JP5066793B2

JP5066793B2 - Vacuum drying apparatus and vacuum drying method

Info

Publication number: JP5066793B2
Application number: JP2005195194A
Authority: JP
Inventors: 輝夫瀬川
Original assignee: Nissan Motor Co Ltd
Current assignee: Nissan Motor Co Ltd
Priority date: 2005-07-04
Filing date: 2005-07-04
Publication date: 2012-11-07
Anticipated expiration: 2025-07-04
Also published as: JP2007012567A

Description

本発明は、真空乾燥装置および真空乾燥方法に関する。 The present invention relates to a vacuum drying apparatus and a vacuum drying method.

単電池は、電池モジュールを形成する際や、容器（ケーシング）に収容される際において、固定するために、接着材が予め被覆される。接着材は、揮発成分を含んでいるため、乾燥することで、揮発成分を蒸発させている。しかし、乾燥に赤外線や熱風を利用する場合、単電池の熱劣化を抑制しつつ、乾燥することが困難である。 The unit cell is preliminarily coated with an adhesive to fix the battery module when it is formed or when it is accommodated in a container (casing). Since the adhesive contains a volatile component, the volatile component is evaporated by drying. However, when using infrared rays or hot air for drying, it is difficult to dry while suppressing the thermal deterioration of the unit cell.

一方、真空乾燥は、減圧による沸点低下を利用し、被乾燥物を低温で処理可能であり、乾燥による熱劣化が防げる点で、好ましい（例えば、特許文献１および特許文献２参照。）。
特開平１１−６７８３６号公報特開平２００４−２３２９６５号公報 On the other hand, vacuum drying is preferable in that the lowering of the boiling point due to reduced pressure can be used to treat an object to be dried at a low temperature and thermal deterioration due to drying can be prevented (see, for example, Patent Document 1 and Patent Document 2).
JP-A-11-67836 Japanese Patent Laid-Open No. 2004-232965

しかし、真空乾燥を、単電池に被覆された接着材の乾燥に適用する場合、問題を生じる。例えば、単電池の内部は密閉（封止）されているため、減圧雰囲気下においては、単電池の膨出破壊を生じる虞があり、真空乾燥の適用が困難である。 However, problems arise when vacuum drying is applied to the drying of adhesives coated on a single cell. For example, since the inside of the unit cell is hermetically sealed (sealed), the unit cell may be bulged and destroyed under a reduced pressure atmosphere, and it is difficult to apply vacuum drying.

本発明は、上記従来技術に伴う課題を解決するためになされたものであり、単電池に被覆された接着材の乾燥に、容易に適用することが可能な真空乾燥装置および真空乾燥方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems associated with the prior art, and provides a vacuum drying apparatus and a vacuum drying method that can be easily applied to drying an adhesive coated on a single cell. The purpose is to do.

上記目的を達成するための請求項１に記載の発明は、
揮発成分を含んでいる接着材が被覆された単電池を、配置するための密閉容器、
前記密閉容器を減圧し、前記接着材の揮発成分を蒸発させるための減圧機構、および、
前記密閉容器の内圧と前記単電池の内圧との差圧に基づく、前記単電池の膨出変形を妨げるための押さえ機構
を有することを特徴とする真空乾燥装置である。 In order to achieve the above object, the invention described in claim 1
A sealed container for placing a unit cell covered with an adhesive containing a volatile component,
A decompression mechanism for decompressing the sealed container and evaporating a volatile component of the adhesive; and
A vacuum drying apparatus comprising a pressing mechanism for preventing the unit cell from bulging and deforming based on a pressure difference between an internal pressure of the sealed container and an internal pressure of the unit cell.

上記目的を達成するための請求項１６に記載の発明は、
揮発成分を含んでいる接着材が被覆された単電池を、密閉容器に配置し、
前記密閉容器を減圧し、前記接着材の揮発成分を蒸発させる際に、前記密閉容器の内圧と前記単電池の内圧との差圧に基づく、前記単電池の膨出変形を、押さえ機構によって妨げることを特徴とする真空乾燥方法である。 In order to achieve the above object, the invention according to claim 16 provides:
Place the unit cell covered with adhesive containing volatile components in a sealed container,
When the evacuated container is depressurized to evaporate the volatile components of the adhesive, the pressing mechanism prevents the unit cell from bulging and deforming based on the pressure difference between the inner pressure of the sealed container and the inner pressure of the unit cell. This is a vacuum drying method.

請求項１に記載の発明によれば、密閉容器を減圧し、単電池に被覆された接着材の揮発成分を蒸発させる際に、単電池の膨出変形を、押さえ機構によって妨げることが可能であり、単電池の膨出破壊を容易に避けることができる。また、減圧による揮発成分の沸点低下により、乾燥温度を、例えば、常温まで低下させることで、乾燥による熱劣化を抑制することが可能である。つまり、単電池に被覆された接着材の乾燥に、容易に適用することが可能な真空乾燥装置を提供することができる。 According to the first aspect of the present invention, when the sealed container is depressurized and the volatile component of the adhesive coated on the unit cell is evaporated, the bulging deformation of the unit cell can be prevented by the pressing mechanism. Yes, it is possible to easily avoid the bulging and breaking of the unit cell. Moreover, it is possible to suppress thermal degradation due to drying by lowering the drying temperature to, for example, room temperature by lowering the boiling point of the volatile component due to reduced pressure. That is, it is possible to provide a vacuum drying apparatus that can be easily applied to the drying of the adhesive coated on the unit cells.

請求項１６に記載の発明によれば、密閉容器を減圧し、単電池に被覆された接着材の揮発成分を蒸発させる際に、単電池の膨出変形は、押さえ機構によって妨げられ、単電池の膨出破壊が容易に避けられる。また、減圧による揮発成分の沸点低下により、乾燥温度を、例えば、常温まで低下させることで、乾燥による熱劣化が抑制される。つまり、単電池に被覆された接着材の乾燥に、容易に適用することが可能な真空乾燥方法を提供することが可能である。 According to the sixteenth aspect of the present invention, when the sealed container is depressurized and the volatile component of the adhesive coated on the unit cell is evaporated, the bulging deformation of the unit cell is hindered by the pressing mechanism, and the unit cell The bulging and destruction of can easily be avoided. Moreover, the thermal deterioration by drying is suppressed by lowering | hanging drying temperature, for example to normal temperature by the boiling point fall of the volatile component by pressure reduction. That is, it is possible to provide a vacuum drying method that can be easily applied to the drying of the adhesive coated on the single cell.

