JP5052479B2 - Magnetic head test method and magnetic head tester - Google Patents

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この発明は、磁気ヘッドのテスト方法および磁気ヘッドテスターに関し、詳しくは、磁気ディスクにサーボ情報を設定しなくても、あるいはサーボ情報を読出してトラックにダイナミックにONトラック状態に位置決めするONトラックサーボ制御、いわゆるサーボフォローイングをしなくても熱ドリフトに影響されずにテストデータの書込ができ、磁気ヘッドの検査が可能な磁気ヘッドテスト方法に関する。   The present invention relates to a magnetic head test method and a magnetic head tester. More specifically, the present invention relates to an on-track servo control in which servo information is not set on a magnetic disk, or servo information is read and positioned dynamically in an on-track state. The present invention relates to a magnetic head test method in which test data can be written without being affected by thermal drift without performing so-called servo following, and a magnetic head can be inspected.

コンピュータシステムのデータ記憶に使用されるハード磁気ディスク駆動装置(以下単にHDD)に搭載されている磁気ディスクには、磁気ヘッドの位置制御用などのためにサーボトラックライタによりサーボ情報(サーボ信号)が書込まれ、トラックに対して設定される。
最近の小型ディスクでは、ディスクを1枚あるいは2枚とする場合が多く、サーボ情報の設定方式は、各ディスクのトラックのセクタ対応にそれぞれサーボ情報を設定するセクターサーボ方式が用いられている。
セクターサーボ方式では、1枚のディスクの表裏両面の各トラックの各セクタに同一のサーボ情報が設定される。この種の技術としては、この出願人による特開平10−106194号「ディスクドライブのサーボトラック設定方法」(特許文献1)を挙げることができる。
一方、磁気ヘッドテスターおよび磁気ディスクテスターでは、ディスク上に設定されたサーボ情報に従って所定のデータがトラックに書込まれ、そのデータを読出してディスクあるいは磁気ヘッドの電気的な性能のテストが行われる。
Servo information (servo signals) is recorded on a magnetic disk mounted on a hard magnetic disk drive (hereinafter simply referred to as HDD) used for data storage in a computer system by a servo track writer to control the position of the magnetic head. Written and set for the track.
In recent small disks, the number of disks is often one or two, and the servo information setting method uses a sector servo method in which servo information is set for each sector of a track of each disk.
In the sector servo system, the same servo information is set in each sector of each track on both the front and back sides of one disk. As this type of technology, Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-106194 entitled “Servo Track Setting Method for Disk Drive” (Patent Document 1) by the applicant can be cited.
On the other hand, in the magnetic head tester and the magnetic disk tester, predetermined data is written on a track in accordance with servo information set on the disk, and the data is read to test the electrical performance of the disk or magnetic head.

近年、磁気ディスクの高密度化が進み、現在では数百ギガオーダのHDDが主流となってきている。このような磁気ディスクの高記録密度化に伴い、磁気ヘッドの浮上量は低下してきている。
そのため、磁気ヘッド検査装置あるいは磁気ディスク検査装置では、磁気ヘッドの位置決めを粗動ステージとピエゾ素子による微動ステージとを組合わせることで位置決め精度の向上を図っているが、トラック幅が100nm以下となる現在でも微動移動ステージの移動範囲は、100本〜200本程度のトラックの範囲までしか対応できない。そこで、例えば、200本程度のトラックの位置決め後のその次のトラックは、粗動ステージで磁気ヘッドを移動させなければならず、その上で微動移動ステージで磁気ヘッドを次のトラックに位置決めすることになる。
In recent years, the density of magnetic disks has been increased, and HDDs of the order of several hundred gigabytes are now mainstream. As the recording density of such a magnetic disk increases, the flying height of the magnetic head is decreasing.
Therefore, in the magnetic head inspection apparatus or the magnetic disk inspection apparatus, the positioning accuracy is improved by combining the coarse movement stage and the fine movement stage using a piezo element for positioning of the magnetic head, but the track width is 100 nm or less. Even now, the movement range of the fine movement stage can only accommodate a range of about 100 to 200 tracks. Therefore, for example, the next track after positioning about 200 tracks must move the magnetic head on the coarse movement stage, and then position the magnetic head on the next track on the fine movement stage. become.

しかし、粗動ステージを介しての位置決めが入る都度、トラック間隔は不連続になり、磁気ヘッドが高精度にトラックに位置決めされても、磁気ヘッドを位置決めした後には機械的に磁気ヘッドをその位置に固定することになるので、時間経過とともに磁気ディスク上の記録トラック位置と磁気ヘッドのコアの位置とが相対的にずれる熱ドリフトが発生してトラックに対するヘッド位置決め位置がずれる。
そこで、このような熱ドリフトに対処するために、また、トラック間隔の不連続性に対処するために、電気的な制御で磁気ヘッドをトラックに追従させるサーボフォローイングが行われている。
これは、磁気ディスクにサーボ情報をセクタ対応に設定して、サーボ情報を読出してトラックにダイナミックにONトラック状態に位置決めするONトラックサーボ制御による(特許文献2)。
そのために、HDDの製造工程においてサーボトラックライタによりあらかじめサーボ情報を磁気ディスクに書込んでおき、この書込んだ高密度記録の磁気ディスクのトラックに対して磁気ヘッドをアクセスさせて磁気ヘッド、磁気ディスクの検査が行われている(特許文献3)。
特開平10−106194号公報 特開2002−133601号公報 特開2002−93088号公報
However, each time positioning is performed via the coarse movement stage, the track interval becomes discontinuous. Even if the magnetic head is positioned on the track with high accuracy, the magnetic head is mechanically positioned after positioning the magnetic head. Therefore, as time passes, a thermal drift occurs in which the recording track position on the magnetic disk and the core position of the magnetic head are relatively shifted, and the head positioning position with respect to the track is shifted.
Therefore, in order to deal with such a thermal drift and to deal with the discontinuity of the track interval, servo following is performed to cause the magnetic head to follow the track by electrical control.
This is based on the ON track servo control in which the servo information is set to correspond to the sector on the magnetic disk, the servo information is read, and the track is dynamically positioned in the ON track state (Patent Document 2).
For this purpose, in the HDD manufacturing process, servo information is written to the magnetic disk in advance by a servo track writer, and the magnetic head is accessed to the written track of the high-density recording magnetic disk. (Patent Document 3).
Japanese Patent Laid-Open No. 10-106194 JP 2002-133601 A JP 2002-93088 A

