JP5113689B2 - Piezo fan - Google Patents

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Description

この発明は、圧電セラミックス板などからなる圧電素子の伸縮すなわち振動によって送風板を駆動するピエゾファンに関するものである。   The present invention relates to a piezo fan that drives a blower plate by expansion or contraction of a piezoelectric element made of a piezoelectric ceramic plate or the like, that is, vibration.

電子機器の局所的発熱源を冷却するためのピエゾファンが提案されている(特許文献1および特許文献2)。このピエゾファンは、低消費電力、長寿命、コンパクトサイズおよび低ノイズなどのメリットがあるため、電子機器に限られることなく、一般的な送風装置としての可能性も有している。   Piezofans for cooling local heat sources of electronic devices have been proposed (Patent Document 1 and Patent Document 2). Since this piezo fan has advantages such as low power consumption, long life, compact size, and low noise, the piezo fan is not limited to electronic devices and has a possibility as a general blower.

図10および図11は、ピエゾファン30の基本的な構造を示している。細長い平板状の送風板31と、送風板31の固定端側(図10および図11において左端側)の一方の面に接着された方形もしくは矩形の圧電素子32とを備えている。圧電素子32は、厚さ方向で電圧を印加すると長さ方向で伸縮する。印加する電圧を交流として伸縮を繰り返して振動させると、送風板31も共振し、送風板31の自由端側は図11の点線で示すように上下に大きく振動し、空気の流れを発生させる。   10 and 11 show the basic structure of the piezo fan 30. FIG. An elongated flat plate 31 and a rectangular or rectangular piezoelectric element 32 bonded to one surface of the blower plate 31 on the fixed end side (left end side in FIGS. 10 and 11) are provided. The piezoelectric element 32 expands and contracts in the length direction when a voltage is applied in the thickness direction. When the applied voltage is vibrated by repeating expansion and contraction, the blower plate 31 also resonates, and the free end of the blower plate 31 vibrates up and down greatly as shown by the dotted line in FIG. 11 to generate an air flow.

特開昭59−224500号公報JP 59-224500 A 特開昭63−32975号公報JP 63-32975

前記の如くのピエゾファンにおいて、圧電素子と送風板とは接着剤で接着されていた。ここで接着剤は、圧電素子が発生する動エネルギーをできるだけ送風板に伝達できることが望ましいことから、できるだけ薄く、しかも強い接着力を発揮できるものが必要とされている。しかしながら、圧電素子が振動することにより送風板に生じる変形は、その固定端と自由端とを結んだ長手方向での曲げだけではなく、これに直交する方向での曲げ変形もあり、このような複雑な変形に伴う応力が、圧電素子と送風板とを剥離させる力として作用する。そのため、接着剤の厚みがある値より薄くなると、粘着性および強度が低下し、送風板の振動に耐えなくなり、ついには送風板と圧電素子とが次第に剥離し、ピエゾファンとしての寿命が短くなる。また塗布厚を厚くすると、圧電素子から送風板へ伝達される動エネルギーが少なくなり、送風板の最大変位(振幅)が小さくなるといった問題があった。   In the piezo fan as described above, the piezoelectric element and the blower plate are bonded with an adhesive. Here, since it is desirable that the adhesive can transmit the kinetic energy generated by the piezoelectric element to the blower plate as much as possible, an adhesive that is as thin as possible and capable of exhibiting a strong adhesive force is required. However, the deformation generated in the blower plate due to the vibration of the piezoelectric element is not only in the longitudinal direction connecting the fixed end and the free end, but also in the direction orthogonal to this, The stress accompanying complicated deformation acts as a force for separating the piezoelectric element and the blower plate. Therefore, if the thickness of the adhesive becomes thinner than a certain value, the adhesiveness and strength decrease, and it becomes unable to withstand vibration of the blower plate. Finally, the blower plate and the piezoelectric element are gradually peeled off, and the life as a piezo fan is shortened. . Further, when the coating thickness is increased, there is a problem that the kinetic energy transmitted from the piezoelectric element to the blower plate is reduced and the maximum displacement (amplitude) of the blower plate is reduced.

また、一般に、接着剤の接着力は、高温で低下する傾向がある。そのため、接着剤を高温の雰囲気で使用すると、圧電素子と送風板との接着が常温より高い速度で剥がれる。図12は、室温で1ヶ月駆動しても性能が変わらないピエゾファンを高温雰囲気で使用した時の性能の調査結果を示している。ピエゾファンをその共振周波数で駆動した間に、雰囲気温度を室温と100℃との間に繰り返し変化させる。雰囲気温度が100℃になる度には1時間継続した。図12に示された共振周波数および振幅は雰囲気温度が室温になるときに測定されたデータである。   In general, the adhesive strength of an adhesive tends to decrease at high temperatures. Therefore, when the adhesive is used in a high-temperature atmosphere, the adhesion between the piezoelectric element and the blower plate is peeled off at a speed higher than normal temperature. FIG. 12 shows the results of a performance investigation when a piezo fan whose performance does not change even if it is driven at room temperature for one month is used in a high temperature atmosphere. While driving the piezo fan at its resonance frequency, the ambient temperature is repeatedly changed between room temperature and 100 ° C. Each time the ambient temperature reached 100 ° C., it continued for 1 hour. The resonance frequency and amplitude shown in FIG. 12 are data measured when the ambient temperature reaches room temperature.

図12に示されているように、共振周波数が徐々に低下し、測定開始から3時間経過の時点では共振周波数、最大振幅が共に急減し、ファンとしての機能が失われるに至っている。   As shown in FIG. 12, the resonance frequency gradually decreases, and at the time when 3 hours have elapsed from the start of measurement, both the resonance frequency and the maximum amplitude suddenly decrease, and the function as a fan is lost.

このような性能の低下は、圧電素子と送風板の接着の剥離が原因となっている。図11において、送風板31の自由端部が図の上側の点線で示した位置に向かって変位する時には、送風板31から圧電素子32に押圧力が作用するが、図の下側に点線で示した位置に向かって変位する時には送風板31と圧電素子32の接着部分に剥離応力が作用する。この剥離応力によって送風板31と圧電素子32の接着が徐々に剥がれ、ファンとしての性能も前記の測定結果のように変化するものと説明できる。   Such a decrease in performance is caused by peeling of the adhesion between the piezoelectric element and the blower plate. In FIG. 11, when the free end of the blower plate 31 is displaced toward the position indicated by the dotted line on the upper side of the drawing, a pressing force acts on the piezoelectric element 32 from the blower plate 31. When it is displaced toward the indicated position, a peeling stress acts on the bonding portion between the blower plate 31 and the piezoelectric element 32. It can be explained that the adhesion between the blower plate 31 and the piezoelectric element 32 is gradually peeled off due to the peeling stress, and the performance as a fan changes as in the measurement result.

送風板と圧電素子の接着の剥離の問題を解決する手段として、図10および図11に示したモノモルフタイプのピエゾファンを、図13に示したバイモルフタイプのピエゾファンとする手段がある。すなわち、送風板31の固定端側の表裏両面に圧電素子32,32を接着した構成のものである。このようなバイモルフタイプのピエゾファンは、一方の圧電素子が他方の圧電素子と送風板の接着部分に作用する剥離応力を緩和し、高温雰囲気での使用でも性能の低下を避けることが考えられるが、2枚の圧電素子を必要とし、コストを上昇させる問題が残っている。   As means for solving the problem of peeling of the adhesion between the blower plate and the piezoelectric element, there is means for changing the monomorph type piezofan shown in FIGS. 10 and 11 into the bimorph type piezofan shown in FIG. That is, the piezoelectric elements 32 and 32 are bonded to both the front and back surfaces of the blower plate 31 on the fixed end side. In such a bimorph type piezo fan, it is conceivable that one piezoelectric element relaxes the peeling stress acting on the bonded portion between the other piezoelectric element and the blower plate, and avoids performance degradation even when used in a high temperature atmosphere. The problem of requiring two piezoelectric elements and increasing the cost remains.

前記特許文献1のピエゾファンの構造を図14に示した。このピエゾファンでは、2枚の圧電素子33,33がシム材34を挟み、送風板35の固定端に形成したクリップ部36が2枚の圧電素子33とシム材34の先端部をクリップする構造とされている。この構造では、送風板35の振動によって圧電素子33とシム材34の接着を剥離する応力は作用しないと認められるが、送風板35がクリップ部36を備えるため合成樹脂の成形品とする必要があり、材料、製造法上の制約が生ずると共に、送風板35をクリップ部36を介して圧電素子33に連結されることから、圧電素子33が発生する動エネルギーの利用効率が小さくなるといった問題をあげることができる。   The structure of the piezofan disclosed in Patent Document 1 is shown in FIG. In this piezo fan, the two piezoelectric elements 33, 33 sandwich the shim material 34, and the clip portion 36 formed at the fixed end of the blower plate 35 clips the two piezoelectric elements 33 and the tip of the shim material 34. It is said that. In this structure, it is recognized that the stress that peels off the adhesion between the piezoelectric element 33 and the shim member 34 due to the vibration of the blower plate 35 does not act. However, since the blower plate 35 includes the clip portion 36, it is necessary to use a synthetic resin molded product. In addition, there is a problem that the material and the manufacturing method are restricted, and the use efficiency of the kinetic energy generated by the piezoelectric element 33 is reduced because the blower plate 35 is connected to the piezoelectric element 33 via the clip portion 36. I can give you.

この発明は、以上のような従来技術の問題点に鑑みてなされたもので、簡単な構造でコストの上昇を避け、しかも高温雰囲気での使用によっても性能の低下しないピエゾファンを提供することを目的としている。   The present invention has been made in view of the above-described problems of the prior art, and it is intended to provide a piezo fan that has a simple structure and avoids an increase in cost and that does not deteriorate in performance even when used in a high temperature atmosphere. It is aimed.

上記の目的を達成する請求項1の発明は、一端部が固定される板状の圧電素子における表裏両面のいずれか一方の面に、薄板状の送風板が接着され、かつその送風板の一方の端部が前記圧電素子の自由端側から更に延びていて前記圧電素子によって振動させられるように構成されたピエゾファンにおいて、前記送風板における前記圧電素子に接着された面とは反対側の面で、かつ前記圧電素子の自由端側端縁部に対向する部分に、前記送風板の他の部分より板厚の厚い厚肉部が設けられていることを特徴とするものである。   The invention according to claim 1 that achieves the above object is characterized in that a thin plate-like air blowing plate is bonded to either one of the front and back surfaces of the plate-like piezoelectric element to which one end is fixed, and one of the air blowing plates. In the piezo fan configured to be further extended from the free end side of the piezoelectric element and vibrated by the piezoelectric element, the surface of the blower plate opposite to the surface bonded to the piezoelectric element In addition, a thick portion having a thickness greater than that of the other portion of the blower plate is provided in a portion facing the edge portion on the free end side of the piezoelectric element.

請求項2の発明は、請求項1の発明において、前記厚肉部は、前記送風板における前記圧電素子に接着された面とは反対側の面に接着した支持ブロックによって構成されていることを特徴とするピエゾファンである。   According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the thick portion is configured by a support block bonded to a surface of the blower plate opposite to the surface bonded to the piezoelectric element. It is a featured piezo fan.

請求項3の発明は、請求項1または2の発明において、前記厚肉部は、前記送風板における該厚肉部とは反対側の面に接着されている前記圧電素子の幅と同じ長さのビード状の部分であり、前記送風板は該厚肉部と前記圧電素子とによって挟まされていることを特徴とするピエゾファンである。   According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect of the present invention, the thick portion has the same length as the width of the piezoelectric element bonded to the surface of the blower plate opposite to the thick portion. The piezo fan is characterized in that the blower plate is sandwiched between the thick portion and the piezoelectric element.

請求項4の発明は、請求項1の発明において、前記厚肉部は、方形もしくは矩形の貫通孔を有する細幅の支持リングによって構成され、前記貫通孔に送風板と圧電素子の端縁部が挿通されて、支持リングが圧電素子と送風板の外周を囲んだ構成とされていることを特徴とするピエゾファンである。   According to a fourth aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the thick portion is configured by a narrow support ring having a rectangular or rectangular through hole, and an edge of the blower plate and the piezoelectric element is formed in the through hole. Is a piezo fan characterized in that the support ring surrounds the outer periphery of the piezoelectric element and the blower plate.

請求項5の発明は、請求項1の発明において、前記厚肉部は、中央背板部分と両端の脚部分で断面を凹字形とした細幅の支持ブロックで構成されるとともに、該支持ブロックが前記圧電素子の自由端側の端縁と平行に設けられて、前記中央背板部分と圧電素子とが送風板を挟み、前記両端の脚部分が圧電素子と送風板の側縁に接した構成とされていることを特徴とするピエゾファンである。   According to a fifth aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the thick portion is constituted by a narrow support block having a concave cross section at the center back plate portion and the leg portions at both ends, and the support block. Is provided in parallel with the edge on the free end side of the piezoelectric element, the central back plate portion and the piezoelectric element sandwich the air blowing plate, and the leg portions on both ends are in contact with the side edge of the piezoelectric element and the air blowing plate. It is a piezo fan characterized by being comprised.

請求項6の発明は、請求項5の発明において、前記中央背板部分と両端の前記脚部分を備えた前記支持ブロックは、中央背板部分に更に短突起を有しており、この短突起が送風板に予め設けられた開口部に嵌め込まれていることを特徴とするピエゾファンである。   According to a sixth aspect of the present invention, in the fifth aspect of the invention, the support block including the central back plate portion and the leg portions at both ends further includes a short protrusion on the central back plate portion. Is a piezo fan characterized by being fitted into an opening provided in advance in the blower plate.

請求項7の発明は、請求項5の発明において、前記中央背板部分と両端の前記脚部分を備えた前記支持ブロックは、中央背板部分に複数の短突起を有しており、各短突起が送風板の自由端部に予め形成したスリットに嵌め込まれていることを特徴とするピエゾファンである。   The invention according to claim 7 is the invention according to claim 5, wherein the support block having the central back plate portion and the leg portions at both ends has a plurality of short protrusions on the central back plate portion, The piezo fan is characterized in that the protrusion is fitted into a slit formed in advance at the free end of the blower plate.

請求項8の発明は、請求項1ないし7のいずれかの発明において、前記圧電素子が複数枚積層され、その積層された圧電素子が、前記送風板の少なくとも一方の側面に接着されていることを特徴とするピエゾファンである。   The invention of claim 8 is the invention according to any one of claims 1 to 7, wherein a plurality of the piezoelectric elements are laminated, and the laminated piezoelectric elements are bonded to at least one side surface of the blower plate. It is a piezo fan characterized by

請求項1の発明に係るピエゾファンによれば、圧電素子の自由端側端縁部に対向する位置に設けた厚肉部が、圧電素子に対する送風板の相対的な変形を抑制するので、送風板と圧電素子の接着部分に作用する剥離応力が緩和され、送風板と圧電素子の接着を剥離させる不具合をなくすることができる。この為、圧電素子を1枚としてコストの上昇を抑え、しかも高温雰囲気でも性能が低下することなく安定して駆動を継続できるピエゾファンを得ることができる。   According to the piezo fan of the first aspect of the present invention, since the thick portion provided at the position facing the free end side edge portion of the piezoelectric element suppresses the relative deformation of the blower plate with respect to the piezoelectric element, The peeling stress acting on the bonding portion between the plate and the piezoelectric element is relaxed, and the problem of peeling off the bonding between the blower plate and the piezoelectric element can be eliminated. For this reason, it is possible to obtain a piezo fan that can suppress the increase in cost by using a single piezoelectric element and can continue to be driven stably without deterioration in performance even in a high temperature atmosphere.

請求項2の発明によれば、厚肉部が送風板に接着された支持ブロックによって構成されているので、請求項1の発明の効果に加えて、全体としての構造を簡素化することができる。そして、支持ブロックを細幅のものとすれば、圧電素子の駆動すなわち変位に対する影響が小さく、圧電素子の動エネルギーの利用効率を良くし、送風板を大きな振幅で振動させることができる効果も得られる。   According to the invention of claim 2, since the thick part is constituted by the support block bonded to the blower plate, in addition to the effect of the invention of claim 1, the overall structure can be simplified. . If the support block has a narrow width, the effect on the driving or displacement of the piezoelectric element is small, the use efficiency of the kinetic energy of the piezoelectric element is improved, and the effect that the air blowing plate can be vibrated with a large amplitude is also obtained. It is done.

請求項3の発明によれば、圧電素子における自由端部において送風板と圧電素子との相対変位が大きくなるが、この部分における送風板の表裏両面側に剛性もしくは厚さが、支持ブロックを設けたことにより近似したものとなり、その結果、圧電素子と送風板との剥離を防止もしくは抑制することができる。   According to the invention of claim 3, the relative displacement between the blower plate and the piezoelectric element is increased at the free end portion of the piezoelectric element, but the rigidity or thickness is provided on both the front and back sides of the blower plate at this portion. As a result, separation between the piezoelectric element and the air blowing plate can be prevented or suppressed.

請求項4の発明によれば、前記厚肉部が方形もしくは矩形の貫通孔を有する細幅の支持リングによって構成されているので、請求項1あるいは請求項2の発明と同様の効果に加えて、支持リングの装着あるいは位置決めを簡単に行うことができ、製造の容易なピエゾファンとすることができる効果が得られる。   According to invention of Claim 4, since the said thick part is comprised by the narrow support ring which has a square or rectangular through-hole, in addition to the effect similar to the invention of Claim 1 or Claim 2 The mounting or positioning of the support ring can be easily performed, and an effect that the piezo fan can be easily manufactured can be obtained.

請求項5の発明によれば、厚肉部が断面を凹字形とした細幅の支持ブロックによって構成されているので、請求項1あるいは請求項2の発明と同様の効果に加えて、組立の自動化への対応が容易であり、高速で能率の良い製造を可能とする効果が得られる。   According to the invention of claim 5, since the thick wall portion is constituted by a narrow support block having a concave cross section, in addition to the same effects as those of the invention of claim 1 or claim 2, It is easy to adapt to automation, and the effect of enabling high-speed and efficient production is obtained.

また、請求項6の発明によれば、断面を凹字形とした細幅の支持ブロックの中央背板部分に短突起を設け、この短突起を送風板の開口部に嵌め込んだ構成であるので、送風板の長手方向における支持ブロックの位置決めを短突起を介して行うことができる。したがって、請求項4の発明と同様の効果に加えて、組立の自動化の際の位置決め精度を向上できる効果を得ることができる。   According to the invention of claim 6, the short back is provided in the central back plate portion of the narrow support block having a concave cross section, and the short protrusion is fitted into the opening of the blower plate. The positioning of the support block in the longitudinal direction of the blower plate can be performed via the short protrusion. Therefore, in addition to the same effect as that of the invention of the fourth aspect, it is possible to obtain the effect of improving the positioning accuracy at the time of assembly automation.

そして、請求項7の発明によれば、断面凹字形の細幅の支持ブロックの中央背板部分の短突起を複数として、送風板に形成したスリットに嵌め込んだ構成なので、この複数の短突起を、ピエゾファンと冷却対象部品の組立の際の基準面として利用できるようになる。したがって、請求項5の発明の効果に加えて、実装の自動化、精度向上に寄与できる効果を得ることができる。   According to the invention of claim 7, since the plurality of short protrusions on the central back plate portion of the narrow support block having a concave cross section are fitted into the slit formed in the blower plate, the plurality of short protrusions Can be used as a reference plane when assembling the piezo fan and the cooling target component. Therefore, in addition to the effect of the invention of claim 5, it is possible to obtain an effect that can contribute to automation of mounting and improvement of accuracy.

またさらに、請求項8の発明によれば、上述した請求項1ないし7の発明と同様の作用・効果を得ることができ、これに加えて振動特性を多様に変化させることが容易であり、また送風板を振動させる起振力を相対的に大きくすることができる。   Furthermore, according to the invention of claim 8, it is possible to obtain the same operation and effect as the invention of claims 1 to 7, and in addition to this, it is easy to change the vibration characteristics in various ways. Moreover, the exciting force for vibrating the blower plate can be relatively increased.

以下、この発明の実施の形態を添付の図を参照して説明する。図1は、第1の実施形態のピエゾファン10の斜視図である。幅Wに比べて長さLが長い細長い平板状の送風板11の固定端側(図の左側)下面に、送風板11の幅Wに略等しい幅と、送風板11の長さLの約半分の長さとした方形の圧電素子12が固定端縁を揃えるようにして接着されている。また、送風板11の上面には、圧電素子12の自由端側端縁部12aに略対向する位置に、送風板11の幅Wに略等しい長さlと細い幅wを有する支持ブロック13が圧電素子12の端縁部12aと略平行として接着されている。その幅wは、一例として、圧電素子12の長さが41mmの場合、2mm程度である。したがって、支持ブロック13は、送風板11の幅方向に延びたビード状部分を形成している。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a perspective view of a piezo fan 10 according to the first embodiment. A width substantially equal to the width W of the blower plate 11 and a length L of the blower plate 11 on the lower surface of the fixed end side (left side in the figure) of the elongated flat plate blower plate 11 having a length L longer than the width W. A rectangular piezoelectric element 12 having a half length is bonded so that the fixed edges are aligned. Further, on the upper surface of the blower plate 11, a support block 13 having a length l substantially equal to the width W of the blower plate 11 and a narrow width w is provided at a position substantially opposite to the free end side edge portion 12 a of the piezoelectric element 12. The piezoelectric element 12 is bonded substantially in parallel with the end edge portion 12a. For example, the width w is about 2 mm when the length of the piezoelectric element 12 is 41 mm. Therefore, the support block 13 forms a bead-shaped portion extending in the width direction of the blower plate 11.

上記の送風板11は、金属板、樹脂、ガラス繊維やカーボン繊維と樹脂との複合材で構成することができる。圧電素子はd31方向を使用するものである。また、支持ブロック13の素材は限られないが、重いものを使うとピエゾファンが撓むため、エポキシガラスなど軽くて強度がある材料が望ましい。   The air blowing plate 11 can be composed of a metal plate, resin, glass fiber, or a composite material of carbon fiber and resin. The piezoelectric element uses the d31 direction. In addition, the material of the support block 13 is not limited. However, if a heavy material is used, the piezo fan bends, so a light and strong material such as epoxy glass is desirable.

上記の圧電素子12を振動させた場合、その圧電素子12の自由端側で、圧電素子12と送風板11との相対変位が大きくなるが、前記支持ブロック13は、圧電素子12の自由端に相当する位置における送風板11の一方の面(圧電素子12とは反対側の面)に接着されている。したがって、この部分での送風板11の剛性(もしくは断面二次モーメント)が他の部分より大きくなっている。すなわち、支持ブロック13がこの発明における厚肉部を構成している。したがって、送風板11が圧電素子12と共振して振動した場合、送風板12はその固定端と自由端とを結んだ線に沿って湾曲するとともに、その線に直交する方向(すなわち幅方向)にも僅かなりとも撓もうとするが、支持ブロック13が設けられていることにより、圧電素子12に対する送風板11の相対的な変位が抑制される。また、このような作用は、圧電素子12の自由端部における送風板11の表裏両面側の厚さあるいは剛性が、支持ブロック13によって近似させられていることに伴って生じるものと思われる。   When the piezoelectric element 12 is vibrated, the relative displacement between the piezoelectric element 12 and the blower plate 11 increases on the free end side of the piezoelectric element 12, but the support block 13 is placed on the free end of the piezoelectric element 12. It is bonded to one surface (surface opposite to the piezoelectric element 12) of the blower plate 11 at a corresponding position. Therefore, the rigidity (or cross-sectional second moment) of the blower plate 11 at this portion is larger than the other portions. That is, the support block 13 constitutes a thick portion in the present invention. Therefore, when the air blower plate 11 resonates with the piezoelectric element 12 and vibrates, the air blower plate 12 is curved along a line connecting the fixed end and the free end, and is orthogonal to the line (ie, the width direction). In addition, the support block 13 is provided to suppress the relative displacement of the blower plate 11 with respect to the piezoelectric element 12, although it tends to bend even slightly. Such an action is considered to be caused by the fact that the thickness or rigidity of the front and back sides of the blower plate 11 at the free end of the piezoelectric element 12 is approximated by the support block 13.

その結果、上記のように構成されたピエゾファン10によれば、送風板11の上面に接着した支持ブロック13によって、送風板11が図の上側に変位した際に、送風板11と圧電素子12の接着面に作用する剥離応力が緩和され、両者の剥離による性能低下を防止もしくは抑制することができる。また、支持ブロック13の幅wは細幅であるために、圧電素子12の自由端の変位に対する影響はなく、圧電素子12の駆動エネルギーを送風板11側に十分に伝達し、大きな振幅で振動させることが可能である。   As a result, according to the piezo fan 10 configured as described above, when the blower plate 11 is displaced upward in the figure by the support block 13 bonded to the upper surface of the blower plate 11, the blower plate 11 and the piezoelectric element 12. Peeling stress acting on the adhesive surface is relaxed, and performance degradation due to peeling of both can be prevented or suppressed. Further, since the width w of the support block 13 is narrow, there is no influence on the displacement of the free end of the piezoelectric element 12, and the driving energy of the piezoelectric element 12 is sufficiently transmitted to the blower plate 11 side and vibrates with a large amplitude. It is possible to make it.

送風板11の最大応力を有限要素法でコンピュータ解析した。それによれば、圧電素子12の端縁部12aに対応する部分の応力は、前記支持ブロック13を設けることによって、支持ブロック13を設けない場合(図10および図11のものに対応)に比べて平均的に50%とできることが判明した。   The maximum stress of the blower plate 11 was computer analyzed by a finite element method. According to this, the stress of the portion corresponding to the end edge portion 12a of the piezoelectric element 12 is higher than that in the case where the support block 13 is not provided (corresponding to the case of FIG. 10 and FIG. 11). It was found that the average could be 50%.

また、前記図12の結果を得た試験と同様の高温雰囲気のテストも試みた。すなわち、ピエゾファン10を先ず常温雰囲気で共振周波数で駆動し、その後周囲雰囲気温度を100℃として駆動を継続した。それから周囲雰囲気温度を常温に下げ、共振周波数と最大振幅の変化を測定した。その結果を示したのが図2である。図に明らかなように、共振周波数、最大振幅共に加熱前と変化はなく、支持ブロック13の設置による接着部に対する剥離応力の低減効果を確認することができた。   In addition, a test in a high temperature atmosphere similar to the test that obtained the results of FIG. 12 was also attempted. That is, the piezo fan 10 was first driven at a resonance frequency in a room temperature atmosphere, and then the driving was continued at an ambient atmosphere temperature of 100 ° C. Then, the ambient temperature was lowered to room temperature, and changes in resonance frequency and maximum amplitude were measured. The result is shown in FIG. As apparent from the figure, the resonance frequency and the maximum amplitude were not changed before heating, and the effect of reducing the peeling stress on the bonded portion by installing the support block 13 could be confirmed.

図3は、この発明の第2の実施形態のピエゾファン10を示す。第1の実施形態と同様に、細長い平板状の送風板11の固定端側下面に方形もしくは矩形の圧電素子12が接着されている。そして、図4に示したような金属製の支持リング14が圧電素子12の自由端側端縁部に略対向する位置に設けられ接着によって固定されている。支持リング14は、前記支持ブロック13と同様に細幅のものであり、送風板11とこれに接着された圧電素子12をそれらの固定端側から挿通できる方形もしくは矩形の貫通孔15が形成されている。したがって、送風板11と圧電素子12を挿通して、圧電素子12の端縁に揃うように位置設定するだけで、簡単に取り付けることができる。支持リング14を装着すると、重ねられた送風板11と圧電素子12の外周を支持リング14が囲んだ構成となる。ピエゾファン10の製造を簡単にすることができる。   FIG. 3 shows a piezo fan 10 according to a second embodiment of the present invention. As in the first embodiment, a rectangular or rectangular piezoelectric element 12 is bonded to the lower surface of the elongated flat plate-like air blowing plate 11 on the fixed end side. A metal support ring 14 as shown in FIG. 4 is provided at a position substantially opposite to the free end side edge of the piezoelectric element 12 and fixed by adhesion. The support ring 14 has a narrow width like the support block 13, and is formed with a rectangular or rectangular through hole 15 through which the blower plate 11 and the piezoelectric element 12 bonded thereto can be inserted from the fixed end side. ing. Therefore, it can be easily attached only by inserting the blower plate 11 and the piezoelectric element 12 and setting the position so as to align with the edge of the piezoelectric element 12. When the support ring 14 is attached, the support ring 14 surrounds the outer periphery of the stacked air blowing plate 11 and the piezoelectric element 12. The manufacture of the piezo fan 10 can be simplified.

図5は、この発明の第3の実施形態のピエゾファン10を示す。この例においても、前記各実施形態と同様に、平板状の送風板11の固定端側下面に方形もしくは矩形の圧電素子12が接着されている。そして、図6に示したような細幅の支持ブロック16が、送風板11の上面側に、圧電素子12の自由端側端縁部と略対向する位置に接着によって取り付けられている。支持ブロック16は、細幅の中央背板部分17の両端に脚部分18,18を有し、断面凹字形とされている。脚部分18,18の内法寸法が送風板11および圧電素子12の幅に略等しくしてある。この結果、支持ブロック16を送風板11の上面側から装着することで、送風板11の幅方向における支持ブロック16の位置決めが自動的になされることになる。支持ブロック16を装着すると、中央背板部分17と圧電素子12の端縁部が送風板11を挟んだ構成となり、また両端の脚部分18,18がそれぞれ送風板11と圧電素子12の側縁に接した構成となる。このように構成される第3の実施形態では、支持ブロック16の位置決めの一部が自動的にできるから、ピエゾファン10の組立の自動化への対応が容易となり、高速で能率の良い製造を可能にすることができる。   FIG. 5 shows a piezo fan 10 according to a third embodiment of the present invention. Also in this example, the rectangular or rectangular piezoelectric element 12 is bonded to the lower surface on the fixed end side of the flat plate 11 as in the above embodiments. A thin support block 16 as shown in FIG. 6 is attached to the upper surface side of the blower plate 11 at a position substantially opposite to the free end side edge of the piezoelectric element 12 by bonding. The support block 16 has leg portions 18 and 18 at both ends of a narrow central back plate portion 17 and has a concave cross section. The internal dimensions of the leg portions 18 and 18 are substantially equal to the widths of the blower plate 11 and the piezoelectric element 12. As a result, by mounting the support block 16 from the upper surface side of the blower plate 11, the support block 16 is automatically positioned in the width direction of the blower plate 11. When the support block 16 is mounted, the edge portion of the central back plate portion 17 and the piezoelectric element 12 sandwiches the air blowing plate 11, and the leg portions 18 and 18 on both ends are side edges of the air blowing plate 11 and the piezoelectric element 12, respectively. It becomes the composition which touches. In the third embodiment configured as described above, a part of the positioning of the support block 16 can be automatically performed, so that it is easy to cope with the automation of the assembly of the piezo fan 10, and high-speed and efficient production is possible. Can be.

次に、図7はこの発明の第4の実施形態のピエゾファン10を分解して示した図である。この実施形態では、前記断面を凹字形とした細幅の支持ブロック16の中央背板部分17に短突起19が設けてある。この短突起19に対応して、送風板11には予め開口部20が設けられている。支持ブロック16を装着する際には、短突起19を開口部20に嵌め込むようにする。この結果、この第4の実施形態では、支持ブロック16の装着に際し、支持ブロック16の送風板11の幅方向における位置決めを、両端の脚部分18,18と送風板11および圧電素子12の側縁を係合させることにより自動的に行わせ、送風板11の長手方向における位置決めを、短突起19と開口部20を係合させることにより自動的に行わせることができるようになる。このように、支持ブロック16の位置決めが二方向で自動的に行われるので、自動組み立てにおける組立精度をより向上させることが可能となる。   Next, FIG. 7 is an exploded view of the piezo fan 10 according to the fourth embodiment of the present invention. In this embodiment, a short projection 19 is provided on the central back plate portion 17 of the narrow support block 16 having a concave cross section. Corresponding to the short protrusions 19, an opening 20 is provided in the blower plate 11 in advance. When the support block 16 is mounted, the short protrusion 19 is fitted into the opening 20. As a result, in the fourth embodiment, when the support block 16 is mounted, the support block 16 is positioned in the width direction of the blower plate 11 so that the leg portions 18 and 18 on both ends, the blower plate 11 and the side edges of the piezoelectric element 12 are positioned. Can be automatically performed by engaging the short projection 19 and the opening 20 so that the blower plate 11 can be positioned in the longitudinal direction automatically. Thus, since the positioning of the support block 16 is automatically performed in two directions, the assembly accuracy in the automatic assembly can be further improved.

図8は、この発明の第5の実施形態のピエゾファン10を分解して示した図である。この実施形態では、細幅の中央背板部分17に設けられる短突起19を複数としてある。これは、送風板11の自由端側にスリット21を複数設けて、送風板11の自由端側を細幅のフィン22に分割し、各フィン22を放熱部材、例えば放熱ブロック(図示せず)の放熱フィン間に挿入して使用するようなピエゾファン10の使用態様に対応させたものである。   FIG. 8 is an exploded view of the piezo fan 10 according to the fifth embodiment of the present invention. In this embodiment, a plurality of short protrusions 19 provided on the narrow central back plate portion 17 are provided. This is provided with a plurality of slits 21 on the free end side of the blower plate 11, and the free end side of the blower plate 11 is divided into narrow fins 22, and each fin 22 is a heat radiating member, for example, a heat radiating block (not shown). The piezo fan 10 is used by inserting it between the radiating fins.

前記スリット21は、圧電素子12の自由端側端縁部に重なる位置まで形成される。支持ブロック16の装着に際しては、両側の脚部分18が送風板11と圧電素子12の側縁に接するようにすると共に、複数の短突起19の一つ一つを対応するスリット21の中に嵌め込むようにする。この実施形態によっても、支持ブロック16の位置決めを直交する二方向で自動的に行うことができるので、自動組立の組立精度の向上が可能である。そして更に、前記複数の短突起19は、ピエゾファン10を実機に実装する際の位置決めの基準面として利用することが可能である。この為、放熱部材やピエゾファン10の自動実装に寄与し、実装精度を向上することができる。   The slit 21 is formed up to a position overlapping the free edge side edge portion of the piezoelectric element 12. When the support block 16 is mounted, the leg portions 18 on both sides are in contact with the side edges of the blower plate 11 and the piezoelectric element 12, and each of the plurality of short protrusions 19 is fitted into the corresponding slit 21. To be included. Also according to this embodiment, since the positioning of the support block 16 can be automatically performed in two orthogonal directions, the assembly accuracy of the automatic assembly can be improved. Furthermore, the plurality of short protrusions 19 can be used as a reference surface for positioning when the piezo fan 10 is mounted on an actual machine. For this reason, it contributes to the automatic mounting of the heat radiating member and the piezo fan 10, and the mounting accuracy can be improved.

さらに、この発明では、送風板の一方の側面側、もしくは両面側に、複数枚の圧電素子を積層して配置してもよい。その場合、圧電素子の間に金属板を挟み込む構成を採用することもできる。その例を図9に示してあり、二枚の圧電素子12,12がこれらの圧電素子12,12より薄い電極となる金属板Mを挟んだ状態で互いに接着され、その結果、三層構造の圧電素子ユニット12Aが構成されている。その圧電素子ユニット12Aの一方の面(図9では下面)に送風板11が接着され、その送風板11の自由端部が圧電素子ユニット12Aの自由端部から延び出ている。そして、圧電素子ユニット12Aに電圧を印加してこれを振動させることにより送風板12の自由端部が振動するように構成されている。   Furthermore, in the present invention, a plurality of piezoelectric elements may be laminated and disposed on one side surface or both surface sides of the blower plate. In that case, the structure which pinches | interposes a metal plate between piezoelectric elements is also employable. An example of this is shown in FIG. 9, in which two piezoelectric elements 12 and 12 are bonded together with a metal plate M sandwiching between the piezoelectric elements 12 and 12 sandwiched therebetween, resulting in a three-layer structure. A piezoelectric element unit 12A is configured. The blower plate 11 is bonded to one surface (lower surface in FIG. 9) of the piezoelectric element unit 12A, and the free end of the blower plate 11 extends from the free end of the piezoelectric element unit 12A. And it is comprised so that the free end part of the ventilation board 12 may vibrate by applying a voltage to the piezoelectric element unit 12A and vibrating this.

なお、この発明における厚肉部は、上述した支持ブロックによって構成する以外に、送風板にビードを肉盛りして形成したり、あるいは送風板の製造過程で一体に形成したりして設けたものであってもよい。   In addition, the thick part in this invention is formed by building a bead on the blower plate, or by integrally forming it in the manufacturing process of the blower plate, in addition to the support block described above. It may be.

この発明の第1の実施形態の斜視図である。1 is a perspective view of a first embodiment of the present invention. 第1の実施形態の高温雰囲気のテストにおける測定結果のグラフである。It is a graph of the measurement result in the test of the high temperature atmosphere of 1st Embodiment. この発明の第2の実施形態の斜視図である。It is a perspective view of 2nd Embodiment of this invention. 第2の実施形態で用いた支持リングの平面図である。It is a top view of the support ring used in a 2nd embodiment. この発明の第3の実施形態の斜視図である。It is a perspective view of 3rd Embodiment of this invention. 第3の実施形態で用いた支持ブロックの斜視図である。It is a perspective view of the support block used in 3rd Embodiment. この発明の第4の実施形態の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of 4th Embodiment of this invention. この発明の第5の実施形態の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of 5th Embodiment of this invention. 圧電素子を積層した例を示す側面図である。It is a side view which shows the example which laminated | stacked the piezoelectric element. 従来のピエゾファンの斜視図である。It is a perspective view of the conventional piezo fan. 同じく従来のピエゾファンの動作を説明する正面図である。It is a front view explaining operation | movement of the conventional piezo fan similarly. 従来のピエゾファンの高温雰囲気のテストにおける測定結果のグラフである。It is a graph of the measurement result in the test of the high temperature atmosphere of the conventional piezo fan. 従来のバイモルフタイプのピエゾファンの斜視図である。It is a perspective view of the conventional bimorph type piezo fan. 従来の更に別の構成のピエゾファンの斜視図である。It is a perspective view of the conventional piezo fan of another structure.

符号の説明Explanation of symbols

10…ピエゾファン、 11…送風板、 12…圧電素子、 12a…端縁部、 12A…圧電素子ユニット、 13…支持ブロック、 14…支持リング、 15…貫通孔、 16…支持ブロック、 17…中央背板部分、 18…脚部分、 19…短突起、 20…開口部、 21…スリット、 22…フィン。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Piezo fan, 11 ... Blower plate, 12 ... Piezoelectric element, 12a ... End edge part, 12A ... Piezoelectric element unit, 13 ... Support block, 14 ... Support ring, 15 ... Through-hole, 16 ... Support block, 17 ... Center Back plate part, 18 ... Leg part, 19 ... Short protrusion, 20 ... Opening part, 21 ... Slit, 22 ... Fin.

Claims (8)

一端部が固定される板状の圧電素子における表裏両面のいずれか一方の面に、薄板状の送風板が接着され、かつその送風板の一方の端部が前記圧電素子の自由端側から更に延びていて前記圧電素子によって振動させられるように構成されたピエゾファンにおいて、
前記送風板における前記圧電素子に接着された面とは反対側の面で、かつ前記圧電素子の自由端側端縁部に対向する部分に、前記送風板の他の部分より板厚の厚い厚肉部が設けられていることを特徴とするピエゾファン。
A thin plate-like air blowing plate is bonded to either one of the front and back surfaces of the plate-like piezoelectric element to which one end is fixed, and one end portion of the air blowing plate further extends from the free end side of the piezoelectric element. In a piezo fan configured to extend and vibrate by the piezoelectric element,
The surface of the air blowing plate opposite to the surface bonded to the piezoelectric element and the portion facing the free end side edge of the piezoelectric element is thicker than the other portions of the air blowing plate. Piezofan characterized by a meat part.
前記厚肉部は、前記送風板における前記圧電素子に接着された面とは反対側の面に接着した支持ブロックによって構成されていることを特徴とする請求項1に記載のピエゾファン。   2. The piezo fan according to claim 1, wherein the thick portion is configured by a support block adhered to a surface of the blower plate opposite to a surface adhered to the piezoelectric element. 前記厚肉部は、前記送風板における該厚肉部とは反対側の面に接着されている前記圧電素子の幅と同じ長さのビード状の部分であり、前記送風板は該厚肉部と前記圧電素子とによって挟まされていることを特徴とする請求項1または2に記載のピエゾファン。   The thick portion is a bead-shaped portion having the same length as the width of the piezoelectric element bonded to the surface of the blower plate opposite to the thick portion, and the blower plate is the thick portion. The piezoelectric fan according to claim 1, wherein the piezoelectric element is sandwiched between the piezoelectric element and the piezoelectric element. 前記厚肉部は、方形もしくは矩形の貫通孔を有する細幅の支持リングによって構成され、前記貫通孔に送風板と圧電素子の端縁部が挿通されて、支持リングが圧電素子と送風板の外周を囲んだ構成とされていることを特徴とする請求項1に記載のピエゾファン。   The thick part is constituted by a narrow support ring having a rectangular or rectangular through hole, and the edge of the blower plate and the piezoelectric element is inserted into the through hole, and the support ring is formed between the piezoelectric element and the blower plate. The piezo fan according to claim 1, wherein the piezo fan is configured to surround an outer periphery. 前記厚肉部は、中央背板部分と両端の脚部分で断面を凹字形とした細幅の支持ブロックで構成されるとともに、該支持ブロックが前記圧電素子の自由端側の端縁と平行に設けられて、前記中央背板部分と圧電素子とが送風板を挟み、前記両端の脚部分が圧電素子と送風板の側縁に接した構成とされていることを特徴とする請求項1に記載のピエゾファン。   The thick portion is composed of a narrow support block having a concave cross section at the center back plate portion and the leg portions at both ends, and the support block is parallel to the edge of the free end side of the piezoelectric element. 2. The structure according to claim 1, wherein the central back plate portion and the piezoelectric element sandwich the air blowing plate, and the leg portions at both ends are in contact with the side edges of the piezoelectric element and the air blowing plate. The piezo fan described. 前記中央背板部分と両端の前記脚部分を備えた前記支持ブロックは、中央背板部分に更に短突起を有しており、この短突起が送風板に予め設けられた開口部に嵌め込まれていることを特徴とする請求項5に記載のピエゾファン。   The support block having the central back plate portion and the leg portions at both ends further has a short projection on the central back plate portion, and the short projection is fitted into an opening provided in advance on the blower plate. 6. The piezofan according to claim 5, wherein 前記中央背板部分と両端の前記脚部分を備えた前記支持ブロックは、中央背板部分に複数の短突起を有しており、各短突起が送風板の自由端部に予め形成したスリットに嵌め込まれていることを特徴とする請求項5に記載のピエゾファン。   The support block having the central back plate portion and the leg portions at both ends has a plurality of short protrusions on the central back plate portion, and each short protrusion is formed in a slit formed in advance on the free end of the blower plate. 6. The piezo fan according to claim 5, wherein the piezo fan is fitted. 前記圧電素子が複数枚積層され、その積層された圧電素子が、前記送風板の少なくとも一方の側面に接着されていることを特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載のピエゾファン。   The piezo fan according to any one of claims 1 to 7, wherein a plurality of the piezoelectric elements are laminated, and the laminated piezoelectric elements are bonded to at least one side surface of the blower plate.
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