以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しつつ説明する。図１は、実施の形態１に係る真空乾燥装置を説明するための平面図、図２は、図１の真空乾燥装の側面図、図３は、図２に示される押さえ機構を説明するための断面図、図４は、図１の真空乾燥装置に適用される処理物（被乾燥物）である単電池を説明するための斜視図である。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 is a plan view for explaining a vacuum drying apparatus according to Embodiment 1, FIG. 2 is a side view of the vacuum drying apparatus of FIG. 1, and FIG. 3 is for explaining a pressing mechanism shown in FIG. FIG. 4 is a perspective view for explaining a unit cell which is a processed product (substance to be dried) applied to the vacuum drying apparatus of FIG.

真空乾燥装置（減圧乾燥装置）１００は、密閉容器１１０、減圧機構１３０および押さえ機構１４０を有する。 The vacuum drying apparatus (reduced pressure drying apparatus) 100 includes a sealed container 110, a decompression mechanism 130, and a pressing mechanism 140.

密閉容器１１０は、基部１１２、蓋体１１４、封止部材１１６、吸気管１１８および排気管１２０を有し、接着材２０が被覆（塗布）された単電池１０を、配置するために使用される。 The hermetic container 110 includes a base 112, a lid 114, a sealing member 116, an intake pipe 118, and an exhaust pipe 120, and is used to place the unit cell 10 covered (applied) with the adhesive material 20. .

接着材２０は、揮発成分として水を含んでいる感圧性接着剤であり、電池モジュールを形成する際や、容器（ケーシング）に収容する際において、単電池１０を固定するために、予め被覆されている。接着材２０は、揮発成分の蒸発を容易かつ促進するために、離間して複数配置される線状パターンの被覆部を形成している。 The adhesive 20 is a pressure-sensitive adhesive that contains water as a volatile component, and is coated in advance to fix the unit cell 10 when forming a battery module or housing it in a container (casing). ing. The adhesive 20 forms a linear pattern covering portion that is spaced apart and arranged in order to facilitate and promote evaporation of volatile components.

単電池１０は、例えば、扁平型のリチウムイオン二次電池であり、正極板、負極板およびセパレータを順に積層した発電要素を有する。発電要素は、ラミネートフィルムなどの外装材１２によって封止されている。単電池１０は、外装材１２から外部に導出される板状の電極タブ１４，１６を有する。 The unit cell 10 is, for example, a flat-type lithium ion secondary battery, and includes a power generation element in which a positive electrode plate, a negative electrode plate, and a separator are sequentially stacked. The power generation element is sealed with an exterior material 12 such as a laminate film. The unit cell 10 has plate-like electrode tabs 14 and 16 led out from the exterior material 12 to the outside.

基部１１２は、略矩形の平板形状を有し、複数の単電池１０が並置される。蓋体１１４は、略矩形の中空形状を有し、単電池１０における接着材２０の被覆部に相対して、配置される。封止部材１１６は、例えば、Ｏリング等のパッキンからなり、基部１１２に対する蓋体１１４の取り付けによって形成される内部空間を、密閉状態とするために使用される。吸気管１１８は、バルブ１１９を介し、大気に開放されている。排気管１２０は、バルブ１２１を介し、減圧機構１３０に連結されている。 The base 112 has a substantially rectangular flat plate shape, and the plurality of unit cells 10 are juxtaposed. The lid body 114 has a substantially rectangular hollow shape, and is disposed relative to the covering portion of the adhesive 20 in the unit cell 10. The sealing member 116 is made of, for example, a packing such as an O-ring, and is used for sealing an internal space formed by attaching the lid body 114 to the base 112. The intake pipe 118 is open to the atmosphere via a valve 119. The exhaust pipe 120 is connected to the decompression mechanism 130 via the valve 121.

減圧機構１３０は、真空ポンプ１３２および配管系１３４を有し、密閉容器１１０を減圧し、接着材２０の揮発成分である水の沸点を低下させ、容易に蒸発（乾燥）させるために使用される。真空ポンプ１３２は、例えば、常温（２５℃）における水蒸気圧（約２．９×１０^３Ｐａ）以下に、密閉容器１１０の内圧を減圧させ得る性能を有しておれば、特に限定されず、形式、排気速度、到達圧力等を、適宜選択することが可能である。なお、配管系１３４は、真空ポンプ１３２と、密閉容器１１０の排気管１２０とを連結する。 The decompression mechanism 130 includes a vacuum pump 132 and a piping system 134, and is used for decompressing the sealed container 110, lowering the boiling point of water, which is a volatile component of the adhesive 20, and easily evaporating (drying). . The vacuum pump 132 is not particularly limited as long as it has a performance capable of reducing the internal pressure of the sealed container 110 to a water vapor pressure (about 2.9 × 10 ³ Pa) or less at room temperature (25 ° C.), for example. The type, exhaust speed, ultimate pressure, etc. can be appropriately selected. The piping system 134 connects the vacuum pump 132 and the exhaust pipe 120 of the sealed container 110.

押さえ機構１４０は、密閉容器１１０の内圧と単電池１０の内圧との差圧に基づく、単電池１０の膨出変形を妨げるために使用され、単電池１０の配置数に対応させて、密閉容器１１０の蓋体１１４に複数設置されている。 The holding mechanism 140 is used to prevent the bulging deformation of the unit cell 10 based on the differential pressure between the internal pressure of the sealed vessel 110 and the internal pressure of the unit cell 10. A plurality of lids 114 are installed.

したがって、密閉容器１１０を減圧し、単電池１０に被覆された接着材２０の揮発成分を蒸発させる際に、単電池１０の膨出変形を、押さえ機構１４０によって妨げることが可能であり、単電池１０の膨出破壊を容易に避けることができる。また、減圧による揮発成分の沸点低下により、乾燥温度を、例えば、常温まで低下させることで、乾燥による熱劣化を抑制することが可能である。 Therefore, when the sealed container 110 is depressurized and the volatile component of the adhesive material 20 covered by the unit cell 10 is evaporated, the bulging deformation of the unit cell 10 can be prevented by the holding mechanism 140, and the unit cell Ten bulging breaks can be easily avoided. Moreover, it is possible to suppress thermal degradation due to drying by lowering the drying temperature to, for example, room temperature by lowering the boiling point of the volatile component due to reduced pressure.

