JP5087320B2 - Optical scanning apparatus and image forming apparatus - Google Patents

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Description

本発明は、光走査装置及び画像形成装置に係り、更に詳しくは、光ビームにより被走査面を走査する光走査装置、及び該光走査装置を備える画像形成装置に関する。   The present invention relates to an optical scanning apparatus and an image forming apparatus, and more particularly, to an optical scanning apparatus that scans a surface to be scanned with a light beam, and an image forming apparatus including the optical scanning apparatus.

カールソンプロセスを用いて画像を形成する画像形成装置としては、例えば、回転する感光ドラムの表面を光ビームで走査することにより、感光ドラム表面に潜像を形成し、この潜像を可視化して得られたトナー像を、記録媒体としての用紙上に定着させて画像を形成する画像形成装置が知られている。近年、この種の画像形成装置は、オンデマンドプリンティングシステムとして簡易印刷によく用いられるようになり、画像の高密度化及び画像出力の高速化への要求が一層高まっている。   As an image forming apparatus that forms an image using the Carlson process, for example, a surface of a rotating photosensitive drum is scanned with a light beam to form a latent image on the surface of the photosensitive drum, and the latent image is visualized. There is known an image forming apparatus that forms an image by fixing the toner image on a sheet as a recording medium. In recent years, this type of image forming apparatus is often used for simple printing as an on-demand printing system, and demands for higher image density and faster image output are increasing.

一般に、画像出力の高速化を図る方法としては、光ビームを偏向させる偏向器の回転数と感光ドラムの回転数を高くして、プリント速度を増加させることが考えられる。しかしながら、偏向器の回転数を高くすると、その駆動系からの騒音や振動が増加するとともに消費電力も増大し、装置の耐久性が低下してしまう。また、画像出力の高速化は、画像の高密度化に対しトレードオフの関係になっているため、偏向器の回転数を高くしていくと、それにともなって画質が低下するという不都合もある。   In general, as a method for speeding up image output, it is conceivable to increase the rotation speed of a deflector for deflecting a light beam and the rotation speed of a photosensitive drum to increase the printing speed. However, when the rotation speed of the deflector is increased, noise and vibration from the drive system increase, power consumption increases, and the durability of the apparatus decreases. Also, high-speed image output, since that is a trade-off relationship with respect to density of an image, there As you increase the rotational speed of the deflector, also inconvenience the image quality is reduced accordingly.

そこで、画像の高密度化及び画像出力の高速化を同時に両立する方法として、光源をマルチビーム化し、一度に複数本の光ビームにより感光ドラムを走査する画像形成装置が提案されている。この画像形成装置は、光ビームの光源として、複数の発光源を有する面発光型レーザアレイ(VCSEL: vertical cavity surface emitting laser)からの発散光を、一括して偏向器により偏向させることで、感光ドラム上を同時に複数本の光ビームで走査することが可能な装置である。   Therefore, as a method for simultaneously achieving higher image density and higher image output speed, an image forming apparatus has been proposed in which a light source is made into a multi-beam and a photosensitive drum is scanned with a plurality of light beams at a time. The image forming apparatus, as a light beam source, a surface emitting laser array having a plurality of light emitting sources: the divergent light from the (VCSEL vertical cavity surface emitting laser), by deflecting the collectively deflector, photosensitive This is a device capable of simultaneously scanning a drum with a plurality of light beams.

そして、最近では複数の光ビームを偏向させる偏向器の偏向面の幅が、複数の光ビームによる照射範囲より小さい、オーバーフィルド光学系を用いた光走査装置が提案されている(例えば特許文献1参照)。オーバーフィルド光学系を用いると、偏向面の幅を小さくすることができるため、同一直径(回転軸を中心とし、偏向器が内接するする円の直径)である従来型の偏向器に比べて、偏向面をより多く設けることが可能となる。このため、偏向器の回転数を高くすることなく、走査速度の向上を図ることができる。   Recently, an optical scanning device using an overfilled optical system in which the width of a deflecting surface of a deflector that deflects a plurality of light beams is smaller than an irradiation range of the plurality of light beams has been proposed (for example, Patent Document 1). reference). With overfilled optical system, it is possible to reduce the width of the deflecting surface (around the rotation axis, the deflector having a diameter of a circle inscribed) same diameter as compared to a conventional deflector is, More deflection surfaces can be provided. For this reason, the scanning speed can be improved without increasing the rotational speed of the deflector.

しかしながら、オーバーフィルド光学系を用いた光走査装置では、偏向面で反射した光ビームの光量分布が不均一となるという不都合がある。さらに、上述の面発光型レーザアレイなどでは、光ビーム発散角が小さいため、偏向面に入射する光ビームの光量分布が、端面発光型のレーザなどに比べてやや不均一である。このため、面発光型の光源とオーバーフィルド光学系の双方を組み合わせるには、光ビームの光量分布を均一にする技術が必要となる。   However, the optical scanning device using the overfilled optical system has a disadvantage that the light amount distribution of the light beam reflected by the deflecting surface is not uniform. Further, in the above-described surface-emitting laser array or the like, the light beam divergence angle is small, so that the light amount distribution of the light beam incident on the deflecting surface is slightly non-uniform compared to the edge-emitting laser or the like. For this reason, in order to combine both the surface-emitting light source and the overfilled optical system, a technique for making the light quantity distribution of the light beam uniform is required.

特開2003−270577号公報JP 2003-270777 A

本発明は、係る事情の下になされたもので、その第1の目的は、面発光型の光源をオーバーフィルド光学系に適用する際に、走査光の光量分布不均一性を改善し、高精度に被走査面を走査することが可能な光走査装置を提供することにある。   The present invention has been made under such circumstances. The first object of the present invention is to improve the non-uniformity of the light amount distribution of scanning light when applying a surface-emitting light source to an overfilled optical system. An object of the present invention is to provide an optical scanning device capable of scanning a surface to be scanned with high accuracy.

また、本発明の第2の目的は、高精度に画像を形成することが可能な画像形成装置を提供することにある。   A second object of the present invention is to provide an image forming apparatus capable of forming an image with high accuracy.

本発明は第1の観点からすると、複数の発光部を含む光源と、前記光源からの複数の光ビームを偏向して、主走査方向へ走査する偏向器と、前記複数の光ビームを前記偏向器の偏向面近傍で、前記主走査方向に直交する副走査方向に結像する結像光学系とを備える光走査装置において、前記結像光学系は、前記主走査方向に正のパワーを持つ第1及び第2の結像光学素子を有し、前記偏向器の偏向面は、前記主走査方向の寸法が、前記主走査方向の光束幅より小さく、前記第1の結像光学素子は、前記第2の結像光学素子よりも前記光源側に位置し、前記第1の結像光学素子は、前記複数の光ビームの主光線を、前記第1の結像光学素子と前記第2の結像光学素子との間にて前記主走査方向に交差させ、前記第2の結像光学素子は、前記偏向面の近傍で、前記複数の光ビームの主光線を、前記主走査方向に交差させる光走査装置である。 According to a first aspect of the present invention, a light source including a plurality of light emitting units, a deflector that deflects a plurality of light beams from the light source and scans in a main scanning direction, and the plurality of light beams deflected. And an imaging optical system that forms an image in the sub-scanning direction orthogonal to the main scanning direction in the vicinity of the deflecting surface of the scanner. The imaging optical system has a positive power in the main scanning direction. having first and second imaging optical element, the deflecting surface of the deflector, the main scanning direction dimension, rather smaller than the beam width of the main scanning direction, said first imaging optical element The first imaging optical element is positioned closer to the light source than the second imaging optical element, and the first imaging optical element transmits principal rays of the plurality of light beams to the first imaging optical element and the second imaging optical element. The second imaging optical element crosses the main scanning direction with respect to the imaging optical element, and the second imaging optical element In the vicinity of the principal rays of the plurality of light beams, an optical scanning device to intersect in the main scanning direction.

これによれば、高精度に被走査面を走査することが可能となる。 According to this, it becomes possible to scan the surface to be scanned with high accuracy.

また、本発明は第3の観点からすると、画像に関する情報から得られる潜像に基づいて形成されたトナー像を、記録媒体に定着させることにより、画像を形成する画像形成装置であって、本発明の光走査装置と;前記光走査装置により潜像が形成される感光体と;前記感光体の被走査面に形成された潜像を顕像化する現像手段と;前記現像手段により顕像化されたトナー像を前記記録媒体に定着させる転写手段と;を備える画像形成装置である。   According to a third aspect of the present invention, there is provided an image forming apparatus for forming an image by fixing a toner image formed on the basis of a latent image obtained from information relating to an image to a recording medium. An optical scanning device of the invention; a photosensitive member on which a latent image is formed by the optical scanning device; a developing unit that visualizes a latent image formed on a surface to be scanned of the photosensitive member; and a visible image formed by the developing unit An image forming apparatus comprising: transfer means for fixing the converted toner image to the recording medium.

これによれば、画像形成装置は本発明の光走査装置を備えている。このため、光量が均一な光ビームによって形成された潜像に基づいて、最終的な画像が形成される。したがって、記録媒体上に高精度に画像を形成することが可能となる。   According to this, the image forming apparatus includes the optical scanning device of the present invention. For this reason, a final image is formed based on a latent image formed by a light beam having a uniform amount of light. Therefore, it is possible to form an image on the recording medium with high accuracy.

本発明は、第4の観点からすると、多色画像に関する情報から得られる各色ごとの潜像に基づいて形成されたトナー像を、記録媒体に重ね合わせて定着させることにより、多色画像を形成する画像形成装置であって、本発明の光走査装置と;前記光走査装置により各色に応じた潜像がそれぞれ形成される複数の感光体と;前記複数の感光体の被走査面にそれぞれ形成された潜像を顕像化する現像手段と;前記現像手段により顕像化された各色ごとのトナー像を前記記録媒体に重ね合わせて定着させる転写手段と;を備える画像形成装置である。   According to a fourth aspect of the present invention, a toner image formed based on a latent image for each color obtained from information relating to a multicolor image is superimposed and fixed on a recording medium to form a multicolor image. An optical scanning device according to the present invention; a plurality of photosensitive members on which latent images corresponding to respective colors are formed by the optical scanning device; and formed on the scanned surfaces of the plurality of photosensitive members, respectively. an image forming apparatus provided with; a developing unit that visualizes the latent image is; a transfer means for fixing overlapped toner images of each color is visualized by said developing means to said recording medium.

これによれば、画像形成装置は本発明の光走査装置を備えている。このため、光量が均一な光ビームによって形成された潜像に基づいて、最終的な多色画像が形成される。したがって、記録媒体上に高精度に多色画像を形成することが可能となる。   According to this, the image forming apparatus includes the optical scanning device of the present invention. For this reason, a final multicolor image is formed based on the latent image formed by the light beam having a uniform amount of light. Therefore, a multicolor image can be formed on the recording medium with high accuracy.

《第1の実施形態》 << First Embodiment >>

以下、本発明の第1の実施形態を図1〜図8(B)に基づいて説明する。図1には、本実施形態に係る画像形成装置200の概略構成が示されている。   Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 8B. FIG. 1 shows a schematic configuration of an image forming apparatus 200 according to the present embodiment.

画像形成装置200は、カールソンプロセスを用いて、トナー像を普通紙(用紙)上に転写することにより、画像を印刷するプリンタである。この画像形成装置200は、図1に示されるように、光走査装置100、感光ドラム201、帯電チャージャ202、トナーカートリッジ204、クリーニングケース205、給紙トレイ206、給紙コロ207、レジストローラ対208、転写チャージャ211、定着ローラ209、排紙ローラ212、排紙トレイ210、及びこれらを収容するハウジング215などを備えている。   The image forming apparatus 200 is a printer that prints an image by transferring a toner image onto plain paper (paper) using a Carlson process. As shown in FIG. 1, the image forming apparatus 200 includes an optical scanning device 100, a photosensitive drum 201, a charging charger 202, a toner cartridge 204, a cleaning case 205, a paper feeding tray 206, a paper feeding roller 207, and a registration roller pair 208. A transfer charger 211, a fixing roller 209, a paper discharge roller 212, a paper discharge tray 210, and a housing 215 for housing them.

