JP5088814B2 - Transducer type vacuum gauge and control method thereof - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 10
- 230000004397 blinking Effects 0.000 description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 244000145845 chattering Species 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
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Description
本発明は、トランスデューサ型真空計及びその制御方法に関し、特にセットポイントの設定と、前記設定したセットポイントの読み出しができるトランスデューサ型真空計及びその制御方法に関する。 The present invention relates to a transducer type vacuum gauge and a control method thereof, and more particularly to a transducer type vacuum gauge capable of setting a setpoint and reading the setpoint, and a control method thereof.
ロータリポンプ等により真空引きされるチャンバ内の圧力を制御する場合、従来は、前記チャンバ内の圧力を測定する計測部と、その計測部から出力される電気信号の処理等を行う制御部とは、夫々独立した装置として用意され、互いにケーブル等により接続されていた。尚、そのような従来の構成は、特許文献１に開示されている。 Conventionally, when controlling the pressure in a chamber evacuated by a rotary pump or the like, a measurement unit that measures the pressure in the chamber and a control unit that performs processing of an electrical signal output from the measurement unit, etc. These were prepared as independent devices, and were connected to each other by a cable or the like. Such a conventional configuration is disclosed in Patent Document 1.
ところで、近年においては、前記計測部と前記制御部とを一体化することにより、省配線、省スペース、省電力化を実現したトランスデューサ型真空計が主流となっている。
前記トランスデューサ型真空計では、圧力制御の基準値とするセットポイントの設定がソフトウエア上で可能であり、チャンバ内圧力を検出する圧力センサの出力の値と前記設定されたセットポイントの値とを常に比較することによって、チャンバに接続されたポンプを制御（バルブ制御）するようになされている。
By the way, in recent years, transducer type vacuum gauges that realize wiring saving, space saving, and power saving by integrating the measurement unit and the control unit have become mainstream.
In the transducer type vacuum gauge, a set point as a reference value for pressure control can be set on software, and the output value of the pressure sensor for detecting the pressure in the chamber and the set set point value are used. By constantly comparing, the pump connected to the chamber is controlled (valve controlled).
例えば、トランスデューサ型真空計において、チャンバ内圧力値を、設定されたセットポイントＳＰ付近に維持したい場合、図３に示すように、検出されたチャンバ内の圧力値がセットポイントＳＰ以下になるまでポンプのバルブを開く制御信号はリレーオン（出力）となされる。そして、検出された圧力値が、セットポイントＳＰに、チャタリング防止のために設定されたヒステリシスΔＰを加味した値に達するとリレーオフとなされる。また、チャンバ内圧力が上昇し、検出された圧力値がセットポイント値ＳＰより大きくなった場合には再びリレーオンに制御される。
このようなリレーオン／オフ制御により、チャンバ内の圧力は所定の値（セットポイント）に略維持される。
By such relay on / off control, the pressure in the chamber is substantially maintained at a predetermined value (set point).
ところで、前記従来のトランスデューサ型真空計にあっては、図４に示すように指数表示で表現されるセットポイントを設定するにあたり、仮数Ａと指数Ｂとを１つのロータリスイッチを用いて順番に設定する必要があった。
このため、セットポイントの設定後にあっては、設定値を目視だけでは確認できないという課題があった。
また、セットポイントの設定後でも設定値を容易に確認するためには、セットポイントを表示可能な液晶ディスプレイ等の表示手段を設ければよいが、その場合、装置が高価になるという課題があった。
By the way, in the conventional transducer type vacuum gauge, as shown in FIG. 4, when setting the set point expressed by the exponent display, the mantissa A and the exponent B are set in order using one rotary switch. There was a need to do.
For this reason, after setting the set point, there is a problem that the set value cannot be confirmed only by visual observation.
In order to easily check the set value even after setting the set point, a display means such as a liquid crystal display capable of displaying the set point may be provided. In this case, there is a problem that the apparatus becomes expensive. It was.
