JP5074062B2

JP5074062B2 - Resin metering device

Info

Publication number: JP5074062B2
Application number: JP2007065442A
Authority: JP
Inventors: 俊泰光成
Original assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Priority date: 2007-03-14
Filing date: 2007-03-14
Publication date: 2012-11-14
Anticipated expiration: 2027-03-14
Also published as: JP2008221717A

Description

本発明は、半導体チップ等を搭載した基板を樹脂にて圧縮封止する樹脂封止装置の技術分野に関する。 The present invention relates to a technical field of a resin sealing device that compresses and seals a substrate on which a semiconductor chip or the like is mounted with resin.

近年、半導体チップ等の製品を樹脂にて封止する装置として、いわゆる圧縮型の樹脂封止装置に対する需要が高まっている。このような圧縮型の樹脂封止装置として、図５にて示した樹脂封止装置１が公知である（特許文献１参照）。樹脂封止装置１は、上型２と下型４とから構成されている。又、この下型４にはプレス（図示しない）が連結されており、所定のタイミングで下型４を上型２に対して接近、離反することが可能とされている。下型４は、貫通孔５を備えた枠状金型４Ｂと当該貫通孔５に嵌合して配置される圧縮金型４Ａとを有した構成とされ、下型４の対向面（上型２側表面）の一部に形成されるキャビティ４０において被成形品６０を樹脂８０にて圧縮封止する。このような圧縮形成の場合には、被成形品６０と共に金型内に予め計量した樹脂８０を投入し圧縮して封止するため、成形品の精度（特に厚みの精度）は投入する樹脂量の変動に依存することになる。そのため、投入される樹脂の量はできるだけ精度良く計量されて金型内へと投入されることが重要となる。 In recent years, as a device for sealing a product such as a semiconductor chip with a resin, a demand for a so-called compression type resin sealing device is increasing. As such a compression type resin sealing device, the resin sealing device 1 shown in FIG. 5 is known (see Patent Document 1). The resin sealing device 1 includes an upper mold 2 and a lower mold 4. In addition, a press (not shown) is connected to the lower mold 4 so that the lower mold 4 can be moved toward and away from the upper mold 2 at a predetermined timing. The lower mold 4 is configured to include a frame-shaped mold 4B having a through hole 5 and a compression mold 4A that is fitted and disposed in the through hole 5. The molded product 60 is compression-sealed with a resin 80 in a cavity 40 formed in a part of the surface on the second side. In the case of such compression formation, since the resin 80 weighed in advance in the mold together with the molded product 60 is injected and compressed and sealed, the accuracy of the molded product (particularly the accuracy of the thickness) is the amount of resin to be injected. It depends on the fluctuation of For this reason, it is important that the amount of resin to be charged is measured as accurately as possible and then charged into the mold.

圧縮成形に用いられる樹脂は、例えば粉状、粒状のものが利用される場合が多い。このような粉状、粒状の樹脂を正確に計量して供給する装置として、図６に示す樹脂計量供給装置９０が知られている（特許文献２参照）。 As the resin used for compression molding, for example, a powdery or granular resin is often used. A resin metering and feeding device 90 shown in FIG. 6 is known as a device for accurately weighing and feeding such a powdery and granular resin (see Patent Document 2).

樹脂計量供給装置９０は、電子天秤９６の上に配置された支柱９８に対して、樹脂が供給されるホッパ９２と、樹脂の出口となる供給ノズル９３が設置された構成とされている。又、支柱９８には振動子９５が設けられている。また、電子天秤９６及び振動子９５には、演算装置９７が接続されている。供給ノズル９３から供給された樹脂は、フィーダ９４を介して樹脂供給先であるキャビティ８０にホッパ９２内の樹脂と分離された形で供給される。樹脂の供給は、演算装置９７からの指令により、支柱９８に設置された振動子９５が振動することによって行なわれる。又、この供給により樹脂が樹脂供給先であるキャビティ８０へと供給されると、電子天秤９６によって計量される計量値が減少する。この減少した量を演算装置９７によって検知した上で、所定のタイミングで振動子９５の振動を止め、供給を停止させることが可能とされている。このような構成及び作用によって、当該樹脂計量供給装置９０は樹脂を正確に計量供給することが可能とされている。 The resin weighing and supplying device 90 is configured such that a hopper 92 to which resin is supplied and a supply nozzle 93 to be an outlet of the resin are installed on a support column 98 disposed on an electronic balance 96. In addition, a vibrator 95 is provided on the support column 98. An arithmetic device 97 is connected to the electronic balance 96 and the vibrator 95. The resin supplied from the supply nozzle 93 is supplied to the cavity 80 as a resin supply destination via the feeder 94 in a form separated from the resin in the hopper 92. The resin is supplied when the vibrator 95 installed on the support column 98 vibrates in accordance with a command from the arithmetic unit 97. When the resin is supplied to the cavity 80 as a resin supply destination by this supply, the measurement value measured by the electronic balance 96 is decreased. After the reduced amount is detected by the arithmetic unit 97, the vibration of the vibrator 95 can be stopped at a predetermined timing to stop the supply. With such a configuration and operation, the resin metering and supplying device 90 can accurately meter and supply the resin.

特開２００５−２１９２９７号公報JP 2005-219297 A 特開平９−５１４８号公報Japanese Patent Laid-Open No. 9-5148

前述した樹脂計量供給装置９０では、樹脂の計量供給速度を早めようとした場合には、振動子９５の振動（振幅）を強くすることで対応することができる。一方、樹脂を精密に計量供給しようとした場合には、振動子９５の振動（振幅）を弱めることで対応可能である。 In the resin metering device 90 described above, when the resin metering speed is to be increased, the vibration (amplitude) of the vibrator 95 can be increased. On the other hand, when the resin is to be precisely metered, it can be dealt with by reducing the vibration (amplitude) of the vibrator 95.