前記ハウジング215は略直方体状で、+X側及び−X側の側壁に、内部空間と連通する開口が形成されている。   The housing 215 has a substantially rectangular parallelepiped shape, and openings that communicate with the internal space are formed on the side walls on the + X side and the −X side.

前記光走査装置100は、ハウジング215の内部上方に配置され、画像情報に基づいて変調した光ビームを主走査方向(図1におけるY軸方向)へ偏向することにより、感光ドラム201の表面を走査する。なお、光走査装置100の構成については後述する。   The optical scanning device 100 is disposed above the housing 215 and scans the surface of the photosensitive drum 201 by deflecting a light beam modulated based on image information in the main scanning direction (Y-axis direction in FIG. 1). To do. The configuration of the optical scanning device 100 will be described later.

前記感光ドラム201は、その表面に、光ビームが照射されると、その部分が導電性となる性質をもつ感光層が形成された円柱状の部材であり、光走査装置100の下方にY軸方向を長手方向として配置され、不図示の回転機構により図1における時計回り(図1の矢印に示される方向)に回転されている。そして、その周囲には、図1における12時(上側)の位置に帯電チャージャ202が配置され、2時の位置にトナーカートリッジ204が配置され、6時の位置に転写チャージャ211が配置され、10時の位置にクリーニングケース205が配置されている。   The photosensitive drum 201 is a cylindrical member in which a photosensitive layer having a property that becomes conductive when irradiated with a light beam on the surface thereof. The direction is arranged as a longitudinal direction, and is rotated clockwise in FIG. 1 (direction indicated by an arrow in FIG. 1) by a rotation mechanism (not shown). Then, its circumference, is disposed a charger 202 to the position of 12 o'clock in Fig. 1 (upper), the toner cartridge 204 is disposed at the position of 2 o'clock, a transfer charger 211 is arranged on the 6 o'clock position, 10 A cleaning case 205 is disposed at the hour position.

前記帯電チャージャ202は、感光ドラム201の表面に対し所定のクリアランスを介して配置され、感光ドラム201の表面を所定の電圧で帯電させる。   The charging charger 202 is disposed with a predetermined clearance with respect to the surface of the photosensitive drum 201, and charges the surface of the photosensitive drum 201 with a predetermined voltage.

前記トナーカートリッジ204は、トナーが充填されたカートリッジ本体と、感光ドラム201とは逆極性の電圧によって帯電された現像ローラなどを備え、カートリッジ本体に充填されたトナーを現像ローラを介して感光ドラム201の表面に供給する。   The toner cartridge 204 includes a cartridge main body filled with toner, a developing roller charged with a voltage having a polarity opposite to that of the photosensitive drum 201, and the toner charged in the cartridge main body via the developing roller. Supply to the surface.

前記クリーニングケース205は、Y軸方向を長手方向とする長方形状のクリーニングブレードを備え、該クリーニングブレードの一端が感光ドラム201の表面に接するように配置されている。感光ドラム201の表面に吸着されたトナーは、感光ドラム201の回転に伴いクリーニングブレードにより剥離され、クリーニングケース205の内部に回収される。   The cleaning case 205 includes a rectangular cleaning blade whose longitudinal direction is the Y-axis direction, and is disposed so that one end of the cleaning blade is in contact with the surface of the photosensitive drum 201. The toner adsorbed on the surface of the photosensitive drum 201 is peeled off by the cleaning blade as the photosensitive drum 201 rotates, and is collected in the cleaning case 205.

前記転写チャージャ211は、感光ドラム201の表面に対し所定のクリアランスを介して配置され、帯電チャージャ202とは逆極性の電圧が印加されている。   The transfer charger 211 is arranged with a predetermined clearance with respect to the surface of the photosensitive drum 201, and a voltage having a polarity opposite to that of the charging charger 202 is applied.

前記給紙トレイ206は、ハウジング215の+X側の側壁に形成された開口から+X側端が突出した状態で配置され、外部から供給される用紙213を複数枚収容することが可能となっている。   The paper feed tray 206 is disposed in a state where the + X side end protrudes from an opening formed in the side wall on the + X side of the housing 215 and can accommodate a plurality of sheets 213 supplied from the outside. .

前記給紙コロ207は、給紙トレイ206から用紙213を1枚ずつ取り出し、1対の回転ローラから構成されるレジストローラ対208を介して、感光ドラム201と転写チャージャ211によって形成される隙間に導出する。   The paper feed roller 207 takes out from the paper feed tray 206 paper 213 one by one, through the resist roller pair 208 consists of a pair rotating rollers, the gap formed by the transfer charger 211 and the photosensitive drum 201 To derive.

前記定着ローラ209は、1対の回転ローラから構成され、用紙61を過熱するとともに加圧した後に、排紙ローラ212へ導出する。   The fixing roller 209 is composed of a pair of rotating rollers. The fixing roller 209 overheats and pressurizes the paper 61 and then guides it to the paper discharge roller 212.

前記排紙ローラ212は、1対の回転ローラなどから構成され、ハウジング215の−X側の側壁に形成された開口から−X側端が突出した状態で配置された排紙トレイ210に対し、定着ローラ209から送られる用紙213を順次スタックする。   The sheet discharge roller 212 is formed from, a pair rotating rollers, with respect to the discharge tray 210 -X side end is arranged so as to protrude from an opening formed in the side wall of the -X side of the housing 215, The sheets 213 sent from the fixing roller 209 are sequentially stacked.

次に、光走査装置100の構成について説明する。図2は光走査装置100の概略構成を示す図である。図2に示されるように、光走査装置100は、光源10と、光源10から、図2における左斜めした60度の方向に順次配列された、カップリングレンズ11、アパーチャ部材12、コリメートレンズ13、及びポリゴンミラー15と、該ポリゴンミラー15の+X側に順次配置された、第1走査レンズ16、及び第2走査レンズ17とを備えている。   Next, the configuration of the optical scanning device 100 will be described. FIG. 2 is a diagram showing a schematic configuration of the optical scanning device 100. As shown in FIG. 2, the optical scanning device 100 includes a light source 10, a coupling lens 11, an aperture member 12, and a collimator lens 13 that are sequentially arranged from the light source 10 in a 60 ° oblique direction in FIG. 2. And a polygon mirror 15, and a first scanning lens 16 and a second scanning lens 17 which are sequentially arranged on the + X side of the polygon mirror 15.

前記光源10は、発光源として例えばVCSELが2次元配置された面発光型半導体レーザアレイであり、図3に示されるように、発光面(−x側の面)上に、40のVCSELが、y軸と角度θをなす直線Lと平行な方向を行方向とし、z軸と平行な方向を列方向とする8行5列のマトリクス状に配置されている。各VCSELは、ニア・フィールド・パターンの直径が4μmであり、波長780nmの光ビームが、主走査方向及び副走査方向の発散角を7±1度としてそれぞれ射出される。また、本実施形態では、行間隔Dzは24.0μmで、列間隔Dyは23.9μmとなっており、各VCSELのZ軸方向(副走査方向)に関し隣り合うVCSELの間隔dzは4.8μm(=Dz/5)となっている。なお、以下の説明においては、図3に示されるように、m行目のn列目に位置するVCSELを便宜上VCSELmnと表現するものとする。 The light source 10 is a surface emitting semiconductor laser array in which, for example, VCSELs are two-dimensionally arranged as light emitting sources. As shown in FIG. 3, 40 VCSELs are formed on the light emitting surface (the surface on the −x side). They are arranged in a matrix of 8 rows and 5 columns with the direction parallel to the straight line L forming the angle θ with the y axis as the row direction and the direction parallel to the z axis as the column direction. Each VCSEL has a near-field pattern diameter of 4 μm, and a light beam having a wavelength of 780 nm is emitted with a divergence angle of 7 ± 1 degrees in the main scanning direction and the sub-scanning direction. In this embodiment, the row interval Dz is 24.0 μm, the column interval Dy is 23.9 μm, and the interval dz between adjacent VCSELs in the Z-axis direction (sub-scanning direction) of each VCSEL is 4.8 μm. (= Dz / 5). In the following description, as shown in FIG. 3, the VCSEL located in the mth row and the nth column is expressed as VCSEL mn for convenience.

図4は、VCSELの断面構造を示す概略図であり、図5は、図4における活性層周辺の拡大図である。図4及び図5を総合するとわかるように、VCSELは780nm帯のVCSELであり、n側電極20が形成されたn―GaAs基板21上に、Al0.12Ga0.88As量子井戸層24aとAl0.3Ga0.7As障壁層24bを含む活性層24が、Al0.6Ga0.4Asスペーサ層23,25に挟まれた状態で形成されている。さらに活性層24とスペーサ層23,25を含む1波長光学厚さの共振器領域は、各層λ/4の光学厚さで40.5ペアのn−Al0.3Ga0.7As高屈折率層とn−Al0.9Ga0.1Asの低屈折率層とからなる下部反射鏡22と、24ペアのp−Al0.3Ga0.7As高屈折率層とp−Al0.9Ga0.1As低屈折率層からなる上部反射鏡27とで挟まれた構成となっている。また、Al電流狭窄層26に囲まれたAlAs被選択酸化層30が共振器領域からλ/4離れたところに位置する上部反射鏡27に設けられている。なお、反射鏡22,27の各層間には抵抗値の低減のために組成が徐々に変わる不図示の組成傾斜層が含まれている。 FIG. 4 is a schematic view showing a cross-sectional structure of the VCSEL, and FIG. 5 is an enlarged view around the active layer in FIG. 4 and 5, the VCSEL is a 780 nm band VCSEL, and the Al 0.12 Ga 0.88 As quantum well layer 24a is formed on the n-GaAs substrate 21 on which the n-side electrode 20 is formed. And an active layer 24 including an Al 0.3 Ga 0.7 As barrier layer 24 b is formed between the Al 0.6 Ga 0.4 As spacer layers 23 and 25. Further, the resonator region having a one-wavelength optical thickness including the active layer 24 and the spacer layers 23 and 25 has a high refractive index of 40.5 pairs of n-Al 0.3 Ga 0.7 As with an optical thickness of each layer λ / 4. The lower reflecting mirror 22 composed of a refractive index layer and a low refractive index layer of n-Al 0.9 Ga 0.1 As, 24 pairs of p-Al 0.3 Ga 0.7 As high refractive index layer and p-Al The structure is sandwiched between the upper reflecting mirror 27 made of a 0.9 Ga 0.1 As low refractive index layer. An AlAs selectively oxidized layer 30 surrounded by the Al x O y current confinement layer 26 is provided on the upper reflecting mirror 27 located at a distance of λ / 4 from the resonator region. Note that a composition gradient layer (not shown) whose composition gradually changes to reduce the resistance value is included between the layers of the reflecting mirrors 22 and 27.

ここで、前記光源10に設けられたVCSELの形成方法について説明する。まず、上記各層を有機金属気相成長法(MOCVD法)あるいは分子線結晶成長法(MBE法)を用いた結晶成長法によって作成する。   Here, a method for forming a VCSEL provided in the light source 10 will be described. First, each of the above layers is formed by a crystal growth method using a metal organic chemical vapor deposition method (MOCVD method) or a molecular beam crystal growth method (MBE method).

次に、ドライエッチング法により素子領域となる領域の周囲に、例えば深さ4.5μmの溝を形成することによりメサ形状を形成する。エッチング底面は少なくともAlAs被選択酸化層30を超えたところに設けるのが一般的である。   Next, a mesa shape is formed by forming a groove having a depth of, for example, 4.5 μm around the region to be an element region by dry etching. In general, the etching bottom surface is provided at least beyond the AlAs selective oxidation layer 30.

次に、エッチングによる溝形成工程により側面が露出したAlAs被選択酸化層30を、水蒸気中で熱処理することで周辺を酸化させAlの絶縁物層に変える。これにより、素子駆動電流の経路を中心部の酸化されていないAlAs領域だけに制限する電流狭窄構造が形成される。 Next, the AlAs selectively oxidized layer 30 whose side surface is exposed by the groove forming step by etching is heat-treated in water vapor to oxidize the periphery and change it to an Al x O y insulator layer. As a result, a current confinement structure is formed that restricts the path of the element driving current only to the unoxidized AlAs region at the center.