本発明は、前記したような事情の下になされたものであり、トランスデューサ型真空計において、装置にかかるコストの増大を抑制し、セットポイントの設定と、設定されたセットポイントの読み出しとを容易に行なうことができるトランスデューサ型真空計及びその制御方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made under the circumstances as described above, and in a transducer type vacuum gauge, it is possible to suppress an increase in the cost of the apparatus and to easily set a set point and read out the set set point. It is an object of the present invention to provide a transducer type vacuum gauge that can be used in the above and a control method thereof.
前記した課題を解決するために、本発明に係るトランスデューサ型真空計は、セットポイントが設定されると共に、計測したチャンバ内の圧力と前記セットポイントとに基づきチャンバ内の圧力制御を行なうトランスデューサ型真空計において、前記セットポイントを特定するための設定値を記録する記憶手段と、前記記憶手段に対して前記設定値を書き込み可能であって、かつ前記記憶手段に記録された前記設定値を読み出し可能な制御手段と、前記制御手段に対し前記設定値の書き込み制御を行なうための書き込みスイッチと、前記制御手段に対し前記設定値の読出し命令を行なうための読出しスイッチと、所定数を示す信号を前記制御手段に供給するためのロータリスイッチと、前記制御手段の制御により少なくとも２値表示可能な表示手段とを備え、前記制御手段は、前記書き込みスイッチから書き込み命令が発行されると、前記ロータリスイッチにより供給された所定数を前記記憶手段に書き込み、前記読出しスイッチから読出し命令が発行されると、前記記憶手段より前記設定値を読み出し、読み出された前記設定値と前記ロータリスイッチにより供給された所定数を示す信号とが一致した場合に前記表示手段により当該一致を示す表示を行なうことに特徴を有する。 In order to solve the above-described problems, a transducer type vacuum gauge according to the present invention is a transducer type vacuum gauge in which a set point is set and pressure in the chamber is controlled based on the measured pressure in the chamber and the set point. in total, a storage means for recording the setting value for specifying the setpoint, a writable the setting for the storage unit, and can be read the setting values recorded in the memory means Control means, a write switch for performing write control of the set value to the control means, a read switch for issuing a read command of the set value to the control means, and a signal indicating a predetermined number A rotary switch for supplying to the control means, and a table capable of at least binary display under the control of the control means And means, the control means, when the write command is issued from the write switch, writing a predetermined number supplied by the rotary switch in the storage means, the read command is issued from the read switches, The set value is read from the storage unit, and when the read set value matches a signal indicating a predetermined number supplied by the rotary switch, the display unit displays the match. Have
このように構成することにより、読み出しスイッチにより読出し命令を発行し、ロータリスイッチを回しながら表示手段の状態を確認することにより、セットポイントを特定するための設定値を容易に知ることができる。
また、表示手段に例えば安価なＬＥＤを用いることにより、装置にかかるコストの増大を抑制することができる。
By configuring in this way, it is possible to easily know the set value for specifying the set point by issuing a read command with the read switch and checking the state of the display means while turning the rotary switch.
In addition, by using, for example, an inexpensive LED for the display means, it is possible to suppress an increase in cost of the apparatus.
また、前記制御手段は、前記記憶手段に対し前記設定値を書き込み可能であって、前記制御手段に対し前記設定値の書き込み制御を行なうための書き込みスイッチをさらに備え、前記制御手段は、前記書き込みスイッチから書き込み命令が発行されると、前記ロータリスイッチにより供給された所定数を前記記憶手段に書き込むことが望ましい。
このように構成すれば、書き込みスイッチにより書き込み命令を発行し、ロータリスイッチにより所望の値を指定することにより、セットポイントを特定するための設定値を容易に設定することができる。
The control means may further include a write switch that is capable of writing the set value to the storage means, and performs write control of the set value to the control means, and the control means includes the write When a write command is issued from the switch, it is desirable to write a predetermined number supplied by the rotary switch to the storage means.
