁性フィルタを洗浄し吸着した磁性物質を洗い流すステップとを交互に繰り返し行う仕組みが必要である。従来、このような技術として、下記特許文献1に記載の装置が知られている。この装置では、超電導磁石により磁場を生じさせ、この超電導磁石に対して磁気分離に係る磁性フィルタを往復移動させることにより、磁性フィルタの磁化と消磁とを交互に繰り返すこととしている。
特開平10−85524号公報
In order to smoothly perform good magnetic separation in this type of magnetic separation apparatus, a step of adsorbing the magnetic substance in the fluid to be treated to the magnetized magnetic filter, and washing the adsorbed magnetic substance by washing the demagnetized magnetic filter A mechanism that repeats the steps alternately is necessary. Conventionally, an apparatus described in Patent Document 1 below is known as such a technique. In this apparatus, a magnetic field is generated by a superconducting magnet, and a magnetic filter related to magnetic separation is reciprocated with respect to the superconducting magnet, whereby magnetization and demagnetization of the magnetic filter are alternately repeated.
JP 10-85524 A

しかしながら、被処理水を磁性フィルタに接触させるためには、磁場が発生している位置に被処理水を通過させることになるので、この磁場の位置を密閉すると共に、この磁場の位置に磁性フィルタを出し入れする機構が必要であり、その結果、上記の装置においても、装置の構造が複雑になってしまう。このような磁気分離装置においては、装置の製造コストやメンテナンス性の観点からも、よりシンプルな構造が求められている。   However, in order to bring the water to be treated into contact with the magnetic filter, the water to be treated is allowed to pass through the position where the magnetic field is generated. Therefore, the position of the magnetic field is sealed and the magnetic filter is placed at the position of the magnetic field. As a result, the structure of the apparatus becomes complicated even in the above apparatus. In such a magnetic separation apparatus, a simpler structure is required also from the viewpoint of the manufacturing cost and maintainability of the apparatus.

そこで、本発明は、構造のシンプル化を図ることができる磁気分離装置を提供することを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide a magnetic separation device capable of simplifying the structure.

本発明の磁気分離装置は、被処理流体に含まれる磁性物質を磁性フィルタによって除去する磁気分離装置において、磁石のボア部を貫通して延在し、延在方向に配列された複数の磁性フィルタが延在方向に搬送されると共に、導入した被処理流体中の磁性物質を磁性フィルタに吸着させる吸着処理部と、吸着処理部の終端から排出され再び吸着処理部の始端に返送される磁性フィルタが搬送されるフィルタ返送路と、吸着処理部の終端とフィルタ返送路の始端との間で磁性フィルタを洗浄するフィルタ洗浄部と、吸着処理部の終端から排出された磁性フィルタを、フィルタ洗浄部を経由してフィルタ返送路の始端まで搬送する第1のフィルタ搬送手段と、を備え、第1のフィルタ搬送手段は、上記延在方向に直交する面内における円軌道上で磁性フィルタを搬送することを特徴とする。   The magnetic separation device of the present invention is a magnetic separation device that removes magnetic substances contained in a fluid to be treated by a magnetic filter, and extends through the bore portion of the magnet and is arranged in the extending direction. Is transported in the extending direction, and the adsorption processing unit that adsorbs the magnetic substance in the introduced processing fluid to the magnetic filter, and the magnetic filter that is discharged from the end of the adsorption processing unit and returned to the beginning of the adsorption processing unit again A filter return path for transporting the magnetic filter, a filter cleaning section for cleaning the magnetic filter between the end of the adsorption processing section and the start end of the filter return path, and a filter cleaning section for removing the magnetic filter discharged from the end of the adsorption processing section. First filter transport means for transporting to the start end of the filter return path via the first filter transport means on a circular orbit in a plane perpendicular to the extending direction. Characterized by conveying the sex filter.

この磁気分離装置では、吸着処理部に複数の磁性フィルタが延在方向に配列され、この磁性フィルタによって被処理流体中の磁性物質が吸着される。磁性フィルタは、吸着処理部の延在方向に搬送され、順次終端から排出される。その後、磁性フィルタは、第1のフィルタ搬送手段によってフィルタ洗浄部に搬送され、フィルタ洗浄部において消磁した状態で吸着した磁性物質が洗い落とされ、吸着機能を回復する。その後、磁性フィルタは、第1のフィルタ搬送手段によってフィルタ返送路の始端まで搬送され、フィルタ返送路を搬送された後、再び吸着処理部の始端から導入され磁性物質を吸着する。   In this magnetic separation apparatus, a plurality of magnetic filters are arranged in the extending direction in the adsorption processing unit, and the magnetic substance in the fluid to be treated is adsorbed by the magnetic filters. The magnetic filter is transported in the extending direction of the adsorption processing unit and sequentially discharged from the end. Thereafter, the magnetic filter is transported to the filter cleaning unit by the first filter transporting means, and the magnetic substance adsorbed in the demagnetized state in the filter cleaning unit is washed away to restore the adsorption function. Thereafter, the magnetic filter is transported to the start end of the filter return path by the first filter transport means, and after being transported through the filter return path, is again introduced from the start end of the adsorption processing unit to adsorb the magnetic substance.

このように、この磁気分離装置では、磁性フィルタが、吸着処理部を始端から終端に移動しながら磁性物質を吸着し、終端から排出された後洗浄され、再び始端に戻されるといったように循環する。このような循環により、吸着処理部における磁性フィルタの吸着機能が常に良好に維持され、良好な被処理流体の処理を行うことができる。また、吸着処理部の終端からフィルタ洗浄部を経てフィルタ返送路の始端に磁性フィルタが搬送される際には、吸着処理部の延在方向に直交する円軌道を描く。このような磁性フィルタの搬送は回転運動機構といった単純な機構により実現可能であり、回転軸線を吸着処理部の延在方向と平行にすればよいので、第1のフィルタ搬送手段の構造をシンプル化し易く、その結果、磁気分離装置全体のシンプル化に寄与する。   As described above, in this magnetic separation apparatus, the magnetic filter circulates such that the magnetic substance is adsorbed while moving the adsorption processing unit from the start end to the end, washed after being discharged from the end, and returned to the start end again. . By such circulation, the adsorption function of the magnetic filter in the adsorption processing unit is always maintained well, and a good fluid to be treated can be processed. Further, when the magnetic filter is transported from the end of the adsorption processing unit to the start of the filter return path through the filter cleaning unit, a circular orbit perpendicular to the extending direction of the adsorption processing unit is drawn. Such conveyance of the magnetic filter can be realized by a simple mechanism such as a rotational movement mechanism, and it is only necessary to make the rotation axis parallel to the extending direction of the adsorption processing unit. Therefore, the structure of the first filter conveying means is simplified. As a result, it contributes to the simplification of the entire magnetic separation device.