押さえ機構１４０は、パッド部１５０およびベローズ部１６０を有する。パッド部１５０は、単電池１０の表面（接着材が被覆された外装材１２）と当接し、加圧力を発揮するために使用される。パッド部１５０の当接面は、多孔質構造部１５２を有し、かつ、接着材の被覆部を覆う溝部１５４が形成されている。 The pressing mechanism 140 includes a pad portion 150 and a bellows portion 160. The pad portion 150 is used to abut the surface of the unit cell 10 (the exterior material 12 covered with the adhesive) and exert pressure. The contact surface of the pad portion 150 has a porous structure portion 152 and a groove portion 154 that covers the covering portion of the adhesive.

ベローズ部１６０は、支持部１６２、底部１７８およびベローズ（伸縮自在の管部材）１７０を有する。支持部１６２は、密閉容器１１０の蓋体１１４に固定され、蓋体１１４の外面に配置される外部延長部１６３と、蓋体１１４の内部に位置する内部延長部１６８とを有する。外部延長部１６３は、中央開口部１６４が形成される。中央開口部１６４の周囲には、例えば、Ｏリング等のパッキンからなる封止部材１６５が配置されている。底部１７８は、支持部１６２の内部延長部１６８にスライド自在に連結され、かつ、パッド部１５０が固定されている。 The bellows portion 160 includes a support portion 162, a bottom portion 178, and a bellows (expandable tube member) 170. The support portion 162 is fixed to the lid body 114 of the sealed container 110 and has an external extension portion 163 disposed on the outer surface of the lid body 114 and an internal extension portion 168 positioned inside the lid body 114. The external extension 163 is formed with a central opening 164. A sealing member 165 made of packing such as an O-ring is disposed around the central opening 164, for example. The bottom portion 178 is slidably connected to the internal extension portion 168 of the support portion 162, and the pad portion 150 is fixed thereto.

ベローズ１７０は、支持部１６２の中央開口部１６４に密着して固定される上端部１７１、および、パッド部１５０に連結される底部１７８に密着して固定される下端部１７２を有する。ベローズ１７０の内面部は、中央開口部１６４を介して大気に開放されており、大気圧下にある。ベローズ１７０の外面部は、密閉容器１１０の内部に連通している。したがって、密閉容器１１０を減圧し、接着材２０の揮発成分を蒸発させる場合、大気圧と密閉容器１１０の内圧との差圧に基づいて、ベローズ１７０を、伸張させることが可能である。 The bellows 170 has an upper end 171 that is fixed in close contact with the central opening 164 of the support 162 and a lower end 172 that is fixed in close contact with the bottom 178 connected to the pad 150. The inner surface of the bellows 170 is open to the atmosphere via the central opening 164 and is under atmospheric pressure. The outer surface portion of the bellows 170 communicates with the inside of the sealed container 110. Therefore, when the sealed container 110 is decompressed and the volatile components of the adhesive 20 are evaporated, the bellows 170 can be expanded based on the differential pressure between the atmospheric pressure and the internal pressure of the sealed container 110.

ベローズ１７０は、下端部１７２が固定された底部１７８を介して、パッド部１５０に連結されているため、前記差圧に基づく加圧力は、パッド部１５０に伝達される。つまり、パッド部１５０によって発揮される加圧力は、大気圧と密閉容器の内圧との差圧に基づいている。 Since the bellows 170 is connected to the pad portion 150 via the bottom portion 178 to which the lower end portion 172 is fixed, the applied pressure based on the differential pressure is transmitted to the pad portion 150. That is, the applied pressure exerted by the pad unit 150 is based on the differential pressure between the atmospheric pressure and the internal pressure of the sealed container.

次に、図５の断面図を参照し、実施の形態１に係る真空乾燥方法を説明する。 Next, the vacuum drying method according to Embodiment 1 will be described with reference to the cross-sectional view of FIG.

例えば、接着材２０が被覆された単電池１０が並置されたトレイが、搬入される。単電池１０は、密閉容器１１０の基部１１２に、押さえ機構１４０に相対するように、配置される。密閉容器１１０の蓋体１１４が、基部１１２に取り付けられ、内部空間が、密閉状態とされる。この際、押さえ機構１４０のパッド部１５０の当接面に配置される溝部１５４は、単電池１０の表面における接着材２０の被覆部を覆うように位置決めされる。 For example, a tray on which the unit cells 10 covered with the adhesive 20 are juxtaposed is carried in. The unit cell 10 is disposed on the base 112 of the sealed container 110 so as to face the holding mechanism 140. The lid 114 of the sealed container 110 is attached to the base 112, and the internal space is sealed. At this time, the groove portion 154 disposed on the contact surface of the pad portion 150 of the pressing mechanism 140 is positioned so as to cover the covering portion of the adhesive 20 on the surface of the unit cell 10.

密閉容器１１０の吸気管１１８のバルブ１１９および排気管１２０のバルブ１２１は、それぞれ、閉および開に設定され、減圧機構１３０の真空ポンプ１３２が稼動される。密閉容器１１０の内部空間に存在する空気は、密閉容器１１０の排気管１２０および減圧機構１３０の配管系１３４を経由し、真空ポンプ１３２によって吸引される。 The valve 119 of the intake pipe 118 and the valve 121 of the exhaust pipe 120 of the sealed container 110 are set to be closed and open, respectively, and the vacuum pump 132 of the decompression mechanism 130 is operated. Air existing in the internal space of the sealed container 110 is sucked by the vacuum pump 132 via the exhaust pipe 120 of the sealed container 110 and the piping system 134 of the decompression mechanism 130.

その結果、密閉容器１１０が減圧され、例えば、水の沸点が常温となる気圧（約２．７×１０^３Ｐａ）に到達する。したがって、単電池１０に被覆された接着材２０の揮発成分である水は、容易に蒸発し、接着材２０が乾燥することで、乾燥による熱劣化が抑制される。 As a result, the hermetic container 110 is depressurized and reaches, for example, an atmospheric pressure (about 2.7 × 10 ³ Pa) at which the boiling point of water reaches room temperature. Therefore, water that is a volatile component of the adhesive 20 coated on the unit cell 10 is easily evaporated, and the adhesive 20 is dried, so that thermal deterioration due to drying is suppressed.