次に、各素子領域上の上部電極31が形成される領域及び光出射部32を除いて、例えば厚さ150nmのSiO保護層(不図示)を形成し、さらにポリイミド29でエッチング部を埋め込んで平坦化する。 Next, a SiO 2 protective layer (not shown) having a thickness of 150 nm, for example, is formed except for the region where the upper electrode 31 is formed on each element region and the light emitting portion 32, and the etched portion is embedded with polyimide 29. Flatten with.

次に、各素子領域におけるpコンタクト層28と光出射部のある上部反射鏡上のポリイミドとSiO保護層(不図示)を除去し、pコンタクト層28上の光射出部32以外にP側個別電極31を形成し、n―GaAs基板21の下面にn側電極を形成する。 Next, the polyimide and SiO 2 protective layer (not shown) on the upper reflecting mirror having the p contact layer 28 and the light emitting portion in each element region are removed, and the P side other than the light emitting portion 32 on the p contact layer 28 is removed. An individual electrode 31 is formed, and an n-side electrode is formed on the lower surface of the n-GaAs substrate 21.

本実施形態の場合、ドライエッチング法により形成されたメサ部が各面発光レーザ素子となる。光源10のVCSELの配置は、本発明の発光源の配置に沿ったフォトマスクを形成し、次に通常のフォトリソグラフ工程によりエッチング用マスクを形成し、エッチングを施すことで実現することができる。アレイの各素子を電気的かつ空間的に分離するためには、素子と素子の間の溝を4〜5μm程度以上とすることが好ましい。あまり狭いとエッチングの制御が難しくなるからである。また、メサ部は円形の他に、楕円形、正方形、又は長方形など任意の形状とすることができる。また、大きさ(直径など)は10μm程度以上とすることが好ましい。あまり小さいと素子動作時に熱がこもり発光特性が悪化するからである。   In the case of this embodiment, the mesa portion formed by the dry etching method becomes each surface emitting laser element. The arrangement of the VCSEL of the light source 10 can be realized by forming a photomask according to the arrangement of the light emitting source of the present invention, then forming an etching mask by a normal photolithographic process, and performing etching. In order to electrically and spatially separate each element of the array, it is preferable that the groove between the elements is about 4 to 5 μm or more. This is because if it is too narrow, it becomes difficult to control etching. In addition to the circular shape, the mesa portion can have any shape such as an oval, a square, or a rectangle. The size (diameter, etc.) is preferably about 10 μm or more. This is because if it is too small, heat is accumulated during device operation and the light emission characteristics deteriorate.

なお、前述した780nm帯の面発光型レーザは、別の材料でも作製できる。図6には別材料で作成した活性層周辺の拡大図が示されている。図6に示されるように、この面発光型のレーザでは、活性層は、圧縮歪組成であってバンドギャップ波長が780nmとなる3層のGaInPAs量子井戸活性層24cと、格子整合する4層の引っ張り歪みを有するGa0.6In0.4P障壁層24dとから構成され、電子を閉じ込めるためのクラッド層23,25(本実施形態ではスペーサ層)としてワイドバンドギャップである(Al0.7Ga0.30.5In0.5Pが用いられている。キャリア閉じ込めのクラッド層をAlGaAs系で形成した場合に比べて、クラッド層と量子井戸活性層とのバンドギャップ差を極めて大きく取ることができる。 Note that the above-described surface emitting laser in the 780 nm band can be manufactured using another material. FIG. 6 shows an enlarged view around the active layer made of another material. As shown in FIG. 6, in this surface emitting laser, the active layer is composed of three GaInPAs quantum well active layers 24c having a compressive strain composition and a band gap wavelength of 780 nm, and four layers that are lattice-matched. The clad layers 23 and 25 (spacer layers in the present embodiment), which are composed of a Ga 0.6 In 0.4 P barrier layer 24d having tensile strain and confine electrons, have a wide band gap (Al 0.7 Ga 0.3) 0.5 in 0.5 P is used. The band gap difference between the cladding layer and the quantum well active layer can be made extremely large as compared with the case where the carrier confinement cladding layer is formed of AlGaAs.

次表1には、典型的な材料組成からなるAlGaAs(スペーサ層)/AlGaAs(量子井戸活性層)系780nm面発光型半導体レーザ、及び850nm面発光型半導体レーザと、AlGaInP(スペーサ層)/GaInPAs(量子井戸活性層)系780nm面発光型半導体レーザの、スペーサ層と井戸層、及び障壁層と井戸層とのバンドギャップ差が示されている。なお、スペーサ層とは、通常活性層と反射鏡の間にあたる層のことであって、キャリアを閉じ込めるためのクラッド層としての機能を有している層を指す。   Table 1 below shows AlGaAs (spacer layer) / AlGaAs (quantum well active layer) 780 nm surface emitting semiconductor lasers and 850 nm surface emitting semiconductor lasers having typical material compositions, and AlGaInP (spacer layer) / GaInPAs. The band gap difference between the spacer layer and the well layer and between the barrier layer and the well layer of the (quantum well active layer) system 780 nm surface emitting semiconductor laser is shown. The spacer layer is a layer that is usually between the active layer and the reflecting mirror, and refers to a layer that functions as a cladding layer for confining carriers.

次表1に示されるように、AlGaInP(スペーサ層)/GaInPAs(量子井戸活性層)系780nm面発光型半導体レーザによれば、AlGaAs/AlGaAs系780nm面発光型半導体レーザ、及びAlGaAs/AlGaAs系850nm面発光型半導体レーザよりもバンドギャップ差を大きく取れることがわかる。具体的には、クラッド層と活性層とのバンドギャップ差は、クラッド層をAlGaAsで形成した場合の465.9meV(Al組成0.6の場合)に比べて、767.3meVであり極めて大きい。障壁層と活性層とのバンドギャップ差も同様に優位差があり、良好なキャリア閉じ込めとなる。   As shown in the following Table 1, according to the AlGaInP (spacer layer) / GaInPAs (quantum well active layer) system 780 nm surface emitting semiconductor laser, the AlGaAs / AlGaAs system 780 nm surface emitting semiconductor laser, and the AlGaAs / AlGaAs system 850 nm It can be seen that the band gap difference can be made larger than that of the surface emitting semiconductor laser. Specifically, the band gap difference between the clad layer and the active layer is 767.3 meV, which is extremely large, compared with 465.9 meV (when the Al composition is 0.6) when the clad layer is formed of AlGaAs. Similarly, the band gap difference between the barrier layer and the active layer also has a dominant difference, resulting in good carrier confinement.

また、活性層が圧縮歪を有しているので、ヘビーホールとライトホールのバンド分離により利得の増加が大きくなった。また利得が増加するため、低閾値で高出力であった。なお、この効果は、GaAs基板とほぼ同じ格子定数を有するAlGaAs系の波長780nm、又は波長850nmの面発光型のレーザでは得ることができない。さらに、キャリア閉じ込め向上、歪量子井戸活性層による高利得化によって閾値を低下させることで、光取り出し側DBRの反射率を低減することが可能となり、結果として高出力化を図ることができる。   In addition, since the active layer has compressive strain, the increase in gain is increased by band separation of heavy holes and light holes. Further, since the gain increases, the output is high at a low threshold. This effect cannot be obtained with an AlGaAs-based surface emitting laser having a wavelength constant of 780 nm or a wavelength of 850 nm, which has substantially the same lattice constant as the GaAs substrate. Further, by reducing the threshold value by improving carrier confinement and increasing the gain by the strained quantum well active layer, it is possible to reduce the reflectivity of the light extraction side DBR, resulting in higher output.

また、活性層と障壁層は、Alを含んでいない材料から構成されており、Alフリー活性領域(量子井戸活性層、及びそれに隣接する層)となっている。このため、酸素の取り込み量が低下するので非発光再結合センターの形成を抑えることができ、VCSELの長寿命化を図ることができる。   The active layer and the barrier layer are made of a material that does not contain Al, and are Al-free active regions (a quantum well active layer and a layer adjacent thereto). For this reason, since the amount of oxygen taken in decreases, the formation of a non-radiative recombination center can be suppressed, and the life of the VCSEL can be extended.

図2に戻り、前記カップリングレンズ11は、焦点距離が24.7mmのレンズであり、光源10からの光ビームを略平行光に整形する。   Returning to FIG. 2, the coupling lens 11 is a lens having a focal length of 24.7 mm, and shapes the light beam from the light source 10 into substantially parallel light.

前記アパーチャ部材12は、y軸方向(主走査方向)の大きさが5.44mm、z軸方向(副走査方向)の大きさが2.10mmの矩形状又は楕円形状の開口を有し、該開口中心がカップリングレンズ11の焦点位置またはその近傍に位置するように配置されている。   The aperture member 12 has a rectangular or elliptical opening having a size in the y-axis direction (main scanning direction) of 5.44 mm and a size in the z-axis direction (sub-scanning direction) of 2.10 mm. The center of the aperture is arranged so as to be located at or near the focal position of the coupling lens 11.

コリメートレンズ13は、焦点距離が54.0mmで、主走査方向(y軸方向)に屈折力を有するレンズであり、アパーチャ部材12を通過した光ビームを、ポリゴンミラー15の反射面近傍で主走査方向に関して結像させる。   The collimating lens 13 is a lens having a focal length of 54.0 mm and having a refractive power in the main scanning direction (y-axis direction). The light beam that has passed through the aperture member 12 is scanned in the vicinity of the reflection surface of the polygon mirror 15. The image is formed with respect to the direction.

前記ポリゴンミラー15は、上面が半径7mmの円に内接する正12角形である正多角柱状の部材である。このポリゴンミラー15の12面の側面には、入射する光ビームを偏向する偏向面がそれぞれ形成され、不図示の回転機構により、Z軸に平行な軸回りに一定の角速度で回転されている。これにより、ポリゴンミラー15に入射した光ビームはY軸方向に走査される。   The polygon mirror 15 is a regular polygonal columnar member whose upper surface is a regular dodecagon with a radius of 7 mm. Deflection surfaces for deflecting the incident light beam are formed on the 12 side surfaces of the polygon mirror 15, and are rotated at a constant angular velocity around an axis parallel to the Z axis by a rotation mechanism (not shown). Thereby, the light beam incident on the polygon mirror 15 is scanned in the Y-axis direction.

前記第1走査レンズ16、及び前記第2走査レンズ17は、それぞれ中心(光軸上)の肉厚が13.5mm、及び3.5mmの、例えば樹脂製の走査レンズである。    The first scanning lens 16 and the second scanning lens 17 are scanning lenses made of, for example, resin having thicknesses at the centers (on the optical axis) of 13.5 mm and 3.5 mm, respectively.

上述した光走査装置100では、ポリゴンミラー15以降の光学系(走査光学系)の副走査横倍率が0.97倍となっている。また、走査光学系の主走査方向の焦点距離は237.8mm、副走査方向の焦点距離は71.4mmとなっており、感光ドラム201の書込み領域の幅は、図2示される点Oを中心として、主走査方向(Y軸方向)へ±105.0mmの範囲となっている。なお、点Oは、図2においてポリゴンミラー15の回転中心を通りX軸に平行な直線と感光ドラム201の被走査面が交わる点である。そして、感光ドラム201の表面上における光ビームのスポット径の狙いとしては主走査方向で52μm、副走査方向で55μmである。また、図2に示されるように、光源10及び各光学素子間の光学的距離d1、d2、d3、d4、d5、d6、d7、及び各素子の光軸方向の大きさD1、D2、D3、D4は、一例として次表2及び次表3に示される通りである。   In the optical scanning device 100 described above, the sub-scanning lateral magnification of the optical system (scanning optical system) after the polygon mirror 15 is 0.97. Further, the focal length in the main scanning direction of the scanning optical system is 237.8 mm, the focal length in the sub-scanning direction is 71.4 mm, and the width of the writing area of the photosensitive drum 201 is centered on the point O shown in FIG. In the main scanning direction (Y-axis direction), the range is ± 105.0 mm. Note that point O is a point where a straight line passing through the rotation center of the polygon mirror 15 and parallel to the X axis in FIG. 2 intersects the surface to be scanned of the photosensitive drum 201. The aim of the spot diameter of the light beam on the surface of the photosensitive drum 201 is 52 μm in the main scanning direction and 55 μm in the sub scanning direction. As shown in FIG. 2, the optical distances d1, d2, d3, d4, d5, d6, d7 between the light source 10 and each optical element, and the sizes D1, D2, D3 of each element in the optical axis direction. , D4 are as shown in Table 2 and Table 3 as an example.