また、上記作用を奏するため、具体的には、第1のフィルタ搬送手段が、磁性フィルタを保持し上記延在方向に直交する面内で回転する回転部材を有する構成としてもよい。   Moreover, in order to exhibit the said effect | action, specifically, it is good also as a structure in which a 1st filter conveyance means has a rotation member which hold | maintains a magnetic filter and rotates in the surface orthogonal to the said extension direction.

また、本発明の磁気分離装置は、フィルタ返送路の終端から排出された磁性フィルタを吸着処理部の始端まで搬送する第2のフィルタ搬送手段を更に備え、第1のフィルタ搬送手段は、延在方向に直交する面内における円軌道上で磁性フィルタを搬送することが好ましい。   The magnetic separation device of the present invention further includes second filter transport means for transporting the magnetic filter discharged from the end of the filter return path to the start end of the adsorption processing section, and the first filter transport means is extended. It is preferable to transport the magnetic filter on a circular orbit in a plane orthogonal to the direction.

この構成によれば、フィルタ返送路の終端から吸着処理部の始端に磁性フィルタを搬送する第2のフィルタ搬送手段も、第1のフィルタ搬送手段と同様に構造のシンプル化が可能となる。その結果、磁気分離装置の更なるシンプル化に寄与する。また、上記作用を奏するため、具体的には、第2のフィルタ搬送手段が、磁性フィルタを保持し上記延在方向に直交する面内で回転する回転部材を有する構成としてもよい。   According to this configuration, the second filter transport unit that transports the magnetic filter from the end of the filter return path to the start end of the adsorption processing unit can be simplified in the same manner as the first filter transport unit. As a result, it contributes to further simplification of the magnetic separation device. Further, in order to achieve the above action, specifically, the second filter transport means may have a rotating member that holds the magnetic filter and rotates in a plane orthogonal to the extending direction.

また、吸着処理部の始端側において、吸着処理部の始端から終端への磁性フィルタの移動を許容すると共に、吸着処理部の終端から始端への磁性フィルタの移動を妨げるように磁性フィルタを支持するフィルタ支持手段を更に備えることが好ましい。磁性フィルタが吸着処理部の始端側に戻るような場合、磁性フィルタが吸着処理部内において詰まってしまうことがあり得るが、このようにすると、磁性フィルタが吸着処理部の始端側に戻ることがなくなるので、磁性フィルタを吸着処理部の始端から終端へと確実に搬送することが可能となる。   Further, on the start end side of the adsorption processing unit, the magnetic filter is allowed to move from the start end to the end of the adsorption processing unit, and the magnetic filter is supported so as to prevent the magnetic filter from moving from the end to the start end of the adsorption processing unit. It is preferable to further comprise a filter support means. When the magnetic filter returns to the starting end side of the adsorption processing unit, the magnetic filter may be clogged in the adsorption processing unit, but in this way, the magnetic filter does not return to the starting end side of the adsorption processing unit. Therefore, the magnetic filter can be reliably conveyed from the start end to the end of the adsorption processing unit.

また、磁気フィルタは、中央部分の胴囲が両端側部分の胴囲よりも大きい筒体であることが好ましい。このようにすると、吸着処理部内及びフィルタ返送路内において、磁気フィルタがよりスムーズに移動するようになる。   Moreover, it is preferable that the magnetic filter is a cylindrical body in which the waist of the central portion is larger than the waist of both end portions. If it does in this way, a magnetic filter will come to move more smoothly in an adsorption processing part and a filter return path.

本発明によれば、密閉状態を維持しながら磁気分離装置の構造のシンプル化を図ることができる。   According to the present invention, the structure of the magnetic separation device can be simplified while maintaining a sealed state.

図1は、第1実施形態に係る磁気分離装置を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing the magnetic separation device according to the first embodiment. 図2は、図1の磁気分離装置の分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view of the magnetic separation device of FIG. 図3は、図1の磁気分離装置のIII−III線断面図である。3 is a cross-sectional view taken along the line III-III of the magnetic separation device of FIG. 図4は、図1の磁気分離装置に用いられる磁性フィルタを示す一部破断斜視図である。4 is a partially broken perspective view showing a magnetic filter used in the magnetic separation device of FIG. 図5は、第2実施形態に係る磁気分離装置を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing a magnetic separation device according to the second embodiment. 図6は、図5の磁気分離装置の分解斜視図である。FIG. 6 is an exploded perspective view of the magnetic separation device of FIG. 図7は、図5の磁気分離装置のVII−VII線断面図である。7 is a cross-sectional view of the magnetic separation device in FIG. 5 taken along line VII-VII. 図8は、図7のストッパ近傍を示す部分拡大図である。FIG. 8 is a partially enlarged view showing the vicinity of the stopper of FIG. 図9は、図5の磁気分離装置のストッパ近傍を一部破断した状態で示す斜視図である。FIG. 9 is a perspective view showing a state in which the vicinity of the stopper of the magnetic separation device in FIG. 5 is partially broken. 図10は、図5の磁気分離装置に用いられる磁気フィルタを示す一部破断斜視図である。FIG. 10 is a partially broken perspective view showing a magnetic filter used in the magnetic separation device of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1…磁気分離装置、3…吸着処理部、3a…吸着処理部の始端、3b…吸着処理部の終端、5…超電導マグネット(磁石)、5a…ボア部、9…磁性フィルタ、11…第1搬送部(第1のフィルタ搬送手段)、15…フィルタ洗浄部、17…フィルタ返送路、17a…フィルタ返送路の始端、17b…フィルタ返送路の終端、19…第2搬送部(第2のフィルタ搬送手段)、27,37…回転アーム(回転部材)、43…ストッパ(フィルタ支持手段)。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Magnetic separation apparatus, 3 ... Adsorption processing part, 3a ... Start end of adsorption processing part, 3b ... End of adsorption processing part, 5 ... Superconducting magnet (magnet), 5a ... Bore part, 9 ... Magnetic filter, 11 ... 1st Conveying section (first filter conveying means), 15 ... filter cleaning section, 17 ... filter return path, 17a ... start end of filter return path, 17b ... end of filter return path, 19 ... second transport section (second filter) Transport means), 27, 37... Rotating arm (rotating member), 43... Stopper (filter support means).