一方、押さえ機構１４０のベローズ１７０は、大気圧と密閉容器１１０の内圧との差圧に基づいて、伸張し、ベローズ１７０に連結されるパッド部１５０が、単電池１０の表面に当接し、大気圧と密閉容器１１０の内圧との差圧に基づく加圧力を発揮する。パッド部１５０は、密閉容器１１０の内圧と単電池１０の内圧との差圧に基づく、単電池１０の膨出変形を妨げるため、単電池１０の膨出破壊を容易に避けられる。 On the other hand, the bellows 170 of the holding mechanism 140 expands based on the differential pressure between the atmospheric pressure and the internal pressure of the sealed container 110, and the pad portion 150 connected to the bellows 170 contacts the surface of the unit cell 10, and the A pressing force based on the pressure difference between the atmospheric pressure and the internal pressure of the sealed container 110 is exhibited. Since the pad part 150 prevents the bulging deformation of the single cell 10 based on the differential pressure between the internal pressure of the sealed container 110 and the internal pressure of the single cell 10, the bulging and breaking of the single cell 10 can be easily avoided.

パッド部１５０の当接面に配置される溝部１５４は、接着材２０の被覆部を覆うため、パッド部１５０の当接面と接着材２０との接触が防がれる。また、パッド部１５０の当接面に配置される多孔質構造部１５２は、溝部１５４と共に、接着材２０の揮発成分の蒸発経路が確保する。したがって、パッド部１５０は、接着材２０の揮発成分の蒸発に悪影響を及ぼさない。 The groove portion 154 disposed on the contact surface of the pad portion 150 covers the covering portion of the adhesive material 20, so that contact between the contact surface of the pad portion 150 and the adhesive material 20 is prevented. In addition, the porous structure portion 152 disposed on the contact surface of the pad portion 150 secures an evaporation path of the volatile component of the adhesive 20 together with the groove portion 154. Therefore, the pad portion 150 does not adversely affect the evaporation of the volatile components of the adhesive material 20.

接着材２０の揮発成分の蒸発が終了し、接着材２０の乾燥が完了すると、排気管１２０のバルブ１２１が閉にされ、減圧機構１３０の真空ポンプ１３２の稼動が停止される。乾燥の完了は、例えば、所定の真空度に到達してからの経過時間によって判断することが可能である。 When the evaporation of the volatile components of the adhesive 20 is completed and the drying of the adhesive 20 is completed, the valve 121 of the exhaust pipe 120 is closed, and the operation of the vacuum pump 132 of the decompression mechanism 130 is stopped. The completion of the drying can be determined by, for example, the elapsed time after reaching a predetermined degree of vacuum.

吸気管１１８のバルブ１１９が開にされ、密閉容器１１０の内部が大気に開放される。密閉容器１１０の内部が常圧（大気圧）になると、蓋体１１４が取り外され、乾燥した接着材２０の被覆部を有する単電池１０が取り出される。単電池１０は、例えば、電池モジュールを形成したり、容器（ケーシング）に収容したりされ、接着材２０は、その際において、単電池１０を固定するために、使用される。 The valve 119 of the intake pipe 118 is opened, and the inside of the sealed container 110 is opened to the atmosphere. When the inside of the sealed container 110 reaches normal pressure (atmospheric pressure), the lid body 114 is removed, and the unit cell 10 having the covering portion of the dried adhesive 20 is taken out. For example, the unit cell 10 forms a battery module or is accommodated in a container (casing), and the adhesive 20 is used to fix the unit cell 10 at that time.

以上のように、実施の形態１は、単電池に被覆された接着材の乾燥に、容易に適用することが可能な真空乾燥装置および真空乾燥方法を提供することができる。 As described above, Embodiment 1 can provide a vacuum drying apparatus and a vacuum drying method that can be easily applied to drying an adhesive coated on a single cell.

なお、単電池に被覆される接着材は、水系に限定されず、溶媒系の揮発成分を含んでいる接着材を適用することも可能である。また、非感圧性接着材を適用することも可能である。接着材の物性などを考慮し、パッド部の当接面に配置される多孔質構造部や、接着材の被覆部を覆う溝部を、適宜省略することも可能である。 Note that the adhesive material covered by the single cell is not limited to an aqueous material, and an adhesive material containing a solvent-based volatile component can also be applied. It is also possible to apply a non-pressure sensitive adhesive. In consideration of the physical properties of the adhesive material, the porous structure portion disposed on the contact surface of the pad portion and the groove portion covering the covering portion of the adhesive material may be omitted as appropriate.

次に、実施の形態２〜５を、順次説明する。実施の形態１と同様の機能を有する部材については類似する符号を使用し、重複を避けるため、その説明を省略する。 Next, Embodiments 2 to 5 will be described sequentially. For members having the same functions as those in the first embodiment, similar symbols are used, and description thereof is omitted to avoid duplication.

図６は、実施の形態２に係る真空乾燥装置を説明するための平面図、図７は、図６の真空乾燥装の側面図である。 6 is a plan view for explaining the vacuum drying apparatus according to the second embodiment, and FIG. 7 is a side view of the vacuum drying apparatus of FIG.

実施の形態２は、密閉容器の構造に関し、実施の形態１と概して異なる。つまり、密閉容器２１０は、大気圧と密閉容器２１０の内圧との差圧に基づく座屈を防止するための補強リブ２２４を有する。補強リブ２２４は、蓋体２１４の背面に配置（固定）される網目状部２２６と、網目状部を支持する支柱部２２８とを有する。 The second embodiment is generally different from the first embodiment regarding the structure of the sealed container. That is, the sealed container 210 has the reinforcing rib 224 for preventing buckling based on the differential pressure between the atmospheric pressure and the internal pressure of the sealed container 210. The reinforcing rib 224 includes a mesh portion 226 disposed (fixed) on the back surface of the lid 214 and a support column portion 228 that supports the mesh portion.

網目状部２２６の網目は、押さえ機構２４０の周囲を取り囲めるサイズに設定されている。支柱部２２８は、網目の端部および交点部から基部２１２に向かって延長している。したがって、補強リブ２２４は、密閉容器２１０の内部における気体の流れに対する妨げとならず、密閉容器２１０の減圧に対する影響は、抑制されている。 The mesh of the mesh portion 226 is set to a size that surrounds the periphery of the pressing mechanism 240. The support column 228 extends from the end of the mesh and the intersection to the base 212. Therefore, the reinforcing rib 224 does not hinder the gas flow inside the sealed container 210, and the influence on the decompression of the sealed container 210 is suppressed.

以上のように、実施の形態２に係る密閉容器は、補強リブによって強度が向上するため、蓋体の軽量化、密閉容器の大型化、あるいは、高真空度化を容易に図ることが可能である。 As described above, since the strength of the sealed container according to Embodiment 2 is improved by the reinforcing rib, it is possible to easily reduce the weight of the lid, increase the size of the sealed container, or increase the degree of vacuum. is there.