現在では、トラック幅が100nm以下になる場合には、磁気ヘッド検査装置がセクターサーボ方式で磁気ディスクにサーボ情報を書込んで、その後に磁気ヘッドあるいは磁気ディスクの検査をすることが提案されている。
その理由は、磁気ヘッドアッセンブリを交換する都度、サーボ情報書込位置と磁気ヘッドのトラック位置とのずれが生じるからであり、特に、熱ドリフトが発生すると、その分、磁気ヘッドの書込み、読出が不安定になり易く、リードヘッドの再生出力が低下する問題があるからである。
また、検査装置自体が粗動ステージ+微動ステージで磁気ヘッドを位置決めして磁気ヘッドによりサーボ情報を書込む場合には、書込まれる次のトラックのサーボ情報の書込位置(トラック位置)や書込間隔(トラック間隔)は、磁気ヘッドアッセンブリのばらつきに応じて決定される。そこで、他の磁気ヘッドアッセンブリで設定されて書込まれたサーボ情報との整合性が採れなくなる問題がある。
At present, when the track width is 100 nm or less, it is proposed that the magnetic head inspection apparatus writes servo information to the magnetic disk by the sector servo method, and then inspects the magnetic head or the magnetic disk. .
The reason is that each time the magnetic head assembly is replaced, the servo information writing position and the magnetic head track position are shifted. In particular, when a thermal drift occurs, the magnetic head can be written and read accordingly. This is because it tends to be unstable and the read output of the read head decreases.
In addition, when the inspection apparatus itself positions the magnetic head with the coarse movement stage + fine movement stage and writes servo information with the magnetic head, the servo information writing position (track position) and writing of the next track to be written are written. The insertion interval (track interval) is determined according to variations in the magnetic head assembly. Therefore, there is a problem that consistency with servo information set and written by other magnetic head assemblies cannot be achieved.

この意味で特許文献3のようにHDDの製造工程においてサーボトラックライタによりサーボ情報を書込んだ高密度記録の磁気ディスクに対して磁気ヘッドを位置決めして磁気ヘッドの検査をする場合には磁気ヘッドとの不整合性の問題が生じる上に、特許文献3の技術では、磁気ディスクに対してサーボトラックライタによるサーボ情報の設定工程が必要になるので、その分、検査効率が落ちる問題もある。
この発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決するものであって、磁気ディスクにサーボ情報を設定しなくても、あるいはサーボ情報を読出してサーボフォローイングをしなくても熱ドリフトに影響されずにテストデータの書込ができ、磁気ヘッドの検査が可能な磁気ヘッドのテスト方法および磁気ヘッドテスターを提供することにある。
In this sense, when the magnetic head is inspected by positioning the magnetic head with respect to the high-density recording magnetic disk in which the servo information is written by the servo track writer in the HDD manufacturing process as in Patent Document 3, the magnetic head In addition, the technique disclosed in Patent Document 3 requires a servo information setting process by a servo track writer with respect to the magnetic disk.
An object of the present invention is to solve such problems of the prior art, and it is possible to achieve thermal drift without setting servo information on a magnetic disk or without reading servo information and performing servo following. It is an object of the present invention to provide a magnetic head test method and a magnetic head tester in which test data can be written without being influenced by the magnetic head and the magnetic head can be inspected.

このような目的を達成するこの発明の磁気ヘッドのテスト方法および磁気ヘッドテスターの特徴は、ライトヘッドとリードヘッドとを有する複合磁気ヘッドを磁気ディスクの所定のトラックの手前あるいは後ろへシフトさせて位置決めし、
書込開始信号に応じて磁気ディスクの半径方向に所定の速度で所定のトラックを横断させるとともにライトヘッドにより複数周分テストデータを所定のトラックに書込み、複合磁気ヘッドを所定のトラック位置に位置決めしてリードヘッドによりテストデータを読出して磁気ヘッドの検査をするものである。
The magnetic head test method and magnetic head tester according to the present invention that achieves such an object are characterized in that a composite magnetic head having a write head and a read head is shifted to a position before or after a predetermined track of a magnetic disk. And
A predetermined track is traversed at a predetermined speed in the radial direction of the magnetic disk in response to a write start signal, and test data for a plurality of turns is written to a predetermined track by the write head, and the composite magnetic head is positioned at a predetermined track position. The test data is read by the read head and the magnetic head is inspected.