次に、上述のように構成された画像形成装置200の動作について説明する。上位装置から画像情報を受信すると、画像情報に基づく変調データにより光走査装置100が駆動され、光源10からは、画像情報に基づいて変調された40本の光ビームが射出される。これらの光ビームは、カップリングレンズ11によってカップリングされた後に、アパーチャ部材12を通過することで、スポット径がそれぞれ調整される。そして、アパーチャ部材12を通過した各光ビームは、コリメートレンズ13により、ポリゴンミラー15の偏向面に集光される。   Next, the operation of the image forming apparatus 200 configured as described above will be described. When image information is received from the host device, the optical scanning device 100 is driven by modulation data based on the image information, and 40 light beams modulated based on the image information are emitted from the light source 10. After these light beams are coupled by the coupling lens 11, the spot diameters are adjusted by passing through the aperture member 12. Then, each light beam that has passed through the aperture member 12 is condensed on the deflection surface of the polygon mirror 15 by the collimating lens 13.

図7に示されるように、光源10から射出された複数の光ビームの主光線は、主走査方向に屈折力を有するコリメートレンズ13によって、ポリゴンミラー15に形成された偏向面内のある一点近傍に集光される。これにより、偏向面に入射した光ビームは、その光量が各光ビーム間で相互に不均一になることなく偏向される。以下、図8(A)及び図8(B)を参酌しつつ説明する。   As shown in FIG. 7, the principal rays of the plurality of light beams emitted from the light source 10 are in the vicinity of a certain point in the deflection surface formed on the polygon mirror 15 by the collimating lens 13 having refractive power in the main scanning direction. It is focused on. As a result, the light beam incident on the deflecting surface is deflected without the amount of light becoming nonuniform between the light beams. Hereinafter, description will be made with reference to FIGS. 8A and 8B.

図8(A)は、ポリゴンミラー15の偏向面に平行な面(以下、入射面と略述する)を仮定したときに、光源10に形成されたVCSELのうち、一行目の中央に位置するVCSEL13と、一行面の主走査方向両端に位置するVCSEL11、VCSEL15からそれぞれ射出され、主走査方向に所定距離だけ相互に離間した状態で入射面に入射する光ビームの強度を示す図である。なお、図8(A)中の横軸は入射面における主走査方向の位置座標であり、縦軸は光ビームの強度である。そして、y2はポリゴンミラー15の偏向面の主走査方向中央の位置座標であり、y1,y3は偏向面の主走査方向両端の位置座標である。また、便宜上VCSEL11、VCSEL13、VCSEL15からの光ビームをそれぞれ光ビームLB11、LB13、LB15と表現するものとする。 8A is located at the center of the first row of the VCSELs formed on the light source 10 assuming a plane parallel to the deflection surface of the polygon mirror 15 (hereinafter simply referred to as the incident surface). FIG. 6 is a diagram showing the intensity of a light beam emitted from the VCSEL 13 and VCSELs 11 and VCSELs 15 located at both ends of the main scanning direction on one line and entering the incident surface while being separated from each other by a predetermined distance in the main scanning direction. is there. Note that the horizontal axis in FIG. 8A is the position coordinate in the main scanning direction on the incident surface, and the vertical axis is the intensity of the light beam. Y2 is a position coordinate in the center of the deflection surface of the polygon mirror 15 in the main scanning direction, and y1 and y3 are position coordinates of both ends of the deflection surface in the main scanning direction. For convenience, the light beams from VCSEL 11 , VCSEL 13 , and VCSEL 15 are expressed as light beams LB 11 , LB 13 , and LB 15 , respectively.

強度が等しい光ビームLB11,LB13,LB15で、感光ドラム201の書き込み領域の中心点O近傍を走査する場合には、各光ビームLB11,LB13,LB15はZ軸に平行な偏向面に偏向され、各光ビームLB11,LB13,LB15それぞれの入射面における強度分布は、図8(A)に示される曲線L1,L2,L3で示される。上記3つの光ビームLB11,LB13,LB15のうち、2つの光ビームLB11,LB15は、その一部しか偏向面に入射しないため、偏向面に反射された後の光量は、曲線L1又はL3と、位置y1又は位置y2を通りY軸に直交する直線と、Y軸とで規定される領域A1,A3(図8(A)中に着色して示される領域)の面積に比例した光量となる。一方、光ビームLB13は、その全部が偏向面に入射するため、偏向面に反射された後の光量は、曲線L2と、Y軸とで規定される領域A2の面積に比例した光量となる。つまり、偏向面で反射された光ビームLB11,LB13,LB15それぞれの光量比は、領域A1,A2,A3の面積比に等しく、偏向面中心に入射する光ビームほど大きくなり、偏向面の主走査方向両端のエッジ近傍に入射する光ビームほど小さくなってしまう。 When the light beams LB 11 , LB 13 , and LB 15 having the same intensity are scanned near the center point O of the writing area of the photosensitive drum 201, the light beams LB 11 , LB 13 , and LB 15 are parallel to the Z axis. The intensity distribution on the incident surface of each of the light beams LB 11 , LB 13 , and LB 15 that is deflected by the deflecting surface is indicated by curves L 1, L 2, and L 3 shown in FIG. Of the three light beams LB 11 , LB 13 , and LB 15 , only two of the two light beams LB 11 and LB 15 are incident on the deflection surface, and therefore the amount of light after being reflected on the deflection surface is a curve. Proportional to the area of areas A1 and A3 (areas colored in FIG. 8A) defined by L1 or L3, a straight line passing through position y1 or position y2 and orthogonal to the Y axis, and the Y axis It becomes the light quantity. On the other hand, since all of the light beam LB 13 is incident on the deflection surface, the amount of light after being reflected by the deflection surface becomes a light amount proportional to the area of the area A2 defined by the curve L2 and the Y axis. . That is, the light quantity ratio of each of the light beams LB 11 , LB 13 , and LB 15 reflected by the deflection surface is equal to the area ratio of the regions A1, A2, and A3, and the light beam incident on the center of the deflection surface increases. The light beam incident near the edges at both ends of the main scanning direction becomes smaller.

一方、図7に示されるように、光源10から射出された複数の光ビームの主光線を、主走査方向に屈折力を有するコリメートレンズ13によって、ポリゴンミラー15に形成された偏向面内のある一点近傍に集光する場合には、各光ビームの強度分布を示す曲線は、一例として図8(B)に示されるようにほぼ重なるため、光源10から、強度が均一な複数の光ビームが射出された場合には、偏向面で反射された複数の光ビーム間の光量が均一になる。   On the other hand, as shown in FIG. 7, the principal rays of the plurality of light beams emitted from the light source 10 are within the deflection surface formed on the polygon mirror 15 by the collimating lens 13 having refractive power in the main scanning direction. In the case of focusing near one point, the curves indicating the intensity distribution of each light beam almost overlap as shown in FIG. 8B as an example, so that a plurality of light beams with uniform intensity are emitted from the light source 10. When emitted, the amount of light between the plurality of light beams reflected by the deflecting surface becomes uniform.

上記のように、回転するポリゴンミラー15の偏向面で偏向された各光ビームは、第1走査レンズ16及び第2走査レンズ17によって光ビームのスポットの主走査方向の移動速度等が調整された状態で、感光ドラム201の表面に集光される。   As described above, the light beam deflected by the deflecting surface of the polygon mirror 15 to rotate, the moving speed of the main scanning direction of the light beam spot is adjusted by the first scanning lens 16 and the second scanning lens 17 In this state, the light is condensed on the surface of the photosensitive drum 201.

一方、感光ドラム201の表面は、帯電チャージャ202によって所定の電圧で帯電されることにより、電荷が一定の電荷密度で分布している。そして、ポリゴンミラー15により偏向された光ビームにより、感光ドラム201が走査されると、光ビームが入射したところの感光層においてキャリア(電荷)が生成され、その部分では電荷移動がおこり電位が低下する。したがって、図1の矢印の方向に回転している感光ドラム201が、画像情報に基づいて変調された光ビームにより走査されることにより、表面に電荷の分布により規定される静電潜像が形成される。   On the other hand, the surface of the photosensitive drum 201 is charged with a predetermined voltage by the charging charger 202, so that charges are distributed with a constant charge density. Then, when the photosensitive drum 201 is scanned by the light beam deflected by the polygon mirror 15, carriers (charges) are generated in the photosensitive layer where the light beam is incident. To do. Accordingly, the photosensitive drum 201 rotating in the direction of the arrow in FIG. 1 is scanned with a light beam modulated based on image information, thereby forming an electrostatic latent image defined by the charge distribution on the surface. Is done.

感光ドラム201の表面に静電潜像が形成されると、トナーカートリッジ204の現像ローラにより、感光ドラム201の表面にトナーが供給される。このときトナーカートリッジ204の現像ローラは感光ドラム201と逆極性の電圧により帯電しているため、現像ローラに付着したトナーは感光ドラム201と同極性に帯電されている。したがって、感光ドラム201の表面のうち電荷が分布している部分にはトナーが付着せず、走査された部分にのみトナーが付着することにより、感光ドラム201の表面に静電潜像が可視化されたトナー像が形成される。そして、このトナー像が転写チャージャ211により用紙213に付着された後に、定着ローラ209によって定着されることで、用紙213上に画像が形成される。このようにして画像が形成された用紙213は、排紙ローラ212により排紙され、順次排紙トレイ210にスタックされる。   When an electrostatic latent image is formed on the surface of the photosensitive drum 201, toner is supplied to the surface of the photosensitive drum 201 by the developing roller of the toner cartridge 204. At this time, since the developing roller of the toner cartridge 204 is charged with a voltage having a polarity opposite to that of the photosensitive drum 201, the toner attached to the developing roller is charged with the same polarity as that of the photosensitive drum 201. Therefore, no toner adheres to the portion of the surface of the photosensitive drum 201 where the electric charges are distributed, and the toner adheres only to the scanned portion, so that the electrostatic latent image is visualized on the surface of the photosensitive drum 201. A toner image is formed. Then, after the toner image is attached to the sheet 213 by the transfer charger 211, the toner image is fixed by the fixing roller 209, thereby forming an image on the sheet 213. The paper 213 on which the image is formed in this manner is discharged by the paper discharge roller 212 and sequentially stacked on the paper discharge tray 210.

以上説明したように、本実施形態に係る光走査装置100では、偏向面に偏向された各光ビームの光量がほぼ均一になるため、感光ドラム201の書込み領域の走査は、光量が等しい複数の光ビームにより行われる。したがって、書込み領域全域をむらなく、走査することが可能となる。   As described above, in the optical scanning device 100 according to the present embodiment, the amount of light of each light beam deflected on the deflection surface is substantially uniform. This is done with a light beam. Therefore, it is possible to scan the entire writing area without unevenness.

また、一例として図3に示されるように、光源10に形成された40のVCSELは、副走査方向(Z軸方向)に関して最も離れたVCSEL間の距離(=148.0μm)が、主走査方向(Y軸方向)に関して最も離れたVCSEL間の距離(=95.6μm)よりも大きくなるように、zy平面に平行な面上に2次元的に配置されている。したがって、ポリゴンミラー15の偏向面に偏向された複数の光ビームの光量分布が不均一となることを回避することができ、高精度に被走査面を走査することが可能となる   As an example, as shown in FIG. 3, the 40 VCSELs formed in the light source 10 have a distance (= 148.0 μm) between the VCSELs farthest apart in the sub-scanning direction (Z-axis direction). It is two-dimensionally arranged on a plane parallel to the zy plane so as to be larger than the distance (= 95.6 μm) between the most distant VCSELs in the (Y-axis direction). Therefore, it is possible to avoid the light quantity distribution of the plurality of light beams deflected to the deflection surface of the polygon mirror 15 from being uneven, and it is possible to scan the surface to be scanned with high accuracy.