しかしながら、仮に上記のように振動子９５の振動（振幅）の強弱により迅速な計量供給と精密な計量供給との両立しようとした場合には、それぞれの目的（迅速に計量供給する、精密に計量供給する）をある程度妥協する必要があった。即ち、迅速に計量供給しようとすれば、樹脂が計量供給される上で通過する「経路」を、その計量供給量に応じて大きく確保しておく必要がある。一方で、樹脂を精密に計量供給しようとすれば、振動子の振動を単に弱めるのみではなく、樹脂の「経路」そのものを精密な計量供給量に応じて小さく設計しておく方が有利となる。つまり、単に振動を弱めたとしても、経路上に大量の（精密な計量供給という観点から見て相対的に大量の）樹脂が存在していれば、樹脂がある程度の「纏まり（塊り）」として計量供給されるため、どうしてもその精密さには限界がある。その結果、樹脂が所定量を超えて供給されれば、樹脂を破棄する必要性が生じたり、更には、樹脂量多過による樹脂封止異常の原因ともなり得る。 However, if it is attempted to achieve both rapid metering and precise metering by virtue of the vibration (amplitude) of the vibrator 95 as described above, each purpose (rapid metering, precise metering) Supply) to some extent. That is, in order to quickly meter and supply, it is necessary to ensure a large “path” through which the resin is metered and supplied in accordance with the metered amount. On the other hand, if we want to accurately meter and supply resin, it is advantageous not only to weaken the vibration of the vibrator, but also to design the resin “path” itself to be small according to the precise metering amount. . In other words, even if the vibration is simply weakened, if there is a large amount of resin (relatively large amount from the viewpoint of precise metering and supply) on the path, the resin will be “bundled” to some extent. As it is weighed in, there is a limit to its precision. As a result, if the resin is supplied in excess of a predetermined amount, it may be necessary to discard the resin, or it may cause a resin sealing abnormality due to excessive resin amount.

本発明は、これらの問題点を解決するべくなされたものであって、迅速な樹脂の計量供給と、精密な樹脂の計量供給とを高い次元で両立することをその課題としている。 The present invention has been made to solve these problems, and it is an object of the present invention to achieve both high-speed resin metering and precise resin metering at a high level.

本発明は、樹脂封止に使用するために所定量の粉状又は粒状の樹脂を計量・供給する樹脂計量供給装置であって、前記樹脂を計量・分離可能な計量部が、前記所定量に満たない範囲で前記所定量の概量を計量・分離可能な粗計量部と、該粗計量部の計量値と前記所定量との差分を前記粗計量部よりも精密に計量・分離可能な微計量部と、を備え、且つ、前記所定量に対する前記概量を保持するための容器と、該所定量に対する前記差分を保持するための容器と、をそれぞれ備えることにより上記課題を解決するものである。或いは、本発明は、樹脂封止に使用するために所定量の粉状又は粒状の樹脂を計量・供給する樹脂計量供給装置であって、前記樹脂を計量・分離可能な計量部が、前記所定量に満たない範囲で前記所定量の概量を計量・分離可能な粗計量部と、該粗計量部の計量値と前記所定量との差分を前記粗計量部よりも精密に計量・分離可能な微計量部と、を備え、且つ、前記所定量に対する前記概量及び前記差分を別々に保持するための容器、若しくは該概量と該差分の両方を纏めて保持するための容器、を複数備えることにより上記課題を解決するものである。 The present invention is a resin metering and feeding device for metering and feeding a predetermined amount of powdery or granular resin for use in resin sealing, wherein a metering unit capable of weighing and separating the resin has a predetermined amount. A coarse weighing unit capable of weighing / separating the approximate amount of the predetermined amount within a range not exceeding, and a fine measurement / separation of the difference between the measurement value of the coarse weighing unit and the predetermined amount more precisely than the coarse weighing unit. And a container for holding the approximate amount with respect to the predetermined amount, and a container for holding the difference with respect to the predetermined amount. is there. Alternatively, the present invention provides a resin metering device for metering and supplying a predetermined amount of powdered or granular resin for use in resin sealing, wherein the metering unit capable of metering and separating the resin comprises Coarse weighing unit capable of weighing / separating the approximate amount of the predetermined amount within the range of less than the fixed amount, and the difference between the measured value of the coarse weighing unit and the predetermined amount can be measured / separated more precisely than the coarse weighing unit And a plurality of containers for separately holding the approximate amount and the difference with respect to the predetermined amount, or a container for collectively holding both the approximate amount and the difference. By providing, the above-mentioned problems are solved.

このような構成を採用することで、樹脂の迅速且つ精密な供給を高い次元で両立させることが可能となっている。即ち、迅速性を担保するための粗計量部と精密性を担保するための微計量部をそれぞれ設けることで、各計量部をそれぞれの目的に応じて専用設計することが可能となる。具体的には、例えば、粗計量部の樹脂の「経路」は大きく確保し、微計量部の樹脂の「経路」は精密さに応じて小さく設計することができる。その結果、粗計量部により所定量に満たない範囲で概量を迅速に計量・分離し、その後「差分」を微計量部によって精密に計量・分離することで、樹脂の迅速且つ精密な供給を可能としている。 By adopting such a configuration, it is possible to achieve both rapid and precise supply of resin at a high level. That is, by providing a coarse weighing unit for ensuring quickness and a fine weighing unit for ensuring precision, each weighing unit can be designed exclusively for each purpose. Specifically, for example, a large “path” of the resin of the coarse weighing unit can be secured, and a “path” of the resin of the fine weighing unit can be designed to be small depending on the precision. As a result, the rough weighing unit quickly measures and separates the approximate amount in a range that is less than the predetermined amount, and then accurately measures and separates the “difference” by the fine weighing unit, thereby enabling rapid and precise resin supply. It is possible.

また、本発明の適用により計量ミス自体を減らすことができるため、前記粗計量部及び前記微計量部により計量・分離された前記樹脂が前記所定量を超えた場合に、該所定量に対する前記概量と前記差分のうちの少なくとも該差分が破棄される構成を採用してもよい。 Further, when it is possible to reduce the weighing errors itself by application of the present invention, the said resins, which are metered and separated by the coarse metering unit and said fine measuring section exceeds the predetermined amount, the relative predetermined amount A configuration in which at least the difference between the approximate amount and the difference is discarded may be adopted .