このように、この発明にあっては、磁気ディスクの半径方向に所定の速度で所定のトラックを横断させるとともにライトヘッドにより複数周分テストデータを所定のトラックに書込む。このことで、磁気ディスクと磁気ヘッドとの間で熱ドリフトが発生したとしても所定のトラックには複数周分テストデータの書込みにより半径方向のヘッド移動に応じてテストデータの書込まれる領域をトラックの中に必ず確保することができる。
なお、通常、磁気ディスクは、トラックに重ね書きして新しいでデータを記録すると、そのデータの読出信号は、実質的に新しいでデータに対応する信号が強いレベルで発生するので、たとえ、テストデータの書込領域が重なっても問題は生じない。
Thus, according to the present invention, a predetermined track is traversed at a predetermined speed in the radial direction of the magnetic disk, and test data for a plurality of rounds is written to the predetermined track by the write head. As a result, even if a thermal drift occurs between the magnetic disk and the magnetic head, the area where the test data is written is tracked in accordance with the movement of the head in the radial direction by writing the test data for a plurality of turns on the predetermined track. It can be ensured in the inside.
Normally, when a magnetic disk is overwritten on a track and new data is recorded, a read signal of the data is substantially new and a signal corresponding to the data is generated at a high level. Even if the writing areas overlap, no problem occurs.

また、磁気ヘッドのテストは、トラックのうちの1/16周分程度の領域があればヘッドテストが可能になる。そこで、トラック横断中に、例えば、2周分テストデータが書き込まれると、通常、熱ドリフトに影響でトラックの2個所にテストデータが磁気ヘッドにより一部斜め書きされることになる。このとき、磁気ディスクの半径方向の移動速度と磁気ディスクの回転速度とによりテストデータが書き込まれる領域が決定されることになるが、この発明では、その領域の長さが1/16周以上あればよいので、例えば、半径方向のヘッドの移動速度は、磁気ディスクの1回転で所定のトラックのトラック幅の1/2〜1/10程度を移動する速度であればよい。トラック幅の1/2〜1/10程度の速度があれば十分に磁気ヘッドをテストする1/16周分程度の書込領域を確保できる。   The magnetic head test can be performed if there is an area of about 1/16 of the track. Therefore, for example, when test data for two rounds is written during the track crossing, the test data is usually partially written by the magnetic head at two locations on the track due to thermal drift. At this time, the area where the test data is written is determined by the moving speed in the radial direction of the magnetic disk and the rotational speed of the magnetic disk. In the present invention, the length of the area is 1/16 round or more. Therefore, for example, the moving speed of the head in the radial direction may be a speed that moves about 1/2 to 1/10 of the track width of a predetermined track by one rotation of the magnetic disk. If there is a speed of about 1/2 to 1/10 of the track width, a writing area of about 1/16 round for testing the magnetic head can be secured sufficiently.

ところで、通常、磁気ヘッドがトラックにサーボフォローイングできるまでの走査時間は、ディスク1周分+1/3周分程度の回転か、それ以上の回転が必要になる。したがって、磁気ヘッドの検査の際にサーボフォローイングしたとしても2周分程度の時間は最低でもかかる。この意味から複数周分のテストデータの書込みは、サーボフォローイングに対して時間的なそん色はほとんどない。
その結果、この発明は、磁気ディスクにサーボ情報を設定しなくても済み、あるいはサーボ情報を読出してサーボフォローイングをしなくても熱ドリフトに影響されずに磁気ヘッドの検査が可能になる。さらに、磁気ディスクにサーボ情報を設定しなくても済むので、その分、磁気ヘッドの検査効率を向上させることができる。
By the way, normally, the scanning time until the magnetic head can servo-follow the track requires a rotation of about 1 disk + 1/3 rotation or more. Therefore, even if servo following is performed at the time of inspection of the magnetic head, a time of about two laps is required at least. In this sense, the writing of test data for a plurality of laps has almost no time difference with respect to servo following.
As a result, according to the present invention, it is not necessary to set servo information on the magnetic disk, or the magnetic head can be inspected without being affected by thermal drift without reading the servo information and performing servo following. Further, since it is not necessary to set servo information on the magnetic disk, the inspection efficiency of the magnetic head can be improved accordingly.