また、本実施形態に係る画像形成装置200は、光走査装置100を備えているため、光量が均一な光ビームによって感光ドラム201上に形成された潜像に基づいて、最終的な画像が形成される。したがって、紙面上に高精度に画像を形成することが可能となる。
《第2の実施形態》
次に、本発明の第2の実施形態を図9〜図19(C)基づいて説明する。なお、前述した第1の実施形態と同一もしくは同等の構成部分には同一の符号を用いるとともにその説明を省略もしくは簡略するものとする。
In addition, since the image forming apparatus 200 according to the present embodiment includes the optical scanning device 100, a final image is formed based on a latent image formed on the photosensitive drum 201 by a light beam having a uniform light amount. Is done. Accordingly, it is possible to form an image on the paper with high accuracy.
<< Second Embodiment >>
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In addition, the same code | symbol is used for the component which is the same as that of 1st Embodiment mentioned above, or is equivalent, and the description shall be abbreviate | omitted or simplified.

図9には、本第2の実施形態の画像形成装置が備える光走査装置100の概略構成が示されている。図9に示されるように、光走査装置100は、光源10と、光源10から図9における左斜め下60度の方向に順次配列された、カップリングレンズ11、アパーチャ部材12、コリメートレンズ13、及びポリゴンミラー15と、ポリゴンミラー15の+X側に順次配置された、第1走査レンズ16、及び第2走査レンズ17とを備えている。   FIG. 9 shows a schematic configuration of the optical scanning device 100 included in the image forming apparatus of the second embodiment. As shown in FIG. 9, the optical scanning device 100 includes a light source 10, a coupling lens 11, an aperture member 12, a collimating lens 13, and a light source 10 that are sequentially arranged from the light source 10 in the direction of 60 degrees diagonally downward to the left in FIG. And a polygon mirror 15 and a first scanning lens 16 and a second scanning lens 17 which are sequentially arranged on the + X side of the polygon mirror 15.

前記カップリングレンズ11は、焦点距離が47.7mmのレンズであり、光源10からの光ビームを略平行光に成形する。   The coupling lens 11 is a lens having a focal length of 47.7 mm, and shapes the light beam from the light source 10 into substantially parallel light.

線像形成13は、焦点距離が107.0mmで、副走査方向(Z軸方向)に屈折力を有するレンズであり、アパーチャ部材12を通過した光ビームを、ポリゴンミラー15の反射面近傍で主走査方向に関して結像させる。   Ray imaging 13 is a focal length 107.0Mm, a lens having a refractive power in the sub-scanning direction (Z axis direction), the light beam passing through the aperture member 12, the main in the vicinity of the reflecting surface of the polygon mirror 15 An image is formed in the scanning direction.

上述した光走査装置100では、光走査装置100全体としての副走査横倍率が2.18倍で、ポリゴンミラー15以降の光学系(走査光学系)の副走査横倍率が0.97倍となっている。また、走査光学系の主走査方向の焦点距離は237.8mm、副走査方向の焦点距離は71.4mmとなっており、感光ドラム201の書込み領域の幅は、図9示される点Oを中心として、主走査方向(Y軸方向)へ±105.0mmの範囲となっている。なお、点Oは、図9においてポリゴンミラー15の回転中心を通りX軸に平行な直線と感光ドラム201の被走査面が交わる点である。そして、感光ドラム201の表面上における光ビームのスポット径の狙いとしては主走査方向で52μm、副走査方向で55μmである。また、図9に示されるように、光源10及び各光学素子間の光学的距離d1、d2、d3、d4、d5、d6、d7、d8、及び各素子の光軸方向の大きさD1、D2、D3、D4は、一例として次表4及び次表5に示される通りである。   In the optical scanning device 100 described above, the sub-scanning lateral magnification of the optical scanning device 100 as a whole is 2.18 times, and the sub-scanning lateral magnification of the optical system (scanning optical system) after the polygon mirror 15 is 0.97 times. ing. Further, the focal length in the main scanning direction of the scanning optical system is 237.8 mm, the focal length in the sub-scanning direction is 71.4 mm, and the width of the writing area of the photosensitive drum 201 is centered on the point O shown in FIG. In the main scanning direction (Y-axis direction), the range is ± 105.0 mm. A point O is a point where a straight line passing through the rotation center of the polygon mirror 15 and parallel to the X axis in FIG. 9 intersects the scanned surface of the photosensitive drum 201. The aim of the spot diameter of the light beam on the surface of the photosensitive drum 201 is 52 μm in the main scanning direction and 55 μm in the sub scanning direction. Further, as shown in FIG. 9, the optical distances d1, d2, d3, d4, d5, d6, d7, d8 between the light source 10 and each optical element, and the sizes D1, D2 of each element in the optical axis direction. , D3, and D4 are as shown in Table 4 and Table 5 as an example.

次に、光学系の倍率、発光部のニア・フィールド・パターン、及びビームスポット径の関係について述べる。   Next, the relationship among the magnification of the optical system, the near field pattern of the light emitting portion, and the beam spot diameter will be described.

本第2の実施形態と同様に、カップリングレンズの焦点距離が47.7mmの光学系(主走査方向の横倍率が約5.0倍、副走査方向の横倍率が2.0倍)を用いたときのビームスポット径とデフォーカス量との関係のシミュレーション結果が、図10(A)〜図13(B)に示されている。図10(A)は、主走査方向に関するニア・フィールド・パターン(Amとする)が無限小(=0)のときの主走査方向に関するビームスポット径を示し、図10(B)は、副走査方向に関するニア・フィールド・パターン(Asとする)が無限小(=0)のときの副走査方向に関するビームスポット径を示している。図11(A)は、Amが2μmのときの主走査方向に関するビームスポット径を示し、図11(B)は、Asが2μmのときの副走査方向に関するビームスポット径を示している。図12(A)は、Amが4μmのときの主走査方向に関するビームスポット径を示し、図12(B)は、Asが4μmのときの副走査方向に関するビームスポット径を示している。図13(A)は、Amが6μmのときの主走査方向に関するビームスポット径を示し、図13(B)は、Asが6μmのときの副走査方向に関するビームスポット径を示している。   As in the second embodiment, an optical system having a coupling lens focal length of 47.7 mm (lateral magnification in the main scanning direction is about 5.0 times and lateral magnification in the sub scanning direction is 2.0 times). Simulation results of the relationship between the beam spot diameter and the defocus amount when used are shown in FIGS. 10 (A) to 13 (B). FIG. 10A shows the beam spot diameter in the main scanning direction when the near field pattern (Am) in the main scanning direction is infinitesimal (= 0), and FIG. 10B shows the sub-scanning. The beam spot diameter in the sub-scanning direction when the near field pattern (As) in the direction is infinitesimal (= 0) is shown. 11A shows the beam spot diameter in the main scanning direction when Am is 2 μm, and FIG. 11B shows the beam spot diameter in the sub-scanning direction when As is 2 μm. 12A shows the beam spot diameter in the main scanning direction when Am is 4 μm, and FIG. 12B shows the beam spot diameter in the sub-scanning direction when As is 4 μm. 13A shows the beam spot diameter in the main scanning direction when Am is 6 μm, and FIG. 13B shows the beam spot diameter in the sub-scanning direction when As is 6 μm.

従来の、カップリングレンズの焦点距離が26.8mmの光学系(主走査方向の横倍率が約8.9倍、副走査方向の横倍率が4.5倍)を用いたときのビームスポット径とデフォーカス量との関係のシミュレーション結果が、図14(A)〜図17(B)に示されている。図14(A)は、Amが無限小(=0)のときの主走査方向に関するビームスポット径を示し、図14(B)は、Asが無限小(=0)のときの副走査方向に関するビームスポット径を示している。図15(A)は、Amが2μmのときの主走査方向に関するビームスポット径を示し、図15(B)は、Asが2μmのときの副走査方向に関するビームスポット径を示している。図16(A)は、Amが4μmのときの主走査方向に関するビームスポット径を示し、図16(B)は、Asが4μmのときの副走査方向に関するビームスポット径を示している。図17(A)は、Amが6μmのときの主走査方向に関するビームスポット径を示し、図17(B)は、Asが6μmのときの副走査方向に関するビームスポット径を示している。   Beam spot diameter when using a conventional optical system with a coupling lens focal length of 26.8 mm (horizontal magnification in the main scanning direction is about 8.9 times and lateral magnification in the sub-scanning direction is 4.5 times) FIGS. 14A to 17B show simulation results of the relationship between and the defocus amount. FIG. 14A shows the beam spot diameter in the main scanning direction when Am is infinitesimal (= 0), and FIG. 14B shows the sub-scanning direction in the case of As being infinitesimal (= 0). The beam spot diameter is shown. FIG. 15A shows the beam spot diameter in the main scanning direction when Am is 2 μm, and FIG. 15B shows the beam spot diameter in the sub-scanning direction when As is 2 μm. 16A shows the beam spot diameter in the main scanning direction when Am is 4 μm, and FIG. 16B shows the beam spot diameter in the sub-scanning direction when As is 4 μm. 17A shows the beam spot diameter in the main scanning direction when Am is 6 μm, and FIG. 17B shows the beam spot diameter in the sub-scanning direction when As is 6 μm.

これらの光学系で、主走査方向に関するビームスポット径の目標値を52±5μm、副走査方向に関するビームスポット径の目標値を55±5μmとし、図10(A)〜図17(B)の各図中にその境界線が破線で示されている。   In these optical systems, the target value of the beam spot diameter in the main scanning direction is 52 ± 5 μm, the target value of the beam spot diameter in the sub-scanning direction is 55 ± 5 μm, and each of FIGS. 10 (A) to 17 (B). The boundary line is indicated by a broken line in the figure.

従来の光学系では、Amが2μmまでは焦点深度が十分確保されており、ビームスポット径のばらつきはあまり大きくない。しかし、Am=4μm以上では、主走査方向において焦点深度が急激に減少し、ばらつきが大きくなりやすい装置となってしまう。一方、本実施形態と同様の光学系では、Am=6まで焦点深度は確保され、ビームスポット径の増大も許容される範囲である。   In the conventional optical system, the depth of focus is sufficiently secured until Am is 2 μm, and the variation of the beam spot diameter is not so large. However, if Am = 4 μm or more, the depth of focus is drastically decreased in the main scanning direction, resulting in a device in which variation tends to increase. On the other hand, in the optical system similar to the present embodiment, the depth of focus is ensured up to Am = 6, and the increase of the beam spot diameter is allowed.

これにより、ニア・フィールド・パターンが数μm以上あるような光源に対しては、低い横倍率の光学系が必要であることが分かる。VCSELはこのような光源であるため、副走査方向に対応する方向及び主走査方向に対応する方向の少なくとも一方の方向に関して、ニア・フィールド・パターンA、走査光学系を含む光学系全体の横倍率β、被走査面上でのビームスポット径ωを用いて、次の(1)式が満足されることが望ましい。   This shows that a low lateral magnification optical system is required for a light source having a near field pattern of several μm or more. Since the VCSEL is such a light source, the lateral magnification of the entire optical system including the near field pattern A and the scanning optical system in at least one of the direction corresponding to the sub-scanning direction and the direction corresponding to the main scanning direction. It is desirable that the following expression (1) is satisfied using β and the beam spot diameter ω on the surface to be scanned.

{(ω/β・A)−1/2}−2<0.7 ……(1) {(Ω / β · A) 2 −1/2} −2 <0.7 (1)

このことを図18を用いて説明する。図18には、デフォーカス量が0における、(β×A)=0(すなわち、A=0)のときのビームスポット径と(β×A)>0のときとのビームスポット径の差を、図10(A)〜図17(B)から求め、プロットしたものである。図18における曲線は、次の(2)式を示す曲線である。ここで、ωはA=0のときのビームスポット径であり、A≠0でのビームスポット径ωとの関係は、次の(3)式となると仮定している。 This will be described with reference to FIG. FIG. 18 shows the difference between the beam spot diameter when (β × A) = 0 (that is, A = 0) and the beam spot diameter when (β × A)> 0 when the defocus amount is zero. FIG. 10 (A) to FIG. 17 (B) are obtained and plotted. The curve in FIG. 18 is a curve showing the following equation (2). Here, ω 0 is the beam spot diameter when A = 0, and it is assumed that the relationship with the beam spot diameter ω when A ≠ 0 is expressed by the following equation (3).