以下、図面を参照しつつ本発明に係る磁気分離装置の好適な実施形態について詳細に説明する。   Hereinafter, preferred embodiments of a magnetic separation device according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

(第1実施形態)
図1〜図3に示す磁気分離装置1は、廃液(被処理流体)に含まれる磁性物質を除去するための装置であり、例えば、製紙工場、古紙製造工場、製鉄工場、製鋼工場等で発生する廃液の処理に利用される。この磁気分離装置1は、導入した廃液から磁性物質を磁性フィルタに吸着させて分離する吸着処理部3を備えている。吸着処理部3は、円管部材で画成された円柱形状をなす空間であり、超電導マグネット5のボア部5aを上下に貫通して鉛直方向に延在している。この吸着処理部3の上部には上記廃液を導入する導入路7aが接続され、吸着処理部3の下部には処理された処理液を排出する排出路7bが接続されている。導入路7aから吸着処理部3に導入された廃液は、水頭圧によって下方へ流動しながら処理され、排出路7bから排出される。
(First embodiment)
The magnetic separation device 1 shown in FIGS. 1 to 3 is a device for removing a magnetic substance contained in a waste liquid (a fluid to be treated), and is generated at, for example, a paper mill, a waste paper manufacturing factory, an iron manufacturing factory, a steel manufacturing factory, It is used for the treatment of waste liquid. The magnetic separation apparatus 1 includes an adsorption processing unit 3 that adsorbs and separates a magnetic substance from the introduced waste liquid by a magnetic filter. Adsorption treatment unit 3 is a space forming a picture made a cylindrical shape circular pipe member extends in a vertical direction through the bore portion 5a of the superconducting magnet 5 vertically. An introduction path 7 a for introducing the waste liquid is connected to the upper portion of the adsorption processing section 3, and a discharge path 7 b for discharging the processed processing liquid is connected to the lower section of the adsorption processing section 3. The waste liquid introduced into the adsorption processing unit 3 from the introduction path 7a is processed while flowing downward by the water head pressure, and is discharged from the discharge path 7b.

更に、吸着処理部3には、廃水に接触させる多数の磁性フィルタ9が上下方向に配列された状態で収納され、吸着処理部3の始端3aから終端3bまで長さ一杯に充填されている。この磁性フィルタ9は、円盤形状の金網部9aと、その金網部9aを保持する円筒状のフレーム9bとを有している(図4参照)。吸着処理部3においては、この磁性フィルタ9は、フレーム9bの外壁面が吸着処理部3を画成する円管部材の内壁面に沿うように配置され、フレーム9b同士の上下の端面が当接するように上下方向に積み重ねられる。   Furthermore, a large number of magnetic filters 9 brought into contact with the waste water are accommodated in the adsorption processing unit 3 in a state of being arranged in the vertical direction, and are fully filled from the start end 3 a to the end end 3 b of the adsorption processing unit 3. The magnetic filter 9 has a disk-shaped wire mesh portion 9a and a cylindrical frame 9b that holds the wire mesh portion 9a (see FIG. 4). In the adsorption processing unit 3, the magnetic filter 9 is arranged so that the outer wall surface of the frame 9b is along the inner wall surface of the circular tube member that defines the adsorption processing unit 3, and the upper and lower end surfaces of the frames 9b abut against each other. Are stacked in the vertical direction.

吸着処理部3に収納された磁性フィルタ9のうち、超電導マグネット5のボア部5aに囲まれた位置にある複数の磁性フィルタ9では、超電導マグネット5が発生する磁界により金網部9aが磁化されるので、これらの磁性フィルタ9は、廃液に含まれる磁性物質を吸着する。従って、導入路7aから導入された廃液は、磁化された多数の上記磁性フィルタ9に接触しながら吸着処理部3を流動することで、磁性物質が除去されて排出路7bから処理液として排出される。   Among the magnetic filters 9 housed in the adsorption processing unit 3, in a plurality of magnetic filters 9 located at positions surrounded by the bore portion 5 a of the superconducting magnet 5, the wire mesh portion 9 a is magnetized by the magnetic field generated by the superconducting magnet 5. Therefore, these magnetic filters 9 adsorb magnetic substances contained in the waste liquid. Accordingly, the waste liquid introduced from the introduction path 7a flows through the adsorption processing unit 3 while being in contact with the many magnetized magnetic filters 9, so that the magnetic substance is removed and discharged from the discharge path 7b as the processing liquid. The

このような磁性フィルタ9は、磁性物質の吸着を継続すると金網部9aに磁性物質が蓄積して吸着能力が低下していくので、吸着処理に係る磁性フィルタ9を随時交換する必要がある。そこで、この磁気分離装置1では、吸着処理部3に収納された磁性フィルタ9を随時終端3b側に送り出し、洗浄した後、再び始端3a側から導入するといったように、磁性フィルタ9を循環させるようにしている。   In such a magnetic filter 9, if the adsorption of the magnetic substance is continued, the magnetic substance is accumulated in the wire mesh portion 9 a and the adsorption capability is lowered. Therefore, it is necessary to replace the magnetic filter 9 related to the adsorption process as needed. Therefore, in this magnetic separation apparatus 1, the magnetic filter 9 is circulated so that the magnetic filter 9 housed in the adsorption processing unit 3 is sent to the end 3b side as needed, washed, and then introduced again from the start end 3a side. I have to.