With this configuration, a setting value for specifying a set point can be easily set by issuing a write command with the write switch and specifying a desired value with the rotary switch.
前記した課題を解決するために、本発明に係るトランスデューサ型真空計の制御方法は、セットポイントが設定されると共に、計測したチャンバ内の圧力と前記セットポイントとに基づきチャンバ内の圧力制御を行なうトランスデューサ型真空計の制御方法において、前記記憶手段に前記セットポイントを特定するための設定値を記録する際、前記設定値の書き込み制御を行なうための書き込みスイッチにより書き込みモードに入るステップと、前記書き込みモードの状態で前記書き込みスイッチにより書き込み命令が発行されると、前記ロータリスイッチにより出力された所定数を前記記憶手段に書き込むステップとを実行し、前記記憶手段から前記設定値を読み出す際、前記セットポイントを特定するための設定値が記録された前記記憶手段に対し、読出しスイッチを用いて読出し命令を行なうステップと、ロータリスイッチにより所定数を示す信号を出力するステップと、前記読出しスイッチの読出し命令により読み出された前記設定値と前記ロータリスイッチにより出力された所定数を示す信号とが一致した場合に、少なくとも２値表示可能な表示手段により当該一致を示す表示を行なうステップとを実行する、ことに特徴を有する。 In order to solve the above-described problems, a control method for a transducer-type vacuum gauge according to the present invention sets a set point, and controls the pressure in the chamber based on the measured pressure in the chamber and the set point. In the control method of the transducer type vacuum gauge, when recording a setting value for specifying the set point in the storage means, a step of entering a writing mode by a writing switch for performing writing control of the setting value; and the writing When a write command is issued by the write switch in the mode state, a step of writing a predetermined number output by the rotary switch into the storage means is executed, and when the setting value is read from the storage means, The memory in which setting values for specifying points are recorded A step of performing a read command using a read switch for the stage, a step of outputting a signal indicating a predetermined number by the rotary switch, and the setting value read by the read command of the read switch and the output by the rotary switch When the signal indicating the predetermined number matches, the step of displaying the match by at least binary display means is executed .
このようなステップを踏むことにより、読み出しスイッチにより読出し命令を発行し、ロータリスイッチを回しながら表示手段の状態を確認することにより、セットポイントを特定するための設定値を容易に知ることができる。
また、表示手段に例えば安価なＬＥＤを用いることにより、装置にかかるコストの増大を抑制することができる。
By taking such steps, it is possible to easily know the set value for specifying the set point by issuing a read command by the read switch and checking the state of the display means while turning the rotary switch.
In addition, by using, for example, an inexpensive LED for the display means, it is possible to suppress an increase in cost of the apparatus.
尚、前記記憶手段に前記設定値を記録する際、前記設定値の書き込み制御を行なうための書き込みスイッチにより書き込みモードに入るステップと、前記書き込みモードの状態で前記書き込みスイッチにより書き込み命令が発行されると、前記ロータリスイッチにより出力された所定数を前記記憶手段に書き込むステップと、を実行することが望ましい。
このように、書き込みスイッチにより書き込みモードとし、ロータリスイッチにより所望の値を指定することにより、セットポイントを特定するための設定値を容易に設定することができる。
When recording the set value in the storage means, a step of entering a write mode by a write switch for performing a write control of the set value, and a write command is issued by the write switch in the state of the write mode. And writing the predetermined number output by the rotary switch into the storage means.
As described above, the setting value for specifying the set point can be easily set by setting the writing mode with the writing switch and specifying the desired value with the rotary switch.
本発明によれば、トランスデューサ型真空計において、セットポイントの設定と、設定されたセットポイントの読み出しとを容易に行なうことができるトランスデューサ型真空計及びその制御方法を得ることができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, in a transducer type vacuum gauge, the transducer type vacuum gauge which can perform the setting of a set point and the reading of the set set point easily, and its control method can be obtained.