図18から、実際の書込光学系におけるビームスポット径の増大と、上記仮定とがよく一致していることが分かる。Aが大きさを持つために発生するビームスポット径の増大率δは、次の(4)式で示される。ただし、k=βA/ωである。 It can be seen from FIG. 18 that the increase in the beam spot diameter in the actual writing optical system is in good agreement with the above assumption. An increase rate δ of the beam spot diameter generated because A has a magnitude is expressed by the following equation (4). However, k = βA / ω 0 .

本実施形態では、主走査方向に関して、k=5.0×4÷50=0.40であり、このときδは4%程度に抑えられ、主走査方向に関するビームスポット径も52μmと殆んど変化しない。副走査方向に関しては、k=0.14となるため、さらに変化は小さく、ω=55μmに対して略変化せず55.5μmとなる。 In the present embodiment, k = 5.0 × 4 ÷ 50 = 0.40 with respect to the main scanning direction. At this time, δ is suppressed to about 4%, and the beam spot diameter in the main scanning direction is almost 52 μm. It does not change. Since k = 0.14 in the sub-scanning direction, the change is further small, and substantially no change with respect to ω 0 = 55 μm, and becomes 55.5 μm.

上記従来例では、主走査方向に関して、横倍率は8.9倍であるため、k=0.712となりω=56μmと10%以上の増大となってしまう。また、ニア・フィールド・パターンを大きくすると、例えば、A=7μmとした場合には、横倍率が5倍で目標のビームスポット径が50μmの場合、k=0.7となりω=56μmになってしまうため、これも高画質化のためには望ましくない。k=0.65(例えばβ=5、A=6.5、ω=50)であれば、ω=55μmで略10%程度の変化に留まるため、画質の劣化は許容範囲内である。 In the conventional example, since the lateral magnification is 8.9 times in the main scanning direction, k = 0.712, and ω = 56 μm, which is an increase of 10% or more. When the near field pattern is increased, for example, when A = 7 μm, when the lateral magnification is 5 and the target beam spot diameter is 50 μm, k = 0.7 and ω = 56 μm. Therefore, this is also not desirable for improving the image quality. If k = 0.65 (for example, β = 5, A = 6.5, ω 0 = 50), the change in image quality is within an allowable range because ω = 55 μm and the change is about 10%.

従って、少なくともk=βA/ω<0.7であることが望ましく、このとき実際のビームスポット径ωとの関係は、上記(4)式より、次の(5)式となる。 Therefore, it is desirable that at least k = βA / ω 0 <0.7. At this time, the relationship with the actual beam spot diameter ω is expressed by the following equation (5) from the above equation (4).

VCSELは1〜2mW程度しかなく、課題として光出力向上があるが、ニア・フィールド・パターンが大きい方が、これに対しては有利であることが知られている。マルチモード発振しない領域で径を大きくすることが出来、光出力増加が出来たとしても、ビームスポット径が小径化できなければ画質の向上は達成できない。そこで、上記(5)式が満たされるように設定することで、光量において有利なVCSELを用いながら、ビームスポット径の小径化を実現することができる。   The VCSEL has only about 1 to 2 mW, and there is an improvement in light output as a problem. However, it is known that a larger near field pattern is advantageous for this. Even if the diameter can be increased and the light output can be increased in a region where no multimode oscillation occurs, the image quality cannot be improved unless the beam spot diameter can be reduced. Therefore, by setting so that the above expression (5) is satisfied, it is possible to reduce the beam spot diameter while using a VCSEL advantageous in light quantity.

上述のように構成された画像形成装置200では、上位装置から画像情報を受信すると、画像情報に基づく変調データにより光走査装置100が駆動され、光源10からは、画像情報に基づいて変調された光ビームが射出される。これらの光ビームは、カップリングレンズ11によってカップリングされた後に、アパーチャ部材12を通過することで、スポット径がそれぞれ調整される。そして、アパーチャ部材12を通過した各光ビームは、コリメートレンズ13により、ポリゴンミラー15の偏向面に集光される。   In the image forming apparatus 200 configured as described above, when image information is received from the host apparatus, the optical scanning device 100 is driven by the modulation data based on the image information, and the light source 10 is modulated based on the image information. A light beam is emitted. After these light beams are coupled by the coupling lens 11, the spot diameters are adjusted by passing through the aperture member 12. Then, each light beam that has passed through the aperture member 12 is condensed on the deflection surface of the polygon mirror 15 by the collimating lens 13.

図19(A)は、ポリゴンミラー15の偏向面に平行な面(以下、入射面と略述する)を仮定したときに、光源10に形成されたVCSELのうち、一行目の中央に位置するVCSEL13と、一行面の主走査方向両端に位置するVCSEL11、VCSEL15からそれぞれ射出され、この入射面に入射する光ビームの強度を示す図である。なお、図19(A)中の横軸は入射面における主走査方向の位置座標であり、縦軸は光ビームの強度である。そして、y2はポリゴンミラー15の偏向面の主走査方向中央の位置座標であり、y1,y3は偏向面の主走査方向両端の位置座標である。また、便宜上VCSEL11、VCSEL13、VCSEL15からの光ビームをそれぞれ光ビームLB11、LB13、LB15と表現するものとする。 FIG. 19A is located at the center of the first row of the VCSELs formed on the light source 10 assuming a plane parallel to the deflection surface of the polygon mirror 15 (hereinafter simply referred to as the incident surface). a VCSEL 13, emitted from each VCSEL 11, VCSEL 15 is located in the main scanning direction both ends of the row faces a diagram showing the intensity of the light beam incident on the incident surface. Note that the horizontal axis in FIG. 19A is the position coordinate in the main scanning direction on the incident surface, and the vertical axis is the intensity of the light beam. Y2 is a position coordinate in the center of the deflection surface of the polygon mirror 15 in the main scanning direction, and y1 and y3 are position coordinates of both ends of the deflection surface in the main scanning direction. For convenience, the light beams from VCSEL 11 , VCSEL 13 , and VCSEL 15 are expressed as light beams LB 11 , LB 13 , and LB 15 , respectively.

強度が等しい光ビームLB11,LB13,LB15で、感光ドラム201の書き込み領域の中心点O近傍を走査する場合には、各光ビームLB11,LB13,LB15はZY面にほぼ平行な偏向面に偏向されるため、各光ビームLB11,LB13,LB15それぞれの入射面における強度分布は、図19(A)に示される曲線L1,L2,L3で示される。上記3つの光ビームLB11,LB13,LB15のうち、2つの光ビームLB11,LB15は、その一部しか偏向面に入射しないため、偏向面に反射された後の光量は、曲線L1又はL3と、位置y1又は位置y2を通りY軸に直交する直線と、Y軸とで規定される領域A1,A3(図19(A)中に着色して示される領域)の面積に比例した光量となる。一方、光ビームLB13は、その全部が偏向面に入射するため、偏向面に反射された後の光量は、曲線L2と、Y軸とで規定される領域A2の面積に比例した光量となる。 When the light beams LB 11 , LB 13 , and LB 15 having the same intensity are scanned near the center point O of the writing area of the photosensitive drum 201, the light beams LB 11 , LB 13 , and LB 15 are substantially parallel to the ZY plane. Since the light beams are deflected to the respective deflection surfaces, the intensity distributions on the respective incident surfaces of the light beams LB 11 , LB 13 and LB 15 are indicated by curves L 1, L 2 and L 3 shown in FIG. Of the three light beams LB 11 , LB 13 , and LB 15 , only two of the two light beams LB 11 and LB 15 are incident on the deflection surface, and therefore the amount of light after being reflected on the deflection surface is a curve. Proportional to the area of regions A1 and A3 (regions colored in FIG. 19A) defined by L1 or L3, a straight line passing through position y1 or position y2 and orthogonal to the Y axis, and the Y axis It becomes the light quantity. On the other hand, since all of the light beam LB 13 is incident on the deflection surface, the amount of light after being reflected by the deflection surface becomes a light amount proportional to the area of the area A2 defined by the curve L2 and the Y axis. .

したがって、本実施形態に係る光走査装置100では、2つの光ビームLB11,LB15の強度が光ビームLB13の強度よりも強くなるように、VCSEL11、VCSEL13、VCSEL15を駆動する。例えば、図19(B)に示されるように、2つの曲線L1,L3のピーク値が曲線L2のピーク値よりも大きくなるようして、領域A1及び領域A3と、領域A2との面積がほぼ等しくなるようにVCSEL11、VCSEL13、VCSEL15を駆動する。これにより、偏向面で反射された3つの光ビームLB11, LB13,LB15それぞれの光量が等しくなる。なお、本実施形態では光ビームLB11, LB15を、光ビームLB13に対して120%の光量とすることで、反射光の光量をほぼ一致させている。 Therefore, in the optical scanning device 100 according to this embodiment, the VCSEL 11 , the VCSEL 13 , and the VCSEL 15 are driven so that the intensity of the two light beams LB 11 and LB 15 is higher than the intensity of the light beam LB 13 . For example, as shown in FIG. 19B, the areas of the regions A1 and A3 and the region A2 are almost equal so that the peak values of the two curves L1 and L3 are larger than the peak values of the curve L2. The VCSEL 11 , the VCSEL 13 , and the VCSEL 15 are driven so as to be equal. As a result, the light amounts of the three light beams LB 11 , LB 13 , and LB 15 reflected by the deflection surface are equalized. In the present embodiment, the light beams LB 11 and LB 15 have a light amount of 120% with respect to the light beam LB 13 , so that the amount of reflected light is substantially matched.

また、光源10の1行目に配置されたVCSEL12、VCSEL14についても、例えば図19(C)の曲線L4,L5でそれぞれ示されるように、射出される光ビームの強度が、光ビームLB13の強度よりも強くなるよう制御して、偏向面で反射された光ビームそれぞれの光量を、偏向面で反射された光ビームLB13の光量と等しくなるようにするとともに、2行目から8行目までのVCSEL21〜VCSEL85についても1行目のVCSELと同様に、主走査方向中心に配置されたVCSELm3から射出される光ビームの強度よりも、主走査方向両端に向かって配置されたVCSELから射出される光ビームの強度が大きくなるように、各VCSELを制御する。これにより、光源10の各VCSELから射出され、ポリゴンミラー15の偏向面で偏向された各光ビームの光量がそれぞれほぼ等しくなる。 For the VCSEL 12 and the VCSEL 14 arranged in the first row of the light source 10 as well, for example, as indicated by the curves L4 and L5 in FIG. 19C, the intensity of the emitted light beam is the light beam LB. 13 so that the light intensity of each of the light beams reflected by the deflection surface is equal to the light intensity of the light beam LB 13 reflected by the deflection surface. Similarly to the VCSEL 21 in the first row, the VCSELs 21 to VCSEL 85 up to the rows are arranged toward both ends in the main scanning direction rather than the intensity of the light beam emitted from the VCSEL m3 arranged in the center of the main scanning direction. Each VCSEL is controlled so that the intensity of the light beam emitted from the VCSEL increases. Thereby, the light quantity of each light beam emitted from each VCSEL of the light source 10 and deflected by the deflecting surface of the polygon mirror 15 becomes substantially equal.

上記のように、回転するポリゴンミラー15の偏向面で偏向された各光ビームは、第1走査レンズ16及び第2走査レンズ17によって光ビームのスポットの主走査方向の移動速度等が調整された状態で、感光ドラム201の表面に集光される。   As described above, the light beam deflected by the deflecting surface of the polygon mirror 15 to rotate, the moving speed of the main scanning direction of the light beam spot is adjusted by the first scanning lens 16 and the second scanning lens 17 In this state, the light is condensed on the surface of the photosensitive drum 201.