なお本発明は、樹脂封止に使用するために所定量の粉状又は粒状の樹脂を計量・供給する樹脂計量供給方法であって、前記樹脂を計量・分離可能な計量部を、前記樹脂を計量・分離可能な粗計量部と、前記樹脂を前記粗計量部よりも精密に計量・分離可能な微計量部とで構成した上で、前記粗計量部により、前記所定量に満たない範囲の前記樹脂の概量を、容器に計量・分離した後に、前記微計量部により、前記粗計量部の計量値と前記所定量との差分を前記粗計量部よりも精密に、前記概量が計量・分離された容器とは別の容器に計量・分離することを特徴とする樹脂計量供給方法として捉えることも可能である。或いは、本発明は、樹脂封止に使用するために所定量の粉状又は粒状の樹脂を計量・供給する樹脂計量供給方法であって、前記樹脂を計量・分離可能な計量部を、前記樹脂を計量・分離可能な粗計量部と、前記樹脂を前記粗計量部よりも精密に計量・分離可能な微計量部とで構成した上で、前記粗計量部により、前記所定量に満たない範囲の前記樹脂の概量を、複数の容器のうちのいずれか一つの容器に計量・分離した後に、前記微計量部により、前記粗計量部の計量値と前記所定量との差分を前記粗計量部よりも精密に、前記概量が計量・分離された容器とは別であり且つ前記複数の容器のうちのいずれか一つの容器に計量・分離する、若しくは前記微計量部により、前記所定量に満たない範囲の前記樹脂の概量を、複数の容器のうちのいずれか一つの容器に計量・分離し、前記微計量部により、前記粗計量部の計量値と前記所定量との差分を前記粗計量部よりも精密に、前記概量が計量・分離された容器に纏めて計量・分離することを特徴とする樹脂計量供給方法として捉えることも可能である。 The present invention is a resin metering method for metering and supplying a predetermined amount of powdery or granular resin for use in resin sealing, wherein a metering unit capable of metering and separating the resin is provided with the resin A coarse weighing unit that can be weighed and separated, and a fine weighing unit that can measure and separate the resin more precisely than the coarse weighing unit . the approximate amount of the resin, after weighing and separating the container, by the fine metering unit, the rough weighing value of the weighing unit and the difference between the predetermined amount accurate than the rough weighing unit, the approximate amount of metering -It can also be grasped as a resin metering method characterized by weighing and separating into a container different from the separated container . Alternatively, the present invention relates to a resin metering method for metering and supplying a predetermined amount of powdery or granular resin for use in resin sealing, wherein the metering unit capable of metering and separating the resin comprises the resin A coarse weighing unit capable of weighing / separating, and a fine weighing unit capable of weighing / separating the resin more precisely than the coarse weighing unit. After weighing / separating the approximate amount of the resin into any one of a plurality of containers, the difference between the measured value of the coarse weighing unit and the predetermined amount is measured by the fine weighing unit. More precisely than the container, the approximate amount is separated from the container in which the approximate amount is weighed and separated, and is measured and separated into any one of the plurality of containers, or the predetermined amount is measured by the fine weighing unit The approximate amount of the resin in a range less than Weighed and separated into one of these containers, and the fine weighing unit weighed and separated the approximate amount with a difference between the measured value of the coarse weighing unit and the predetermined amount more precisely than the coarse weighing unit. It can also be understood as a resin metering method characterized by weighing and separating in a container .

なお、ここでいう「分離」とは、当該樹脂計量供給装置が行う外部への「供給」との明確な区別のために用いた言葉であり、計量される以前の「集合体としての樹脂」から計量後の樹脂を切り出すことによって分離するという概念である。 In addition, "separation" here is a word used for clear distinction from the "supply" to the outside performed by the resin metering device, "resin as an aggregate" before being weighed It is the concept of separating by weighing out the resin after weighing.

また、なお、本発明における樹脂の「所定量」とは、許容される誤差を含んだ概念である。 In addition, the “predetermined amount” of the resin in the present invention is a concept including an allowable error.

本発明を適用することにより、迅速な樹脂の計量供給と、精密な樹脂の計量供給とを高い次元で両立できる。 By applying the present invention, rapid metering of resin and precise metering of resin can be achieved at a high level.

最初に、図１を参照しつつ、本発明の実施形態の一例である樹脂計量供給装置１００の構成を説明する。図１は、本発明の実施形態の一例を示す樹脂供給機構１００の平面図であって、概略的な構成を示したものである。 First, the configuration of a resin metering apparatus 100 that is an example of an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a plan view of a resin supply mechanism 100 showing an example of an embodiment of the present invention, and shows a schematic configuration.

樹脂計量供給装置１００は、粉状又は粒状の樹脂を計量・分離可能な計量部１４０と、当該計量部１４０にて計量・分離された樹脂を一時的に保持可能な保持部１０１とから構成される。この計量部１４０は図示せぬ演算装置や電子天秤を有して構成されており、計量値をリアルタイムで確認しつつ計量しながら分離し、後述する保持部に対して供給することが可能とされている。計量部１４０は、樹脂を迅速に計量・分離可能な粗計量部１４０Ａと、樹脂を精密に計量・分離可能な微計量部１４０Ｂとを備えた構成とされている。本実施形態では、これら粗計量部１４０Ａ及び微計量部１４０Ｂは、それぞれが計量・分離しようとする樹脂の量に応じて専用設計がなされている。即ち、専用設計とすることで、樹脂の迅速且つ精密な供給を高い次元で両立させることが可能となっている。即ち、迅速性を担保するための粗計量部１４０Ａと精密性を担保するための微計量部１４０Ｂをそれぞれ設けることで、各計量部１４０Ａ、１４０Ｂをそれぞれの目的に応じて専用設計することが可能となる。具体的には、例えば、粗計量部１４０Ａでの樹脂の「経路」は大きく確保し、微計量部１４０Ｂでの樹脂の「経路」は精密さに応じて小さく設計することができる。その結果、粗計量部１４０Ａにより所定量に満たない範囲で概量を迅速に計量・分離し、その後「差分」を微計量部１４０Ｂによって精密に計量・分離することで、樹脂の迅速且つ精密な供給を可能としている。また、専用設計とすることで、微計量部１４０Ｂをコンパクトに構成することも可能となっている。 The resin metering device 100 is composed of a metering unit 140 capable of metering / separating powdered or granular resin, and a holding unit 101 capable of temporarily retaining the resin metered / separated by the metering unit 140. The The weighing unit 140 includes an arithmetic device and an electronic balance (not shown). The weighing unit 140 can be separated while being measured while checking the measured value in real time, and can be supplied to a holding unit described later. ing. The weighing unit 140 includes a coarse weighing unit 140A that can quickly measure and separate resin, and a fine weighing unit 140B that can accurately measure and separate resin. In the present embodiment, the coarse weighing unit 140A and the fine weighing unit 140B are specially designed according to the amount of resin to be weighed and separated. That is, by using a dedicated design, it is possible to achieve both high speed and precise supply of resin. That is, it is possible to design each weighing unit 140A, 140B exclusively for each purpose by providing a coarse weighing unit 140A for ensuring rapidity and a fine weighing unit 140B for ensuring precision. It becomes. Specifically, for example, a large resin “path” in the coarse weighing unit 140A can be secured, and a resin “path” in the fine weighing unit 140B can be designed to be small in accordance with precision. As a result, the rough weighing unit 140A quickly measures and separates the approximate amount within a predetermined amount, and then accurately measures and separates the “difference” by the fine weighing unit 140B. Supply is possible. In addition, the fine weighing unit 140B can be configured in a compact manner by using a dedicated design.