以下、このような循環を行うための具体的な磁気分離装置1の構成を説明する。この磁気分離装置1は、吸着処理部3の上端に連結された第1搬送部(第1のフィルタ搬送手段)11と、第1搬送部11での磁性フィルタ9の搬送路上に設けられたフィルタ洗浄部15と、第1搬送部11から鉛直下方に延在するように連結され磁性フィルタ9を下方に返送するフィルタ返送路17と、フィルタ返送路17の下端及び吸着処理部3の下端に連結され返送された磁性フィルタ9を再び吸着処理部3の始端3aまで搬送する第2搬送部(第2のフィルタ搬送手段)19と、を備えている。   Hereinafter, a specific configuration of the magnetic separation apparatus 1 for performing such circulation will be described. The magnetic separation device 1 includes a first transport unit (first filter transport unit) 11 connected to the upper end of the adsorption processing unit 3, and a filter provided on the transport path of the magnetic filter 9 in the first transport unit 11. Connected to the cleaning unit 15, the filter return path 17 that is connected so as to extend vertically downward from the first transport unit 11, and returns the magnetic filter 9 downward, and the lower end of the filter return path 17 and the lower end of the adsorption processing unit 3. And a second transport unit (second filter transport means) 19 for transporting the returned magnetic filter 9 to the start end 3a of the adsorption processing unit 3 again.

更に、吸着処理部3の下方には、吸着処理部3内に積み重ねられた磁性フィルタ9群を鉛直方向に押し上げるシリンダ21が設けられている。磁性フィルタ9群がシリンダ21により押し上げられると、吸着処理部3の最上部にあった磁性フィルタ9が吸着処理部3の終端3bから第1搬送部11に押し出される。   Further, below the adsorption processing unit 3, a cylinder 21 is provided that pushes up a group of magnetic filters 9 stacked in the adsorption processing unit 3 in the vertical direction. When the magnetic filter 9 group is pushed up by the cylinder 21, the magnetic filter 9 located at the top of the adsorption processing unit 3 is pushed out from the terminal end 3 b of the adsorption processing unit 3 to the first transport unit 11.

この第1搬送部11は、吸着処理部3の終端3bに連結された搬送空間23に収納された回転アーム(回転部材)27と、搬送空間23の上方に設けられ鉛直シャフト41を介してこの回転アーム27を水平面内で回転させる駆動源のモータ29とを有している。上記搬送空間23は、盆状部23aと蓋部23bとで密閉状態に画成されており円板形状に水平に延びている。この搬送空間23で水平回転する回転アーム27の縁部には、磁性フィルタ9が嵌り込む大きさに形成された3つの円形開口27aが等間隔に配置されている。このような構成により、吸着処理部3の終端3bから排出された上記磁性フィルタ9は、円形開口27aに嵌り込むことで回転アーム27に保持され、この状態で回転アーム27が矢印A方向に回転することにより、磁性フィルタ9は、搬送空間23内で円軌道を描きながら搬送される。そして、回転アーム27が120°回転すると、上記磁性フィルタ9は搬送経路上に設けられたフィルタ洗浄部15に対応する洗浄位置に到達する。   The first transport unit 11 includes a rotary arm (rotary member) 27 housed in a transport space 23 connected to the terminal end 3 b of the suction processing unit 3, and a vertical shaft 41 provided above the transport space 23. And a drive source motor 29 for rotating the rotary arm 27 in a horizontal plane. The transport space 23 is defined in a sealed state by a tray-like portion 23a and a lid portion 23b, and extends horizontally in a disc shape. Three circular openings 27a formed to fit the magnetic filter 9 are arranged at equal intervals on the edge of the rotary arm 27 that rotates horizontally in the transport space 23. With such a configuration, the magnetic filter 9 discharged from the terminal end 3b of the adsorption processing unit 3 is held by the rotating arm 27 by fitting into the circular opening 27a, and in this state, the rotating arm 27 rotates in the direction of arrow A. As a result, the magnetic filter 9 is transported while drawing a circular orbit in the transport space 23. When the rotary arm 27 rotates 120 °, the magnetic filter 9 reaches a cleaning position corresponding to the filter cleaning unit 15 provided on the transport path.

このフィルタ洗浄部15は、上記洗浄位置に到達した磁性フィルタ9を洗浄する機能を有ており、上記搬送空間23の上方に設けられたスプレーノズル15aと搬送空間23の下方に設けられた回収ノズル15bとを有している。スプレーノズル15aは、円形開口27aに保持された上記磁性フィルタ9に向けて洗浄液を下方に噴射する。この位置においては、超電導マグネット5による磁界は極めて小さいので、磁性フィルタ9の吸着力は弱くなっている。このため、上記の洗浄液噴出によって磁性フィルタ9の金網部9aに付着した磁性物質が容易に洗い落とされ、磁性フィルタ9の吸着能力の回復が図られる。洗浄後の洗浄排液は、磁性フィルタ9の下方の回収ノズル15bを通じて系外に排出される。洗浄終了後は、回転アーム27がA方向に更に120°回転することにより、磁性フィルタ9が、フィルタ返送路17の直上の位置まで搬送される。   The filter cleaning unit 15 has a function of cleaning the magnetic filter 9 that has reached the cleaning position, and includes a spray nozzle 15 a provided above the transfer space 23 and a recovery nozzle provided below the transfer space 23. 15b. The spray nozzle 15a sprays the cleaning liquid downward toward the magnetic filter 9 held in the circular opening 27a. At this position, since the magnetic field generated by the superconducting magnet 5 is extremely small, the attractive force of the magnetic filter 9 is weak. For this reason, the magnetic substance adhering to the metal mesh part 9a of the magnetic filter 9 is easily washed away by the above-mentioned washing liquid jetting, and the adsorption ability of the magnetic filter 9 is recovered. The washed waste liquid after washing is discharged out of the system through a recovery nozzle 15b below the magnetic filter 9. After the cleaning is completed, the rotating arm 27 is further rotated by 120 ° in the A direction, so that the magnetic filter 9 is conveyed to a position immediately above the filter return path 17.