以上説明したように、本実施形態に係る光走査装置100では、偏向面に偏向された各光ビームの光量がほぼ均一になるため、感光ドラム201の書込み領域の走査は、光量が等しい複数の光ビームにより行われる。したがって、書込み領域全域をむらなく、走査することが可能となる。   As described above, in the optical scanning apparatus 100 according to the present embodiment, since the light amount of each light beam deflected on the deflecting surface is substantially uniform, the scanning of the writing area of the photosensitive drum 201, the light amount is more equal This is done with a light beam. Therefore, it is possible to scan the entire writing area without unevenness.

なお、本実施形態では、最も外側のVCSELからの光ビームが、ポリゴンミラー15の偏向面上で近接するように、カップリングレンズ11からポリゴンミラー15までの距離Lを、従来に比べて小さい122.82mmとしている。   In this embodiment, the distance L from the coupling lens 11 to the polygon mirror 15 is smaller than that of the conventional 122 so that the light beam from the outermost VCSEL comes close to the deflection surface of the polygon mirror 15. .82 mm.

カプリングレンズ11の焦点距離fは47.7mmであるため、L/fは、1より大きく、4より小さくなっている。光量分布に関してはポリゴンミラー15の偏向面上で、主走査方向に光ビームが離れない方が良く、この点だけを考えれば、複数の光ビームが偏向面上でそれぞれ重なる条件、すなわちL/fが1であることが望ましい。しかしながら、カップリングレンズ11とポリゴンミラー15の距離が短すぎると、コリメートレンズ13の焦点距離が短くなり、収差も取りにくくなってしまうという欠点がある。このため、主走査方向に最も離れた光ビームが離れ過ぎない条件と、コリメートレンズ13の焦点距離のバランスがとれる条件とを考慮すると、L/fの値は1より大きく4より小さいことが望ましい。   Since the focal length f of the coupling lens 11 is 47.7 mm, L / f is larger than 1 and smaller than 4. Regarding the light amount distribution, it is better that the light beam does not leave in the main scanning direction on the deflection surface of the polygon mirror 15, and considering only this point, the condition that a plurality of light beams overlap each other on the deflection surface, that is, L / f. Is preferably 1. However, if the distance between the coupling lens 11 and the polygon mirror 15 is too short, the focal length of the collimating lens 13 is shortened, and aberrations are difficult to remove. Therefore, the conditions farthest light beam in the main scanning direction is not too far, in view of the conditions under which the balance of the focal length of the collimating lens 13 take, it is desirable that the value of L / f is smaller than greater than 1 4 .

なお、上記実施形態では、光走査装置100が単色の画像形成装置200に用いられる場合について説明したが、画像形成装置はカラー画像に対応し、複数の感光体ドラムを備えるタンデムカラー機であっても良い。   In the above embodiment, although the optical scanning apparatus 100 has been described for use in the monochrome image forming apparatus 200, the image forming apparatus corresponds to a color image, a tandem color machine having a plurality of photosensitive drums Also good.

以下、カラー画像に対応し、複数の感光体ドラムを備える多色画像形成装置300について図20〜図22を用いて説明する。図20に示される多色画像形成装置300は、ブラック(K)用の感光体ドラムK1、帯電器K2、現像器K4、クリーニング手段K5、及び転写用帯電手段K6と、シアン(C)用の感光体ドラムC1、帯電器C2、現像器C4、クリーニング手段C5、及び転写用帯電手段C6と、マゼンダ(M)用の感光体ドラムM1、帯電器M2、現像器M4、クリーニング手段M5、及び転写用帯電手段M6と、イエロー(Y)用の感光体ドラムY1、帯電器Y2、現像器Y4、クリーニング手段Y5、及び転写用帯電手段Y6と、光走査装置900と、転写ベルト901と、定着手段902などを備えている。   Hereinafter, a multicolor image forming apparatus 300 corresponding to a color image and including a plurality of photosensitive drums will be described with reference to FIGS. The multicolor image forming apparatus 300 shown in FIG. 20 includes a photosensitive drum K1 for black (K), a charger K2, a developing device K4, a cleaning unit K5, a transfer charging unit K6, and cyan (C). Photosensitive drum C1, charging device C2, developing device C4, cleaning means C5, transfer charging means C6, magenta (M) photosensitive drum M1, charging device M2, developing device M4, cleaning means M5, and transfer Charging unit M6, yellow (Y) photosensitive drum Y1, charger Y2, developing unit Y4, cleaning unit Y5, transfer charging unit Y6, optical scanning device 900, transfer belt 901, fixing unit 902 etc. are provided.

各感光体ドラムは、図20中の矢印の方向に回転し、回転順にそれぞれ帯電器、現像器、転写用帯電手段、クリーニング手段が配置されている。各帯電器は、対応する感光体ドラムの表面を均一に帯電する。この帯電器によって帯電された感光体ドラム表面に光走査装置900によりビームが照射され、感光体ドラムに静電潜像が形成されるようになっている。そして、対応する現像器により感光体ドラム表面にトナー像が形成される。さらに、対応する転写用帯電手段により、記録紙に各色のトナー像が転写され、最終的に定着手段902により記録紙に画像が定着される。   Each photosensitive drum rotates in the direction of the arrow in FIG. 20, and a charger, a developer, a transfer charging unit, and a cleaning unit are arranged in the order of rotation. Each charger uniformly charges the surface of the corresponding photosensitive drum. The surface of the photosensitive drum charged by the charger is irradiated with a beam by the optical scanning device 900, and an electrostatic latent image is formed on the photosensitive drum. Then, a toner image is formed on the surface of the photosensitive drum by the corresponding developing device. Further, the toner images of the respective colors are transferred onto the recording paper by the corresponding transfer charging means, and finally the image is fixed on the recording paper by the fixing means 902.

次に、前記光走査装置900について図21及び図22を用いて説明する。   Next, the optical scanning device 900 will be described with reference to FIGS.

この光走査装置900は、4個の光源ユニット10K,10C,10M,10Yと、上述した光走査装置100と同様にカップリングレンズ11及びアパーチャ部材12などを含んで構成され、各光源ユニット10K,10C,10M,10Yからの光ビームをポリゴンミラー230へ導く不図示の光学系と、ポリゴンミラー230と、4個の第1走査レンズ218a,218b,218c,218dと、8個の折り返しミラー224a,224b,224c,224d,227a,227b,227c,227dと、4個の第2走査レンズ220a,220b,220c,220dなどを備えている。なお、図21及び図22では、それぞれ便宜上、光走査装置900の一部のみが図示されている。   The optical scanning device 900 includes four light source units 10K, 10C, 10M, and 10Y, and the coupling lens 11 and the aperture member 12 in the same manner as the optical scanning device 100 described above. An optical system (not shown) that guides the light beams from 10C, 10M, and 10Y to the polygon mirror 230, the polygon mirror 230, the four first scanning lenses 218a, 218b, 218c, and 218d, and the eight folding mirrors 224a, 224b, 224c, 224d, 227a, 227b, 227c, 227d, four second scanning lenses 220a, 220b, 220c, 220d, and the like. 21 and 22, only a part of the optical scanning device 900 is shown for convenience.

4個の光源ユニット10K,10C,10M,10Yは、いずれも前記光源10を含んで構成される光源ユニットである。   The four light source units 10K, 10C, 10M, and 10Y are all light source units configured to include the light source 10.

光源ユニット10Kは、ブラック画像情報に応じて変調されたレーザビーム(以下、ブラックビームともいう)を出射する。光源ユニット10Cは、シアン画像情報に応じて変調されたレーザビーム(以下、シアンビームともいう)を出射する。光源ユニット10Mは、マゼンダ画像情報に応じて変調されたレーザビーム(以下、マゼンダビームともいう)を出射する。光源ユニット10Yは、イエロー画像情報に応じて変調されたレーザビーム(以下、イエロービームともいう)を出射する。   The light source unit 10K emits a laser beam (hereinafter also referred to as a black beam) modulated according to black image information. The light source unit 10C emits a laser beam (hereinafter also referred to as a cyan beam) modulated according to cyan image information. The light source unit 10M emits a laser beam (hereinafter also referred to as a magenta beam) modulated according to magenta image information. The light source unit 10Y emits a laser beam (hereinafter also referred to as a yellow beam) modulated according to yellow image information.

第1走査レンズ218a、折り返しミラー224a、第2走査レンズ220a、及び折り返しミラー227aは、それぞれブラックビームに対応している。   The first scanning lens 218a, the folding mirror 224a, the second scanning lens 220a, and the folding mirror 227a each correspond to a black beam.

第1走査レンズ218b、折り返しミラー224b、第2走査レンズ220b、及び折り返しミラー227bは、それぞれシアンビームに対応している。   The first scanning lens 218b, the folding mirror 224b, the second scanning lens 220b, and the folding mirror 227b each correspond to a cyan beam.

第1走査レンズ218c、折り返しミラー224c、第2走査レンズ220c、及び折り返しミラー227cは、それぞれマゼンダビームに対応している。   The first scanning lens 218c, the folding mirror 224c, the second scanning lens 220c, and the folding mirror 227c each correspond to a magenta beam.

第1走査レンズ218d、折り返しミラー224d、第2走査レンズ220d、及び折り返しミラー227dは、それぞれイエロービームに対応している。   The first scanning lens 218d, the folding mirror 224d, the second scanning lens 220d, and the folding mirror 227d each correspond to a yellow beam.

各光源ユニットから出射されたレーザビームは、ポリゴンミラー230の偏向面にて線状となるように副走査方向に収束され、ポリゴンミラー230における偏向点と、対応する感光体ドラムの表面における集光点とが副走査方向に共役となる。   The laser beam emitted from each light source unit is converged in the sub-scanning direction so as to be linear on the deflection surface of the polygon mirror 230, and is focused on the deflection point of the polygon mirror 230 and the surface of the corresponding photosensitive drum. The point is conjugate with the sub-scanning direction.

ポリゴンミラー230は、2段構造の6面ミラーで構成されている。1段目の6面ミラーでは光源ユニット10Kからのブラックビーム及び光源ユニット10Yからのイエロービームがそれぞれ偏向され、2段目の6面ミラーでは光源ユニット10Mからのシアンビーム及び光源ユニット10Cからのマゼンダビームがそれぞれ偏向される。すなわち、単一のポリゴンミラー230で全てのレーザビームが偏向される。   The polygon mirror 230 is composed of a six-sided mirror having a two-stage structure. A black beam from the light source unit 10K and a yellow beam from the light source unit 10Y are deflected in the first-stage six-sided mirror, respectively, and a cyan beam from the light source unit 10M and magenta from the light source unit 10C in the second-stage six-sided mirror. Each beam is deflected. That is, all the laser beams are deflected by the single polygon mirror 230.

第1走査レンズ218a及び第1走査レンズ218bは、ポリゴンミラー230の一側(ここでは、+X側)に配置され、第1走査レンズ218c及び第1走査レンズ218dは、ポリゴンミラー230の他側(ここでは、−X側)に配置されている。また、第1走査レンズ218aと第1走査レンズ218b、及び第1走査レンズ218cと第1走査レンズ218dは、それぞれ副走査方向に対応する方向(ここでは、Z軸方向)に積層されている。   The first scanning lens 218a and the first scanning lens 218b are arranged on one side (here, + X side) of the polygon mirror 230, and the first scanning lens 218c and the first scanning lens 218d are on the other side of the polygon mirror 230 ( Here, it is arranged on the −X side). The first scanning lens 218a and the first scanning lens 218b, and the first scanning lens 218c and the first scanning lens 218d are stacked in a direction corresponding to the sub-scanning direction (here, the Z-axis direction).

第1走査レンズ218aからのブラックビームは、折り返しミラー224a、第2走査レンズ220a、及び折返しミラー227aを介して、感光体ドラムK1上にスポット状に結像する。   The black beam from the first scanning lens 218a forms a spot image on the photosensitive drum K1 via the folding mirror 224a, the second scanning lens 220a, and the folding mirror 227a.

第1走査レンズ218bからのシアンビームは、折り返しミラー224b、第2走査レンズ220b、及び折返しミラー227bを介して、感光体ドラムC1上にスポット状に結像する。   The cyan beam from the first scanning lens 218b forms a spot image on the photosensitive drum C1 via the folding mirror 224b, the second scanning lens 220b, and the folding mirror 227b.