一方、保持部１０１は、回転中心Ｏを中心として回転可能な回転テーブル（位置変換機構）１１０に対して、４つの容器（第１容器１２０Ａ、第２容器１２０Ｂ、第３容器１２０Ｃ、第４容器１２０Ｄ）が備わった構成とされている。又、これら各容器（第１容器１２０Ａ、第２容器１２０Ｂ、第３容器１２０Ｃ、第４容器１２０Ｄ）は、独立して上下反転することにより当該容器内に保持する樹脂を外部（例えば樹脂供給先や破棄トレイなど、詳細は後述する。）へと放出することが可能とされている。 On the other hand, the holding unit 101 has four containers (a first container 120A, a second container 120B, a third container 120C, and a fourth container) with respect to a rotation table (position conversion mechanism) 110 that can rotate around the rotation center O. 120D). Each of these containers (the first container 120A, the second container 120B, the third container 120C, and the fourth container 120D) independently flips the resin held in the container to the outside (for example, a resin supply destination). And the disposal tray will be described later in detail.).

粗計量部１４０Ａは、前述したとおり樹脂を迅速に計量・分離することが可能である。即ち、当該樹脂計量供給装置１００が供給しようとする樹脂の所定量に満たない範囲で、供給すべき樹脂の「所定量の概量」を計量し分離している。この粗計量部１４０Ａの特徴としては、樹脂を迅速に計量することができることである。一方、微計量部１４０Ｂは、ある「量」に対して精密に樹脂を計量した上で分離することが可能である。但し、その性格上、大量の樹脂を計量する場合には、前述した粗計量部１４０Ａに比べ計量のための時間を要する場合がある。 The coarse weighing unit 140A can quickly weigh and separate the resin as described above. That is, the “predetermined amount of the predetermined amount” of the resin to be supplied is measured and separated within a range that does not satisfy the predetermined amount of the resin to be supplied by the resin metering device 100. A characteristic of the coarse weighing unit 140A is that the resin can be quickly metered. On the other hand, the fine weighing unit 140B can accurately separate the resin after weighing a certain amount. However, due to its nature, when a large amount of resin is to be weighed, it may take a longer time for weighing than the above-described coarse weighing unit 140A.

次に、図１（Ａ）乃至（Ｃ）の順に従って当該樹脂計量供給装置１００の作用について説明する。 Next, the operation of the resin metering device 100 will be described in the order of FIGS. 1 (A) to 1 (C).