図1は、この発明の磁気ヘッドのテスト方法を適用した一実施例の磁気ヘッドテスターの説明図、図2は、検査磁気ヘッドの検査処理のフローチャート、図3(a)は、時間経過とともに相対的にずれる熱ドリフトについての説明図、図3(b)は、ライトヘッドの半径方向移動・テストデータ書込み動作の説明図、そして図3(c)のテストデータの記録状態の説明図である。
図1において、10は、磁気ディスクテスターであり、1は、磁気ディスク(以下ディスク)であって、スピンドル2に着脱可能に挿着されている。
スピンドル2に隣接してヘッドキャリッジとしてXYステージ3が設けられ、XYステージ3は、Xステージ3aとYステージ3bからなる。
Yステージ3bは、Xステージ3a上に搭載され、ヘッド9に対してスキュー調整のための移動を行うステージである。このYステージ3b上には、X方向の位置を微調整するピエゾステージ4が搭載されている。
Xステージ3aは、ディスク1のX方向(半径方向)に移動する粗動の移動ステージである。これは、ピエゾステージ4をYステージ3bを介してディスク1の半径方向に移動させる。ピエゾステージ4は、リードヘッド(MRヘッド)とライトヘッド(薄膜インダクティブヘッド)を有する、検査対象となる複合磁気ヘッド9(以下ヘッド9)を半径方向に移動させる。
FIG. 1 is an explanatory diagram of a magnetic head tester according to an embodiment to which the magnetic head test method of the present invention is applied. FIG. 2 is a flowchart of inspection magnetic head inspection processing. FIG. FIG. 3B is an explanatory diagram of the thermal drift that is shifted in general, FIG. 3B is an explanatory diagram of the radial movement / test data writing operation of the write head, and an explanatory diagram of the test data recording state of FIG.
In FIG. 1, reference numeral 10 denotes a magnetic disk tester, and 1 denotes a magnetic disk (hereinafter referred to as a disk), which is detachably attached to the spindle 2.
An XY stage 3 is provided as a head carriage adjacent to the spindle 2, and the XY stage 3 includes an X stage 3a and a Y stage 3b.
The Y stage 3 b is a stage that is mounted on the X stage 3 a and moves for adjusting the skew with respect to the head 9. A piezo stage 4 for finely adjusting the position in the X direction is mounted on the Y stage 3b.
The X stage 3 a is a coarse movement stage that moves in the X direction (radial direction) of the disk 1. This moves the piezo stage 4 in the radial direction of the disk 1 via the Y stage 3b. The piezo stage 4 moves a composite magnetic head 9 (hereinafter referred to as head 9) to be inspected in the radial direction, which has a read head (MR head) and a write head (thin film inductive head).

ピエゾステージ4は、微動ステージであって、移動ベース4aとカートリッジ取付ベース4b、そしてピエゾアクチュエータ5とからなり、移動ベース4aの先端側にはヘッドカートリッジ取付ベース4bが結合されている。移動ベース4aは、Yステージ3bにピエゾアクチュエータ5を介して搭載され、カートリッジ取付ベース4bをX軸に沿って移動させる。
これにより、ピエゾアクチュエータ5が駆動されることでカートリッジ取付ベース4bがX方向に移動してディスク1の半径方向のヘッド位置の微調整がヘッドカートリッジ6を介して行われる。なお、X方向は、ディスク1の中心を通る半径方向に一致している。
The piezo stage 4 is a fine movement stage, and includes a moving base 4a, a cartridge mounting base 4b, and a piezo actuator 5. A head cartridge mounting base 4b is coupled to the distal end side of the moving base 4a. The moving base 4a is mounted on the Y stage 3b via the piezoelectric actuator 5, and moves the cartridge mounting base 4b along the X axis.
As a result, when the piezo actuator 5 is driven, the cartridge mounting base 4 b moves in the X direction, and fine adjustment of the head position in the radial direction of the disk 1 is performed via the head cartridge 6. Note that the X direction coincides with the radial direction passing through the center of the disk 1.

ヘッドカートリッジ6は、カートリッジ取付ベース4bにピエゾアクチュエータ7を介して搭載され、ヘッドカートリッジ6には、サスペンションスプリング8が固定されている。このピエゾアクチュエータ7は、ヘッドカートリッジ6の内部に設けられていてもよい。このような場合には、サスペンションスプリング8とヘッドカートリッジ6におけるサスペンションスプリング8の取付け台との間に搭載され、サスペンションスプリング8を直接半径方向に移動させる。
サスペンションスプリング8の先端側にはヘッド9が搭載されている。ヘッド9は、ディスク1のX軸方向に沿う半径方向に移動してディスク1のトラックをシークしてそのトラックに位置決めされてデータをそのトラックから読出す、あるいはそのトラックにデータを書込む、いわゆるヘッドアクセス動作をする。
The head cartridge 6 is mounted on the cartridge mounting base 4 b via a piezo actuator 7, and a suspension spring 8 is fixed to the head cartridge 6. The piezo actuator 7 may be provided inside the head cartridge 6. In such a case, the suspension spring 8 is mounted between the suspension spring 8 and the mounting base of the suspension spring 8 in the head cartridge 6, and the suspension spring 8 is directly moved in the radial direction.
A head 9 is mounted on the distal end side of the suspension spring 8. The head 9 moves in the radial direction along the X-axis direction of the disk 1 to seek the track of the disk 1 and is positioned on the track to read data from the track, or write data to the track. Perform head access operation.

ヘッドカートリッジ6は、ヘッド9をヘッドキャリッジに装着するものであって、ヘッド9を着脱可能にヘッドキャリッジに搭載し、内部には読出アンプと書込アンプ等が設けられている。読出アンプは、MRヘッドから読出信号を受けてそれを増幅してデータ読出回路15に出力する。
データ読出回路15は、MRヘッドからの読出信号をヘッドカートリッジ6に設けられた読出アンプから受けて、二値化してデータ処理・制御装置20に送出する。16は、ヘッドアクセス制御回路であって、データ処理・制御装置20からの制御信号を受けてXYステージ3とピエゾアクチュエータ5,7とを駆動してヘッド9を目標となる所定のトラックに位置決めする。
17はデータ書込回路、18は、テストデータ生成回路である。データ書込回路17は、受けたテストデータに従って書込信号を生成して、ヘッドカートリッジ6に設けられた書込アンプを駆動し、ヘッド9の薄膜インダクティブヘッドを介して所定のトラックにデータを書込む。テストデータ生成回路18は、データ処理・制御装置20により制御されて所定のテストデータを作成してそれをデータ書込回路17に送出する。なお、19は、ディスク駆動回路であって、ディスク1をスピンドル2を介して回転駆動する。
The head cartridge 6 mounts the head 9 on the head carriage. The head 9 is detachably mounted on the head carriage, and a read amplifier and a write amplifier are provided inside. The read amplifier receives the read signal from the MR head, amplifies it, and outputs it to the data read circuit 15.
The data read circuit 15 receives a read signal from the MR head from a read amplifier provided in the head cartridge 6, binarizes it, and sends it to the data processing / control device 20. A head access control circuit 16 receives a control signal from the data processing / control device 20 and drives the XY stage 3 and the piezoelectric actuators 5 and 7 to position the head 9 on a predetermined target track. .
Reference numeral 17 is a data writing circuit, and 18 is a test data generating circuit. The data writing circuit 17 generates a write signal according to the received test data, drives a write amplifier provided in the head cartridge 6, and writes data to a predetermined track via the thin film inductive head of the head 9. Include. The test data generation circuit 18 is controlled by the data processing / control device 20 to create predetermined test data and send it to the data writing circuit 17. Reference numeral 19 denotes a disk drive circuit, which rotates the disk 1 via the spindle 2.

データ処理・制御装置20は、MPU21とメモリ22、インタフェース23、CRTディスプレイ24、そしてキーボード等により構成され、これらがバスにより相互に接続されている。
メモリ22には、ヘッドアクセスプログラム22a、ヘッドシフト位置決めプログラム22b、半径方向移動・テストデータ書込みプログラム22c、テストデータ読出プログラム22d、検査データ決定プログラム22e、そして磁気ヘッド合否判定プログラム22f等が記憶されている。
The data processing / control device 20 includes an MPU 21, a memory 22, an interface 23, a CRT display 24, a keyboard, and the like, which are connected to each other via a bus.
The memory 22 stores a head access program 22a, a head shift positioning program 22b, a radial movement / test data write program 22c, a test data read program 22d, an inspection data determination program 22e, a magnetic head pass / fail determination program 22f, and the like. Yes.

図2は、検査磁気ヘッドの検査処理のフローチャートである。
MPU21は、ヘッドアクセスプログラム22aを実行してインタフェース23を介してヘッドアクセス制御回路16の所定のレジスタにR方向の移動距離r[mm]を設定してヘッドアクセス制御回路16を起動する。
レジスタにR方向の移動距離r[mm]が設定されることにより、Xステージ3aが基準点あるいは所定のトラック位置からr[mm]分、粗動移動し、さらにピエゾステージ4が駆動されて距離rに向かって微動移動してヘッド9を目標トラックTR(図3(a)〜(c)参照)に位置決めする(ステップ101)。 これにより、ヘッド9は、基準点あるいは所定のトラック位置から目標トラックTRに移動して位置決めされる。
目標トラックTRへのヘッド位置決めが完了すると、MPU21は、ヘッドシフト位置決めプログラム22bをコールする。
FIG. 2 is a flowchart of an inspection magnetic head inspection process.
The MPU 21 executes the head access program 22a, sets the movement distance r [mm] in the R direction to a predetermined register of the head access control circuit 16 via the interface 23, and starts the head access control circuit 16.
When the movement distance r [mm] in the R direction is set in the register, the X stage 3a moves coarsely by r [mm] from the reference point or a predetermined track position, and the piezo stage 4 is driven to move the distance. The head 9 is finely moved toward r to position the head 9 on the target track TR (see FIGS. 3A to 3C) (step 101). As a result, the head 9 is moved and positioned from the reference point or a predetermined track position to the target track TR.
When the head positioning on the target track TR is completed, the MPU 21 calls the head shift positioning program 22b.

MPU21は、ヘッドシフト位置決めプログラム22bを実行してピエゾステージ4(ピエゾアクチュエータ5)を駆動して目標トラックTRの手前へヘッド9の位置をシフトさせて位置決めする(ステップ102)。
この位置決めは、例えば、ヘッドアクセス制御回路16のレジスタに設定されるR方向の移動距離として、r−[W/2+α]の距離が設定されることにより行われる。ただし、Wは、トラック幅であり、ここでは、40nmとする。αは、トラックの手前に移動するための余裕分の距離であり、磁気ヘッドアッセンブリのばらつきを考慮して、例えば、5nm程度が選択される。
次に、MPU21は、半径方向移動・テストデータ書込みプログラム22cをコールして実行し、書込開始のセクタ信号SC(以下書込開始信号SC)(図3(a)〜(c)参照)に同期して半径方向のシークを開始し、同時に書込開始信号SCに同期して書込みを開始する(ステップ103)。
そして、ヘッドアクセス制御回路16によりピエゾアクチュエータ5,7とを駆動してながら目標トラックTRにテストデータを4周分、書込む(ステップ104)。
なお、サーボフォローイングのためのONトラックサーボ回路が設けられているときには、このときのピエゾアクチュエータ5,7の駆動はONトラックサーボ回路で行われてもよい。
The MPU 21 executes the head shift positioning program 22b to drive the piezo stage 4 (piezo actuator 5) and shift the position of the head 9 to the position before the target track TR to perform positioning (step 102).
This positioning is performed, for example, by setting a distance of r− [W / 2 + α] as the movement distance in the R direction set in the register of the head access control circuit 16. However, W is a track width, and is 40 nm here. α is a margin for moving to the front of the track, and about 5 nm is selected in consideration of variations in the magnetic head assembly.
Next, the MPU 21 calls and executes the radial direction movement / test data writing program 22c, and executes a write start sector signal SC (hereinafter, write start signal SC) (see FIGS. 3A to 3C). The seek in the radial direction is started in synchronism, and at the same time, the write is started in synchronism with the write start signal SC (step 103).
Then, while driving the piezo actuators 5 and 7 by the head access control circuit 16, the test data is written into the target track TR for four rounds (step 104).
When an ON track servo circuit for servo following is provided, the driving of the piezoelectric actuators 5 and 7 at this time may be performed by the ON track servo circuit.

図3は、テストデータの書込み状態の説明図であって、図3(a)は、ディスク1上の記録トラック位置とヘッド9のライトヘッドのコアの位置とが時間経過とともに相対的にずれる熱ドリフトについての説明図である。
ステップ101の目標トラックTRへの位置決め後にテストデータの書込みを行うと、ライドヘッド(黒四角)の位置は、図示するように、位置決め位置(●)からの矢印Aで示すように、トラック1周分走査したときには、トラックから外れた位置にまでヘッド9(ライトヘッド)が移動してしまう。しかし、読出しを行うのはヘッド9のリードヘッドの位置であるので、ヘッド9(リードヘッド)を目標トラックTRへの位置決めしても目標トラックTRにはテストデータが少ししか記録されていないので、テストデータの読出あるいはヘッド検査が実質的にできない。
図3(a)に示すようにヘッド位置決め後の時間経過とともに、ライトヘッドは、目標トラックTRに対してずれが生じ、40nm幅のトラックでは、ディスクが1回転して1周分の書込みを行うときには、熱ドリフトにより20nm〜50nm/1回転程度のずれが発生することがある。
FIG. 3 is an explanatory diagram of the test data writing state. FIG. 3A shows the heat at which the recording track position on the disk 1 and the core position of the write head of the head 9 are relatively shifted over time. It is explanatory drawing about a drift.
When test data is written after positioning on the target track TR in step 101, the position of the ride head (black square) is one round of the track as shown by the arrow A from the positioning position (●) as shown in the figure. When the partial scanning is performed, the head 9 (light head) moves to a position off the track. However, since reading is performed at the position of the read head of the head 9, even if the head 9 (read head) is positioned on the target track TR, only a small amount of test data is recorded on the target track TR. Reading of test data or head inspection is practically impossible.
As shown in FIG. 3A, the write head shifts with respect to the target track TR as time elapses after the head positioning, and in the track having a width of 40 nm, the disk rotates once and writes for one round. In some cases, a shift of about 20 nm to 50 nm / 1 rotation may occur due to thermal drift.

図3(b)は、この実施例による前記のステップ103により開始される半径方向移動・テストデータ書込み動作の説明図である。
図面左側に示すように、書込み開始位置を半径方向に下から上に向かって15nm/1回転分だけ上方にヘッド9を半径方向に移動させると、第1周目の書込みでは、目標トラックTR上にヘッド9は乗らないが、第2周目以降は、目標トラックTRの一部でヘッド9がトラックを横断する領域が発生する。そこで、連続的に4周分同じトラックにテストデータを書込むと、図3(c)のテストデータの記録状態に示すように、目標トラックTRの一部にテストデータ書込領域が複数個所形成され、確保することができる。
なお、ディスクの1回転に対する半径方向のヘッド9の移動速度は、トラック幅の1/2〜1/10程度の速度が好ましく、トラック1周分の複数回の書込回数は、ヘッド9がトラックの横断を完了する回数か、それ以上の回数である。
FIG. 3B is an explanatory diagram of the radial movement / test data writing operation started in step 103 according to this embodiment.
As shown in the left side of the drawing, by moving the head 9 upward by 15 nm / 1 revolution upwardly radially from below the write start position in the radial direction, in the first lap of the writing, on the target track TR However, after the second round, an area where the head 9 crosses the track occurs in a part of the target track TR. Therefore, when test data is continuously written to the same track for four rounds, a plurality of test data write areas are formed in a part of the target track TR as shown in the test data recording state of FIG. Can be secured.
Note that the moving speed of the head 9 in the radial direction with respect to one rotation of the disk is preferably about 1/2 to 1/10 of the track width. This is the number of times the crossing has been completed or more.

次に、MPU21は、テストデータ読出プログラム22dをコールして実行し、図2のステップ105において目標トラックTRの中心位置にヘッドを位置決めして、書込開始信号SCに同期してリードヘッドにより目標トラックTRからテストデータを読出してメモリ22の作業領域に記憶する(ステップ106)。
次に、MPU21は、検査データ決定プログラム22eをコールして実行し、目標トラックTRに書込まれたテストデータの読出電圧Qから最大読出電圧値を検出して(ステップ107)、この最大読出電圧値検出点から前記最大読出電圧値に対して読出電圧Qが所定の基準値Pを越えているか否か(Q>P)を判定し、さらに所定値低下した読出電圧までの走査時間tが所定の基準走査時間tsを越えているかを判定して、検査データ範囲を検出する(ステップ108)。
なお、読出電圧Qにおける最大読出電圧値は、図3(c)のテストデータの記録状態からして通常は実質的に平坦部となって連続的に現れてくるので、その実質的な平坦部において最初の位置を最大読出電圧値検出点とする。
Next, the MPU 21 calls and executes the test data read program 22d, positions the head at the center position of the target track TR in step 105 of FIG. 2, and synchronizes with the write start signal SC by the read head. Test data is read from the track TR and stored in the work area of the memory 22 (step 106).
Next, the MPU 21 calls and executes the inspection data determination program 22e, detects the maximum read voltage value from the read voltage Q of the test data written in the target track TR (step 107), and this maximum read voltage. It is determined whether or not the read voltage Q exceeds a predetermined reference value P with respect to the maximum read voltage value from the value detection point (Q> P), and the scanning time t until the read voltage lowered by a predetermined value is predetermined. It is determined whether or not the reference scanning time ts is exceeded, and the inspection data range is detected (step 108).
Since the maximum read voltage value in the read voltage Q usually appears as a substantially flat portion continuously from the test data recording state of FIG. The first position is the maximum read voltage value detection point.

この場合の範囲は、図3(c)に示すように、最大読出電圧値を検出するまでの走査時間t1として、基準値Pを越えている最後までの走査時間t2とすると、ステップ108における走査時間tは、t=t1−t2により算出される。
この走査時間tがt>tsであるか否かを判定することにより検査データの範囲が決定される。
すなわち、検査データの範囲は、Q>P AND t>tsの範囲である。
なお、読出レベルの基準値Pは、目標トラックTRに9割以上の範囲でテストデータが書込まれた領域であり、走査時間tsは、1/16周の長さに対応している。
その結果として、図3(c)の中央部分に黒色で示す、テストデータの書込領域Rを決定することができる。
In this case, as shown in FIG. 3C, if the scanning time t1 until the maximum read voltage value is detected is the scanning time t2 until the last exceeding the reference value P, the scanning in step 108 is performed. The time t is calculated by t = t1−t2.
By determining whether or not this scanning time t is t> ts, the range of the inspection data is determined.
That is, the range of inspection data is a range of Q> P AND t> ts.
The reference value P of the read level is an area where test data is written in the target track TR in a range of 90% or more, and the scanning time ts corresponds to a length of 1/16 round.
As a result, it is possible to determine the test data writing area R shown in black in the central portion of FIG.

ステップ108で、YESとなると、目標トラックTRのこの領域を検査データの範囲Rとして目標トラックTRに設定して(ステップ109)、以後の磁気ヘッドの検査がこの範囲の読出データにおいて行われる。
そして、MPU21は、磁気ヘッド合否判定プログラム22fをコールして、選択された領域の検査データに基づきヘッド9の合否の判定処理をする(ステップ109)。さらに、以降の検査処理は、設定された検査データの範囲でヘッドの合否を判定する処理に入る(ステップ110)。
これにより、これ以降は、検査データの範囲Rでテストデータを読出してヘッドの検査が行われる。
If YES in step 108, this area of the target track TR is set as the inspection data range R in the target track TR (step 109), and the subsequent magnetic head inspection is performed on the read data in this range.
Then, the MPU 21 calls the magnetic head pass / fail determination program 22f and performs pass / fail determination processing of the head 9 based on the inspection data of the selected area (step 109). Further, the subsequent inspection processing enters processing for determining whether or not the head is acceptable within the set inspection data range (step 110).
As a result, thereafter, the test data is read out in the inspection data range R and the head is inspected.

ステップ108の判定でNOとなると、リトライ回数nをインクリメントして(ステップ111)、n>5以上かを判定して(ステップ112)、ここでNOとなれば、ステップ102へと戻り、同様の処理をステップ102から繰り返す。
ステップ112で、YESとなると、ヘッド9を不合格と判定してそのヘッド9を不合格処理にする(ステップ113)。
この場合には、新しい未検査のヘッド9をヘッドキャリッジに装着して(ステップ114)、ステップ101から同様な検査をする。
なお、ステップ111におけるnは、検査開始時に初期値としてn=1に設定されているものである。
If NO in step 108, the number of retries n is incremented (step 111), and it is determined whether n> 5 or more (step 112). If NO here, the process returns to step 102, and the same The process is repeated from step 102.
If YES at step 112, the head 9 is determined to be rejected and the head 9 is set to fail processing (step 113).
In this case, a new uninspected head 9 is mounted on the head carriage (step 114), and the same inspection is performed from step 101.
Note that n in step 111 is set to n = 1 as an initial value at the start of inspection.

以上説明してきたが、実施例におけるヘッドの半径方向の移動速度は一例であって、実施例に示すものに限定されない。
また、実施例では、ヘッド9をディスク1の所定のトラックに位置決めしてこのトラックの手前にヘッド9の位置をシフト位置決めしている。しかし、これは、所定のトラックの後ろ側にヘッド9の位置をシフトさせて位置決めし、その後目標トラックを前方向に戻って横断するようにしてもよいことはもちろんである。
なお、実施例のディスクは、各セクタに対応してサーボ情報が設定されたディスクであってもよいことはもちろんである。
As described above, the moving speed in the radial direction of the head in the embodiment is an example, and is not limited to that shown in the embodiment.
In the embodiment, the head 9 is positioned on a predetermined track of the disk 1, and the position of the head 9 is shifted and positioned before this track. However, of course, this may be achieved by shifting the position of the head 9 to the rear side of the predetermined track and then traversing the target track back in the forward direction.
Of course, the disk of the embodiment may be a disk in which servo information is set corresponding to each sector.

図1は、この発明の磁気ヘッドのテスト方法を適用した一実施例の磁気ヘッドテスターの説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of a magnetic head tester according to an embodiment to which the magnetic head test method of the present invention is applied. 図2は、検査磁気ヘッドの検査処理のフローチャートである。FIG. 2 is a flowchart of an inspection magnetic head inspection process. 図3(a)は、時間経過とともに相対的にずれる熱ドリフトについての説明図、図3(b)は、ライトヘッドの半径方向移動・テストデータ書込み動作の説明図、そして図3(c)のテストデータの記録状態の説明図である。FIG. 3A is an explanatory diagram of a thermal drift that relatively shifts with time, FIG. 3B is an explanatory diagram of the radial movement / test data writing operation of the write head, and FIG. It is explanatory drawing of the recording state of test data.

符号の説明Explanation of symbols

1…ディスク、2…スピンドル、
3…XYステージ、3a…Xステージ、3b…Yステージ、
4…ピエゾステージ、4a…移動ベース、4b…カートリッジ取付ベース、
5,7…ピエゾアクチュエータ、6…ヘッドカートリッジ、
8…サスペンションプリング、9…磁気ヘッド、
10…磁気ヘッドテスター、15…データ読出回路、
16…ヘッドアクセス制御回路、17…データ書込回路、
18…テストデータ生成回路、19…ディスク駆動回路、
20…データ処理・制御装置、
21…MPU、22…メモリ、
22a…ヘッドアクセスプログラム、
22b…ヘッドシフト位置決めプログラム、
22c…半径方向移動・テストデータ書込みプログラム、
22d…テストデータ読出プログラム、
22e…検査データ決定プログラム、
22f…磁気ヘッド合否判定プログラム。
23…インタフェース、24…CRTディスプレイ。
1 ... disk, 2 ... spindle,
3 ... XY stage, 3a ... X stage, 3b ... Y stage,
4 ... Piezo stage, 4a ... Moving base, 4b ... Cartridge mounting base,
5, 7 ... Piezo actuator, 6 ... Head cartridge,
8 ... Suspension pulling, 9 ... Magnetic head,
10 ... Magnetic head tester, 15 ... Data reading circuit,
16 ... Head access control circuit, 17 ... Data writing circuit,
18 ... Test data generation circuit, 19 ... Disk drive circuit,
20: Data processing / control device,
21 ... MPU, 22 ... memory,
22a ... Head access program,
22b ... Head shift positioning program,
22c ... Radial direction movement / test data writing program,
22d ... test data reading program,
22e ... Inspection data determination program,
22f: Magnetic head pass / fail judgment program.
23 ... interface, 24 ... CRT display.

Claims (5)

ライトヘッドとリードヘッドとを有する複合磁気ヘッドを磁気ディスクの所定のトラックの手前あるいは後ろへシフトさせて位置決めし、
書込開始信号に応じて前記磁気ディスクの半径方向に所定の速度で前記所定のトラックを横断させるとともに前記ライトヘッドにより複数周分テストデータを前記所定の同じトラックに書込み、
前記複合磁気ヘッドを前記所定のトラック位置に位置決めして前記リードヘッドにより前記テストデータを読出して前記磁気ヘッドの検査をする磁気ヘッドテスト方法。
A composite magnetic head having a write head and a read head is shifted and positioned before or after a predetermined track of the magnetic disk,
Crossing the predetermined track at a predetermined speed in the radial direction of the magnetic disk in accordance with a write start signal and writing test data for a plurality of rounds to the predetermined same track by the write head;
A magnetic head test method for inspecting the magnetic head by positioning the composite magnetic head at the predetermined track position and reading the test data with the read head.
前記半径方向の前記所定の速度は、前記磁気ディスクの1回転で前記所定のトラックのトラック幅の1/2〜1/10を移動する速度であり、前記複数周分のテストデータの書込は、前記複合磁気ヘッドが前記所定のトラックの横断を完了する回数か、それ以上の回数で行われる請求項1記載の磁気ヘッドテスト方法。   The predetermined speed in the radial direction is a speed that moves 1/2 to 1/10 of the track width of the predetermined track by one rotation of the magnetic disk. 2. The magnetic head test method according to claim 1, wherein the composite magnetic head is performed a number of times that the crossing of the predetermined track is completed or more. 前記リードヘッドにより読出された前記所定のトラックのテストデータに対して最大読出電圧値を検出して、この最大読出電圧値検出点から前記最大読出電圧値に対して所定値低下した読出電圧までの範囲が所定の基準値以上あるときに、その範囲を検査データの範囲として前記所定のトラックに設定して前記検査データの範囲で磁気ヘッドの検査が行われる請求項2記載の磁気ヘッドテスト方法。   A maximum read voltage value is detected for the test data of the predetermined track read by the read head, and from the maximum read voltage value detection point to a read voltage that is lower than the maximum read voltage value by a predetermined value. 3. The magnetic head test method according to claim 2, wherein when the range is equal to or greater than a predetermined reference value, the range is set as the inspection data range on the predetermined track, and the magnetic head is inspected within the inspection data range. 前記磁気ディスクは、各セクタに対応してサーボ情報が設定されたものであり、前記ライトヘッドの書込みトラック幅は、100nm以下である請求項3記載の磁気ヘッドテスト方法。   4. The magnetic head test method according to claim 3, wherein the magnetic disk is set with servo information corresponding to each sector, and a write track width of the write head is 100 nm or less. 請求項1乃至4のうちの1項記載の磁気ヘッドのテスト方法を用いる磁気ヘッドテスタ。   A magnetic head tester using the magnetic head test method according to claim 1.
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