図８は、実施の形態３に係る真空乾燥装置を説明するための断面図である。 FIG. 8 is a cross-sectional view for explaining the vacuum drying apparatus according to the third embodiment.

実施の形態３は、パッド部３５０によって発揮される加圧力を調整するための加圧力調整装置３８０を有する点で、実施の形態１と概して異なる。 The third embodiment is generally different from the first embodiment in that it includes a pressure adjusting device 380 for adjusting the pressure exerted by the pad portion 350.

加圧力調整装置３８０は、コイルばね（伸縮によって反力を生じる弾性体）３８２と、コイルばね３８２の伸縮量を調整するための制御機構３８４とを有する。制御機構３８４は、フランジ部３８６および支柱部３８７を有するハンドル部３８５と、調整リング３８８とを有する。 The pressure adjusting device 380 includes a coil spring (an elastic body that generates a reaction force by expansion and contraction) 382 and a control mechanism 384 for adjusting the amount of expansion and contraction of the coil spring 382. The control mechanism 384 includes a handle portion 385 having a flange portion 386 and a column portion 387, and an adjustment ring 388.

支柱部３８７は、フランジ部３８６が固定される一端と、ベローズ部３６０の底部３７８に固定される他端とを有し、ベローズ３７０の内部を延長している。調整リング３８８は、支柱部３８７に挿通され、フランジ部３８６の近傍に配置される。調整リング３８８の開口部の内面と支柱部３８７の外周とは、螺合しており、調整リング３８８を回転させることで、フランジ部３８６と調整リング３８８との間隔が、変更自在に設定されている。 The column portion 387 has one end to which the flange portion 386 is fixed and the other end fixed to the bottom portion 378 of the bellows portion 360, and extends the inside of the bellows 370. The adjustment ring 388 is inserted into the support column portion 387 and is disposed in the vicinity of the flange portion 386. The inner surface of the opening of the adjustment ring 388 and the outer periphery of the support column 387 are screwed together, and by rotating the adjustment ring 388, the interval between the flange 386 and the adjustment ring 388 is set to be freely changeable. Yes.

コイルばね３８２は、支柱部３８７に挿通され、調整リング３８８とベローズ部３６０の支持部３６２との間に配置される。コイルばね３８２のサイズは、調整リング３８８より小さく、かつ、ベローズ部３６０の支持部３６２の中央開口部３６４より大きく設定されており、コイルばね３８２の一端および他端は、調整リング３８８およびベローズ部３６０の支持部３６２に当接している。 The coil spring 382 is inserted into the support column portion 387 and is disposed between the adjustment ring 388 and the support portion 362 of the bellows portion 360. The size of the coil spring 382 is set smaller than the adjustment ring 388 and larger than the central opening 364 of the support portion 362 of the bellows portion 360, and one end and the other end of the coil spring 382 are connected to the adjustment ring 388 and the bellows portion. 360 abuts against the support portion 362 of 360.

調整リング３８８を回転させ、フランジ部３８６と調整リング３８８との間隔を変更する場合、コイルばね３８２は、前記間隔に対応する反力を生じる。コイルばね３８２の一端は、調整リング３８８と当接しているため、反力は、調整リング３８８を経由して、調整リング３８８が螺合しているハンドル部３８５の支柱部３８７に伝達される。 When the adjustment ring 388 is rotated and the interval between the flange portion 386 and the adjustment ring 388 is changed, the coil spring 382 generates a reaction force corresponding to the interval. Since one end of the coil spring 382 is in contact with the adjustment ring 388, the reaction force is transmitted via the adjustment ring 388 to the column portion 387 of the handle portion 385 to which the adjustment ring 388 is screwed.

支柱部３８７が固定されるベローズ部３６０の底部３７８は、接着材２０が被覆された単電池１０に当接するパッド部３５０が配置されている。したがって、コイルばね３８２の反力は、最終的にパッド部３５０に伝達され、基部３１２および蓋体３１４を連結して形成される密閉容器３１０と、大気圧との内圧の差圧に基づいて発揮されるパッド部３５０の加圧力を、調整することが可能である。 On the bottom 378 of the bellows portion 360 to which the column portion 387 is fixed, a pad portion 350 that contacts the unit cell 10 covered with the adhesive 20 is disposed. Accordingly, the reaction force of the coil spring 382 is finally transmitted to the pad portion 350, and is exerted based on the pressure difference between the internal pressure between the sealed container 310 formed by connecting the base 312 and the lid 314 and the atmospheric pressure. It is possible to adjust the applied pressure of the pad portion 350 to be applied.

以上のように、実施の形態３は、パッド部によって発揮される加圧力を調整するための加圧力調整装置を有しており、加圧力の調整の自由度が向上している。したがって、密閉容器を減圧し、接着材の揮発成分を蒸発させる際に、単電池の膨出変形を妨げるための加圧力を、安定的かつ容易に制御すことが可能である。 As described above, the third embodiment includes the pressure adjusting device for adjusting the pressure exerted by the pad portion, and the degree of freedom in adjusting the pressure is improved. Therefore, when the airtight container is depressurized and the volatile components of the adhesive are evaporated, the pressure applied to prevent the unit cell from bulging and deforming can be controlled stably and easily.

図９は、実施の形態４に係る真空乾燥装置を説明するための断面図である。 FIG. 9 is a cross-sectional view for explaining a vacuum drying apparatus according to the fourth embodiment.

実施の形態４は、ベローズ部４６０および加圧力調整装置４８０の構造の構造に関し、実施の形態３と概して異なる。 The fourth embodiment is generally different from the third embodiment regarding the structure of the structure of the bellows portion 460 and the pressure adjusting device 480.

ベローズ部４６０は、２重構造のベローズ（伸縮自在の２重管部材）４７０を有する。ベローズ４７０は、大気圧下にある内面部４７４、密閉容器の内部に連通している外面部４７５、および、内面部４７４と外面部４７５との間に位置する内部空間Ｓを有する。内部空間Ｓは、半径方向に膨張せずかつ長手方向に変位するように構成されている。 The bellows portion 460 includes a double structure bellows (expandable double pipe member) 470. The bellows 470 has an inner surface portion 474 under atmospheric pressure, an outer surface portion 475 communicating with the inside of the sealed container, and an inner space S positioned between the inner surface portion 474 and the outer surface portion 475. The internal space S is configured not to expand in the radial direction and to be displaced in the longitudinal direction.

加圧力調整装置４８０は、ベローズ４７０の内部空間Ｓに流体を導入するための配管系４８２と、流体の圧力を調整するための制御機構４８４を有する。制御機構４８４は、流体を吐出するためのポンプや、吐出圧を調整するための圧力調整弁などを有する。 The pressure adjusting device 480 has a piping system 482 for introducing a fluid into the internal space S of the bellows 470 and a control mechanism 484 for adjusting the pressure of the fluid. The control mechanism 484 includes a pump for discharging fluid, a pressure adjusting valve for adjusting discharge pressure, and the like.

ベローズ４７０の内部空間Ｓに導入される流体の圧力を変更する場合、ベローズ４７０は、長手方向に変位しようとする力を生じる。ベローズ４７０の下端部４７２が固定される底部４７８は、接着材２０が被覆された単電池１０に当接するパッド部４５０が配置されている。したがって、流体の圧力に基づく前記力は、パッド部４５０に伝達され、基部４１２および蓋体４１４を連結して形成される密閉容器４１０と、大気圧との内圧との差圧に基づいて発揮されるパッド部４５０の加圧力を、調整することが可能である。 When changing the pressure of the fluid introduced into the internal space S of the bellows 470, the bellows 470 generates a force that tends to be displaced in the longitudinal direction. On the bottom 478 to which the lower end 472 of the bellows 470 is fixed, a pad portion 450 that contacts the unit cell 10 covered with the adhesive 20 is disposed. Therefore, the force based on the pressure of the fluid is transmitted to the pad portion 450 and is exerted based on a pressure difference between the sealed container 410 formed by connecting the base portion 412 and the lid body 414 and the internal pressure of the atmospheric pressure. It is possible to adjust the applied pressure of the pad portion 450.

以上のように、実施の形態４は、パッド部によって発揮される加圧力を、流体の圧力によって調整するこが可能である。 As described above, in the fourth embodiment, the applied pressure exerted by the pad portion can be adjusted by the fluid pressure.

図１０は、実施の形態５に係る真空乾燥装置を説明するための平面図、図１１は、図１０の真空乾燥装置の断面図である。 FIG. 10 is a plan view for explaining the vacuum drying apparatus according to Embodiment 5, and FIG. 11 is a cross-sectional view of the vacuum drying apparatus of FIG.

実施の形態５は、複数のパッド部５５０によって発揮される加圧力を、均一化するための平衡機構５９０を有する点で、実施の形態４と概して異なる。 The fifth embodiment is generally different from the fourth embodiment in that it has a balance mechanism 590 for making the applied pressure exerted by the plurality of pad portions 550 uniform.

平衡機構５９０は、共通の配管系５９２および液体圧シリンダ５９７を有する。配管系５９２は、全ての押さえ機構５４０のベローズ５７０の内部空間Ｓを連通自在に連結されている。 The balancing mechanism 590 has a common piping system 592 and a liquid pressure cylinder 597. The piping system 592 is connected so as to be able to communicate with the internal space S of the bellows 570 of all the pressing mechanisms 540.

配管系５９２は、１対の押さえ機構５４０を連結する１次配管系５９３、１対の１次配管系５９３を連結する２次配管系５９４、１対の２次配管系５９４を連結する３次配管系５９５を有する。３次配管系５９５は、単一（共通）の加圧力調整装置５８０に連結されている。 The piping system 592 is a primary piping system 593 that connects a pair of holding mechanisms 540, a secondary piping system 594 that connects a pair of primary piping systems 593, and a tertiary that connects a pair of secondary piping systems 594. A piping system 595 is included. The tertiary piping system 595 is connected to a single (common) pressure adjustment device 580.

液体圧シリンダ５９７は、往復動自在に配置されるピストン５９８を有し、１次配管系５９３および２次配管系５９４の途中に配置される。ピストン５９８は、中立状態を維持し、往復動によって流体の圧力の変動を吸収し得るように構成されている。 The liquid pressure cylinder 597 has a piston 598 that is reciprocally movable, and is disposed in the middle of the primary piping system 593 and the secondary piping system 594. The piston 598 is configured to maintain a neutral state and absorb fluctuations in fluid pressure by reciprocation.

押さえ機構５４０における２重構造のベローズ５７０の内部空間Ｓに導入される流体の圧力は、共有の配管系５９２および液体圧シリンダ５９７によって、全体として均圧化される。したがって、全ての押さえ機構５４０のパッド部によって発揮される加圧力は、均一化される。 The pressure of the fluid introduced into the internal space S of the double bellows 570 in the holding mechanism 540 is equalized as a whole by the common piping system 592 and the liquid pressure cylinder 597. Therefore, the applied pressure exerted by the pad portions of all the pressing mechanisms 540 is made uniform.

以上のように、実施の形態５においては、パッド部によって発揮される加圧力の安定性を、向上させることが可能である。 As described above, in the fifth embodiment, it is possible to improve the stability of the applied pressure exerted by the pad portion.

なお、必要に応じ、液体圧シリンダ５９７を部分的あるいは全て省略したり、配管系５９２の構成を簡略化したりすることも可能である。また、押さえ機構５４０および配管系５９２を複数のグループに分割し、グループ毎に、専用の加圧力調整装置５８０を配置することも可能である。 If necessary, the liquid pressure cylinder 597 can be partially or entirely omitted, or the configuration of the piping system 592 can be simplified. It is also possible to divide the holding mechanism 540 and the piping system 592 into a plurality of groups, and to arrange a dedicated pressure adjusting device 580 for each group.

また、図１２に示されるように、実施の形態３に係る加圧力調整装置を、実施の形態４および実施の形態５に係る真空乾燥装置に、さらに組み込むことも可能である。 Also, as shown in FIG. 12, the pressure adjusting device according to the third embodiment can be further incorporated into the vacuum drying devices according to the fourth and fifth embodiments.

なお、本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の範囲内で種々改変することができる。 The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made within the scope of the claims.

例えば、実施の形態２に係る密閉容器を、実施の形態１，３〜５に係る真空乾燥装置に適用することが可能である。また、実施の形態１〜５に係る真空乾燥装置に、加熱装置を配置し、単電池を相対的に低い温度で加熱することで、乾燥時間の短縮や、真空度の条件緩和を図ることも可能である。 For example, the sealed container according to the second embodiment can be applied to the vacuum drying apparatuses according to the first, third, and fifth embodiments. In addition, by arranging a heating device in the vacuum drying apparatus according to Embodiments 1 to 5 and heating the cell at a relatively low temperature, it is possible to shorten the drying time and relax the vacuum condition. Is possible.

実施の形態１に係る真空乾燥装置を説明するための平面図である。FIG. 3 is a plan view for explaining the vacuum drying apparatus according to the first embodiment. 図１の真空乾燥装の側面図である。It is a side view of the vacuum dryer of FIG. 図２に示される押さえ機構を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the holding | suppressing mechanism shown by FIG. 図１の真空乾燥装置に適用される被乾燥物である単電池を説明するための斜視図である。It is a perspective view for demonstrating the cell which is a to-be-dried object applied to the vacuum drying apparatus of FIG. 実施の形態１に係る真空乾燥方法を説明するための断面図である。3 is a cross-sectional view for explaining a vacuum drying method according to Embodiment 1. FIG. 実施の形態２に係る真空乾燥装置を説明するための平面図である。FIG. 5 is a plan view for explaining a vacuum drying apparatus according to a second embodiment. 図６の真空乾燥装の側面図である。It is a side view of the vacuum dryer of FIG. 実施の形態３に係る真空乾燥装置を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the vacuum-drying apparatus which concerns on Embodiment 3. FIG. 実施の形態４に係る真空乾燥装置を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the vacuum drying apparatus which concerns on Embodiment 4. FIG. 実施の形態５に係る真空乾燥装置を説明するための平面図である。FIG. 10 is a plan view for explaining a vacuum drying apparatus according to a fifth embodiment. 図１０の真空乾燥装置の断面図である。It is sectional drawing of the vacuum drying apparatus of FIG. 実施の形態４および実施の形態５に係る変形例を説明するための平面図である。FIG. 10 is a plan view for explaining a modification according to the fourth embodiment and the fifth embodiment.

Explanation of symbols

１０・・単電池、
１２・・外装材、
１４，１６・・電極タブ、
２０・・接着材、
１００・・真空乾燥装置（減圧乾燥装置）、
１１０・・密閉容器、
１１２・・基部、
１１４・・蓋体、
１１６・・封止部材、
１１８・・吸気管、
１１９・・バルブ、
１２０・・排気管、
１２１・・バルブ、
１３０・・減圧機構、
１３２・・真空ポンプ、
１３４・・配管系、
１４０・・押さえ機構、
１５０・・パッド部、
１５２・・多孔質構造部、
１５４・・溝部、
１６０・・ベローズ部、
１６２・・支持部、
１６３・・外部延長部、
１６４・・中央開口部、
１６５・・封止部材、
１６８・・内部延長部、
１７０・・ベローズ、
１７１・・上端部、
１７２・・下端部、
１７８・・底部、
２１０・・密閉容器、
２１２・・基部、
２１４・・蓋体、
２２４・・補強リブ、
２２６・・網目状部、
２２８・・支柱部、
２４０・・押さえ機構、
３１０・・密閉容器、
３１２・・基部、
３１４・・蓋体、
３５０・・パッド部、
３６０・・ベローズ部、
３６２・・支持部、
３６４・・中央開口部、
３７０・・ベローズ、
３７８・・底部、
３８０・・加圧力調整装置、
３８２・・コイルばね、
３８４・・制御機構、
３８５・・ハンドル部、
３８６・・フランジ部、
３８７・・支柱部、
３８８・・調整リング、
４１０・・密閉容器、
４１２・・基部、
４１４・・蓋体、
４４０・・押さえ機構、
４５０・・パッド部、
４６０・・ベローズ部、
４７０・・ベローズ、
４７２・・下端部、
４７４・・内面部、
４７５・・外面部、
４７８・・底部、
４８０・・加圧力調整装置、
４８２・・配管系、
４８４・・制御機構、
５４０・・押さえ機構、
５５０・・パッド部、
５７０・・ベローズ、
５８０・・加圧力調整装置、
５９０・・平衡機構、
５９２・・配管系、
５９３・・１次配管系、
５９４・・２次配管系、
５９５・・３次配管系、
５９７・・液体圧シリンダ、
５９８・・ピストン、
Ｓ・・内部空間。 10. ・ Single battery,
12. ・ Exterior material,
14, 16 ... Electrode tab,
20. ・ Adhesives,
100..Vacuum drying device (vacuum drying device),
110 .. Sealed container,
112 .. Base,
114 .. the lid,
116 .. Sealing member,
118 .. Intake pipe
119 ・ Valve,
120 .. exhaust pipe,
121. Valve
130 .. Pressure reducing mechanism,
132 .. Vacuum pump,
134 ... Piping system
140 .. Holding mechanism,
150 .. pad part,
152 .. Porous structure part,
154 .. Groove part,
160 .. Bellows part,
162 .. support part,
163 .. External extension,
164 .. Central opening,
165 .. Sealing member,
168 .. Internal extension,
170 ... Bellows,
171, upper end,
172 .. Lower end,
178 ... the bottom,
210 .. Sealed container
212 .. Base
214 .. Lid
224 .. Reinforcing ribs,
226 .. Mesh part,
228 .. strut part,
240 .. Pressing mechanism,
310 .. Sealed container,
312 .. Base,
314 .. the lid,
350 .. pad part,
360 ... Bellows part,
362 .. support part,
364 .. Central opening,
370 Bellows,
378..Bottom part,
380..Pressure adjusting device,
382 .. Coil spring,
384 .. Control mechanism,
385 .. Handle part,
386 .. Flange part,
387 .. strut part,
388 ... Adjusting ring,
410 .. Sealed container,
412 .. Base,
414 .. the lid,
440 .. Pressing mechanism,
450 ... Pad part,
460 .. Bellows part,
470 Bellows,
472 ... lower end,
474 .. Inner surface part,
475 ... the outer surface,
478 .. Bottom,
480 .. Pressure adjusting device,
482 ... Piping system
484 .. Control mechanism,
540 .. Pressing mechanism,
550 ... Pad part
570 Bellows,
580 ... Pressure adjusting device,
590 .. Equilibrium mechanism,
592 ... Piping system
593 ... Primary piping system,
594 ... Secondary piping system,
595 ... tertiary piping system,
597..Liquid pressure cylinder,
598 ... piston,
S. Internal space.

Claims

A sealed container for placing a unit cell covered with an adhesive containing a volatile component,
A decompression mechanism for decompressing the sealed container and evaporating a volatile component of the adhesive; and
A vacuum drying apparatus comprising: a pressing mechanism for preventing bulging deformation of the unit cell based on a differential pressure between an internal pressure of the sealed container and an internal pressure of the unit cell.

The vacuum drying apparatus according to claim 1, wherein the volatile component of the adhesive contains water.

The vacuum drying apparatus according to claim 1, wherein the adhesive material forms a covering portion of a linear pattern that is arranged in a plurality of positions apart from each other.

The vacuum drying apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the pressing mechanism has a pad portion that contacts the surface of the unit cell.

The vacuum drying apparatus according to claim 4, wherein the contact surface of the pad portion has a porous structure portion.

The vacuum drying apparatus according to claim 4, wherein the contact surface of the pad portion includes a groove portion that covers the covering portion of the adhesive material.

The vacuum drying apparatus according to any one of claims 4 to 6, wherein the applied pressure exerted by the pad portion is based on a differential pressure between an atmospheric pressure and an internal pressure of the sealed container.

The pressing mechanism has a telescopic tube member connected to the pad portion,
The vacuum drying apparatus according to claim 7, wherein the pipe member has an inner surface portion under atmospheric pressure and an outer surface portion communicating with the inside of the sealed container.

The vacuum drying apparatus according to claim 7, wherein the pressing mechanism includes a pressure adjusting device for adjusting a pressure exerted by the pad portion.

The pressure adjusting device includes an elastic body that generates a reaction force by expansion and contraction, and a control mechanism for adjusting the expansion and contraction amount of the elastic body, and the pressure exerted by the pad portion is It adjusts with reaction force, The vacuum-drying apparatus of Claim 9 characterized by the above-mentioned.

The pressing mechanism has a telescopic double pipe member connected to the pad portion, and a pressure adjusting device for adjusting the pressure exerted by the pad portion,
The double pipe member includes an inner surface portion under atmospheric pressure, an outer surface portion communicating with the inside of the sealed container, and an inner portion that is located between the inner surface portion and the outer surface portion and into which fluid is introduced. Have space,
The pressure force adjusting device has a control mechanism for adjusting the pressure of the fluid, and the pressure force exerted by the pad portion is adjusted by the pressure of the fluid. The vacuum drying apparatus described.

In the sealed container, a plurality of the cells are arranged,
The vacuum drying apparatus according to any one of claims 1 to 11, wherein a plurality of the pressing mechanisms are installed in correspondence with the number of the single cells arranged.

In the sealed container, a plurality of the cells are arranged,
A plurality of the holding mechanisms are installed in correspondence with the number of the single cells arranged,
The vacuum drying apparatus has an equilibrium mechanism for equalizing the pressure of the fluid introduced into the internal space of the double pipe member in the plurality of pressing mechanisms,
The vacuum drying apparatus according to claim 12, wherein the applied pressure exerted by the pad portions of the plurality of pressing mechanisms is made uniform.

The vacuum drying apparatus according to claim 13, wherein the balancing mechanism has a common piping system for communicating internal spaces of the double pipe portions of the plurality of pressing mechanisms.

The balancing mechanism has a hydraulic cylinder arranged in the middle of the common piping system,
The vacuum drying apparatus according to claim 14, wherein the liquid pressure cylinder includes a piston that is reciprocally disposed and absorbs a fluctuation in pressure of the fluid.

Place the unit cell covered with adhesive containing volatile components in a sealed container,
When the evacuated container is depressurized to evaporate the volatile components of the adhesive, the pressing mechanism prevents the unit cell from bulging and deforming based on the pressure difference between the inner pressure of the sealed container and the inner pressure of the unit cell. A vacuum drying method characterized by the above.

The vacuum drying method according to claim 16, wherein the pressing mechanism prevents the bulging deformation of the unit cell by bringing a pad portion into contact with the surface of the unit cell.

18. The vacuum drying method according to claim 17, wherein an evaporation path of a volatile component of the adhesive is secured by a porous structure portion disposed on a contact surface of the pad portion.

Securing the evaporation path of the volatile component of the adhesive material by the groove portion disposed on the contact surface of the pad portion, covering the covering portion of the adhesive material; and the contact surface of the pad portion; The vacuum drying method according to claim 17 or 18, wherein contact with the adhesive is prevented.

The vacuum drying method according to any one of claims 17 to 19, wherein the pressure exerted by the pad portion is based on a differential pressure between an atmospheric pressure and an internal pressure of the sealed container.

The pressing mechanism has a telescopic tube member connected to the pad portion,
21. The vacuum drying method according to claim 20, wherein the pipe member has an inner surface portion under atmospheric pressure and an outer surface portion communicating with the inside of the sealed container.

The vacuum drying method according to claim 20 or 21, wherein the pressing force exerted by the pad portion is adjusted by a pressing force adjusting device included in the pressing mechanism.

The pressure adjusting device has an elastic body that generates a reaction force by expansion and contraction, and a control mechanism for adjusting the expansion and contraction amount of the elastic body,
23. The vacuum drying method according to claim 22, wherein a pressing force exerted by the pad portion is adjusted by a reaction force of the elastic body.

The pressing mechanism has a telescopic double pipe member connected to the pad portion, and a pressure adjusting device for adjusting the pressure exerted by the pad portion,
The double pipe member includes an inner surface portion under atmospheric pressure, an outer surface portion communicating with the inside of the sealed container, and an inner portion that is located between the inner surface portion and the outer surface portion and into which fluid is introduced. Have space,
The pressure adjusting device has a control mechanism for adjusting the pressure of the fluid,
23. The vacuum drying method according to claim 22, wherein the applied pressure exerted by the pad portion is adjusted by the pressure of the fluid.

In the sealed container, a plurality of the cells are arranged,
A plurality of the holding mechanisms are installed in correspondence with the number of the single cells arranged,
The pressure applied by the pad portions of the plurality of pressing mechanisms when the evacuated container is depressurized and the volatile components of the adhesive are evaporated is made uniform. Vacuum drying method.

By equalizing the pressure of the fluid introduced into the internal space of the double pipe member in the plurality of pressing mechanisms, the applied pressure exerted by the pad portions of the plurality of pressing mechanisms is made uniform. The vacuum drying method according to claim 25.

27. The pressure of the fluid introduced into the internal space is equalized by communicating the internal space of the double pipe portion in the plurality of pressing mechanisms with a common piping system. The vacuum drying method as described in 2.

The liquid pressure cylinder having a piston that is reciprocally movable is disposed in the middle of the common piping system, and the fluctuation of the pressure of the fluid is absorbed by the reciprocating motion of the piston. The vacuum drying method according to 27.