最初に図１（Ａ）に示すように、粗計量部１４０Ａによって、第１容器１２０Ａに対してある程度の樹脂（即ち、当該樹脂計量供給装置１００が供給しようとする樹脂の「所定量」の概量）が計量・分離される。ここでの計量・分離は粗計量部１４０Ａによって行われており、迅速に完了する。また、第１容器１２０Ａに保持された樹脂は、当該樹脂計量供給装置１００が供給しようとする樹脂の「所定量」よりも僅かに少ない量となっている。粗計量部１４０Ａから第１容器１２０Ａに対して計量・分離された樹脂の量は、粗計量部１４０Ａに備わる演算装置によってリアルタイムで監視されているため、粗計量部１４０Ａから第１容器１２０Ａに対する樹脂の計量・分離が終了した段階で、「所定量」に対する不足分（いわゆる「差分」）が瞬時に計算される。この計算結果に基づいて、図１（Ｂ）に示すように、微計量部１４０Ｂから第４容器１２０Ｄに対して当該「差分」の樹脂の計量・分離が行なわれる。微計量部１４０Ｂは、精密に樹脂を計量し第４容器１２０Ｄへと分離することが可能である。また、当該「差分」自体の絶対量が少ないために、微計量部１４０Ｂによって精度のよい計量が行われた場合でも、計量が完了するまでに要する時間は短くて済む。また、万が一計量ミス等によって第４容器１２０Ｄに対して計量・分離すべき樹脂量が多過となった場合（即ち、第１容器１２０Ａと、第４容器１２０Ｄとに保持される樹脂の合算値が当該樹脂計量供給装置１００が供給しようとする「所定量」を超えている場合や、第４容器１２０Ｄに対して計量・分離した樹脂の量が算出した「差分」を超えている場合）には、当該第４容器１２０Ｄに保持される樹脂（所謂「差分」として計量・分離された樹脂）のみが破棄される。当該破棄は、本実施形態では、第４容器が反転することによって実現される。このような場合には、微計量部１４０Ｂによって再度第４容器１２０Ｄに対して「差分」の樹脂が計量・分離される必要があるが、破棄された樹脂は「差分」のみでありその絶対量が少ないため、再度の計量・分離に要する時間が短くて済む。再度の計量・分離によって、第１容器１２０Ａに保持される樹脂量と、第４容器１２０Ｄに保持される樹脂量とが「所定量」となった場合に、初めて供給先へと樹脂が供給される。この供給は、図１（Ｃ）に示すように、回転テーブル１１０が１８０°回転した後、第１容器１２０Ａ及び第４容器１２０Ｄが反転し、両容器１２０Ａ、１２０Ｄに保持される樹脂が合算されて供給先へと供給される。その後は回転テーブル１１０が１８０°回転した状態のまま図１（Ａ）の状態へと戻り、同様の供給が繰り返されることとなる。 First, as shown in FIG. 1 (A), a rough weighing unit 140A gives an outline of a certain amount of resin (that is, a “predetermined amount” of resin to be supplied by the resin metering device 100) to the first container 120A. Quantity) is weighed and separated. The weighing / separation here is performed by the coarse weighing unit 140A and is completed quickly. Further, the amount of resin held in the first container 120 </ b> A is slightly smaller than the “predetermined amount” of the resin to be supplied by the resin metering device 100. Since the amount of resin weighed and separated from the coarse weighing unit 140A to the first container 120A is monitored in real time by the arithmetic unit provided in the coarse weighing unit 140A, the resin from the coarse weighing unit 140A to the first container 120A When the measurement / separation is completed, the shortage (so-called “difference”) with respect to the “predetermined amount” is instantaneously calculated. Based on the calculation result, as shown in FIG. 1B, the “difference” resin is weighed and separated from the fine weighing unit 140B to the fourth container 120D. The fine weighing unit 140B can accurately measure the resin and separate it into the fourth container 120D. In addition, since the absolute amount of the “difference” itself is small, even when accurate weighing is performed by the fine weighing unit 140B, the time required to complete the weighing can be shortened. Also, if the amount of resin to be weighed / separated from the fourth container 120D becomes excessive due to a measurement error or the like (that is, the total value of the resins held in the first container 120A and the fourth container 120D) When the resin metering supply device 100 exceeds the “predetermined amount” to be supplied, or when the amount of resin weighed / separated from the fourth container 120D exceeds the calculated “difference”) Is discarded only the resin (resin weighed and separated as a so-called “difference”) held in the fourth container 120D. In the present embodiment, the discarding is realized by inverting the fourth container. In such a case, the “difference” resin needs to be weighed and separated again from the fourth container 120D by the fine weighing unit 140B. However, the discarded resin is only “difference” and its absolute amount. Therefore, the time required for re-weighing / separation is short. When the amount of resin held in the first container 120A and the amount of resin held in the fourth container 120D reach a “predetermined amount” by weighing and separating again, the resin is supplied to the supply destination for the first time. The In this supply, as shown in FIG. 1C, after the rotary table 110 rotates 180 °, the first container 120A and the fourth container 120D are reversed, and the resins held in both the containers 120A and 120D are added together. Supplied to the supplier. Thereafter, the state returns to the state shown in FIG. 1A while the rotary table 110 is rotated 180 °, and the same supply is repeated.

このように、本実施形態における樹脂計量供給装置１００においては、計量部１４０を粗計量部１４０Ａと微計量部１４０Ｂとに分けて構成し、粗計量部１４０Ａの計量・分離が終った段階で最終的な供給量に対する「差分」を求め、当該「差分」を微計量部１４０Ｂによって「別の容器」に計量・分離するという手法をとっている。このような手法を採用したことで、両方の計量部１４０Ａ、１４０Ｂから計量・分離された樹脂の合算値が、当該樹脂計量供給装置１００が供給しようとする樹脂の「所定量」を結果的に超えた場合には、微計量部１４０Ｂによって計量・分離された絶対量の少ない樹脂のみを破棄することによって、計量ミスが生じた際に破棄される樹脂の絶対量を低減することが可能となっている。更に、樹脂を破棄した場合でも破棄した樹脂の絶対量が少ないため、再度の計量・分離のために要する時間が短く済む。即ち、当該樹脂計量供給装置１００の供給先において、「樹脂の供給待ち」という状態が発生することを防止、低減している。 As described above, in the resin weighing and supplying apparatus 100 according to the present embodiment, the weighing unit 140 is divided into the coarse weighing unit 140A and the fine weighing unit 140B, and the final measurement is performed at the stage where the weighing and separation of the coarse weighing unit 140A is completed. A “difference” with respect to a specific supply amount is obtained, and the “difference” is measured and separated into “another container” by the fine weighing unit 140B. By adopting such a method, the total value of the resin weighed / separated from both the weighing units 140A and 140B results in the “predetermined amount” of the resin to be supplied by the resin weighing supply device 100 as a result. When exceeding, it is possible to reduce the absolute amount of resin discarded when a measurement error occurs by discarding only the resin with a small absolute amount weighed / separated by the fine metering unit 140B. ing. Further, even when the resin is discarded, the absolute amount of the discarded resin is small, so that the time required for re-measurement / separation can be shortened. That is, the occurrence of a “resin supply waiting” state is prevented or reduced at the supply destination of the resin metering device 100.

次に、図２を用いて本発明の他の実施形態の一例について説明する。なお、前述した樹脂計量供給装置１００と同一又は類似する部分については数字下２桁が同一の符号を付するに止め、重複した構成及び作用の説明は省略する。 Next, an example of another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In addition, about the part which is the same as that of the resin measurement supply apparatus 100 mentioned above, or a similar thing, only the last two digits attach | subject the same code | symbol, and description of the overlapping structure and action is abbreviate | omitted.

図２で示す樹脂計量供給装置２００においては、図１で示した樹脂計量供給装置１００のようにそれぞれ別々の容器に対して粗計量部１４０Ａ及び微計量部１４０Ｂから樹脂が計量・分離されるのではなく、１つの容器に対して順次粗計量部１４０Ａから樹脂が計量分離された後に微計量部１４０Ｂから樹脂が計量・分離される点が異なっている。以下具体的に説明する。 In the resin metering device 200 shown in FIG. 2, the resin is weighed and separated from the coarse metering unit 140A and the fine metering unit 140B for different containers as in the resin metering device 100 shown in FIG. Instead, the resin is weighed and separated from the fine weighing unit 140B after the resin is weighed and separated from the coarse weighing unit 140A sequentially for one container. This will be specifically described below.

樹脂計量供給装置２００は、最初に第１容器２２０Ａに対して粗計量部２４０Ａからある程度の樹脂が計量されて分離される。 In the resin weighing and supplying apparatus 200, a certain amount of resin is first weighed and separated from the coarse weighing unit 240A with respect to the first container 220A.