このフィルタ返送路17は、吸着処理部3と同じ太さの円管部材で画成されており、吸着処理部3と同様に、始端17aから終端17bまで多数の磁性フィルタ9が積み重ねられて収納されている。このフィルタ返送路17の上方には、このフィルタ返送路17内の磁性フィルタ9群を鉛直方向に押し下げるシリンダ31が設けられている。磁性フィルタ9群がシリンダ31により押し下げられると、フィルタ返送路17の最下部にあった磁性フィルタ9が、フィルタ返送路17の終端17bから第2搬送部19に押し出される。   The filter return path 17 is defined by a circular pipe member having the same thickness as that of the suction processing unit 3. Like the suction processing unit 3, a large number of magnetic filters 9 are stacked and stored from the start end 17 a to the end 17 b. Has been. Above the filter return path 17, a cylinder 31 is provided that pushes down the group of magnetic filters 9 in the filter return path 17 in the vertical direction. When the group of magnetic filters 9 is pushed down by the cylinder 31, the magnetic filter 9 located at the bottom of the filter return path 17 is pushed out from the terminal end 17 b of the filter return path 17 to the second transport unit 19.

この第2搬送部19は、上述した第1搬送部11と同等の構成を有している。すなわち、第2搬送部19は、フィルタ返送路17の終端17bに連結された搬送空間33に収納された回転アーム(回転部材)37を有している。上記搬送空間33は、盆状部33aと蓋部33bとで密閉状態に画成され円板形状に水平に延びている。そして、この回転アーム37は、上述の回転アーム27と同軸に配置され、上記シャフト41によって回転アーム27と連結されている。従って、回転アーム37は、モータ29を駆動源とし回転アーム27と同期してシャフト41を中心として回転する。また、回転アーム27と同様に、この回転アーム37の縁部には、磁性フィルタ9が嵌り込む大きさに形成された3つの円形開口37aが等間隔に配置されている。   This 2nd conveyance part 19 has the structure equivalent to the 1st conveyance part 11 mentioned above. That is, the second transport unit 19 has a rotating arm (rotating member) 37 housed in the transport space 33 connected to the terminal end 17 b of the filter return path 17. The conveyance space 33 is defined in a sealed state by a tray-shaped portion 33a and a lid portion 33b, and extends horizontally in a disc shape. The rotating arm 37 is arranged coaxially with the rotating arm 27 described above, and is connected to the rotating arm 27 by the shaft 41. Therefore, the rotary arm 37 rotates around the shaft 41 in synchronization with the rotary arm 27 using the motor 29 as a drive source. Similarly to the rotary arm 27, three circular openings 37 a formed so as to fit the magnetic filter 9 are arranged at equal intervals on the edge of the rotary arm 37.

このような構成により、フィルタ返送路17の終端17bから排出された上記磁性フィルタ9は円形開口37aに嵌り込むことで回転アーム37に保持され、この状態で回転アーム37が矢印B方向に回転することにより、磁性フィルタ9は、搬送空間33内で円軌道を描きながら搬送される。そして、回転アーム37が120°回転すると、上記磁性フィルタ9は吸着処理部3の直下の位置に到達する。その後、この磁性フィルタ9は、シリンダ21によって吸着処理部3に押し込まれ、随時上方に向かって搬送されながら、前述のとおり吸着処理部3における磁性物質の吸着に供する。   With such a configuration, the magnetic filter 9 discharged from the terminal end 17b of the filter return path 17 is held by the rotating arm 37 by fitting into the circular opening 37a, and in this state, the rotating arm 37 rotates in the arrow B direction. Thus, the magnetic filter 9 is transported while drawing a circular orbit in the transport space 33. When the rotary arm 37 rotates 120 °, the magnetic filter 9 reaches a position directly below the adsorption processing unit 3. Thereafter, the magnetic filter 9 is pushed into the adsorption processing unit 3 by the cylinder 21 and used for adsorption of the magnetic substance in the adsorption processing unit 3 as described above while being conveyed upward as needed.

このような磁気分離装置1の動作が一定時間毎に繰り返し行われることにより、多数の各磁性フィルタ9が、順次、吸着処理部3→フィルタ洗浄部15→フィルタ返送路17→吸着処理部3の順で搬送され循環することになる。従って、吸着処理部3には、フィルタ洗浄部15で洗浄済みの磁性フィルタ9が常に送り込まれ、良好な廃液処理が行われる。なお、この磁気分離装置1では、排出路7bの下流側に連結される配管(図示せず)のレベルを調整することにより、吸着処理部3及びフィルタ返送路17における液レベルを調整することができる。また、廃液の圧力損失に相当する圧力差に関しては、吸着処理部3の液レベルを導入路7a付近の高さでほぼ一定になるようにフィルタ返送路17のレベルを調整する。   Such an operation of the magnetic separation device 1 is repeatedly performed at regular intervals, so that a large number of magnetic filters 9 are sequentially arranged in the adsorption processing unit 3 → the filter cleaning unit 15 → the filter return path 17 → the adsorption processing unit 3. It is conveyed and circulated in order. Therefore, the magnetic filter 9 that has been cleaned by the filter cleaning unit 15 is always sent to the adsorption processing unit 3 to perform a good waste liquid treatment. In the magnetic separation apparatus 1, the liquid level in the adsorption processing unit 3 and the filter return path 17 can be adjusted by adjusting the level of a pipe (not shown) connected to the downstream side of the discharge path 7b. it can. Further, regarding the pressure difference corresponding to the pressure loss of the waste liquid, the level of the filter return path 17 is adjusted so that the liquid level of the adsorption processing unit 3 becomes substantially constant at the height near the introduction path 7a.

以上のように、磁気分離装置1では、吸着処理部3、第1搬送部11の搬送空間23、フィルタ返送路17、及び第2搬送部19の搬送空間33が、順に連結されて密閉された循環経路を形成している。そして、多数の磁性フィルタ9がこの密閉循環路から取り出されることなく循環するので、磁気分離装置1の運転中には密閉循環路の開閉動作がなく、空気中に放散する廃液の量が非常に少ない。また、磁性フィルタ9の洗浄も上記密閉空間内で行われるので、洗浄排液の装置1外への飛散も抑えられる。従って、この磁気分離装置1は、高い蒸気圧をもち放散しやすい溶剤を含む廃液や、毒性の物質を含む廃液の処理にも適用することができる。   As described above, in the magnetic separation apparatus 1, the adsorption processing unit 3, the conveyance space 23 of the first conveyance unit 11, the filter return path 17, and the conveyance space 33 of the second conveyance unit 19 are sequentially connected and sealed. A circulation path is formed. Since a large number of magnetic filters 9 circulate without being taken out from the hermetic circulation path, there is no opening / closing operation of the hermetic circulation path during the operation of the magnetic separation device 1, and the amount of waste liquid diffused into the air is very large. Few. In addition, since the magnetic filter 9 is cleaned in the sealed space, scattering of the cleaning drainage to the outside of the apparatus 1 can be suppressed. Therefore, the magnetic separation apparatus 1 can be applied to treatment of waste liquid containing a solvent having a high vapor pressure and easily dissipating, and waste liquid containing a toxic substance.