第1走査レンズ218cからのマゼンダビームは、折り返しミラー224c、第2走査レンズ220c、及び折返しミラー227cを介して、感光体ドラムM1上にスポット状に結像する。   The magenta beam from the first scanning lens 218c, folding mirror 224c, a second scanning lens 220c, and via the folding mirror 227c, imaged in a spot shape on the photosensitive drum M1.

第1走査レンズ218dからのイエロービームは、折り返しミラー224d、第2走査レンズ220d、及び折返しミラー227dを介して、感光体ドラムY1上にスポット状に結像する。   The yellow beam from the first scanning lens 218d, folding mirror 224d, the second scanning lens 220d, and via the folding mirror 227d, is imaged in a spot shape on the photosensitive drum Y1.

なお、各折り返しミラーは、ポリゴンミラー230から各感光体ドラムに至る各光路長が互いに一致するとともに、各感光体ドラムにおけるレーザビームの入射位置及び入射角がいずれも互いに等しくなるように、それぞれ配置されている。   The folding mirrors are arranged so that the optical path lengths from the polygon mirror 230 to the photosensitive drums coincide with each other, and the incident position and the incident angle of the laser beam on each photosensitive drum are equal to each other. Has been.

上記のように構成された多色画像形成装置300では、光量が均一に調整された光ビームによって、各感光ドラムK1,C1,M1,Y1に線像が形成される。したがって、記録媒体に精度よく高精細な多色画像を形成することが可能となる。   In the multicolor image forming apparatus 300 configured as described above, a line image is formed on each of the photosensitive drums K1, C1, M1, and Y1 by a light beam whose light amount is uniformly adjusted. Therefore, it is possible to form a high-definition multicolor image with high accuracy on the recording medium.

なお、上記各実施形態では、本発明の光走査装置がプリンタに用いられる場合について説明したが、プリンタ以外の画像形成装置、例えば、複写機、ファクシミリ、又は、これらが集約された複合機にも好適である。   In each of the above embodiments, the case where the optical scanning device of the present invention is used in a printer has been described. However, the image forming device other than the printer, for example, a copier, a facsimile, or a multifunction machine in which these are integrated. Is preferred.

第1の実施形態に係る画像形成装置200の概略構成を示す図である。1 is a diagram illustrating a schematic configuration of an image forming apparatus 200 according to a first embodiment. 第1の実施形態に係る光走査装置100の概略構成を示す図である。1 is a diagram illustrating a schematic configuration of an optical scanning device 100 according to a first embodiment. 光源10を示す図である。It is a figure which shows the light source. 光源10に形成されたVCSELの断面図である。2 is a cross-sectional view of a VCSEL formed in a light source 10. FIG. VCSELの活性層24の拡大図(その1)である。It is an enlarged view (the 1) of the active layer 24 of VCSEL. VCSELの活性層24の拡大図(その2)である。It is an enlarged view (the 2) of the active layer 24 of VCSEL. リレーレンズ系の効果を説明するための図(その1)である。It is FIG. (1) for demonstrating the effect of a relay lens system. リレーレンズ系の効果を説明するための図(その2)である。It is FIG. (2) for demonstrating the effect of a relay lens system. 第2の実施形態に係る光走査装置100の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the optical scanning device 100 which concerns on 2nd Embodiment. 図10(A)及び図10(B)は、それぞれ本実施形態と同様の光学系を用いたときのビームスポット径とデフォーカス量との関係を説明するための図(その1)である。FIGS. 10A and 10B are views (No. 1) for explaining the relationship between the beam spot diameter and the defocus amount when the same optical system as that of the present embodiment is used. 図11(A)及び図11(B)は、それぞれ本実施形態と同様の光学系を用いたときのビームスポット径とデフォーカス量との関係を説明するための図(その2)である。FIGS. 11A and 11B are views (No. 2) for explaining the relationship between the beam spot diameter and the defocus amount when the same optical system as that of the present embodiment is used. 図12(A)及び図12(B)は、それぞれ本実施形態と同様の光学系を用いたときのビームスポット径とデフォーカス量との関係を説明するための図(その3)である。FIGS. 12A and 12B are views (No. 3) for explaining the relationship between the beam spot diameter and the defocus amount when the same optical system as that of the present embodiment is used. 図13(A)及び図13(B)は、それぞれ本実施形態と同様の光学系を用いたときのビームスポット径とデフォーカス量との関係を説明するための図(その4)である。FIGS. 13A and 13B are diagrams (No. 4) for explaining the relationship between the beam spot diameter and the defocus amount when the same optical system as that of the present embodiment is used. 図14(A)及び図14(B)は、それぞれ従来の光学系を用いたときのビームスポット径とデフォーカス量との関係を説明するための図(その1)である。FIGS. 14A and 14B are views (No. 1) for explaining the relationship between the beam spot diameter and the defocus amount when a conventional optical system is used, respectively. 図15(A)及び図15(B)は、それぞれ従来の光学系を用いたときのビームスポット径とデフォーカス量との関係を説明するための図(その2)である。FIGS. 15A and 15B are views (No. 2) for explaining the relationship between the beam spot diameter and the defocus amount when a conventional optical system is used, respectively. 図16(A)及び図16(B)は、それぞれ従来の光学系を用いたときのビームスポット径とデフォーカス量との関係を説明するための図(その3)である。FIGS. 16A and 16B are views (No. 3) for explaining the relationship between the beam spot diameter and the defocus amount when a conventional optical system is used, respectively. 図17(A)及び図17(B)は、それぞれ従来の光学系を用いたときのビームスポット径とデフォーカス量との関係を説明するための図(その4)である。FIGS. 17A and 17B are diagrams (No. 4) for explaining the relationship between the beam spot diameter and the defocus amount when a conventional optical system is used, respectively. デフォーカス量が0における、(β×A)=0のときのビームスポット径と(β×A)>0のときとのビームスポット径の差を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the difference of the beam spot diameter when a defocus amount is 0, and the beam spot diameter when ((beta) * A) = 0 and (beta * A)> 0. 図19(A)〜図19(C)は、偏向面に入射する光ビームの光量を均一化する方法について説明するための図(その1〜その3)である。FIGS. 19A to 19C are views (No. 1 to No. 3) for explaining a method of equalizing the light amount of the light beam incident on the deflection surface. 多色画像形成装置300の概略構成を示す図である。1 is a diagram illustrating a schematic configuration of a multicolor image forming apparatus 300. FIG. 光走査装置900の概略構成を示す斜視図である。1 is a perspective view showing a schematic configuration of an optical scanning device 900. FIG. 光走査装置900の概略構成を示す側面図である。2 is a side view showing a schematic configuration of an optical scanning device 900. FIG.

符号の説明Explanation of symbols

10…光源、11…カップリングレンズ、12…アパーチャ部材、13…コリメートレンズ、15…ポリゴンミラー、16…第1走査レンズ、17…第2走査レンズ、20…P側電極、21…n―GaAs基板、22…下部反射鏡、23,25…スペーサ層、下部反射鏡24…活性層、26…Al電流狭窄層、27…上部反射鏡、28…pコンタクト層、29…ポリイミド、30…AlAs被選択酸化層、31…上部電極、32…光射出部、100…光走査装置、200…画像形成装置、201…感光ドラム、202…帯電チャージャ、204…トナーカートリッジ、205…クリーニングケース、206…給紙トレイ、207…給紙コロ、208…レジストローラ対、209…定着ローラ、210…排紙トレイ、211…転写チャージャ、212…排紙ローラ、213…用紙、215…ハウジング、300…多色画像形成装置、900…光走査装置。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Light source, 11 ... Coupling lens, 12 ... Aperture member, 13 ... Collimating lens, 15 ... Polygon mirror, 16 ... 1st scanning lens, 17 ... 2nd scanning lens, 20 ... P side electrode, 21 ... n-GaAs substrate, 22 ... lower reflecting mirror, 23, 25 ... spacer layer, the lower reflector 24 ... active layer, 26 ... Al x O y current blocking layer, 27 ... upper reflector, 28 ... p-contact layer, 29 ... polyimide, 30 DESCRIPTION OF SYMBOLS ... AlAs selective oxidation layer, 31 ... Upper electrode, 32 ... Light emission part, 100 ... Optical scanning device, 200 ... Image forming apparatus, 201 ... Photosensitive drum, 202 ... Charger charger, 204 ... Toner cartridge, 205 ... Cleaning case, 206: paper feed tray, 207 ... paper feed roller, 208 ... registration roller pair, 209 ... fixing roller, 210 ... discharge tray, 211 ... transfer char J, 212... Paper discharge roller, 213... Paper, 215... Housing, 300 .. multicolor image forming apparatus, 900.

Claims (3)

複数の発光部を含む光源と、前記光源からの複数の光ビームを偏向して、主走査方向へ走査する偏向器と、前記複数の光ビームを前記偏向器の偏向面近傍で、前記主走査方向に直交する副走査方向に結像する結像光学系とを備える光走査装置において、
前記結像光学系は、前記主走査方向に正のパワーを持つ第1及び第2の結像光学素子を有し、
前記偏向器の偏向面は、前記主走査方向の寸法が、前記主走査方向の光束幅より小さく、
前記第1の結像光学素子は、前記第2の結像光学素子よりも前記光源側に位置し、
前記第1の結像光学素子は、前記複数の光ビームの主光線を、前記第1の結像光学素子と前記第2の結像光学素子との間にて前記主走査方向に交差させ、
前記第2の結像光学素子は、前記偏向面の近傍で、前記複数の光ビームの主光線を、前記主走査方向に交差させる光走査装置。
A light source including a plurality of light emitting units, a deflector that deflects a plurality of light beams from the light source and scans in a main scanning direction, and the main scanning in the vicinity of a deflection surface of the deflector In an optical scanning device comprising an imaging optical system that forms an image in a sub-scanning direction orthogonal to the direction,
The imaging optical system includes first and second imaging optical elements having positive power in the main scanning direction,
Deflecting surface of the deflector, the main scanning direction dimension, rather smaller than the beam width of the main scanning direction,
The first imaging optical element is located closer to the light source than the second imaging optical element,
The first imaging optical element crosses the principal rays of the plurality of light beams in the main scanning direction between the first imaging optical element and the second imaging optical element,
The second imaging optical element is an optical scanning device that crosses principal rays of the plurality of light beams in the main scanning direction in the vicinity of the deflection surface .
画像に関する情報から得られる潜像に基づいて形成されたトナー像を、記録媒体に定着させることにより、画像を形成する画像形成装置であって、
請求項1に記載の光走査装置と;
前記光走査装置により潜像が形成される感光体と;
前記感光体の被走査面に形成された潜像を顕像化する現像手段と;
前記現像手段により顕像化されたトナー像を前記記録媒体に定着させる転写手段と;を備える画像形成装置。
An image forming apparatus that forms an image by fixing a toner image formed based on a latent image obtained from information about an image to a recording medium,
An optical scanning device according to claim 1 ;
A photoreceptor on which a latent image is formed by the optical scanning device;
Developing means for visualizing a latent image formed on the surface to be scanned of the photoreceptor;
An image forming apparatus comprising: a transfer unit that fixes the toner image visualized by the developing unit to the recording medium.
多色画像に関する情報から得られる各色ごとの潜像に基づいて形成されたトナー像を、記録媒体に重ね合わせて定着させることにより、多色画像を形成する画像形成装置であって、
請求項1に記載の光走査装置と;
前記光走査装置により各色に応じた潜像がそれぞれ形成される複数の感光体と;
前記複数の感光体の被走査面それぞれに形成された潜像を顕像化する現像手段と;
前記現像手段により顕像化された各色ごとのトナー像を前記記録媒体に重ね合わせて定着させる転写手段と;を備える画像形成装置。
An image forming apparatus for forming a multicolor image by superimposing and fixing a toner image formed on the basis of a latent image for each color obtained from information on a multicolor image on a recording medium,
An optical scanning device according to claim 1 ;
A plurality of photosensitive members on which latent images corresponding to the respective colors are formed by the optical scanning device;
Developing means for visualizing latent images formed on the scanned surfaces of the plurality of photoconductors;
An image forming apparatus comprising: a transfer unit configured to superimpose and fix the toner image of each color visualized by the developing unit on the recording medium.
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