かかる樹脂の計量・分離が完了すると、回転テーブル２１０が反時計周りに約１２０°回転する（同図（Ｂ）参照）。即ち、粗計量部２４０Ａに対応する位置にあった第１容器２２０Ａが、微計量部２４０Ｂに対応する位置にまで移動する。同時に、第２容器２２０Ｂが、粗計量部２４０Ａに対応する位置にまで移動してくる。その後、第１容器２２０Ａに対しては、続く微計量部２４０Ｂによって、「差分」の樹脂が計量されて分離される。一方、第２容器２２０Ｂに対しては、粗計量部２４０Ａによって樹脂が計量・分離される。 When the measurement / separation of the resin is completed, the turntable 210 rotates about 120 ° counterclockwise (see FIG. 5B). That is, the first container 220A that was at the position corresponding to the coarse weighing unit 240A moves to the position corresponding to the fine weighing unit 240B. At the same time, the second container 220B moves to a position corresponding to the coarse weighing unit 240A. Thereafter, the resin of “difference” is weighed and separated from the first container 220A by the subsequent fine metering unit 240B. On the other hand, for the second container 220B, the resin is weighed and separated by the coarse weighing unit 240A.

かかる工程が完了すると再び回転テーブル２１０が反時計周りに約１２０°回転し、図２（Ｃ）の状態になる。即ち、微計量部２４０Ｂによって「差分」の樹脂が追加的に計量・分離された第１容器２２０Ａが供給先への樹脂供給位置へと移動し、第１容器２２０Ａに保持される樹脂が供給先へと供給される。同時に第２容器２２０Ｂに対しては「差分」の樹脂が微計量部２４０Ｂによって追加的に計量・分離される。同時に、第３容器２２０Ｃに対しては粗計量部２４０Ａによって樹脂が計量・分離される。その後は図２（Ｂ）の状態に戻り、順次同様に樹脂の計量・分離と供給が繰り返されることとなる。 When this process is completed, the turntable 210 rotates again by about 120 ° counterclockwise, and the state shown in FIG. That is, the first container 220A in which the “difference” resin is additionally weighed and separated by the fine weighing unit 240B moves to the resin supply position to the supply destination, and the resin held in the first container 220A is supplied to the supply destination. Supplied to. At the same time, the “difference” resin is additionally weighed and separated from the second container 220B by the fine metering unit 240B. At the same time, the resin is weighed and separated from the third container 220C by the coarse weighing unit 240A. Thereafter, the state returns to the state shown in FIG. 2B, and the measurement / separation and supply of the resin are sequentially repeated in the same manner.

なお、当該樹脂計量供給装置２００において、微計量部２４０Ｂによって「差分」の樹脂が計量・分離された結果、粗計量部２４０Ａにより計量・分離された樹脂の量と微計量部２４０Ｂにより計量・分離された樹脂の量とが当該樹脂計量供給装置２００の供給すべき「所定量」を超えた場合や、微計量部２４０Ｂにより計量・分離された樹脂の量が「差分」を超えている場合には、図３に示すような方法で樹脂が廃棄されることとなる。図２では図示していないが、樹脂計量供給装置２００における、微計量部２４０Ｂと各容器との間には、スイング容器２６４を有するスイングシリンダ２６２が進入可能とされている。このスイング容器２６４を有するスイングシリンダ２６２が本実施形態においては破棄手段２６０として機能する。即ち、微計量部２４０Ｂが各容器に対して樹脂を計量・分離する際には、スイングシリンダ２６２によってスイング容器２６４が微計量部２４０Ｂと各容器との間に侵入し、一旦、当該スイング容器に対して微計量部２４０Ｂからの樹脂の計量・分離が行なわれる。その結果、粗計量部２４０Ａにより計量・分離された樹脂量と、当該微計量部２４０Ｂにより計量・分離された樹脂の量とが結果的に「所定量」となった場合に初めて当該スイング容器２６４がスイングし、当該スイング容器２６４の下に位置する各容器２２０Ａ、２２０Ｂ、２２０Ｃに対して微計量部２４０Ｂによって計量・分離された「差分」の樹脂が投入される。一方、スイング容器２６４に対して計量・分離された樹脂と粗計量部２４０Ａによって計量・分離された樹脂の量の合算値が結果として「所定量」を超えていた場合には、スイングシリンダ２６２が後退し、スイング容器２６４に保持される樹脂を破棄トレイ２５０へと破棄することが可能となっている。 In the resin weighing and supplying apparatus 200, as a result of weighing and separating the “difference” resin by the fine weighing unit 240B, the amount of the resin weighed and separated by the coarse weighing unit 240A and the measurement and separation by the fine weighing unit 240B. When the amount of resin exceeds the “predetermined amount” to be supplied by the resin metering device 200, or when the amount of resin weighed and separated by the fine metering unit 240B exceeds the “difference” In this case, the resin is discarded by the method shown in FIG. Although not shown in FIG. 2, a swing cylinder 262 having a swing container 264 can enter between the fine measurement unit 240 </ b> B and each container in the resin measurement supply device 200. The swing cylinder 262 having the swing container 264 functions as the discarding unit 260 in the present embodiment. That is, when the fine weighing unit 240B measures and separates the resin for each container, the swing container 264 enters between the fine weighing unit 240B and each container by the swing cylinder 262, and temporarily enters the swing container. On the other hand, the resin is weighed and separated from the fine weighing unit 240B. As a result, the swing container 264 is not used until the amount of resin weighed and separated by the coarse weighing unit 240A and the amount of resin weighed and separated by the fine weighing unit 240B become a “predetermined amount”. , And the “difference” resin weighed and separated by the fine metering unit 240B is put into each of the containers 220A, 220B, and 220C located under the swing container 264. On the other hand, if the sum of the amount of resin weighed / separated from the swing container 264 and the amount of resin weighed / separated by the coarse weighing unit 240A exceeds “predetermined amount”, the swing cylinder 262 It is possible to retreat and discard the resin held in the swing container 264 to the discard tray 250.