また、磁性フィルタ9の循環において、第1搬送部11及び第2搬送部19では、互いに平行で同軸で回転する回転アーム27,37の回転運動によって磁性フィルタを搬送している。このような回転運動は、汎用的なモータ29及びシャフト41を用いた簡単な機構により実現可能であるので、磁気分離装置1全体として装置のシンプル化を図ることができる。また、この場合、回転アーム27と回転アーム37とは、シャフト41により連結されているので、回転アーム27,37の駆動源を1つのモータ29に共通化することができる。また、吸着処理部3とフィルタ返送路17と上記シャフト41とが平行に延在することも、磁気分離装置1の構造のシンプル化や小型化や密閉化に貢献する。   Further, in the circulation of the magnetic filter 9, the first transport unit 11 and the second transport unit 19 transport the magnetic filter by the rotational movements of the rotating arms 27 and 37 that rotate parallel and coaxial with each other. Such a rotational motion can be realized by a simple mechanism using a general-purpose motor 29 and a shaft 41, so that the entire magnetic separation device 1 can be simplified. In this case, since the rotary arm 27 and the rotary arm 37 are connected by the shaft 41, the drive source of the rotary arms 27 and 37 can be shared by one motor 29. Further, the fact that the adsorption processing unit 3, the filter return path 17, and the shaft 41 extend in parallel also contributes to the simplification, miniaturization, and sealing of the structure of the magnetic separation device 1.

(第2実施形態)
続いて、図5〜図10を参照して、第2実施形態に係る磁気分離装置2について説明する。以下では、第1実施形態に係る磁気分離装置1との相違点を中心に説明し、重複する説明は省略する。
(Second Embodiment)
Next, the magnetic separation device 2 according to the second embodiment will be described with reference to FIGS. Below, it demonstrates centering around difference with the magnetic separation apparatus 1 which concerns on 1st Embodiment, and the overlapping description is abbreviate | omitted.

磁気分離装置2では、図5〜図7に示されるように、シリンダ31及びシャフト41が取り除かれている。そして、第2搬送部19は、円盤状の回転アーム37を水平面内で回転させる駆動源のモータ39を更に有しており、第1搬送部11においても、円盤状の回転アーム27がモータ29によって直接回転する。そのため、磁気分離装置2では、磁気分離装置1と異なり、モータ29,39によって回転アーム27,37がそれぞれ独立して回転するようになっている。これらの回転アーム27,37の縁部には、図6に示されるように、磁性フィルタ9が嵌り込む大きさとされた1つの円形開口27a,37aが形成されている。   In the magnetic separation device 2, the cylinder 31 and the shaft 41 are removed as shown in FIGS. The second transport unit 19 further includes a motor 39 as a drive source that rotates the disk-shaped rotating arm 37 in the horizontal plane. In the first transport unit 11, the disk-shaped rotating arm 27 is also a motor 29. Rotate directly by. Therefore, in the magnetic separation device 2, unlike the magnetic separation device 1, the rotating arms 27 and 37 are independently rotated by the motors 29 and 39. As shown in FIG. 6, one circular opening 27 a and 37 a sized to fit the magnetic filter 9 is formed at the edge of the rotary arms 27 and 37.

また、図7〜図9に示されるように、磁気分離装置2は、吸着処理部3の始端側に配置された3つのストッパ(フィルタ支持手段)43を有している。具体的には、3つのストッパ43は、盆状部33aの上面に設けられており、吸着処理部3の管内と連通する円形状の開口33cの周囲で、且つ、盆状部33aの上面において、等間隔となるように配置されている。   As shown in FIGS. 7 to 9, the magnetic separation device 2 has three stoppers (filter support means) 43 disposed on the start end side of the adsorption processing unit 3. Specifically, the three stoppers 43 are provided on the upper surface of the basin 33a, around the circular opening 33c communicating with the inside of the suction processing unit 3 and on the upper surface of the basin 33a. Are arranged at equal intervals.

ストッパ43は、ストッパ本体43aと、一対のストッパ支持体43bとを有している(特に、図9参照)。ストッパ本体43aは、上面43c及び背面43dを有する板状体である。ストッパ本体43aの背面43dは、通常、開口33cの周囲に立設された環状壁部33dに当接している。すなわち、ストッパ本体43aは、自重によって、通常、鉛直方向に対して所定の角度を有するように傾いた状態(以下、通常状態という)となっている。なお、ストッパ本体43aの上面43cは、通常状態において水平面となるように設定されている。   The stopper 43 includes a stopper main body 43a and a pair of stopper support bodies 43b (see in particular FIG. 9). The stopper main body 43a is a plate-like body having an upper surface 43c and a back surface 43d. The back surface 43d of the stopper main body 43a is normally in contact with an annular wall portion 33d erected around the opening 33c. In other words, the stopper main body 43a is normally tilted so as to have a predetermined angle with respect to the vertical direction due to its own weight (hereinafter referred to as a normal state). The upper surface 43c of the stopper main body 43a is set to be a horizontal surface in the normal state.