以下、本発明に係るトランスデューサ型真空計及びその制御方法の実施の形態について図面に基づき説明する。図１は本発明に係るトランスデューサ型真空計の構成を示すブロック図である。 Embodiments of a transducer type vacuum gauge and its control method according to the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a transducer type vacuum gauge according to the present invention.
図示するように、このトランスデューサ型真空計１は、チャンバ１０に接続され、その内部の圧力制御が可能となされている。尚、チャンバ１０は、電磁バルブ１１を介して真空ポンプであるロータリポンプ１２に接続され、このロータリポンプ１２による吸引により内部が真空状態となるよう構成されている。
また、電磁バルブ１１の開閉動作は、トランスデューサ型真空計１から出力されるリレーオン／オフ信号により制御される。
As shown in the figure, this transducer type vacuum gauge 1 is connected to a
The opening / closing operation of the
図１に示すようにトランスデューサ型真空計１は、前記リレーオン／オフ信号を出力する制御部２（制御手段）を備え、この制御部２はチャンバ１０内の圧力値を検出する圧力計３が検出したチャンバ１０内の圧力値に基づき前記リレーオン／オフ信号を出力する。
As shown in FIG. 1, the transducer type vacuum gauge 1 includes a control unit 2 (control means) that outputs the relay on / off signal. The control unit 2 detects the pressure value in the
また、トランスデューサ型真空計１において、制御部２には、セットポイントを設定する際に用いるセットポイントスイッチ４（書き込みスイッチ）と、設定されたセットポイントを（変更する等により）読み出す際に用いるキャリブレーションスイッチ５（読出しスイッチ）と、セットポイントの設定／読出し時に用い、１６進数で“０〜Ｆ”のいずれかの数字に相当する信号を出力するロータリスイッチ６とが接続され、各スイッチからの信号が供給されるように構成されている。尚、ロータリスイッチ６から出力される“０〜Ｆ”の各信号に対しては、制御部２において予め“−９〜６”までのいずれかの整数値が割り当てられており、制御部２では、供給された“０〜Ｆ”のいずれかの信号を“−９〜６”までのいずれかの整数値に変換し、図４の指数表示における仮数Ａまたは指数Ｂとして設定するようになされている。 In the transducer type vacuum gauge 1, the control unit 2 includes a set point switch 4 (write switch) used when setting a set point and a calibration used when reading the set point (by changing the set point). Switch 5 (readout switch) and rotary switch 6 that outputs a signal corresponding to one of the numbers “0 to F” in hexadecimal notation are used for setting / reading setpoints. A signal is supplied. Note that any integer value from “−9 to 6” is assigned in advance to the control unit 2 for each signal of “0 to F” output from the rotary switch 6. The supplied signal “0 to F” is converted into any integer value from “−9 to 6” and set as the mantissa A or the exponent B in the exponent display of FIG. Yes.
また、トランスデューサ型真空計１において、セットポイントの値を記録するための記憶手段であるＥＥＰＲＯＭ７（電気的に消去可能なＲＯＭ）が設けられ、制御部２がＥＥＰＲＯＭ７に対し、書き込み或いは読み出しの制御信号を供給するようになされている。
尚、ＥＥＰＲＯＭ７には、セットポイントを特定するための設定値として、図４に示す指数表示において仮数Ａと指数Ｂとが夫々記録される。
Further, the transducer type vacuum gauge 1 is provided with an EEPROM 7 (electrically erasable ROM) which is a storage means for recording a set point value, and the control unit 2 writes or reads control signals to the
The EEPROM 7 records mantissa A and exponent B in the exponent display shown in FIG. 4 as setting values for specifying the set point.