次に、図４を用いて更に他の実施形態の一例について説明する。図４にて示す樹脂計量供給装置３００は、図２で示した樹脂計量供給装置２００の樹脂の供給態様を並列供給（マルチ供給）に対応させたものである。 Next, another example of the embodiment will be described with reference to FIG. The resin metering / supplying device 300 shown in FIG. 4 corresponds to the resin supply mode of the resin metering / supplying device 200 shown in FIG. 2 corresponding to parallel supply (multiple supply).

ここでも、第１容器３２０Ａから順次第２容器３２０Ｂ、第３容器３２０Ｃ、更には第４容器３２０Ｄへと順次粗計量部３４０Ａによってある程度の樹脂（概量の樹脂）が計量・分離された後、微計量部３４０Ｂによって「差分」の樹脂が計量・分離されることとなる。 Here, after a certain amount of resin (approximate amount of resin) is weighed and separated by the coarse weighing unit 340A sequentially from the first container 320A to the second container 320B, the third container 320C, and further to the fourth container 320D, The “difference” resin is weighed and separated by the fine metering unit 340B.

最初に図４（Ａ）〜（Ｂ）に示したように、第１容器３２０Ａに対して粗計量部３４０Ａによってある程度の樹脂（概量の樹脂）が計量・分離される。次に、回転テーブル３１０が反時計周りに９０°回転する。その後図４（Ｃ）に示すように、第１容器３２０Ａに対して微計量部３４０Ｂによって「差分」の樹脂が計量・分離されると同時に、第２容器３２０Ｂには粗計量部３４０Ａによってある程度の樹脂（概量の樹脂）が計量・分離される。続いて再度回転テーブル３１０が反時計周りに９０°回転する。その後図４（Ｄ）に示すように、第２容器３２０Ｂに対して微計量部３４０Ｂによって「差分」の樹脂が計量・分離されると同時に、第３容器３２０Ｃには粗計量部３４０Ａによってある程度の樹脂（概量の樹脂）が計量・分離される。続いて再度回転テーブル３１０が反時計周りに９０°回転する。その後図４（Ｅ）に示すように、第３容器３２０Ｃに対して微計量部３４０Ｂによって「差分」の樹脂が計量・分離されると同時に、第４容器３２０Ｄには粗計量部３４０Ａによってある程度の樹脂（概量の樹脂）が計量・分離される。かかる時点において、第１容器３２０Ａ及び第２容器３２０Ｂには既に所定量の樹脂が保持されているため、それぞれが所定のタイミングで供給されることとなる（図４（Ｆ））。その後は、図４（Ｃ）に相当する工程に戻り順次同様の作用が繰り返される。 First, as shown in FIGS. 4A to 4B, a certain amount of resin (approximate amount of resin) is weighed and separated by the coarse weighing unit 340A with respect to the first container 320A. Next, the rotary table 310 rotates 90 ° counterclockwise. Thereafter, as shown in FIG. 4C, the “difference” resin is weighed and separated by the fine weighing unit 340B from the first container 320A, and at the same time, the coarse weighing unit 340A has a certain amount of resin in the second container 320B. Resin (approximate amount of resin) is weighed and separated. Subsequently, the rotary table 310 again rotates 90 ° counterclockwise. Thereafter, as shown in FIG. 4 (D), the resin of “difference” is weighed and separated from the second container 320B by the fine weighing unit 340B, and at the same time, the third container 320C is subjected to a certain amount by the coarse weighing unit 340A. Resin (approximate amount of resin) is weighed and separated. Subsequently, the rotary table 310 again rotates 90 ° counterclockwise. Thereafter, as shown in FIG. 4 (E), the “difference” resin is weighed and separated by the fine metering unit 340B from the third container 320C, and at the same time, the coarse metering unit 340A has a certain amount of resin in the fourth container 320D. Resin (approximate amount of resin) is weighed and separated. At this time, since a predetermined amount of resin is already held in the first container 320A and the second container 320B, each is supplied at a predetermined timing (FIG. 4F). Thereafter, the process returns to the step corresponding to FIG. 4C, and the same operation is sequentially repeated.

なお、図面上現れていないが、微計量部３４０Ｂから各容器に対して樹脂を供給する際に、一旦スイングシリンダに連結されたスイング容器に樹脂を供給した上で各容器に投入される点については同様である。 Although not shown in the drawing, when resin is supplied to each container from the fine measuring unit 340B, the resin is once supplied to the swing container connected to the swing cylinder and then charged into each container. Is the same.

また、上記の実施形態全てにおいて、破棄された樹脂はそのまま破棄するだけでなく、再利用することが可能である。これにより更に樹脂の無駄を防止することができる。なおこのように再利用可能となるのは、本実施形態のように樹脂の「計量後直ぐ」に樹脂を破棄しているため、樹脂のポットライフが未だそれ程多く経過していないことから可能となっているものである。 Further, in all the above embodiments, the discarded resin can be reused as well as discarded as it is. This further prevents waste of resin. In addition, since the resin is discarded immediately after the weighing of the resin as in the present embodiment, the pot life of the resin has not yet passed so much. It is what has become.

なお、上記の実施形態では、計量部によって計量・分離された樹脂が、一旦保持部に保持された上で外部へと供給されていた。このような構成は、計量ミスが生じたような場合に、保持部の樹脂を破棄することができるという点で有利である。しかしながら粗計量部と微計量部を備えることで、全体としての計量の精度（精密さ）が向上すれば、計量ミス自体を大幅に減らすことができるため、直接外部の供給先（例えば金型、プレ成形装置など）へと供給してもよい。 In the above embodiment, the resin weighed and separated by the metering unit is once held in the holding unit and then supplied to the outside. Such a configuration is advantageous in that the resin of the holding portion can be discarded when a measurement error occurs. However, by providing a coarse weighing unit and a fine weighing unit, if the accuracy (precision) of weighing as a whole is improved, weighing errors themselves can be greatly reduced. You may supply to a pre-molding apparatus etc.).