また、ストッパ本体43aは、軸43eを介して一対のストッパ支持体43bに支持されている。そのため、ストッパ本体43aは、軸43eを中心に回動可能となっている。つまり、シリンダ21によって磁性フィルタ9が吸着処理部3に向けて押し上げられると、磁性フィルタ9の上昇に伴い、ストッパ本体43aの長手方向が鉛直方向に略一致するまでストッパ本体43aが磁性フィルタ9によって押し上げられる。そして、磁性フィルタ9がストッパ本体43aを通過するまで、シリンダ21によってさらに磁性フィルタ9が押し上げられると、ストッパ本体43aが通常状態となり、ストッパ本体43aの上面43cによって磁性フィルタ9が支持されることとなる。従って、ストッパ43は、吸着処理部3の始端から終端への磁性フィルタ9の移動を許容する一方、吸着処理部3の終端から始端への磁性フィルタ9の移動を妨げる。   The stopper main body 43a is supported by a pair of stopper support bodies 43b via a shaft 43e. Therefore, the stopper main body 43a is rotatable around the shaft 43e. That is, when the magnetic filter 9 is pushed up toward the adsorption processing unit 3 by the cylinder 21, the stopper main body 43a is moved by the magnetic filter 9 until the longitudinal direction of the stopper main body 43a substantially coincides with the vertical direction as the magnetic filter 9 rises. Pushed up. When the magnetic filter 9 is further pushed up by the cylinder 21 until the magnetic filter 9 passes through the stopper main body 43a, the stopper main body 43a is in a normal state, and the magnetic filter 9 is supported by the upper surface 43c of the stopper main body 43a. Become. Accordingly, the stopper 43 allows the magnetic filter 9 to move from the start end to the end of the adsorption processing unit 3, while preventing the magnetic filter 9 from moving from the end to the start end of the adsorption processing unit 3.

ここで、第2実施形態に係る磁気分離装置2において用いられている磁性フィルタ9について説明する。磁性フィルタ9は、図10に示されるように、円盤形状の金網部9aと、その金網部9aを保持する円筒状のフレーム9bとを有している。フレーム9bは、中央部分の胴囲が両端部分の胴囲よりも大きい(胴中央部分が膨らんだ)、いわゆる樽形状を呈している。そのため、磁性フィルタ9が吸着処理部3やフィルタ返送路17を移動する際に、フレーム9bの両端部分が吸着処理部3内やフィルタ返送路17内において引っ掛かり難くなっている。そのため、吸着処理部3内やフィルタ返送路17内において、磁気フィルタ9がよりスムーズに移動できるようになっている。   Here, the magnetic filter 9 used in the magnetic separation device 2 according to the second embodiment will be described. As shown in FIG. 10, the magnetic filter 9 includes a disk-shaped wire mesh portion 9a and a cylindrical frame 9b that holds the wire mesh portion 9a. The frame 9b has a so-called barrel shape in which the trunk of the central part is larger than the trunks of both end parts (the trunk central part swells). Therefore, when the magnetic filter 9 moves through the adsorption processing unit 3 and the filter return path 17, both end portions of the frame 9 b are hardly caught in the adsorption processing unit 3 and the filter return path 17. Therefore, the magnetic filter 9 can move more smoothly in the adsorption processing unit 3 and the filter return path 17.

以上のような第2実施形態に係る磁気分離装置2においても、第1実施形態に係る磁気分離装置1と同様の作用効果を奏する。   The magnetic separation device 2 according to the second embodiment as described above also exhibits the same effects as the magnetic separation device 1 according to the first embodiment.

また、第2実施形態においては、磁気分離装置2がストッパ43を有している。ここで、磁性フィルタ9が吸着処理部3の始端側に戻るような場合、磁性フィルタ9が吸着処理部3内において詰まってしまうことがあり得る。しかしながら、このようにすると、磁性フィルタ9が吸着処理部3の始端側に戻ることがなくなるので、磁性フィルタ9を吸着処理部3の始端から終端へと確実に搬送することが可能となる。   In the second embodiment, the magnetic separation device 2 has a stopper 43. Here, when the magnetic filter 9 returns to the start end side of the adsorption processing unit 3, the magnetic filter 9 may be clogged in the adsorption processing unit 3. However, in this way, the magnetic filter 9 does not return to the start end side of the adsorption processing unit 3, so that the magnetic filter 9 can be reliably conveyed from the start end to the end of the adsorption processing unit 3.

また、第2実施形態においては、回転アーム27,37を独立して回転させるようにしているので、磁気分離装置2内においてよりスムーズに磁性フィルタ9を搬送することが可能となっている。   In the second embodiment, since the rotary arms 27 and 37 are rotated independently, the magnetic filter 9 can be transported more smoothly in the magnetic separation device 2.

なお、磁気分離装置2において、回転アーム27を扇形状としてもよい。このとき、回転アーム27をより軽量化することができる。   In the magnetic separation device 2, the rotary arm 27 may have a fan shape. At this time, the rotating arm 27 can be further reduced in weight.

また、磁性フィルタ9を支持すると共に、吸着処理部3の始端から終端への磁性フィルタ9の移動を許容する一方、吸着処理部3の終端から始端への磁性フィルタ9の移動を妨げる機能を有するものであれば、ストッパ43の他にも種々用いることが可能である。   Further, the magnetic filter 9 is supported, and the movement of the magnetic filter 9 from the start end to the end of the adsorption processing unit 3 is allowed while the movement of the magnetic filter 9 from the end to the start end of the adsorption processing unit 3 is prevented. Any device other than the stopper 43 can be used.

Claims (5)