さらに、トランスデューサ型真空計１には、セットポイントの値を設定する際或いはセットポイントを読み出す際において操作者の操作確認の為に橙色もしくは緑色に発光するＳＰ１−ＬＥＤ８とＳＰ−ＬＥＤ９とが設けられている。即ち、これらＳＰ１−ＬＥＤ８，ＳＰ２−ＬＥＤ９は夫々、少なくとも２値表示が可能な表示手段であり、消灯、点灯、点滅によりセットポイントの設定、読出しに係るモードを表すようになされている。 Further, the transducer type vacuum gauge 1 is provided with an SP1-LED 8 and an SP-LED 9 which emit orange or green light for checking the operation of the operator when setting the set point value or reading the set point. ing. That is, each of the SP1-LED8 and SP2-LED9 is a display means capable of at least binary display, and indicates a mode related to setting and reading of a set point by turning off, lighting, and blinking.
このように構成されたトランスデューサ型真空計１において、チャンバ１０内の圧力が略セットポイント値となるよう制御する場合、制御部３は、圧力計３が検出するチャンバ１０内の圧力値とＥＥＰＲＯＭ７に記憶されたセットポイントの値とを比較する。
In the transducer type vacuum gauge 1 configured as described above, when the pressure in the
そして、検出された圧力値がセットポイントよりも高ければリレーオン信号を出力して電磁バルブ１１を開き、ロータリポンプ１２によりチャンバ１０内に対し吸引動作を行い、チャンバ１０内の圧力を引き下げるようになされる。
一方、圧力計３により検出された圧力値がセットポイント（チャタリング防止のため、実際にはセットポイントにヒステリシスを加味した値）以下であればリレーオフ信号を出力して電磁バルブ１１を閉じ、チャンバ内１０内の圧力を維持するよう制御される。
If the detected pressure value is higher than the set point, a relay-on signal is output, the
On the other hand, if the pressure value detected by the pressure gauge 3 is equal to or less than the set point (actually, the hysteresis is added to the set point to prevent chattering), the relay valve is output and the
続いて、トランスデューサ型真空計１におけるセットポイントの設定及び読み出しについて図２のフローに基づき説明する。
セットポイントの設定及び読出し前において、電源オン／オフを示すパワーＬＥＤ１３は点灯または点滅状態となされている。
そして、セットポイントの設定または読み出しのために操作者によりセットポイントスイッチ４が押下されると（ステップＳ１）、パワーＬＥＤ１３が消灯する（ステップＳ２）。このパワーＬＥＤ１３の消灯により、操作者はセットポイントの設定または読出しモードに入ったことを認識する。
Next, setting and reading of the set point in the transducer type vacuum gauge 1 will be described based on the flow of FIG.
Prior to setting and reading of the set point, the
When the setpoint switch 4 is pressed by the operator for setting or reading the setpoint (step S1), the
セットポイントの設定を行なう場合、操作者によりセットポイントスイッチ４が押下される（ステップＳ３）。これによりＳＰ１−ＬＥＤ８が橙色に点灯する（ステップＳ４）。
このＳＰ１−ＬＥＤ８の点灯により、図４の指数表示における仮数Ａの設定モード（書き込みモード）に入る。
操作者は、ＬＥＤ８の点灯により、仮数Ａの設定モードにあることを確認すると、ロータリスイッチ６の数字を所望の指数（所定数）に合わせ、セットポイントスイッチ４を押下する（ステップＳ５）。
When setting a set point, the operator presses the set point switch 4 (step S3). As a result, the SP1-LED 8 is lit in orange (step S4).
When the SP1-LED 8 is turned on, the mantissa A setting mode (writing mode) in the exponent display of FIG. 4 is entered.
When the operator confirms that the mantissa A is in the setting mode by turning on the LED 8, the operator sets the number of the rotary switch 6 to a desired index (predetermined number) and presses the setpoint switch 4 (step S5).
ステップＳ５でセットポイントスイッチ４が押下されると、仮数Ａの仮設定がなされ、その旨がＳＰ１−ＬＥＤ８の橙色の点滅により通知される（ステップＳ６）。
また、ＳＰ１−ＬＥＤ８の点滅により図４の指数表示における指数Ｂの設定モード（書き込みモード）に入る。
操作者は、ＳＰ１−ＬＥＤ８の点滅により、指数Ｂの設定モードにあることを確認すると、ロータリスイッチ６の数字を所望の指数（所定数）に合わせ、セットポイントスイッチ４を押下する（ステップＳ７）。
When the setpoint switch 4 is pressed in step S5, the mantissa A is temporarily set, and this is notified by the blinking of the SP1-LED 8 in orange (step S6).
Moreover, the setting mode (writing mode) of the index B in the index display of FIG.
When the operator confirms that the index B setting mode is in effect by blinking the SP1-LED 8, the number of the rotary switch 6 is set to a desired index (predetermined number) and the setpoint switch 4 is pressed (step S7). .
ステップＳ７でセットポイントスイッチ４が押下されると、指数Ｂの仮設定がなされ、その旨がＳＰ２−ＬＥＤ９の橙色の点灯により通知される（ステップＳ８）。
また、ステップＳ７でセットポイントスイッチ４が押下されると、仮設定した仮数Ａ及び指数ＢがＥＥＰＲＯＭ７に書き込まれ（ステップＳ９）、設定完了となる（ステップＳ１０）。
When the set point switch 4 is pressed in step S7, the index B is temporarily set, and this is notified by the orange lighting of the SP2-LED 9 (step S8).
When the setpoint switch 4 is pressed in step S7, the temporarily set mantissa A and the exponent B are written in the EEPROM 7 (step S9), and the setting is completed (step S10).
一方、ＥＥＰＲＯＭ７に記憶されたセットポイントを読み出す場合、ステップＳ３において、操作者によりキャリブレーションスイッチ５が押下される。これによりＳＰ１−ＬＥＤ８が緑色に点灯する（ステップＳ１１）。
また、ステップＳ１１においてＳＰ１−ＬＥＤ８が点灯すると、図４の指数表示における仮数Ａの読出しモードに入る。
On the other hand, when reading the set point stored in the
When SP1-LED8 is turned on in step S11, the mantissa A reading mode in the exponent display of FIG. 4 is entered.
操作者は、ＳＰ１−ＬＥＤ８の点灯により、仮数Ａの読出しモードにあることを確認すると、ロータリスイッチ６を回し、その間に仮数Ａの値が一致すると（ステップＳ１２）、その旨がＳＰ１−ＬＥＤ８の緑色の点滅により通知される（ステップＳ１３）。
即ち、制御部２においては、（キャリブレーションスイッチ５による読出し命令により）読出しモードに入ると、ＥＥＰＲＯＭ７から記録された仮数Ａを読出し、ロータリスイッチ６から出力された所定数と比較し、一致した場合にＬＥＤ８を点滅させる制御を行なう。
When the operator confirms that the mantissa A is in the reading mode of the mantissa A by turning on the SP1-LED 8, when the operator turns the rotary switch 6 and the value of the mantissa A coincides therewith (step S12), this is indicated in the SP1-LED 8. Notification is made by blinking green (step S13).
That is, when the control unit 2 enters the read mode (by a read command from the calibration switch 5), the mantissa A recorded from the
また、ステップＳ１３でのＳＰ１−ＬＥＤ８の緑色の点滅により、図４の指数表示における指数Ｂの読出しモードに入る。
操作者は、ＳＰ１−ＬＥＤ８の点灯により、指数Ｂの読出しモードにあることを確認すると、ロータリスイッチ６を回し、その間に指数Ｂの値が一致すると（ステップＳ１４）、その旨がＳＰ２−ＬＥＤ９の緑色の点灯により通知される（ステップＳ１５）。また、これにより仮数Ａと指数Ｂの読出しが終了する（ステップＳ１０）。
即ち、制御部２においては、読出しモードにおいて、仮数Ａの特定が完了すると、ＥＥＰＲＯＭ７から記録された指数Ｂを読出し、ロータリスイッチ６から出力された所定数と比較し、一致した場合にＳＰ２−ＬＥＤ９を点灯させる制御を行なう。
Further, when the SP1-LED 8 blinks green in step S13, the index B reading mode in the index display of FIG. 4 is entered.
When the operator confirms that the index B readout mode is in effect by turning on the SP1-LED 8, when the operator turns the rotary switch 6 and the value of the index B matches during that time (step S14), the fact of the SP2-LED 9 Notification is made by lighting in green (step S15). This completes reading of the mantissa A and the exponent B (step S10).
That is, in the reading mode, when the specification of the mantissa A is completed in the reading mode, the index B recorded from the
操作者は、ステップＳ１３でのＳＰ１−ＬＥＤ８の点滅、及びステップＳ１５でのＳＰ２＿ＬＥＤ９の点灯により、そのときのロータリスイッチ６の位置からＥＥＰＲＯＭ７に記憶されている仮数Ａ及び指数Ｂを知ることができる。即ち、これにより設定されたセットポイントを特定することができる。
The operator can know the mantissa A and the exponent B stored in the
以上のように本発明にかかる実施の形態によれば、セットポイントの設定の際には、セットポイントスイッチ４により設定モードとし、ロータリスイッチ６により所望の値を指定することにより、セットポイントを特定するための仮数Ａ及び指数Ｂを容易に設定することができる。
また、セットポイントの読出しの際には、キャリブレーションスイッチ５により読出しモードとし、ロータリスイッチ６を回しながらＳＰ１−ＬＥＤ８及びＳＰ２−ＬＥＤ９の点灯状態を確認することにより、セットポイントを特定するための仮数Ａ及び指数Ｂを容易に知ることができる。
また、表示手段として安価なＬＥＤを用いることができるため、装置にかかるコストの増大を抑制することができる。
As described above, according to the embodiment of the present invention, when setting a set point, the set point is specified by the set point switch 4 and the rotary switch 6 specifying a desired value. Therefore, the mantissa A and the index B can be easily set.
Further, when reading the set point, the mantissa for specifying the set point by setting the reading mode by the calibration switch 5 and checking the lighting state of the SP1-LED 8 and the SP2-LED 9 while turning the rotary switch 6. A and index B can be easily known.
In addition, since an inexpensive LED can be used as the display means, an increase in cost of the apparatus can be suppressed.
本発明は、半導体製造工程等において、ロータリポンプ等により真空引きされるチャンバ内の圧力を制御するトランスデューサ型真空計に好適に用いることができる。 The present invention can be suitably used for a transducer type vacuum gauge that controls the pressure in a chamber evacuated by a rotary pump or the like in a semiconductor manufacturing process or the like.
１ トランスデューサ型真空計
２ 制御部（制御手段）
３ 圧力計
４ セットポイントスイッチ（読出しスイッチ）
５ キャリブレーションスイッチ（書き込みスイッチ）
６ ロータリスイッチ
７ ＥＥＰＲＯＭ（記憶手段）
８ ＳＰ１−ＬＥＤ（表示手段）
９ ＳＰ２−ＬＥＤ（表示手段）
１０ チャンバ
１１ 電磁バルブ
１２ ロータリポンプ
１３ パワーＬＥＤ
1 Transducer type vacuum gauge 2 Control unit (control means)
3 Pressure gauge 4 Setpoint switch (readout switch)
5 Calibration switch (write switch)
6
8 SP1-LED (display means)
9 SP2-LED (display means)
10
Claims (2)
前記セットポイントを特定するための設定値を記録する記憶手段と、
前記記憶手段に対して前記設定値を書き込み可能であって、かつ前記記憶手段に記録された前記設定値を読み出し可能な制御手段と、
前記制御手段に対し前記設定値の書き込み制御を行なうための書き込みスイッチと、
前記制御手段に対し前記設定値の読出し命令を行なうための読出しスイッチと、
所定数を示す信号を前記制御手段に供給するためのロータリスイッチと、
前記制御手段の制御により少なくとも２値表示可能な表示手段とを備え、
前記制御手段は、
前記書き込みスイッチから書き込み命令が発行されると、前記ロータリスイッチにより供給された所定数を前記記憶手段に書き込み、
前記読出しスイッチから読出し命令が発行されると、前記記憶手段より前記設定値を読み出し、読み出された前記設定値と前記ロータリスイッチにより供給された所定数を示す信号とが一致した場合に前記表示手段により当該一致を示す表示を行なうことを特徴とするトランスデューサ型真空計。 In the transducer type vacuum gauge that sets the set point and controls the pressure in the chamber based on the measured pressure in the chamber and the set point,
Storage means for recording a setting value for specifying the set point;
Control means capable of writing the set value to the storage means and capable of reading the set value recorded in the storage means;
A write switch for performing write control of the set value to the control means;
A read switch for instructing the control means to read the set value;
A rotary switch for supplying a signal indicating a predetermined number to the control means;
Display means capable of at least binary display under the control of the control means,
The control means includes
When a write command is issued from the write switch, the predetermined number supplied by the rotary switch is written to the storage means,
When a read command is issued from the read switch, the set value is read from the storage means, and the display is performed when the read set value matches a signal indicating a predetermined number supplied by the rotary switch. A transducer-type vacuum gauge characterized by displaying the coincidence by means.
前記記憶手段に前記セットポイントを特定するための設定値を記録する際、
前記設定値の書き込み制御を行なうための書き込みスイッチにより書き込みモードに入るステップと、
前記書き込みモードの状態で前記書き込みスイッチにより書き込み命令が発行されると、前記ロータリスイッチにより出力された所定数を前記記憶手段に書き込むステップとを実行し、
前記記憶手段から前記設定値を読み出す際、
前記セットポイントを特定するための設定値が記録された前記記憶手段に対し、読出しスイッチを用いて読出し命令を行なうステップと、
ロータリスイッチにより所定数を示す信号を出力するステップと、
前記読出しスイッチの読出し命令により読み出された前記設定値と前記ロータリスイッチにより出力された所定数を示す信号とが一致した場合に、少なくとも２値表示可能な表示手段により当該一致を示す表示を行なうステップとを実行する、
ことを特徴とするトランスデューサ型真空計の制御方法。 In the control method of the transducer type vacuum gauge, in which the set point is set and the pressure in the chamber is controlled based on the measured pressure in the chamber and the set point,
When recording a setting value for specifying the set point in the storage means,
Entering a write mode with a write switch for performing write control of the set value;
When a write command is issued by the write switch in the state of the write mode, executing a step of writing a predetermined number output by the rotary switch to the storage means,
When reading the set value from the storage means,
A step of performing a read command using a read switch for the storage means in which a setting value for specifying the set point is recorded;
Outputting a signal indicating a predetermined number by a rotary switch;
When the set value read by the read command of the read switch and the signal indicating the predetermined number output by the rotary switch match, display indicating the match is performed by display means capable of at least binary display. Execute steps ,
A method for controlling a transducer type vacuum gauge.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP2008267933A JP2008267933A (en) | 2008-11-06 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2007110064A Active JP5088814B2 (en) | 2007-04-19 | 2007-04-19 | Transducer type vacuum gauge and control method thereof |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5088814B2 (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2931061B2 (en) * | 1990-09-25 | 1999-08-09 | 株式会社リコー | Scanner optical system controller |
| JPH09178593A (en) * | 1995-12-27 | 1997-07-11 | Ckd Corp | Pressure detector |
| JP4443080B2 (en) * | 2001-09-21 | 2010-03-31 | 新明和工業株式会社 | Vacuum exhaust system and operation method thereof |
-
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2008267933A (en) | 2008-11-06 |
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