また、保持部には複数の容器が備わって構成されていた。これは計量ミスが生じた場合でも複数の容器の一部のみを破棄することで足りるため、破棄する樹脂の量を低減でき、再計量までの時間を短縮するという点において有利であった。しかしながら粗計量部と微計量部を備えることで、全体としての計量の精度（精密さ）が向上すれば、計量ミス自体を大幅に減らすことができる。例えば、粗計量部及び微計量部により計量・分離された樹脂の両方を同時に保持可能な容器を備え、該容器に保持された樹脂が所定量を超えた場合に当該容器内に保持される樹脂が破棄されるような構成でもよい。計量ミス自体を減らすことができるため、単一の容器にて粗計量部及び微計量部からの樹脂を纏めて保持し、当該容器内の全ての樹脂を破棄する構成であっても結果的に破棄する樹脂量を低減することが可能となっている。 In addition, the holding unit is configured with a plurality of containers. This is advantageous in that only a part of a plurality of containers needs to be discarded even when a measurement error occurs, so that the amount of resin to be discarded can be reduced and the time until reweighing is shortened. However by providing the rough weighing unit and fine metering unit, if improvement in metering the overall accuracy (precision) of Ru can reduce metering errors itself significantly. For example, a container that can hold both the resin weighed and separated by the coarse weighing unit and the fine weighing unit at the same time, and the resin held in the container when the resin held in the container exceeds a predetermined amount The configuration may be such that is discarded. It is possible to reduce the weighing errors itself, holds together the resin from the coarse metering unit and fine metering unit in a single container, also consequently be discarded configure all of the resin in the vessel It is possible to reduce the amount of resin discarded .

本発明は、圧縮成形金型に対する樹脂計量供給装置として、又、プレ成形装置に対する
樹脂計量供給装置として好適である。 The present invention is suitable as a resin metering device for a compression mold and as a resin metering device for a pre-molding device.

本発明の実施形態の一例を示す樹脂計量供給装置１００の平面図The top view of the resin metering supply apparatus 100 which shows an example of embodiment of this invention 本発明の実施形態の一例を示す樹脂計量供給装置２００の平面図The top view of the resin metering supply apparatus 200 which shows an example of embodiment of this invention 樹脂計量供給装置２００に備わる破棄手段としてのスイングシリンダの概略構成図Schematic configuration diagram of a swing cylinder as a discarding unit provided in the resin metering device 200 本発明の実施形態の一例を示す樹脂計量供給装置３００の平面図The top view of the resin metering supply apparatus 300 which shows an example of embodiment of this invention 特許文献１に記載される圧縮型の樹脂封止装置の概略構成図Schematic configuration diagram of a compression type resin sealing device described in Patent Document 1 特許文献２に記載される樹脂計量供給装置の概略構成図Schematic configuration diagram of resin metering device described in Patent Document 2

Explanation of symbols

１００…樹脂計量供給装置
１０１…保持部
１１０…回転テーブル（位置変換機構）
１２０Ａ…第１容器
１２０Ｂ…第２容器
１２０Ｃ…第３容器
１２０Ｄ…第４容器
１４０Ａ…粗計量部
１４０Ｂ…微計量部
Ｏ…回転中心 DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 ... Resin metering supply apparatus 101 ... Holding part 110 ... Rotary table (position conversion mechanism)
120A ... 1st container 120B ... 2nd container 120C ... 3rd container 120D ... 4th container 140A ... Coarse weighing part 140B ... Fine weighing part O ... Center of rotation

Claims

A resin metering device for metering and supplying a predetermined amount of powdery or granular resin for use in resin sealing,
A weighing unit capable of weighing / separating the resin is capable of weighing / separating the approximate amount of the predetermined amount within a range less than the predetermined amount, and a measurement value of the coarse weighing unit and the predetermined amount. A fine weighing unit capable of weighing and separating the difference more precisely than the coarse weighing unit , and
A resin metering apparatus comprising: a container for holding the approximate amount with respect to the predetermined amount; and a container for holding the difference with respect to the predetermined amount .

A resin metering device for metering and supplying a predetermined amount of powdery or granular resin for use in resin sealing,
A weighing unit capable of weighing / separating the resin is capable of weighing / separating the approximate amount of the predetermined amount within a range less than the predetermined amount, and a measurement value of the coarse weighing unit and the predetermined amount. A fine weighing unit capable of weighing and separating the difference more precisely than the coarse weighing unit, and
A plurality of containers for separately holding the approximate amount and the difference with respect to the predetermined amount, or a container for collectively holding both the approximate amount and the difference are provided.
A resin metering device characterized by that .

In claim 1 or 2 ,
If the said resins, which are metered and separated by the coarse metering unit and said fine measuring section exceeds the predetermined amount, that at least said difference of said and said approximate amount for the predetermined amount difference is destroyed Characteristic resin metering device.

A resin metering method for metering and supplying a predetermined amount of powdery or granular resin for use in resin sealing,
The weighing unit capable of weighing and separating the resin is composed of a coarse weighing unit capable of weighing and separating the resin, and a fine weighing unit capable of weighing and separating the resin more precisely than the coarse weighing unit. ,
Wherein the coarse metering unit, the approximate amount of the resin in the range less than the predetermined amount, after weighing and separating the container,
The fine weighing unit measures and separates the difference between the measured value of the coarse weighing unit and the predetermined amount into a container different from the container in which the approximate amount is measured and separated, more precisely than the coarse weighing unit. A resin metering method characterized by that.

A resin metering method for metering and supplying a predetermined amount of powdery or granular resin for use in resin sealing,
The weighing unit capable of weighing and separating the resin is composed of a coarse weighing unit capable of weighing and separating the resin, and a fine weighing unit capable of weighing and separating the resin more precisely than the coarse weighing unit. ,
After the coarse weighing unit weighs and separates the approximate amount of the resin in a range less than the predetermined amount into any one of a plurality of containers, the fine weighing unit allows the coarse weighing unit to The difference between the measured value and the predetermined amount is measured more precisely than the coarse weighing unit, and is separated from the container in which the approximate amount is weighed and separated, and is measured in any one of the plurality of containers. To separate,
Alternatively, the rough weighing unit measures and separates the approximate amount of the resin in a range less than the predetermined amount into any one of a plurality of containers, and the fine weighing unit allows the rough weighing unit to The difference between the measured value and the predetermined amount is measured and separated in a container in which the approximate amount is weighed and separated more precisely than the coarse weighing unit.
A resin metering method characterized by that .