被処理流体に含まれる磁性物質を磁性フィルタによって除去する磁気分離装置において、
磁石のボア部を貫通して延在し、延在方向に配列された複数の前記磁性フィルタが前記延在方向に搬送されると共に、導入した前記被処理流体中の前記磁性物質を前記磁性フィルタに吸着させる吸着処理部と、
前記吸着処理部の終端から排出され再び前記吸着処理部の始端に返送される前記磁性フィルタが搬送されるフィルタ返送路と、
前記吸着処理部の終端と前記フィルタ返送路の始端との間で前記磁性フィルタを洗浄するフィルタ洗浄部と、
前記吸着処理部の終端から排出された前記磁性フィルタを、前記フィルタ洗浄部を経由して前記フィルタ返送路の始端まで搬送する第1のフィルタ搬送手段と、
前記フィルタ返送路の終端から排出された前記磁性フィルタを前記吸着処理部の始端まで搬送する第2のフィルタ搬送手段とを備え、
前記第1及び第2のフィルタ搬送手段はそれぞれ、前記延在方向に直交する面内における円軌道上で前記磁性フィルタを搬送することを特徴とする磁気分離装置。
In a magnetic separation device that removes magnetic substances contained in a fluid to be treated by a magnetic filter,
A plurality of the magnetic filters extending through the bore portion of the magnet and arranged in the extending direction are conveyed in the extending direction, and the magnetic substance in the introduced fluid to be treated is transferred to the magnetic filter An adsorption processing unit to adsorb to
A filter return path through which the magnetic filter discharged from the end of the adsorption processing unit and returned to the start end of the adsorption processing unit is conveyed;
A filter cleaning unit for cleaning the magnetic filter between the end of the adsorption processing unit and the start of the filter return path;
First filter transport means for transporting the magnetic filter discharged from the end of the adsorption processing unit to the start end of the filter return path via the filter cleaning unit;
A second filter transporting means for transporting the magnetic filter discharged from the end of the filter return path to the start of the adsorption processing unit ;
Each of the first and second filter transporting units transports the magnetic filter on a circular orbit in a plane orthogonal to the extending direction.
前記第1のフィルタ搬送手段は、前記磁性フィルタを保持し前記延在方向に直交する面内で回転する回転部材を有することを特徴とする請求項1に記載の磁気分離装置。  2. The magnetic separation device according to claim 1, wherein the first filter transport unit includes a rotating member that holds the magnetic filter and rotates in a plane orthogonal to the extending direction. 前記第2のフィルタ搬送手段は、前記磁性フィルタを保持し前記延在方向に直交する面内で回転する回転部材を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気分離装置。The second filter conveying means, a magnetic separator according to claim 1 or 2, characterized in that it has a rotary member which rotates in a plane orthogonal to the extending direction holding the magnetic filter. 前記吸着処理部の始端側において、前記吸着処理部の始端から終端への前記磁性フィルタの移動を許容すると共に、前記吸着処理部の終端から始端への前記磁性フィルタの移動を妨げるように前記磁性フィルタを支持するフィルタ支持手段を更に備えることを特徴とする請求項1〜のいずれか一項に記載の磁気分離装置。On the starting end side of the adsorption processing unit, the magnetic filter is allowed to move from the start end to the end of the adsorption processing unit and the magnetic filter is prevented from moving from the end to the start end of the adsorption processing unit. magnetic separation device according to any one of claims 1 to 3, further comprising a filter support means for supporting the filter. 前記磁性フィルタは、中央部分の胴囲が両端側部分の胴囲よりも大きい筒体であることを特徴とする請求項1〜のいずれか一項に記載の磁気分離装置。The magnetic filter magnetic separation device according to any one of claims 1 to 4, wherein the waist circumference of the central portion is larger cylindrical body than waist circumference of both end portion.
JP2008549214A 2006-12-12 2007-08-22 Magnetic separation device Expired - Fee Related JP5129155B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008549214A JP5129155B2 (en) 2006-12-12 2007-08-22 Magnetic separation device

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006334907 2006-12-12
JP2006334907 2006-12-12
PCT/JP2007/066277 WO2008072399A1 (en) 2006-12-12 2007-08-22 Magnetic separation device
JP2008549214A JP5129155B2 (en) 2006-12-12 2007-08-22 Magnetic separation device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2008072399A1 JPWO2008072399A1 (en) 2010-03-25
JP5129155B2 true JP5129155B2 (en) 2013-01-23

Family

ID=39511430

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008549214A Expired - Fee Related JP5129155B2 (en) 2006-12-12 2007-08-22 Magnetic separation device

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP5129155B2 (en)
WO (1) WO2008072399A1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102319626B (en) * 2011-09-01 2014-06-11 李泽 Improved fluid iron removal method and device
KR101306095B1 (en) * 2011-12-16 2013-09-09 주식회사 포스코 Apparatus for eliminating iron of waste lubricant

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10118424A (en) * 1996-10-17 1998-05-12 Hitachi Ltd Magnetic separation device
JP2000312838A (en) * 1999-04-28 2000-11-14 Hitachi Ltd Magnetic separator
WO2005014486A1 (en) * 2003-08-07 2005-02-17 Niki Glass Co., Ltd. Waste water treatment system by superconductive magentic separation

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10118424A (en) * 1996-10-17 1998-05-12 Hitachi Ltd Magnetic separation device
JP2000312838A (en) * 1999-04-28 2000-11-14 Hitachi Ltd Magnetic separator
WO2005014486A1 (en) * 2003-08-07 2005-02-17 Niki Glass Co., Ltd. Waste water treatment system by superconductive magentic separation

Also Published As

Publication number Publication date
WO2008072399A1 (en) 2008-06-19
JPWO2008072399A1 (en) 2010-03-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5698038A (en) Method for wafer carrier cleaning
TWI823063B (en) Substrate cleaning device, substrate cleaning method and substrate processing device
JP6425639B2 (en) Substrate processing system
JP2008034490A (en) Liquid processing device
TW201541512A (en) Substrate treatment apparatus
KR101678231B1 (en) Liquid processing apparatus and liquid processing method
KR20030026313A (en) Wafer container washing apparatus
JP2014130935A (en) Cleaning tool and cleaning method of cleaning substrate processing apparatus and substrate processing system
JP2008077764A (en) Method of cleaning magnetic head slider, manufacturing method, and cleaning device
JP2010186974A (en) Liquid treatment device, liquid treatment method, and storage medium
KR20190112639A (en) Substrate processing method and substrate processing apparatus
JP5129155B2 (en) Magnetic separation device
KR20120083840A (en) Liquid processing apparatus
WO2017163633A1 (en) Substrate cleaning apparatus
JP2003282666A (en) Substrate transporting device and substrate processing device
JP5894490B2 (en) Grinding equipment
JP3317855B2 (en) Cleaning equipment
TW201023258A (en) Rotational processing apparatus, processing system and rotational processing method
CN100362629C (en) Method for cleaning semiconductor wafer
JP6280790B2 (en) Substrate processing apparatus and substrate processing method
JP6442018B2 (en) Substrate processing method
JP6224501B2 (en) Substrate processing equipment
JP3638393B2 (en) Substrate processing equipment
JP2007027784A (en) Versatile cleaner
US20030062069A1 (en) Apparatus and methods for removing metallic contamination from wafer containers

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20090327

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20090327

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120605

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120717

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20121030

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20121101

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5129155

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151109

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees